JP2004172155A - Magnetic storage element, its recording method, and magnetic storage device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、不揮発性メモリに用いて好適な、磁気記憶素子及びその記録方法、並びに磁気記憶素子を用いて構成された磁気記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
コンピュータ等の情報機器においては、ランダム・アクセス・メモリとして、動作が高速で、高密度のDRAMが広く使用されている。
しかし、DRAMは電源を切ると情報が消えてしまう揮発性メモリであるため、情報が消えない不揮発のメモリが望まれている。
【0003】
そして、不揮発メモリとして、磁性体の磁化状態により情報を記録する磁気記憶素子を用いた磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)の開発が進められている(例えば非特許文献1参照)。
【0004】
【非特許文献1】
日経エレクトロニクス 2001.2.12号(第164頁−第171頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のMRAMは、直交する2種類の配線(例えばワード線とビット線)がそれぞれ複数本形成され、これら2種類の配線の各交点に磁気記憶素子が設けられることにより、多数の磁気記憶素子がマトリクス状に配置された磁気記憶装置を構成している。そして、2種類の配線について、それぞれ特定の配線に電流を流すことにより、電流を流した配線の交点に位置する磁気記憶素子のみを選択して、その磁気記憶素子の記憶層の磁化を電流磁界によって反転させて、情報の記録を行っている。
【0006】
しかしながら、MRAMを構成する各磁気記憶素子の磁気特性にばらつきがあると、目的の(記録を行うべき)磁気記憶素子以外の磁気記憶素子で磁化の反転が起きてしまうことがあり、正しい記録を行うことができなくなるため好ましくない。また、目的の磁気記憶素子以外の磁気記憶素子で磁化が全く反転しないようにするために、電流磁界を充分小さくしてしまうと、目的の磁気記憶素子のうち一部に対して記録を失敗する可能性もある。
【0007】
今後、MRAMにおいても、記憶容量を増加するために、高密度化を図る必要があり、メモリセルを構成する磁気記憶素子の縮小化が求められることから、磁気記憶素子の記憶層に用いられる磁性体の寸法も小さくする必要がある。
そして、磁性体は寸法の縮小化に従って保磁力が増加する傾向を有するため、MRAMの磁気記憶素子においても、縮小化に伴い記録層の保磁力が増加していく。このように保磁力が増加すると、各磁気記憶素子の保磁力のばらつきを小さくすることが難しくなってくる。
【0008】
上述した問題の解決のために、本発明においては、書き損じがなく正しく情報の記録を行うことが可能な磁気記憶素子及びその記録方法を提供する。また、この磁気記憶素子を備えて、各磁気記憶素子に磁気特性のばらつきがあっても、安定して正確に情報を記録することができる磁気記憶装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気記憶素子は、磁化状態を情報として保持する記憶層と、この記憶層に対して非磁性層を介して配置され、強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有して成り、この記憶補助層は、磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有するものである。
【0010】
また、上記本発明の磁気記憶素子において、記憶層を加熱する配線が設けられ、かつこの配線が記憶層に電気的に接続されている構成とするを可とする。
【0011】
本発明の磁気記憶素子の記録方法は、磁化状態を情報として保持する記憶層と、この記憶層に対して非磁性層を介して配置され、強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有して成り、記憶補助層が磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有する磁気記憶素子に対して、記憶補助層に磁界を印加して、この記憶補助層に磁化状態の記録を行う工程と、その後、記憶層を加熱することにより、この記憶層の保磁力を低下させて、記憶補助層からの磁界によって記憶層に磁化状態の記録を行う工程とを行うものである。
【0012】
本発明の磁気記憶装置は、磁化状態を情報として保持する記憶層と、この記憶層に対して非磁性層を介して配置され強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有し、記憶補助層が磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有する磁気記憶素子と、記憶補助層に対して電流磁界を印加する第1の配線と、記憶層を加熱する第2の配線とを有し、第1の配線と第2の配線とが交差する交点に、それぞれ上記磁気記憶素子が配置されて成るものである。
【0013】
また、上記本発明の磁気記憶装置において、第2の配線が記憶層に電気的に接続されている構成とするを可とする。
【0014】
上述の本発明の磁気記憶素子の構成によれば、磁化状態を情報として保持する記憶層と、この記憶層に対して非磁性層を介して配置され、強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有して成り、記憶補助層が磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有することにより、記憶補助層に磁界を印加して磁化状態を記録すれば、磁界の印加を停止した後も記憶補助層に記録した磁化状態が保存される。そして、記憶層を加熱して温度上昇させると、記憶層の保磁力が低下して、磁化状態が記録された記憶補助層からの磁界により、記憶層の磁化の向きを変化させることができる。これにより、記憶補助層に記録された磁化状態に対応して、記憶層の磁化状態を変化させて、記憶層に情報の記録を行うことが可能になる。
磁化状態が記録された記憶補助層からの磁界は比較的小さいため、記憶層を加熱していない場合には、この磁界によって記憶層の磁化の向きが変化することはなく、記憶層への記録が行われない。
従って、磁界の印加による記憶補助層への磁化状態の記録の有無と記録層の加熱の有無とを選択することにより、記憶層への記録を選択して行うことが可能になる。
【0015】
さらに、上記本発明の磁気記憶素子において、記憶層を加熱する配線が設けられ、かつこの配線が記憶層に電気的に接続されている構成としたときには、配線から記憶層に電流を流すことができ、記憶層に流した電流により、記憶層を加熱したり、電流磁界を発生させたりすることが可能になるため、記憶層の保磁力を効率良く低減することができる。
【0016】
上述の本発明の磁気記憶素子の記録方法によれば、上述の本発明の磁気記憶素子に対して、記憶補助層に磁界を印加して、この記憶補助層に磁化状態の記録を行う工程と、その後、記憶層を加熱することにより、この記憶層の保磁力を低下させて、記憶補助層からの磁界によって記憶層に磁化状態の記録を行う工程とを行うことにより、記憶補助層に磁化状態の記録を行った後、磁界の印加を停止しても記憶補助層に記録された磁化状態が保持され、その後記憶層を加熱して記憶層の保磁力を低下させたときに、記憶補助層からの磁界により、この記憶補助層に記録された磁化状態に対応して、記憶層の磁化状態を変化させて、記憶層に情報の記録を行うことが可能になる。
磁化状態が記録された記憶補助層からの磁界は比較的小さいため、記憶層を加熱していない場合には、この磁界によって記憶層の磁化の向きが変化することはなく、記憶層への記録が行われないことから、記憶層を加熱していない場合に、誤って記憶層に記録が行われることがない。
即ち、上述の2つの工程を行った場合には記憶層の記録を行うことができる一方で、記憶層を加熱しない、即ち後の工程を行わない場合には記憶層に誤って記録が行われることがない。
従って、記憶層への記録を選択して行うことが可能になり、安定して正確に記録を行うことが可能になる。
【0017】
上述の本発明の磁気記憶装置の構成によれば、上述の本発明の磁気記憶素子と、記憶補助層に対して電流磁界を印加する第1の配線と、記憶層を加熱する第2の配線とを有し、第1の配線と第2の配線とが交差する交点に、それぞれ磁気記憶素子が配置されて成ることにより、磁気記憶素子に対して上述した記録方法により記録を行うことが可能である。
即ち第1の配線により記憶補助層に対して電流磁界を印加して、記憶補助層に磁化状態の記録を行い、その後第2の配線により記憶層を加熱することにより、記憶層の保磁力を低下させて、記憶補助層からの磁界により、記憶補助層に記録された磁化状態に対応して記憶層の磁化の向きを変化させて、その結果として記憶層に磁化状態(情報)を記録させることができる。
そして、対応する第1の配線と第2の配線とを共に選択した磁気記憶素子では、上述したように記憶層に情報の記録が行われるのに対して、対応する第2の配線が選択されていない磁気記憶素子では、記憶層が加熱されず記憶層の保磁力が低下しないため、記憶補助層からの磁界では記憶層の磁化の向きが変化せず、記憶層へ誤って記録されることがない。
即ち、選択された磁気記憶素子以外の磁気記憶素子に対して、書き損じを生じることがない。
また、第2の配線により記憶層を加熱して記憶層の保磁力が低下することにより記録が行われるため、磁気記憶素子の記憶層の保磁力にばらつきがあっても、加熱により確実に保磁力を低下させて記録を行うことができる。
即ち、磁気記憶素子の磁気特性(保磁力等)のばらつきの影響を受けにくい磁気記憶装置を構成することができる。
【0018】
また、上記本発明の磁気記憶装置において、第2の配線を記憶層に電気的に接続した構成としたときには、第2の配線から記憶層に電流を流すことができ、記憶層に流した電流により、記憶層を加熱したり、電流磁界を発生させたりすることが可能になるため、記憶層の保磁力を効率良く低減することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の磁気記憶素子の一実施の形態の概略構成図(断面図)を図1に示す。この磁気記憶素子10は、情報が磁化の向きにより記録される記憶層1と磁化の向きが固定された磁化固定層5とが、トンネル絶縁膜4とを挟んで配置されて磁気トンネル接合素子(MTJ)6が構成されている。
この磁気トンネル接合素子6は、図中左右方向が磁性層の磁化容易軸方向になり、紙面に垂直な方向が磁性層の磁化困難軸方向になるように配置されている。磁化固定層5は、図示しないが、強磁性層と反強磁性層との積層膜から成り、反強磁性層により強磁性層の磁化の向きを一方に固定している。
【0020】
また、本実施の形態の磁気記憶素子10では、特に、記憶層1の上方に、非磁性層3を挟んで記憶補助層2が設けられている。
この記憶補助層2は強磁性体により構成され、記憶層1に記録する磁化情報を一定時間保存しておくために設けられている。
【0021】
さらに、記憶補助層2上に紙面に垂直な方向(磁性層の磁化困難軸方向)に伸びる第1の配線11が直接接続して設けられ、磁化固定層5の下に左右方向(磁性層の磁化容易軸方向)に伸びる第2の配線12が設けられている。
即ち、記憶補助層2は、第1の配線11の下面(記憶層1側の面)に形成されている。
そして、第1の配線11に電流を流すことにより、記憶補助層2に対して図中右向き或いは左向きの電流磁界が印加される。
この第1の配線11に電流を流したときに発生する電流磁界は、第1の配線11の表面で最も大きく、遠ざかるにつれて小さくなる。
従って、第1の配線11に近接して配置された記憶補助層2は、第1の配線11の電流磁場によって有効に磁化される。
【0022】
記憶補助層2の保磁力は、第1の配線11に流す電流を停止した後でも磁化を一定時間以上保持することができる大きさであれば良く、熱擾乱等により長期間経過後は磁化情報が消失してしまっても構わない。
記憶補助層2に対して、このような大きさの保磁力を付与する方法としては、例えば磁場中で熱処理を行ってもよいし、例えば形状による異方性により付与しても良い。
また、記憶補助層2が記憶層1の磁化の影響を受けて磁化反転を起こさないためには、記憶補助層2の磁化量が記憶層1の磁化量の2倍以上である必要がある。
【0023】
さらに、記憶層1の保磁力を、記憶補助層2からの磁場だけでは反転しない程度の大きさに設定しておく。
そして、第2の配線12に電流を流して、このとき発生する電流磁界(記憶層の磁化困難軸方向の磁界)や熱によって記憶層1の保磁力を低下させると、磁化状態が保存された記憶補助層2からの磁界により、記憶層1へ記録が転写されるようになる。
【0024】
このうち、第2の配線12に電流を流したときに発生する熱を利用して、記憶層1の保磁力を低下させる場合には、例えば第2の配線12の磁気記憶素子10近傍の部分を比抵抗の大きい材料としたり薄くしたりすることにより抵抗を大きくして発熱量を多くしてもよい。また、第2の配線12の磁気記憶素子10近傍の部分に発熱抵抗体を設けてもよい。
【0025】
なお、本実施の形態の磁気記憶素子10においては、この他にも記憶層1の磁化状態を検出するために、磁気トンネル接合素子6に電流を供給するための配線(第3の配線等)が別に必要になるが、情報を記憶層1に書き込む記録動作には本質的に影響しない部品であるため、図示を省略している。
【0026】
続いて、上述の構成を有する本実施の形態の磁気記憶素子10において、情報を記録する方法を説明する。
【0027】
まず、図2Aに示すように、第1の配線11に紙面に垂直な向こう向きの電流Iを流す。この電流Iにより、時計回りの電流磁界Hが発生して、この電流磁界Hが記憶補助層2に対して図中左向きに作用する。これにより、記憶補助層2が左向きに磁化される。
【0028】
次に、図2Bに示すように、第1の配線11の電流Iを停止する。このとき、補助記憶層2の特性により、記憶補助層2の磁化M2がそのまま、即ち左向きの状態で保持される。
【0029】
次に、前述したように第2の配線12(図1参照)に電流を流して、その電流による電流磁界や発熱によって記憶層1の保磁力を低下させる。
これにより、図2Cに示すように、記憶補助層2からの磁界H2により、記憶層1の磁化M1が影響を受けるようになり、記憶層1の磁化M1が記憶補助層2の磁化M2とは反対の向き(図中右向き)に磁化される。
【0030】
一方、記憶層1の磁化M1を、図2Cとは反対に図中左向きに磁化するときには、第1の配線11に紙面に垂直な手前向きの電流を流し、反時計回りの電流磁界を発生させて、記憶補助層2を図中右向きに磁化すればよい。
【0031】
このようにして、記憶層1に、記録する情報に対応して、右向き或いは左向きの磁化情報が記録される。
【0032】
そして、記憶層1に記録された磁化情報の検出(読み出し)は、従来のMRAMに用いられている磁気記憶素子と同様にして行うことができる。
即ち、記憶層1の磁化M1の向きと磁化固定層5の磁化の向きとが平行(同じ向き)の関係にあるか、反平行(反対向き)の関係にあるかによって、トンネル絶縁膜4を流れるトンネル電流に対する抵抗が変化するので、この抵抗値又は電流値によって、記憶層1に記録された磁化情報を検出することができる。
【0033】
上述の本実施の形態の磁気記憶素子10の構成によれば、第1の配線11の下面に記憶補助層2が設けられ、この記憶補助層2が記憶層1の上方に配置されていることにより、第1の配線11に電流を流すことにより発生する電流磁界を記憶補助層2に印加して、記憶補助層2に磁化の向きによる情報の記録を行うことができ、さらにその後第2の配線12に電流を流して記憶層1を加熱して記憶層1の保磁力を下げることにより、記憶補助層2からの磁界により記憶層1に磁化の向きによる情報の記録を行うことができる。
これにより、第1の配線11及び第2の配線12に共に電流を流した場合には、上述した記録動作が行われる。
【0034】
これに対し、第1の配線11のみに電流を流した場合には、記憶補助層2に第1の配線11からの電流磁界が印加されて記録が行われるが、記憶層1が加熱されず記憶層1の保磁力が下がらないため、記憶補助層2からの磁界では記憶層1の磁化が反転せず、記憶層1への記録は行われない。
【0035】
なお、第2の配線12のみに電流を流した場合には、記憶補助層2に記録が行われないため、上述した記録動作が行われないが、記憶層1が加熱されて記憶層1の保磁力が低下するため、記憶補助層2に前回記録した内容が記憶層1に転写されてしまう。従って、第2の配線12に電流を流すときには、第1の配線11にも情報の内容に対応した向きの電流を流して、記憶層1の記録内容が失われないようにする。
【0036】
上述のように、第2の配線12に電流を流していなければ、第1の配線11に電流を流しても記録が行われない。
このため、複数の磁気記憶素子10を有する磁気記憶装置を構成したときに、電流を流す第2の配線12を適切に選択すれば、選択された第2の配線12に対応する、選択した磁気記憶素子10の記憶層1は第2の配線12に電流が流れ加熱されることによって保磁力が低下するため、記憶層1の保磁力にばらつきがあっても加熱により記憶層1の保磁力が低下して記憶補助層2からの磁界により記憶層1に記録が行われる。
一方、その他の第2の配線12に対応する、選択していない磁気記憶素子10の記憶層1の磁化を反転することはなく、書き損じなく正確に記録を行うことができる。
このとき、磁気記憶素子10の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、第1の配線11及び第2の配線12の選択により、記録が行われる磁気記憶素子10と記録が行われない磁気記憶素子10を正しく選択することができる。
【0037】
従って、本実施の形態の磁気記憶素子10を用いることにより、安定して正確に情報の記録を行うことができる磁気記憶装置を構成することが可能になる。
【0038】
そして、マトリクス状に直交配置させたそれぞれ複数本の第1の配線11及び第2の配線12の交点に、本実施の形態の磁気記憶素子10を配置することにより、MRAM等の磁気記憶装置を構成することができる。
【0039】
次に、本発明の磁気記憶装置の一実施の形態として、上述の実施の形態の磁気記憶素子10を用いて構成した磁気記憶装置の概略構成図(斜視図)を図3に示す。また、図3に示した磁気記憶装置の平面図を図4に示す。なお、多数配置された磁気記憶素子10のうち、図3では縦2個・横2個分を図示し、図4では縦4個・横4個分を図示している。
【0040】
この磁気記憶装置40は、図3及び図4に示すように、マトリクス状に直交配置させたそれぞれ多数の第1の配線(例えばビット線)11及び第2の配線(例えばワード線)12の交点に、平面形状が長方形状とされ、図1に示した断面構造を有する磁気記憶素子10を配置して構成されている。
各磁気記憶素子10は、図1に示したように、記憶層1に対して非磁性層2を挟んで記憶補助層2が配置され、この記憶補助層2が第1の配線11の下面に接して設けられている。また、第1の配線11は、磁気記憶素子10の磁化困難軸方向(Y方向)と平行になっており、第2の配線12は磁気記憶素子10の磁化容易軸方向(X方向)と平行になっている。
なお、図1の磁気記憶素子10のうち、トンネル絶縁層4及び磁化固定層5は、図3において図示を省略している。
【0041】
このように磁気記憶装置を構成した場合、例えば次のようにして磁気記憶素子10に対して記録を行う。
まず、多数ある第2の配線12から1本を選択し、この第2の配線12上にある同一行の磁気記憶素子10のそれぞれに記憶する情報の内容(「0」或いは「1」)に対応して、各磁気記憶素子10の第1の配線11に流す電流の向きを変えて、第1の配線11に同時或いは順次電流を流す。これにより、情報が同時或いは順次磁気記憶層10の記憶補助層2に記録されていく。そして、最終的に全ての磁気記憶素子10の記憶補助層2に記録を行う。
その後、選択した1本の第2の配線に電流を流すことにより、第1の配線11の全てと選択された1本の第2の配線12との交点に配置された、同一行の全ての磁気記憶素子10において記憶層1に記憶補助層2の情報を転写することができ、その結果記憶層1に情報を記録することができる。
そして、選択する第2の配線12を次の1本に変えて、また、第1の配線11に同時或いは順次電流を流し、情報を記憶補助層2に記録する工程と、その後第2の配線に電流を流して記憶層1に記憶補助層2の情報を転写する工程とを行うことにより、2つめの同一行の全ての磁気記憶素子10において記憶層1に情報を記録することができる。
これを繰り返して、全ての第2の配線12に電流を流せば、全ての磁気記憶素子10の記憶層1に情報の記録を行うことができる。
【0042】
なお、一部分の磁気記憶素子10にだけ情報の記録を行うには、多数の第2の配線12のうち電流を流す第2の配線12を一部選定して同様のことを行えばよい。これにより、選定した第2の配線12上にある磁気記憶素子10のみに対して情報を記録することができる。
【0043】
上述したように記録を行うことにより、選択された磁気記憶素子10、即ち対応する第1の配線11及び第2の配線12に共に電流を流した磁気記憶素子10では、第1の配線11に流した電流からの電流磁界により記憶補助層2に磁化状態が記録され、その後第2の配線12に流した電流からの電流磁界又は熱により記憶層1の保磁力が低下して記憶補助層2からの磁界により記憶層1に磁化状態が記録される。
これに対して、第1の配線11のみに電流を流した磁気記憶素子10では、第1の配線11に流した電流からの電流磁界により記憶補助層2に磁化状態が記録されるが、第2の配線12に電流が流れないため記憶層1の保磁力は低下せず、また記憶補助層2からの磁化だけでは記憶層1の磁化は反転しないため、記憶層1の磁化状態は変化しない。これにより、選択されていない磁気記憶素子10に誤って記録されることがない。
そして、選択する第2の配線12を変えたときには、改めて第1の配線11により記憶補助層2に磁化状態が記録されるため、第2の配線12が選択されていないときに記憶補助層2に記録された磁化状態が消去されて、記憶補助層2の磁化状態が更新される。
【0044】
従って、各磁気記憶素子10において、対応する第2の配線12が選択されたときに第1の配線11により記憶補助層2に記録されている磁化情報だけが、記憶層1に転写される。
即ち誤って目的以外の磁気記憶素子10に記録してしまうことがない。
【0045】
上述の本実施の形態の磁気記憶装置40の構成によれば、誤って目的以外の磁気記憶素子10に記録してしまうことがなくなり、各磁気記憶素子10の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、書き損じなく安定して正確に記録を行うことが可能になる。
そして、記憶容量を大きくするために、磁気記憶素子を微小化するほど、各磁気記憶素子の記憶層の保磁力が増大し、磁気特性のばらつきも大きくなる傾向があるため、本実施の形態の磁気記憶装置40は、記憶容量を増大させるために好適である。
また、本実施の形態の磁気記憶装置40の構成によれば、複数の第1の配線11に同時に電流を流す必要が無くなるため、動作に必要な最大電流を低減することができる。
【0046】
続いて、本発明の磁気記憶装置に対する比較構成として、一般的な磁気記憶装置(MRAM)の構造を簡略化してその平面図を図11に示す。
図11に示すように、この磁気記憶装置60は、直交する2種類の配線51,52の各交点に一軸の形状異方性を有する、図11の場合は楕円形状の磁気記憶素子53が配置されている。
この構成において、直交する2種類の配線51,52について、それぞれ多数本のうち特定の配線を選択して電流を流すことにより、電流を流した特定の配線51,52の交点にある磁気記憶素子53の記憶層の磁化を反転させて記録を行うことができる。
なお、磁気記憶素子53の形状は、図11の楕円形状に限らず、図3の磁気記憶素子10と同様の長方形状も可能である。
【0047】
ここで、仮に磁気記憶素子53の磁化困難軸方向(図中Y方向)に磁場をかける配線51をワード線、磁化容易軸方向(図中X方向)に磁場をかけるための配線52をビット線と呼ぶとする。磁気記憶素子53にビット線52からかかる磁場と、ワード線51からかかる磁場は、ほぼ同じ大きさのときに最も選択性がよく、交点以外の磁気記憶素子53の磁化に影響を及ぼしにくい。
【0048】
しかし、各磁気記憶素子53の記憶層の保磁力にばらつきが大きいと、前述したように選択された以外の磁気記憶素子53の磁化にも影響を及ぼしてしまう。このような目的外の磁気記憶素子53への影響を減らすには、ワード線51により発生する磁場を大きくすると共に、ビット線52により発生する磁場を小さくすればよく、これにより電流を流すワード線51上の磁気記憶素子53以外の磁気記憶素子53は影響を受けなくなる。
ただし、この場合、電流を流すワード線51上にある(即ち同一行にある)全ての磁気記憶素子53に強い磁場がかかるので、この電流を流すワード線51上にある全ての磁気記憶素子53磁性体に同時に情報を記録してしまわなければならない。この場合、全てのビット52線に同時に電流を流さなければならないので、MRAMの記憶容量が増大してビット線52の本数が非常に多くなったときには、同時に装置全体に流れる電流が増大し好ましくない。
【0049】
ここで、図11に示す従来の一般的な磁気記憶装置60と、図3に示す実施の形態の磁気記憶装置40とを比較する。
ワード線及びビット線をそれぞれ4本として、単純な構成で記録を行うためには、同一行の4つの磁気記憶素子を同時に記録して、一行ずつ順次記録を行っていくことになる。
そして、同じ情報(例えば0101)を記録するためにそれぞれの磁気記憶装置60,40において流す電流のタイミングを図5A及び図5Bに示す。
【0050】
図11に示した従来の一般的な構成の磁気記憶装置(MRAM)60では、図5Aに示すように、4本全てのビット線と1本のワード線に同時に電流を流す必要がある。
【0051】
これに対して、図3に示した実施の形態の磁気記憶装置40では、磁気記憶素子10が図1に示した構成となっているため、ビット線の電流を停止した後も記憶補助層2の磁化が保持される。その後、ワード線に電流を流すことにより、記憶層1の保磁力を低下させて、記憶補助層2から記憶層1に磁化情報を転写することができる。
従って、図5Bに示すように、ビット線に1本ずつ順次電流を流した後に、ワード線に電流を流せば、同一ワード線上の4つの磁気記憶素子に記録を行うことができる。
これにより、同時に流す電流の量がビット線1本分に低減されるため、記録動作に必要な最大電流を低減することができる。
【0052】
また、図5Aと図5Bとを比較してわかるように、図3の磁気記憶装置40において、図11に示す従来の磁気記憶装置60と最終的に同じ磁化状態を記録するためには、ビット線に流す電流を逆極性にする。これは、第1の配線11から記憶補助層2を経て記憶層1に記録が行われる間に磁化の向きが反対になるためである。
なお、ワード線を磁場印加ではなく、加熱を主な機能とする場合も同様にワード線に電流を流すことにより記録を行うことができる。
【0053】
続いて、本発明の磁気記憶素子の他の実施の形態の概略構成図(断面図)を図6に示す。
前述の図1に示した実施の形態では、記憶補助層2を第1の配線11の下面(記憶層1側の面)に配置した構成であったが、本実施の形態では、記憶補助層2を第1の配線11の下面(記憶層1側の面)以外、即ち第1の配線11の側面及び上面に配置して磁気記憶素子20を構成している。
その他の構成は、図1に示した磁気記憶素子10の構成と同様であるため、同一符号を付して重複説明を省略する。
【0054】
次に、本実施の形態の磁気記憶素子20の記録動作を説明する。
まず、図7Aに示すように、第1の配線11に紙面に垂直な向こう向きの電流Iを流す。この電流Iにより、時計回りの電流磁界Hが発生して、第1の配線11の側面及び上面にある記憶補助層2がこの電流磁界Hに沿った向きに磁化される。即ち左側面では記憶補助層2の磁化M2が上向き、上面では記憶補助層2の磁化M2が右向き、右側面では記憶補助層2の磁化M2が下向きになる。
【0055】
次に、第1の配線11の電流Iを停止する。このとき、記憶補助層2の磁化M2は、そのまま保持される。
さらに、第2の配線12(図6参照)に電流を流して、その電流による電流磁界や熱によって記憶層1の保磁力を低下させることにより、図7Bに示すように、記憶補助層2からの磁界H2によって記憶層1の磁化M1が影響を受け、記憶層1の磁化M1が図中左向きに磁化される。
【0056】
一方、記憶層1の磁化M1を、図7Bとは反対の図中右向きに磁化するときには、第1の配線11に紙面に垂直な手前向きの電流を流し、反時計回りの電流磁界を発生させて、記憶補助層2を図7Aとは反対の向きに磁化すればよい。
【0057】
このようにして、記憶層1に、記録する情報に対応して、右向き或いは左向きの磁化情報が記録される。
【0058】
上述の本実施の形態の磁気記憶素子20の構成によれば、第1の配線11の左右の側面及び上面に記憶補助層2が設けられ、この記憶補助層2が記憶層1の上方に配置されていることにより、第1の配線11に電流を流すことにより発生する電流磁界を記憶補助層2に印加して、記憶補助層2に磁化の向きによる情報の記録を行うことができ、さらにその後第2の配線12に電流を流して記憶層1を加熱して記憶層1の保磁力を下げることにより、記憶補助層2からの磁界により記憶層1に磁化の向きによる情報の記録を行うことができる。
これにより、先の実施の形態の磁気記憶素子10と同様に、第1の配線11及び第2の配線12に共に電流を流した場合には、上述した記録動作が行われ、第1の配線11のみに電流を流した場合には、記憶層1への記録が行われない。
【0059】
従って、複数の磁気記憶素子20を有する磁気記憶装置を構成したときに、磁気記憶素子20の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、第1の配線11及び第2の配線12の選択により、記録が行われる磁気記憶素子20と記録が行われない磁気記憶素子20とを正しく選択することができる。
即ち、本実施の形態の磁気記憶素子20を用いることにより、安定して正確な情報の記録ができる磁気記憶装置を構成することが可能になる。
【0060】
なお、上述の実施の形態の磁気記憶素子20では、記憶補助層2を第1の配線11の両側面及び上面に形成したが、記憶補助層2の配置をその他の構成としてもよい。例えば図8に示す磁気記憶素子21のように、第1の配線11の両側面のみに記憶補助層2を形成してもよい。また、図示しないが例えば第1の配線11の片方の側面及び上面に、即ち断面L字状に記憶補助層2を配置してもよい。記憶補助層2の配置をいずれの構成としても、第1の配線11の電流を停止したときに、記憶補助層2の磁化による磁界が記憶層1に有効に作用するように、記憶補助層2を配置する。
【0061】
上述の図6に示した実施の形態の磁気記憶素子20を用いても、図3に示した磁気記憶装置40と同様にして磁気記憶装置を構成することができる。
図6に示した磁気記憶素子20を用いて磁気記憶装置を構成することにより、電流を流す第2の配線12を選択すれば、その他の第2の配線に対応する磁気記憶素子20に誤って記録してしまうことがなくなり、各磁気記憶素子20の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、書き損じなく安定して正確に記録を行うことが可能になる。
【0062】
また、この場合、記憶層1に記録される磁化の向きは、図11に示した従来の磁気記憶装置60と同様に、第1の配線11に流す電流による電流磁界Hに沿った向きとなる。
従って、図5と同様にしてビット線及びワード線に流す電流を示すと、図9に示すように、電流の向きは従来の構成(図5A)と同じで、電流のタイミングが図3の構成(図5B)と同じになる。電流のタイミングが、図3の構成と同様にビット線に1本ずつ順次電流が流れるようになっているため、この場合も、同時に流す電流の量を従来よりも低減することができる。
【0063】
次に、本発明の磁気記憶素子のさらに他の形態の概略構成図(断面図)を図10に示す。
本実施の形態の磁気記憶素子は、第2の配線12を直接記憶層1に接続して、第2の配線12から記憶層1に電流を流すように構成されている。
また、磁化固定層5の下方には、記憶層1の磁化状態を検出するために磁気トンネル接合素子6に電流を流すための電極13が配置されている。この電極13は図示しない第3の配線に接続されて、第2の配線12及び第3の配線により、磁気トンネル接合素子6にトンネル電流を流すことができる。
本実施の形態では、記憶補助層2は、第1の配線の下面に設けられ、第2の配線12の上面よりも上の方に配置されている。
その他の構成は、前述した磁気記憶素子の各実施の形態と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
【0064】
本実施の形態の磁気記憶素子において、記憶補助層2及び記憶層1に対する記録動作は、図2A〜図2Cに説明した先の実施の形態の磁気記憶素子10の記録動作と同様である。
【0065】
本実施の形態の磁気記憶素子では、特に、第2の配線12の途中に記憶層1を配置し、第2の配線12から記憶層1に直接電流を流すようにしているため、記憶層1に流した電流により、記憶層1を効率良く加熱することができ、容易に記憶層1の保磁力を低下させることができる。
【0066】
上述の本実施の形態の磁気記憶素子の構成によれば、第1の配線11の下面に記憶補助層2が設けられ、この記憶補助層2が記憶層1の上方に配置されていることにより、図1に示した先の実施の形態の磁気記憶素子10と同様に、第1の配線11及び第2の配線12に共に電流を流した場合には、上述した記録動作が行われ、第1の配線11のみに電流を流した場合には、記憶層1への記録が行われない。
【0067】
従って、複数の磁気記憶素子を有する磁気記憶装置を構成したときに、磁気記憶素子の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、第1の配線11及び第2の配線12の選択により、記録が行われる磁気記憶素子と記録が行われない磁気記憶素子を正しく選択することができる。
即ち、本実施の形態の磁気記憶素子を用いることにより、安定して正確な磁気記憶装置を構成することが可能になる。
【0068】
さらに、本実施の形態の磁気記憶素子によれば、第2の配線12を記憶層1に電気的に接続し、第2の配線12から直接記憶層1に電流を流す構成としていることにより、記憶層1の保磁力を効率良く低下させて、容易に記憶補助層2から記憶層1への情報の転写を行うことができる。これにより、第2の配線12に流す電流を小さくしても記録を行うことが可能になる。
【0069】
上述の図10に示した実施の形態の磁気記憶素子を用いても、図3に示した磁気記憶装置40と同様にして磁気記憶装置を構成することができる。
図10に示した磁気記憶素子を用いて磁気記憶装置を構成することにより、電流を流す第2の配線12を選択すれば、その他の第2の配線に対応する磁気記憶素子に誤って記録してしまうことがなくなり、各磁気記憶素子の記憶層1の保磁力にばらつきがあっても、書き損じなく安定して正確に記録を行うことが可能になる。
【0070】
また、この場合、第1の配線11に流す電流の向きと磁気記憶素子の記憶層1に記録される磁化の向きとの関係は、図1に示した磁気記憶素子10を用いた図3の磁気記憶装置40と同様になる。
従って、ビット線及びワード線に流す電流は、図3の構成(図5B)と同じになり、この場合も、同時に流す電流の量を従来よりも低減することができる。
【0071】
さらに、第2の配線12から記憶層1に直接電流が流れるので、効率良く記憶層1の保磁力を低下させることができる。これにより、第2の配線12に流す電流を、図3の磁気記憶装置40よりも小さくしても記録が可能になる。
【0072】
上述の各実施の形態では、記憶層1の磁化状態の検出(読み出し)を行うために、記憶層1に対してトンネル絶縁層4を挟んで磁化固定層5を配置して磁気トンネル接合素子6を構成したが、本発明において記憶層の磁化状態を検出するための構成は、磁気トンネル接合素子に限定されるものではなく、その他の構成(例えば巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)やホール素子等)としてもよい。
【0073】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【0074】
【発明の効果】
上述の本発明によれば、記憶層を加熱していない場合には、磁気記憶素子の記憶層に誤って磁化状態の記録が行われないため、書き損じがなく、磁気記憶素子に正しく情報の記録を行うことが可能になる。これにより、磁気記憶素子に選択性良く記録を行うことができる。
また、記憶層を加熱することにより記憶層への記録が行われるため、各磁気記憶素子の記憶層の保磁力等の磁気特性のばらつきがあっても、その影響を受けることなく、正確に情報を記録することができる。
従って、本発明によれば、安定して正確に情報を記録することができる磁気記憶装置を構成することが可能になる。
そして、記憶容量を大きくするために、磁気記憶素子を微小化するほど、各磁気記憶素子の記憶層の保磁力が増大し、磁気特性のばらつきも大きくなる傾向があるため、本発明は磁気記憶装置の記憶容量を増大させるために有効である。
【0075】
また、本発明の磁気記憶装置によれば、磁気記憶素子の記憶補助層に磁化状態がいったん記録され、第1の配線からの電流磁界を停止しても記憶補助層に磁化状態が保持されるため、複数の第1の配線に同時に電流を流す必要がなく、動作に必要な最大電流を低減することができる。
【0076】
さらに、配線を磁気記憶素子の記憶層に電気的に接続した構成としたときには、効率良く記憶層の保磁力を低下することができるため、記憶補助層から記憶層へ情報の転写を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の磁気記憶素子の概略構成図(断面図)である。
【図2】A〜C 図1の磁気記憶素子の記録動作を説明する図である。
【図3】図1の磁気記憶素子を用いた磁気記憶装置の概略構成図(斜視図)である。
【図4】図3の磁気記憶装置の平面図である。
【図5】従来の一般的なMRAMと図3に示した磁気記憶装置について、ビット線及びワード線に流す電流を比較した図である。
A 従来の一般的なMRAMの構成の場合である。
B 図3に示した磁気記憶装置の構成の場合である。
【図6】本発明の磁気記憶素子の他の実施の形態の概略構成図(断面図)である。
【図7】A、B 図6の磁気記憶素子の記録動作を説明する図である。
【図8】図6の磁気記憶素子を変形した形態を示す図である。
【図9】図6の磁気記憶素子を用いて磁気記憶装置を構成した場合の、ビット線及びワード線に流す電流を示した図である。
【図10】本発明の磁気記憶素子のさらに他の実施の形態の概略構成図(断面図)である。
【図11】一般的な磁気記憶装置(MRAM)の平面図である。
【符号の説明】
1 記憶層、2 記憶補助層、3 非磁性層、4 トンネル絶縁層、5 磁化固定層、6 磁気トンネル接合素子、10,20,21 磁気記憶素子、11 第1の配線、12 第2の配線、40 磁気記憶装置、I 電流、H 電流磁界[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic storage element and a recording method thereof suitable for use in a nonvolatile memory, and a magnetic storage device configured using the magnetic storage element.
[0002]
[Prior art]
In information devices such as computers, high-speed and high-density DRAMs are widely used as random access memories.
However, since a DRAM is a volatile memory that loses information when the power is turned off, a nonvolatile memory that does not erase information is desired.
[0003]
As a nonvolatile memory, a magnetic random access memory (MRAM) using a magnetic storage element that records information based on a magnetization state of a magnetic material has been developed (for example, see Non-Patent Document 1).
[0004]
[Non-patent document 1]
Nikkei Electronics 2001.12 (Pages 164 to 171)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described MRAM, a plurality of two types of wirings (for example, word lines and bit lines) which are orthogonal to each other are formed, and a magnetic storage element is provided at each intersection of these two types of wirings. It constitutes a magnetic storage device arranged in a matrix. Then, by passing a current through a specific wiring for each of the two types of wirings, only the magnetic storage element located at the intersection of the wirings through which the current flows is selected, and the magnetization of the storage layer of the magnetic storage element is changed to a current magnetic field. To record information.
[0006]
However, if the magnetic characteristics of the magnetic storage elements constituting the MRAM vary, magnetization reversal may occur in magnetic storage elements other than the target (recording should be performed), and correct recording can be performed. This is not preferable because it cannot be performed. Further, if the current magnetic field is made sufficiently small in order to prevent the magnetization from being reversed at all in magnetic storage elements other than the target magnetic storage element, recording will fail for some of the target magnetic storage elements. There is a possibility.
[0007]
In the future, it is necessary to increase the density of the MRAM in order to increase the storage capacity, and it is required to reduce the size of the magnetic storage element constituting the memory cell. Body dimensions also need to be reduced.
Since the coercive force of the magnetic material tends to increase as the size of the magnetic material decreases, the coercive force of the recording layer also increases in the magnetic storage element of the MRAM as the size decreases. When the coercive force increases in this manner, it becomes difficult to reduce the variation in the coercive force of each magnetic storage element.
[0008]
In order to solve the above-described problem, the present invention provides a magnetic storage element capable of correctly recording information without writing errors and a recording method thereof. It is another object of the present invention to provide a magnetic storage device that includes this magnetic storage element and can stably and accurately record information even when magnetic characteristics of each magnetic storage element vary.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The magnetic storage element of the present invention includes at least a storage layer that holds a magnetization state as information, and a storage auxiliary layer that is disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer and is made of a ferromagnetic material. This memory auxiliary layer has a characteristic that the magnetization state is maintained for a certain period of time even after the application of the magnetic field is stopped.
[0010]
Further, in the above magnetic storage element of the present invention, a wiring for heating the storage layer may be provided, and the wiring may be electrically connected to the storage layer.
[0011]
A recording method for a magnetic storage element according to the present invention includes at least a storage layer that holds a magnetization state as information, and a storage auxiliary layer that is disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer and is made of a ferromagnetic material. A magnetic field is applied to the storage auxiliary layer by applying a magnetic field to the magnetic storage element having a characteristic that the magnetization state is maintained for a certain period of time after the storage auxiliary layer stops applying the magnetic field. A step of recording a state, and thereafter, a step of heating the storage layer to reduce the coercive force of the storage layer and recording a magnetization state in the storage layer by a magnetic field from the storage auxiliary layer. It is.
[0012]
The magnetic storage device of the present invention has at least a storage layer that retains a magnetization state as information, and a storage auxiliary layer made of a ferromagnetic material and disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer. Has a characteristic that the magnetization state is maintained for a certain period of time after the application of the magnetic field is stopped, a first wiring for applying a current magnetic field to the storage auxiliary layer, and a second wiring for heating the storage layer. And the above-described magnetic storage elements are arranged at intersections where the first wiring and the second wiring intersect.
[0013]
Further, in the above magnetic storage device of the present invention, the second wiring may be electrically connected to the storage layer.
[0014]
According to the configuration of the magnetic storage element of the present invention described above, the storage layer holding the magnetization state as information, and the storage auxiliary layer made of a ferromagnetic material and disposed on the storage layer via the nonmagnetic layer are provided. At least, the storage auxiliary layer has a characteristic that the magnetization state is preserved for a certain period of time even after the application of the magnetic field is stopped, so that by applying a magnetic field to the storage auxiliary layer and recording the magnetization state, Even after the application of is stopped, the magnetization state recorded in the storage auxiliary layer is preserved. When the temperature of the storage layer is increased by heating the storage layer, the coercive force of the storage layer decreases, and the direction of magnetization of the storage layer can be changed by a magnetic field from the storage auxiliary layer in which the magnetization state is recorded. This makes it possible to record information on the storage layer by changing the magnetization state of the storage layer according to the magnetization state recorded on the storage auxiliary layer.
Since the magnetic field from the storage auxiliary layer in which the magnetization state is recorded is relatively small, when the storage layer is not heated, the direction of magnetization of the storage layer does not change due to this magnetic field, and recording on the storage layer is not performed. Is not done.
Therefore, by selecting whether or not to record the magnetization state on the storage auxiliary layer by applying a magnetic field and whether or not to heat the recording layer, it is possible to selectively perform recording on the storage layer.
[0015]
Further, in the magnetic storage element of the present invention, when a wiring for heating the storage layer is provided and the wiring is electrically connected to the storage layer, a current may flow from the wiring to the storage layer. Since the storage layer can be heated and a current magnetic field can be generated by the current flowing through the storage layer, the coercive force of the storage layer can be efficiently reduced.
[0016]
According to the recording method of the magnetic storage element of the present invention described above, a step of applying a magnetic field to the storage auxiliary layer and recording the magnetization state in the storage auxiliary layer is performed on the magnetic storage element of the present invention. Then, by heating the storage layer, the coercive force of the storage layer is reduced, and a step of recording a magnetization state in the storage layer by a magnetic field from the storage auxiliary layer is performed. After the recording of the state, even if the application of the magnetic field is stopped, the magnetization state recorded in the storage auxiliary layer is maintained, and when the coercive force of the storage layer is reduced by heating the storage layer, the storage auxiliary The magnetic field from the layer changes the magnetization state of the storage layer in accordance with the magnetization state recorded on the storage auxiliary layer, thereby enabling information to be recorded on the storage layer.
Since the magnetic field from the storage auxiliary layer in which the magnetization state is recorded is relatively small, when the storage layer is not heated, the direction of magnetization of the storage layer does not change due to this magnetic field, and recording on the storage layer is not performed. Is not performed, so that when the storage layer is not heated, recording on the storage layer is not mistakenly performed.
That is, when the above two steps are performed, the recording of the storage layer can be performed. On the other hand, when the storage layer is not heated, that is, when the subsequent steps are not performed, the recording is erroneously performed on the storage layer. Nothing.
Therefore, it is possible to selectively perform recording on the storage layer, and it is possible to perform stable and accurate recording.
[0017]
According to the configuration of the magnetic storage device of the present invention described above, the magnetic storage element of the present invention described above, the first wiring for applying a current magnetic field to the storage auxiliary layer, and the second wiring for heating the storage layer And a magnetic storage element is arranged at each intersection where the first wiring and the second wiring intersect, so that recording can be performed on the magnetic storage element by the above-described recording method. It is.
That is, a current magnetic field is applied to the storage auxiliary layer by the first wiring to record the magnetization state in the storage auxiliary layer, and then the storage layer is heated by the second wiring, thereby reducing the coercive force of the storage layer. The magnetic field from the storage auxiliary layer causes the magnetization direction of the storage layer to change in accordance with the magnetization state recorded in the storage auxiliary layer, thereby causing the storage layer to record the magnetization state (information). be able to.
Then, in the magnetic memory element in which both the corresponding first wiring and the corresponding second wiring are selected, while the information is recorded in the storage layer as described above, the corresponding second wiring is selected. In a non-magnetic storage element, since the storage layer is not heated and the coercive force of the storage layer does not decrease, the magnetic field from the storage auxiliary layer does not change the direction of magnetization of the storage layer and is erroneously recorded on the storage layer. There is no.
In other words, no writing errors occur in magnetic storage elements other than the selected magnetic storage element.
Further, since the recording is performed by heating the storage layer by the second wiring and lowering the coercive force of the storage layer, even if the coercive force of the storage layer of the magnetic storage element varies, the storage is reliably performed by heating. Recording can be performed with reduced magnetic force.
That is, it is possible to configure a magnetic storage device that is hardly affected by variations in magnetic characteristics (such as coercive force) of the magnetic storage element.
[0018]
In the magnetic storage device of the present invention, when the second wiring is electrically connected to the storage layer, a current can flow from the second wiring to the storage layer, and the current flowing to the storage layer can be increased. Thereby, the storage layer can be heated or a current magnetic field can be generated, so that the coercive force of the storage layer can be efficiently reduced.
[0019]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 shows a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of a magnetic storage element according to an embodiment of the present invention. This
The magnetic tunnel junction element 6 is arranged such that the left-right direction in the drawing is the direction of the easy axis of magnetization of the magnetic layer, and the direction perpendicular to the paper is the direction of the hard axis of the magnetic layer. Although not shown, the magnetization fixed layer 5 is formed of a laminated film of a ferromagnetic layer and an antiferromagnetic layer, and the direction of magnetization of the ferromagnetic layer is fixed to one side by the antiferromagnetic layer.
[0020]
In the
The
[0021]
Further, a
That is, the memory
Then, by passing a current through the
The current magnetic field generated when a current flows through the
Therefore, the
[0022]
The coercive force of the memory
As a method of giving such a coercive force to the memory
In addition, in order for the
[0023]
Further, the coercive force of the storage layer 1 is set to a magnitude that does not reverse with the magnetic field from the
When a current is applied to the
[0024]
When the coercive force of the storage layer 1 is reduced by using heat generated when a current flows through the
[0025]
In the
[0026]
Subsequently, a method for recording information in the
[0027]
First, as shown in FIG. 2A, a current I is applied to the
[0028]
Next, as shown in FIG. 2B, the current I of the
[0029]
Next, as described above, a current is applied to the second wiring 12 (see FIG. 1), and the coercive force of the storage layer 1 is reduced by a current magnetic field or heat generated by the current.
Thereby, as shown in FIG. 2C, the magnetization M1 of the storage layer 1 is affected by the magnetic field H2 from the
[0030]
On the other hand, when the magnetization M1 of the storage layer 1 is magnetized to the left in the drawing, as opposed to FIG. 2C, a forward current perpendicular to the plane of the drawing flows through the
[0031]
In this manner, rightward or leftward magnetization information is recorded in the storage layer 1 in accordance with the information to be recorded.
[0032]
The detection (reading) of the magnetization information recorded in the storage layer 1 can be performed in the same manner as the magnetic storage element used in the conventional MRAM.
That is, depending on whether the direction of the magnetization M1 of the storage layer 1 and the direction of the magnetization of the magnetization fixed layer 5 are parallel (same direction) or antiparallel (opposite direction), the tunnel insulating film 4 is formed. Since the resistance to the flowing tunnel current changes, the magnetization information recorded in the storage layer 1 can be detected based on the resistance value or the current value.
[0033]
According to the configuration of the
Thus, when a current flows through both the
[0034]
On the other hand, when a current is applied only to the
[0035]
When a current is applied only to the
[0036]
As described above, if no current is passed through the
Therefore, when a magnetic storage device having a plurality of
On the other hand, the magnetization of the storage layer 1 of the unselected
At this time, even if the coercive force of the storage layer 1 of the
[0037]
Therefore, by using the
[0038]
Then, by arranging the
[0039]
Next, as one embodiment of the magnetic storage device of the present invention, FIG. 3 shows a schematic configuration diagram (perspective view) of a magnetic storage device configured using the
[0040]
As shown in FIGS. 3 and 4, this
As shown in FIG. 1, each
Note that, in the
[0041]
When the magnetic storage device is configured as described above, recording is performed on the
First, one of the many
Thereafter, a current is caused to flow through the selected one of the second wirings, so that all of the
Then, the
By repeating this and supplying a current to all the
[0042]
In order to record information only on a part of the
[0043]
By performing the recording as described above, in the selected
On the other hand, in the
When the
[0044]
Therefore, in each
That is, there is no possibility that the data is erroneously recorded on the
[0045]
According to the configuration of the
In order to increase the storage capacity, as the size of the magnetic storage element is reduced, the coercive force of the storage layer of each magnetic storage element tends to increase and the variation in magnetic characteristics tends to increase. The
Further, according to the configuration of the
[0046]
Next, as a comparative configuration with respect to the magnetic storage device of the present invention, FIG. 11 shows a plan view of a simplified structure of a general magnetic storage device (MRAM).
As shown in FIG. 11, this
In this configuration, for each of the two types of
Note that the shape of the
[0047]
Here, the
[0048]
However, if the coercive force of the storage layer of each
However, in this case, since a strong magnetic field is applied to all the
[0049]
Here, the conventional general
In order to perform recording with a simple configuration using four word lines and four bit lines, four magnetic storage elements in the same row are simultaneously recorded, and recording is performed sequentially for each row.
FIGS. 5A and 5B show timings of currents flowing in the respective
[0050]
In the conventional magnetic storage device (MRAM) 60 having a general configuration shown in FIG. 11, it is necessary to simultaneously supply current to all four bit lines and one word line as shown in FIG. 5A.
[0051]
On the other hand, in the
Therefore, as shown in FIG. 5B, by sequentially supplying current to the bit lines one by one and then supplying current to the word lines, recording can be performed on four magnetic storage elements on the same word line.
As a result, the amount of current flowing simultaneously is reduced to one bit line, so that the maximum current required for the recording operation can be reduced.
[0052]
As can be seen by comparing FIGS. 5A and 5B, in order to finally record the same magnetization state in the
It should be noted that recording can be performed by applying a current to the word line in the same manner even when the main function of the word line is to apply heating instead of applying a magnetic field.
[0053]
Next, FIG. 6 shows a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of another embodiment of the magnetic storage element of the present invention.
In the above-described embodiment shown in FIG. 1, the memory
The other configuration is the same as the configuration of the
[0054]
Next, a recording operation of the
First, as shown in FIG. 7A, a current I is applied to the
[0055]
Next, the current I of the
Further, a current is caused to flow through the second wiring 12 (see FIG. 6), and the coercive force of the storage layer 1 is reduced by a current magnetic field and heat generated by the current, so that the
[0056]
On the other hand, when the magnetization M1 of the storage layer 1 is magnetized rightward in the drawing opposite to FIG. 7B, a forward current perpendicular to the plane of the drawing is supplied to the
[0057]
In this manner, rightward or leftward magnetization information is recorded in the storage layer 1 in accordance with the information to be recorded.
[0058]
According to the configuration of the
Thus, as in the case of the
[0059]
Therefore, when a magnetic storage device having a plurality of
That is, by using the
[0060]
In the
[0061]
Even when the
By configuring the magnetic storage device using the
[0062]
In this case, the direction of the magnetization recorded in the storage layer 1 is the direction along the current magnetic field H due to the current flowing through the
Therefore, when the currents flowing through the bit lines and the word lines are shown in the same manner as in FIG. 5, as shown in FIG. 9, the direction of the current is the same as that of the conventional configuration (FIG. 5A), and the timing of the current is the same as that of FIG. (FIG. 5B). Since the timing of the current is such that the current sequentially flows through the bit lines one by one in the same manner as in the configuration of FIG. 3, in this case, the amount of the current flowing simultaneously can be reduced as compared with the conventional case.
[0063]
Next, FIG. 10 shows a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of still another embodiment of the magnetic storage element of the present invention.
The magnetic memory element according to the present embodiment is configured such that the
Further, below the magnetization fixed layer 5, an
In the present embodiment, the
The other configuration is the same as that of each of the embodiments of the magnetic storage element described above, and thus the same reference numerals are given and the duplicate description will be omitted.
[0064]
In the magnetic storage element of the present embodiment, the recording operation on the
[0065]
In the magnetic storage element according to the present embodiment, the storage layer 1 is arranged particularly in the middle of the
[0066]
According to the configuration of the magnetic storage element of the present embodiment described above, the
[0067]
Accordingly, when a magnetic storage device having a plurality of magnetic storage elements is configured, even if the coercive force of the storage layer 1 of the magnetic storage element varies, the
That is, by using the magnetic storage element of the present embodiment, a stable and accurate magnetic storage device can be configured.
[0068]
Further, according to the magnetic storage element of the present embodiment, the
[0069]
Even when the magnetic storage element of the embodiment shown in FIG. 10 is used, a magnetic storage device can be configured in the same manner as the
By configuring the magnetic storage device using the magnetic storage element shown in FIG. 10, if the
[0070]
In this case, the relationship between the direction of the current flowing through the
Therefore, the currents flowing through the bit lines and the word lines are the same as those in the configuration of FIG. 3 (FIG. 5B).
[0071]
Furthermore, since a current flows directly from the
[0072]
In each of the above-described embodiments, in order to detect (read) the magnetization state of the storage layer 1, the magnetization fixed layer 5 is disposed on the storage layer 1 with the tunnel insulating layer 4 interposed therebetween, and the magnetic tunnel junction element 6 However, the configuration for detecting the magnetization state of the storage layer in the present invention is not limited to the magnetic tunnel junction element, and other configurations (for example, a giant magnetoresistance effect element (GMR element) and a Hall element) Etc.).
[0073]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and may take various other configurations without departing from the gist of the present invention.
[0074]
【The invention's effect】
According to the present invention described above, when the storage layer is not heated, the magnetization state is not erroneously recorded in the storage layer of the magnetic storage element. Can be performed. Thereby, recording can be performed on the magnetic storage element with high selectivity.
In addition, since the recording is performed on the storage layer by heating the storage layer, even if there is a variation in the magnetic characteristics such as the coercive force of the storage layer of each magnetic storage element, the information can be accurately obtained without being affected by the variation. Can be recorded.
Therefore, according to the present invention, it is possible to configure a magnetic storage device capable of stably and accurately recording information.
In order to increase the storage capacity, as the size of the magnetic storage element is reduced, the coercive force of the storage layer of each magnetic storage element tends to increase and the variation in magnetic characteristics tends to increase. This is effective for increasing the storage capacity of the device.
[0075]
According to the magnetic storage device of the present invention, the magnetization state is once recorded in the storage auxiliary layer of the magnetic storage element, and the magnetization state is retained in the storage auxiliary layer even when the current magnetic field from the first wiring is stopped. Therefore, it is not necessary to supply current to a plurality of first wirings at the same time, and the maximum current required for operation can be reduced.
[0076]
Further, when the wiring is electrically connected to the storage layer of the magnetic storage element, the coercive force of the storage layer can be efficiently reduced, so that information can be easily transferred from the storage auxiliary layer to the storage layer. be able to.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of a magnetic storage element according to an embodiment of the present invention.
2A to 2C are diagrams for explaining a recording operation of the magnetic storage element of FIG. 1;
FIG. 3 is a schematic configuration diagram (perspective view) of a magnetic storage device using the magnetic storage element of FIG. 1;
FIG. 4 is a plan view of the magnetic storage device of FIG. 3;
5 is a diagram comparing currents flowing through bit lines and word lines in a conventional general MRAM and the magnetic storage device shown in FIG. 3;
A This is the case of a conventional general MRAM configuration.
B shows the case of the configuration of the magnetic storage device shown in FIG.
FIG. 6 is a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of another embodiment of the magnetic storage element of the present invention.
7A and 7B are diagrams illustrating a recording operation of the magnetic storage element of FIG. 6;
FIG. 8 is a diagram showing a modified form of the magnetic storage element of FIG. 6;
9 is a diagram illustrating currents flowing through bit lines and word lines when a magnetic storage device is configured using the magnetic storage elements of FIG. 6;
FIG. 10 is a schematic configuration diagram (cross-sectional view) of still another embodiment of the magnetic storage element of the present invention.
FIG. 11 is a plan view of a general magnetic storage device (MRAM).
[Explanation of symbols]
REFERENCE SIGNS LIST 1 storage layer, 2 storage auxiliary layer, 3 nonmagnetic layer, 4 tunnel insulating layer, 5 fixed magnetization layer, 6 magnetic tunnel junction element, 10, 20, 21 magnetic storage element, 11 first wiring, 12 second wiring , 40 magnetic storage device, I current, H current magnetic field
Claims (7)
上記記憶層に対して非磁性層を介して配置され、強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有して成り、
上記記憶補助層は、磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有する
ことを特徴とする磁気記憶素子。A storage layer that holds a magnetization state as information;
At least a storage auxiliary layer made of a ferromagnetic material, which is disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer,
The magnetic storage element, wherein the storage auxiliary layer has a property that a magnetization state is maintained for a predetermined time or more even after application of a magnetic field is stopped.
上記記憶層に対して非磁性層を介して配置され、強磁性体から成る記憶補助層とを少なくとも有して成り、
上記記憶補助層は、磁界の印加を停止した後も一定時間以上磁化状態が保存される特性を有する磁気記憶素子に対して、
上記記憶補助層に磁界を印加して、上記記憶補助層に磁化状態の記録を行う工程と、
その後、上記記憶層を加熱することにより、該記憶層の保磁力を低下させて、上記記憶補助層からの磁界によって該記憶層に磁化状態の記録を行う工程とを行う
ことを特徴とする磁気記憶素子の記録方法。A storage layer that holds a magnetization state as information;
At least a storage auxiliary layer made of a ferromagnetic material, which is disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer,
The storage auxiliary layer, for a magnetic storage element having a characteristic that the magnetization state is maintained for a certain time or more even after the application of the magnetic field is stopped,
Applying a magnetic field to the storage auxiliary layer to record a magnetization state in the storage auxiliary layer;
Heating the storage layer to reduce the coercive force of the storage layer, and recording a magnetization state on the storage layer by a magnetic field from the storage auxiliary layer. Recording method of storage element.
上記記憶補助層に対して電流磁界を印加する第1の配線と、
上記記憶層を加熱する第2の配線とを有し、
上記第1の配線と上記第2の配線とが交差する交点に、それぞれ上記磁気記憶素子が配置されて成る
ことを特徴とする磁気記憶装置。At least a storage layer that holds a magnetization state as information, and a storage auxiliary layer made of a ferromagnetic material and disposed on the storage layer via a nonmagnetic layer, and the storage auxiliary layer stops applying a magnetic field. A magnetic storage element having a property that the magnetization state is preserved for a certain time or more afterwards,
A first wiring for applying a current magnetic field to the storage auxiliary layer;
A second wiring for heating the storage layer,
A magnetic storage device, wherein the magnetic storage elements are arranged at intersections where the first wiring and the second wiring intersect, respectively.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011096734A (en) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Sony Corp | Information storage element and method for driving the same |
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2002
- 2002-11-15 JP JP2002332561A patent/JP2004172155A/en active Pending
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