JP2004177676A - Optical fiber washing device and washing method - Google Patents

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JP2004177676A JP2002343984A JP2002343984A JP2004177676A JP 2004177676 A JP2004177676 A JP 2004177676A JP 2002343984 A JP2002343984 A JP 2002343984A JP 2002343984 A JP2002343984 A JP 2002343984A JP 2004177676 A JP2004177676 A JP 2004177676A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical fiber washing device and washing method of simple configuration to eliminate the need for adjusting the holding position of an optical fiber in spite of a fluctuation in liquid level of a washing liquid and to prevent a fiber coating from being wet with the washing liquid even when used on a ship or the like which pitches and rolls. <P>SOLUTION: The optical fiber washing device in which the coating removing portion at the end of the glass-fiber cord or multiple optical fiber is immersed into the washing liquid to wash the fiber by ultrasonic vibrations is equipped with a float 25 to be floated within the washing liquid 23 in a washing tub 22 and a holding section 26 for immersing the coating removing portion 20 of the optical fiber 20 into the washing liquid and holding the same at the float 25. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ端部の被覆除去部分を洗浄液に浸して超音波振動により洗浄する光ファイバ洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ同士を融着接続する場合、光ファイバ端部の被覆を除去してガラスの裸ファイバを露出させ、被覆端から所定の長さになるようにカットし、次いで光ファイバの双方のカット端面を突き合せて加熱融着する。光ファイバの被覆を除去した後、通常、裸ファイバ表面の被覆除去の際の残り屑、作業時に付着する塵埃や微粒子を除去するために裸ファイバ表面を清掃あるいは洗浄する。この清掃が不充分であると、融着接続時の位置決めが正しく行なえなかったり、融着接続部に塵埃等が混入するというようなことがある。この結果、接続部の接続損失が増加あるいは接続強度が低下するというようなことになる。
【0003】
光ファイバ端部の被覆除去部分を、他の固体に触れずに洗浄する方法として、光ファイバ端部の被覆除去部分を洗浄液に浸して超音波振動により洗浄する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。図5は、前記特許文献1に開示されている光ファイバ洗浄装置の概略を説明する図である。図中、1は洗浄槽、2は支持基板、3はベースリング、4はホルダリング、5は中央要素、6は貫通孔、7は突起、8は光ガイド、9は調整リング、10はロックナット、11は洗浄液、12はファイバホルダ、12aはホルダベース、12bは押さえ蓋、13は光ファイバ(リボンファイバ)、13aは裸ファイバ、13bはファイバ被覆を示す。
【0004】
洗浄槽1は、円筒形の容器で形成され、上端のフランジ部1aをベースリング3とホルダリング4で挟んで洗浄装置の支持基板2に取付けられる。ホルダリング4内には中央要素5を摺動可能に配し、中央要素5の上端には調整リング9を回転可能に取付ける。調整リング9は、ホルダリング4に螺合されていて、回動することにより中央要素5を上下方向に摺動させる。また、ホルダリング4にはロックナット10が螺合されていて、このロックナット10を調整リング9の下端に当接させることにより、調整リング9の回転移動をロックする。
【0005】
中央要素5の中央には、上方側が広げられた貫通孔6が設けられ、この貫通孔6の下方には突起7が設けられている。また、中央要素5には、ガラス又はプラスチックの光ガイド8が取付けられている。洗浄槽1内に洗浄液11が入れられた状態で調整リング9が回動され、中央要素5の上下方向の位置調整が行なわれる。光ガイド8の下端8aが洗浄液11に接触したとき、光ガイド8の上面が暗くなるので、この位置で調整リング9の回動を停止する。次いで、ロックナット10を調整リング9の下端に当接するまで回動し調整位置をロックする。
【0006】
洗浄しようとする光ファイバ13の端部は、ファイバホルダ12により保持される。ファイバホルダ12は、ホルダベース12aに1対の押さえ蓋12bが開閉可能に設けた形状のもので、光ファイバ13は、押さえ蓋12bを閉じることにより固定される。光ファイバ13の先端は、ファイバ被覆13bを除去して所定長さの裸ファイバ13aが露出された形でファイバホルダ12に保持され、この状態で中央要素5の貫通孔6に挿入される。
【0007】
ファイバホルダ12の下端は、貫通孔6の下方に設けられた突起7に当たって挿入が停止され、ファイバ被覆13bの端部から露出する裸ファイバ13aを所定位置まで洗浄液11に浸すことができる。洗浄槽1には、超音波振動を付与する圧電振動手段(図示せず)が設けられていて、洗浄液11に振動を与え所定時間洗浄される。洗浄後、ファイバ被覆13bの端部から所定長さの裸ファイバ13aが露出するようにカットされ、次いで融着接続される。
【0008】
【特許文献1】
特開2000−180636号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような洗浄装置を用い、洗浄液11の液面を静止状態に保つことにより、ファイバ被覆13bには洗浄液11が接触しないようにして洗浄することはできる。しかし、例えば、海底光ケーブルの敷設、保守等で、洋上の船内で接続作業を行なうような場合、船の揺れによって洗浄装置自体が揺れを受ける。この場合、洗浄液11の液面レベルが上下に変動し、また、液面に波が発生しやすく、ファイバ被覆13bの端部分も洗浄液11で濡らされる。
【0010】
光ファイバ端部の洗浄液には、アセトンを用いる場合が多く、ファイバ被覆13bがアセトン等で濡れると膨潤しやすい。特に、光ファイバを高強度融着接続するような場合には、ファイバ被覆13bの端部分をクランプして位置決め等を行なうことから、ファイバ被覆13bが膨潤したりすると、精度の高い位置決めができなくなり、また、洗浄液は可燃性を有するため融着時の熱でファイバ被覆13bが燃えやすいという問題がある。したがって、ファイバ被覆13bには、洗浄液11が付着しないようにして洗浄する必要がある。
【0011】
しかしながら、図5に示す光ファイバ洗浄装置は、急な液面レベルの変動に対しての調整が難しく、揺れのある船上等で使用するのに適していない。また、洗浄液11は、消耗や蒸発で変化するが、液面レベルを常時監視し、液面レベルが一定になるように洗浄液11を補充するか又は調整リング9を回動して中央要素5の位置を調整する必要があり、作業性がよくない。なお、液面レベルをセンサで検出し自動調整する方法は考えられるが、装置が複雑で大型化するためコストの高いものとなる。
【0012】
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたもので、洗浄液の液面レベルが変動しても、光ファイバの保持位置の調整を必要とせず、揺れのある船上等で使用する場合にも、ファイバ被覆が洗浄液で濡らされない簡単な構成の光ファイバ洗浄装置と洗浄方法の提供を課題とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明による光ファイバ洗浄装置は、単心又は多心の光ファイバ端部の被覆除去部分を、洗浄液中に浸して超音波振動により洗浄する光ファイバ洗浄装置であって、洗浄槽内の洗浄液に浮かべるフロートを備え、フロートに光ファイバの被覆除去部分を洗浄液中に浸漬させて保持する保持部を設けたものである。
【0014】
また、本発明による光ファイバ洗浄方法は、単心又は多心の光ファイバ端部の被覆除去部分を、洗浄液中に浸して超音波振動により洗浄する光ファイバ洗浄方法であって、洗浄槽内の洗浄液にフロートを浮かべ、フロートに光ファイバ端部を保持させて光ファイバ端部の被覆除去部分を洗浄液中に浸漬するようにしたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の洗浄対象とする光ファイバは、融着接続する単心又は多心の光ファイバである。単心の光ファイバは、ガラスの裸ファイバの外面をファイバ被覆(1層又は2層)で被覆したもので、光ファイバ心線又は光ファイバ素線と称されている形態のものである。また、多心の光ファイバは、複数本の光ファイバ心線又は素線を、共通被覆で一体化した光ファイバテープ心線又はリボンファイバと称されているものである。
【0016】
図1は本発明の概略を説明する図で、図1(A)は洗浄装置の断面図、図1(B)及び図1(C)はファイバ保持の例を説明する図である。図中、20は光ファイバ、20aは裸ファイバ、20bはファイバ被覆、21はファイバホルダ、21aはホルダベース、21bは押さえ蓋、21cはヒンジ、21dは弾性部材、21eは突き出し片、22は洗浄槽、23は洗浄液、23aは液面、24は超音波発生器、25はフロート、26は保持部、26aは収納凹部、27は開口部、28は周壁を示す。
【0017】
光ファイバの融着接続に先立って、接続対象の光ファイバ20は、先端部のファイバ被覆20bを除去して所定長さの裸ファイバ20aが露出され、ファイバ被覆20bの端部分をファイバホルダ21等で把持する。ファイバホルダ21は、例えば、図1(B)に示すように、ホルダベース21aに押さえ蓋21bをヒンジ21cにより開閉可能に設けて構成される。押さえ蓋21bの内面には、ゴム等の弾性部材21dが配され、光ファイバ20に過度の圧力を加えることなく把持できるようにし、また、開閉面に吸着磁石(図示されず)を埋め込んで、把持状態を保持するようにされる。ファイバホルダ21は、特に外形的な形状に制限はなく、図1(C)に示すように、円形状又は楕円形状であってもよい。
【0018】
洗浄装置は、円形状又は矩形状の洗浄槽22に洗浄液23を入れ、圧電素子等からなる超音波発生器24で洗浄液23に超音波振動を生じさせ、洗浄液23に浸される光ファイバ20を洗浄するように構成される。洗浄液23の液面上にはフロート25を浮かせて配置する。フロート25は、アルミ等の軽金属又は合成樹脂等で形成され、フロート中央部又は適当な位置にファイバホルダ21を収納する保持部26が設けられ、フロート外周に上方に起立する周壁28が設けられている。
【0019】
保持部26には、ファイバホルダ21を上方から挿入して収納保持する収納凹部26aが形成され、洗浄液23が露出する小面積の開口部27と連通されている。収納凹部26aは、ファイバホルダ21が挿入しやすいようにテーパ状にしたり、ファイバホルダ21の外形に適合させた矩形状又は円形状に形成することができる。フロート25の外周の周壁28と洗浄槽22の側壁との隙間は、フロート25の上下動を妨げない程度の小さな隙間(例えば、1mm程度)となるように形成するのが望ましい。また、フロート25自体が軽量で十分な浮力を有する場合は、周壁28の高さを低くでき又は無くすこともできる。
【0020】
以上のように構成された洗浄装置で、光ファイバ20の露出された裸ファイバ20a部分を洗浄する場合、光ファイバ端部にファイバホルダ21を取付ける。次いで、ファイバホルダ21を保持部26の収納凹部26aに入れ、フロート25に載せる。ファイバホルダ21は、収納凹部26aの段部で位置決めされ、ファイバ被覆20bが除去された裸ファイバ20aは、フロート25に設けた開口部27を通して所定位置まで洗浄液23に浸され、洗浄される。
【0021】
図2及び図3は、本発明による洗浄装置の具体的な例を示す図である。図中、30はアダプタ、30aはアダプタベース、30bは支持部、30cはガイド部、30dは吸着磁石、30e,30fは切欠を示し、その他の符号は、図1で用いたのと同じ符号を用いることにより説明を省略する。
【0022】
この具体例は、ファイバホルダ21の保持にアダプタ30を用いて、フロート25に保持させる一例を示すものである。また、ファイバホルダ21として、光ファイバの被覆除去または切断あるいは接続に共通して使用される形状のものを用いることができる。ファイバホルダ21は、例えば、突き出し片21eを有する縦長のホルダベース21aに、2つの押さえ蓋21bをそれぞれヒンジ21cにより開閉可能に設けて形成されている。押さえ蓋21bの内面には、ゴム等の弾性部材21dが配され、光ファイバ20に過度の圧力を加えることなく把持できるようにされ、また、開閉面に吸着磁石(図示されず)を埋め込んで、把持状態を保持するように構成されている。
【0023】
光ファイバ20は、ファイバ被覆20bの部分を2つの押さえ蓋21bにより、ファイバホルダ21に確実に把持され、突き出し片21eの先端からわずかなファイバ被覆20bを残して、裸ファイバ20aが突き出るようにされる。このように構成されたファイバホルダ21を用いて光ファイバ20を把持させておくことにより、ファイバ被覆を除去し洗浄した後、光ファイバ20をファイバホルダ21から外すことなく露出した裸ファイバ20aを所定長さにカットし、そのまま融着接続装置にセットして融着接続を実施することができる。
【0024】
アダプタ30は、例えば、外周面が円形になるようにアダプタベース30aと支持部30bを一体構造で形成する。アダプタベース30aには、ファイバホルダ21の下半部を収納するガイド部30cが設けられ、支持部30bには吸着磁石30dを埋め込み、また、重量を軽減する切欠30e,30fが形成されている。ファイバホルダ21は、ガイド部30cと吸着磁石30dにより、アダプタ30に位置決めされて着脱可能に保持される。
【0025】
フロート25は、例えば、アルミ金属板等から絞り加工により中央部に小径の開口部27を有する円形カップ状で形成される。開口部27は、円筒状のパイプを上方に突き出るようにして形成され、この開口部27の上端には円筒状の保持部26が一体的に形成される。また、フロート25の周壁28は、保持部26と同心円状に形成される。洗浄槽22は、図3に示すように、上端部を多少大きくした円形カップ状に形成され、内部に洗浄液23が入れられる。フロート25の周壁28と洗浄槽22の側壁は、フロート25が自由に上下動できる程度のわずかな隙間を有している。
【0026】
以上のように構成された洗浄装置で、光ファイバ20の裸ファイバ20aを洗浄する場合、光ファイバ端部にファイバホルダ21を取付ける。このとき、ファイバ被覆20bの端部は、突き出し片21eの先端を基準にして、これに一致させるか又はわずかに突き出るようにして位置合わせを行なうとよい。次いで、ファイバホルダ21をアダプタ30に保持させ、アダプタ30をフロート25の保持部26の収納凹部26aに入れる。アダプタ30の外周面が円形に形成されている場合、保持部26に入れる際に、方向性を必要としないので作業性を向上させることができる。
【0027】
ファイバホルダ21は、アダプタ30を介して保持部26の収納凹部26aの段部で位置決めされ、ファイバ被覆20bが除去された裸ファイバ20aは、フロート25に設けた開口部27を通して洗浄液23に浸され、洗浄される。
【0028】
上述した図1及び図2,図3のいずれの例においても、洗浄液23の液面は、実質的にフロート25の下面の接触によって覆われ、外気に露出しているのは開口部27並びにフロート25の外周部と洗浄槽22との間に生じるわずかな隙間部分である。また、洗浄液23の液面レベル23aは、フロート25及びファイバホルダ21とアダプタ30の質量による浮力で決まり、ファイバホルダ21と液面レベル23aの相対距離は一定となる。すなわち、光ファイバ20のファイバ被覆20bの端部と洗浄液23の液面レベル23aとの相対距離が一定となる。
【0029】
したがって、洗浄液23の量が増減し液面レベル23aが変動しても、フロート25も同時に追従して、ファイバホルダ21と液面レベル23aの相対距離は変化しないので、図5で行なっていたような液面レベルの監視や、液面レベルの変化に伴うファイバホルダの位置調整は一切不要となる。このため、予め光ファイバ20のファイバ被覆20bが洗浄液23に触れないように、相対位置関係を設定しておけば、その後の作業においては、洗浄液23の増減に関わらず調整を行なうことなく所定範囲の裸ファイバ部分のみを洗浄することができる。
【0030】
また、上述した洗浄装置を船上のような揺れのある場所で使用する場合、洗浄装置自体も揺れを受け、洗浄液23に浮いて配置されるフロート25も揺れを受ける。しかし、洗浄のために露出される液面は、保持部26に連通して設けられた開口部27の開口面積部分であり、この開口面積は光ファイバ20が挿入される程度でよく、大きくする必要はない。
【0031】
したがって、開口部27の小面積部分では、実質的に波の発生はなく、あるとしても無視し得る程度に抑えられる。また、揺れによる洗浄液面の上下変動は生じるが、上述したようにフロート25も洗浄液面の上下変動に追従して一緒に変動するため、光ファイバ20のファイバ被覆20bと洗浄液面23aとの相対距離は変わらず一定に維持することができる。なお、開口部27をフロート25の中央部に設けることにより、急激な揺れによる液面の変動も小さくすることができる。さらに、フロート25の周壁28と洗浄槽20の隙間小さくし、また、周壁28の高さを大きくすることにより、フロート25の揺れ自体を抑えることができる。
【0032】
このため、予め光ファイバ20のファイバ被覆20bが洗浄液23に触れないように、相対位置関係を設定しておけば、洗浄装置に急激な揺れが加えられたとしても、ファイバ被覆20bに洗浄液23が付着するのを防止することができる。
【0033】
上述した洗浄装置は、露出する洗浄液面の面積を縮小することにより、液面が波立つのを抑えているので、洗浄槽22の容積も小形のものを用いることになる。しかし、洗浄槽の容積が小さいと、洗浄液の蒸発により洗浄液面の低下が早く、液面レベルの管理は不要といっても、洗浄液の汚濁で洗浄能力も低下するので交換頻度が多くなり、効率的な作業ができなくなる恐れがある。
【0034】
図4は、上述のような場合に対応できる容量の大きな洗浄槽の例を示す図である。図4(A)は洗浄槽の概略を示す図、図4(B)はフロートを配置した時の状態を示す図で、図中、23は洗浄液、25はフロート、25’はダミーフロート、31は洗浄槽、32は仕切板、33は区画室、34は開渠部を示す。
【0035】
洗浄槽31は図のように、例えば、比較的大型の矩形容器で形成し、この矩形容器内を仕切板32により複数の区画室33に分ける。仕切板32の下端は洗浄槽31の底壁31aから浮かせて開渠部34を設け、洗浄液23が隣合う区画室33間を自由に移動できるようにする。洗浄槽31を複数の区画室33に分けることにより、洗浄液23の露出面積を縮小することができ、船上での使用に際して、波の発生を抑制して洗浄液の収納容量を大きくすることが可能である。
【0036】
上記のように構成された洗浄槽31は、図4(B)に一例として示すように、区画室33に前述したフロート25を配置する。作業量によって複数の区画室33にフロート25を浮かべ、複数本の光ファイバの洗浄を同時に行なうことができる。使用しない区画室33には、ダミーフロート25’等を入れておくことにより、洗浄液23が蒸発や揺れによる遺漏により減少するのを抑制することができる。なお、ダミーフロート25’に代えて、単なる蓋状のものを用いてもよい。また、各区画室は、仕切壁を円筒状に形成して、円筒状の区画室を形成してもよく、洗浄槽31自体を円形の容器で形成してもよい。
【0037】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、洗浄液面にフロートを浮かせて光ファイバを保持させるだけの簡単な構成で、洗浄液面の変動に対して光ファイバの保持位置調整を行なう必要がなく、また、洗浄装置自体に揺れが生じても、ファイバ被覆を洗浄液で濡らすことなく洗浄することができ、作業者のスキルを必要とせずに作業性を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の概略を説明する図である。
【図2】本発明の光ファイバ保持の具体例を説明する図である。
【図3】本発明の具体例の洗浄形態を説明する図である。
【図4】本発明に用いる洗浄槽の他の例を説明する図である。
【図5】従来の洗浄装置の例を説明する図である。
【符号の説明】
20…光ファイバ、20a…裸ファイバ、20b…ファイバ被覆、21…ファイバホルダ、21a…ホルダベース、21b…押さえ蓋、21c…ヒンジ、21d…弾性部材、21e…突き出し片、22…洗浄槽、23…洗浄液、23a…液面、24…超音波発生器、25…フロート、25’…ダミーフロート、26…保持部、26a…収納凹部、27…開口部、28…周壁、30…アダプタ、30a…アダプタベース、30b…支持部、30c…ガイド部、30d…吸着磁石、30e,30f…切欠、31…洗浄槽、31a…底壁、32…仕切板、33…区画室、34…開渠部。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical fiber cleaning apparatus and a cleaning method for immersing a coating removal portion at an end of an optical fiber in a cleaning liquid and cleaning the same by ultrasonic vibration.
[0002]
[Prior art]
When the optical fibers are fusion-spliced, the coating at the end of the optical fiber is removed to expose the bare glass fiber, cut to a predetermined length from the coated end, and then both cut end faces of the optical fiber are cut. And heat-sealed. After the coating of the optical fiber is removed, the bare fiber surface is usually cleaned or washed to remove debris from the coating removal on the bare fiber surface, dust and fine particles attached during operation. If the cleaning is insufficient, positioning at the time of fusion splicing may not be performed correctly, or dust or the like may enter the fusion spliced portion. As a result, the connection loss of the connection portion increases or the connection strength decreases.
[0003]
As a method of cleaning the coating removal portion of the optical fiber end without touching other solids, there is known a method of immersing the coating removal portion of the optical fiber end in a cleaning liquid and cleaning by ultrasonic vibration (for example, Patent Document 1). FIG. 5 is a diagram schematically illustrating the optical fiber cleaning device disclosed in Patent Document 1. In the drawing, 1 is a cleaning tank, 2 is a support substrate, 3 is a base ring, 4 is a holder ring, 5 is a central element, 6 is a through hole, 7 is a projection, 8 is a light guide, 9 is an adjustment ring, and 10 is a lock. A nut, 11 is a cleaning liquid, 12 is a fiber holder, 12a is a holder base, 12b is a holding lid, 13 is an optical fiber (ribbon fiber), 13a is a bare fiber, and 13b is a fiber coating.
[0004]
The cleaning tank 1 is formed of a cylindrical container, and is attached to the support substrate 2 of the cleaning device with the upper flange portion 1a interposed between the base ring 3 and the holder ring 4. A central element 5 is slidably arranged in the holder ring 4 and an adjusting ring 9 is rotatably mounted on the upper end of the central element 5. The adjustment ring 9 is screwed to the holder ring 4 and slides the central element 5 in the vertical direction by rotating. Further, a lock nut 10 is screwed into the holder ring 4, and the rotational movement of the adjustment ring 9 is locked by bringing the lock nut 10 into contact with the lower end of the adjustment ring 9.
[0005]
In the center of the central element 5, a through hole 6 whose upper side is widened is provided, and a projection 7 is provided below the through hole 6. Also mounted on the central element 5 is a glass or plastic light guide 8. The adjustment ring 9 is rotated while the cleaning liquid 11 is contained in the cleaning tank 1, and the vertical position of the central element 5 is adjusted. When the lower end 8a of the light guide 8 comes into contact with the cleaning liquid 11, the upper surface of the light guide 8 becomes dark, and the rotation of the adjustment ring 9 is stopped at this position. Next, the lock nut 10 is rotated until it comes into contact with the lower end of the adjustment ring 9 to lock the adjustment position.
[0006]
The end of the optical fiber 13 to be cleaned is held by the fiber holder 12. The fiber holder 12 has a shape in which a pair of holding lids 12b are provided on a holder base 12a so as to be openable and closable, and the optical fiber 13 is fixed by closing the holding lid 12b. The distal end of the optical fiber 13 is held by the fiber holder 12 in such a manner that the bare fiber 13a having a predetermined length is exposed by removing the fiber coating 13b, and is inserted into the through hole 6 of the central element 5 in this state.
[0007]
The lower end of the fiber holder 12 hits the projection 7 provided below the through-hole 6 to stop the insertion, and the bare fiber 13a exposed from the end of the fiber coating 13b can be immersed in the cleaning liquid 11 to a predetermined position. The cleaning tank 1 is provided with a piezoelectric vibrating means (not shown) for applying ultrasonic vibration, and the cleaning liquid 11 is vibrated to be cleaned for a predetermined time. After the washing, the bare fiber 13a having a predetermined length is cut from the end of the fiber coating 13b so as to be exposed, and then fusion-spliced.
[0008]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-180636
[Problems to be solved by the invention]
By using the above-described cleaning apparatus and keeping the level of the cleaning liquid 11 at rest, the cleaning can be performed without the cleaning liquid 11 coming into contact with the fiber coating 13b. However, for example, in a case where connection work is performed in a ship on the sea at the time of laying or maintaining a submarine optical cable, the washing device itself is shaken by the shake of the ship. In this case, the liquid level of the cleaning liquid 11 fluctuates up and down, and a wave is easily generated on the liquid surface.
[0010]
Acetone is often used as the cleaning solution for the end of the optical fiber, and the fiber coating 13b easily swells when wet with acetone or the like. In particular, when an optical fiber is to be fusion spliced with high strength, positioning and the like are performed by clamping the end portion of the fiber coating 13b. If the fiber coating 13b swells, accurate positioning cannot be performed. In addition, since the cleaning liquid has flammability, there is a problem that the fiber coating 13b is easily burned by heat at the time of fusion. Therefore, it is necessary to clean the fiber coating 13b so that the cleaning liquid 11 does not adhere to the fiber coating 13b.
[0011]
However, the optical fiber cleaning apparatus shown in FIG. 5 is difficult to adjust to sudden fluctuations in the liquid level, and is not suitable for use on a swaying ship or the like. Although the cleaning liquid 11 changes due to consumption and evaporation, the liquid level is constantly monitored, and the cleaning liquid 11 is replenished or the adjusting ring 9 is rotated so as to keep the liquid level constant. It is necessary to adjust the position, and the workability is not good. Note that a method of automatically adjusting the liquid level by detecting the liquid level with a sensor is conceivable, but the apparatus is complicated and large, so that the cost is high.
[0012]
The present invention has been made in view of the above circumstances, even if the liquid level of the cleaning liquid fluctuates, does not require adjustment of the holding position of the optical fiber, even when used on a swaying ship or the like, An object of the present invention is to provide an optical fiber cleaning apparatus and a cleaning method having a simple configuration in which a fiber coating is not wetted by a cleaning liquid.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
An optical fiber cleaning apparatus according to the present invention is an optical fiber cleaning apparatus that cleans a coating removal portion of a single-core or multi-core optical fiber end by immersing it in a cleaning liquid and ultrasonically vibrating the cleaning liquid in the cleaning tank. A float is provided, and a holding section is provided on the float to hold a portion where the coating of the optical fiber is removed by immersing the portion in a cleaning liquid.
[0014]
Further, the optical fiber cleaning method according to the present invention is an optical fiber cleaning method in which a coating removal portion of a single-core or multi-core optical fiber end portion is immersed in a cleaning liquid and cleaned by ultrasonic vibration, and The float is floated on the cleaning liquid, the end of the optical fiber is held on the float, and the coating removed portion of the end of the optical fiber is immersed in the cleaning liquid.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The optical fiber to be cleaned according to the present invention is a single-core or multi-core optical fiber to be fusion spliced. The single-core optical fiber is obtained by coating the outer surface of a bare glass fiber with a fiber coating (one or two layers), and is in a form called an optical fiber core or an optical fiber. In addition, the multi-core optical fiber is referred to as an optical fiber tape or ribbon fiber in which a plurality of optical fiber cores or strands are integrated with a common coating.
[0016]
FIG. 1 is a view for explaining the outline of the present invention. FIG. 1 (A) is a sectional view of a cleaning apparatus, and FIGS. 1 (B) and 1 (C) are views for explaining an example of fiber holding. In the figure, 20 is an optical fiber, 20a is a bare fiber, 20b is a fiber coating, 21 is a fiber holder, 21a is a holder base, 21b is a holding lid, 21c is a hinge, 21d is an elastic member, 21e is a protruding piece, and 22 is cleaning. A tank, 23 is a cleaning liquid, 23a is a liquid surface, 24 is an ultrasonic generator, 25 is a float, 26 is a holding part, 26a is a storage recess, 27 is an opening, and 28 is a peripheral wall.
[0017]
Prior to fusion splicing of the optical fiber, the optical fiber 20 to be connected is stripped of the fiber coating 20b at the distal end to expose a bare fiber 20a of a predetermined length, and the end of the fiber coating 20b is connected to the fiber holder 21 or the like. Hold with. As shown in FIG. 1B, for example, the fiber holder 21 is configured such that a holding lid 21b is provided on a holder base 21a so as to be opened and closed by a hinge 21c. An elastic member 21d such as rubber is disposed on the inner surface of the holding lid 21b so that the optical fiber 20 can be gripped without applying an excessive pressure, and an attraction magnet (not shown) is embedded in the opening / closing surface. The holding state is maintained. The outer shape of the fiber holder 21 is not particularly limited, and may be a circular shape or an elliptical shape as shown in FIG.
[0018]
The cleaning device puts the cleaning liquid 23 into a circular or rectangular cleaning tank 22, generates ultrasonic vibrations in the cleaning liquid 23 with an ultrasonic generator 24 composed of a piezoelectric element or the like, and cleans the optical fiber 20 immersed in the cleaning liquid 23. It is configured to be washed. The float 25 is placed above the surface of the cleaning liquid 23. The float 25 is formed of a light metal such as aluminum or a synthetic resin, and is provided with a holding portion 26 for accommodating the fiber holder 21 at a central portion or an appropriate position of the float, and a peripheral wall 28 standing upright on the outer periphery of the float. I have.
[0019]
The holding portion 26 is formed with a storage recess 26 a for inserting and holding the fiber holder 21 from above, and communicates with the small-area opening 27 from which the cleaning liquid 23 is exposed. The storage recess 26 a can be tapered so that the fiber holder 21 can be easily inserted, or can be formed in a rectangular or circular shape adapted to the outer shape of the fiber holder 21. The gap between the peripheral wall 28 of the outer periphery of the float 25 and the side wall of the cleaning tank 22 is desirably formed to be a small gap (for example, about 1 mm) that does not hinder the vertical movement of the float 25. When the float 25 itself is lightweight and has sufficient buoyancy, the height of the peripheral wall 28 can be reduced or eliminated.
[0020]
When the exposed bare fiber 20a of the optical fiber 20 is cleaned by the cleaning device configured as described above, the fiber holder 21 is attached to the end of the optical fiber. Next, the fiber holder 21 is put in the storage recess 26 a of the holding unit 26, and placed on the float 25. The fiber holder 21 is positioned at the step of the storage recess 26a, and the bare fiber 20a from which the fiber coating 20b has been removed is immersed in the cleaning liquid 23 to a predetermined position through the opening 27 provided in the float 25, and is washed.
[0021]
2 and 3 are views showing specific examples of the cleaning device according to the present invention. In the figure, 30 is an adapter, 30a is an adapter base, 30b is a support portion, 30c is a guide portion, 30d is an attraction magnet, 30e and 30f are notches, and other symbols are the same symbols as used in FIG. The description is omitted by using this.
[0022]
This specific example shows an example in which the fiber holder 21 is held by the float 25 using the adapter 30. Further, as the fiber holder 21, one having a shape commonly used for removing or cutting or connecting an optical fiber can be used. The fiber holder 21 is formed, for example, on a vertically long holder base 21a having a protruding piece 21e, and provided with two holding lids 21b which can be opened and closed by hinges 21c. An elastic member 21d made of rubber or the like is arranged on the inner surface of the holding lid 21b so that the optical fiber 20 can be gripped without applying excessive pressure, and an attraction magnet (not shown) is embedded in the opening / closing surface. It is configured to hold a gripping state.
[0023]
The optical fiber 20 is securely gripped by the fiber holder 21 at the portion of the fiber coating 20b by the two holding lids 21b, and the bare fiber 20a is projected from the tip of the protruding piece 21e, leaving a slight fiber coating 20b. You. By holding the optical fiber 20 using the fiber holder 21 configured as described above, after removing the fiber coating and washing, the bare fiber 20a exposed without removing the optical fiber 20 from the fiber holder 21 is removed. It can be cut to length and set as it is in a fusion splicing device to perform fusion splicing.
[0024]
In the adapter 30, for example, the adapter base 30a and the support portion 30b are formed in an integral structure so that the outer peripheral surface is circular. The adapter base 30a is provided with a guide part 30c for accommodating the lower half of the fiber holder 21, and the support part 30b is formed with notches 30e and 30f for embedding the attraction magnet 30d and reducing the weight. The fiber holder 21 is positioned by the adapter 30 by the guide portion 30c and the attraction magnet 30d, and is detachably held.
[0025]
The float 25 is formed, for example, by drawing from an aluminum metal plate or the like into a circular cup shape having a small-diameter opening 27 at the center. The opening 27 is formed so as to protrude upward from a cylindrical pipe, and a cylindrical holding portion 26 is integrally formed at an upper end of the opening 27. The peripheral wall 28 of the float 25 is formed concentrically with the holding portion 26. As shown in FIG. 3, the cleaning tank 22 is formed in a circular cup shape with an upper end slightly enlarged, and a cleaning liquid 23 is filled therein. The peripheral wall 28 of the float 25 and the side wall of the cleaning tank 22 have a slight gap such that the float 25 can freely move up and down.
[0026]
When cleaning the bare fiber 20a of the optical fiber 20 with the cleaning apparatus configured as described above, the fiber holder 21 is attached to the end of the optical fiber. At this time, the end of the fiber coating 20b may be aligned with the tip of the protruding piece 21e as a reference or made to slightly protrude. Next, the fiber holder 21 is held by the adapter 30, and the adapter 30 is inserted into the storage recess 26 a of the holding portion 26 of the float 25. In the case where the outer peripheral surface of the adapter 30 is formed in a circular shape, no directionality is required when the adapter 30 is inserted into the holding portion 26, so that workability can be improved.
[0027]
The fiber holder 21 is positioned at the step of the storage recess 26 a of the holding unit 26 via the adapter 30, and the bare fiber 20 a from which the fiber coating 20 b has been removed is immersed in the cleaning liquid 23 through the opening 27 provided in the float 25. , Will be washed.
[0028]
1 and FIGS. 2 and 3, the liquid level of the cleaning liquid 23 is substantially covered by the contact of the lower surface of the float 25, and is exposed to the outside air only at the opening 27 and the float. This is a slight gap created between the outer periphery of the cleaning tank 25 and the cleaning tank 22. The liquid level 23a of the cleaning liquid 23 is determined by the buoyancy caused by the mass of the float 25, the fiber holder 21 and the adapter 30, and the relative distance between the fiber holder 21 and the liquid level 23a is constant. That is, the relative distance between the end of the fiber coating 20b of the optical fiber 20 and the liquid level 23a of the cleaning liquid 23 becomes constant.
[0029]
Therefore, even if the amount of the cleaning liquid 23 increases and decreases and the liquid level 23a fluctuates, the float 25 follows at the same time and the relative distance between the fiber holder 21 and the liquid level 23a does not change, as shown in FIG. There is no need to monitor the liquid level or adjust the position of the fiber holder in response to a change in the liquid level. For this reason, if the relative positional relationship is set in advance so that the fiber coating 20b of the optical fiber 20 does not touch the cleaning liquid 23, in a subsequent operation, the adjustment is performed within a predetermined range without adjustment regardless of the increase or decrease of the cleaning liquid 23. Only the bare fiber portion can be washed.
[0030]
In addition, when the above-described cleaning device is used in a place where there is shaking such as on a ship, the washing device itself also undergoes shaking, and the float 25 that is arranged floating on the washing liquid 23 also undergoes shaking. However, the liquid surface exposed for cleaning is the opening area of the opening 27 provided in communication with the holding section 26, and this opening area is sufficient to insert the optical fiber 20, and is increased. No need.
[0031]
Therefore, substantially no wave is generated in the small area portion of the opening 27, and it is suppressed to a negligible level, if any. Also, although the vertical fluctuation of the cleaning liquid surface due to the shaking occurs, the float 25 also fluctuates together with the vertical fluctuation of the cleaning liquid surface as described above, so that the relative distance between the fiber coating 20b of the optical fiber 20 and the cleaning liquid surface 23a. Can be maintained constant without change. By providing the opening 27 at the center of the float 25, fluctuations in the liquid level due to sudden shaking can be reduced. Further, by reducing the gap between the peripheral wall 28 of the float 25 and the cleaning tank 20 and increasing the height of the peripheral wall 28, the swing itself of the float 25 can be suppressed.
[0032]
For this reason, if the relative positional relationship is set in advance so that the fiber coating 20b of the optical fiber 20 does not touch the cleaning liquid 23, the cleaning liquid 23 is applied to the fiber coating 20b even if the cleaning device is suddenly shaken. Adhesion can be prevented.
[0033]
In the above-described cleaning apparatus, the area of the exposed cleaning liquid surface is reduced to prevent the liquid surface from waving, so that the cleaning tank 22 has a small volume. However, if the volume of the cleaning tank is small, the level of the cleaning liquid drops rapidly due to evaporation of the cleaning liquid, and even though it is not necessary to control the liquid level, the cleaning capacity decreases due to the contamination of the cleaning liquid, so the frequency of replacement increases, and the efficiency increases. Work may become impossible.
[0034]
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a cleaning tank having a large capacity that can cope with the above-described case. FIG. 4 (A) is a view schematically showing a cleaning tank, and FIG. 4 (B) is a view showing a state in which a float is arranged. In the figure, reference numeral 23 denotes a cleaning liquid, 25 denotes a float, 25 ′ denotes a dummy float, and 31 ′. Denotes a washing tank, 32 denotes a partition plate, 33 denotes a compartment, and 34 denotes an open channel part.
[0035]
As shown in the figure, the cleaning tank 31 is formed of, for example, a relatively large rectangular container, and the inside of the rectangular container is divided into a plurality of compartments 33 by a partition plate 32. The lower end of the partition plate 32 is floated from the bottom wall 31a of the washing tank 31 to provide an open channel section 34 so that the washing liquid 23 can freely move between the adjacent compartments 33. By dividing the cleaning tank 31 into a plurality of compartments 33, the exposed area of the cleaning liquid 23 can be reduced, and when used on a ship, generation of waves can be suppressed and the storage capacity of the cleaning liquid can be increased. is there.
[0036]
In the cleaning tank 31 configured as described above, the float 25 described above is disposed in the compartment 33 as shown as an example in FIG. The float 25 can be floated in the plurality of compartments 33 depending on the amount of work, and the plurality of optical fibers can be washed at the same time. By placing the dummy float 25 ′ or the like in the unused compartment 33, it is possible to prevent the washing liquid 23 from decreasing due to leakage due to evaporation or shaking. It should be noted that instead of the dummy float 25 ', a simple lid-shaped thing may be used. In each compartment, the partition wall may be formed in a cylindrical shape to form a cylindrical compartment, or the cleaning tank 31 itself may be formed of a circular container.
[0037]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, with a simple configuration in which the float is floated on the cleaning liquid surface to hold the optical fiber, there is no need to adjust the holding position of the optical fiber with respect to the fluctuation of the cleaning liquid surface, and Even if the cleaning device itself shakes, the fiber coating can be cleaned without getting wet with the cleaning liquid, and the workability can be greatly improved without requiring the skill of the operator.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating an outline of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a specific example of holding an optical fiber according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a cleaning mode according to a specific example of the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating another example of the cleaning tank used in the present invention.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a conventional cleaning device.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 20: optical fiber, 20a: bare fiber, 20b: fiber coating, 21: fiber holder, 21a: holder base, 21b: holding lid, 21c: hinge, 21d: elastic member, 21e: projecting piece, 22: cleaning tank, 23 ... cleaning liquid, 23a ... liquid surface, 24 ... ultrasonic generator, 25 ... float, 25 '... dummy float, 26 ... holding part, 26a ... storage concave part, 27 ... opening part, 28 ... peripheral wall, 30 ... adapter, 30a ... Adapter base, 30b: support, 30c: guide, 30d: attracting magnet, 30e, 30f: notch, 31: washing tank, 31a: bottom wall, 32: partition, 33: compartment, 34: open channel.

Claims (10)

単心又は多心の光ファイバ端部の被覆除去部分を、洗浄液中に浸して超音波振動により洗浄する光ファイバ洗浄装置であって、洗浄槽内の洗浄液に浮かべるフロートを備え、前記フロートに前記光ファイバ端部の被覆除去部分を前記洗浄液中に浸漬させて保持する保持部を設けたことを特徴とする光ファイバ洗浄装置。An optical fiber cleaning apparatus for immersing a coating removal portion of a single-core or multi-core optical fiber end portion in a cleaning solution and cleaning it by ultrasonic vibration, comprising a float floating on a cleaning solution in a cleaning tank, wherein the float An optical fiber cleaning apparatus, further comprising: a holding portion for immersing a coating removal portion at an end of the optical fiber in the cleaning liquid to hold the portion. 前記フロートの中心部に洗浄液を露出させる筒状の開口部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to claim 1, wherein a cylindrical opening for exposing a cleaning liquid is provided at a center of the float. 前記フロートの外周は、前記洗浄槽の内壁との間にわずかな隙間が生じる形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to claim 1, wherein an outer circumference of the float has a shape in which a slight gap is formed between the float and an inner wall of the cleaning tank. 前記保持部は、光ファイバを長手方向に把持するファイバホルダを着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to claim 1, wherein the holding unit is configured to detachably hold a fiber holder that holds the optical fiber in a longitudinal direction. 前記保持部は、光ファイバを長手方向に把持する把持具を固定するアダプタを着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to claim 1, wherein the holding unit is configured to detachably hold an adapter that fixes a holding tool that holds the optical fiber in a longitudinal direction. 前記光ファイバを長手方向に把持するファイバホルダは、光ファイバの被覆除去または切断あるいは接続に共通して使用される形状のものであることを特徴とする請求項4又は5に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning device according to claim 4, wherein the fiber holder for gripping the optical fiber in the longitudinal direction has a shape commonly used for removing, cutting, or connecting the optical fiber. apparatus. 前記アダプタの外形が円形であることを特徴とする請求項5に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to claim 5, wherein the outer shape of the adapter is circular. 前記洗浄槽は、仕切壁で複数の区画室に分けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光ファイバ洗浄装置。The optical fiber cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the cleaning tank is divided into a plurality of compartments by a partition wall. 単心又は多心の光ファイバ端部の被覆除去部分を、洗浄液中に浸して超音波振動により洗浄する光ファイバ洗浄方法であって、洗浄槽内の洗浄液にフロートを浮かべ、前記フロートに前記光ファイバ端部を保持させて前記光ファイバ端部の被覆除去部分を前記洗浄液中に浸漬することを特徴とする光ファイバ洗浄方法。An optical fiber cleaning method of immersing a coating removal portion of a single-core or multi-core optical fiber end portion in a cleaning solution and cleaning it by ultrasonic vibration, wherein a float is floated on a cleaning solution in a cleaning tank, and the light is applied to the float. An optical fiber cleaning method, comprising holding a fiber end portion and immersing a coating removal portion of the optical fiber end portion in the cleaning liquid. 前記フロートの中心部に設けた洗浄液を露出させる筒状の開口部で、前記被覆除去部分を前記洗浄液中に浸漬することを特徴とする請求項9に記載の光ファイバ洗浄方法。The optical fiber cleaning method according to claim 9, wherein the coating-removed portion is immersed in the cleaning liquid at a cylindrical opening provided at the center of the float and exposing the cleaning liquid.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112238098A (en) * 2020-09-09 2021-01-19 黄宏琪 Method for cleaning high-purity aluminum trichloride tray for vapor phase method
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