JP2004226328A - Appearance inspection system, quality evaluation system using the same and quality evaluation information providing system - Google Patents

Appearance inspection system, quality evaluation system using the same and quality evaluation information providing system Download PDF

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Akira Nakagaki
亮 中垣
Yuji Takagi
裕治 高木
Takashi Hiroi
高志 広井
Yasuo Nakagawa
泰夫 中川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology for miniaturizing an inspector installed at a point of production and easily configuring a process condition of a detected result. <P>SOLUTION: An appearance inspection system for obtaining an image of an inspection object and inspecting an appearance is provided with an image detector 100 for detecting the image of the inspection object and an information processor 200 for processing the image detected by the image detector 100 and determining the existence of abnormality emerging in the image of the inspection object. The image detector 100 and the information processor 200 can be connected through a network 300. The image detector 100 adds a data identifier to at least one of the detected image and its processed data and transmits it to the information processor. The information processor 200 identifies the received image based on the identifier included in the received data and determines the existence of the abnormality. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品または半製品について、検査の現場から検査結果を収集して、該検査結果を処理することにより、製品の検査結果に関する情報を生成して、該情報を要求元に提供する技術に係り、特に、生産現場に設置された検査装置から検査結果を収集して処理するための技術、および、この検査結果を用いて製品の品質評価を行う技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
生産工場において何らかの製品を量産するためには、それらの製品もしくは半製品（以下、半製品を含めて単に製品と称する）が仕様通りに生産されているかについて検査することが行われる。この種の検査は、人手による検査から、センサを用いた、機械による検査に移行している。しかも、センサの出力を電気的に処理し、その結果をディジタル情報に変換して、コンピュータにより処理することができるようしている。近年、検査は、製品の高機能化に伴って、精度向上が要求されている。そのため、検査装置が高機能化される傾向にある。
【０００３】
例えば、半導体、プリント基板等の製品について、一般的に行われる検査の一つとして、外観検査がある。外観検査には、例えば、製品の生産現場において、製品に、異物が付着しているか、傷などがついているかを検出する欠陥検査、製品が仕様通りの寸法で生産されているか等を確認する出来映え検査等の各種検査がある。この種の外観検査においても、作業者が目視により行う目視検査から、機械を用いて自動的に行う外観検査装置による検査に移行しつつある。外観検査の機械化は、検査について、省力化、高速化、高精度化が要求されることに伴って、より一層、進展している。
【０００４】
このような外観検査に用いられる外観検査装置は、検査対象となる製品を何らかの方法で撮像し、得られた画像について処理を行うことにより検査を行うものである。これら外観検査技術に関する従来技術としては、例えば、特許文献１（特開平８−１８１４２１号公報）に、プリント配線基板を対象とした外観検査装置に関する技術が開示されている。また、特許文献２（特開平９−２０３６２１号公報）に、半導体ウェハを対象とした外観検査装置に関する技術が開示されている。
【０００５】
これらの開示例に見られるように、従来技術による外観検査装置の構成においては、（１）検査対象を撮像する手段、（２）撮像された画像を処理する処理手段が、基本的な構成要件をなし、それに、データ入出力部、検査結果表示部などの部位が付随した構成となる。また、特許文献３（特開２０００−７７４９５号公報）には、上で述べた外観検査装置をネットワークに複数台接続した検査システムについての技術が開示されている。ネットワーク上には、各検査装置での検査結果などを一括して保持するサーバが置かれ、このサーバを通じて、各検査装置での検査結果を統合して処理し、欠陥発生の程度やその時間的推移などの情報を出力する。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−１８１４２１号公報
【特許文献２】
特開平９−２０３６２１号公報
【特許文献３】
特開２０００−７７４９５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体、プリント基板等の製品がより小型化され、高性能化されている。これに伴って、外観検査をより高精度に行うことが、それらの製品のメーカに要求されている。この要求を満たすためには、対象の製品を撮像して得られる高精度の画像を、高速に処理することが必要となる。また、製品の小型化に伴って、顕微鏡等の光学装置を介して撮像する関係上、検査装置はできる限り小さいことが望まれる。
【０００８】
このように、近年の外観検査装置にあっては、大量の画像データを高速に処理することが必要であるため、画像処理装置として、大規模な専用の画像処理回路が必要となる。この種の画像処理回路は、１ないし複数枚の基板に、計算処理のための大型のＬＳＩ、メモリチップ、その他の電子回路素子を多数搭載する。このため、この種の画像処理回路は、検査装置を大型化させるという問題を引き起こす。一方、前述した専用画像処理回路に代えて、コンピュータを用いてソフトウェアにより画像処理することが考えられる。この場合には、検査装置に、コンピュータを内蔵すること、または、外付けすることが行われる。しかし、いずれの場合であっても、検査装置を大型化させることとなる。このような検査装置の大型化は、生産現場において当該検査装置を設置するためのスペースを多く必要とし、好ましくない。さらに、画像処理回路、コンピュータ等を装備する関係上、検査装置の価格が上昇することも避けられないという問題もある。
【０００９】
検査装置を検査において使用する場合、検査対象、および、それについて検査基準に合わせて、画像の処理条件等の設定が行われる。この種の条件設定は、複数の検査装置が設置される場合には、各検査装置について、機差、検査環境等の相違を考慮して、個別的に行う必要がある。また、製品が異なる場合はもとより、同じ製品であってもその形態について設計が変更されると、それに伴って、検査の基準、検査対象の見え方などが変わる。このため、処理条件の設定を改めて行う必要がある。この種の処理条件設定は、近年、製品が短期間で変化することに伴って、頻繁に行うことが必要となっている。
【００１０】
しかし、前述したように、これまでの検査装置では、個別的に画像処理回路を搭載している。このため、設置されている複数台の検査装置について、処理条件の設定を個別に行うことが必要となる。また、画像についてコンピュータ処理する場合には、検査条件の変更に対応するため、検査の高精度化の要請を満たすためなど、単に条件を再設定するだけでは足りず、処理プログラム自体を変更しなければならない場合も起こり得る。このような場合、個別装置について、処理プログラムの再インストールを行うこと、また、ＲＯＭの交換を行うこと、画像処理回路を搭載した基板を交換すること等の作業が必要となる。したがって、製品の変更に伴う、検査における処理条件の設定変更を迅速に行うことが容易ではないという問題がある。
【００１１】
前述した問題は、いずれも、外観検査装置が、画像の検出と、検出された画像の処理とを行っていることに起因するものである。これは、特許文献３に記載されるようなネットワークを介してデータをサーバに蓄積する検査システムの場合でも、解決されていない。
【００１２】
近年の産業構造の変化に伴って、製品を生産するビジネスにおいても、そのシステムの形態が変わっていくことが起こり得る。例えば、これまでは、製品の検査、品質管理、生産管理は、当該生産現場において行うことが一般的であった。しかし、検査の高度化、品質の客観的評価等の要請を満たすには、設備投資、検査業務の維持等のために多大の資本投下が必要である。そのため、一社ですべてを行うことは、大企業であっても、必ずしも容易なことではない。特に、中小企業とっては、負担が大きく、実現することは容易ではない。このため、このような状況を解決する新しい手法、例えば、検査、品質管理、生産管理等の、製品の質を維持するための業務を、アウトソーシングにより行うための技術的な手法の構築が望まれる。
【００１３】
ところで、検査装置により得られる検査結果は、製品の品質管理を行う場合の品質評価データとして用いることができる。そこで、外観検査装置を用いた品質評価システムについて考えてみる。
【００１４】
半導体チップなどの電子部品、プリント基板などを製造・販売するメーカでは、生産現場における、欠陥の発生状況、および、その頻度を管理して、品質を向上すると共に、生産性を向上するよう努力している。そのため、生産拠点毎に、複数の外観検査装置を導入している。
【００１５】
一方、半導体チップ等の製品の購入者の購入行動を考えてみる。この場合、購入製品を部品として組み込んで製品を作る際には、より信頼性の高い製品を選択して、購入することが合理的である。生産された多くの製品は、購入時には、その仕様の通りに機能することが期待できる。しかし、出荷された多くの製品のなかには、継続して使用している時点で、故障が発生するものがあり得る。そのため、製品購入者は、製品購入時に、その性能などの仕様を検討することはもちろんのこと、製品の品質に関する信頼性の高さ、歩留り、当該製品の安定供給が可能か等を検討する必要がある。そのためには、製品の品質に関する情報を参照することが好ましい。
【００１６】
ところで、製品の品質評価に関する情報は、各メーカの内部情報であるため、一般に公開されることはない。このため、購入者が製品の品質評価に関する情報を知ることは、困難な状況にある。したがって、各社の製品についての品質評価の状況を把握することは、購入者がこれまでの取引実績等を参考にして、経験的に行わざるを得ない。
【００１７】
しかし、新製品の場合には、当該製品について使用経験が蓄積されていないため、経験に基づいて品質の良否を判断することは困難である。購入者の立場からは、各社の製品を客観的に評価したデータが入手できるようになることが望まれる。そのようなデータが入手可能となれば、製品の購入時の判断材料として有効に活用することができる。
【００１８】
一方、メーカの立場からも、製品の品質評価に関する情報を顧客に開示することは、自社の生産体制が健全であること、および、品質管理の信頼性が高いことを、顧客に示すことができる利点がある。例えば、製品の検査体制が十分に整っていること、検査が、生産現場とは切り離されて客観的に行われていること、品質管理が徹底していること等の、自社が製品の品質維持および向上に努力していることを示す情報を、顧客に開示することができる。このような情報開示は、当該企業が顧客に対し高いロイヤルティを持っていることを示すこととなり、顧客の獲得、および、獲得した顧客の維持の上で有効な手段となり得る。
【００１９】
したがって、製品の品質評価に関する情報を、要求に応じて開示できるようする技術的な仕組みの構築が必要である。しかし、現在のところ、個別的な検査装置についての技術が存在するに過ぎない。
【００２０】
以上は、製品に検査ならびに検査結果を用いてなされる品質管理に関する諸問題について、画像処理を伴う検査を行う検査装置についての議論である。しかし、この種の問題は、それに限られない。他の種類のデータ、例えば、音響データ等のように、大量のデータを高速処理しなければならない検査装置においても、同様の問題が起こり得る。
【００２１】
本発明の目的は、生産現場に設置される検査装置の小型化を図ると共に、検出結果の処理条件の設定が容易に行えるようにするための技術を提供することにある。
【００２２】
本発明の他の目的は、検査、品質評価等を、生産現場とは独立して、複数の生産現場に共通に行う新しい技術的手法を実現するために必要な技術を提供することにある。
【００２３】
本発明のさらに他の目的は、製品の品質評価に関する情報を、要求に応じて開示することができる技術的な仕組みを提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、
検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムにおいて、
検査対象の画像を検出する画像検出装置と、
上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置と、を備え、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記画像検出装置は、検出画像およびその加工データのうち少なくとも一方を、当該データの識別子を付して情報処理装置に対し送信し、
上記情報処理装置は、受信したデータに含まれる上記識別子に基づいて、受信した画像を識別して、上記異常の有無の判定を行うこと
を特徴とする外観検査システムが提供される。
【００２５】
ここで、上記画像検出装置から出力されるデータに付加される識別子は、検査の内容を特徴付ける検査に関する情報を含むことができる。その識別子は、検査に関する情報として、画像検出された検査対象物、当該検査対象物内の検査エリア、撮像条件、撮像を行った画像検出装置、生産工場、生産会社に関する情報のいずれか１以上を含むことができる。
【００２６】
また、上記画像検出装置は、検査対象から得られた画像について前処理する前処理装置を有し、上記情報処理装置は、上記前処理装置において行われる前処理の内容を決定して、上記画像検出装置に送る構成とすることができる。
【００２７】
上記情報処理装置は、各画像検出装置における撮像条件を制御するための情報を生成する手段を有する構成とすることができる。また、上記画像検出装置は、情報処理装置から受信した制御情報に基づいて、撮像の制御を行う構成とすることができる。
【００２８】
上記情報処理装置は、上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する処理を行う計算機を備えることができる。この上記計算機の構成は、計算機で行う処理の内容、および、画像検出装置から送出される画像データの量に応じて決定されることができる。
【００２９】
さらに、上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、送受信するデータを暗号化する手段と、暗号化された情報を復号化する手段とを有する構成とすることができる。
【００３０】
また、本発明の他の態様によれば、
製品の検査情報に基づいて品質を評価する情報を提供する品質評価システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムから得られる情報を用いて製品の品質を評価する品質評価拠点と、を有し、
検査システムと品質評価拠点とは、通信手段により接続可能であり、
検査システムは、製品についての検査結果と、検査対象物、検査した検査対象物の位置、検査画像の検出条件、画像を検出した画像検出装置、生産ライン、生産会社に関する情報のうち１つ以上とを送付する機能を有し、
上記品質評価拠点は、１以上の外観検査システムから送信される情報を取得し、それらの情報を処理して、その結果を表示する機能を有すること
を特徴とする品質評価システムが提供される。
【００３１】
また、本発明の他の態様によれば、
製品の検査を行う検査システムにおいて用いられる処理プログラムの改定を行う機能を有する検査システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムにおける検査処理に必要となる処理プログラムの改定を行うプログラム改定拠点とを有し、
上記検査システムとプログラム改定拠点とは、ネットワークを介して接続可能であり、
検査システムは、プログラム改定拠点から送られる、処理プログラム・処理条件情報を受け付けて記憶する手段を有し、
プログラム改定拠点は、上記検査システムから送信される、検査画像・処理条件情報の変更入力を受け付けて、それらに変更に基づいて上記プログラムを改定する手段を有すること、
を特徴とする品質管理システムが提供される。
【００３２】
さらに本発明の他の態様によれば、
生産会社において生産される製品の品質を評価する情報を顧客端末に提供するためのシステムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
上記検査システムが出力する情報から製品の品質情報を評価する品質評価拠点と、を有し、
上記検査システムと、上記品質評価拠点と、上記顧客端末とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記品質評価拠点は、品質評価情報を記憶する手段と、顧客からの問い合わせに応じて品質評価情報を検索する手段と、検索されたデータを顧客に送付する手段とを有し、
上記顧客端末には、上記品質評価拠点への問い合わせ内容を入力する手段と、上記品質評価拠点からの送信結果を表示する手段とを有すること
を特徴とする品質管理システムが提供される。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施形態について図面を用いて説明する。以下に説明する実施形態では、製品の検査を行うための方法、それを実現するためのシステム、そのシステムにおいて用いられるプログラム、データ等に関わる各種の発明に関する態様を含む。また、以下では、検査対象製品の検査部位の画像を取得し、得られた画像について処理を行うことによって検査を行う場合について説明する。より具体的には、製品の外観に関する検査に適用される場合を例として説明する。また、得られた検査結果を用いて行うことができる品質評価等に関する実施形態について説明する。さらに、それらの実施形態に関連する技術、また、それらの技術を用いて、製品検査、品質評価等に関する情報処理を行うサービスを提供するための技術に関する実施形態について説明する。
【００３４】
まず、生産現場において製造される製品の付着異物、傷、汚れなどの欠陥を発見する欠陥検査、または、製品が仕様通りに製造されているかを確認する出来映え検査をするために、それらの製品を撮像した画像を処理して検査・計測を行う外観検査システムと、それに用いられるプログラムおよびデータと、そのシステムを用いた検査方法について説明する。その上で、応用例として、それらの外観検査結果を基に製造現場の生産管理・評価を行うシステムについて説明する。なお、これらの応用例も本願における発明を構成するものである。
【００３５】
（外観検査システム）
図１は、本発明に係る検査システムの典型例である外観検査システムの第１の実施形態を示している。本実施形態の外観検査システムは、１種または２種以上の画像検出装置１００を少なくとも１台含む検出装置群１００Ｇと、検出装置群１００Ｇに属する画像検出装置１００から出力される検査結果を処理する情報処理装置２００とを、基本的な構成要素として含む。画像検出装置１００と情報処理装置２００とは、それらの間で情報の伝送を行うための情報伝送システム３００により接続される。本実施形態の外観検査システムは、前述した情報処理装置２００における処理内容に、品質評価に関する処理を加えることによって、品質評価システムとして機能させることができる。
【００３６】
検出装置群１００Ｇは、前述したように、複数種の画像検出装置１００を含むことができる。本実施形態では、検査装置として、検査対象について撮像して画像データを取得する画像検出装置を複数台有する例を想定している。なお、検出装置群１００Ｇには、欠陥検出処理、出来映え検査等の検査目的の異なる画像検出装置を混在させることができる。また、同じ検査目的の装置であって性能が異なる画像検出装置を混在させることもできる。また、同じ性能の画像検出装置であって、検出のための条件が対象に合わせて異なる設定となっている装置を混在させることもできる。なお、本実施形態では、欠陥検出処理用画像検出装置、出来映え検査用画像検出装置等の検査目的の異なる複数種の画像検出装置がそれぞれ複数台配置されていることを想定している。
【００３７】
情報処理装置２００は、検出装置群１００Ｇから情報伝送システム３００を介して送られる検出画像について画像処理を行う。情報処理装置２００は、検出画像について画像処理することにより、例えば、製品に付着した塵埃、傷などを検査する欠陥検出処理、製品のサイズ等を測定して、製品の出来映えを検査する出来映え検査等を行う。
【００３８】
情報伝送システム３００は、検出装置群１００Ｇに属する各画像検出装置１００と情報処理装置２００との間で情報を送受信するために用いられる。例えば、画像検出装置１００から画像情報等の情報を伝送する。一方、情報処理装置２００から各画像検出装置１００に対する、検出開始要求、情報送信要求等の各種情報を伝送する。例えば、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）、インターネット等により構成することができる。大量の情報を高速に送ることを考慮すると、情報伝送システム３００は、ブロードバンドで情報の伝送が行えるネットワークであれば、より好ましい。
【００３９】
（画像検出装置１００）
図２は、画像検出装置１００の機能構成について示すブロック図である。この画像検出装置は、検査対象について撮像する機能を有する撮像装置系（１５０、１６０、１８０）と、撮像の制御、および、制御して得られた画像を情報処理装置２００に送るための制御を行う機能を有する制御装置系（１１０、１２０、１３０、１４０）と、送受信を行う送受信装置１９０とを有する。
【００４０】
統括制御装置１１０は、本画像検出装置１００の動作について統括的な制御を行う。この統括制御装置１１０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク装置等を有するコンピュータにより構成される。統括制御装置１１０は、入力装置１２０、出力装置１３０、記憶装置１４０、検査制御装置１５０、送受信装置１９０と接続されている。入力装置１２０は、例えば、キーボード、マウス、バーコードリーダ等を有し、外部からの入力データを受け付ける。また、出力装置１３０は、統括制御装置１１０からのデータを表示・出力するディスプレイ、プリンタなどにより構成される。本実施形態では、出力装置は、ディスプレイにより構成される。出力装置として、プリンタをさらに接続することができる。また、プリンタをＬＡＮに接続して、ＬＡＮを介して印刷出力に利用するネットワークプリンタとする構成としてもよい。
【００４１】
記憶装置１４０には、総括制御装置１１０が実行するプログラムおよびデータが格納される。データとしては、例えば、図１８に模式的に示すような、検査に関する情報が格納される。また、必要に応じて、検査制御装置１５０が実行するプログラムおよびその処理に必要なデータ、さらには、前処理装置１８０が必要とするプログラム、パラメータ等のデータが格納される。記憶装置１４０は、例えば、ハードディスク装置により構成される。このハードディスク装置は、内蔵型、外付型のいずれであってもよい。また、複数のハードディスク装置を配置したディスクアレイ等に分散して、前述した各種データを記憶する構成としてもよい。
【００４２】
記憶装置１４０に格納される検査に関する情報としては、例えば、自識別子、情報処理装置‐暗号鍵対応表、検査品情報、検査情報、検査結果、ダミー検査パターン情報、データ種識別子である。本実施形態では、それぞれの情報が対応するファイル１４１ａから１４７に格納される。なお、検査に関する情報の記憶のさせ方は、これに限られるものではない。
【００４３】
自識別子ファイル１４２ａに格納される自識別子は、自画像検出装置を他と識別するための識別子である。この自識別子は、例えば、画像検出装置１００のシリアル番号、当該送受信装置１９０のネットワークアドレスなどを意味し、画像検出装置各々を他の画像検出装置と識別することができる固有の識別子として機能する。これは、情報の返送先を特定するアドレスとしても機能する。
【００４４】
送信先アドレスファイル１４２ｂに格納される送信先アドレスは、当該画像検出装置１００において取得された検査画像の処理を行う情報処理装置２００のネットワークアドレスとなっている。ここで、情報処理装置２００が複数存在する場合には、いずれの情報処理装置を用いるかを特定する情報としても機能する。
【００４５】
情報処理装置識別子−暗号鍵対応表ファイル１４２に格納される情報処理装置識別子−暗号鍵対応表は、情報処理装置２００の識別子１４２１とそれに対応する暗号鍵番号１４２２とを含む。
【００４６】
検査品情報ファイル１４３には、検査品情報として、具体的には、レコード番号、対象の品種を示す品種名、検査が行われる工程を示す工程名、当該検査を行うラインを示す検査ライン名、検査対処品の生産会社を示す生産会社名、対象品の寸法、その他検査品を特定すると共に、製造状況を示す情報が格納される。
【００４７】
検査情報ファイル１４４には、検査情報として、具体的には、レコード番号、検査対象品を特定する検査品ＩＤ、検査対象となる工程を示す工程情報、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件、検査処理条件、検査対象における検査領域を特定する情報である検査エリア、検査方式等の、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報が格納される。ここで、撮像条件は、照明装置１６３の明るさ、その位置、角度などの撮像条件を制御するための撮像条件を示す情報である。前処理条件は、検出した画像に対して前処理装置１８０において行う処理の内容、および、処理条件を規定する情報である。検査処理条件は、検査処理装置２５１における処理条件を示す情報である。検査エリアは、例えば、検査する領域が検査対象の一部分に限られている場合に、その領域を示す情報である。検査方式は、どのような検査を行うかの方式を示す情報である。例えば、落射照明による一次反射光を用いた検査、斜方照明による散乱光を用いた検査等のように、行うべき検査の方式を示す情報である。本実施形態では、この情報は必須ではない。また、撮像以外の検査を行う場合には、その検査内容を示す。例えば、電気抵抗測定等の検査内容を示す。
【００４８】
検査結果ファイル１４５には、検査結果として、レコード番号と、製品名と、工程名と、検査日時と、検査エリアと、欠陥数と、欠陥種と、各欠陥点の位置および種類とが、各検査について格納される。
【００４９】
ダミー検査パターン情報ファイル１４６には、ダミー検査パターン情報として、撮像対象として、予め、試料室１６１内のステージ１６２上に配置しておく、規定の材質で、特定のパターンが配置されたダミーの検査対象の、パターンの種類を示すパターン種類情報と、ステージ１６２上におけるダミー検査対象の位置を示すパターン位置情報とが対応付けられて、レコード番号と共に格納される。
【００５０】
データ種識別子ファイル１４７には、データ種識別子として、図１１に模式的に示すように、データ種を示す記号からなるデータ種識別子１４７１と、送受信されるデータの内容１４７２とが対応づけられて、複数種、格納されている。データ種識別子１４７１は、送受信されるデータの内容を示す情報である。すなわち、そのデータが検出画像データ、検査情報要求データ等のいずれの種類のデータであるかを示すための情報である。このデータ種識別子１４７１としては、例えば、データ種識別子Ａとして“検査情報要求”、データ種識別子Ｂとして“検出画像データ”、データ種識別子Ｃとして“検査情報の返信”等を示す識別子が格納されている。
【００５１】
撮像装置１６０は、検査対象（試料）Ｍを収容する試料室１６１と、試料室１６１内に配置され、検査対象物Ｍを載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（試料台）１６２と、試料を照明するための照明装置１６３と、試料からの反射光により試料の画像を取得する、ＣＣＤ等の画像センサ１６４とを有する。検査対象Ｗの画像を撮像する試料室１６１には、検査対象Ｗの表面に照明光を照射する照明装置１６３と、検査対象Ｗからの信号を検出し画像データに変換する画像センサ１６４と、検査対象Ｗを移動させるステージ１６２とが設けられている。照明装置１６３は、図示してないが、照明光を出射する光源と、照明光を撮像対象に投射する第１の光学系とを有する。画像センサ１６４は、その前方に、対象からの反射光を当該画像センサ１６４に導く第２の光学系（図示せず）と、撮像対象の像に画像センサ１６４の検出面に自動的に結像させるための合焦機構（図示せず）とを備える。画像センサ１６４において検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【００５２】
検査制御装置１５０は、検査対象Ｗの画像を検出するために必要な制御を行う。具体的には、図中の破線で示す各種制御信号により、撮像時にステージ１６２、照明装置１６３、送受信装置１９０および前処理装置１８０の各動作について制御を行う。すなわち、検査制御装置１５０は、統括制御装置１１０から、いかなる検査を行うのかを示す検査情報を受け取る。また、撮像開始の指示を受けて、伝達された検査情報に基づいて、例えば、照明装置１６３について、それによる照明位置、照明強度（照度または輝度）を制御する。また、前処理装置１８０について、検査対象の検査内容に対応する前処理の内容を設定する。また、画像センサ１６４による取得される画像の取り込みを前処理装置１８０に指示する。検査制御装置１５０は、検査情報を基に、ステージ１６２の移動の方向、移動範囲、移動速度などを制御する。
【００５３】
本例の場合、画像センサ１６４の位置を固定し、ステージ１６２を移動することにより検出領域全体の画像を得る。しかし、本発明は、これに限られない。画像センサ１６４、照明装置１６３等の観察系と、ステージ１６２等の支持系とが相対変移可能な関係にあればよい。例えば、検査すべき部位のみの画像を取得するために画像センサ１６４を移動させることも可能である。
【００５４】
前処理装置１８０は、画像センサ１６４により検出された検出信号について、情報処理装置において行う処理のための前処理を行う。前処理を行うための機能として、例えば、図６に示す機能を有する。すなわち、前処理装置１８０は、Ａ／Ｄ変換部１８２と、フィルタ部１８３と、圧縮部１８４と、設定部１８１とを有する。これらの各機能は、それぞれ対応する処理回路により構成することができる。また、ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ）を用いて処理することもできる。さらに、これらの一部または全部を、コンピュータにより実現する構成としてもよい。
【００５５】
Ａ／Ｄ変換部１８２は、画像センサ１６４から得られるアナログの画像データをデジタルデータに変換する。変換されたデータは、フィルタ部１８３に入力される。
【００５６】
フィルタ部１８３は、入力データについてノイズ低減、ひずみ補正等の処理を行う。このフィルタ部１８３は、具体的には、例えば、各種のハイパスフィルタ、ローパスフィルタなどのフィルタ処理を施して、ノイズ低減、画像エッジ強調等を行う画像フィルタリング処理機能、および、像の歪み等を補正する幾何補正を行う補正フィルタリング処理機能を有する。フィルタ係数は、設定部１８１により設定される。統括制御装置１１０が検査制御装置１５０に伝達する検査情報内には、フィルタ係数に関する情報が含まれている。この情報は、検査制御装置１５０から制御信号（図中点線）により与えられ、設定部１８１を介してフィルタ設定信号１８１ａとしてフィルタ部１８３に設定される。
【００５７】
圧縮部１８４は、フィルタ部１８３においてフィルタ処理された画像データを圧縮処理する。画像圧縮の際に必要となるパラメータ、例えば、圧縮率のパラメータは、フィルタ係数と同様に、検査情報に含まれている。このパラメータは、検査制御装置１５０から与えられ（図中点線）、圧縮パラメータ設定信号１８１ｂを通じて圧縮部１８４に設定される。画像データは、設定された圧縮率で圧縮された後に送受信装置１９０に送出される。
【００５８】
送受信装置１９０は、画像検出装置１００から情報伝送システム３００を通じてデータを送受信する処理を行う。図７に、送受信装置１９０の中のデータ送信に関わる機能を、図８に、データ受信に関わる機能をそれぞれ示す。
【００５９】
送受信装置１９０は、図７に示すように、前処理装置１８０から入力されるデータと識別子データとを統合する識別子統合部１９１と、統合されたデータを暗号化する処理を行う暗号部１９２と、暗号化されたデータを送出する送出部１９３とを有する。
【００６０】
識別子統合部１９１は、前処理装置１８０から入力されるデータと、統括制御装置１１０から得られる２つの識別子データとを統合する。識別子統合部１９１において用いられる二つの識別子のうち一つは、記憶装置１４０のデータ種識別子ファイル１４７に記憶されているデータ種識別子（第一の識別子）１４７１（図１１参照）であり、他の一つは、統括制御装置１１０から渡される検査に関する情報（第二の識別子）である。これらの識別子が識別子統合部１９１で統合される。ここで、第二の識別子は、検査の内容を特徴付ける情報を含む、検査に関する情報であって、検査品情報ファイル１４３に格納される検査品情報、および、検査情報ファイル１４４に格納される検査情報の他、自識別子ファイル１４１ａに格納される自識別子が含まれる。
【００６１】
このように、第一の識別子および第２の識別子の、２種の識別子と、画像データとを統合することで、検査品の品種名等の検査品を特定する情報と、検査品の名称、検査エリア、撮像条件、前処理条件の内容等検査の仕様を特定する情報等と、検出された画像データとがひとかたまりのデータとして扱われることになる。
【００６２】
また、検査情報取得要求を行う際には、識別子統合部１９１において、記憶装置１４０内のデータ種識別子ファイル１４７（図１８、図１１）を参照し、当該データが検査情報取得要求データであることを示す第一の識別子と、記憶装置１４０に格納してある検査品情報を含む第二の識別子が統合される。
【００６３】
暗号部１９２における暗号処理に必要な鍵情報は、図１８に示す記憶装置１４０の情報処理装置識別子−暗号鍵対応表ファイル１４２に記憶されている。鍵情報は、統括制御装置１１０を経由して暗号部１９２に送られる。なお、アプリケーションにより、暗号処理が必要ない場合には検査制御装置１５０から与えられる制御信号（図中点線）による指示により暗号処理を行わないことも可能である。
【００６４】
送出部１９３は、送信元である自画像検出装置１００の識別子と共に、暗号化されたデータを送信先である情報処理装置２００に対して送出する。送出部１９３において送出する自画像検出装置１００の識別子と送信先のアドレスとは、統括制御装置１１０を経由して記憶装置１４０の自識別子ファイル１４１ａおよび送信先アドレスファイル１４１ｂにより与えられる。
【００６５】
送受信装置１９０は、図８に示すように、受信機能として、データを受信する受信部１９４と、受信した暗号を復号化する復号化部１９５と、受信データに含まれる識別氏の認識を行う識別子認識部１９６とを有する。
【００６６】
受信部１９４は、データを受信し、復号化部１９５に渡す機能を有する。なお、暗号化されていない場合には、識別子認識部１９６に受信データを渡す。復号化部１９５は、認識された識別子に関連づけられた暗号鍵情報を、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０の情報処理装置識別子‐暗号鍵対応表ファイル１４２から読み出し、復号化部１９５において復号化する。識別子認識部１９６は、送信元である情報処理装置２００の識別子の認識を行う。受信データから取得したデータ種識別子と、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から取得した図１１に示すデータ種識別子格納ファイル１４７に格納される情報とを比較する。識別子認識部１９６は、受信した識別子に対応するデータの種類が認識すると、記憶装置１４０における当該データの種類に対応するファイルに当該データを送る。例えば、データの種類が、例えば、検査結果と特定された場合、送付されたデータ（検査結果）と、検査情報とを、共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。
【００６７】
ここで述べた送受信装置１９０は、独立した装置として構成されている。しかし、送受信装置１９０のうちの一部について、統括制御装置１１０により実現される機能により構成してもよい。例えば、識別子統合部１９１および識別子認識部１９６について、さらには、暗号部１９２および復号化部１９５について、統括制御装置１１０において実現する構成としてもよい。
【００６８】
（情報処理装置２００）
図３は、情報処理装置２００のシステム構成をより具体的に説明する図である。図３に示すように、情報処理装置２００は、全体の動作を制御すると共に、各種情報処理を行う統括制御装置２１０、キーボード、マウス等の外部からの入力操作を受け付ける入力装置２２０と、情報を外部に出力する出力装置２３０と、統括制御装置２１０が実行するプログラムが格納されると共に、当該情報処理装置における処理に用いられる各種情報を記憶する統括制御用記憶装置２４０と、ＣＤ−ＲＯＭ等のデータを記録した記録媒体からプログラム等のデータを読み取る記録媒体読取装置２０１とを有する。ここで、統括制御用記憶装置２４０は、後述する他の装置と共に、バス２０９を介して統括制御装置２１０に接続される。なお、統括制御用記憶装置２４０を、他の装置とは別に、専用バス（図示せず）を介して統括制御装置２１０と接続する構成としてもよい。
【００６９】
また、情報処理装置２００は、送受信装置２９０と、検査処理装置２５１と、検査条件発生装置２５５と、画像格納用記憶装置２６０と、画像格納用記憶装置２６０と、検査処理情報格納用記憶装置２７０と、検査結果格納用記憶装置２８０とを、さらに有する。ここで、送受信装置２９０は、情報処理装置２００が情報伝送システム３００を介してデータを送受信するための装置である。検査処理装置２５１は、欠陥検査、出来映え検査等の検査結果についての演算処理を行う装置である。検査条件発生装置２５５は、画像検出装置１００における撮像のための条件を生成するとともに、前処理装置１８０に与えるパラメータ等を生成するための装置である。画像格納用記憶装置２６０は、画像検出装置１００から転送される画像を格納する記憶装置である。検査処理情報格納用記憶装置２７０は、検査処理装置２５１における処理に用いるプログラム、処理条件等を格納する記憶装置である。検査結果格納用記憶装置２８０は、検査処理装置２５１における処理結果を格納する記憶装置である。
【００７０】
画像格納用記憶装置２６０、検査処理情報格納用記憶装置２７０、検査結果格納用記憶装置２８０、統括制御用記憶装置２４０は、それぞれ独立の記憶装置、例えば、ハードディスク装置により構成される。ただし、これらは、単一のハードディスク装置の異なるエリアに格納される構成とすることができる。また、複数のハードディスク装置を配置したディスクアレイ等に分散して記憶される構成としてもよい。さらに、統括制御用記憶装置２４０は、情報処理装置２００に内蔵のハードディスク装置とすることもできる。
【００７１】
画像格納用記憶装置２６０、検査処理情報格納用記憶装置２７０、検査結果格納用記憶装置２８０、統括制御用記憶装置２４０に記憶される内容は、それぞれ、図１９、図１５、図２２、図２１に模式的に示すデータ構造によってそれぞれデータを格納する。
【００７２】
統括制御用記憶装置２４０には、図２１に模式的に示すように、当該情報処理装置２００を識別するための自識別子を格納する自識別子ファイル２４１と、画像検出装置の識別子とそこからの暗号データを解読するための暗号鍵の組み合わせデータが、図２１に模式的に示されるように、画像検出装置の識別子と暗号鍵番号とが、画像検出装置識別子‐対応表ファイル２４２に記録されている。また、統括制御用記憶装置２４０には、図１１に示すものと同様の、送受信されるデータの内容１４７２と、これに対応するデータ種識別子１４７１とを格納するデータ種識別子ファイル２４３が記録されている。
【００７３】
画像格納用記憶装置２６０には、図１９に模式的に示すように、各画像検出装置１００により検査のために撮像された検査画像を格納する検査画像ファイル２６１と、撮像条件を設定するために撮像された画像を格納する撮像条件設定用画像ファイル２６２とを有する。検査画像ファイル２６１には、レコード番号と、レコード番号対応に、各検査対象品を特定する検査品ＩＤを示す製品情報、検査対象となる検査対象の工程を示す工程情報、撮像日時、および、検査を行うべき画像検出装置を特定する画像検出装置ＩＤと、それらに対応して、どのような条件で撮像をすべきかを特定した、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報とが格納される。ここで、検査に関する仕様、検査結果の処理に関する使用を示す情報としては、例えば、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件等が含まれる。撮像条件設定用画像ファイル２６２には、前述した検査画像ファイル２６１と同様のデータが格納される。ただし、この撮像条件設定用画像ファイル２６２には、検査対象について取得した画像が格納されるのではなく、検査条件を設定するための比較用の画像が格納される。
【００７４】
検査処理情報格納用記憶装置２７０には、図１５に示すとおり、検査情報を格納する検査情報ファイル２７１、処理プログラム等を格納する検査プログラムファイル２７２、参照データを格納する参照データファイル２７３、画質評価項目を格納する画質評価項目ファイル２７４と、画質評価項目と撮像条件との対応関係を示す「画質評価項目‐撮像条件」のデータを格納する画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５と、ダミーパターンについての検査結果であるダミーデータに対する検査結果基準を示す「ダミーデータ‐検査結果基準」を格納するダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６と、を有する。
【００７５】
検査情報ファイル２７１には、検査情報として、レコード番号と、レコード番号対応に、各検査対象品を特定する検査品ＩＤを示す製品情報、検査対象となる検査対象の工程を示す工程情報、および、検査を行うべき画像検出装置を特定する画像検出装置ＩＤと、それらに対応して、どのような条件で撮像をすべきかを特定した、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報とが格納される。ここで、検査に関する仕様、検査結果の処理に関する使用を示す情報としては、例えば、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件、検査処理条件、検査対象における検査領域を特定する情報である検査エリア等が含まれる。なお、ここでは、検査方式について示されていない。それは、本実施形態の情報処理装置２００では、画像検出装置を特定することで、検査方式を特定することとなっているためである。
【００７６】
検査プログラムファイル２７２には、検査対象となる検査品ＩＤを示す製品情報と、検査が行われる工程を示す工程情報と、これらに対応する、検査処理装置２５１における処理に必要となる処理プログラムとが格納される。検査処理装置２５１により行われる処理としては、例えば、欠陥判定処理、出来映え検査処理等の処理が挙げられる。
【００７７】
参照データファイル２７３には、検査対象となる検査品ＩＤを示す製品情報と、検査が行われる工程を示す工程情報と、これらに対応する、検査処理装置２５１における処理の際参照される参照データとが格納される。参照データとしては、処理の際の条件情報が挙げられる。この種の情報としては、例えば、画像処理においてよく行われる２値化処理のしきい値などのような処理パラメータの他、欠陥判定の際に比較データとして用いる設計データ、良品画像データ等が含まれる。
【００７８】
具体的には、参照データファイル２７３には、例えば、設計ＣＡＤデータ、良品画像データ、処理パラメータ等のデータタイプを特定する情報と、データタイプに対応する具体的なデータとが格納される。例えば、設計データならば、予め記録媒体読取装置２０１を通じて、ＣＤ−Ｒなどの記憶媒体に記憶させた情報を読み取って、参照データファイル２７３に格納することができる。また、情報伝送システム３００を通じて、他の拠点、例えば、製品の設計拠点などから設計データを配信してもらい、それを参照データファイル２７３に格納してもよい。さらに、良品画像データの取得方式としては、あらかじめ欠陥がまったく存在しないとわかっている製品の画像データ画像検出装置１００により取得し、その結果を、送受信装置２９０を介して受信して、参照データファイル２７３に格納することが考えられる。
【００７９】
画質評価項目ファイル２７４には、レコード番号と、各レコード対応に、画質を評価する各種評価値を有する画質評価項目、それらの値の許容領域のデータ、および、それらの評価項目を計算するための撮像条件調整用評価プログラム（以下評価プログラム）が格納されている。画質評価項目としては、例えば、階調平均値、階調分散値等が格納される。許容範囲としては、階調平均値に対応して±５、階調分散値に対応して±１０が格納される。評価プログラムとしては、階調平均値等の平均値を求める項目について平均算出プログラム、階調分散値等の分散値を求める項目について分散算出プログラムが格納される。
【００８０】
画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５には、レコード番号と、レコード番号対応に、画質評価項目を特定する画質評価項目ＩＤ、そのＩＤに対応する撮像条件、撮像条件が変動することに対応する画質評価項目の変化を示す撮像条件の変動、および、各画質評価項目の優先順位とが格納されている。
【００８１】
ダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６には、各画像検出装置１００における画像検出性能を検定するための検査に用いる複数種のダミーデータが格納されている。ダミーデータには、例えば、複数種のダミーデータを識別するためのダミーデータＩＤと、処理結果に相当する欠陥数、欠陥種、欠陥位置および欠陥サイズとが格納されている。
【００８２】
検査結果格納用記憶装置２８０は、図２２に模式的に示すように、検査結果の情報を格納する検査結果ファイル２８１を有する。検査結果ファイル２８１には、検査結果として、レコード番号と、これに対応して、製品を特定する製品名、工程名、検査日時、検査エリア、欠陥数、欠陥種、および、各欠陥点の位置と種類をそれぞれ示す情報とが格納される。
【００８３】
検査処理装置２５１は、例えば、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理や出来映え判定処理などの検査処理を行う。ここで行われる処理は、例えば、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、また、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているか、またそれが不良と見なすべき程度の差であるのか否かの判定を行う処理である。
【００８４】
検査処理装置２５１は、計算処理に好適なプロセッサにより構成され検査プログラムファイル２７２に格納される処理プログラムにしたがって各種演算等の情報処理を実行する。具体的には、検査処理装置２５１は、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理、出来映え判定処理などの検査処理を行う。ここで行われる処理は、例えば、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、また、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているか、またそれが不良と見なすべき程度の差であるのか否かの判定を行う処理である。
【００８５】
検査処理装置２５１は、検査処理が終わるとその結果を検査結果格納用記憶装置２８０（図２２）にバス２０９を介して送り、記憶させる。また、終了した旨を統括制御装置２１０に通知する。
【００８６】
検査条件発生装置２５５は、各画像に対し評価プログラムを使用して各評価項目の値を計算し、その結果に基づいて検査条件を生成する。すなわち、各画像検出装置１００から取得する画像についてそれぞれ評価し、その評価結果に基づいて、対応する画像検出装置における検査条件として、例えば、撮像条件、前処理条件等に関する制御条件を設定する。そして、再度、画像を取得して評価を行い、その結果に基づいて制御条件を再設定する。そして、取得した画像の評価結果が予め定めた許容範囲に達するまで、この処理を繰り返す。このようにすることにより、複数の画像検出装置の性能が異なる場合に、それぞれの装置について、それらにより取得される画像の品質をそれぞれ一定の許容範囲に収めることを可能とする。また、同一機種の画像検査装置であっても、機差による取得できる画像の品質が異なることがあり得る。この場合にも、機差を吸収して、各画像検出装置から得られる画像の品質を予め定めた許容範囲内に納めることが可能となる。その結果、多種多様な画像検出装置が存在する場合でも、対商品の評価を、統一的に、客観的に、かつ、正確に行うことが可能となる。このため、得られた検査結果が普遍性を持つため、その検査結果を用いて、統一的に品質管理等を行うことが可能となる。また、生産会社の製品の品質レベルを客観的に評価することが可能となる。
【００８７】
ここで、検査条件発生装置２５５は、画像の評価のため、例えば、画面全体の階調平均値、階調分散値などを計算する。これらの情報は、図１４に示すように、ユーザに対し出力してもよい。そして、各画像検出装置１００からの画像の評価項目値を比較し、それらが同一となる方向に撮像条件を設定するための内容を、検査処理情報格納用記憶装置２７０の画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５に格納される画質評価項目‐撮像条件の対応関係から求める。通常の場合、一つの評価項目に対する撮像について設定すべき制御条件は複数ある。この場合、画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５に予め格納された優先順位に従って、設定すべき制御条件を選択し、その条件に対して新たな値を設定する。
【００８８】
検査条件発生装置２５５は、新たな制御条件値と制御条件を送信する画像検出装置の識別子を、統括制御装置２１０に対して送付し、統括制御装置２１０が該当する画像検出装置に新たな撮像条件値を送信する。また、検査条件発生装置２５５は、前述した画像評価と検査条件の設定を、画像検出装置から得られる画像の品質が予め定めた許容範囲内に収まるまで繰り返す機能を有する。検査条件発生装置２５５は、制御条件が最終的に決定されると、それに基づく撮像条件として、情報処理装置２００内の検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納され、出力装置２３０のスクリーンに撮像条件設定終了の旨が表示される。
【００８９】
なお、上記の例では、いくつかの評価項目の値を用いて画質を評価する例を示している。しかし、各画像検出装置間の差を評価する指標としては、欠陥検査や出来映え検査の結果そのものであってもよい。例えば、撮像のために用いたダミー検査対象については、その期待される検査結果や測定結果を求めることができる。そこで、それらのデータをあらかじめ情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０のダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６に格納しておき、このデータと各画像検出装置１００からの画像データに対する処理結果とを比較することにより、各画像検出装置１００から得られた画像の品質の違いを把握することができる。
【００９０】
（外観検査処理手順）
次に、本発明に係る外観検査システムにおいて、製品の外観検査を行う際の手順について説明する。ついで、検査の手順の概要と、システムの動作および検査方法とについてについて説明する。説明際し、外観検査に伴う表示に関し、画像検出装置１００において行われる表示、および、情報処理装置２００において行われる表示について、図５、図１２、図１４、図１６および図１７を参照して説明する。
【００９１】
統括制御装置１１０は、取得した情報、例えば、取得した画像、画像の画質評価結果、対象についての検査結果等を、出力装置１３０により出力する処理を行う。出力装置１３０がディスプレイである場合に、例えば、図５および図１２に示すような画面を、そのスクリーン上に表示させる。このために、図示していないが、出力装置１３０のスクリーン上に、メニュー枠を設けて、検査情報その他の情報の表示に対する指示を受け付けるようにすることができる。印刷指示を受け付けることができるようにして、プリンタにより印刷出力することを可能とする。
【００９２】
また、統括制御装置２１０は、同様に、取得した情報、例えば、取得した画像、画像の画質評価結果、対象についての検査結果等を、出力装置２３０により出力する処理を行う。出力装置２３０がディスプレイである場合に、例えば、図１４、図１６および図１７に示すような画面を、そのスクリーン上に表示させる。このために、図示していないが、出力装置２３０のスクリーン上に、メニュー枠を設けて、検査情報その他の情報の表示に対する指示を受け付けるようにすることができる。印刷指示を受け付けることができるようにして、プリンタにより印刷出力することを可能とする。
【００９３】
次に、本発明の検査システムの動作について説明する。まず、手順の概要について、図４を参照して説明する。ついで、他の図を参照して、さらに詳細に説明する。
【００９４】
図４において、左側に画像検出装置１００における処理手順を、右側に情報処理装置２００における処理手順を示す。
【００９５】
画像検出装置１００は、まず、検査対象Ｗを撮像装置１６０のステージ１６２に載置することを促す表示を出力装置１３０のスクリーンに表示する（Ｓ１１１１）。また、オペレータによる、検査対象製品の名称、その製品の製造工程が多数の工程からなる場合にはその製品対象の製造工程名称等の検査品情報を指定についての入力を、入力装置１２０を通じて受け付ける（Ｓ１１１２）。この検査品情報は、必ずしも入力装置１２０を経て入力される必要はなく、例えば、製品自体に検査品に関する情報が表示されている場合には、該当部を撮像した結果を画像センサ１６４から得て、その画像を解析して情報を得てもよい。検査品情報を入力装置１２０から受け取るか、検査対象Ｗから読み取るかについては、予め設定しておく。画像から読み取る場合には、そのためのプログラム、例えば、文字認識処理プログラムを予め用意しておく。
【００９６】
さらに、統括制御装置１１０は、入力装置１２０から受け取った、検査すべき製品を特定する検査品情報を記憶装置１４０（図１８参照）の検査品情報ファイル１４３に格納する。その後、画像検出をする際に必要となる「検査情報」を取得するために、検査情報要求を、送受信装置１９０を通じて情報処理装置２００に対して行う（Ｓ１１１３）。検査情報要求を行う際には、送受信装置１９０は、記憶装置１４０内のデータ種識別子テーブル（図１１）を参照し、当該データが検査情報要求データであることを示す第一の識別子（図１１に示す例ではデータ種識別子Ａ）と、記憶装置１４０に格納してある検査品情報を含む第二の識別子とを統合する。送受信装置１９０は、統合したデータを送信する。前述したように、第二の識別子には、上述した検査対象の検査品情報の他、自画像検出装置を他と識別するための識別子（図１８中の自識別子）が含まれる。なお、送信するデータは、必要に応じて暗号化を行うこともできる、暗号処理を含めた送受信装置１９０におけるデータ送信時の具体的動作は、図７を参照して後に説明する。
【００９７】
検査情報取得要求を送信した後、画像検出装置１００は、情報処理装置２００からの受信待ち状態になる。一定時間の間に情報処理装置２００からの信号が受信できない場合は、統括制御装置１１０は、その旨を出力装置１３０のスクリーン上に表示させる。
【００９８】
情報処理装置２００では、送受信装置２９０がデータを受信する。統括制御装置２１０は、送受信装置２９０が受信したデータを取得し、その中の第一の識別子を解析することにより、それが検査情報取得要求であることを認識する（Ｓ２１１１）。また、第二の識別子を解析することにより、検査情報を検索するのに必要な検査品情報（検査品名称、工程名称等）を得る。その後、この検査品情報をキーとして検査処理情報格納用記憶装置２７０（図１５参照）を検索して、必要な検査情報を取得する（Ｓ２１１２）。その結果を、送受信装置２９０を通じて要求元の画像検出装置１００に送信する。
【００９９】
送受信装置２９０は、送信すべき検査情報と、本データが検査情報要求に対する返信である旨を定義する第一の識別子と、本データの送信元である情報処理装置２００を特定する第二の識別子とを統合して送信する（Ｓ２１１３）。なお、送受信されるデータについて、必要に応じて暗号化を行うこともでき、それを含め送受信装置２９０におけるデータ送受信の具体的動作については、図９、図１０を用いて後に説明する。
【０１００】
画像検出装置１００は、情報処理装置２００から送られた検査情報を送受信装置１９０により受信する（Ｓ１１１４）。送受信装置１９０におけるデータ受信の具体的動作については図８を用いて後に説明する。
【０１０１】
受信したデータの第一の識別子から本データが返送された検査情報であることを認識し、受信した検査情報を記憶装置１４０（図１８）の検査情報ファイル１４５に、現在検査しようとしている検査品の識別子と対応づけて格納すると共に、必要ならば、出力装置１３０のスクリーン上に表示する（Ｓ１１１５）。図５に表示の一例を示す。
【０１０２】
図５は、画像検出装置１００において、送受信装置１９０を介して受信した検査情報を、統括制御装置１１０により出力装置１３０の画面上に表示させた例を示している。
【０１０３】
検査製品表示部１３２０には検査品の外観図１３２１が表示されている。検査領域表示部１３２２（図中太線枠で表示）には、取得した検査情報から得た検査エリア情報が図示される。つまり、この場合は、検査品の全面を検査するわけではなく、検査領域表示部１３２２内の領域だけが検査されることを意味している。検査情報表示部１３３０には、検査情報に含まれる内容、例えば、前処理装置１８０の処理内容１３３１、照明装置１６３の位置１３３２、照明装置１６３のパワー値１３３３等が表示される。
【０１０４】
その後、統括制御装置１１０は、記憶装置１４０内の当該検査対象に関する、前述したような検査エリア、撮像条件等を示す検査情報を検査制御装置１５０に伝達する。また、統括制御装置１１０は、検査制御装置１５０には、検査情報として、フィルタ係数に関する情報、画像圧縮の際に必要となるパラメータ（例えば圧縮率）等が伝達される。圧縮率としては、例えば、図５に示すように、２０％等のパラメータが伝達される。
【０１０５】
検査制御装置１５０は、伝達された検査情報に基づいて照明装置１６３の位置、照明装置１６３の強度、前処理装置１８０の内容を設定し撮像を開始する。例えば、図５に示す例では、照明装置１６３の強度として光源の点灯電力を２０Ｗに設定する。また、照明位置を（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の座標により指定する。また、検査制御装置１５０は検査情報を基に、ステージ移動の方向や移動範囲、移動速度などを制御する。
【０１０６】
次に、統括制御装置１１０は、検査の開始、すなわち、撮像の開始を検査制御装置１５０と前処理装置１８０に指示する（Ｓ１１１６）。この指示は、検査制御装置１５０による準備が整ったことを示す情報を受けったタイミングにより行う。
【０１０７】
検査制御装置１５０は、撮像装置１６０による検査対象Ｗについての撮像を開始する。すなわち、検査制御装置１５０は、検査領域表示部１３２２に示した領域の検査画像を画像センサ１６４で検出する。本例の場合、画像センサ１６４の位置を固定し、ステージ１６２を移動することにより検出領域全体の画像を得る。一方、画像センサ１６４は、検査対象Ｗからの反射光を受光して、画像を検出する。検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【０１０８】
前処理装置１８０では、画像データが、フィルタ部１８３においてフィルタ処理された後、圧縮部１８４において、伝達された圧縮パラメータに従って画像圧縮される。圧縮された画像データは、送受信装置１９０に送出される。送受信装置１９０は、画像データを、情報通信システム３００を経て情報処理装置２００に送出する（Ｓ１１１７）。
【０１０９】
情報処理装置２００の送受信装置２９０は、画像検出装置１００の送受信装置１９０から送出されたデータを、情報通信システム３００を介して受信する。統括制御装置２１０は、データを画像格納用記憶装置２６０内の検査画像ファイル２６１（図１９）に格納する（Ｓ２１１４）。
【０１１０】
統括制御装置２１０は、データ取得を終えると検査処理を実行する（Ｓ２１１５）。具体的には、受信した画像データの第二の識別子に含まれる検査情報から、検査対象品の品名・工程名を認識し、それをキーとして必要となる処理プログラムと処理のための条件情報を検査処理情報格納用記憶装置２７０（図１５）から読み出し、検査処理装置２５１に転送する。処理の条件情報とは、処理するのに必要となる条件、例えば画像処理においてよく行われる２値化処理のしきい値などのような処理パラメータの他、欠陥判定の際に比較データとして用いる設計データや良品画像データ等も含まれる。その後統括制御装置２１０は、検査すべき画像を画像格納用記憶装置２６０から呼び出し、検査処理装置２５１に転送し、画像処理開始を指示する。
【０１１１】
検査処理装置２５１は、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理、出来映え判定処理などの検査処理を行う。すなわち、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているかについての判定処理、また、それが不良と見なすべき程度の差であるのかの判定処理を行う。
【０１１２】
検査処理装置２５１は、検査処理が終わると、その結果を検査結果格納用記憶装置２８０（図２２）に格納する処理を行う。終了した旨を統括制御装置２１０に通知する。統括制御装置２１０は、検査処理の通知を受けて、検査結果を、送受信装置２９０を通じてその検査画像を送出してきた画像検出装置１００に返送する（Ｓ２１１６）。
【０１１３】
画像検出装置１００は、情報通信システムを介して送られるデータを送受信装置１９０により受信する。統括制御装置１００は、送付された検査結果と検査情報とを共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。また、統括制御装置１１０は、必要に応じて、検査結果を出力装置１３０のスクリーン上に表示させる（Ｓ１１１９）。
【０１１４】
図１２は、検査結果の表示の一例を示したものである。図５に示す検査情報の表示画面に、処理条件表示部１３４０と処理結果表示部１３５０が追加表示されている。処理条件表示部１３４０には、検査情報から取得した、検査処理に使われたパラメータ値が表示され、処理結果表示部１３５０には、検査結果から取得した検出された欠陥の位置を示す欠陥マップ表示部１３５１と、欠陥の数、種類などを表示する欠陥データ表示部１３５２とが表示されている。欠陥マップ表示部１３５１では、検査した領域内のどの位置にどの欠陥が存在しているかを示すための欠陥種毎に異なる模様（図１２中、例えば、円、ひし形の各図形により表記している）により、各欠陥の存在する位置が表示される。欠陥データ表示部１３５２では、発見された欠陥の種類、欠陥数（例えば、欠陥種毎またはトータルの欠陥数）等が表示される。
【０１１５】
次に、画像検出装置１００と情報処理装置２００との間で行われるデータの送受信についてさらに説明する。
【０１１６】
まず、図７を参照して、送受信装置１９０のデータ送信処理について説明する。識別子統合部１９１は、前処理装置１８０から入力されるデータを、統括制御装置１１０から得られる２つの識別子データと統合する。すなわち、第一の識別子データである、記憶装置１４０に記憶されているデータ種情報（図１１）と、第二の識別子である、記憶装置１４０に記憶されている検査品情報および検査情報とを統合する。データ種情報は、記憶装置１４０内に図１１に示す様なテーブル形式で記憶されている。このように、２種の識別子と画像データを統合することで、検査品の名称、検査領域、撮像条件、前処理条件の内容等と、検出された画像データがひとかたまりのデータとして扱われることになる。
【０１１７】
次に、暗号部１９２において前記画像データについて暗号処理を行う。暗号処理を行う際に必要となる鍵情報は、図１８に示す記憶装置１４０の情報処理装置識別子‐暗号対応表ファイル１４２に記憶されている。暗号部１９２は、統括制御装置１１０を経由して前記鍵情報を取得する。なお、アプリケーションにより、暗号処理が必要ない場合には、検査制御装置１５０から与えられる制御信号（図中点線）による指示により暗号処理を行わないことも可能である。
【０１１８】
次に、暗号化されたデータは、送出部１９３において、送信元である自画像検出装置の識別子と共に、暗号化したデータを送信先である情報処理装置に対して送出する。自画像検出装置の識別子と送信先のアドレスは、統括制御装置１１０を経由して記憶装置１４０から与えられる。なお、撮像を行う前に行われる、画像検出装置１００からの検査情報要求手続きでは、図１１に示すデータ種識別子を第一の識別子として、統括制御装置１１０から渡される検査情報が第二の識別子として識別子識別子統合部１９１で統合され、その後、暗号部１９２で暗号化され、送出部１９３から、送信元である自画像検出装置の識別子と共に、情報処理装置２００に送信される。
【０１１９】
なお、ここまで説明した例では、画像検出装置１００において検出した画像全てを情報処理装置２００で取得した後に検査処理を開始するものとしているが、それに限定されることはない。例えば、検出した画像が大量である場合、画像データ取得に時間がかかる場合などは、検出データを複数の部分データに分割し、その部分データ毎に画像データを画像検出装置１００から情報処理装置２００に送信し、その部分データを単位として処理を行えばよい。その際には、各部分データがデータ全体の中の何番目であるかを識別するデータがデータ転送で使われる識別子に加えられる。
【０１２０】
図９は、情報処理装置２００の送受信装置２９０のデータ受信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。データは送受信装置２９０の受信部２９１において受信され、そのデータの識別子からデータの送信元が特定される。次に、復号化部２９２においてデータの復号化処理が行われる。統括制御装置２１０に対し、データ送信元の識別子を送出し、暗号解読に必要な鍵情報の取得をリクエストする。統括制御装置２１０はリクエストを受け付けると、統括制御用記憶装置２４０を検索し、暗号鍵の情報を得て、復号化部２９２に返答する。復号化部２９２では、受信した暗号鍵を用いて暗号化されているデータを復号化しそれを識別子認識部２９３に伝える。識別子認識部２９３では、復号化されたデータに含まれる第一の識別子から、当該データが検査画像データであることを認識する。図１１に示すデータ識別子の一覧表は、情報処理装置２００の統括制御用記憶装置２４０（図２１）にも記憶されており、このデータと受信したデータ種識別子とを比較することで、データ種を認識できる。本例においては、データ種識別子は、図１１の表中の“Ｂ”であり、画像検出装置で検出された検出画像であることを認識される。その後、当該データが検査画像データである旨を示す情報と、データ（第二の識別子と画像データ）とが統括制御装置２１０に転送される。
【０１２１】
図１０は、送受信装置２９０のデータ送信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。統括制御装置２１０は、返送すべき検査結果を識別子統合部２９４に伝達する。識別子統合部２９４では、受け取った検査結果に対し、統括制御用記憶装置２４０内のデータ種識別子（図１１）を第一の識別子とし、かつ、検査された画像データに対する検査情報を検査処理情報格納用記憶装置２７０から読み出して第二の識別子として統合し、統合されたデータを暗号部２９５に伝える。暗号部２９５では、統括制御装置２１０を通して統括制御用記憶装置２４０から送信相手である画像検出装置に対応づけられた暗号鍵情報を取得してデータを暗号化する。送出部２９６では、暗号化された情報に自情報処理装置の識別子情報（図２１）を付加し、送信相手の画像検出装置に対して送信する。
【０１２２】
なお、画像検出処理の前に行われる、画像検出装置１００から要求された検査情報を情報処理装置２００から返送する処理においては、識別子統合部２９４において、統括制御用記憶装置２４０から統括制御装置２１０を経由して得られた図１１に示すデータ種識別子と、検査処理情報格納用記憶装置２７０から得られた検査情報が統合される。その後、暗号部２９５において暗号化され、送出部２９６で、暗号化された情報に送信相手の識別子と自情報処理装置２００の識別子が付加されて、送信相手の画像検出装置に対し送信される。
【０１２３】
図８は、画像検出装置１００の送受信装置１９０のデータ受信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。前記送出部２９６から送出されたデータは、受信部１９４において受信され、送信元である情報処理装置２００の識別子が認識される。そして、その識別子に関連づけられた暗号鍵情報を、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から読み出し、復号化部１９５において復号化する。その後、識別子認識部１９６において、そのデータから取得したデータ種識別子と統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から取得した図１１に示すテーブル情報とを比較することでデータの種類（この場合検査結果）を特定し、送付された検査結果と検査情報とを共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。
【０１２４】
なお、画像検出処理の前に行われる、検査情報の要求に対する結果を受信した場合には、この識別子認識部１９６において、そのデータが検査情報の要求に対する返信データであることが認識され、記憶装置１４０内の所定の位置にデータが格納される。
【０１２５】
図１に示す、複数個の画像検出装置１００が情報伝送システム３００に接続されている外観検査システムにおいては、画像検出装置１００ごとに独立して、前述したシーケンスに従った画像検出が行われる。このため、生産現場内の様々な箇所に、それぞれの箇所に必要な性能を有する画像検出装置１００を配置し、各箇所において画像検出を行うことにより、検査を実行することができる。一方、情報処理装置２００については、生産現場以外の事務所などに設置する。これにより、従来の外観検査装置のように画像検出装置と欠陥検出を行う処理部を一体化した大型の装置を生産現場に配置する必要がなくなり、省スペース化が図れる。
【０１２６】
（画像検出装置の他の例）
図２に示す画像検出装置では、画像を光学的に撮像する場合について説明しているが、画像検出装置としては光学検出手段には限られない。撮像に電子線を用いることもできる。
【０１２７】
図２０にその一例を示す。図２０に示す画像検出装置は、電子線式画像検出装置である。この電子線式画像検出装置は、検査対象について撮像する機能を有する撮像装置系（１５０、１７０、１８０）と、撮像の制御、および、制御して得られた画像を情報処理装置２００に送るための制御を行う機能を有する制御装置系（１１０、１２０、１３０、１４０）と、送受信を行う送受信装置１９０とを有する。ここでは、撮像装置１７０が電子式であることにおいて前述したい実施形態と相違する。また、検査の条件、取得した画像の処理等において、光学式と電子式との相違があることはもちろんである。したがって、検査制御装置１５０、前処理装置１８０、総括制御装置１５０等の構成においてもそれに起因する相違がある。なお、他の構成については基本的には変わらない。
【０１２８】
電子式撮像装置１７０は、検査対象（試料）Ｍを収容する試料室１７１と、試料室１７１内に配置され、検査対象物Ｍを載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（試料台）１７２と、試料に電子ビームを照明するための線源である電子銃１７３と、試料からの電子ビームを収束するための対物レンズ１７４と、電子ビームを偏向させて検査対象Ｗ上を２次元走査させる偏向レンズ１７５と、試料より発生する２次電子、反射電子を検出するセンサ１７６とを有する。
【０１２９】
電子線式画像検出装置では、電子銃１７３より放出した電子ビームが、対物レンズ１７４において収束され検査対象Ｗに照射される。照射位置を、偏向レンズ１７５により２次元走査することで、２次元に電子ビームが照射される。センサ１７６では、試料より発生する２次電子、反射電子等を検出する。センサ１７６において検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【０１３０】
なお、この後説明する実施例全てについて、光学式の画像検出装置を電子線式の画像検出装置に置き換えることが可能である。
【０１３１】
また、光学式画像検出装置において、照明の位置や照明の強度を制御することは、電子線式画像検出装置においては、電子ビームの加速電圧やビーム電流を制御することに対応する。
【０１３２】
（外観検査システムの撮像条件設定）
次に、図１に示す外観検査システムにおける、撮像条件設定の一例について説明する。複数の画像検出装置を用いて外観検査を行う時の課題の一つとして、機差ばらつきがある。これは同一の検査対象を複数の画像検出装置を用いて検査したときにおける検査結果のばらつきを意味する。画像検出装置によって検査性能が変化すると安定した検査性能が得られないおそれがある。従来の外観検査システムでは、複数の検査装置が、それぞれ画像検出装置と処理部とを一体化した構成になっている。そのため、各検査装置に撮像条件、処理パラメータなどの処理条件を設定する必要があり、その設定に労力を要していた。本発明では、前述したように、画像を検出する複数の画像検出装置と、それらからの検査結果を取得して処理する情報処理装置とを有する。すなわち、画像検出と、検出した画像の処理とを分離している。その結果、情報処理装置において、各画像検出装置から得られた画像を比較し、その質を揃えることで器差のばらつきの少ない外観検査システムを提供することができる。
【０１３３】
図１３は、情報処理装置２００と画像検出装置１００の制御信号発生処理動作のフローを示している。情報処理装置側のオペレータからの撮像条件制御を行う旨、すなわち、撮像条件調整リクエストが入力装置２２０を介して統括制御装置２１０に入力されると（Ｓ２２１１）、統括制御装置２１０は、情報伝送システム３００を介して接続されている各画像検出装置１００に対し、撮像制御のための画像信号を送出することを要求する（Ｓ２２１２）。具体的には、送受信装置２９０にその旨を伝え、識別子統合部２９４において、撮像制御のための画像信号を要求する旨のデータ種識別子を、統括制御用記憶装置２４０にある図１１に示すテーブルを参照して付加し、各画像検出装置に送信する。なお、以降の説明では、暗号部２９５における暗号処理などに関する詳細な説明は割愛するが、検査画像転送時に暗号化処理を行った場合と同様の手順で行えば良い。
【０１３４】
各画像検出装置１００では、上記データを受信すると（Ｓ１２１１）、そのデータ種識別子を解析することにより撮像制御のための画像要求を受信した旨を解釈し、統括制御装置１１０は、検査制御装置１５０に画像を撮像するための指示を出す（Ｓ１２１２）。撮像対象としては、あらかじめ、各試料室１６１内のステージ１６２上に配置しておいた、規定の材質やパターンが配置されたダミーの検査対象（図２には記載せず）を用いる方法がある。この場合、ステージ１６２上におけるダミー検査対象の位置情報は、記憶装置１４０のダミー検査パターン情報ファイル１４６（図１８参照）に記憶しておく。撮像時に、統括制御装置１１０がその位置情報と現在の撮像条件を読み出し、検査制御装置１５０に伝達することによって、このダミー部位の撮像を行う。検出された画像データは前処理装置１８０を経由し、送受信装置１９０に送られる。送受信部１９０の識別子識別子統合部１９１において、画像データに対し、撮像条件データと、撮像条件設定画像を返送する旨のデータ種識別子とが統合されたあと、暗号部１９２において暗号化がされ、送出部１９３において、自画像検出装置の識別子を付加して、情報処理装置２００に送信される（Ｓ１２１３）。
【０１３５】
情報処理装置２００側の送受信装置２９０が上記データを受信すると（Ｓ２２１３）、そのデータとそのデータが撮像条件設定用であるとの旨を統括制御装置２１０に伝達し、統括制御装置２１０は、そのデータを画像格納用記憶装置２６０に記憶する。統括制御装置２１０は、撮像設定画像をリクエストした全ての画像検出装置からの返信が得られた時点で、画像格納用記憶装置２６０内のデータ格納位置と撮像条件設定を行う旨を検査条件発生装置２５５に伝達する。
【０１３６】
検査条件発生装置２５５では、画像格納用記憶装置２６０内に記憶された各画像検出装置からの画像を取り出し撮像条件設定を行う（Ｓ２２１４）。検査条件発生装置２５５では、検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納された、撮像条件調整用のプログラムを呼び出して画像評価処理を行うか、もしくは処理プログラムと処理パラメータを読み出し、各画像に対し欠陥検出処理や出来映え判定処理を行う。
【０１３７】
図１４は、出力装置２３０のスクリーン上に、画像検出装置からの検出画像を表示するための領域である検出画像表示部２３２０と、検出画像についての画像階調値のグラフを示す画像階調表示部２３３０と、検出画像についての評価を示す画像評価表示部２３４０とが表示される画面表示例を示す。
【０１３８】
図１４に示す例では、検出画像表示部２３２０に、同一の配線パターンに対する二つの画像検出装置１００＃１、１００＃２からの画像２３２１、２３２２を表示する。また、画像階調表示部２３３０に、その検出画像の１ライン断面における画像階調値を波形表示した例を示している。画像評価表示部２３４０に、評価項目２３４１に対する評価値２３４２が表示されている。図１４では、評価項目２３４１として、階調平均値と階調分散値とが表示されている。また、評価値２３４２には、前述した二つの画像検出装置１００＃１、１００＃２からの画像２３２１、２３２２に対応する評価値が表示されている。
【０１３９】
情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０には、図１５に示すように、画質評価項目およびその値の許容領域のデータとその評価項目を計算するための撮像条件調整用評価プログラム（以下評価プログラム）と各撮像条件とその値を変化させた場合の画像評価項目との関係を示すデータとを保有している。検査条件発生装置２５５では、各画像に対し評価プログラムを使用して各評価項目の値を計算する。例えば、画面全体の階調平均値や階調分散値などを計算する。これらの情報は図１４に示すようにユーザに対し出力してもよい。そして各画像検出装置からの画像の評価項目値を比較しそれらが同一となる方向に制御すべき内容を検査処理情報格納用記憶装置２７０の画質評価項目と撮像条件との対応関係から求める。通常の場合一つの評価項目に対する制御条件は複数あるが、あらかじめ格納された優先順位に従って制御する条件を選択しその条件に対して新たな値を設定する。検査条件発生装置２５５は、新たな制御条件値と制御条件を送信する画像検出装置の識別子を、統括制御装置２１０に対して送付し、統括制御装置２１０が該当する画像検出装置１００に新たな撮像条件値を送信すると共に、その条件によって取得した画像の送信を要求する（Ｓ２２１５）。
【０１４０】
画像検出装置１００は、その情報を受信すると（Ｓ１２１４）、与えられた条件で再び撮像を行い（Ｓ１２１５）、その画像を情報処理装置２００に返送する（Ｓ１２１６）。
【０１４１】
情報処理装置２００では、画像を受信すると（Ｓ２２１６）、受信した画像データを検査条件発生装置２５５に送る。検査条件発生装置２５５では、前述の場合と同様に画質の評価項目を計算する。そして、各画像検出装置で撮像された各画像の評価項目が許容領域内にあるか否かを評価する（Ｓ２２１７）。これが許容領域に達するまで上記の動作を繰り返す。そして、検査条件発生装置２５５において、制御条件が最終的に決定されると、その撮像条件は、情報処理装置２００内の検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納され、出力装置２３０のスクリーンに撮像条件設定終了の旨が表示される（Ｓ２２１８）。
【０１４２】
なお、上記の例では、いくつかの評価項目の値を用いて画質を評価する例を示した。しかし、先にも述べたとおり、各画像検出装置間の差を評価する指標としては、欠陥検査や出来映え検査の結果であってもよい。例えば、撮像のために用いたダミー検査対象については、その期待される検査結果や測定結果を求めることができるので、それらのデータをあらかじめ情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納しておき、このデータと各画像検出装置からの画像データに対する処理結果とを比較することで、各画像検出装置から得られた像質の違いを把握することも可能である。
【０１４３】
次に、前処理装置１８０において必要となる処理パラメータの設定手順を説明する。上で述べた、情報処理装置２００における撮像制御条件の発生と同様の手順を用いることにより、前処理装置１８０における処理パラメータの発生も行うことができる。ここでは、前処理装置１８０における処理パラメータとしてノイズ除去フィルタ係数、幾何補正フィルタ係数、圧縮率を設定する場合の例を説明する。
【０１４４】
図１６は、上述した撮像制御信号発生のために各画像検出装置１００における画像を収集したのと同様のシーケンスにより各画像検出装置１００から取得した画像を表示した図を示している。本図では画像検出装置１００＃１で検出した画像（１）に比べて画像検出装置１００＃２で撮像した画像（２）のノイズ強度が強い例を示している。
【０１４５】
このような場合には、画像検出装置１００内の前処理装置１８０における処理パラメータを画像検出装置１００毎に調整することにより画像の質を揃えることが可能である。例えば、画像をフーリエ変換することにより周波数スペクトルを求め、高周波領域の信号強度を定量表現するといった手法により画像内のノイズ成分を調べ、それが同一になるようにノイズ低減フィルタのフィルタ係数を画像検出装置毎に計算する。フィルタ係数が決定されると、その値が、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶されると共に、画像検出装置１００に送信され記憶装置１４０に格納される。
【０１４６】
また、図１７は、画像検出装置毎で、撮像に用いるレンズの収差などにより生じる、格子パターン形状を撮像した際に生じるゆがみの程度が異なる場合の例を示している。ゆがみがないパタン（３）と比較してみて、画像検出装置１００＃１で撮像した結果（１）よりも、画像検出装置１００＃２で撮像した結果（２）の方が像のゆがみが大きい様子を示している。
【０１４７】
この場合においても、例えば、パタン（３）に対して各画像がどれだけゆがんでいるかを定量的に求め、それらを補正するための処理係数を計算し、それを、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶し、また、画像検出装置１００に送信する。画像検出装置１００では、前処理装置１８０のフィルタ部において、撮像データに対しこのフィルタ係数を用いた幾何補正が行われる。なお、撮像対象となる格子パターン形状を持つ試料は、撮像条件制御の時と同様、あらかじめダミー試料を試料室１６１に設置しておけばよい。
【０１４８】
また、前処理装置１８０に与えるその他のパラメータとしては、圧縮率を上げることができる。画像圧縮では、圧縮率つまり、圧縮前のデータと圧縮後のデータとの容量の比が重要なパラメータとなる。圧縮率を高めると画像データの容量は小さくなるが、圧縮処理により画像内の何らかの情報が破棄されてしまうため、欠陥判定や出来映え判定処理の結果に影響を与えかねない。一方、圧縮率が低い場合は、データを圧縮する意味が薄れてしまう。このため、検査条件発生装置２５５は、画像検出装置から送信された画像をいくつかの圧縮率で圧縮した画像を作成し、それぞれについて検査処理装置２５１において行った欠陥判定・出来映え判定処理結果を収集し、それをあらかじめ検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納してあった基準結果と比較する。そこで比較結果が許容できる範囲の圧縮率を求めそれを、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶すると共に、画像検出装置１００に送信し、画像検出装置１００での前処理に用いる。このようにして、処理の内容に応じて適切な圧縮率を定義し、画像検出装置から転送される画像データの容量を低減させることができる。
【０１４９】
ここまで述べたのは、同一の製品、工程の検査対象を、複数の画像検出装置を用いて検査した際に、等しい検査性能で検査を行うことを目的とした、本外観検査システムの運用方法である。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、本外観検査システムの機構を用いると、さまざまな製品・工程にわたる多くの検査対象に対して、高い検査性能を達成しうる外観検査システムの構築が可能になる。
【０１５０】
ある生産ラインにおいて、生産される製品の品種、工程等が増加するにつれ、検査対象のバリエーションは増加する。ところが、各検査対象の欠陥、出来映えを検査するのに最適な撮像条件はすべて同じとは限らない。例えば、ある品種の検査には、特定の色（例えば赤）フィルタを通過させた照明を用いることが有利であることがある。また、特定の方向から照明光を当てたほうが欠陥顕在化に有利であることもある。そのため、各検査品、その工程に応じて撮像条件を変更して、画像を撮像する必要性が生じる。また、そのようにした場合には、撮像条件が変化したことにより、検出画像データに対して行う前処理装置１８０で用いるパラメータや、検査処理プログラム自体も変更する必要が生じる可能性もある。
【０１５１】
このような場合、本発明による外観検査システムでは、以下のように条件設定を行う。まず、画像検出装置１００のいずれか１つに検査対象を搭載する。情報処理装置２００の入力装置２２０もしくは、画像検出装置１００の入力装置１２０から入力されるユーザからの条件設定要求を情報処理装置２００の統括制御装置２１０が受けて、それを検査条件発生装置２５５に伝える。検査条件発生装置２５５では、検査対象が搭載された画像検出装置１００に対し、上述した制御情報設定時と同様の手順で画像取得を要求し、検査対象の撮像画像を画像検出装置から得る。その画像に対して、撮像条件、前処理のパラメータ、検査処理に用いるパラメータ（２値化しきい値等）の条件設定を行う。
【０１５２】
ここでの条件設定は、通常の場合、自動化することは難しく、入出力部からのオペレータの補助が必要となる。つまり、オペレータは、最適な検査結果が得られるように、試行錯誤しながら様々なパラメータを調整する。そして一度条件が確定すると、その条件を情報伝送システム３００で接続された他の画像検出装置１００に転送し、各画像検出装置からダミー対象を撮像した画像を要求する。各画像検出装置では、指定された撮像条件でダミー対象を撮像し、その画像を検査条件発生装置２５５に伝える。検査条件発生装置２５５では、先に機差ばらつきを減らすための条件設定法で述べた場合と同様の手法で、各画像検出装置１００の撮像条件を設定する。設定された条件は、検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納される。本方式により、様々な製品、工程の検査対象に対しても、安定して検査が行えるような条件が設定される。
【０１５３】
（情報処理装置において用いられる計算機の構成）
次に、本発明に係る外観検査システムにおける、情報処理装置２００の計算機構成について説明する。情報処理装置２００の基本的なシステム構成は、図３に示すとおりである。ここでは、処理能力について検討する。
【０１５４】
情報処理装置２００では、複数の画像検出装置１００から送られる画像データを処理するため、高速な処理を行うことが必要とされる。一方、検査すべき速度は、検査すべき画像のデータと処理時間とによって決まる。検査において検出された画像データを処理するための装置として、検査処理装置２５１が設けられている。この検査処理装置２５１として、必要以上に高速な計算機を情報処理装置２００に配置するのも経済的でない。そこで、配置すべき計算機について、例えば、難題の計算機を配置するか等の、最適な構成を考える必要がある。
【０１５５】
ここで、外観検査を行う頻度として、製造現場で作られる製品の種類・量、検査を行うべき工程の数などを加味して求めた、ある一定期間（例えば１分とする）の検査頻度の平均値をＭとする。また、１回の外観検査で処理すべき画像数平均数をＶとする。この場合、１分間あたり、平均的にＭ×Ｖ［画素］のデータを処理する必要がある。ここで、情報処理装置２００における判定処理などに用いる検査処理装置を構成する計算機が並列コンピュータのようにその計算パワーを段階的に変更できるものとし、計算機の最小の１計算ユニット（例えば、並列数１の構成）で、１画素の処理に必要な処理時間の平均をＰ［秒］とする。このとき、Ｍ×Ｖ［画素］のデータを１分間で処理するためには、最低で（Ｍ×Ｖ×Ｐ）／６０個の計算ユニットが必要となる。なお、本試算では、並列数を増加したことによるオーバヘッドは考慮しておらず、並列数１から並列数２に計算機構成を変えた場合には、処理性能が２倍になると仮定している。この場合、情報処理装置２００に対し、（Ｍ×Ｖ×Ｐ）／６０個以上の計算ユニットを装備した並列コンピュータを用いることにより、情報処理装置２００が求める高速演算のために必要とする計算機を構成できることを意味する。
【０１５６】
上の試算により求めた計算ユニットの数は、平均的な検査頻度や画像量から試算したものである。このため、検査頻度や検出画像量の時間や製品種等によるばらつきが大きい。ある時点に処理すべき画像データ量が集中した場合などには計算パワーが不足するおそれがある。この場合は、情報処理装置２００に備える画像格納用記憶装置２６０等を十分に大容量とすることにより、全ての処理すべき画像データを格納し、その中から順に検査処理を行うことになる。このため、結果として、画像検出から結果出力までの間にいくらかのタイムラグが生じる。このタイムラグが厳しく制限される状況においては、上述したような平均的なデータ量から試算したパワーを持つ計算機では不十分で、最もデータ処理の要求が集中する時点において十分に処理を行えるほどの計算機パワーにする必要がある。そのような状況でない場合は、先に述べたとおり、平均的な量のデータを処理するに十分な数の計算機パワーで情報処理装置２００を構成すればよい。
【０１５７】
（品質評価システム）
次に、生産工場に対して大規模ネットワークを介して接続し、当該生産工場において生産される製品についての品質管理を行う品質評価システムについて説明する。品質管理の前提となる製品の検査については、各生産工場に所定の検査装置等が設置されるものとする。検査装置としては、例えば、前述した外観検査システムと同様の装置を用いることができる。また、前述した外観検査システムが設置されている場合には、当該外観検査システムの検査結果を利用することができる。
【０１５８】
図２３は、品質評価システムの一実施形態が適用される生産工場群と判定プログラム開発拠点とを示す。図２３において、プリント基板、半導体ウェハ等の製品を生産する生産工場４００と、判定プログラム開発拠点５００とが、大規模ネットワーク３９０を介して接続されている。図２４は上記判定プログラム開発拠点５００の構成を示している。
【０１５９】
判定プログラム開発拠点５００は、図２４に示すように、データ送受信のための送受信装置５９０と、判定プログラム、判定プログラムの実行において必要となるパラメータ等を計算するためのプログラム改定処理装置５３０と、キーボード、マウス、ディスプレイなど、判定プログラム開発拠点５００へのデータを入出力するための入出力装置５２０と、判定プログラム開発拠点における動作を統括する総括制御装置５１０と、入出力されるデータを記憶する記憶装置５４０とを備える。これらの各装置５１０、５２０、５３０および５４０は、バス５５０により接続される。
【０１６０】
記憶装置５４０には、図３８に示すように、当該判定プログラム開発拠点５００を特定する自識別子を格納する自識別子ファイル５４１と、各情報処理装置２００において使用される判定プログラム等が格納されるプログラム格納ファイル５４２と、各生産工場４００から送られてくるプログラム改定要求がリストとして格納されるプログラム改定要求リストファイル５４３とが記憶される。プログラム格納ファイル５４２には、プログラムＩＤと、製品名、工程名、画像データ、改定前のプログラム（従来プログラム）、および、改定後の新プログラムとが格納される。プログラム改定要求リストファイル５４３には、プログラム改定要求の対象となるプログラムを示すプログラムＩＤと、改定要求の日時が格納される。
【０１６１】
図２５は、生産工場４００の構成例を示している。生産ライン４１０は、製品の生産を行う現場である。製造で用いられる製造装置、製品の検査をする検査装置等が配備されている。それらは、ＬＡＮ等の内部通信手段であるネットワーク３００により情報処理装置２００に接続されている。ゲートウェイ３５０は、生産工場外部の大規模ネットワーク３９０とネットワーク３００とを接続するための装置である。
【０１６２】
この生産工場４００において複数種類の製品を製造していれば、その品種に応じて複数の生産ライン４１０が設けられていてもよいし、製品種が１つもしくは複数である場合に、その生産の工程毎に複数の生産ライン４１０が設けられていてもよい。また、生産量が小規模な場合では、生産ラインは１つでもよい。各生産ライン４１０には、製造工程での検査を行うための検査装置が装備されている。一例として、先に説明した本発明に係る外観検査システムの画像検出装置１００が１個以上各生産ライン４１０に設置されているものとする。
【０１６３】
情報処理装置２００は、例えば、図３に示す情報処理装置２００と構成が同一のものを用いることができる。各生産ライン４１０において検出された各種の検査画像、それらの検査画像を処理するためのプログラム、処理パラメータ等の処理条件、検査結果などが保存されている。また、判定プログラム開発拠点５００との通信機能を有する。判定プログラム開発拠点５００とのデータの送受信における、識別子付加の処理、および、暗号化処理は、画像検出装置１００と情報処理装置２００との間のデータ送受信時の処理と同様に行われる。
【０１６４】
（処理プログラムの改訂）
次に、本実施形態の品質評価システムにおける、処理プログラムの改訂処理について説明する。図２６は、そのフローを示している。
【０１６５】
先ず、情報処理装置２００内の入力装置２２０を通じて、オペレータによるプログラムの改訂指示の入力を受け付ける（Ｓ２３１１）。情報処理装置２００内の統括制御装置２１０は、プログラム改訂要求を受け付けると、改訂するプログラムを指定させるため、検査製品名や工程名やそれらについて実際に撮像した画像を出力装置２３０のスクリーンに表示して、オペレータに対し改訂するプログラムの指定を促す。その中からいずれかのプログラムについてのオペレータによる指定を受け付ける（Ｓ２３１２）。統括制御装置２１０は、プログラムが指定されると、検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納された、指定されたプログラム、および、その処理で必要な処理条件、画像格納用記憶装置２６０に指定された当該検査工程の画像を選択し、それらを判定プログラム開発拠点５００に送信する（Ｓ２３１３）。その際、送受信装置２９０の識別子統合部２９４において、プログラム改訂を要求する旨のデータ種識別子が統合される。
【０１６６】
処理プログラム開発拠点５００では、情報処理装置２００からのデータを受信し、受信したプログラム改定要求を、記憶装置５４０に格納されるプログラム改定要求リストファイル５４３のリストの中に追加する（Ｓ５１１１）。受信の処理に際して、送受信装置５９０において、データ種識別子の認識を行い、プログラム改訂要求が来た旨を認識すると共に、検出結果の画像データを含む、送付されたデータの復号化を行い、それらのデータを記憶装置５４０に格納する。また、同記憶装置５４０内のプログラム改定要求リストファイル５４３に当該要求を格納し、プログラム改定要求があった旨を、入出力装置５２０の表示画面に表示する。これにより、プログラム開発拠点５００のプログラマは、入出力装置５２０の表示画面上を参照することによりプログラム改訂の要求があったことを知ることができる。
【０１６７】
その後、プログラム改定処理装置５３０は、記憶装置５４０に記憶されたプログラム改定要求リストの中から任意の１つの選択を受け付けて、当該要求が示すプログラムＩＤに対応するプログラムをプログラム格納部ファイル５４２から読み出して、当該プログラムについて改訂する処理を行う（Ｓ５１１２）。この改訂作業では、情報処理装置２００から送られた画像を記憶装置５４０から選ぶ指示を受け付ける。その上で、それらについて情報処理装置により送られたプログラムで処理した検出結果に含まれる不具合点（例えば、見逃しや、虚報）について、その位置、態様等の不具合点を特定する情報の入力を受け付ける。プログラム改定処理装置５３０は、それらの不具合点を改良するため、新たなプログラムを開発する。例えば、判定のための基準、パラメータ等を変更して、不具合点が解消される条件を見つける処理を行う。その際、入出力装置５２０には、例えば、図３９に示すように、改定前のプログラムによる処理結果と、改定後の新たなプログラムによる処理結果や処理画像５２２０等と、プログラマの開発を容易にするための情報５２３０とが表示される。本図では、検査画像５２２１と、改定前のプログラムで処理した結果画像５２２２と、新たなプログラムで処理した結果画像５２２３と、それぞれのアルゴリズムでの検査結果表示部５２３０とが同一の画面上に表示されている。
【０１６８】
プログラム改定処理装置５３０は、プログラマによる入出力装置５２０からのプログラム改定の終了の指示を受け付け、その改訂された新プログラムを、記憶装置５４０のプログラム格納ファイル５４２に保存すると共に、総括制御装置５１０に対し、プログラム返送命令を送る。その命令を受けて総括制御装置５１０は、要求元である情報処理装置２００に対し、記憶装置５４０から読み出した改訂されたプログラムを、改定要求元の情報処理装置２００に返送する（Ｓ５１１３）。その際、送受信装置５９０は、当該データがプログラム返送である旨のデータ種識別子を統合し、また暗号化処理を行ってデータを送信する。
【０１６９】
情報処理装置２００は、受信したデータに対し、データ種識別子認識処理と復号化処理とを行い、送られたプログラムを検査処理情報格納用記憶装置２７０内の所定の位置に格納する（Ｓ２３１４）。
【０１７０】
このように、処理プログラムの改訂を、製造工場４００とプログラム開発拠点５００とを結ぶ大規模ネットワークを介して行うことにより、プログラム改訂のための時間を短縮することができる。また、データの流出、改竄等に対応するためのセキュリティ対策のため、ネットワーク上を電送されるプログラムや画像データには、暗号化処理が行われる。
【０１７１】
本例では、プログラムの改訂を行う手順を説明したが、プログラムのみならず、処理時に必要となる処理パラメータ等の設定をプログラム開発拠点で行い、情報処理装置に転送することも可能である。例えば、検査情報ファイル１４３に格納される撮像条件、前処理条件、検査処理条件等の条件変更の処理を行う。
【０１７２】
なお、図２５に示す生産工場の構成は、例えば、図２７に示すように、生産現場内に複数の生産ライン４１０があり、その生産ライン毎に情報処理装置２００を持つ形態であってもよい。この場合、複数個の情報処理装置２００のそれぞれにおいて、上で説明した手順によりプログラムの改訂が行われる。
【０１７３】
また、図２３に示した品質評価システムを実現する他の構成としては、図２８に示すように、情報処理装置２００を生産現場内でなく、大規模ネットワーク３９０に接続する形態も挙げられる。この形態においては、情報処理装置２００により、複数個の生産工場で検出される画像データに対して、欠陥判定、出来映え判定等の検査処理、さらに、制御条件発生処理などが行われる。
【０１７４】
前述したように、生産工場を大規模なネットワークに接続する場合は、生産工場は同一の国に限定される必要もなく、また、同一の企業に限定されることもない。但し、１つの情報処理装置において、複数の生産会社のデータをまとめて管理する場合には、画像データ、検査データが互いに他の企業に流出しないように、セキュリティを高める必要がある。例えば、情報処理装置内のデータ全てに対して、各企業からのアクセスを許可するか否かを示すアクセス情報を保持し、データへのアクセス要求があった際に、そのアクセス情報を参照し、アクセス元に対する許可が設定されている場合にのみ、データアクセスを許可する等の対応を行う。
【０１７５】
また、前述したプログラム規定拠点５００によるプログラム改定を有償により行うことができる。すなわち、プログラム改定ビジネスとしてプログラム改定を行うことができる。この場合、課金処理を付加する。課金は、例えば、プログラムの改定項目ごとの作業量を計数し、計数した改定作業量に、項目ごとに予め定めた単価を乗じた積を加算することによって算出することができる。これに、必要に応じて基本手数料等を加算することによって、徴収する金額を決定することができる。課金情報は、プログラム改定要求を基にネットワーク３９０を介して送られる。
【０１７６】
（品質評価システムの他の実施形態）
次に、本発明による品質評価システムの他の実施形態について図２９を参照して説明する。本実施形態では、プリント基板、半導体ウェハ等の製品を量産する複数個の生産工場４００と、品質評価を集中して行う品質評価拠点６００とが大規模ネットワーク３９０を介して接続されている。
【０１７７】
生産工場４００は、図２５および図２７に示すように、検査画像を検出する画像検出装置が配置された生産ライン４１０、検査画像を処理して欠陥判定、出来映え判定を行う情報処理装置２００等から構成されているものとする。
【０１７８】
なお、本実施形態では、画像検出装置と情報処理装置とは、図２５および図２７に示したように、切り離されて構成されている必要は必ずしもない。例えば、図３０に示すように、外観検査装置９００が内部ネットワーク３００に接続され、それらの検査装置９００での検査結果が検査サーバ７００に保存される構成としてもよい。
【０１７９】
また、検査サーバ７００に保管される検査結果は、これまで述べたような、外観検査装置による結果には限られない。例えば、電気的な検査結果であってもよい。その一例として、半導体チップ（ＬＳＩ）の製造工程での電気的な検査結果が挙げられる。すなわち、この工程では、製品完成後、チップの入力ピンと出力ピンに流れる電気信号の関係が仕様を満たしているかを調べ、その結果を基に、そのチップが良品であるか不良品であるかを判定する電気テストが行われる。前述した検査結果には、そのような電気テスト装置による結果を含めることもできる。
【０１８０】
図３１は、品質評価拠点６００の内部構成を示している。品質評価拠点６００は、データ送受信のための送受信装置６９０、様々な検査結果を用いて品質評価を行う評価処理装置６３０、キーボード、マウス、ディスプレイなど、品質評価拠点６００へのデータを入出力するための入出力装置６２０、動作を統括する統括制御装置６１０、入出力されるデータを記憶する記憶装置６４０からなる。また、各装置６１０，６２０、６３０および６４０は、ネットワーク３００により接続される。
【０１８１】
図３１に示す品質評価拠点６００の役目は、大規模ネットワークに接続された、各生産工場での検査結果を、大規模ネットワーク３９０を通じて収集し、それらのデータを解析し、生産工場、生産ライン、生産会社毎の品質管理状況を数値化して、表示可能とすることにある。この処理手順を図３２に示す。
【０１８２】
まず、品質評価拠点６００は、各生産工場における検査結果の収集開始要求を発する指示を、入出力装置６２０を介してオペレータから受け付ける（Ｓ６１１１）。この際、オペレータから指定される項目として、要求する検査結果データを絞り込むためのフィルタ条件、例えば、製品名、工程名や検査日付等がある。品質評価拠点６００には、その記憶装置６４０に、図４０に示すような、製品名、工程名、その生産工場名、生産会社名、それらのデータ保持する情報処理装置の識別子等のフィルタ項目データを、例えば、フィルタ項目一覧ファイル６４２として予め保持しておく。統括制御装置６１０は、このフィルタ項目一覧を入出力装置６２０の画面に表示させる。従って、それらの項目を用いて入出力装置６２０から取得データを絞り込むフィルタ条件を指示することが、オペレータにとって容易となる。なお、記憶装置６４０には、このほかに、自識別子を格納する自識別子ファイル６４１、および、品質評価項目を格納する品質評価項目ファイル６４３が置かれている。
【０１８３】
統括制御装置６１０は、検査結果収集開始要求を受信すると、上記フィルタリングの内容から検査結果要求先である情報処理装置２００を特定し、上記フィルタ条件をその情報処理装置２００に対し送付し、検査結果要求をする（Ｓ６１１３）。要求信号の送信では、送受信装置６９０で、必要なデータ識別子の付加や暗号化を行う。
【０１８４】
情報処理装置２００は、検査結果要求の信号を受け付けると、データ種識別子の認識と復号化を行う（Ｓ２４１１）。この後、検査結果を返送するためのフィルタリング条件を認識し、その内容に従って、判定検査結果格納用記憶装置２９０から検査結果を取り出す（Ｓ２４１２）。それを要求元の品質評価拠点６００に返送する（Ｓ２４１３）。
【０１８５】
品質評価拠点６００では、返送された検査結果を受け取ると（Ｓ６１１４）、それを記憶装置６４０に格納すると共に、入出力装置６２０に、返送されたデータを受け取った旨、表示させる（Ｓ６１１５）。この際に、受け取ったデータそのものを表示してもよい。
【０１８６】
本例では、品質評価拠点６００は品質評価に必要となるデータを各情報処理拠点から収集するものとしている。しかし、これに限られない。このデータ収集の開始は、先に説明したようにオペレータからの指示による必要はない。例えば、予めデータ収集を行うスケジュールを、日付、曜日、時刻等の単位で、品質評価拠点６００内の記憶装置６４０に記憶しておき、そのスケジュールにしたがって自動的にデータを収集することも可能である。また、データ収集を品質評価拠点側からの要求を起点とするのでなく、情報処理装置側から送ることもできる。例えば、情報処理装置２９０３において、１製品もしくは１工程の検査処理の終了後、その検査結果が検査結果格納用記憶装置２８０に格納された後に、そのデータを情報処理装置２００側から品質評価拠点６００に向けて送信することも可能である。また、この送信処理を予め定められたスケジュールに従って行うようにしてもよい。
【０１８７】
品質評価拠点６００では、上記のようにして収集した各生産現場での検査結果を用いて品質評価情報を計算する。オペレータからの品質評価情報を計算する旨の指示を、入出力装置６２０を介して受け付けると、統括制御装置６１０は、それを受けて、必要な検査データを記憶装置６４０から読み出し、評価処理装置６３０に渡す。
【０１８８】
評価処理装置６３０では、記憶装置６４０に予め定められた、品質評価項目を計算する。項目としては、図４０に示す品質評価項目ファイル６４３に格納される項目、すなわち、検査頻度、製品上の欠陥数、欠陥密度（検査対象の単位面積当たりの欠陥数）等である。また、他の項目として、生産ラインのクリン度、製品生産量など、検査結果に直接含まれないデータに関する項目でもよい。このような、各生産現場から得られるデータであって検査結果以外のものは、それらのデータが各情報処理装置でから収集されるデータに含まれているか、または、取得したデータから計算できる必要がある。
【０１８９】
収集したデータに基づいて品質評価値を、生産会社別、生産現場別、生産ライン別に計算する。また、得られた品質評価値を記録する。さらに、それを比較することで、生産会社、生産現場、生産ライン毎での製品品質のランク付けを行う。例えば、欠陥数、欠陥密度、歩留り、良品数等のデータを計算すると共に、ランク付けを行う。これらのデータは、記憶装置６４０に格納される。格納されるデータは、例えば、図３３に模式的に示すように区分されて格納される。すなわち、生産会社リストファイル、検査結果リストファイル、および、製品別ランク等のファイルが格納される。
【０１９０】
図３３は、計算された品質評価結果を入出力装置６２０の表示画面上に示した一例である。生産会社リスト６２１０には、品質評価拠点６００において管理しているデータであって、会社名、生産拠点名、各生産拠点で生産する製品名、当該製品の月ごとの生産量、導入されている検査装置の数などが一覧表示されている。また、検査結果リスト６２２０では、各生産拠点で行われた検査の結果、例えば、欠陥数や欠陥密度（単位面積値の欠陥数）がその生産拠点名、生産会社と共に表示される。また、製品別ランク６２３０では、製品毎に、製品歩留りを指標として、その高い順に、会社名と生産拠点と生産された良品の数とが表示されている。この歩留りとは、製品の完成後に行われる電気検査の結果から得られる値で、着工した製品の数に対する良品の数を表す。ここでは、一例として、歩留りを用いて、生産拠点毎の順位を示している。もちろんランク付けの対象となる項目は、それには限られない。
【０１９１】
また、検査結果リスト上の項目について詳細に表示した画面例を図４１に示す。検査結果情報表示６２４０には、当該データの製品名、工程名、欠陥数などの検査結果情報６２４０が一覧表示される。また、製品外観図６２５０には、検査品の外観と共に、検出された欠陥の位置情報（×）とその番号が表示される。各々について、欠陥画像６２６０として、欠陥画像６２６１、６２６２が表示される。欠陥画像６２５０は、各情報処理装置から送られる検査結果に含まれるデータである。
【０１９２】
図３３、図４１に示した例をはじめとする品質評価情報は、入出力装置６２０に表示される以外に、製品を購入するユーザに通知することも可能である。
【０１９３】
図３４は、本発明に係る品質評価システムが適用される他の実施形態の概要を示している。本例では、図２９に示す品質評価システムにおいて、その大規模ネットワークに顧客端末８００が接続されている。
【０１９４】
顧客端末のシステム構成の一例を図３５に示す。顧客端末８００は、データ送受信のための送受信装置８９０、キーボード、マウス、ディスプレイなど、顧客端末８００へのデータを入出力するための入出力装置８２０、動作を統括する統括制御装置８１０、入出力されるデータを記憶する記憶装置８４０からなる。
【０１９５】
図３７に、本品質評価システムにおける顧客端末８００と品質評価拠点６００間の処理フローを示す。本品質評価システムによれば、品質管理サービスの提供を受けようとする顧客は、品質評価拠点６００に格納される各生産拠点の品質評価情報を顧客端末８００において取得することとなる。そこで、この品質評価拠点６００と予め契約を行い、当該品質評価拠点６００にアクセスする権限を取得し、そのためのパスワードを得ておく必要がある。
【０１９６】
顧客端末８００は、入出力装置８２０から、大規模ネットワーク３９０を経由して、品質評価情報を取得したい旨を品質評価拠点６００に伝えるため、データ参照のためのサクセス要求を送信する（Ｓ８１１１）。
【０１９７】
品質評価拠点６００は、アクセス要求を受けると（Ｓ５２１１）、パスワード入力画面を入出力装置８２０に送り、パスワードの入力を促すための情報を要求元顧客端末８００に送る（Ｓ６２１２）。
【０１９８】
要求元の顧客端末８００は、前記パスワードの入力を促すための情報を受け取ると、当該情報に基づいて入出力装置８２０の表示画面上に、パスワードの入力を促す表示を行わせる（Ｓ８１１２）。顧客端末８００は、入出力装置８２０を介してパスワードの入力を受け付けると、当該パスワードを品質評価拠点６００に送る（Ｓ８１１３）。
【０１９９】
品質評価拠点６００は、顧客端末８００から送られたパスワードを受信し（Ｓ６２１３）、当該パスワードの認否のための照合処理を行う。パスワードが認識される場合には、認識された旨の照合結果を、また、認識されないた場合には、パスワードが認識できない旨の照合結果を、顧客端末８００に送信する（Ｓ６２１４）。
【０２００】
顧客端末８００は、パスワードの照合結果を受け取ると、その結果について判定を行う（Ｓ８１１４）。パスワードが認識できない旨の照合結果を受け取った場合には、Ｓ８１１３の処理に戻り、パスワードの入力画面の表示を行う。パスワードが認識されたものである旨を示す場合には、オペレータからの要求内容を受け付ける旨の表示を入出力装置８２０の表示画面に行い、入出力装置８２０を介して要求内容の入力を受け付ける（Ｓ８１１５）。その上で、オペレータの要求内容を品質評価拠点６００に送信する（Ｓ８１１６）。
【０２０１】
品質評価拠点６００は、要求内容を受信する（Ｓ６２１５）。品質評価拠点６００は、受信した要求内容に従って、データの検索を行う（Ｓ６２１６）。検索結果を要求元顧客端末８００に送信する（Ｓ６２１７）。
【０２０２】
顧客端末８００は、検索結果を受信する（Ｓ８１１７）。そして、顧客端末８００は、受信した検索結果を入出力装置８２０の表示画面に表示する（Ｓ８１１８）。例えば、図３３、図４１に示すような画面が表示される。表示された内容は、顧客端末８００で、記憶装置８４０に保存することも可能である。
【０２０３】
このような、品質評価情報を提供された顧客は、各生産会社、各生産工場での生産量や歩留りなどを参考にして、購買する製品の選定を行うことができる。一方、生産会社側にあっても、データ提供を有償で行うことにより、製品コストを低減するための原資の確保ができると共に、自社の品質の良さを客観的に示すことができるため、取引を優位に進めることができる。
【０２０４】
図３６は、本発明に係る品質評価システムの全体像を示したものである。これまでの説明より、この構成においては、（１）生産工場４００を持つ生産会社、（２）顧客端末８００を有し、製品を購入する顧客、（３）生産工場４００で用いられる画像検出装置、検出データを処理する情報処理装置等の提供、および、処理プログラムの改訂を行う処理プログラム開発拠点５００を運営する検査システム提供会社、（４）検査結果を用いて品質評価データを計算し、顧客に提供する品質評価拠点６００の４種の企業が大規模ネットワーク３９０に接続されていることになる。これらの企業間では、以下のようにデータ、それに対する対価の授受がなされる。
【０２０５】
製品生産会社は、生産工場において製品を製造し、それを顧客に販売することによりその対価を得る。検査システム提供会社は、画像検出装置や情報処理装置を開発し製品生産会社に販売し、また、処理プログラムなどの改訂を判定プログラム改定拠点において行うことにより、それらに対する対価を得る。そして、品質評価会社は、各検査システム提供会社が提供する検査システムが出力する検査結果を入力可能とするためにデータフォーマットを開示してもらうことに対し対価を支払う。一方、検査結果を提供する生産会社に対しその対価を支払う。製品購入顧客は、各製品生産会社の品質管理状況を把握するために、品質評価会社より品質評価情報の提供を受け、その対価を支払う。
【０２０６】
（外観検査システムの他の実施形態）
次に、前述した外観検査システムをより具体的に生産ラインに適用した例について、図４２および図４３を参照して説明する。図４２に示す例は、画像検出装置を生産ラインの工程ごとに分散して配備し、検査結果を情報処理装置に集めて処理する形式のシステムである。一方、図４３に示す例は、画像検出装置を検査ステーションに集中配備して、検査ステーションにおいて検査を集中的に行う形式のシステムである。これらは生産ラインでの各工程の性質、規模に応じて適宜選択することができる。また、図４２および図４３において示す例では、撮像装置において、複数の光学系を用意してあり、検査条件に応じていずれかの光学系を選択して検査する構成となっていること、および、制御装置において相違があることを除いては、基本的に前述した画像検出装置とほぼ同様の構成を有する。ここでは、相違点を中心として説明する。
【０２０７】
図４２に示す外観検査システムは、生産ライン４１０において、成膜４１１、現像４１２、エッチング４１３等の複数の工程について、それぞれ検査ユニット１００Ｕを配置している。各検査ユニット１００Ｕは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００に接続される。また、検査ユニット１００Ｕは、制御装置１１５と、記憶装置１４０と、撮像装置１６０と、送受信装置１９０とを有する。
【０２０８】
撮像装置１６０は、検査対象を載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（図示せず）と、照明装置（図示せず）と、光学系１６５１、１６５２、…、１６５ｎと、光学系を選択して所定位置に配置するための変位機構（図示せず）と、画像センサ（図示せず）とを有する。光学系１６５１、１６５２、…、１６５ｎは、倍率、視野角、分光特性、照明光のガイド等において種々異なるものが複数用意されている。これらは制御装置１１５からの選択信号により選択され、該当するものが変位機構により撮像位置に配置される。
【０２０９】
制御装置１１５は、前述した画像検出装置１００が有する統括制御装置１１０と、検査制御装置１５０と、前処理装置１８０とを統合した機能を有する。また、制御装置１１５は、複数の光学系を検査条件に応じて選択する指示を生成して出力する。撮像制御装置１１５を有する点である。撮像制御装置１１５は、前述した、統括制御装置１１０、検査制御装置１５０および前処理装置１８０の各機能を実現する。
【０２１０】
情報処理装置２００は、統括制御装置２１０と、統括制御用記憶装置２４０と、検査処理装置２５１と、画像格納用記憶装置２６０と、検査処理情報格納用記憶装置２７０と、検査結果格納用記憶装置２８０と、送受信装置２９０とを有する。この例では、検査条件発生装置２５５を備えていない。本例では、検査条件については統括制御装置により生成することを前提としているからである。しかし、検査条件を、外部システムから取り込む構成としてもよい。
【０２１１】
光学系の選択は、例えば、検査条件に合わせて予めいずれの光学系を用いるかを指定する情報を検査条件の項目の中に入れておくことによって、容易に行い得る。例えば、偏光フィルタ、色フィルタ等の特定のフィルタが装着された光学系、倍率が異なる光学系、照明光をガイドする機能を有する光学系等の検査目的に応じた性能を有する光学系を指定する情報を用意しておく。制御装置１１５は、与えられた検査条件中に含まれる光学系を指定する情報に基づいて、変位機構を駆動させて支持された光学系を検査位置に配置する。この動作については、図４３の場合も同様である。
【０２１２】
このシステムによる検査動作は、光学系を選択する動作を除いては、前述した実施形態と基本的に同じである。従って、ここでは説明を省略する。
【０２１３】
図４３に示す外観検査システムは、生産ライン４１０において、成膜４１１、現像４１２、エッチング４１３等の複数の工程についての検査を行うための検査ステーション１００Ｓが配置されている。検査ステーション１００Ｓは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００と接続される。検査ステーション１００Ｓは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００に接続される。また、検査ユニット１００Ｓは、制御装置１１５と、記憶装置１４０と、撮像装置１６０と、送受信装置１９０とを有する。すなわち、検査ステーションＳは、検査ユニット１００Ｕと基本的には同じ構成となっている。相違するのは、複数の工程についての検査を行うため、検査条件が工程ごとに異なることが想定されるため、制御装置１１５において複数の工程分の検査条件を保持する点にある。
【０２１４】
このシステムによる検査動作は、光学系を選択する動作を除いては、前述した実施形態と基本的に同じである。従って、ここでは説明を省略する。
【０２１５】
図４２および図４３に示す実施形態によれば、光学系の選択が行えるため種々の検査条件に対応できることとなる。従って、検査の内容に応じて異なる検査装置を用意せずに、少ない検査装置で幅広い検査条件に対応することが可能となる。この結果、検査装置のスペースメリット、使用効率の向上という点で優れているといえる。特に、多品種少量生産の生産工場における検査装置として好適である。
【０２１６】
（実施形態による効果）
前述した各実施形態により期待し得る効果は下記のとおりである。
【０２１７】
先ず、プリント配線板や半導体ウェハなどの製品の製造現場に与える効果としては、生産現場における検査装置占有面積の省スペース化である。製造現場内に設置する部分は、画像を検出部位のみであり、画像処理部のための面積を占有しない。
【０２１８】
各画像検出装置位の感度の均一化が容易に達成されることによる検査装置の使い勝手の向上が達成される。個々の画像検出装置毎に撮像条件を調整・設定をしても実際の検査画像の質には装置毎に差があり、検査装置毎に処理パラメータの調整が必要であるが、これらの処理を一元化することで、機差の解消が容易に達成される。
【０２１９】
また、製造拠点を複数持つメーカでは、各生産拠点における検査結果情報をネットワークで接続された品質評価拠点で一元管理することで、各生産拠点での製品出来映え等を対比することができ、生産量の調整や各生産拠点の品質管理状態を一元管理することができる。
【０２２０】
一方、検査装置を提供する側の検査装置メーカに与える効果としては、検査装置を安価に製作することが挙げられる。これは画像処理部と情報処理装置と切り離して製造・開発することができ、開発効率を向上させることができるからである。つまり、製品の世代が代わり、より微細な欠陥を見つける必要性が生じた場合や、それまでとは異なる仕様で検査をしなければならなくなるような場合でも、画像検出装置における撮像方法、例えば、画像センサの種類・照明方式の変更等画像検出に関する部分と処理プログラムの改良などの処理に関する部分とを独立に進めることができるため、開発費を減らせるメリットがある。
【０２２１】
また、欠陥検出処理の際に与えるべき画像処理パラメータや画像処理プログラムを検査装置メーカ側からネットワークを通じて情報処理装置に転送することが可能となる。その上、パラメータの設定に必要な画像データそのものもネットワークを通じて、生産拠点から検査装置メーカ側に送付することができるため、判定プログラム等のアルゴリズムを改良する期間が短縮される。
【０２２２】
また、製品購入者は、各生産拠点における検査結果を複数の生産拠点・複数のメーカに渡り統合し各メーカの品質評価情報を提供する品質評価拠点から、各メーカ・各拠点の品質管理状況を入手することができ、製品を購入する際の比較検討材料として活用することができる。この様な品質評価情報は、メーカ側が製品競争力を高めるための指標として活用することができる。
【０２２３】
この発明においては、ネットワーク上を画像データや処理プログラム、検査データ、品質評価情報等の情報が転送される場合には、必要な暗号処理を行うことができるため、データの改竄を防ぎ機密性を保持することができる。
【０２２４】
【発明の効果】
本発明によれば、生産現場に設置される検査装置の小型化を図ると共に、検出結果の処理条件の設定が容易に行えるようにするための技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る外観検査システムおよび品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る画像検出装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る外観検査システムにおける、外観検査の流れを示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る画像検出装置の表示画面例を示す説明図である。
【図６】本発明に係る画像検出装置の前処理装置の構成例を示すブロック図である。
【図７】本発明に係る画像検出装置の送受信装置の、送信機能に関する構成図である。
【図８】本発明に係る画像検出装置の送受信装置の、受信機能に関する構成図である。
【図９】本発明に係る情報処理装置の送受信装置の、受信機能に関する構成図である。
【図１０】本発明に係る情報処理装置の送受信装置の、送信機能に関する構成図である。
【図１１】本発明に係るデータ種識別テーブルの内容を示す説明図である。
【図１２】本発明に係る画像検出装置の表示画面例を示す説明図である。
【図１３】本発明に係る撮像条件設定処理フローを示すフローチャートである。
【図１４】本発明に係る撮像条件設定処理の表示画面例を示す説明図である。
【図１５】本発明に係る情報記憶装置の処理記憶装置の内容を示す説明図である。
【図１６】本発明に係る撮像条件設定処理の表示画面例を示す説明図である。
【図１７】本発明に係る撮像条件設定処理を説明する説明図である。
【図１８】本発明に係る画像検出装置の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図１９】本発明に係る情報処理装置の画像記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２０】本発明に係る電子線式の画像検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２１】本発明に係る情報処理装置の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２２】本発明に係る情報処理装置の検査結果記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２３】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２４】本発明に係る品質評価システムの判定プログラム開発拠点の構成を示すブロック図である。
【図２５】本発明に係る品質評価システムの生産工場の構成を示すブロック図である。
【図２６】本発明に係る品質評価システムにおけるプログラム改訂のフローを示すフローチャートである。
【図２７】本発明に係る品質評価システムの生産工場の構成を示すブロック図である。
【図２８】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２９】本発明に係る品質評価システムの構成を示す図である。
【図３０】本発明に係る生産工場の構成を示すブロック図である。
【図３１】本発明に係る品質評価システムの品質評価拠点の構成を示すブロック図である。
【図３２】本発明に係る品質評価システムでの検査結果収集処理のフローを示すフローチャートである。
【図３３】本発明に係る品質評価システムの品質評価拠点での画面表示例を示す説明図である。
【図３４】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図３５】本発明に係る品質評価システムの顧客端末の構成を示すブロック図である。
【図３６】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図３７】本発明における品質評価システムの品質評価情報転送のフローを示すフローチャートである。
【図３８】本発明における品質評価システムにおけるプログラム開発拠点の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図３９】本発明における品質評価システムのプログラム開発拠点で表示される画面の一例を示す説明図である。
【図４０】本発明における品質評価システムにおける品質管理情拠点の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図４１】本発明における品質評価システムの品質評価拠点での画面表示例を示す説明図である。
【図４２】本発明の他の実施形態を示すブロック図である。
【図４３】本発明の他の実施形態を示すブロック図である。
【符号の説明】
１００…画像検出装置、１００Ｇ…検出装置群、１１０…統括制御装置、１２０…入力装置、１３０…出力装置、１４０…記憶装置、１５０…検査制御装置、１６０…撮像装置、１６１…試料室、１６４…画像センサ、１６３…照明装置、Ｍ…検査対象（試料）、１６２…ステージ、１７０…電子線式撮像装置、１８０…前処理装置、１９０…送受信装置、２００…情報処理装置、２０９…内部バス、２１０…統括制御、２２０…入力装置、２３０…出力装置、２４０…統括制御用記憶装置、２５１…検査処理装置、２５５…検査条件発生装置、２６０…画像格納用記憶装置、２７０…検査処理用記憶装置、２８０…検査結果格納用記憶装置、３００…ネットワーク、４００…生産工場、５００…判定プログラム改定拠点、６００…品質評価拠点、８００…顧客端末。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a technology for collecting inspection results from inspection sites for products or semi-finished products, processing the inspection results, generating information on the inspection results of the products, and providing the information to a request source. More particularly, the present invention relates to a technology for collecting and processing inspection results from an inspection device installed at a production site, and a technology for evaluating the quality of products using the inspection results.
[0002]
[Prior art]
In order to mass-produce some products in a production factory, it is necessary to inspect whether those products or semi-finished products (hereinafter simply referred to as “products including semi-finished products”) are produced according to specifications. This type of inspection has shifted from manual inspection to mechanical inspection using a sensor. In addition, the output of the sensor is electrically processed, the result is converted into digital information, and can be processed by a computer. In recent years, inspections have been required to have higher accuracy as products become more sophisticated. Therefore, there is a tendency for the inspection apparatus to have higher functions.
[0003]
For example, there is an appearance inspection as one of inspections generally performed on products such as semiconductors and printed circuit boards. Appearance inspections include, for example, a defect inspection that detects whether a product has a foreign substance or a scratch on the product production site, a workmanship that confirms whether the product is manufactured to the specified dimensions, etc. There are various inspections such as inspections. Also in this type of visual inspection, the visual inspection performed by the operator by visual inspection has been shifted to a visual inspection device automatically performed by using a machine. Mechanization of visual inspection has been further advanced with the demand for labor-saving, high-speed, and high-accuracy inspection.
[0004]
An appearance inspection apparatus used for such an appearance inspection performs an inspection by taking an image of a product to be inspected by some method and processing the obtained image. As a conventional technique relating to these visual inspection techniques, for example, Patent Literature 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-181421) discloses a technique relating to a visual inspection apparatus for a printed wiring board. Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-203621) discloses a technique relating to a visual inspection apparatus for a semiconductor wafer.
[0005]
As can be seen from these disclosure examples, in the configuration of the visual inspection apparatus according to the related art, (1) means for capturing an image of an inspection target, and (2) processing means for processing the captured image are basic components. And a part such as a data input / output unit and an inspection result display unit is added to the configuration. Patent Document 3 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-77495) discloses a technique regarding an inspection system in which a plurality of the above-described appearance inspection apparatuses are connected to a network. On the network, there is a server that collectively stores the inspection results of each inspection device. Through this server, the inspection results of each inspection device are integrated and processed, and the degree of defect occurrence and its time Outputs information such as transitions.
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-8-181421
[Patent Document 2]
JP-A-9-203621
[Patent Document 3]
JP-A-2000-77495
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
2. Description of the Related Art In recent years, products such as semiconductors and printed circuit boards have become smaller and have higher performance. Along with this, manufacturers of these products are required to perform appearance inspection with higher accuracy. In order to satisfy this demand, it is necessary to process a high-accuracy image obtained by imaging the target product at high speed. In addition, with the miniaturization of products, it is desired that the inspection device be as small as possible because of imaging via an optical device such as a microscope.
[0008]
As described above, in recent appearance inspection apparatuses, it is necessary to process a large amount of image data at high speed, and therefore, a large-scale dedicated image processing circuit is required as the image processing apparatus. This type of image processing circuit mounts a large number of large-scale LSIs, memory chips, and other electronic circuit elements for calculation processing on one or more substrates. For this reason, this kind of image processing circuit causes a problem of increasing the size of the inspection device. On the other hand, instead of the dedicated image processing circuit described above, image processing may be performed by software using a computer. In this case, a computer is built in the inspection device or externally attached. However, in any case, the size of the inspection apparatus is increased. Such an increase in the size of the inspection apparatus is not preferable because it requires a lot of space for installing the inspection apparatus at a production site. Further, there is also a problem that the price of the inspection apparatus is unavoidably increased due to the provision of the image processing circuit, the computer and the like.
[0009]
When the inspection apparatus is used for inspection, setting of an inspection target, image processing conditions, and the like are performed according to the inspection standard. When a plurality of inspection apparatuses are installed, this kind of condition setting needs to be individually performed for each inspection apparatus in consideration of a difference in an apparatus, an inspection environment, and the like. In addition, not only when the product is different, but also when the design of the same product is changed, the inspection standard, the appearance of the inspection target, and the like change accordingly. Therefore, it is necessary to set the processing conditions again. In recent years, this type of processing condition setting has to be frequently performed as products change in a short period of time.
[0010]
However, as described above, the conventional inspection apparatuses are individually equipped with image processing circuits. For this reason, it is necessary to individually set processing conditions for a plurality of installed inspection apparatuses. In the case of computer processing of images, it is not enough to simply reset the conditions, such as to respond to changes in inspection conditions and to meet the demands for higher accuracy of inspections. In some cases, this must be done. In such a case, it is necessary to re-install the processing program, replace the ROM, and replace the board on which the image processing circuit is mounted with respect to the individual device. Therefore, there is a problem that it is not easy to quickly change the setting of the processing condition in the inspection in accordance with the change of the product.
[0011]
All of the above-mentioned problems are caused by the appearance inspection apparatus performing image detection and processing of the detected image. This has not been solved even in the case of an inspection system that stores data in a server via a network as described in Patent Document 3.
[0012]
With the recent changes in the industrial structure, the form of the system can change in the business of producing products. For example, in the past, inspection, quality control, and production control of a product were generally performed at the production site. However, in order to meet the demands for advanced inspection and objective evaluation of quality, a large amount of capital investment is required for capital investment and maintenance of inspection work. Therefore, it is not always easy for a large company to do everything in one company. In particular, it is not easy for small and medium-sized enterprises to realize the burden. For this reason, it is desired to construct a new method for solving such a situation, for example, a technical method for performing operations for maintaining product quality, such as inspection, quality control, and production control, by outsourcing. .
[0013]
By the way, the inspection result obtained by the inspection apparatus can be used as quality evaluation data when quality control of a product is performed. Therefore, a quality evaluation system using an appearance inspection device will be considered.
[0014]
Manufacturers that manufacture and sell electronic components such as semiconductor chips, printed circuit boards, etc., manage the status and frequency of defects at production sites, and strive to improve quality and productivity. ing. For this reason, a plurality of visual inspection devices are introduced for each production site.
[0015]
On the other hand, consider purchase behavior of a purchaser of a product such as a semiconductor chip. In this case, when a product is manufactured by incorporating the purchased product as a part, it is reasonable to select and purchase a more reliable product. Many products produced can be expected to function according to their specifications when purchased. However, some of the many products that have been shipped may fail when used continuously. Therefore, when purchasing a product, it is necessary for the purchaser to consider not only the specifications such as its performance, but also the reliability of the product quality, the yield, and whether the product can be supplied stably. There is. For that purpose, it is preferable to refer to information on product quality.
[0016]
By the way, since information on product quality evaluation is internal information of each manufacturer, it is not disclosed to the public. For this reason, it is difficult for the purchaser to know the information on the quality evaluation of the product. Therefore, it is inevitable for the purchaser to empirically grasp the status of the quality evaluation of the products of each company with reference to the past transaction results and the like.
[0017]
However, in the case of a new product, use experience has not been accumulated for the product, and it is difficult to judge the quality based on the experience. From the buyer's point of view, it is desired that data that objectively evaluates the products of each company be made available. If such data becomes available, it can be used effectively as a decision material when purchasing a product.
[0018]
On the other hand, from the manufacturer's point of view, disclosing information on product quality evaluation to customers can show customers that their own production systems are sound and that quality control is highly reliable. There are advantages. For example, the company maintains its product quality, such as that the product inspection system is sufficiently established, that inspections are performed objectively in isolation from the production site, and that quality control is thoroughly implemented. And information indicating that we are working to improve it. Such information disclosure indicates that the company has high loyalty to customers, and can be an effective means for acquiring customers and retaining the acquired customers.
[0019]
Therefore, it is necessary to establish a technical mechanism that can disclose information on product quality evaluation on demand. However, at present, there is only technology for individual inspection devices.
[0020]
The foregoing is a discussion of an inspection apparatus that performs an inspection with image processing on inspections of products and various problems related to quality control performed using the inspection results. However, this type of problem is not so limited. A similar problem may occur in an inspection apparatus that must process a large amount of data at high speed, such as other types of data, for example, acoustic data.
[0021]
An object of the present invention is to provide a technique for reducing the size of an inspection apparatus installed at a production site and for easily setting processing conditions for detection results.
[0022]
It is another object of the present invention to provide a technique necessary for realizing a new technical method for performing inspection, quality evaluation, and the like on a plurality of production sites independently of the production sites.
[0023]
Still another object of the present invention is to provide a technical mechanism capable of disclosing information on product quality evaluation on demand.
[0024]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention,
In an overview inspection system that acquires an image of an inspection target and performs an appearance inspection,
An image detection device that detects an image to be inspected,
An image processing apparatus that processes an image detected by the image detection apparatus and determines whether there is an abnormality that appears in the image of the inspection target;
The image detection device and the information processing device can be connected via a network,
The image detection device transmits at least one of the detected image and the processed data to the information processing device with an identifier of the data,
The information processing device identifies a received image based on the identifier included in the received data, and determines whether or not the abnormality is present.
An appearance inspection system is provided.
[0025]
Here, the identifier added to the data output from the image detection device may include information on an examination characterizing the contents of the examination. The identifier includes, as information about the inspection, at least one of information on an inspection target whose image is detected, an inspection area in the inspection target, an imaging condition, an image detection device that has performed imaging, a production factory, and a production company. Can be included.
[0026]
Further, the image detection device has a pre-processing device that pre-processes an image obtained from an inspection target, and the information processing device determines the content of pre-processing performed in the pre-processing device, and It can be configured to send to a detection device.
[0027]
The information processing device may be configured to include a unit that generates information for controlling an imaging condition in each image detection device. Further, the image detection device may be configured to control imaging based on control information received from the information processing device.
[0028]
The information processing device may include a computer that processes the image detected by the image detection device and performs a process of determining whether an abnormality appears in the image of the inspection target. The configuration of the computer can be determined according to the content of the processing performed by the computer and the amount of image data transmitted from the image detection device.
[0029]
Further, the image detection device and the information processing device may be configured to include a unit for encrypting data to be transmitted and received and a unit for decrypting the encrypted information.
[0030]
According to another aspect of the present invention,
A quality evaluation system that provides information for evaluating quality based on product inspection information,
An inspection system for inspecting products,
And a quality evaluation base that evaluates product quality using information obtained from the inspection system.
The inspection system and the quality evaluation base can be connected by communication means,
The inspection system includes an inspection result of the product and at least one of information on the inspection object, the position of the inspection object inspected, the detection condition of the inspection image, the image detection device that detected the image, the production line, and the production company. Has the function of sending
The quality evaluation base has a function of acquiring information transmitted from one or more visual inspection systems, processing the information, and displaying the result.
A quality evaluation system is provided.
[0031]
According to another aspect of the present invention,
An inspection system having a function of revising a processing program used in an inspection system for inspecting a product,
An inspection system for inspecting products,
Having a program revision base for revising the processing program required for inspection processing in the inspection system,
The above inspection system and the program revision base can be connected via a network,
The inspection system has means for receiving and storing the processing program / processing condition information sent from the program revision base,
The program revision base receives a change input of the inspection image / processing condition information transmitted from the inspection system, and has means for revising the program based on the change input.
And a quality control system characterized by the following.
[0032]
According to yet another aspect of the present invention,
A system for providing information for evaluating the quality of a product produced in a production company to a customer terminal,
An inspection system for inspecting products,
A quality evaluation base that evaluates product quality information from information output by the inspection system,
The inspection system, the quality evaluation base, and the customer terminal can be connected via a network,
The quality evaluation base has means for storing quality evaluation information, means for searching for quality evaluation information in response to inquiries from customers, and means for sending the searched data to customers.
The customer terminal has a means for inputting an inquiry to the quality evaluation base and a means for displaying a transmission result from the quality evaluation base.
And a quality control system characterized by the following.
[0033]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. The embodiment described below includes aspects related to various inventions related to a method for inspecting a product, a system for realizing the method, a program, data, and the like used in the system. In the following, a case will be described in which an image of an inspection site of a product to be inspected is acquired, and inspection is performed by performing processing on the obtained image. More specifically, a case where the present invention is applied to an inspection related to the appearance of a product will be described as an example. An embodiment regarding quality evaluation and the like which can be performed using the obtained inspection result will be described. Further, a description will be given of embodiments related to technologies related to those embodiments and technologies for providing a service for performing information processing related to product inspection, quality evaluation, and the like using the technologies.
[0034]
First, the products manufactured at the production site are inspected for defects such as foreign matter, scratches, dirt, etc., or are inspected to determine whether the products are manufactured to specifications. An appearance inspection system that performs inspection and measurement by processing a captured image, a program and data used for the system, and an inspection method using the system will be described. Then, as an application example, a system for performing production management and evaluation at a manufacturing site based on the results of the visual inspection will be described. These application examples also constitute the invention of the present application.
[0035]
(Appearance inspection system)
FIG. 1 shows a first embodiment of a visual inspection system which is a typical example of an inspection system according to the present invention. The visual inspection system according to the present embodiment processes a detection device group 100G including at least one or more types of image detection devices 100 and an inspection result output from the image detection devices 100 belonging to the detection device group 100G. The information processing device 200 is included as a basic component. The image detection device 100 and the information processing device 200 are connected by an information transmission system 300 for transmitting information between them. The appearance inspection system according to the present embodiment can function as a quality evaluation system by adding a process related to quality evaluation to the processing content of the information processing device 200 described above.
[0036]
The detection device group 100G can include a plurality of types of image detection devices 100 as described above. In the present embodiment, it is assumed that the inspection apparatus has a plurality of image detection apparatuses that capture an image of an inspection target and obtain image data. Note that the detection device group 100G may include a mixture of image detection devices having different inspection purposes such as a defect detection process and a work quality inspection. It is also possible to mix image detection apparatuses having the same inspection purpose but different performances. It is also possible to mix image detection apparatuses having the same performance and different detection conditions depending on the target. In the present embodiment, it is assumed that a plurality of types of image detection devices having different inspection purposes, such as an image detection device for defect detection processing and an image detection device for workmanship inspection, are arranged.
[0037]
The information processing device 200 performs image processing on a detected image sent from the detection device group 100G via the information transmission system 300. The information processing device 200 performs image processing on the detected image, for example, a defect detection process for inspecting dust, scratches, and the like attached to the product, a workmanship inspection for measuring the product size, and inspecting the workmanship of the product. I do.
[0038]
The information transmission system 300 is used for transmitting and receiving information between each image detection device 100 belonging to the detection device group 100G and the information processing device 200. For example, information such as image information is transmitted from the image detection device 100. On the other hand, the information processing device 200 transmits various information such as a detection start request and an information transmission request to each image detection device 100. For example, it can be configured by a local area network (LAN), a wide area network (WAN), the Internet, or the like. Considering that a large amount of information is transmitted at high speed, the information transmission system 300 is more preferably a network capable of transmitting information in broadband.
[0039]
(Image detection device 100)
FIG. 2 is a block diagram showing a functional configuration of the image detection device 100. The image detection apparatus includes an imaging apparatus system (150, 160, 180) having a function of imaging an inspection target, control of imaging, and control for sending an image obtained by the control to the information processing apparatus 200. It has a control device system (110, 120, 130, 140) having a function of performing, and a transmitting / receiving device 190 for performing transmission / reception.
[0040]
The overall control device 110 performs overall control of the operation of the image detection device 100. The general control device 110 is configured by, for example, a computer having a CPU, a ROM, a RAM, a hard disk device, and the like. The overall control device 110 is connected to the input device 120, the output device 130, the storage device 140, the inspection control device 150, and the transmission / reception device 190. The input device 120 includes, for example, a keyboard, a mouse, a barcode reader, and the like, and receives input data from the outside. The output device 130 includes a display, a printer, and the like that display and output data from the central control device 110. In the present embodiment, the output device is configured by a display. A printer can be further connected as an output device. Further, the printer may be connected to a LAN, and may be configured as a network printer used for print output via the LAN.
[0041]
The storage device 140 stores programs and data executed by the general control device 110. As the data, for example, information on an inspection as schematically shown in FIG. 18 is stored. Also, as needed, the program executed by the inspection control device 150 and data necessary for the processing thereof, and further, the program, data such as parameters required by the pre-processing device 180 are stored. The storage device 140 is configured by, for example, a hard disk device. This hard disk device may be either a built-in type or an external type. Further, the above-described various data may be stored in a distributed manner in a disk array or the like in which a plurality of hard disk devices are arranged.
[0042]
The information on the inspection stored in the storage device 140 is, for example, a self-identifier, an information processing device-encryption key correspondence table, inspection product information, inspection information, an inspection result, dummy inspection pattern information, and a data type identifier. In the present embodiment, each piece of information is stored in the corresponding file 141a to 147. The method of storing the information on the inspection is not limited to this.
[0043]
The self-identifier stored in the self-identifier file 142a is an identifier for identifying the self-image detection device from the others. The own identifier means, for example, the serial number of the image detecting device 100, the network address of the transmitting / receiving device 190, and the like, and functions as a unique identifier that can identify each image detecting device from another image detecting device. This also functions as an address for specifying the return destination of the information.
[0044]
The destination address stored in the destination address file 142b is the network address of the information processing apparatus 200 that processes the inspection image acquired by the image detection apparatus 100. Here, when there are a plurality of information processing apparatuses 200, it also functions as information for specifying which information processing apparatus to use.
[0045]
The information processing apparatus identifier-encryption key correspondence table stored in the information processing apparatus identifier-encryption key correspondence table file 142 includes an identifier 1421 of the information processing apparatus 200 and an encryption key number 1422 corresponding thereto.
[0046]
In the inspection item information file 143, as inspection item information, specifically, a record number, a type name indicating a target type, a process name indicating a process in which an inspection is performed, an inspection line name indicating a line in which the inspection is performed, The name of the production company indicating the production company of the product to be inspected, the dimensions of the target product, and other information on the inspection product are specified, and information indicating the production status is stored.
[0047]
In the inspection information file 144, as the inspection information, specifically, a record number, an inspection item ID for specifying an inspection target item, process information indicating a process to be inspected, a photographing condition for acquiring an image, image data And information indicating inspection specifications, such as a preprocessing condition, an inspection processing condition, an inspection area which is information for specifying an inspection area in an inspection target, an inspection method, and a processing result of an inspection result. Here, the imaging condition is information indicating an imaging condition for controlling the imaging condition such as the brightness of the illumination device 163, its position, and angle. The pre-processing condition is information that defines the content of processing to be performed by the pre-processing device 180 on the detected image and the processing condition. The inspection processing condition is information indicating a processing condition in the inspection processing device 251. The inspection area is, for example, information indicating an area to be inspected when the area to be inspected is limited to a part of the inspection target. The inspection method is information indicating the type of inspection to be performed. For example, the information indicates an inspection method to be performed, such as an inspection using primary reflected light by epi-illumination, an inspection using scattered light by oblique illumination, and the like. In the present embodiment, this information is not essential. When an inspection other than imaging is performed, the content of the inspection is shown. For example, the inspection contents such as electric resistance measurement are shown.
[0048]
In the inspection result file 145, as an inspection result, a record number, a product name, a process name, an inspection date and time, an inspection area, a defect number, a defect type, a position and a type of each defect point, and Stored for inspection.
[0049]
The dummy inspection pattern information file 146 includes, as dummy inspection pattern information, an inspection of a dummy having a specific material and a specific pattern arranged in advance on a stage 162 in a sample chamber 161 as an imaging target. The pattern type information indicating the type of the target pattern and the pattern position information indicating the position of the dummy inspection target on the stage 162 are stored in association with the record number.
[0050]
In the data type identifier file 147, as shown schematically in FIG. 11, a data type identifier 1471 composed of a symbol indicating the data type is associated with a data type 1472 of the transmitted / received data as a data type identifier. Multiple types are stored. The data type identifier 1471 is information indicating the content of data transmitted and received. That is, it is information for indicating which type of data such as detected image data, inspection information request data, and the like. As the data type identifier 1471, for example, an identifier indicating "request for inspection information" as the data type identifier A, "detected image data" as the data type identifier B, and "reply of inspection information" as the data type identifier C are stored. ing.
[0051]
The imaging device 160 includes a sample chamber 161 that accommodates an inspection target (sample) M, and a stage (sample table) 162 that is disposed in the sample chamber 161 and on which the inspection target M is mounted and displaced in the XYZ directions. And an illumination device 163 for illuminating the sample, and an image sensor 164 such as a CCD for acquiring an image of the sample by reflected light from the sample. The sample chamber 161 that captures an image of the inspection target W includes an illumination device 163 that illuminates the surface of the inspection target W with illumination light, an image sensor 164 that detects a signal from the inspection target W and converts the signal into image data, A stage 162 for moving the target W is provided. Although not shown, the illumination device 163 includes a light source that emits illumination light, and a first optical system that projects the illumination light onto an imaging target. The image sensor 164 has, in front of it, a second optical system (not shown) for guiding the reflected light from the object to the image sensor 164, and automatically forms an image of the imaging object on the detection surface of the image sensor 164. And a focusing mechanism (not shown) for performing the focusing. The image detected by the image sensor 164 is sent to the pre-processing device 180 and pre-processed.
[0052]
The inspection control device 150 performs control necessary for detecting an image of the inspection target W. Specifically, each operation of the stage 162, the illumination device 163, the transmission / reception device 190, and the preprocessing device 180 is controlled at the time of imaging by various control signals indicated by broken lines in the drawing. That is, the inspection control device 150 receives, from the overall control device 110, inspection information indicating what kind of inspection is to be performed. Further, in response to the instruction to start the imaging, for example, the illumination device 163 controls the illumination position and the illumination intensity (illuminance or luminance) based on the transmitted inspection information. Further, for the pre-processing device 180, the content of the pre-processing corresponding to the inspection content to be inspected is set. Further, it instructs the pre-processing device 180 to capture an image acquired by the image sensor 164. The inspection control device 150 controls the moving direction, the moving range, and the moving speed of the stage 162 based on the test information.
[0053]
In the case of this example, the position of the image sensor 164 is fixed and the stage 162 is moved to obtain an image of the entire detection area. However, the present invention is not limited to this. It suffices that the observation system such as the image sensor 164 and the illumination device 163 and the support system such as the stage 162 have a relative displacement relationship. For example, the image sensor 164 can be moved to acquire an image of only a part to be inspected.
[0054]
The preprocessing device 180 performs preprocessing for a process performed in the information processing device on the detection signal detected by the image sensor 164. As a function for performing the pre-processing, for example, a function shown in FIG. 6 is provided. That is, the pre-processing device 180 includes an A / D conversion unit 182, a filter unit 183, a compression unit 184, and a setting unit 181. Each of these functions can be configured by a corresponding processing circuit. The processing can also be performed using a DSP (Digital Signal Processor). Further, some or all of these may be implemented by a computer.
[0055]
The A / D converter 182 converts analog image data obtained from the image sensor 164 into digital data. The converted data is input to the filter unit 183.
[0056]
The filter unit 183 performs processing such as noise reduction and distortion correction on the input data. The filter unit 183 specifically performs, for example, various types of filter processing such as a high-pass filter and a low-pass filter, and performs an image filtering processing function of performing noise reduction, image edge enhancement, and the like, and corrects image distortion and the like. It has a correction filtering function of performing geometric correction. The filter coefficient is set by the setting unit 181. The inspection information transmitted by the overall control device 110 to the inspection control device 150 includes information on the filter coefficient. This information is given by a control signal (dotted line in the figure) from the inspection control device 150 and is set in the filter unit 183 via the setting unit 181 as a filter setting signal 181a.
[0057]
The compression unit 184 performs a compression process on the image data filtered by the filter unit 183. Parameters required for image compression, for example, parameters of the compression ratio are included in the inspection information, like the filter coefficients. This parameter is provided from the inspection control device 150 (dotted line in the figure), and is set in the compression unit 184 through the compression parameter setting signal 181b. The image data is sent to the transmission / reception device 190 after being compressed at the set compression ratio.
[0058]
The transmission / reception device 190 performs a process of transmitting / receiving data from the image detection device 100 through the information transmission system 300. FIG. 7 shows functions related to data transmission in the transmission / reception device 190, and FIG. 8 shows functions related to data reception.
[0059]
As shown in FIG. 7, the transmission / reception device 190 includes an identifier integration unit 191 that integrates the data input from the preprocessing device 180 and the identifier data, an encryption unit 192 that performs a process of encrypting the integrated data, And a transmission unit 193 for transmitting the encrypted data.
[0060]
The identifier integrating unit 191 integrates data input from the preprocessing device 180 and two pieces of identifier data obtained from the central control device 110. One of the two identifiers used in the identifier integration unit 191 is a data type identifier (first identifier) 1471 (refer to FIG. 11) stored in the data type identifier file 147 of the storage device 140, and One is information (second identifier) related to the inspection passed from the central control device 110. These identifiers are integrated by the identifier integration unit 191. Here, the second identifier is information on the inspection including information characterizing the content of the inspection, and is the inspection information stored in the inspection information file 143 and the inspection information stored in the inspection information file 144. In addition, the own identifier stored in the own identifier file 141a is included.
[0061]
As described above, by integrating the two types of identifiers, the first identifier and the second identifier, and the image data, information for identifying the inspection item such as the type name of the inspection item, the name of the inspection item, Information specifying the inspection specifications such as the inspection area, the imaging conditions, the contents of the preprocessing conditions, and the like, and the detected image data are treated as a set of data.
[0062]
When making a test information acquisition request, the identifier integration unit 191 refers to the data type identifier file 147 (FIGS. 18 and 11) in the storage device 140 and determines that the data is test information acquisition request data. Is integrated with the second identifier including the inspection item information stored in the storage device 140.
[0063]
The key information necessary for the encryption process in the encryption unit 192 is stored in the information processing device identifier-encryption key correspondence table file 142 of the storage device 140 shown in FIG. The key information is sent to the encryption unit 192 via the central control device 110. If encryption processing is not required by an application, encryption processing may not be performed according to an instruction using a control signal (dotted line in the figure) provided from the inspection control device 150.
[0064]
The sending unit 193 sends the encrypted data to the information processing apparatus 200, which is the transmission destination, together with the identifier of the own image detection apparatus 100, which is the transmission source. The identifier of the self-image detection device 100 and the address of the transmission destination transmitted by the transmission unit 193 are provided by the self-identification file 141a and the transmission destination address file 141b of the storage device 140 via the central control device 110.
[0065]
As shown in FIG. 8, the transmission / reception device 190 includes, as reception functions, a reception unit 194 for receiving data, a decryption unit 195 for decrypting the received encryption, and an identifier for recognizing an identification included in the received data. And a recognition unit 196.
[0066]
The receiving unit 194 has a function of receiving data and passing the data to the decoding unit 195. If the data is not encrypted, the received data is passed to the identifier recognizing unit 196. The decryption unit 195 reads the encryption key information associated with the recognized identifier from the information processing device identifier-encryption key correspondence table file 142 of the storage device 140 via the central control device 110, and decrypts the decryption unit 195. . The identifier recognizing unit 196 recognizes the identifier of the information processing device 200 that is the transmission source. The data type identifier obtained from the received data is compared with the information stored in the data type identifier storage file 147 shown in FIG. When recognizing the type of data corresponding to the received identifier, the identifier recognizing unit 196 sends the data to a file in the storage device 140 corresponding to the type of data. For example, when the type of data is identified as, for example, an inspection result, the transmitted data (inspection result) and the inspection information are both stored in the inspection result storage file 145 (FIG. 18) in the storage device 140. .
[0067]
The transmitting / receiving device 190 described here is configured as an independent device. However, a part of the transmission / reception device 190 may be configured by a function realized by the central control device 110. For example, the integrated control unit 110 may be configured to realize the identifier integrating unit 191 and the identifier recognizing unit 196, and further, the encryption unit 192 and the decrypting unit 195.
[0068]
(Information processing device 200)
FIG. 3 is a diagram illustrating the system configuration of the information processing apparatus 200 more specifically. As shown in FIG. 3, the information processing apparatus 200 controls the overall operation, and performs an information processing. The general control apparatus 210 performs various types of information processing. The input apparatus 220 receives external input operations such as a keyboard and a mouse. An output device 230 that outputs to the outside, a general control storage device 240 that stores a program executed by the general control device 210 and stores various information used for processing in the information processing device, and a CD-ROM or the like. A recording medium reader 201 for reading data such as a program from a recording medium on which data is recorded. Here, the general control storage device 240 is connected to the general control device 210 via a bus 209 together with other devices described later. The general control storage device 240 may be connected to the general control device 210 via a dedicated bus (not shown) separately from other devices.
[0069]
Further, the information processing device 200 includes a transmitting / receiving device 290, an inspection processing device 251, an inspection condition generating device 255, an image storage device 260, an image storage device 260, and an inspection process information storage device 270. And an inspection result storage device 280. Here, the transmission / reception device 290 is a device for the information processing device 200 to transmit / receive data via the information transmission system 300. The inspection processing device 251 is a device that performs arithmetic processing on inspection results such as defect inspection and workmanship inspection. The inspection condition generation device 255 is a device for generating conditions for imaging in the image detection device 100 and for generating parameters to be given to the preprocessing device 180. The image storage storage device 260 is a storage device that stores an image transferred from the image detection device 100. The inspection processing information storage storage device 270 is a storage device that stores a program used for processing in the inspection processing device 251, processing conditions, and the like. The inspection result storage device 280 is a storage device that stores the processing result of the inspection processing device 251.
[0070]
The image storage storage device 260, the inspection processing information storage storage device 270, the inspection result storage storage device 280, and the overall control storage device 240 are each configured by an independent storage device, for example, a hard disk device. However, these may be stored in different areas of a single hard disk drive. Further, the configuration may be such that the data is distributed and stored in a disk array or the like where a plurality of hard disk devices are arranged. Further, the central control storage device 240 may be a hard disk device built in the information processing device 200.
[0071]
The contents stored in the storage device 260 for storing images, the storage device 270 for storing inspection processing information, the storage device 280 for storing inspection results, and the storage device 240 for overall control are respectively shown in FIGS. 19, 15, 22, and 21. Each data is stored by a data structure schematically shown in FIG.
[0072]
As schematically shown in FIG. 21, the general control storage device 240 includes a self-identifier file 241 for storing the self-identifier for identifying the information processing device 200, an identifier of the image detection device, and an encryption code therefrom. As shown schematically in FIG. 21, the combination data of the encryption key for decrypting the data, the identifier of the image detection device and the encryption key number are recorded in the image detection device identifier-correspondence table file 242. . Also, the data type identifier file 243 for storing the content 1472 of data to be transmitted and received and the data type identifier 1471 corresponding to the content 1472 is stored in the central control storage device 240, as shown in FIG. I have.
[0073]
As schematically shown in FIG. 19, the image storing storage device 260 stores an inspection image file 261 for storing an inspection image captured for inspection by each image detection device 100 and an imaging condition for setting imaging conditions. An imaging condition setting image file 262 for storing the captured image. The inspection image file 261 includes a record number, product information indicating an inspection item ID for identifying each inspection target item, process information indicating a process of an inspection target to be inspected, imaging date and time, and an inspection corresponding to the record number. And an image detection device ID for specifying an image detection device to be performed, and information indicating specifications for inspection and processing for processing the inspection result, which specify under what conditions the imaging should be performed. Is stored. Here, the information relating to the specification relating to the inspection and the use relating to the processing of the inspection result include, for example, a photographing condition for acquiring an image, a pre-processing condition applied to image data, and the like. The same data as the inspection image file 261 described above is stored in the imaging condition setting image file 262. However, the image file 262 for setting the imaging condition does not store the image acquired for the inspection target, but stores the image for comparison for setting the inspection condition.
[0074]
As shown in FIG. 15, the inspection processing information storage storage device 270 stores an inspection information file 271 for storing inspection information, an inspection program file 272 for storing processing programs and the like, a reference data file 273 for storing reference data, and image quality evaluation. An image quality evaluation item file 274 storing items, an image quality evaluation item-imaging condition file 275 storing data of “image quality evaluation item-imaging condition” indicating a correspondence relationship between the image quality evaluation item and the imaging condition, and a dummy pattern A dummy data-inspection result reference file 276 for storing "dummy data-inspection result reference" indicating an inspection result reference for dummy data as an inspection result.
[0075]
In the inspection information file 271, as the inspection information, a record number, product information indicating an inspection item ID for identifying each inspection target item corresponding to the record number, process information indicating a process of the inspection target to be inspected, Information indicating an image detection device ID for specifying an image detection device to be inspected, and a specification relating to the inspection and a specification for processing the inspection result, which specify under what conditions the imaging should be performed correspondingly. Are stored. Here, as information indicating specifications regarding inspection and use regarding processing of inspection results, for example, imaging conditions when acquiring an image, preprocessing conditions to be applied to image data, inspection processing conditions, and an inspection area in an inspection target are specified. An inspection area, which is information, is included. Here, the inspection method is not shown. This is because the information processing apparatus 200 according to the present embodiment specifies the inspection method by specifying the image detection apparatus.
[0076]
In the inspection program file 272, product information indicating an inspection item ID to be inspected, process information indicating a step in which the inspection is performed, and a processing program corresponding to these, which is required for processing in the inspection processing device 251 are included. Is stored. The processing performed by the inspection processing device 251 includes, for example, processing such as defect determination processing and image quality inspection processing.
[0077]
The reference data file 273 includes product information indicating an inspection item ID to be inspected, process information indicating a process in which an inspection is performed, and corresponding reference data referred to during processing in the inspection processing device 251. Is stored. The reference data includes condition information at the time of processing. This type of information includes, for example, processing parameters such as threshold values for binarization processing often performed in image processing, as well as design data and non-defective image data used as comparison data when determining defects. It is.
[0078]
Specifically, the reference data file 273 stores, for example, information specifying a data type such as design CAD data, non-defective image data, and processing parameters, and specific data corresponding to the data type. For example, in the case of design data, information stored in advance on a storage medium such as a CD-R can be read through the storage medium reading device 201 and stored in the reference data file 273. Further, the design data may be distributed from another site, for example, a product design site via the information transmission system 300, and may be stored in the reference data file 273. Further, as a method for acquiring good-quality image data, the image data is acquired by the image data image detection device 100 of a product that is known in advance to have no defect, and the result is received via the transmission / reception device 290, and the reference data file is acquired. 273 may be stored.
[0079]
The image quality evaluation item file 274 includes a record number, an image quality evaluation item having various evaluation values for evaluating image quality corresponding to each record, data of a permissible area of those values, and calculation of those evaluation items. An evaluation program for adjusting imaging conditions (hereinafter referred to as an evaluation program) is stored. As the image quality evaluation items, for example, a gradation average value, a gradation dispersion value, and the like are stored. As the allowable range, ± 5 corresponding to the gradation average value and ± 10 corresponding to the gradation dispersion value are stored. As the evaluation program, an average calculation program is stored for an item for obtaining an average value such as a gradation average value, and a variance calculation program is stored for an item for obtaining a variance value such as a gradation variance value.
[0080]
The image quality evaluation item-imaging condition file 275 includes a record number, an image quality evaluation item ID for specifying the image quality evaluation item corresponding to the record number, an imaging condition corresponding to the ID, and an image quality evaluation corresponding to a change in the imaging condition. The change of the imaging condition indicating the change of the item and the priority of each image quality evaluation item are stored.
[0081]
The dummy data-inspection result reference file 276 stores a plurality of types of dummy data used for inspection for testing the image detection performance of each image detection apparatus 100. The dummy data stores, for example, a dummy data ID for identifying a plurality of types of dummy data, and the number of defects, a defect type, a defect position, and a defect size corresponding to a processing result.
[0082]
The test result storage device 280 has a test result file 281 for storing test result information as schematically shown in FIG. In the inspection result file 281, a record number, a product name for identifying a product, a process name, an inspection date and time, an inspection area, the number of defects, a defect type, and a position of each defect point corresponding to the record number are stored as the inspection results. And information indicating the type are stored.
[0083]
The inspection processing device 251 performs an inspection process such as a defect determination process or a work quality determination process according to an instruction from the overall control device 210, for example. The processing performed here is, for example, processing for obtaining position information on where the dust or flaw is located on the inspection target, and what type of defect is detected (for example, bright colored dust, deep Process, etc.), and, at a predetermined position, for example, by measuring the dimensions of the inspection target site such as wiring width, how far it is from the reference value, This is a process of determining whether or not the difference is a degree that should be regarded as defective.
[0084]
The inspection processing device 251 is configured by a processor suitable for calculation processing and executes information processing such as various calculations according to a processing program stored in an inspection program file 272. Specifically, the inspection processing device 251 performs an inspection process such as a defect determination process and a workability determination process in accordance with an instruction from the overall control device 210. The processing performed here is, for example, processing for obtaining position information on where the dust or flaw is located on the inspection target, and what type of defect is detected (for example, bright colored dust, deep Process, etc.), and, at a predetermined position, for example, by measuring the dimensions of the inspection target site such as wiring width, how far it is from the reference value, This is a process of determining whether or not the difference is a degree that should be regarded as defective.
[0085]
When the inspection processing is completed, the inspection processing device 251 sends the result to the inspection result storage storage device 280 (FIG. 22) via the bus 209 and stores the result. Further, it notifies the general control device 210 of the end.
[0086]
The inspection condition generator 255 calculates the value of each evaluation item for each image using an evaluation program, and generates an inspection condition based on the result. That is, each image acquired from each image detection device 100 is evaluated, and based on the evaluation result, control conditions relating to, for example, an imaging condition, a preprocessing condition, and the like are set as inspection conditions in the corresponding image detection device. Then, the image is acquired again and evaluated, and the control condition is reset based on the result. This process is repeated until the evaluation result of the acquired image reaches a predetermined allowable range. In this way, when the performances of a plurality of image detection devices are different, it is possible to keep the quality of the images acquired by each device within a certain allowable range. Further, even with the same type of image inspection apparatus, the quality of an image that can be obtained due to machine differences may be different. Also in this case, it is possible to absorb the machine difference and to keep the quality of the image obtained from each image detection device within a predetermined allowable range. As a result, even when a variety of image detection devices are present, it is possible to evaluate the product for a product in a unified, objective, and accurate manner. For this reason, since the obtained inspection result has universality, it is possible to perform quality control and the like in a unified manner using the inspection result. Further, it is possible to objectively evaluate the quality level of the product of the production company.
[0087]
Here, the inspection condition generating device 255 calculates, for example, a gradation average value, a gradation variance value, and the like of the entire screen for evaluating the image. These pieces of information may be output to the user as shown in FIG. Then, the evaluation item values of the images from the respective image detection devices 100 are compared, and the contents for setting the imaging conditions in the direction in which they are the same are described in the image quality evaluation item-imaging conditions of the storage device 270 for storing inspection processing information. It is obtained from the correspondence between the image quality evaluation item and the imaging condition stored in the file 275. In a normal case, there are a plurality of control conditions to be set for imaging for one evaluation item. In this case, the control condition to be set is selected in accordance with the priority stored in the image quality evaluation item-imaging condition file 275 in advance, and a new value is set for the condition.
[0088]
The inspection condition generation device 255 sends the new control condition value and the identifier of the image detection device that transmits the control condition to the overall control device 210, and the overall control device 210 sends the new imaging condition to the corresponding image detection device. Submit the value. Further, the inspection condition generating device 255 has a function of repeating the above-described image evaluation and setting of the inspection condition until the quality of an image obtained from the image detecting device falls within a predetermined allowable range. When the control condition is finally determined, the inspection condition generation device 255 stores the control condition in the inspection processing information storage storage device 270 in the information processing device 200 as an imaging condition based on the control condition, and captures the image on the screen of the output device 230. A message to the effect that the condition setting has been completed is displayed.
[0089]
Note that the above example shows an example in which image quality is evaluated using values of some evaluation items. However, the index for evaluating the difference between the image detection devices may be the result of the defect inspection or the workmanship inspection itself. For example, with respect to a dummy inspection object used for imaging, expected inspection results and measurement results can be obtained. Therefore, these data are stored in advance in the dummy data-inspection result reference file 276 of the storage device 270 for storing the inspection processing information of the information processing apparatus 200, and this data and the processing result of the image data from each image detecting apparatus 100 are processed. By comparing with the above, the difference in the quality of the images obtained from the respective image detection devices 100 can be grasped.
[0090]
(Appearance inspection processing procedure)
Next, a procedure for performing a visual inspection of a product in the visual inspection system according to the present invention will be described. Next, the outline of the inspection procedure, the operation of the system, and the inspection method will be described. At the time of description, regarding the display accompanying the visual inspection, the display performed by the image detection device 100 and the display performed by the information processing device 200 will be described with reference to FIGS. 5, 12, 14, 16, and 17. explain.
[0091]
The general control device 110 performs a process of outputting the acquired information, for example, the acquired image, the image quality evaluation result of the image, the inspection result of the target, and the like, by using the output device 130. When the output device 130 is a display, for example, a screen as shown in FIGS. 5 and 12 is displayed on the screen. To this end, although not shown, a menu frame may be provided on the screen of the output device 130 so as to receive an instruction for displaying inspection information and other information. A print instruction can be accepted, and a printout can be made by a printer.
[0092]
Similarly, the overall control device 210 performs a process of outputting the acquired information, for example, the acquired image, the image quality evaluation result of the image, the inspection result of the target, and the like, by using the output device 230. When the output device 230 is a display, for example, a screen as shown in FIGS. 14, 16 and 17 is displayed on the screen. For this purpose, although not shown, a menu frame can be provided on the screen of the output device 230 so as to receive an instruction for displaying inspection information and other information. A print instruction can be accepted, and a printout can be made by a printer.
[0093]
Next, the operation of the inspection system of the present invention will be described. First, an outline of the procedure will be described with reference to FIG. Next, a more detailed description will be given with reference to other drawings.
[0094]
4, the processing procedure in the image detection device 100 is shown on the left, and the processing procedure in the information processing device 200 is shown on the right.
[0095]
First, the image detection apparatus 100 displays on the screen of the output device 130 a message prompting the user to place the inspection target W on the stage 162 of the imaging device 160 (S1111). In addition, an input of designation of inspection product information such as the name of a product to be inspected and the name of the manufacturing process of the product when the manufacturing process of the product includes a large number of processes is received through the input device 120 ( S1112). This inspection item information does not necessarily need to be input via the input device 120. For example, when information on the inspection item is displayed on the product itself, a result of imaging the corresponding part is obtained from the image sensor 164. The information may be obtained by analyzing the image. Whether inspection item information is received from the input device 120 or read from the inspection target W is set in advance. When reading from an image, a program for that purpose, for example, a character recognition processing program is prepared in advance.
[0096]
Further, the overall control device 110 stores the inspection item information specifying the product to be inspected received from the input device 120 in the inspection item information file 143 of the storage device 140 (see FIG. 18). Thereafter, in order to obtain “inspection information” required for performing image detection, an inspection information request is made to the information processing device 200 through the transmission / reception device 190 (S1113). When making a test information request, the transmission / reception device 190 refers to the data type identifier table (FIG. 11) in the storage device 140 and a first identifier (FIG. 11) indicating that the data is test information request data. In the example shown in (1), the data type identifier A) is integrated with the second identifier including the inspection item information stored in the storage device 140. The transmission / reception device 190 transmits the integrated data. As described above, the second identifier includes an identifier (own identifier in FIG. 18) for identifying the self-image detection device from the other, in addition to the above-described inspection item information of the inspection target. The data to be transmitted can be encrypted if necessary. The specific operation of the transmitting / receiving device 190 including the encryption processing when transmitting data will be described later with reference to FIG.
[0097]
After transmitting the test information acquisition request, the image detection device 100 enters a state of waiting for reception from the information processing device 200. If a signal from the information processing device 200 cannot be received within a certain period of time, the central control device 110 displays a message on the screen of the output device 130.
[0098]
In the information processing device 200, the transmission / reception device 290 receives data. The overall control device 210 acquires the data received by the transmission / reception device 290, analyzes the first identifier in the data, and recognizes that it is a test information acquisition request (S2111). Also, by analyzing the second identifier, the inspection item information (inspection item name, process name, etc.) necessary for searching the inspection information is obtained. Thereafter, the inspection processing information storage storage device 270 (see FIG. 15) is searched using the inspection item information as a key to acquire necessary inspection information (S2112). The result is transmitted to the requesting image detection apparatus 100 through the transmission / reception apparatus 290.
[0099]
The transmission / reception device 290 includes inspection information to be transmitted, a first identifier that defines that the data is a reply to the inspection information request, and a second identifier that identifies the information processing device 200 that is the transmission source of the data. Are transmitted together (S2113). It should be noted that data to be transmitted and received can be encrypted as necessary, and the specific operation of data transmission and reception in the transmitting and receiving device 290 including that will be described later with reference to FIGS.
[0100]
The image detection apparatus 100 receives the inspection information sent from the information processing apparatus 200 by the transmission / reception apparatus 190 (S1114). The specific operation of data reception in transmitting / receiving apparatus 190 will be described later with reference to FIG.
[0101]
Recognizing that this data is returned inspection information from the first identifier of the received data, and storing the received inspection information in the inspection information file 145 of the storage device 140 (FIG. 18), And, if necessary, display it on the screen of the output device 130 (S1115). FIG. 5 shows an example of the display.
[0102]
FIG. 5 shows an example in which, in the image detection device 100, the inspection information received via the transmission / reception device 190 is displayed on the screen of the output device 130 by the central control device 110.
[0103]
The inspection product display section 1320 displays an external view 1321 of the inspection product. Inspection area information 132 obtained from the acquired inspection information is shown in the inspection area display unit 1322 (displayed in a thick frame in the drawing). That is, in this case, it is meant that the entire surface of the inspection product is not inspected, but only the area in the inspection area display unit 1322 is inspected. The inspection information display unit 1330 displays the content included in the inspection information, for example, the processing content 1331, the position 1332 of the illumination device 163, the power value 1333 of the illumination device 163, and the like.
[0104]
Thereafter, the overall control device 110 transmits the inspection information indicating the inspection area, the imaging condition, and the like as described above regarding the inspection target in the storage device 140 to the inspection control device 150. In addition, the general control device 110 transmits, to the inspection control device 150, information on filter coefficients, parameters (for example, a compression ratio) necessary for image compression, and the like as inspection information. As the compression ratio, for example, a parameter such as 20% is transmitted as shown in FIG.
[0105]
The inspection control device 150 sets the position of the illumination device 163, the intensity of the illumination device 163, and the contents of the preprocessing device 180 based on the transmitted inspection information, and starts imaging. For example, in the example shown in FIG. 5, the lighting power of the light source is set to 20 W as the intensity of the lighting device 163. Further, the illumination position is designated by the coordinates (X, Y, Z). Further, the inspection control device 150 controls the direction, the moving range, the moving speed, and the like of the stage movement based on the inspection information.
[0106]
Next, the overall control device 110 instructs the inspection control device 150 and the pre-processing device 180 to start an inspection, that is, to start imaging (S1116). This instruction is performed at the timing when the information indicating that the preparation by the inspection control device 150 is completed is received.
[0107]
The inspection control device 150 starts imaging of the inspection target W by the imaging device 160. That is, the inspection control device 150 uses the image sensor 164 to detect the inspection image in the area indicated by the inspection area display unit 1322. In the case of this example, the position of the image sensor 164 is fixed and the stage 162 is moved to obtain an image of the entire detection area. On the other hand, the image sensor 164 receives reflected light from the inspection target W and detects an image. The detected image is sent to the pre-processing device 180 and pre-processed.
[0108]
In the preprocessing device 180, after the image data is filtered in the filter unit 183, the image is compressed in the compression unit 184 according to the transmitted compression parameter. The compressed image data is sent to the transmission / reception device 190. The transmission / reception device 190 sends the image data to the information processing device 200 via the information communication system 300 (S1117).
[0109]
The transmission / reception device 290 of the information processing device 200 receives the data transmitted from the transmission / reception device 190 of the image detection device 100 via the information communication system 300. The central control device 210 stores the data in the inspection image file 261 (FIG. 19) in the image storage memory 260 (S2114).
[0110]
After completing the data acquisition, the central control device 210 executes an inspection process (S2115). Specifically, from the inspection information included in the second identifier of the received image data, the product name and the process name of the inspection target item are recognized, and the processing program and the condition information required for the processing are used as keys. The data is read from the inspection processing information storage device 270 (FIG. 15) and transferred to the inspection processing device 251. The processing condition information includes conditions necessary for processing, for example, processing parameters such as a threshold value of binarization processing often performed in image processing, and a design used as comparison data at the time of defect determination. Data and non-defective image data are also included. Thereafter, the overall control device 210 calls the image to be inspected from the image storage memory device 260, transfers the image to the inspection processing device 251 and instructs the image processing to start.
[0111]
The inspection processing device 251 performs an inspection process such as a defect determination process and a work quality determination process according to an instruction from the general control device 210. That is, a process of obtaining positional information on where the dust or flaw is located in the inspection target, and what kind of defect (for example, bright colored dust, deep scratch, etc.) the detected defect is. Classification processing, at a predetermined position, for example, measuring the dimensions of the inspection target site such as wiring width, and determining how far it is from the reference value, and determining that it is defective A determination process is performed to determine whether the difference is a degree to be considered.
[0112]
Upon completion of the inspection processing, the inspection processing device 251 performs processing for storing the result in the inspection result storage storage device 280 (FIG. 22). The completion is notified to the general control device 210. Upon receiving the notification of the inspection process, the overall control device 210 returns the inspection result to the image detection device 100 that has transmitted the inspection image via the transmission / reception device 290 (S2116).
[0113]
The image detection device 100 receives data transmitted via the information communication system by the transmission / reception device 190. The central control device 100 stores the sent inspection result and the inspection information together in the inspection result storage file 145 (FIG. 18) in the storage device 140. Further, the supervisory control device 110 displays the inspection result on the screen of the output device 130 as necessary (S1119).
[0114]
FIG. 12 shows an example of the display of the inspection result. A processing condition display section 1340 and a processing result display section 1350 are additionally displayed on the inspection information display screen shown in FIG. The processing condition display unit 1340 displays the parameter values used for the inspection process obtained from the inspection information, and the processing result display unit 1350 displays a defect map indicating the position of the detected defect obtained from the inspection result. A part 1351 and a defect data display part 1352 for displaying the number and type of defects are displayed. In the defect map display unit 1351, different patterns (for example, circles and diamonds in FIG. 12 are illustrated in FIG. 12) for each defect type to indicate which defect exists at which position in the inspected area. ) Indicates the position where each defect exists. The defect data display unit 1352 displays the type of detected defect, the number of defects (for example, the number of defects or the total number of defects).
[0115]
Next, transmission and reception of data performed between the image detection device 100 and the information processing device 200 will be further described.
[0116]
First, a data transmission process of the transmission / reception device 190 will be described with reference to FIG. The identifier integrating unit 191 integrates data input from the preprocessing device 180 with two pieces of identifier data obtained from the central control device 110. That is, the data type information (FIG. 11) stored in the storage device 140, which is the first identifier data, and the inspection item information and the inspection information stored in the storage device 140, which are the second identifiers. Integrate. The data type information is stored in the storage device 140 in a table format as shown in FIG. In this way, by integrating the two types of identifiers and the image data, the name of the inspection product, the inspection area, the imaging conditions, the contents of the preprocessing conditions, and the like, and the detected image data are treated as a group of data. Become.
[0117]
Next, the encryption unit 192 performs encryption processing on the image data. The key information required for performing the encryption process is stored in the information processing device identifier-encryption correspondence table file 142 of the storage device 140 shown in FIG. The encryption unit 192 acquires the key information via the central control device 110. If encryption processing is not required by the application, the encryption processing may not be performed according to an instruction by a control signal (dotted line in the figure) given from the inspection control device 150.
[0118]
Next, the transmission section 193 transmits the encrypted data to the information processing apparatus, which is the transmission destination, together with the identifier of the own image detection apparatus, which is the transmission source. The identifier of the self-image detection device and the address of the transmission destination are provided from the storage device 140 via the central control device 110. Note that in the test information request procedure from the image detection device 100 performed before imaging, the test information passed from the general control device 110 is used as the second identifier with the data type identifier shown in FIG. The identifier is integrated by the identifier identifier integrating unit 191, then encrypted by the encryption unit 192, and transmitted from the transmission unit 193 to the information processing device 200 together with the identifier of the self-image detection device that is the transmission source.
[0119]
In the example described so far, the inspection process is started after all the images detected by the image detection device 100 are acquired by the information processing device 200. However, the present invention is not limited to this. For example, when the number of detected images is large, or when it takes time to acquire image data, the detection data is divided into a plurality of partial data, and the image data is transmitted from the image detection apparatus 100 to the information processing apparatus 200 for each of the partial data. May be transmitted and the partial data may be processed as a unit. At that time, data identifying the number of each partial data in the entire data is added to the identifier used in the data transfer.
[0120]
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration and a function of a portion related to data reception of the transmission / reception device 290 of the information processing device 200. The data is received by the reception unit 291 of the transmission / reception device 290, and the transmission source of the data is specified from the identifier of the data. Next, the decoding unit 292 performs data decoding processing. It sends the data transmission source identifier to the overall control device 210, and requests acquisition of key information necessary for decryption. Upon receiving the request, the general control device 210 searches the general control storage device 240, obtains information on the encryption key, and replies to the decryption unit 292. The decryption unit 292 decrypts the encrypted data using the received encryption key and transmits the decrypted data to the identifier recognition unit 293. The identifier recognizing unit 293 recognizes that the data is inspection image data from the first identifier included in the decrypted data. The list of data identifiers shown in FIG. 11 is also stored in the general control storage device 240 (FIG. 21) of the information processing apparatus 200. By comparing this data with the received data type identifier, the data type is listed. Can be recognized. In this example, the data type identifier is “B” in the table of FIG. 11, and it is recognized that the data type identifier is a detection image detected by the image detection device. Thereafter, information indicating that the data is inspection image data and data (second identifier and image data) are transferred to the overall control device 210.
[0121]
FIG. 10 is a diagram illustrating the configuration and function of a part related to data transmission of the transmission / reception device 290. The overall control device 210 transmits the inspection result to be returned to the identifier integrating unit 294. The identifier integrating unit 294 sets the data type identifier (FIG. 11) in the integrated control storage device 240 as the first identifier for the received inspection result, and stores the inspection information for the inspected image data as inspection processing information. The data is read from the storage device 270, integrated as a second identifier, and the integrated data is transmitted to the encryption unit 295. The encryption unit 295 obtains encryption key information associated with the image detection device that is the transmission partner from the integrated control storage device 240 through the integrated control device 210, and encrypts the data. The sending unit 296 adds the identifier information (FIG. 21) of the information processing apparatus to the encrypted information, and transmits the information to the image detection apparatus of the transmission partner.
[0122]
In the process of returning the inspection information requested by the image detecting device 100 from the information processing device 200, which is performed before the image detecting process, the identifier integrating unit 294 transmits the general control storage device 240 to the general control device 210 in the identifier integrating unit 294. The data type identifier shown in FIG. 11 and the inspection information obtained from the inspection processing information storage device 270 are integrated. Thereafter, the encrypted information is encrypted by the encryption unit 295, and the transmission unit 296 adds the identifier of the transmission partner and the identifier of the information processing apparatus 200 to the encrypted information and transmits the information to the image detection device of the transmission partner.
[0123]
FIG. 8 is a diagram illustrating the configuration and function of a part related to data reception of the transmission / reception device 190 of the image detection device 100. The data transmitted from the transmission unit 296 is received by the reception unit 194, and the identifier of the information processing apparatus 200 that is the transmission source is recognized. Then, the encryption key information associated with the identifier is read from the storage device 140 through the central control device 110 and decrypted by the decryption unit 195. After that, the identifier recognizing unit 196 compares the data type identifier obtained from the data with the table information shown in FIG. 11 obtained from the storage device 140 through the central control device 110 to determine the type of data (in this case, the inspection result). The specified and transmitted inspection result and inspection information are stored together in the inspection result storage file 145 (FIG. 18) in the storage device 140.
[0124]
When the result of the request for the inspection information, which is performed before the image detection processing, is received, the identifier recognizing unit 196 recognizes that the data is the reply data to the request for the inspection information, and Data is stored at a predetermined position in 140.
[0125]
In the appearance inspection system shown in FIG. 1 in which a plurality of image detection devices 100 are connected to the information transmission system 300, image detection according to the above-described sequence is performed independently for each image detection device 100. For this reason, the inspection can be performed by arranging the image detection devices 100 having the required performance at each location at various locations in the production site and performing image detection at each location. On the other hand, the information processing device 200 is installed in an office other than the production site. As a result, it is not necessary to arrange a large-sized device in which an image detection device and a processing unit for performing defect detection are integrated as in a conventional visual inspection device at a production site, and space can be saved.
[0126]
(Other examples of the image detection device)
In the image detecting apparatus shown in FIG. 2, a case where an image is optically captured is described, but the image detecting apparatus is not limited to the optical detecting means. An electron beam can be used for imaging.
[0127]
FIG. 20 shows an example. The image detection device shown in FIG. 20 is an electron beam type image detection device. This electron beam type image detection apparatus has an imaging apparatus system (150, 170, 180) having a function of imaging an object to be inspected, controls imaging, and sends an image obtained by the control to the information processing apparatus 200. A control system (110, 120, 130, 140) having a function of performing the above control, and a transmitting / receiving device 190 for performing transmission / reception. Here, this embodiment differs from the embodiment described above in that the imaging device 170 is of an electronic type. In addition, it goes without saying that there are differences between the optical type and the electronic type in the inspection conditions, the processing of the acquired images, and the like. Therefore, there are differences due to the configuration of the inspection control device 150, the pre-processing device 180, the general control device 150, and the like. Note that the other configurations are basically the same.
[0128]
The electronic imaging device 170 includes a sample chamber 171 that accommodates an inspection target (sample) M, and a stage (sample stage) that is disposed in the sample chamber 171 and on which the inspection target M is mounted and displaced in the XYZ directions. ) 172, an electron gun 173 as a radiation source for illuminating the sample with an electron beam, an objective lens 174 for converging the electron beam from the sample, and a two-dimensional deflection of the electron beam on the inspection object W. It has a deflection lens 175 for scanning and a sensor 176 for detecting secondary electrons and reflected electrons generated from the sample.
[0129]
In the electron beam type image detection device, the electron beam emitted from the electron gun 173 is converged by the objective lens 174 and irradiated on the inspection target W. The irradiation position is two-dimensionally scanned by the deflection lens 175, so that the electron beam is irradiated two-dimensionally. The sensor 176 detects secondary electrons, reflected electrons, and the like generated from the sample. The image detected by the sensor 176 is sent to the pre-processing device 180 and pre-processed.
[0130]
In all of the embodiments described below, it is possible to replace the optical image detecting device with an electron beam type image detecting device.
[0131]
Further, controlling the position of illumination and the intensity of illumination in the optical image detection device corresponds to controlling the acceleration voltage and beam current of the electron beam in the electron beam image detection device.
[0132]
(Setting of imaging conditions for visual inspection system)
Next, an example of the imaging condition setting in the visual inspection system shown in FIG. 1 will be described. One of the problems when performing an appearance inspection using a plurality of image detection devices is machine-to-machine variation. This means a variation in inspection results when the same inspection target is inspected using a plurality of image detection devices. If the inspection performance is changed by the image detection device, there is a possibility that stable inspection performance cannot be obtained. In a conventional visual inspection system, a plurality of inspection devices have a configuration in which an image detection device and a processing unit are integrated. Therefore, it is necessary to set processing conditions such as an imaging condition and a processing parameter in each inspection device, and the setting requires labor. As described above, the present invention includes a plurality of image detection devices that detect images and an information processing device that acquires and processes inspection results from them. That is, image detection and processing of the detected image are separated. As a result, in the information processing apparatus, it is possible to provide an appearance inspection system in which the images obtained from the respective image detection apparatuses are compared with each other and the quality thereof is made uniform to reduce variation in instrumental error.
[0133]
FIG. 13 shows a flow of a control signal generation processing operation of the information processing device 200 and the image detection device 100. When the operator of the information processing apparatus performs the imaging condition control, that is, when an imaging condition adjustment request is input to the general control device 210 via the input device 220 (S2211), the general control device 210 executes the information transmission system. A request is made to each of the image detection devices 100 connected via 300 to transmit an image signal for imaging control (S2212). Specifically, the transmission / reception device 290 is informed of the fact, and the identifier integration unit 294 stores a data type identifier for requesting an image signal for imaging control in a table shown in FIG. , And transmits the image to each image detection device. In the following description, a detailed description of the encryption processing and the like in the encryption unit 295 will be omitted, but the same procedure as in the case where the encryption processing is performed at the time of transfer of the inspection image may be performed.
[0134]
When each of the image detection devices 100 receives the data (S1211), it interprets that an image request for imaging control has been received by analyzing the data type identifier, and the overall control device 110 sets the inspection control device 150 An instruction to capture an image is issued (S1212). As an imaging target, there is a method of using a dummy inspection target (not shown in FIG. 2) on which a predetermined material or pattern is arranged, which is arranged on the stage 162 in each sample chamber 161 in advance. . In this case, the position information of the dummy inspection target on the stage 162 is stored in the dummy inspection pattern information file 146 of the storage device 140 (see FIG. 18). At the time of imaging, the general control device 110 reads out the position information and the current imaging conditions, and transmits the read information to the inspection control device 150, thereby imaging the dummy part. The detected image data is sent to the transmission / reception device 190 via the preprocessing device 180. After the imaging condition data and the data type identifier for returning the imaging condition setting image are integrated with the image data in the identifier identifier integration unit 191 of the transmission / reception unit 190, the encryption is performed in the encryption unit 192, and the image data is transmitted. In the unit 193, the identifier of the self-image detection device is added and transmitted to the information processing device 200 (S1213).
[0135]
When the transmission / reception device 290 of the information processing device 200 receives the data (S2213), the data and the effect that the data is for setting imaging conditions are transmitted to the general control device 210, and the general control device 210 The data is stored in the storage device 260 for storing images. When the replies from all the image detection devices that have requested the imaging setting image are obtained, the overall control device 210 confirms that the data storage position in the image storage device 260 and the imaging condition setting are to be performed. 255.
[0136]
The inspection condition generating device 255 takes out the image from each image detecting device stored in the image storage device 260 and sets the imaging condition (S2214). The inspection condition generation device 255 calls up a program for adjusting imaging conditions stored in the storage device 270 for storing inspection process information to perform image evaluation processing, or reads out a processing program and processing parameters, and deletes a defect from each image. A detection process and a work quality determination process are performed.
[0137]
FIG. 14 shows, on a screen of the output device 230, a detection image display unit 2320 which is an area for displaying a detection image from the image detection device, and an image gradation display showing a graph of image gradation values for the detection image. 23 shows a screen display example in which a section 2330 and an image evaluation display section 2340 showing an evaluation of a detected image are displayed.
[0138]
In the example shown in FIG. 14, images 2321 and 2322 from the two image detection devices 100 # 1 and 100 # 2 for the same wiring pattern are displayed on the detected image display unit 2320. Further, an example is shown in which the image gradation value in one line cross section of the detected image is displayed in a waveform on the image gradation display unit 2330. An evaluation value 2342 for the evaluation item 2341 is displayed on the image evaluation display unit 2340. In FIG. 14, a gradation average value and a gradation dispersion value are displayed as evaluation items 2341. The evaluation value 2342 displays the evaluation values corresponding to the images 2321 and 2322 from the two image detection devices 100 # 1 and 100 # 2 described above.
[0139]
As shown in FIG. 15, an image quality evaluation item and data of a permissible area of the value and an evaluation program for adjusting imaging conditions for calculating the evaluation item are stored in the storage device 270 for storing the inspection process information of the information processing device 200. (Hereinafter referred to as an evaluation program) and data indicating the relationship between each imaging condition and an image evaluation item when its value is changed. The inspection condition generator 255 calculates the value of each evaluation item using an evaluation program for each image. For example, a gradation average value and a gradation dispersion value of the entire screen are calculated. These pieces of information may be output to the user as shown in FIG. Then, the evaluation item values of the images from the respective image detection devices are compared, and the contents to be controlled in the direction in which they are the same are obtained from the correspondence between the image quality evaluation items of the inspection processing information storage storage device 270 and the imaging conditions. Usually, there are a plurality of control conditions for one evaluation item. However, a condition to be controlled is selected according to a priority stored in advance, and a new value is set for the condition. The inspection condition generation device 255 sends the new control condition value and the identifier of the image detection device that transmits the control condition to the general control device 210, and the general control device 210 sends a new image to the corresponding image detection device 100. The condition value is transmitted, and the transmission of the image acquired under the condition is requested (S2215).
[0140]
Upon receiving the information (S1214), the image detection device 100 performs imaging again under the given conditions (S1215), and returns the image to the information processing device 200 (S1216).
[0141]
Upon receiving the image (S2216), the information processing device 200 sends the received image data to the inspection condition generating device 255. The inspection condition generator 255 calculates the evaluation items of the image quality in the same manner as in the above-described case. Then, it is evaluated whether or not the evaluation item of each image captured by each image detection device is within the allowable area (S2217). The above operation is repeated until this reaches the allowable region. When the control condition is finally determined in the inspection condition generation device 255, the imaging condition is stored in the inspection processing information storage storage device 270 in the information processing device 200, and is displayed on the screen of the output device 230. The end of the imaging condition setting is displayed (S2218).
[0142]
In the above example, an example in which the image quality is evaluated using the values of some evaluation items has been described. However, as described above, the index for evaluating the difference between the image detection devices may be a result of a defect inspection or a workmanship inspection. For example, with respect to a dummy inspection target used for imaging, expected inspection results and measurement results can be obtained, and those data are stored in advance in the inspection processing information storage storage device 270 of the information processing device 200. By comparing this data with the processing result of the image data from each image detection device, it is also possible to grasp the difference in image quality obtained from each image detection device.
[0143]
Next, a procedure for setting processing parameters required in the preprocessing device 180 will be described. By using the same procedure as that for generating the imaging control condition in the information processing device 200 described above, it is also possible to generate the processing parameters in the preprocessing device 180. Here, an example in which a noise removal filter coefficient, a geometric correction filter coefficient, and a compression ratio are set as processing parameters in the preprocessing device 180 will be described.
[0144]
FIG. 16 is a diagram showing an image acquired from each image detection device 100 in the same sequence as the image collection in each image detection device 100 for generating the above-described imaging control signal. This figure shows an example in which the noise intensity of the image (2) captured by the image detection device 100 # 2 is stronger than the image (1) detected by the image detection device 100 # 1.
[0145]
In such a case, the quality of the images can be made uniform by adjusting the processing parameters in the pre-processing device 180 in the image detection device 100 for each image detection device 100. For example, a frequency spectrum is obtained by performing a Fourier transform on an image, a noise component in the image is examined by a method of quantitatively expressing a signal intensity in a high frequency region, and a filter coefficient of a noise reduction filter is detected so that the noise component is the same. Calculate for each device. When the filter coefficient is determined, the value is stored in the inspection processing information storage storage device 270 through the general control device 210, transmitted to the image detection device 100, and stored in the storage device 140.
[0146]
FIG. 17 shows an example in which the degree of distortion generated when an image of a lattice pattern is generated, which is caused by aberration of a lens used for imaging, differs for each image detection apparatus. Compared with the pattern (3) having no distortion, the distortion of the image is larger in the result (2) captured by the image detection device 100 # 2 than in the result (1) captured by the image detection device 100 # 1. It shows the situation.
[0147]
Also in this case, for example, how much each image is distorted with respect to the pattern (3) is quantitatively obtained, a processing coefficient for correcting them is calculated, and the processing coefficient is subjected to the inspection processing through the overall control device 210. The information is stored in the information storage device 270 and transmitted to the image detection device 100. In the image detection device 100, the filter unit of the preprocessing device 180 performs geometric correction on the image data using the filter coefficient. As for the sample having the lattice pattern shape to be imaged, a dummy sample may be set in the sample chamber 161 in advance as in the case of controlling the imaging conditions.
[0148]
As another parameter given to the preprocessing device 180, the compression ratio can be increased. In image compression, an important parameter is a compression ratio, that is, a ratio of a capacity of data before compression to a capacity of data after compression. If the compression ratio is increased, the capacity of the image data is reduced, but some information in the image is discarded by the compression process, which may affect the result of the defect determination and the workability determination process. On the other hand, when the compression ratio is low, the meaning of compressing the data is reduced. For this reason, the inspection condition generation device 255 creates an image obtained by compressing the image transmitted from the image detection device at several compression ratios, and collects the results of the defect determination / work quality determination process performed by the inspection processing device 251 for each image. Then, it is compared with a reference result previously stored in the inspection processing information storage storage device 270. Therefore, a compression ratio within a range in which the comparison result is acceptable is obtained and stored in the inspection processing information storage storage device 270 through the general control device 210, and is also transmitted to the image detection device 100 to be used for preprocessing in the image detection device 100. Used. In this way, it is possible to define an appropriate compression ratio according to the content of the processing, and to reduce the amount of image data transferred from the image detection device.
[0149]
What has been described so far is the operation method of the present visual inspection system for the purpose of performing inspection with the same inspection performance when the inspection target of the same product and process is inspected using a plurality of image detection devices. It is. However, the present invention is not limited to this. For example, by using the mechanism of the present appearance inspection system, it is possible to construct an appearance inspection system capable of achieving high inspection performance for many inspection targets in various products and processes.
[0150]
In a certain production line, as the types and processes of products to be produced increase, the number of variations of the inspection target increases. However, the optimum imaging conditions for inspecting the defects and workmanship of each inspection object are not all the same. For example, for inspection of certain varieties, it may be advantageous to use illumination passed through a particular color (eg, red) filter. In some cases, illuminating light from a specific direction is more advantageous for revealing defects. For this reason, it is necessary to change the imaging conditions according to each inspection product and its process to capture an image. In such a case, the parameters used in the preprocessing device 180 for the detected image data and the inspection processing program itself may need to be changed due to a change in the imaging conditions.
[0151]
In such a case, the appearance inspection system according to the present invention sets conditions as follows. First, an inspection target is mounted on any one of the image detection devices 100. The general control device 210 of the information processing device 200 receives a condition setting request from a user input from the input device 220 of the information processing device 200 or the input device 120 of the image detection device 100, and sends the request to the inspection condition generating device 255. Tell The inspection condition generation device 255 requests the image detection device 100 on which the inspection target is mounted to acquire an image in the same procedure as when setting the control information described above, and obtains a captured image of the inspection target from the image detection device. For the image, conditions for imaging conditions, preprocessing parameters, and parameters (binary thresholds and the like) used for inspection processing are set.
[0152]
The condition setting here is usually difficult to automate, and requires the assistance of the operator from the input / output unit. That is, the operator adjusts various parameters through trial and error so as to obtain an optimum inspection result. Then, once the condition is determined, the condition is transferred to another image detection device 100 connected by the information transmission system 300, and each image detection device requests an image of a dummy target. Each image detection device captures an image of the dummy object under the designated imaging conditions, and transmits the image to the inspection condition generation device 255. In the inspection condition generation device 255, the imaging condition of each image detection device 100 is set by the same method as that described in the condition setting method for reducing the machine-to-machine variation. The set conditions are stored in the inspection processing information storage storage device 270. According to this method, conditions are set so that inspection can be stably performed on inspection targets of various products and processes.
[0153]
(Configuration of computer used in information processing device)
Next, the computer configuration of the information processing device 200 in the visual inspection system according to the present invention will be described. The basic system configuration of the information processing device 200 is as shown in FIG. Here, the processing capacity is examined.
[0154]
In the information processing device 200, high-speed processing is required to process image data sent from the plurality of image detection devices 100. On the other hand, the speed to be inspected is determined by the data of the image to be inspected and the processing time. An inspection processing device 251 is provided as a device for processing image data detected in the inspection. It is not economical to arrange an unnecessarily high-speed computer in the information processing device 200 as the inspection processing device 251. Therefore, it is necessary to consider an optimal configuration of a computer to be arranged, for example, whether to arrange a difficult computer.
[0155]
Here, as the frequency of the appearance inspection, the inspection frequency of a certain period (for example, 1 minute) obtained by taking into account the type and amount of products manufactured at the manufacturing site, the number of processes to be inspected, and the like. Let M be the average value. Also, V is the average number of images to be processed in one appearance inspection. In this case, it is necessary to process data of M × V [pixel] on average per minute. Here, it is assumed that the computer constituting the inspection processing apparatus used for the determination processing and the like in the information processing apparatus 200 can change its calculation power stepwise like a parallel computer, and the minimum one calculation unit of the computer (for example, 1), the average of the processing time required for processing one pixel is P [sec]. At this time, in order to process the data of M × V [pixel] in one minute, at least (M × V × P) / 60 calculation units are required. In this estimation, the overhead due to the increase in the number of parallels is not considered, and it is assumed that the processing performance is doubled when the computer configuration is changed from the number of parallels 1 to the number of parallels 2. In this case, by using a parallel computer equipped with (M × V × P) / 60 or more calculation units for the information processing device 200, a computer required for the high-speed operation required by the information processing device 200 is provided. Means that it can be configured.
[0156]
The number of calculation units obtained by the above trial calculation is a trial calculation based on the average inspection frequency and image amount. For this reason, the inspection frequency and the amount of the detected image greatly vary depending on the time, the product type, and the like. For example, when the amount of image data to be processed is concentrated at a certain point, the calculation power may be insufficient. In this case, by making the storage device 260 for image storage provided in the information processing apparatus 200 or the like have a sufficiently large capacity, all the image data to be processed are stored, and the inspection processing is performed sequentially from the image data. As a result, some time lag occurs between the image detection and the result output. In a situation where the time lag is severely limited, a computer having the power calculated from the average data amount as described above is not sufficient, and the computer is large enough to perform the processing at the time when the data processing requests are concentrated most. Need to power. In such a situation, as described above, the information processing apparatus 200 may be configured with a sufficient number of computer powers to process an average amount of data.
[0157]
(Quality evaluation system)
Next, a quality evaluation system that is connected to a production factory via a large-scale network and performs quality control on products produced in the production factory will be described. As for the inspection of products which is a premise of quality control, it is assumed that a predetermined inspection device or the like is installed in each production factory. As the inspection device, for example, the same device as the above-described visual inspection system can be used. When the above-described appearance inspection system is installed, the inspection result of the appearance inspection system can be used.
[0158]
FIG. 23 shows a group of production factories to which one embodiment of the quality evaluation system is applied and a determination program development base. In FIG. 23, a production factory 400 that produces products such as printed circuit boards and semiconductor wafers and a determination program development base 500 are connected via a large-scale network 390. FIG. 24 shows the configuration of the determination program development base 500.
[0159]
As shown in FIG. 24, the determination program development base 500 includes a transmission / reception device 590 for data transmission / reception, a determination program, a program revision processing device 530 for calculating parameters and the like required for executing the determination program, and a keyboard. , A mouse, a display, etc., for inputting / outputting data to / from the determination program development base 500, a general controller 510 for controlling the operation at the determination program development base, and a storage for storing input / output data Device 540. These devices 510, 520, 530 and 540 are connected by a bus 550.
[0160]
As shown in FIG. 38, the storage device 540 stores a self-identifier file 541 that stores a self-identifier that specifies the judgment program development base 500, and a program that stores a judgment program and the like used in each information processing device 200. A storage file 542 and a program revision request list file 543 in which a program revision request sent from each production factory 400 is stored as a list are stored. The program storage file 542 stores a program ID, a product name, a process name, image data, a program before revision (conventional program), and a new program after revision. The program revision request list file 543 stores a program ID indicating a program that is a target of the program revision request, and the date and time of the revision request.
[0161]
FIG. 25 shows a configuration example of the production factory 400. The production line 410 is a site where products are produced. A manufacturing apparatus used for manufacturing, an inspection apparatus for inspecting a product, and the like are provided. They are connected to the information processing device 200 by a network 300 such as a LAN or other internal communication means. The gateway 350 is a device for connecting the large-scale network 390 outside the production factory and the network 300.
[0162]
If a plurality of types of products are manufactured in the production factory 400, a plurality of production lines 410 may be provided according to the types of products, or if there is one or more types of products, A plurality of production lines 410 may be provided for each process. When the production volume is small, one production line may be used. Each production line 410 is equipped with an inspection device for performing an inspection in a manufacturing process. As an example, it is assumed that one or more image detection apparatuses 100 of the appearance inspection system described above according to the present invention are installed in each production line 410.
[0163]
As the information processing device 200, for example, a device having the same configuration as the information processing device 200 illustrated in FIG. 3 can be used. Various inspection images detected in each production line 410, a program for processing the inspection images, processing conditions such as processing parameters, inspection results, and the like are stored. Further, it has a communication function with the determination program development base 500. The processing of adding an identifier and the encryption processing in the transmission and reception of data with the determination program development base 500 are performed in the same manner as the processing of data transmission and reception between the image detection apparatus 100 and the information processing apparatus 200.
[0164]
(Revision of processing program)
Next, a process of revising a processing program in the quality evaluation system of the present embodiment will be described. FIG. 26 shows the flow.
[0165]
First, an input of a program revision instruction by an operator is received through the input device 220 in the information processing device 200 (S2311). When receiving the program revision request, the general control device 210 in the information processing device 200 displays the inspection product name, the process name, and an image actually captured of the inspection product name and the process name on the screen of the output device 230 in order to specify the program to be revised. Prompts the operator to specify the program to be revised. The designation of any one of the programs by the operator is received (S2312). When the program is specified, the overall control device 210 specifies the specified program stored in the inspection processing information storage device 270, the processing conditions required for the process, and the image storage device 260. The selected images of the inspection process are selected and transmitted to the determination program development base 500 (S2313). At this time, the data type identifier for requesting the program revision is integrated in the identifier integrating unit 294 of the transmitting / receiving device 290.
[0166]
The processing program development site 500 receives the data from the information processing device 200, and adds the received program revision request to the list of the program revision request list file 543 stored in the storage device 540 (S5111). In the reception process, the transmission / reception device 590 recognizes the data type identifier, recognizes that a program revision request has been received, and decodes the transmitted data including the image data of the detection result. The data is stored in the storage device 540. Further, the request is stored in the program revision request list file 543 in the storage device 540, and the fact that the program revision request has been made is displayed on the display screen of the input / output device 520. Thus, the programmer at the program development site 500 can know that a program revision request has been made by referring to the display screen of the input / output device 520.
[0167]
Thereafter, the program revision processing device 530 receives an arbitrary selection from the program revision request list stored in the storage device 540, and reads the program corresponding to the program ID indicated by the request from the program storage file 542. Then, a process of revising the program is performed (S5112). In this revision work, an instruction to select an image sent from the information processing device 200 from the storage device 540 is received. Then, for a defect (for example, overlooked or false report) included in the detection result processed by the program sent by the information processing device, input of information for specifying the defect such as the position or mode is accepted. . The program revision processing device 530 develops a new program in order to improve those problems. For example, a process for changing a criterion, a parameter, and the like for determination to find a condition for eliminating a defect is performed. At this time, for example, as shown in FIG. 39, the input / output device 520 easily stores the processing result of the program before the revision, the processing result of the new program after the revision, the processed image 5220, etc. 5230 is displayed. In this figure, the inspection image 5221, the result image 5222 processed by the program before the revision, the result image 5223 processed by the new program, and the inspection result display unit 5230 by each algorithm are displayed on the same screen. Have been.
[0168]
The program revision processing device 530 receives an instruction by the programmer to terminate the program revision from the input / output device 520, stores the revised new program in the program storage file 542 of the storage device 540, and stores it in the general control device 510. In response, a program return instruction is sent. In response to the instruction, the general control device 510 returns the revised program read from the storage device 540 to the information processing device 200 that has issued the request to the information processing device 200 that has issued the revision request (S5113). At this time, the transmission / reception device 590 integrates a data type identifier indicating that the data is a program return, performs encryption processing, and transmits the data.
[0169]
The information processing device 200 performs the data type identifier recognition process and the decryption process on the received data, and stores the transmitted program at a predetermined position in the inspection process information storage storage device 270 (S2314).
[0170]
As described above, by updating the processing program via the large-scale network connecting the manufacturing factory 400 and the program development base 500, the time for the program update can be reduced. In addition, for security measures against data leakage, falsification, and the like, programs and image data transmitted over a network are encrypted.
[0171]
In this example, the procedure for revising the program has been described. However, it is also possible to set not only the program but also processing parameters and the like necessary for processing at the program development site and transfer the information to the information processing apparatus. For example, processing of changing conditions such as an imaging condition, a pre-processing condition, and an inspection processing condition stored in the inspection information file 143 is performed.
[0172]
The configuration of the production factory shown in FIG. 25 may be, for example, a configuration in which a plurality of production lines 410 are provided in a production site as shown in FIG. . In this case, in each of the plurality of information processing apparatuses 200, the program is revised according to the procedure described above.
[0173]
Further, as another configuration for realizing the quality evaluation system shown in FIG. 23, as shown in FIG. 28, a mode in which the information processing apparatus 200 is connected not to the production site but to a large-scale network 390 is also mentioned. In this embodiment, the information processing apparatus 200 performs an inspection process such as a defect determination, a work quality determination, and a control condition generation process on image data detected at a plurality of production factories.
[0174]
As described above, when connecting a production factory to a large-scale network, the production factory does not need to be limited to the same country, nor is it limited to the same company. However, when data of a plurality of production companies are managed collectively in one information processing apparatus, it is necessary to increase security so that image data and inspection data do not leak to other companies. For example, for all data in the information processing device, holding access information indicating whether or not to permit access from each company, when there is a data access request, refer to the access information, Only when the permission for the access source is set, measures such as permitting data access are performed.
[0175]
Further, the above-described program revision by the program-defined base 500 can be performed for a fee. That is, the program can be revised as a program revision business. In this case, a billing process is added. The charge can be calculated, for example, by counting the amount of work for each revised item of the program, and adding a product obtained by multiplying the counted amount of revised work by a unit price predetermined for each item. The amount to be collected can be determined by adding a basic fee and the like as necessary. The billing information is sent via the network 390 based on the program revision request.
[0176]
(Other Embodiments of Quality Evaluation System)
Next, another embodiment of the quality evaluation system according to the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a plurality of production factories 400 for mass-producing products such as printed circuit boards and semiconductor wafers and a quality evaluation base 600 for centrally performing quality evaluation are connected via a large-scale network 390.
[0177]
The production factory 400 includes, as shown in FIGS. 25 and 27, a production line 410 on which an image detection device for detecting an inspection image is arranged, an information processing device 200 for processing the inspection image and performing defect determination and workability determination, and the like. It shall be configured.
[0178]
In the present embodiment, the image detection device and the information processing device need not always be separated from each other as shown in FIGS. 25 and 27. For example, as shown in FIG. 30, the configuration may be such that the visual inspection device 900 is connected to the internal network 300 and the inspection results of those inspection devices 900 are stored in the inspection server 700.
[0179]
Further, the inspection results stored in the inspection server 700 are not limited to the results obtained by the visual inspection device as described above. For example, it may be an electrical test result. One example is an electrical test result in a semiconductor chip (LSI) manufacturing process. In other words, in this process, after the product is completed, it is checked whether the relationship between the electrical signals flowing through the input pins and the output pins of the chip satisfies the specifications, and based on the result, whether the chip is a good or defective product is determined. A determination electrical test is performed. The inspection results described above may include the results of such an electrical test device.
[0180]
FIG. 31 shows the internal configuration of the quality evaluation base 600. The quality evaluation base 600 is used to input / output data to / from the quality evaluation base 600 such as a transmission / reception device 690 for data transmission / reception, an evaluation processing device 630 for performing quality evaluation using various inspection results, a keyboard, a mouse, a display, and the like. An input / output device 620, an overall control device 610 for controlling operations, and a storage device 640 for storing input / output data. The devices 610, 620, 630, and 640 are connected by the network 300.
[0181]
The role of the quality evaluation base 600 shown in FIG. 31 is to collect inspection results at each production factory connected to the large-scale network through the large-scale network 390, analyze those data, and analyze the production factory, the production line, The purpose is to make the quality management status of each production company numerical and display it. FIG. 32 shows this processing procedure.
[0182]
First, the quality evaluation base 600 receives, from the operator via the input / output device 620, an instruction to issue a request to start collection of inspection results in each production factory (S6111). At this time, items specified by the operator include filter conditions for narrowing down the requested inspection result data, such as a product name, a process name, and an inspection date. In the quality evaluation base 600, in the storage device 640, filter item data such as a product name, a process name, a production factory name, a production company name, and an identifier of an information processing device holding the data as shown in FIG. Are stored in advance, for example, as a filter item list file 642. The overall control device 610 displays this filter item list on the screen of the input / output device 620. Therefore, it is easy for the operator to instruct a filter condition for narrowing down the acquired data from the input / output device 620 using these items. In addition, in the storage device 640, a self-identifier file 641 for storing the self-identifier, and a quality evaluation item file 643 for storing the quality evaluation items are placed.
[0183]
Upon receiving the test result collection start request, the overall control device 610 specifies the information processing device 200 to which the test result is requested from the contents of the filtering, sends the filter condition to the information processing device 200, and checks the test result. A request is made (S6113). In transmitting the request signal, the transmission / reception device 690 adds a necessary data identifier and performs encryption.
[0184]
Upon receiving the inspection result request signal, the information processing apparatus 200 recognizes and decodes the data type identifier (S2411). Thereafter, the filtering condition for returning the inspection result is recognized, and the inspection result is taken out from the storage device 290 for storing the determined inspection result in accordance with the content of the filtering condition (S2412). It is returned to the requesting quality evaluation base 600 (S2413).
[0185]
Upon receiving the returned inspection result (S6114), the quality evaluation base 600 stores it in the storage device 640 and displays on the input / output device 620 that the returned data has been received (S6115). At this time, the received data itself may be displayed.
[0186]
In this example, the quality evaluation base 600 collects data necessary for quality evaluation from each information processing base. However, it is not limited to this. The start of the data collection does not need to be instructed by the operator as described above. For example, a schedule for data collection may be stored in advance in the storage device 640 in the quality evaluation base 600 in units of date, day of the week, time, and the like, and data may be automatically collected according to the schedule. is there. Further, the data collection can be sent from the information processing apparatus side instead of starting from the request from the quality evaluation base side. For example, in the information processing device 2903, after the inspection process of one product or one process is completed, the inspection result is stored in the inspection result storage device 280, and the data is transmitted from the information processing device 200 to the quality evaluation base 600. It is also possible to send to. Further, this transmission processing may be performed according to a predetermined schedule.
[0187]
The quality evaluation base 600 calculates the quality evaluation information using the inspection results at each production site collected as described above. When receiving an instruction to calculate the quality evaluation information from the operator via the input / output device 620, the general control device 610 receives the instruction, reads out necessary inspection data from the storage device 640, and outputs the necessary inspection data to the evaluation processing device 630. Pass to.
[0188]
The evaluation processing device 630 calculates a quality evaluation item predetermined in the storage device 640. The items include items stored in the quality evaluation item file 643 shown in FIG. 40, that is, the inspection frequency, the number of defects on the product, the defect density (the number of defects per unit area of the inspection target), and the like. Further, as other items, items relating to data that is not directly included in the inspection result, such as the degree of cleanliness of the production line and the product production amount, may be used. Such data obtained from each production site and other than inspection results need to be included in the data collected from each information processing device or calculated from the obtained data. There is.
[0189]
A quality evaluation value is calculated for each production company, each production site, and each production line based on the collected data. The obtained quality evaluation value is recorded. Further, by comparing the results, the product quality is ranked for each production company, production site, and production line. For example, data such as the number of defects, the defect density, the yield, and the number of non-defective products are calculated and ranked. These data are stored in the storage device 640. The data to be stored is divided and stored, for example, as schematically shown in FIG. That is, files such as a production company list file, an inspection result list file, and a rank by product are stored.
[0190]
FIG. 33 is an example in which the calculated quality evaluation result is shown on the display screen of the input / output device 620. The production company list 6210 is data managed by the quality evaluation site 600, and includes company name, production site name, product name produced at each production site, monthly production amount of the product, and introduction. The number of inspection devices is displayed in a list. In the inspection result list 6220, the results of the inspection performed at each production site, for example, the number of defects and the defect density (the number of defects per unit area value) are displayed together with the production site name and the production company. The product rank 6230 displays, for each product, the product name as an index, the company name, the production base, and the number of non-defective products produced in descending order. The yield is a value obtained from the result of an electrical inspection performed after the product is completed, and represents the number of non-defective products with respect to the number of started products. Here, as an example, the order of each production base is shown using the yield. Of course, the items to be ranked are not limited to those.
[0191]
FIG. 41 shows a screen example in which the items on the inspection result list are displayed in detail. The inspection result information display 6240 displays a list of inspection result information 6240 such as a product name, a process name, and the number of defects of the data. In addition, the product appearance diagram 6250 displays the position information (×) of the detected defect and the number of the defect together with the appearance of the inspection product. In each case, defect images 6261 and 6262 are displayed as defect images 6260. The defect image 6250 is data included in the inspection result sent from each information processing device.
[0192]
The quality evaluation information including the examples shown in FIGS. 33 and 41 can be notified to a user who purchases a product in addition to being displayed on the input / output device 620.
[0193]
FIG. 34 shows an outline of another embodiment to which the quality evaluation system according to the present invention is applied. In this example, in the quality evaluation system shown in FIG. 29, a customer terminal 800 is connected to the large-scale network.
[0194]
FIG. 35 shows an example of the system configuration of the customer terminal. The customer terminal 800 includes a transmission / reception device 890 for data transmission / reception, an input / output device 820 for inputting / outputting data to / from the customer terminal 800 such as a keyboard, a mouse, and a display, a general control device 810 for controlling operations, and And a storage device 840 for storing data.
[0195]
FIG. 37 shows a processing flow between the customer terminal 800 and the quality evaluation base 600 in the present quality evaluation system. According to the present quality evaluation system, a customer who intends to receive the provision of the quality management service obtains the quality evaluation information of each production base stored in the quality evaluation base 600 at the customer terminal 800. Therefore, it is necessary to make a contract with the quality evaluation base 600 in advance, obtain the authority to access the quality evaluation base 600, and obtain a password for that.
[0196]
The customer terminal 800 transmits a success request for data reference from the input / output device 820 to the quality evaluation base 600 via the large-scale network 390 to notify the quality evaluation base 600 that the user wants to obtain the quality evaluation information (S8111).
[0197]
Upon receiving the access request (S5211), the quality evaluation base 600 sends a password input screen to the input / output device 820, and sends information for prompting the input of a password to the requesting customer terminal 800 (S6212).
[0198]
Upon receiving the information for prompting the input of the password, the requesting customer terminal 800 causes the display screen of the input / output device 820 to perform a display for prompting the input of the password based on the information (S8112). Upon receiving the input of the password via the input / output device 820, the customer terminal 800 sends the password to the quality evaluation base 600 (S8113).
[0199]
The quality evaluation base 600 receives the password sent from the customer terminal 800 (S6213), and performs a matching process for rejecting the password. If the password is recognized, a verification result indicating that the password has been recognized is transmitted to the customer terminal 800. If not, a verification result indicating that the password cannot be recognized is transmitted to the customer terminal 800 (S6214).
[0200]
Upon receiving the password verification result, the customer terminal 800 determines the result (S8114). If a collation result indicating that the password cannot be recognized is received, the process returns to step S8113 to display a password input screen. When it is indicated that the password is recognized, a display to accept the request from the operator is displayed on the display screen of the input / output device 820, and the input of the request is received via the input / output device 820 ( S8115). After that, the contents requested by the operator are transmitted to the quality evaluation base 600 (S8116).
[0201]
The quality evaluation base 600 receives the request content (S6215). The quality evaluation base 600 searches for data according to the received request content (S6216). The search result is transmitted to the requesting customer terminal 800 (S6217).
[0202]
The customer terminal 800 receives the search result (S8117). Then, the customer terminal 800 displays the received search result on the display screen of the input / output device 820 (S8118). For example, screens as shown in FIGS. 33 and 41 are displayed. The displayed content can be stored in the storage device 840 at the customer terminal 800.
[0203]
The customer who is provided with such quality evaluation information can select a product to purchase with reference to the production amount and the yield at each production company and each production factory. On the other hand, even if the production company provides data for a fee, it can secure the resources to reduce product costs and can objectively show the quality of its own company, You can move ahead.
[0204]
FIG. 36 shows an overall image of the quality evaluation system according to the present invention. As described above, in this configuration, (1) a production company having the production factory 400, (2) a customer having the customer terminal 800 to purchase a product, and (3) an image detection device used in the production factory 400 , Providing an information processing device for processing the detection data, and an inspection system providing company that operates a processing program development base 500 for revising the processing program, and (4) calculating quality evaluation data using the inspection results, Are connected to the large-scale network 390. The following data is exchanged between these companies as follows.
[0205]
Product producers earn their money by producing products at production plants and selling them to customers. The inspection system provider develops image detection devices and information processing devices and sells them to product manufacturers, and obtains compensation for them by revising the processing programs and the like at the judgment program revision base. Then, the quality evaluation company pays for having the data format disclosed so that the inspection result output from the inspection system provided by each inspection system provider can be input. On the other hand, the company pays the production company that provides the inspection results. The customer who purchases the product receives quality evaluation information from the quality evaluation company to pay attention to the quality management status of each product production company.
[0206]
(Other Embodiment of Visual Inspection System)
Next, an example in which the above-described visual inspection system is more specifically applied to a production line will be described with reference to FIGS. The example shown in FIG. 42 is a system of a type in which image detection devices are distributed and arranged for each process of a production line, and inspection results are collected and processed in an information processing device. On the other hand, the example shown in FIG. 43 is a system of a type in which the image detection devices are centrally deployed at the inspection station and the inspection is performed intensively at the inspection station. These can be appropriately selected according to the nature and scale of each step in the production line. Further, in the example shown in FIGS. 42 and 43, a plurality of optical systems are prepared in the imaging apparatus, and one of the optical systems is selected and inspected according to the inspection condition. However, except that there is a difference in the control device, it has basically the same configuration as the above-described image detection device. Here, the difference will be mainly described.
[0207]
In the appearance inspection system shown in FIG. 42, an inspection unit 100U is arranged in each of a plurality of processes such as film formation 411, development 412, and etching 413 on a production line 410. Each inspection unit 100U is connected to an information processing device 200 functioning as a host via a network 300. In addition, the inspection unit 100U includes a control device 115, a storage device 140, an imaging device 160, and a transmission / reception device 190.
[0208]
The imaging device 160 includes a stage (not shown) for placing the inspection target and displacing in the XYZ directions, a lighting device (not shown), optical systems 1651, 1652,..., 165n, and an optical system. And a displacement mechanism (not shown) for selecting and arranging them at a predetermined position, and an image sensor (not shown). The optical systems 1651, 1652,..., 165n are prepared in plurals that are variously different in magnification, viewing angle, spectral characteristics, illumination light guide and the like. These are selected by a selection signal from the control device 115, and the corresponding ones are arranged at the imaging position by the displacement mechanism.
[0209]
The control device 115 has a function of integrating the overall control device 110, the inspection control device 150, and the pre-processing device 180 included in the image detection device 100 described above. Further, the control device 115 generates and outputs an instruction to select a plurality of optical systems according to the inspection conditions. This is the point having the imaging control device 115. The imaging control device 115 implements the functions of the overall control device 110, the inspection control device 150, and the preprocessing device 180 described above.
[0210]
The information processing apparatus 200 includes an overall control device 210, an overall control storage device 240, an inspection processing device 251, an image storage device 260, an inspection process information storage device 270, and an inspection result storage device. 280 and a transmitting / receiving device 290. In this example, the inspection condition generator 255 is not provided. This is because, in this example, it is assumed that the inspection conditions are generated by the general control device. However, a configuration may be adopted in which the inspection conditions are taken in from an external system.
[0211]
The selection of the optical system can be easily performed, for example, by including in advance the information specifying which optical system to use in accordance with the inspection condition in the item of the inspection condition. For example, an optical system having performance according to the inspection purpose, such as an optical system equipped with a specific filter such as a polarizing filter and a color filter, an optical system having a different magnification, and an optical system having a function of guiding illumination light, is designated. Have the information ready. The control device 115 drives the displacement mechanism and arranges the supported optical system at the inspection position based on the information specifying the optical system included in the given inspection condition. This operation is the same in the case of FIG.
[0212]
The inspection operation by this system is basically the same as the above-described embodiment, except for the operation of selecting an optical system. Therefore, the description is omitted here.
[0213]
In the appearance inspection system shown in FIG. 43, an inspection station 100S for inspecting a plurality of processes such as film formation 411, development 412, and etching 413 in a production line 410 is arranged. The inspection station 100S is connected to the information processing device 200 functioning as a host via the network 300. The inspection station 100S is connected to the information processing device 200 functioning as a host via the network 300. Further, the inspection unit 100S includes a control device 115, a storage device 140, an imaging device 160, and a transmission / reception device 190. That is, the inspection station S has basically the same configuration as the inspection unit 100U. The difference is that the inspection is performed for a plurality of processes, and that the inspection conditions are assumed to be different for each process. Therefore, the control device 115 holds the inspection conditions for the plurality of processes.
[0214]
The inspection operation by this system is basically the same as the above-described embodiment, except for the operation of selecting an optical system. Therefore, the description is omitted here.
[0215]
According to the embodiment shown in FIGS. 42 and 43, the selection of the optical system can be performed, so that various inspection conditions can be handled. Therefore, it is possible to respond to a wide range of inspection conditions with a small number of inspection apparatuses without preparing different inspection apparatuses according to the contents of the inspection. As a result, it can be said that the inspection apparatus is excellent in terms of space merit and improvement in use efficiency. In particular, it is suitable as an inspection device in a production plant for low-volume, high-mix production.
[0216]
(Effects of Embodiment)
The effects that can be expected from each of the above embodiments are as follows.
[0219]
First, the effect on the manufacturing site of products such as printed wiring boards and semiconductor wafers is to reduce the space occupied by the inspection device in the production site. The part to be installed in the manufacturing site is only the detection part of the image, and does not occupy the area for the image processing unit.
[0218]
The usability of the inspection device is improved because the uniformity of the sensitivity of each image detection device is easily achieved. Even if the imaging conditions are adjusted and set for each individual image detection device, the quality of the actual inspection image varies from device to device, and it is necessary to adjust the processing parameters for each inspection device. By unifying, the elimination of the machine difference is easily achieved.
[0219]
Manufacturers with multiple manufacturing bases can centrally manage the inspection result information at each production base at a quality evaluation base connected via a network, allowing them to compare product workmanship at each production base, Adjustment and quality control status of each production site can be centrally managed.
[0220]
On the other hand, as an effect given to an inspection apparatus maker providing the inspection apparatus, it is possible to produce the inspection apparatus at low cost. This is because the image processing unit and the information processing apparatus can be manufactured and developed separately, and the development efficiency can be improved. In other words, when the generation of the product is replaced, when it becomes necessary to find a finer defect, or when it is necessary to perform inspection with a different specification from before, an imaging method in the image detection device, for example, Since the part relating to image detection such as the change of the type and the illumination system of the image sensor and the part relating to processing such as improvement of the processing program can be advanced independently, there is an advantage that development costs can be reduced.
[0221]
Further, it becomes possible to transfer an image processing parameter and an image processing program to be given at the time of the defect detection processing from the inspection apparatus maker side to the information processing apparatus via the network. In addition, since the image data itself required for setting the parameters can be transmitted from the production base to the inspection device maker side via the network, the period for improving the algorithm such as the determination program is shortened.
[0222]
In addition, the product buyer integrates the inspection results at each production site across multiple production sites and multiple manufacturers and provides quality evaluation information for each manufacturer. It can be obtained and used as a comparative study material when purchasing products. Such quality evaluation information can be used as an index for the manufacturer to improve product competitiveness.
[0223]
According to the present invention, when information such as image data, a processing program, inspection data, and quality evaluation information is transferred over a network, necessary encryption processing can be performed. Can be held.
[0224]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to provide a technique for reducing the size of an inspection apparatus installed at a production site and for easily setting processing conditions for detection results.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a visual inspection system and a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of an image detection device according to the present invention.
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of an information processing apparatus according to the present invention.
FIG. 4 is a flowchart showing a flow of a visual inspection in the visual inspection system according to the present invention.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a display screen of the image detection device according to the present invention.
FIG. 6 is a block diagram illustrating a configuration example of a preprocessing device of the image detection device according to the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram relating to a transmission function of the transmission / reception device of the image detection device according to the present invention.
FIG. 8 is a configuration diagram relating to a reception function of the transmission / reception device of the image detection device according to the present invention.
FIG. 9 is a configuration diagram relating to a reception function of the transmission / reception device of the information processing apparatus according to the present invention.
FIG. 10 is a configuration diagram relating to a transmission function of the transmission / reception device of the information processing apparatus according to the present invention.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing the contents of a data type identification table according to the present invention.
FIG. 12 is an explanatory diagram showing an example of a display screen of the image detection device according to the present invention.
FIG. 13 is a flowchart illustrating an imaging condition setting processing flow according to the present invention.
FIG. 14 is an explanatory diagram illustrating an example of a display screen of an imaging condition setting process according to the present invention.
FIG. 15 is an explanatory diagram showing contents of a processing storage device of the information storage device according to the present invention.
FIG. 16 is an explanatory diagram showing a display screen example of the imaging condition setting processing according to the present invention.
FIG. 17 is an explanatory diagram illustrating an imaging condition setting process according to the present invention.
FIG. 18 is an explanatory diagram showing contents of a storage device of the image detection device according to the present invention.
FIG. 19 is an explanatory diagram showing the contents of an image storage device of the information processing device according to the present invention.
FIG. 20 is a block diagram showing a configuration of an electron beam type image detection device according to the present invention.
FIG. 21 is an explanatory diagram showing contents of a storage device of the information processing apparatus according to the present invention.
FIG. 22 is an explanatory diagram showing the contents of an inspection result storage device of the information processing apparatus according to the present invention.
FIG. 23 is a block diagram showing a configuration of a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 24 is a block diagram showing a configuration of a judgment program development base of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 25 is a block diagram showing a configuration of a production factory of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 26 is a flowchart showing a program revision flow in the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 27 is a block diagram showing a configuration of a production factory of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 28 is a block diagram showing a configuration of a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 29 is a diagram showing a configuration of a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 30 is a block diagram showing a configuration of a production factory according to the present invention.
FIG. 31 is a block diagram showing a configuration of a quality evaluation base of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 32 is a flowchart showing a flow of inspection result collection processing in the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 33 is an explanatory diagram showing a screen display example at a quality evaluation base of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 34 is a block diagram showing a configuration of a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 35 is a block diagram showing a configuration of a customer terminal of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 36 is a block diagram showing a configuration of a quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 37 is a flowchart showing a flow of quality evaluation information transfer of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 38 is an explanatory diagram showing contents of a storage device of a program development base in the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 39 is an explanatory diagram showing an example of a screen displayed at the program development site of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 40 is an explanatory diagram showing contents of a storage device of a quality management information base in the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 41 is an explanatory diagram showing a screen display example at a quality evaluation site of the quality evaluation system according to the present invention.
FIG. 42 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.
FIG. 43 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 100: image detection device, 100G: detection device group, 110: general control device, 120: input device, 130: output device, 140: storage device, 150: inspection control device, 160: imaging device, 161: sample chamber, 164 ... Image sensor, 163 ... Illumination device, M ... Inspection object (sample), 162 ... Stage, 170 ... Electron beam imaging device, 180 ... Pre-processing device, 190 ... Transceiving device, 200 ... Information processing device, 209 ... Internal bus 210, general control, 220, input device, 230, output device, 240, general control storage device, 251, inspection processing device, 255, inspection condition generation device, 260, image storage device, 270, inspection process Storage device, 280: Storage device for storing inspection results, 300: Network, 400: Production factory, 500: Base for revising judgment programs, 600: Quality evaluation Point, 800 ... customer terminal.

Claims (10)

検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムにおいて、
検査対象の画像を検出する画像検出装置と、
上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置と、を備え、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記画像検出装置は、検出画像およびその加工データのうち少なくとも一方を、当該データの識別子を付して情報処理装置に対し送信し、
上記情報処理装置は、受信したデータに含まれる上記識別子に基づいて、受信した画像を識別して、上記異常の有無の判定を行うこと
を特徴とする外観検査システム。In an overview inspection system that acquires an image of an inspection target and performs an appearance inspection,
An image detection device that detects an image to be inspected,
An image processing apparatus that processes an image detected by the image detection apparatus and determines whether there is an abnormality that appears in the image of the inspection target;
The image detection device and the information processing device can be connected via a network,
The image detection device transmits at least one of the detected image and the processed data to the information processing device with an identifier of the data,
An appearance inspection system, wherein the information processing device identifies a received image based on the identifier included in received data and determines whether or not the abnormality is present. 請求項１に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置から出力されるデータに付加される識別子が、検査の内容を特徴付ける検査に関する情報を含むことを特徴とする外観検査システム。The visual inspection system according to claim 1,
An appearance inspection system, wherein the identifier added to the data output from the image detection device includes information on an inspection characterizing the content of the inspection. 請求項２に記載の外観検査システムにおいて、
上記識別子は、検査に関する情報として、画像検出された検査対象物、当該検査対象物内の検査エリア、撮像条件、撮像を行った画像検出装置、生産工場、生産会社に関する情報のいずれか１以上を含むこと
を特徴とする外観検査システム。The visual inspection system according to claim 2,
The identifier includes, as information about the inspection, at least one of information on an inspection target whose image is detected, an inspection area in the inspection target, an imaging condition, an image detection device that has performed imaging, a production factory, and a production company. A visual inspection system characterized by including: 請求項１、２および３のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置は、検査対象から得られた画像について前処理する前処理装置を有し、
上記情報処理装置は、上記前処理装置において行われる前処理の内容を決定して、上記画像検出装置に送ること
を特徴とする外観検査システム。The visual inspection system according to any one of claims 1, 2, and 3,
The image detection device has a preprocessing device that performs preprocessing on an image obtained from the inspection target,
The information processing apparatus determines the contents of preprocessing performed in the preprocessing apparatus and sends the contents to the image detection apparatus. 請求項１、２、３および４のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記情報処理装置は、各画像検出装置における撮像条件を制御するための情報を生成する手段を有し、
上記画像検出装置では、情報処理装置から受信した制御情報に基づいて、撮像の制御を行うことを特徴とする外観検査システム。The visual inspection system according to any one of claims 1, 2, 3, and 4,
The information processing device has a unit that generates information for controlling an imaging condition in each image detection device,
In the above image detection apparatus, an appearance inspection system is characterized in that imaging control is performed based on control information received from an information processing apparatus. 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記情報処理装置は、上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する処理を行う計算機を備え、
上記計算機の構成は、計算機で行う処理の内容、および、画像検出装置から送出される画像データの量に応じて決定されること
を特徴とする外観検査システム。The visual inspection system according to any one of claims 1 to 5,
The information processing device includes a computer that processes an image detected by the image detection device and performs a process of determining whether an abnormality appears in the image of the inspection target.
The visual inspection system is characterized in that the configuration of the computer is determined according to the content of processing performed by the computer and the amount of image data sent from the image detection device. 請求項１ないし６のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とに、送受信するデータを暗号化する手段と、暗号化された情報を復号化する手段とを有すること
を特徴とする外観検査システム。The appearance inspection system according to any one of claims 1 to 6,
An appearance inspection system, comprising: a means for encrypting data to be transmitted and received; and a means for decrypting encrypted information in the image detection device and the information processing device. 製品の検査情報に基づいて品質を評価する情報を提供する品質評価システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムから得られる情報を用いて製品の品質を評価する品質評価拠点と、を有し、
検査システムと品質評価拠点とは、通信手段により接続可能であり、
検査システムは、製品についての検査結果と、検査対象物、検査した検査対象物の位置、検査画像の検出条件、画像を検出した画像検出装置、生産ライン、生産会社に関する情報のうち１つ以上とを送付する機能を有し、
上記品質評価拠点は、１以上の外観検査システムから送信される情報を取得し、それらの情報を処理して、その結果を表示する機能を有すること
を特徴とする品質評価システム。A quality evaluation system that provides information for evaluating quality based on product inspection information,
An inspection system for inspecting products,
And a quality evaluation base that evaluates product quality using information obtained from the inspection system.
The inspection system and the quality evaluation base can be connected by communication means,
The inspection system includes an inspection result of the product and at least one of information on the inspection object, the position of the inspection object inspected, the detection condition of the inspection image, the image detection device that detected the image, the production line, and the production company. Has the function of sending
The quality evaluation system has a function of acquiring information transmitted from one or more visual inspection systems, processing the information, and displaying the result. 製品の検査を行う検査システムにおいて用いられる処理プログラムの改定を行う機能を有する検査システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムにおける検査処理に必要となる処理プログラムの改定を行うプログラム改定拠点とを有し、
上記検査システムとプログラム改定拠点とは、ネットワークを介して接続可能であり、
検査システムは、プログラム改定拠点から送られる、処理プログラム・処理条件情報を受け付けて記憶する手段を有し、
プログラム改定拠点は、上記検査システムから送信される、検査画像・処理条件情報の変更入力を受け付けて、それらに変更に基づいて上記プログラムを改定する手段を有すること、
を特徴とする品質管理システム。An inspection system having a function of revising a processing program used in an inspection system for inspecting a product,
An inspection system for inspecting products,
Having a program revision base for revising the processing program required for inspection processing in the inspection system,
The above inspection system and the program revision base can be connected via a network,
The inspection system has means for receiving and storing the processing program / processing condition information sent from the program revision base,
The program revision base receives a change input of the inspection image / processing condition information transmitted from the inspection system, and has means for revising the program based on the change input.
Quality control system characterized by the following. 生産会社において生産される製品の品質を評価する情報を顧客端末に提供するためのシステムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
上記検査システムが出力する情報から製品の品質情報を評価する品質評価拠点と、を有し、
上記検査システムと、上記品質評価拠点と、上記顧客端末とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記品質評価拠点は、品質評価情報を記憶する手段と、顧客からの問い合わせに応じて品質評価情報を検索する手段と、検索されたデータを顧客に送付する手段とを有し、
上記顧客端末には、上記品質評価拠点への問い合わせ内容を入力する手段と、上記品質評価拠点からの送信結果を表示する手段とを有すること
を特徴とする品質管理システム。A system for providing information for evaluating the quality of a product produced in a production company to a customer terminal,
An inspection system for inspecting products,
A quality evaluation base that evaluates product quality information from information output by the inspection system,
The inspection system, the quality evaluation base, and the customer terminal can be connected via a network,
The quality evaluation base has means for storing quality evaluation information, means for searching for quality evaluation information in response to inquiries from customers, and means for sending the searched data to customers.
A quality management system comprising: a means for inputting an inquiry to the quality evaluation base; and a means for displaying a transmission result from the quality evaluation base in the customer terminal.
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