【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバに係り、特に、光の伝送効率に優れたバンドル光ファイバ及びそれを備えた真空装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、図６に示すように、真空装置のチャンバ１内に照明光を照射したり、物質に紫外線を照射するために、複数の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバ２が用いられており、この種のバンドル光ファイバとしては、端部において光ファイバを口出しして一体化させたものがある（例えば、特許文献１参照）。
図７及び図８は、照明光の伝送を目的としたバンドル光ファイバ２における端部構造を示すもので、コア３及びクラッド４からなる複数の光ファイバ５の端部を接着剤６によって接着固定して一体化している。
なお、このバンドル光ファイバは、その直径が５ｍｍ、一本の光ファイバ５の直径が０．２４ｍｍ、コア直径が１９０μｍ、端面におけるコア３の面積比率が０．７０とされ、そして、この構造のバンドル光ファイバでは、入射効率が約７０％とされている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−１３０３２号公報（第２頁、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように光ファイバ５の端部を接着剤６によって接着固定した場合、接着剤６が端面において大きな占有面積をとってしまい、これにより、入射端の面積に対して光が入射されるべきコア３の面積が実質的に小さくなり、入射効率が低くなってしまっていた。また、照明光として紫外線を用いる場合、接着剤６に紫外線が吸収されてしまい、さらに伝送効率が低下するという問題もあった。
【０００５】
ここで、図９は、画像伝送を目的としたバンドル光ファイバ２における端部構造を示すもので、コア３及びクラッド４からなる複数の光ファイバ５を束ね、端部においてクラッド４を溶融一体化している。
なお、このバンドル光ファイバ２は、その直径が２ｍｍ、一本の光ファイバ５の直径が８．３μｍ、コア直径が５μｍ、コア３とクラッド４との面積比率が０．６とされ、そして、この構造のバンドル光ファイバ２では、入射効率が約６０％とされている。
【０００６】
このように、クラッド４同士を溶融して一体化させる画像伝送用のバンドル光ファイバ２では、接着剤６による面積の占有や紫外線吸収などの不具合はないが、伝送画像の色のにじみやぼやけをさけるため、クラッド４を厚くしてコア３の間隔を広げた設計とされており、このため、このバンドル光ファイバ２を照明光伝送用として用いる場合、入射効率が低すぎてしまう。さらに、このバンドル光ファイバ２は、可視光の伝送を想定して酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加されており、照明光として紫外線を用いる場合、添加物に紫外線が吸収されてしまい、やはり伝送効率が低下するという問題もあった。
【０００７】
また、この種のバンドル光ファイバ２を真空装置に設置する場合は、チャンバ１の内部と外部とにわたってバンドル光ファイバ２を通す必要があるが、このバンドル光ファイバ２は、光ファイバ５に被覆を施した光ファイバを束ねた構造であるので、確実なシールが困難であった。
【０００８】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、真空装置への設置が容易でかつ入射効率に優れたバンドル光ファイバ及びそれを備えた真空装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のバンドル光ファイバは、コアの周囲をクラッドが囲う光ファイバを複数束ねたバンドル光ファイバであって、複数の前記光ファイバを束ねたバンドル部を有し、該バンドル部は前記光ファイバの全長にわたって、隣接する光ファイバの前記クラッド同士が溶融一体化されて隙間なく形成されており、前記バンドル部の断面における前記コアの面積比率が０．７０以上であることを特徴としている。
【０００１０】
そして、本発明のバンドル光ファイバによれば、ガラス管の内部に複数の光ファイバを束ねたバンドル部を挿通し、バンドル部が全長にわたって、クラッド同士を溶融一体化させて隙間なく配設したものであるので、光ファイバを端部にて接着剤によって一体化させたものやクラッドに対するコアの面積比率が低い光ファイバの端部を溶融して一体化させた画像伝送用のものと比較して、光の入射効率を大幅に向上させることができ、特に可視光などの照明光や紫外線を効率良く導くことができる。更に、バンドル部の断面におけるコアの面積比率を０．７０以上と高いため、光を高い効率で伝送することができる。
【００１１】
また、異なる径の光ファイバを束ねてバンドル部を構成しても良い。
さらには、光ファイバにフッ素を添加するのが好ましい。
【００１２】
また、本発明の真空装置は、内部を真空引きした状態にて各種の処理が行われる真空装置であって、壁部に設けられた挿通孔に、上記のバンドル光ファイバを挿通し、このバンドル光ファイバの外周と挿通孔とをシールして気密状態に設置したことを特徴としている。
【００１３】
そして、本発明の真空装置によれば、挿通孔に挿通させたバンドル光ファイバが、ガラス管内に挿通された複数の光ファイバを互いに溶融一体化して隙間なく配設して気密化したものであるので、バンドル光ファイバと挿通孔との間をシールすることにより確実に気密状態を確保することができる。
これにより、従来のように、複数の光ファイバを束ねて端部を一体化させただけのバンドル光ファイバを用いた場合と比較して、チャンバの挿通孔における気密構造の簡略化を図ることができるとともに、確実な気密状態を確保することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るバンドル光ファイバの実施形態例を図面を参照して説明する。
図１にバンドル光ファイバの斜視図、図２にバンドル光ファイバの断面図を示した。
図に示すように、このバンドル光ファイバ１１は、複数の光ファイバ１２からなるバンドル部１３と、このバンドル部１３が内部に挿通されたガラス管１４とを有しており、ガラス管１４の外周側は樹脂被覆層１５によって覆われている。
【００１５】
光ファイバ１２は、図３に示すように、コア２１及びクラッド２２から構成されている。
ガラス管１４は、複数の光ファイバ１２からなるバンドル部１３の周囲を覆うように、その長手方向全長にわたって設けられている。
そして、このバンドル光ファイバ１１では、複数の光ファイバ１２が溶融一体化してガラス管１４内にて隙間なく配列されている。
なお、コア２１及びクラッド２２からなる光ファイバ１２には、石英（ＳｉＯ２）をベースとしてフッ素が添加されている。
【００１６】
ここで、このバンドル光ファイバ１１は、バンドル部１３の直径が３ｍｍ、一本の光ファイバ１２の直径が２３０μｍ、コア直径が１９０μｍ、バンドル部１３の端面に対するコア２１の面積比率が０．８３とされ、そして、この構造のバンドル光ファイバ１１では、入射効率が約８３％とされている。
【００１７】
このバンドル光ファイバ１１を製造する場合は、まず、長尺のガラス管１４の内部に所定本数の光ファイバ１２を挿通させ、この状態において、ガラス管１４の一端側から真空引きを行いつつ、ガラス管１４の他端側から一端側へ向かって加熱していく。
このようにすると、ガラス管１４が真空引きされつつ加熱されることによりガラス管１４が縮径するとともに、内部の光ファイバ１２のクラッド２２同士が溶融して互いに融着する。
これにより、光ファイバ１２同士がガラス管１４内にて隙間なく互いに溶融一体化されたバンドル光ファイバ１１が得られる。
そして、このバンドル光ファイバ１１の外周側に、保護用の樹脂被覆１５を被せる。
【００１８】
このように、上記のバンドル光ファイバ１１によれば、ガラス管１４の内部に複数の光ファイバ１２を束ねたバンドル部１３を挿通し、バンドル部１３の周囲を全長にわたってガラス管１４によって覆い、ガラス管１４内にて、光ファイバ１２同士を溶融一体化させて隙間なく配設したものであるので、光ファイバを端部にて接着剤によって一体化させたものや、端面に対するコアの面積比率が低い光ファイバの端部を溶融して一体化させた画像伝送用のものと比較して、光の入射効率を大幅に向上させることができ、特に可視光などの照明光や紫外線を効率良く導くことができる。
【００１９】
しかも、バンドル部１３が全長にわたってガラス管１４に覆われ、ガラス管１４内にてバンドル部１３を構成する光ファイバ１２同士が溶融一体化して気密状態に互いに隙間なく配設されているので、バンドル光ファイバ１１を真空装置の内外に通すように設置する場合に、端部だけが一体化されて途中が光ファイバを束ねただけの従来のバンドル光ファイバと比べて、装置の挿通孔へバンドル光ファイバを通して挿通孔との間をシールするだけで確実に気密状態を確保することができる。
【００２０】
また、光ファイバ１２を構成するコア２１及びクラッド２２に、フッ素を添加したので、エキシマレーザなどの紫外線を入射させた際に、紫外線の吸収率を低下させることができ、入射効率をさらに高めることができる。
なお、上記の例では、バンドル部１３の端面に対するコア２１の面積比率を０．８３としたが、０．７０以上であれば良好かつ高い効率な光の伝送が可能であり、好ましくは０．７５以上、さらに好ましくは０．８０以上であると良い。
【００２１】
上記の実施形態では、ガラス管を用いて説明したが、本発明に係るバンドル光ファイバは、ガラス管を用いることに限定されない。すなわち、本発明に係るバンドル光ファイバは、隣接する光ファイバのクラッド同士を溶融一体化した状態で用いることも可能である。
【００２２】
図４に示すものは、上記実施形態例のバンドル光ファイバ１１を備えた真空装置であり、この真空装置では、チャンバ３１に形成された挿通孔３２に、バンドル光ファイバ１１が挿通され、挿通孔３２とバンドル光ファイバ１１との間がシールされて気密化されている。
そして、この真空装置によれば、チャンバ３１の外部側におけるバンドル光ファイバ１１の一端に設置した光源３３から紫外線などのレーザ光や可視光等の光を入射させることにより、チャンバ３１内に配設したターゲット３４に光を照射することができる。
【００２３】
ここで、挿通孔３２に挿通させたバンドル光ファイバ１１は、ガラス管１４内に挿通された複数の光ファイバ１２が互いに溶融一体化されて互いに隙間なく配設されて気密化されているので、バンドル光ファイバ１１とチャンバ３１の挿通孔３２との間をシールするだけで、確実に気密状態を確保することができる。
これにより、従来のように、複数の光ファイバを束ねて端部を一体化させただけのバンドル光ファイバを用いた場合と比較して、チャンバ３１の挿通孔３２における気密構造の簡略化を図ることができるとともに、確実な気密状態を確保することができる。
【００２４】
図５に示すものは、バンドル光ファイバ１１の他の例を示すもので、このバンドル光ファイバ１１では、ガラス管１４内に配設した光ファイバ１２として、径の異なる２種類の光ファイバ１２Ａ、１２Ｂが用いられ、これら光ファイバ１２Ａ、１２Ｂによってバンドル部１３が構成されている。
ここで、このバンドル光ファイバ１１は、バンドル部１３の直径が３ｍｍ、大径の光ファイバ１２Ａの直径が２００μｍ、小径の光ファイバ１２Ｂの直径が１００μｍ、バンドル部１３の端面に対するコア２１の面積比率が０．８５とされ、そして、この構造のバンドル光ファイバ１１では、入射効率が約９０％とされている。
【００２５】
つまり、このように異なる径の光ファイバ１２Ａ、１２Ｂを束ねてバンドル部１３とすることにより、さらに高密度にて束ねた状態にてガラス管１４内に配設することができ、さらなる高効率化を図ることができる。
【００２６】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明のバンドル光ファイバによれば、下記の効果を得ることができる。
この発明のバンドル光ファイバによれば、ガラス管の内部に複数の光ファイバを束ねたバンドル部を挿通し、バンドル部の周囲を全長にわたってガラス管によって覆い、ガラス管内にて、光ファイバ同士を溶融一体化させて隙間なく配設したものであるので、光ファイバを端部にて接着剤によって一体化させたものやクラッドに対するコアの面積比率が低い光ファイバの端部を溶融して一体化させた画像伝送用のものと比較して、光の入射効率を大幅に向上させることができ、特に可視光などの照明光やエキシマレーザなどの紫外線を効率良く導くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のバンドル光ファイバの構造を説明するバンドル光ファイバの斜視図である。
【図２】本発明のバンドル光ファイバの構造を説明するバンドル光ファイバの断面図である。
【図３】バンドル光ファイバを構成するバンドル部の構造を説明するバンドル部の拡大断面図である。
【図４】本発明のバンドル光ファイバを備えた真空装置を説明する真空装置の概略断面図である。
【図５】バンドル光ファイバを構成するバンドル部の他の構造を説明するバンドル部の拡大断面図である。
【図６】バンドル光ファイバを備えた真空装置を説明する真空装置の概略断面図である。
【図７】従来のバンドル光ファイバの構造を説明するバンドル光ファイバの断面図である。
【図８】従来のバンドル光ファイバの構造を説明するバンドル光ファイバの拡大断面図である。
【図９】従来のバンドル光ファイバの他の構造を説明するバンドル光ファイバの拡大断面図である。
【符号の説明】
１１ バンドル光ファイバ
１２ 光ファイバ
１３ バンドル部
１４ ガラス管
２１ コア
２２ クラッド
３２ 挿通孔[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a bundle optical fiber in which a plurality of optical fibers are bundled, and more particularly to a bundle optical fiber having excellent light transmission efficiency and a vacuum apparatus including the same.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as shown in FIG. 6, a bundle optical fiber 2 in which a plurality of optical fibers are bundled has been used to irradiate illumination light into a chamber 1 of a vacuum device or irradiate a substance with ultraviolet light. As this kind of bundled optical fiber, there is one in which an optical fiber is led out at an end and integrated (for example, see Patent Document 1).
FIGS. 7 and 8 show the end structure of the bundle optical fiber 2 for transmitting the illumination light. The ends of the plurality of optical fibers 5 composed of the core 3 and the clad 4 are bonded and fixed with an adhesive 6. And integrated.
In this bundle optical fiber, the diameter is 5 mm, the diameter of one optical fiber 5 is 0.24 mm, the core diameter is 190 μm, the area ratio of the core 3 at the end face is 0.70, and In the bundle optical fiber, the incidence efficiency is about 70%.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-7-13032 (page 2, FIG. 2)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when the end of the optical fiber 5 is bonded and fixed with the adhesive 6 as described above, the adhesive 6 takes a large occupied area on the end face, whereby light enters the area of the incident end. The area of the core 3 to be substantially reduced, and the incident efficiency has been lowered. Further, when ultraviolet rays are used as the illumination light, the ultraviolet rays are absorbed by the adhesive 6, and there is a problem that the transmission efficiency is further reduced.
[0005]
Here, FIG. 9 shows an end structure of the bundle optical fiber 2 for the purpose of image transmission, in which a plurality of optical fibers 5 composed of a core 3 and a clad 4 are bundled, and the clad 4 is fused and integrated at the end. ing.
The bundle optical fiber 2 has a diameter of 2 mm, a diameter of one optical fiber 5 is 8.3 μm, a core diameter is 5 μm, an area ratio between the core 3 and the clad 4 is 0.6, and In the bundle optical fiber 2 having this structure, the incident efficiency is about 60%.
[0006]
As described above, in the bundle optical fiber 2 for image transmission in which the clads 4 are melted and integrated, there is no problem such as the occupation of the area by the adhesive 6 or the absorption of ultraviolet rays. In order to avoid this, the cladding 4 is designed to be thick and the interval between the cores 3 is widened. Therefore, when this bundle optical fiber 2 is used for transmitting illumination light, the incident efficiency is too low. Further, the bundle optical fiber 2 is doped with germanium oxide (GeO 2 ) for transmission of visible light. When ultraviolet light is used as illumination light, the ultraviolet light is absorbed by the additive, and the transmission efficiency is also increased. There is also a problem that is reduced.
[0007]
When this kind of bundled optical fiber 2 is installed in a vacuum apparatus, it is necessary to pass the bundled optical fiber 2 through the inside and the outside of the chamber 1. Because of the structure in which the applied optical fibers are bundled, reliable sealing is difficult.
[0008]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a bundle optical fiber which can be easily installed in a vacuum device and has excellent incidence efficiency, and a vacuum device including the same.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the bundle optical fiber of the present invention is a bundle optical fiber that bundles a plurality of optical fibers surrounded by a clad around a core, and has a bundle portion that bundles a plurality of the optical fibers, In the bundle, the claddings of the adjacent optical fibers are melt-integrated and formed without gaps over the entire length of the optical fiber, and the area ratio of the core in the cross section of the bundle is 0.70 or more. It is characterized by:
[00010]
According to the bundle optical fiber of the present invention, the bundle portion in which a plurality of optical fibers are bundled is inserted into the inside of the glass tube, and the bundle portion is disposed without any gap by melting and integrating the clads over the entire length. Therefore, the optical fiber is integrated with an adhesive at the end and the area ratio of the core to the clad is lower than that of the optical fiber with the end fused and integrated for image transmission. Thus, the light incidence efficiency can be greatly improved, and particularly, illumination light such as visible light and ultraviolet light can be efficiently guided. Further, since the area ratio of the core in the cross section of the bundle portion is as high as 0.70 or more, light can be transmitted with high efficiency.
[0011]
Further, a bundle portion may be configured by bundling optical fibers having different diameters.
Further, it is preferable to add fluorine to the optical fiber.
[0012]
Further, the vacuum device of the present invention is a vacuum device in which various processes are performed in a state where the inside is evacuated, wherein the bundle optical fiber is inserted into an insertion hole provided in a wall portion, and It is characterized in that the outer periphery of the optical fiber and the insertion hole are sealed and installed in an airtight state.
[0013]
According to the vacuum apparatus of the present invention, the bundle optical fiber inserted into the insertion hole is a plurality of optical fibers inserted into the glass tube, which are melted and integrated with each other, arranged without gaps, and hermetically sealed. Therefore, by sealing between the bundle optical fiber and the insertion hole, an airtight state can be reliably ensured.
This makes it possible to simplify the airtight structure in the insertion hole of the chamber as compared with the conventional case where a bundled optical fiber in which a plurality of optical fibers are bundled and the ends are simply integrated is used. It is possible to secure a reliable airtight state.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of a bundle optical fiber according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view of a bundle optical fiber, and FIG. 2 is a sectional view of the bundle optical fiber.
As shown in the figure, the bundle optical fiber 11 has a bundle portion 13 composed of a plurality of optical fibers 12 and a glass tube 14 in which the bundle portion 13 is inserted. The side is covered with the resin coating layer 15.
[0015]
The optical fiber 12 includes a core 21 and a clad 22, as shown in FIG.
The glass tube 14 is provided over the entire length in the longitudinal direction so as to cover the periphery of the bundle portion 13 including the plurality of optical fibers 12.
In the bundle optical fiber 11, a plurality of optical fibers 12 are melted and integrated and are arranged in the glass tube 14 without gaps.
The optical fiber 12 including the core 21 and the clad 22 is doped with fluorine based on quartz (SiO 2 ).
[0016]
Here, in the bundle optical fiber 11, the diameter of the bundle 13 is 3 mm, the diameter of one optical fiber 12 is 230 μm, the core diameter is 190 μm, and the area ratio of the core 21 to the end face of the bundle 13 is 0.83. In the bundle optical fiber 11 having this structure, the incident efficiency is about 83%.
[0017]
When the bundle optical fiber 11 is manufactured, first, a predetermined number of optical fibers 12 are inserted into a long glass tube 14, and in this state, the glass is evacuated from one end side of the glass tube 14 while performing vacuum evacuation. The tube 14 is heated from the other end to one end.
By doing so, the glass tube 14 is heated while being evacuated, whereby the diameter of the glass tube 14 is reduced, and the claddings 22 of the internal optical fibers 12 are melted and fused together.
Thereby, the bundle optical fiber 11 in which the optical fibers 12 are fused and integrated with each other without any gap in the glass tube 14 is obtained.
Then, a resin coating 15 for protection is put on the outer peripheral side of the bundle optical fiber 11.
[0018]
As described above, according to the above bundled optical fiber 11, the bundle 13 in which the plurality of optical fibers 12 are bundled is inserted into the inside of the glass tube 14, and the entire periphery of the bundle 13 is covered with the glass tube 14 over the entire length. In the tube 14, since the optical fibers 12 are fused and integrated with each other and arranged without a gap, the optical fibers are integrated with an adhesive at the end, or the area ratio of the core to the end face is reduced. Light incidence efficiency can be greatly improved compared to the image transmission type in which the end of the low optical fiber is melted and integrated, and it guides illumination light such as visible light and ultraviolet light especially efficiently. be able to.
[0019]
In addition, the bundle portion 13 is covered by the glass tube 14 over the entire length, and the optical fibers 12 constituting the bundle portion 13 are melted and integrated in the glass tube 14 so that they are arranged in an airtight state without any gap. When the optical fiber 11 is installed so as to pass through the inside and outside of the vacuum device, the bundled light is inserted into the insertion hole of the device as compared with a conventional bundled optical fiber in which only the ends are integrated and the optical fiber is only bundled in the middle. An airtight state can be reliably ensured only by sealing the space between the fiber and the insertion hole through the fiber.
[0020]
Further, since fluorine is added to the core 21 and the clad 22 constituting the optical fiber 12, when ultraviolet rays such as an excimer laser are incident, the absorptivity of the ultraviolet rays can be reduced, and the incidence efficiency can be further increased. Can be.
In the above example, the area ratio of the core 21 to the end face of the bundle portion 13 is set to 0.83, but if it is 0.70 or more, good and highly efficient light transmission is possible. It is good to be 75 or more, more preferably 0.80 or more.
[0021]
Although the above embodiment has been described using a glass tube, the bundle optical fiber according to the present invention is not limited to using a glass tube. That is, the bundle optical fiber according to the present invention can be used in a state where the claddings of adjacent optical fibers are fused and integrated.
[0022]
FIG. 4 shows a vacuum device provided with the bundle optical fiber 11 of the above embodiment. In this vacuum device, the bundle optical fiber 11 is inserted into the insertion hole 32 formed in the chamber 31, and the insertion hole is formed. The space between the optical fiber 32 and the bundle optical fiber 11 is sealed and hermetically sealed.
According to this vacuum device, laser light such as ultraviolet light or visible light or the like is incident from a light source 33 installed at one end of the bundle optical fiber 11 on the outside of the chamber 31 so that the light is disposed in the chamber 31. The irradiated target 34 can be irradiated with light.
[0023]
Here, the bundle optical fiber 11 inserted through the insertion hole 32 is air-tight because the plurality of optical fibers 12 inserted into the glass tube 14 are melted and integrated with each other and are disposed without gaps therebetween. Only by sealing between the bundle optical fiber 11 and the insertion hole 32 of the chamber 31, an airtight state can be reliably ensured.
This simplifies the airtight structure in the insertion hole 32 of the chamber 31 as compared with the conventional case where a bundled optical fiber in which a plurality of optical fibers are bundled and the ends are integrated is used. And a reliable airtight state can be ensured.
[0024]
FIG. 5 shows another example of the bundle optical fiber 11. In the bundle optical fiber 11, two types of optical fibers 12 A having different diameters are used as the optical fibers 12 disposed in the glass tube 14. 12B is used, and these optical fibers 12A and 12B constitute a bundle unit 13.
Here, in the bundle optical fiber 11, the diameter of the bundle portion 13 is 3 mm, the diameter of the large diameter optical fiber 12A is 200 μm, the diameter of the small diameter optical fiber 12B is 100 μm, and the area ratio of the core 21 to the end face of the bundle portion 13. Is 0.85, and the incident efficiency is about 90% in the bundle optical fiber 11 having this structure.
[0025]
In other words, by bundling the optical fibers 12A and 12B having different diameters into the bundle portion 13, it is possible to dispose the optical fibers 12A and 12B in the glass tube 14 in a state of being bundled at a higher density, thereby further increasing the efficiency. Can be achieved.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the bundle optical fiber of the present invention, the following effects can be obtained.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the bundle optical fiber of this invention, the bundle part which bundled several optical fibers is inserted in a glass tube, the circumference | surroundings of a bundle part are covered with a glass tube over the whole length, and the optical fibers fuse in a glass tube. Since the optical fiber is integrated and arranged without gaps, the optical fiber is integrated with an adhesive at the end or the end of the optical fiber with a low core area ratio to the clad is melted and integrated. As compared with the image transmission type, the light incident efficiency can be greatly improved, and particularly, illumination light such as visible light and ultraviolet light such as excimer laser can be efficiently guided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a bundle optical fiber illustrating the structure of the bundle optical fiber of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the bundle optical fiber illustrating the structure of the bundle optical fiber of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the bundle unit for explaining the structure of the bundle unit constituting the bundle optical fiber.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a vacuum device illustrating a vacuum device provided with the bundle optical fiber of the present invention.
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the bundle unit for explaining another structure of the bundle unit constituting the bundle optical fiber.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a vacuum device illustrating a vacuum device provided with a bundle optical fiber.
FIG. 7 is a cross-sectional view of a bundle optical fiber illustrating a structure of a conventional bundle optical fiber.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a conventional bundle optical fiber illustrating a structure of the bundle optical fiber.
FIG. 9 is an enlarged sectional view of a bundle optical fiber illustrating another structure of the conventional bundle optical fiber.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 11 bundle optical fiber 12 optical fiber 13 bundle part 14 glass tube 21 core 22 clad 32 insertion hole
