JP2004183958A

JP2004183958A - Fan filter unit

Info

Publication number: JP2004183958A
Application number: JP2002350206A
Authority: JP
Inventors: Masaki Tateno; 正樹竪野
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2002-12-02
Filing date: 2002-12-02
Publication date: 2004-07-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fan filter unit having both a dirt filtrating filter and a harmful gas filtrating filter to filtrate harmful gas in the air and capable of extending the life of the rather expensive harmful gas filtrating filter. <P>SOLUTION: This fan filter unit 5 comprises a suction port 13, exhaust port 16, a fan 15, a filter part 17, and an air flow passage selector means 20. The air flow passage selector means 20 is mainly composed of a rotating shaft 21, a swing plate 23, a spring 27, and a support bar 29. Only the dirt filtrating filter 18 is disposed in a flow passage 24, and both the dirt filtrating filter 18 and the harmful gas filtrating filter 19 are disposed in a flow passage 25. The swing plate 23 is swung to the flow passage 24 side and the flow passage 25 side by the support bar 29 with an energizing force of the spring 27 to form the flow passages. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はファンフィルタユニットに係り、特に塵埃および有害ガスを嫌う半導体工場等の生産ラインが配設されるクリーンルームに使用するファンフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体工場等においては塵埃管理が必要不可欠であり、半導体製造ラインはクリーンルームの清浄室に配設されるのが一般的であり、クリーンルームに低塵埃環境の清浄室を構成する上で、ファンフィルタユニットが多用されている。ファンフィルタユニットは清浄室の天井面に配置され、空調機からのエア、外気、清浄室から循環されるエア等をフィルタで濾過して清浄化し、清浄化したエアを清浄室に供給する装置である。
【０００３】
ところで、清浄室に半導体製造ラインを構築したクリーンルームでは、半導体製造プロセスに配したケミカルステーションなどで使用されるフッ素、塩酸などの各種類のガスは排気ラインを通じて無害化処理した上で大気中に放出されるが、清浄室内にも微量残存する。またクリーンルームの構築建材から発生する有機ガス、外気から取り込んだエアに含まれている窒素酸化物（ＮＯ_ｘ）、硫黄酸化物（ＳＯ_ｘ）等のガス、および作業員の人体から発散するアンモニアガスなどがクリーンルームのエア中に混在している。これらケミカル・コンタミネーションと呼ばれる、無機性或いは有機性のガス（以後、有害ガスと称す）が循環エアとともにクリーンルーム室内に吹き出されると、有害ガスの性質によってはクリーンルーム内作業中の従業員への人害のみならず、半導体製品への悪影響をも及ぼす。
【０００４】
そこで、濾過フィルタを有するファンフィルタユニットの設置が必要不可欠であるが、塵埃を濾過するフィルタと有害ガスを濾過するフィルタは各々機能・性質が異なるため、１つのフィルタで兼用することができない。
【０００５】
このことから、例えば特許文献１、特許文献２、および特許文献３には、１つのファンフィルタユニットに、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとの両方を設けたものが開示されている。このように、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとを重ねることによって、塵埃と有害ガスの両方を濾過できる。
【０００６】
【特許文献１】
特公平７−９６９３８号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平７−６００５６号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平１０−２７７３３９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら有害ガスは常に発生しているとは限らないのにもかかわらず、従来のファンフィルタユニットは、有害ガス濾過用フィルタに大量のエアが常時通過することになるので、比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命が短くなるという欠点がある。これにより、有害ガス濾過用フィルタの交換頻度が増すため、ランニングコストが増加するだけでなく、濾過能力の低下にもつながる。
【００１０】
塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとを別々のファンフィルタユニットに設置することも可能であるが、別々に設置すると、それだけファンフィルタユニットの設置台数を増やさなくてはならないので、設備コストが増大するという欠点がある。また、ファンフィルタユニットの設置台数が増えると、フィルタ交換作業に手間がかかる上、メンテナンスコストおよび設備コストも大幅に増大し、且つメンテナンススペースを確保する必要があるためファンフィルタユニットの配置の制約が生じてしまう。
【００１１】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けてエア中の塵埃と有害ガスを濾過でき、しかも比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部とを備えたファンフィルタユニットにおいて、前記ケーシング内に、揺動板が揺動することにより前記吸引口から前記吹出口に至る２つの異なるエア流路に交互に切り換え可能なエア流路切り換え手段を設け、前記２つの流路のうち、一方の流路には前記フィルタ部としてエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタを配設すると共に、他方の流路には前記フィルタ部として前記塵埃濾過用フィルタとエア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタの両方を配設したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項１によれば、ファンフィルタユニットのケーシング内に吸引するエア中に有害ガスが存在しない場合には、吸引口から吸引されたエアが塵埃濾過用フィルタを配設した一方の流路に流れるように揺動板を揺動し、エア中に有害ガスが存在する場合には、吸引口から吸引されたエアが塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を配設した他方の流路に流れるように揺動板を揺動する。これにより、ファンフィルタユニットに塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタを通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができる。
【００１４】
本発明の請求項２は前記目的を達成するために、吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部を備えたファンフィルタユニットにおいて、前記ケーシング内に、前記フィルタ部として、前記吸引されたエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタと前記エア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタとの両方を配設すると共に、前記有害ガス濾過用フィルタには前記吸引口から前記吹出口に流れるエアが通過しないように退避させる退避手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項２によれば、ファンフィルタユニットのケーシング内に吸引するエア中に有害ガスが存在しない場合には、有害ガス濾過用フィルタを退避させて、吸引口から吹出口に流れるエアの流れるエアが有害ガス濾過用フィルタを通過しないようにする。また、エア中に有害ガスが存在する場合には、有害ガス濾過用フィルタを退避させないで、吸引口から吹出口に流れるエアの流れるエアが有害ガス濾過用フィルタを通過するようにする。これにより、請求項２も請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００１６】
本発明の請求項３は請求項１において、前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、前記センサーが前記有害ガスを検出したときに、前記有害ガス濾過用フィルタでエア中の有害ガスを濾過するように前記切り換え手段を切り換えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項３は、エア中の有害ガスを検出する検出センサーを設けることにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、エア流路の切り換えを確実且つ自動的に行えるようにしたものである。
【００１８】
本発明の請求項４は請求項２において、前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、前記センサーが前記有害ガスを検出しないときは、前記退避手段により前記有害ガス濾過用フィルタを退避させることを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項４は、エア中の有害ガスを検出する検出センサーを設けることにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、有害ガス濾過用フィルタの退避を確実且つ自動的に行えるようにしたものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って，本発明に係わるファンフィルタユニットの好ましい形態について詳説する。
【００２１】
図１は、本発明のファンフィルタユニットを設置する一般的なクリーンルーム１の構成を示したものである。即ち、クリーンルーム１は、例えば半導体装置等が配設される清浄室３と、清浄室３の天井裏に形成された天井チャンバ１１と、清浄室３のグレーチング床８下に形成された床下チャンバ７と、床下チャンバ７のエアを天井チャンバ１１に戻すリターン通路９とを有し、清浄室３の天井面に形成された碁盤目状の天井フレーム４の空間部にファンフィルタユニット５が配設される。また、天井チャンバ１１は、導入ダクト２を介して空調機（不図示）や外気に連通される。そして、図１の矢印６によるエアの流れに見られるように、導入ダクト２から天井チャンバ１１に導入されたエアは、ファンフィルタユニット５で濾過されてから清浄室３にダウンフローとして吹き出され、グレーチング床８を介して床下チャンバ７に流れる。床下チャンバ７に流れたエアの一部は排気ダクト１０から排気されると共に、残りのエアはリターン通路９を通って再び天井チャンバ１１に循環される。これにより、清浄室３が清浄化される。
【００２２】
図２は、本発明のファンフィルタユニットの第１の実施の形態である。
【００２３】
第１の実施の形態のファンフィルタユニット５は、主として、吸引口１３と吹出口１６とが形成されたケーシング１４内にエアを吸引して吹き出すファン１５と、該ファン１５により吸引されたエアを濾過するフィルタ部１７と、エア流路切り換え手段２０とで構成される。
【００２４】
ケーシング１４は、ケーシング本体１４Ａの上に開口部１４Ｂを介して連通するファンボックス１４Ｃが搭載された断面凸状に形成され、ファンボックス１４Ｃ内にファン１５が配設されると共に、ケーシング本体１４Ａ内にフィルタ１８が配設される。また、吸引口１３は、ファンボックス１４Ｃの上面に形成され、吹出口１６はケーシング本体１４Ａの下面に形成される。
【００２５】
エア流路切り換え手段２０は、主として、揺動板２３と、揺動板２３を揺動方向の一方側に付勢するスプリング２７と、スプリング２７の付勢力による揺動板２３の倒れ込みを防止する支え棒２９とで構成される。揺動板２３は、ケーシング１４の対向する側壁に回動自在に支持された回動軸２１に固着される。回動軸２１の位置は、揺動板２３が揺動することによりケーシング１４内を吸引口１３から吹出口１６に至る２つの異なるエア流路２４、２５に交互に切り換え可能なように、ケーシング１４内の中央部よりやや下方に設けられる。スプリング２７は、一端が揺動板２３の上部に支持されると共に他端がケーシングのエア流路２４側の側壁面に支持される。また、支え棒２９は、エア流路２４側の側壁に形成された貫通孔を貫通して設けられ、支え棒２９の一端が揺動板２３の略中央部に支持され、支え棒２９の他端には把手２９Ａが設けられる。これにより、支え棒２９をケーシング１４内に押し込むことによって、揺動板２３はスプリング２７の付勢力に抗して流路２５側に揺動し、支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張ることによって、揺動板２３はスプリング２７の付勢力によって流路２４側に揺動する。また、支え棒２９には、スプリング２７の付勢力に抗して支え棒２９をケーシング１４内に押し込んだときに、押し込んだ位置で支え棒２９がロックされるようにロック部材２８が設けられる。
【００２６】
２つの流路２４、２５のうち、一方の流路２４にはフィルタ部１７としてエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタ１８が配設され、他方の流路２５にはフィルタ部１７として塵埃濾過用フィルタ１８とエア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタ１９の両方が配設される。この場合、吹出口１６一面を塞ぐように配設した塵埃濾過用フィルタ１８の上側であって流路２５側に、塵埃濾過用フィルタの略１／２の面積の有害ガス濾過用フィルタ１９を重ねるとよい。塵埃濾過用フィルタ１８としては、例えばＨＥＰＡ（ｈｉｇｈｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅａｉｒ）フィルタやＵＬＰＡ（ｕｌｔｒａｌｏｗｐｅｎｅｔｒａｔｅａｉｒ）フィルタを好適に使用することができ、有害ガス濾過用フィルタ１９としては、例えば活性炭フィルタを使用することができ、活性炭にアルカリ液や酸液を含浸させたものも好適である。なお、フィルタ部１７と回動軸２１との間に隙間が形成される場合には、フィルタ部１７と回動軸２１の間に仕切板２２を設けるとよい。
【００２７】
次に、上記の如く構成された本発明第１の実施におけるファンフィルタユニット５の作用を説明する。
【００２８】
エア内に有害ガスが含まれていない場合、図３（ａ）に示すように、支え棒２９をケーシング１４内に押し込んで、揺動板２３を流路２５側に揺動させた状態でロック部材２８をロックする。これにより、矢印２６で示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは、ケーシング１４内の流路２４側へ流れて塵埃濾過用フィルタ１８のみにより濾過され、吹出口１６から吹き出される。また、エア内に有害ガスが含まれる場合、図３（ｂ）に示すように、支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張って、揺動板２３を流路２４側に揺動させた状態でロック部材２８をロックする。これにより、矢印２６で示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは、ケーシング１４内の流路２５側へ流れて塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方で濾過され、吹出口１６から吹き出される。
【００２９】
従って、ファンフィルタユニット５に塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタ１９を通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を延ばすことができる。
【００３０】
ところで、図２に示した一枚板状の揺動板２３の場合、揺動板２３とケーシング本体１４Ａの上面までの距離は、揺動板２３が垂直状態のときと流路２４側又は流路２５側に揺動したときとでは相違するので、揺動させたときにケーシング本体１４Ａの上面との間に隙間が形成される。従って、例えばエア中に有害ガスが存在しない場合に揺動板２３を流路２５側に揺動させて、吸引口１３、流路２４、吹出口１６のエア流れを形成しても、ファン１５により吸引されたエアの一部は流路２５側にも流れ、有害ガス濾過用フィルタ１９を通過してしまう。この対策としては、揺動板２３を伸縮可能な構成とすることが一層好ましい。
【００３１】
図４の分解図に示すように、伸縮可能な揺動板２３は、回動軸２１（図２参照）に固着された板状部材３１とカバー部材３３とが入れ子構造で嵌め合わされると共に、板状部材３１の上端部とカバー部材３３の上端内面との間にはスプリング３７が介在される。また、カバー部材３３の上端にローラ３５を設ければ、揺動板２３を揺動させたときに、ローラ３５がケーシング本体１４Ａの上面に当接しながら転がるので、揺動板２３のスムーズな揺動を助けることができる。この場合、図５に示すように、ローラ３５がケーシング本体１４Ａの上面に当接するように、カバー部材３３上端の両端位置に一対配置することが好ましい。これにより、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、揺動板２３は、カバー部材３３に設けたローラ３５がケーシング本体１４Ａ上面に当接し、揺動板２３とケーシング本体１４Ａ上面との距離の変化に応じてスプリング３７が伸縮する。従って、揺動板２３は、自らの長さを自動的に調整しながら揺動するので、揺動板２３を揺動したときに、ケーシング本体１４Ａの内面との間に隙間が形成されない。これにより、吸引口１３から吸引されたエアを流路２４又は流路２５の一方側のみに流すことができるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を一層延ばすことができる。
【００３２】
なお、回動軸２１に一枚の揺動板２３を固着する場合に限定されず、図７のように、回動軸２１に対して２枚の揺動板２３を対称的に固着してもよく、更には、図８のように、一対の回動軸２１をケーシングの上面近傍に設けて、それぞれの回動軸２１に揺動板２３を吊設した状態で設けてもよい。また、図２〜図６では、揺動板２３をスプリング２７と支え棒２９とにより手動で揺動させる例で説明したが、図７および図８のように回動軸２１に正逆回転可能なモータ４２を連結し、モータ４２で回動軸２１を回動させることにより揺動板２３を自動で揺動させるようにしてもよい。この場合、モータ４２の駆動により揺動板２３が所定の揺動位置で停止するようにリミッタスイッチ（図示せず）等を設けるとよい。
【００３３】
図９は、本発明のファンフィルタユニットの第２の実施の形態である。
【００３４】
第２の実施の形態のファンフィルタユニット５は、主として、吸引口１３と吹出口１６とが形成されたケーシング１４内にエアを吸引して吹き出すファン１５と、該ファン１５により吸引されたエアを濾過するフィルタ１８と、有害ガス濾過用フィルタ１９に吸引口１３から吹出口１６に流れるエアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させる退避手段とで構成される。
【００３５】
フィルタ部１７は、塵埃濾過用フィルタ１８の上側に有害ガス濾過用フィルタ１９が重なって設けられると共に、有害ガス濾過用フィルタ１９は真ん中で分割されている。そして、分割されたそれぞれの有害ガス濾過用フィルタ１９に退避手段が設けられる。退避手段は、主として、有害ガス濾過用フィルタ１９の基端部に固定されると共に両端がケーシング１４の対向する側壁に回動自在に支持された回動軸２１と、回動軸２１を回動する正逆回転可能なモータ４２とで構成される。そして、矢印Ｂ方向に有害ガス濾過用フィルタ１９が揺動するようにモータ４２を駆動させると、有害ガス濾過用フィルタ１９はケーシングの側壁面に当接する。また、矢印Ａ方向に有害ガス濾過用フィルタ１９が揺動するようにモータ４２を駆動させると、側壁面に当接した有害ガス濾過用フィルタ１９は塵埃濾過用フィルタ１８に当接して元の状態に戻る。この場合、モータ４２は有害ガス濾過用フィルタ１９が９０°角だけ揺動するようにリミッタスイッチ（図示せず）等を設けるとよい。
【００３６】
次に、上記の如く構成された本発明第２の実施におけるファンフィルタユニット５の作用を説明する。
【００３７】
エア内に有害ガスが含まれていない場合、図１０（ａ）に示すように、２つのモータ４２を駆動して、分割された２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を矢印Ｂ方向に揺動させる。これにより、２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９は観音開き状に開いて対向するそれぞれの側壁面に当接するので、矢印２６に示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８のみを通過して吹出口１６から吹き出される。また、エア内に有害ガスが含まれる場合、図１０（ｂ）に示すように、２つのモータ４２を駆動して、側壁面に当接した状態の２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を矢印Ａ方向に揺動させる。これにより、２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９は再び塵埃濾過用フィルタ１８に当接して重なるので、矢印２６に示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を通過して吹出口１６から吹き出される。
【００３８】
従って、本発明の第２の実施の形態の場合にも、ファンフィルタユニット５に塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタ１９を通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を延ばすことができる。また、第２の実施の形態の場合には、第１の実施の形態のように、ケーシング１４内を２つの流路に分けなくてもよいので、より大きな濾過面積を確保することができる。
【００３９】
なお、有害ガス濾過用フィルタ１９は、２枚に分割して観音開き状に揺動させることに限定されるものではなく、図１１のように、一枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を揺動させるようにしてもよい。また、有害ガス濾過用フィルタ１９と塵埃濾過用フィルタ１８とは重なった状態に配置する必要はなく、図１２に示すように、塵埃濾過用フィルタ１８を吹出口１６近傍に配置し、有害ガス濾過用フィルタ１９をファン１５近傍に配置してもよい。
【００４０】
また、退避手段としては、有害ガス濾過用フィルタ１９に吸引口１３から吹出口１６に流れるエアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させることができる手段であればよく、図１３に示すように、必要に応じて塵埃濾過用フィルタ１８や有害ガス濾過用フィルタ１９を遮蔽することができる遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを使用することもできる。即ち、図１３のように、吹出口１６一面を塞ぐように配設した塵埃濾過用フィルタ１８の上側に、塵埃濾過用フィルタ１８の略１／２の面積の有害ガス濾過用フィルタ１９を重ね、有害ガス濾過用フィルタ１９の上側に、観音開き状に開く一対の遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを配設するようにしてもよい。一対の遮蔽板４４Ａ、４４Ｂの基端部は前記したと同じ９０°角だけ遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを揺動可能な正逆回転可能なモータ４２に連結される。そして、エア中に有害ガスが含まれない場合には、遮蔽板４４Ａを矢印Ｂ方向に揺動させると共に、遮蔽板４４Ｂを矢印Ａ方向に揺動させる。これにより、遮蔽板４４Ｂにより有害ガス濾過用フィルタ１９が覆われるので、エアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させることができる。従って、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８のみを通過して吹出口１６から吹き出される。また、エア中に有害ガスが含まれる場合には、遮蔽板４４Ａを矢印Ａ方向に揺動させると共に、遮蔽板４４Ｂを矢印Ｂ方向に揺動させる。これにより、塵埃濾過用フィルタ１８一層側にはエアが通過しないようにでき、有害ガス濾過用フィルタ１９と塵埃濾過用フィルタ１８の２層側にエアが通過するようにできる。
【００４１】
図１４は、本発明の第３の実施の形態を説明する構成図であり、ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する有害ガスセンサー５０を設け、有害ガスセンサー５０が有害ガスを検出したときに、有害ガス濾過用フィルタ１９でエア中の有害ガスを濾過するように切り換え手段を切り換えるように構成したものである。
【００４２】
基本的な構成は図２の通りであるが、ファンフィルタユニット５の吸引口１３上部に有害ガスセンサー５０が設置され、有害ガスセンサー５０の検出結果が支え棒を駆動する駆動装置５２に送られるように構成されている。そして、有害ガスセンサー４０の検出結果に応じて駆動装置５２が支え棒２９をケーシング内に押し込む動作又は支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張る動作を行う。これにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、エア流路２４、２５の切り換えを確実且つ自動的に行うことができる。なお、駆動装置５２としては、例えばシリンダ装置を使用することができ、シリンダ装置のピストンロッド先端に支え棒２９の把手を支持するようにすればよい。また、揺動板２３が所定の揺動位置で停止するようにシリンダのストローク長さを調整しておくとよい。
【００４３】
また、本発明の第３の実施の形態は、図８の有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させる退避手段を備えたファンフィルタユニット５にも適用することができ、この場合には、有害ガスセンサー５０の検出結果に応じて、有害ガス濾過用フィルタ１９を揺動させるモータ４２を駆動させればよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のファンフィルタユニットによれば、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けてエア中の塵埃と有害ガスを濾過でき、しかも比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のファンフィルタユニットを設置する一般的なクリーンルームの構成断面図
【図２】本発明の第１の実施の形態を示した、ファンフィルタユニットの構成断面図
【図３】（ａ）エア流路として塵埃濾過用フィルタを選択した時における、ファンフィルタユニットの断面図
（ｂ）エア流路として有毒ガス濾過用フィルタおよび塵埃濾過用フィルタを選択した時における、ファンフィルタユニットの断面図
【図４】伸縮自在な揺動板を説明する分解図
【図５】伸縮自在な揺動板のローラとケーシングとの関係を説明する説明断面図
【図６】図４及び図５の伸縮自在な揺動板の動作を説明する説明図
【図７】本発明の第１の実施の形態の変形例を説明する説明図
【図８】本発明の第１の実施の形態の他の変形例を説明する説明図
【図９】本発明のファンフィルタユニットの第２の実施の形態の構成図
【図１０】本発明の第２の実施の形態におけるファンフィルタユニットの作用を説明する説明図
【図１１】本発明の第２の実施の形態の変形例を説明する説明図
【図１２】本発明の第２の実施の形態の他の変形例を説明する説明図
【図１３】本発明の第２の実施の形態の別の変形例を説明する説明図
【図１４】本発明のファンフィルタユニットの第３の実施の形態の構成図
【符号の説明】
１…クリーンルーム、２…導入ダクト、３…清浄室、４…天井フレーム、５…ファンフィルタユニット、６…矢印、７…床下チャンバ、８…グレーチング床、９…リターン通路、１０…排気ダクト、１１…天井チャンバ、１３…吸引口、１４…ケーシング、１４Ａ…ケーシング本体、１４Ｂ…開口部、１４Ｃ…ファンボックス、１５…ファン、１６…吹出口、１７…フィルタ部、１８…塵埃濾過用フィルタ、１９…有害ガス濾過用フィルタ、２０…エア流路切り換え手段、２１…回動軸、２２…仕切板、２３…揺動板、２４、２５…流路、２６…矢印、２７…スプリング、２８…ロック部材、２９…支え棒、２９Ａ…把手、３１…板状部材、３３…カバー部材、３５…ローラ、３７…スプリング、４２…モータ、４４Ａ、４４Ｂ…遮蔽板、５０…有害ガスセンサー、５２…駆動装置[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a fan filter unit, and more particularly to a fan filter unit used in a clean room in which a production line such as a semiconductor factory that dislikes dust and harmful gas is installed.
[0002]
[Prior art]
Dust management is indispensable in semiconductor factories, etc., and semiconductor manufacturing lines are generally installed in a clean room of a clean room. In configuring a clean room in a low dust environment in a clean room, a fan filter unit is required. Is often used. The fan filter unit is installed on the ceiling surface of the clean room, filters air from outside the air conditioner, outside air, air circulated from the clean room, etc. with a filter to clean it, and supplies the purified air to the clean room. is there.
[0003]
By the way, in a clean room where a semiconductor manufacturing line is built in a clean room, each type of gas such as fluorine and hydrochloric acid used in chemical stations etc. arranged in the semiconductor manufacturing process is detoxified through an exhaust line and released to the atmosphere. However, a small amount remains in the clean room. In addition, organic gas generated from building materials for building a clean room and nitrogen oxides (NO _x ), Sulfur oxides (SO _x ) And ammonia gas emitted from the worker's body are mixed in the air of the clean room. When these inorganic or organic gases (hereinafter referred to as harmful gases) called chemical contamination are blown into the clean room together with the circulating air, depending on the nature of the harmful gases, they may be given to employees working in the clean room. It not only causes human harm but also has an adverse effect on semiconductor products.
[0004]
Therefore, it is indispensable to install a fan filter unit having a filtration filter. However, since a filter for filtering dust and a filter for filtering harmful gas have different functions and properties, one filter cannot be shared.
[0005]
For this reason, for example, Patent Literature 1, Patent Literature 2, and Patent Literature 3 each disclose one fan filter unit provided with both a dust filter and a harmful gas filter. Thus, by overlapping the filter for dust filtration and the filter for harmful gas filtration, both dust and harmful gas can be filtered.
[0006]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. Hei 7-96938
[0007]
[Patent Document 2]
JP-A-7-60056
[0008]
[Patent Document 3]
JP-A-10-277339
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, despite the fact that harmful gases are not always generated, the conventional fan filter unit requires a relatively large amount of air to be constantly passed through the harmful gas filtration filter. There is a disadvantage that the life of the filtration filter is shortened. As a result, the frequency of replacing the harmful gas filtration filter increases, so that not only the running cost increases, but also the filtration capacity decreases.
[0010]
It is possible to install the filter for dust filtration and the filter for harmful gas filtration in separate fan filter units, but if they are installed separately, the number of installed fan filter units must be increased accordingly, which reduces equipment costs. There is a disadvantage that it increases. In addition, when the number of installed fan filter units increases, it takes time and effort to replace the filters, maintenance costs and equipment costs also increase significantly, and it is necessary to secure a maintenance space. Will happen.
[0011]
The present invention has been made in view of such circumstances, and provides both a dust filtration filter and a harmful gas filtration filter to filter dust and harmful gas in the air, and a relatively expensive harmful gas filtration filter. An object of the present invention is to provide a fan filter unit that can extend the life.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
Claim 1 of the present invention, in order to achieve the above object, a fan that sucks and blows air into a casing having a suction port and an outlet, and a filter unit that filters the air sucked by the fan. In the fan filter unit provided with, the air flow path switching means which can alternately switch to two different air flow paths from the suction port to the air outlet by swinging a rocking plate is provided in the casing. A filter for filtering dust in the air is disposed in one of the two flow paths as the filter section, and the other flow path is provided as the filter section for the dust filtration. It is characterized in that both a filter and a filter for filtering harmful gas for filtering harmful gas in air are provided.
[0013]
According to the first aspect of the present invention, when there is no harmful gas in the air to be sucked into the casing of the fan filter unit, the air sucked from the suction port is supplied to the one side of the filter provided with the dust filter. The oscillating plate is swung so as to flow into the path, and when harmful gas is present in the air, the air sucked from the suction port is provided with both a dust filter and a harmful gas filter. The rocking plate is rocked so as to flow through the flow path. Accordingly, even if both the dust filter and the harmful gas filter are provided in the fan filter unit, if no harmful gas is present in the air, the air can be prevented from passing through the harmful gas filter. In addition, the life of the filter for filtering harmful gases can be extended.
[0014]
According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a fan that sucks and blows air into a casing in which a suction port and a blowout port are formed, and a filter unit that filters the air sucked by the fan is provided. In the fan filter unit provided, in the casing, as the filter portion, both a dust filter for filtering dust in the sucked air and a harmful gas filter for filtering harmful gas in the air And a evacuating means for evacuating the harmful gas filtration filter so that air flowing from the suction port to the air outlet does not pass therethrough is provided.
[0015]
According to the second aspect of the present invention, when no harmful gas is present in the air sucked into the casing of the fan filter unit, the harmful gas filtration filter is retracted, and the air flowing from the suction port to the air outlet is removed. Prevent the flowing air from passing through the harmful gas filter. When the harmful gas is present in the air, the air flowing from the suction port to the blowout port passes through the harmful gas filtration filter without retreating the harmful gas filtration filter. As a result, the same effect as in claim 1 can be obtained in claim 2.
[0016]
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, a detection sensor for detecting a harmful gas in the air sucked into the casing is provided, and the harmful gas filtration filter is provided when the sensor detects the harmful gas. And switching the switching means so as to filter the harmful gas in the air.
[0017]
According to a third aspect of the present invention, by providing a detection sensor for detecting a harmful gas in the air, the air flow path can be reliably and automatically switched according to the presence or absence of the harmful gas in the air. It is.
[0018]
According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect, a detection sensor for detecting a harmful gas in the air sucked into the casing is provided, and when the sensor does not detect the harmful gas, the evacuating means removes the harmful gas. The gas filter is retracted.
[0019]
According to a fourth aspect of the present invention, by providing a detection sensor for detecting a harmful gas in the air, it is possible to reliably and automatically retreat the harmful gas filtration filter according to the presence or absence of the harmful gas in the air. It was done.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the fan filter unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0021]
FIG. 1 shows a configuration of a general clean room 1 in which a fan filter unit of the present invention is installed. That is, the clean room 1 includes, for example, a clean room 3 in which semiconductor devices and the like are disposed, a ceiling chamber 11 formed behind the ceiling of the clean room 3, and an underfloor chamber 7 formed below a grating floor 8 of the clean room 3. And a return passage 9 for returning the air in the underfloor chamber 7 to the ceiling chamber 11, and the fan filter unit 5 is disposed in the space of the grid-shaped ceiling frame 4 formed on the ceiling surface of the clean room 3. You. The ceiling chamber 11 is connected to an air conditioner (not shown) and the outside air via the introduction duct 2. Then, as can be seen from the flow of air indicated by the arrow 6 in FIG. 1, the air introduced into the ceiling chamber 11 from the introduction duct 2 is filtered by the fan filter unit 5 and then blown out to the clean room 3 as a downflow, It flows into the underfloor chamber 7 via the grating floor 8. Part of the air flowing into the underfloor chamber 7 is exhausted from the exhaust duct 10, and the remaining air is circulated again to the ceiling chamber 11 through the return passage 9. Thereby, the clean room 3 is cleaned.
[0022]
FIG. 2 shows a fan filter unit according to a first embodiment of the present invention.
[0023]
The fan filter unit 5 according to the first embodiment mainly includes a fan 15 that sucks and blows air into a casing 14 in which a suction port 13 and a blowout port 16 are formed, and a fan 15 that blows air sucked by the fan 15. It comprises a filter section 17 for filtering and an air flow path switching means 20.
[0024]
The casing 14 is formed to have a convex cross section in which a fan box 14C communicating with the casing body 14A via an opening 14B is mounted on the casing body 14A. A fan 15 is provided in the fan box 14C, and the casing body 14A , A filter 18 is provided. The suction port 13 is formed on the upper surface of the fan box 14C, and the outlet 16 is formed on the lower surface of the casing body 14A.
[0025]
The air flow path switching means 20 mainly prevents the rocking plate 23, the spring 27 for biasing the rocking plate 23 to one side in the rocking direction, and the falling of the rocking plate 23 due to the biasing force of the spring 27. And a support rod 29. The swing plate 23 is fixed to a rotating shaft 21 that is rotatably supported on opposing side walls of the casing 14. The position of the rotating shaft 21 is adjusted so that the swinging plate 23 swings so that the inside of the casing 14 can be alternately switched to two different air flow paths 24 and 25 extending from the suction port 13 to the air outlet 16. 14 is provided slightly below the central portion. The spring 27 has one end supported on the upper portion of the swing plate 23 and the other end supported on the side wall surface of the casing on the air flow path 24 side. The support rod 29 is provided through a through hole formed in the side wall on the air flow path 24 side, and one end of the support rod 29 is supported at a substantially central portion of the swing plate 23. A handle 29A is provided at the end. Thus, by pushing the support rod 29 into the casing 14, the swinging plate 23 swings toward the flow path 25 against the urging force of the spring 27, and pulls the support rod 29 in a direction to pull out the support rod 29 from the inside of the casing 14. Thus, the swing plate 23 swings toward the flow path 24 by the urging force of the spring 27. Further, the support rod 29 is provided with a lock member 28 such that when the support rod 29 is pushed into the casing 14 against the urging force of the spring 27, the support rod 29 is locked at the pushed position.
[0026]
Among the two flow paths 24 and 25, one of the flow paths 24 is provided with a dust filter 18 for filtering dust in the air as a filter section 17, and the other flow path 25 is provided with a dust section as a filter section 17. Both a filtering filter 18 and a harmful gas filtering filter 19 for filtering harmful gas in the air are provided. In this case, a harmful gas filtering filter 19 having an area approximately half of that of the dust filtering filter is overlaid on the flow path 25 side above the dust filtering filter 18 disposed so as to cover one surface of the outlet 16. Good. As the filter 18 for dust filtration, for example, a HEPA (high efficiency particulate air) filter or an ULPA (ultra low penetrate air) filter can be suitably used, and as the filter 19 for harmful gas filtration, for example, an activated carbon filter is used. It is also preferable that the activated carbon is impregnated with an alkali solution or an acid solution. When a gap is formed between the filter unit 17 and the rotating shaft 21, a partition plate 22 may be provided between the filter unit 17 and the rotating shaft 21.
[0027]
Next, the operation of the fan filter unit 5 according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described.
[0028]
When no harmful gas is contained in the air, as shown in FIG. 3A, the support rod 29 is pushed into the casing 14 to lock the swinging plate 23 in the state of swinging toward the flow path 25 side. The member 28 is locked. Thereby, as indicated by an arrow 26, the air sucked from the suction port 13 by the fan 15 flows toward the flow path 24 in the casing 14, is filtered only by the dust filter 18, and is blown out from the outlet 16. You. When the harmful gas is contained in the air, as shown in FIG. 3B, the support rod 29 is pulled in the direction of pulling out from the casing 14, and the rocking plate 23 is rocked toward the flow path 24. In this state, the lock member 28 is locked. As a result, as indicated by an arrow 26, the air sucked from the suction port 13 by the fan 15 flows toward the flow path 25 in the casing 14, and is filtered by both the dust filter 18 and the harmful gas filter 19. The air is blown out from the air outlet 16.
[0029]
Therefore, even if both the dust filter 18 and the harmful gas filter 19 are provided in the fan filter unit 5, if no harmful gas exists in the air, the air does not pass through the filter 19. Therefore, the life of the harmful gas filtration filter 19 can be extended.
[0030]
By the way, in the case of the single plate-shaped swinging plate 23 shown in FIG. 2, the distance between the swinging plate 23 and the upper surface of the casing body 14A is different from the case where the swinging plate 23 is in the vertical state and the flow path 24 Since it is different from when swinging to the road 25 side, a gap is formed between the casing body 14A and the upper surface when swinging. Therefore, even if the oscillating plate 23 is swung toward the flow path 25 when no harmful gas is present in the air to form the air flow of the suction port 13, the flow path 24, and the air outlet 16, the fan 15 A part of the air sucked by the flow also flows to the flow channel 25 side, and passes through the harmful gas filtration filter 19. As a countermeasure against this, it is more preferable that the swing plate 23 be configured to be expandable and contractible.
[0031]
As shown in the exploded view of FIG. 4, the extensible rocking plate 23 is configured such that a plate member 31 fixed to the rotating shaft 21 (see FIG. 2) and a cover member 33 are fitted in a nested structure, A spring 37 is interposed between the upper end of the plate member 31 and the inner surface of the upper end of the cover member 33. Further, if the roller 35 is provided at the upper end of the cover member 33, the roller 35 rolls while abutting on the upper surface of the casing main body 14A when the rocking plate 23 is rocked. Can help movement. In this case, as shown in FIG. 5, it is preferable to arrange a pair of rollers 35 at both ends of the upper end of the cover member 33 so that the rollers 35 contact the upper surface of the casing body 14A. As a result, as shown in FIGS. 6A and 6B, the roller 35 provided on the cover member 33 abuts on the upper surface of the casing main body 14A. The spring 37 expands and contracts in accordance with the change in the distance. Therefore, since the swing plate 23 swings while automatically adjusting its length, no gap is formed between the swing plate 23 and the inner surface of the casing body 14A when the swing plate 23 swings. This allows the air sucked from the suction port 13 to flow only to one side of the flow path 24 or the flow path 25, so that the life of the harmful gas filtration filter 19 can be further extended.
[0032]
Note that the present invention is not limited to the case where one rocking plate 23 is fixed to the rotating shaft 21, and two rocking plates 23 are fixed symmetrically to the rotating shaft 21 as shown in FIG. 7. Alternatively, as shown in FIG. 8, a pair of rotating shafts 21 may be provided near the upper surface of the casing, and swing plates 23 may be suspended from the respective rotating shafts 21. 2 to 6, the swing plate 23 is manually swung by the spring 27 and the support rod 29. However, as shown in FIGS. The swing plate 23 may be automatically swung by connecting the motor 42 and rotating the swivel shaft 21 with the motor 42. In this case, a limiter switch (not shown) or the like may be provided so that the swing plate 23 stops at a predetermined swing position by driving the motor 42.
[0033]
FIG. 9 shows a second embodiment of the fan filter unit of the present invention.
[0034]
The fan filter unit 5 according to the second embodiment mainly includes a fan 15 that sucks and blows air into a casing 14 having a suction port 13 and a blowout port 16 formed therein, and a fan 15 that blows air sucked by the fan 15. The filter is configured by a filter for filtering, and a retracting unit for retracting the filter for harmful gas filtration 19 so that air flowing from the suction port 13 to the outlet 16 does not pass through the filter for harmful gas filtration 19.
[0035]
In the filter section 17, a filter 19 for harmful gas filtration is provided on an upper side of a filter 18 for dust filtration, and the filter 19 for harmful gas filtration is divided in the middle. Then, a retracting means is provided in each of the divided harmful gas filtration filters 19. The retracting means mainly includes a rotating shaft 21 fixed to the base end of the harmful gas filtration filter 19 and both ends rotatably supported on opposing side walls of the casing 14, and a rotating shaft 21. And a motor 42 capable of rotating forward and backward. When the motor 42 is driven so that the harmful gas filtration filter 19 swings in the direction of arrow B, the harmful gas filtration filter 19 comes into contact with the side wall surface of the casing. When the motor 42 is driven so that the harmful gas filtration filter 19 swings in the direction of arrow A, the harmful gas filtration filter 19 abutting on the side wall surface contacts the dust filtration filter 18 and returns to its original state. Return to In this case, the motor 42 may be provided with a limiter switch (not shown) or the like so that the harmful gas filtration filter 19 swings by 90 °.
[0036]
Next, the operation of the fan filter unit 5 according to the second embodiment of the present invention configured as described above will be described.
[0037]
When no harmful gas is contained in the air, as shown in FIG. 10A, the two motors 42 are driven to swing the two harmful gas filtration filters 19 in the direction of arrow B. Let it. As a result, the two harmful gas filtration filters 19 open in a double-opened manner and come into contact with the opposing side walls, so that the air sucked from the suction port 13 by the fan 15 as shown by the arrow 26 is dust-filtered. And is blown out from the outlet 16 through only the filter 18 for use. When harmful gas is contained in the air, as shown in FIG. 10B, the two motors 42 are driven to move the two harmful gas filtration filters 19 in contact with the side wall surfaces with arrows. Swing in the A direction. As a result, the two harmful gas filtration filters 19 again come into contact with and overlap the dust filtration filter 18, and as shown by the arrow 26, the air sucked from the suction port 13 by the fan 15 is removed by the dust filtration filter 18. And the harmful gas filtration filter 19 is blown out from the outlet 16.
[0038]
Therefore, even in the case of the second embodiment of the present invention, even if both the dust filtering filter 18 and the harmful gas filtering filter 19 are provided in the fan filter unit 5, when the harmful gas does not exist in the air, Since the air can be prevented from passing through the harmful gas filtration filter 19, the life of the harmful gas filtration filter 19 can be extended. Further, in the case of the second embodiment, the interior of the casing 14 does not need to be divided into two flow paths as in the first embodiment, so that a larger filtration area can be secured.
[0039]
Note that the harmful gas filtration filter 19 is not limited to being divided into two pieces and swinging in a double-opened manner, and as shown in FIG. 11, one harmful gas filtration filter 19 is made to swing. You may do so. Further, it is not necessary to arrange the harmful gas filtering filter 19 and the dust filtering filter 18 in an overlapping state, and as shown in FIG. Filter 19 may be arranged near the fan 15.
[0040]
The evacuation means may be any means capable of retracting the harmful gas filtration filter 19 so that the air flowing from the suction port 13 to the air outlet 16 does not pass through the harmful gas filtration filter 19, as shown in FIG. As shown, if necessary, shielding plates 44A and 44B that can shield the dust filtering filter 18 and the harmful gas filtering filter 19 can be used. That is, as shown in FIG. 13, a harmful gas filtration filter 19 having an area approximately half of that of the dust filtration filter 18 is superimposed on the dust filtration filter 18 disposed so as to cover one surface of the air outlet 16. A pair of shield plates 44A and 44B that open in a double-opening manner may be provided above the harmful gas filtration filter 19. The base ends of the pair of shielding plates 44A, 44B are connected to a forward / reverse rotatable motor 42 that can swing the shielding plates 44A, 44B by the same 90 ° angle as described above. When no harmful gas is contained in the air, the shield plate 44A is swung in the direction of arrow B, and the shield plate 44B is swung in the direction of arrow A. As a result, the harmful gas filtration filter 19 is covered by the shielding plate 44B, so that the harmful gas filtration filter 19 can be retracted so that air does not pass through. Therefore, the air sucked from the suction port 13 by the fan 15 passes through only the dust filter 18 and is blown out from the outlet 16. When harmful gas is contained in the air, the shield plate 44A is swung in the direction of arrow A, and the shield plate 44B is swung in the direction of arrow B. Thereby, air can be prevented from passing through one layer of the dust filter 18 and air can be passed through the two layers of the harmful gas filter 19 and the dust filter 18.
[0041]
FIG. 14 is a configuration diagram illustrating a third embodiment of the present invention, in which a harmful gas sensor 50 for detecting a harmful gas in the air sucked into the casing is provided, and the harmful gas sensor 50 detects the harmful gas. When the detection is performed, the switching means is switched so that the harmful gas in the air is filtered by the harmful gas filtering filter 19.
[0042]
Although the basic configuration is as shown in FIG. 2, a harmful gas sensor 50 is installed above the suction port 13 of the fan filter unit 5, and the detection result of the harmful gas sensor 50 is sent to a driving device 52 that drives the support rod. It is configured as follows. The driving device 52 performs an operation of pushing the support rod 29 into the casing or an operation of pulling the support rod 29 out of the casing 14 in accordance with the detection result of the harmful gas sensor 40. Thereby, the switching of the air flow paths 24 and 25 can be reliably and automatically performed according to the presence or absence of the harmful gas in the air. As the driving device 52, for example, a cylinder device can be used, and the handle of the support rod 29 may be supported at the tip of the piston rod of the cylinder device. The stroke length of the cylinder may be adjusted so that the swing plate 23 stops at a predetermined swing position.
[0043]
Further, the third embodiment of the present invention can also be applied to the fan filter unit 5 provided with a retracting means for retracting the harmful gas filtering filter 19 of FIG. 8, and in this case, the harmful gas sensor The motor 42 for swinging the harmful gas filtration filter 19 may be driven according to the detection result of 50.
[0044]
【The invention's effect】
As described above, according to the fan filter unit of the present invention, it is possible to filter dust and harmful gas in the air by providing both a filter for filtering dust and a filter for filtering harmful gas. Life of the filter can be extended.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration sectional view of a general clean room in which a fan filter unit of the present invention is installed.
FIG. 2 is a configuration sectional view of a fan filter unit according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 (a) is a cross-sectional view of a fan filter unit when a dust filter is selected as an air flow path.
(B) Cross-sectional view of the fan filter unit when a toxic gas filtration filter and a dust filtration filter are selected as the air flow path
FIG. 4 is an exploded view illustrating a telescopic rocking plate.
FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view illustrating a relationship between a roller of a retractable rocking plate and a casing.
FIG. 6 is an explanatory view for explaining the operation of the telescopic rocking plate shown in FIGS. 4 and 5;
FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a modification of the first embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating another modification of the first embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a configuration diagram of a second embodiment of the fan filter unit of the present invention.
FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating the operation of the fan filter unit according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating a modification of the second embodiment of the present invention.
FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating another modification of the second embodiment of the present invention.
FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating another modification of the second embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a configuration diagram of a third embodiment of the fan filter unit of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Clean room, 2 ... Introductory duct, 3 ... Clean room, 4 ... Ceiling frame, 5 ... Fan filter unit, 6 ... Arrow, 7 ... Underfloor chamber, 8 ... Grating floor, 9 ... Return passage, 10 ... Exhaust duct, 11 ... ceiling chamber, 13 ... suction port, 14 ... casing, 14A ... casing body, 14B ... opening, 14C ... fan box, 15 ... fan, 16 ... outlet, 17 ... filter section, 18 ... dust filter, 19 ... Filter for harmful gas filtration, 20 ... Air passage switching means, 21 ... Rotating shaft, 22 ... Partition plate, 23 ... Swing plate, 24, 25 ... Flow passage, 26 ... Arrow, 27 ... Spring, 28 ... Lock Member, 29: support rod, 29A: handle, 31: plate member, 33: cover member, 35: roller, 37: spring, 42: motor, 44A, 44B: shielding plate, 5 ... toxic gas sensor, 52 ... drive unit

Claims

In a fan filter unit including a fan that sucks and blows air into a casing in which a suction port and an outlet are formed, and a filter unit that filters the air sucked by the fan,
In the casing, an air flow path switching unit that can alternately switch to two different air flow paths from the suction port to the air outlet by swinging a swing plate is provided,
Among the two flow paths, one of the flow paths is provided with a dust filtering filter for filtering dust in air as the filter portion, and the other flow path is provided with the dust filtering filter as the filter. A fan filter unit comprising both a harmful gas filtration filter for filtering harmful gas in air.

In a fan filter unit including a fan that sucks and blows air into a casing having a suction port and a blowout port formed therein, and a filter unit that filters the air sucked by the fan,
In the casing, as the filter portion, both a dust filtering filter for filtering dust in the sucked air and a harmful gas filtering filter for filtering harmful gas in the air are provided, A fan filter unit, wherein the filter for harmful gas filtration is provided with retreat means for retreating so that air flowing from the suction port to the outlet does not pass therethrough.

Providing a detection sensor for detecting harmful gas in the air sucked into the casing,
The fan filter unit according to claim 1, wherein when the sensor detects the harmful gas, the switching means is switched so that the harmful gas in the air is filtered by the harmful gas filtration filter.

Providing a detection sensor for detecting harmful gas in the air sucked into the casing,
3. The fan filter unit according to claim 2, wherein when the sensor does not detect the harmful gas, the evacuating means retracts the harmful gas filtering filter.