【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク成型用スタンパーの製作工程において用いられるブランクスの保持治具に関するものであり、特に、その表面に形成された無数の微細な突起部を、光ディスクのピットとして転写して光ディスクを成型することができる光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の光ディスク成型用スタンパー（以降、単に「スタンパー」という）を製作する工程（あるいは工法）は、マスタリングと呼ばれている。この工法は、一般にフォトリソグラフィーといわれる技術が用いられており、記録すべき信号に対応したフォトレジストの凹凸のパターンを、ガラス基盤上に形成することから始まる。上記ガラス基盤上に形成されたポジ型フォトレジスト層に、上記記録すべき信号に対応して強度変調されたレーザビーム（あるいはレーザ光、以下同じ）を照射して、螺旋状に多数の露光部を形成し、この夫々の露光部が形成された上記ポジ型フォトレジスト層を現像することによって、多数のフォトレジストの窪み（ピット）をトラック状に形成するのである。その後、表面に導電性膜を形成し、その上に電鋳によりニッケルの厚膜を形成する。その厚膜の膜厚はおよそ０．３ｍｍほどであり、それを上記ガラス基盤から剥がして、上記剥されたニッケル盤をスタンパーとするのである。このニッケル盤にはフォトレジストのピットが転写された多数の突起（バンプ）が螺旋状に形成されている。このスタンパーを用いて射出成型を行なうことにより、情報を含んだピット列を有する光ディスクを成型することができる。
【０００３】
上記のようなマスタリングは、一般にガラスマスタリングと呼ばれるが、このようなガラスマスタリングにおいては、１０以上の工程を含み、上記スタンパー製作のための多くの時間とコストがかかり、また、工程が多いために塵埃の付着や人為的ミスなどによる欠陥も多く、歩留まりを低下させているという問題点があった。
【０００４】
このような背景のもと、上記ガラスマスタリングのような多くの工程を要せず、より少ない工程でスタンパーを製作する試みが試されている。このような試みの一例として、図４に示す模式説明図を用いてその工程を説明する。なお、以下に示す工程においては、上記ガラスマスタリングのように電鋳によりスタンパーを製作するのではなく、多数の突起部が形成された基盤を直接スタンパーとする、いわゆるダイレクトマスタリングと呼ばれる工法の一種である。
【０００５】
また、このような工法としては、例えば、特願２００１−３２４７０７号の特許出願に記載されたものがある。
【０００６】
図４（Ａ）は、ニッケル等の金属により形成された円盤状の基盤１１の上に架橋性物質を塗布してアンカーコート層１２が形成された状態を示す。上記架橋性物質としては、例えば、有機ポリマーやシリコン酸化物の無機の材料などがある。なお、この基盤１１は、上記ガラスマスタリングにおける電鋳で作られるスタンパーと同じ厚みを有しており、その厚みはほぼ０．３ｍｍ前後である。
【０００７】
次に、図４（Ｂ）に示すように、基盤１１及びアンカーコート層１２に対して、ベーキング処理を行なう。このベーキング処理を、上記架橋性物質の塗布によるアンカーコート層１２の形成後にその溶剤を蒸発させる目的のプリベーク処理として、８０℃から９０℃までの範囲の比較的低温で行なう。
【０００８】
引き続き、図４（Ｃ）に示すように、基盤１１全体に紫外線を照射し、その後、図４（Ｄ）に示すベーキング処理を経てアンカーコート層１２を形成している上記架橋性物質のポリマー鎖を架橋させる。なお、この図４（Ｄ）に示す上記紫外線照射後のベーキング処理は、いわゆるポストエクスポージャーベークと呼ばれるものである。このベーキング処理においては、上記紫外線の照射で発生した酸が触媒となって上記架橋性物質に第１の架橋反応が起こる。
【０００９】
次に、図４（Ｅ）に示すように、アンカーコート層１２の上に、フォトレジストを塗布してフォトレジスト層１３を形成する。その後、溶剤を蒸発させフォトレジスト層１３を安定化させるためにプリベーク処理を施す。なお、上記フォトレジストとしては、ネガ型フォトレジストを用いる。
【００１０】
次に、図４（Ｆ）に示すように、上記記録すべき信号で変調されたレーザビーム１４をフォトレジスト層１３に照射して複数の露光部を形成する。ここで使われる装置は、レーザビームレコーダと呼ばれ、上記記録すべき信号で変調されたレーザビーム１４を照射可能なレーザビーム照射装置（図示しない）と、このレーザビーム１４を０．３μｍ程度の微細なスポットに絞る記録レンズ１５と、基盤１１を保持するとともに、その中心に位置される回転軸１６を回転中心として基盤１１を回転させる回転駆動部材１７とを備えている。上記レーザビーム照射装置及び記録レンズ１５は回転される基盤１１の半径方向に沿って移動可能とされているため、基盤１１を回転させ、かつ、上記レーザビーム照射装置及び記録レンズ１５を上記半径方向沿いに移動させながら、レーザビーム１４をフォトレジスト層１３上に照射することにより、フォトレジスト層１３には螺旋状に複数の潜像が記録される。なお、この夫々の潜像部分が上記露光部となる。
【００１１】
その後、図４（Ｇ）に示すように、ベーキング処理を行なう。上記レーザビーム１４の照射によってフォトレジスト層１３の上記夫々の露光部に発生した酸を触媒として、このベーキング処理でフォトレジスト層１３の上記夫々の露光部に架橋反応が起こる。なお、上記フォトレジストは、一般に化学増幅型フォトレジストと呼ばれる種類のフォトレジストである。また、上記フォトレジストの種類によってはこのベーキング処理が不要な場合もある。
【００１２】
その後、図４（Ｈ）に示すように、フォトレジスト層１３に対して現像処理が行なわれ、フォトレジスト層１３における上記架橋された部位以外、すなわち上記夫々の露光部以外（すなわち、未露光部）が溶けて流される。その結果、上記夫々の露光部のみがフォトレジスト突起１８として残る。この状態では、夫々のフォトレジスト突起１８とアンカーコート層１２とはまだ強固に結合さていない状態である。
【００１３】
次に、図４（Ｉ）は、アンカーコート層１２の上記架橋性物質と夫々のフォトレジスト突起１８のフォトレジストとの架橋をさらに促進する工程である。上述したように、アンカーコート層１２の上記架橋性物質は完全には架橋されていない。また、レーザビーム１４が照射されて形成された夫々のフォトレジスト突起１８のフォトレジストも、まだ架橋は一部しか進行していない。この工程で両者の架橋を第２の架橋反応として、さらに進行させることにより、夫々のフォトレジスト突起１８のポリマーとアンカーコート層１２の上記架橋性物質との間で相互の架橋が起こり、両者の結合を強める。また、上記架橋性物質及び夫々のフォトレジスト突起１８が上記架橋によりさらに強固となり、光ディスク成型時の熱及び熱応力に耐える強度を与えることができる。
【００１４】
なお、この架橋反応促進（上記第２の架橋反応）の具体的方法としては、上記現像後の基盤１１全体（すなわち、夫々のフォトレジスト突起１８及びアンカーコート層１２を含めた全体）をプラズマ中に曝す方法や、遠紫外線を照射してから高温で加熱する方法などがある。
【００１５】
そして、図４（Ｊ）は架橋後の基盤であり、夫々のフォトレジスト突起１８とアンカーコート層１２は、一体化された構造物１９になっている。この一体化された構造物１９が表面に形成された基盤１１を、光ディスクの成型機の金型に合うように内外径を加工し、必要に応じ裏面を削ればスタンパー（ダイレクトスタンパーという場合もある）が完成する。なお、これらの上記加工は最初から行ってもよい。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記ダイレクトマスタリングにおいて取り扱われる基盤１１は、その厚さが０．３ｍｍ程度の薄い金属盤であるのに対して、従来のガラスマスタリングにおいて取り扱われるガラス基盤は、その厚さが６ｍｍ程度であるため、上記夫々の厚さの相違によって、スタンパーの製作者の多くが使用している（あるいは所有している）従来のガラスマスタリングを行なうスタンパー製作装置において、スタンパーの製作工法として革新的な工法である上記ダイレクトマスタリングを行なうことができず、上記ダイレクトマスタリングを行なうには専用の新たな製作装置が必要であるという問題点がある。
【００１７】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、従来のガラスマスタリングにより光ディスク成型用スタンパーを製作する装置において、ダイレクトマスタリングによる光ディスク成型用スタンパーの製作を可能とするブランクスの保持治具である光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１９】
本発明の第１態様によれば、円盤状の金属基盤にフォトレジスト層が形成された光ディスク成型用スタンパーのブランクスの保持治具であって、
上記ブランクスの表面沿いの方向における保持位置を、上記ブランクスの外周部にて位置決め規制する複数の位置規制部材と、互いに隣接する上記夫々の位置規制部材の間に凹状に形成されて、上記ブランクスの上記外周部を把持可能に露出させる複数の切り欠き部とを備え、光ディスク成型用スタンパーの製作工法であるガラスマスタリングにおいて用いられるガラス基盤と同じ厚み寸法及び同じ外径寸法を有する環状部材と、
上記環状部材の内側に備えられて、上記ブランクスの表面に直交する方向沿いにおいて、上記ブランクスの表面と上記位置規制部材の表面とを略同じ位置となるように位置決めするとともに、上記ブランクスを解除可能に保持する保持部材とを備えることを特徴とする光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２０】
本発明の第２態様によれば、上記保持部材は、上記ブランクスを磁力でもって保持可能な永久磁石を備えている第１態様に記載の光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２１】
本発明の第３態様によれば、上記保持部材は、上記永久磁石における上記ブランクスの保持面を覆うように配設され、かつ、鏡面加工が施されたその表面を上記ブランクスの保持側表面とする非磁性体で形成されたスペーサ円盤をさらに備え、上記スペーサ円盤を介在させて上記ブランクスを上記永久磁石により保持可能である第２態様に記載の光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２２】
本発明の第４態様によれば、上記環状部材の上記夫々の切り欠き部は、上記ブランクスの上記外周部沿いに、等間隔に配置されて形成されている第１態様から第３態様のいずれか１つに記載の光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２３】
本発明の第５態様によれば、上記環状部材において、上記夫々の切り欠き部の外周側の形成幅及び形成深さは、内周側の形成幅及び形成深さと同じ若しくは上記内周側の形成幅及び形成深さよりも大きく形成されている第１態様から第４態様のいずれか１つに記載の光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２４】
本発明の第６態様によれば、上記環状部材は、セラミックスで形成されている第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具を提供する。
【００２５】
ここで、本明細書において用いられている用語の意義を説明する。
【００２６】
用語「ブランクス」とは、光ディスク成型用スタンパーの製作工程における中間製品であって、円盤状の基盤上にフォトレジストが塗布されて、フォトレジスト層が形成され、さらに、その後、ベーキング処理（プリベーク処理）等が施されることにより上記フォトレジスト層が安定化されたものをいう。また、上記フォトレジスト層が上記基板上に直接形成されたもの、又は、その他の層を介して間接的に形成されたもののいずれのものをも含む。
【００２７】
用語「光ディスク」とは、データの読み書きにレーザ光（レーザビーム）を利用する記憶媒体のこという。例えば、ＣＤやＤＶＤ等が代表的な光ディスクである。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
本発明の一の実施形態にかかる光ディスク成型用スタンパーのブランクス用保持治具の一例である円盤状治具１０の模式的な斜視図を図１に示し、その模式的な断面図を図２に示す。
【００３０】
図１に示すように、円盤状治具１０は、略リング状の形状を有する環状部材の一例である円環部１と、この円環部１の内周部の下部に固定されて、磁気的にブランクスを保持可能な保持部材の一例であるマグネット盤４とを備えている。また、本実施形態においては、図２に示すように、円環部１の内周部の下部に内底部１ａが形成されており、この内底部１ａの上面にマグネット盤４が備えられている。なお、円環部１にこのように内底部１ａが形成されている場合に代えて、内底部１ａが形成されておらず、完全なリング状の形状とされているような場合であってもよい。
【００３１】
また、図１に示すように、円環部１は、その外径および厚みが従来のガラスマスタリングで使用されるガラス基盤と同じ寸法となるように形成されている。例えば、円環部１は、外径２００ｍｍ、内径１６０ｍｍ、厚み６ｍｍの形成寸法を有している。また、円環部１の形成材料には、金属あるいはセラミックが用いられる。特に、上記形成材料としてアルミナ系のセラミックが用いられるような場合にあっては、ガラスに近い重量で熱変形が少ない剛性のある円環部１を形成することが可能となる。
【００３２】
また、マグネット盤４は、円盤状の形状を有しており、その下面が円環部１の内底部１ａの上面に接着されて、円環部１の内側に取り付けられている。また、マグネット盤４は、永久磁石で形成されており、例えば、フェライトまたはゴム状のマグネットなどが円盤状に加工されることにより形成されている。なお、マグネット盤４は、その全てが上記永久磁石で形成されている場合に限定されるものではなく、マグネット盤４として磁気的な機能を担うことができる程度に上記永久磁石が含まれて形成されているような場合であってもよい。
【００３３】
さらに、図１に示すように、円環部１の内側においてマグネット盤４の上面には、非磁性体で形成されたスペーサ円盤の一例であるガラス盤３が接着されており、マグネット盤４の上面（すなわち、マグネット盤４におけるブランクス２の保持面）全体がガラス盤３により覆われた状態とされている。なお、上記非磁性体の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、アルミニウム等があるが、後述する研磨加工の容易性により、ガラスを用いることが好ましい。このガラス盤３には、その形成厚みが１ｍｍ前後の比較的薄いものが用いられる。なお、ガラス盤３の上面は鏡面状態に研磨されており（すなわち、鏡面加工が施されており）、微細な凹凸の無い滑らかな表面となっている。なお、上記鏡面状態としては、例えば、ガラス盤３の表面あらさＲａ（中心線平均あらさ）を１０ｎｍ程度とすることが好ましい。
【００３４】
また、図１に示すように、円盤状治具１０において、円環部１の内側のガラス盤３の上には、図４（Ｅ）で説明した金属により形成された円盤状の基盤１１に、アンカーコート層１２を介してフォトレジスト層１３が塗布形成され、その後、プリベーク処理が施されたスタンパー製作工程における中間製品であるブランクス２が配置されている。なお、本実施形態においては、ブランクス２において、フォトレジスト層１３はアンカーコート層１２を介して基盤１１の上に塗布形成されているが、ブランクス２はこのような構造に限定されることはなく、基盤１１の上にフォトレジスト層１３が直接塗布形成されたものをブランクスとして用いるような場合であってもよい。なお、光ディスク成型用のスタンパーの製作工程においては、このようなブランクス２を予めまとめて生産して保管しておき、その後、上記保管されているブランクス２に対して、突起部の形成等の後工程を施すこともできる。また、円環部１の内径は、ブランクス２の外径と略一致するように形成されており、さらに、円環部１の中心（後述する回転中心となる）は、円盤状治具１０により保持された状態のブランクス２の中心（後述する回転中心となる）と一致するように、円環部１は形成されている。なお、ブランクス２の円盤状治具１０への着脱（すなわち、保持及び保持解除）の容易性を考慮して、円環部１の内周部とブランクス２の外周部との間には僅かな隙間、例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度の隙間が設けられるように、円環部１が形成されていることが好ましく、さらに、円環部１の内径公差は、＋０．２ｍｍ／＋０．１ｍｍであることが好ましい。また、円環部１の中心とブランクス２の中心との同心度は、例えば、０．２ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３５】
また、図１に示すように、ブランクス２は、フォトレジスト層１３が形成されている面を上面として、ガラス盤３を介してマグネット盤４に磁気的に吸着保持されている。一方、ブランクス２の裏面が接触された状態にあるガラス盤３の表面（すなわち、ガラス盤３のブランクス２の保持側表面）は、上述のとおり鏡面状態に研磨されているため、この接触によりブランクス２の裏面に傷が付くことはない。
【００３６】
また、円盤状治具１０において、円環部１の内側にてガラス盤３を介してマグネット盤４により磁気的に保持されているブランクス２は、その外周部が円環部１の内周部に常時略当接された状態とされており、これにより、その表面沿いの方向における保持位置が規制された状態とされている。さらに、ブランクス２は、その裏面がマグネット盤４に接着されたガラス盤３の上面に接触された状態において、その上面が、円環部１の上面と略同じ高さ位置とされており、ガラス盤３によりブランクス２の高さ方向の保持位置が規制された状態とされている。また、円環部１の上面、下面、及び内底部１ａ、さらにガラス盤３の上面は、夫々略平行となるように形成されており、上記保持されたブランクス２の表面も上記夫々の面と略平行とされる。なお、円環部１を含めた円盤状治具１０の平面度は２０μｍ程度以下とすることが好ましい。
【００３７】
さらに、図１に示すように、円環部１には、複数の切り欠き部５が形成されており、例えば、円盤状治具１０においては、その外周部において等間隔に配置され、互いに対向された２つの切り欠き部５が形成されている。また、円盤状治具１０に保持されたブランクス２が、上記夫々の切り欠き部５の形成位置においてその外周部が露出されるような形成深さでもって、上記夫々の切り欠き部５が形成されている。なお、本実施形態の円盤状治具１０においては、上記夫々の切り欠き部５の形成位置において、ブランクス２の上記外周部とともに、ガラス盤３及びマグネット盤４の夫々の外周部も露出されるような形成深さでもって、上記夫々の切り欠き部５が形成されている。さらに、上記夫々の切り欠き部５の形成幅は、上記露出されているブランクス２の外周部を指で把持できる程度の寸法に形成されている。なお、上記夫々の切り欠き部５がこのような形成幅を有していることにより、例えば、従来のガラスマスタリングを行なうスタンパー生産装置において用いられているロボットハンド等を用いて、上記ブランクス２の外周部の露出部分を把持することもできる。なお、本実施形態においては、円環部１の複数の切り欠き部５の間に挟まれるように形成されている複数の凸状の部分が、ブランクス２の表面沿いの方向における保持位置の規制を行なう複数の位置規制部材の一例となっている。
【００３８】
また、図１に示すように、上記夫々の切り欠き部５は、円環部１の内周側の上記形成幅が、外周側の上記形成幅と同じ寸法となるように形成されている。同様に、上記内周側の上記形成深さが、上記外周側の上記形成深さと同じ寸法となるように形成されている。ただし、上記夫々の切り欠き部５の上記内周側と上記外周側における上記形成幅及び上記形成深さの寸法の関係は、上述のような場合にのみ限定されるものではなく、上記外周側における上記形成幅及び上記形成深さが、上記内周側における夫々の上記形成幅及び上記形成深さよりも大きく形成されているような場合であってもよい。このように、上記夫々の切り欠き部５が形成されることにより、後述する現像時等におけるブランクス２に供給される処理液等の円環部１の外部への排出性を良好とさせることができる。
【００３９】
次に、このような円盤状治具１０にブランクス２を保持させた状態にて、上記ブランクス２に対して図４に示したダイレクトマスタリングによるスタンパー製作方法を、従来のガラスマスタリングによるスタンパー製造装置を用いて行ない、スタンパーを製作する場合について、図４を用いて説明する。すなわち、上記従来のスタンパー製作装置において用いられていたフォトレジスト層がその表面に形成されたガラス基盤に代えて、円盤状治具１０により保持されたブランクス２を用い、さらに、上記ダイレクトマスタリングを行なう場合について説明する。なお、このようなブランクス２に対しては、図４に示すレーザビーム１４の照射による露光部の形成の工程（図４（Ｆ）に示す工程）以降の夫々の工程が施される。
【００４０】
まず、図４（Ｆ）に示すレーザビーム１４の照射により露光部の形成工程におては、ブランクス２をその中心を回転中心として高速で回転させながら、レーザビーム１４の照射を行なう必要があるが、円環部１の中心とブランクス２の中心とが一致された状態でブランクス２が円盤状治具１０に保持されていることにより、ブランクス２を保持させた状態で円盤状治具１０をその中心（すなわち、円環部１の上記中心である）を回転中心として高速で回転させることでもって、円盤状治具１０と一体的にブランクス２を上記回転中心回りに高速で回転させることができる。
【００４１】
また、上記保持されているブランクス２は、上述のように円環部１によりその表面沿いの方向における保持位置が規制された状態とされており、さらに、マグネット盤４により磁気的に保持されているため、このように高速で回転されるような場合であっても、上記回転中に円盤状治具１０による保持位置がずれたり、円盤状治具１０から飛び出すことはない。よって、このように、ブランクス２を保持させた状態で円盤状治具１０を高速で回転させながら、記録レンズ１５により絞られたレーザビーム１４をブランクス２の表面（すなわち、フォトレジスト層１３）に照射することにより、複数の露光部を形成することができる。
【００４２】
また、円盤状治具１０においては、ガラス盤３によりその厚さ方向の高さ位置が位置決めされた状態でブランクス２が保持されている。そのため、ブランクス２の上面と円盤状治具１０の上面（すなわち、円環部１の上面）との高さ位置が略同じ高さ位置とされている。例えば、円環部１の上面はブランクス２の上面と同じ高さ位置、若しくはブランクス２の上面よりも高くても０．３ｍｍ以下の高さ位置に位置決め保持されている。そのため、レーザビーム１４の照射時において、従来のガラスマスタリングにおけるガラス基盤を用いる場合と記録表面の高さ位置の差はせいぜい０．３ｍｍであり、この程度の高さ位置の相違であれば、記録レンズ１５がその焦点位置を調整できる範囲である。従って、記録レンズ１５により上記焦点位置の調整を行なって、レーザビーム１４を確実にブランクス２の上面（すなわち、フォトレジスト層１３）に照射することができる。
【００４３】
さらに、円環部１に等間隔に夫々の切り欠き部５が形成されていることにより、上記高速回転の際において、バランス良く、安定させた状態で円盤状治具１０を回転させることができる。
【００４４】
次に、図４（Ｇ）に示すベーキング処理工程においては、ブランクス２とともに、円環部１、ガラス盤３、及びマグネット盤４も加熱されることとなるが、円環部１は金属あるいはセラミックで形成されている耐熱性の問題なく、また、マグネット盤４には、永久磁石として耐熱性を有すものを用いることにより対応することができる。例えば、永久磁石としてフェライトのマグネットを用いるような場合にあっては、５００℃程度の使用環境に耐えることもできる。このように、円盤状治具１０全体を加熱してブランクス２に対してベーキング処理を施すことにより、ブランクス２のフォトレジスト層１３に形成されて夫々の露光部において、酸を触媒として架橋反応を起こさせることができる。
【００４５】
次に、図４（Ｈ）に示す現像工程について、図２に示す模式説明図を用いて説明する。図２に示すように、ブランクス２を吸着保持した円盤状治具１０は、上記スタンパー製作装置に備えられている円盤状の回転テーブル８の上面に保持されて固定（例えば、真空吸着法などにより）されている。また、円盤状治具１０の上記回転中心が、回転テーブル８の回転軸７と一致するように回転テーブル８に円盤状治具１０が位置決めされて保持されている。このような状態で、回転軸７を回転中心として回転テーブル８を回転させて、ブランクス２をその回転中心回りに回転させながら、現像液や純水などの処理液を回転テーブル８の上方に配置されたノズル９からブランクス２の上に供給することにより、ブランクス２に対して現像処理を行なうことができる。
【００４６】
図２に示すように、この場合、ブランクス２の表面は円盤状治具１０（すなわち、円環部１）の表面とほぼ同じ高さ位置に位置決めされているので、上記処理液は、上記回転による遠心力で飛び出し、ブランクス２の表面に残ることはない。また、円環部１に形成されている夫々の切り欠き部５の上記形成幅及び上記形成深さが、円環部１の内周側と外周側とにおいて同じ寸法、あるいは上記内周側よりも上記外周側のほうが大きくなるように形成されているため、上記処理液は夫々の切り欠き部５に溜まることなく、良好な排出性でもって確実に外部に排出される。これにより、ブランクス２に対して上記現像処理が施されて、フォトレジスト層１３において、未露光部が溶かされて流され、上記夫々の露光部のみが残されて、複数のフォトレジスト突起１８として残る。
【００４７】
その後、図４（Ｉ）に示す架橋促進のための工程が施されて、上記夫々のフォトレジスト突起１８とアンカーコート層１２が一体化される。その後、円盤状治具１０の夫々の切り欠き部５において、ブランクス２の露出された外周部を把持することにより、円盤状治具１０よりブランクス２を取り出し、内外径を加工して、スタンパーが完成する。
【００４８】
なお、本実施形態においては、一例として、外径１６０ｍｍのブランクス２を用い、最終的にその外径を加工して外径１３８ｍｍのスタンパーを作成するが、このようにブランクス２とスタンパーの夫々の外径寸法の間に差が設けられているのは、ブランクス２の表面へのフォトレジスト層の形成等の際に、ブランクス２の外周部近傍の上記フォトレジスト層が不均一な状態となりやすいことを考慮しているためである。
【００４９】
なお、本実施形態は、上記説明のような円盤状治具１０にのみ限定されるものではない。例えば、本実施形態の別の例にかかるブランクス用保持治具の一例として円盤状治具２０の模式的な斜視図を図３に示す。
【００５０】
図３に示すように、円盤状治具２０は、その円環部２１の形状が円盤状治具１０と異なっているのみであり、その他の構造は円盤状治具１０と同じである。以下にこの異なる部分を中心に説明する。
【００５１】
図３において、円盤状治具２０は、円環部２１の内底部に固定されたマグネット盤２４と、マグネット盤２４の上面に接着されたガラス盤２３とを備えており、ガラス盤２３の上面には、ブランクス２が配置されて、ガラス盤２３を介してマグネット盤２４によりブランクス２が磁気的に保持されている。
【００５２】
また、円盤状治具２０における円環部２１には、複数の突起部２１ａが形成されており、例えば、円環部１の上に４箇所、等間隔に配置されて形成されている。また、夫々の突起部２１ａの形成高さは、上記保持された状態のブランクス２の上面と同じとされている。また、ブランクス２の外周部は上記保持状態において、夫々の突起部２１ａの内側側面に当接された状態とされており、これにより、ブランクス２の表面沿いの方向におけるその保持位置が規制されている。すなわち、円盤状治具２０の円環部２１は、円盤状治具１０の円環部１に形成されている夫々の切り欠き部５の上記形成幅を円周方向に大きくしたものと考えることができる。ただし、図３においては、上記切り欠き部が４個形成されている。また、円環部２１の上記夫々の突起部２１ａの間に形成された上記切り欠き部の上記形成幅及び上記形成深さの寸法に関する円環部２１の内周側と外周側との関係は、円盤状治具１０においての場合と同じである。
【００５３】
従って、円盤状治具２０においても、円盤状治具１０と同様に、ブランクス２を確実に位置決めして保持することができるとともに、現像時等においてブランクス２に供給された処理液を、良好な排出性でもって円盤状治具２０の外部に排出することができる。
【００５４】
（実施形態による効果）
上記実施形態によれば、円盤状金属の基盤１１の上にアンカーコート層１２を介してフォトレジスト層１３が形成されたブランクス２を用いて、ダイレクトマスタリングにより、直接的にスタンパーを製作するような場合であっても、そのための専用の新たなスタンパー製作装置を用いることなく、従来のガラスマスタリングにおいて用いられているスタンパー製作装置を用いて、上記スタンパーの製作を行なうことを可能とすることができる。
【００５５】
すなわち、上記ガラスマスタリングのスタンパー製作装置において取り扱われるガラス基盤と、その形成厚さ寸法及び外径寸法が異なるブランクス２を、上記ガラス基盤と同じ厚さ寸法及び外径寸法を有し、かつ、そのリング状の内周部の内径寸法がブランクス２の外径寸法と同じに形成された円環部１を備える円盤状治具１０を用いて、この円盤状治具１０の上記内周部に嵌め合せるようにブランクス２を保持させることにより、ブランクス２の形状寸法を擬似的に上記ガラス基盤と同じ形状寸法とさせることができ、上記ガラスマスタリングのスタンパー製作装置において、上記ガラス基盤と擬似的に同じ形状寸法とされたブランクス２を取り扱うことを可能することができる。
【００５６】
従って、スタンパー製作工法として革新的な工法である上記ダイレクトマスタリングを、スタンパーの製作者の多くが使用あるいは所有している上記従来のガラスマスタリングのスタンパー製作装置でもって行なうことができる。また、これにより、製作させるスタンパーの製作コストを削減することもできる。
【００５７】
また、円盤状治具１０においては、円環部１の内底部にマグネット盤４が取り付けられていることにより、円環部１の内側に配置されたブランクス２を磁気的に吸着保持することができ、円盤状治具１０による確実なブランクス２の保持を行なうことができる。
【００５８】
また、ブランクス２は、その表面沿いの方向においては円環部１により位置決め規制され、また、その厚さ方向においてはマグネット盤４により位置決め規制されているため、円盤状治具１０により保持されるブランクス２の保持位置を常に一定の位置とすることができ、安定した製作精度でもってスタンパーの製作を行なうことができる。
【００５９】
また、マグネット盤４によるブランクス２の磁気的な保持は表面が鏡面状に研磨仕上げされたガラス盤３を介して行なわれるため、上記磁気的な保持により、ブランクス２の表面を傷付けることが防止することができ、製作されるスタンパーの品質に影響を与えることなない。
【００６０】
さらに、円盤状治具１０の円環部１において、互いに対向するように２箇所に切り欠き部５が形成されて、夫々の切り欠き部５より円盤状治具１０により保持された状態のブランクス２の外周部が露出された状態とされていることにより、ブランクス２を円盤状治具１０への着脱を容易に行なうことができる。
【００６１】
また、これらの夫々の切り欠き部５の上記形成幅及び上記形成深さが、円環部１の内周側と外周側とにおいて同じ寸法、あるいは上記内周側よりも上記外周側のほうが大きくなるように形成されていることにより、円盤状治具１０により保持された状態のブランクス２に現像処理として処理液を供給するような場合であっても、上記供給された処理液を夫々の切り欠き部５に溜まらせることなく、良好な排出性でもって確実に外部に排出させることができ、確実に現像処理を行なうことができる。
【００６２】
また、その厚さ方向においてブランクス２の表面が円環部１の表面とほぼ同じ高さ位置となるように位置決めされた状態でブランクス２が円盤状治具１０に保持されていることにより、上記現像の際における円盤状治具１０の回転による遠心力でもって、上記処理液は飛散されてブランクス２の表面に残ることはなく、確実な現像処理を行なうことが可能となる。
【００６３】
また、その形成厚さが０．３ｍｍ程度と薄いブランクス２を、従来のスタンパー製作装置において直接保持させるのではなく、その形成厚さが６ｍｍ程度とブランクス２と比して厚い円盤状治具１０を介して、間接的にブランクス２を保持させるため、上記保持の際に受ける吸着力等の力の影響をブランクス２に与えることを防止することができる。
【００６４】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００６５】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、円盤状の金属基盤の上にフォトレジスト層が形成された光ディスク成型用スタンパー（以下、単に「スタンパー」というものとする）のブランクスを用いて、ダイレクトマスタリングにより、直接的に上記スタンパーを製作するような場合であっても、そのための専用の新たなスタンパー製作装置を用いることなく、従来のガラスマスタリングにおいて用いられているスタンパー製作装置を用いて、上記スタンパーの製作を行なうことを可能とすることができる。
【００６６】
すなわち、上記ガラスマスタリングのスタンパー製作装置において取り扱われるガラス基盤と、その厚さ寸法及び外径寸法が異なる上記ブランクスを、上記ブランクスの表面沿いの方向における保持位置を、上記ブランクスの外周部にて位置決め規制する複数の位置規制部材を有し、かつ、上記ガラス基盤と同じ厚さ寸法及び外径寸法を有する環状部材を備えるブランクス用保持治具を用いて、この上記環状部材の上記夫々の位置規制部材によりその外周部が位置決めされるように上記ブランクスを保持させることにより、上記ブランクスの形状寸法を擬似的に上記ガラス基盤と同じ形状寸法とさせることができ、上記ガラスマスタリングのスタンパー製作装置において、上記ガラス基盤と擬似的に同じ形状寸法とされた上記ブランクスの取扱いを可能することができる。
【００６７】
従って、スタンパー製作工法として革新的な工法である上記ダイレクトマスタリングを、スタンパーの製作者の多くが使用あるいは所有している上記従来のガラスマスタリングのスタンパー製作装置でもって行なうことを可能とすることができる。また、これにより、製作させるスタンパーの製作コストを削減することができる。
【００６８】
また、上記ブランクス用保持治具において、上記環状部材の内側に備えられて、上記ブランクスの表面に直交する方向沿いにおいて、上記ブランクスの表面と上記夫々の位置規制部材の表面とを略同じ位置となるように位置決めするとともに、上記ブランクスを解除可能に保持する保持部材がさらに備えられていることにより、上記ブランクス用保持治具により保持される上記ブランクスの保持位置を常に一定の位置とすることができるとともに、上記ブランクスの確実な保持を行なうことができる。よって、安定した製作精度でもって、上記ブランクスよりの上記スタンパーの製作を確実に行なうことができる。
【００６９】
また、上記ブランクスの表面を上記夫々の位置規制部材の表面と略同じ位置とさせることができることにより、上記ブランクスの表面を従来のガラス基盤の表面と同じ位置とすることができるため、上記従来のガラスマスタリングのスタンパー製作装置において、レーザビームの照射等を行なう場合であっても、確実にその焦点位置合わせを行なうことができる。
【００７０】
また、上記環状部材において、互いに隣接する上記夫々の位置規制部材の間に凹状に形成されて、上記ブランクスの上記外周部を把持可能に露出させる複数の切り欠き部が備えられていることにより、上記ブランクス用保持治具への上記ブランクスの保持及び保持解除を容易とさせることができ、上記従来のガラスマスタリングのスタンパー製作装置における上記ブランクス用保持治具の取扱いを良好なものとすることができる。
【００７１】
本発明の上記第２態様によれば、上記保持部材が上記永久磁石を備えていることにより、上記ブランクスを磁力でもって保持することができ、上記保持を確実に行なうことができるとともに、上記保持の解除を容易に行なうことができ、上記従来のガラスマスタリングのスタンパー製作装置における上記ブランクス用保持治具の取扱いを良好なものとすることができる。
【００７２】
本発明の上記第３態様によれば、上記保持部材が上記永久磁石における上記ブランクスの保持面を覆うように配設され、かつ、その上記ブランクスの保持側表面に鏡面加工が施された非磁性体により形成されたスペーサ円盤をさらに備え、上記スペーサ円盤を介在させて上記ブランクスを上記永久磁石により保持させることが可能とされていることにより、上記ブランクスと上記永久磁石との直接的な接触を防止して、上記ブランクスの保持の際に、上記ブランクスの表面に傷が付くことを防止することができる。従って、上記ブランクス用保持治具による上記ブランクスの保持により上記ブランクスの品質に影響を与えることはない。
【００７３】
本発明の上記第４態様によれば、上記環状部材に形成されている上記夫々の切り欠き部が、上記ブランクスの上記外周部沿いに等間隔に配置されて形成されていることにより、上記ブランクス用保持治具への上記ブランクスの着脱の際の上記ブランクスの上記外周部における把持を安定して行なうことができるとともに、上記ブランクスの現像処理の際において供給される処理液を、上記夫々の切り欠き部を通して確実かつ均一に排出することができ、上記現像処理を確実に行なうことができる。
【００７４】
本発明の上記第５態様によれば、上記環状部材において、上記夫々の切り欠き部の外周側の形成幅及び形成深さが、内周側の形成幅及び形成深さと同じ若しくは上記内周側の形成幅及び形成深さよりも大きく形成されていることにより、上記ブランクス用保持治具により保持された状態の上記ブランクスに上記現像処理として上記処理液を供給するような場合であっても、上記供給された処理液を上記夫々の切り欠き部内に溜まらせることなく、良好な排出性でもって確実に外部に排出させることができ、確実に現像処理を行なうことができる。
【００７５】
本発明の上記第６態様によれば、上記環状部材が、セラミックスで形成されていることにより、上記従来のガラス基盤の形成材料であるガラスに近い重量で熱変形が少ない剛性のある上記環状部材を形成することができ、ベーキング処理の際の加熱にも耐えることができ、かつ、上記従来のガラス基盤と同様な取扱い性を備えさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる円盤状治具の模式的な斜視図であり、ブランクスを保持している状態を示している。
【図２】上記円盤状治具により保持されたブランクスに対して、現像処理を施している状態の模式説明図である。
【図３】上記実施形態の変形例にかかる円盤状治具の模式的な斜視図であり、ブランクスを保持している状態を示している。
【図４】ダイレクトマスタリングによるスタンパーの製作方法を示す模式説明図であり、（Ａ）は基盤の表面にアンカーコート層が塗布形成された状態であり、（Ｂ）はベーキング処理が行われている状態であり、（Ｃ）は紫外線照射を行なっている状態であり、（Ｄ）はポストエクスポージャーベーキングを行なっている状態であり、（Ｅ）はさらにフォトレジスト層を塗布形成している状態（すなわち、ブランクスの状態）であり、（Ｆ）は記録用のレーザビームを照射して露光部を形成している状態であり、（Ｇ）は上記露光部の形成後のベーキング処理が行われている状態であり、（Ｈ）は現像処理が行なわれている状態であり、（Ｉ）は架橋促進が行なわれている状態であり、（Ｊ）はスタンパーが完成した状態を示す。
【符号の説明】
１…円環部、１ａ…内底部、２…ブランクス、３…ガラス盤、４…マグネット盤、５…切り欠き部、７…回転軸、８…回転テーブル、９…ノズル、１０…円盤状治具、１１…基盤、１２…アンカーコート層、１３…フォトレジスト層、１４…レーザビーム、１５…記録レンズ、１６…回転軸、１７…回転駆動部材、１８…フォトレジスト突起、１９…構造物、２０…円盤状治具、２１…円環部、２１ａ…突起部、２３…ガラス盤、２４…マグネット盤。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a jig for holding blanks used in a manufacturing process of a stamper for molding an optical disc, and in particular, molds an optical disc by transferring innumerable fine projections formed on the surface thereof as pits of the optical disc. The present invention relates to a blank holding jig for an optical disc molding stamper.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a process (or method) of manufacturing a stamper for molding this type of optical disc (hereinafter, simply referred to as “stamper”) is called mastering. In this method, a technique generally called photolithography is used, and is started by forming an uneven pattern of a photoresist corresponding to a signal to be recorded on a glass substrate. A positive-type photoresist layer formed on the glass substrate is irradiated with a laser beam (or a laser beam, the same applies hereinafter) whose intensity is modulated in accordance with the signal to be recorded, and a plurality of exposure portions are spirally formed. Are formed, and by developing the positive photoresist layer on which the respective exposed portions are formed, a large number of depressions (pits) of the photoresist are formed in a track shape. Thereafter, a conductive film is formed on the surface, and a thick nickel film is formed thereon by electroforming. The thickness of the thick film is about 0.3 mm, which is peeled off from the glass substrate, and the peeled nickel disk is used as a stamper. A large number of projections (bumps) on which the pits of the photoresist are transferred are spirally formed on the nickel disk. By performing injection molding using this stamper, an optical disk having a pit row containing information can be molded.
[0003]
Mastering as described above is generally called glass mastering. In such glass mastering, it involves ten or more steps, and it takes a lot of time and cost to manufacture the stamper. There are also many defects due to adhesion of dust and human error, and the yield is reduced.
[0004]
Against this background, attempts have been made to produce a stamper with fewer steps without requiring many steps as in the glass mastering described above. As an example of such an attempt, the process will be described with reference to a schematic explanatory diagram shown in FIG. In the steps shown below, instead of manufacturing a stamper by electroforming as in the case of the above-mentioned glass mastering, the base on which a large number of protrusions are formed is directly used as a stamper. is there.
[0005]
Further, as such a construction method, for example, there is a method described in a patent application of Japanese Patent Application No. 2001-324707.
[0006]
FIG. 4A shows a state in which a crosslinkable substance is applied on a disk-shaped base 11 formed of a metal such as nickel to form an anchor coat layer 12. Examples of the crosslinkable substance include an organic polymer and an inorganic material such as silicon oxide. The base 11 has the same thickness as a stamper made by electroforming in the above-mentioned glass mastering, and its thickness is about 0.3 mm.
[0007]
Next, as shown in FIG. 4B, the base 11 and the anchor coat layer 12 are baked. This baking treatment is performed at a relatively low temperature in the range of 80 ° C. to 90 ° C. as a prebake treatment for evaporating the solvent after the formation of the anchor coat layer 12 by applying the crosslinkable substance.
[0008]
Subsequently, as shown in FIG. 4 (C), the entire substrate 11 is irradiated with ultraviolet rays, and thereafter, the polymer chains of the crosslinkable substance forming the anchor coat layer 12 through the baking treatment shown in FIG. 4 (D). Are crosslinked. Note that the baking treatment after the irradiation of the ultraviolet light shown in FIG. 4D is what is called post-exposure baking. In this baking treatment, the acid generated by the irradiation of the ultraviolet rays serves as a catalyst to cause a first crosslinking reaction on the crosslinking substance.
[0009]
Next, as shown in FIG. 4E, a photoresist is applied on the anchor coat layer 12 to form a photoresist layer 13. Thereafter, a pre-bake process is performed to evaporate the solvent and stabilize the photoresist layer 13. Note that a negative photoresist is used as the photoresist.
[0010]
Next, as shown in FIG. 4F, a plurality of exposed portions are formed by irradiating the photoresist layer 13 with a laser beam 14 modulated with the signal to be recorded. The apparatus used here is called a laser beam recorder, and a laser beam irradiator (not shown) capable of irradiating the laser beam 14 modulated with the signal to be recorded, and a laser beam irradiator of about 0.3 μm. A recording lens 15 for focusing on a fine spot, and a rotation driving member 17 for holding the substrate 11 and rotating the substrate 11 about a rotation shaft 16 positioned at the center thereof are provided. Since the laser beam irradiation device and the recording lens 15 are movable along the radial direction of the substrate 11 to be rotated, the substrate 11 is rotated, and the laser beam irradiation device and the recording lens 15 are moved in the radial direction. A plurality of latent images are spirally recorded on the photoresist layer 13 by irradiating the laser layer 14 onto the photoresist layer 13 while moving along the path. In addition, each of the latent image portions becomes the above-mentioned exposure portion.
[0011]
Thereafter, a baking process is performed as shown in FIG. Using the acid generated in each of the exposed portions of the photoresist layer 13 by the irradiation of the laser beam 14 as a catalyst, a crosslinking reaction occurs in each of the exposed portions of the photoresist layer 13 by this baking treatment. The above-mentioned photoresist is a type of photoresist generally called a chemically amplified photoresist. Further, depending on the type of the photoresist, the baking process may not be necessary.
[0012]
Thereafter, as shown in FIG. 4H, the photoresist layer 13 is subjected to a development process, and the photoresist layer 13 is exposed to portions other than the crosslinked portions, that is, to portions other than the respective exposed portions (that is, unexposed portions). ) Is melted away. As a result, only the respective exposed portions remain as the photoresist protrusions 18. In this state, each of the photoresist projections 18 and the anchor coat layer 12 are not yet firmly bonded.
[0013]
Next, FIG. 4 (I) is a step of further promoting the crosslinking between the above-mentioned crosslinkable substance of the anchor coat layer 12 and the photoresist of each photoresist projection 18. As described above, the crosslinkable substance of the anchor coat layer 12 is not completely crosslinked. Also, the photoresist of each of the photoresist projections 18 formed by the irradiation of the laser beam 14 has only partially crosslinked. In this step, the cross-linking of the two is further advanced as a second cross-linking reaction, whereby the cross-linking between the polymer of each of the photoresist projections 18 and the cross-linkable substance of the anchor coat layer 12 occurs. Strengthen the bond. In addition, the crosslinkable substance and each of the photoresist projections 18 are further strengthened by the crosslinkage, so that the crosslinkable substance and the photoresist projections 18 can be given strength enough to withstand heat and thermal stress during optical disc molding.
[0014]
As a specific method of accelerating the cross-linking reaction (the second cross-linking reaction), the whole substrate 11 after the development (that is, the whole including the respective photoresist protrusions 18 and the anchor coat layer 12) is exposed to plasma. Or a method of irradiating far ultraviolet rays and then heating at a high temperature.
[0015]
FIG. 4 (J) shows a substrate after crosslinking, and each of the photoresist projections 18 and the anchor coat layer 12 is an integrated structure 19. The inner and outer diameters of the base 11 on which the integrated structure 19 is formed on the front surface are machined so as to match the mold of the optical disk molding machine, and the back surface is cut off as necessary. ) Is completed. Note that these processes may be performed from the beginning.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
However, the substrate 11 handled in the direct mastering is a thin metal plate having a thickness of about 0.3 mm, whereas the glass substrate handled in the conventional glass mastering has a thickness of about 6 mm. Therefore, due to the difference in thickness of each of the above, in a conventional stamper manufacturing apparatus that performs (or owns) most of the stamper manufacturers performing a glass mastering, an innovative method of manufacturing a stamper is used. There is a problem that the above-mentioned direct mastering cannot be performed, and a new dedicated manufacturing apparatus is required to perform the direct mastering.
[0017]
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, and in a conventional apparatus for manufacturing an optical disk molding stamper by glass mastering, a blank holding jig capable of manufacturing an optical disk molding stamper by direct mastering. An object of the present invention is to provide a blank holding jig for a stamper for molding an optical disk.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
[0019]
According to a first aspect of the present invention, there is provided a jig for holding blanks of an optical disk molding stamper in which a photoresist layer is formed on a disk-shaped metal base,
The holding position in the direction along the surface of the blanks, a plurality of position regulating members for positioning and regulating at the outer periphery of the blanks, and formed in a concave shape between the respective adjacent position regulating members, the blanks of the blanks An annular member having the same thickness and outer diameter as a glass substrate used in glass mastering, which is a manufacturing method of an optical disc molding stamper, comprising a plurality of cutout portions that expose the outer peripheral portion so as to be grippable.
Provided inside the annular member, along the direction orthogonal to the surface of the blanks, the surface of the blanks and the surface of the position regulating member are positioned so as to be substantially at the same position, and the blanks can be released. A holding jig for blanks of a stamper for molding an optical disk, characterized by comprising a holding member for holding the blank.
[0020]
According to a second aspect of the present invention, there is provided the blank holding jig of the stamper for optical disk molding according to the first aspect, wherein the holding member includes a permanent magnet capable of holding the blanks with a magnetic force.
[0021]
According to the third aspect of the present invention, the holding member is disposed so as to cover the holding surface of the blanks in the permanent magnet, and the mirror-finished surface is provided with the holding-side surface of the blanks. The blank holding jig for a stamper for molding an optical disc according to the second aspect, further comprising a spacer disk formed of a non-magnetic material, wherein the spacer can be held by the permanent magnet with the spacer disk interposed therebetween. I do.
[0022]
According to a fourth aspect of the present invention, each of the cutout portions of the annular member is formed along the outer peripheral portion of the blank at equal intervals and formed in any one of the first to third aspects. According to another aspect of the present invention, there is provided a blank holding jig for an optical disk molding stamper.
[0023]
According to the fifth aspect of the present invention, in the annular member, the formed width and the formed depth on the outer peripheral side of each of the cutouts are the same as the formed width and the formed depth on the inner peripheral side or the same on the inner peripheral side. The holding jig for blanks of the stamper for molding an optical disk according to any one of the first to fourth aspects, wherein the jig is formed to be larger than the forming width and the forming depth.
[0024]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the blank holding jig of the stamper for optical disk molding according to any one of the first to fifth aspects, wherein the annular member is formed of ceramics.
[0025]
Here, the meaning of the terms used in the present specification will be described.
[0026]
The term “blanks” is an intermediate product in a manufacturing process of a stamper for molding an optical disk, in which a photoresist is applied on a disk-shaped base to form a photoresist layer, and then a baking process (pre-baking process) ) Etc. means that the above-mentioned photoresist layer is stabilized. Further, the present invention also includes any of those in which the photoresist layer is formed directly on the substrate or those indirectly formed through another layer.
[0027]
The term "optical disk" refers to a storage medium that uses laser light (laser beam) for reading and writing data. For example, CDs and DVDs are typical optical disks.
[0028]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0029]
FIG. 1 is a schematic perspective view of a disk-shaped jig 10 as an example of a holding jig for blanks of an optical disk molding stamper according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view thereof. Show.
[0030]
As shown in FIG. 1, a disk-shaped jig 10 is fixed to an annular portion 1, which is an example of an annular member having a substantially ring shape, and a lower portion of an inner peripheral portion of the annular portion 1. And a magnet disk 4 which is an example of a holding member capable of holding blanks. Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, an inner bottom 1a is formed at a lower portion of an inner peripheral portion of the annular portion 1, and a magnet disk 4 is provided on an upper surface of the inner bottom 1a. . In addition, instead of the case where the inner bottom portion 1a is formed in the annular portion 1 as described above, even in a case where the inner bottom portion 1a is not formed and a complete ring shape is formed. Good.
[0031]
As shown in FIG. 1, the annular portion 1 is formed such that its outer diameter and thickness are the same as those of a glass substrate used in conventional glass mastering. For example, the annular portion 1 has an outer diameter of 200 mm, an inner diameter of 160 mm, and a thickness of 6 mm. Metal or ceramic is used as a material for forming the annular portion 1. In particular, in the case where an alumina-based ceramic is used as the forming material, it is possible to form the rigid annular portion 1 having a weight close to that of glass and having little thermal deformation.
[0032]
Further, the magnet disk 4 has a disk-like shape, and the lower surface thereof is adhered to the upper surface of the inner bottom portion 1 a of the annular portion 1 and attached to the inside of the annular portion 1. The magnet disk 4 is formed of a permanent magnet, and is formed by, for example, processing a ferrite or rubber magnet or the like into a disk shape. The magnet disk 4 is not limited to the case where the whole is made of the above-mentioned permanent magnet, but is formed by including the above-mentioned permanent magnet to such an extent that the magnet disk 4 can perform a magnetic function. May be the case.
[0033]
Further, as shown in FIG. 1, a glass disk 3 which is an example of a spacer disk formed of a non-magnetic material is adhered to the upper surface of the magnet disk 4 inside the annular portion 1. The entire upper surface (that is, the holding surface of the blanks 2 on the magnet disk 4) is covered with the glass disk 3. In addition, as a material of the nonmagnetic material, for example, glass, ceramics, aluminum, or the like is used, but it is preferable to use glass because of the easiness of polishing described later. As the glass disc 3, a relatively thin one having a thickness of about 1 mm is used. Note that the upper surface of the glass disk 3 is polished to a mirror surface (that is, mirror-finished), and has a smooth surface without fine irregularities. As the mirror surface state, for example, the surface roughness Ra (center line average roughness) of the glass disk 3 is preferably about 10 nm.
[0034]
As shown in FIG. 1, in the disc-shaped jig 10, a disc-shaped base 11 made of the metal described in FIG. Then, a blank layer 2 which is an intermediate product in a stamper manufacturing process in which a photoresist layer 13 is applied and formed via an anchor coat layer 12 and then subjected to a pre-baking process is disposed. In the present embodiment, in the blanks 2, the photoresist layer 13 is formed by coating on the base 11 via the anchor coat layer 12, but the blanks 2 is not limited to such a structure. Alternatively, a substrate in which the photoresist layer 13 is directly formed on the substrate 11 may be used as blanks. In the manufacturing process of the stamper for molding an optical disk, such blanks 2 are collectively produced and stored in advance, and thereafter, the blanks 2 are stored in the stored blanks 2 after the formation of a protrusion or the like. A step can also be applied. Further, the inner diameter of the annular portion 1 is formed so as to substantially match the outer diameter of the blanks 2, and the center of the annular portion 1 (to be a rotation center to be described later) is determined by the disk-shaped jig 10. The annular portion 1 is formed so as to coincide with the center of the held blank 2 (which will be a rotation center described later). In consideration of the easiness of attachment and detachment (that is, holding and releasing) of the blanks 2 to and from the disc-shaped jig 10, there is a slight gap between the inner peripheral portion of the annular portion 1 and the outer peripheral portion of the blank 2. The annular portion 1 is preferably formed so as to provide a gap, for example, a gap of about 0.2 to 0.4 mm, and the inner diameter tolerance of the annular portion 1 is +0.2 mm / + 0. It is preferably 1 mm. The concentricity between the center of the annular portion 1 and the center of the blanks 2 is preferably, for example, 0.2 mm or less.
[0035]
As shown in FIG. 1, the blanks 2 are magnetically attracted and held on the magnet board 4 via the glass board 3 with the surface on which the photoresist layer 13 is formed as the upper surface. On the other hand, the surface of the glass disk 3 in a state where the back surface of the blanks 2 is in contact with the glass disk 3 (that is, the surface of the glass disk 3 on the holding side of the blanks 2) is mirror-polished as described above. There is no scratch on the back of 2.
[0036]
Further, in the disk-shaped jig 10, the blanks 2 magnetically held by the magnet disk 4 via the glass disk 3 inside the annular portion 1, the outer peripheral portion of which is the inner peripheral portion of the annular portion 1. , And the holding position in the direction along the surface is regulated. Further, the blanks 2 are arranged such that, when the back surface thereof is in contact with the upper surface of the glass disk 3 bonded to the magnet disk 4, the upper surface is located at substantially the same height as the upper surface of the annular portion 1. The holding position in the height direction of the blanks 2 is regulated by the board 3. The upper surface, the lower surface, the inner bottom portion 1a of the annular portion 1 and the upper surface of the glass disk 3 are formed so as to be substantially parallel to each other, and the surface of the held blanks 2 is also in parallel with the respective surfaces. They are almost parallel. The flatness of the disc-shaped jig 10 including the annular portion 1 is preferably set to about 20 μm or less.
[0037]
Further, as shown in FIG. 1, a plurality of notches 5 are formed in the annular portion 1. For example, in the disk-shaped jig 10, the notches 5 are arranged at equal intervals on the outer peripheral portion thereof and face each other. Two notched portions 5 are formed. Further, the blanks 2 held by the disc-shaped jig 10 are formed at such a depth that the outer peripheral portions thereof are exposed at the positions where the respective notches 5 are formed. Have been. In the disc-shaped jig 10 of the present embodiment, the outer peripheral portions of the glass disk 3 and the magnet disk 4 are also exposed together with the outer peripheral portions of the blanks 2 at the positions where the respective notches 5 are formed. Each of the notches 5 is formed with such a formation depth. Further, the width of each of the cutouts 5 is set to such a size that the exposed outer peripheral portion of the blanks 2 can be gripped by a finger. Since each of the cutouts 5 has such a width, for example, the blanks 2 can be formed using a robot hand or the like used in a conventional stamper production apparatus for performing glass mastering. The exposed portion of the outer peripheral portion can be gripped. In the present embodiment, the plurality of convex portions formed so as to be sandwiched between the plurality of notches 5 of the annular portion 1 regulate the holding position in the direction along the surface of the blank 2. This is an example of a plurality of position regulating members that perform the following.
[0038]
As shown in FIG. 1, each of the notches 5 is formed such that the formed width on the inner peripheral side of the annular portion 1 is the same as the formed width on the outer peripheral side. Similarly, it is formed such that the formation depth on the inner peripheral side has the same dimension as the formation depth on the outer peripheral side. However, the relationship between the dimensions of the formed width and the formed depth on the inner peripheral side and the outer peripheral side of each of the cutouts 5 is not limited only to the case described above. The above-described formation width and formation depth may be larger than the respective formation width and formation depth on the inner peripheral side. By forming the respective notches 5 in this manner, it is possible to improve the dischargeability of the processing liquid and the like supplied to the blanks 2 to the outside of the annular portion 1 during development, which will be described later. it can.
[0039]
Next, in a state where the blanks 2 are held in such a disk-shaped jig 10, a stamper manufacturing method by direct mastering shown in FIG. The case where the stamper is manufactured using the stamper will be described with reference to FIG. That is, in place of the glass substrate having the photoresist layer formed on the surface thereof used in the conventional stamper manufacturing apparatus, the blanks 2 held by the disk-shaped jig 10 are used, and the direct mastering is further performed. The case will be described. The blanks 2 are subjected to respective steps after the step of forming an exposed portion by irradiation with the laser beam 14 shown in FIG. 4 (the step shown in FIG. 4F).
[0040]
First, in the step of forming an exposed portion by irradiating the laser beam 14 shown in FIG. 4F, it is necessary to irradiate the laser beam 14 while rotating the blank 2 at a high speed around the center thereof. However, since the blanks 2 are held by the disc-shaped jig 10 in a state where the center of the annular portion 1 and the center of the blanks 2 are aligned, the disc-shaped jig 10 is held while the blanks 2 are held. By rotating the blank 2 at high speed around the center (that is, the center of the annular portion 1) as a rotation center, the blanks 2 can be rotated at high speed around the rotation center integrally with the disc-shaped jig 10. it can.
[0041]
In addition, the holding position of the held blanks 2 in the direction along the surface thereof is regulated by the annular portion 1 as described above, and the blanks 2 are magnetically held by the magnet disk 4. Therefore, even if the rotation is performed at such a high speed, the holding position of the disk-shaped jig 10 does not shift during the rotation, and the disk-shaped jig 10 does not jump out of the disk-shaped jig 10. Thus, while rotating the disc-shaped jig 10 at a high speed while holding the blanks 2, the laser beam 14 focused by the recording lens 15 is applied to the surface of the blanks 2 (that is, the photoresist layer 13). By irradiation, a plurality of exposed portions can be formed.
[0042]
In the disk-shaped jig 10, the blanks 2 are held in a state in which the height position in the thickness direction is determined by the glass disk 3. For this reason, the height positions of the upper surface of the blanks 2 and the upper surface of the disk-shaped jig 10 (that is, the upper surface of the annular portion 1) are substantially the same. For example, the upper surface of the annular portion 1 is positioned and held at the same height position as the upper surface of the blanks 2 or at a height of 0.3 mm or less even if it is higher than the upper surface of the blanks 2. Therefore, at the time of irradiation with the laser beam 14, the difference between the height position of the recording surface and the case of using the glass substrate in the conventional glass mastering is at most 0.3 mm. This is the range in which the focal position of the lens 15 can be adjusted. Therefore, the focus position is adjusted by the recording lens 15, and the laser beam 14 can be reliably irradiated to the upper surface of the blank 2 (that is, the photoresist layer 13).
[0043]
Furthermore, since the notch portions 5 are formed at equal intervals in the annular portion 1, the disc-shaped jig 10 can be rotated in a well-balanced and stable state during the high-speed rotation. .
[0044]
Next, in the baking process shown in FIG. 4 (G), the annular portion 1, the glass disk 3 and the magnet disk 4 are also heated together with the blanks 2, but the annular portion 1 is made of metal or ceramic. This can be dealt with by using a permanent magnet having heat resistance as the magnet disk 4 without any problem of heat resistance. For example, when a ferrite magnet is used as the permanent magnet, it can withstand a use environment of about 500 ° C. As described above, the entire disc-shaped jig 10 is heated to perform the baking process on the blanks 2, thereby forming the photoresist layer 13 of the blanks 2, and performing a crosslinking reaction using an acid as a catalyst in each exposed portion. Can be awakened.
[0045]
Next, the developing step shown in FIG. 4H will be described with reference to the schematic explanatory view shown in FIG. As shown in FIG. 2, the disc-shaped jig 10 holding the blanks 2 by suction is held and fixed on the upper surface of a disc-shaped rotary table 8 provided in the stamper manufacturing apparatus (for example, by a vacuum suction method or the like). ) Has been. The disc-shaped jig 10 is positioned and held on the turntable 8 such that the rotation center of the disc-shaped jig 10 coincides with the rotation axis 7 of the turntable 8. In such a state, the rotating table 8 is rotated about the rotating shaft 7 to rotate the blanks 2 around the rotating center, and the processing liquid such as a developing solution or pure water is disposed above the rotating table 8. The blanks 2 can be subjected to a development process by supplying them onto the blanks 2 from the nozzles 9 that have been used.
[0046]
As shown in FIG. 2, in this case, the surface of the blank 2 is positioned at substantially the same height as the surface of the disc-shaped jig 10 (that is, the annular portion 1). And does not remain on the surface of the blank 2. In addition, the above-mentioned formation width and the above-mentioned formation depth of each notch portion 5 formed in the annular portion 1 have the same size on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the annular portion 1 or from the above-mentioned inner peripheral side. The processing liquid is also formed so as to be larger on the outer peripheral side, so that the processing liquid does not accumulate in the respective notches 5 and is reliably discharged to the outside with good dischargeability. As a result, the blanks 2 are subjected to the above-described development processing, and the unexposed portions are melted and flown in the photoresist layer 13, leaving only the respective exposed portions, thereby forming a plurality of photoresist projections 18. Remains.
[0047]
Thereafter, a step for promoting crosslinking shown in FIG. 4I is performed to integrate the respective photoresist projections 18 and the anchor coat layer 12. Thereafter, the blanks 2 are taken out from the disc-shaped jig 10 by gripping the exposed outer peripheral portion of the blanks 2 in the respective notched portions 5 of the disc-shaped jig 10, and the inner and outer diameters are processed. Complete.
[0048]
In the present embodiment, as an example, a blank 2 having an outer diameter of 160 mm is used, and the outer diameter is finally processed to create a stamper having an outer diameter of 138 mm. As described above, each of the blank 2 and the stamper is used. The difference between the outer diameters is that the photoresist layer near the outer periphery of the blanks 2 is likely to be in an uneven state when a photoresist layer is formed on the surface of the blanks 2 or the like. Is considered.
[0049]
In addition, this embodiment is not limited only to the disc-shaped jig 10 as described above. For example, FIG. 3 shows a schematic perspective view of a disk-shaped jig 20 as an example of a blank holding jig according to another example of the present embodiment.
[0050]
As shown in FIG. 3, the disc-shaped jig 20 is different from the disc-shaped jig 10 only in the shape of an annular portion 21, and the other structure is the same as that of the disc-shaped jig 10. The following mainly describes these different parts.
[0051]
In FIG. 3, the disk-shaped jig 20 includes a magnet disk 24 fixed to the inner bottom of the annular portion 21, and a glass disk 23 bonded to the upper surface of the magnet disk 24. , The blanks 2 are arranged, and the blanks 2 are magnetically held by a magnet disk 24 via a glass disk 23.
[0052]
A plurality of projections 21a are formed on the annular portion 21 of the disc-shaped jig 20, and are formed, for example, at four locations on the annular portion 1 at equal intervals. The height of each projection 21a is the same as the upper surface of the blank 2 held in the above-described state. In the above-mentioned holding state, the outer peripheral portion of the blanks 2 is in contact with the inner side surface of each of the protrusions 21a, whereby the holding position in the direction along the surface of the blanks 2 is regulated. I have. That is, the annular portion 21 of the disk-shaped jig 20 is considered to have the above-described width of each cutout 5 formed in the annular portion 1 of the disk-shaped jig 10 increased in the circumferential direction. Can be. However, in FIG. 3, four notches are formed. In addition, the relationship between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the annular portion 21 regarding the dimensions of the formation width and the formation depth of the notch formed between the respective protrusions 21a of the annular portion 21 is as follows. And the disk jig 10 are the same.
[0053]
Therefore, similarly to the disc-shaped jig 10, the blanks 2 can be reliably positioned and held in the disc-shaped jig 20, and the processing liquid supplied to the blanks 2 at the time of development or the like can be excellently treated. It can be discharged to the outside of the disc-shaped jig 20 due to the discharge property.
[0054]
(Effects of Embodiment)
According to the above embodiment, a stamper is directly manufactured by direct mastering using the blanks 2 in which the photoresist layer 13 is formed on the disk-shaped metal base 11 via the anchor coat layer 12. Even in this case, the stamper can be manufactured using the stamper manufacturing apparatus used in the conventional glass mastering without using a new stamper manufacturing apparatus dedicated for that purpose. .
[0055]
That is, the glass base handled in the glass mastering stamper manufacturing apparatus, the blanks 2 having different formation thickness dimensions and outer diameter dimensions have the same thickness dimension and outer diameter dimensions as the glass substrate, and Using a disk-shaped jig 10 having an annular portion 1 in which the inner diameter of the ring-shaped inner peripheral portion is formed to be the same as the outer diameter of the blanks 2, fitting the inner peripheral portion of the disk-shaped jig 10. By holding the blanks 2 so as to match, the shape and dimensions of the blanks 2 can be made pseudo the same shape and size as the glass base, and in the glass mastering stamper manufacturing apparatus, the shape and the size are pseudo the same as the glass base. It is possible to handle the blanks 2 having the shape and dimensions.
[0056]
Therefore, the direct mastering, which is an innovative method of manufacturing a stamper, can be performed by the conventional glass mastering stamper manufacturing apparatus used or owned by many stamper manufacturers. In addition, this makes it possible to reduce the manufacturing cost of the stamper to be manufactured.
[0057]
In the disk-shaped jig 10, since the magnet disk 4 is attached to the inner bottom of the annular portion 1, the blanks 2 arranged inside the annular portion 1 can be magnetically attracted and held. As a result, the blanks 2 can be securely held by the disc-shaped jig 10.
[0058]
The positioning of the blanks 2 in the direction along the surface thereof is regulated by the annular portion 1, and the positioning of the blanks 2 in the thickness direction is regulated by the magnet disc 4, so that the blanks 2 are held by the disc-shaped jig 10. The holding position of the blanks 2 can always be a fixed position, and the stamper can be manufactured with stable manufacturing accuracy.
[0059]
Further, the magnetic holding of the blanks 2 by the magnet disk 4 is performed through the glass disk 3 whose surface is polished and mirror-finished, so that the magnetic holding prevents the surface of the blanks 2 from being damaged. And does not affect the quality of the stamper produced.
[0060]
Further, two notches 5 are formed in the annular portion 1 of the disc-shaped jig 10 so as to face each other, and the blanks held by the disc-shaped jig 10 from the respective notches 5 are formed. The blanks 2 can be easily attached to and detached from the disc-shaped jig 10 because the outer peripheral portion of the blank 2 is exposed.
[0061]
In addition, the formation width and the formation depth of each of the notch portions 5 are the same in the inner peripheral side and the outer peripheral side of the annular portion 1 or larger on the outer peripheral side than on the inner peripheral side. Thus, even when the processing liquid is supplied as a developing process to the blanks 2 held by the disk-shaped jig 10, the supplied processing liquid is cut into respective cuts. Without accumulating in the notch 5, it can be reliably discharged to the outside with good dischargeability, and the development processing can be performed reliably.
[0062]
The blanks 2 are held by the disc-shaped jig 10 in a state where the surface of the blanks 2 is positioned so that the surface of the blanks 2 is substantially at the same height position as the surface of the annular portion 1 in the thickness direction. The processing liquid is not scattered by the centrifugal force caused by the rotation of the disc-shaped jig 10 during the development, and does not remain on the surface of the blanks 2, so that the development processing can be performed reliably.
[0063]
The blank jig 10 having a thickness of about 0.3 mm is not directly held by a conventional stamper manufacturing apparatus, but a disk jig 10 having a thickness of about 6 mm, which is thicker than the blank 2. Since the blanks 2 are held indirectly through the above, it is possible to prevent the blanks 2 from being affected by a force such as an adsorption force received during the holding.
[0064]
Note that by appropriately combining any of the various embodiments described above, the effects of the respective embodiments can be achieved.
[0065]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, direct mastering is performed using blanks of an optical disk molding stamper (hereinafter, simply referred to as “stamper”) in which a photoresist layer is formed on a disk-shaped metal base. Thus, even when the stamper is directly manufactured, the stamper manufacturing apparatus used in the conventional glass mastering can be used without using a new stamper manufacturing apparatus dedicated to the stamper. Can be manufactured.
[0066]
That is, the glass base handled in the glass mastering stamper manufacturing apparatus and the blanks having different thicknesses and outer diameters, the holding position in the direction along the surface of the blanks is positioned at the outer periphery of the blanks. Using a blank holding jig having a plurality of position regulating members for regulating and having an annular member having the same thickness dimension and outer diameter dimension as the glass substrate, the respective position regulation of the annular member is performed. By holding the blanks so that the outer periphery thereof is positioned by the member, the shape and dimensions of the blanks can be made to be the same shape and size as the glass substrate in a pseudo manner, and in the glass mastering stamper manufacturing apparatus, Removal of the blanks that have the same shape and dimensions as the glass substrate It is possible to possible stomach.
[0067]
Therefore, the direct mastering, which is an innovative method as a stamper manufacturing method, can be performed by the conventional glass mastering stamper manufacturing apparatus used or owned by many stamper makers. . In addition, this makes it possible to reduce the manufacturing cost of the stamper to be manufactured.
[0068]
Further, in the blank holding jig, provided on the inside of the annular member, along the direction orthogonal to the surface of the blanks, the surface of the blanks and the surface of each of the position regulating members are substantially at the same position. In addition to the positioning, the holding member for holding the blank releasably is further provided, so that the holding position of the blanks held by the blank holding jig can always be a fixed position. In addition to the above, the blanks can be securely held. Therefore, the stamper can be reliably manufactured from the blanks with stable manufacturing accuracy.
[0069]
In addition, since the surface of the blanks can be set to be substantially the same as the surface of each of the position regulating members, the surface of the blanks can be set to the same position as the surface of the conventional glass substrate. Even in the case where laser beam irradiation or the like is performed in a glass mastering stamper manufacturing apparatus, the focus position can be reliably adjusted.
[0070]
Further, in the annular member, by being provided with a plurality of notches formed in a concave shape between the respective position regulating members adjacent to each other and exposing the outer peripheral portion of the blank so as to be grippable, The holding and release of the blanks to and from the blank holding jig can be facilitated, and the handling of the blank holding jig in the conventional glass mastering stamper manufacturing apparatus can be improved. .
[0071]
According to the second aspect of the present invention, since the holding member includes the permanent magnet, the blanks can be held by a magnetic force, so that the holding can be performed reliably and the holding can be performed. Can be easily performed, and the handling of the blank holding jig in the conventional glass mastering stamper manufacturing apparatus can be improved.
[0072]
According to the third aspect of the present invention, the holding member is provided so as to cover the holding surface of the blank in the permanent magnet, and the holding surface of the blank is mirror-finished on a non-magnetic surface. It further includes a spacer disk formed of a body, and the blanks can be held by the permanent magnet with the spacer disk interposed therebetween, so that direct contact between the blanks and the permanent magnet is prevented. This can prevent the surface of the blanks from being damaged when the blanks are held. Therefore, holding the blanks by the blank holding jig does not affect the quality of the blanks.
[0073]
According to the fourth aspect of the present invention, each of the notches formed in the annular member is formed at regular intervals along the outer peripheral portion of the blanks, so that the blanks are formed. In addition to being able to stably hold the blanks at the outer peripheral portion when the blanks are attached to and detached from the holding jig, the processing liquid supplied during the development processing of the blanks is cut by the respective cutting devices. The discharge can be reliably and uniformly discharged through the notch, and the development processing can be reliably performed.
[0074]
According to the fifth aspect of the present invention, in the annular member, the formed width and the formed depth on the outer peripheral side of each of the cutout portions are the same as the formed width and the formed depth on the inner peripheral side or the inner peripheral side. By being formed larger than the formation width and formation depth of the blanks, even in the case where the processing liquid is supplied as the development processing to the blanks held by the blank holding jig, The supplied processing liquid can be reliably discharged to the outside with good dischargeability without accumulating in the respective cutouts, and the development processing can be performed reliably.
[0075]
According to the sixth aspect of the present invention, since the annular member is formed of ceramic, the annular member has a weight close to that of glass as a material for forming the conventional glass substrate and has a small thermal deformation and a rigidity. Can be formed, can withstand the heating during the baking process, and have the same handling properties as the above-mentioned conventional glass substrate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view of a disc-shaped jig according to an embodiment of the present invention, showing a state where blanks are held.
FIG. 2 is a schematic explanatory view showing a state in which a developing process is performed on blanks held by the disc-shaped jig.
FIG. 3 is a schematic perspective view of a disc-shaped jig according to a modified example of the embodiment, showing a state where blanks are held.
4A and 4B are schematic explanatory views showing a method of manufacturing a stamper by direct mastering, in which FIG. 4A shows a state in which an anchor coat layer is formed on the surface of a substrate, and FIG. (C) is a state in which ultraviolet irradiation is being performed, (D) is a state in which post-exposure baking is being performed, and (E) is a state in which a photoresist layer is further applied (i.e., , Blanks), (F) shows a state in which an exposure portion is formed by irradiating a recording laser beam, and (G) shows a baking process after the formation of the exposure portion. (H) is a state in which development processing is being performed, (I) is a state in which crosslinking is promoted, and (J) is a state in which the stamper is completed.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Annular part, 1a ... Inner bottom part, 2 ... Blanks, 3 ... Glass disk, 4 ... Magnet disk, 5 ... Notch part, 7 ... Rotating shaft, 8 ... Rotary table, 9 ... Nozzle, 10 ... Disk-shaped healing Tool, 11: base, 12: anchor coat layer, 13: photoresist layer, 14: laser beam, 15: recording lens, 16: rotation axis, 17: rotation driving member, 18: photoresist protrusion, 19: structure, Reference numeral 20 denotes a disk-shaped jig, 21 denotes an annular portion, 21a denotes a protrusion, 23 denotes a glass disk, and 24 denotes a magnet disk.
