JP2004233479A - Photo-fabrication method and device - Google Patents

Photo-fabrication method and device Download PDF

Info

Publication number
JP2004233479A
JP2004233479A JP2003019743A JP2003019743A JP2004233479A JP 2004233479 A JP2004233479 A JP 2004233479A JP 2003019743 A JP2003019743 A JP 2003019743A JP 2003019743 A JP2003019743 A JP 2003019743A JP 2004233479 A JP2004233479 A JP 2004233479A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
liquid
master mold
cross
master
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003019743A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Kanematsu
俊宏 金松
Hidenobu Kishi
秀信 岸
Daisei Minegishi
大生 峯岸
Shinya Senoo
晋哉 妹尾
Shinji Tezuka
伸治 手塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2003019743A priority Critical patent/JP2004233479A/en
Publication of JP2004233479A publication Critical patent/JP2004233479A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To devise a processing method in which an optical surface has a surface roughness of 0.04 μm or below through continuous hardening/forming, by utilizing an optical forming method that can bring high productivity (short time processing) with a single-layered thin-shaped product (light guiding part is curved), in the method of manufacturing an expanded light guide component that enables a display to be large-sized. <P>SOLUTION: In the optical forming method in which a three-dimensional object is formed by irradiating a photo-setting resin with light to photoset it and successively moving this irradiation position; a master die is used having a shape needed for forming a target three-dimensional object; a light beam with a prescribed wavelength, i.e., a light beam with a wavelength for hardening the photosetting resin, is successively emitted from an arbitrary cross section of the master die; this emitted light of the cross section is image-formed in the liquid of the photosetting resin using an image forming element so as to harden the photosetting resin; and then, by continuously moving the irradiation position of the emission from the master die, the target three-dimensional object is formed in the photosetting resin liquid. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は、一般的な光学分野(微小光学分野、光通信分野、光情報分野等)におけるプラスチック光導波路、その他の光学素子の製造方法及び製造装置に関するものであり、光伝送用の光導波路アレイ、液晶表示パネル、リアプロジェクタ用の拡大光学系、その他高い成形精度を必要とする複雑な形状の製品の成形加工に利用することができるものである。
【0002】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイには、液晶、有機EL、プレズマディスプレイ等があるが、大画面化(例えば100インチ)することは現在の技術レベルでは困難であり、また、不可能ではないとしても非常に高価なものとなる。現在の技術でこの問題を解決する方法としては、特開昭60−169833号公報のものがあり、このもののように、小画面サイズのディスプレイを若干隙間を設けてタイル状に敷き並べ(タイリング)、かつ、各ディスプレイから光ファイバーをテーパに広げ表示上に導いて大画面を形成するもの(拡大導光路アレイ)がある。
【0003】
また、現在の技術では、光ファイバーを1本1本並べる方法が採用されているが、その数は、例えば、解像度SXGAで画素数は1280×1024(約百万本)である。これだけの光ファイバーを繋ぐとすれば、光ファイバー1本を1秒で繋ぐとしても11日間を要するなど、その製作に非常に多くの労力を要し、したがって、製作コストが高くなる。
最近では、金型で直接ファイバーシートを形成する方法(特開平10−50968号公報)やフィルム状のプラスチックシートにエンボス法にてファイバーシートを形成する方法(特開平10−54918号公報)がある。また、テーパ状に加工する方法として、クラッド材のブロックにレーザーにてテーパ状の穴を穿ち、その部分にコア材を充填し製造する方法(特開平8−179131号公報)や、束ねたファイバーを加熱振動することでテーパ状に加工する方法(特開昭64−11922号公報)がある。しかし、それらを上記の拡大導光路の製造に応用した場合、その精度や加工速度に問題がある。すなわち、例えば、ファイバーシートを短時間に精度よく積層(約千層)できるかという問題であり、また、レーザー等の加工粗さでは光がリークする可能性があるという問題、さらに、レーザー光では直線加工しかできないという問題、さらに、束ねたファイバーを加熱振動させるものでは、束ねたファイバーが加熱振動で変形してと整列度が保てない可能性があるという問題等である。
【0004】
さらに、加工速度を考慮した製造方法として、光造形方法を活用することが考えられ、特開2000−347043号公報のもののようにして直線的な光ファイバーを形成することができる。また、これは、ファイバーシートの製造方法と違って、光軸方向への加工ができるので、短時間で加工ができるという利点がある。
しかし、上記大画面用導光路形状を想定すると、表示部の開口形状を同形状にするには光ファイバーの径を1本1本変える必要があるという問題があり、また、拡大率を大きくしたり、導光路長を短くする場合(導光路の薄型化:材料コスト減、重量減)は導光路が直線形状でなく、図7に示すような曲線形状であることが求められる。
【0005】
他方、ガルバノミラー等を用いた市販の光造形装置では自由曲面の形成が可能であるが、しかし、その成形精度は0.1mm程度しかなく、そのため、光ファイバーからの光の漏れや散乱が生じ、光ファイバーとしては機能しない。光ファイバーからの光の漏れや散乱を防ぐためには、少なくとも可視光の波長(0.39〜0.77μm)の10分の1の精度(ここでは表面粗さ)0.04μmが必要である。特開2001−158050号公報の2光子吸収を用いた光造形方法(現在最も高精度)の場合でも、その粗さは0.2〜0.5μmである。
これらは、目的とする造形物のスライス断面形状を1層毎に断続的に硬化させていくため、高精度化することは困難である。
【0006】
【特許文献1】特開昭60−169833号公報
【特許文献2】特開平10−50968号公報
【特許文献3】特開平10−54918号公報
【特許文献4】特開平8−179131号公報
【特許文献4】特開昭64−11922号公報
【特許文献4】特開2000−347043号公報
【特許文献4】特開2001−158050号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、ディスプレイの大型化が可能な拡大導光路部品の製造方法について、一層の薄型形状(導光部は曲線)で生産性(短時間加工)が高く、短時間で加工できる光造形方法を活用して、連続的に硬化形成させることで光学表面が表面粗さ0.04μm以下になる加工方法を工夫することである。
【0008】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段1】(請求項1に対応)
上記課題を解決するために講じた、製造方法に関する手段(解決手段1)は、光硬化性樹脂に光を照射して光硬化させ、この光照射位置を順次移動させて、立体物を形成する光造形方法について、
目的の立体物形成に必要な形状のマスター型を用い、当該マスター型の任意の横断面から所定の波長の光すなわち光硬化性樹脂の硬化波長の光を順次出射させ、この横断面の出射光を結像素子で光硬化性樹脂液の液中で結像させて光硬化性樹脂を硬化させ、上記出射光の上記マスター型からの出射位置を連続的に移動させることによって、目的とする立体物を上記光硬化性樹脂液中に形成することである。
【0009】
【作用】
上記マスター型は連続した物体であり、当該マスター型の一横断面形状の光を一度に出射し、上記横断面を除々に移動させることで各断面光が連続的に出射されるので、マスター型と同じ横断面形状の連続した断面光をアナログ的に出射させることができる。
マスター型からの出射光が、上記結像素子を経て光硬化性樹脂液の液中に結像するので、マスター型の横断面と相似形状の像光が光硬化性樹脂液の液中に形成される。
そして上記像光によってその部分の光硬化性樹脂液が硬化する。そして上記像光の位置が光硬化性樹脂液中で除々に移動するにつれて光硬化性樹脂液の硬化位置が除々に移動するので、上記像光によってマスター型と相似形状の中実な3次元造形物が光硬化性樹脂液中に形成される。そして、その成形精度は高い。
したがって、平滑な光学表面を有し、マスター型と相似形状で同等の表面粗さの3次元造形物が形成される。
【0010】
【実施態様1】(請求項2に対応)
実施態様1は、上記解決手段1の光造形方法について、上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から照射光を入射させるものであることである。
【作用】マッチング液に浸されていないところではマスター型に入射した光が内部反射して外に放射されることはないが、マッチング液内では当該マッチング液の屈折率が同等であるので内部反射しないで、マスター型の外に光りが放射される。したがって、マッチング液表面の位置の横断面においてマスター型から外部に放射され、光学的な断面像(断面光)が外気とマッチング液面との境界(すなわちマッチング液表面)に写し出される。
【0011】
【実施態様2】(請求項3に対応)
実施態様2は、上記解決手段1の光造形方法について、上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、さらに当該マッチング液表層に遮光機能を有する遮光物を配置した状態で、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から照射光を入射させるものであることである。
【作用】
マッチング液表面が大気に接していると、当該マッチング液表面がマスター型との接触部において表面張力のために歪み、このために上記断面光が乱れ、その結果、上記結像素子による結像精度が低下するが、マッチング液表層に遮光機能を有する遮光物を配置したことによって、当該マッチング液表面が表面張力で歪むことはなく、当該歪みによって断面光の均一性が損なわれることはない。
【0012】
【実施態様3】(請求項4について)
実施態様3は、上記解決手段1の光造形方法について、上記マスター型の任意の断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、該マッチング液表層に遮光機能を有する遮光物を配置し、さらに、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面以外からの照射光の入射を遮断した状態で、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から照射光を入射させるものであることである。
【作用】
マッチング液に浸されていない側のマスター型端面の外から照射光が入射すると、これがノイズとなって、上記結像素子による結像が乱れるが、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面の外から照射光(迷光)が入射することを遮断したことで、上記迷光が予め排除され、上記結像が乱されることが回避される。
【0013】
【実施態様4】(請求項5に対応)
実施態様4は、上記解決手段1の光造形方法について、上記マスター型の上記任意の横断面の位置を連続して移動させて出射断面を順次移動させながらマスター型から光を出射させる手段が、そのマスター型を所定速度で昇降させることによって上記マッチング液面に対して相対的に移動させるものであることである。
【0014】
【実施態様5】(請求項6に対応)
実施態様5は、上記実施態様4の光造形方法について、上記マスター型を固定し、マッチング液面の高さを所定速度で連続して変化させることである。
【0015】
【実施態様6】(請求項7に対応)
実施態様6は、上記解決手段1の光造形方法について、上記結像素子が等倍結像素子であることである。
【作用】
上記結像素子が当倍倍率の結像素子であるから、マスター型からの断面光が、造形装置の光硬化性樹脂液中にマスター型の横断面形状と等倍で結像する。したがって、マスター型と等倍の物体が光硬化性樹脂液中に造形される。
【0016】
【実施態様7】(請求項8に対応)
実施態様7は、上記解決手段1の光造形方法について、上記結像素子が縮小結像素子であることである。
【作用】
上記結像素子が縮小結像素子であるから、マスター型からの断面光が、造形装置の光硬化性樹脂液中にマスター型の横断面形状と相似で縮小されて結像する。したがって、マスター型と相似形で縮小された物体が光硬化性樹脂液中に造形される。
【0017】
【実施態様8】(請求項9に対応)
実施態様8は、上記解決手段1の光造形方法について、上記光硬化性樹脂液と遮光機能を有する高粘度液体を容器に満たし、上記高粘度液体と光硬化性樹脂液との境界(光硬化性樹脂液表面部)が常に結像光の直ぐ下に位置していることである。
【作用】
光硬化性樹脂液中で硬化した部分が、その直ぐ下の上記高粘度液体に埋没して当該高粘度液体で保持されるので、硬化された造形物体の保形性が高い。
【0018】
【解決手段2】(請求項10に対応)
上記課題解決のために講じた手段(解決手段2)は、上記解決手段1の光造形方法を実施するための光造形装置であり、光硬化性樹脂に光を照射して光硬化させ、この光照射位置を順次移動させて、立体物を形成する光造形装置について、次の(イ)乃至(ハ)によって構成されるものである。
(イ)照射用の光源、光透過材料によるマスター型、当該マスター型の構成材と同等の屈折率の液体すなわちマッチング液とを入れるマスター用容器、及びマッチング液を供給する供給装置から構成される断面データ供給装置と、
(ロ)該断面発光部からの出射光を結像させる結像装置と、
(ハ)光硬化性樹脂液を入れる造形用容器から構成される造形装置とからなること。
【0019】
【作用】
上記断面データ供給装置はマスター型の一断面形状の光を一度に出射し、また、断面光を出射する断面の位置を連続的に移動させる機能を有するので、マスター型と同形状の連続した断面光をアナログ的に出射することができる。
また、上記結像装置は、上記断面光を光硬化性樹脂液の液中に結像させる機能を有するので、マスター型と相似形状の像光を光硬化性樹脂液中に形成させることができる。
さらに、上記造形装置は光硬化性樹脂液を収容していて、上記像光でマスター型と相似形状の中実な3次元造形物が上記光硬化性樹脂液中に形成される。
したがって、アナログ的に滑らかな光学表面を有し、マスター型と相似形状で同等の表面粗さの3次元造形物を形成することができる。
【0020】
【実施態様1】(請求項11に対応)
実施態様1は、上記解決手段2の光造形装置について、そのマスター容器が、上記マッチング液とともにその上面に重ねて遮光液を入れる容器であることである。
【作用】
遮光液は迷光を遮断する機能を有するので、迷光が含まれない断面光がマスター型の横断面から出射される。
【0021】
【実施の形態】
次いで、図面を参照して実施例を説明する。
図1に示す実施例は、プラスチック光導波路の製造装置であり、大きく分けて3つの装置、すなわち断面データ供給装置1、結像装置2、及び造形装置3から構成されている光造形装置である。そして、上記の断面データ供給装置1は、照射用の紫外線ランプ11と、成形目的物、すなわち造形物とほぼ同じ形状で光透過性材料で作られたマスター型12と、マスター型12と同屈折率のマッチング液13とこれらを収納したマスター用容器14とマッチング液を供給する供給装置15とから構成されている。上記のマスター型12は、図7に示す拡大導光路アレイであり、多数の導光路12aを有しており、多数の導光路12aの上端の隙間は遮光板12bで塞がれている。なお、このマスター型12の立体形状については、所定の立体物形状が形成されるように、誤差分を見込んで予め若干補正された形状である。
また、上記の結像装置2は結像レンズ21で構成され、造形装置3は造形用容器31に液状光硬化性樹脂液32を入れたものである。
【0022】
上記装置の動作は次のとおりである。
マスター用容器14にマスター型12を配置し、供給装置15からマッチング液12をマスター用容器14に除々に供給する。このとき、紫外線ランプ11からの紫外線がマスター型12の導光路12aの上端面に入射し、入射した光は、内部反射しながら導光路12aの内部を経て、マッチング液表面13の高さ位置まで導かれ、マスター型12の構成材とマッチング液13は屈折率が同等であるので、マッチング液13の液面13aと触れたところで導光路12aの外に放射される。したがって、マッチング液13の液面13aの高さ位置におけるマスター型12の横断面からその断面形状の断面光が出射される。そして、マッチング液を除々に連続して供給することで、マッチング液13の液面13aのマスター型12に対する高さ位置が除々に上方に移動するから、これにつれて上記断面光の出射位置が除々に上方に移動する。したがって、マスター型12の任意の位置の横断面形状とその横断面の高さ位置が連続発光(無限の断面データ)として得られる。
【0023】
上記結像装置3は、断面データ供給装置1からの出射光を結像レンズ21で造形装置で結像させる作用を奏する。結像装置として焦点距離固定の集光レンズを使用することによって、断面データ供給装置1における上記横断面の高さ位置の移動に連れて、造形装置での結像高さが自然に変化する。なお、結像レンズ21は用途によって、等倍,拡大,縮小系を適宜使い分けてもよく、また、エネルギー密度を高くして硬化領域を狭くするには、開口数(NA)が大きな光学素子を用いることが望ましい(詳細は特開平11−170377号公報を参照されたい)。
そして、造形用容器31に光硬化性樹脂液32を十分満たし、結像装置2によって最初から最後まで出射光を光硬化性樹脂液中で結像させることによって、図1(b)に示すように、所定の立体物Aが光硬化性樹脂液中に形成される。
【0024】
図2にマッチング液13の上に遮光液16を配置した実施例を示している。
遮光効果がある遮光液16は、染料や顔料を含有し、マスター型の構成材とは屈折率が異なり、マッチング液より比重が小さい液体である。図1の実施例のようにマッチング液のみによる場合は、図2(b)のように、マッチング液13がその表面張力でマスター型の導光部12aに沿って盛り上がって上記の断面光が乱れ、このために液状光硬化性樹脂内での結像面が乱れる。しかし、遮光液でマッチング液の表面が覆われるので、マッチング液の上記盛り上がりが低減され(図2(c))、結像精度が向上する。
【0025】
図3は結像素子を等倍結合素子にした例である。この例では等倍結像するので、マスター型と同寸法の立体物が成形される。また実施例の等倍結像レンズ22は、テレセントリック(正立像の結像)系で、多数のマイクロレンズによる複合レンズである。この光学系によって断面光が均等な照度で結像されるので、液状光硬化性樹脂液の硬化速度が場所の如何に関わらず均一であり、したがって、立体物が高精度で作成される。
【0026】
図4は結像素子を縮小結像素子にした例である。この例では縮小結像レンズ23によって縮小倍で結像されるので、マスター型を縮小した立体物を作ることができる。このように、縮小結像レンズ23を用いてマスター型の10分の1に縮小された造形物を成形することができ、この程度に縮小すると、マスター型の精度よりも造形物の寸法精度及び表面粗さ精度は10倍に向上する。
【0027】
図5、図6に示す実施例は、液状光硬化樹脂液の下方に遮光支持液を介在させたものである。立体造形物の下方部分を造形した後に、光硬化性樹脂液の下方に、遮光支持液体33として遮光機能を有する高粘度液体、例えばパラフィン材料を注入し、この遮光支持液体33の光硬化性樹脂液32との境界(光硬化性樹脂液の下面)が常に結像素子による結像光の直ぐ下に位置するように、その高さ位置を制御している。遮光支持液体33は遮光機能を有する高粘度液体であるので、造形された部分にさらに光が照射されることはなく、さらに造形途中の立体物の下方部分が高粘度液体で支持されるので、これの変形によって位置が変動することは防止される。
なお、上記の遮光支持液体33としての遮光性の高粘度液体としては、流動性があればよいので、例えば、造形工程の途中で冷却されるなどして固化またはゲル化するものであっても問題はなく、この場合は、あらためて高粘度液体を造形容器に注入する必要はない。
【0028】
ところで、図5の例では、供給装置34で、立体物の形成進行に追従して遮光支持液の上面(光硬化性樹脂液との境界面)が上昇するように遮光支持液を供給し、最終的には遮光支持液の上面が、最終成形品の上端に達するまで供給する(図5(b))。この場合、遮光支持液体として、例えばパラフィン材料を用い、供
給装置34からは高温(低粘度)のものを供給し、造形用容器31の下方部分で冷却されて高粘度になるようにすれば、供給装置34からの供給抵抗を低減することができ、また、造形用容器への遮光支持液体の流入による造形中のものへの影響が小さい。そして粘度が低下した遮光支持液体で立体物がその位置でしっかりと支持される。
【0029】
また、図6に示す例は、造形物固定台35に造形中の立体物を支持させ、立体物の形成の進行に追従するように造形用容器31の高さを昇降ステージ36で上昇させるようにしたものであり、この実施例では、ステージ上昇過程における遮光支持液体の動きは小さいので、遮光支持液体の流入等による遮光支持液体の動きの影響を回避することができる。また、この例でも、図5の例と同様に遮光支持液体の上方部分を高温(低粘度)にし、下方部分を低温(高粘度)にすることで、さらにその効果は顕著になる。
【0030】
図7に光伝送部品としての拡大光導波路アレイを示している。この拡大光導波路アレイでは、画像を入力できる画像入力部とその画像情報光を導く導光路とそれら画像情報を出力する画像表示部から構成され、入力画像を約3倍に拡大する機能を有している。尚、画像入力部は導光路と連結されており、連結部分は透明、その他は遮光機能を有し、また、導光路の位置を維持する機能を有している。導光路はコアとクラッドから構成されており、外に漏らすことなしに光を伝送するものである。画像表示部は画像入力部と同じ構成および作用を有する。
【0031】
本発明の図1の実施例1による造形物を用いて光伝送部品を製造する方法を図8に示している。この製造方法では、(a),(b),(c),(d)の順序でその工程が進行する。
まず、図8(a)のコア部81は、図1の実施例によって形成した造形物であり、図8(b)の工程で上記コア部81にクラッド部82を塗布し、乾燥させて線径0.05〜0.1mmの導光部を形成する。次いで、画像表示部に当たる遮光部83を形成し、最後にその下の部分を削除する。なお、上面、底面が板状の遮光部84,83になっているのは、コア部を形成して後にその形状が崩れないように支持する支持板の役目を果たすためである。
【0032】
参考までに図9に拡大導光路アレイをタイリングした画像表示装置を示している。このものは、画像光源と図7の光学素子とフレーム(図示略)から構成される。画像光源と光学素子の画像入力部とを連結させ、それぞれの光学素子間に隙間がないように配置してフレームに固定している。これによって、大画面で奥行き寸法が小さく、かつ、光学素子間の繋ぎ部の画像位置ズレのない、鮮明な画像表示装置が構成される。
【0033】
次いで、図10を参照して、レンズアレイの製造装置の実施例を説明する。
このものは、断面発光装置50、縮小結像素子(レンズ)61、造形装置70を備えており、上記の断面発光装置50は、マスター用容器51、光源52、マスター型昇降ステージ53、遮光板54、マスターレンズ55、遮光液56、マッチング液57を備えており、他方、造形装置70は、造形用容器71、液状光硬化性樹脂液72、遮光支持液73、立体物降下ステージ74を備えている。
上記断面発光装置50(断面データ供給装置)では単レンズ状のマスターレンズ55をマスター型昇降ステージ53で繰り返し昇降させるとともに、マスターレンズ55の一回の上昇及び下降の度に、これに同期させて造形装置70の立体物下降ステージ74を所定ストロークだけ間欠的に下降させる。これにより、同一形状のレンズを連続して成形してレンズアレイBを成形することができる。また、1個のマスターレンズ55を用いて多数のレンズが連続して形成されるから、マスター型が単純であり、それだけ製作コストは低い。
【0034】
【発明の効果】
この発明の効果を主な請求項毎に整理すれば次のとおりである。
1.請求項1の発明
請求項1のものは、目的とする形状の立体物と同等の形状のマスター型を用い、該マスター型の任意の横断面から所定の波長の光、すなわち、光硬化性樹脂の硬化波長の光を順次出射し、その断面光を結像素子によって液状の光硬化性樹脂液中に結像させて光硬化性樹脂液を照射し、当該結像光の照射によって上記光硬化性樹脂を硬化させる方法であるので、目的とする形状の立体物を高精度で形成することができ、また、通常のレーザー光とガルバノミラーを用いて順次積層する方法に比して、マスター型を用いるので、高価なレーザー光とガルバノミラー等の装置が不要であり、製作装置のコストが低い。
【0035】
2.請求項2の発明
請求項2のものは、上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、そのマスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面からその照射光を入射させ、入射した光は、マッチング液に浸されていないところではマスター型内で内部反射して外へは漏れず、マッチング液に浸されているところで当該マッチング液の屈折率がマスター型と同等であるのでその内部反射が無くなってマスター型外に出射される。そして、上記のマスター型外への出射光によって、光学的な断面像(断面光)が外気とマッチング液面との境界に写し出される。したがって、任意の断面データの光が得られる。
【0036】
3.請求項5の発明
請求項5のものは、上記マスター型の任意の横断面から順次に光を出射する手段において、該マスター型を所定速度で昇降させることによってマッチング液面に対して相対的に移動させるだけで、光学的な断面像(断面光)を外気とマッチング液面との境界に写し出すことができるので、任意の断面データの光が簡単に得られる。
【0037】
3.請求項6の発明
請求項6のものは、上記マスター型をマスター固定台に固定し、マッチング液面の高さを順次所定速度で変化させる方法であるから、任意の断面データの光が簡単に得られる。
【0038】
4.請求項7の発明
請求項7のものは、結像素子は等倍結像素子であるので、マスター型と同等の大きさの立体物を得ることができる。
【0039】
5.請求項8の発明
請求項8のものは、結像素子が縮小結像素子であるので、マスター型より小さい立体物を得ることができる。また、相対的に表面粗さが小さくなるので、導光路からの光の漏れ等の光学特性が向上する。また、目的とする造形立体物より大きなマスター型でよいので製作が簡単になる。
【0040】
6.請求項10、請求項11の発明
請求項10、請求項11のものは、照射用の光源、光透過材料からなるマスター型、当該マスター型と同屈折率のマッチング液と遮光液とを入れるマスター用容器、及び上記マッチング液を供給する供給装置とから構成される断面データ供給装置と、断面データ供給装置からの断面データを結像させる結像装置と、液状光硬化性樹脂液を入れる造形用容器とから構成される造形装置からなるものであるから、請求項1の光造形方法によって目的とする形状の立体物を高精度で形成することができる。
【0041】
7.請求項12の発明
請求項12のものは、請求項1乃至請求項9の光造形方法、又は、請求項10、請求項11の光造形装置で造形された立体物をコア部とし、その周りを屈折率の高い材料で被覆してクラッド部とするものであるから、照射光の漏れが少なく、したがって、短い加工時間で高品質の光伝送部品を製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、マスター型として拡大導光路アレイを用いて実施例の光造形装置を模式的に示す全体構成図であり、(a)は、この光造形装置による光造形工程の初期段階を示し、(b)は最終段階を示す図である。
【図2】(a)は、遮光液を用いた断面データ供給装置の例の模式的な構成図,(b)は図1の例におけるマッチング液面の拡大図、(c)は図2(a)の例におけるマッチング液面の拡大図である。
【図3】は、結像レンズにテレセントリック系等倍結像素子を用いた例の全体構成図である。
【図4】は、結像素子に縮小結像素子を用いた例の全体構成図である。
【図5】(a)は、造形用容器に遮光支持液を収容した造形装置の例の造形初期段階の造形装置全体構成図、(b)は造形最終段階の造形装置全体構成図である。
【図6】(a)は、造形用容器に遮光支持液を収容した造形装置の他の例の造形初期段階の造形装置全体構成図、(b)は造形最終段階の造形装置全体構成図である。
【図7】は、図1の実施例においてマスター型として用いた拡大導光路アレイのの斜視図である。
【図8】は、拡大導光路アレイ光の製作工程を示す模式図である。
【図9】は、図7の拡大導光路アレイによる画像表示装置の斜視図である。
【図10】は、マスター型として一つのレンズを用いてレンズアレイを成形する他の実施例の全体構成図である。
【符号の説明】
1:断面データ供給装置
2:結像装置
3:造型装置
11:照射用の光源(紫外線ランプ)
12:マスター型
12a:導光部
12b:遮光板
13,32,57:マッチング液
14:マスター容器
15:マッチング液供給装置
16:遮光液
21:結像レンズ
22:等倍結像レンズ
23:縮小結像素子(レンズ)
31:造形用容器
32:液状硬化性樹脂液
33:遮光支持液
34:遮光支持液供給装置
35:固形物固定台
36:昇降ステージ
54:遮光板
55:マスターレンズ
56:遮光液
[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a plastic optical waveguide and other optical elements in general optical fields (micro-optical field, optical communication field, optical information field, etc.), and an optical waveguide array for optical transmission. It can be used for molding of liquid crystal display panels, magnifying optical systems for rear projectors, and other products of complicated shapes requiring high molding accuracy.
[0002]
[Prior art]
Flat panel displays include a liquid crystal display, an organic EL display, a plasma display, and the like, but it is difficult to increase the screen size (for example, 100 inches) at the current technical level, and it is very expensive if not impossible. It becomes something. As a method for solving this problem with the current technology, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-169833. As in this method, a display having a small screen size is arranged in a tile shape with a slight gap (tiling). In addition, there is an optical fiber array in which an optical fiber is expanded from each display into a taper and guided on a display to form a large screen (enlarged light guide path array).
[0003]
In addition, in the current technology, a method of arranging optical fibers one by one is adopted, and the number thereof is, for example, a resolution SXGA and the number of pixels is 1280 × 1024 (about one million). If such optical fibers are connected, it takes 11 days even if one optical fiber is connected in one second. For this reason, it takes a great deal of labor to manufacture the optical fibers, and therefore, the manufacturing cost increases.
Recently, there is a method of directly forming a fiber sheet with a mold (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-50968) and a method of forming a fiber sheet on a film-shaped plastic sheet by an embossing method (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-54918). . Further, as a method of processing into a tapered shape, a method in which a tapered hole is drilled in a block of a clad material by a laser and a core material is filled in the portion (Japanese Patent Laid-Open No. 8-179131), or a bundled fiber Is heated and vibrated to form a tapered shape (Japanese Patent Laid-Open No. 64-11922). However, when they are applied to the production of the above-mentioned enlarged light guide path, there are problems in their accuracy and processing speed. That is, for example, it is a problem that a fiber sheet can be laminated accurately (about 1,000 layers) in a short time, a problem that light may leak due to a processing roughness of a laser or the like, and a problem of a laser beam. In the case where the bundled fiber is heated and vibrated, there is a problem that the degree of alignment may not be maintained if the bundled fiber is deformed by the heating vibration.
[0004]
Furthermore, as a manufacturing method in consideration of the processing speed, it is conceivable to utilize an optical shaping method, and a linear optical fiber can be formed as in JP-A-2000-347043. In addition, unlike the method of manufacturing a fiber sheet, since processing can be performed in the optical axis direction, there is an advantage that processing can be performed in a short time.
However, assuming the above-described large-screen light guide path shape, there is a problem that the diameter of the optical fiber must be changed one by one in order to make the opening shape of the display unit the same shape. When the length of the light guide path is reduced (thinning of the light guide path: reduction in material cost and weight), the light guide path is required to have a curved shape as shown in FIG.
[0005]
On the other hand, it is possible to form a free-form surface with a commercially available stereolithography device using a galvanometer mirror or the like, but the molding accuracy is only about 0.1 mm, so that light leakage or scattering from an optical fiber occurs, It does not function as an optical fiber. In order to prevent leakage or scattering of light from the optical fiber, an accuracy (here, surface roughness) of at least 1/10 of the wavelength of visible light (0.39 to 0.77 μm) is required to be 0.04 μm. Even in the case of the optical shaping method using two-photon absorption described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-158050 (currently the highest precision), the roughness is 0.2 to 0.5 μm.
In these methods, since the slice cross-sectional shape of the target object is intermittently cured for each layer, it is difficult to achieve high precision.
[0006]
[Patent Document 1] JP-A-60-169833
[Patent Document 2] JP-A-10-50968
[Patent Document 3] JP-A-10-54918
[Patent Document 4] JP-A-8-179131
[Patent Document 4] JP-A-64-11922
[Patent Document 4] JP-A-2000-347043
[Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-158050
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an enlarged light guide path component capable of increasing the size of a display, a light having a thinner shape (a light guide section is curved), high productivity (short-time processing), and light that can be processed in a short time. The purpose of the present invention is to devise a processing method in which the optical surface is made to have a surface roughness of 0.04 μm or less by utilizing the shaping method to continuously form and cure.
[0008]
[Measures taken to solve the problem]
[Solution 1] (corresponding to claim 1)
Means related to the manufacturing method (solution 1) taken to solve the above-described problem is to irradiate the photocurable resin with light to perform photocuring, and sequentially move the light irradiation position to form a three-dimensional object. About stereolithography
Using a master mold having a shape necessary for forming a target three-dimensional object, light having a predetermined wavelength, that is, light having a curing wavelength of a photocurable resin is sequentially emitted from an arbitrary cross section of the master mold, and emitted light of this cross section is emitted. Is formed in a liquid of a photo-curable resin by an image-forming element to cure the photo-curable resin, and by continuously moving an emission position of the emitted light from the master mold, a three-dimensional object is obtained. Forming an object in the photocurable resin liquid.
[0009]
[Action]
The master mold is a continuous object, and emits light having one cross-sectional shape at one time at a time, and each cross-sectional light is continuously emitted by gradually moving the cross-section. A continuous cross-sectional light having the same cross-sectional shape as that described above can be emitted in an analog manner.
Since the light emitted from the master mold forms an image in the photocurable resin liquid through the imaging element, image light similar in shape to the cross section of the master mold is formed in the liquid of the photocurable resin liquid. Is done.
Then, the photocurable resin liquid in that portion is cured by the image light. Then, as the position of the image light gradually moves in the photo-curable resin liquid, the curing position of the photo-curable resin liquid gradually moves. An object is formed in the photocurable resin liquid. And its molding accuracy is high.
Therefore, a three-dimensional structure having a smooth optical surface, a shape similar to that of the master mold, and the same surface roughness is formed.
[0010]
Embodiment 1 (corresponding to claim 2)
In the first embodiment, in the stereolithography method according to the first aspect of the present invention, the means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold includes a light-transmitting material for the master mold, and the master mold has an equivalent shape. That is, it is to be immersed in a liquid having a refractive index, that is, a matching liquid, up to a predetermined position, and to irradiate irradiation light from an end surface of the master die which is not immersed in the matching liquid.
The light incident on the master mold is not internally reflected and radiated outside where it is not immersed in the matching liquid. However, since the refractive index of the matching liquid is the same in the matching liquid, the internal reflection occurs. No light is emitted outside the master mold. Therefore, the light is emitted from the master mold to the outside at the cross section at the position of the matching liquid surface, and an optical cross-sectional image (cross-sectional light) is projected on the boundary between the outside air and the matching liquid surface (that is, the matching liquid surface).
[0011]
Embodiment 2 (corresponding to claim 3)
In a second embodiment, in the stereolithography method according to the first aspect of the present invention, the means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold includes a light-transmitting material for the master mold, and the master mold has an equivalent structure. Irradiation light is immersed from the master die end surface on the side not immersed in the matching liquid, with the liquid having the refractive index, that is, the matching liquid, immersed to a predetermined position, and a light-shielding material having a light-shielding function arranged on the surface of the matching liquid. It is something.
[Action]
When the surface of the matching liquid is in contact with the atmosphere, the surface of the matching liquid is distorted due to surface tension at a contact portion with the master mold, and thus the cross-sectional light is disturbed. As a result, the imaging accuracy of the imaging element However, by disposing a light-shielding material having a light-shielding function on the surface layer of the matching liquid, the surface of the matching liquid is not distorted by surface tension, and the distortion does not impair the uniformity of the cross-sectional light.
[0012]
Embodiment 3 (Claim 4)
A third embodiment is the stereolithography method according to the first aspect of the present invention, wherein the means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold includes a light transmission material for the master mold, and the master mold has the same refraction. Liquid, i.e., a matching liquid, to a predetermined position, a light-shielding material having a light-shielding function is arranged on the surface of the matching liquid, and furthermore, incident light from other than the master mold end surface on the side not immersed in the matching liquid is irradiated. In the shielded state, irradiation light is made to enter from the master die end surface on the side not immersed in the matching liquid.
[Action]
When irradiation light is incident from outside the master mold end face not immersed in the matching liquid, this becomes noise and disturbs the image formation by the imaging element. However, the master mold end face not immersed in the matching liquid is disturbed. By blocking irradiation light (stray light) from entering outside, the stray light is eliminated in advance, and the image formation is prevented from being disturbed.
[0013]
Embodiment 4 (corresponding to claim 5)
Embodiment 4 is an optical shaping method according to Solution 1, wherein the means for emitting light from the master mold while continuously moving the position of the arbitrary cross section of the master mold and sequentially moving the emission cross section includes: The master mold is moved up and down at a predetermined speed to move the master mold relative to the matching liquid level.
[0014]
Embodiment 5 (corresponding to claim 6)
In a fifth embodiment, in the stereolithography method of the fourth embodiment, the master mold is fixed, and the height of the matching liquid surface is continuously changed at a predetermined speed.
[0015]
Embodiment 6 (corresponding to claim 7)
A sixth embodiment is the stereolithography method according to the first aspect of the present invention, wherein the imaging element is an equal-magnification imaging element.
[Action]
Since the image forming element is an image forming element having the same magnification, the cross-sectional light from the master mold forms an image in the photocurable resin liquid of the molding apparatus at the same magnification as the cross-sectional shape of the master mold. Therefore, an object of the same size as the master mold is formed in the photocurable resin liquid.
[0016]
Embodiment 7 (corresponding to claim 8)
A seventh embodiment is the stereolithography method according to the first aspect, wherein the imaging element is a reduced imaging element.
[Action]
Since the image forming element is a reduced image forming element, the cross-sectional light from the master mold is reduced and formed into an image in the photocurable resin liquid of the molding apparatus in a manner similar to the cross-sectional shape of the master mold. Therefore, an object reduced in shape similar to the master mold is formed in the photocurable resin liquid.
[0017]
Embodiment 8 (corresponding to claim 9)
An eighth embodiment is directed to the stereolithography method according to the first aspect of the present invention, wherein a container is filled with the photocurable resin liquid and a high-viscosity liquid having a light-shielding function, and a boundary between the high-viscosity liquid and the photocurable resin liquid (photocuring). (The surface of the non-conductive resin liquid) is always located immediately below the imaging light.
[Action]
The portion cured in the photocurable resin liquid is buried in the high-viscosity liquid immediately below and held by the high-viscosity liquid, so that the cured shaped object has high shape retention.
[0018]
(Solution 2) (corresponding to claim 10)
The means (solution 2) taken for solving the above-described problem is an optical shaping apparatus for implementing the optical shaping method of the above-described solution 1, and the light curable resin is irradiated with light to be light-cured. An optical shaping apparatus that sequentially moves a light irradiation position to form a three-dimensional object is configured by the following (a) to (c).
(A) It is composed of a light source for irradiation, a master mold made of a light-transmitting material, a master container for holding a liquid having a refractive index equivalent to that of the master mold, ie, a matching liquid, and a supply device for supplying the matching liquid. A section data supply device;
(B) an imaging device that forms an image of light emitted from the cross-sectional light emitting unit;
(C) a molding device comprising a molding container for containing the photocurable resin liquid.
[0019]
[Action]
Since the above-mentioned cross-sectional data supply device has a function of emitting light of one cross-sectional shape at once and continuously moving the position of a cross-section for emitting cross-sectional light, a continuous cross-section having the same shape as the master die is provided. Light can be emitted in an analog manner.
Further, since the image forming apparatus has a function of forming the cross-sectional light into a liquid of the photocurable resin liquid, it is possible to form image light having a shape similar to that of the master mold in the photocurable resin liquid. .
Further, the modeling device contains a photocurable resin liquid, and a solid three-dimensional modeled product similar in shape to the master mold is formed in the photocurable resin liquid by the image light.
Therefore, it is possible to form a three-dimensional structure having a smooth optical surface in an analog manner, having a similar shape to the master mold, and having the same surface roughness.
[0020]
Embodiment 1 (corresponding to claim 11)
The first embodiment is that the master container of the stereolithography device of the above-mentioned solution 2 is a container for storing a light-shielding liquid together with the matching liquid on the upper surface thereof.
[Action]
Since the shading liquid has a function of blocking stray light, cross-sectional light that does not include stray light is emitted from the cross section of the master mold.
[0021]
Embodiment
Next, embodiments will be described with reference to the drawings.
The embodiment shown in FIG. 1 is an apparatus for manufacturing a plastic optical waveguide, which is an optical shaping apparatus which is roughly divided into three apparatuses, namely, a section data supply apparatus 1, an imaging apparatus 2, and a shaping apparatus 3. . The cross-sectional data supply device 1 includes an ultraviolet lamp 11 for irradiation, a master mold 12 made of a light-transmitting material in the same shape as a molding object, that is, a molded article, and the same refractive index as the master mold 12. It comprises a matching liquid 13 having a ratio, a master container 14 containing these, and a supply device 15 for supplying the matching liquid. The master die 12 is an enlarged light guide path array shown in FIG. 7, and has a large number of light guide paths 12a, and a gap at the upper end of the many light guide paths 12a is closed by a light shielding plate 12b. The three-dimensional shape of the master mold 12 is slightly corrected in advance in consideration of an error so that a predetermined three-dimensional object shape is formed.
The image forming apparatus 2 includes an image forming lens 21, and the shaping apparatus 3 includes a shaping container 31 and a liquid photocurable resin liquid 32.
[0022]
The operation of the above device is as follows.
The master mold 12 is placed in the master container 14, and the matching liquid 12 is gradually supplied to the master container 14 from the supply device 15. At this time, the ultraviolet light from the ultraviolet lamp 11 is incident on the upper end surface of the light guide path 12a of the master mold 12, and the incident light passes through the inside of the light guide path 12a while being internally reflected to the height position of the matching liquid surface 13. Since the components of the master mold 12 and the matching liquid 13 have the same refractive index, they are radiated out of the light guide path 12a when they come into contact with the liquid surface 13a of the matching liquid 13. Therefore, the cross-sectional light of the cross-sectional shape is emitted from the cross-section of the master mold 12 at the level of the liquid surface 13a of the matching liquid 13. By gradually and continuously supplying the matching liquid, the height position of the liquid surface 13a of the matching liquid 13 with respect to the master mold 12 gradually moves upward, and accordingly, the emission position of the cross-sectional light gradually increases. Move up. Therefore, the cross-sectional shape at an arbitrary position of the master mold 12 and the height position of the cross-section are obtained as continuous light emission (infinite cross-sectional data).
[0023]
The imaging device 3 has an operation of forming an image of the light emitted from the cross-section data supply device 1 by the imaging device using the imaging lens 21. By using a condenser lens having a fixed focal length as the image forming apparatus, the image forming height in the modeling apparatus naturally changes as the height position of the cross section in the cross-sectional data supply apparatus 1 moves. It should be noted that the imaging lens 21 may appropriately use a unity magnification, enlargement, or reduction system depending on the application. In order to increase the energy density and narrow the hardened region, an optical element having a large numerical aperture (NA) is required. It is desirable to use it (for details, refer to JP-A-11-170377).
Then, the modeling container 31 is sufficiently filled with the photo-curable resin liquid 32, and the imaging device 2 forms the emitted light from the beginning to the end in the photo-curable resin liquid to form an image, as shown in FIG. Then, a predetermined three-dimensional object A is formed in the photocurable resin liquid.
[0024]
FIG. 2 shows an embodiment in which the light shielding liquid 16 is arranged on the matching liquid 13.
The light-shielding liquid 16 having a light-shielding effect is a liquid that contains a dye or a pigment, has a different refractive index from that of the master-type constituent material, and has a lower specific gravity than the matching liquid. In the case where only the matching liquid is used as in the embodiment of FIG. 1, as shown in FIG. 2B, the matching liquid 13 swells along the master-type light guide portion 12a due to its surface tension, and the cross-sectional light is disturbed. For this reason, an image forming surface in the liquid photocurable resin is disturbed. However, since the surface of the matching liquid is covered with the light-shielding liquid, the swelling of the matching liquid is reduced (FIG. 2C), and the imaging accuracy is improved.
[0025]
FIG. 3 shows an example in which the imaging element is a unit-size coupling element. In this example, since an image is formed at the same magnification, a three-dimensional object having the same dimensions as the master mold is formed. Further, the unit-magnification imaging lens 22 of the embodiment is a telecentric (imaging of an erect image) system and is a compound lens including a large number of microlenses. Since the cross-section light is imaged with uniform illuminance by this optical system, the curing speed of the liquid photocurable resin liquid is uniform regardless of the location, and therefore, a three-dimensional object is created with high precision.
[0026]
FIG. 4 shows an example in which the image forming element is a reduced image forming element. In this example, since the image is formed at a reduced magnification by the reduction imaging lens 23, a three-dimensional object in which the master mold is reduced can be produced. In this way, it is possible to form a molded object reduced to one-tenth of the master mold by using the reduction imaging lens 23, and when it is reduced to this extent, the dimensional accuracy and the dimensional accuracy of the molded object are smaller than the accuracy of the master mold. The surface roughness accuracy is improved 10 times.
[0027]
In the embodiment shown in FIGS. 5 and 6, a light-shielding supporting liquid is interposed below a liquid photo-curable resin liquid. After shaping the lower part of the three-dimensional molded object, a high-viscosity liquid having a light-shielding function, for example, a paraffin material, is injected as a light-shielding support liquid 33 below the light-curable resin liquid, and the light-curable resin of the light-shielding support liquid 33 is formed. The height position is controlled so that the boundary with the liquid 32 (the lower surface of the photocurable resin liquid) is always located immediately below the image forming light from the image forming element. Since the light-shielding support liquid 33 is a high-viscosity liquid having a light-shielding function, no light is applied to the formed part, and the lower part of the three-dimensional object being formed is further supported by the high-viscosity liquid. A change in position due to this deformation is prevented.
Note that the light-shielding high-viscosity liquid as the light-shielding support liquid 33 only needs to have fluidity. For example, even if the liquid is solidified or gelled by being cooled during the molding process, for example, There is no problem, and in this case, it is not necessary to inject the high-viscosity liquid into the modeling container again.
[0028]
By the way, in the example of FIG. 5, the supply device 34 supplies the light-shielding support liquid such that the upper surface (the boundary surface with the photocurable resin liquid) of the light-shielding support liquid rises following the progress of the formation of the three-dimensional object. Finally, the liquid is supplied until the upper surface of the light-shielding supporting liquid reaches the upper end of the final molded product (FIG. 5B). In this case, for example, a paraffin material is used as
If a high-temperature (low-viscosity) material is supplied from the supply device 34 and is cooled at a lower portion of the modeling container 31 to have a high viscosity, the supply resistance from the supply device 34 can be reduced, In addition, the influence of the inflow of the light-shielding support liquid into the molding container on the object being molded is small. Then, the three-dimensional object is firmly supported at the position by the light-shielding supporting liquid having reduced viscosity.
[0029]
In the example shown in FIG. 6, the three-dimensional object being formed is supported by the three-dimensional object fixing stand 35, and the height of the forming container 31 is raised by the elevating stage 36 so as to follow the progress of the formation of the three-dimensional object. In this embodiment, since the movement of the light-shielding support liquid during the stage ascending process is small, the influence of the movement of the light-shielding support liquid due to the inflow of the light-shielding support liquid can be avoided. Also in this example, as in the example of FIG. 5, the effect becomes more remarkable by setting the upper part of the light-shielding support liquid to a high temperature (low viscosity) and the lower part to a low temperature (high viscosity).
[0030]
FIG. 7 shows an enlarged optical waveguide array as an optical transmission component. This enlarged optical waveguide array is composed of an image input unit capable of inputting an image, a light guide for guiding the image information light, and an image display unit for outputting the image information, and has a function of enlarging the input image by about three times. ing. Note that the image input unit is connected to the light guide path, the connection part is transparent, the other part has a light blocking function, and has a function of maintaining the position of the light guide path. The light guide path includes a core and a clad, and transmits light without leaking outside. The image display unit has the same configuration and operation as the image input unit.
[0031]
FIG. 8 shows a method of manufacturing an optical transmission component using the molded article according to the first embodiment of FIG. 1 of the present invention. In this manufacturing method, the steps proceed in the order of (a), (b), (c), and (d).
First, the core portion 81 of FIG. 8A is a model formed by the embodiment of FIG. 1, and the clad portion 82 is applied to the core portion 81 in the step of FIG. A light guide part having a diameter of 0.05 to 0.1 mm is formed. Next, a light shielding portion 83 corresponding to the image display portion is formed, and finally, a portion below the light shielding portion 83 is deleted. The reason why the upper and lower surfaces are plate-shaped light-shielding portions 84 and 83 is to serve as a support plate for forming a core portion and supporting the core so that its shape is not lost later.
[0032]
For reference, FIG. 9 shows an image display device in which an enlarged light guide array is tiled. This is composed of an image light source, the optical element of FIG. 7, and a frame (not shown). The image light source and the image input unit of the optical element are connected to each other, arranged so that there is no gap between the respective optical elements, and fixed to the frame. As a result, a clear image display device having a large screen, a small depth dimension, and no image position shift at a connecting portion between the optical elements is configured.
[0033]
Next, an embodiment of a lens array manufacturing apparatus will be described with reference to FIG.
This device includes a cross-sectional light emitting device 50, a reduced image forming element (lens) 61, and a shaping device 70. The cross-sectional light emitting device 50 includes a master container 51, a light source 52, a master type elevating stage 53, a light shielding plate. 54, a master lens 55, a shading liquid 56, and a matching liquid 57, while the shaping apparatus 70 includes a shaping container 71, a liquid photocurable resin liquid 72, a shading support liquid 73, and a three-dimensional object descending stage 74. ing.
In the cross-sectional light emitting device 50 (cross-sectional data supply device), the single-lens master lens 55 is repeatedly moved up and down by the master-type elevating stage 53, and synchronized with the single rise and fall of the master lens 55 once. The three-dimensional object lowering stage 74 of the modeling device 70 is intermittently lowered by a predetermined stroke. Thereby, the lens array B can be formed by continuously forming lenses having the same shape. In addition, since a large number of lenses are formed continuously using one master lens 55, the master mold is simple, and the manufacturing cost is correspondingly low.
[0034]
【The invention's effect】
The effects of the present invention are summarized as follows for each main claim.
1. The invention of claim 1
Claim 1 uses a master mold having a shape equivalent to that of a three-dimensional object having a desired shape, and emits light having a predetermined wavelength from an arbitrary cross section of the master mold, that is, light having a curing wavelength of the photocurable resin. Are sequentially emitted, the cross-sectional light thereof is formed into an image in a liquid photocurable resin liquid by an imaging element, the photocurable resin liquid is irradiated, and the irradiation of the image forming light cures the photocurable resin. Since it is a method, it is possible to form a three-dimensional object having a desired shape with high accuracy, and since a master mold is used, compared with a method of sequentially laminating using a normal laser beam and a galvanomirror, it is expensive. No equipment such as a laser beam and a galvanometer mirror is required, and the cost of the manufacturing apparatus is low.
[0035]
2. The invention of claim 2
According to a second aspect of the present invention, the means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold comprises a light-transmitting material for the master mold, and converts the master mold into a liquid having a refractive index equivalent to this, that is, a matching liquid. Immerse it to a predetermined position, apply the irradiation light from the end surface of the master mold that is not immersed in the matching liquid, and the incident light is reflected internally in the master mold outside where it is not immersed in the matching liquid Does not leak, and since the refractive index of the matching liquid is equivalent to that of the master type when immersed in the matching liquid, the internal reflection is eliminated and the matching liquid is emitted out of the master type. Then, an optical cross-sectional image (cross-sectional light) is projected on the boundary between the outside air and the matching liquid surface by the light emitted outside the master mold. Therefore, light of arbitrary cross-sectional data can be obtained.
[0036]
3. The invention of claim 5
Claim 5 is a means for sequentially emitting light from an arbitrary cross section of the master mold, by simply moving the master mold at a predetermined speed to move the master mold relatively to the matching liquid level, Since an optical cross-sectional image (cross-sectional light) can be projected on the boundary between the outside air and the matching liquid surface, light of arbitrary cross-sectional data can be easily obtained.
[0037]
3. The invention of claim 6
The sixth aspect is a method in which the master mold is fixed to a master fixing base and the height of the matching liquid level is sequentially changed at a predetermined speed, so that light of arbitrary cross-sectional data can be easily obtained.
[0038]
4. The invention of claim 7
According to the seventh aspect, since the imaging element is an equal-magnification imaging element, a three-dimensional object having the same size as the master type can be obtained.
[0039]
5. The invention of claim 8
According to the eighth aspect, since the imaging element is a reduced imaging element, a three-dimensional object smaller than the master type can be obtained. In addition, since the surface roughness is relatively small, optical characteristics such as light leakage from the light guide path are improved. In addition, since a master mold larger than the target three-dimensional object may be used, manufacturing is simplified.
[0040]
6. The invention of claims 10 and 11
According to the tenth and eleventh aspects, a light source for irradiation, a master mold made of a light transmitting material, a master container for containing a matching liquid having the same refractive index as the master mold and a light-shielding liquid, and supplying the matching liquid From a cross-sectional data supply device configured with a supply device that forms a cross-sectional data from the cross-section data supply device, and a modeling device configured to include a modeling container that holds a liquid photocurable resin liquid. Therefore, a three-dimensional object having a desired shape can be formed with high accuracy by the stereolithography method of the first aspect.
[0041]
7. The invention of claim 12
According to a twelfth aspect, a three-dimensional object formed by the stereolithography method according to any one of the first to ninth aspects or the stereolithography apparatus according to the tenth or eleventh aspect is used as a core part, and the periphery thereof has a high refractive index. Since the clad portion is formed by coating with a material, leakage of irradiation light is small, and therefore, a high-quality optical transmission component can be manufactured in a short processing time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall configuration diagram schematically showing an optical shaping apparatus of an embodiment using an enlarged light guide array as a master type. FIG. 1A shows an initial stage of an optical shaping process by the optical shaping apparatus. (B) is a diagram showing the final stage.
2A is a schematic configuration diagram of an example of a cross-sectional data supply device using a light-shielding liquid, FIG. 2B is an enlarged view of a matching liquid level in the example of FIG. 1, and FIG. 2C is FIG. It is an enlarged view of the matching liquid level in the example of a).
FIG. 3 is an overall configuration diagram of an example in which a telecentric equal-magnification imaging element is used for an imaging lens.
FIG. 4 is an overall configuration diagram of an example in which a reduced imaging element is used as an imaging element.
5A is an overall configuration diagram of an example of a modeling apparatus in which a shading support liquid is stored in a modeling container in an initial stage of modeling, and FIG. 5B is an overall configuration diagram of a modeling apparatus in a final stage of modeling.
FIG. 6A is an overall configuration diagram of a modeling apparatus in an initial stage of modeling of another example of a modeling apparatus in which a shading support liquid is stored in a modeling container, and FIG. 6B is an overall configuration diagram of a modeling apparatus in a final stage of modeling. is there.
FIG. 7 is a perspective view of an enlarged light guide array used as a master mold in the embodiment of FIG. 1;
FIG. 8 is a schematic view showing a manufacturing process of the enlarged light guide path array light.
FIG. 9 is a perspective view of an image display device using the enlarged light guide array of FIG. 7;
FIG. 10 is an overall configuration diagram of another embodiment in which a lens array is formed using one lens as a master mold.
[Explanation of symbols]
1: Cross section data supply device
2: Imaging device
3: Molding device
11: Light source for irradiation (ultraviolet lamp)
12: Master type
12a: light guide section
12b: light shielding plate
13, 32, 57: Matching liquid
14: Master container
15: Matching liquid supply device
16: Shading liquid
21: Imaging lens
22: 1 × imaging lens
23: Reduction imaging element (lens)
31: modeling container
32: Liquid curable resin liquid
33: Shading support liquid
34: Shading support liquid supply device
35: Solid object fixing stand
36: Elevating stage
54: Light shielding plate
55: Master lens
56: Shading liquid

Claims (13)

目的とする立体物形成に必要な形状のマスター型を用いて、該マスター型の任意の横断面から所定の波長の光すなわち光硬化性樹脂の硬化波長の光を順次出射させ、その横断面光を結像素子で光硬化性樹脂液の液中に結像させて光硬化性樹脂を硬化させ、上記マスター型からの横断面光の出射位置を連続的に移動させることによって、目的とする立体物を上記光硬化性樹脂液中に形成することを特徴とする光造形方法。Using a master mold having a shape necessary for forming a target three-dimensional object, light having a predetermined wavelength, that is, light having a curing wavelength of a photo-curable resin is sequentially emitted from an arbitrary cross section of the master mold, and the cross-sectional light Is formed in a liquid of a photo-curable resin by an image-forming element to cure the photo-curable resin, and by continuously moving the emission position of the cross-sectional light from the master mold, a target solid is formed. A stereolithography method, wherein an object is formed in the photocurable resin liquid. 上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、当該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から照射光を入射させるものであることを特徴とする請求項1の光造形方法。Means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold, the master mold is made of a light transmitting material, and the master mold is immersed in a liquid having a similar refractive index, that is, a matching liquid, to a predetermined position, and the matching is performed. 2. The stereolithography method according to claim 1, wherein the irradiating light is made to enter from a master die end face on a side not immersed in the liquid. 上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、当該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、次いで、上記マッチング液表層に遮光機能を有する遮光物を配置した状態で、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から光を入射させるものであることを特徴とする請求項1の光造形方法。Means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold, the master mold is made of a light transmitting material, and the master mold is immersed in a liquid having a similar refractive index, that is, a matching liquid, to a predetermined position, and then 2. An optical shaping method according to claim 1, wherein light is incident from an end surface of the master die which is not immersed in the matching liquid in a state in which a light-shielding material having a light-shielding function is arranged on the surface of the matching liquid. . 上記マスター型の任意の横断面から光を出射させる手段が、そのマスター型を光透過材料で構成し、当該マスター型をこれと同等の屈折率の液体すなわちマッチング液に所定の位置まで浸し、上記マッチング液表層に遮光機能を有する遮光物を配置し、さらに、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面以外からの入射を遮断した状態で、マッチング液に浸されていない側のマスター型端面から照射光を入射させるものであることを特徴とする請求項1の光造形方法。Means for emitting light from an arbitrary cross section of the master mold, the master mold is made of a light transmitting material, and the master mold is immersed in a liquid having a similar refractive index, that is, a matching liquid, to a predetermined position, and A light-shielding material having a light-shielding function is arranged on the surface of the matching liquid, and furthermore, in a state where incidence from other than the master mold end face not immersed in the matching liquid is blocked, the master mold end face not immersed in the matching liquid is cut off. 2. The stereolithography method according to claim 1, wherein the irradiation light is made to enter from above. 上記マスター型の上記任意の横断面の位置を連続して移動させて上記光の出射断面を順次移動させながらマスター型から光を出射させる手段が、そのマスター型を所定速度で昇降させることによって上記マッチング液面に対して相対的に移動させるものであることを特徴とする請求項1の光造形方法。The means for emitting light from the master mold while continuously moving the position of the arbitrary cross section of the master mold and sequentially moving the light emission cross section, raises and lowers the master mold at a predetermined speed. The stereolithography method according to claim 1, wherein the stereolithography is moved relatively to a matching liquid level. 上記マスター型を固定し、上記マッチング液面の高さを順次所定速度で変化させることによって、上記マスター型と上記マッチング液面の位置を相対的に移動させることを特徴とする請求項5の光造形方法。6. The light according to claim 5, wherein the position of the master mold and the position of the matching liquid are relatively moved by fixing the master mold and sequentially changing the height of the matching liquid at a predetermined speed. Modeling method. 上記結像素子が等倍結像素子であることを特徴とする請求項1の光造形方法。2. The stereolithography method according to claim 1, wherein said imaging device is a unit-size imaging device. 上記結像素子が縮小結像素子であることを特徴とする請求項1の光造形方法。2. The stereolithography method according to claim 1, wherein said imaging element is a reduced imaging element. 上記光硬化性樹脂液と遮光機能を有する高粘度液体を容器に満たし、当該高粘度液体と光硬化性樹脂液との境界が常に結像光の直ぐ下に位置していることを特徴とする請求項1の光造形方法。The photocurable resin liquid and a high-viscosity liquid having a light-shielding function are filled in a container, and the boundary between the high-viscosity liquid and the photocurable resin liquid is always located immediately below the imaging light. The stereolithography method according to claim 1. (イ)光照射用の光源、光透過材料によるマスター型、当該マスター型の構成材と同等の屈折率の液体すなわちマッチング液とを入れるマスター用容器、及び上記マッチング液を供給する供給装置から構成される断面データ供給装置と、
(ロ)上記断面発光部からの出射光を結像させる結像装置と、
(ハ)光硬化性樹脂液を入れる造形用容器を備えた造形装置とからなることを特徴とする光造形装置。
(A) A light source for light irradiation, a master mold made of a light-transmitting material, a master container for holding a liquid having a refractive index equivalent to that of the master mold, ie, a matching liquid, and a supply device for supplying the matching liquid. Cross-section data supply device,
(B) an image forming apparatus for forming an image of the light emitted from the cross-sectional light emitting section;
(C) a photolithography device comprising a photolithography device provided with a photolithography resin container for storing a photocurable resin liquid.
上記マスター用容器が、上記マッチング液の上面に重ねて遮光液を入れる容器である請求項10の光造形装置。The stereolithography device according to claim 10, wherein the master container is a container for storing a light-shielding liquid by being superposed on the upper surface of the matching liquid. 請求項1乃至請求項9の光造形方法で造形された立体物をコア部とし、その周りを屈折率が低い材料で被覆してクラッド部とした光学素子。An optical element comprising a core formed from a three-dimensional object formed by the optical forming method according to claim 1, and a clad formed by coating the core with a material having a low refractive index. 請求項12の光学素子を用いた画像表示装置。An image display device using the optical element according to claim 12.
JP2003019743A 2003-01-29 2003-01-29 Photo-fabrication method and device Pending JP2004233479A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003019743A JP2004233479A (en) 2003-01-29 2003-01-29 Photo-fabrication method and device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003019743A JP2004233479A (en) 2003-01-29 2003-01-29 Photo-fabrication method and device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004233479A true JP2004233479A (en) 2004-08-19

Family

ID=32949542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003019743A Pending JP2004233479A (en) 2003-01-29 2003-01-29 Photo-fabrication method and device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004233479A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8617335B2 (en) 2005-09-09 2013-12-31 Ricoh Company, Ltd. Miniature cell array structure and manufacturing method of miniaturized composite component using such a miniature cell array structure
JP2014109752A (en) * 2012-12-04 2014-06-12 Nikon Corp Optical element, imaging optical element, imaging device and optical element manufacturing method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8617335B2 (en) 2005-09-09 2013-12-31 Ricoh Company, Ltd. Miniature cell array structure and manufacturing method of miniaturized composite component using such a miniature cell array structure
JP2014109752A (en) * 2012-12-04 2014-06-12 Nikon Corp Optical element, imaging optical element, imaging device and optical element manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kowsari et al. High-efficiency high-resolution multimaterial fabrication for digital light processing-based three-dimensional printing
TW214584B (en)
JP4417911B2 (en) Optical three-dimensional modeling method and apparatus
JP3792168B2 (en) Optical three-dimensional modeling method and apparatus
JP2011098484A (en) Three-dimensional optical shaping apparatus, three-dimensional optical shaping method, and shaped article
CN105711088B (en) Photocuring 3D printer
JPH01163027A (en) Method and device for molding optical element
JP4669843B2 (en) Stereolithography apparatus and stereolithography method
KR100930788B1 (en) Multi-size stereolithography
JP2024045314A (en) Method and apparatus for casting polymeric articles - Patents.com
CN101452092A (en) Light guide board and method for producing the same
Surdo et al. Geometry-controllable micro-optics with laser catapulting
Kang et al. 3D printing optics with hybrid material
JP2004233479A (en) Photo-fabrication method and device
Xu et al. Continuous vat photopolymerization for optical lens fabrication
IT202000003653A1 (en) Predictive method and relative apparatus for isotropic stereolithographic 3D printing with hybrid light source at variable speed and power
JP3556358B2 (en) Uniform surface exposure type photo-curing modeling equipment
Park et al. Multiple fabrications of sacrificial layers to enhance the dimensional accuracy of microstructures in maskless projection microstereolithography
JP4459742B2 (en) Optical 3D modeling equipment
JP4005930B2 (en) Method for manufacturing light guide array
JP4459741B2 (en) Optical 3D modeling method
JPH06246837A (en) Optically shaping method and device
WO2019203871A1 (en) Membrane-coating stereolithography
JPH09141746A (en) Three-dimensional modeling device
JP3766811B2 (en) Optical waveguide unit manufacturing method and optical waveguide unit molding die