【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体表面を伝播する弾性表面波の干渉を利用して、液膜の流動を制御する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波は、弾性体（固体）の表面に沿って伝播する弾性波で、工業的には、
主に電子情報通信機器における広帯域フィルターなどの弾性表面波デバイスに応用されている。
一方、弾性表面波の力学的作用に関する研究も広く行われている。弾性表面波モータはその成果の一つで、これに関する提案も多い（例えば、特開平７−２３１６８５号公報など）。弾性表面波モータは、弾性表面波の伝播により（伝播方向とは逆方向に）生じる固体表面の局所的楕円運動を利用して、その表面に加圧接触される移動体を摩擦力により駆動するものである。
【０００３】
このように固体を駆動する弾性表面波モータは現在広く利用されているが、弾性表面波により液体を駆動しようとする試みも提案されている。例えば、特開平１０−３２７５９０号公報には、固体（例えば圧電基板）表面を伝播する弾性表面波のうちレーリー波は、固体表面の液体中に縦波を放射することから、そのエネルギーにより液滴を弾性表面波の進行方向に駆動しようとする弾性表面波アクチュエータが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
固体表面に形成された液膜を、弾性表面波により効率良く駆動することが可能であれば、塗料等の液膜の流動性の改善や液膜中の微小物質のハンドリングの手段として、非常に有用であると考えられる。
とくに、近年バイオテクノロジーの分野で、マイクロマニピュレーションの必要性が高まっており、各種のマイクロアクチュエータやレーザーピンセットなどが開発・実用化されている。したがって、上述のように弾性表面波による液膜の駆動が可能であれば、液体中の微小生体物質のハンドリングに新たな要素技術を加えるものとして、その期待は大きい。
【０００５】
固体表面を弾性表面波が伝播するとき、表面波の振幅に対応する微小な凹凸が固体表面に生じ、それが波とともに移動する。その微小な凹凸が表面に接する液体に何らかの作用を及ぼすことが考えられる。しかしながら、弾性表面波の伝播速度はきわめて速いため、固体表面の変化に液体が追随できない可能性が大きい。
すなわち、単一モードの弾性表面波では、表面波と液体の間に見掛け上何の相互作用も現われないか、相互作用があっても、駆動の効率はきわめて低いものになることが予想される。
そこで本発明は、固体表面に形成された液膜を、弾性表面波の干渉を利用して効率良く駆動する手段を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、
中央付近に駆動対象の液膜が形成された基板の該液膜を挟んで対向する位置に、相互に発振周波数の異なる一対の弾性表面波発生源を配し、両発生源からの弾性表面波の干渉により生じるうなりの進行波により、前記液膜を特定方向へ流動させることを特徴とする液膜の流動制御方法である。
【０００７】
二つの波の干渉により生じるうなりの波の周期は、もとの波の周期より大幅に長い。したがって、単一モードの弾性表面波では、固体表面の変化に液体が追随できないのに対して、相互に周波数の異なる弾性表面波の干渉によるうなりの進行波を利用すれば、固体表面の変化に液体が追随できるようになり、液膜を波の進行方向に駆動することが可能となる。
【０００８】
また、二つの波の周波数の差が小さいほど、うなりの波の周波数が小さくなり、
進行速度が遅くなるため、固体表面の変化に液体が追随し易くなる。その反面、周波数差が小さくなりすぎるど、液体を駆動する力も弱くなると考えられる。
【０００９】
したがって、本発明においては、二つの表面弾性波の周波数差を適切に選択することが重要となる。すなわち、上記一対の弾性表面波発生源の発振周波数の差Δｆ＝ｆ１−ｆ２（ここで、ｆ１は液膜の駆動方向上流側発生源の周波数、ｆ２は下流側発生源の周波数である）を０．２〜１００Ｈｚの範囲内にすることが好ましく、より好ましくは、この値を０．２〜１０Ｈｚの範囲内とする。
【００１０】
また、本発明は、上記の方法に用いられる装置であって、中央付近に駆動対象の液膜が形成された基板と、該液膜を挟んで対向する位置に配された相互に発振周波数の異なる一対の弾性表面波発生源を有する液膜の流動制御装置を含む。上記の装置は、さらに前記弾性表面波発生源のいずれか一方又は双方の発振周波数を可変に制御する手段を有するものであってもよい。
【００１１】
本発明において、上記の弾性表面波発生源は、（ａ）圧電材料の基板にすだれ状電極（ＩＤＦ，Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ）を設ける方法、（ｂ）非圧電材料に圧電材料を被覆し、これにＩＤＦを設ける方法、（ｃ）非圧電材料の基板を用い、これと独立な超音波発生源で加振（縦波を入射）して、弾性表面波にモード変換する方法などのいずれによるものであってもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態および実施例】
以下、実施例に基づいて本発明の実施の形態および効果について説明する。本実施例において、弾性表面波の発生は、非圧電材料の基板に振動子から超音波を入射し、いわゆるくさび形変換器により縦波を弾性表面波にモード変換する方法によった。
【００１３】
図１は、本実施例で用いた実験装置の構成を示す図である。同図において、１は基板、２ａ，２ｂは超音波発振の振動子、３ａ，３ｂは変換器、４ａ，４ｂは増幅器、５は波形電圧発生装置、６は液膜、７は液膜の水槽、８は観察用のディジタルビデオ（ＤＶ）カメラである。
【００１４】
基板１は、アルミニウムの板で、その形状・寸法を図２に示す。振動子２ａ，２ｂには、２０×５０ｍｍの大きさの圧電セラミックスの板（冨士セラミックス社製、材質Ｃ−２１３）を用い、エポキシ系接着剤で基板１に接着した。この振動子に高周波電圧を印加すれば、圧電セラミックス板の厚み方向の振動により、基板１に超音波振動が付与される。
【００１５】
変換器３ａ，３ｂは、振動子２ａ，２ｂに対応する位置において基板１の上面に形成された、断面が鋸歯状で、基板１の幅方向に延在する多数の溝からなっている。溝の側面の一方（基板の端部側の壁面）は垂直で、反対側の壁面が４５度の傾斜になっている。なお、溝の幅は約１波長に相当する長さとし、それぞれ１０波長分の溝を形成した。基板に入射された超音波の縦波は、この変換器で基板の中央方向に伝播する弾性表面波にモード変換される。
【００１６】
本実施例において、超音波の周波数は圧電セラミックスの共振周波数に近い１．
０９８ＭＨｚとした。この装置で発生する弾性表面波の音速を実測したところ、２．６４ｋｍ／ｓであった。この値は文献値の約２．８５ｋｍ／ｓに近いことから、弾性表面波が発生していることが確認された。
【００１７】
増幅器４ａ，４ｂには、市販の広帯域高周波電力増幅器を用いた。これは０．１から３０ＭＨｚの周波数において、１０Ｗ以上の出力を得ることができるものである。また、波形電圧発生装置（ファンクションジェネレーター）５には、横河電機（株）製のＦＧ１２０を用いた。これは、二つの出力をもち、二つの発信信号の位相差を設定することができ、どんな状態から発信させても信号の位相差がずれないという特徴をもつものである。これを用いることにより、二つの振動子２ａ，２ｂの発振周波数の差を、きわめて高い精度で設定することが可能であった。
【００１８】
本実施例においては、実験の再現性を高めるため、液膜の状態を一定にする手段として、水槽７を用いた。すなわち、図３に示すように、内側の寸法が４０×６ｍｍ、高さ２ｍｍのシリコンラバーからなる底面の無い枠（水は直接基板に接触）を基板に貼り付け、その中の水の流動を観察した。実験開始時の液膜６の厚みを一定にするため、メスピペットで正確に計量した水６９０ｍｍ３（０．６９ＣＣ）を水槽に供給した。弾性表面波により基板表面の液膜が駆動されれば、図３の矢印で示すように、水槽７内に循環流が生じることになる。
【００１９】
液膜の流動状態を定量評価するため、図３に示すように、水性の絵具９をあらかじめ水槽７の中央付近の基板１の表面に付着させ、溶け出す絵具の移動をＤＶカメラ８で撮影した。図４は、実験（弾性表面波による液膜の駆動）開始前後の絵具の状態を示す模式図で、図４に示す測定距離をもって、絵具の移動距離とした。
上記のような方法で、液膜流動の様子を観察するとともに、対向する弾性表面波発生源の発振周波数の差が液膜の流動に与える影響を調べた。なお、実験の再現性を確認するために、それぞれの条件下で繰り返し３回の実験を行なった。
【００２０】
図５に、絵具の流動方向を調べた結果の例を示す。二つの弾性表面波発生源の発振周波数の差が１Ｈｚの場合で、周波数が高い方から低い方への絵具の流動をＣｈ１→Ｃｈ２で表し、その逆方向への流動をＣｈ１←Ｃｈ２で表している。図に見られるように、Ｃｈ１←Ｃｈ２の方向の流動はほとんどなく（静止時の拡散程度）、６０秒の間にＣｈ１→Ｃｈ２の方向に７〜１２ｍｍ程度流動することが分かる。二つの弾性表面波の干渉により生じるうなりの進行方向は、Ｃｈ１→Ｃｈ２の方向であるから、上記の結果は、液膜がうなりの進行波により駆動されることを支持するものである。
【００２１】
図６に、絵具の流動距離に及ぼす周波数差の影響を調べた結果の例を示す。同図は、６０秒後の絵具の移動距離を周波数差に対してプロットしたものである。両発生源の周波数差が無い時、絵具はほとんど移動しない。周波数差が大きくなるにつれて、絵具の移動距離は大きくなり、約１Ｈｚの時に最大となったのち、徐々に小さくなっているのが分かる。
【００２２】
上記のような結果になる理由を考察してみると、周波数差が比較的小さいとき（１．０Ｈｚ以下）、周波数差が大きくなるに従いうねりの伝播速度も速くなるが、そのうなりに駆動される流動も大きくなるためと考えられる。しかし、周波数差がさらに大きくなると、液体の流動速度がうなりの伝播速度に追随できなくなり、流動が起こりにくくなったものと考えられる。
【００２３】
以上の結果から、弾性表面波の干渉を利用しなければ（単一モードの弾性表面波では）液膜の流動を引き起こすのが難しいこと、および両発生源の周波数差を変えることで、液膜の流動を制御し得る可能性が確認された。なお、本実施例では、周波数ｆが約１ＭＨｚのとき、好ましい周波数差Δｆは０．２〜１００Ｈｚ（より好ましくは０．２〜１０Ｈｚ）であった。
【００２４】
本発明において、弾性表面波の発生源は、本実施例以外の方法、例えば圧電体の基板又は圧電体を被覆した基板に、一対のＩＤＦを設けて弾性表面波を発生させるような方法であってもよい。また、非圧電体の基板に超音波を入射する場合の、超音波発生手段、加振手段、縦波を弾性表面波にモード変換させる手段（変換器の構造、形状）等も、本実施例の方法に限定されるものではない。また、非圧電体の基板材料としては、超音波が伝わる固体（例えば、アルミ、鉄などの通常の金属、ガラスなどのセラミックスその他の無機材料等）のいずれであってもよい。
【００２５】
さらに、弾性表面波の周波数も、基板や振動子の特性を考慮して、弾性表面波の発生が容易な周波数範囲を選択すればよい。また、駆動対象の液膜と弾性表面波の発生源との位置関係も、両発生源の間で干渉波が生成する範囲内であれば、とくに限定を要しない。
【００２６】
【発明の効果】
本発明により、固体表面に形成された液膜を、弾性表面波の干渉を利用して効率良く駆動することが可能となった。本発明は、液膜の流動性の改善や液膜中の微小物質（とくに微小生体物質）のハンドリング等に、非常に有用な手段を与えるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例で用いた実験装置の構成を示す図である。
【図２】本実施例で用いた基板の形状寸法を示す図である。
【図３】本実施例における液膜の形成方法の説明図である。
【図４】本実施例における液膜の移動距離の測定方法の説明図である。
【図５】絵具の流動方向を調べた結果の例を示す図である。
【図６】絵具の流動距離に及ぼす周波数差の影響を調べた結果の例を示す図である。
【符号の説明】
１：基板
２ａ，２ｂ：振動子
３ａ，３ｂ：変換器
４ａ，４ｂ：増幅器
５：波形電圧発生装置
６：液膜
７：水槽
８：ＤＶカメラ
９：絵具[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for controlling the flow of a liquid film using interference of surface acoustic waves propagating on a solid surface.
[0002]
[Prior art]
A surface acoustic wave is an acoustic wave that propagates along the surface of an elastic body (solid).
It is mainly applied to surface acoustic wave devices such as broadband filters in electronic information and communication equipment.
On the other hand, research on the mechanical action of surface acoustic waves has been widely conducted. The surface acoustic wave motor is one of the results, and there have been many proposals regarding this (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-231885). A surface acoustic wave motor uses a local elliptical motion of a solid surface caused by the propagation of a surface acoustic wave (in a direction opposite to the direction of propagation) to drive a moving body pressed against the surface by frictional force. Things.
[0003]
As described above, the surface acoustic wave motor for driving a solid is widely used at present, but an attempt to drive a liquid by a surface acoustic wave has been proposed. For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 10-327590 discloses that among surface acoustic waves propagating on the surface of a solid (for example, a piezoelectric substrate), a Rayleigh wave radiates a longitudinal wave into a liquid on the surface of a solid. A surface acoustic wave actuator which attempts to drive the surface acoustic wave in the traveling direction of the surface acoustic wave is disclosed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
If a liquid film formed on a solid surface can be efficiently driven by a surface acoustic wave, it can be very useful as a means for improving the fluidity of a liquid film such as a paint and handling small substances in the liquid film. Deemed useful.
In particular, in recent years, the need for micromanipulation has increased in the field of biotechnology, and various microactuators and laser tweezers have been developed and put into practical use. Therefore, if the liquid film can be driven by the surface acoustic waves as described above, the expectation is high as a new elemental technology is added to the handling of the minute biological material in the liquid.
[0005]
When a surface acoustic wave propagates on a solid surface, minute irregularities corresponding to the amplitude of the surface wave are generated on the solid surface, and move with the wave. It is conceivable that the minute irregularities have some effect on the liquid in contact with the surface. However, since the propagation speed of the surface acoustic wave is extremely high, there is a high possibility that the liquid cannot follow the change of the solid surface.
In other words, in a single-mode surface acoustic wave, no apparent interaction appears between the surface wave and the liquid, or even if there is an interaction, the driving efficiency is expected to be extremely low. .
Accordingly, an object of the present invention is to provide a means for efficiently driving a liquid film formed on a solid surface by utilizing the interference of surface acoustic waves.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention for solving the above problems,
A pair of surface acoustic wave generation sources having different oscillation frequencies are arranged at positions opposed to each other across the liquid film on a substrate on which a liquid film to be driven is formed near the center, and surface acoustic waves from both generation sources are arranged. A flow control method for a liquid film, characterized in that the liquid film is caused to flow in a specific direction by a beat traveling wave generated by the interference of the liquid film.
[0007]
The period of the beat wave caused by the interference of the two waves is much longer than the period of the original wave. Therefore, in a single mode surface acoustic wave, the liquid cannot follow the change in the surface of the solid.On the other hand, if a beat traveling wave caused by the interference of surface acoustic waves with different frequencies is used, the change in the surface of the solid can be prevented. The liquid can follow, and the liquid film can be driven in the traveling direction of the wave.
[0008]
Also, the smaller the difference between the frequencies of the two waves, the lower the frequency of the beat wave,
Since the traveling speed is slow, the liquid can easily follow the change of the solid surface. On the other hand, if the frequency difference is too small, the driving force of the liquid is considered to be weak.
[0009]
Therefore, in the present invention, it is important to appropriately select the frequency difference between the two surface acoustic waves. That is, the difference Δf = f 1 −f 2 between the oscillation frequencies of the pair of surface acoustic wave sources (where f 1 is the frequency of the upstream source in the liquid film driving direction, and f 2 is the frequency of the downstream source) Is preferably in the range of 0.2 to 100 Hz, and more preferably in the range of 0.2 to 10 Hz.
[0010]
Further, the present invention is an apparatus used in the above method, wherein a substrate having a liquid film to be driven formed in the vicinity of the center and a mutual oscillation frequency arranged at positions facing each other with the liquid film interposed therebetween. A liquid film flow control device having a pair of different surface acoustic wave generation sources is included. The above device may further include a means for variably controlling the oscillation frequency of one or both of the surface acoustic wave sources.
[0011]
In the present invention, the surface acoustic wave generation source includes (a) a method of providing an IDF (Interdigital Transducer) on a substrate of a piezoelectric material, and (b) a non-piezoelectric material coated with a piezoelectric material, and an IDF. And (c) using a substrate made of a non-piezoelectric material and applying a vibration (longitudinal wave) by an independent ultrasonic wave source to convert the mode into a surface acoustic wave. You may.
[0012]
Embodiments and Examples of the Invention
Hereinafter, embodiments and effects of the present invention will be described based on examples. In the present embodiment, the generation of the surface acoustic wave is performed by a method in which ultrasonic waves are applied from a vibrator to a substrate made of a non-piezoelectric material, and a mode is converted from a longitudinal wave into a surface acoustic wave by a so-called wedge converter.
[0013]
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the experimental apparatus used in this example. In the figure, 1 is a substrate, 2a and 2b are ultrasonic oscillators, 3a and 3b are converters, 4a and 4b are amplifiers, 5 is a waveform voltage generator, 6 is a liquid film, and 7 is a liquid film tank. , 8 are digital video (DV) cameras for observation.
[0014]
The substrate 1 is an aluminum plate whose shape and dimensions are shown in FIG. As the vibrators 2a and 2b, piezoelectric ceramic plates (manufactured by Fuji Ceramics Co., Ltd., material C-213) having a size of 20 × 50 mm were bonded to the substrate 1 with an epoxy-based adhesive. When a high frequency voltage is applied to the vibrator, ultrasonic vibration is applied to the substrate 1 by vibration in the thickness direction of the piezoelectric ceramic plate.
[0015]
The transducers 3a and 3b are formed on the upper surface of the substrate 1 at positions corresponding to the vibrators 2a and 2b, and are formed of a large number of grooves having a sawtooth cross section and extending in the width direction of the substrate 1. One of the side surfaces of the groove (the wall surface on the end side of the substrate) is vertical, and the opposite wall surface is inclined at 45 degrees. The width of the groove was set to a length corresponding to about one wavelength, and grooves for ten wavelengths were formed. The longitudinal wave of the ultrasonic wave incident on the substrate is mode-converted into a surface acoustic wave propagating toward the center of the substrate by the converter.
[0016]
In this embodiment, the frequency of the ultrasonic wave is close to the resonance frequency of the piezoelectric ceramic.
098 MHz. The sound velocity of the surface acoustic wave generated by this device was measured and found to be 2.64 km / s. Since this value is close to the literature value of about 2.85 km / s, it was confirmed that a surface acoustic wave was generated.
[0017]
Commercially available broadband high-frequency power amplifiers were used as the amplifiers 4a and 4b. This can provide an output of 10 W or more at a frequency of 0.1 to 30 MHz. As the waveform voltage generator (function generator) 5, FG120 manufactured by Yokogawa Electric Corporation was used. This has a feature that it has two outputs, can set the phase difference between two transmission signals, and does not shift the phase difference of the signal regardless of the state of transmission. By using this, it was possible to set the difference between the oscillation frequencies of the two vibrators 2a and 2b with extremely high accuracy.
[0018]
In this embodiment, the water tank 7 was used as a means for keeping the state of the liquid film constant in order to enhance the reproducibility of the experiment. That is, as shown in FIG. 3, a bottomless frame made of silicon rubber having an inner dimension of 40 × 6 mm and a height of 2 mm (water is in direct contact with the substrate) is attached to the substrate, and the flow of water therein is reduced. Observed. In order to make the thickness of the liquid film 6 at the start of the experiment constant, 690 mm 3 (0.69 CC) of water accurately measured with a female pipette was supplied to the water tank. When the liquid film on the substrate surface is driven by the surface acoustic waves, a circulating flow is generated in the water tank 7 as shown by the arrow in FIG.
[0019]
In order to quantitatively evaluate the flow state of the liquid film, as shown in FIG. 3, an aqueous paint 9 was previously attached to the surface of the substrate 1 near the center of the water tank 7, and the movement of the paint that melted was photographed with a DV camera 8. . FIG. 4 is a schematic diagram showing the state of the paint before and after the start of the experiment (driving of the liquid film by the surface acoustic wave). The measured distance shown in FIG.
Using the method described above, the state of the liquid film flow was observed, and the effect of the difference in the oscillation frequency of the facing surface acoustic wave generation source on the liquid film flow was examined. In addition, in order to confirm the reproducibility of the experiment, three experiments were repeated under each condition.
[0020]
FIG. 5 shows an example of the result of examining the flow direction of the paint. When the difference between the oscillation frequencies of the two surface acoustic wave sources is 1 Hz, the flow of the paint from the higher frequency to the lower frequency is represented by Ch1 → Ch2, and the flow in the opposite direction is represented by Ch1 ← Ch2. I have. As can be seen from the figure, there is almost no flow in the direction of Ch1 ← Ch2 (diffusion at rest), and it can be seen that it flows about 7 to 12 mm in the direction of Ch1 → Ch2 in 60 seconds. Since the traveling direction of the beat generated by the interference between the two surface acoustic waves is from Ch1 to Ch2, the above result supports that the liquid film is driven by the traveling wave.
[0021]
FIG. 6 shows an example of the result of examining the effect of the frequency difference on the flow distance of the paint. In the figure, the moving distance of the paint after 60 seconds is plotted against the frequency difference. When there is no frequency difference between the two sources, the paint hardly moves. As the frequency difference increases, the moving distance of the paint increases, reaches a maximum at about 1 Hz, and then gradually decreases.
[0022]
Considering the reason for the above result, when the frequency difference is relatively small (1.0 Hz or less), the swell propagation speed increases as the frequency difference increases, but the undulation is driven. It is considered that the flow also increased. However, it is considered that when the frequency difference is further increased, the flow speed of the liquid cannot follow the propagation speed of the beat, and the flow becomes difficult to occur.
[0023]
From the above results, it is difficult to cause the flow of the liquid film without using the surface acoustic wave interference (in the case of the single mode surface acoustic wave), and by changing the frequency difference between the two sources, the liquid film The possibility of controlling the flow of the water was confirmed. In this embodiment, when the frequency f is about 1 MHz, the preferable frequency difference Δf is 0.2 to 100 Hz (more preferably, 0.2 to 10 Hz).
[0024]
In the present invention, the source of the surface acoustic wave is a method other than the present embodiment, for example, a method of generating a surface acoustic wave by providing a pair of IDFs on a piezoelectric substrate or a substrate coated with a piezoelectric body. You may. Further, in the case where ultrasonic waves are incident on a non-piezoelectric substrate, ultrasonic wave generating means, vibrating means, means for mode-converting longitudinal waves into surface acoustic waves (structure and shape of a transducer), and the like are also provided in this embodiment. However, the present invention is not limited to this method. The non-piezoelectric substrate material may be any of solids (for example, ordinary metals such as aluminum and iron, ceramics and other inorganic materials such as glass, etc.) to which ultrasonic waves are transmitted.
[0025]
Furthermore, the frequency of the surface acoustic wave may be selected in consideration of the characteristics of the substrate and the vibrator in a frequency range in which the surface acoustic wave can be easily generated. Further, the positional relationship between the liquid film to be driven and the generation source of the surface acoustic wave is not particularly limited as long as it is within a range in which an interference wave is generated between the two generation sources.
[0026]
【The invention's effect】
According to the present invention, a liquid film formed on a solid surface can be efficiently driven by utilizing the interference of surface acoustic waves. The present invention provides a very useful means for improving the fluidity of a liquid film and for handling a minute substance (particularly, a minute biological substance) in the liquid film.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an experimental apparatus used in this example.
FIG. 2 is a view showing the shape and dimensions of a substrate used in the present embodiment.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a method of forming a liquid film in the present embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of measuring a moving distance of a liquid film in the present embodiment.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a result obtained by examining a flowing direction of a paint.
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a result obtained by examining an effect of a frequency difference on a flow distance of a paint.
[Explanation of symbols]
1: substrates 2a, 2b: transducers 3a, 3b: converters 4a, 4b: amplifier 5: waveform voltage generator 6: liquid film 7: water tank 8: DV camera 9: paint
