【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気流の流量や方向を制御するための気流制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体等を製造するクリーンルームでは、ＨＥＰＡフィルター等を備えた空気浄化装置を通して清浄化された、極めて塵の少ない空気を通気口から送り出すことで、クリーンルーム内を高度な清浄環境に保っている。このようなクリーンルームにおいては、室内全域に渡って一定レベルの清浄環境を保つために、室内のレイアウトに応じて、通気口から送り出される清浄化された空気の流量や流出方向、即ち気流を制御して、空気の滞留域を減らすように設計される。クリーンルーム内での空気の滞留域を低減するには、清浄化された空気を送り出す通気口の数や、通気口の配列を変える方法が一般的である。また、通気口から送り出される空気の気流を制御するために、穴のあいた板であるパンチングフェースを通気口の前面に備えた気流制御板も知られている。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２０５６２０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、クリーンルームにおいては、既に配管されているダクトに接続された通気口の位置を自在に変更することで、クリーンルームの気流を制御するのは現実的には著しく困難であった。また、一辺が１ｍ以下の可搬性のある超小型クリーンルーム（クリーンボックス）の場合、清浄化ユニットと一体化された単一の通気口のみ備えているため、通気口の数や配列を変更して気流の制御を行うことは困難であった。一方、穴のあいた板であるパンチングフェースを通気口の前面に備えた従来の気流制御板では、パンチングフェースが固定されているために気流を自在に変更することが困難であった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で気流を自在に制御可能な気流制御装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、互いに摺動可能に重ね合わされ、それぞれに多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を備え、互いに隣接する通風板どうしを相対移動して前記貫通穴の開口面積を変化させることを特徴とする気流制御装置が提供される。また、前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって貫通穴の開口面積を変化させて通風量を制御することを特徴とする気流制御装置が提供される。
【０００７】
このような気流制御装置によれば、互いに隣接する通風板どうしを相対移動させて貫通穴の開口面積を変化させるだけで、通風量を簡単に、且つ自在に制御することができる。気流制御装置は多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を重ね合わせる構造なので、容易に且つローコストに気流の制御を行うことができる。更に、多数の貫通穴が形成された通風板を複数枚重ね合わせる簡易な構成なので、軽量で故障の発生する可能性が低く信頼性の高い気流制御装置を実現できる。
【０００８】
前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって前記通風板の全面に渡って分布する多数の貫通穴の内の一領域の貫通穴の開口面積を変化させることによって通風量分布を制御してもよい。このような気流制御装置によれば、通風板同士を相対移動させて、全面に渡って分布する多数の貫通穴の一領域だけの開口面積を変化させることで、簡単に通風量の分布を制御することが可能になる。前記通風板に面した領域の一部分だけの通風量を絞り込んだり、増やしたりすることができる。
【０００９】
前記複数枚の通風板は互いに回転可能に結合させる回転軸を更に備えていてもよい。また、前記複数枚の通風板は互いに平行移動可能に結合させるレールを更に備えていてもよい。このような通風板を備えた気流制御装置によれば、複数枚の通風板を動かして気流を制御するに当たって、通風板の移動が容易になり、且つ段階的に気流を制御することが可能になる。
【００１０】
前記貫通穴は前記通風板の全面に渡って均一に分布するように形成されていてもよい。このような通風板を備えた気流制御装置によれば、通風板の移動量に応じて段階的且つ定量的に気流を制御することが可能になる。
【００１１】
本発明によれば、これらの気流制御装置を備えたことを特徴とする空気清浄化装置が提供される。このような気流制御装置を空気清浄化装置に適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能な空気清浄化装置を提供することができる。また、小型軽量で信頼性の高い空気清浄化装置の実現に寄与する。
【００１２】
本発明によれば、これらの気流制御装置を備えたことを特徴とするクリーンルームが提供される。このような気流制御装置をクリーンルームに適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能なクリーンルームを提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明の気流制御装置を備えたクリーンボックスの概要を示す説明図である。可搬性のある小型クリーンルームであるクリーンボックス（クリーンルーム）１０は、例えば清浄な環境下に置く必要のある装置や部品等に被せて使用する０．５〜１．０ｍ四方の小型のボックス（立方体）であり、気密室１１と空気清浄化装置１２とを備えている。気密室１１は、例えばアルミ製骨材から形成された矩形の枠体１３と、この枠体１３に固着され、気密室１１の底面を除いた５つの壁面を構成するパネル１４とを備えている。パネル１４は、例えば帯電防止処理を施したアクリルプレートから構成され、枠体１３に蝶ネジ１５で取り付けられている。
【００１４】
気密室１１の側壁面を構成する４枚のパネル１４の下部には、開閉自在な排気口１６がそれぞれ形成されている。すなわち、横長の細長い開口１６ａをヒンジ１６ｂにより上下動自在に支持されたダンパー板１６ｃが設けられていて、気密室１１の内圧が上昇すると、ダンパー板１６ｃが自然に上昇回動して開口１６ａが開くようになっている。また、これらパネル１４の中心部には、気密室１１の内部環境を測定するための測定機器のセンサ等を差し入れる測定口１７が形成されている。この測定口１７は使用しない時にはゴム栓などで塞がれていれば良い。
【００１５】
一方の面のパネル１４には、計器類１８、イオナイザーハンガー１９、及びマノメータ２１が取り付けられている。計器類１８に設置されるパーティクルセンサーは、クリーンボックス１０内の清浄度、例えば１立方フィート当たりの塵の個数を測定する装置であり、例えばクラス１０と呼ばれる環境下では、１立方メートル当たり１０個以下の塵しかない状態とされる。イオナイザーハンガー１９は、気密室１１内の静電気を除電するためのイオナイザーを取り付けるハンガーである。
【００１６】
マノメータ２１は、気密室１１内の気圧、および空気清浄化装置１２内の圧力損失を測定する装置であり、切り替えコック２１ａの操作によって、測定対象を気密室１１または空気清浄化装置１２の間で切り替える。クリーンボックス１０の稼動時においては、気密室１１内の気圧は外気圧よりも高くなるように設定することが好ましい。これにより浄化されていない外気が排気口１６から気密室１１内に逆流することを防止することができる。
【００１７】
気密室１１の上面のパネル１４の端部には、電源コンセント２２が設けられている。こうした電源コンセント２２からは空気清浄化装置１２や計器類１８の駆動用電力が供給される。更に、枠体１３の底面には、クリーンボックス１０をテーブル等に載置した際に気密室１１とテーブル等とを密着させるゴムパッキン２３、およびアース線２４等を設けても良い。
【００１８】
図２は空気清浄化装置１２の概要を示す断面図である。空気清浄化装置１２は気密室１１（図１参照）の上面のパネル１４に形成された開口１４ａを覆うように設置されており、ゴムパッキン２５等で上面のパネル１４に密着している。空気清浄化装置１２は、大別して除塵装置３１と気流制御装置４１とから構成されている。除塵装置３１は、筐体３２に吸気口３３、プレフィルタユニット３５、ファンユニット３６および高機能フィルタユニット３７とを備えいる。筐体３２の上部に形成された吸気口３３には、プレフィルタユニット３５が取り付けられている。
【００１９】
プレフィルタユニット３５は、後述する高機能フィルタユニット３７にある程度清浄化された空気を供給するために、吸気口３３から導入された外気に含まれる比較的大きめの塵を除去する。こうしたプレフィルタユニット３５は高機能フィルタユニット３７のＨＥＰＡフィルタの通気性を確保し、かつ寿命を延ばす。プレフィルタユニット３５は例えば、外気に含まれる総塵量の６０〜９０％の塵を除去する中性能フィルタを内蔵していれば良い。
【００２０】
ファンユニット３６は、モータ３６ａおよびファン３６ｂとを備えている。ファンユニット３６はファン３６ｂの回転によって、プレフィルタユニット３５側を負圧にするとともに、高機能フィルタユニット３７側を加圧にする。これにより、吸気口３３から筐体３２内に外気が吸入され、高機能フィルタユニット３７に向けて流れる。
【００２１】
高機能フィルタユニット３７は、グラスウールを主材としたペーパー状のフィルタ、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ ）フィルタ３７ａが内蔵されている。ＨＥＰＡフィルタ３７ａは集塵効果を高めるために、広い表面積のものが屈曲されて収められており、慣性、拡散、衝突のフィルタ３作用により１μｍ以下の非常に微細な塵も捕捉することができる。
【００２２】
このような高機能フィルタユニット３７の下面からは、例えば１立方フィート中に微細な塵が１０個以下の清浄な空気が供給される。なお、高機能フィルタユニット３７に用いられるフィルタ材は、前述したＨＥＰＡフィルタ以外にも、例えば、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタなど、更なる高性能のフィルタを用いても良い。
【００２３】
図３は気流制御装置４１の概要を示す斜視図である。除塵装置３１の下部に配置される気流制御装置４１は、互いに重ねられた第１通風板４２と第２通風板４３とを備えている。第１通風板４２は、内面下側４２ａに第１貫通穴４４が多数配列して形成されており、全体を例えばアルミ板で形成すればよい。このような第１通風板４２は例えば側壁と一体に形成し外形を箱型にすればよい。
【００２４】
第１通風板４２の上面４２ａの一辺側中央には、回転軸４５が突設されている。また、第１通風板４２において、この回転軸４５の形成位置とは反対側の端には円弧状の長穴４６が形成されている。このような回転軸４５および長穴４６は、後述する第２通風板４３を第１通風板４２に対してスライド移動自在にする。
【００２５】
第２通風板４３は、第２貫通穴４７が多数配列して形成されており、全体を例えばアルミ板で形成すればよい。こうした第２通風板４３のサイズは、第１通風板４２の下面４２ａのサイズよりも一回り小さく形成されている。また、第２貫通穴４７の直径は第１貫通穴４４の直径よりも一回り大きく形成されており、第２貫通穴４７の形成ピッチは第１貫通穴４４の形成ピッチと同じに設定されている。
【００２６】
第２通風板４３の一端には係合穴４８が形成され、この係合穴４８に第１通風板４２の回転軸４５が貫通する。これにより、第２通風板４３は回転軸４５を中心にして第１通風板４２に対して摺動可能に重ね合わされる。また、第２通風板４３の下面４３ａのコーナー部には、第２通風板４３を第１通風板４２に対して回動操作する際の摘みとなる操作レバー４９が突設されている。この操作レバー４９は第１通風板４２の長穴４６を貫通し、第１通風板４２の下面から突出する。このような構成により、操作レバー４９を左右に動かせば、第２通風板４３は第１通風板４２に対して回転軸４５を中心にして図３中矢印Ｒのように左右に移動する。
【００２７】
以上のような構成のクリーンボックス１０（図１参照）は、清浄な環境下に置く必要のある部品や装置等の上から被せて使用する。クリーンボックス１０のメインスイッチ（図示略）が投入されると、ファンユニット３６が動作して除塵装置３１の筐体３２内に外気が吸入される。除塵装置３１で除塵された清浄な空気が気流制御装置４１に入ると、第１通風板４２の第１貫通穴４４と第２通風板４３の第２貫通穴４７が合致した貫通部分を通って気密室１１に送り込まれる。そして、気密室１１の下部の排気口１６から排気される。これにより、気密室１１内は常に塵の量が制御された一定レベルの清浄な環境に保たれる。気密室１１内に収容された部品や装置は、常に清浄な空気で満たされた環境下に置くことができる。
【００２８】
次に、上述した構成の本発明の気流制御装置４１について、動きと作用を詳細に説明する。図４は、気流制御装置４１における互いに摺動自在に重ね合わされた第１通風板４２と第２通風板４３とを、上面から見た場合の平面図である。基準位置、即ち第１通風板４２に対して回転軸４５周りで摺動自在な第２通風板４３が第１通風板４２に対してズレなく置かれている状態では、第１通風板４２の第１貫通穴４４と第２通風板４３の第２貫通穴４７は全て合致している。
【００２９】
この位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分、即ち図２に示す除塵装置３１から気密室１１に向けて開かれた通風可能な開口５０の面積は最大になり、通風可能な開口５０は気密室１１の上面の全域に均一に分布する。なお、開口５０は第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とが合致した図中の斜線部分であり、気密室１１に向けて空気が通風可能な領域を表現している。
【００３０】
図５は、図４に示した基準位置において、気密室を上から見たときに気密室に送り込まれる空気の分布を模式的に示したものである。図４に示した基準位置では、通風可能な開口５０が気密室１１の上面の全域に均一分布して、開口５０の面積が最大になっているので、気密室１１の上面の全域に向けて除塵された清浄な空気が送り込まれる。図５中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）５１は気密室１１の全域にムラ無く分布する。
【００３１】
図６は、図４に示す基準位置から第１ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図６に示す第１ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径の半分の長さｔ１まで図中Ｒ１方向にずらした状態にある。第２通風板４３の回動操作は、図３に示す操作レバー４９を動かせばよい。この第１ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図６中の右側の上下方向に向かうほどズレが大きくなる。即ち、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０は、右側の上下方向に向かうほど絞り込まれている。
【００３２】
このような第１ずらし位置では、図７に示すように、気密室１１の上面における右側の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少する。図７中の斜線で示す気流の分布領域５２は気密室１１の左側ほど多くなり、右側の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は絞られる。
【００３３】
図８は、図４に示す基準位置から第２ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図８に示す第２ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径分の長さｔ２まで図中Ｒ２方向にずらした状態にある。この第２ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図８中の右側の上下方向に向かうほどズレが大きくなり、中央付近より右側では第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。
【００３４】
このような第２ずらし位置では、図９に示すように、気密室１１の上面における中央付近の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の右側では空気は全く送り込まれない状態になる。図９中の斜線で示す気流の分布領域５３は気密室１１の左側ほど多くなり、中央付近の上下方向では絞り込まれ、右側では空気は全く送り込まれない状態になっている。
【００３５】
図１０は、図４に示す基準位置から第３ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図１０に示す第３ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径の２倍分の長さｔ３まで図中Ｒ１方向にずらした状態にある。この第３ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図１０中の中央の上下方向に向かうほどズレが大きくなり、中央付近よりも右側及び左側に向かうほど第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０が大きくなる。
【００３６】
このような第３ずらし位置では、図１１に示すように、気密室１１の上面における中央付近では空気は全く送り込まれなくなり、気密室１１の右側及び左側の２つの領域で空気が送り込まれる状態になる。図１１中の斜線で示す気流の分布領域５４は気密室１１の右側及び左側の２つに分かれ、中央付近の上下方向に向かうほど送り込まれる空気は絞られる状態になっている。
【００３７】
以上のように、本発明の気流制御装置４１は、第１通風板４２と第２通風板４３とを相対移動させるだけで、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である開口面積を変化させることができる。これにより、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である開口の分布を変化させて、図５と図７と図９と図１１の状態あるいは、操作レバー４９の位置に応じてそれらの中間の送風状態に気流を制御することが可能になる。
【００３８】
こうした気流制御装置４１は、貫通穴４４，４７が形成された第１と第２の通風板４２，４３とを摺動可能に重ね合わせる構成なので、簡単でしかも極めてローコストに気流を制御することが可能になる。また、２枚の通風板４２，４３で気流を制御できるので、こうした気流制御装置４１を搭載する空気清浄化装置やクリーンルームの軽量化、小型化に大いに寄与する。２枚の通風板４２，４３といった簡易な構成により、故障が少なくメンテナンスが容易な気流制御装置４１を提供することができる。
【００３９】
上述した実施形態の第１通風板および第２通風板の係合位置を変えれば、更に気流分布を変化させることができる。図１２に示す第１通風板６１には第１貫通穴６２が多数配列して形成され、第２通風板６３には第１貫通穴６２よりも一回り大きい第２貫通穴６４が多数配列して形成されている。第２通風板６３は第１通風板６１の図１２中の左側上端部角部に形成された回転軸６５に軸着され、これにより第２通風板６３は第１通風板６１に対して回転軸６５回りで摺動可能になっている。
【００４０】
このように、図１２中の上端部に形成された回転軸６５回りで第２通風板６３を第１通風板６１に対して第２貫通穴６４の直径分の長さｔ４まで図中Ｒ３方向にずらした第４ずらし位置では、第１貫通穴６２と第２貫通穴６４とは図１２中の左下方向に向かうほどズレが大きくなり、右下付近では第１貫通穴６２と第２貫通穴６４との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。その一方で、図１２中の左上付近では開口５０の面積が最大にまで広がっている。
【００４１】
このような第４ずらし位置では、図１３に示すように、気密室１１の上面における右下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の右下付近では空気は全く送り込まれない状態に置かれる。図１３中の斜線で示す気流の分布領域５５によれば、平面視した気密室１１の左上側ほど空気が多く送り込まれる状態になっていることを示している。
【００４２】
図１４は、第１通風板および第２通風板の係合位置を更に変えた実施形態を示す。第１通風板６６には第１貫通穴６７が多数配列して形成され、第２通風板６８には第１貫通穴６７よりも一回り大きい第２貫通穴６９が多数配列して形成されている。第２通風板６８は第１通風板６６の図１４中の下部中央（第２通風板６８の一辺側中央部）に形成された回転軸７０に軸着され、これにより第２通風板６８は第１通風板６６に対して回転軸７０回りで摺動可能にされている。
【００４３】
このように、図１４中の下部中央に形成された回転軸７０回りで第２通風板６８を第１通風板６６に対して第２貫通穴６９の直径分の長さｔ５まで図中Ｒ４方向にずらした第５ずらし位置では、第１貫通穴６７と第２貫通穴６９とは図１４中の上側の左右方向に向かうほどズレが大きくなり、左上端および右上端付近では第１貫通穴６７と第２貫通穴６９との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。その一方で、図１４中の下部付近では開口５０の面積が最大にまで広がっている。
【００４４】
このような第５ずらし位置では、図１５に示すように、平面視した気密室１１の上面における上側の左右方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の左上端および右上端付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図１５中の斜線で示す気流の分布領域５６によれば、平面視した気密室１１の下側ほど空気を多く送り込まれ、上側の左右方向に向かうほど空気の送り込まれない状態を示している。
【００４５】
第１通風板または第２通風板に形成される貫通穴の形状を面内で変えても、気流分布を変化させることができる。図１６に示す第１通風板７１には第１貫通穴７２が多数配列して形成される。一方、第２通風板７３に形成される第２貫通穴７４は、中央部がほぼ真円に形成され、図１６中の左右に向かうほど真円を横方向に延ばした楕円形状（レーストラック形状）に形成されている。第１通風板７１には第２通風板６３を図１６中の左右方向にスライド自在に保持するレール７５が形成されている。これにより、第２通風板７３は第１通風板７１に対して左右方向に摺動可能になっている。
【００４６】
図１６示す基準位置では、第１貫通穴７２と第２貫通穴７４との合致部分、即ち図２に示す除塵装置３１から気密室１１に向けて開かれた通風可能な開口５０の面積は最大になり、通風可能な開口５０は気密室１１の上面の全域に分布する。
【００４７】
図１７は、図１６に示した基準位置において、気密室を上から見たときに気密室に送り込まれる空気の分布を模式的に示したものであり、図１６に示した基準位置では、通風可能な開口５０が気密室１１の上面の全域に均一に分布して、開口５０の面積が最大になっているので、気密室１１の上面の全域に向けて除塵された清浄な空気が均一に送り込まれる。図１７中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）５７は気密室１１の全域にムラ無く分布する。
【００４８】
図１８は、図１６に示す基準位置から第６ずらし位置まで第２通風板７３をレール７５に沿って図１８中のＬ１方向にスライドさせた状態を示す平面図である。図１８に示す第６ずらし位置では、図１６に示す基準位置から第１通風板７１に対して第２通風板７３を長さｔ６まで図１８中のＬ１方向にずらした状態にある。この第６ずらし位置では、第１貫通穴７２と第２貫通穴７４との合致部分である通風可能な開口５０は、左右方向に向かうほど開口面積が広がり、逆に中央付近では殆ど開口は塞がれた状態になる。
【００４９】
このような第６ずらし位置では、図１９に示すように、気密室１１の上面における中央方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の中央付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図１６中の斜線で示す気流の分布領域５８によれば、気密室１１の左右側に向けて重点的に空気が多く送り込まれる状態を示している。
【００５０】
第１通風板、第２通風板は円形に形成しても気流分布を変化させることができる。図２０に示す第１通風板８１は外形が円形に形成され、この第１通風板８１には、中心から外周に向けて第１貫通穴８２が放射状に多数配列して形成される。第１貫通穴８２は、中心から一定距離の同心円上で真円に形成され、そこから中心および外周に向かうほど、円周方向に延ばされた長穴形状に形成されている。
【００５１】
一方、第２通風板８３も外形が円形に形成され、この第２通風板８３に真円形の第２貫通穴８４が中心から外周に向けて放射状に多数配列して形成されている。第１通風板８１の中心には第２通風板８３を回転自在に保持する回転軸８５が形成されている。これにより、第２通風板８３は第１通風板８１に対して回転自在になっている。
【００５２】
図２０示す基準位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分、即ち通風可能な開口５０の面積は、第２貫通穴８４の全開口面積と同じである最大の状態になり、通風可能な開口５０は全域に均一に分布する。
【００５３】
図２１は、図２０に示した基準位置において、第１通風板８１の下部に形成された円形の清浄化エリア８０に向けて送り込まれる空気の分布を模式的に示したものである。図２１によれば、通風可能な開口５０が清浄化エリア８０の上面の全域に分布して、開口５０の面積が最大になっているので、清浄化エリア８０の全域に向けて除塵された清浄な空気が送り込まれる。図２１中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）８６は清浄化エリア８０の全域にムラ無く分布する。
【００５４】
図２２は、図２０に示す基準位置から第７ずらし位置まで第２通風板８３を回転軸８５を中心にして図２２中のＲ５方向に回転させた状態を示す平面図である。図２２に示す第７ずらし位置では、図２０に示す基準位置から第１通風板８１に対して第２通風板８３を長さｔ７まで図２２中のＲ５方向にずらした状態にある。この第７ずらし位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分である通風可能な開口５０は、円形の周縁に向かうほど開口面積が広がり、逆に中央付近では開口は塞がれた状態になる。
【００５５】
このような第７ずらし位置では、図２３に示すように、円形の清浄化エリア８０の中心に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、中央付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図２３中の斜線で示す気流の分布領域８７によれば、清浄化エリア８０の周縁から一定幅のリング状の領域に向けて空気が送り込まれる状態を示している。
【００５６】
図２４は、図２０に示す基準位置から第８ずらし位置まで第２通風板８３を回転軸８５を中心にして図２４中のＲ６方向に回転させた状態を示す平面図である。図２４に示す第８ずらし位置では、図２０に示す基準位置から第１通風板８１に対して第２通風板８３を長さｔ８まで図２４中のＲ６方向にずらした状態にある。この第８ずらし位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分である通風可能な開口５０は、円形の中心に向かうほど開口面積が広がり、逆に周縁では開口は塞がれた状態になる。
【００５７】
このような第８ずらし位置では、図２５に示すように、円形の清浄化エリア８０の周縁に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、中央付近だけに空気が送り込まれる状態になる。図２５中の斜線で示す気流の分布領域８８によれば、清浄化エリア８０の中心部の領域だけに空気が送り込まれる状態を示している。
【００５８】
上述した各実施例以外にも、気流の形状を制御することもできる。図２６に示すように、図２６に示す第１通風板９１は外形が円形に形成され、この第１通風板９１には、雲形の第１貫通穴９２が複数形成されている。一方、第２通風板９３も外形が円形に形成され、この第２通風板９３に真円形の第２貫通穴９４が複数形成されている。第１貫通穴９２は、真円形の第２貫通穴９４と同形の円部９２ａと、この円部９２ａから左右に向かって閉じるように延びる第１延長部９２ｂおよび第２延長部９２ｃからなる開口である。第１通風板９１の中心には第２通風板９３を回転自在に保持する回転軸９５が形成されている。これにより、第２通風板９３は第１通風板９１に対して回転自在になっている。
【００５９】
図２６示す基準位置では、第１貫通穴９２の真円部分である円部９２ａが第２貫通穴９４と完全に重なり、これら第１貫通穴９２と第２貫通穴９４との合致部分、即ち通風可能な開口５０の形状は、円部９２ａおよび第２貫通穴９４の形状と同様の真円形になり、気流は円形に制御される。
【００６０】
図２７〜図３０に示すように、第２通風板９３を回転軸９５を中心にして図中のＲ７方向に回転させていくと、通風可能な開口５０の形状は連続的に変化する。これにより、送風対象に応じて簡単に任意の形状に気流を変化させることができる。
【００６１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の気流制御装置によれば、互いに隣接する通風板どうしを相対移動させて貫通穴の開口面積を変化させるだけで、通風量を簡単に、且つ自在に制御することができる。気流制御装置は多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を重ね合わせる構造なので、容易に且つローコストに気流の制御を行うことができる。更に、多数の貫通穴が形成された通風板を複数枚重ね合わせる簡易な構成なので、軽量で故障の発生する可能性が低く信頼性の高い気流制御装置を実現できる。
【００６２】
また、通風板同士を相対移動させて、全面に渡って分布する多数の貫通穴の一領域だけの開口面積を変化させることで、簡単に通風量の分布を制御することが可能になる。前記通風板に面した領域の一部分だけの通風量を絞り込んだり、増やしたりすることができる。複数枚の通風板を互いに回転可能に結合させる回転軸を更に備えたり、複数枚の通風板は互いに平行移動可能に結合させるレールを更に備えれば、複数枚の通風板を動かして気流を制御するに当たって、通風板の移動が容易になり、且つ段階的に気流を制御することが可能になる。
【００６３】
更に、貫通穴を前記通風板の全面に渡って均一に分布するように形成すれば、通風板の移動量に応じて段階的且つ定量的に気流を制御することが可能になる。
そして、本発明の気流制御装置を空気清浄化装置に適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能な空気清浄化装置を提供することができる。また、小型軽量で信頼性の高い空気清浄化装置の実現に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の気流制御装置を備えたクリーンルームを示す説明図である。
【図２】図２は、図１の空気清浄化装置の詳細を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の気流制御装置を示す拡大斜視図である。
【図４】図４は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図５】図５は、気流の分布を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図７】図７は、気流の分布を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図９】図９は、気流の分布を示す模式図である。
【図１０】図１０は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図１１】図１１は、気流の分布を示す模式図である。
【図１２】図１２は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１３】図１３は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１５】図１５は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１６】図１６は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１７】図１７は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１８】図１８は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１９】図１９は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２０】図２０は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２１】図２１は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２２】図２２は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２３】図２３は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２４】図２４は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２５】図２５は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２６】図２６は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２７】図２７は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２８】図２８は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２９】図２９は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図３０】図３０は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１０ クリーンボックス（クリーンルーム）
１２ 空気清浄化装置
４１ 気流制御装置
４２ 第１通風板（通風板）
４３ 第２通風板（通風板）
４４ 第１貫通穴（貫通穴）
４５ 回転軸
４７ 第２貫通穴（貫通穴）
７５ レール[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an airflow control device for controlling a flow rate and a direction of an airflow.
[0002]
[Prior art]
For example, in a clean room for manufacturing semiconductors and the like, highly clean air is maintained in the clean room by sending out very little air, which has been cleaned through an air purifier equipped with a HEPA filter or the like, through a vent. In such a clean room, in order to maintain a constant level of clean environment throughout the entire room, the flow rate and outflow direction of the purified air sent out from the ventilation holes, that is, the air flow, are controlled according to the layout of the room. It is designed to reduce air stagnation. In order to reduce the stagnation area of the air in the clean room, it is common to change the number of vents for sending the purified air and the arrangement of the vents. There is also known an airflow control plate provided with a punching face, which is a perforated plate, in front of the vent to control the airflow of the air sent out from the vent. (For example, refer to Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2000-205620 A
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in a clean room, it is actually extremely difficult to control the air flow in the clean room by freely changing the position of the vent connected to the duct already piped. In the case of a portable ultra-small clean room (clean box) with a side of 1 m or less, only a single vent integrated with the cleaning unit is provided. It was difficult to control the airflow. On the other hand, in a conventional airflow control plate provided with a perforated punching face in front of the vent, it was difficult to freely change the airflow because the punching face was fixed.
[0005]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an airflow control device capable of freely controlling an airflow with a simple structure.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a plurality of ventilation plates which are slidably overlapped with each other and each of which has a large number of through holes are provided, and the ventilation plates adjacent to each other are relatively moved. Thus, there is provided an airflow control device wherein the opening area of the through hole is changed. Further, there is provided an airflow control device wherein the ventilation plate controls an amount of ventilation by changing an opening area of a through hole by a relative movement with respect to an adjacent ventilation plate.
[0007]
According to such an airflow control device, it is possible to easily and freely control the amount of ventilation simply by moving the adjacent ventilation plates relative to each other and changing the opening area of the through hole. Since the airflow control device has a structure in which a plurality of ventilation plates having a large number of through holes are stacked, the airflow can be controlled easily and at low cost. Furthermore, since it has a simple configuration in which a plurality of ventilation plates having a large number of through holes are stacked, an airflow control device that is lightweight, has a low possibility of failure, and has high reliability can be realized.
[0008]
Even if the ventilation plate controls the ventilation volume distribution by changing the opening area of the through hole in one of a large number of through holes distributed over the entire surface of the ventilation plate by relative movement with respect to the adjacent ventilation plate. Good. According to such an airflow control device, the distribution of the ventilation amount can be easily controlled by relatively moving the ventilation plates and changing the opening area of only one region of the large number of through holes distributed over the entire surface. It becomes possible to do. The ventilation amount of only a part of the region facing the ventilation plate can be reduced or increased.
[0009]
The plurality of ventilation plates may further include a rotation shaft that is rotatably coupled to each other. In addition, the plurality of ventilation plates may further include rails that are coupled to be able to move in parallel with each other. According to the airflow control device including such a ventilation plate, in moving the plurality of ventilation plates to control the airflow, the movement of the ventilation plate becomes easy, and the airflow can be controlled in a stepwise manner. Become.
[0010]
The through holes may be formed so as to be uniformly distributed over the entire surface of the ventilation plate. According to the airflow control device provided with such a ventilation plate, it becomes possible to control the airflow stepwise and quantitatively according to the movement amount of the ventilation plate.
[0011]
According to the present invention, there is provided an air purifying device including the airflow control device. If such an airflow control device is applied to an air purification device, it is possible to provide an air purification device that can control airflow easily and at low cost. It also contributes to the realization of a small, lightweight, and highly reliable air purifier.
[0012]
According to the present invention, there is provided a clean room including these airflow control devices. If such an airflow control device is applied to a clean room, it is possible to provide a clean room in which airflow can be controlled simply and at low cost.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of a clean box provided with an airflow control device of the present invention. A clean box (clean room) 10, which is a portable small clean room, is a small box (cube) of 0.5 to 1.0 m square which is used, for example, by covering devices and parts that need to be placed in a clean environment. And includes an airtight chamber 11 and an air cleaning device 12. The airtight chamber 11 includes a rectangular frame 13 formed of, for example, an aluminum aggregate, and a panel 14 fixed to the frame 13 and forming five wall surfaces excluding the bottom surface of the airtight chamber 11. . The panel 14 is made of, for example, an acrylic plate that has been subjected to an antistatic treatment, and is attached to the frame 13 with a thumbscrew 15.
[0014]
Openable and closable exhaust ports 16 are formed in the lower part of the four panels 14 constituting the side wall surface of the airtight chamber 11. That is, the damper plate 16c is provided so that the horizontally long and narrow opening 16a is vertically movably supported by the hinge 16b. When the internal pressure of the airtight chamber 11 increases, the damper plate 16c naturally rises and turns to open the opening 16a. It is designed to open. In the center of the panel 14, a measurement port 17 into which a sensor or the like of a measuring device for measuring the internal environment of the airtight chamber 11 is formed. When the measurement port 17 is not used, it may be closed by a rubber stopper or the like.
[0015]
On the panel 14 on one side, instruments 18, an ionizer hanger 19, and a manometer 21 are attached. The particle sensor installed in the instrument 18 is a device for measuring the cleanliness in the clean box 10, for example, the number of dust per cubic foot. For example, in an environment called class 10, 10 or less per cubic meter. It is said that there is only dust. The ionizer hanger 19 is a hanger to which an ionizer for removing static electricity in the airtight chamber 11 is attached.
[0016]
The manometer 21 is a device that measures the air pressure in the airtight chamber 11 and the pressure loss in the air cleaning device 12. The operation of the switching cock 21 a causes the measurement target to be switched between the airtight room 11 and the air cleaning device 12. Switch. When the clean box 10 is operated, it is preferable to set the pressure in the airtight chamber 11 to be higher than the outside pressure. Thus, it is possible to prevent the unpurified outside air from flowing back from the exhaust port 16 into the airtight chamber 11.
[0017]
A power outlet 22 is provided at an end of the panel 14 on the upper surface of the airtight chamber 11. Power for driving the air cleaning device 12 and the instruments 18 is supplied from the power outlet 22. Further, on the bottom surface of the frame 13, a rubber packing 23 for bringing the airtight chamber 11 into close contact with the table or the like when the clean box 10 is placed on the table or the like, and a ground wire 24 may be provided.
[0018]
FIG. 2 is a sectional view showing an outline of the air cleaning device 12. The air cleaning device 12 is installed so as to cover an opening 14a formed in the panel 14 on the upper surface of the airtight chamber 11 (see FIG. 1), and is in close contact with the panel 14 on the upper surface with a rubber packing 25 or the like. The air cleaning device 12 is roughly composed of a dust removal device 31 and an airflow control device 41. The dust removing device 31 includes an intake port 33, a pre-filter unit 35, a fan unit 36, and a high-performance filter unit 37 in a housing 32. A pre-filter unit 35 is attached to an intake port 33 formed in an upper part of the housing 32.
[0019]
The pre-filter unit 35 removes relatively large dust contained in the outside air introduced from the intake port 33 in order to supply air that has been cleaned to some extent to the high-performance filter unit 37 described later. Such a pre-filter unit 35 ensures the air permeability of the HEPA filter of the high-performance filter unit 37 and extends the life. The pre-filter unit 35 may have a built-in medium-performance filter that removes 60 to 90% of the total dust contained in the outside air.
[0020]
The fan unit 36 includes a motor 36a and a fan 36b. The fan unit 36 makes the pre-filter unit 35 side a negative pressure and the high-performance filter unit 37 side a pressurization by the rotation of the fan 36b. Thereby, outside air is sucked into the housing 32 from the intake port 33 and flows toward the high-performance filter unit 37.
[0021]
The high-performance filter unit 37 incorporates a paper-like filter mainly made of glass wool, for example, a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter 37a. The HEPA filter 37a has a large surface area bent and accommodated in order to enhance the dust collection effect, and can capture extremely fine dust of 1 μm or less by the inertia, diffusion, and collision filter 3 functions.
[0022]
From the lower surface of such a high-performance filter unit 37, for example, clean air with 10 or less fine dusts per cubic foot is supplied. The filter material used for the high-performance filter unit 37 may be a high-performance filter such as an ULPA (Ultra Low Particulate Air) filter other than the HEPA filter described above.
[0023]
FIG. 3 is a perspective view showing an outline of the airflow control device 41. The airflow control device 41 disposed below the dust removing device 31 includes a first ventilation plate 42 and a second ventilation plate 43 that are stacked on each other. The first ventilation plate 42 has a large number of first through holes 44 arranged on the lower side 42a on the inner surface, and may be formed entirely of, for example, an aluminum plate. Such a first ventilation plate 42 may be formed integrally with the side wall, for example, and may have a box-shaped outer shape.
[0024]
At the center of one side of the upper surface 42a of the first ventilation plate 42, a rotation shaft 45 is provided in a protruding manner. In the first ventilation plate 42, an arc-shaped long hole 46 is formed at the end opposite to the position where the rotation shaft 45 is formed. The rotating shaft 45 and the elongated hole 46 allow a second ventilation plate 43 described later to be slidable with respect to the first ventilation plate 42.
[0025]
The second ventilation plate 43 is formed by arranging a large number of second through holes 47, and may be formed entirely of, for example, an aluminum plate. The size of the second ventilation plate 43 is slightly smaller than the size of the lower surface 42 a of the first ventilation plate 42. Further, the diameter of the second through hole 47 is formed to be slightly larger than the diameter of the first through hole 44, and the formation pitch of the second through hole 47 is set to be the same as the formation pitch of the first through hole 44. I have.
[0026]
An engagement hole 48 is formed at one end of the second ventilation plate 43, and the rotation shaft 45 of the first ventilation plate 42 passes through the engagement hole 48. Thereby, the second ventilation plate 43 is slidably overlapped with the first ventilation plate 42 about the rotation shaft 45. An operation lever 49 serving as a knob for rotating the second ventilation plate 43 with respect to the first ventilation plate 42 is protruded from a corner portion of the lower surface 43a of the second ventilation plate 43. The operation lever 49 penetrates the long hole 46 of the first ventilation plate 42 and protrudes from the lower surface of the first ventilation plate 42. With this configuration, if the operation lever 49 is moved left and right, the second ventilation plate 43 moves left and right with respect to the first ventilation plate 42 about the rotation shaft 45 as indicated by an arrow R in FIG.
[0027]
The clean box 10 (see FIG. 1) having the above configuration is used by covering components, devices, and the like that need to be placed in a clean environment. When a main switch (not shown) of the clean box 10 is turned on, the fan unit 36 operates to draw outside air into the housing 32 of the dust removing device 31. When the clean air removed by the dust removal device 31 enters the airflow control device 41, the clean air passes through the through portion where the first through hole 44 of the first ventilation plate 42 and the second through hole 47 of the second ventilation plate 43 match. It is sent into the airtight chamber 11. Then, the air is exhausted from the exhaust port 16 at the lower part of the airtight chamber 11. As a result, the inside of the airtight chamber 11 is always kept in a clean environment of a certain level in which the amount of dust is controlled. The components and devices housed in the airtight chamber 11 can always be placed in an environment filled with clean air.
[0028]
Next, the operation and action of the airflow control device 41 of the present invention having the above-described configuration will be described in detail. FIG. 4 is a plan view when the first ventilation plate 42 and the second ventilation plate 43 in the airflow control device 41 slidably overlap each other when viewed from above. In the reference position, that is, in a state where the second ventilation plate 43 slidable about the rotation axis 45 with respect to the first ventilation plate 42 is placed without displacement with respect to the first ventilation plate 42, the first ventilation plate 42 The first through holes 44 and the second through holes 47 of the second ventilation plate 43 all match.
[0029]
In this position, the area where the first through-hole 44 and the second through-hole 47 coincide with each other, that is, the area of the air-permeable opening 50 opened from the dust removal device 31 shown in FIG. The openings 50 through which air can pass are uniformly distributed over the entire upper surface of the airtight chamber 11. The opening 50 is a hatched portion in the figure where the first through hole 44 and the second through hole 47 coincide with each other, and represents a region through which air can flow toward the airtight chamber 11.
[0030]
FIG. 5 schematically shows the distribution of air sent into the airtight chamber when the airtight chamber is viewed from above at the reference position shown in FIG. At the reference position shown in FIG. 4, the ventilation openings 50 are uniformly distributed over the entire upper surface of the airtight chamber 11, and the area of the opening 50 is maximized. Clean, clean air is sent in. The discharge area (air flow distribution) 51 of the purified air shown by the hatched lines in FIG. 5 is distributed evenly throughout the airtight chamber 11.
[0031]
FIG. 6 is a plan view showing a state in which the second ventilation plate 43 is slid from the reference position shown in FIG. 4 to the first shift position. In the first shift position shown in FIG. 6, the second ventilation plate 43 is moved from the reference position shown in FIG. 4 to the first ventilation plate 42 around the rotation axis 45 to half the length t1 of the diameter of the second through hole 47. It is in a state shifted in the R1 direction in the figure. The turning operation of the second ventilation plate 43 may be performed by moving the operation lever 49 shown in FIG. At this first shift position, the first through hole 44 and the second through hole 47 are more displaced in the vertical direction on the right side in FIG. That is, the ventilation opening 50, which is the matching portion between the first through-hole 44 and the second through-hole 47, is narrowed down toward the right up and down direction.
[0032]
In such a first shift position, as shown in FIG. 7, the amount of air sent decreases toward the right and up and down on the upper surface of the airtight chamber 11. The airflow distribution region 52 indicated by oblique lines in FIG. 7 increases toward the left side of the airtight chamber 11, and the amount of air supplied decreases as going to the right and up and down.
[0033]
FIG. 8 is a plan view showing a state where the second ventilation plate 43 is slid from the reference position shown in FIG. 4 to the second shift position. At the second shift position shown in FIG. 8, the second ventilation plate 43 is moved from the reference position shown in FIG. 4 to the first ventilation plate 42 around the rotation axis 45 to a length t2 corresponding to the diameter of the second through hole 47. It is shifted in the middle R2 direction. At this second shift position, the first through hole 44 and the second through hole 47 are shifted more in the vertical direction on the right side in FIG. 8, and the first through hole 44 and the second through hole 47 are closer to the right than near the center. There is almost no ventilation opening 50 which is a part matching the hole 47.
[0034]
In such a second shifted position, as shown in FIG. 9, the amount of air supplied decreases toward the vertical direction near the center of the upper surface of the hermetic chamber 11, and air is supplied entirely at the right side of the hermetic chamber 11. No state. The distribution region 53 of the airflow indicated by oblique lines in FIG. 9 increases toward the left side of the airtight chamber 11, is narrowed down in the vertical direction near the center, and no air is sent in at the right side.
[0035]
FIG. 10 is a plan view showing a state in which the second ventilation plate 43 is slid from the reference position shown in FIG. 4 to the third shift position. In the third shift position shown in FIG. 10, the second ventilation plate 43 is rotated about the rotation axis 45 from the reference position shown in FIG. It is in a state shifted in the R1 direction in the figure until t3. At the third shift position, the first through-hole 44 and the second through-hole 47 are more displaced toward the center in FIG. 10 in the vertical direction, and the first through-hole is closer to the right and left than near the center. The ventilation opening 50, which is the matching portion between the 44 and the second through hole 47, becomes large.
[0036]
At such a third shifted position, as shown in FIG. 11, no air is supplied near the center of the upper surface of the hermetic chamber 11, and the air is supplied into two areas on the right and left sides of the hermetic chamber 11. Become. The airflow distribution area 54 shown by oblique lines in FIG. 11 is divided into two parts, the right side and the left side, of the airtight chamber 11.
[0037]
As described above, the airflow control device 41 of the present invention is a portion where the first through-hole 44 and the second through-hole 47 coincide with each other only by relatively moving the first ventilation plate 42 and the second ventilation plate 43. The opening area can be changed. Thereby, the distribution of the openings, which are the matching portions between the first through holes 44 and the second through holes 47, is changed, and according to the state of FIGS. 5, 7, 9, and 11, or the position of the operation lever 49. Thus, it becomes possible to control the airflow to a blowing state intermediate between them.
[0038]
Since the airflow control device 41 has a configuration in which the first and second ventilation plates 42 and 43 in which the through holes 44 and 47 are formed are slidably overlapped, it is possible to control the airflow easily and at extremely low cost. Will be possible. Further, since the airflow can be controlled by the two ventilation plates 42 and 43, it greatly contributes to the weight reduction and downsizing of an air purifying device or a clean room equipped with such an airflow control device 41. With a simple configuration such as the two ventilation plates 42 and 43, it is possible to provide the airflow control device 41 which has few failures and is easy to maintain.
[0039]
By changing the engagement position of the first ventilation plate and the second ventilation plate of the above-described embodiment, the airflow distribution can be further changed. A large number of first through holes 62 are formed in the first ventilation plate 61 shown in FIG. 12, and a large number of second through holes 64 slightly larger than the first through holes 62 are arranged in the second ventilation plate 63. It is formed. The second ventilation plate 63 is mounted on a rotation shaft 65 formed at the upper left corner of the first ventilation plate 61 in FIG. 12, whereby the second ventilation plate 63 rotates with respect to the first ventilation plate 61. It is slidable about the shaft 65.
[0040]
As described above, the second ventilation plate 63 is moved around the rotation axis 65 formed at the upper end portion in FIG. 12 with respect to the first ventilation plate 61 to a length t4 corresponding to the diameter of the second through hole 64 in the R3 direction in the drawing. In the fourth shifted position, the first through-hole 62 and the second through-hole 64 are more displaced toward the lower left in FIG. 12, and near the lower right, the first through-hole 62 and the second through-hole 64 are closer to the lower right. There is almost no ventilation opening 50 which is a part matching with 64. On the other hand, in the vicinity of the upper left in FIG. 12, the area of the opening 50 is maximized.
[0041]
In the fourth shifted position, as shown in FIG. 13, the amount of air supplied decreases toward the lower right direction on the upper surface of the airtight chamber 11, and the air is completely supplied near the lower right of the airtight chamber 11. Placed in no state. According to the airflow distribution region 55 indicated by oblique lines in FIG. 13, it is indicated that more air is sent toward the upper left side of the airtight chamber 11 as viewed in plan.
[0042]
FIG. 14 shows an embodiment in which the engagement positions of the first ventilation plate and the second ventilation plate are further changed. A large number of first through holes 67 are formed in the first ventilation plate 66, and a large number of second through holes 69 which are one size larger than the first through hole 67 are formed in the second ventilation plate 68. I have. The second ventilation plate 68 is axially mounted on a rotation shaft 70 formed at the lower center of FIG. 14 of the first ventilation plate 66 (the central portion on one side of the second ventilation plate 68). The first ventilation plate 66 is slidable about the rotation axis 70.
[0043]
As described above, the second ventilation plate 68 is moved from the first ventilation plate 66 around the rotation axis 70 formed at the lower center in FIG. In the fifth shifted position, the first through-hole 67 and the second through-hole 69 are more displaced toward the upper left-right direction in FIG. 14, and the first through-hole 67 near the upper left and upper right ends. There is almost no ventilating opening 50 which is the part where the second through hole 69 and the second through hole 69 coincide with each other. On the other hand, in the vicinity of the lower part in FIG. 14, the area of the opening 50 is maximized.
[0044]
In such a fifth shifted position, as shown in FIG. 15, the amount of air sent decreases toward the upper left and right directions on the upper surface of the airtight chamber 11 as viewed in plan, and the upper left and upper right ends of the airtight chamber 11 are reduced. In the vicinity, no air is sent. According to the airflow distribution region 56 indicated by oblique lines in FIG. 15, a state is shown in which a larger amount of air is supplied toward the lower side of the airtight chamber 11 in a plan view, and the more the air is not supplied toward the upper left and right directions.
[0045]
Even if the shape of the through hole formed in the first ventilation plate or the second ventilation plate is changed in the plane, the airflow distribution can be changed. A large number of first through holes 72 are formed in the first ventilation plate 71 shown in FIG. On the other hand, the second through hole 74 formed in the second ventilation plate 73 has a substantially circular center portion, and has an elliptical shape (a race track shape) in which the true circle extends laterally toward the left and right in FIG. ). The first ventilation plate 71 is formed with a rail 75 for holding the second ventilation plate 63 slidably in the left-right direction in FIG. Thereby, the second ventilation plate 73 is slidable in the left-right direction with respect to the first ventilation plate 71.
[0046]
At the reference position shown in FIG. 16, the area of the matching portion between the first through hole 72 and the second through hole 74, that is, the area of the air-permeable opening 50 opened from the dust removal device 31 shown in FIG. The openings 50 through which air can pass are distributed over the entire upper surface of the airtight chamber 11.
[0047]
FIG. 17 schematically shows the distribution of air sent into the hermetic chamber when the hermetic chamber is viewed from above at the reference position shown in FIG. 16. In the reference position shown in FIG. The possible openings 50 are uniformly distributed over the entire upper surface of the airtight chamber 11 and the area of the opening 50 is maximized, so that clean air that has been dust-removed toward the entire upper surface of the airtight chamber 11 is uniformly distributed. Sent in. The discharge area (airflow distribution) 57 of the purified air indicated by the hatched lines in FIG. 17 is distributed evenly over the entire area of the airtight chamber 11.
[0048]
FIG. 18 is a plan view showing a state where the second ventilation plate 73 is slid in the L1 direction in FIG. 18 along the rail 75 from the reference position shown in FIG. 16 to the sixth shift position. At the sixth shift position shown in FIG. 18, the second ventilation plate 73 is shifted from the reference position shown in FIG. 16 with respect to the first ventilation plate 71 to the length t6 in the L1 direction in FIG. At the sixth shift position, the ventilation opening 50, which is the matching portion between the first through-hole 72 and the second through-hole 74, has an opening area that increases in the left-right direction. Become loose.
[0049]
At such a sixth shifted position, as shown in FIG. 19, the amount of air supplied decreases toward the center on the upper surface of the hermetic chamber 11, and no air is supplied near the center of the hermetic chamber 11. become. The hatched airflow distribution area 58 in FIG. 16 shows a state in which a large amount of air is mainly sent toward the left and right sides of the airtight chamber 11.
[0050]
Even if the first ventilation plate and the second ventilation plate are formed in a circular shape, the airflow distribution can be changed. The first ventilation plate 81 shown in FIG. 20 has a circular outer shape, and a large number of first through holes 82 are radially arranged on the first ventilation plate 81 from the center to the outer periphery. The first through hole 82 is formed in a perfect circle on a concentric circle at a fixed distance from the center, and is formed in a long hole shape extending in the circumferential direction from the center to the center and the outer periphery.
[0051]
On the other hand, the outer shape of the second ventilation plate 83 is also circular, and a large number of true circular second through holes 84 are radially arranged from the center to the outer periphery of the second ventilation plate 83. At the center of the first ventilation plate 81, a rotation shaft 85 for rotatably holding the second ventilation plate 83 is formed. Thereby, the second ventilation plate 83 is rotatable with respect to the first ventilation plate 81.
[0052]
At the reference position shown in FIG. 20, the matching portion between the first through hole 82 and the second through hole 84, that is, the area of the opening 50 through which the air can pass is in the maximum state which is the same as the entire opening area of the second through hole 84. That is, the openings 50 through which air can pass are uniformly distributed over the entire area.
[0053]
FIG. 21 schematically shows the distribution of air sent toward the circular cleaning area 80 formed below the first ventilation plate 81 at the reference position shown in FIG. According to FIG. 21, the ventilation openings 50 are distributed over the entire area of the upper surface of the cleaning area 80, and the area of the opening 50 is maximized. Air is sent. The discharge area (air flow distribution) 86 of the purified air indicated by the hatched lines in FIG. 21 is distributed evenly over the entire cleaning area 80.
[0054]
FIG. 22 is a plan view showing a state where the second ventilation plate 83 is rotated about the rotation shaft 85 in the R5 direction in FIG. 22 from the reference position shown in FIG. At the seventh shift position shown in FIG. 22, the second ventilation plate 83 is shifted from the reference position shown in FIG. 20 with respect to the first ventilation plate 81 to the length t7 in the R5 direction in FIG. At the seventh shift position, the ventilation opening 50, which is a matching portion between the first through hole 82 and the second through hole 84, has an opening area that increases toward the circular periphery, and conversely, the opening closes near the center. Become loose.
[0055]
In the seventh shift position, as shown in FIG. 23, the amount of air supplied decreases toward the center of the circular cleaning area 80, and no air is supplied near the center. According to the airflow distribution region 87 shown by oblique lines in FIG. 23, a state is shown in which air is sent from the periphery of the cleaning area 80 to a ring-shaped region having a constant width.
[0056]
FIG. 24 is a plan view showing a state where the second ventilation plate 83 is rotated about the rotation shaft 85 in the R6 direction in FIG. 24 from the reference position shown in FIG. At the eighth shift position shown in FIG. 24, the second ventilation plate 83 is shifted from the reference position shown in FIG. 20 in the direction R6 in FIG. At the eighth shift position, the ventilation opening 50, which is the matching portion between the first through hole 82 and the second through hole 84, has an opening area that increases toward the center of the circle, and conversely, the opening is closed at the periphery. It will be in a state where it was lost.
[0057]
In the eighth shift position, as shown in FIG. 25, the amount of air supplied decreases toward the periphery of the circular cleaning area 80, and the air is supplied only near the center. According to the airflow distribution region 88 indicated by oblique lines in FIG. 25, a state is shown in which air is sent only to the central region of the cleaning area 80.
[0058]
In addition to the above embodiments, the shape of the airflow can be controlled. As shown in FIG. 26, the first ventilation plate 91 shown in FIG. 26 has a circular outer shape, and the first ventilation plate 91 has a plurality of cloud-shaped first through holes 92. On the other hand, the outer shape of the second ventilation plate 93 is also circular, and the second ventilation plate 93 is formed with a plurality of true circular second through holes 94. The first through hole 92 has an opening formed by a circular portion 92a having the same shape as the second circular through hole 94, and a first extension portion 92b and a second extension portion 92c extending from the circle portion 92a so as to close rightward and leftward. It is. At the center of the first ventilation plate 91, a rotation shaft 95 for rotatably holding the second ventilation plate 93 is formed. Thus, the second ventilation plate 93 is rotatable with respect to the first ventilation plate 91.
[0059]
At the reference position shown in FIG. 26, the circular portion 92a which is a perfect circle portion of the first through hole 92 completely overlaps with the second through hole 94, and the matching portion between the first through hole 92 and the second through hole 94, that is, The shape of the opening 50 through which air can pass is a true circle similar to the shape of the circular portion 92a and the second through hole 94, and the airflow is controlled to be circular.
[0060]
As shown in FIGS. 27 to 30, as the second ventilation plate 93 is rotated around the rotation axis 95 in the R7 direction in the drawing, the shape of the ventilation opening 50 changes continuously. This makes it possible to easily change the airflow into an arbitrary shape according to the blow target.
[0061]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the airflow control device of the present invention, the airflow amount can be easily and freely changed only by relatively moving the ventilation plates adjacent to each other to change the opening area of the through hole. Can be controlled. Since the airflow control device has a structure in which a plurality of ventilation plates having a large number of through holes are stacked, the airflow can be controlled easily and at low cost. Furthermore, since it has a simple configuration in which a plurality of ventilation plates having a large number of through holes are stacked, an airflow control device that is lightweight, has a low possibility of failure, and has high reliability can be realized.
[0062]
In addition, by relatively moving the ventilation plates to change the opening area of only one region of a large number of through holes distributed over the entire surface, the distribution of the ventilation amount can be easily controlled. The ventilation amount of only a part of the region facing the ventilation plate can be reduced or increased. Controlling the airflow by moving a plurality of ventilation plates, if a rotation shaft for rotatably coupling the plurality of ventilation plates to each other or a rail for connecting the plurality of ventilation plates so as to be able to move in parallel to each other is further provided. In doing so, the movement of the ventilation plate becomes easy, and the airflow can be controlled in a stepwise manner.
[0063]
Furthermore, if the through holes are formed so as to be evenly distributed over the entire surface of the ventilation plate, it is possible to control the air flow stepwise and quantitatively according to the amount of movement of the ventilation plate.
When the airflow control device of the present invention is applied to an air purification device, an air purification device that can control airflow easily and at low cost can be provided. It also contributes to the realization of a small, lightweight, and highly reliable air purifier.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a clean room provided with an airflow control device of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view showing details of the air cleaning device of FIG. 1;
FIG. 3 is an enlarged perspective view showing an airflow control device of the present invention.
FIG. 4 is a plan view showing the movement of a ventilation plate of the airflow control device of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a distribution of an airflow.
FIG. 6 is a plan view showing the movement of a ventilation plate of the airflow control device of the present invention.
FIG. 7 is a schematic diagram showing an airflow distribution.
FIG. 8 is a plan view showing the movement of a ventilation plate of the airflow control device of the present invention.
FIG. 9 is a schematic diagram showing an airflow distribution.
FIG. 10 is a plan view showing the movement of a ventilation plate of the airflow control device of the present invention.
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating an airflow distribution.
FIG. 12 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 17 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 18 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 19 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 20 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 21 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 22 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 23 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 24 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 25 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 26 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 27 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 28 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 29 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 30 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
10. Clean box (clean room)
12 Air purifier
41 Airflow control device
42 First ventilation plate (Ventilation plate)
43 Second ventilation plate (Ventilation plate)
44 1st through hole (through hole)
45 rotation axis
47 Second through hole (through hole)
75 rails
