【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の物体を搬送する物体搬送装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の物体を搬送する従来の物体搬送装置は、その物体搬送台を駆動する駆動装置として、ボールねじとステッピングモータを組み合わせたものを使用しているが、半導体製造装置や液晶製造装置などでは、鉄粉等の摩耗粉がボールねじから発生するため、製品の歩留りを低下させるという問題がある。また、Ｘ線や電子線等の非磁力線を用いた計測装置では、ステッピングモータから発生する磁場によって装置の測定精度が低下するなどの問題がある。
【０００３】
そこで、これらの問題を解決すべく、従来、図４に示すような物体搬送装置が提案されている。この物体搬送装置は、図示しない機械の基台等に固定される固定ベース１１と、この固定ベース１１上に互いに平行に設置された複数のリニアガイド１２と、これらのリニアガイド１２を介して固定ベース１１に直動可能に支持された物体搬送台１３と、この物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動装置１４とからなり、駆動装置１４は固定ベース１１に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａを有する金属製走行用プレート１６とから構成されている。
【０００４】
このように構成される物体搬送装置は、物体搬送台１３を駆動する駆動源として、摩耗粉や磁場を発生しない超音波リニアモータ１５を使用しているため、清浄性あるいは非磁性が要求される環境下でも好適に使用することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した物体搬送装置にあっては、超音波リニアモータ１５が固定ベース１１に固定されているため、物体搬送台１３の長さＬが固定ベース１１よりも長くなる。このため、物体搬送台１３の移動ストロークを大きくしようとすると物体搬送台１３の長さも長くなってしまい、装置が大型化するという問題があった。
本発明は上記のような問題点に着目してなされたもので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることのできる物体搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、固定ベースと、この固定ベース上に設置されたリニアガイドと、このリニアガイドを介して前記固定ベースに直動可能に支持された物体搬送台と、この物体搬送台を前記リニアガイドの長手方向に駆動する駆動装置とを備えた物体搬送装置において、前記駆動装置を前記物体搬送台に固定された超音波リニアモータと、前記固定ベースに固定され前記超音波リニアモータを前記物体搬送台の移動方向に走行させるモータ摺動面を有する金属製走行用プレートとから構成し、かつ前記超音波リニアモータで発生した熱を前記金属製走行用プレートに伝える伝熱部材を設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項１の発明では、物体搬送台の長さが固定ベースよりも長くなることがないので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータで発生した熱は伝熱部材を介して金属製走行用プレートに伝わり、この金属製走行用プレートおよび固定ベースから放熱されるので、超音波リニアモータの熱的損傷を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載の物体搬送装置において、前記伝熱部材を前記金属製走行用プレートの長手方向両端に設けたことを特徴とするものであり、このような構成を採用することで、超音波リニアモータは金属製走行用プレートの長手方向両端部で伝熱部材と接触し、移動中は伝熱部材と接触しないので、超音波リニアモータの負荷を増大させることなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２記載の物体搬送装置において、前記超音波リニアモータの移動側端面と接触するモータ接触面を前記伝熱部材に設けたことを特徴とするものであり、このような構成を採用することで、超音波リニアモータの移動側端面が伝熱部材のモータ接触面に接触すると、超音波リニアモータの移動が停止するので、伝熱部材を超音波リニアモータのストッパーとして用いることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る物体搬送装置の平面図で、図２は同実施形態に係る物体搬送装置の側面図である。図１及び図２に示すように、物体搬送装置１０は、図示しない機械の基台等に固定される金属製の固定ベース１１と、この固定ベース１１上に互いに平行に設置された複数のリニアガイド１２と、これらのリニアガイド１２を介して固定ベース１１に直動可能に支持された物体搬送台１３と、この物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動手段１４（図１参照）とを備えている。
【００１１】
リニアガイド１２は、図３に示すように、両側面にボール転動溝１２２を有する案内レール１２１と、この案内レール１２１の両側面と対向する内側面にボール転動溝１２４を有するスライダ１２３と、このスライダ１２３に組み込まれた多数のボール１２５とを備えており、スライダ１２３が案内レール１２１の長手方向に相対移動するとボール１２５がボール転動溝１２２，１２４間を転動し、さらにスライダ１２３内に形成されたボール方向転換路１２６とボール戻し路１２７とからなるボール循環路を転動するようになっている。
【００１２】
駆動手段１４は、物体搬送台１３に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａ（図２参照）を有する金属製走行用プレート１６とから構成されている。
金属製走行用プレート１６は固定ベース１１の側面に取り付けられており、この金属製走行用プレート１６の長手方向両端には、超音波リニアモータ１５で発生した熱を金属製走行用プレート１６に伝える伝熱部材１７がそれぞれ設けられている。
【００１３】
伝熱部材１７は、アルミニウム等の金属で形成されている。また、伝熱部材１７は超音波リニアモータ１５の移動側端面１５ａと接触するモータ接触面１７ａ（図１参照）を有しており、このモータ接触面１７ａに移動側端面１５ａが接触すると超音波リニアモータ１５の移動が停止するようになっている。
このように構成される物体搬送装置１０では、物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動手段１４が物体搬送台１３に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａを有する金属製走行用プレート１６とから構成されているため、前述した従来例のように、物体搬送台１３の長さＬが固定ベース１１よりも長くなることがない。したがって、装置の大型化を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１４】
また、超音波リニアモータ１５で発生した熱は伝熱部材１７を介して金属製走行用プレート１６に伝わり、この金属製走行用プレート１６および固定ベース１１から放熱されるので、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。すなわち、伝熱部材１７を備えていない場合には、超音波リニアモータ１５で発生した熱はリニアガイド１２を介して固定ベース１１に伝わることになるが、リニアガイド１２のスライダ１２３とボール１２５及びボール１２５と案内レール１２１との接触部で熱が伝わり難くなるため、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招く虞がある。これに対し、上述した実施形態では超音波リニアモータ１５で発生した熱が伝熱部材１７を介して金属製走行用プレート１６に伝わり、この金属製走行用プレート１６および固定ベース１１から放熱されるので、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１５】
さらに、超音波リニアモータ１５は金属製走行用プレート１６の長手方向両端部で伝熱部材１７と接触し、移動中は伝熱部材１７と接触しないので、超音波リニアモータ１５の負荷を増大させることなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータ１５の移動側端面１５ａが伝熱部材１７のモータ接触面１７ａに接触すると、超音波リニアモータ１５の移動が停止するので、伝熱部材１７を超音波リニアモータ１５のストッパーとして用いることができる。
【００１６】
なお、上述した実施の形態では、リニアガイド１２の案内レール１２１を固定ベース１１に固定し、スライダ１２４を物体搬送台１３に固定したが、案内レール１２１を物体搬送台１３に固定し、スライダ１２４を固定ベース１１に固定してもよい。また上述した実施の形態では、固定ベース１１上に設置された複数のリニアガイド１２で物体搬送台１３を固定ベース１１に対して直動可能に支持したが、１つのリニアガイド１２で物体搬送台１３を直動可能に支持してもよい。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、物体搬送台の長さが固定ベースよりも長くなることがないので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータで発生した熱が伝熱部材を介して金属製走行用プレートに伝わり、この金属製走行用プレートおよび固定ベースから放熱されるので、超音波リニアモータの熱的損傷を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１８】
請求項２の発明によれば、超音波リニアモータは金属製走行用プレートの長手方向両端部で伝熱部材と接触し、移動中は伝熱部材と接触しないので、上述した効果に加え、超音波リニアモータの負荷を増大させることなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
請求項３の発明によれば、超音波リニアモータの移動側端面が伝熱部材のモータ接触面に接触すると、上述した効果に加え、超音波リニアモータの移動が停止するので、伝熱部材を超音波リニアモータのストッパーとして用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る物体搬送装置の平面図である。
【図２】図１に示す物体搬送装置の側面図である。
【図３】図１に示すリニアガイドの斜視図である。
【図４】従来の物体搬送装置の側面図である。
【符号の説明】
１１ 固定ベース
１２ リニアガイド
１３ 物体搬送台
１４ 駆動手段
１５ 超音波リニアモータ
１５ａ 移動側端面
１６ 走行用プレート
１６ａ モータ摺動面
１７ 伝熱部材
１７ａ モータ接触面[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an improvement in an object transfer device that transfers an object such as a semiconductor wafer.
[0002]
[Prior art]
A conventional object transfer device for transferring an object such as a semiconductor wafer uses a combination of a ball screw and a stepping motor as a driving device for driving the object transfer table. In such a case, since abrasion powder such as iron powder is generated from the ball screw, there is a problem that the yield of products is reduced. Further, a measuring device using non-magnetic lines such as X-rays and electron beams has a problem that the measurement accuracy of the device is reduced due to a magnetic field generated from a stepping motor.
[0003]
Therefore, in order to solve these problems, conventionally, an object transport device as shown in FIG. 4 has been proposed. The object transfer device includes a fixed base 11 fixed to a base of a machine (not shown), a plurality of linear guides 12 installed on the fixed base 11 in parallel with each other, and fixed through the linear guides 12. An object carrier 13 is supported by the base 11 so as to be able to move directly, and a driving device 14 for driving the object carrier 13 in the longitudinal direction of the linear guide 12 is provided. The ultrasonic linear motor 15 includes a metal traveling plate 16 having a motor sliding surface 16a for moving the ultrasonic linear motor 15 in the moving direction of the object carrier 13.
[0004]
Since the object transfer device configured as described above uses the ultrasonic linear motor 15 that does not generate abrasion powder or a magnetic field as a drive source for driving the object transfer table 13, cleanliness or non-magnetism is required. It can be suitably used even in an environment.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described object transfer device, since the ultrasonic linear motor 15 is fixed to the fixed base 11, the length L of the object transfer table 13 is longer than the fixed base 11. Therefore, if the movement stroke of the object transfer table 13 is to be increased, the length of the object transfer table 13 is also increased, and there is a problem that the apparatus is increased in size.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an object transporting apparatus capable of increasing a moving stroke of an object transporting table without increasing the size of the apparatus.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Means for Solving the Problems To achieve the above object, an invention according to claim 1 includes a fixed base, a linear guide installed on the fixed base, and an object directly supported by the fixed base via the linear guide. In an object transfer device including a transfer table and a driving device that drives the object transfer table in a longitudinal direction of the linear guide, an ultrasonic linear motor having the drive device fixed to the object transfer table, and the fixed base And a metal traveling plate having a motor sliding surface for moving the ultrasonic linear motor in the moving direction of the object transfer table fixed to the moving member. The heat generated by the ultrasonic linear motor is transmitted to the metal traveling plate. A heat transfer member for transmitting the heat transfer member to the plate.
[0007]
According to the first aspect of the present invention, since the length of the object transfer table does not become longer than the fixed base, the moving stroke of the object transfer table can be increased without increasing the size of the apparatus. Further, heat generated by the ultrasonic linear motor is transmitted to the metal traveling plate via the heat transfer member, and is radiated from the metal traveling plate and the fixed base, thereby causing thermal damage to the ultrasonic linear motor. The moving stroke of the object transfer table can be increased without the need.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, in the object transfer device according to the first aspect, the heat transfer members are provided at both ends in a longitudinal direction of the metal traveling plate. By doing so, the ultrasonic linear motor contacts the heat transfer member at both ends in the longitudinal direction of the metal traveling plate, and does not contact the heat transfer member during movement. The moving stroke of the carrier can be increased.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, in the object transfer device according to the second aspect, a motor contact surface that is in contact with a moving-side end surface of the ultrasonic linear motor is provided on the heat transfer member. By adopting such a configuration, when the moving side end face of the ultrasonic linear motor comes into contact with the motor contact surface of the heat transfer member, the movement of the ultrasonic linear motor stops, and the heat transfer member is stopped by the stopper of the ultrasonic linear motor. Can be used as
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of an object conveyance device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the object conveyance device according to the embodiment. As shown in FIGS. 1 and 2, an object transfer device 10 includes a metal fixed base 11 fixed to a base (not shown) of a machine and a plurality of linear bases installed on the fixed base 11 in parallel with each other. The guide 12, an object carrier 13 movably supported on the fixed base 11 via the linear guides 12, and a driving unit 14 (FIG. 1) for driving the object carrier 13 in the longitudinal direction of the linear guide 12. See).
[0011]
As shown in FIG. 3, the linear guide 12 includes a guide rail 121 having ball rolling grooves 122 on both side surfaces, and a slider 123 having ball rolling grooves 124 on inner side surfaces facing the both side surfaces of the guide rail 121. And a large number of balls 125 incorporated in the slider 123. When the slider 123 relatively moves in the longitudinal direction of the guide rail 121, the balls 125 roll between the ball rolling grooves 122 and 124, and further, the slider 123. The ball is revolved along a ball circulation path including a ball direction change path 126 and a ball return path 127 formed therein.
[0012]
The driving means 14 is a metal having an ultrasonic linear motor 15 fixed to the object carrier 13 and a motor sliding surface 16a (see FIG. 2) for moving the ultrasonic linear motor 15 in the moving direction of the object carrier 13. And a traveling plate 16.
The metal traveling plate 16 is attached to the side surface of the fixed base 11, and heat generated by the ultrasonic linear motor 15 is transmitted to the metal traveling plate 16 at both ends in the longitudinal direction of the metal traveling plate 16. Heat transfer members 17 are provided, respectively.
[0013]
The heat transfer member 17 is formed of a metal such as aluminum. The heat transfer member 17 has a motor contact surface 17a (see FIG. 1) that comes into contact with the moving side end surface 15a of the ultrasonic linear motor 15. When the moving side end surface 15a comes into contact with the motor contact surface 17a, an ultrasonic wave is generated. The movement of the linear motor 15 is stopped.
In the object transfer device 10 configured as described above, a driving means 14 for driving the object transfer table 13 in the longitudinal direction of the linear guide 12 includes an ultrasonic linear motor 15 fixed to the object transfer table 13, and an ultrasonic linear motor 15. 15 has a motor sliding surface 16a for moving the object transfer table 15 in the moving direction of the object transfer table 13, and the length L of the object transfer table 13 is reduced as in the above-described conventional example. It does not become longer than the fixed base 11. Therefore, the moving stroke of the object transfer table 13 can be increased without increasing the size of the apparatus.
[0014]
The heat generated by the ultrasonic linear motor 15 is transmitted to the metal traveling plate 16 via the heat transfer member 17 and is radiated from the metal traveling plate 16 and the fixed base 11. The moving stroke of the object transfer table 13 can be increased without causing thermal damage to the object transfer table 13. That is, when the heat transfer member 17 is not provided, the heat generated by the ultrasonic linear motor 15 is transmitted to the fixed base 11 through the linear guide 12, but the slider 123 of the linear guide 12, the ball 125 and Since heat is hardly transmitted at the contact portion between the ball 125 and the guide rail 121, there is a possibility that the ultrasonic linear motor 15 may be thermally damaged. On the other hand, in the above-described embodiment, the heat generated by the ultrasonic linear motor 15 is transmitted to the metal traveling plate 16 via the heat transfer member 17 and is radiated from the metal traveling plate 16 and the fixed base 11. Therefore, the moving stroke of the object carrier 13 can be increased without causing thermal damage to the ultrasonic linear motor 15.
[0015]
Further, since the ultrasonic linear motor 15 contacts the heat transfer member 17 at both ends in the longitudinal direction of the metal traveling plate 16 and does not contact the heat transfer member 17 during movement, the load on the ultrasonic linear motor 15 is increased. The moving stroke of the object transfer table 13 can be increased without the need. When the moving end face 15a of the ultrasonic linear motor 15 comes into contact with the motor contact surface 17a of the heat transfer member 17, the movement of the ultrasonic linear motor 15 is stopped. Can be used as
[0016]
Although the guide rail 121 of the linear guide 12 is fixed to the fixed base 11 and the slider 124 is fixed to the object carrier 13 in the above-described embodiment, the guide rail 121 is fixed to the object carrier 13 and the slider 124 is fixed. May be fixed to the fixed base 11. In the above-described embodiment, the object carrier 13 is supported by the plurality of linear guides 12 installed on the fixed base 11 so as to be able to move directly with respect to the fixed base 11. 13 may be movably supported.
[0017]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the length of the object transfer table does not become longer than the fixed base, the moving stroke of the object transfer table can be increased without increasing the size of the apparatus. be able to. Further, heat generated by the ultrasonic linear motor is transmitted to the metal traveling plate via the heat transfer member, and is radiated from the metal traveling plate and the fixed base, thereby causing thermal damage to the ultrasonic linear motor. The moving stroke of the object transfer table can be increased without the need.
[0018]
According to the invention of claim 2, the ultrasonic linear motor contacts the heat transfer member at both ends in the longitudinal direction of the metal traveling plate and does not contact the heat transfer member during movement. The moving stroke of the object carrier can be increased without increasing the load on the acoustic linear motor.
According to the invention of claim 3, when the moving side end face of the ultrasonic linear motor contacts the motor contact surface of the heat transfer member, in addition to the above-described effects, the movement of the ultrasonic linear motor stops. It can be used as a stopper for an ultrasonic linear motor.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an object conveyance device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the object transport device shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view of the linear guide shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a side view of a conventional object transport device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Fixed base 12 Linear guide 13 Object transfer stand 14 Drive means 15 Ultrasonic linear motor 15a Moving side end face 16 Running plate 16a Motor sliding surface 17 Heat transfer member 17a Motor contact surface
