JP2004119370A - Proximity switch - Google Patents

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    • H03K17/945—Proximity switches
    • H03K17/95—Proximity switches using a magnetic detector
    • H03K17/9505—Constructional details

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a proximity switch composed by enhancing detection sensitivity more than a conventional one. <P>SOLUTION: A magnetic flux induction member 4 with a flange part 4b continuously formed at one end of a cylindrical body 4a is interlaid between a coil case 5 with a detection coil 6 and a core 7 housed, and a metallic case 3. The induction member 4 uses a non-magnetic metal body as a base material 41, and composed by forming a ferromagnetic metal thin film 42 throughout the entire inside and outside surfaces of the base material, and is fixed and disposed in a form wherein the flange part 4b abuts on the front edge of the metallic case 3, and the cylindrical body 4a is fitted in a recessed part 3b of the metallic case 3. Magnetic flux axially expanding from the detection coil 6 is collected by the thin film 42 of the induction member 4, and guided to the front direction of the detection direction. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

　この発明は、高周波磁界を用いて、金属製の被検出物体を非接触で検出する近接スイッチに関する。 The present invention relates to a proximity switch for detecting a metal object to be detected in a non-contact manner using a high-frequency magnetic field.

　図１７は、従来の代表的な近接スイッチの外観を示す。この近接スイッチは、本体ケース１０１の外周に金属製ケース１０２が被せられて成る。この金属製ケース１０２は、近接スイッチを取り付けるためのねじ部として機能するように、外周面の長さ方向に沿って多数の溝部１０２ａが形成されるとともに、ナット１０３が嵌め込まれている。本体ケース１０１内の前部には、検出コイルやコアなど（図示せず。）が収容されている。この本体ケース１０１，検出コイル、コアにより、近接スイッチの検出部が構成されるもので、本体ケース１０１の前面を介して前方に進行した高周波磁界により、被検査物体を検出するための検出エリアが設定される。 FIG. 17 shows an appearance of a typical conventional proximity switch. This proximity switch is formed by covering a metal case 102 around an outer periphery of a main body case 101. The metal case 102 has a large number of grooves 102a formed along the length direction of the outer peripheral surface and a nut 103 fitted therein so as to function as a screw portion for attaching the proximity switch. A detection coil, a core, and the like (not shown) are housed in a front portion in the main body case 101. The main body case 101, the detection coil, and the core constitute a detection unit of the proximity switch, and a detection area for detecting an object to be inspected by a high-frequency magnetic field that advances forward through the front surface of the main body case 101 is formed. Is set.

　上記図１７の近接スイッチは、前記金属製ケース１０２により本体ケース１０１が全長にわたって被覆されたシールドタイプのスイッチである。このシールドタイプの近接スイッチでは、検出コイルからその径方向へと拡がる磁束は金属製ケース１０２によって抑制されるようになる。このシールドタイプの近接スイッチは、主として、金属体に埋め込んで固定した状態で使用されるが、径方向への磁束が抑制されると、検出方向である前方向への磁束も減少し、検出距離が短くなる、という欠点がある。 The proximity switch shown in FIG. 17 is a shield type switch in which the main body case 101 is covered with the metal case 102 over the entire length. In this shield type proximity switch, the magnetic flux spreading from the detection coil in the radial direction is suppressed by the metal case 102. This shield type proximity switch is mainly used in a state where it is embedded and fixed in a metal body, but if the magnetic flux in the radial direction is suppressed, the magnetic flux in the forward direction, which is the detection direction, also decreases, and the detection distance However, there is a disadvantage in that

　このほか近接スイッチには、検出部の前端部を露出させた非シールドタイプのものがある。この非シールドタイプの近接スイッチでは、検出コイルから径方向に拡がる磁束が制限されることがないので、磁束は前方側にも大きく広がり、シールドタイプの近接スイッチと比較すると、より遠方の物体まで検出することができる。ただし、この種の近接スイッチには、周囲金属の影響を受けやすい、という欠点があるので、金属体に埋め込まずに固定することが可能な環境で使用される。 ほ か In addition, there are non-shielded proximity switches in which the front end of the detection unit is exposed. With this unshielded proximity switch, the magnetic flux that spreads out from the detection coil in the radial direction is not limited, so the magnetic flux also spreads greatly to the front side, and it can detect even more distant objects compared to the shield type proximity switch. can do. However, this type of proximity switch has a drawback that it is susceptible to surrounding metals, and is used in an environment where it can be fixed without being embedded in a metal body.

　前記したように、シールドタイプの近接スイッチでは、金属製ケースのシールド機能によって検出コイルからの磁束が弱められてしまうので、非シールドタイプの近接スイッチと比較すると、検出距離は著しく短くなる。この問題を解決するために、出願人は、先般、検出部と金属製ケースとの間に、強磁性金属による磁束誘導部材を設け、この部材を介して検出コイルから径方向に広がる磁束を検出方向側に誘導することを提案した（特許文献１参照）。 As described above, in the shielded proximity switch, since the magnetic flux from the detection coil is weakened by the shielding function of the metal case, the detection distance is significantly shorter than that in the unshielded proximity switch. In order to solve this problem, the applicant has recently provided a magnetic flux guide member made of a ferromagnetic metal between the detection unit and the metal case, and detects a magnetic flux spreading radially from the detection coil through this member. It has been proposed to guide in the direction side (see Patent Document 1).

特開２００１−１５５６０４号公報　（４〜５頁，図１〜図５）JP 2001-155604 A (pages 4 to 5, FIGS. 1 to 5)

　しかしながらその後の研究により、上記のような強磁性体による磁束誘導部材を用いると、この磁束誘導部材自体での渦電流による損失が増加し、十分な検出感度を得られなくなることが判明した。以下、その理由について説明する。 However, subsequent research has revealed that the use of the above-described magnetic flux guide member made of a ferromagnetic material increases the loss due to eddy currents in the magnetic flux guide member itself, making it impossible to obtain sufficient detection sensitivity. Hereinafter, the reason will be described.

　前記特許文献１に記載の近接センサでは、表皮深さ（磁束が浸透する深さ）に対する磁束誘導部材の厚みが大きいため、この磁束誘導部材に生じた渦電流による損失Ｗｅは、つぎの（１）式により表される。
　Ｗｅ　∝　（μ・ρ）1/2・ｔ　　・・・（１） In the proximity sensor described in Patent Document 1, since the thickness of the magnetic flux guide member is large with respect to the skin depth (the depth at which magnetic flux penetrates), the loss We due to the eddy current generated in the magnetic flux guide member is expressed by the following equation (1). ) Expression.
We ∝ (μ ・ ρ) 1/2・ t (1)

　上記（１）式において、μは金属体の透磁率，ρは体積抵抗率，ｔは厚みである。この（１）式に示すように、体積抵抗率ρが高くなるほど、また物体の厚みｔが大きくなるほど、損失Ｗｅは大きくなる。強磁性金属体では、体積抵抗率ρが大きくなるので、前記磁束誘導部材として強磁性金属体を使用すると、この部材の体積抵抗率や厚みによって渦電流による損失が増加してしまう。 に お い て In the above equation (1), μ is the magnetic permeability of the metal body, ρ is the volume resistivity, and t is the thickness. As shown in the equation (1), the loss We increases as the volume resistivity ρ increases and the thickness t of the object increases. In the case of a ferromagnetic metal, the volume resistivity ρ is large. Therefore, when a ferromagnetic metal is used as the magnetic flux guide member, the loss due to eddy current increases due to the volume resistivity and thickness of the member.

　一方、近接スイッチの検出感度は、距離感度により表すことができる。距離感度とは、近接スイッチと被検出物体との距離の変化に対するコンダクタンスの変化の割合Δｇｌとして表されるもので、この距離感度Δｇｌの値が大きいほど物体検出能力が高い、ということができる。 On the other hand, the detection sensitivity of the proximity switch can be represented by the distance sensitivity. The distance sensitivity is expressed as a ratio Δgl of a change in conductance with respect to a change in the distance between the proximity switch and the detected object. It can be said that the greater the value of the distance sensitivity Δgl, the higher the object detection capability.

　距離感度Δｇｌの具体的な算出式は、つぎの（２）式のとおりである。なお、この（２）式において、ＧＬ０は、被検出物体が任意の距離Ｌ０だけ離れている場合に得られるコンダクタンスであり、抵抗Ｒ，近接スイッチ内のキャパシタンスＣ，コイルや磁束誘導部材などのインダクタンスＬを（３）式にあてはめることにより求められる。 A specific calculation formula of the distance sensitivity Δgl is as the following formula (2). In the equation (2), GL0 is a conductance obtained when the detected object is separated by an arbitrary distance L0, and includes a resistance R, a capacitance C in a proximity switch, a coil, a magnetic flux induction member, and the like. It is determined by applying the inductance L to the equation (3).

Figure 2004119370
Figure 2004119370

Figure 2004119370
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　前記（３）式の抵抗Ｒは、主として、コイルにおける銅損や渦電流をはじめとする鉄損に起因する。渦電流による損失Ｗｅが増加すると、抵抗Ｒの増加によってコンダクタンスＧＬ０も増加することになる。このようにコンダクタンスＧＬ０が増加すると、（２）式の分母の値が大きくなることになるから、距離感度Δｇｌは、小さくなる方向に変化する、ということになる。 The resistance R in the expression (3) is mainly caused by iron loss such as copper loss and eddy current in the coil. When the loss We due to the eddy current increases, the conductance G L0 also increases due to the increase in the resistance R. With such conductance G L0 is increased, since would increase the value of the denominator of (2), the distance sensitivity Δgl changes to decrease direction, it comes to.

　したがって、前記特許文献１に記載された強磁性の磁束誘導部材は、検出部からの磁束を検出方向に導きはするものの、この磁束誘導部材での渦電流による損失が大きくなるために距離感度Δｇｌが低下し、物体の検出能力を十分に高められない、ということになる。 Therefore, although the ferromagnetic flux guide member described in Patent Document 1 guides the magnetic flux from the detection unit in the detection direction, the loss due to the eddy current in the flux guide member increases, so that the distance sensitivity Δgl And the detection capability of the object cannot be sufficiently increased.

　この発明は上記問題点に着目してなされたもので、強磁性体による磁束誘導の効果を持ちつつ、従来の強磁性体の磁束誘導部材において発生した磁束の損失を少なくすることによって、従来よりも検出感度を高めた近接スイッチを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and has the effect of inducing magnetic flux by a ferromagnetic material while reducing the loss of magnetic flux generated in a conventional magnetic flux guiding member of a ferromagnetic material. Another object of the present invention is to provide a proximity switch with improved detection sensitivity.

　この発明にかかる第１の近接スイッチは、コイルおよびコアを含む検出部と、前記検出部の外周に配備される金属製ケースとを具備する。前記検出部の外側または検出部内の前記コアよりも外側には、コイルからの磁束を検出方向に誘導するための磁束誘導部材が配備される。この磁束誘導部材は、非磁性の金属体の表面の少なくとも一部に強磁性の金属薄膜が形成されて成るものである。 The first proximity switch according to the present invention includes a detection unit including a coil and a core, and a metal case provided on an outer periphery of the detection unit. A magnetic flux guide member for guiding magnetic flux from a coil in a detection direction is provided outside the detection unit or outside the core in the detection unit. This magnetic flux guide member is formed by forming a ferromagnetic metal thin film on at least a part of the surface of a non-magnetic metal body.

　前記検出部は、コイルが挿入されたコアを、ポリブチレンテレフラレート（ＰＢＴ）樹脂のような耐熱性の高い樹脂でモールドして構成することができる。この検出部では、コイルおよびコアの一方の端面を被覆する部分の表面が、物体検出用の磁界を発する検出面として機能することになる。なお、この明細書では、検出面を近接スイッチの前面として、各部材間の前後関係を示す。 検 出 The detection unit can be configured by molding a core into which a coil is inserted with a resin having high heat resistance such as polybutylene terephthalate (PBT) resin. In this detection section, the surface of the portion covering one end face of the coil and the core functions as a detection surface that emits a magnetic field for object detection. In this specification, the front-rear relationship between the members is shown with the detection surface as the front surface of the proximity switch.

　前記金属製ケースは、黄銅（Ｃｕ），ステンレス（ＳＵＳ）などの非磁性金属により構成するのが望ましい。またこの金属製ケースには、スイッチ取り付け用のねじ部としての機能を付与することができる。 The metal case is preferably made of a non-magnetic metal such as brass (Cu) and stainless steel (SUS). Further, the metal case can be provided with a function as a screw portion for mounting the switch.

　前記金属製ケースは、前記検出部の外周をほぼ全長にわたって被覆するか、または、コイルおよびコアに対応する外周部分を露出させた状態で配備することができる。前者の構成は前記したシールドタイプの近接スイッチに相当し、後者の構成は非シールドタイプの近接スイッチに相当する。 (4) The metal case can be provided so as to cover the outer periphery of the detecting portion over substantially the entire length, or to expose the outer peripheral portions corresponding to the coil and the core. The former configuration corresponds to the above-described shield type proximity switch, and the latter configuration corresponds to the non-shield type proximity switch.

　上記構成の近接スイッチによれば、磁束誘導部材は、検出体の外側、または検出体内のコアよりも外側に配備されるので、コイルからその径方向に沿って拡がる磁束を受け付けることができる。ここで磁束誘導部材の表面には、強磁性の金属薄膜が形成されているので、前記コイルからその径方向に沿って拡がる磁束は、この金属薄膜を介して検出方向（ケース体の前面から前方に向かう方向）に誘導されるようになる。 According to the proximity switch having the above-described configuration, the magnetic flux guide member is provided outside the detection body or outside the core in the detection body, so that the magnetic flux can be received from the coil in the radial direction. Here, since a ferromagnetic metal thin film is formed on the surface of the magnetic flux guiding member, the magnetic flux spreading from the coil along its radial direction is detected through the metal thin film in the detection direction (from the front to the front of the case body). Direction).

　前記磁束誘導部材の表面に形成される金属薄膜の厚みは表皮深さに近い、と考えることができる。このような表皮深さに近い厚みの金属での渦電流による損失Ｗｅは、前記した（１）式で表されるのではなく、つぎの（４）式により表されることになる。
　Ｗｅ　∝　（μ２／ρ）・ｔ２・ｖ　　・・・（４） It can be considered that the thickness of the metal thin film formed on the surface of the magnetic flux guiding member is close to the skin depth. The loss We due to the eddy current in such a metal having a thickness close to the skin depth is not expressed by the above-mentioned expression (1) but by the following expression (4).
We ∝ (μ 2 / ρ) · t 2 · v (4)

　上記（４）式において、μ，ρ，ｔは、前記（１）式と同じパラメータであり、ｖは金属体の体積である。前記の金属薄膜は、強磁性金属により形成されるので、透磁率μは高いが、ｔやｖの値は、きわめて小さくなる。よって、この強磁性の金属薄膜に起因する損失を小さくすることができる。 に お い て In the above equation (4), μ, ρ, and t are the same parameters as in the above equation (1), and v is the volume of the metal body. Since the metal thin film is formed of a ferromagnetic metal, the magnetic permeability μ is high, but the values of t and v are extremely small. Therefore, the loss caused by this ferromagnetic metal thin film can be reduced.

　一方、磁束誘導部材の母材による損失には、前記（１）式が適用されるが、この母材は非磁性の金属体であるので、（１）式のμの値が小さくなる。したがって金属薄膜を通過して母材側へと漏れる磁束により生じる損失を小さくすることができる。 On the other hand, the above equation (1) is applied to the loss due to the base material of the magnetic flux guiding member. However, since this base material is a non-magnetic metal body, the value of μ in the expression (1) becomes small. Therefore, the loss caused by the magnetic flux leaking toward the base material through the metal thin film can be reduced.

　このように、磁束誘導部材の母材，金属薄膜のいずれにおいても、渦電流による損失を小さくすることができる。したがって、前記（３）式の抵抗Ｒを小さくしてコンダクタンスＧＬ０を小さくすることができ、もって前記距離感度Δｇｌを向上させることが可能となる。 Thus, the loss due to the eddy current can be reduced in both the base material of the magnetic flux guiding member and the metal thin film. Thus, the (3) it is possible to reduce the conductance G L0 to reduce the resistance R of the formula, it is possible to improve the distance sensitivity Δgl have.

　つぎに、この発明にかかる第２の近接スイッチは、ケース体の内部にコイルおよびコアが収容された検出部と、前記ケース体の外周に取り付けられた金属製ケースとを具備する。前記検出部には、コイルからの磁束を検出方向に誘導するための磁束誘導部材が前記ケース体の外周面または内周面に接した状態で配備される。この磁束誘導部材は、非磁性の金属体の表面の少なくとも一部に強磁性の金属薄膜が形成されて成るものである。 Next, a second proximity switch according to the present invention includes a detection unit in which a coil and a core are housed inside a case body, and a metal case attached to an outer periphery of the case body. A magnetic flux guiding member for guiding a magnetic flux from the coil in a detection direction is provided in the detection unit in a state of being in contact with an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of the case body. This magnetic flux guide member is formed by forming a ferromagnetic metal thin film on at least a part of the surface of a non-magnetic metal body.

　前記検出部のケース体は、ＰＢＴ樹脂のような耐熱性の高い樹脂により成型されるのが望ましい。なお、このケース体の表面のうち、コイルおよびコアの一端面に対応する部分が前記した検出面、すなわち近接スイッチの前面として機能することになる。
　前記ケース体には、コイルおよびコアのほか、共振回路などの回路が配線された基板を収容できるだけの長さをもたせてもよい。また、ケース体の空洞部分には、樹脂を充填するのが望ましい。 It is desirable that the case body of the detection unit is molded from a resin having high heat resistance such as PBT resin. Note that, of the surface of the case body, a portion corresponding to one end surface of the coil and the core functions as the detection surface, that is, the front surface of the proximity switch.
The case body may be long enough to accommodate a board on which a circuit such as a resonance circuit is wired in addition to the coil and the core. Further, it is desirable to fill the hollow portion of the case body with resin.

　前記金属製ケースは、第１の近接スイッチと同様に、黄銅（Ｃｕ），ステンレス（ＳＵＳ）などの非磁性金属により構成するのが望ましい。またこの金属製ケースにも、スイッチ取り付け用のねじ部としての機能を付与することができる。
　この金属製ケースは、前記ケース体に対し、外側から嵌め込む方法で取り付けることができる。ここで、前記コイルおよびコアに対応する部分を含め、ケース体の外周のほぼ全長にわたる範囲が被覆されるように金属製ケースを取り付けた場合には、前記したシールドタイプの近接スイッチが提供されることになる。また前記コイルおよびコアに対応する部分を被覆せずに、ケース体の後端位置に金属製ケースの前端を対応させた場合には、非シールドタイプの近接スイッチが提供されることになる。 The metal case is preferably made of a non-magnetic metal such as brass (Cu) or stainless steel (SUS), like the first proximity switch. The metal case can also be provided with a function as a screw portion for mounting the switch.
This metal case can be attached to the case body by a method of fitting from the outside. Here, when the metal case is attached so as to cover a substantially entire range of the outer circumference of the case body including the portion corresponding to the coil and the core, the above-described shield type proximity switch is provided. Will be. When the front end of the metal case is made to correspond to the rear end position of the case body without covering the portion corresponding to the coil and the core, an unshielded proximity switch is provided.

　上記第２の近接スイッチでも、磁束誘導部材は、第１の近接スイッチと同様に、検出体の外側、または検出体内のコアよりも外側に配備されることになるので、コイルからその径方向に沿って拡がる磁束を受け付けることができる。よって、第１の近接スイッチについて述べたのと同様の原理により、コイルからの磁束を検出方向に誘導することができる。また、磁束誘導部材の母材，金属薄膜のいずれにおいても、渦電流による損失を小さくすることができるから、距離感度Δｇｌを向上させることが可能となる。 In the second proximity switch as well, the magnetic flux guide member is provided outside the detection body or outside the core in the detection body similarly to the first proximity switch. The magnetic flux that spreads along can be received. Therefore, the magnetic flux from the coil can be guided in the detection direction based on the same principle as described for the first proximity switch. Further, the loss due to the eddy current can be reduced in any of the base material of the magnetic flux guiding member and the metal thin film, so that the distance sensitivity Δgl can be improved.

　なお、第１，第２のいずれの近接スイッチにおいても、シールドタイプの近接スイッチとして構成される場合には、磁束誘導部材は、近接スイッチの長さ方向において、少なくともコイルに対応する範囲に設けられるのが望ましい。一方、非シールドタイプの近接スイッチとして構成される場合の磁束誘導部材は、コイルよりも後方に配備してもよい。
　また、第１，第２のいずれの近接スイッチでも、磁束誘導部材は、周壁部（磁束誘導部材の前端と後端との間の部分）が全周にわたって連なった形態をとるのが望ましい。ただし、これに限らず、周壁部の一部に間隙が形成された形態のものを使用してもよい。 In the case where each of the first and second proximity switches is configured as a shield type proximity switch, the magnetic flux guide member is provided at least in a range corresponding to the coil in the length direction of the proximity switch. It is desirable. On the other hand, when configured as an unshielded proximity switch, the magnetic flux guide member may be provided behind the coil.
In any of the first and second proximity switches, the magnetic flux guiding member preferably has a form in which a peripheral wall portion (a portion between the front end and the rear end of the magnetic flux guiding member) is continuous over the entire circumference. However, the configuration is not limited to this, and a configuration in which a gap is formed in a part of the peripheral wall portion may be used.

　上記した第２の近接スイッチには、つぎの２種類の磁束誘導部材を使用することができる。
　第１の磁束誘導部材は、両端が開口された中空の本体部の一端にフランジ部が形成されて成る。これに対し、第２の磁束誘導部材は、両端が開口された中空体（すなわち第１の磁束誘導部材の本体部のみ）として構成される。 The following two types of magnetic flux guiding members can be used for the above-mentioned second proximity switch.
The first magnetic flux guide member is formed by forming a flange at one end of a hollow main body having both ends opened. On the other hand, the second magnetic flux guiding member is configured as a hollow body having both ends opened (that is, only the main body of the first magnetic flux guiding member).

　第１の磁束誘導部材を用いた場合には、つぎの２つの態様を考えることができる。
　まず、第１の態様では、前記磁束誘導部材は、本体部がケース体と金属製ケースとの間に位置し、かつ前記フランジ部が金属製ケースの前端縁よりも前方に位置するように配備される。すなわち、この態様では、磁束誘導部材の本体部の内周面がケース体の外周面に接した状態とすることができる。 When the first magnetic flux guide member is used, the following two modes can be considered.
First, in the first aspect, the magnetic flux guiding member is disposed such that the main body is located between the case body and the metal case, and the flange portion is located forward of the front edge of the metal case. Is done. That is, in this embodiment, the inner peripheral surface of the main body of the magnetic flux guide member can be in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the case body.

　上記態様にかかる近接スイッチは、金属製ケースの内周面またはケース体の外周面に磁束誘導部材の本体部を嵌め込むための凹部を形成し、この凹部により磁束誘導部材を固定することにより製作することができる。または、インサート成型により磁束誘導部材をケース体の外周面に一体化することもできる。 The proximity switch according to the above aspect is manufactured by forming a concave portion for fitting the main body of the magnetic flux guide member on the inner peripheral surface of the metal case or the outer peripheral surface of the case body, and fixing the magnetic flux guide member by the concave portion. can do. Alternatively, the magnetic flux guiding member can be integrated with the outer peripheral surface of the case body by insert molding.

　第１の磁束誘導部材を用いた第２の態様の近接スイッチでは、前記磁束誘導部材は、フランジ部を前にした状態で、フランジ部および本体部がケース体の内面に設けられる。この態様にかかる近接スイッチでは、ケース体の内周面にフランジ部や本体部の形状に応じた凹部を形成し、この凹部内に磁束誘導部材を嵌め込むことによって、磁束誘導部材とケース体とを一体化してもよい。または、１番目の態様と同様に、インサート成型により磁束誘導部材が一体化されたケース体を製作することもできる。
　なお、上記いずれの製作方法をとる場合にも、前記フランジ部は、ケース体の前面側の肉厚内に位置させることができる。またケース体の周壁部（コアの周囲を取り囲む部分であり、前記内周面を構成する。）の肉厚が十分であれば、前面側に所定の厚みを確保し、その厚み分だけ後退した位置にフランジ部を配備してもよい。いずれの構成をとる場合にも、フランジ部の前端面は、ケース体の前面により被覆された状態となる。 In the proximity switch according to the second aspect using the first magnetic flux guiding member, the magnetic flux guiding member has a flange portion and a main body portion provided on an inner surface of the case body with the flange portion facing forward. In the proximity switch according to this aspect, a concave portion corresponding to the shape of the flange portion or the main body portion is formed on the inner peripheral surface of the case body, and the magnetic flux guiding member is fitted into the concave portion, so that the magnetic flux guiding member and the case body May be integrated. Alternatively, similarly to the first embodiment, a case body in which the magnetic flux guide member is integrated by insert molding can be manufactured.
In any of the above manufacturing methods, the flange portion can be located within the thickness of the front side of the case body. If the thickness of the peripheral wall of the case body (the portion surrounding the periphery of the core and constituting the inner peripheral surface) is sufficient, a predetermined thickness is secured on the front side, and the casing is retracted by the thickness. A flange may be provided at the position. In any case, the front end surface of the flange portion is covered with the front surface of the case body.

　第１の磁束誘導部材について、上記２つの態様のいずれを採用する場合も、強磁性の金属薄膜は、少なくとも、前記フランジ部の前端面および外周面と、フランジ部および本体部にかかる内周面全体とに形成される。すなわち、コイルに近い磁束誘導部材の内周面と、検出方向に近いフランジ部の前端面やフランジ部の外周面に、強磁性の金属薄膜が形成されることになる。コイルからその径方向に沿って拡がった磁束は、磁束誘導部材の内周面で集められた後にフランジ部の前端面へと誘導される。また前記内周面の金属薄膜を通過して本体部の外周側へと逃げた磁束についても、前記フランジ部の外周面の金属薄膜を介してフランジ部の前端面に誘導することが可能となる。このように磁束を効率良く誘導して、検出方向への磁束を大きくすることが可能となる。 Regardless of which of the above two aspects is adopted for the first magnetic flux guide member, the ferromagnetic metal thin film includes at least a front end surface and an outer peripheral surface of the flange portion, and an inner peripheral surface covering the flange portion and the main body portion. The whole is formed. That is, a ferromagnetic metal thin film is formed on the inner peripheral surface of the magnetic flux guide member near the coil, and on the front end surface of the flange portion and the outer peripheral surface of the flange portion near the detection direction. The magnetic flux that has spread from the coil in the radial direction is collected on the inner peripheral surface of the magnetic flux guide member and then guided to the front end surface of the flange portion. Also, the magnetic flux that has passed through the metal thin film on the inner peripheral surface and escaped to the outer peripheral side of the main body can be guided to the front end face of the flange through the metal thin film on the outer peripheral surface of the flange. . As described above, it is possible to efficiently guide the magnetic flux and increase the magnetic flux in the detection direction.

　前記第２の近接スイッチに第２の磁束誘導部材を適用する場合には、以下の３つの態様を考えることができる。まず、１番目の態様では、前記磁束誘導部材は、ケース体と金属製ケースとの間に配備される。すなわち、磁束誘導部材を構成する中空体の内周面をケース体の外周面に接した状態にすることができる。 When the second magnetic flux guiding member is applied to the second proximity switch, the following three modes can be considered. First, in the first mode, the magnetic flux guide member is provided between the case body and the metal case. That is, the inner peripheral surface of the hollow body constituting the magnetic flux guiding member can be brought into contact with the outer peripheral surface of the case body.

　上記の態様でも、第１の磁束誘導部材にかかる第１の態様と同様に、金属製ケースの内周面またはケース体の外周面に凹部を形成し、その凹部内に磁束誘導部材を固定することができる。また、インサート成型により、磁束誘導部材をケース体の外周面に一体化することもできる。
　なお、この態様では、中空体の全長がケース体と金属製ケースとの間に含まれるようにしても良いが、これに限らず、たとえば、金属製ケースの前端縁に対し、中空体を若干前方に突出させて配備してもよい。また、この態様にかかる中空体の前端面は、ケース体の前面に位置合わせされるなど、露出した状態であってもよい。 In the above aspect, similarly to the first aspect of the first magnetic flux guide member, a concave portion is formed on the inner peripheral surface of the metal case or the outer peripheral surface of the case body, and the magnetic flux guide member is fixed in the concave portion. be able to. Further, the magnetic flux guiding member can be integrated with the outer peripheral surface of the case body by insert molding.
In this embodiment, the entire length of the hollow body may be included between the case body and the metal case, but is not limited thereto. It may be deployed so as to protrude forward. In addition, the front end surface of the hollow body according to this aspect may be in an exposed state such as being aligned with the front surface of the case body.

　２番目の態様では、磁束誘導部材は、中空体の前端面がケース体の前面よりも後方に位置するようにして、ケース体の外周面に設けられる。たとえば、ケース体の周壁部の外周側に中空体の形状に応じた凹部を形成し、この凹部に前記中空体を嵌め込むことにより、ケース体と磁束誘導部材とを一体化することができる。また、この態様でも、前記第１の磁束誘導部材の場合と同様に、インサート成型により磁束誘導部材が一体化されたケース体を製作することができる。なおいずれの製作方法を用いる場合にも、ケース体に一体化された中空体の外周面とそれより後方のケース体の外周面との間に段差ができないようにするのが望ましい。 In the second aspect, the magnetic flux guiding member is provided on the outer peripheral surface of the case body such that the front end surface of the hollow body is located behind the front surface of the case body. For example, by forming a concave portion corresponding to the shape of the hollow body on the outer peripheral side of the peripheral wall portion of the case body, and fitting the hollow body into the concave portion, the case body and the magnetic flux guide member can be integrated. Also in this aspect, similarly to the case of the first magnetic flux guide member, a case body in which the magnetic flux guide member is integrated by insert molding can be manufactured. Regardless of the method used, it is preferable that no step is formed between the outer peripheral surface of the hollow body integrated with the case body and the outer peripheral surface of the case body behind it.

　３番目の態様では、磁束誘導部材は、前記ケース体の内周面に設けられる。この場合には、ケース体の周壁部の内周側に中空体の形状に応じた凹部を形成し、この凹部内に中空体を嵌め込むことによって、ケース体と磁束誘導部材とを一体化することができる。または、インサート成型により、磁束誘導部材が一体化されたケース体を製作することもできる。 In the third aspect, the magnetic flux guiding member is provided on the inner peripheral surface of the case body. In this case, a concave portion corresponding to the shape of the hollow body is formed on the inner peripheral side of the peripheral wall portion of the case body, and the case body and the magnetic flux guide member are integrated by fitting the hollow body into the concave portion. be able to. Alternatively, a case body in which the magnetic flux guiding member is integrated can be manufactured by insert molding.

　第２の磁束誘導部材について、上記３つの態様のいずれを採用する場合にも、強磁性の金属薄膜は、少なくとも、前記中空体の前端面および内周面、ならびに外周面の前端部に形成される。すなわち、中空体の表面のうち、コイルに近い内周面と、検出方向に近い前端面および外周面の前端部とに、強磁性の金属薄膜が形成されることになる。よって、コイルからその径方向に拡がった磁束を、磁束誘導部材の内周面で集めた後に前端面に誘導することができる。また、内周面の金属薄膜を通過して外周面の後方側に逃げる磁束についても、中空体の外周面の前端部に形成された金属薄膜を介して前方の検出方向へと誘導することができる。 Regardless of which of the above three aspects is adopted for the second magnetic flux guide member, the ferromagnetic metal thin film is formed at least on the front end surface and the inner peripheral surface of the hollow body, and on the front end portion of the outer peripheral surface. You. That is, a ferromagnetic metal thin film is formed on the inner peripheral surface near the coil and the front end surface and the outer peripheral surface near the detection direction in the surface of the hollow body. Thus, the magnetic flux that has spread in the radial direction from the coil can be guided to the front end face after being collected on the inner peripheral surface of the magnetic flux guide member. Also, the magnetic flux passing through the metal thin film on the inner peripheral surface and escaping to the rear side of the outer peripheral surface can be guided in the forward detection direction via the metal thin film formed on the front end of the outer peripheral surface of the hollow body. it can.

　このように、第１、第２のいずれの磁束誘導部材を用いた場合にも、センサの前面側に磁束を効率良く誘導して、検出方向への磁束を大きくすることが可能となる。なお、第１の磁束誘導部材では、フランジ部の前端面の存在により、検出方向に磁束を誘導する力が第２の磁束誘導部材よりも高められると考えることができる。 に も Either of the first and second magnetic flux guide members can efficiently guide the magnetic flux to the front side of the sensor and increase the magnetic flux in the detection direction. In the first magnetic flux guiding member, it can be considered that the presence of the front end face of the flange portion increases the force for guiding the magnetic flux in the detection direction as compared with the second magnetic flux guiding member.

　また、第１の磁束誘導部材にかかる第２の態様、および第２の磁束誘導部材にかかる第２、第３の態様によれば、ケース体によって磁束誘導部材の前端部を保護することができるので、前端の金属薄膜が露出して損傷するのを防ぐことができる。また、第１の磁束部材誘導部材にかかる第２の態様、および第２の磁束誘導部材にかかる第３の態様によれば、磁束誘導部材全体がケース体の内部で保護されるので、水や油から金属薄膜を保護することができる。 Further, according to the second aspect of the first magnetic flux guide member and the second and third aspects of the second magnetic flux guide member, the front end of the magnetic flux guide member can be protected by the case body. Therefore, it is possible to prevent the metal thin film at the front end from being exposed and damaged. In addition, according to the second aspect of the first magnetic flux member guiding member and the third aspect of the second magnetic flux guiding member, the entire magnetic flux guiding member is protected inside the case body. The metal thin film can be protected from oil.

　なお、上記第１，第２の磁束誘導部材は、前記した第１の近接スイッチに使用することもできる。たとえば、第１の磁束誘導部材については、本体部を検出部と金属製ケースとの間に位置させ、かつフランジ部を金属製ケースの前端縁よりも前方に位置させた状態で配備することができる。同様に、第２の磁束誘導部材を使用する場合にも、前記中空体を検出部と金属製ケースとの間に配備することができる。
　また、第１，第２の磁束誘導部材を前記コイルおよびコアとともに樹脂モールドすることにより、これらの磁束誘導部材を検出部内に配備することができる。 The first and second magnetic flux guide members can be used for the first proximity switch. For example, the first magnetic flux guide member may be provided with the main body positioned between the detection unit and the metal case and the flange positioned in front of the front edge of the metal case. it can. Similarly, when the second magnetic flux guide member is used, the hollow body can be provided between the detection unit and the metal case.
In addition, by molding the first and second magnetic flux guiding members together with the coil and the core with resin, these magnetic flux guiding members can be provided in the detection unit.

　つぎに、第１，第２の近接スイッチに共通する態様について説明する。まず、一の態様では、前記強磁性の金属薄膜は、磁束誘導部材の全面にわたって形成される。このようにすれば、磁束誘導部材の内周面側の金属薄膜から後端部に逃げた磁束も集められて検出方向へと導かれるようになり、磁束の誘導量をより大きくすることができる。 Next, an aspect common to the first and second proximity switches will be described. First, in one aspect, the ferromagnetic metal thin film is formed over the entire surface of the magnetic flux guiding member. With this configuration, the magnetic flux escaping from the metal thin film on the inner peripheral surface side of the magnetic flux guide member to the rear end is also collected and guided in the detection direction, so that the amount of induced magnetic flux can be further increased. .

　より好ましい態様の近接スイッチでは、前記強磁性の金属薄膜を、体積抵抗率ρが高い金属により形成するようにしている。前出の（４）式によれば、金属薄膜の体積抵抗率ρが高くなると、渦電流による損失Ｗｅを小さくできるから、距離感度Δｇｌをより向上できることになる。
　この態様にかかる金属薄膜としては、たとえば、ニッケル（Ｎｉ），鉄（Ｆｅ），コバルト（Ｃｏ）などの金属による合金（ＮｉＦｅ，ＣｏＦｅ，ＣｏＮｉＦｅなど），またはこれら金属の窒素化合物あるいは酸素化合物を用いることができる。 In a proximity switch according to a more preferred embodiment, the ferromagnetic metal thin film is formed of a metal having a high volume resistivity ρ. According to the above equation (4), when the volume resistivity ρ of the metal thin film increases, the loss We due to the eddy current can be reduced, so that the distance sensitivity Δgl can be further improved.
As the metal thin film according to this embodiment, for example, an alloy (NiFe, CoFe, CoNiFe, etc.) of a metal such as nickel (Ni), iron (Fe), or cobalt (Co), or a nitrogen compound or an oxygen compound of these metals is used. be able to.

　さらに好ましい態様の近接スイッチでは、前記磁束誘導部材は、体積抵抗率が低い非磁性金属体を母材として構成される。たとえば、純銅（Ｃｕ），アルミニウム（Ａｌ）などを母材として使用することができる。 In a proximity switch according to a further preferred aspect, the magnetic flux guide member is formed using a nonmagnetic metal body having a low volume resistivity as a base material. For example, pure copper (Cu), aluminum (Al), or the like can be used as a base material.

　体積抵抗率が低い非磁性金属体を母材とすると、前記（１）式におけるρの値を小さくすることができる。したがって母材での渦電流による損失Ｗｅを抑えてコンダクタンスＧＬ０をより小さくすることができるので、距離感度Δｇｌをより向上させることが可能となる。 When a non-magnetic metal body having a low volume resistivity is used as a base material, the value of ρ in the above equation (1) can be reduced. Thus it is possible to further reduce the conductance G L0 suppressing loss We due to eddy currents in the base material, the distance sensitivity Δgl becomes possible to further improve.

　前記図１７に示した従来の一般的な近接スイッチでも、外側の金属製ケース１０２を、体積抵抗率が小さい非磁性金属体により形成することによって、この金属製ケース１０２での渦電流による損失Ｗｅを小さくすることができるはずである。しかしながら、純銅などの体積抵抗率が小さい金属には、機械強度が小さいという欠点があるため、保護機能を兼ねる金属製ケースの材料とするのは困難である。 Even in the conventional general proximity switch shown in FIG. 17, the outer metal case 102 is formed of a non-magnetic metal material having a small volume resistivity, so that the loss We due to eddy current in the metal case 102 is reduced. Should be able to be reduced. However, a metal having a small volume resistivity, such as pure copper, has a drawback of low mechanical strength, and thus it is difficult to use a metal case material also having a protective function.

　これに対し、この発明では、機械強度を担保するために、体積抵抗率が大きい非磁性金属を金属体ケースとして使用する一方で、体積抵抗率が小さい非磁性金属体を磁束誘導部材の母材として使用することにより、非磁性金属体において発生する渦電流による損失を抑えることができる。よって、機械強度を低下させることなく、従来よりも距離感度を向上させた近接スイッチを提供することが可能となるのである。 On the other hand, in the present invention, in order to secure mechanical strength, a non-magnetic metal having a large volume resistivity is used as a metal body case, while a non-magnetic metal body having a small volume resistivity is used as a base material of a magnetic flux guide member. As a result, the loss due to the eddy current generated in the non-magnetic metal body can be suppressed. Therefore, it is possible to provide a proximity switch with improved distance sensitivity as compared with the related art without reducing mechanical strength.

　この発明によれば、非磁性の金属体の表面に強磁性の金属薄膜が形成された磁束誘導部材を、コイルから径方向に拡がる磁束を受け付けられるように配置することにより、金属薄膜を介して検出方向に磁束を誘導することが可能となる。また、この発明では、金属薄膜や母材である非磁性金属体での渦電流による損失を少なくして抵抗成分を小さくすることができるので、距離感度Δｇｌを向上させることができる。特に、シールドタイプの近接スイッチにこの発明を適用した場合、従来の同種の近接スイッチよりも検出距離を長くすることができ、非シールドタイプの近接スイッチに近い検出能力を持たせることができる。 According to the present invention, by arranging the magnetic flux guide member having the ferromagnetic metal thin film formed on the surface of the non-magnetic metal body so as to receive the magnetic flux expanding in the radial direction from the coil, the magnetic flux guiding member is provided via the metal thin film. It is possible to guide the magnetic flux in the detection direction. Further, in the present invention, the loss due to the eddy current in the metal thin film or the non-magnetic metal body as the base material can be reduced and the resistance component can be reduced, so that the distance sensitivity Δgl can be improved. In particular, when the present invention is applied to a shielded proximity switch, the detection distance can be made longer than that of a conventional proximity switch of the same type, and the detection capability can be made closer to that of an unshielded proximity switch.

　図１（Ａ）は、この発明が適用されたシールドタイプの近接スイッチの構成を示す。
　この近接スイッチ１は、コイルケース５の内部に検出コイル６やコア７が収容された検出部２を具備する。前記コイルケース５はＰＢＴ樹脂などの耐熱性を持つ樹脂を成型加工したもので、円筒状の周壁部５ｂの前端を前板５ａにより塞いだ構成のものである。前記検出コイル６からの磁束の大半は、前板５ａを通過して前方へと向かうもので、この磁路により被検出物体の検出エリアが設定される。 FIG. 1A shows a configuration of a shield type proximity switch to which the present invention is applied.
The proximity switch 1 includes a detection unit 2 in which a detection coil 6 and a core 7 are accommodated inside a coil case 5. The coil case 5 is formed by molding a heat-resistant resin such as a PBT resin, and has a configuration in which a front end of a cylindrical peripheral wall portion 5b is closed by a front plate 5a. Most of the magnetic flux from the detection coil 6 passes forward through the front plate 5a, and the magnetic path sets the detection area of the detected object.

　前記コイルケース５には、ほぼ全長にわたって筒状の金属製ケース３が被せられる。この金属製ケース３は、コイルケース５の周壁部５ｂよりも十分に長く形成されている。この金属製ケース３内において、検出部２の後方に生じた空間には、共振回路などを構成する電子部品８が搭載された基板９が、基板面を水平に維持した状態で設置される。また金属製ケース３の後端の開口部には、接続ケーブル１０の取付孔１１ａを具備する支持部材１１が嵌め込まれる。 筒 The coil case 5 is covered with a cylindrical metal case 3 over substantially the entire length. The metal case 3 is formed sufficiently longer than the peripheral wall 5b of the coil case 5. In the metal case 3, in a space formed behind the detection unit 2, a board 9 on which electronic components 8 constituting a resonance circuit and the like are mounted is installed with the board surface kept horizontal. A support member 11 having a mounting hole 11 a for the connection cable 10 is fitted into the opening at the rear end of the metal case 3.

　なお、この金属製ケース３の外周面には、スイッチ取付のためのナット（図示せず。）を嵌め込むための溝部３ａが、外周面の全長にわたって形成される。また、前記コイルケース５および金属製ケース３内の空洞部には、樹脂が充填されている（図では、この充填樹脂の部分を網点の塗りつぶしとして示す。以下の実施例でも同様にして示す。） A groove 3a for fitting a nut (not shown) for mounting a switch is formed in the outer peripheral surface of the metal case 3 over the entire length of the outer peripheral surface. In addition, resin is filled in the hollow portions in the coil case 5 and the metal case 3 (in the figure, the filled resin portion is shown as halftone dots. The same applies to the following examples). .)

　前記金属製ケース３の内周面の前端部には、所定長さの凹部３ｂが内周面全体にわたって形成されている。この実施例では、凹部３ｂによる空間を用いて、金属製ケース３とコイルケース５との間に金属製の磁束誘導部材４を介在させている。この磁束誘導部材４は、筒状体４ａの前端にフランジ部４ｂが連続形成されて成るもので、筒状体４ａの厚み，長さはそれぞれ前記凹部３ｂの深み，長さに対応し、またその内径はコイルケース５の外径に対応するように形成されている。磁束誘導部材４は、フランジ部４ｂの筒状体４ａに連なる面が金属製ケース３の前縁部に当接し、かつ筒状体４ａの周面が金属製ケース３の凹部３ｂに嵌め込まれた状態で固定配備される。 凹 部 At the front end of the inner peripheral surface of the metal case 3, a recess 3b of a predetermined length is formed over the entire inner peripheral surface. In this embodiment, a magnetic flux guide member 4 made of metal is interposed between the metal case 3 and the coil case 5 by using a space formed by the concave portion 3b. The magnetic flux guiding member 4 is formed by continuously forming a flange portion 4b at the front end of a cylindrical body 4a. The thickness and length of the cylindrical body 4a correspond to the depth and length of the recess 3b, respectively. The inner diameter is formed so as to correspond to the outer diameter of the coil case 5. In the magnetic flux guide member 4, the surface of the flange portion 4 b continuous with the cylindrical body 4 a abuts on the front edge of the metal case 3, and the peripheral surface of the cylindrical body 4 a is fitted into the concave portion 3 b of the metal case 3. Fixedly deployed in state.

　図１（Ｂ）には、前記図１（Ａ）の破線で囲んだ領域Ｒにおける磁束誘導部材４の断面形状を拡大して示してある。この実施例の磁束誘導部材４は、銅，アルミニウムなどの非磁性の金属体を母材４１として、この母材４１の内外の全面にわたって、強磁性の金属薄膜４２（以下、「強磁性薄膜４２」という。）が形成されている。なお、この強磁性薄膜４２は、メッキまたは蒸着加工により形成されるものである。 FIG. 1B shows an enlarged cross-sectional shape of the magnetic flux guide member 4 in a region R surrounded by a broken line in FIG. 1A. The magnetic flux guide member 4 of this embodiment uses a non-magnetic metal body such as copper or aluminum as a base material 41 and extends over the entire inside and outside of the base material 41 over a ferromagnetic metal thin film 42 (hereinafter referred to as a “ferromagnetic thin film 42”). ") Is formed. The ferromagnetic thin film 42 is formed by plating or vapor deposition.

　上記構成によれば、検出コイル６から径方向に拡がる磁束は、磁束誘導部材４の内面の強磁性薄膜４２に入る。これらの磁束の一部は、母材４１や金属製ケース３の側に進行するが、大半の磁束は、強磁性薄膜４２内をその膜面に沿って進行し、開放端であるフランジ部４ｂの前面へと導かれるようになる。また、内面側の強磁性薄膜４２から母材４１の方に逃げた磁束も、外周部や後端部の強磁性薄膜４２を介してフランジ部４ｂ側に誘導される。 According to the above configuration, the magnetic flux radially expanding from the detection coil 6 enters the ferromagnetic thin film 42 on the inner surface of the magnetic flux guide member 4. Some of these magnetic fluxes travel toward the base material 41 and the metal case 3, but most of the magnetic fluxes travel inside the ferromagnetic thin film 42 along the film surface, and the flange portion 4 b which is an open end Will be led to the front. Also, the magnetic flux that has escaped from the ferromagnetic thin film 42 on the inner surface side toward the base material 41 is guided to the flange portion 4b side via the ferromagnetic thin film 42 on the outer peripheral portion and the rear end portion.

　図２は、上記構成の近接スイッチ１と、磁束誘導部材４を持たない従来の近接スイッチ１´とについて、検出能力を比較して示す。なお、従来の近接スイッチ１´においても、磁束誘導部材４が導入されていない以外は、この実施例と同様の構成となるので、この実施例の近接スイッチ１と共通する構成は同じ符号により示す。
　また検出部２からの磁束Ｇは、一点鎖線で示す。また図中の１２は被検出物体であり、１３は、この被検出物体の表面における渦電流の出現エリアを示す。 FIG. 2 shows a comparison between the proximity switch 1 having the above-described configuration and the conventional proximity switch 1 ′ having no magnetic flux guide member 4 in terms of detection capability. The configuration of the conventional proximity switch 1 'is the same as that of this embodiment except that the magnetic flux guide member 4 is not introduced. Therefore, the configuration common to the proximity switch 1 of this embodiment is denoted by the same reference numeral. .
The magnetic flux G from the detection unit 2 is indicated by a dashed line. In the drawing, reference numeral 12 denotes a detected object, and reference numeral 13 denotes an appearance area of the eddy current on the surface of the detected object.

　従来のシールドタイプの近接スイッチ１´では、検出コイル６から径方向に伸びた磁束が周囲に広がらないように、これら磁束を金属製ケース３により遮蔽するようにしている。しかしながら、この近接スイッチ１´では、磁束を誘導させる強磁性金属体がないため、検出方向に磁束を大きく誘導させることができず、検出距離を伸ばすのは困難であった。 で は In the conventional shield type proximity switch 1 ′, the magnetic flux extending in the radial direction from the detection coil 6 is shielded by the metal case 3 so as not to spread to the surroundings. However, in this proximity switch 1 ′, since there is no ferromagnetic metal body for inducing magnetic flux, it was not possible to induce large magnetic flux in the detection direction, and it was difficult to extend the detection distance.

　これに対し、この実施例の近接スイッチ１では、検出コイル６から径方向への磁束を、前記磁束誘導部材４の表面の強磁性薄膜４２において集め、検出方向に誘導することができる。またこの強磁性薄膜４２は、表皮深さに近い厚みを持つものとなるので、渦電流による損失Ｗｅの計算式として前記した（４）式を適用することができる。ここで（４）式における透磁率μの値は大きくなるものの、厚みｔや体積ｖの値はきわめて小さくなるから、損失Ｗｅを小さくすることができる。さらに、母材４１に起因する損失には、前記（１）式が適用されるが、この母材４１は非磁性金属体であるから、（１）式におけるμの値を小さくすることができ、母材４１側に漏れた磁束により生じた渦電流による損失を小さくすることができる。 On the other hand, in the proximity switch 1 of this embodiment, the magnetic flux in the radial direction from the detection coil 6 can be collected in the ferromagnetic thin film 42 on the surface of the magnetic flux guide member 4 and guided in the detection direction. Further, since the ferromagnetic thin film 42 has a thickness close to the skin depth, the above equation (4) can be applied as a calculation equation of the loss We due to the eddy current. Here, although the value of the magnetic permeability μ in the equation (4) becomes large, the values of the thickness t and the volume v become extremely small, so that the loss We can be reduced. Further, the above equation (1) is applied to the loss caused by the base material 41. Since the base material 41 is a non-magnetic metal body, the value of μ in the equation (1) can be reduced. In addition, the loss due to the eddy current generated by the magnetic flux leaking to the base material 41 can be reduced.

　よって、この実施例の磁束誘導部材４を前出の特許文献１に記載された金属部品１３と比較すると、磁束誘導部材４での渦電流による損失Ｗｅを大幅に小さくすることができる。このため、コンダクタンスＧＬ０も小さくなり、距離感度Δｇｌを向上することができる。
　このようなことから、この実施例の近接スイッチ１では、図２中の矢印Ｆに示すように、従来の近接スイッチ１´での最大検出距離よりも遠方にある被検出物体１２にまで十分に届くだけの磁束Ｇを作用させ、かつこの磁束Ｇによって、被検出物体を精度よく検出することができる。 Therefore, when the magnetic flux guide member 4 of this embodiment is compared with the metal component 13 described in Patent Document 1 described above, the loss We due to the eddy current in the magnetic flux guide member 4 can be significantly reduced. Therefore, conductance G L0 is reduced and the distance sensitivity Δgl can be improved.
For this reason, in the proximity switch 1 of this embodiment, as shown by an arrow F in FIG. 2, the detected object 12 farther than the maximum detection distance of the conventional proximity switch 1 'is sufficiently provided. The magnetic flux G that can reach is applied, and the detected object can be accurately detected by the magnetic flux G.

　図３は、ニッケル・鉄系の合金による強磁性薄膜４２を持つ磁束誘導部材４を導入した本願発明にかかる近接スイッチ（図３の（１）〜（３））と、強磁性薄膜４２が形成されていない非磁性の母材４１のみを導入した近接スイッチ（図３の（４））とについて、それぞれ物体検出の感度を計測した結果を示す。なお、（１）〜（３）の各強磁性薄膜４２は、全面メッキ加工されたもので、図中の膜厚は、加工後の薄膜を計測して得たものである。また（１）〜（３）における磁束誘導部材４の母材４１には、いずれも（４）と同じ材質のもの（この実施例では、タフピッチ銅）を用いている。 FIG. 3 shows a proximity switch according to the present invention ((1) to (3) in FIG. 3) in which a magnetic flux guiding member 4 having a ferromagnetic thin film 42 of a nickel-iron alloy is introduced, and the ferromagnetic thin film 42 is formed. The results of measuring the object detection sensitivity are shown for the proximity switch ((4) in FIG. 3) in which only the non-magnetic base material 41 is introduced. Each of the ferromagnetic thin films 42 of (1) to (3) is plated on the entire surface, and the film thickness in the figure is obtained by measuring the processed thin film. The base material 41 of the magnetic flux guide member 4 in (1) to (3) is made of the same material as that of (4) (tough pitch copper in this embodiment).

　この図３および以下の説明で使用する距離感度Δｇｌは、前記した（２）（３）式に基づいて算出されたものである。この距離感度Δｇｌの値が大きいほど、物体検出能力が高い、ということができる。なお、図３（１）〜（４）の各近接スイッチとも、それぞれ距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３（Ｌ１＜Ｌ２＜Ｌ３）についての距離感度Δｇｌを計測している。 距離 The distance sensitivity Δgl used in FIG. 3 and the following description is calculated based on the above equations (2) and (3). It can be said that the larger the value of the distance sensitivity Δgl, the higher the object detection capability. Each of the proximity switches in FIGS. 3A to 3D measures the distance sensitivity Δgl for the distances L1, L2, and L3 (L1 <L2 <L3).

　図３によれば、（１）〜（３）の強磁性薄膜４２を具備する磁束誘導部材４と（４）の非磁性金属体のみから成る部材との間には、距離感度Δｇｌに大きな差が認められる。このように本願発明にかかる近接スイッチによれば、距離感度を大きく向上することができる。 According to FIG. 3, there is a large difference in the distance sensitivity Δgl between the magnetic flux guiding member 4 having the ferromagnetic thin film 42 of (1) to (3) and the member made of only the non-magnetic metal body of (4). Is recognized. Thus, according to the proximity switch of the present invention, the distance sensitivity can be greatly improved.

　図４は、本願発明にかかる近接スイッチとして、ニッケル・鉄合金による強磁性薄膜４２の厚みが異なる複数の近接スイッチを用意し、これらの近接スイッチについて、それぞれある距離に対する距離感度Δｇｌを所定回数ずつ測定して得た測定結果を示す。なお、この測定に使用した各スイッチの磁束誘導部材４は、黄銅を母材として、この母材の全面に強磁性薄膜をメッキ加工により形成して成るものである。この図４に示すΔｇｌの数値範囲は、前記図３に示した数値範囲とはかなり異なっているが、これは、磁束誘導部材の径と母材の材質の違いによるものである。 FIG. 4 shows a plurality of proximity switches having different thicknesses of the ferromagnetic thin film 42 made of a nickel-iron alloy prepared as proximity switches according to the present invention, and for each of these proximity switches, the distance sensitivity Δgl for a certain distance is determined a predetermined number of times. The measurement results obtained by the measurement are shown. The magnetic flux guiding member 4 of each switch used in this measurement is formed by using brass as a base material and forming a ferromagnetic thin film on the entire surface of the base material by plating. The numerical value range of Δgl shown in FIG. 4 is considerably different from the numerical value range shown in FIG. 3, but this is due to the difference in the diameter of the magnetic flux guiding member and the material of the base material.

　この図４によれば、薄膜の厚みが４〜８μｍ程度であるときには高い感度が得られるのに対し、膜厚が１０μｍを超えると、以後は、膜厚が大きくなるほど感度が低下する、という結果になっている。この結果は、磁束誘導部材４における強磁性金属の厚みが大きくなると、（４）式のｔやｖの値が大きくなって渦電流による損失Ｗｅが増加し、抵抗ＲならびにコンダクタンスＧＬ０が増加したことによるものと、推測することができる。 According to FIG. 4, a high sensitivity is obtained when the thickness of the thin film is about 4 to 8 μm, whereas when the thickness exceeds 10 μm, the sensitivity decreases as the thickness increases thereafter. It has become. As a result, when the thickness of the ferromagnetic metal in the magnetic flux guiding member 4 increases, the values of t and v in the equation (4) increase, the loss We due to the eddy current increases, and the resistance R and the conductance G L0 increase. It can be guessed that this is the case.

　図５は、前記磁束誘導部材４について、強磁性薄膜４２を部分的に形成して距離感度Δｇｌを測定した結果を示す。なお、この測定に使用された各磁束誘導部材４は、黄銅を母材４１として、その表面に、ニッケル・鉄合金による厚み８μｍの強磁性薄膜４２を形成したものである。 FIG. 5 shows the results of measuring the distance sensitivity Δgl of the magnetic flux guide member 4 with the ferromagnetic thin film 42 partially formed. Each of the magnetic flux guide members 4 used in this measurement was formed by forming a ferromagnetic thin film 42 of nickel-iron alloy with a thickness of 8 μm on the surface of a base material 41 of brass.

　図５（１）は、磁束誘導部材４の表面を番号１〜６により区分けして示したもので、１は前記フランジ部４ｂの前面に、２はフランジ部４ｂの外周面に、３はフランジ部４ｂおよび筒状体４ａの内周面に、４はフランジ部４ｂの背面（前記金属製ケース３の前端面に接する面）に、５は筒状体４ａの外周面に、６は筒状体４ａの後端面（筒状体４ａの端縁を構成する面）に、それぞれ相当する。 FIG. 5A shows the surface of the magnetic flux guiding member 4 divided by numbers 1 to 6, wherein 1 is the front surface of the flange portion 4b, 2 is the outer peripheral surface of the flange portion 4b, and 3 is the flange. 4 is the inner peripheral surface of the cylindrical member 4a, 4 is the back surface of the flange portion 4b (the surface in contact with the front end surface of the metal case 3), 5 is the outer peripheral surface of the cylindrical member 4a, and 6 is the cylindrical member. The rear end surfaces of the body 4a (the surfaces constituting the edge of the cylindrical body 4a) correspond to the respective rear end surfaces.

　図５（２）は、強磁性薄膜４２の形成位置と距離感度Δｇｌの測定結果とを対応づけて示す。図中のＡは、１〜６の各面、すなわち、前記図１に示したように、磁束誘導部材４の全面にわたって強磁性薄膜４２を形成した場合における測定結果である。Ｂ以下は、前記６つの面のうちの２以上の面を選択して強磁性薄膜４２を形成した場合の測定結果である。なお、各事例Ａ〜Ｅでは、強磁性薄膜４２に同じ材料を使用し、膜厚もほぼ同一に形成された状態の磁束誘導部材４を用いて、測定を行っている。 FIG. 5 (2) shows the formation position of the ferromagnetic thin film 42 and the measurement result of the distance sensitivity Δgl in association with each other. A in the drawing is a measurement result in the case where the ferromagnetic thin film 42 is formed on each of the surfaces 1 to 6, that is, the entire surface of the magnetic flux guide member 4 as shown in FIG. B and below are the measurement results when the ferromagnetic thin film 42 is formed by selecting two or more of the six surfaces. In each of the cases A to E, the same material is used for the ferromagnetic thin film 42, and the measurement is performed using the magnetic flux guide member 4 in a state in which the film thickness is substantially the same.

　図５（２）によれば、Ｂの事例、すなわち磁束誘導部材４の内周面全体，フランジ部４ｂの前面，およびフランジ部４ｂの外周面に強磁性薄膜４２を形成した場合には、全面にわたって強磁性薄膜４２を形成したＡの事例に匹敵する感度が得られている。これに対し、強磁性薄膜４２が部分形成されたその他の事例Ｃ，Ｄ，Ｅでは、距離感度Δｇｌは、事例Ｂに比べてかなり低下している。特に内周面（３の部分）に強磁性薄膜４２を形成しなかったＥの事例での距離感度Δｇｌは、最も低い値を示している。 According to FIG. 5B, in the case of B, that is, when the ferromagnetic thin film 42 is formed on the entire inner peripheral surface of the magnetic flux guide member 4, the front surface of the flange portion 4b, and the outer peripheral surface of the flange portion 4b, the entire surface is formed. A sensitivity comparable to that of the case A in which the ferromagnetic thin film 42 was formed was obtained. On the other hand, in the other cases C, D, and E in which the ferromagnetic thin film 42 is partially formed, the distance sensitivity Δgl is considerably lower than in the case B. In particular, the distance sensitivity Δgl in the case of E in which the ferromagnetic thin film 42 was not formed on the inner peripheral surface (portion 3) shows the lowest value.

　上記においてＢの事例における距離感度Δｇｌが高くなったのは、検出コイル６に最も近い内周面の薄膜（３の部分）に検出コイル６からの磁束が集められ、さらにフランジ部４ｂの強磁性薄膜４２（１，２の部分）の存在により、これらの磁束が内面に沿って前方へと誘導されたためである、と考えることができる。特にこのＢの事例をＣの事例と比較した結果によれば、内周面の強磁性薄膜４２からフランジ部４ｂの後方側に逃げた磁束がフランジ部４ｂの外周部分の強磁性薄膜４２（２の部分）に誘導された後、検出方向側に導かれたものと、推測することができる。
　またＡの事例においてＢより若干高い感度を得ることができたのは、内周面の強磁性薄膜４２から筒状体４ａの後方に逃げた磁束が、後端や外周部分の強磁性薄膜４２（４，５，６の部分）を介して前方に導かれたためであると、推測することができる。 The reason that the distance sensitivity Δgl in the case B is higher in the above case is that the magnetic flux from the detection coil 6 is collected in the thin film (3) on the inner peripheral surface closest to the detection coil 6, and the ferromagnetic property of the flange portion 4b is further increased. It can be considered that the presence of the thin film 42 (portions 1 and 2) induced these magnetic fluxes forward along the inner surface. In particular, according to the result of comparison of the case B with the case C, the magnetic flux escaping from the ferromagnetic thin film 42 on the inner peripheral surface to the rear side of the flange portion 4b causes the ferromagnetic thin film 42 (2 ), It can be guessed that it was guided to the detection direction side.
In the case A, the sensitivity slightly higher than that in the case B was obtained because the magnetic flux escaping from the ferromagnetic thin film 42 on the inner peripheral surface to the rear of the cylindrical body 4a was reduced by the ferromagnetic thin film 42 on the rear end and the outer peripheral portion. It can be guessed that this is because they were led forward through (portions 4, 5, 6).

　図６は、磁束誘導部材４の薄膜の材質が距離感度Δｇｌに与える影響を、ＣＡＥにより解析した結果を示す。図中、（ａ）は、薄膜が形成されない非磁性の母材のみの部材であり、（ｂ）は、この母材の表面に体積抵抗率ρ（以下、単に「抵抗率ρ」という。）が高い非磁性体の薄膜が形成された部材である。（ｃ）（ｄ）（ｅ）は、いずれも強磁性薄膜が形成された部材であるが、（ｃ）の薄膜は、透磁率μが中程度で抵抗率ρが高い金属により形成される。（ｄ）の薄膜は、透磁率μは高いが抵抗率ρが低い金属により形成され、さらに（ｅ）の薄膜は、透磁率μ，抵抗率ρがともに高い金属により形成される。 FIG. 6 shows the result of analyzing, by CAE, the effect of the material of the thin film of the magnetic flux guide member 4 on the distance sensitivity Δgl. In the figure, (a) is a member made of only a non-magnetic base material on which no thin film is formed, and (b) is a volume resistivity ρ (hereinafter simply referred to as “resistivity ρ”) on the surface of the base material. Is a member on which a non-magnetic thin film is formed. (C), (d), and (e) are members on which a ferromagnetic thin film is formed. The thin film of (c) is formed of a metal having a medium permeability μ and a high resistivity ρ. The thin film (d) is formed of a metal having a high magnetic permeability μ but a low resistivity ρ, and the thin film (e) is formed of a metal having a high magnetic permeability μ and a high resistivity ρ.

　図６（１）は、上記（ａ）〜（ｅ）の各磁束誘導部材４について、母材や金属薄膜の特性を示すパラメータを具体的に設定してＣＡＥ解析を行い、その解析により得られた距離感度Δｇｌを示す。図６（２）は、これらの磁束誘導部材について、前記ＣＡＥ解析のために設定した透磁率や抵抗率の具体的な数値を示す。 FIG. 6A shows a result of the CAE analysis for each of the magnetic flux guide members 4 of (a) to (e) by specifically setting parameters indicating the characteristics of the base material and the metal thin film. FIG. FIG. 6B shows specific numerical values of the magnetic permeability and the resistivity set for the CAE analysis for these magnetic flux guide members.

　図６（２）では、（ａ）については非磁性の母材の透磁率および抵抗率を示す一方、（ｂ）〜（ｅ）については、表面の薄膜における透磁率および抵抗率を、それぞれ示している。なお、（ｂ）〜（ｅ）の各母材のパラメータは、いずれも（ａ）と同様に設定される。また、この図６（２）によれば、透磁率μではなく、比透磁率μγが、パラメータとして使用されている。この比透磁率μγは、透磁率μおよび真空内における透磁率μ０を用いて、μγ＝μ／μ０の式により求められるものである。
　またこのＣＡＥ解析では、各磁束誘導部材４の強磁性薄膜４２は、前記図５（１）の「１」の部分のみに形成されたものとしてあり、その膜厚を５μｍに設定している。また各磁束誘導部材４の母材は、黄銅に設定している。 In FIG. 6 (2), (a) shows the magnetic permeability and resistivity of the non-magnetic base material, while (b) to (e) show the magnetic permeability and resistivity of the thin film on the surface, respectively. ing. In addition, the parameters of each base material of (b) to (e) are set in the same manner as (a). In addition, according to FIG. 6 (2), the magnetic permeability mu without relative permeability mu gamma have been used as a parameter. The relative permeability mu gamma, using a magnetic permeability mu 0 in permeability mu and a vacuum, those obtained by the equation of μ γ = μ / μ 0.
In this CAE analysis, the ferromagnetic thin film 42 of each magnetic flux guide member 4 is formed only on the portion "1" in FIG. 5A, and the film thickness is set to 5 μm. The base material of each magnetic flux guide member 4 is set to brass.

　図６（１）において、（ａ）（ｂ）の非磁性金属のみから成る部材と、（ｃ）（ｄ）（ｅ）の強磁性薄膜を具備する部材とを比較すると、距離感度Δｇｌには顕著な差が現れている。また強磁性薄膜の材質別に比較すると、透磁率μが高いほど距離感度Δｇｌが向上する、と考えることができる。さらに透磁率μ，抵抗率ρがともに高い金属により強磁性薄膜を形成することにより、距離感度Δｇｌをより一層高めることができる、と考えることができる。 In FIG. 6A, comparing the members made of only the non-magnetic metal (a) and (b) with the members provided with the ferromagnetic thin films (c), (d) and (e), the distance sensitivity Δgl is A remarkable difference appears. Further, when compared by the material of the ferromagnetic thin film, it can be considered that the higher the magnetic permeability μ, the higher the distance sensitivity Δgl. Further, it can be considered that the distance sensitivity Δgl can be further increased by forming the ferromagnetic thin film from a metal having both high magnetic permeability μ and high resistivity ρ.

　つぎに、この発明にかかる強磁性薄膜を有する磁束誘導部材は、シールドタイプの近接スイッチに限らず、非シールドタイプの近接スイッチに使用することもできる。
　図７は、前記図１と同様の磁束誘導部材４が導入された非シールドタイプの近接スイッチ１Ａの構成を示す。なお、この近接スイッチ１Ａは、金属製ケース３が短くなる以外は、図１のシールドタイプの近接スイッチ１と同様の構成を具備するので、ここでは各構成に図１と同様の符号を付けることで、詳細な説明を省略する。 Next, the magnetic flux guide member having the ferromagnetic thin film according to the present invention can be used not only for a shield type proximity switch but also for an unshielded type proximity switch.
FIG. 7 shows a configuration of an unshielded proximity switch 1A in which the same magnetic flux guiding member 4 as that of FIG. 1 is introduced. The proximity switch 1A has the same configuration as the shield type proximity switch 1 of FIG. 1 except that the metal case 3 is shortened. Therefore, each component is denoted by the same reference numeral as in FIG. A detailed description will be omitted.

　この実施例の近接スイッチ１Ａでも、磁束誘導部材４は、前記図１の実施例と同様に、フランジ部４ｂの後端面が金属製ケース３の前端面に当接し、筒状体４ａが金属製ケース３の内面の凹部３ｂに嵌め込まれた状態で固定配備される。なお、金属製ケース３や磁束誘導部材４の配置位置は、図示例に限らず、検出に差し支えない範囲で、前端部を前方側に伸ばすこともできる。 Also in the proximity switch 1A of this embodiment, the magnetic flux guide member 4 has the rear end surface of the flange portion 4b abutting on the front end surface of the metal case 3 similarly to the embodiment of FIG. The case 3 is fixedly provided while being fitted into the concave portion 3b on the inner surface. In addition, the arrangement position of the metal case 3 and the magnetic flux guide member 4 is not limited to the illustrated example, and the front end may be extended forward as long as the detection is not hindered.

　つぎに、図１，７の実施例では、金属製ケース３の内面に凹部３ｂを形成し、この凹部３ｂに磁束誘導部材４を嵌め込むようにしたが、これに代えて、コイルケース５の外周面または内周面に、磁束誘導部材４を一体化するようにしてもよい。 Next, in the embodiment of FIGS. 1 and 7, a concave portion 3b is formed on the inner surface of the metal case 3, and the magnetic flux guide member 4 is fitted into the concave portion 3b. The magnetic flux guide member 4 may be integrated with the outer peripheral surface or the inner peripheral surface.

　図８〜１０は、磁束誘導部材４がコイルケース５の外周面または内周面に一体に設けられた近接スイッチを示す（以下、それぞれを１Ｂ，１Ｃ，１Ｄとする。）。なお、図８〜１０、および後記する図１３，１４では、近接スイッチの内部構成のうち前半分のみを図示する。いずれの図でも、図１，７と同じ機能を持つ部材を同じ符号で示すことにより、詳細な説明を省略する。また基板９上の電子部品８やコネクタについては、図示を省略する。 8 to 10 show proximity switches in which the magnetic flux guiding member 4 is integrally provided on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the coil case 5 (hereinafter, referred to as 1B, 1C, and 1D, respectively). 8 to 10 and FIGS. 13 and 14 described later, only the first half of the internal configuration of the proximity switch is illustrated. In any of the drawings, members having the same functions as those in FIGS. The electronic components 8 and connectors on the substrate 9 are not shown.

　図８，９の各実施例での磁束誘導部材４は、前記したフランジ部４ｂ付きのものではなく、筒状体４ａのみから構成される。
　図８に示す近接スイッチ１Ｂでは、コイルケース５の周壁部５ｂに図１の実施例よりも肉厚を持たせ、その外周面に形成された凹部５ｃに、磁束誘導部材４を嵌め込んでいる。この実施例の周壁部５ｂは、前板５ａの外径を維持した前端部５ｄより後方の部分を内側に変位させた形態をとるので、外周面に段差が生じる。前記凹部５ｃは、前端部５ｄの肉厚部分から前記段差より後方の外周面にかけて形成されるもので、筒状体４ａの長さに対応する長さと、筒状体４ａの厚みに対応する深みとを具備する。よって、筒状体４ａは、前記凹部５ｃ内に、それより後方の周壁部５ｂの外周面と段差なく連なった状態で配備される。金属製ケース３は、この段差のない外周面の径に対応する内径を具備するもので、前記前端部５ｄの終端に前端面を当接させた状態で、コイルケース５に取り付けられる。 The magnetic flux guide member 4 in each of the embodiments shown in FIGS. 8 and 9 is not provided with the above-mentioned flange portion 4b but is constituted only by the cylindrical body 4a.
In the proximity switch 1B shown in FIG. 8, the peripheral wall portion 5b of the coil case 5 is made thicker than the embodiment of FIG. 1, and the magnetic flux guide member 4 is fitted into the concave portion 5c formed on the outer peripheral surface. . The peripheral wall portion 5b of this embodiment has a configuration in which a portion behind the front end portion 5d in which the outer diameter of the front plate 5a is maintained is displaced inward, so that a step occurs on the outer peripheral surface. The recess 5c is formed from the thick portion of the front end 5d to the outer peripheral surface behind the step, and has a length corresponding to the length of the tubular body 4a and a depth corresponding to the thickness of the tubular body 4a. And Therefore, the cylindrical body 4a is disposed in the recess 5c in a state where the cylindrical body 4a is continuous with the outer peripheral surface of the peripheral wall 5b behind it without any step. The metal case 3 has an inner diameter corresponding to the diameter of the outer peripheral surface having no step, and is attached to the coil case 5 with the front end face in contact with the end of the front end 5d.

　上記構成によれば、磁束誘導部材４を構成する筒状体４ａは、コイルケース５と金属製ケース３との間に挟まれた状態で固定される。また、筒状体４ａの両端面も、コイルケース５の肉厚内にあるので、磁束誘導部材４の全体が被覆されることになる。 According to the above configuration, the cylindrical body 4 a constituting the magnetic flux guiding member 4 is fixed in a state sandwiched between the coil case 5 and the metal case 3. Further, since both end surfaces of the cylindrical body 4a are also within the thickness of the coil case 5, the entire magnetic flux guide member 4 is covered.

　図９に示す近接スイッチ１Ｃでは、周壁部５ｂの内周面の始端位置から所定位置までの範囲に、筒状体４ａの形状に応じた凹部５ｅを形成し、この凹部５ｅに磁束誘導部材４を嵌め込んでいる。なお、この実施例の周壁部５ｂの外周面にも、前端部５ｄとそれより後方の部分との間に段差が設定され、前端部５ｄの終端に前端面を当接させた状態で、金属製ケース３が取り付けられる。 In the proximity switch 1C shown in FIG. 9, a concave portion 5e corresponding to the shape of the cylindrical body 4a is formed in a range from the start position of the inner peripheral surface of the peripheral wall portion 5b to a predetermined position, and the magnetic flux guiding member 4 is formed in the concave portion 5e. Is fitted. In addition, a step is also set between the front end portion 5d and a portion behind the front end portion 5d on the outer peripheral surface of the peripheral wall portion 5b of this embodiment, and the metal is placed in a state where the front end surface is in contact with the end of the front end portion 5d. The case 3 is attached.

　上記図９の構成によれば、磁束誘導部材４を構成する筒状体４ａは、内周面を除き、コイルケース５に被覆された状態となる。また、コイルケース５の内部には、樹脂が充填されるので、筒状体４ａの内周面も被覆された状態となる。 According to the configuration of FIG. 9 described above, the cylindrical body 4 a constituting the magnetic flux guide member 4 is covered with the coil case 5 except for the inner peripheral surface. Further, since the inside of the coil case 5 is filled with resin, the inner peripheral surface of the cylindrical body 4a is also covered.

　つぎに、図１０に示す近接スイッチ１Ｄでは、前記図１や図７の近接スイッチ１，１Ａと同様に、フランジ部４ｂ付きの磁束誘導部材４を使用する。この実施例では、周壁部５ｂの内周面の始端位置から所定位置までの範囲に、筒状体４ａおよびフランジ部４ｂの形状に応じた凹部５ｆを形成し、この凹部５ｆ内に磁束誘導部材４を嵌め込んでいる。なお、この実施例でも、周壁部５ｂの外周面には、前端部５ｄとそれより後方の部分との間に段差が形成されており、前板５ａの厚みを残し、前端部５ｄの肉厚部分にフランジ部４ｂが位置するように、凹部５ｆの形成位置を調整している。また、図８や図９の実施例と同様に、金属製ケース３は、前端部５ｄの終端に前端面を当接させた状態でコイルケース５に取り付けられる。 Next, in the proximity switch 1D shown in FIG. 10, similarly to the proximity switches 1 and 1A of FIGS. 1 and 7, the magnetic flux guide member 4 with the flange portion 4b is used. In this embodiment, a concave portion 5f corresponding to the shape of the cylindrical body 4a and the flange portion 4b is formed in a range from the start position of the inner peripheral surface of the peripheral wall portion 5b to a predetermined position, and a magnetic flux guiding member is formed in the concave portion 5f. 4 is inserted. Also in this embodiment, a step is formed on the outer peripheral surface of the peripheral wall portion 5b between the front end portion 5d and a portion behind the front end portion 5d, and the thickness of the front end portion 5d is kept, leaving the thickness of the front plate 5a. The formation position of the concave portion 5f is adjusted so that the flange portion 4b is located at the portion. 8 and 9, the metal case 3 is attached to the coil case 5 with the front end face in contact with the end of the front end 5d.

　上記図８，９，１０に示した近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄでは、いずれも磁束誘導部材４は、全面が被覆された状態で配備される。したがって、強磁性薄膜４２が剥離するのを防止することができ、磁束誘導部材４の寿命を長くすることができる。 In the proximity switches 1B, 1C, and 1D shown in FIGS. 8, 9, and 10, the magnetic flux guide member 4 is provided in a state where the entire surface is covered. Therefore, the ferromagnetic thin film 42 can be prevented from peeling off, and the life of the magnetic flux guide member 4 can be extended.

　また、図９，１０に示した近接スイッチ１Ｃ，１Ｄでは、磁束誘導部材４がコイルケース５の内面に設けられるので、仮に、コイルケース５の前端部５ｄと金属製ケース３との間の隙間から水や油が浸透しても、その浸透物が磁束誘導部材４にまで及ぶおそれがなく、強磁性薄膜４２を保護することができる。 In the proximity switches 1C and 1D shown in FIGS. 9 and 10, since the magnetic flux guide member 4 is provided on the inner surface of the coil case 5, the gap between the front end portion 5d of the coil case 5 and the metal case 3 is temporarily set. Even if water or oil penetrates through, the permeated substance does not reach the magnetic flux guide member 4, and the ferromagnetic thin film 42 can be protected.

　図１１は、上記３つのタイプの近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄについて、磁束誘導部材４による距離感度Δｇｌを高める上で最低限必要な強磁性薄膜４２の形成範囲を示す。図中の（１）（２）（３）は、それぞれ図８，９，１０の実施例に対応するもので、それぞれ対応する図に示した構成の上半分を拡大したものである（網点による充填樹脂の図示は省略する。）。また、図１と同様に、磁束誘導部材４の母材を４１の符号により、強磁性薄膜を４２の符号により、それぞれ示す。 FIG. 11 shows the minimum formation range of the ferromagnetic thin film 42 required for increasing the distance sensitivity Δgl by the magnetic flux guiding member 4 for the above three types of proximity switches 1B, 1C, and 1D. (1), (2), and (3) in the figures correspond to the embodiments of FIGS. 8, 9, and 10, respectively, and are enlarged views of the upper half of the configuration shown in the corresponding figures (dotted dots). The illustration of the filling resin is omitted.) Also, as in FIG. 1, the base material of the magnetic flux guiding member 4 is denoted by reference numeral 41 and the ferromagnetic thin film is denoted by reference numeral 42.

　近接スイッチ１Ｄの磁束誘導部材４については、図１に示した近接スイッチ１と同様に、前記図５の測定結果から導き出される原理を適用することができる。すなわち、図１１（３）に示すように、内周面全体、フランジ部４ｂの前端面、およびフランジ部４ｂの外周面に強磁性薄膜４２を形成することにより、距離感度Δｇｌが高められると考えることができる。 The principle derived from the measurement results of FIG. 5 can be applied to the magnetic flux guide member 4 of the proximity switch 1D, as in the proximity switch 1 shown in FIG. That is, as shown in FIG. 11 (3), by forming the ferromagnetic thin film 42 on the entire inner peripheral surface, the front end surface of the flange portion 4b, and the outer peripheral surface of the flange portion 4b, the distance sensitivity Δgl is considered to be increased. be able to.

　また、フランジ部４ｂを持たない磁束誘導部材４を用いた近接スイッチ１Ｂ，１Ｃについても、コイル６からの磁束を検出方向側に導く上での原理は、同様であると考えることができる。したがって、図１１（１）（２）に示すように、筒状体４ａの内周面全体、前端面、および外周面の前端部に強磁性薄膜４２を形成すれば、距離感度Δｇｌを高められると考えることができる。 Also, the principles of guiding the magnetic flux from the coil 6 to the detection direction side can be considered to be the same for the proximity switches 1B and 1C using the magnetic flux guide member 4 without the flange portion 4b. Therefore, as shown in FIGS. 11A and 11B, if the ferromagnetic thin film 42 is formed on the entire inner peripheral surface, the front end surface, and the front end portion of the outer peripheral surface of the cylindrical body 4a, the distance sensitivity Δgl can be increased. Can be considered.

　なお、上記近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのいずれにおいても、磁束誘導部材４の全面にわたって強磁性薄膜４２を形成することにより、距離感度Δｇｌをより高めることができる。 In each of the proximity switches 1B, 1C, and 1D, the distance sensitivity Δgl can be further increased by forming the ferromagnetic thin film 42 over the entire surface of the magnetic flux guide member 4.

　図１２は、近接スイッチの組立工程を示す。なお、この図１２では、図９の実施例の近接スイッチ１Ｃを例にして、その組立工程を示しているが、図８や図１０の近接スイッチ１Ｂ，１Ｄについても、これと同様の工程により製作することができる。 FIG. 12 shows a process of assembling the proximity switch. Although FIG. 12 shows the assembling process of the proximity switch 1C of the embodiment of FIG. 9 as an example, the proximity switches 1B and 1D of FIG. 8 and FIG. Can be manufactured.

　この実施例にかかる組立工程には、Ａ，Ｂ，Ｃの３つの工程が含まれる。工程Ａは、近接スイッチ１Ｃ内に収容される部材を組み立てるものである。この工程Ａについては、詳細は図示していないが、共振回路などが配線された基板９を製作する工程、コイル線を巻き付けた検出コイル６をコア７に挿入する工程、前記検出コイル６と前記基板９とを接続する工程などを含む。 組 立 The assembly process according to this embodiment includes three processes A, B, and C. Step A is for assembling members housed in the proximity switch 1C. Although not shown in detail in the step A, a step of manufacturing a substrate 9 on which a resonance circuit or the like is wired, a step of inserting a detection coil 6 around which a coil wire is wound into a core 7, a step of The method includes a step of connecting the substrate 9 and the like.

　工程Ｂは、非磁性金属を成型加工して母材４１を作成する工程Ｂ１と、前記母材４１の表面に強磁性体薄膜４２を形成する工程Ｂ２と、工程Ｂ１，Ｂ２により完成した磁束誘導部材４とコイルケース５とを組み立てる工程Ｂ３とを含む。なお、工程Ｂ１では、切削またはプレス加工により、母材４１を筒状体４ａとして成型し、工程Ｂ２では、メッキまたは蒸着加工を行う。また工程Ｂ３では、金型内に磁束誘導部材４をセットしてから樹脂を注入するインサート成型、または先にコイルケース５を成型してから、その凹部に磁束誘導部材４を嵌め込む方法により、磁束誘導部材４が一体化されたコイルケース５を製作する。 The process B includes a process B1 of forming a base material 41 by molding a nonmagnetic metal, a process B2 of forming a ferromagnetic thin film 42 on the surface of the base material 41, and a magnetic flux induction completed by the processes B1 and B2. Step B3 of assembling the member 4 and the coil case 5 is included. In the step B1, the base material 41 is formed into a cylindrical body 4a by cutting or pressing, and in the step B2, plating or vapor deposition is performed. In step B3, the magnetic flux guide member 4 is set in a mold and then resin is injected. Insert molding or a method in which the coil case 5 is first molded and then the magnetic flux guide member 4 is fitted into a concave portion thereof is employed. The coil case 5 in which the magnetic flux guiding member 4 is integrated is manufactured.

　工程Ｃは、前記工程Ｂで製作されたコイルケース５内に、工程Ａで製作された組立品（検出コイル、コア、基板から成るもの）を挿入する工程Ｃ１と、工程Ｃ１実行後のコイルケース５内に樹脂を充填する工程Ｃ２と、工程Ｃ２実行後のコイルケース５の外周面に金属製ケース３を嵌め込む工程Ｃ３とを含む。 Step C includes a step C1 of inserting the assembly (consisting of a detection coil, a core, and a substrate) manufactured in Step A into the coil case 5 manufactured in Step B, and a coil case after the execution of Step C1. 5 and a step C3 of fitting the metal case 3 to the outer peripheral surface of the coil case 5 after the step C2 is performed.

　上記工程Ｃを経た組立品は、さらに、後工程に送られる。この後工程については図示しないが、金属製ケース３の空洞部に樹脂を充填する工程や、樹脂充填後の金属製ケース３に前記した支持部材１１（図１を参照。）を取り付ける工程などが実施される。 (4) The assembly after the above step C is further sent to the subsequent step. Although the subsequent process is not shown, a process of filling the hollow portion of the metal case 3 with resin, a process of attaching the support member 11 (see FIG. 1) to the metal case 3 after filling the resin, and the like are included. Will be implemented.

　つぎに、上記図１２に示した組立工程は、前記図１に示したタイプの近接スイッチ１に適用することができる。この場合の近接スイッチは、図１３に示すような形態に変更されることになる。
　図１３の近接スイッチ１Ｅでは、図８〜１０の実施例と同様に、コイルケース５の周壁部５ｂに肉厚を持たせ、その外周の前端縁から所定位置までの範囲に、凹部５ｇを形成する。この凹部５ｇは、フランジ部４ｂ付きの磁束誘導部材４の長さに対応する長さと、筒状体４ａの厚みに対応する深みを持つように形成される。 Next, the assembly process shown in FIG. 12 can be applied to the proximity switch 1 of the type shown in FIG. The proximity switch in this case will be changed to a form as shown in FIG.
In the proximity switch 1E of FIG. 13, similarly to the embodiment of FIGS. 8 to 10, the peripheral wall portion 5b of the coil case 5 has a thickness, and a recess 5g is formed in a range from the front edge of the outer periphery to a predetermined position. I do. The recess 5g is formed so as to have a length corresponding to the length of the magnetic flux guide member 4 with the flange portion 4b and a depth corresponding to the thickness of the cylindrical body 4a.

　磁束誘導部材４は、フランジ部４ｂの前面を前板５ａの前面に合わせて、凹部５ｇ内に配備される。金属製ケース３は、その前端面を前記フランジ部４ｂの背面に当接させた状態でコイルケース５に取り付けられる。これにより、磁束誘導部材４は、筒状体４ａがコイルケース５と金属製ケース３との間に挟まれた状態で固定される。また、フランジ部４ｂの前面および外周面は、図１と同様に、露出した状態となる。 The magnetic flux guiding member 4 is provided in the recess 5g with the front surface of the flange portion 4b aligned with the front surface of the front plate 5a. The metal case 3 is attached to the coil case 5 with its front end face in contact with the back surface of the flange portion 4b. Thereby, the magnetic flux guide member 4 is fixed in a state where the cylindrical body 4 a is sandwiched between the coil case 5 and the metal case 3. Further, the front surface and the outer peripheral surface of the flange portion 4b are exposed as in FIG.

　さらに、図１２に示した組立工程は、非シールドタイプの近接スイッチにも適用することができる。図１４に、その適用例を示す。
　この実施例の近接スイッチ１Ｆは、筒状体４ａのみから成る磁束誘導部材４を使用したもので、前記図９の近接スイッチ１Ｃと同様に、コイルケース５の内周面に凹部５ｅを形成し、この凹部５ｅ内に磁束誘導部材４を配備した構成をとる。なお、この実施例の凹部５ｅは、コイル６よりも後方に形成される。また、コイルケース５の周壁部５ｂの段差も、磁束誘導部材４の配置位置よりも後方に設定され、その段差形成位置より後方に金属製ケース３が取り付けられる。 Further, the assembling process shown in FIG. 12 can be applied to an unshielded proximity switch. FIG. 14 shows an application example.
The proximity switch 1F of this embodiment uses the magnetic flux guide member 4 composed of only the cylindrical body 4a, and has a recess 5e formed on the inner peripheral surface of the coil case 5 similarly to the proximity switch 1C of FIG. In this configuration, the magnetic flux guiding member 4 is provided in the recess 5e. Note that the recess 5e of this embodiment is formed behind the coil 6. Further, the step of the peripheral wall portion 5b of the coil case 5 is also set behind the position where the magnetic flux guide member 4 is disposed, and the metal case 3 is attached behind the position where the step is formed.

　なお、上記図１４は、図９の近接スイッチ１Ｃに対応するものであるが、図８，１０，１３の各近接スイッチ１Ｂ，１Ｄ，１Ｅについても同様に、対応する構成の非シールドタイプの近接スイッチを製作することができる。 Although FIG. 14 corresponds to the proximity switch 1C of FIG. 9, similarly, the proximity switches 1B, 1D, and 1E of FIGS. Switches can be made.

　また、これまでに示した各実施例では、いずれも、コイルケース５や金属製ケース３を円筒状にして、磁束誘導部材４も、これらケースに適合する形状としたが、各ケースや磁束誘導部材の横断面形状は円形に限定されるものではない。たとえば、金属製ケース３にねじ部を設ける必要がない場合には、各ケースを角柱状に形成してもよい。また、図１５に示すように、周壁部の長さ方向にわたって間隙４０が形成された構成の磁束誘導部材４Ａを使用してもよい。また、磁束誘導部材の横断面形状は円形であるが、周面に、前記間隙４０に相当する強磁性薄膜４２の未形成部分を設けてもよい。 Further, in each of the embodiments described so far, the coil case 5 and the metal case 3 are made cylindrical and the magnetic flux guiding member 4 is shaped to fit these cases. The cross-sectional shape of the member is not limited to a circle. For example, when it is not necessary to provide a screw portion on the metal case 3, each case may be formed in a prismatic shape. Further, as shown in FIG. 15, a magnetic flux guide member 4A having a configuration in which a gap 40 is formed in the length direction of the peripheral wall portion may be used. Further, although the cross-sectional shape of the magnetic flux guide member is circular, a portion where the ferromagnetic thin film 42 corresponding to the gap 40 is not formed may be provided on the peripheral surface.

　図１６は、前記図８，９，１０，１３に示した４種類のタイプの近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅについて、距離感度Δｇｌを測定して得た測定結果を示す。図中のＢタイプ、Ｃタイプ、Ｄタイプ、Ｅタイプは、それぞれ近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに対応する。 FIG. 16 shows the measurement results obtained by measuring the distance sensitivity Δgl for the four types of proximity switches 1B, 1C, 1D, and 1E shown in FIGS. 8, 9, 10, and 13. B type, C type, D type, and E type in the figure correspond to the proximity switches 1B, 1C, 1D, and 1E, respectively.

　上記（１）〜（４）の測定に使用された近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅでの検出コイル６、コア７、基板８上の回路については、すべて同一に設計されている。また、磁束誘導部材４の母材４１や強磁性薄膜４２についても、センサ間で共通の材料を使用している。また、いずれのセンサでも、強磁性薄膜４２は、磁束誘導部材４の全面にわたって形成されており、距離感度Δｇｌの測定条件も同様に設定されている。 (4) The detection coil 6, the core 7, and the circuit on the substrate 8 in the proximity switches 1B, 1C, 1D, 1E used for the measurements (1) to (4) are all designed to be the same. Also, the base material 41 and the ferromagnetic thin film 42 of the magnetic flux guiding member 4 use the same material between the sensors. In each of the sensors, the ferromagnetic thin film 42 is formed over the entire surface of the magnetic flux guide member 4, and the measurement conditions of the distance sensitivity Δgl are set in the same manner.

　さらに、図１６の（５）は、母材４１のみから成る部材を導入した近接スイッチについて、上記（１）〜（４）の測定と同様の条件により距離感度Δｇｌを測定した結果を示す。なお、この（５）の測定に使用された近接スイッチは、前記図１３の近接スイッチ１Ｅと同様の構成を具備するが、磁束誘導部材４に代えて、強磁性薄膜４２が形成されていない母材４１のみから成る部材が組み込まれる。母材４１の材質は、（１）〜（４）の測定にかかるセンサと同一である。 {Circle around (5)} in FIG. 16 shows the results obtained by measuring the distance sensitivity Δgl under the same conditions as those in the above (1) to (4) for a proximity switch in which a member consisting of only the base material 41 is introduced. The proximity switch used in the measurement of (5) has the same configuration as the proximity switch 1E of FIG. 13 except that the magnetic flux guiding member 4 is replaced by a mother switch in which the ferromagnetic thin film 42 is not formed. A member consisting only of the material 41 is incorporated. The material of the base material 41 is the same as the sensor used for the measurements (1) to (4).

　図１６の測定結果によれば、磁束誘導部材４が導入された４種類の近接スイッチ１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅでは、いずれも、母材のみから成る部材を導入した近接スイッチに比べ、距離感度Δｇｌが格段に向上する。中でも、フランジ部４ｂを具備する磁束誘導部材４を使用した近接スイッチ１Ｅ，１Ｄでは、フランジ部４ｂを持たない磁束誘導部材４を使用した近接スイッチ１Ｂ，１Ｃよりも、距離感度Δｇｌが高くなっている。これは、フランジ部４ｂの存在によって、検出方向への磁束の誘導がより促進されたことによる、と考えることができる。 According to the measurement results in FIG. 16, the four types of proximity switches 1B, 1C, 1D, and 1E in which the magnetic flux guiding member 4 is introduced have a distance sensitivity higher than that of a proximity switch in which a member consisting of only the base material is introduced. Δgl is significantly improved. In particular, the proximity switches 1E and 1D using the magnetic flux guiding member 4 having the flange portion 4b have higher distance sensitivity Δgl than the proximity switches 1B and 1C using the magnetic flux guiding member 4 without the flange portion 4b. I have. This can be attributed to the fact that the presence of the flange portion 4b further promotes the induction of magnetic flux in the detection direction.

この発明が適用されたシールドタイプの近接スイッチの構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a shield type proximity switch to which the present invention is applied. 図１の近接スイッチと従来の近接スイッチとの検出能力を比較して示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a comparison between detection capabilities of the proximity switch of FIG. 1 and a conventional proximity switch. この発明にかかる近接スイッチと、非磁性金属の母材のみを導入した近接スイッチとについて、距離感度を測定した結果を示すテーブルである。9 is a table showing the results of measuring the distance sensitivity of the proximity switch according to the present invention and a proximity switch in which only a nonmagnetic metal base material is introduced. 磁束誘導体の強磁性薄膜の膜厚が異なる複数の近接スイッチについて、距離感度を測定した結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of having measured distance sensitivity about a plurality of proximity switches from which the thickness of the ferromagnetic thin film of a magnetic flux derivative differs. 強磁性薄膜の形成対象位置を示す説明図、および強磁性薄膜の形成パターン毎に距離感度を測定した結果を示すテーブルである。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a position where a ferromagnetic thin film is to be formed, and a table showing the results of measuring distance sensitivity for each pattern of forming a ferromagnetic thin film. 薄膜の材質が距離感度に及ぼす影響をＣＡＥにより解析した結果を示すグラフ、およびこの解析に使用したパラメータの設定値を示すテーブルである。5A and 5B are a graph showing a result obtained by analyzing the effect of a material of a thin film on distance sensitivity by CAE, and a table showing setting values of parameters used in the analysis. この発明が適用された非シールドタイプの近接スイッチの構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a non-shielded proximity switch to which the present invention is applied. シールドタイプの近接スイッチにかかる第２実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 2nd Example concerning a shield type proximity switch. シールドタイプの近接スイッチにかかる第３実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 3rd Example concerning a shield type proximity switch. シールドタイプの近接スイッチにかかる第４実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 4th Example concerning the shield type proximity switch. 図８，９，１０の各実施例の近接スイッチに使用される磁束誘導部材について、最低限必要な強磁性薄膜の形成範囲を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing a minimum necessary formation range of a ferromagnetic thin film with respect to a magnetic flux guide member used in the proximity switch of each embodiment of FIGS. 近接スイッチの組立工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the assembly process of a proximity switch. 図１２の組立工程により図１の近接スイッチを製作した場合の構成を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a configuration when the proximity switch of FIG. 1 is manufactured by the assembly process of FIG. 12. 図１２の組立工程により図７の近接スイッチを製作した場合の構成を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a configuration when the proximity switch of FIG. 7 is manufactured by the assembly process of FIG. 12. 磁束誘導部材の他の例を示す斜視図である。It is a perspective view showing other examples of a magnetic flux guide member. 図８，９，１０，１３の各近接スイッチと、磁束誘導部材の母材のみが導入された近接スイッチとについて、距離感度を測定した結果を示すグラフである。FIG. 14 is a graph showing the results of measuring distance sensitivities of the proximity switches of FIGS. シールドタイプの近接スイッチの外観を示す斜視図である。It is a perspective view showing the appearance of a shield type proximity switch.

符号の説明Explanation of reference numerals

　１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ　近接スイッチ
　２　検出部
　３　金属製ケース
　４　磁束誘導部材
　５　コイルケース
　６　検出コイル
４ａ　筒状体
４ｂ　フランジ部
４１　母材
４２　強磁性薄膜 1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E Proximity switch 2 Detector 3 Metal case 4 Magnetic flux guide member 5 Coil case 6 Detection coil 4a Tubular body 4b Flange part 41 Base material 42 Ferromagnetic thin film

Claims (10)

　コイルおよびコアを含む検出部と、前記検出部の外周に配備される金属製ケースとを具備する近接スイッチであって、
　前記検出部の外側または検出部内の前記コアよりも外側には、コイルからの磁束を検出方向に誘導するための磁束誘導部材が配備されており、
　前記磁束誘導部材は、非磁性の金属体の表面の少なくとも一部に強磁性の金属薄膜が形成されて成る近接スイッチ。 A proximity switch including a detection unit including a coil and a core, and a metal case provided on an outer periphery of the detection unit,
A magnetic flux guiding member for guiding magnetic flux from a coil in a detection direction is provided outside the detection unit or outside the core in the detection unit,
The proximity switch, wherein the magnetic flux guide member is formed by forming a ferromagnetic metal thin film on at least a part of a surface of a non-magnetic metal body. 　ケース体の内部にコイルおよびコアが収容された検出部と、前記ケース体の外周に配備される金属製ケースとを具備する近接スイッチであって、
　前記検出部には、コイルからの磁束を検出方向に誘導するための磁束誘導部材が前記ケース体の外周面または内周面に接した状態で配備されており、
　前記磁束誘導部材は、非磁性の金属体の表面の少なくとも一部に強磁性の金属薄膜が形成されて成る近接スイッチ。 A proximity switch including a detection unit in which a coil and a core are housed inside a case body, and a metal case provided on an outer periphery of the case body,
In the detection unit, a magnetic flux guiding member for guiding a magnetic flux from a coil in a detection direction is provided in a state in contact with an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of the case body.
The proximity switch, wherein the magnetic flux guide member is formed by forming a ferromagnetic metal thin film on at least a part of a surface of a non-magnetic metal body. 　前記磁束誘導部材は、両端が開口された中空の本体部の一端にフランジ部が形成されて成り、前記本体部がケース体と金属製ケースとの間に位置し、かつ前記フランジ部が金属製ケースの前端縁よりも前方に位置するように配備され、
　前記強磁性の金属薄膜は、少なくとも、フランジ部の前端面および外周面と、フランジ部および本体部にかかる内周面全体とに形成されて成る請求項２に記載された近接スイッチ。 The magnetic flux guiding member is formed by forming a flange at one end of a hollow main body having both ends opened, the main body is located between a case body and a metal case, and the flange is made of metal. It is deployed so that it is located ahead of the front edge of the case,
3. The proximity switch according to claim 2, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed on at least a front end surface and an outer peripheral surface of the flange portion and an entire inner peripheral surface of the flange portion and the main body. 　前記磁束誘導部材は、両端が開口された中空の本体部の一端にフランジ部が形成されて成り、前記フランジ部を前にした状態で、フランジ部および本体部がケース体の内面に設けられており、
　前記強磁性の金属薄膜は、少なくとも、フランジ部の前端面および外周面と、フランジ部および本体部にかかる内周面全体とに形成されて成る請求項２に記載された近接スイッチ。 The magnetic flux guide member is formed by forming a flange portion at one end of a hollow main body portion having both ends opened, and the flange portion and the main body portion are provided on an inner surface of the case body with the flange portion facing forward. Yes,
3. The proximity switch according to claim 2, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed on at least a front end surface and an outer peripheral surface of the flange portion and an entire inner peripheral surface of the flange portion and the main body. 　前記磁束誘導部材は、両端が開口された中空体であって、前記ケース体と金属製ケースとの間に配備され、
　前記強磁性の金属薄膜は、少なくとも、前記中空体の前端面および内周面と、外周面の前端部とに形成されて成る請求項２に記載された近接スイッチ。 The magnetic flux guide member is a hollow body having both ends opened, and is disposed between the case body and the metal case,
3. The proximity switch according to claim 2, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed at least on a front end surface and an inner peripheral surface of the hollow body and a front end portion of an outer peripheral surface. 　前記磁束誘導部材は、前記中空体の前端面がケース体の前面よりも後方に位置するようにして、ケース体の外周面に設けられて成る請求項５に記載された近接スイッチ。 The proximity switch according to claim 5, wherein the magnetic flux guide member is provided on an outer peripheral surface of the case body such that a front end surface of the hollow body is located behind a front surface of the case body. 　前記磁束誘導部材は、両端が開口された中空体であって、前記ケース体の内周面に設けられており、
　前記強磁性の金属薄膜は、少なくとも、前記中空体の前端面および内周面と、外周面の前端部とに形成されて成る請求項２に記載された近接スイッチ。 The magnetic flux guide member is a hollow body having both ends opened, and is provided on an inner peripheral surface of the case body.
3. The proximity switch according to claim 2, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed at least on a front end surface and an inner peripheral surface of the hollow body and a front end portion of an outer peripheral surface. 　前記強磁性の金属薄膜は、前記磁束誘導部材の全面にわたって形成されて成る請求項１または２に記載された近接スイッチ。 3. The proximity switch according to claim 1, wherein the ferromagnetic metal thin film is formed over the entire surface of the magnetic flux guiding member. 　前記磁束誘導部材の強磁性の金属薄膜は、体積抵抗率が高い金属により形成されて成る請求項１または２に記載された近接スイッチ。 3. The proximity switch according to claim 1, wherein the ferromagnetic metal thin film of the magnetic flux guiding member is formed of a metal having a high volume resistivity. 　前記磁束誘導部材は、体積抵抗率が低い非磁性金属体を母材とする請求項９に記載された近接スイッチ。 The proximity switch according to claim 9, wherein the magnetic flux guide member is made of a non-magnetic metal body having a low volume resistivity.
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