JP2004157044A - Scanning type laser radar - Google Patents

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JP2004157044A JP2002324094A JP2002324094A JP2004157044A JP 2004157044 A JP2004157044 A JP 2004157044A JP 2002324094 A JP2002324094 A JP 2002324094A JP 2002324094 A JP2002324094 A JP 2002324094A JP 2004157044 A JP2004157044 A JP 2004157044A
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laser
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JP2002324094A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Shimizu
修 清水
Original Assignee
Nippon Signal Co Ltd:The
日本信号株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To widen a monitoring field of a scanning type laser radar which receives reflected light of scanning laser light with a different light path from that of the scanning laser light.
SOLUTION: Laser light from a laser light source 2 is scanned by a scanning mirror 4, the reflected light of which is received via a focusing lens 7 by an array of light receiving elements 8 on which a lot of the light receiving elements are arranged . A distance measuring controller 12 outputs a light receiving element selection order to a multiplexer 9 based on memory information of a conversion table memory 13 for each scanning position. According to the selection order the multiplexer 9 switches a plurality of the light receiving elements, the outputs of which are added by an output of a receiving light adding amplifier 10, and the elapsed time from the emission of the laser light to receiving the output of the receiving light adding amplifier is measured by a date measuring circuit 11. From the measured time the distance to the body A is calculated by a distance measuring circuit 12.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、走査型レーザレーダに関し、特に、走査レーザと異なる光路で反射光を受光する方式の走査型レーザレーダの監視視野を拡大する技術に関する。 The present invention relates to a scanning laser radar, in particular, to a technology for expanding the monitoring field of view of the scanning laser radar system for receiving the reflected light and the scanning laser with a different optical path.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
レーザ光を走査ミラー(ポリゴンミラーやガルバノミラー等)で走査して前方に放射し、物体からの反射光を受光することにより、物体の有無、物体までの距離、或いは物体の方位等を検出する走査型レーザレーダがある。 And radiated forward by scanning a laser beam with the scanning mirror (polygon mirror or a galvanometer mirror or the like), by receiving the reflected light from the object, presence or absence of an object, distance to an object, or to detect the orientation and the like of an object there is a scanning laser radar.
【0003】 [0003]
かかる走査型レーザレーダとしては、走査レーザ光と同一の光路で反射光を受光する方式(以下、同軸型とする)と走査レーザと異なる光路で反射光を受光する方式(以下、送受分離型とする)がある。 Such scanning laser radar, a method for receiving the light reflected by the same optical path as the scanning laser beam (hereinafter, a coaxial type) and method for receiving the reflected light and the scanning laser with a different optical path (hereinafter, a transmission and reception separator type to) there is.
【0004】 [0004]
同軸型は、レーザ光源と走査ミラーとの間の光路にハーフミラー或いはビームスプリッタ等を配置し、光源から発射したレーザ光をハーフミラー或いはビームスプリッタを通して走査ミラーに照射し、走査ミラーでレーザ光を走査する。 Coaxial places the half-mirror or beam splitter or the like in the optical path between the laser light source and the scanning mirror, and irradiates the scanning mirror laser light emitted from the light source through a half mirror or beam splitter, a laser light scanning mirror scanning. そして、走査レーザ光と同一光路の物体からの反射光を前記走査ミラーで受け、走査ミラーからの反射光を前記ハーフミラー或いはビームスプリッタで反射させ集光レンズで集光して受光素子で受光する構成である(例えば、特許文献1参照)。 Then, receiving the light reflected from the object of the same optical path as the scanning laser beam by the scanning mirror, and condensing the reflected light by the half mirror or is reflected by the beam splitter condenser lens from the scanning mirror is received by the light receiving element configuration is (e.g., see Patent Document 1).
【0005】 [0005]
送受分離型は、レーザ光源からのレーザ光を走査ミラーに照射し、走査ミラーでレーザ光を走査し、走査レーザ光と異なる光路の物体からの反射光を直接(或いは光学フィルタを介して)集光レンズで集光して受光素子で受光する構成である(例えば、特許文献2参照)。 Transmission and reception splitter type, by irradiating laser light from the laser light source to the scanning mirror scans the laser beam in the scanning mirror, the reflected light from the object with the scanning laser beam varies the optical path directly (or via an optical filter) Collection is configured to received by the light receiving element is condensed by the optical lens (for example, see Patent Document 2).
【0006】 [0006]
ところで、走査型レーザレーダを例えば車両等に搭載して前方の障害物の検出や測距等に利用する場合、上述した同軸型では、車両の振動等で走査ミラーが変動して反射光を正確に受光できず、物体の検出精度や測距精度の点で問題がある。 Incidentally, when equipped with a scanning laser radar, for example, in a vehicle or the like used to detect and ranging like a forward obstacle, the coaxial described above, accurate reflected light scanning mirror in vibration of the vehicle is varied not be received, there is a problem in terms of object detection accuracy and distance measurement accuracy. このため、走査型レーザレーダを車両等の移動体に搭載する場合には、送受分離型を用いるのが一般的である。 Therefore, when mounting the scanning laser radar in a mobile such as a vehicle, to use a transmission and reception separator type is common.
【0007】 [0007]
【特許文献1】 [Patent Document 1]
特開2000−275340号公報【特許文献2】 JP 2000-275340 Publication [Patent Document 2]
特開平10−31064号公報【0008】 Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-31064 [0008]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
しかしながら、従来の送受分離型の走査型レーザレーダは、反射光を集光レンズで集光して受光素子に入射する構成である。 However, scanning laser radar conventional transmission and reception splitter type is configured to enter the light receiving element by condensing the reflected light by the condenser lens. この場合、受光系の視野角を大きくすると、反射光以外の外光(ノイズ)の受光量が多くなり、S/N比(反射光と外光の比)が低下する。 In this case, increasing the viewing angle of the light receiving system, the received light amount of outside light (noise) other than the reflected light is increased, S / N ratio (the ratio of the reflected light and external light) decreases. このため、従来の送受分離型の走査型レーザレーダを車載装置等に利用する場合には、十分なS/N比を確保するために画角の狭い集光レンズを使用して受光系の視野角を小さく(例えば±5度程度)せざるを得ず、監視視野が狭いという問題がある。 Therefore, when using a scanning laser radar conventional transmission and reception separator type in-vehicle device or the like, the field of view of the light receiving system using a narrow condenser lens field angle in order to ensure sufficient S / N ratio inevitable to corners smaller (e.g. ± 5 degrees), the monitoring field there is a problem that narrow.
【0009】 [0009]
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、監視視野を拡大でき広範囲な物体検出領域を有する送受分離型構造の走査型レーザレーダを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a scanning laser radar transmission and reception separator structure having a wide range of object detection area can be enlarged to monitor viewing.
【0010】 [0010]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
このため、請求項1の発明は、レーザ光源からのレーザ光を光走査手段で走査し、走査領域からの反射光を前記走査レーザ光と異なる光路で受光して前記走査領域内を監視する走査型レーザレーダにおいて、多数の受光素子がマトリクス状に配列され前記走査領域からの反射光を結像レンズを介して受光する受光手段と、該受光手段の受光素子の中から指定された複数の受光素子を選択可能な受光素子選択手段と、前記光走査手段の走査位置が変化する毎に当該走査位置に対して予め対応付けられた受光素子及びその周囲の受光素子の選択指令を前記受光素子選択手段に出力し選択する複数の受光素子の切替えを制御する制御手段と、該受光素子選択手段で選択された受光素子の受光出力を加算する受光出力加算手段とを備え、該受光出力加 Therefore, the invention of claim 1, scanning the laser light from the laser light source is scanned by the optical scanning means, for monitoring the scanning area by receiving the reflected light from the scanning area in a different light path and the scanning laser beam in type laser radar, and the light receiving means a large number of light receiving elements for receiving light reflected from the scanned area are arranged in a matrix via an imaging lens, a plurality of light receiving designated from among the light receiving elements of the light receiving means a light receiving element selection unit can select an element, the light receiving element selection a selection command has been corresponded beforehand light receiving element and the light receiving element of the surrounding respect to the scanning position each time the scanning position changes of the optical scanning means and a control means for controlling the switching of the plurality of light receiving elements for selected output unit, and a light receiving output adder for adding the light reception output of the selected light receiving elements in the light receiving element selection means, the photodetection output pressure 手段の加算受光出力に基づいて走査領域内を監視する構成とした。 And configured to monitor the scanning area based on the addition light output means.
【0011】 [0011]
かかる構成では、光走査手段で走査されたレーザ光の反射光を受光する受光手段の受光位置は、レーザ光の走査位置の変化に応じて変化し受光する受光素子位置が変化する。 In such a configuration, the light receiving position of the light receiving means for receiving the reflected light of the scanning laser beam by the optical scanning means includes a light receiving element position changes of received light changes according to the change in the scanning position of the laser beam. 制御手段は、光走査手段の走査位置が変化する毎にその時の走査位置に対して予め対応付けられた受光素子及びその周囲の受光素子の選択指令を受光素子選択手段に出力する。 Control means outputs a selection command has been corresponded beforehand light receiving elements and the surrounding light receiving element thereof with respect to the scanning position at that time every time the scanning position of the scanning means changes the light-receiving element selection means. 受光素子選択手段は制御手段からの選択指令で選択された複数の受光素子を選択し、受光出力加算手段は受光素子選択手段で選択された受光素子の受光出力を加算し、この加算受光出力に基づいて走査領域内を監視する。 Light-receiving element selection means selects a plurality of light receiving elements which are selected by the selection instruction from the control unit, the light receiving output adding means adds the received light output of the light receiving element that is selected by the light receiving element selection means, to the added light receiving output based monitoring the scanning area. このように、レーザ光の走査位置とその走査位置からの反射光が受光される受光素子位置とを予め対応付けておき、レーザ光の走査位置に応じて受光出力を取出す受光素子を限定して順次切替えることにより、受光系の視野角を拡大しても十分なS/N比を確保できるようになる。 Thus, advance associates the light receiving element position reflected light is received from the scanning position of the laser beam and its scanning position, by limiting the light receiving element to take out the light output in accordance with the scanning position of the laser beam by switching sequentially, so even when enlarging the viewing angle of the light receiving system can ensure a sufficient S / N ratio.
【0012】 [0012]
請求項2の発明は、前記レーザ光源からレーザ光が発射されてから前記受光出力加算手段の加算受光出力が入力するまでの経過時間を計測する経過時間計測手段と、該経過時間計測手段の計測時間を示す情報に基づいて前記走査領域内の物体までの距離を演算する距離演算手段とを備える構成とした。 A second aspect of the present invention, an elapsed time measuring means for measuring an elapsed time from the laser light is emitted from the laser light source to adding the light receiving output of said light receiving output adding means is input, the measurement of the elapsed time measuring means It was constructed and a distance calculating means for calculating a distance to an object in the scanning area based on the information indicating the time.
【0013】 [0013]
かかる構成では、経過時間計測手段はレーザ光が発射されてから加算受光出力が入力するまでの時間を計測し、距離演算手段はその時間を示す情報により物体までの距離を演算する。 In such a configuration, the elapsed time measuring means measures the time until the sum received light outputs from the laser beam is fired is input, the distance calculation means calculates the distance to the object by information indicating the time.
【0014】 [0014]
請求項3の発明では、前記受光出力加算手段の出力をA/D変換するA/D変換手段と、該A/D変換手段のディジタル出力に基づいて得られる前記光走査手段の1走査周期当たりの受光波形データを予め定めた走査周期回数加算平均処理する加算平均処理手段とを備え、加算平均処理で得られた受光波形データに基づいて走査領域内を監視する構成とした。 In the invention of claim 3, the A / D converting means for outputting an A / D conversion of the received light output adding means, one scanning period per said optical scanning means obtained based on the digital output of the A / D conversion means and a predetermined scanning cycle count averaging process for averaging processing means for receiving waveform data, and configured to monitor the scanning area based on the light reception waveform data obtained by the averaging process.
【0015】 [0015]
かかる構成では、A/D変換手段でA/D変換した加算受光出力のディジタル出力に基づいて光走査手段の1走査周期当たりの受光波形データを得る。 In such a configuration, obtain the light reception waveform data per scan cycle of the optical scanning unit based on the digital output of the adder receiving the output A / D converted by the A / D converter. 加算平均処理手段は、1走査周期当たりの受光波形データが得られる毎に加算平均値を演算する。 Averaging processing means calculates an average value for each of the light receiving waveform data per scanning period can be obtained. そして、加算平均処理した受光波形データ値に基づいて走査領域内を監視するようにする。 Then, so as to monitor the scanning area based on the light reception waveform data value averaging process.
【0016】 [0016]
請求項4の発明は、前記光走査手段の各走査位置毎に前記レーザ光源に複数の送光パルスを出力してレーザ光を複数回発射させるレーザ光源駆動手段を設けると共に、前記受光出力加算手段の出力をA/D変換するA/D変換手段と、前記光走査手段の各走査位置毎に前記レーザ光源駆動手段の送光パルスの波形データを一定時間間隔で所定量づつずらして前記A/D変換手段の受光出力の波形データとの相関値を演算する相関値演算手段とを備え、前記相関値が最大となった時のずれ量に基づいて走査領域内の物体までの距離を演算する構成とした。 The invention according to claim 4, provided with a laser light source driving means for firing a plurality of times with a laser beam and outputting a plurality of sending pulses to the laser light source for each scan position of the light scanning unit, the light receiving output adding means output and a / D converting means for a / D conversion of the shifted predetermined amount at a time waveform data of the sending pulses at fixed time intervals of the laser light source driving means for each scanning position of the optical scanning unit a / a correlation value calculating means for calculating a correlation value between the waveform data of the light receiving output of the D converting means, the correlation value calculates the distance to an object within the scanning region based on the deviation amount when the maximum It was constructed.
【0017】 [0017]
かかる構成では、光走査手段の各走査位置でレーザ光源駆動手段から複数の送光パルスをレーザ光源に出力してレーザ光源から複数のレーザ光を発射する。 In such a configuration, a plurality of light-sending pulses from the laser light source driving means at each scanning position of the scanning means and output to the laser light source emits a plurality of laser beams from the laser light source. 受光出力加算手段の出力をA/D変換手段でA/D変換して受光出力の波形データを得る。 Obtaining waveform data receiving an output of the light receiving output adding means and A / D converted by the A / D converter. そして、送光パルスの波形データを所定量ずつずらして受光出力の波形データとの相関値を演算する。 Then, it calculates a correlation value between the waveform data of the received light output by shifting the waveform data of the sending pulse by a predetermined amount. 送光パルスの波形データと受光出力の波形データとが一致すると相関値は最大となる。 Correlation value and waveform data of the sending pulse and waveform data of the light reception output match is maximized. そのときのずれ量が時間に比例し、このずれ量に基づいて走査領域内の物体までの距離を演算する。 Proportional to the shift amount at that time is time, calculates the distance to an object within the scanning region based on the shift amount.
【0018】 [0018]
請求項5の発明は、前記光走査手段の各走査位置に応じて前記レーザ光源駆動手段の送光パルス数を可変制御し、各走査位置に応じてレーザ光の発射回数を可変制御する構成とした。 The invention of claim 5, the configuration of the number of sending pulses of the laser light source driving means is variably controlled in accordance with the scanning position of the optical scanning means, for variably controlling the firing times of the laser beam according to each scanning position did.
【0019】 [0019]
具体的には請求項6のように、前記光走査手段を各走査位置で固定してレーザ光を発射し各走査位置において受光出力が検出されるレーザ光発射回数を予め求めて作成した各走査位置と送光パルス数の対応関係を示す発射パルス数テーブルを記憶する発射パルス数テーブル記憶手段を設け、前記光走査手段の走査位置情報が入力した時に前記発射パルス数テーブル記憶手段に記憶された発射パルス数テーブルに基づいて前記レーザ光源駆動手段の送光パルス数を決定する構成とした。 As is specifically claim 6, each scan created seeking laser beam number of shots received light output is detected at each scanning position emits a laser beam to said light scanning means is fixed at each scan position previously a firing pulse number table storage means for storing the fire pulse number table indicating the position and sending the number of pulses corresponding relationship provided, stored in said firing pulse number table memory means when the scanning position information is entered by said optical scanning means and configured to determine the number of sending pulses of the laser light source driving means in accordance with the firing pulse number table.
【0020】 [0020]
かかる構成では、レーザ光の走査位置に応じてレーザ光の発射回数を可変制御し、レーザ光の照射を必要最小限にする。 In such a configuration, the firing frequency of the laser beam is variably controlled in accordance with the scanning position of the laser light and the minimum necessary laser beam irradiation. これにより、例えば室内の監視装置に適用した場合に、人間に対するレーザ光の悪影響を低減できるようになる。 Thus, for example, when applied to the interior of the monitoring device, it makes it possible to reduce the adverse effects of laser light with respect to humans.
【0021】 [0021]
請求項7の発明は、前記光走査手段を各走査位置で固定してレーザ光を発射し各走査位置において前記受光手段の各受光素子の中で受光出力が最大の受光素子位置を予め求めて作成した各走査位置と各受光素子位置の対応関係を示す変換テーブルを記憶する変換テーブル記憶手段を設け、前記制御手段は、前記光走査手段の走査位置情報が入力した時に前記変換テーブル記憶手段に記憶した変換テーブルに基づいて選択する複数の受光素子位置を決定する構成とした。 The invention of claim 7, receiving outputs the optical scanning means in the light receiving elements of the light receiving means in the projectile and the scanning position fixed to the laser beam at each scanning position is previously obtained maximum of the light receiving element position the conversion table storing means for storing a conversion table showing the respective scanning positions create correspondence between each light receiving element position provided, wherein, in the conversion table storing means when the scanning position information of said optical scanning means is input and configured to determine a plurality of light receiving elements positions selected based on the stored conversion table.
【0022】 [0022]
この場合、請求項8のように、前記変換テーブルを定期的に更新するようにすれば、経年変化等による受光手段における受光位置のずれを補正できる。 In this case, as according to claim 8, the conversion table when to periodically update, can correct the deviation of the light receiving position in the light receiving unit due to aging or the like.
請求項9のように、前記光走査手段に、半導体マイクロマシン技術により製造される半導体ミラーを使用すれば、走査型レーザレーダを小型化及び軽量化することができる。 As in claim 9, in the optical scanning means, the use of semiconductor mirror manufactured by semiconductor micromachining technology, the scanning laser radar can be reduced in size and weight.
【0023】 [0023]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 It will be described below with reference to embodiments of the present invention with reference to the drawings.
図1に、本発明に係る走査型レーザレーダの第1実施形態の構成図を示し、測距装置に適用した場合について説明する。 Figure 1 shows a block diagram of a first embodiment of a scanning laser radar according to the present invention, it will be described when applied to the distance measuring device.
【0024】 [0024]
図1において、本実施形態の走査型レーザレーダ1は、レーザ光を発光するレーザ光源2と、レーザ光源2を駆動するレーザ駆動回路3と、レーザ光を走査する走査ミラー4と、走査ミラー4を駆動制御する走査ミラーコントローラ5と、多数の受光素子がマトリクス状に配列され可視光カット用の光学フィルタ6及び結像レンズ7を介して走査ミラー4によるレーザ光の走査領域内の光学画像が結像される受光手段としての受光素子アレイ8と、受光素子アレイ8の各受光素子の受光出力を選択的に切替え入力する受光素子選択手段としてのマルチプレクサ9と、マルチプレクサ9からの出力を加算する受光出力加算手段としての受光出力加算アンプ10と、受光出力加算アンプ10の出力に基づいて測距データを測定するデータ測定回路 In Figure 1, the scanning laser radar 1 of this embodiment includes a laser light source 2 for emitting a laser beam, a laser drive circuit 3 for driving the laser light source 2, a scanning mirror 4 to scan the laser beam, scanning mirror 4 a scanning mirror controller 5 for controlling driving, the optical image of a large number of light receiving elements within the scan region of the laser beam by the scanning mirror 4 via the optical filter 6 and the imaging lens 7 for the visible light cut are arranged in a matrix a light receiving element array 8 as a light receiving means to be imaged, a multiplexer 9 as a light receiving element selection means for selectively switching input the received light output of the light receiving elements of the light receiving element array 8, adds the output from the multiplexer 9 a light receiving output summing amplifier 10 as a light receiving output adding means, data measurement circuit for measuring the distance data based on the output of the light receiving output summing amplifier 10 1と、前記レーザ駆動回路3、走査ミラーコントローラ5及びマルチプレクサ9の動作を制御すると共にデータ測定回路11の測定データに基づいて物体までの距離を演算する測距制御回路12と、マルチプレクサ制御用に走査ミラーコントローラ5の走査位置情報を受光素子位置情報に変換するための変換テーブルを記憶する変換テーブル記憶手段としての変換テーブルメモリ13とを備えて構成される。 1, the laser drive circuit 3, a distance measurement control circuit 12 for calculating a distance to the object based on the measurement data of the data measurement circuit 11 controls the operation of the scanning mirror controller 5 and the multiplexer 9, the multiplexer control constructed and a conversion table memory 13 as a conversion table storing means for storing a conversion table for converting the scanning position information of the scanning mirror controller 5 to the light-receiving element position information. 図中、Aは、走査領域内に存在する物体を示す。 In the figure, A is shows the object present in the scanning area.
【0025】 [0025]
前記レーザ駆動回路3は、測距制御回路12からの動作開始指令で駆動し、レーザ光源2に周期的に送光パルスを出力する。 The laser drive circuit 3 is driven by the operation start command from the distance measurement control circuit 12 periodically outputs the sending pulses to the laser light source 2. これにより、レーザ光源2は送光パルスの入力毎にレーザ光を走査ミラー4に対して発射する。 Thus, the laser light source 2 emits a laser light for each input of sending pulses to the scan mirror 4.
【0026】 [0026]
前記走査ミラー4としては、例えば本出願人が先に特許第2722314号等で提案した半導体マイクロマシン技術を応用して製造される半導体ミラーを用いる。 As the scanning mirror 4, a semiconductor mirror for example by the applicant is manufactured by applying a semiconductor micromachine technology proposed in the above Japanese Patent No. 2722314 or the like. この半導体ミラーの構造は特許第2722314号等で詳述されているので、ここでは図2に従ってその構造を簡単に説明する。 This structure of the semiconductor mirror is described in detail in Japanese Patent No. 2722314, etc., it will now be described in its structure easily according to FIG. 2.
【0027】 [0027]
図2は本実施形態で使用する半導体ミラー4の平面図である。 Figure 2 is a plan view of a semiconductor mirror 4 used in this embodiment. 走査ミラー4は、互いに直交する一対のトーションバー21A,21Bと22A,22B及びこれら一対のトーションバー21A,21Bと22A,22Bによりそれぞれ軸支される可動板23,24が、枠部25と一体に半導体基板に形成されている。 Scan mirror 4, a pair of torsion bars 21A which are perpendicular to each other, 21B and 22A, 22B and the pair of torsion bars 21A, 21B and 22A, the movable plate 23, 24 are respectively axially supported by 22B are frame portion 25 integrally It is formed on the semiconductor substrate. 内側可動板23表面にはミラー26を有し、内側可動板23のミラー26周囲及び外側可動板24上に、それぞれ駆動コイル27,28を有する。 It has a mirror 26 to the inner movable plate 23 surface, on the mirror 26 and around the outer movable plate 24 of the inner movable plate 23, each having a drive coil 27, 28. また、静磁界を発生する一対の磁石29A,29Bと30A,30Bを、例えば枠部25の外側に対向配置する。 Further, a pair of magnets 29A for generating a static magnetic field, 29B and 30A, the 30B, disposed opposite example outside the frame portion 25. 尚、図中のN,Sは、各磁石29A,29Bと30A,30Bの磁極を示している。 Incidentally, N in FIG, S is, each magnet 29A, 29B and 30A, illustrate the magnetic poles of 30B. また、各駆動コイル27,28は、図示しないがトーションバー部分を介して枠部25側に引き出されて電極端子(図示せず)に接続し駆動電流が供給されるようになっている。 Further, each of the drive coils 27 and 28, although not shown so connected drive current is supplied is drawn to the frame portion 25 side via the torsion bar portion to the electrode terminals (not shown).
【0028】 [0028]
この走査ミラー4の駆動原理は特許第2722314号等で詳述されており、ここでは簡単に説明する。 The driving principle of the scanning mirror 4 is described in detail in Japanese Patent No. 2722314, etc., it will be described briefly here.
例えば内側可動板23上の駆動コイル27に電流を流すと磁界が発生し、この磁界と磁石29Aと29Bにより形成せれる静磁界との相互作用によりトーションバー21A,21Bと平行な可動板23の対辺部に互いに逆方向の電磁力が作用し、可動板23がトーションバー21A,21Bを中心として回動し、回動により発生するトーションバー21A,21Bのばね力と発生した電磁力とが釣合う位置まで可動板23は回動する。 For example magnetic field is generated when an electric current is applied to the driving coil 27 on the inner movable plate 23, the magnetic field and the torsion bar 21A by interaction with the static magnetic field was formed by magnets 29A and 29B, 21B and parallel to the movable plate 23 opposite direction of the electromagnetic force together the opposite side portion acts, the movable plate 23 is rotated around the torsion bar 21A, the 21B, the torsion bar 21A, the electromagnetic force and the fishing generated spring force 21B generated by rotation the movable plate 23 to fit position rotates. 駆動コイル27に交流電流を流せば可動板23は揺動するのでレーザ光を走査できる。 Movable plate 23 be allowed to flow an AC current to the drive coil 27 can be scanned with a laser beam so swings. そして、発生する電磁力は、駆動コイルに流す電流値に比例するので、駆動コイルの電流値を制御することにより走査ミラー4の揺動角度(レーザ光の走査角度)を制御できる。 Then, the electromagnetic force generated is proportional to the current value to flow in the actuating coil, it can be controlled oscillation angle of the scanning mirror 4 (scanning angle of the laser beam) by controlling the current value of the driving coil. 駆動コイル28に電流を流せば、同様にして可動板24がトーションバー22A,22Bを中心として回動する。 When a current is supplied to the driving coil 28, the same way the movable plate 24 is rotated around the torsion bar 22A, the 22B. 従って、両駆動コイル27,28への電流供給を制御することにより、走査ミラー4でレーザ光を2次元走査することが可能である。 Thus, by controlling the current supply to the two drive coils 27 and 28, it is possible to scan the laser beam two-dimensionally scanning mirror 4.
【0029】 [0029]
尚、本発明における走査ミラーとしては、上述の半導体ミラーに限らず従来と同様のポリゴンミラーや機械的なガルバノミラー等を用いてもよい。 As the scanning mirror in the present invention can be used similar to the conventional polygon mirror and mechanical galvanometer mirror or the like is not limited to the semiconductor mirror above.
前記走査ミラーコントローラ5は、測距制御回路12からの動作開始指令で駆動し、駆動コイル27,28の電流供給を制御して走査ミラー4を揺動駆動すると共に、走査ミラー4に供給する駆動電流値に基づいて走査ミラー4の走査位置情報を測距制御回路12に送る。 The scanning mirror controller 5 is driven by the operation start command from the distance measurement control circuit 12, a scanning mirror 4 by controlling the current supply of the drive coils 27, 28 to drive the swing, the drive is supplied to the scan mirror 4 Send the scanning position information of the scanning mirror 4 to the distance measurement control circuit 12 based on the current value. ここで、走査ミラー4及び走査ミラーコントローラ5で光走査手段を構成する。 Here, constituting the optical scanning unit in scanning mirror 4 and the scanning mirror controller 5.
【0030】 [0030]
前記マルチプレクサ9は、受光素子アレイ8の受光素子の中から、走査ミラーコントローラ5からの走査位置情報に基づいて測距制御回路12が指定した複数の受光素子の出力を選択して入力し受光出力加算アンプ10に出力する。 The multiplexer 9, from among the light receiving elements of the light receiving element array 8, and selectively inputs the outputs of the plurality of light receiving elements distance measurement control circuit 12 is specified based on the scanning position information from the scanning mirror controller 5 receiving output and outputs it to the summing amplifier 10.
【0031】 [0031]
前記データ測定回路11は、レーザ駆動回路3から送光パルス発生情報が入力し、図3のように送光パルスの発生から受光出力加算アンプ10からの加算受光出力が入力するまでの時間Tに基づいて物体Aまでの距離演算に使用するデータを測定する。 The data measurement circuit 11 is sending a pulse generation information from the laser drive circuit 3 is inputted, the time T until the addition light output from the light receiving output summing amplifier 10 from the generation of the light-sending pulses as shown in FIG. 3 is inputted based measuring the data to be used for distance calculation to the object a in. このデータ測定回路11の構成例を図4及び図5に示す。 It shows an example of the configuration of the data measurement circuit 11 in FIGS.
【0032】 [0032]
図4は、図3の時間Tをカウンタで計数しその計数値を測定データとして出力するカウンタ方式であり、レーザ駆動回路3からの送光パルス発生情報の入力でクロックの計数動作を開始し、受光出力加算アンプ10からの加算受光出力の入力で計数動作を停止するカウンタ41を備え、時間Tを示すカウンタ41の計数値を計測時間を示す測定データとして測距制御回路12に出力する構成である。 Figure 4 is a counter that output the count value counts the time T in FIG. 3 in the counter as measurement data, and starts counting the clock input of the sending pulse generation information from the laser drive circuit 3, in a counter 41 to stop the counting operation at the input of summing the received light output from the light receiving output summing amplifier 10, and outputs the distance measurement control circuit 12 the count of the counter 41 indicating the time T as the measurement data indicating the measured time configuration is there. 尚、カウンタ41は、加算受光出力の入力以前に次の送光パルス発生情報が入力した場合にはカウント値をリセットすると共にカウント動作を開始する。 The counter 41 starts counting operation resets the count value when the next sending pulse generation information to the input previous addition reception output is input.
【0033】 [0033]
図5は、図3の時間Tを電圧に変換して電圧値を測定データとして出力する時間−電圧変換方式であり、レーザ駆動回路3からの送光パルス発生情報の入力でセットされて出力を発生し、受光出力加算アンプ10からの加算受光出力の入力でリセットされて出力を停止するフリップフロップ51と、抵抗を介して入力するフリップフロップ51の出力を積分する積分器52とを備え、送光パルスが発生してから加算受光出力が入力するまでの間のフリップフロップ51の出力を積分器42で積分することで、時間Tを電圧値に変換してこの電圧値を計測時間を示す測定データとして測距制御回路12に出力する構成である。 Figure 5 is time to output a voltage value as a measurement data by converting the time T in FIG. 3 to the voltage - a voltage conversion system, the output is set at the input of the sending pulse generation information from the laser drive circuit 3 occurs, it includes a flip-flop 51 to stop being reset output at the input of summing the received light output from the light receiving output summing amplifier 10, an integrator 52 for integrating the output of the flip-flop 51 to enter through the resistor, feed by integrating the output of the flip-flop 51 until the light pulse is input adds the received light output from the generator by an integrator 42, a measurement that indicates the measurement time of the voltage value by converting the time T to a voltage value is configured to output the distance measurement control circuit 12 as data. また、積分器52は、加算受光出力の入力毎に常開のスイッチ52aがONして積分値がリセットされる構成である。 Further, the integrator 52, the switch 52a of the normally open for each input of the adder receiving outputs are configured to the integrated value to ON is reset. 尚、積分器52は、加算受光出力の入力以前に次の送光パルス発生情報が入力した場合も常開のスイッチ52aがONして積分値がリセットされる構成になっている。 Note that the integrator 52 has a structure in which the normally open switch 52a even if the next sending pulse generation information input previously been input of summing the light receiving output integration value to ON is reset. ここで、データ測定回路11が経過時間計測手段に相当する。 Here, the data measurement circuit 11 corresponds to the elapsed time measuring means.
【0034】 [0034]
前記測距制御回路12は、電源投入によりレーザ駆動回路3及び走査ミラーコントローラ5に動作開始指令を出力する。 The distance measurement control circuit 12 outputs the operation start command to the laser drive circuit 3 and the scanning mirror controller 5 when the power source is turned on. また、測距制御回路12は、走査ミラーコントローラ5からの走査位置情報の入力により変換テーブルメモリ13内の変換テーブルを参照し、入力した走査位置情報に対応する受光素子位置及び予め定めたその周囲の受光素子位置を決定しその選択指令をマルチプレクサ9に出力して受光出力加算アンプ10で加算する受光出力を選択制御する。 Also, distance measurement control circuit 12 refers to the conversion table in the conversion table memory 13 by the input of the scanning position information from the scanning mirror controller 5, the light receiving element position and predetermined around corresponding to the entered scanning position information the determined its selection instruction receiving element position selectively controlling the light output to be added by the received light output summing amplifier 10 to the multiplexer 9. また、レーザ駆動回路3からの送光パルス発生情報の入力毎に、データ測定回路11の出力状態を監視し、次の送光パルス発生情報入力以前にデータ測定回路11の出力値がリセットされた場合は、受光出力によるリセットと判断してデータ測定回路11のデータ値に基づいて測距動作を実行し、次の送光パルス発生情報入力と同時にデータ測定回路11の出力値がリセットされた場合は、送光パルスによるリセットと判断してデータ測定回路11のデータ値を無効として測距動作を行わない構成である。 Further, for each input of the sending pulse generation information from the laser drive circuit 3 monitors the output state of the data measurement circuit 11, the output value of the data measurement circuit 11 is reset to the next sending pulse generation information input previously If, it is determined that the resetting by the received light output running distance measuring operation based on the data value of the data measurement circuit 11, when the output value of the data measurement circuit 11 at the same time as the next sending pulse generation information input is reset It has a configuration in which it is judged that the reset by sending pulses does not perform the distance measurement data value of the data measurement circuit 11 as invalid. 従って、測距制御回路12が制御手段及び距離演算手段の機能を備える。 Accordingly, distance measurement control circuit 12 comprises a function of the control means and the distance calculating means.
【0035】 [0035]
次に、第1実施形態の走査型レーザレーダ1の動作を説明する。 Next, the operation of the scanning laser radar 1 of the first embodiment.
電源を投入すると測距制御回路12からレーザ駆動回路3及び走査ミラーコントローラ5に動作開始指令が出力され、レーザ駆動回路3から周期的に送光パルスが発生し、レーザ光源2からレーザ光が間欠的に走査ミラー4に照射される。 Operation start instruction and the power is turned from the distance measurement control circuit 12 to the laser drive circuit 3 and the scanning mirror controller 5 is outputted, periodically sending pulses from a laser drive circuit 3 is generated, the laser beam is intermittently from the laser light source 2 It is irradiated to the scan mirror 4 manner. また、走査ミラーコントローラ5により走査ミラー4を駆動し、例えば走査角±30°の範囲でレーザ光を2次元走査する。 Also, the scanning mirror 4 is driven by the scanning mirror controller 5, the laser beam is scanned two-dimensionally in the range of, for example, the scanning angle ± 30 °. レーザ光の走査範囲内に物体Aが存在すれば、レーザ光は物体Aで反射され、その散乱光は光学フィルタ6で可視光がカットされ結像レンズ7を介して受光素子アレイ8に入射し、物体Aの光学画像が受光素子アレイ8上に結像される。 If there is an object A in the scanning range of the laser light, the laser light is reflected by the object A, the scattered light is visible light by the optical filter 6 is incident on the light receiving element array 8 through the imaging lens 7 is cut the optical image of the object a is imaged on the light receiving element array 8.
【0036】 [0036]
受光素子アレイ8は、受光領域が走査ミラー4の走査領域と対応するよう形成されており、受光領域に図6のように所定数の受光素子8aがマトリクス状に配列されている。 Light-receiving element array 8, the light receiving region is formed so as to correspond to the scanning area of ​​the scanning mirror 4, a predetermined number of light receiving elements 8a as shown in FIG. 6 in the light receiving areas are arranged in a matrix. 尚、受光素子としては、通常アバランシェフォトダイオードを用いるがPINフォトダイオードを用いてもよい。 As the light receiving element, it uses a normal avalanche photodiode may be used a PIN photodiode. そして、走査ミラー4でレーザ光を2次元走査した時の図7に示す走査面の各レーザスポット位置(図中斜線で示す)と、このレーザスポット位置からの反射光を受光する受光素子アレイ8の各受光素子位置とを予め対応させている。 Then, each laser spot position of the scanning plane shown in FIG. 7 when scanning a laser beam two-dimensionally scanning mirror 4 (shown in FIG hatching), the light receiving element array 8 for receiving light reflected from the laser spot position in advance in correspondence with each light receiving element position of. この対応関係は変換テーブルとして変換テーブルメモリ13に記憶されている。 This correspondence relationship is stored in the conversion table memory 13 as a conversion table.
【0037】 [0037]
変換テーブルは、図7の走査面における全てのレーザスポット位置毎に、走査ミラー4の走査位置(レーザスポット位置)を固定し、その走査位置で出力が最大となる受光素子位置を調べることにより作成する。 Conversion table created by examining every every laser spot position on the scan surface 7, the scanning position of the scanning mirror 4 (laser spot position) is fixed and the light receiving element position where the output is maximum at the scanning position to. この操作により得られたレーザスポット位置と受光素子位置の対応関係を変換テーブルとして変換テーブルメモリ13に記憶させる。 This operation and the laser spot position obtained by is stored in the conversion table memory 13 the correspondence between the light receiving element position as a conversion table.
【0038】 [0038]
今、走査ミラー4により走査されたレーザ光が図7の走査面内の走査位置Sxyにある時、この走査位置Sxyでの反射光が受光される受光素子アレイ8上の受光素子位置が図6のDxyとする。 Now, when the laser light scanned by the scanning mirror 4 is in the scanning position Sxy within the scan plane of FIG. 7, the light receiving element position on the light receiving element array 8 that reflected light at the scanning position Sxy is received Figure 6 and of Dxy. この場合、走査ミラーコントローラ5から走査位置Sxyを示す走査位置情報が測距制御回路12に入力すると、測距制御回路12は、変換テーブルメモリ13内の変換テーブルにより走査位置Sxyに対応する受光素子アレイ8上の受光素子位置Dxyを得る。 In this case, when the scanning position information that indicates the scanning position Sxy from the scanning mirror controller 5 is inputted to the distance measurement control circuit 12, the distance measurement control circuit 12, the light receiving elements corresponding to the scanning position Sxy by the conversion table in the conversion table memory 13 obtaining a light receiving element position Dxy on the array 8. そして、この受光素子位置Dxyとその周囲の受光素子位置D(x+1)y、D(x−1)y、Dx(y+1)、Dx(y−1)の選択指令をマルチプレクサ9に出力し、マルチプレクサ9は前記各位置Dxy、D(x+1)y、D(x−1)y、Dx(y+1)、Dx(y−1)の受光素子の出力を選択して入力し、受光出力加算アンプ10に出力する。 Then, output light receiving element position D and surrounding the light receiving element position Dxy (x + 1) y, D (x-1) y, Dx (y + 1), a selection command of Dx (y-1) in the multiplexer 9, the multiplexer 9 wherein each position Dxy, D (x + 1) y, D (x-1) y, Dx (y + 1), selects the output of the light receiving elements Dx (y-1) type, the light receiving output summing amplifier 10 Output.
【0039】 [0039]
ここで、位置Dxyだけでなくその周囲の位置D(x+1)y、D(x−1)y、Dx(y+1)、Dx(y−1)も選択して加算する理由は、レーザスポットが走査位置Sxyとその周囲の走査位置S(x+1)y、S(x−1)y、Sx(y+1)、Sx(y−1)の境界近傍を含む場合、位置Dxyの周囲の位置D(x+1)y、D(x−1)y、Dx(y+1)、Dx(y−1)の受光素子の出力を加算することにより、十分な受光レベルを確保するためである。 The reason for adding just not position D (x + 1) around its y, D (x-1) y, Dx (y + 1), Dx (y-1) be selected position Dxy, the laser spot scanning position Sxy and the surrounding scanning position S (x + 1) y, S (x-1) y, Sx (y + 1), Sx when including the boundary vicinity of the (y-1), located around the position Dxy D (x + 1) y, D (x-1) y, Dx (y + 1), by adding the output of the light receiving elements Dx (y-1), is to ensure a sufficient received light level. これにより、走査ミラー4に半導体ミラーのようなミラー面積の小さいものを使用しても受光信号を検出するのに十分は受光レベルを確保できる。 Thus, the use of what the scan mirror 4 smaller mirror area, such as a semiconductor mirror sufficient to detect received light signals can secure the received light level.
【0040】 [0040]
受光出力加算アンプ10は、入力する受光出力を加算し、その加算受光出力をデータ測定回路11に入力する。 Receiving the output summing amplifier 10 adds the received light output to be input, and inputs the addition received light output to the data measurement circuit 11. データ測定回路11は、図4の構成であればカウンタ41の計数値を測定データとして測距制御回路12に出力し、図5の構成であれば積分器52の電圧データを測定データとして測距制御回路12に出力する。 Data measurement circuit 11 outputs a distance measurement control circuit 12 the count of the counter 41 with the configuration of FIG. 4 as the measurement data, the distance measurement voltage data of the integrator 52 as measurement data with the configuration of FIG. 5 and outputs to the control circuit 12. この走査位置において反射光が受光されれば、データ測定回路11のデータ値は次の送光パルス発生情報の入力以前に受光出力でリセットされる。 If it is received the reflected light at the scanning position, the data value of the data measurement circuit 11 is reset by the received light output to the input before the next sending pulse generation information. 測距制御回路12は、次の送光パルス発生情報の入力以前にデータ測定回路11のデータ値がリセットされたか否かに基づいて物体Aからの反射光の有無を判断し、次の送光パルス発生情報の入力以前にデータ値がリセットされた時には、データ測定回路11の測定データに基づいて物体Aまでの距離を演算する。 Distance measurement control circuit 12 determines the presence or absence of reflected light from the object A on the basis of whether or not the data value of the data measurement circuit 11 to the input previous next sending pulse generation information is reset, the next sending when the data value is reset to the input previous pulse generation information, it calculates the distance to the object a based on the measurement data of the data measurement circuit 11.
【0041】 [0041]
かかる構成によれば、画角の広い結像レンズを使用して受光系の視野角を拡大した場合でも、走査領域内の極めて狭いレーザスポット範囲からの入射光に限定して受光の有無を監視するので、従来の同軸型と同等以上のS/N比を得ることができ、十分な物体検出精度を確保できる。 According to such a configuration, even when enlarging the viewing angle of the light receiving system using a wide imaging lens field angle, it is limited to incident light from an extremely narrow laser spot region within the scanning area monitoring the presence or absence of light reception since, it is possible to obtain a conventional coaxial type equal to or higher than the S / N ratio, it is possible to ensure a sufficient object detection accuracy. また、物体の監視視野を大幅に拡大できる。 Also, it greatly expanded the monitor visual field of the object. 更に、変換テーブルを使用することにより、結像レンズ7の収差による誤差、レーザ光の送光と受光の光軸の不一致による誤差、走査ミラーに対するレーザ光の入射角による光学歪による誤差等を補正して、正確な受光位置を得ることができ、物体検出や測距の精度が向上する。 Further, by using a conversion table, errors due to aberrations of the imaging lens 7, an error due to mismatch of the optical axis of the light receiving and sending of the laser beam, the error due optical distortion due to the incident angle of the laser beam relative to the scanning mirror correction and, it is possible to obtain an accurate receiving position, to improve the accuracy of object detection and distance measurement. 更には、走査ミラー4として半導体ミラーを使用すれば、レーザレーダの小型化及び軽量化を図ることができるので、移動体に搭載する車載装置に利用する場合に有効である。 Furthermore, the use of semiconductor mirror as a scanning mirror 4, it is possible to reduce the size and weight of the laser radar, is effective when using the in-vehicle device mounted on the mobile. 変換テーブルの更新を定期的に実施すれば、経時変化等による受光位置のずれ等を較正でき、物体検出や測距の精度を維持することができる。 If it performed periodically to update the conversion table can calibrate the deviation or the like of the light receiving position due to aging or the like, it is possible to maintain the accuracy of object detection and distance measurement.
【0042】 [0042]
尚、走査ミラー4の走査は、2次元に限らず1次元でもよいことは言うまでもない。 The scanning of the scanning mirror 4 is, of course it may be a 1-dimensional not limited to two-dimensional.
次に、本発明の第2実施形態を説明する。 Next, a second embodiment of the present invention.
【0043】 [0043]
図8に、第2実施形態の構成図を示す。 Figure 8 shows a block diagram of a second embodiment. 尚、第1実施形態と同一要素には同一符号を付す。 Incidentally, the same numerals are assigned to the same elements as in the first embodiment.
図8において、第2実施形態の走査型レーザレーダ1は、第1実施形態の構成に加えて、A/D変換器14と、サンプリングクロック発生器15と、波形データメモリ16とを備える。 8, scanning laser radar 1 of the second embodiment includes in addition to the configuration of the first embodiment, the A / D converter 14, a sampling clock generator 15, a waveform data memory 16.
【0044】 [0044]
A/D変換器14は、サンプリングクロック発生器15のサンプリングクロックの入力毎に受光出力加算アンプ10の出力値をサンプリングして、受光出力加算アンプ10からのアナログ信号をディジタル信号に変換して測距制御回路12に送る。 A / D converter 14, the output value of the light receiving output summing amplifier 10 for each input of the sampling clock of the sampling clock generator 15 for sampling, measuring and converting the analog signal from the light receiving output summing amplifier 10 into a digital signal send to 距制 control circuit 12. ここで、A/D変換器14及びサンプリングクロック発生器15でA/D変換手段を構成する。 Here, in the A / D converter means by the A / D converter 14 and sampling clock generator 15.
【0045】 [0045]
測距制御回路12は、走査ミラーコントローラ5からの走査位置情報に基づいてA/D変換器14から入力するディジタル信号から走査ミラー4の1走査周期における受光出力の波形データを作成して波形データメモリ16に記憶する。 Distance measurement control circuit 12, the waveform data to create the waveform data of the received light output in one scan period of the scan mirror 4 from the digital signal input from the A / D converter 14 based on the scanning position information from the scanning mirror controller 5 It is stored in the memory 16. また、測距制御回路12は、次の波形データが入力する毎に、波形データメモリ16に記憶されている波形データと加算平均し、波形データメモリ16内の波形データを加算平均処理した新たな波形データに書き換えて更新する。 Also, distance measurement control circuit 12, each time the next waveform data is inputted, and arithmetic mean waveform data stored in the waveform data memory 16, a new to the waveform data in the waveform data memory 16 and averaging process to update rewriting the waveform data. ここで、本実施形態の測距制御回路12は加算平均処理手段の機能を備える。 Here, the distance measurement control circuit 12 of this embodiment has a function of averaging process unit.
【0046】 [0046]
尚、第2実施形態の測距制御回路12は、第1実施形態のデータ測定回路11の機能を備える。 Incidentally, the distance measurement control circuit 12 of the second embodiment has a function of the data measurement circuit 11 of the first embodiment. 測距制御回路12は、レーザ駆動回路3からの送光パルス発生情報と波形データメモリ16に記憶した波形データ情報に基づいて送光パルスの発生から受光出力が発生するまでの時間を計測し、計測値に基づいて物体Aまでの距離を演算する。 Distance measurement control circuit 12 measures the time until the light receiving output is generated from the generation of the light-sending pulses based on sending the pulse generation information and the waveform data information stored in the waveform data memory 16 from the laser drive circuit 3, It calculates the distance to the object a based on the measurement values.
【0047】 [0047]
次に、第2実施形態の動作を説明する。 Next, the operation of the second embodiment.
走査ミラー4によりレーザ光を走査し、受光素子アレイ8の受光出力を受光出力加算アンプ10で加算するまでは第1実施形態と同様の動作である。 Scanning the laser beam by the scanning mirror 4, the light receiving output of the light receiving element array 8 until added by receiving the output summing amplifier 10 is the same operation as the first embodiment. 第2実施形態では、受光出力加算アンプ10からの出力信号をA/D変換器14でディジタル信号に変換し測距制御回路12に入力する。 In the second embodiment, it receives the output signals from the light receiving output summing amplifier 10 to the distance measurement control circuit 12 into a digital signal by the A / D converter 14. 測距制御回路12は、走査ミラーコントローラ5からの走査位置情報に基づいて走査ミラー4の1走査周期の波形データを得て、新たな波形データを得る毎に波形データメモリ16に記憶した波形データと加算平均して波形データメモリ16の波形データを更新する。 Distance measurement control circuit 12, the waveform data to obtain waveform data for one scanning period of the scanning mirror 4 on the basis of the scanning position information from the scanning mirror controller 5, and stored in the waveform data memory 16 for each obtain a new waveform data averaging to the updating waveform data of the waveform data memory 16.
【0048】 [0048]
例えば、サンプリングクロック周波数を1GHzとした場合、走査ミラー4の1走査周期では、図9(A)のような1nsec毎のサンプリングデータによる受信波形データが得られる。 For example, if the sampling clock frequency is 1 GHz, in one scanning period of the scanning mirror 4, the received waveform data is obtained by the sampling data for each 1nsec as shown in FIG. 9 (A). この受信波形データを加算平均処理することにより、波形データに含まれるノイズ成分が低減されレーザ光の反射光成分が大きくなり、図9の(B)のような受光出力の明確な受信波形データが得られる。 By averaging process the received waveform data, reflected light component of the noise component contained in the waveform data is reduced laser beam is increased, a clear received waveform data of the light reception output such as (B) in FIG. 9 can get.
【0049】 [0049]
測距制御回路12は、予め設定した所定回数の加算平均処理した波形データを用い、その波形データに受光出力が存在する場合には、受光出力が得られた走査ミラー4の走査位置に対する送光パルス発生情報と波形データの受光出力情報とに基づいて時間Tを演算し、物体Aまでの距離を演算する。 Distance measurement control circuit 12, using the waveform data averaging process of a predetermined number of times set in advance, when there is a light reception output on the waveform data, sending to the scanning position of the scanning mirror 4 in which the light receiving output is obtained It calculates the time T on the basis of the light receiving output information of the pulse generation information and waveform data, and calculates the distance to the object a.
【0050】 [0050]
かかる第2実施形態の構成によれば、移動体以外の例えば道路面や室内等の物体監視に使用する走査速度が低速で十分なレーザレーダとして本発明の走査型レーザレーダを利用する場合に、走査速度が高速(1kHz以上が一般的である)である図2のような半導体ミラーを走査ミラー4として使用しても、十分なS/N比が得られ、高精度且つ広範囲な物体監視ができる。 According to configuration of the second embodiment, when the scanning speed to be used for object monitoring, for example a road surface or room or the like other than the moving body utilizing a scanning laser radar of the present invention as sufficient laser radar at low speed, even scanning speed by using the semiconductor mirror as in FIG. 2 is a high-speed (more than 1kHz is common) as a scanning mirror 4, sufficient S / N ratio can be obtained, with high accuracy and wide range of objects monitoring it can. そして、半導体ミラーを使用することにより、この種の低速走査用レーザレーダの小型・軽量化を図ることができる。 Then, by using the semiconductor mirror, it is possible to reduce the size and weight of this type of low-speed scanning laser radar.
【0051】 [0051]
次に、本発明の第3実施形態を説明する。 Next, a third embodiment of the present invention.
図10に、第3実施形態の構成図を示す。 10 shows a configuration diagram of a third embodiment. 尚、第2実施形態と同一要素には同一符号を付す。 Incidentally, the same numerals are assigned to the same elements as the second embodiment.
【0052】 [0052]
図10において、第3実施形態の走査型レーザレーダ1は、第2実施形態の波形データメモリ16を除いて、複数パルス発生回路17、A/D変換値メモリ18及び発射パルス数テーブル記憶手段としての発射パルス数テーブルメモリ19を加えた構成である。 10, scanning laser radar 1 of the third embodiment, except for the waveform data memory 16 of the second embodiment, as a plurality pulse generator 17, A / D conversion value memory 18 and a firing pulse number table memory means it is a configuration obtained by adding a fire pulse number table memory 19.
【0053】 [0053]
複数パルス発生回路17は、例えば図11に示すように、複数のスイッチ素子(例えばパワーMOSFET等)17−1〜17−i、コンデンサC1〜Ci等を備え、走査ミラー4の各走査位置毎に図12に示すようにレーザ駆動回路3から例えば一定間隔で順次出力される複数のトリガパルスTp1〜Tpiによりスイッチ素子17−1〜17−iが順次ONすることにより、送信区間において複数の送光パルスIpを発生してレーザ光源2に出力する構成である。 Multi-pulse generation circuit 17, for example, as shown in FIG. 11, a plurality of switching elements (for example, a power MOSFET, etc.) 17-1 to 17-i, a capacitor C1~Ci etc., for each scan position of the scanning mirror 4 by switching elements 17-1 to 17-i are sequentially turned oN by the plurality of trigger pulses Tp1~Tpi sequentially output by the laser drive circuit 3, for example regular intervals, as shown in FIG. 12, a plurality of light-sending in transmission interval it is configured to output to the laser light source 2 generates a pulse Ip. ここで、複数パルス発生回路17及びレーザ駆動回路3でレーザ光源駆動手段を構成する。 Here, constituting a laser light source driving means in multiple pulse generating circuit 17 and the laser drive circuit 3.
【0054】 [0054]
A/D変換値メモリ18は、A/D変換器14からの受光出力のディジタル値を記憶し、走査ミラー4の各走査位置毎の受光出力状態を記憶する。 A / D conversion value memory 18 stores the digital value of the light-receiving output from the A / D converter 14, and stores the received output state of each scan position of the scanning mirror 4.
本実施形態の測距制御回路12は、走査ミラーコントローラ5からの走査位置情報に基づいて走査位置が変わる毎にA/D変換値メモリ18に記憶された受光波形を取込み、レーザ駆動回路3からのトリガパルス発生情報から得られるレーザ光の送光波形と取込んだ受光波形との相関値を演算し、相関値が予め設定した閾値以上のときに受光出力ありと判断し、相関値が最大となるずれ量に基づいて物体まで距離を演算する。 Distance measurement control circuit 12 of the present embodiment, the light receiving waveform stored in the A / D conversion value memory 18 for each scanning position is changed on the basis of the scanning position information from the scanning mirror controller 5 takes in, from the laser drive circuit 3 determines that there is received light output, the correlation value maximum when the calculated correlation value between the laser light receiving waveform taken-light-sending waveform obtained from the trigger pulse generation information, the above threshold correlation value is set in advance It calculates the distance to the object on the basis of the shift amount becomes. ここで、本実施形態の測距制御回路12は相関値演算手段の機能を備える。 Here, the distance measurement control circuit 12 of this embodiment has a function of a correlation value calculation means.
【0055】 [0055]
発射パルス数テーブルメモリ19は、走査ミラー4の走査方向と発射パルス数の対応関係を記憶するものである。 Fire pulse number table memory 19 is for storing a correspondence relationship between the number of fire pulses and the scanning direction of the scanning mirror 4. この発射パルス数テーブルは、走査ミラー4の走査位置(前述のレーザスポット位置)を固定し、発射パルス数を可変して受光出力が得られる発射パルス数を調べる。 The firing pulse number table, the scanning position of the scanning mirror 4 (laser spot position described above) were fixed, examined the number of firing pulses received output is obtained the number of fire pulses variable to. この操作を図7の走査面における全てのレーザスポット位置について行い作成する。 The operation for all of the laser spot position on the scan surface 7 creates performed. 反射率の高い物体に対しては少ない発射パルス数が設定され、反射率の低い物体に対しては多い発射パルス数が設定される。 Fewer firing pulses for high reflectivity object is set, a large number fire pulse is set for low reflectance object.
【0056】 [0056]
尚、この発射パルス数テーブルは、本発明の走査型レーザレーダを、監視領域の環境がほとんど変化しない屋内等の監視装置に利用する場合に使用するものであり、車載装置等のような屋外で使用する場合には不用である。 Note that the fire pulse number table, the scanning laser radar of the present invention is intended to use when using a monitoring device such as indoor environment monitoring area hardly changes, outdoors such as in-vehicle device it is unnecessary in the case of use. 車載装置等のような屋外で使用する場合には、走査ミラー4の走査方向に関係なく受光出力が十分得られる予め設定した一定数の複数の送光パルスを発射するような構成とする。 When used outdoors, such as in-vehicle device has a structure such as the light-receiving output regardless scanning direction of the scanning mirror 4 to launch a sufficient plurality of sending pulses fixed number of preset obtained.
【0057】 [0057]
次に、本発明の第3実施形態を車載装置に適用する場合について説明する。 Next, a description will be given of a case of applying the third embodiment of the present invention in-vehicle device.
電源を投入すると測距制御回路12からレーザ駆動回路3及び走査ミラーコントローラ5に動作開始指令が出力され、走査ミラー4の各走査位置でレーザ駆動回路3から予め設定された複数のトリガパルスが発生し、複数パルス発生回路17からの複数の送光パルスIpに入力によりレーザ光源2から複数のレーザ光が走査ミラー4に照射される。 Operation start instruction and the power is turned from the distance measurement control circuit 12 to the laser drive circuit 3 and the scanning mirror controller 5 is outputted, a plurality of trigger pulses set in advance from the laser drive circuit 3 at each scanning position of the scanning mirror 4 is generated and, a plurality of laser beams from the laser light source 2 by the input to the plurality of light-sending pulses Ip from multiple pulse generator 17 is irradiated onto the scanning mirror 4. 従って、走査ミラー4の各走査位置に対して複数のレーザ光が照射される。 Thus, a plurality of laser light is irradiated for each scanning position of the scanning mirror 4. また、レーザ駆動回路3からはトリガパルス発生情報が測距制御回路12に入力する。 The trigger pulse generator information is inputted to the distance measurement control circuit 12 from the laser drive circuit 3.
【0058】 [0058]
一方、受光系では第1及び第2実施形態と同様にして走査ミラー4の走査位置情報に基づいてマルチプレクサ9により受光素子アレイ8の出力が選択され、選択された受光出力を受光出力加算アンプ10で加算し、加算受光出力をA/D変換器14でディジタル信号に変換してA/D変換値メモリ18に記憶する。 On the other hand, the output of the photodiode array 8 by multiplexer 9 on the basis of the scanning position information of the first and second embodiments and the scan mirror 4 in the same manner as in the light receiving system is selected, the light receiving output summing amplifier 10 of the selected light receiving output in adding, to store the sum received light output is converted into a digital signal by the a / D converter 14 to a / D conversion value memory 18. 測距制御回路12は、走査ミラー4の走査位置が変わる毎にA/D変換値メモリ18内の受光波形を取込み、その走査位置に対するレーザ光の送光波形と取込んだ受光波形の相関値を演算する。 Distance measurement control circuit 12 takes in the receiver frequency in the A / D conversion value memory 18 for each scanning position of the scanning mirror 4 is changed, the correlation value of the received light waveform taken-light-sending waveform of the laser beam with respect to the scanning position to calculate the. 具体的には、送光波形を1サンプリングクロック毎に所定量Δtずらしながら受光波形との相関値を求める。 Specifically, obtaining a correlation value between the light receiving waveform while shifting a predetermined amount Δt the sending waveform for each sampling clock. 受光出力が存在すれば図13に示すように送光波形と受光波形とが一致した時に相関値は最大となり、その時のずれ量は送光パルスの発生から受光出力が得られるまでの時間Tに比例するので、このずれ量から時間Tを求め、物体Aまでの距離を演算する。 Correlation value when if there received light output is the light transmission waveform as shown in FIG. 13 and the light receiving waveform matches is maximized, the deviation amount at that time is the time T to the light receiving output from the generation of the light-sending pulses are obtained since proportional, seek time T from the shift amount, and calculates the distance to the object a. 受光出力がなければ送光波形と受光波形との相関値は閾値以上になることはなく、受光出力なしと判断して距離の演算は行わない。 Correlation value between the light-sending waveform and receiving the waveform Without receiving the output are not equal to or greater than the threshold value, does not perform distance calculation determines that no light output.
【0059】 [0059]
かかる第3実施形態のように、走査ミラー4の各走査位置に対して複数回レーザ光を照射し、その時の送光波形と受光波形の相関値に基づいて受光出力の有無を判定する構成とすれば、レーザ光を1回だけ照射する場合に比較してレーザ光をn回照射すれば(n−(n) 1/2 )倍にS/N比が向上し、物体の検出精度及び測距精度を向上できる。 As such the third embodiment, by irradiating a plurality of times the laser beam for each scanning position of the scanning mirror 4, and determining configuration whether the light receiving output based on the correlation value of the light-sending waveform and receiving the waveform at that time by it, compared to a laser beam n times when irradiating the laser light only once (n- (n) 1/2) increases the S / n ratio is doubled, the object detection accuracy and measurement of it is possible to improve the 距精 degree. レーザ光をn回照射した場合、信号成分は照射パルス数に比例するがノイズ成分は相互に打ち消し(n) 1/2倍にしかならないためである。 If the laser beam is irradiated n times, the signal component is noise component is proportional to the number of irradiation pulses is because not only to 1/2 cancel each other (n).
【0060】 [0060]
監視領域の環境がほとんど変化しない屋内等の監視装置に利用する場合には、走査ミラー4の走査位置情報に基づいて発射パルス数テーブルメモリ19に記憶された発射パルス数テーブルからその走査位置での発射パルス数を決定し、各走査位置毎に設定された必要最小限の数のレーザ光を発射するようにする。 If the environment of the monitored area is utilized hardly changes to the monitoring device, such as indoors, the number of firing pulse table stored in the firing pulse number table memory 19 based on the scanning position information of the scan mirror 4 at the scanning position determining the number of firing pulses, so as to emit laser light of the number of the minimum required set for each scan position. これにより、レーザ光の人間に対する悪影響を低減でき安全性を向上できる。 This can reduce adverse effects on human laser light can improve safety.
【0061】 [0061]
尚、第3実施形態では、複数パルス発生回路17内のスイッチ素子17−1〜17−iを全てONさせて複数の送光パルスを生成する構成としたが、一部をONさせないようにすることにより、送光パルス列に例えば「10011・・・」のようにコード変調をかけて送信するようにしてもよい。 In the third embodiment, a configuration for generating a plurality of light-sending pulses by all ON the switch elements 17-1 to 17-i in the multi-pulse generator 17, so as not to turn ON the part it makes may be transmitted over the code modulated as the sending the pulse train such as "10011 ...".
【0062】 [0062]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
以上説明したように本発明によれば、多数の受光素子からなる受光手段に結像レンズを用いてレーザ光の走査領域の光学画像を結像させると共に、レーザ光の走査位置に合わせて受光素子を限定してその反射光による受光出力を取出す構成としたので、受光系の視野を広げても十分なS/N比を確保でき、走査型レーザレーダの監視領域を拡大できる。 According to the present invention described above, the focusing an optical image of the scanned area of ​​the laser light using a focusing lens on a light receiving means comprising a plurality of light receiving elements, the light receiving element in accordance with the scanning position of the laser beam since a structure for taking out the light reception output of the reflected light by limiting the even spread the field of view of the light receiving system can ensure sufficient S / N ratio can be expanded to monitor areas of scanning laser radar.
【0063】 [0063]
また、受光出力をディジタル加算平均処理したり、或いは、走査位置毎に複数のレーザ光を発射しその時の送信パルス波形と受光出力波形の相関値を求めたりして、受光出力を得る構成とすることで、速い走査速度の必要がない低速走査型の監視装置に適用した場合に、光走査手段に走査速度の速い半導体ミラーを使用しても十分なS/N比が得られるようになる。 You can also digital averaging process of the received light output, or by firing a plurality of laser beams for each scan position as the transmission pulse waveform when the or the correlation value of the received light output waveform, a structure to obtain the light-receiving output it is, when applied to the low-speed scanning of the monitoring device that does not require scanning speed, so that a sufficient S / N ratio even when using a fast semiconductor mirror of the scanning speed in the optical scanning unit is obtained.
【0064】 [0064]
また、走査位置に応じてレーザ光の発射数を可変制御し、レーザ光の発射数を必要最小限とすることで、人間に対するレーザ光の悪影響を低減でき、安全性を向上できる。 Further, the firing number of the laser light is variably controlled in accordance with the scanning position, that it requires a minimum firing speed of the laser beam, can be reduced the adverse effects of laser light with respect to human safety is improved.
【0065】 [0065]
また、光走査手段に極めて小型、軽量の半導体ミラーを使用すれば、走査型レーザレーダを格段に小型化及び軽量化できる。 Further, very small in the optical scanning means, using the semiconductor mirror lightweight, a scanning laser radar can be significantly reduced in size and weight.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本発明に係る走査型レーザレーダの第1実施形態の構成図【図2】同上実施形態の走査ミラーに用いる半導体ミラーの平面図【図3】送光パルスと受信信号の関係を示す図【図4】データ測定回路の一例を示す構成図【図5】データ測定回路の別の例を示す構成図【図6】受光素子アレイを示す図【図7】レーザ光の走査面とレーザスポットの関係を示す図【図8】本発明に係る走査型レーザレーダの第2実施形態の構成図【図9】(A)は1走査周期の受信波形図、(B)は加算平均処理後の受信波形図【図10】本発明に係る走査型レーザレーダの第3実施形態の構成図【図11】複数パルス発生回路の要部回路図【図12】トリガパルスと送光パルスの関係を示す図【図13】送光波形、受光波形及び相関値の関係を示す図【 Plan view of a semiconductor mirror used to scan mirror configuration diagram [2] to the exemplary embodiment of the first embodiment of the scanning laser radar according to the invention, FIG 3 shows the light transmission pulse the relationship of the received signal Figure 4 is a configuration diagram showing an example of a data measurement circuit [5] Figure 7 shows another structure diagram showing an example [6] the light-receiving element array of the data measurement circuit of the laser beam scanning surface and showing configuration diagram of a second embodiment of the scanning laser radar according to FIG 8 the invention showing a relationship between the laser spot 9 (a) is received waveform diagram of one scanning period, (B) is averaging process main part circuit diagram of the diagram 11 more pulse generating circuit of the third embodiment of the scanning laser radar according to the received waveform diagram Figure 10 the invention after FIG. 12 of the trigger pulse and sending pulses relationship Figure 13 sending waveforms shown a diagram illustrating the relationship between the light receiving waveform and correlation values ​​[ 号の説明】 Description of the issue]
1 走査型レーザレーダ2 レーザ光源3 レーザ駆動回路4 走査ミラー5 走査ミラーコントローラ6 光学フィルタ7 結像レンズ8 受光素子アレイ9 マルチプレクサ10 受光出力加算アンプ11 データ測定回路12 測距制御回路13 変換テーブルメモリ14 A/D変換器15 サンプリングクロック発生器16 波形データメモリ17 複数パルス発生回路18 A/D変換値メモリ19 発射パルス数テーブルメモリ 1 scanning laser radar 2 laser light source 3 laser driving circuit 4 scanning mirror 5 scan mirror controller 6 optical filter 7 imaging lens 8 the light-receiving element array 9 multiplexer 10 receiving the output summing amplifier 11 data measurement circuit 12 distance measurement control circuit 13 conversion table memory 14 A / D converter 15 a sampling clock generator 16 waveform data memory 17 more pulse generating circuit 18 A / D converted value memory 19 firing pulse number table memory

Claims (9)

  1. レーザ光源からのレーザ光を光走査手段で走査し、走査領域からの反射光を前記走査レーザ光と異なる光路で受光して前記走査領域内を監視する走査型レーザレーダにおいて、 In the scanning laser radar laser light scanned by the scanning means, for monitoring the scanning area of ​​the light reflected from the scanned area and received by a different optical path and the scanning laser beam from the laser light source,
    多数の受光素子がマトリクス状に配列され前記走査領域からの反射光を結像レンズを介して受光する受光手段と、 Light receiving means a large number of light receiving elements for receiving light reflected from the scanned area are arranged in a matrix through the imaging lens,
    該受光手段の受光素子の中から指定された複数の受光素子を選択可能な受光素子選択手段と、 A plurality of light receiving elements Selectable light receiving element selection unit designated from among the light receiving elements of the light receiving means,
    前記光走査手段の走査位置が変化する毎に当該走査位置に対して予め対応付けられた受光素子及びその周囲の受光素子の選択指令を前記受光素子選択手段に出力し選択する複数の受光素子の切替えを制御する制御手段と、 A plurality of light receiving elements for outputting select a selection command has been corresponded beforehand light receiving element and the light receiving element surrounding the light receiving element selection means with respect to the scanning position for each scanning position change of the optical scanning means and control means for controlling the switching,
    該受光素子選択手段で選択された受光素子の受光出力を加算する受光出力加算手段とを備え、 And a light receiving output adder for adding the light reception output of the selected light receiving elements in the light receiving element selection means,
    該受光出力加算手段の加算受光出力に基づいて走査領域内を監視する構成としたことを特徴とする走査型レーザレーダ。 Scanning laser radar, characterized in that the arrangement for monitoring the light receiving output addition reception output on the basis of the scanning area of ​​the adding means.
  2. 前記レーザ光源からレーザ光が発射されてから前記受光出力加算手段の加算受光出力が入力するまでの経過時間を計測する経過時間計測手段と、該経過時間計測手段の計測時間を示す情報に基づいて前記走査領域内の物体までの距離を演算する距離演算手段とを備える請求項1に記載の走査型レーザレーダ。 An elapsed time measuring means for measuring the elapsed time from the laser light source to adding the light receiving output of said light receiving output adding means from the laser beam is fired is input, based on the information indicating the measurement time of the elapsed time measuring means scanning laser radar according to claim 1 and a distance calculating means for calculating a distance to an object in the scanning area.
  3. 前記受光出力加算手段の出力をA/D変換するA/D変換手段と、該A/D変換手段のディジタル出力に基づいて得られる前記光走査手段の1走査周期当たりの受光波形データを予め定めた走査周期回数加算平均処理する加算平均処理手段とを備え、加算平均処理で得られた受光波形データに基づいて走査領域内を監視する請求項1に記載の走査型レーザレーダ。 A / D converting means for outputting an A / D conversion of the received light output adding means, preset the received light waveform data per scanning cycle of said optical scanning means obtained based on the digital output of the A / D conversion means and an averaging process unit for scanning cycle count averaging process has, scanning laser radar according to claim 1 for monitoring the scanning area based on the light reception waveform data obtained by the averaging process.
  4. 前記光走査手段の各走査位置毎に前記レーザ光源に複数の送光パルスを出力してレーザ光を複数回発射させるレーザ光源駆動手段を設けると共に、前記受光出力加算手段の出力をA/D変換するA/D変換手段と、前記光走査手段の各走査位置毎に前記レーザ光源駆動手段の送光パルスの波形データを一定時間間隔で所定量づつずらして前記A/D変換手段の受光出力の波形データとの相関値を演算する相関値演算手段とを備え、前記相関値が最大となった時のずれ量に基づいて走査領域内の物体までの距離を演算する請求項1に記載の走査型レーザレーダ。 Provided with a laser light source driving means for firing a plurality of times with a laser beam and outputting a plurality of sending pulses to the laser light source for each scan position of the light scanning unit, the output of the light receiving output adding means A / D converter a / D converting means for, in the light receiving output of the a / D conversion means by shifting a predetermined amount at a time waveform data of the sending pulses at fixed time intervals of the laser light source driving means for each scanning position of the optical scanning means a correlation value calculating means for calculating a correlation value between the waveform data, the scan according to claim 1 in which the correlation value calculates the distance to the object in the scan region based on the deviation amount when the maximum type laser radar.
  5. 前記光走査手段の各走査位置に応じて前記レーザ光源駆動手段の送光パルス数を可変制御し、各走査位置に応じてレーザ光の発射回数を可変制御する構成とした請求項4に記載の走査型レーザレーダ。 The number sending pulses of the laser light source driving means is variably controlled in accordance with the scanning position of the optical scanning unit, according to the firing frequency of the laser beam to claim 4 which is configured to be variably controlled in accordance with the scanning position scanning laser radar.
  6. 前記光走査手段を各走査位置で固定してレーザ光を発射し各走査位置において受光出力が検出されるレーザ光発射回数を予め求めて作成した各走査位置と送光パルス数の対応関係を示す発射パルス数テーブルを記憶する発射パルス数テーブル記憶手段を設け、前記光走査手段の走査位置情報が入力した時に前記発射パルス数テーブル記憶手段に記憶された発射パルス数テーブルに基づいて前記レーザ光源駆動手段の送光パルス数を決定する構成である請求項5に記載の走査型レーザレーダ。 Shows a fixed and pre-determined for each scan position and the number of sending pulses created by correspondence laser beam number of shots received light output is detected at each scan position to fire the laser beam at each scanning position of the optical scanning means a firing pulse number table storage means for storing the number of firing pulses table provided, the laser light source driven based on the stored to the firing pulse number table memory means the fire pulse number table when the scanning position information is entered by said optical scanning means scanning laser radar according to claim 5 is configured to determine the number of sending pulses of means.
  7. 前記光走査手段を各走査位置で固定してレーザ光を発射し各走査位置において前記受光手段の各受光素子の中で受光出力が最大の受光素子位置を予め求めて作成した各走査位置と各受光素子位置の対応関係を示す変換テーブルを記憶する変換テーブル記憶手段を設け、前記制御手段は、前記光走査手段の走査位置情報が入力した時に前記変換テーブル記憶手段に記憶した変換テーブルに基づいて選択する複数の受光素子位置を決定する構成である請求項1〜6のいずれか1つに記載の走査型レーザレーダ。 Each and each scanning position where the light receiving output is created by previously obtained maximum of the light receiving element position among the light receiving elements of the light receiving means at each scanning position emits a laser beam to said light scanning means is fixed at each scanning position the conversion table storing means for storing a conversion table showing the correspondence between the light receiving element position provided, the control means, based on the conversion table scanning position information of the optical scanning device is stored in the conversion table storing means when entered scanning laser radar according to any one of claims 1 to 6 is configured to determine a plurality of light receiving elements positioned to be selected.
  8. 前記変換テーブルを定期的に更新する請求項7に記載の走査型レーザレーダ。 Scanning laser radar according to claim 7 to periodically update the conversion table.
  9. 前記光走査手段に、半導体マイクロマシン技術により製造される半導体ミラーを使用する請求項1〜8のいずれか1つに記載の走査型レーザレーダ。 It said optical scanning means, the scanning laser radar according to any one of claims 1 to 8 using the semiconductor mirror manufactured by semiconductor micromachining technology.
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