JP2004228601A - 基板処埋装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 反応管6内に、同一開口面積のバッファ室孔3を有するバッファ室17を設け、その内部にガスの上流側より下流側へ向かって開口面積が大きくなるガスノズル孔4を有するガスノズル2を配設し、ガスノズル2より噴出するガスを、一旦バッファ室17内に導入し、ガスの流速の差を均一化した後、バッファ室孔3よりウェーハ7へ供給する。
【選択図】 図1
Description
図10は、従来の技術にかかる縦型の基板処理装置における反応室である反応管内部の模式的な断面図である。
反応管106内部には、処理対象の基板としてウェーハ107を多段に重ねた状態で載置したボート108が挿入され、また反応管106内のウェーハ107をプロセス処理するためのガス導入部としてガスノズル101が設けてある。
ガスノズル101に複数のガスノズル孔103(図10では、5個の例を示した。)を設けることにより、処理用のガスはガス導入口105よりガスノズル101内を進行し各ガスノズル孔103から各ウェーハ107へ供給される。
各ウェーハ107へ供給されたガスは、各ウェーハ107上に所望の膜を成膜する等のプロセス処理の後、排気口118から反応管106外へ排気される構造となっている。
すなわち、図10に示す、複数枚のウェーハ107を一括してプロセス処理する装置において、ウェーハ1枚1枚に対しガスを供給する観点より検討すると、ガスノズル101は見かけ上、1枚1枚の各ウェーハ107へ均一にガスを供給しているようにみえるが、実際にはガス流量や流速に差が発生しており、全てのウェーハ107に同条件で供給されてはいないのである。
例えば、ガスノズル101に設けられた5箇所のガスノズル孔103を、ガスノズル101の導入口105に近い上流から、遠い下流へ向かって1番目、2番目…5番目とし、各々のガスノズル孔103より供給されるガス流量を、q1、q2…q5としたとき、q1>q2>…>q5となっている。
さらにガスの流速においても、1番目のガスノズル孔103からのガスが最も速く、以降、2番目、3番目と次第に遅くなってゆく。
この結果、各ウェーハ107に供給されるガスの流量や流速に不均一が生じてしまうのである。
これでは、ガスの供給量に大きく左右されるウェーハのプロセス処理において、積載された各ウェーハ107間の成膜に不均一が生じてしまう。
ウェーハ107へガスを供給している状態のガスノズル101内において、導入口105と1番目のガスノズル孔103との間におけるガスの流量をq00、ガスの圧力をp0とする。次に1番目と2番目のガスノズル孔103との間におけるガスの流量をq01、ガスの圧力をp1とする。以下同様にして、n−1番目とn番目のガスノズル孔103との間におけるガスの流量をq0(n-1)、ガスの圧力をpn-1とする。
一方、n番目のガスノズル孔103より噴出するガスの流量をqnとする。
q1>q2>…>qn-1>qn (1)
上流のガスノズル孔から下流のガスノズル孔にかけて減少していく。
これは、ガスノズル101内を上流から下流側に向かって流れるガスは、そのガス流量q0(n-1)が、ガスノズル孔103を通過するとき、当該ガスノズル孔103から噴出するガス流量qn分だけ減って次のガスノズル孔に向かうことになるためで、当該ガスノズル孔103を通過した後のガスのガス流量q0nは、式(2)のように
q0n=q0(n-1)−qn (2)
上流側から下流側にいくにしたがって減少する。
p1>p2>…>pn-1>pn (3)
このため、各ガスノズル孔103から噴出するガス流量qnは等しくならない。また、ガスノズル孔103の開口面積をSとすると、ガスノズル孔から噴出するガス流速Vは、
V=qn/S (4)
と表せる。各ガスノズル孔103から噴射されるガス流量qnは等しくないから、ノズル孔の開口面積が同一であると、各ガスノズル孔103から噴射されるガスの流速も異なる。従って、上述した従来のガスノズル101では、各ガスノズル孔103から噴射されるガスのガス流量もガス流速も異なるから、積載された各ウェーハへ、均一にガスを供給することができないと考えられる。
第1の解決策は、ガスノズル孔103の開口面積を上流から下流にかけて大きくしてやり、下流側にいくにしたがって減少するガス流量を開口面積の増大で稼ぐことが考えられる。しかし、開口面積の大きさによってガス流量を等しくしようとしても、式(4)から、開口面積の大きさに応じてガス流速が異なってしまう。したがって、各ガスノズル孔103から噴出するガスは、依然としてガス流速の不均一が解消されない。
尚、上述の問題はウェーハに限定されず、広く基板に共通する。
積層配置された基板を収納する反応室と、
前記反応室に基板の積層配置方向に沿って設けられた、基板処理用のガスを導入するためのガス導入部と、
基板の積層配置方向に沿って設けられた複数のガス供給口を有し、前記ガス導入部から導入される処理用ガスを前記複数のガス供給口から供給するようにしたバッファ室とを備えたことを特徴とする基板処埋装置である。
前記バッファ室に設けられた複数のガス供給口の開口面積がほぼ等しいことを特徴とする基板処埋装置である。
前記バッファ室の中にプラズマ発生用の電極を設けたことを特徴とする基板処埋装置である。
(発明の実施の形態)
ALD法は、ある成膜条件(温度、時間等)の下で、成膜に用いる2種類(またはそれ以上)の原料となるガスを1種類ずつ交互に基板上に供給し、1原子層単位で吸着させ、表面反応を利用して成膜を行う手法である。
尚、図1〜図9において共通する箇所には同一の符号を付して示した。
図4は、複数枚の被処理用の基板である直径200mmのウェーハを、反応室である石英製の反応管内に積載し、プロセス処理としてCVD法あるいはその中の1つであるALD法による成膜処理をおこなう縦型の基板処理装置例の外観を示した図である。
縦型の基板処理装置は、本体60および本体へ電力等を供給するユーティリティ部61を有している。
また、反応管6にてプラズマを生成する必要がある際は、反応管6内に電極52を設け、この電極52へRFマッチングユニット53を介して高周波電源51より高周波電力が加えられる。
そしてカセット棚34と、ウェーハのカセット32を外界と受け渡しをするI/Oステージ33との間では、カセットローダー35がウェーハのカセット32を運搬する。
I/Oステージ33は、装置前面に設置されており装置外部との間でウェーハが収納されたカセット32の授受を行なう。
I/Oステージ33に、ウェーハが収納されたカセット32をセットする。
I/Oステージ33にセットされたカセット32はカセットローダ35によって順次カセット棚34に連ばれる。
ウェーハ移載機38は力セット棚34からウェーハを搬出し、石英のボート8に搬送する。ボート8には100枚のウェーハが装填できるため、上記ウェーハ移載機38による搬送動作が何度か繰り返される。
ボート8へのウェーハの搬送が終了したら、ボ一ト8は、ボートエレベータ36により上昇して反応管6のなかに挿入され、この後、反応管6内部は気密に保持される。
またこのとき、プラズマCVD法あるいはその中の1つであるALD法により成膜処理をおこなう場合は、電極52に高周波電源51よりRFマッチングユニット53を介して高周波電力を加え、前記成膜用ガス中でプラズマを生成し、この成膜用ガスを活性化する操作もおこなわれるがその内容についても後述する。
成膜処理のプロセスが完了すると、ウェーハボート8は、ボートエレベータ36により反応管6より降ろされ、ウェーハ移載機38、カセット棚34、カセットローダ35を経由してI/Oステージ33に運ばれ、装置外部へ搬出される。
図2(a)は、本実施の形態にかかる縦型の基板処理装置における反応管の模式的な横断面図であり、(b)は、(a)のa−a’縦断面図である。
図2(a)において、縦型の反応室である反応管6の外周にはヒータ16が設けられ、内側には複数枚の被処理対象の基板としてウェーハ7が積層して載置されている。さらに反応管6の内壁とウェーハ7との間における円弧状の空間には、反応管6の下部より上部の内壁にウェーハ7の積載方向に沿って、バッファ室17が設けられ、そのバッファ室17のウェーハ7と隣接する壁の端部にはガス供給口としてのバッファ室孔3が設けられている。このバッファ室孔3は反応管6の中心へ向けて開口している。
そしてバッファ室17内のバッファ室孔3が設けられた端部と反対側の端部には、ガス導入部に設けられたガスノズル2が、やはり反応管6の下部より上部にわたりウェーハ7の積載方向に沿って配設されている。そしてガスノズル2には複数のガスノズル孔4が設けられている。
図3(a)は、図2に示されたガスノズルの斜視図であり、(b)は、同じく図2に示されたバッファ室の斜視図である。
図3(a)に示すガスノズル2は、断面が円形のパイプでその側面には、そのガスノズル2のほぼ最上部より、バッファ室17の底部に至る位置にまでガスノズル孔4が、ガス流の上流側より下流側へ向けて直線的に並んで設けられ、且つその開口面積は、前記ガス導入口から見て上流側(図3においては下方)より下流側(図3においては上方)に向かって大きくなっている。
図3(b)に示すバッファ室17は、断面が円弧状を有するパイプで、その内側の曲面の端部には、同じ開口面積を有するバッファ室孔3が、ウェーハ7の積載方向に沿って直線的に並んで設けられている。
反応管6下部の側面には、図示していない排気ポンプに連なる排気口18が設けられている。
すなわち、バッファ室17内において、各ガスノズル孔4より噴出したガスはバッファ室17の内部で各ガスの粒子速度が緩和された後、バッファ室孔3より反応管6内に噴出する。この間に、各ガスノズル孔4よりより噴出したガスは、互いの運動エネルギーを交換するので、各バッファ室孔3より噴出する際には、均一な流量と流速とを有するガスとすることができた。
図1は、本発明にかかる縦型の基板処理装置の反応管内部における、ガスノズルと、バッファ室と、ウェーハとの関係を示した模式的な断面図である。
図1において、反応管6内には、バッファ室17が設けられ、バッファ室17の内部にはガスノズル2が配設され、さらに反応管6内のガスを室外に排気する排気口18が設けられている。
さらに反応管6内には、バッファ室17に隣接して、ウェーハ7を載置した(図1においては、5枚載置している。)ボート8が設けられている。
ガスノズル2とバッファ室17には、ガスノズル孔4とバッファ室孔3とが設けられており(図1においては、各々5個設けられている。)、ガスノズル孔4の開口面積は、各ガスノズル孔4からのガスの噴出量が同量となるように、ガス導入口5から見て上流側が小さく、下流側に向かって大きくなっている。
しかし、前駆的な解決策にて説明したようにガスの流速においては、1番目のガスノズル孔4からのガスが最も速く、以降、2番目、3番目と次第に遅くなってゆく。
流量は同量だが流速は異なるQ1〜Q5のガス流は、バッファ室17内に一旦導入される。この間にQ1〜Q5のガス流は、運動のエネルギーの交換による流速差の均一化がおこなわれ、バッファ室17内の圧力はほぼ均一になる。
さらに、バッファ室孔3の各開口位置を、それぞれ隣接するウェーハ7と同ピッチとし、さらに載置された各ウェーハ7間の間隔の部分にガスを供給するように設けることで、流速および流量が均一化されたガスを効率よくウェーハ7へ供給でき好ましい。
流速および流量が均一化されたガスが効率よくウェーハ7へ供給されることで、各ウェーハ7間の成膜状態は均一なものとなることに加え、ウェーハ7のプロセス処理の速度を大幅に向上できる。
成膜をALD法でおこなう実施の形態について、CVD法の場合より、さらに具体的に説明する。
以下、図5、図6を用いて、成膜がALD法でおこなわれる場合について説明する。
尚、図5(a)(b)(c)において、(a)は反応室の外観を示し、(b)(c)は反応室の縦断面を示し、ヒータ、ウェーハ、ボート、反応管と炉口フランジとの接合部、ボート回転機構は省略してある。
また、反応管6の下部には排気口18が設けられている。
そして、ガス供給室43とバッファ室17との隔壁には、上述したガスノズルに設けられていたガスノズル孔と同様の構成を有するガス供給室孔47が設けられており、バッファ室17に設けられた各バッファ室孔3の開口位置を、それぞれ隣接するウェーハ7と同ピッチにて設置している。
この結果、「1)成膜処理プロセスにCVD法を用いた実施の形態」にて説明したのと同様に、ガス導入部からガスが一旦導入されて、積載された各ウェーハ7へガスを均一に供給することができる。
この反応ガスバッファ室42も、バッファ室17と同様にウェーハと隣接する位置に同一ピッチで反応ガスバッファ室孔48を有し、下部には反応ガス導入口45を有している。しかし、バッファ室17と異なりガス供給室43と電極52を有さず、さらに反応ガスバッファ室孔48は、開口面積が上流側から下流に向かうに従って大きくなる構成を有している。
反応管6内には、上部より下部にわたってバッファ室17が設けられ、バッファ室17に隣接してガス供給室43が設けられている。そしてバッファ室17内には、上部より下部にわたって電極保護管50に覆われた電極52が配設され、ガス供給室43の下部にはガス導入口5が設けられている。
またバッファ室17より、反応ガスバッファ室42と反対の方向へ反応管6の内壁を回ったところの下部に排気口18が設けられている。
反応管6内には、上部より下部にわたってバッファ室17と、それに隣接するガス供給室43が設けられており、バッファ室17内には、上部より下部にわたって、図示していないウェーハと隣接する位置に、同一の開口面積を有するバッファ室孔3が同ピッチで設けられている。尚、バッファ室孔3は、同一の厚みのバッファ室17の壁に同一の開口面積を有している。
反応管6内には、上部より下部にわたって、バッファ室17に隣接してガス供給室43が設けられている。そしてバッファ室17とガス供給室43との隔壁には、上部より、図示していないウェーハと隣接する位置よりもさらに下部にわたってガス供給室孔47が設けられている。ガス供給室孔47がバッファ室17の最下端まで開口してある理由は、バッファ室17の中にガスの淀み部を生じさせないためである。
尚、ガス供給室孔47の開口面積は、図3(a)にて説明したガスノズルに設けられたガスノズル孔と同様に、ガス流の上流側より下流に向かうに従って大きくなる構成を有している。
尚、本成膜例においては、処理用のガスとしてアンモニア(NH3)の活性種とジクロルシラン(SiH2Cl2)とを交互に供給し、原子層成膜法によつてSiNx膜(窒化シリコン膜)を形成する方法について説明する。
ガス供給室43に設けられたガス供給室孔47は、ここからバッファ室17に噴出するアンモニアの流量が同量となるように、ガス流の上流側より下流側に向かって開口面積が徐々に大きくなるように設けられている。
従って、ガス供給室孔47を通過してバッファ室17に噴出するアンモニアは、流速において、上流側で速く下流側で遅くなるが、流量においては、全てのガス供給室孔47において同一となる。
このバッファ室17に噴出したアンモニアは、ここに一旦導入され、互いの運動エネルギーの交換により流速の差が均一化され、バッファ室17の内部の圧力は均一になる。
そしてバッファ室17内において、アンモニアをプラズマ化することによりアンモニアの活性種が生成される。またこの時、バッファ室17内の圧力が均一な状態でプラズマが生成されるため、活性種の生成に影響のあるプラズマの電子温度やプラズマ密度の分布も均一になるため、より均一な状態の活性種が生成できる。
プラズマ等の作用で生成された活性種には寿命があり、プラズマ生成部とウェーハ7との距離が離れていると、ウェーハ7に供給される前に失活し、ウェーハ7上で反応に寄与する活性種の量が著しく減少してしまうため、プラズマの生成はウェーハ7の近傍でおこなうのが望ましい。
この構成によれば、バッファ室17内というウェーハ7の近傍でアンモニアの活性種を生成するので、生成したアンモニアの大量の活性種を効率よくウェーハ7へ供給することができる。
尚、2本の電極保護管50の間隔は、プラズマ14の生成がバッファ室17の内部に限定されるように、適切な距離に設定することが好ましく好適には20mm程度である。またプラズマ14の生成はバッファ室17のどこでも良いが、バッファ室17に導入されたガスがプラズマ中を通過していくことが望ましく、好適にはバッファ室孔3とガス供給室孔47の中間に位置するように設けると良い。
この結果、バッファ室孔3からウェーハ7に供給されるのは電気的に中性なアンモニアの活性種のみとなり、ウェーハ7のチャージアップによるダメージを回避できる。
さらに、バッファ室孔3は、多段に載置されたウェーハ7の間隔の中間に位置するよう設けてあるので、処理用のガスは、積載された各ウェーハ7へ充分に供給される。
しかし、本実施の形態において、ジクロルシランの供給は、ガス供給室43とバッファ室17の組合わせよりも簡易的な、反応ガスバッファ室42を用いて、ガス流量を等しくすれば、ウェーハ7において充分均一な成膜処理が可能である。
因みに、ボートを回転させない場合、ウェーハ7の膜厚の均一性は±5%程度であるが、ボートを回転した場合は<±1%となった。
図7は、本発明の異なる実施の形態例に係る縦型の基板処理装置の反応管の横断面図である。
図7に示す反応管6は、図6に示す反応管6と同様の構造を有しているが、図6においては、バッファ室17内にプラズマ発生用電極を配設していたのに対し、図7においては、ガスを活性化するための紫外線ランプ54と、紫外線がバッファ室17の外に照射されるのを防ぐための反射板58を組み合わせて設けてある。
ランプ54の光のエネルギーにより反応性ガスを活性化する。
以上の構成を有するバッファ室17内で活性種化された処理用のガスは、バッファ室孔3よりウェーハ7へ向かって噴出し、上述したALD法によりウェーハ7上に成膜がおこなわれる。
図8に示す反応管6は、図7に示す反応管6と同様の構造を有しているが、図7においては、反応性ガスを光のエネルギーで活性化するが、本実施では適宜な電気抵抗値を有する発熱線(以下、ホットワイヤーと記載する。)55を電源57で1600℃以上に加熱し、該ホットワイヤーに触れたガスを活性化するものである。
この適宜な電気抵抗値を有し活性種を発生するホットワイヤー55としては、0.5mm程度のW(タングステン)のワイヤー等が好個に適用できる。
このホットワイヤー55を、電源57の電力により1600℃以上に加熱し、これと接触した処理用ガスの熱エネルギーで活性化するものである。
以上の構成を有するバッファ室17内で活性化された処理用のガスは、バッファ室孔3よりウェーハ7へ向かって噴出し、上述したALD法によりウェーハ7上に成膜がおこなわれる。
図9に示す反応管6は、図6に示す反応管6と同様の構造を有しているが、図6においては、バッファ室17内にプラズマ発生用電極を配設していたのに対し、図9においては、処理用のガスが反応管6内に導入されるガス導入口5のさらに上流側のガス流路にリモートプラズマユニット56を配設し、ここを通過するガスにプラズマを生成する構成としたものである。
ここでリモートプラズマユニット56として、ICPコイル等が好個に用いられる。
この構成によれば、図6の装置と比べて、ウェーハに供給される活性種の量が減り処理効率が落ちるが、処理効率が落ちても構わない場合に用いられる.
3.バッファ室孔
4.ガスノズル孔
5.ガス導入口
6.反応管
7.ウェーハ
8.ボート
18.排気口
Q1〜4.ガスノズル孔より噴出するガスの流量
R1〜4.バッファ室孔より噴出するガスの流量
Claims (1)
- 積層配置された基板を収納する反応室と、
前記反応室に基板の積層配置方向に沿って設けられた、基板処理用のガスを導入するためのガス導入部と、
基板の積層配置方向に沿って設けられた複数のガス供給口を有し、前記ガス導入部から導入される処理用ガスを前記複数のガス供給口から供給するようにしたバッファ室とを備えたことを特徴とする基板処埋装置。
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