JP2004128262A - Solder coat ball and method for manufacturingthe the same - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、BGAなどの半導体装置の入出力端子等として用いられるはんだ被覆ボールおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
コンピュータ機器の高性能・小型化や情報ネットワーク機器の普及に伴い、それらに用いられるプリント基板も、より高密度実装化が要求されるようになった。従来、高密度表面実装部品は、部品周囲にリード端子を持つQFP(Quard Flatpack Package)などが多く用いられていたが、近年、比較的小型で、多ピン化が可能なBGA(Ball Grid Array)が用いられるようになっている。また、水晶振動子と温度補償用のICとを積み重ねる際のスペーサ部材としての用途もある。
【0003】
BGA(Ball Grid Array)は、図2(a)および(b)に示すように、LSIチップの下面に、インターポーザ62を介して、はんだ被覆ボール50が接合されたLSIパッケージである。はんだ被覆ボール50は、インターポーザ62の一方の面に格子配列状に配列されており、パッケージの入出力端子である。このはんだ被覆ボール50は、例えば直径が0.1〜1.0mm程度の微小球であり、例えば金属からなる球の表面に、はんだ層が形成されて構成されている。
【0004】
電解めっき法により、鉛−錫系の材料を用いて上記はんだ層を形成した場合、はんだ被覆ボールを加熱溶融してインターポーザのパッドに接合すると、装着されたはんだ層の内部にボイド(空隙)が形成されるという問題がある。ボイドの発生により、インターポーザとはんだ被覆ボールとの間で接続不良または位置ずれが生じるため、BGAの信頼性の低下が問題になる。
【0005】
本願出願人は、上記ボイドの原因が、電解めっきによって形成されたはんだ層中に吸蔵される水素ガスにあり、この水素ガスの発生量を低減させることにより、ボイドの発生を抑制できることを見出した。これに基づいて、本願出願人は、めっき液中の鉛および錫のイオン濃度と、電解めっきを行う際の電流密度とを制御することにより、はんだ層中に吸蔵される水素ガス量を低減させて、ボイドの発生を低減する方法を開示している(特許文献1)。
【0006】
近年、鉛を含むはんだは、無鉛はんだ(Pbフリーはんだ)に置き換えられつつある。無鉛はんだとしては、例えばSn−Ag系はんだ、またはSn−Ag−Cu系はんだなどが用いられている。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−270836号公報(第2頁および3頁)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
電解めっき方法を用いてSn−Ag系はんだ層を有するはんだ被覆ボールを作製し、これを加熱溶融すると、上述した鉛−錫系のはんだ層を有するはんだ被覆ボールの場合と同様にボイドが発生した。後述するように本発明者が検討した結果、このボイドは鉛−錫系とは異なり、水素ガス以外の要因によって発生しており、Sn−Ag系に特有の問題であることが分かった。
【0009】
本発明は上記諸点に鑑みてなされたものであり、加熱溶融時におけるボイドの発生が抑制されたSn−Ag系はんだ層を有するはんだ被覆ボールの簡易な製造方法および、はんだ被覆ボールを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明のはんだ被覆ボールの製造方法は、ボール状のコアを用意する工程と、前記コアを包囲するようにSnおよびAgを含むはんだ層を形成する工程とを包含し、前記はんだ層を形成する工程は、トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィン10〜25g/l、有機スルホン酸Sn15〜25g/l、有機スルホン酸Ag0.3〜1.5g/l、有機スルホン酸50〜100g/l、およびアンモニアを含むめっき液を用いて電解めっき法により、SnとAgとの合金を含む第1のはんだ層を形成する工程を含み、前記第1のはんだ層のAgの質量百分率が0.5%以上2.5%以下であり、これにより上記の課題が解決される。
【0011】
前記めっき液は、チオ尿素3〜12g/lをさらに含むことが好ましい。
【0012】
前記はんだ層を形成する工程は、さらに、Agを含む第2のはんだ層を形成する工程を含んでもよい。
【0013】
前記第2のはんだ層は、例えば電解めっき法、蒸着法またはコロイド法によって形成される。
【0014】
前記第2のはんだ層は電解めっき法によって形成され、かつ厚さが0.5μm以下であることが好ましい。
【0015】
前記はんだ層のAgの質量百分率が3.0%以上4.0%以下であることが好ましい。
【0016】
前記第1のはんだ層は、厚さが3μm以上50μm以下であることが好ましい。
【0017】
前記コアは、例えばCu、Al、または樹脂で形成されている。
【0018】
前記はんだ層のAgの質量百分率は、例えば3.5%である。
【0019】
前記コアは、直径が0.05mm以上1mm以下であることが好ましい。
【0020】
はんだ被覆ボールは、上述の方法で製造されることが好ましい。
【0021】
本発明のはんだ被覆ボールは、ボール状のコアと、前記コアを包囲するように設けられたSnおよびAgを含むはんだ層とを有するはんだ被覆ボールであって、前記はんだ層は、SnとAgとの合金から形成された第1のはんだ層を含み、前記第1のはんだ層のAgの質量百分率が0.5%以上2.5%以下であり、かつ、前記はんだ層に含まれる水分量が、標準状態の水蒸気量で100μl/g以下であり、これにより、上記の課題が解決される。
【0022】
前記はんだ層が、前記第1のはんだ層を包囲するように設けられた第2のはんだ層をさらに含む場合、前記第2のはんだ層はAgを含み、厚さが0.5μm以下であることが好ましい。
【0023】
前記はんだ層のAgの質量百分率が、3.0%以上4.0%以下であることが好ましい。
【0024】
前記第1のはんだ層は、厚さが3μm以上50μm以下であることが好ましい。
【0025】
前記コアは例えばCu、Al、または樹脂で形成されている。
【0026】
前記はんだ層のAgの質量百分率は例えば3.5%である。
【0027】
前記コアは、直径が0.05mm以上1mm以下であることが好ましい。
【0028】
【発明の実施の形態】
本願発明者らは、電解めっき法を用いて形成されたSn−Ag系のはんだ層を備えるはんだ被覆ボールを加熱溶融した場合に発生するボイドの原因を証明するために、加熱溶融時にはんだ層から放出されるガスの分析を行った。この結果、放出ガスの主成分が水蒸気であることを見出した。本願発明者らは、この事実に基づいて以下に示す知見を得た。
【0029】
放出ガスの主成分である水蒸気は、電解めっき法によってはんだ層を形成した際、はんだ層にトラップされた水分が、加熱溶融時に気化したものである。加熱溶融時に、水蒸気がはんだ層から放出され、その結果、ボイドが形成された。さらに、はんだ層に水分(加熱によって水蒸気を発生させる成分)がトラップされる原因は、主として、はんだ層に含まれるAg成分にあり、例えば、電解めっき工程でAgの加水分解生成物(例えばAg(OH))が形成されたことによると考えられる。
【0030】
上述した知見に基づいて、以下に説明する本発明に至った。
【0031】
本発明のはんだ被覆ボールは、ボール状のコアと、コアを包囲するように設けられた、SnおよびAgを含むはんだ層とを有しており、はんだ層に含まれる水分量が、標準状態の水蒸気量で100μl/g以下であるように制御されている。
【0032】
図1(a)および(b)に、本発明の一実施形態のはんだ被覆ボール50の断面図を示す。
【0033】
図1(a)に示すはんだ被覆ボール50は、コア2と、SnとAgとの合金から形成されたはんだ層4とを備えている。図1(b)に示すはんだ被覆ボール50は、コア2と、はんだ層4とを備え、はんだ層4は、SnとAgとの合金から形成されたはんだ層6(第1のはんだ層)と、Agから形成された層8(第2のはんだ層)とで構成されている。第2のはんだ層8は、第1のはんだ層6を包囲するように設けられている。
【0034】
図1(b)に示すように、はんだ層4を多層構造にする場合であっても、実質的に、図1(a)に示すSnとAgとの合金ではんだ層4を構成した場合と同様のはんだを、少なくとも接合状態において実現することができる。なお、はんだ層4を多層構造にする場合、はんだ層4を構成する各層の厚さを制御することにより、はんだ層4の組成を制御できる。
【0035】
本発明のはんだ被覆ボールが備えるはんだ層は、少なくともSnとAgとの合金から形成されたはんだ層を含んでいれば、図1(a)に示すように単層で形成されていてもよいし、図1(b)に示すように多層で形成されていてもよい。
【0036】
はんだ被覆ボール50は、はんだ層4に含まれる水分量が上記のように十分低く制御されているので、はんだ層4を加熱溶融した際にボイドが形成されるのを十分抑制できる。後の実施例で説明するが、はんだ層4に含まれる水分量が上記の値以下に制御されている場合、はんだ被覆ボール50の接合強度の低下および位置ずれなどの不具合を十分に抑制できることが実験的に確認された。
【0037】
本明細書において水分量とは、昇温脱離ガス分析装置(TDS:Thermal Desorption Spectrometer(EMD−WA100S電子科学(株)製))を用いて以下に説明する方法で測定したものをいう。はんだ被覆ボールを2×10−6Pa以下に排気した雰囲気下に配置し、0.5℃/secの速さで室温から600℃まで昇温する。この間に発生するガスの質量を成分毎に四重極質量分析装置で測定する。質量数が18のガス成分を水として、その総量を求め、標準状態の体積に換算する。これをはんだ層4の質量で割ったものを水分量(μl/g)とする。なお、はんだ層4の質量は、はんだ被覆ボール50の質量から、コア2の質量を引き算して求めた。このはんだ層4の質量は、100個オーダーのサンプルの平均値である。100個オーダーのはんだ被覆ボール50およびコア2の質量は、それぞれ、精密天秤を用いて測定されている。
【0038】
次に、図1(a)に示したはんだ被覆ボール50の製造方法を説明する。
【0039】
まず、ボール状のコア2を用意する。
【0040】
次に、コア2を包囲するように、SnとAgとの合金からなるはんだ層4を電解めっき法を用いて形成する。めっき液には、トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィン10〜25g/l、有機スルホン酸Sn15〜25g/l、有機スルホン酸Agを0.3〜1.5g/l、有機スルホン酸50〜100g/lおよびアンモニアを含む溶液を用いる。アンモニアは溶液のPHを調整するために添加されている。PHは3.5〜5.0に調整されていることが好ましい。有機スルホン酸Sn、有機スルホン酸Ag、および有機スルホン酸としては、それぞれ、後述の実施例で説明されているメタンスルホン酸Sn、メタンスルホン酸Agおよびメタンスルホン酸が好適に使用される。また、上記めっき液は、チオ尿素3〜12g/lをさらに含んでいることがより好ましい。なお、このめっき液の詳細は、特開2000−34593号公報に説明されている。
【0041】
上記のめっき液を用いて、Ag質量百分率が2.5%以下の範囲になるように、はんだ層4を形成する。なお、電解めっきは、電流密度を0.1〜0.6A/dm2とし、めっき液の温度20〜30℃に制御して行うことが好ましい。
【0042】
以上説明した方法により、はんだ層4に含まれる水分量が、標準状態の水蒸気量で100μl/g以下であるように制御されたはんだ被覆ボール50が作製される。上述した所定のめっき液を用いて電解めっきを行うことにより、特別な処理を別途行うことなく、はんだ層4に含まれる水分量を十分低くすることができる。
【0043】
はんだ層4のAg質量百分率を、2.5%を超えるように設定したい場合には、図1(b)に示したように、はんだ層4を多層構造にすればよい。はんだ層4のAg質量百分率が2.5%よりも大きい場合、はんだ層4を溶融したときに結晶構造がより微細化される。従って、はんだ被覆ボール50の接合強度を高くすることができる。
【0044】
はんだ層が多層構造であるはんだ被覆ボール50は、上述の製造方法と同様の方法で第1のはんだ層6を形成した後、Agを含む第2のはんだ層8を形成することによって作製される。はんだ層4を多層構造にする場合、第1のはんだ層6のAg質量百分率を0.5%以上にすることが好ましい。第1のはんだ層6のAg質量百分率を0.5%以上にすれば、第1のはんだ層6の表面粗さを十分小さくすることができるので、第2のはんだ層8との密着性を高くすることができる。Agからなる第2のはんだ層8は、例えば電解めっき法、蒸着法、またはコロイド法によって形成される。
【0045】
電解めっき法で第2のはんだ層8を形成する場合、第2のはんだ層8の厚さを0.5μm以下に設定する。上述したように、電解めっき法で形成されたはんだ層に水分がトラップされる理由は、主として、Ag成分にあると考えられるため、Ag層の厚さを十分小さくすることによって、はんだ層にトラップされる水分量を少なくすることができるからである。
【0046】
第2のはんだ層8を電解めっき法以外の方法で形成する場合、必ずしも厚さを0.5μm以下に設定する必要はないが、厚さを上記の値以下とすれば、溶融時にはんだ層が均一組成になりやすいので異常粒の形成を抑制できる。
【0047】
以上説明した方法により、はんだ層4のAg質量百分率が2.5%を上回り、かつ、はんだ層4に含まれる水分量が、標準状態の水蒸気量で100μl/g以下であるように制御されたはんだ被覆ボール50が作製される。
【0048】
なお、第1のはんだ層6および第2のはんだ層8の厚さは、目的とするはんだの組成比に基づいて決定される。また、図1(b)に示したはんだ被覆ボール50は、第1のはんだ層6がAg層であり、第2のはんだ層8がSnとAgとの合金層であってもよいが、耐酸化性に優れた方を外側(第2のはんだ層8)に形成することが好ましい。すなわち、SnとAgとの合金層は様々な組成粒が混在しているので、SnとAgとの合金層を第2のはんだ層8とした場合、はんだ被覆ボールを大気中に長い時間放置すると、表面の酸化が進行しやすく、腐食による変形や、はんだ接合時の濡れ性が低下し、接合強度が低下してしまう。従って、第1のはんだ層6をSnとAgとの合金層とし、第2のはんだ層8をAg層をとする方が好ましい。
【0049】
また、はんだ層4におけるAgの質量百分率は、3.0%以上4.0%以下であることが好ましい。はんだ層4に含まれるAgの質量百分率が約3.5%であれば、加熱によってSn−Agの二元共晶反応が起こり、単一の融点(約221℃)が得られるからである。後で説明するように、はんだ層の成分を共晶組成に設定すると、接合強度を十分に高くすることができるなど、様々な利点が得られる。また、Agの質量百分率が4.0%を超えると、加熱によって数十μmの粗大なAg3Sn板状初晶(または針状初晶)が晶出し、はんだ層に亀裂などを生じさせる原因になるので、Agの質量百分率は4.0%以下が好ましい(「鉛フリーはんだ付け技術 環境調和型実装の切り札」菅沼克昭著、工業調査会出版、(2001年1月20日)参照)。
【0050】
コア2は、例えばCuで形成される。コア2をCuで形成した場合、加熱時にコア2からはんだ層4にCuが拡散し、このCuと、はんだ層4に含まれているSnおよびAgとが、はんだを構成する材料となる。すなわちSn−Ag−Cu系のはんだが得られる。
【0051】
コア2をCuで形成する場合、はんだ層4に含まれるAgの質量百分率を2.0%以上4.0%以下、より好ましくは、約3.5%に設定することが望ましい。はんだ層4に含まれるAgの質量百分率が上記の値であれば、加熱によってSn−Ag−Cuの三元共晶反応が起こり、単一の融点(約216℃)が得られるからである。また、この融点(約216℃)は、Sn−Agの二元共晶の融点(約221℃)よりも低い。融点は、昇温速度2℃/分で測定したDTA曲線のオンセット温度(溶融開始温度)とした。
【0052】
なお、はんだ層の成分を共晶組成に設定すると、様々な利点が得られる。例えば、はんだ層を溶融状態にした場合に流動性が高く、作業性に優れる。また、固化したはんだの組成および組織の均一性が高いので、機械的な強度が高く、せん断強さ、引っ張り強さおよび耐衝撃性が高い。従って、共晶組成を有するはんだ層を用いることが好ましい。
【0053】
コア2の材料はCuに限られない。コア2は例えばAlなどの金属で形成してもよいし、樹脂で形成してもよい。コア2を樹脂で形成する場合には、コア2の表面にNiなどの金属層を例えば無電解めっき法で形成し、その上にはんだ層4を例えば電解めっき法で形成することが好ましい。
【0054】
コア2の直径は、典型的には、0.05mm以上1mm以下の範囲にある。コア2のサイズが上記の範囲にある場合、接合時の強度を十分高くすることができる。また、十分高い密度で基板等に接合することができる。SnとAgとの合金で形成されたはんだ層4または6の厚さは、典型的には、3μm以上50μm以下である。
【0055】
はんだ被覆ボール50は、BGAやCSP(Chip size package)などの入出力端子に用いられる。図2に、はんだ被覆ボール50を備えるBGAの一例を示す。図2(a)および(b)は、それぞれ、BGA70の斜視図および断面図である。図2(a)および(b)に示すように、BGA70は、インターポーザ62と、インターポーザ62の一方の面に搭載された半導体チップ64と、他方の面に接合された複数のはんだ被覆ボール50とを備えている。はんだ被覆ボール50は、図2(a)に示すように、インターポーザ62の面に格子状に配列されている。半導体チップ64は、樹脂66によって封止されている。半導体チップ64は、金属ワイヤ68およびインターポーザ62内に形成された配線69を介して、はんだ被覆ボール50と電気的に接続されている。
【0056】
上述したように本発明のはんだ被覆ボール50は、加熱溶融した際にボイドが形成されるのが十分抑制されるので、インターポーザ62にはんだ被覆ボール50を固定する際の接続不良や、位置ずれを抑制できるため、BGAの信頼性を高くすることができる。
【0057】
以下、少なくとも半導体チップを含む素子または装置において、はんだ被覆ボールが使用され得る接続構造を総称して半導体接続構造と呼ぶ。この半導体接続構造は、以下に説明する方法で形成される。
【0058】
まず図3(a)に示すように、はんだ被覆ボール50と、このはんだ被覆ボール50を接合する所望の基板20とを用意する。基板20は、例えば、BGA(図2)やCSPのインターポーザであり、基板20の主面には、導電材料で形成されたパッド18が設けられている。パッド18は例えば、Cu層12と、Niめっき層14と、Auめっき層16との積層体で構成される。次に、はんだ被覆ボール50をパッド18上に配置した状態で、はんだ被覆ボール50を加熱することによって、図3(b)に示すようにはんだ層4を溶融させる。溶融状態にあるはんだ層を図3(b)では4Aで示す。次に、この溶融状態にあるはんだ層4Aを冷却して固化させて、パッド18に接合する。以上により、半導体接続構造が形成される。
【0059】
この半導体接続構造では、基板20に対するはんだ被覆ボール50の接合強度が高く、また、位置ずれなどの不具合が生じにくい。従って、信頼性の高い半導体接続構造が提供される。
【0060】
以下、実施例を説明する。
【0061】
(実施例1)
実施例1のはんだ被覆ボール50は、はんだ層4が、単一のSnとAgとの合金層で構成されている。以下、実施例1のはんだ被覆ボール50の製造方法を説明する。
【0062】
まず、直径0.85mmの球状の銅コア2を用意する。また、トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィンを15g/l、メタンスルホン酸Sn(Snとして24g/l)、メタンスルホン酸Ag(Agとして0.7g/l)、メタンスルホン酸を60g/l、およびチオ尿素5g/lを含む溶液を用意し、アンモニア塩を添加して、PH4.0に調整されためっき液を用意する。
【0063】
上記めっき液を用い、Snを陽極電極として電流密度0.30A/dm2、浴温30℃でめっきを行い、SnとAgとの合金めっき層(厚さ35μm)4を銅コア2の表面に形成する。上記電解めっき工程は、バレル容器の中で処理される。
【0064】
以上の方法により、実施例1のはんだ被覆ボール(はんだ層4のAgの質量百分率が1.8%)が作製された。
【0065】
(実施例2)
実施例2のはんだ被覆ボール50も実施例1と同様に、はんだ層4が、単一のSnとAgとの合金層で構成されている。以下、実施例2のはんだ被覆ボール50の製造方法を説明する。
【0066】
まず、直径0.60mmの球状の銅コア2を用意する。また、トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィンを20g/l、メタンスルホン酸Sn(Snとして24g/l)、メタンスルホン酸Ag(Agとして0.95g/l)、メタンスルホン酸を70g/l、およびチオ尿素5g/lを含む溶液を用意し、アンモニア塩を添加して、PH4.0に調整されためっき液を用意する。
【0067】
上記めっき液を用い、Snを陽極電極として電流密度0.30A/dm2、浴温20℃でめっきし、SnとAgとの合金めっき層(厚さ20μm)4を銅コア2の表面に形成する。上記電解めっき工程は、バレル容器の中で処理される。
【0068】
以上の方法により、実施例2のはんだ被覆ボール(Agの質量百分率2.4%)が作製された。
【0069】
(実施例3)
実施例3のはんだ被覆ボール50は、はんだ層4が、SnとAgとの合金層6と、Ag層8との2層で構成されている。以下、実施例3のはんだ被覆ボール50の製造方法を説明する。
【0070】
まず、直径0.50mmの球状の銅コア2を用意する。また、トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィンを13g/l、メタンスルホン酸Sn(Snとして24g/l)、メタンスルホン酸Ag(Agとして0.4g/l)、およびメタンスルホン酸を50g/lを含む溶液を用意し、アンモニアを添加して、PH4.0に調整されためっき液を用意する。
【0071】
上記めっき液を用い、Snを陽極電極として電流密度0.30A/dm2、浴温30℃でめっきし、SnとAgとの合金層(厚さ10μm)6を銅コア2の表面に形成する。合金層6におけるAgの質量百分率は1.0%である。
【0072】
次に、ヨウ化銀めっき浴を用いて電解めっき法により、上記合金層6の上にAg層(厚さ0.17μm)8を形成する。電解めっき工程は、バレル容器の中で処理される。
【0073】
以上の方法により、実施例3のはんだ被覆ボールが作製された。このはんだ被覆ボールのはんだ層4は、SnとAgとの合金層6とAg層8とで構成され、はんだ層4におけるAgの質量百分率は3.5%である。
【0074】
比較のために、以下に説明する比較例1〜3のはんだ被覆ボールを作製した。
【0075】
(比較例1)
比較例1のはんだ被覆ボールは、以下のめっき液を用いて電解めっきを行うことにおいて実施例1と異なる。比較例1で用いためっき液は、メタンスルホン酸Sn(Snとして20g/l)、メタンスルホン酸Ag(Agとして0.3g/l)、およびメタンスルホン酸(100g/l)を含み、PHが1.0未満に調整されている。
【0076】
上記めっき液を用い、浴温を25℃とする以外は実施例1と同様の条件でめっきし、SnとAgとの合金めっき層(厚さ35μm)を銅コアの表面に形成する。以上の方法により、比較例1のはんだ被覆ボール(Agの質量百分率1.8%)が作製された。
【0077】
(比較例2)
比較例2のはんだ被覆ボールは、以下のめっき液を用いて電解めっきを行うことにおいて実施例2と異なる。比較例2で用いためっき液は、硫酸Sn(Snとして17g/l)、硫酸Ag(Agとして0.4g/l)、およびヨウ化カリウム(200g/l)を含み、PHが9.0に調整されている。
【0078】
上記めっき液を用い、浴温を25℃とする以外は実施例2と同様の条件でめっきし、SnとAgとの合金めっき層(厚さ20μm)を銅コアの表面に形成する。以上の方法により、比較例2のはんだ被覆ボール(Agの質量百分率2.4%)が作製された。
【0079】
(比較例3)
比較例3のはんだ被覆ボールは、SnとAgとの合金めっき用に以下のめっき液を用いることにおいて実施例3と異なる。比較例3で用いためっき液は、メタンスルホン酸Sn(Snとして18g/l)、メタンスルホン酸Ag(Agとして0.2g/l)、およびメタンスルホン酸(100g/l)を含み、PHが1.0未満に調整されている。
【0080】
上記めっき液を用い、浴温を25℃とする以外は実施例3と同様の条件でめっきし、SnとAgとの合金めっき層(厚さ10μm)を銅コアの表面に形成する。合金めっき層におけるAgの質量百分率は1.0%である。
【0081】
さらに、実施例3と同様のヨウ化銀めっき浴を用いて、上記合金めっき層の上にAg層(厚さ0.17μm)を形成する。
【0082】
以上の方法により、比較例3のはんだ被覆ボールが作製された。このはんだ被覆ボールのはんだ層は、SnとAgとの合金めっき層とAg層とで構成され、はんだ層におけるAgの質量百分率は3.5%である。
【0083】
(評価)
実施例および比較例のはんだ被覆ボールを評価するために、それぞれのはんだ被覆ボールに含まれる水分量を測定した。また、それぞれのはんだ被覆ボールを加熱溶融し、発生したボイドの数および最大直径を測定した。さらに、接合実験を行った。
【0084】
ボイドの最大直径およびボイド数は、以下のようにして測定した。まず図4(a)に示すように、主面にフラックス32が配置されたCu基板30の上に、はんだ被覆ボールを配置した。次に、図4(b)に示すように、250℃で10秒間加熱することにより、はんだ層4を溶融させた(溶融はんだ4A)。次に、図4(c)に示すように、はんだ被覆ボールのCuコア部分を除去した。Cuコアが除去された破面を上部から写真撮影すると共に、この破面に形成されたボイドの数および最大直径を測定した。ボイド数の測定には、直径10μm以上のボイドを対象とした。
【0085】
接合実験は、以下のようにして行った。100個のはんだ被覆ボールを図4(a)に示すようにCu基板30の上に配置した。次に図4(b)に示すように、はんだ層4を加熱溶融させた後、冷却して固化し、基板30に接合させた。なお、加熱溶融は、上述したはんだ被覆ボールを配置した基板30を、内部が250℃、かつ、窒素雰囲気に置換されたオーブンに10秒間静置することによって行った。その後オーブンから取り出して、室温まで放冷した。
【0086】
上記の方法で得られた100個のはんだ被覆ボールのうち、基板30から外れた(落下した)ものの数を数えた。
【0087】
(結果)
実施例1〜3および比較例1〜3の水分量、ボイド数およびボイドの最大直径の測定結果、ならびに、接合実験における落下個数を下記の表1に示す。
【0088】
【表1】
【0089】
表1から分かるように、実施例1〜3のはんだ被覆ボールはいずれも水分量が100μl/g以下であったのに対し、比較例1〜3のはんだ被覆ボールはいずれも200μl/gであった。
【0090】
表1から分かるように、実施例1〜3の場合、全くボイドが観察されなかったのに対し、比較例1〜3の場合、直径60〜80μmのボイドが12〜16個/mm2観察された。これにより、水分量が100μl/g以下である本実施例のはんだ被覆ボールでは、ボイドの発生が効果的に抑制されたことが確認できた。また、表1から分かるように、実施例1〜3の場合、接合不良が全く確認されなかったのに対して、比較例1〜3の場合では接合不良が確認された。これにより、本実施例のはんだ被覆ボールでは、より確実に接合可能であることが分かった。
【0091】
【発明の効果】
本発明により、加熱溶融時におけるボイドの発生が抑制されたSn−Ag系はんだ層を有するはんだ被覆ボールを簡易な製造方法で作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)および(b)は、本発明の一実施形態のはんだ被覆ボールの断面図である。
【図2】(a)および(b)は、それぞれ、本発明のはんだ被覆ボールを用いたBGAの斜視図および断面図である。
【図3】(a)および(b)は、本発明の半導体接続構造の形成方法を説明する図である。
【図4】(a)、(b)および(c)は、ボイドの確認方法を説明する図である。
【符号の説明】
2 コア
4 はんだ層
4A 溶融状態にあるはんだ層
6 第1金属層
8 第2金属層
12 Cu層
14 Niめっき層
16 Auめっき層
18 パッド
20 基板
30 基板
32 フラックス
50 はんだ被覆ボール
62 インターポーザ
64 半導体チップ
66 樹脂
68 金属ワイヤ
70 BGA[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a solder-coated ball used as an input / output terminal of a semiconductor device such as a BGA, and a method of manufacturing the ball.
[0002]
[Prior art]
With the high performance and miniaturization of computer equipment and the spread of information network equipment, the printed circuit boards used for them have also been required to have higher density packaging. Conventionally, as a high-density surface mount component, a QFP (Quad Flatpack Package) having lead terminals around the component has been often used, but in recent years, a BGA (Ball Grid Array) which is relatively small and can have a large number of pins has been used. Is used. There is also a use as a spacer member when stacking a quartz oscillator and an IC for temperature compensation.
[0003]
As shown in FIGS. 2A and 2B, the BGA (Ball Grid Array) is an LSI package in which a solder-coated
[0004]
When the above-mentioned solder layer is formed using a lead-tin-based material by an electrolytic plating method, when the solder-coated ball is heated and melted and joined to the interposer pad, voids (voids) are formed inside the mounted solder layer. There is a problem of being formed. The occurrence of voids causes a connection failure or misalignment between the interposer and the solder-covered ball, so that the reliability of the BGA is reduced.
[0005]
The present applicant has found that the cause of the void is hydrogen gas occluded in the solder layer formed by electrolytic plating, and that the generation of voids can be suppressed by reducing the amount of generated hydrogen gas. . Based on this, the present applicant reduced the amount of hydrogen gas occluded in the solder layer by controlling the ion concentrations of lead and tin in the plating solution and the current density when performing electrolytic plating. Thus, a method for reducing the generation of voids is disclosed (Patent Document 1).
[0006]
In recent years, solder containing lead is being replaced by lead-free solder (Pb-free solder). As the lead-free solder, for example, Sn-Ag-based solder or Sn-Ag-Cu-based solder is used.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-10-270736 (
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
When a solder-coated ball having a Sn-Ag-based solder layer was prepared by using an electrolytic plating method, and this was heated and melted, voids were generated as in the case of the solder-coated ball having a lead-tin-based solder layer described above. . As will be described later, as a result of an examination by the present inventors, it has been found that, unlike the lead-tin system, this void is generated by factors other than hydrogen gas, and is a problem unique to the Sn-Ag system.
[0009]
The present invention has been made in view of the above points, and provides a simple method of manufacturing a solder-coated ball having an Sn-Ag-based solder layer in which generation of voids during heating and melting is suppressed, and a solder-coated ball. With the goal.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The method for producing a solder-coated ball of the present invention includes a step of preparing a ball-shaped core and a step of forming a solder layer containing Sn and Ag so as to surround the core, and forming the solder layer. The process comprises 10-25 g / l of tris (3-hydroxypropyl) phosphine, 15-25 g / l of organic sulfonic acid Sn, 0.3-1.5 g / l of organic sulfonic acid Ag, 50-100 g / l of organic sulfonic acid, and ammonia Forming a first solder layer containing an alloy of Sn and Ag by an electroplating method using a plating solution containing: wherein the mass percentage of Ag in the first solder layer is 0.5% or more and 2% or more. 0.5% or less, thereby solving the above-mentioned problem.
[0011]
It is preferable that the plating solution further contains 3 to 12 g / l of thiourea.
[0012]
The step of forming the solder layer may further include a step of forming a second solder layer containing Ag.
[0013]
The second solder layer is formed by, for example, an electrolytic plating method, a vapor deposition method, or a colloid method.
[0014]
Preferably, the second solder layer is formed by an electrolytic plating method and has a thickness of 0.5 μm or less.
[0015]
It is preferable that the mass percentage of Ag in the solder layer is 3.0% or more and 4.0% or less.
[0016]
It is preferable that the first solder layer has a thickness of 3 μm or more and 50 μm or less.
[0017]
The core is formed of, for example, Cu, Al, or resin.
[0018]
The mass percentage of Ag in the solder layer is, for example, 3.5%.
[0019]
The core preferably has a diameter of 0.05 mm or more and 1 mm or less.
[0020]
Preferably, the solder-coated ball is manufactured by the method described above.
[0021]
The solder-coated ball of the present invention is a solder-coated ball having a ball-shaped core and a solder layer including Sn and Ag provided so as to surround the core, wherein the solder layer includes Sn and Ag. A first solder layer formed from an alloy of the following, wherein the mass percentage of Ag of the first solder layer is 0.5% or more and 2.5% or less, and the amount of water contained in the solder layer is The amount of water vapor in a standard state is 100 μl / g or less, which solves the above-mentioned problem.
[0022]
When the solder layer further includes a second solder layer provided so as to surround the first solder layer, the second solder layer includes Ag and has a thickness of 0.5 μm or less. Is preferred.
[0023]
It is preferable that the mass percentage of Ag in the solder layer is not less than 3.0% and not more than 4.0%.
[0024]
It is preferable that the first solder layer has a thickness of 3 μm or more and 50 μm or less.
[0025]
The core is formed of, for example, Cu, Al, or resin.
[0026]
The mass percentage of Ag in the solder layer is, for example, 3.5%.
[0027]
The core preferably has a diameter of 0.05 mm or more and 1 mm or less.
[0028]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In order to prove the cause of voids generated when a solder-coated ball provided with a Sn-Ag-based solder layer formed by using an electrolytic plating method is melted by heating, the inventors of the present invention used a solder layer during heating and melting. The released gas was analyzed. As a result, it was found that the main component of the released gas was water vapor. The present inventors have obtained the following findings based on this fact.
[0029]
The water vapor, which is the main component of the released gas, is the water trapped in the solder layer when the solder layer was formed by the electrolytic plating method, and was vaporized at the time of heating and melting. Upon heating and melting, water vapor was released from the solder layer, resulting in the formation of voids. Furthermore, the cause of trapping of moisture (a component that generates steam by heating) in the solder layer is mainly due to the Ag component contained in the solder layer. For example, a hydrolysis product of Ag (for example, Ag ( OH)).
[0030]
Based on the above findings, the present invention described below has been achieved.
[0031]
The solder-coated ball of the present invention has a ball-shaped core and a solder layer containing Sn and Ag provided so as to surround the core, and the amount of water contained in the solder layer is in a standard state. The amount of water vapor is controlled to be 100 μl / g or less.
[0032]
1A and 1B are cross-sectional views of a solder-coated
[0033]
A solder-coated
[0034]
As shown in FIG. 1B, even when the
[0035]
The solder layer included in the solder-coated ball of the present invention may be formed as a single layer as shown in FIG. 1A as long as the solder layer includes at least a solder layer formed of an alloy of Sn and Ag. , As shown in FIG. 1 (b).
[0036]
Since the amount of moisture contained in the
[0037]
In the present specification, the water content is measured by a method described below using a thermal desorption gas analyzer (TDS: Thermal Desorption Spectrometer (manufactured by EMD-WA100S Electronic Science Co., Ltd.)). The solder-coated ball is placed in an atmosphere evacuated to 2 × 10 −6 Pa or less, and the temperature is raised from room temperature to 600 ° C. at a rate of 0.5 ° C./sec. The mass of the gas generated during this time is measured for each component by a quadrupole mass spectrometer. The total amount of the gas components having a mass number of 18 is determined as water and converted to a standard volume. The value obtained by dividing this by the mass of the
[0038]
Next, a method of manufacturing the solder-coated
[0039]
First, a ball-shaped
[0040]
Next, a
[0041]
The
[0042]
According to the method described above, the solder-coated
[0043]
When it is desired to set the Ag mass percentage of the
[0044]
The solder-coated
[0045]
When forming the second solder layer 8 by the electrolytic plating method, the thickness of the second solder layer 8 is set to 0.5 μm or less. As described above, the reason why moisture is trapped in the solder layer formed by the electrolytic plating method is considered to be mainly due to the Ag component. Therefore, by reducing the thickness of the Ag layer sufficiently, the trapping of the solder layer is performed. This is because the amount of water to be produced can be reduced.
[0046]
When the second solder layer 8 is formed by a method other than the electroplating method, the thickness does not necessarily need to be set to 0.5 μm or less. Since the composition tends to be uniform, the formation of abnormal grains can be suppressed.
[0047]
According to the method described above, the Ag mass percentage of the
[0048]
Note that the thicknesses of the first solder layer 6 and the second solder layer 8 are determined based on a target solder composition ratio. In the solder-coated
[0049]
Further, the mass percentage of Ag in the
[0050]
The
[0051]
When the
[0052]
When the components of the solder layer are set to the eutectic composition, various advantages can be obtained. For example, when the solder layer is in a molten state, the fluidity is high and the workability is excellent. Further, since the composition and structure of the solidified solder are high, the mechanical strength is high, and the shear strength, tensile strength, and impact resistance are high. Therefore, it is preferable to use a solder layer having a eutectic composition.
[0053]
The material of the
[0054]
The diameter of the
[0055]
The solder-coated
[0056]
As described above, in the solder-coated
[0057]
Hereinafter, in an element or a device including at least a semiconductor chip, a connection structure in which a solder-coated ball can be used is collectively referred to as a semiconductor connection structure. This semiconductor connection structure is formed by a method described below.
[0058]
First, as shown in FIG. 3A, a solder-coated
[0059]
In this semiconductor connection structure, the bonding strength of the solder-coated
[0060]
Hereinafter, examples will be described.
[0061]
(Example 1)
In the solder-coated
[0062]
First, a
[0063]
Using the above plating solution, plating was performed at a current density of 0.30 A /
[0064]
By the above method, the solder-coated ball of Example 1 (the mass percentage of Ag of the
[0065]
(Example 2)
Similarly to the first embodiment, the solder-coated
[0066]
First, a
[0067]
Using the above plating solution, plating is performed at a current density of 0.30 A /
[0068]
By the above method, the solder-coated ball of Example 2 (Ag mass percentage: 2.4%) was produced.
[0069]
(Example 3)
In the solder-coated
[0070]
First, a
[0071]
Using the above plating solution, plating is performed at a current density of 0.30 A /
[0072]
Next, an Ag layer (thickness 0.17 μm) 8 is formed on the alloy layer 6 by an electrolytic plating method using a silver iodide plating bath. The electrolytic plating process is performed in a barrel container.
[0073]
With the above method, the solder-coated ball of Example 3 was produced. The
[0074]
For comparison, solder-coated balls of Comparative Examples 1 to 3 described below were produced.
[0075]
(Comparative Example 1)
The solder-coated ball of Comparative Example 1 is different from that of Example 1 in that electrolytic plating is performed using the following plating solution. The plating solution used in Comparative Example 1 contained methanesulfonic acid Sn (20 g / l as Sn), Ag methanesulfonic acid (0.3 g / l as Ag), and methanesulfonic acid (100 g / l). It is adjusted to less than 1.0.
[0076]
Using the above plating solution, plating is performed under the same conditions as in Example 1 except that the bath temperature is set to 25 ° C., and an alloy plating layer of Sn and Ag (thickness: 35 μm) is formed on the surface of the copper core. By the above method, the solder-coated ball of Comparative Example 1 (1.8% by mass of Ag) was produced.
[0077]
(Comparative Example 2)
The solder-coated ball of Comparative Example 2 is different from that of Example 2 in that electrolytic plating is performed using the following plating solution. The plating solution used in Comparative Example 2 contained Sn sulfate (17 g / l as Sn), Ag sulfate (0.4 g / l as Ag), and potassium iodide (200 g / l), and had a PH of 9.0. Has been adjusted.
[0078]
Using the above plating solution, plating is performed under the same conditions as in Example 2 except that the bath temperature is set to 25 ° C., and an alloy plating layer of Sn and Ag (thickness: 20 μm) is formed on the surface of the copper core. By the above method, the solder-coated ball of Comparative Example 2 (2.4% by mass of Ag) was produced.
[0079]
(Comparative Example 3)
The solder-coated ball of Comparative Example 3 differs from Example 3 in that the following plating solution is used for alloy plating of Sn and Ag. The plating solution used in Comparative Example 3 contained methanesulfonic acid Sn (18 g / l as Sn), Ag methanesulfonic acid (0.2 g / l as Ag), and methanesulfonic acid (100 g / l). It is adjusted to less than 1.0.
[0080]
Using the above plating solution, plating is performed under the same conditions as in Example 3 except that the bath temperature is 25 ° C., and an alloy plating layer of Sn and Ag (thickness: 10 μm) is formed on the surface of the copper core. The mass percentage of Ag in the alloy plating layer is 1.0%.
[0081]
Further, using the same silver iodide plating bath as in Example 3, an Ag layer (0.17 μm in thickness) is formed on the alloy plating layer.
[0082]
By the above method, the solder-coated ball of Comparative Example 3 was produced. The solder layer of this solder-coated ball is composed of an alloy plating layer of Sn and Ag and an Ag layer, and the mass percentage of Ag in the solder layer is 3.5%.
[0083]
(Evaluation)
In order to evaluate the solder-coated balls of Examples and Comparative Examples, the amount of water contained in each solder-coated ball was measured. Further, each solder-coated ball was heated and melted, and the number of voids generated and the maximum diameter were measured. Further, a joining experiment was performed.
[0084]
The maximum diameter and the number of voids were measured as follows. First, as shown in FIG. 4A, solder-coated balls were arranged on a
[0085]
The joining experiment was performed as follows. One hundred solder-coated balls were arranged on the
[0086]
Of the 100 solder-coated balls obtained by the above method, the number of balls that came off (dropped) from the
[0087]
(result)
Table 1 shows the measurement results of the water content, the number of voids and the maximum diameter of the voids in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3, and the number of drops in the joining experiment.
[0088]
[Table 1]
[0089]
As can be seen from Table 1, the solder-coated balls of Examples 1 to 3 all had a water content of 100 μl / g or less, whereas the solder-coated balls of Comparative Examples 1 to 3 all had a water content of 200 μl / g. Was.
[0090]
As seen from Table 1, in Examples 1-3, whereas did not at all voids observed in the case of Comparative Examples 1 to 3, voids having a diameter of 60~80μm is 12 to 16 / mm 2 observed Was. As a result, it was confirmed that the generation of voids was effectively suppressed in the solder-coated ball of this example having a water content of 100 μl / g or less. Further, as can be seen from Table 1, in Examples 1 to 3, no bonding failure was confirmed at all, whereas in Comparative Examples 1 to 3, bonding failure was confirmed. As a result, it was found that the solder-coated balls of the present example could be joined more reliably.
[0091]
【The invention's effect】
According to the present invention, a solder-coated ball having an Sn—Ag-based solder layer in which generation of voids during heating and melting is suppressed can be manufactured by a simple manufacturing method.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A and 1B are cross-sectional views of a solder-coated ball according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2A and 2B are a perspective view and a cross-sectional view of a BGA using the solder-coated ball of the present invention, respectively.
FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating a method for forming a semiconductor connection structure according to the present invention.
FIGS. 4A, 4B, and 4C are diagrams for explaining a method of confirming a void; FIGS.
[Explanation of symbols]
2
Claims (18)
前記コアを包囲するようにSnおよびAgを含むはんだ層を形成する工程とを包含し、
前記はんだ層を形成する工程は、
トリス(3−ヒドロキシプロピル)フォスフィン10〜25g/l、有機スルホン酸Sn15〜25g/l、有機スルホン酸Ag0.3〜1.5g/l、
有機スルホン酸50〜100g/l、およびアンモニアを含むめっき液を用いて電解めっき法により、SnとAgとの合金を含む第1のはんだ層を形成する工程を含み、
前記第1のはんだ層のAgの質量百分率が0.5%以上2.5%以下である、はんだ被覆ボールの製造方法。A step of preparing a ball-shaped core;
Forming a solder layer containing Sn and Ag so as to surround the core,
The step of forming the solder layer,
Tris (3-hydroxypropyl) phosphine 10-25 g / l, organic sulfonic acid Sn 15-25 g / l, organic sulfonic acid Ag 0.3-1.5 g / l,
Forming a first solder layer containing an alloy of Sn and Ag by electrolytic plating using a plating solution containing 50 to 100 g / l of organic sulfonic acid and ammonia,
A method for producing a solder-coated ball, wherein the mass percentage of Ag in the first solder layer is 0.5% or more and 2.5% or less.
前記コアを包囲するように設けられたSnおよびAgを含むはんだ層とを有するはんだ被覆ボールであって、
前記はんだ層は、SnとAgとの合金から形成された第1のはんだ層を含み、前記第1のはんだ層のAgの質量百分率が0.5%以上2.5%以下であり、かつ、前記はんだ層に含まれる水分量が、標準状態の水蒸気量で100μl/g以下である、はんだ被覆ボール。A ball-shaped core,
A solder-coated ball having a solder layer containing Sn and Ag provided to surround the core,
The solder layer includes a first solder layer formed of an alloy of Sn and Ag, wherein the mass percentage of Ag of the first solder layer is 0.5% or more and 2.5% or less, and A solder-coated ball, wherein the amount of water contained in the solder layer is 100 μl / g or less in a standard amount of water vapor.
前記第2のはんだ層はAgを含み、厚さが0.5μm以下である、請求項12に記載のはんだ被覆ボール。The solder layer further includes a second solder layer provided so as to surround the first solder layer,
13. The solder-coated ball according to claim 12, wherein the second solder layer contains Ag and has a thickness of 0.5 μm or less.
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