JP2004225736A

JP2004225736A - 流体圧機器のシール装置

Info

Publication number: JP2004225736A
Application number: JP2003011227A
Authority: JP
Inventors: Takafumi Nishi; 啓文西; Hiroshi Shigeta; 浩茂田
Original assignee: Taiyo Steel Co Ltd; Taiyo Ltd
Current assignee: Taiyo Steel Co Ltd; Taiyo Ltd
Priority date: 2003-01-20
Filing date: 2003-01-20
Publication date: 2004-08-12
Anticipated expiration: 2023-01-20
Also published as: JP4148785B2

Abstract

【課題】流体圧機器においてロッドカバーの貫通穴の内周面とロッドの外周面との間のシール性能を向上させかつシール部材の耐久性を高めたシール装置を提供すること。
【解決手段】カバー１３，１４の貫通穴にロッド１２が移動自在に挿入されガス室１５に加圧されたガスが封入または導入される流体圧機器１についての貫通穴におけるガス室１５のガスをシールするためのシール装置２において、貫通穴の内周面１３３に設けられた環状の油室２１と、カバー１３，１４に設けられカバー１３，１４の外面と油室２１とを連通する油路２２と、油室２１とガス室１５とを連通するように形成された調圧路２３と、調圧路２３に設けられた圧力伝達装置３と、からなり、圧力伝達装置３は、調圧路２３を遮断しかつ遮断された両側の差圧に応じて移動可能なまたは変形可能な伝達部材３２を有し、油室２１、油路２２、調圧路２３の油室２１に連通する側には油が封入されており、ガス室１５のガスの圧力を圧力伝達装置３を経由して油室２１の油に伝達するよう構成されている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスが封入された流体圧機器またはガスを導入して作動させる流体圧機器におけるロッドの摺動部分のシール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリンダの内部に加圧されたガスを封入した流体圧機器としてガススプリングが、またシリンダの内部に加圧されたガスを導入し作動させる流体圧機器として空気圧シリンダが、それぞれ広く用いられている。これらの機器は、いずれもシリンダ内部の加圧されたガスの力を、ロッドカバーを貫通して往復動するロッドによって外部の負荷に作用させる。
【０００３】
そのうちのガススプリングは、ロッドがシリンダの中に押し込まれる際に、シリンダの内部の封入されたガスが圧縮されて生ずる大きな反発力を利用する。つまり、この反発力をロッドに加わる荷重とバランスさせておくことで、このバランスを崩すためのわずかな力で大きな荷重を支えることができ、また、荷重を移動させることができる。従来より、ガススプリングは自動車の後部荷室の扉部分、ＯＡ機器のカバー部分または小型産業機器の蓋の部分等の開閉補助等に広く用いられてきた。近年、ガススプリングは、工作機械であるマシニングセンタの主軸の昇降装置に取り付けて主軸の荷重とバランスさせ、より少ない動力で主軸の昇降を行い同時に主軸の位置精度を高めて加工精度を向上する目的にも利用されている。
【０００４】
一方、空気圧シリンダは、例えば、製品の検査ラインにおける不良品の除去、流通過程における物品の選別作業および弁の開閉等の生産工程の自動化等に簡便に利用されるほか、エアプレス機械のように大きな加圧力を必要とする工作機械等にも利用されている。
【０００５】
このように、広く利用されているガススプリングおよび空気圧シリンダにおいて、シリンダの内部からシリンダの外部へのガスの漏れ、特に、ロッドカバーの貫通穴の内周面と、この内周面を摺動するロッドの外周面との間（以下「ロッドの摺動する部分」）からのガスの漏れは、シリンダの内部のガスの圧力が高くなるほど生じ易くかつ防止が容易ではない。
【０００６】
特に、ガスを封入した状態で使用されるガススプリングでは、シリンダの内部からのガスの漏れがわずかでもあると、長期の使用の間にはガス圧が低下してしまい、必要とされるガススプリングの性能（初期荷重）が得られないこととなる。
【０００７】
特に、ガススプリングをマシニングセンタまたはプレス機械のような工作機械に使用した場合のガス漏れは、主軸等の昇降装置に過度な負荷がかかることとなり、工作機械の加工精度を低下させ、加工品の品質低下に結びつく可能性がある。そのため、ロッドが摺動する部分のシール性能を長期間に渡って良好に保ち、シリンダの内部からのガスの漏れを防止することが求められてきた。
【０００８】
従来、ロッドが摺動する部分のシール方法として、例えば小型のガススプリングでは、図６に示すＵパッキン８４を用いた構造が採用されている。また、ロッド８２とロッドブッシュまたはロッドカバー８３との摺動部分の潤滑を目的として、ロッドブッシュまたはロッドカバー８３のロッド８２が摺動する内周面にＵパッキン８４とダストシール８６との間に位置する環状の溝を設け、潤滑油を封入する構造も用いられている。
【０００９】
しかし、ガススプリングの内部（以下「ガス室」）８５のガスの圧力とガススプリングの外部の圧力との差は、数ＭＰａから７ＭＰａ以上にもなり、この圧力差による力がＵパッキン８４に加わることになる。この圧力差による力によって、Ｕパッキン８４の摺動側リップ８４１がロッド８２に強く押しつけられ、摺動抵抗の大きくなった摺動側リップ８４１は、ロッド８２の往復動によって摩耗しやすくなる。摺動側リップ８４１が摩耗した結果、Ｕパッキン８４のシール性能が低下することが考えられ、ガススプリングの長期間の使用には不安がある。ロッドが摺動する部分の潤滑のためにシリンダの内部に少量の潤滑油を封入することも行われているが、ロッドが摺動する部分を下側にしてガススプリングを設置しなければならないという利用上の制約がある。
【００１０】
Ｕパッキン８４とダストシール８６との間の環状の溝に潤滑油を封入する構造では、封入された潤滑油がロッド８２の外周面に油膜をつくり、油膜の効果によりロッド８２の外周面と摺動側リップ８４１との摩擦力を低減させることが期待できる。しかし、環状の溝に封入された潤滑油の圧力はガス室の圧力に比べて低いために、ガスが環状の溝を経由して外部に漏れ出るおそれがある。さらに、頻繁なロッドの往復動により潤滑油は徐々に減少するので、図６に示すシール構造と同様にシール性能の低下という問題が生ずるおそれもある。
【００１１】
そこで、潤滑油を補充することができるシール構造が提案されている（特許文献１参照）。しかし、特許文献１に示されるガススプリングのシール構造では、潤滑油の収納部の圧力はガス室の圧力に比べて低く、ガスが潤滑油の収納部を経由して外部に漏れ出すおそれは解消されない。
【００１２】
また、減少した潤滑油を適宜補給するシール構造ではなく、加圧した潤滑油をロッドカバーの内周面の環状の溝に常時供給し続けるシール構造も考えられている（特許文献２参照）。この特許文献２に示される構造では、潤滑油の圧力はシリンダの内部のガス圧より低くなっている。そのため、特許文献１に記載されるシール構造と同様に、ガス室のガスがシール部分を経由して漏れ出すおそれがある。また、このシール構造では、ガススプリングが潤滑油の加圧機構および潤滑油の充填機構と常時つながれており、周辺設備を必要とすることから設備が複雑化するとともにランニングコストが増加する要因を含んでいる。
【００１３】
【特許文献１】
特開平７−２９３６２２号公報（第３−第４頁、第１図）
【００１４】
【特許文献２】
特開２００２−９６２２９号公報（第３−第４頁、第２−第５図）
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
空気圧シリンダのガス室の圧力は１ＭＰａ以下、ガススプリングのガス室の圧力は数ＭＰａから７ＭＰａ前後が一般的である。しかし、ガスのシールは圧力が低くても容易ではなく、特にガススプリングのように加圧されたガスが封入される機器では、一旦ガスが外部に漏れれば、その後ガスを補充することは面倒な作業となることが多い。
【００１６】
本発明は、流体圧機器においてロッドカバーの貫通穴の内周面とこの内周面を摺動するロッドの外周面との間のシール性能を向上させかつシール部材の耐久性を高めたシール装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかるシール装置は、シリンダチューブの一端を塞ぐカバーの貫通穴にロッドが移動自在に挿入され前記シリンダチューブの内側に形成されたガス室に加圧されたガスが封入されまたは加圧されたガスが導入される流体圧機器についての前記貫通穴における前記ガス室のガスをシールするためのシール装置であって、前記貫通穴の内周面に設けられた環状の油室と、前記カバーに設けられ前記カバーの外部と前記油室とを連通する油路と、前記油室と前記ガス室とを連通するように形成された調圧路と、前記調圧路に設けられた圧力伝達装置と、からなり、前記圧力伝達装置は、前記調圧路を遮断しかつ遮断された両側の差圧に応じて移動可能なまたは変形可能な伝達部材を有し、前記油室、前記油路、および前記調圧路の前記油室に連通する側には油が封入されており、前記ガス室のガスの圧力を前記圧力伝達装置を経由して前記油室の油に伝達するよう構成されている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明にかかる実施形態であるシール装置２が設けられたガススプリング１の正面断面図、図２は図１のシール部分を拡大して示す部分正面断面図、図３は図１におけるＡ−Ａ断面矢視図、図４はシール装置２を構成する圧力伝達装置３の正面断面図、図５は圧力伝達装置３の他の実施形態の正面断面図を示す。
【００１９】
図１に示すように、ガススプリング１は、シリンダチューブ１１の一端にロッドカバー１４を有し、他の一端にヘッドカバー１６を有する。ロッドブッシュ１３は、ロッド１２を挿入した状態でロッドカバー１４に取り付けられている。
【００２０】
シリンダチューブ１１は、ロッドカバー１４およびヘッドカバー１６により両端が塞がれ、塞がれたシリンダチューブ１１の内部にガス室１５が形成される。ヘッドカバー１６には、窒素ガスをガス室１５に注入するためのガス注入ポート１７が設けられる。
【００２１】
ロッド１２が挿入されるロッドブッシュ１３の貫通穴の内周面１３３には、軸方向のほぼ中央に、軸方向の長さがロッドブッシュ１３の長さの半分ほどであって半径方向に浅い円環状の溝が設けられている。この円環状の溝とロッド１２の外周面１２１とに囲まれて油室２１が形成される。図１に示す環状の溝の深さは約２ｍｍであるが、これはガススプリング１の大きさ等を考慮し任意に設定することができる。
【００２２】
図２および図３を参照して、ロッドブッシュ１３には、油室２１とロッドブッシュ１３の外周面とを貫通する２つの孔１３１，１３１が、軸方向に互いに離れた位置にかつ円周方向に１８０度の間隔で設けられる。孔１３１は２つでなく１つでもよいが、油室２１に油を封入する際の空気抜きを円滑に行うためには、油室２１の軸方向の両端にそれぞれ１つ以上設けるのが好ましい。
【００２３】
図２によく示すように、ロッドブッシュ１３の貫通穴の内周面１３３には、油室２１を挟んだ軸方向の両側に第１シール部材４１および第２シール部材４２が設けられる。
【００２４】
第１シール部材４１はガス室１５と油室２１との間を、第２シール部材４２は油室２１と外部との間を、それぞれロッド１２の外周面１２１とロッドブッシュ１３の内周面１３３との摺動部分においてシールするためのものである。本実施形態では、第１シール部材４１および第２シール部材４２として、ともにＯリングと樹脂シールとを組み合わせた組合せシールを使用している。
【００２５】
図１および図２に示すように、ロッドブッシュ１３の外周面とロッドカバー１４の内周面との間には円環状の間隙１３２が形成されている。
すなわち、ロッドブッシュ１３には、最大径の第１外周面１３５、中間径の第２外周面１３６、および最小径の第３外周面１３７が設けられる。ロッドカバー１４には、第１外周面１３５とほぼ同じ内径の第１内周面１４５、第２外周面１３６とほぼ同じ内径の第２内周面１４６、および、第３外周面１３７とほぼ同じ内径の第３内周面１４７が設けられる。第３外周面１３７は第３内周面１４７より軸方向に長く、第２外周面１３６は第２内周面１４６より軸方向に短く形成されている。ロッドブッシュ１３をロッドカバー１４に取り付けたとき、第３外周面１３７と第２内周面１４６とによって円環状の間隙１３２が形成される。間隙１３２は、第２外周面１３６と第３外周面１３７との外径の差の２分の１に当たる半径方向の幅、および第３外周面１３７と第３内周面１４７（または第２内周面１４６と第２外周面１３６）との軸方向長さの差に相当する長さを有する。
【００２６】
間隙１３２の軸方向位置および長さは、孔１３１が間隙１３２に開口するように決定される。図１に示す間隙１３２の幅は約３ｍｍおよび軸方向の長さはおおよそロッドカバー１４の軸方向の厚みの半分である。また、間隙１３２は、後に説明するロッドカバー１４に設けられた給油路１４１と連通するように形成されている。
【００２７】
ただし、間隙１３２の半径方向の幅および軸方向長さは、ガススプリング１の大きさ、用途等により異なり、上に述べた寸法に限るものではない。また、間隙１３２は、給油路１４１と孔１３１とを連通させ油室２１に油を供給するように設けられていれば、図３に示すような円環状の断面を有する形状に限られない。例えば、第３外周面１３７および第３内周面１４７を設けずに、孔１３１と給油路１４１とを連通するように第２外周面１３６に設けた１つの溝であってもよい。
【００２８】
ロッドカバー１４には、前述したように一方が間隙１３２に開口し、他の一方がロッドカバー１４の側面において外部に開口する給油路１４１が設けられる。給油路１４１が開口するロッドカバー１４の側面には、給油ポート１４４が設けられる。なお、給油ポート１４４には図示しない閉止弁が取り付けられる。ロッドカバー１４には、油室２１に給油する際にエア抜きを行うためのエア抜き路１４２が設けられている。エア抜き路１４２が開口するロッドカバー１４の側面には栓１４３が取り付けられている。孔１３１、間隙１３２、および給油路１４１によって油路２２が形成される。
【００２９】
また、ロッドカバー１４には、給油路１４１から分岐しガス室１５に連通する調圧路２３が設けられる。つまり、調圧路２３は、給油路１４１を通じてガス室１５と油室２１とを連通させている。
【００３０】
調圧路２３のガス室１５に開口する部分には、圧力伝達装置３が取り付けられる。圧力伝達装置３は、ガス室１５の圧力を油室２１に伝達し、第１シール部材４１を挟んだガス室１５のガスの圧力と油室２１の油の圧力との差を適当な大きさに保つ役割をする。
【００３１】
図４において、圧力伝達装置３は、小シリンダチューブ３１と小シリンダチューブ３１の内周面を摺動し油とガスを遮断する小ピストン３２とを有している。小ピストン３２は、ガス室１５のガスの圧力を油室２１の油に伝達する働きをする。小ピストン３２の両側の受圧面積は等しいので、ガス室１５の圧力が油室２１にそのまま伝達される。
【００３２】
小シリンダチューブ３１は、一方の開口部３４の外周に雄ネジが設けられており、調圧路２３の開口部に設けられた雌ネジに螺合してロッドカバー１４に取り付けられる。小シリンダチューブ３１の他の開口部３５には開口栓３７が設けられる。開口栓３７は、中央部分に貫通穴３６が設けられており、ガスが圧力低下することなく流通可能である。
【００３３】
小ピストン３２は、ガス室１５のガスの圧力と油室２１の油の圧力との差圧により、容易に小シリンダチューブ３１の内周面を摺動するように形成される。小ピストン３２と開口栓３７との間にはスプリング３３が装着される。したがって、小ピストン３２は、スプリング３３により付勢され、その自由状態において図４の左端に移動する。
【００３４】
なお、本実施形態におけるスプリング３３は、バネ定数および付勢力が小さいものであり、小ピストン３２の動きをスムーズにするために設けられる。小ピストン３２とスプリング３３とは固着されていてもされていなくてもよい。油室２１の油の圧力をガス室１５のガスの圧力より高く保ちたい場合には、バネ定数および付勢力が大きなスプリング３３を用いればよい。
【００３５】
シール装置２には潤滑性を有する油を封入する。シール装置２への油の封入は次のようにして行う。
給油ポート１４４には、上に述べたように閉止弁が取り付けられるが、閉止弁のポートに給油ホースなどを接続する。その際に油圧計を接続しておく。エア抜き路１４２の栓１４３をゆるめ、閉止弁を開いて給油を開始し、油路２２、油室２１、および圧力伝達装置３に油を充填する。栓１４３から油が漏れ出したら一旦給油を停止し、栓１４３を閉じる。その後、給油を再開し、油圧計の圧力が上昇したときに給油を停止する。栓１４３を閉じた後の給油は、圧力伝達装置３の小ピストン３２をガス室１５の側に移動させるためのものである。給油を停止した後、給油ポート１４４に取り付けた閉止弁を閉じ、給油ホースを取り外す。給油は、できる限り油室２１等に空気が残留しないように留意して行う。給油の途中で、油室２１等に残留する空気をエア抜き路１４２に導くように、ガススプリング１の全体を上下左右にゆっくりと動かすのが効果的である。
【００３６】
ガススプリング１におけるガス室１５への加圧ガスの充填は、ガス注入ポート１７にガス供給用の配管を接続して行う。ガスとして例えば窒素ガスを使用する。窒素ガスは、例えば窒素ボンベから減圧弁を経由して所定の圧力に減圧して注入する。
【００３７】
油室２１の油の圧力は、ガス室１５に窒素ガスを充填する前には大気圧ないし０．１ＭＰａ程度である。ガス室１５への加圧ガスの注入によってガス室１５の圧力が上昇するに伴い、その圧力が小ピストン３２によって油に伝達され、油室２１の油の圧力が上昇する。結果として、油室２１はガス室１５とほぼ同じ圧力となる。
【００３８】
このように、圧力伝達装置３は、ガススプリング１の動作時におけるガス室１５のガスの圧力を、油室２１の油に伝達する働きをする。この働きにより、油室２１の油とガス室１５のガスとは圧力差がほとんどない状態になり、ガス室１５のガスが、第１シール部材４１のシール部分から油室２１に漏れにくくなる。また、油室２１の油とガス室１５のガスとの圧力差がほとんどないことから、ロッド１２の外周面と摺動する第１シール部材４１の摩耗が軽減される。
【００３９】
つまり、本実施形態におけるシール装置２は、ロッド１２が摺動する部分の高いシール性を維持しつつ、シール部分の耐久性を高めることができる。
上に述べたガススプリング１では、シール状態を維持するために第１シール部材４１に求められる要件が、ガス室１５のガスの圧力の大きさから予想されるものに比べて大幅に緩和されたものとなる。したがって、第１シール部材４１には様々な種類のシールを使用することができ、例えばＯリングを単独で使用することができる。
【００４０】
ガス室１５のガスまたは油室２１の油のいずれか一方の圧力を他方より高く設定した場合には、第１シール部材４１に、Ｕパッキン、ＶパッキンまたはＬパッキン等のリップパッキンを使用するのが好ましい。このとき、パッキンのリップは、ガス室１５と油室２１のうち圧力の高い側に向くように設ける。
【００４１】
第２シール部材４２は、ロッド１２の外周面１２１とロッドブッシュ１３の内周面１３３との摺動部分において、ガススプリング１の外部と油室２１とをシールするためのものである。したがって、第２シール部材４２は圧力差の大きな摺動する部分に使用しても十分なシール性能を発揮する型のパッキンが用いられる。例えば、油圧機器の往復動軸のシールに適するＵパッキン、ＶパッキンおよびＬパッキン等のリップパッキンを使用するのが好ましい。パッキンのリップは、油室２１の側に向くように配置する。
【００４２】
図５は、他の実施形態における圧力伝達装置３Ｂを示す図である。
圧力伝達装置３Ｂは、容器３１Ｂおよび容器３１Ｂの内部にベローズ３２Ｂを有する。容器３１Ｂは２つの開口部３４Ｂ，３５Ｂを有し、容器３１Ｂの内部で２つの開口部３４Ｂ，３５Ｂの間がベローズ３２Ｂにより完全に遮断されている。圧力伝達装置３Ｂは、一方の開口部３４Ｂが油室２１に連通するように、他方の開口部３５Ｂがガス室１５に連通するように、調圧路２３に接続される。ガス室１５のガスの圧力の変化により容器３１Ｂの内部でベローズ３２Ｂは伸縮し、ベローズ３２Ｂの内側の油にガス室１５の圧力を伝える。ベローズ３２Ｂの内側の油の圧力は、調圧路２３を通じて油室２１に伝達される。開口部３４Ｂをガス室１５に連通するように、開口部３５Ｂを油室２１に連通するように、調圧路２３に接続してもよい。
【００４３】
圧力伝達装置は、上に述べた実施形態の他に、圧力伝達装置３Ｂにおいてベローズ３２Ｂに代えてメタルダイアフラムを設けたものとすることもできる。また、圧力伝達装置３に代えて、調圧路２３のガス室１５への開口部をベローズ、メタルダイアフラムまたは非金属弾性体膜等の弾性を有する伝達部材で塞ぐ簡便な構造としてもよい。ただし、伝達部材にメタルダイアフラムを用いる場合は、ベローズ３２Ｂを用いる場合に比べ変形の許容度が小さいことから、シール性能を維持するために油室２１の油の量を維持するよう管理を行うのが好ましい。
【００４４】
ガススプリングなどの流体圧機器の内部に伝達装置を設けるスペースがない場合には、圧力伝達装置３Ｂを流体圧機器の外部に設けることができる。例えば、ガス室から連通しシリンダチューブの外周に開口するポートを設け、このポートと給油ポートとを連通する調圧路を流体圧機器の外部に設け、調圧路の途中に圧力伝達装置３Ｂを取り付ければよい。
【００４５】
シリンダチューブ１１、ロッド１２、ロッドブッシュ１３、ロッドカバー１４、ヘッドカバー１６および圧力伝達装置３は、いずれも機械構造用炭素鋼材により製作される。圧力伝達装置３Ｂの容器３１Ｂも機械構造用炭素鋼材により製作される。ベローズ３２Ｂはステンレス製のものを使用する。
【００４６】
上述の実施形態において、間隙１３２の形成方法として上に述べた方法以外の方法を用いることができる。ロッドブッシュ１３とロッドカバー１４とを一体に形成しロッドカバーとしてもよく、間隙１３２を設けることなく油室２１と給油ポート１４４とを直接に連通する油路２２を設けることもできる。
【００４７】
油室の位置、大きさ、形状等は、上述の実施形態に示すものに限られない。第１シール部材および第２シール部材の数はそれぞれ１つに限るものではなく、流体圧機器の規模、用途、動作条件等に応じて複数設けることができる。また、第１シール部材および第２シール部材の他に、例えばダストシール等をロッドブッシュの内周面に設けることができる。
【００４８】
圧力伝達装置３において、スプリング３３に代えて他の弾性体を使用することもできる。また、小シリンダチューブ３１の内周面を小ピストン３１が良好に摺動するよう加工できる場合には、スプリング３３を設けないものとすることもできる。
【００４９】
圧力伝達装置の形状、構造等は、図４および図５に示すものに限られず、伝達部材で遮断される一方の側のガスの圧力を他方の側の油に伝達するように形成されていればよい。伝達装置の材質についても機械構造用炭素鋼材に限られず、他の材料を使用することができる。
【００５０】
上述の実施形態において、各部分の形状、構造、および材質等は、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。本発明は、シリンダの内部に加圧されたガスを有し、シリンダの内外を往復動するロッド状の力伝達機構を有する種々の機器に適用することが可能である。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によると、流体圧機器においてロッドカバーの貫通穴の内周面とこの内周面を摺動するロッドの外周面との間のシール性能を向上させかつシール部材の耐久性を高めたシール装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる実施形態であるシール装置が設けられたガススプリングの正面断面図である。
【図２】図１のシール部分を拡大して示す部分正面断面図である。
【図３】図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【図４】図１のシール装置を構成する圧力伝達装置の正面断面図である。
【図５】圧力伝達装置の他の実施形態の正面断面図である。
【図６】従来のシール装置が設けられたガススプリングの部分正面断面図である。
【符号の説明】
１ガススプリング（流体圧機器）
２シール装置
３，３Ｂ圧力伝達装置
１１シリンダチューブ
１２ロッド
１３カバー（ロッドブッシュ）
１４カバー（ロッドカバー）
１５ガス室
２１油室
２２油路
２３調圧路
３２小ピストン（伝達部材）
３２Ｂベローズ（伝達部材）
１３３貫通穴の内周面

Claims

シリンダチューブの一端を塞ぐカバーの貫通穴にロッドが移動自在に挿入され前記シリンダチューブの内側に形成されたガス室に加圧されたガスが封入されまたは加圧されたガスが導入される流体圧機器についての前記貫通穴における前記ガス室のガスをシールするためのシール装置であって、
前記貫通穴の内周面に設けられた環状の油室と、前記カバーに設けられ前記カバーの外部と前記油室とを連通する油路と、前記油室と前記ガス室とを連通するように形成された調圧路と、前記調圧路に設けられた圧力伝達装置と、からなり、
前記圧力伝達装置は、前記調圧路を遮断しかつ遮断された両側の差圧に応じて移動可能なまたは変形可能な伝達部材を有し、
前記油室、前記油路、および前記調圧路の前記油室に連通する側には油が封入されており、
前記ガス室のガスの圧力を前記圧力伝達装置を経由して前記油室の油に伝達するよう構成されている、
ことを特徴とする流体圧機器のシール装置。
前記伝達部材は、
筒状の内周面を摺動するピストンである、
請求項１に記載の流体圧機器のシール装置。
前記伝達部材は、
ダイヤフラムまたはベローズである、
請求項１に記載の流体圧機器のシール装置。
請求項１ないし請求項３に記載のシール装置が設けられた流体圧機器。