JP2004146146A - 電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子ビーム装置のスループットに影響を与えずに、電子ビ試料に照射する電子ビーム電流を直接検出して高精度のビーム電流検出を行うことができる電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム源203から生じた電子ビームを検出する電流検出手段211をアパチャ204の後方に設け、電流検出手段211は、移動ステージ206とは独立して移動可能な支持手段212によって支持されており、電流計測時には電流検出手段211がビーム光軸直下に位置し、それ以外のときは退避位置214に位置するよう構成した。
【選択図】 図2
【解決手段】電子ビーム源203から生じた電子ビームを検出する電流検出手段211をアパチャ204の後方に設け、電流検出手段211は、移動ステージ206とは独立して移動可能な支持手段212によって支持されており、電流計測時には電流検出手段211がビーム光軸直下に位置し、それ以外のときは退避位置214に位置するよう構成した。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビーム電流を計測する電流検出器を備えた電子ビーム装置に関し、特に、電子ビーム源による電子ビーム電流値を計測する電流検出器を備えた電子ビーム露光装置、電子ビーム近接露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等に適用される電子ビーム装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子ビーム露光装置、電子ビーム近接露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等の電子ビーム装置(以下、「電子ビーム装置」と記す)では、マスクや試料などのターゲットに照射される電子ビームの電子量を管理する必要があるため、その電流値を計測する必要がある。図1に従来の電子ビームの電流検出器を備えた電子ビーム露光装置を示す。従来の電流検出器は、試料107を保持して移動する移動ステージ108に、ファラデーカップのような電流検出器109を設け、移動ステージ108により電流検出器109をビーム光軸直下に位置して、ビーム電流を検出している。
【0003】
また、電子ビーム露光装置100のビーム源101から照射される電子ビーム102のうち、整形またはブランキングするアパチャ103に照射される電子量を検知する電流検出器104をアパチャ103に設け、アパチャ103の面に照射された電子を検出した電流検出器104が検出信号から、信号処理回路105によって相対的にアパチャ103の開口部を通過するビーム106の電流値を求め、これにより試料に照射されるビーム電流値を計測する方法も考案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−162760号公報(段落番号〔0009〕−段落番号〔0014〕、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記のようなアパチャ103の面に照射された電子量から、相対的に試料に照射される電流値を求める電流検出方法では以下の問題が生じる。すなわち電子ビーム源101から照射される電子ビーム102の開き角はフィラメントの状態、種類、電子ビームのクロスオーバ位置あるいは光源輝度等によって変化し、経時的に変動するため、適時的な管理が困難である。このため、アパチャ103に照射される電子量とアパチャ103の開口部を通過するビームの電子量が一定の相対関係を有せず、開口部を通過するビームの電流値を正確に計測することができないという問題点である。
【0006】
さらに、試料107を保持するチャック110は絶縁体でできているため、電流計測中は電子ビームの照射による電荷チャージを防ぐために、チャック110上にダミー試料などのカバーを載置しておく必要がある。したがって電流計測を行うたびに移動ステージ108を移動してダミー試料を載置、除去する作業が必要になり、これが電子ビーム装置のスループットを低下させる原因となる。また通常は使用しないダミー試料に付着しているホコリ等の異物がチャックに付着する可能性もある。
【0007】
また、移動ステージ108に電流検出器109を設ける方法によれば、試料107に実際に照射されるビーム電流を検出することができるが、この方法によると、電流を計測するたびに電流検出器109を電子ビーム照射位置に移動しなければならなくなり、そのつど移動ステージ108が拘束されてしまう。したがって、電流計測により電子ビーム装置のスループットが低下してしまうという問題がある。
【0008】
上記事情を鑑みて、本発明ではマスクや試料などのターゲットに照射される電子ビーム電流を直接検出することによって、高い精度で電子ビーム電流を計測するとともに、電子ビーム装置のスループットに影響を与えずに電流計測を行うことが可能な電子ビーム装置を実現することを目的とする。
【0009】
また、前記電流検出器により、電子ビームが試料を照射されていないときは常に電子ビームの電流値を監視して警報を発報し、加えて自動的に装置状態の復旧行うことが可能な電子ビーム装置を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明による第1の態様の電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、電子ビーム装置の移動ステージとは独立して移動可能な支持手段によって、ビーム絞り手段の後方に、電流検出器を支持して備えることとした。これにより、電流計測を行う際には電流検出器をビーム絞り手段とターゲットの間に設けて、マスクや試料などのターゲットに照射される電子ビームの電流値を直接計測することが可能となる。
【0011】
さらに、電子ビーム装置等の移動ステージとは独立して電流検出器を移動させることが可能なため、電流検出器を電流検出位置まで移動させて、電流を計測して、退避位置まで移動させている間に、電子ビーム装置が移動ステージを使用して試料を交換することができる。これにより例えば試料交換と電流計測を同時に行い、電子ビーム装置等のスループットの低下を防ぐことができる。
【0012】
電子ビーム露光装置や電子ビーム近接露光装置のように試料の保持に絶縁体の試料チャックを使用する電子ビーム装置では、電流検出器は反射電子や2次電子を生じさせない種類のものが好ましい。このような種類の電流検出器を使用することで、試料チャックの電荷チャージを防止することが可能となり、前記のダミー試料による不都合を回避することができる。このような種類の電流検出器には例えばファラデーカップがある。
【0013】
また、本発明による第2の態様の電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、偏向器によって電子ビームをターゲット領域外に偏向し、偏向されたビーム電流を電流検出器によりビーム絞り手段の後方で検出するように構成した。これにより、電子ビーム装置等がターゲットを照射する際には電子ビームを妨げない位置に電流検出器を設けつつ、電流計測を行う際には電子ビームを偏向して電流検出器に照射せしめ、試料に照射される電子ビームの電流値を直接計測することが可能となる。さらにこの機構によれば、前記本発明による第1の電流検出器に比べ可動部分を少なくすることができ、電流検出器自体に要するメンテナンスの省力化を図ることができる。またこの電流検出器は、電子ビーム装置等の移動ステージの動きを拘束しないので、電流計測中でも電子ビーム装置等が移動ステージを使用できる。これにより例えば試料交換と電流計測を同時に行い、電子ビーム装置等のスループットの低下を防ぐことができる。
【0014】
また、上記目的を達成するため本発明による電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、前記第1および第2の態様の電子ビーム装置等の電流検出器による検出結果に基づいて、所定の警報を発する警報発生手段を備えて構成した。前記のように本発明による電流検出器では電流計測中でも電子ビーム装置等が移動ステージを使用できるので、例えば試料交換のたびに、電流計測結果から電子ビームの状態異常を検知して、電子ビーム装置等の稼働中に発生した異常の検知を速やかに行うことができる。
【0015】
また、上記目的を達成するため本発明による電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、前記警報に基づき自動的に装置状態を復旧する手段を備えて構成した。前記警報手段は電子ビームの状態異常の程度によって警報の種類を変え、自動復旧手段は、警報の種類により復旧方法を自動的に選択する。例えば電流値が異常であるがある一定の許容範囲内の場合は、重要度の低い警報を発報し、この場合には検出値に応じて「レシピ」とよばれる電子ビーム装置等の設定パラメータを変更する。電流値が一定の許容範囲を超えているが、まだ電流値の異常の程度が小さい場合には中程度の警報を発報し、この場合には光軸を調整する、あるいは電子銃制御高圧ユニットの各部電圧、電流値を再調整してエミッション電流を調整する自動シーケンスを起動する。電流値の異常の程度が大きい場合には重要度の高い警報を発報し、この場合は手動による復旧を要請する合図を生じる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、説明のために本発明を電子ビーム近接露光装置に適用した実施例を図を参照して説明する。説明は電子ビーム露光装置についてのみ行うが、本発明による電子ビーム装置は他の電子ビーム装置、例えば電子ビーム露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等にも適用しうる。
【0017】
図2(a)は、本発明の第1実施例である、本発明の電子ビーム装置を適用した電子ビーム近接露光装置の外観を示す図である。ここでは電子ビーム近接露光装置200は、電子鏡筒201、チャンバ202を備え、電子鏡筒201内には電子ビーム源203、ビーム絞り手段であるアパチャ204、偏向器205を、チャンバ202内には移動ステージ206、マスク207、マスクステージ208を備え、移動ステージ206は試料209の保持手段であるチャック210を備えている。さらに電子ビーム近接露光装置200は、電子ビーム源203から見てアパチャ204の後方に電流検出器211を備え、電流検出器211は、支持手段212により移動可能に支持されている。支持手段212は、電気モータまたはエア制御装置を有する駆動手段213により駆動可能に構成されている。
【0018】
図2(b)は、電流検出器211の断面形状を示す。電流検出器211は、電子受入口221を有するアパチャ板222と、その下に設けられ電子受入口221を通過した電子ビームを検出するファラデーカップのような電子検出器223を備えた構造を有する。このような構造にすることにより電子受入口221から入射した電子が電流検出器211から飛び出しにくくなり、反射電子や2次電子を生じにくくなる。
【0019】
ビーム電流を計測するときは、支持手段212を移動して電流検出器211を電子ビームの光軸直下に位置させる。アパチャ204の開口部213を通過する電子を漏れなく検知するために、電流検出器の電子受入口は開口部213より大きく設ける。また、ビーム電流を計測しないときは、支持手段212を移動して、電流検出器211を待避位置214に移動する。このとき電子ビームは、支持手段212に設けられた電子ビーム通過口215を通過して試料209に照射されることになる。但し、電子ビーム通過口215は電子ビームを遮らないように開口径、位置を設計する。
【0020】
図2には、電流検出器211および支持手段211が偏向器205よりも前方に設けられた例を表したが、これらは成形アパチャ304の後方であれば偏向器205の後方に設けてもよく、電子ビーム近接露光装置以外の他の種類の電子ビーム装置に設ける場合は、電子鏡筒201内に限らずチャンバ202内に設けてもよい。
【0021】
図3は、本発明の第2実施例である、本発明の電子ビーム装置を適用した電子ビーム近接露光装置の外観を示す図の外観を示す図である。電子ビーム近接露光装置300は、電子鏡筒301、チャンバ302を備え、電子鏡筒301内には電子ビーム源303、ビーム絞り手段である成形アパチャ304、第1の偏向手段305、第2の偏向手段306、チャンバ302内に移動ステージ307、マスク308、マスクステージ309を備え、移動ステージ307は試料310の保持手段であるチャック311を備えている。さらに電子ビーム近接露光装置300は、電子ビーム源303から見て成形アパチャ304の後方、かつターゲットであるマスク308および試料310の領域内に照射される電子ビームの軌道312の外側に、前記の第1実施例の電流検出器211と同様の構造を持つ電流検出器313を備えている。
【0022】
前記の第2の偏向手段306は、主に電子ビームのブランキングのために使用される。すなわち試料310に電子ビームを照射することを望まない場合には、ブランキング・アパチャ314によって遮られるように、第2の偏向手段306によって電子ビームを軌道315へ偏向する。
【0023】
ビーム電流を計測するときは、第2の偏向手段306によって、成形アパチャ304の開口部317を通過した電子が全て電流検出器313の電子受入口に入るよう電子ビームを偏向する(316)。成形アパチャ304の開口部317を通過する電子を漏れなく検知するために、電流検出器の電子受入口は開口部317より大きく設ける。また、ビーム電流を計測しないときは、第2の偏向手段306による偏向をやめて、電子ビームがターゲットであるマスク308および試料310の領域内に照射されるようにする。このとき図3に示すように、電流検出器313は電子ビーム装置のターゲットの領域内に照射される電子ビームの軌道312の外側に設けられているので、マスク308および試料310への電子ビームの照射を妨げることはない。
【0024】
また図3には、電流検出器313が第1の偏向器305よりも前方に設けられた例を表したが、これらは成形アパチャ304の後方であれば第1の偏向器305の後方に設けてもよく、さらに電子ビーム近接露光装置以外の他の種類の電子ビーム装置に設ける場合は、電子鏡筒301内に限らずチャンバ302内に設けてもよい。電流検出器313を第1の偏向器305の後方に設けた場合は、第1の偏向器305が第2の偏向器306を兼ねることとしてもよい。
【0025】
図4は、本発明の第1および第2実施例の電子ビーム近接露光装置200、300の電子ビームの電流値監視処理のフローチャートである。まず、電子ビームの電流値を計測を行うために、図示しない電子ビームのブランキング手段により試料への露光を停止する(ステップ402)。次に支持手段212を移動して電流検出器211を電子ビームの光軸直下に位置させることにより、または第2の偏向器306により電子ビームを偏向して電流検出器313に導くことにより、電子ビームを電流検出器で受ける(ステップ403)。
【0026】
そして電流検出器により電子ビーム電流値を計測する(ステップ404)。計測方法としては、単純に1回測定結果を計測値とする方法や数回計測した結果を平均して計測値とする方法のほか、以前に計測した一定回数の計測値を積算し、計測のたびに更新しながら積算値を計測値として利用する方法等が考えうる。
【0027】
このようにして得た計測値によって電流値の異常監視を行う(ステップ405)。異常監視方法としては、事前に設けたしきい値から大きく変動があった場合、最近計測した数回分の移動平均値から計測値が大きく変動した場合や、最近計測した数回分の計測値の偏差よりも、計測値が大きく変動した場合に異常とする方法等が考えられる。これらの異常監視方法に基づき、電流値の異常の程度により以下の処理を行う。
【0028】
電流値が正常ならば、継続して露光を行う(ステップ406)。この場合は電子ビーム装置は何ら警報を生じない。
【0029】
電流値が異常であるがある一定の許容範囲内の場合は、異常値に応じて「レシピ」を変更し(ステップ407)、警報を発生させる(ステップ410)。レシピに含まれる設定パラメータとしては、たとえば電子ビームの露光時間などがある。
【0030】
電流値が一定の許容範囲を超えているが、まだ電流値の異常の程度が小さい場合には、電子ビーム装置に備えられた既存の自動光軸調整シーケンス、エミッション電流調整シーケンスに移行し(ステップ408)、警報を発生させる(ステップ410)。
【0031】
電流値が一定の許容範囲を超え、さらに自動調節ができないほど電流値の異常の程度が大きい場合には、電子ビーム装置を停止させ手動による復旧作業を要請する合図を行い(ステップ409)、警報を発生させる(ステップ410)。
【0032】
【発明の効果】
本発明の電子ビーム装置によればマスクまたは試料に照射される電子ビーム電流を直接検出することによって高い精度で電子ビーム電流を計測しうるとともに、電子ビーム装置の移動ステージを拘束しないことにより、電子ビーム装置のスループットの低下を回避することができる。
【0033】
また、前記電流計測がスループットに影響を与えないことにより、電子ビーム装置の試料交換のたびに電子ビームの電流計測を行うことができるため、ビーム電流の定常監視を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子ビーム電流検出器を備えた従来の電子ビーム露光装置の外観図である。
【図2】(a)は、本発明の第1の実施例による電子ビーム近接露光装置の外観図であり、(b)は第1の実施例による電子ビーム近接露光装置で使用する電流検出器の断面形状である。
【図3】本発明の第2の実施例による実施例による電子ビーム近接露光装置の外観図である。
【図4】本発明の第1および第2実施例による電子ビーム近接露光装置の電子ビームの電流値監視処理のフローチャートである。
【符号の説明】
200、300…電子ビーム近接露光装置
203、303…電子ビーム源
204…アパチャ
205…偏向器
206、307…移動ステージ
209、310…試料
210、311…チャック
211、313…電流検出器
212…支持手段
304…成形アパチャ
305…第1の偏向器
306…第2の偏向器
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビーム電流を計測する電流検出器を備えた電子ビーム装置に関し、特に、電子ビーム源による電子ビーム電流値を計測する電流検出器を備えた電子ビーム露光装置、電子ビーム近接露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等に適用される電子ビーム装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子ビーム露光装置、電子ビーム近接露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等の電子ビーム装置(以下、「電子ビーム装置」と記す)では、マスクや試料などのターゲットに照射される電子ビームの電子量を管理する必要があるため、その電流値を計測する必要がある。図1に従来の電子ビームの電流検出器を備えた電子ビーム露光装置を示す。従来の電流検出器は、試料107を保持して移動する移動ステージ108に、ファラデーカップのような電流検出器109を設け、移動ステージ108により電流検出器109をビーム光軸直下に位置して、ビーム電流を検出している。
【0003】
また、電子ビーム露光装置100のビーム源101から照射される電子ビーム102のうち、整形またはブランキングするアパチャ103に照射される電子量を検知する電流検出器104をアパチャ103に設け、アパチャ103の面に照射された電子を検出した電流検出器104が検出信号から、信号処理回路105によって相対的にアパチャ103の開口部を通過するビーム106の電流値を求め、これにより試料に照射されるビーム電流値を計測する方法も考案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−162760号公報(段落番号〔0009〕−段落番号〔0014〕、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記のようなアパチャ103の面に照射された電子量から、相対的に試料に照射される電流値を求める電流検出方法では以下の問題が生じる。すなわち電子ビーム源101から照射される電子ビーム102の開き角はフィラメントの状態、種類、電子ビームのクロスオーバ位置あるいは光源輝度等によって変化し、経時的に変動するため、適時的な管理が困難である。このため、アパチャ103に照射される電子量とアパチャ103の開口部を通過するビームの電子量が一定の相対関係を有せず、開口部を通過するビームの電流値を正確に計測することができないという問題点である。
【0006】
さらに、試料107を保持するチャック110は絶縁体でできているため、電流計測中は電子ビームの照射による電荷チャージを防ぐために、チャック110上にダミー試料などのカバーを載置しておく必要がある。したがって電流計測を行うたびに移動ステージ108を移動してダミー試料を載置、除去する作業が必要になり、これが電子ビーム装置のスループットを低下させる原因となる。また通常は使用しないダミー試料に付着しているホコリ等の異物がチャックに付着する可能性もある。
【0007】
また、移動ステージ108に電流検出器109を設ける方法によれば、試料107に実際に照射されるビーム電流を検出することができるが、この方法によると、電流を計測するたびに電流検出器109を電子ビーム照射位置に移動しなければならなくなり、そのつど移動ステージ108が拘束されてしまう。したがって、電流計測により電子ビーム装置のスループットが低下してしまうという問題がある。
【0008】
上記事情を鑑みて、本発明ではマスクや試料などのターゲットに照射される電子ビーム電流を直接検出することによって、高い精度で電子ビーム電流を計測するとともに、電子ビーム装置のスループットに影響を与えずに電流計測を行うことが可能な電子ビーム装置を実現することを目的とする。
【0009】
また、前記電流検出器により、電子ビームが試料を照射されていないときは常に電子ビームの電流値を監視して警報を発報し、加えて自動的に装置状態の復旧行うことが可能な電子ビーム装置を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明による第1の態様の電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、電子ビーム装置の移動ステージとは独立して移動可能な支持手段によって、ビーム絞り手段の後方に、電流検出器を支持して備えることとした。これにより、電流計測を行う際には電流検出器をビーム絞り手段とターゲットの間に設けて、マスクや試料などのターゲットに照射される電子ビームの電流値を直接計測することが可能となる。
【0011】
さらに、電子ビーム装置等の移動ステージとは独立して電流検出器を移動させることが可能なため、電流検出器を電流検出位置まで移動させて、電流を計測して、退避位置まで移動させている間に、電子ビーム装置が移動ステージを使用して試料を交換することができる。これにより例えば試料交換と電流計測を同時に行い、電子ビーム装置等のスループットの低下を防ぐことができる。
【0012】
電子ビーム露光装置や電子ビーム近接露光装置のように試料の保持に絶縁体の試料チャックを使用する電子ビーム装置では、電流検出器は反射電子や2次電子を生じさせない種類のものが好ましい。このような種類の電流検出器を使用することで、試料チャックの電荷チャージを防止することが可能となり、前記のダミー試料による不都合を回避することができる。このような種類の電流検出器には例えばファラデーカップがある。
【0013】
また、本発明による第2の態様の電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、偏向器によって電子ビームをターゲット領域外に偏向し、偏向されたビーム電流を電流検出器によりビーム絞り手段の後方で検出するように構成した。これにより、電子ビーム装置等がターゲットを照射する際には電子ビームを妨げない位置に電流検出器を設けつつ、電流計測を行う際には電子ビームを偏向して電流検出器に照射せしめ、試料に照射される電子ビームの電流値を直接計測することが可能となる。さらにこの機構によれば、前記本発明による第1の電流検出器に比べ可動部分を少なくすることができ、電流検出器自体に要するメンテナンスの省力化を図ることができる。またこの電流検出器は、電子ビーム装置等の移動ステージの動きを拘束しないので、電流計測中でも電子ビーム装置等が移動ステージを使用できる。これにより例えば試料交換と電流計測を同時に行い、電子ビーム装置等のスループットの低下を防ぐことができる。
【0014】
また、上記目的を達成するため本発明による電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、前記第1および第2の態様の電子ビーム装置等の電流検出器による検出結果に基づいて、所定の警報を発する警報発生手段を備えて構成した。前記のように本発明による電流検出器では電流計測中でも電子ビーム装置等が移動ステージを使用できるので、例えば試料交換のたびに、電流計測結果から電子ビームの状態異常を検知して、電子ビーム装置等の稼働中に発生した異常の検知を速やかに行うことができる。
【0015】
また、上記目的を達成するため本発明による電子ビーム装置および電子ビーム露光装置は、前記警報に基づき自動的に装置状態を復旧する手段を備えて構成した。前記警報手段は電子ビームの状態異常の程度によって警報の種類を変え、自動復旧手段は、警報の種類により復旧方法を自動的に選択する。例えば電流値が異常であるがある一定の許容範囲内の場合は、重要度の低い警報を発報し、この場合には検出値に応じて「レシピ」とよばれる電子ビーム装置等の設定パラメータを変更する。電流値が一定の許容範囲を超えているが、まだ電流値の異常の程度が小さい場合には中程度の警報を発報し、この場合には光軸を調整する、あるいは電子銃制御高圧ユニットの各部電圧、電流値を再調整してエミッション電流を調整する自動シーケンスを起動する。電流値の異常の程度が大きい場合には重要度の高い警報を発報し、この場合は手動による復旧を要請する合図を生じる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、説明のために本発明を電子ビーム近接露光装置に適用した実施例を図を参照して説明する。説明は電子ビーム露光装置についてのみ行うが、本発明による電子ビーム装置は他の電子ビーム装置、例えば電子ビーム露光装置、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または電子線検査装置等にも適用しうる。
【0017】
図2(a)は、本発明の第1実施例である、本発明の電子ビーム装置を適用した電子ビーム近接露光装置の外観を示す図である。ここでは電子ビーム近接露光装置200は、電子鏡筒201、チャンバ202を備え、電子鏡筒201内には電子ビーム源203、ビーム絞り手段であるアパチャ204、偏向器205を、チャンバ202内には移動ステージ206、マスク207、マスクステージ208を備え、移動ステージ206は試料209の保持手段であるチャック210を備えている。さらに電子ビーム近接露光装置200は、電子ビーム源203から見てアパチャ204の後方に電流検出器211を備え、電流検出器211は、支持手段212により移動可能に支持されている。支持手段212は、電気モータまたはエア制御装置を有する駆動手段213により駆動可能に構成されている。
【0018】
図2(b)は、電流検出器211の断面形状を示す。電流検出器211は、電子受入口221を有するアパチャ板222と、その下に設けられ電子受入口221を通過した電子ビームを検出するファラデーカップのような電子検出器223を備えた構造を有する。このような構造にすることにより電子受入口221から入射した電子が電流検出器211から飛び出しにくくなり、反射電子や2次電子を生じにくくなる。
【0019】
ビーム電流を計測するときは、支持手段212を移動して電流検出器211を電子ビームの光軸直下に位置させる。アパチャ204の開口部213を通過する電子を漏れなく検知するために、電流検出器の電子受入口は開口部213より大きく設ける。また、ビーム電流を計測しないときは、支持手段212を移動して、電流検出器211を待避位置214に移動する。このとき電子ビームは、支持手段212に設けられた電子ビーム通過口215を通過して試料209に照射されることになる。但し、電子ビーム通過口215は電子ビームを遮らないように開口径、位置を設計する。
【0020】
図2には、電流検出器211および支持手段211が偏向器205よりも前方に設けられた例を表したが、これらは成形アパチャ304の後方であれば偏向器205の後方に設けてもよく、電子ビーム近接露光装置以外の他の種類の電子ビーム装置に設ける場合は、電子鏡筒201内に限らずチャンバ202内に設けてもよい。
【0021】
図3は、本発明の第2実施例である、本発明の電子ビーム装置を適用した電子ビーム近接露光装置の外観を示す図の外観を示す図である。電子ビーム近接露光装置300は、電子鏡筒301、チャンバ302を備え、電子鏡筒301内には電子ビーム源303、ビーム絞り手段である成形アパチャ304、第1の偏向手段305、第2の偏向手段306、チャンバ302内に移動ステージ307、マスク308、マスクステージ309を備え、移動ステージ307は試料310の保持手段であるチャック311を備えている。さらに電子ビーム近接露光装置300は、電子ビーム源303から見て成形アパチャ304の後方、かつターゲットであるマスク308および試料310の領域内に照射される電子ビームの軌道312の外側に、前記の第1実施例の電流検出器211と同様の構造を持つ電流検出器313を備えている。
【0022】
前記の第2の偏向手段306は、主に電子ビームのブランキングのために使用される。すなわち試料310に電子ビームを照射することを望まない場合には、ブランキング・アパチャ314によって遮られるように、第2の偏向手段306によって電子ビームを軌道315へ偏向する。
【0023】
ビーム電流を計測するときは、第2の偏向手段306によって、成形アパチャ304の開口部317を通過した電子が全て電流検出器313の電子受入口に入るよう電子ビームを偏向する(316)。成形アパチャ304の開口部317を通過する電子を漏れなく検知するために、電流検出器の電子受入口は開口部317より大きく設ける。また、ビーム電流を計測しないときは、第2の偏向手段306による偏向をやめて、電子ビームがターゲットであるマスク308および試料310の領域内に照射されるようにする。このとき図3に示すように、電流検出器313は電子ビーム装置のターゲットの領域内に照射される電子ビームの軌道312の外側に設けられているので、マスク308および試料310への電子ビームの照射を妨げることはない。
【0024】
また図3には、電流検出器313が第1の偏向器305よりも前方に設けられた例を表したが、これらは成形アパチャ304の後方であれば第1の偏向器305の後方に設けてもよく、さらに電子ビーム近接露光装置以外の他の種類の電子ビーム装置に設ける場合は、電子鏡筒301内に限らずチャンバ302内に設けてもよい。電流検出器313を第1の偏向器305の後方に設けた場合は、第1の偏向器305が第2の偏向器306を兼ねることとしてもよい。
【0025】
図4は、本発明の第1および第2実施例の電子ビーム近接露光装置200、300の電子ビームの電流値監視処理のフローチャートである。まず、電子ビームの電流値を計測を行うために、図示しない電子ビームのブランキング手段により試料への露光を停止する(ステップ402)。次に支持手段212を移動して電流検出器211を電子ビームの光軸直下に位置させることにより、または第2の偏向器306により電子ビームを偏向して電流検出器313に導くことにより、電子ビームを電流検出器で受ける(ステップ403)。
【0026】
そして電流検出器により電子ビーム電流値を計測する(ステップ404)。計測方法としては、単純に1回測定結果を計測値とする方法や数回計測した結果を平均して計測値とする方法のほか、以前に計測した一定回数の計測値を積算し、計測のたびに更新しながら積算値を計測値として利用する方法等が考えうる。
【0027】
このようにして得た計測値によって電流値の異常監視を行う(ステップ405)。異常監視方法としては、事前に設けたしきい値から大きく変動があった場合、最近計測した数回分の移動平均値から計測値が大きく変動した場合や、最近計測した数回分の計測値の偏差よりも、計測値が大きく変動した場合に異常とする方法等が考えられる。これらの異常監視方法に基づき、電流値の異常の程度により以下の処理を行う。
【0028】
電流値が正常ならば、継続して露光を行う(ステップ406)。この場合は電子ビーム装置は何ら警報を生じない。
【0029】
電流値が異常であるがある一定の許容範囲内の場合は、異常値に応じて「レシピ」を変更し(ステップ407)、警報を発生させる(ステップ410)。レシピに含まれる設定パラメータとしては、たとえば電子ビームの露光時間などがある。
【0030】
電流値が一定の許容範囲を超えているが、まだ電流値の異常の程度が小さい場合には、電子ビーム装置に備えられた既存の自動光軸調整シーケンス、エミッション電流調整シーケンスに移行し(ステップ408)、警報を発生させる(ステップ410)。
【0031】
電流値が一定の許容範囲を超え、さらに自動調節ができないほど電流値の異常の程度が大きい場合には、電子ビーム装置を停止させ手動による復旧作業を要請する合図を行い(ステップ409)、警報を発生させる(ステップ410)。
【0032】
【発明の効果】
本発明の電子ビーム装置によればマスクまたは試料に照射される電子ビーム電流を直接検出することによって高い精度で電子ビーム電流を計測しうるとともに、電子ビーム装置の移動ステージを拘束しないことにより、電子ビーム装置のスループットの低下を回避することができる。
【0033】
また、前記電流計測がスループットに影響を与えないことにより、電子ビーム装置の試料交換のたびに電子ビームの電流計測を行うことができるため、ビーム電流の定常監視を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子ビーム電流検出器を備えた従来の電子ビーム露光装置の外観図である。
【図2】(a)は、本発明の第1の実施例による電子ビーム近接露光装置の外観図であり、(b)は第1の実施例による電子ビーム近接露光装置で使用する電流検出器の断面形状である。
【図3】本発明の第2の実施例による実施例による電子ビーム近接露光装置の外観図である。
【図4】本発明の第1および第2実施例による電子ビーム近接露光装置の電子ビームの電流値監視処理のフローチャートである。
【符号の説明】
200、300…電子ビーム近接露光装置
203、303…電子ビーム源
204…アパチャ
205…偏向器
206、307…移動ステージ
209、310…試料
210、311…チャック
211、313…電流検出器
212…支持手段
304…成形アパチャ
305…第1の偏向器
306…第2の偏向器
Claims (8)
- 電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方に、試料移動ステージと独立して移動可能な支持手段により、電子ビームの電流値を検知する電流検出器を備える電子ビーム装置。
- 電子ビームを偏向する偏向手段、および
電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方、かつターゲットの領域内に照射される電子ビームの軌道外に設けられる電流検出器を備える電子ビーム装置。 - 前記電流検出器の検出結果に基づき警報を発する警報発生手段を備える請求項1または2に記載の電子ビーム装置。
- 前記警報の発報に基づき、人為的手段を介さず自動的に装置状態を復旧する手段を備える請求項3に記載の電子ビーム装置。
- 電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方に、試料移動ステージと独立して移動可能な支持手段により、電子ビームの電流値を検知する電流検出器を備える電子ビーム露光装置。
- 電子ビームを偏向する偏向手段、および
電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方、かつターゲットの領域内に照射される電子ビームの軌道外に設けられる電流検出器を備える電子ビーム露光装置。 - 前記電流検出器の検出結果に基づき警報を発する警報発生手段を備える請求項5または6に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記警報の発報に基づき、人為的手段を介さず自動的に装置状態を復旧する手段を備える請求項7に記載の電子ビーム露光装置。
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JP2007329034A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法および走査電子顕微鏡 |
JP2012094614A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム描画装置の自動調整方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
-
2002
- 2002-10-23 JP JP2002308164A patent/JP2004146146A/ja active Pending
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