【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、常温で液体の自然発火性溶剤，中でも塩化シランを半導体製造装置等に供給するための溶剤供給装置の防災設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の溶剤供給装置の防災設備を図２について説明する。図２は設備全体を示す概略図である。
【０００３】
図２において、１は塩化シランを貯蔵する溶剤貯蔵タンク、２は半導体製造装置、３は溶剤貯蔵タンク１と半導体製造装置２とを結ぶ配管、４は配管３に設けたポンプ、５は配管３に配設した電磁バルブ、６は溶剤貯蔵タンク１，配管３，ポンプ４，電磁バルブ５などを囲む防護囲壁で、これにより危険な塩化シランの貯蔵部分を隔離して安全な溶剤供給装置を構成している。さらに、７は消火剤を放射する消火設備で、火災感知センサー７ａ，消火剤貯蔵タンク７ｂ，放出ヘッド７ｃ，制御盤７ｄなどからなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、この種の溶剤供給装置の防災設備としては、前記したように消火設備７が付いているのであるが、このように消火設備７が付いていても塩化シランを原因とする防護囲壁６内の火災に対しては、かかる消火設備７の放出ヘッド７ｃから放射する効果的な消火剤がないので、実際には消火設備７で消火できずに防護囲壁６内での電磁バルブ５の操作等により塩化シランの漏洩を遮断して火が完全に消えるまであの手この手で溶剤貯蔵タンク１を守りながら待つというのが現状で、未だに有効な消火方法，即ち有効な防災設備が存在していない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る溶剤供給装置の防災設備はかかる点に鑑みてなされたもので、防護囲壁内に敷設した溶剤吸収体により漏れた溶剤を吸収して発火を抑制することにより、防護囲壁内での危険な溶剤による火災が未然に防止できると共に例えその後防護囲壁内で火災になっても不活性ガスによる初期消火ができる，即ち有効な防災設備が得られる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施の形態を図１について説明する。図１は設備全体を示す概略図で、図中前記した従来のものと同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。図１において、８は防護囲壁６内の床面に敷設した多孔質の溶剤吸収体、９はガス漏れ検知器、１０は防火ダンパーである。
【０００７】
今、防護囲壁６内で塩化シランが漏れて，それより生じるガス雰囲気をガス漏れ検知器９が検知すると、ガス漏れ検知器９から制御盤７ｄにガス漏れ信号を送る。制御盤７ｄではガス漏れ（塩化シランの漏れ）を確認すると、各電磁バルブ５を閉じて配管３を遮断して塩化シランの漏れを止めると共に防火ダンパー１０を閉じる。漏れた塩化シランは液体であるので床面の溶剤吸収体８上に広がりそのまま溶剤吸収体８に吸収される。
【０００８】
こうして漏れた全ての塩化シランが溶剤吸収体８に吸収されることにより、塩化シランの空気に接する時間，そして最終的には吸収状態での空気に接する面が少なくなって、自然発火しないので、火災を未然に防止できる。その際、このように防火ダンパー１０を閉じることにより、防護囲壁６内の空気が遮断されて塩化シランの自然発火をより効果的に押さえることができる。
【０００９】
このように防護囲壁６内に漏れた塩化シランは床面の溶剤吸収体８により吸収されて発火が抑制されるので、防護囲壁６内での漏洩塩化シランによる火災の危険性がなくなると共に配管３からの新たな塩化シランの漏洩の心配もない。よって、その後において、防護囲壁６内で火災になることがあっても、漏れた塩化シランを溶剤吸収体８により吸収しているので、消火装置７により不活性ガスなどを放出して十分に対応できる。
【００１０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば防護囲壁内に敷設した溶剤吸収体により漏れた溶剤を吸収して発火を抑制することができるので、防護囲壁内での危険な溶剤による火災が未然に防止できると共に例えその後防護囲壁内で火災になっても不活性ガスによる初期消火ができる，即ち有効な防災設備が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す設備全体の概略図である。
【図２】従来の設備全体を示す概略図である。
【符号の説明】
１ 物質貯蔵タンク
２ 半導体製造装置
３ 配管
４ ポンプ
５ 電磁バルブ
６ 防護囲壁
７ 消火設備
７ａ 火災感知センサー
７ｂ 消火剤貯蔵タンク
７ｃ 放出ヘッド
７ｄ 制御盤
８ 溶剤吸収体
９ ガス漏れ検知器[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disaster prevention equipment for a solvent supply device for supplying a pyrophoric solvent which is liquid at normal temperature, especially silane chloride, to a semiconductor manufacturing device or the like.
[0002]
[Prior art]
FIG. 2 shows a conventional disaster prevention facility of this type of solvent supply apparatus. FIG. 2 is a schematic diagram showing the entire equipment.
[0003]
In FIG. 2, 1 is a solvent storage tank for storing silane chloride, 2 is a semiconductor manufacturing apparatus, 3 is a pipe connecting the solvent storage tank 1 and the semiconductor manufacturing apparatus 2, 4 is a pump provided on the pipe 3, and 5 is a pipe 3 Is a protective enclosure surrounding the solvent storage tank 1, piping 3, pump 4, electromagnetic valve 5 and the like, thereby isolating the dangerous silane chloride storage portion to constitute a safe solvent supply device. are doing. Reference numeral 7 denotes a fire extinguishing system that emits a fire extinguishing agent, and includes a fire detecting sensor 7a, a fire extinguishing agent storage tank 7b, a discharge head 7c, a control panel 7d, and the like.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, as described above, fire-extinguishing equipment 7 is provided as a disaster-prevention equipment for this type of solvent supply apparatus. However, even if the fire-extinguishing equipment 7 is provided, the protective enclosure 6 caused by silane chloride may be used. As there is no effective extinguishing agent radiated from the discharge head 7c of the fire extinguishing equipment 7 for such a fire, the fire extinguishing equipment 7 cannot actually extinguish the fire, and the operation of the electromagnetic valve 5 in the protective enclosure 6 etc. At present, there is no effective fire-extinguishing method, that is, no effective fire-prevention equipment, while protecting the solvent storage tank 1 by hand until the fire is completely extinguished by shutting off the leakage of the silane chloride.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The disaster prevention equipment of the solvent supply device according to the present invention has been made in view of such a point, and absorbs the solvent leaked by the solvent absorber laid in the protective enclosure to suppress ignition, thereby preventing the fire in the protective enclosure. A fire caused by a dangerous solvent can be prevented beforehand, and even if a fire subsequently occurs in the protective enclosure, initial fire extinguishing with an inert gas can be performed, that is, effective disaster prevention equipment can be obtained.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
One embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing the entire equipment. In the figure, the same or corresponding parts as those of the above-mentioned conventional one are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. In FIG. 1, reference numeral 8 denotes a porous solvent absorber laid on the floor inside the protective enclosure 6, 9 denotes a gas leak detector, and 10 denotes a fire damper.
[0007]
Now, when the silane chloride leaks in the protective enclosure 6 and the gas leak detector 9 detects the resulting gas atmosphere, a gas leak signal is sent from the gas leak detector 9 to the control panel 7d. When a gas leak (leakage of silane chloride) is confirmed in the control panel 7d, each electromagnetic valve 5 is closed to shut off the pipe 3 to stop the leak of silane chloride and close the fire damper 10. Since the leaked silane chloride is a liquid, it spreads on the solvent absorber 8 on the floor and is absorbed by the solvent absorber 8 as it is.
[0008]
Since all of the leaked silane chloride is absorbed by the solvent absorber 8, the time required for the silane chloride to come into contact with the air, and finally the surface of the silane chloride which comes into contact with the air in the absorbed state, are reduced, and spontaneous ignition does not occur. Fire can be prevented. At this time, by closing the fire protection damper 10 in this manner, the air in the protection enclosure 6 is shut off, and the spontaneous ignition of silane chloride can be suppressed more effectively.
[0009]
Since the silane chloride leaked into the protective enclosure 6 is absorbed by the solvent absorber 8 on the floor surface to suppress ignition, the risk of fire due to the leaked silane chloride in the protective enclosure 6 is eliminated and the piping 3 There is no risk of leakage of new silane chloride from the tank. Therefore, even if a fire may occur in the protective enclosure 6 later, since the leaked silane chloride is absorbed by the solvent absorber 8, the fire extinguisher 7 emits an inert gas or the like to sufficiently cope with the fire. it can.
[0010]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to absorb the solvent leaked by the solvent absorber laid in the protective enclosure and suppress ignition, thereby preventing fire due to the dangerous solvent in the protective enclosure. In addition to this, even if a fire occurs in the protective enclosure afterwards, the initial fire extinguishing by the inert gas can be performed, that is, an effective disaster prevention facility can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram of an entire facility showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram showing the entire conventional equipment.
[Explanation of symbols]
REFERENCE SIGNS LIST 1 substance storage tank 2 semiconductor manufacturing equipment 3 pipe 4 pump 5 solenoid valve 6 protective enclosure 7 fire extinguishing equipment 7 a fire detection sensor 7 b fire extinguishing agent storage tank 7 c discharge head 7 d control panel 8 solvent absorber 9 gas leak detector
