JP2004111795A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】配線溝の上端角部が削れることなく埋込み配線を形成する。
【解決手段】下層配線としての配線２０が埋め込まれた絶縁膜上に、低誘電率材料からなる絶縁膜２２および２５を含む絶縁膜２１〜２８を形成する。絶縁膜２８上に第１フォトレジストパターンを形成し、絶縁膜２５〜２８を選択的に除去してビア用の開口部３０を形成する。絶縁膜２８上に第２フォトレジストパターンを形成し、絶縁膜２８を選択的に除去して開口部３０を含む領域に配線溝用の開口部３２を形成する。開口部３２から露出する絶縁膜２６および２７と、開口部３０から露出する絶縁膜２３および２４とを除去する。それから、開口部３２から露出する絶縁膜２５と、開口部３０から露出する絶縁膜２２とを除去する。絶縁膜２８と、開口部３０の底部で露出する絶縁膜２１を除去した後、開口部３０および３２内に銅配線を形成する。
【選択図】 図１５
【解決手段】下層配線としての配線２０が埋め込まれた絶縁膜上に、低誘電率材料からなる絶縁膜２２および２５を含む絶縁膜２１〜２８を形成する。絶縁膜２８上に第１フォトレジストパターンを形成し、絶縁膜２５〜２８を選択的に除去してビア用の開口部３０を形成する。絶縁膜２８上に第２フォトレジストパターンを形成し、絶縁膜２８を選択的に除去して開口部３０を含む領域に配線溝用の開口部３２を形成する。開口部３２から露出する絶縁膜２６および２７と、開口部３０から露出する絶縁膜２３および２４とを除去する。それから、開口部３２から露出する絶縁膜２５と、開口部３０から露出する絶縁膜２２とを除去する。絶縁膜２８と、開口部３０の底部で露出する絶縁膜２１を除去した後、開口部３０および３２内に銅配線を形成する。
【選択図】 図１５
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、銅を主成分とする主導体膜を含む埋込み配線を有する半導体装置の製造方法に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えばダマシン（Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）と呼ばれる配線形成技術が検討されている。このダマシン法は、シングルダマシン（Ｓｉｎｇｌｅ−Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）法とデュアルダマシン（Ｄｕａｌ−Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）法とに大別できる。シングルダマシン法は、例えば絶縁膜に配線溝を形成した後、その絶縁膜上および配線溝内に配線形成用の主導電層を堆積し、さらに、その主導電層を、例えば化学的機械的研磨法（ＣＭＰ；Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）によって配線溝内のみに残されるように研磨することにより、配線溝内に埋込み配線を形成する方法である。また、デュアルダマシン法は、絶縁膜に配線溝および下層配線との接続を行うための孔（ビア）を形成した後、その絶縁膜上、配線溝および孔内に配線形成用の主導電層を堆積し、さらに、その主導電層をＣＭＰ等によって配線溝および孔内のみに残されるように研磨することにより、配線溝および孔内に埋込み配線を形成する方法である。いずれの方法においても、配線の主導体材料としては、半導体装置の性能を向上させる観点等から、例えば銅等のような低抵抗な材料が使用される。銅はアルミニウムよりも低抵抗で信頼性における許容電流が２桁以上大きいという利点を持ち、同じ配線抵抗を得るのに膜を薄くすることができるので、隣接する配線間の容量も低減できる。しかし、銅は、例えばアルミニウム等のような金属と比較して絶縁膜中に拡散され易いとされている。このため、銅を配線材料として用いる場合、銅からなる主導体層の表面（底面および側面）、すなわち、配線溝の内壁面（側面および底面）に、銅の拡散を防止するための薄い導電性バリア膜を形成する必要性があるとされている。また、配線溝が形成された絶縁膜の上面上の全面に、上記埋め込み配線の上面を覆うように、例えば窒化シリコン膜等からなるバリア絶縁膜を形成することにより、埋め込み配線中の銅が、埋込み配線の上面から絶縁膜中に拡散するのを防止する技術がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、本発明者らの検討結果によれば、上記埋込み配線技術においては、以下の課題があることを見い出した。
【０００４】
絶縁膜に配線開口部（配線溝や孔）を形成するためのフォトリソグラフィ工程には、ＫｒＦ用のフォトレジスト膜（ＫｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）が使用されている。そのようなフォトレジスト膜を絶縁膜上に形成し、ＫｒＦレーザ光を用いてフォトレジスト膜を露光し現像してフォトレジストパターンを形成し、このフォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて絶縁膜をエッチングして、絶縁膜に配線開口部などを形成していた。
【０００５】
しかしながら、近年、半導体装置の小型化に伴い、埋込み配線の微細化が重要になってきており、更なる微細加工が要求されている。更なる微細加工を実現するには、配線開口部を形成するためのフォトリソグラフィ工程で、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用いることが考えられる。ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＫｒＦレーザ（ＫｒＦエキシマレーザ）光より波長が短いＡｒＦレーザ（ＡｒＦエキシマレーザ）光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターンを形成すれば、ＫｒＦレーザ光による露光と比べて、より微細なパターンを形成することができる。これは、埋込み配線の更なる微細化を可能とする。
【０００６】
ところが、ＫｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚はその下の反射防止膜も含めて例えば５８０ｎｍ程度であるのに対して、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚はその下の反射防止膜も含めて例えば４５０ｎｍ程度と比較的薄くしなければならない。ＡｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚を厚くしすぎると、焦点深度が合わないことなどにより、フォトレジスト膜を的確に露光（感光）できなくなってしまう。その一方で、埋込み配線の微細化により配線幅は小さくなるが、配線膜厚は同程度かあるいは逆により厚くなる傾向にある。
【０００７】
比較的薄いフォトレジスト膜を用いて比較的厚い絶縁膜を加工すると、フォトレジスト膜厚の減少と配線膜厚（絶縁膜厚）の増加により、フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて絶縁膜をエッチングする際に、エッチング工程終了前にフォトレジストパターンおよびその下の反射防止膜が除去されて下層の絶縁膜の上面が露出してしまう恐れがある。これは、絶縁膜がエッチングされて、配線溝（開口部）の上端角部（肩部）が削れて丸くなる現象、すなわち肩削れを発生させる。その後のエッチング工程においても、絶縁膜がエッチングされ、配線溝の上端角部の削れ（肩削れ）はますますひどくなる。
【０００８】
そのような肩削れが生じると、配線溝に導体膜を埋め込む際に、配線溝の上端部近傍（肩削れ部）にも導体が埋め込まれる。肩削れ部に埋め込まれた導体は、ＣＭＰ工程によっても除去されずに残存する恐れがある。これは、同層配線の隣接配線間の実質的な距離を短くし、配線間の絶縁破壊耐性を低下させる。
【０００９】
特に、銅を配線材料に用いた場合、ＴＤＤＢ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅ ｏｎ Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ）寿命が、他の金属材料（例えばアルミニウムやタングステン）に比べて著しく短いという問題がある。その上、配線ピッチの微細化が進み、実効電界強度が増加する傾向にあることに加え、誘電率の低い絶縁膜は一般的に絶縁耐圧も低いことから、ＴＤＤＢ寿命の確保が益々困難になる状況にある。しかも、ＴＤＤＢ寿命の劣化の原因と考えられている銅の拡散の経路は、隣接配線間のＣＭＰ面（ＣＭＰで研磨された面）が支配的であり、ＣＭＰ面がリークパスとして作用してＴＤＤＢ寿命の劣化を招く。このため、銅配線形成において上記肩削れが生じると、ＴＤＤＢ寿命または絶縁破壊耐性への悪影響が大きい。ＴＤＤＢ寿命の劣化原因については、本願発明者による特願平１１−２２６８７６号、特願２０００−１０４０１５号または特願２０００−３００８５３号に開示がある。
【００１０】
本発明の目的は、微細な埋込み配線を形成できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、絶縁破壊耐性を向上させることができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、配線溝の上端角部が削れることなく埋込み配線を形成できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１５】
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板を準備する工程、半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、第３絶縁膜上に第４絶縁膜を形成する工程、第４絶縁膜上に第５絶縁膜を形成する工程、第５絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、第１開口部から露出する第４絶縁膜を除去する工程、第５絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、第１開口部から露出する第３絶縁膜を除去する工程、第１開口部から露出する第２絶縁膜と第２開口部から露出する第４絶縁膜とを除去する工程、および、第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程を有するものである。
【００１６】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板を準備する工程、半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、第３絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、第１開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去する工程、第３絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、第２開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去し第１開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第１絶縁膜が露出するまで除去する工程、および、第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程を有するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。
【００１８】
（実施の形態１）
本実施の形態の半導体装置およびその製造工程を図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態である半導体装置、例えばＭＩＳＦＥＴ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、の製造工程中の要部断面図である。
【００１９】
図１に示すように、例えば１〜１０Ωｃｍ程度の比抵抗を有するｐ型の単結晶シリコンなどからなる半導体基板（半導体ウエハ）１の主面に素子分離領域２が形成される。素子分離領域２は酸化シリコンなどからなり、例えばＳＴＩ（Ｓｈａｌｌｏｗ Ｔｒｅｎｃｈ Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）法またはＬＯＣＯＳ（Ｌｏｃａｌ Ｏｘｉｄｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎ ）法などにより形成される。
【００２０】
次に、半導体基板１のｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴを形成する領域にｐ型ウエル３を形成する。ｐ型ウエル３は、例えばホウ素（Ｂ）などの不純物をイオン注入することなどによって形成される。
【００２１】
次に、ｐ型ウエル３の表面にゲート絶縁膜４が形成される。ゲート絶縁膜４は、例えば薄い酸化シリコン膜などからなり、例えば熱酸化法などによって形成することができる。
【００２２】
次に、ｐ型ウエル３のゲート絶縁膜４上にゲート電極５が形成される。例えば、半導体基板１上に多結晶シリコン膜を形成し、その多結晶シリコン膜にリン（Ｐ）などをイオン注入して低抵抗のｎ型半導体膜とし、その多結晶シリコン膜をドライエッチングによってパターニングすることにより、多結晶シリコン膜からなるゲート電極５を形成することができる。
【００２３】
次に、ｐ型ウエル３のゲート電極５の両側の領域にリンなどの不純物をイオン注入することにより、ｎ−型半導体領域６が形成される。
【００２４】
次に、ゲート電極５の側壁上に、例えば酸化シリコンなどからなる側壁スペーサまたはサイドウォール７が形成される。サイドウォール７は、例えば、半導体基板１上に酸化シリコン膜を堆積し、この酸化シリコン膜を異方性エッチングすることによって形成することができる。
【００２５】
サイドウォール７の形成後、ｎ＋型半導体領域８（ソース、ドレイン）が、例えば、ｐ型ウエル３のゲート電極５およびサイドウォール７の両側の領域にリンなどの不純物をイオン注入することにより形成される。ｎ＋型半導体領域８は、ｎ−型半導体領域６よりも不純物濃度が高い。
【００２６】
次に、ゲート電極５およびｎ＋型半導体領域８の表面を露出させ、例えばコバルト（Ｃｏ）膜を堆積して熱処理することによって、ゲート電極５とｎ＋型半導体領域８との表面に、それぞれシリサイド膜５ａおよびシリサイド膜８ａを形成する。これにより、ｎ＋型半導体領域８の拡散抵抗と、コンタクト抵抗とを低抵抗化することができる。その後、未反応のコバルト膜は除去する。
【００２７】
このようにして、ｐ型ウエル３にｎチャネル型のＭＩＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）９が形成される。
【００２８】
次に、半導体基板１上に窒化シリコンなどからなる絶縁膜１０と、酸化シリコンなどからなる絶縁膜１１を順次堆積する。それから、絶縁膜１１および絶縁膜１０を順次ドライエッチングすることにより、コンタクトホール１２を形成する。コンタクトホール１２の底部では、半導体基板１の主面の一部、例えばｎ＋型半導体領域８の一部、やゲート電極５の一部などが露出される。
【００２９】
次に、コンタクトホール１２内に、タングステン（Ｗ）などからなるプラグ１３が形成される。プラグ１３は、例えば、コンタクトホール１２の内部を含む絶縁膜１１上にバリア膜として例えば窒化チタン膜１３ａを形成した後、タングステン膜をＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって窒化チタン膜１３ａ上にコンタクトホール１２を埋めるように形成し、絶縁膜１１上の不要なタングステン膜および窒化チタン膜１３ａをＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法またはエッチバック法などによって除去することにより形成することができる。
【００３０】
図２〜図１８は、図１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図または要部平面図を示している。図１０および図１３は、それぞれ図９および図１２の半導体装置の要部平面図であり、図９および図１２が、それぞれ図１０および図１３のＡ−Ａ線の断面に対応する。図１０および図１３以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。
【００３１】
まず、図２に示されるように、プラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に絶縁膜１４が形成される。絶縁膜１４は、例えば有機ポリマーまたは有機シリカガラスなどのような低誘電率材料（いわゆるＬｏｗ−Ｋ絶縁膜、Ｌｏｗ−Ｋ材料）からなることが好ましい。なお、低誘電率な絶縁膜（Ｌｏｗ−Ｋ絶縁膜）とは、パッシベーション膜に含まれる酸化シリコン膜（たとえばＴＥＯＳ（Ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）酸化膜）の誘電率よりも低い誘電率を有する絶縁膜を例示できる。一般的には、ＴＥＯＳ酸化膜の比誘電率ε＝４．１〜４．２程度以下を低誘電率な絶縁膜と言う。また、絶縁膜１４の形成前に、例えば窒化シリコン膜（または炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜あるいは酸窒化シリコン膜）をプラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に形成し、その窒化シリコン膜上に絶縁膜１４を形成することもできる。その場合、窒化シリコン膜は絶縁膜１４をエッチングする際にエッチングストッパとして機能する。
【００３２】
上記低誘電率材料としての有機ポリマーには、例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝４９０℃以上、絶縁破壊耐圧＝４．０〜５．０ＭＶ／Ｖｍ）またはポリアリルエーテル（ＰＡＥ）系材料のＦＬＡＲＥ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．８、耐熱温度＝４００℃以上）がある。このＰＡＥ系材料は、基本性能が高く、機械的強度、熱的安定性および低コスト性に優れるという特徴を有している。上記低誘電率材料としての有機シリカガラス（ＳｉＯＣ系材料）には、例えばＨＳＧ−Ｒ７（日立化成工業製、比誘電率＝２．８、耐熱温度＝６５０℃）、Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄ（米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．製、比誘電率＝３．０〜２．４、耐熱温度＝４５０℃）またはｐ−ＭＴＥＳ（日立開発製、比誘電率＝３．２）がある。この他のＳｉＯＣ系材料には、例えばＣＯＲＡＬ（米Ｎｏｖｅｌｌｕｓ Ｓｙｓｔｅｍｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２．７〜２．４、耐熱温度＝５００℃）、Ａｕｒｏｒａ２．７（日本エー・エス・エム社製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝４５０℃）がある。
【００３３】
また、上記低誘電率材料として、例えばＦＳＧ（ＳｉＯＦ系材料）、ＨＳＱ（ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）系材料、ＭＳＱ（ｍｅｔｈｙｌ ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）系材料、ポーラスＨＳＱ系材料、ポーラスＭＳＱ材料またはポーラス有機系材料を用いることもできる。上記ＨＳＱ系材料には、例えばＯＣＤ Ｔ−１２（東京応化工業製、比誘電率＝３．４〜２．９、耐熱温度＝４５０℃）、ＦＯｘ（米Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ Ｃｏｒｐ．製、比誘電率＝２．９）またはＯＣＬ Ｔ−３２（東京応化工業製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝４５０℃）などがある。上記ＭＳＱ系材料には、例えばＯＣＤ Ｔ−９（東京応化工業製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝６００℃）、ＬＫＤ−Ｔ２００（ＪＳＲ製、比誘電率＝２．７〜２．５、耐熱温度＝４５０℃）、ＨＯＳＰ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝５５０℃）、ＨＳＧ−ＲＺ２５（日立化成工業製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝６５０℃）、ＯＣＬ Ｔ−３１（東京応化工業製、比誘電率＝２．３、耐熱温度＝５００℃）またはＬＫＤ−Ｔ４００（ＪＳＲ製、比誘電率＝２．２〜２、耐熱温度＝４５０℃）などがある。上記ポーラスＨＳＱ系材料には、例えばＸＬＫ（米Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ Ｃｏｒｐ．製、比誘電率＝２．５〜２）、ＯＣＬ Ｔ−７２（東京応化工業製、比誘電率＝２．２〜１．９、耐熱温度＝４５０℃）、Ｎａｎｏｇｌａｓｓ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．２〜１．８、耐熱温度＝５００℃以上）またはＭｅｓｏＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２以下）がある。上記ポーラスＭＳＱ系材料には、例えばＨＳＧ−６２１１Ｘ（日立化成工業製、比誘電率＝２．４、耐熱温度＝６５０℃）、ＡＬＣＡＰ−Ｓ（旭化成工業製、比誘電率＝２．３〜１．８、耐熱温度＝４５０℃）、ＯＣＬ Ｔ−７７（東京応化工業製、比誘電率＝２．２〜１．９、耐熱温度＝６００℃）、ＨＳＧ−６２１０Ｘ（日立化成工業製、比誘電率＝２．１、耐熱温度＝６５０℃）またはｓｉｌｉｃａ ａｅｒｏｇｅｌ（神戸製鋼所製、比誘電率１．４〜１．１）などがある。上記ポーラス有機系材料には、例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２以下、耐熱温度＝４９０℃）などがある。上記ＳｉＯＣ系材料、ＳｉＯＦ系材料は、例えばＣＶＤ法によって形成されている。例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄは、トリメチルシランと酸素との混合ガスを用いたＣＶＤ法などによって形成される。また、上記ｐ−ＭＴＥＳは、例えばメチルトリエトキシシランとＮ２Ｏとの混合ガスを用いたＣＶＤ法などによって形成される。それ以外の上記低誘電率の絶縁材料は、例えば塗布法で形成されている。
【００３４】
このようなＬｏｗ−Ｋ材料からなる絶縁膜１４上に、薄い絶縁膜１５を形成する。絶縁膜１５はＣＶＤ法、例えばプラズマＣＶＤ法、などを用いて形成することができる。絶縁膜１５は、例えば１０〜２０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜１５は、酸素（Ｏ２）プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなる。絶縁膜１５の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。なお、酸化性雰囲気のプラズマとは、例えば、酸化作用を有するラジカル、イオン、原子、分子等の反応種が支配的に存在するプラズマ環境である。
【００３５】
次に、絶縁膜１５上に絶縁膜１６をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜１６の厚さは、絶縁膜１４よりも相対的に薄く、例えば２５ｎｍ〜１００ｎｍ程度である。絶縁膜１６は、例えば二酸化シリコンに代表される酸化シリコン膜からなる。絶縁膜１６は、後で形成される配線２０の隣接配線間の寄生容量を低減するため、窒化シリコンより低い誘電率を有する材料からなることが好ましく、比誘電率が５以下の材料からなることがより好ましい。絶縁膜１６の材料としては酸化シリコンが好ましいが、他の材料として、例えばＳｉＯＣ膜（酸炭化シリコン膜、有機シリカガラス膜）を用いても良い。あるいは、絶縁膜１６の他の材料として、窒素含有率が１０％未満のＳｉＯＮ（酸窒化シリコン膜）膜を用いることもできる。
【００３６】
絶縁膜１５は、絶縁膜１４と絶縁膜１６の密着性を向上させるよう機能することができる。例えば、絶縁膜１４上に直接酸化シリコン膜を成膜した場合、酸化シリコン膜成膜時のＮ２ＯまたはＯ２ガス成分によるプラズマで、Ｌｏｗ−Ｋ材料からなる絶縁膜１４の表面がダメージを受ける恐れがある。絶縁膜１４と絶縁膜１６の間に絶縁膜１５を形成することで、そのような不具合を防止することができる。また、絶縁膜１５の厚みは薄いため、後で形成される配線２０の隣接配線間の寄生容量は、絶縁膜１５によってほとんど増加しない。なお、絶縁膜１５の形成を省略することも可能である。また、絶縁膜１６は、例えばＣＭＰ処理時における絶縁膜１４の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。
【００３７】
次に、絶縁膜１６上に絶縁膜１７を形成する。絶縁膜１７はＣＶＤ法、例えばプラズマＣＶＤ法、などを用いて形成することができる。絶縁膜１７は、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜１７の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜を用いても良い。絶縁膜１７は、絶縁膜１７を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜１６がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００３８】
次に、絶縁膜１７上に反射防止膜１８ａを形成する。それから、反射防止膜１８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン１８ｂを形成する。これにより、図２に示される構造が得られる。
【００３９】
次に、図３に示されるように、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜１８ａを選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１７を選択的に除去する。そして、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１６を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１５を選択的に除去する。更に、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１４を選択的に除去する。これにより、開口部１９が形成される。その後、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａをアッシングなどによって除去する。
【００４０】
絶縁膜１４が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜１４をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン１８ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光（ＡｒＦエキシマレーザ光）でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン１８ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜１４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜１７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜１６のエッチングされるべきでない部分（開口部１９を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００４１】
その後、図４に示されるように、絶縁膜１７をドライエッチングなどによって除去する。従って、開口部１９形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜１７に肩削れ（開口部（ここでは開口部１９）の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、絶縁膜１７は除去されるので、絶縁膜１７の肩削れが悪影響を及ぼすことはない。このようにして、絶縁膜１４〜１６に形成された開口部１９からなる配線溝が形成され、その配線溝の底面からはプラグ１３の上面が露出される。また、絶縁膜１７を残した状態で後述する導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂを形成し、ＣＭＰ処理で不要な導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂを除去する際に、絶縁膜１７を除去することもできる。また、最終的に絶縁膜１６上に絶縁膜１７が若干残存しても悪影響はないので、絶縁膜１７を除去する工程では、オーバーエッチングを行わなくともよい。このため、絶縁膜１７を除去する工程では絶縁膜１６はほとんどエッチングされず、絶縁膜１６に肩削れが生じることはない。
【００４２】
次に、図５に示されるように、半導体基板１の主面上の全面に（すなわち、開口部１９の底面および側壁上を含む絶縁膜１６上に）、例えば窒化チタン（ＴｉＮ）などからなる例えば厚さ５０ｎｍ程度の薄い導電性バリア膜２０ａをスパッタリング法などを用いて形成する。導電性バリア膜２０ａは、例えば後述の主導体膜形成用の銅の拡散を抑制または防止する機能および主導体膜のリフロー時に銅の濡れ性を向上させる機能などを有している。このような導電性バリア膜２０ａの材料としては、窒化チタンに代えて、銅と殆ど反応しない窒化タングステン（ＷＮ）または窒化タンタル（ＴａＮ）などのような高融点金属窒化物を用いることもできる。また、導電性バリア膜２０ａの材料として、高融点金属窒化物にシリコン（Ｓｉ）を添加した材料や、銅と反応し難いタンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）合金などのような高融点金属を用いることもできる。
【００４３】
続いて、導電性バリア膜２０ａ上に、例えば厚さ８００〜１６００ｎｍ程度の相対的に厚い銅からなる主導体膜２０ｂを形成する。主導体膜２６ｂは、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成することができる。また、主導体膜２０ｂは銅を主成分とする導体膜、例えば銅または銅合金（Ｃｕを主成分とし、例えばＭｇ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｔａ，Ａｌ，Ｎｂ，ＺｒまたはＺｎなどを含む）により形成することができる。その後、例えば４７５℃程度の非酸化性雰囲気（例えば水素雰囲気）中において基板１に対して熱処理を施すことにより主導体膜２０ｂをリフローさせ、銅を開口部または開口部１９の内部に隙間なく埋込む。
【００４４】
次に、主導体膜２０ｂ、導電性バリア膜２０ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜１６の上面が露出するまで研磨する。これにより、図６に示すように、相対的に薄い導電性バリア膜２０ａと相対的に厚い主導体膜２０ｂとからなる配線（第１層配線）２０を開口部（配線溝）１９からなる配線開口部内に形成する。配線２０は、プラグ１３を介してｎ＋型半導体領域（ソース、ドレイン）８やゲート電極５と電気的に接続されている。
【００４５】
次に、半導体基板１をプラズマＣＶＤ装置の処理室内に配置し、アンモニアガスを導入してプラズマ電源を印加することにより、半導体基板１（特に配線２０が露出するＣＭＰ面）に対して、アンモニア（ＮＨ３）プラズマ処理を施す。あるいは、Ｎ２ガスおよびＨ２ガスを導入して、Ｎ２／Ｈ２プラズマ処理を施す。このような還元性プラズマ処理により、ＣＭＰで酸化された銅配線表面の酸化銅（ＣｕＯ、Ｃｕ２Ｏ、ＣｕＯ２）を銅（Ｃｕ）に還元し、更に、窒化銅（ＣｕＮ）層が配線２０の表面（ごく薄い領域）に形成される。
【００４６】
それから、必要に応じて洗浄を行った後、図７に示すように、半導体基板１の主面の全面上に絶縁膜２１をプラズマＣＶＤ法などによって形成する。すなわち、配線２０の上面上を含む絶縁膜１６上に、絶縁膜２１を形成する。絶縁膜２１の厚みは、例えば５０ｎｍ程度である。絶縁膜２１は、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなり、銅配線のバリア絶縁膜として機能する。従って、絶縁膜２１は、配線２０の主導体膜２０ｂ中の銅が、後で形成される絶縁膜２２中に拡散するのを抑制または防止する。絶縁膜２１の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜の単体膜を用いても良い。これらの膜を用いた場合、窒化シリコン膜に比べて誘電率を大幅に下げることができるので、配線容量を低減することができ、半導体装置の動作速度を向上させることができる。
【００４７】
次に、絶縁膜２１上に絶縁膜２２を形成する。上層配線（後述する配線３３）と下層配線（配線２０）との間の寄生容量を低減するために、絶縁膜２１を絶縁膜１４と同様に上記Ｌｏｗ−Ｋ材料を用いて形成することが好ましい。絶縁膜２２の厚みは、例えば２５０ｎｍ程度である。
【００４８】
次に、絶縁膜２２上に薄い絶縁膜２３をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２３は、例えば１０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２３は、酸素プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなる。絶縁膜２３の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。それから、絶縁膜２３上に絶縁膜２４をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２４は、例えば酸化シリコン膜からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２４の形成後、必要に応じてＣＭＰ処理を行い、絶縁膜２４の上面を平坦化することもできる。絶縁膜２３は、絶縁膜１５と同様に、絶縁膜２２と絶縁膜２４との密着性を向上させるよう機能することができる。また、絶縁膜２３の厚みは薄いため、配線間容量はほとんど増加しない。
【００４９】
次に、絶縁膜２４上に絶縁膜２５を形成する。絶縁膜２５は、絶縁膜２２と同様の材料、すなわちＬｏｗ−Ｋ材料からなる。絶縁膜２５の厚みは、例えば２２０ｎｍ程度である。
【００５０】
次に、絶縁膜２５上に、絶縁膜２３と同様の、薄い絶縁膜２６を形成する。絶縁膜２６は、例えば１０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２６は、酸素プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜２６の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。
【００５１】
次に、絶縁膜２６上に絶縁膜２７をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２７の厚さは、絶縁膜２５よりも相対的に薄く、例えば５０ｎｍ程度である。絶縁膜２７は、例えば、二酸化シリコンに代表される酸化シリコン膜からなる。絶縁膜２７は、同層配線の隣接配線間容量を低減するため、窒化シリコンより低い誘電率を有する材料からなることが好ましく、比誘電率が５以下の材料からなることがより好ましい。絶縁膜２７の材料は酸化シリコンが好ましいが、絶縁膜２７の他の材料として、例えばＳｉＯＣ（酸炭化シリコンまたは炭化酸化シリコン）膜を用いても良い。あるいは、絶縁膜２７の他の材料として、窒素含有率が１０％未満のＳｉＯＮ膜を用いることもできる。
【００５２】
絶縁膜２６は、絶縁膜１５および２３と同様に、絶縁膜２５と絶縁膜２７の密着性を向上させるよう機能することができる。絶縁膜２７は、例えばＣＭＰ処理時における絶縁膜２５の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。なお、絶縁膜２６の形成を省略することも可能である。
【００５３】
次に、絶縁膜２７上に絶縁膜２８を形成する。絶縁膜２８の厚みは、例えば７５ｎｍ程度である。絶縁膜２８は、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜２８の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜を用いても良い。絶縁膜２８は、絶縁膜２８を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜２７がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００５４】
次に、絶縁膜２８上に反射防止膜２９ａを形成する。反射防止膜２９ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜２９ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン２９ｂを形成する。フォトレジストパターン２９ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図７に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン２９ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００５５】
次に、図８に示されるように、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜２９ａを選択的に除去する。その後、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜２８を選択的に除去して開口部３０を形成する。
【００５６】
次に、図９に示されるように、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２７を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２６を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２５を選択的に除去する。絶縁膜２５のエッチング工程では、絶縁膜２４はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａをアッシングなどによって除去する。なお、図１０の平面図に示されるように、開口部３０は、ビア形成領域に対応する平面領域（位置）に形成されている。
【００５７】
絶縁膜２５が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜２５をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン２９ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン２９ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜２５のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜２８がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜２７のエッチングされるべきでない部分（開口部３０を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００５８】
次に、図１１に示されるように、絶縁膜２８上に、開口部３０を埋め込むように、反射防止膜３１ａを形成する。反射防止膜３１ａの絶縁膜２８上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜３１ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン３１ｂを形成する。フォトレジストパターン３１ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部３０のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部３０を反射防止膜３１ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜２５〜２８をドライエッチングして形成した開口部３０（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜３１ａの材料を埋め込むので、反射防止膜３１ａの材料による開口部３０の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン３１ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００５９】
次に、図１２に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜３１ａおよび絶縁膜２８を選択的に除去する。これにより、配線溝形成領域に対応する平面領域に開口部３２が形成される。このとき、絶縁膜２４および２７はエッチングストッパとして機能することができる。図１３の平面図に示されるように、開口部３２は開口部３０よりも大きく、開口部３０の領域（平面領域）は開口部３２の領域（平面領域）に含まれるので、開口部３２を形成するための絶縁膜２８のドライエッチング工程で、絶縁膜２８の開口部３０の端部に対応する部分はほとんど除去され得る。従って、たとえ開口部３０形成のための（絶縁膜２５〜２８の）ドライエッチング工程で絶縁膜２８に肩削れ（開口部３０の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、絶縁膜２８の肩削れ部は開口部３２形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部３０形成時に生じた絶縁膜２８の肩削れが（開口部３２形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【００６０】
次に、図１４に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３２から露出した絶縁膜２７および２６と、開口部３０から露出した絶縁膜２４および２３とを、選択的に除去する。
【００６１】
次に、図１５に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３２から露出した絶縁膜２５と、開口部３０から露出した絶縁膜２２とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜２１および２４はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａをアッシングなどによって除去する。
【００６２】
絶縁膜２２および２５が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜２２および２５をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン３１ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン３１ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜２２および２５のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜２８がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜２７のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００６３】
次に、図１６に示されるように、ドライエッチング法により、開口部３０の底部で露出する絶縁膜２１を除去して配線２０を露出させる。このとき、絶縁膜２８も除去され得る。絶縁膜２８は除去されるので、開口部３２形成工程で絶縁膜２８に肩削れ（開口部３２の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。また、絶縁膜２７は、開口部３０形成工程や開口部３２形成工程では絶縁膜２８によって保護されていたので、それらの工程ではほとんどエッチングされず、絶縁膜２７に肩削れが生じることはない。また、上記絶縁膜２７のエッチング工程は、開口部３０の底部で配線２０が露出するまでエッチングを行えばよく、絶縁膜２７上に絶縁膜２８が若干残存したとしても特に悪影響は及ぼさない。このため、絶縁膜２１および絶縁膜２８のエッチング工程で絶縁膜２７に肩削れが生じることはない。
【００６４】
次に、図１７に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部３０および３２の底面および側壁上を含む絶縁膜２７上）に、導電性バリア膜２０ａと同様の材料、例えば窒化チタンからなる導電性バリア膜３３ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜３３ａ上に、開口部３０および開口部３２を埋めるように、銅からなる主導体膜３３ｂを、主導体膜２０ｂと同様にして形成する。主導体膜３３ｂは、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成することができる。また、主導体膜３３ｂは銅を主成分とする導体膜、例えば銅または銅合金（Ｃｕを主成分とし、例えばＭｇ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｔａ，Ａｌ，Ｎｂ，ＺｒまたはＺｎなどを含む）により形成することができる。
【００６５】
次に、図１８に示されるように主導体膜３３ｂ、導電性バリア膜３３ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜２７の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部３０および３２からなる配線開口部内に配線（第２層配線）３３が形成される。配線３３は、相対的に薄い導電性バリア膜３３ａと、相対的に厚い主導体膜３３ｂとを有しており、配線２０に電気的に接続されている。なお、開口部３２が配線溝に対応し、開口部３０が上層配線（配線３３）と下層配線（配線２０）の接続を行うための孔またはビアに対応する。このため、開口部３２に埋め込まれた導体部分（導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂ）が配線部分に対応し、開口部３０に埋め込まれた導体部分（導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂ）がビア部分またはプラグ部分に対応する。
【００６６】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【００６７】
本実施の形態では、絶縁膜２７上に絶縁膜２８を形成している。開口部３０を形成するためのエッチング工程において、この絶縁膜２８はエッチングのハードマスクとして機能することができる。例えば、フォトレジストパターン２９ａと反射防止膜２９ａとの合計の厚みが、開口部３０を形成するための反射防止膜２９ａ、絶縁膜２８、絶縁膜２７、絶縁膜２６および絶縁膜２５のドライエッチング工程におけるエッチング量（絶縁膜２５〜２８および反射防止膜３１ａの合計厚みと半導体基板の面内分布の不均一性などを考慮したオーバーエッチング量との合計）に比較して薄い場合などでは、エッチング工程の最終段階ではフォトレジストパターン２９ａおよび反射防止膜２９ｂが除去されてしまい、絶縁膜２８が露出した状態となり、絶縁膜２８がエッチングのハードマスクとして機能する。同様に、開口部３２を形成するためのエッチング工程においても、絶縁膜２８はエッチングのハードマスクとして機能することができる。従って、ビア用の開口部３０の形成工程と配線溝用の開口部３２の形成工程の両方で、フォトレジストパターン、反射防止膜およびハードマスクとしての絶縁膜２８をエッチングマスクとして用いてドライエッチングを行うことができ、ビア（開口部２８）および配線溝（開口部３０）に肩削れが生じるのを防止することができる。
【００６８】
また、開口部３０の平面領域はビア形成領域に対応し、開口部３２の平面領域は配線溝形成領域に対応する。このため、後に形成される開口部３２の平面領域は先に形成される開口部３０の平面領域よりも大きく、開口部３０の平面領域は開口部３２の平面領域内にある（含まれる）。従って、絶縁膜２８の開口部３０の肩部（端部）に対応する領域は、開口部３２形成のためのエッチング工程でエッチングされて除去され得る。このため、たとえ開口部３０形成のための絶縁膜２５〜２８のエッチング工程で絶縁膜２８に肩削れが生じたとしても、肩削れ部とその周辺領域は開口部３２形成のためのエッチング工程で除去されるので、開口部３２形成のためのエッチング工程およびそれ以降の工程で悪影響は及ぼさない。また、開口部３２形成のためのエッチング工程で絶縁膜２８の開口部３２の端部に対応する部分が削れて肩削れが生じたとしても、開口部３０から露出する（ビア底の）絶縁膜２１のエッチング工程で絶縁膜２８も除去され得るので、絶縁膜２７およびそれより下の各材料膜には悪影響は及ぼさない。
【００６９】
従って、導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂを形成する際には、開口部３０および開口部３２には肩削れが生じていない。開口部３０および３２内に導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部３２の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜２８をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【００７０】
また、本実施の形態では、絶縁膜１４、２２および２５として低誘電率材料を用いたが、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料からなる場合に本実施の形態の半導体装置の製造方法を適用すれば、より好ましい。酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料としては、例えば上記有機ポリマー系の低誘電率材料（ＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製）など）などがある。また、有機ポリマー系の低誘電率材料以外の低誘電率材料であっても、酸化シリコンに対してエッチング選択比が大きくかつＯ２系アッシングなどの酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料を用いた場合に、本実施の形態の半導体装置の製造方法を適用することは、極めて有効である。
【００７１】
（実施の形態２）
図１９〜図３３は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図２６および図２９は、それぞれ図２５および図２８の半導体装置の要部平面図であり、図２６および図２９のＡ−Ａ線の断面が図２５および図２８に対応する。図２６および図２９以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図１までの製造工程は上記実施の形態１と同様であるので、ここではその説明は省略し、図１に続く製造工程について説明する。
【００７２】
図１の構造が得られた後、図１９に示されるように、プラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に絶縁膜４１が形成される。絶縁膜４１は、絶縁膜１４と同様に低誘電率材料からなるが、ここでは例えばＢｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄ（米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．製）などのＳｉＯＣ（有機シリカガラス）系の低誘電率材料のような、ＣＶＤ法で形成され得る低誘電率材料からなる。従って、絶縁膜４４は、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理によってダメージをほとんど受けない。上記実施の形態１は、層間絶縁膜として酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料を用いる場合に好適であるが、本実施の形態は、層間絶縁膜として酸化性プラズマ処理によってダメージを受けない低誘電率材料を用いる場合に好適である。
【００７３】
次に、絶縁膜４１上に絶縁膜１７と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなる絶縁膜４２を形成する。絶縁膜４２は、絶縁膜１７と同様の機能を有する。すなわち、絶縁膜４２は、絶縁膜４２を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜４１がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００７４】
次に、絶縁膜４２上に反射防止膜４３ａを形成する。それから、反射防止膜４３ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン４３ｂを形成する。これにより、図１９に示される構造が得られる。
【００７５】
次に、図２０に示されるように、フォトレジストパターン４３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜４３ａ、絶縁膜４２および絶縁膜４１を順に選択的に除去する。これにより、開口部４４が形成される。その後、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａをアッシングなどによって除去する。
【００７６】
フォトレジストパターン４３ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン４３ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４１のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜４２がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４１のエッチングされるべきでない部分（開口部４４を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００７７】
その後、絶縁膜４２をエッチングなどによって除去する。このようにして、絶縁膜４１に形成された開口部４４からなる配線溝が形成され、その配線溝の底面からはプラグ１３の上面が露出される。
【００７８】
次に、半導体基板１の主面上の全面に（すなわち、開口部４４の底面および側壁上を含む絶縁膜４１上に）、導電性バリア膜４５ａおよび主導体膜４５ｂを形成する。導電性バリア膜４５ａおよび主導体膜４５ｂは、導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂと同様の材料からなり、同様の手法を用いて形成することができる。これにより、図２１の構造が得られる。
【００７９】
次に、主導体膜４５ｂおよび導電性バリア膜４５ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜４１の上面が露出するまで研磨する。これにより、図２２に示されるように、相対的に薄い導電性バリア膜４５ａと相対的に厚い主導体膜４５ｂとからなる配線（第１層配線）４５を配線溝（開口部）４４内に形成する。配線４４は、プラグ１３を介してｎ＋型半導体領域（ソース、ドレイン）８やゲート電極５と電気的に接続されている。
【００８０】
次に、図２３に示すように、半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜４６〜５０を順に形成する。絶縁膜４６、４８および５０は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、３０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜４７および４９は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えばそれぞれ３１０ｎｍおよび２５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜４６は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜５０は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜５０を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜４９がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００８１】
次に、絶縁膜５０上に反射防止膜５１ａを形成する。反射防止膜５１ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜５１ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン５１ｂを形成する。フォトレジストパターン５１ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図２３に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン５１ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００８２】
次に、図２４に示されるように、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜５１ａを選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜５０を選択的に除去して開口部５２（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。
【００８３】
次に、図２５および図２６に示されるように、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部５２から露出する絶縁膜４９を選択的に除去する。絶縁膜４９のエッチング工程では、絶縁膜４８はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａをアッシングなどによって除去する。
【００８４】
フォトレジストパターン５１ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン５１ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４９のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜５０がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４９のエッチングされるべきでない部分（開口部５２を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部５２形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、後述するように絶縁膜５０の肩削れ部は開口部（配線溝）５４形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部５２形成時に生じた絶縁膜５０の肩削れが（開口部５４形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【００８５】
次に、図２７に示されるように、絶縁膜５０上に、開口部５２を埋め込むように、反射防止膜５３ａを形成する。反射防止膜５３ａの絶縁膜５０上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜５３ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン５３ｂを形成する。フォトレジストパターン５３ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部５２のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部５２を反射防止膜５３ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜４９および５０をドライエッチングして形成した開口部５２（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜５３ａの材料を埋め込むので、反射防止膜５３ａの材料による開口部５２の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン５３ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００８６】
次に、図２８および図２９に示されるように、フォトレジストパターン５３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜５３ａ、絶縁膜５０、および絶縁膜４８を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部５４（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜５０に形成される。
【００８７】
次に、図３０に示されるように、フォトレジストパターン５３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部５２から露出した絶縁膜４７と、開口部５４から露出した絶縁膜４９とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜４６および４８はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａをアッシングなどによって除去する。
【００８８】
フォトレジストパターン５３ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン５３ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４７および４９のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜５０がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４９のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００８９】
次に、図３１に示されるように、ドライエッチング法により、開口部５２の底部で露出する絶縁膜４６を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜５０と、開口部５２の底部の絶縁膜４８も除去され得る。この工程で絶縁膜５０が除去されるので、絶縁膜４７および４９のドライエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れ（開口部５４の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【００９０】
次に、図３２に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部５２および５４の底面および側壁上を含む絶縁膜４９上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜５５ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜５５ａ上に、開口部５２および開口部５４を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜５５ｂを、主導体膜４５ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【００９１】
次に、図３３に示されるように主導体膜５５ｂ、導電性バリア膜５５ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜４９の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部５２および５４からなる配線開口部内に配線（第２層配線）５５が形成される。配線５５は、相対的に薄い導電性バリア膜５５ａと、相対的に厚い主導体膜５５ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【００９２】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【００９３】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができる。すなわち、開口部５２を形成するためのエッチング工程および開口部５４を形成するためのエッチング工程において、絶縁膜５０がエッチングのハードマスクとして機能することができる。このため、フォトレジストパターンと反射防止膜との合計の厚みが、ドライエッチング工程におけるエッチング量に比較して薄い場合でも、ビア（開口部５２）および配線溝（開口部５４）に肩削れが生じるのを防止することができる。
【００９４】
また、たとえ開口部５２形成のための絶縁膜４９および５０のエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れが生じたとしても、肩削れ部とその周辺領域は開口部５４形成のためのエッチング工程で除去されるので、悪影響は及ぼさない。また、開口部５４形成のためのエッチング工程で絶縁膜５０の開口部５４の端部に対応する部分が削れて肩削れが生じたとしても、開口部５２から露出する（ビア底の）絶縁膜４６のエッチング工程で絶縁膜５０も除去され得るので、悪影響は及ぼさない。
【００９５】
従って、導電性バリア膜５５ａおよび主導体膜５５ｂを形成する際には、開口部５２および開口部５４には肩削れが生じていない。開口部５２および５４内に導電性バリア膜５５ａおよび主導体膜５５ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部５４の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜５０をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【００９６】
（実施の形態３）
図３４〜図４３は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図３６および図３９は、それぞれ図３５および図３８の半導体装置の要部平面図であり、図３６および図３９のＡ−Ａ線の断面が図３５および図３８に対応する。図３６および図３９以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【００９７】
図２２の構造が得られた後、図３４に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜６１〜６７を順に形成する。絶縁膜６１、６３、６５および６７は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、３０ｎｍ、１０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６２および６４は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えばそれぞれ３１０ｎｍおよび１９０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６６は絶縁膜２７と同様の材料（例えば酸化シリコン膜）からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜６６は、例えばＣＭＰ処理時における下層の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。絶縁膜６７は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜６７を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜６６がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００９８】
次に、絶縁膜６７上に反射防止膜６８ａを形成する。反射防止膜６８ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜６８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン６８ｂを形成する。フォトレジストパターン６８ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図３４に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン６８ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００９９】
次に、フォトレジストパターン６８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜６８ａ、絶縁膜６７、絶縁膜６６、絶縁膜６５および絶縁膜６４を選択的に除去して開口部６９（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。絶縁膜６４のエッチング工程では、絶縁膜６３はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図３５および図３６に示される構造が得られる。
【０１００】
フォトレジストパターン６８ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン６８ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜６４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜６７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜６６のエッチングされるべきでない部分（開口部６９を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部６９形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜６７に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜６７の肩削れ部は開口部（配線溝）７１形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部６９形成時に生じた絶縁膜６７の肩削れが（開口部７１形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１０１】
次に、図３７に示されるように、絶縁膜６７上に、開口部６９を埋め込むように、反射防止膜７０ａを形成する。反射防止膜７０ａの絶縁膜６７上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜７０ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン７０ｂを形成する。フォトレジストパターン７０ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部６９のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部６９を反射防止膜７０ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜６４〜６７をドライエッチングして形成した開口部６９（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜７０ａの材料を埋め込むので、反射防止膜７０ａの材料による開口部６９の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン７０ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１０２】
次に、図３８および図３９に示されるように、フォトレジストパターン７０ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜７０ａ、絶縁膜６７、および絶縁膜６３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部７１（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜６７に形成される。
【０１０３】
次に、図４０に示されるように、フォトレジストパターン７０ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部７１から露出した絶縁膜６６、６５および６４と、開口部６９から露出した絶縁膜６２とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜６３および６１はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａをアッシングなどによって除去する。
【０１０４】
フォトレジストパターン７０ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン７０ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜６２および６４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜６７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜６６のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【０１０５】
次に、図４１に示されるように、ドライエッチング法により、開口部６９の底部で露出する絶縁膜６１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜６７と、開口部７１の底部の絶縁膜６３も除去され得る。この工程で絶縁膜６７が除去されるので、絶縁膜６２および６４のドライエッチング工程で絶縁膜６７に肩削れ（開口部７１の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１０６】
次に、図４２に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部６９および７１の底面および側壁上を含む絶縁膜６６上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜７２ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜７２ａ上に、開口部６９および開口部７１を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜７２ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１０７】
次に、図４３に示されるように主導体膜７２ｂ、導電性バリア膜７２ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜６６の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部６９および７１からなる配線開口部内に配線（第２層配線）７２が形成される。配線７２は、相対的に薄い導電性バリア膜７２ａと、相対的に厚い主導体膜７２ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１０８】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１０９】
本実施の形態においても、上記実施の形態１および２と同様の効果を得ることができる。また、上記実施の形態２では、本実施の形態における絶縁膜６６の形成を省略しているので、製造工程数を低減することが可能であるが、本実施の形態では、主導体膜７２ｂおよび導電性バリア膜７２ａをＣＭＰ法によって研磨する際の保護膜として酸化シリコンなどからなる絶縁膜６６を形成しているので、ＣＭＰ工程での平坦化が容易である。
【０１１０】
（実施の形態４）
図４４〜図５４は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図４６および図５０は、それぞれ図４５および図４９の半導体装置の要部平面図であり、図４６および図５０のＡ−Ａ線の断面が図４５および図４９に対応する。図４６および図５０以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【０１１１】
図２２の構造が得られた後、図４４に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜８１〜８３を順に形成する。絶縁膜８１および８３は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜８２は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えば６６０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜８１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜８３は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜８３を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜８２がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【０１１２】
次に、絶縁膜８３上に反射防止膜８４ａを形成する。反射防止膜８４ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜８４ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン８４ｂを形成する。フォトレジストパターン８４ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図４４に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン８４ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１１３】
次に、フォトレジストパターン８４ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜８４ａ、絶縁膜８３および絶縁膜８２を選択的に除去して開口部８５（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。ここで、絶縁膜８２のエッチングの際には、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜８２の途中（厚み方向の中間領域）でエッチングを終了させる。その後、残存するフォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図４５および図４６に示される構造が得られる。
【０１１４】
フォトレジストパターン８４ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン８４ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜８２のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜８３がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜８２のエッチングされるべきでない部分（開口部８５を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部８５形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜８３に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜８３の肩削れ部は開口部（配線溝）８７形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部８５形成時に生じた絶縁膜８３の肩削れが（開口部８７形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１１５】
次に、図４７に示されるように、絶縁膜８３上に、開口部８５を埋め込むように、反射防止膜８６ａを形成する。反射防止膜８６ａの絶縁膜８３上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜８６ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン８６ｂを形成する。フォトレジストパターン８６ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部８５のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部８５を反射防止膜８６ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜８２の途中（中間）までドライエッチングして形成した開口部８５（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜８６ａの材料を埋め込むので、反射防止膜８６ａの材料による開口部８５の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン８６ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１１６】
次に、図４８に示されるように、フォトレジストパターン８６ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜８６ａおよび絶縁膜８３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部８７（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜８３に形成される。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜８３に開口部８３が形成され、開口部８７の底部で絶縁膜８２が若干エッチングされた段階でエッチングを終了させる。それから、残存するフォトレジストパターン８６ｂおよび反射防止膜８６ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図４９および図５０に示されるような構造が得られる。
【０１１７】
次に、図５１に示されるように、絶縁膜８３をエッチングマスク（ハードマスク）にしたドライエッチング法により、絶縁膜８２の開口部８７の底部に対応する部分と開口部８５の底部に対応する部分とを選択的に除去する。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、開口部８５の底部で絶縁膜８１が露出され、かつ開口部８７の深さが所定の深さ（形成すべき銅配線の高さ）に達した段階でエッチングを終了させる。
【０１１８】
次に、図５２に示されるように、ドライエッチング法により、開口部８５の底部で露出する絶縁膜８１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜８３も除去され得る。この工程で絶縁膜８３が除去されるので、絶縁膜８２のドライエッチング工程で絶縁膜８３に肩削れ（開口部８７の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１１９】
次に、図５３に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部８５および開口部８７の底面および側壁上を含む絶縁膜８２上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜８８ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜８８ａ上に、開口部８５および開口部８７を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜８８ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１２０】
次に、図５４に示されるように主導体膜８８ｂ、導電性バリア膜８８ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜８２の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部８５および８７からなる配線開口部内に配線（第２層配線）８８が形成される。配線８８は、相対的に薄い導電性バリア膜８８ａと、相対的に厚い主導体膜８８ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１２１】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１２２】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができ、導電性バリア膜８８ａおよび主導体膜８８ｂを形成する際には、開口部８５および開口部８７には肩削れが生じていない。開口部８５および８７内に導電性バリア膜８８ａおよび主導体膜８８ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部８７の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜８３をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【０１２３】
また、本実施の形態では、絶縁膜８２の材料として、ＳｉＯＣ系の低誘電率材料（例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄなど）のような、ＣＶＤ法で形成でき、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理にダメージをほとんど受けない低誘電率材料を用いたが、他の低誘電率材料、例えば有機ポリマー系の低誘電率材料（例えば上記ＳｉＬＫなど）のような酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料を用いることもできる。
【０１２４】
（実施の形態５）
図５５〜図６５は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図５７および図６１は、それぞれ図５６および図６０の半導体装置の要部平面図であり、図５７および図６１のＡ−Ａ線の断面が図５６および図６０に対応する。図５７および図６１以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【０１２５】
図２２の構造が得られた後、図５５に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜９１〜９５を順に形成する。絶縁膜９１、９３および９５は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、１０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９２は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えば６６０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９４は絶縁膜２７と同様の材料（例えば酸化シリコン膜）からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜９４は、例えばＣＭＰ処理時における下層の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。絶縁膜９５は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜９５を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜９４がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【０１２６】
次に、絶縁膜９５上に反射防止膜９６ａを形成する。反射防止膜９６ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜９６ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン９６ｂを形成する。フォトレジストパターン９６ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図５５に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン９６ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１２７】
次に、フォトレジストパターン９６ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜９６ａ、絶縁膜９５、絶縁膜９４、絶縁膜９３および絶縁膜９２を選択的に除去して開口部９７（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。ここで、絶縁膜９２のエッチングの際には、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜９２の途中（厚み方向の中間領域）でエッチングを終了させる。その後、残存するフォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図５６および図５７に示される構造が得られる。
【０１２８】
フォトレジストパターン９６ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン９６ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜９２のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜９５がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜９４のエッチングされるべきでない部分（開口部９７を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部９７形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜９５に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜９５の肩削れ部は開口部（配線溝）９９形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部９７形成時に生じた絶縁膜９５の肩削れが（開口部９９形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１２９】
次に、図５８に示されるように、絶縁膜９５上に、開口部９７を埋め込むように、反射防止膜９８ａを形成する。反射防止膜９８ａの絶縁膜９５上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜９８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン９８ｂを形成する。フォトレジストパターン９８ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部９７のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、であれば、開口部９７を反射防止膜９８ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜９２の途中（中間）までドライエッチングして形成した開口部９７（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜９８ａの材料を埋め込むので、反射防止膜９８ａの材料による開口部９７の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン９８ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１３０】
次に、図５９に示されるように、フォトレジストパターン９８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜９８ａ、絶縁膜９５、絶縁膜９４、絶縁膜９３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部９９（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が形成される。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜９３〜９５に開口部９９が形成され、開口部９９の底部で絶縁膜９２が露出された段階（あるいは絶縁膜９２が若干エッチングされた段階）でエッチングを終了させる。それから、残存するフォトレジストパターン９８ｂおよび反射防止膜９８ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図６０および図６１に示される構造が得られる。
【０１３１】
次に、図６２に示されるように、絶縁膜９５をエッチングマスク（ハードマスク）にしたドライエッチング法により、絶縁膜９２の開口部９９の底部に対応する部分と開口部９７の底部に対応する部分とを選択的に除去する。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、開口部９７の底部で絶縁膜９１が露出され、かつ開口部９９の深さが所定の深さ（形成すべき銅配線の高さ）に達した段階でエッチングを終了させる。
【０１３２】
次に、図６３に示されるように、ドライエッチング法により、開口部９７の底部で露出する絶縁膜９１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜９５も除去され得る。この工程で絶縁膜９５が除去されるので、絶縁膜９２のドライエッチング工程で絶縁膜９５に肩削れ（開口部９９の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１３３】
次に、図６４に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部９７および開口部９９の底面および側壁上を含む絶縁膜９４上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜１００ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜１００ａ上に、開口部９７および開口部９９を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜１００ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１３４】
次に、図６５に示されるように主導体膜１００ｂ、導電性バリア膜１００ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜９４の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部９７および９９からなる配線開口部内に配線（第２層配線）１００が形成される。配線１００は、相対的に薄い導電性バリア膜１００ａと、相対的に厚い主導体膜１００ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１３５】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１３６】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができ、導電性バリア膜１００ａおよび主導体膜１００ｂを形成する際には、開口部９７および開口部９９には肩削れが生じていない。開口部９７および９９内に導電性バリア膜１００ａおよび主導体膜１００ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部９９の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜９５をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【０１３７】
また、本実施の形態では、絶縁膜９２の材料として、ＳｉＯＣ系の低誘電率材料（例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄなど）のような、ＣＶＤ法で形成でき、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理にダメージをほとんど受けない低誘電率材料を用いたが、他の低誘電率材料、例えば有機ポリマー系の低誘電率材料（例えば上記ＳｉＬＫなど）のような酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料を用いることもできる。
【０１３８】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【０１３９】
前記実施の形態では、ＭＩＳＦＥＴを有する半導体装置について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、銅を主成分とする主導体膜を含む配線を有する種々の半導体装置に適用することができる。
【０１４０】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【０１４１】
隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。
【０１４２】
配線溝の上端角部が削れることなく埋込み配線を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図２】図１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３】図２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４】図３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５】図４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６】図５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図７】図６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図８】図７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図９】図８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１０】図９の半導体装置の要部平面図である。
【図１１】図９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１２】図１１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１３】図１２の半導体装置の要部平面図である。
【図１４】図１２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１５】図１４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１６】図１５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１７】図１６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１８】図１７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１９】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図２０】図１９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２１】図２０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２２】図２１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２３】図２２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２４】図２３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２５】図２４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２６】図２５の半導体装置の要部平面図である。
【図２７】図２５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２８】図２７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２９】図２８の半導体装置の要部平面図である。
【図３０】図２８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３１】図３０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３２】図３１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３３】図３２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３４】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図３５】図３４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３６】図３５の半導体装置の要部平面図である。
【図３７】図３５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３８】図３７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３９】図３８の半導体装置の要部平面図である。
【図４０】図３８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４１】図４０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４２】図４１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４３】図４２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４４】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図４５】図４４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４６】図４５の半導体装置の要部平面図である。
【図４７】図４５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４８】図４７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４９】図４８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５０】図４９の半導体装置の要部平面図である。
【図５１】図４９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５２】図５１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５３】図５２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５４】図５３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５５】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図５６】図５５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５７】図５６の半導体装置の要部平面図である。
【図５８】図５６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５９】図５８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６０】図５９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６１】図６０の半導体装置の要部平面図である。
【図６２】図６０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６３】図６２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６４】図６３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６５】図６４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【符号の説明】
１ 半導体基板
２ 素子分離領域
３ ｐ型ウエル
４ ゲート絶縁膜
５ ゲート電極
５ａ シリサイド膜
６ ｎ−型半導体領域
７ サイドウォール
８ ｎ＋型半導体領域
８ａ シリサイド膜
９ ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴ
１０ 絶縁膜
１１ 絶縁膜
１２ コンタクトホール
１３ プラグ
１３ａ 窒化チタン膜
１４〜１７ 絶縁膜
１８ａ 反射防止膜
１８ｂ フォトレジストパターン
１９ 開口部
２０ 配線
２０ａ 導電性バリア膜
２０ｂ 主導体膜
２１〜２８ 絶縁膜
２９ａ 反射防止膜
２９ｂ フォトレジストパターン
３０ 開口部
３１ａ 反射防止膜
３１ｂ フォトレジストパターン
３２ 開口部
３３ 配線
３３ａ 導電性バリア膜
３３ｂ 主導体膜
４１ 絶縁膜
４２ 絶縁膜
４３ａ 反射防止膜
４３ｂ フォトレジストパターン
４４ 開口部
４５ 配線
４５ａ 導電性バリア膜
４５ｂ 主導体膜
４６〜５０ 絶縁膜
５１ａ 反射防止膜
５１ｂ フォトレジストパターン
５２ 開口部
５３ａ 反射防止膜
５３ｂ フォトレジストパターン
５４ 開口部
５５ 配線
５５ａ 導電性バリア膜
５５ｂ 主導体膜
６１〜６７ 絶縁膜
６８ａ 反射防止膜
６８ｂ フォトレジストパターン
６９ 開口部
７０ａ 反射防止膜
７０ｂ フォトレジストパターン
７１ 開口部
７２ 配線
７２ａ 導電性バリア膜
７２ｂ 主導体膜
８１〜８３ 絶縁膜
８４ａ 反射防止膜
８４ｂ フォトレジストパターン
８５ 開口部
８６ａ 反射防止膜
８６ｂ フォトレジストパターン
８７ 開口部
８８ 配線
８８ａ 導電性バリア膜
８８ｂ 主導体膜
９１〜９５ 絶縁膜
９６ａ 反射防止膜
９６ｂ フォトレジストパターン
９７ 開口部
９８ａ 反射防止膜
９８ｂ フォトレジストパターン
９９ 開口部
１００ 配線
１００ａ 導電性バリア膜
１００ｂ 主導体膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、銅を主成分とする主導体膜を含む埋込み配線を有する半導体装置の製造方法に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えばダマシン（Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）と呼ばれる配線形成技術が検討されている。このダマシン法は、シングルダマシン（Ｓｉｎｇｌｅ−Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）法とデュアルダマシン（Ｄｕａｌ−Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）法とに大別できる。シングルダマシン法は、例えば絶縁膜に配線溝を形成した後、その絶縁膜上および配線溝内に配線形成用の主導電層を堆積し、さらに、その主導電層を、例えば化学的機械的研磨法（ＣＭＰ；Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）によって配線溝内のみに残されるように研磨することにより、配線溝内に埋込み配線を形成する方法である。また、デュアルダマシン法は、絶縁膜に配線溝および下層配線との接続を行うための孔（ビア）を形成した後、その絶縁膜上、配線溝および孔内に配線形成用の主導電層を堆積し、さらに、その主導電層をＣＭＰ等によって配線溝および孔内のみに残されるように研磨することにより、配線溝および孔内に埋込み配線を形成する方法である。いずれの方法においても、配線の主導体材料としては、半導体装置の性能を向上させる観点等から、例えば銅等のような低抵抗な材料が使用される。銅はアルミニウムよりも低抵抗で信頼性における許容電流が２桁以上大きいという利点を持ち、同じ配線抵抗を得るのに膜を薄くすることができるので、隣接する配線間の容量も低減できる。しかし、銅は、例えばアルミニウム等のような金属と比較して絶縁膜中に拡散され易いとされている。このため、銅を配線材料として用いる場合、銅からなる主導体層の表面（底面および側面）、すなわち、配線溝の内壁面（側面および底面）に、銅の拡散を防止するための薄い導電性バリア膜を形成する必要性があるとされている。また、配線溝が形成された絶縁膜の上面上の全面に、上記埋め込み配線の上面を覆うように、例えば窒化シリコン膜等からなるバリア絶縁膜を形成することにより、埋め込み配線中の銅が、埋込み配線の上面から絶縁膜中に拡散するのを防止する技術がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、本発明者らの検討結果によれば、上記埋込み配線技術においては、以下の課題があることを見い出した。
【０００４】
絶縁膜に配線開口部（配線溝や孔）を形成するためのフォトリソグラフィ工程には、ＫｒＦ用のフォトレジスト膜（ＫｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）が使用されている。そのようなフォトレジスト膜を絶縁膜上に形成し、ＫｒＦレーザ光を用いてフォトレジスト膜を露光し現像してフォトレジストパターンを形成し、このフォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて絶縁膜をエッチングして、絶縁膜に配線開口部などを形成していた。
【０００５】
しかしながら、近年、半導体装置の小型化に伴い、埋込み配線の微細化が重要になってきており、更なる微細加工が要求されている。更なる微細加工を実現するには、配線開口部を形成するためのフォトリソグラフィ工程で、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用いることが考えられる。ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＫｒＦレーザ（ＫｒＦエキシマレーザ）光より波長が短いＡｒＦレーザ（ＡｒＦエキシマレーザ）光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターンを形成すれば、ＫｒＦレーザ光による露光と比べて、より微細なパターンを形成することができる。これは、埋込み配線の更なる微細化を可能とする。
【０００６】
ところが、ＫｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚はその下の反射防止膜も含めて例えば５８０ｎｍ程度であるのに対して、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚はその下の反射防止膜も含めて例えば４５０ｎｍ程度と比較的薄くしなければならない。ＡｒＦ用のフォトレジスト膜の膜厚を厚くしすぎると、焦点深度が合わないことなどにより、フォトレジスト膜を的確に露光（感光）できなくなってしまう。その一方で、埋込み配線の微細化により配線幅は小さくなるが、配線膜厚は同程度かあるいは逆により厚くなる傾向にある。
【０００７】
比較的薄いフォトレジスト膜を用いて比較的厚い絶縁膜を加工すると、フォトレジスト膜厚の減少と配線膜厚（絶縁膜厚）の増加により、フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて絶縁膜をエッチングする際に、エッチング工程終了前にフォトレジストパターンおよびその下の反射防止膜が除去されて下層の絶縁膜の上面が露出してしまう恐れがある。これは、絶縁膜がエッチングされて、配線溝（開口部）の上端角部（肩部）が削れて丸くなる現象、すなわち肩削れを発生させる。その後のエッチング工程においても、絶縁膜がエッチングされ、配線溝の上端角部の削れ（肩削れ）はますますひどくなる。
【０００８】
そのような肩削れが生じると、配線溝に導体膜を埋め込む際に、配線溝の上端部近傍（肩削れ部）にも導体が埋め込まれる。肩削れ部に埋め込まれた導体は、ＣＭＰ工程によっても除去されずに残存する恐れがある。これは、同層配線の隣接配線間の実質的な距離を短くし、配線間の絶縁破壊耐性を低下させる。
【０００９】
特に、銅を配線材料に用いた場合、ＴＤＤＢ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅ ｏｎ Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ）寿命が、他の金属材料（例えばアルミニウムやタングステン）に比べて著しく短いという問題がある。その上、配線ピッチの微細化が進み、実効電界強度が増加する傾向にあることに加え、誘電率の低い絶縁膜は一般的に絶縁耐圧も低いことから、ＴＤＤＢ寿命の確保が益々困難になる状況にある。しかも、ＴＤＤＢ寿命の劣化の原因と考えられている銅の拡散の経路は、隣接配線間のＣＭＰ面（ＣＭＰで研磨された面）が支配的であり、ＣＭＰ面がリークパスとして作用してＴＤＤＢ寿命の劣化を招く。このため、銅配線形成において上記肩削れが生じると、ＴＤＤＢ寿命または絶縁破壊耐性への悪影響が大きい。ＴＤＤＢ寿命の劣化原因については、本願発明者による特願平１１−２２６８７６号、特願２０００−１０４０１５号または特願２０００−３００８５３号に開示がある。
【００１０】
本発明の目的は、微細な埋込み配線を形成できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、絶縁破壊耐性を向上させることができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、配線溝の上端角部が削れることなく埋込み配線を形成できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１５】
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板を準備する工程、半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、第３絶縁膜上に第４絶縁膜を形成する工程、第４絶縁膜上に第５絶縁膜を形成する工程、第５絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、第１開口部から露出する第４絶縁膜を除去する工程、第５絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、第１開口部から露出する第３絶縁膜を除去する工程、第１開口部から露出する第２絶縁膜と第２開口部から露出する第４絶縁膜とを除去する工程、および、第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程を有するものである。
【００１６】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板を準備する工程、半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、第３絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、第１開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去する工程、第３絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、第２開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去し第１開口部の底部に対応する第２絶縁膜を第１絶縁膜が露出するまで除去する工程、および、第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程を有するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。
【００１８】
（実施の形態１）
本実施の形態の半導体装置およびその製造工程を図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態である半導体装置、例えばＭＩＳＦＥＴ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、の製造工程中の要部断面図である。
【００１９】
図１に示すように、例えば１〜１０Ωｃｍ程度の比抵抗を有するｐ型の単結晶シリコンなどからなる半導体基板（半導体ウエハ）１の主面に素子分離領域２が形成される。素子分離領域２は酸化シリコンなどからなり、例えばＳＴＩ（Ｓｈａｌｌｏｗ Ｔｒｅｎｃｈ Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）法またはＬＯＣＯＳ（Ｌｏｃａｌ Ｏｘｉｄｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎ ）法などにより形成される。
【００２０】
次に、半導体基板１のｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴを形成する領域にｐ型ウエル３を形成する。ｐ型ウエル３は、例えばホウ素（Ｂ）などの不純物をイオン注入することなどによって形成される。
【００２１】
次に、ｐ型ウエル３の表面にゲート絶縁膜４が形成される。ゲート絶縁膜４は、例えば薄い酸化シリコン膜などからなり、例えば熱酸化法などによって形成することができる。
【００２２】
次に、ｐ型ウエル３のゲート絶縁膜４上にゲート電極５が形成される。例えば、半導体基板１上に多結晶シリコン膜を形成し、その多結晶シリコン膜にリン（Ｐ）などをイオン注入して低抵抗のｎ型半導体膜とし、その多結晶シリコン膜をドライエッチングによってパターニングすることにより、多結晶シリコン膜からなるゲート電極５を形成することができる。
【００２３】
次に、ｐ型ウエル３のゲート電極５の両側の領域にリンなどの不純物をイオン注入することにより、ｎ−型半導体領域６が形成される。
【００２４】
次に、ゲート電極５の側壁上に、例えば酸化シリコンなどからなる側壁スペーサまたはサイドウォール７が形成される。サイドウォール７は、例えば、半導体基板１上に酸化シリコン膜を堆積し、この酸化シリコン膜を異方性エッチングすることによって形成することができる。
【００２５】
サイドウォール７の形成後、ｎ＋型半導体領域８（ソース、ドレイン）が、例えば、ｐ型ウエル３のゲート電極５およびサイドウォール７の両側の領域にリンなどの不純物をイオン注入することにより形成される。ｎ＋型半導体領域８は、ｎ−型半導体領域６よりも不純物濃度が高い。
【００２６】
次に、ゲート電極５およびｎ＋型半導体領域８の表面を露出させ、例えばコバルト（Ｃｏ）膜を堆積して熱処理することによって、ゲート電極５とｎ＋型半導体領域８との表面に、それぞれシリサイド膜５ａおよびシリサイド膜８ａを形成する。これにより、ｎ＋型半導体領域８の拡散抵抗と、コンタクト抵抗とを低抵抗化することができる。その後、未反応のコバルト膜は除去する。
【００２７】
このようにして、ｐ型ウエル３にｎチャネル型のＭＩＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）９が形成される。
【００２８】
次に、半導体基板１上に窒化シリコンなどからなる絶縁膜１０と、酸化シリコンなどからなる絶縁膜１１を順次堆積する。それから、絶縁膜１１および絶縁膜１０を順次ドライエッチングすることにより、コンタクトホール１２を形成する。コンタクトホール１２の底部では、半導体基板１の主面の一部、例えばｎ＋型半導体領域８の一部、やゲート電極５の一部などが露出される。
【００２９】
次に、コンタクトホール１２内に、タングステン（Ｗ）などからなるプラグ１３が形成される。プラグ１３は、例えば、コンタクトホール１２の内部を含む絶縁膜１１上にバリア膜として例えば窒化チタン膜１３ａを形成した後、タングステン膜をＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって窒化チタン膜１３ａ上にコンタクトホール１２を埋めるように形成し、絶縁膜１１上の不要なタングステン膜および窒化チタン膜１３ａをＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法またはエッチバック法などによって除去することにより形成することができる。
【００３０】
図２〜図１８は、図１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図または要部平面図を示している。図１０および図１３は、それぞれ図９および図１２の半導体装置の要部平面図であり、図９および図１２が、それぞれ図１０および図１３のＡ−Ａ線の断面に対応する。図１０および図１３以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。
【００３１】
まず、図２に示されるように、プラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に絶縁膜１４が形成される。絶縁膜１４は、例えば有機ポリマーまたは有機シリカガラスなどのような低誘電率材料（いわゆるＬｏｗ−Ｋ絶縁膜、Ｌｏｗ−Ｋ材料）からなることが好ましい。なお、低誘電率な絶縁膜（Ｌｏｗ−Ｋ絶縁膜）とは、パッシベーション膜に含まれる酸化シリコン膜（たとえばＴＥＯＳ（Ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）酸化膜）の誘電率よりも低い誘電率を有する絶縁膜を例示できる。一般的には、ＴＥＯＳ酸化膜の比誘電率ε＝４．１〜４．２程度以下を低誘電率な絶縁膜と言う。また、絶縁膜１４の形成前に、例えば窒化シリコン膜（または炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜あるいは酸窒化シリコン膜）をプラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に形成し、その窒化シリコン膜上に絶縁膜１４を形成することもできる。その場合、窒化シリコン膜は絶縁膜１４をエッチングする際にエッチングストッパとして機能する。
【００３２】
上記低誘電率材料としての有機ポリマーには、例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝４９０℃以上、絶縁破壊耐圧＝４．０〜５．０ＭＶ／Ｖｍ）またはポリアリルエーテル（ＰＡＥ）系材料のＦＬＡＲＥ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．８、耐熱温度＝４００℃以上）がある。このＰＡＥ系材料は、基本性能が高く、機械的強度、熱的安定性および低コスト性に優れるという特徴を有している。上記低誘電率材料としての有機シリカガラス（ＳｉＯＣ系材料）には、例えばＨＳＧ−Ｒ７（日立化成工業製、比誘電率＝２．８、耐熱温度＝６５０℃）、Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄ（米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．製、比誘電率＝３．０〜２．４、耐熱温度＝４５０℃）またはｐ−ＭＴＥＳ（日立開発製、比誘電率＝３．２）がある。この他のＳｉＯＣ系材料には、例えばＣＯＲＡＬ（米Ｎｏｖｅｌｌｕｓ Ｓｙｓｔｅｍｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２．７〜２．４、耐熱温度＝５００℃）、Ａｕｒｏｒａ２．７（日本エー・エス・エム社製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝４５０℃）がある。
【００３３】
また、上記低誘電率材料として、例えばＦＳＧ（ＳｉＯＦ系材料）、ＨＳＱ（ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）系材料、ＭＳＱ（ｍｅｔｈｙｌ ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）系材料、ポーラスＨＳＱ系材料、ポーラスＭＳＱ材料またはポーラス有機系材料を用いることもできる。上記ＨＳＱ系材料には、例えばＯＣＤ Ｔ−１２（東京応化工業製、比誘電率＝３．４〜２．９、耐熱温度＝４５０℃）、ＦＯｘ（米Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ Ｃｏｒｐ．製、比誘電率＝２．９）またはＯＣＬ Ｔ−３２（東京応化工業製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝４５０℃）などがある。上記ＭＳＱ系材料には、例えばＯＣＤ Ｔ−９（東京応化工業製、比誘電率＝２．７、耐熱温度＝６００℃）、ＬＫＤ−Ｔ２００（ＪＳＲ製、比誘電率＝２．７〜２．５、耐熱温度＝４５０℃）、ＨＯＳＰ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝５５０℃）、ＨＳＧ−ＲＺ２５（日立化成工業製、比誘電率＝２．５、耐熱温度＝６５０℃）、ＯＣＬ Ｔ−３１（東京応化工業製、比誘電率＝２．３、耐熱温度＝５００℃）またはＬＫＤ−Ｔ４００（ＪＳＲ製、比誘電率＝２．２〜２、耐熱温度＝４５０℃）などがある。上記ポーラスＨＳＱ系材料には、例えばＸＬＫ（米Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ Ｃｏｒｐ．製、比誘電率＝２．５〜２）、ＯＣＬ Ｔ−７２（東京応化工業製、比誘電率＝２．２〜１．９、耐熱温度＝４５０℃）、Ｎａｎｏｇｌａｓｓ（米Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ製、比誘電率＝２．２〜１．８、耐熱温度＝５００℃以上）またはＭｅｓｏＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２以下）がある。上記ポーラスＭＳＱ系材料には、例えばＨＳＧ−６２１１Ｘ（日立化成工業製、比誘電率＝２．４、耐熱温度＝６５０℃）、ＡＬＣＡＰ−Ｓ（旭化成工業製、比誘電率＝２．３〜１．８、耐熱温度＝４５０℃）、ＯＣＬ Ｔ−７７（東京応化工業製、比誘電率＝２．２〜１．９、耐熱温度＝６００℃）、ＨＳＧ−６２１０Ｘ（日立化成工業製、比誘電率＝２．１、耐熱温度＝６５０℃）またはｓｉｌｉｃａ ａｅｒｏｇｅｌ（神戸製鋼所製、比誘電率１．４〜１．１）などがある。上記ポーラス有機系材料には、例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製、比誘電率＝２以下、耐熱温度＝４９０℃）などがある。上記ＳｉＯＣ系材料、ＳｉＯＦ系材料は、例えばＣＶＤ法によって形成されている。例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄは、トリメチルシランと酸素との混合ガスを用いたＣＶＤ法などによって形成される。また、上記ｐ−ＭＴＥＳは、例えばメチルトリエトキシシランとＮ２Ｏとの混合ガスを用いたＣＶＤ法などによって形成される。それ以外の上記低誘電率の絶縁材料は、例えば塗布法で形成されている。
【００３４】
このようなＬｏｗ−Ｋ材料からなる絶縁膜１４上に、薄い絶縁膜１５を形成する。絶縁膜１５はＣＶＤ法、例えばプラズマＣＶＤ法、などを用いて形成することができる。絶縁膜１５は、例えば１０〜２０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜１５は、酸素（Ｏ２）プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなる。絶縁膜１５の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。なお、酸化性雰囲気のプラズマとは、例えば、酸化作用を有するラジカル、イオン、原子、分子等の反応種が支配的に存在するプラズマ環境である。
【００３５】
次に、絶縁膜１５上に絶縁膜１６をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜１６の厚さは、絶縁膜１４よりも相対的に薄く、例えば２５ｎｍ〜１００ｎｍ程度である。絶縁膜１６は、例えば二酸化シリコンに代表される酸化シリコン膜からなる。絶縁膜１６は、後で形成される配線２０の隣接配線間の寄生容量を低減するため、窒化シリコンより低い誘電率を有する材料からなることが好ましく、比誘電率が５以下の材料からなることがより好ましい。絶縁膜１６の材料としては酸化シリコンが好ましいが、他の材料として、例えばＳｉＯＣ膜（酸炭化シリコン膜、有機シリカガラス膜）を用いても良い。あるいは、絶縁膜１６の他の材料として、窒素含有率が１０％未満のＳｉＯＮ（酸窒化シリコン膜）膜を用いることもできる。
【００３６】
絶縁膜１５は、絶縁膜１４と絶縁膜１６の密着性を向上させるよう機能することができる。例えば、絶縁膜１４上に直接酸化シリコン膜を成膜した場合、酸化シリコン膜成膜時のＮ２ＯまたはＯ２ガス成分によるプラズマで、Ｌｏｗ−Ｋ材料からなる絶縁膜１４の表面がダメージを受ける恐れがある。絶縁膜１４と絶縁膜１６の間に絶縁膜１５を形成することで、そのような不具合を防止することができる。また、絶縁膜１５の厚みは薄いため、後で形成される配線２０の隣接配線間の寄生容量は、絶縁膜１５によってほとんど増加しない。なお、絶縁膜１５の形成を省略することも可能である。また、絶縁膜１６は、例えばＣＭＰ処理時における絶縁膜１４の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。
【００３７】
次に、絶縁膜１６上に絶縁膜１７を形成する。絶縁膜１７はＣＶＤ法、例えばプラズマＣＶＤ法、などを用いて形成することができる。絶縁膜１７は、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜１７の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜を用いても良い。絶縁膜１７は、絶縁膜１７を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜１６がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００３８】
次に、絶縁膜１７上に反射防止膜１８ａを形成する。それから、反射防止膜１８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン１８ｂを形成する。これにより、図２に示される構造が得られる。
【００３９】
次に、図３に示されるように、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜１８ａを選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１７を選択的に除去する。そして、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１６を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１５を選択的に除去する。更に、フォトレジストパターン１８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜１４を選択的に除去する。これにより、開口部１９が形成される。その後、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａをアッシングなどによって除去する。
【００４０】
絶縁膜１４が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜１４をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン１８ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光（ＡｒＦエキシマレーザ光）でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン１８ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜１４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン１８ｂおよび反射防止膜１８ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜１７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜１６のエッチングされるべきでない部分（開口部１９を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００４１】
その後、図４に示されるように、絶縁膜１７をドライエッチングなどによって除去する。従って、開口部１９形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜１７に肩削れ（開口部（ここでは開口部１９）の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、絶縁膜１７は除去されるので、絶縁膜１７の肩削れが悪影響を及ぼすことはない。このようにして、絶縁膜１４〜１６に形成された開口部１９からなる配線溝が形成され、その配線溝の底面からはプラグ１３の上面が露出される。また、絶縁膜１７を残した状態で後述する導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂを形成し、ＣＭＰ処理で不要な導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂを除去する際に、絶縁膜１７を除去することもできる。また、最終的に絶縁膜１６上に絶縁膜１７が若干残存しても悪影響はないので、絶縁膜１７を除去する工程では、オーバーエッチングを行わなくともよい。このため、絶縁膜１７を除去する工程では絶縁膜１６はほとんどエッチングされず、絶縁膜１６に肩削れが生じることはない。
【００４２】
次に、図５に示されるように、半導体基板１の主面上の全面に（すなわち、開口部１９の底面および側壁上を含む絶縁膜１６上に）、例えば窒化チタン（ＴｉＮ）などからなる例えば厚さ５０ｎｍ程度の薄い導電性バリア膜２０ａをスパッタリング法などを用いて形成する。導電性バリア膜２０ａは、例えば後述の主導体膜形成用の銅の拡散を抑制または防止する機能および主導体膜のリフロー時に銅の濡れ性を向上させる機能などを有している。このような導電性バリア膜２０ａの材料としては、窒化チタンに代えて、銅と殆ど反応しない窒化タングステン（ＷＮ）または窒化タンタル（ＴａＮ）などのような高融点金属窒化物を用いることもできる。また、導電性バリア膜２０ａの材料として、高融点金属窒化物にシリコン（Ｓｉ）を添加した材料や、銅と反応し難いタンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）合金などのような高融点金属を用いることもできる。
【００４３】
続いて、導電性バリア膜２０ａ上に、例えば厚さ８００〜１６００ｎｍ程度の相対的に厚い銅からなる主導体膜２０ｂを形成する。主導体膜２６ｂは、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成することができる。また、主導体膜２０ｂは銅を主成分とする導体膜、例えば銅または銅合金（Ｃｕを主成分とし、例えばＭｇ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｔａ，Ａｌ，Ｎｂ，ＺｒまたはＺｎなどを含む）により形成することができる。その後、例えば４７５℃程度の非酸化性雰囲気（例えば水素雰囲気）中において基板１に対して熱処理を施すことにより主導体膜２０ｂをリフローさせ、銅を開口部または開口部１９の内部に隙間なく埋込む。
【００４４】
次に、主導体膜２０ｂ、導電性バリア膜２０ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜１６の上面が露出するまで研磨する。これにより、図６に示すように、相対的に薄い導電性バリア膜２０ａと相対的に厚い主導体膜２０ｂとからなる配線（第１層配線）２０を開口部（配線溝）１９からなる配線開口部内に形成する。配線２０は、プラグ１３を介してｎ＋型半導体領域（ソース、ドレイン）８やゲート電極５と電気的に接続されている。
【００４５】
次に、半導体基板１をプラズマＣＶＤ装置の処理室内に配置し、アンモニアガスを導入してプラズマ電源を印加することにより、半導体基板１（特に配線２０が露出するＣＭＰ面）に対して、アンモニア（ＮＨ３）プラズマ処理を施す。あるいは、Ｎ２ガスおよびＨ２ガスを導入して、Ｎ２／Ｈ２プラズマ処理を施す。このような還元性プラズマ処理により、ＣＭＰで酸化された銅配線表面の酸化銅（ＣｕＯ、Ｃｕ２Ｏ、ＣｕＯ２）を銅（Ｃｕ）に還元し、更に、窒化銅（ＣｕＮ）層が配線２０の表面（ごく薄い領域）に形成される。
【００４６】
それから、必要に応じて洗浄を行った後、図７に示すように、半導体基板１の主面の全面上に絶縁膜２１をプラズマＣＶＤ法などによって形成する。すなわち、配線２０の上面上を含む絶縁膜１６上に、絶縁膜２１を形成する。絶縁膜２１の厚みは、例えば５０ｎｍ程度である。絶縁膜２１は、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなり、銅配線のバリア絶縁膜として機能する。従って、絶縁膜２１は、配線２０の主導体膜２０ｂ中の銅が、後で形成される絶縁膜２２中に拡散するのを抑制または防止する。絶縁膜２１の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜の単体膜を用いても良い。これらの膜を用いた場合、窒化シリコン膜に比べて誘電率を大幅に下げることができるので、配線容量を低減することができ、半導体装置の動作速度を向上させることができる。
【００４７】
次に、絶縁膜２１上に絶縁膜２２を形成する。上層配線（後述する配線３３）と下層配線（配線２０）との間の寄生容量を低減するために、絶縁膜２１を絶縁膜１４と同様に上記Ｌｏｗ−Ｋ材料を用いて形成することが好ましい。絶縁膜２２の厚みは、例えば２５０ｎｍ程度である。
【００４８】
次に、絶縁膜２２上に薄い絶縁膜２３をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２３は、例えば１０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２３は、酸素プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ）膜からなる。絶縁膜２３の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。それから、絶縁膜２３上に絶縁膜２４をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２４は、例えば酸化シリコン膜からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２４の形成後、必要に応じてＣＭＰ処理を行い、絶縁膜２４の上面を平坦化することもできる。絶縁膜２３は、絶縁膜１５と同様に、絶縁膜２２と絶縁膜２４との密着性を向上させるよう機能することができる。また、絶縁膜２３の厚みは薄いため、配線間容量はほとんど増加しない。
【００４９】
次に、絶縁膜２４上に絶縁膜２５を形成する。絶縁膜２５は、絶縁膜２２と同様の材料、すなわちＬｏｗ−Ｋ材料からなる。絶縁膜２５の厚みは、例えば２２０ｎｍ程度である。
【００５０】
次に、絶縁膜２５上に、絶縁膜２３と同様の、薄い絶縁膜２６を形成する。絶縁膜２６は、例えば１０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜２６は、酸素プラズマなどの酸化性プラズマを用いることなく形成した絶縁膜であることが好ましく、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜２６の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜または炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜を用いても良い。
【００５１】
次に、絶縁膜２６上に絶縁膜２７をＣＶＤ法などを用いて形成する。絶縁膜２７の厚さは、絶縁膜２５よりも相対的に薄く、例えば５０ｎｍ程度である。絶縁膜２７は、例えば、二酸化シリコンに代表される酸化シリコン膜からなる。絶縁膜２７は、同層配線の隣接配線間容量を低減するため、窒化シリコンより低い誘電率を有する材料からなることが好ましく、比誘電率が５以下の材料からなることがより好ましい。絶縁膜２７の材料は酸化シリコンが好ましいが、絶縁膜２７の他の材料として、例えばＳｉＯＣ（酸炭化シリコンまたは炭化酸化シリコン）膜を用いても良い。あるいは、絶縁膜２７の他の材料として、窒素含有率が１０％未満のＳｉＯＮ膜を用いることもできる。
【００５２】
絶縁膜２６は、絶縁膜１５および２３と同様に、絶縁膜２５と絶縁膜２７の密着性を向上させるよう機能することができる。絶縁膜２７は、例えばＣＭＰ処理時における絶縁膜２５の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。なお、絶縁膜２６の形成を省略することも可能である。
【００５３】
次に、絶縁膜２７上に絶縁膜２８を形成する。絶縁膜２８の厚みは、例えば７５ｎｍ程度である。絶縁膜２８は、例えば窒化シリコン膜からなる。絶縁膜２８の他の材料として、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）膜、炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）膜または酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜を用いても良い。絶縁膜２８は、絶縁膜２８を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜２７がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００５４】
次に、絶縁膜２８上に反射防止膜２９ａを形成する。反射防止膜２９ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜２９ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン２９ｂを形成する。フォトレジストパターン２９ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図７に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン２９ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００５５】
次に、図８に示されるように、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜２９ａを選択的に除去する。その後、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜２８を選択的に除去して開口部３０を形成する。
【００５６】
次に、図９に示されるように、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２７を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２６を選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン２９ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３０から露出する絶縁膜２５を選択的に除去する。絶縁膜２５のエッチング工程では、絶縁膜２４はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａをアッシングなどによって除去する。なお、図１０の平面図に示されるように、開口部３０は、ビア形成領域に対応する平面領域（位置）に形成されている。
【００５７】
絶縁膜２５が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜２５をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン２９ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン２９ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜２５のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン２９ｂおよび反射防止膜２９ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜２８がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜２７のエッチングされるべきでない部分（開口部３０を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００５８】
次に、図１１に示されるように、絶縁膜２８上に、開口部３０を埋め込むように、反射防止膜３１ａを形成する。反射防止膜３１ａの絶縁膜２８上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜３１ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン３１ｂを形成する。フォトレジストパターン３１ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部３０のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部３０を反射防止膜３１ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜２５〜２８をドライエッチングして形成した開口部３０（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜３１ａの材料を埋め込むので、反射防止膜３１ａの材料による開口部３０の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン３１ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００５９】
次に、図１２に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜３１ａおよび絶縁膜２８を選択的に除去する。これにより、配線溝形成領域に対応する平面領域に開口部３２が形成される。このとき、絶縁膜２４および２７はエッチングストッパとして機能することができる。図１３の平面図に示されるように、開口部３２は開口部３０よりも大きく、開口部３０の領域（平面領域）は開口部３２の領域（平面領域）に含まれるので、開口部３２を形成するための絶縁膜２８のドライエッチング工程で、絶縁膜２８の開口部３０の端部に対応する部分はほとんど除去され得る。従って、たとえ開口部３０形成のための（絶縁膜２５〜２８の）ドライエッチング工程で絶縁膜２８に肩削れ（開口部３０の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、絶縁膜２８の肩削れ部は開口部３２形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部３０形成時に生じた絶縁膜２８の肩削れが（開口部３２形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【００６０】
次に、図１４に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３２から露出した絶縁膜２７および２６と、開口部３０から露出した絶縁膜２４および２３とを、選択的に除去する。
【００６１】
次に、図１５に示されるように、フォトレジストパターン３１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部３２から露出した絶縁膜２５と、開口部３０から露出した絶縁膜２２とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜２１および２４はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａをアッシングなどによって除去する。
【００６２】
絶縁膜２２および２５が、例えば有機ポリマー系の材料（例えばＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製））やポーラス有機系材料（例えばＰｏｌｙＥＬＫ（米Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ， Ｉｎｃ．製））などのように酸素プラズマによりダメージを受ける材料からなる場合は、絶縁膜２２および２５をＮＨ３プラズマ処理またはＮ２／Ｈ２プラズマ処理などの還元性プラズマ処理によってエッチングしながら、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａをアッシングして除去することもできる。還元性プラズマ処理の代わりに低圧低温Ｏ２アッシングを行ってもよい。また、フォトレジストパターン３１ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜（ＡｒＦレーザ光で露光されるフォトレジスト膜）を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン３１ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａの（合計の）膜厚が比較的薄いので、絶縁膜２２および２５のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン３１ｂおよび反射防止膜３１ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。これらの場合にも、絶縁膜２８がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜２７のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００６３】
次に、図１６に示されるように、ドライエッチング法により、開口部３０の底部で露出する絶縁膜２１を除去して配線２０を露出させる。このとき、絶縁膜２８も除去され得る。絶縁膜２８は除去されるので、開口部３２形成工程で絶縁膜２８に肩削れ（開口部３２の上端角部（肩部）が削れて丸みを帯びる現象）が生じたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。また、絶縁膜２７は、開口部３０形成工程や開口部３２形成工程では絶縁膜２８によって保護されていたので、それらの工程ではほとんどエッチングされず、絶縁膜２７に肩削れが生じることはない。また、上記絶縁膜２７のエッチング工程は、開口部３０の底部で配線２０が露出するまでエッチングを行えばよく、絶縁膜２７上に絶縁膜２８が若干残存したとしても特に悪影響は及ぼさない。このため、絶縁膜２１および絶縁膜２８のエッチング工程で絶縁膜２７に肩削れが生じることはない。
【００６４】
次に、図１７に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部３０および３２の底面および側壁上を含む絶縁膜２７上）に、導電性バリア膜２０ａと同様の材料、例えば窒化チタンからなる導電性バリア膜３３ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜３３ａ上に、開口部３０および開口部３２を埋めるように、銅からなる主導体膜３３ｂを、主導体膜２０ｂと同様にして形成する。主導体膜３３ｂは、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成することができる。また、主導体膜３３ｂは銅を主成分とする導体膜、例えば銅または銅合金（Ｃｕを主成分とし、例えばＭｇ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｔａ，Ａｌ，Ｎｂ，ＺｒまたはＺｎなどを含む）により形成することができる。
【００６５】
次に、図１８に示されるように主導体膜３３ｂ、導電性バリア膜３３ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜２７の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部３０および３２からなる配線開口部内に配線（第２層配線）３３が形成される。配線３３は、相対的に薄い導電性バリア膜３３ａと、相対的に厚い主導体膜３３ｂとを有しており、配線２０に電気的に接続されている。なお、開口部３２が配線溝に対応し、開口部３０が上層配線（配線３３）と下層配線（配線２０）の接続を行うための孔またはビアに対応する。このため、開口部３２に埋め込まれた導体部分（導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂ）が配線部分に対応し、開口部３０に埋め込まれた導体部分（導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂ）がビア部分またはプラグ部分に対応する。
【００６６】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【００６７】
本実施の形態では、絶縁膜２７上に絶縁膜２８を形成している。開口部３０を形成するためのエッチング工程において、この絶縁膜２８はエッチングのハードマスクとして機能することができる。例えば、フォトレジストパターン２９ａと反射防止膜２９ａとの合計の厚みが、開口部３０を形成するための反射防止膜２９ａ、絶縁膜２８、絶縁膜２７、絶縁膜２６および絶縁膜２５のドライエッチング工程におけるエッチング量（絶縁膜２５〜２８および反射防止膜３１ａの合計厚みと半導体基板の面内分布の不均一性などを考慮したオーバーエッチング量との合計）に比較して薄い場合などでは、エッチング工程の最終段階ではフォトレジストパターン２９ａおよび反射防止膜２９ｂが除去されてしまい、絶縁膜２８が露出した状態となり、絶縁膜２８がエッチングのハードマスクとして機能する。同様に、開口部３２を形成するためのエッチング工程においても、絶縁膜２８はエッチングのハードマスクとして機能することができる。従って、ビア用の開口部３０の形成工程と配線溝用の開口部３２の形成工程の両方で、フォトレジストパターン、反射防止膜およびハードマスクとしての絶縁膜２８をエッチングマスクとして用いてドライエッチングを行うことができ、ビア（開口部２８）および配線溝（開口部３０）に肩削れが生じるのを防止することができる。
【００６８】
また、開口部３０の平面領域はビア形成領域に対応し、開口部３２の平面領域は配線溝形成領域に対応する。このため、後に形成される開口部３２の平面領域は先に形成される開口部３０の平面領域よりも大きく、開口部３０の平面領域は開口部３２の平面領域内にある（含まれる）。従って、絶縁膜２８の開口部３０の肩部（端部）に対応する領域は、開口部３２形成のためのエッチング工程でエッチングされて除去され得る。このため、たとえ開口部３０形成のための絶縁膜２５〜２８のエッチング工程で絶縁膜２８に肩削れが生じたとしても、肩削れ部とその周辺領域は開口部３２形成のためのエッチング工程で除去されるので、開口部３２形成のためのエッチング工程およびそれ以降の工程で悪影響は及ぼさない。また、開口部３２形成のためのエッチング工程で絶縁膜２８の開口部３２の端部に対応する部分が削れて肩削れが生じたとしても、開口部３０から露出する（ビア底の）絶縁膜２１のエッチング工程で絶縁膜２８も除去され得るので、絶縁膜２７およびそれより下の各材料膜には悪影響は及ぼさない。
【００６９】
従って、導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂを形成する際には、開口部３０および開口部３２には肩削れが生じていない。開口部３０および３２内に導電性バリア膜３３ａおよび主導体膜３３ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部３２の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜２８をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【００７０】
また、本実施の形態では、絶縁膜１４、２２および２５として低誘電率材料を用いたが、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料からなる場合に本実施の形態の半導体装置の製造方法を適用すれば、より好ましい。酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料としては、例えば上記有機ポリマー系の低誘電率材料（ＳｉＬＫ（米Ｔｈｅ Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．製）など）などがある。また、有機ポリマー系の低誘電率材料以外の低誘電率材料であっても、酸化シリコンに対してエッチング選択比が大きくかつＯ２系アッシングなどの酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料を用いた場合に、本実施の形態の半導体装置の製造方法を適用することは、極めて有効である。
【００７１】
（実施の形態２）
図１９〜図３３は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図２６および図２９は、それぞれ図２５および図２８の半導体装置の要部平面図であり、図２６および図２９のＡ−Ａ線の断面が図２５および図２８に対応する。図２６および図２９以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図１までの製造工程は上記実施の形態１と同様であるので、ここではその説明は省略し、図１に続く製造工程について説明する。
【００７２】
図１の構造が得られた後、図１９に示されるように、プラグ１３が埋め込まれた絶縁膜１１上に絶縁膜４１が形成される。絶縁膜４１は、絶縁膜１４と同様に低誘電率材料からなるが、ここでは例えばＢｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄ（米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．製）などのＳｉＯＣ（有機シリカガラス）系の低誘電率材料のような、ＣＶＤ法で形成され得る低誘電率材料からなる。従って、絶縁膜４４は、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理によってダメージをほとんど受けない。上記実施の形態１は、層間絶縁膜として酸化性プラズマ処理に弱い低誘電率材料を用いる場合に好適であるが、本実施の形態は、層間絶縁膜として酸化性プラズマ処理によってダメージを受けない低誘電率材料を用いる場合に好適である。
【００７３】
次に、絶縁膜４１上に絶縁膜１７と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなる絶縁膜４２を形成する。絶縁膜４２は、絶縁膜１７と同様の機能を有する。すなわち、絶縁膜４２は、絶縁膜４２を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜４１がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００７４】
次に、絶縁膜４２上に反射防止膜４３ａを形成する。それから、反射防止膜４３ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン４３ｂを形成する。これにより、図１９に示される構造が得られる。
【００７５】
次に、図２０に示されるように、フォトレジストパターン４３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜４３ａ、絶縁膜４２および絶縁膜４１を順に選択的に除去する。これにより、開口部４４が形成される。その後、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａをアッシングなどによって除去する。
【００７６】
フォトレジストパターン４３ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン４３ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４１のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン４３ｂおよび反射防止膜４３ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜４２がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４１のエッチングされるべきでない部分（開口部４４を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００７７】
その後、絶縁膜４２をエッチングなどによって除去する。このようにして、絶縁膜４１に形成された開口部４４からなる配線溝が形成され、その配線溝の底面からはプラグ１３の上面が露出される。
【００７８】
次に、半導体基板１の主面上の全面に（すなわち、開口部４４の底面および側壁上を含む絶縁膜４１上に）、導電性バリア膜４５ａおよび主導体膜４５ｂを形成する。導電性バリア膜４５ａおよび主導体膜４５ｂは、導電性バリア膜２０ａおよび主導体膜２０ｂと同様の材料からなり、同様の手法を用いて形成することができる。これにより、図２１の構造が得られる。
【００７９】
次に、主導体膜４５ｂおよび導電性バリア膜４５ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜４１の上面が露出するまで研磨する。これにより、図２２に示されるように、相対的に薄い導電性バリア膜４５ａと相対的に厚い主導体膜４５ｂとからなる配線（第１層配線）４５を配線溝（開口部）４４内に形成する。配線４４は、プラグ１３を介してｎ＋型半導体領域（ソース、ドレイン）８やゲート電極５と電気的に接続されている。
【００８０】
次に、図２３に示すように、半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜４６〜５０を順に形成する。絶縁膜４６、４８および５０は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、３０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜４７および４９は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えばそれぞれ３１０ｎｍおよび２５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜４６は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜５０は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜５０を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜４９がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００８１】
次に、絶縁膜５０上に反射防止膜５１ａを形成する。反射防止膜５１ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜５１ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン５１ｂを形成する。フォトレジストパターン５１ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図２３に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン５１ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００８２】
次に、図２４に示されるように、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜５１ａを選択的に除去する。それから、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、絶縁膜５０を選択的に除去して開口部５２（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。
【００８３】
次に、図２５および図２６に示されるように、フォトレジストパターン５１ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部５２から露出する絶縁膜４９を選択的に除去する。絶縁膜４９のエッチング工程では、絶縁膜４８はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａをアッシングなどによって除去する。
【００８４】
フォトレジストパターン５１ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン５１ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４９のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン５１ｂおよび反射防止膜５１ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜５０がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４９のエッチングされるべきでない部分（開口部５２を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部５２形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、後述するように絶縁膜５０の肩削れ部は開口部（配線溝）５４形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部５２形成時に生じた絶縁膜５０の肩削れが（開口部５４形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【００８５】
次に、図２７に示されるように、絶縁膜５０上に、開口部５２を埋め込むように、反射防止膜５３ａを形成する。反射防止膜５３ａの絶縁膜５０上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜５３ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン５３ｂを形成する。フォトレジストパターン５３ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部５２のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部５２を反射防止膜５３ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜４９および５０をドライエッチングして形成した開口部５２（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜５３ａの材料を埋め込むので、反射防止膜５３ａの材料による開口部５２の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン５３ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００８６】
次に、図２８および図２９に示されるように、フォトレジストパターン５３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜５３ａ、絶縁膜５０、および絶縁膜４８を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部５４（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜５０に形成される。
【００８７】
次に、図３０に示されるように、フォトレジストパターン５３ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部５２から露出した絶縁膜４７と、開口部５４から露出した絶縁膜４９とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜４６および４８はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａをアッシングなどによって除去する。
【００８８】
フォトレジストパターン５３ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン５３ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜４７および４９のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン５３ｂおよび反射防止膜５３ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜５０がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜４９のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【００８９】
次に、図３１に示されるように、ドライエッチング法により、開口部５２の底部で露出する絶縁膜４６を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜５０と、開口部５２の底部の絶縁膜４８も除去され得る。この工程で絶縁膜５０が除去されるので、絶縁膜４７および４９のドライエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れ（開口部５４の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【００９０】
次に、図３２に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部５２および５４の底面および側壁上を含む絶縁膜４９上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜５５ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜５５ａ上に、開口部５２および開口部５４を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜５５ｂを、主導体膜４５ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【００９１】
次に、図３３に示されるように主導体膜５５ｂ、導電性バリア膜５５ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜４９の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部５２および５４からなる配線開口部内に配線（第２層配線）５５が形成される。配線５５は、相対的に薄い導電性バリア膜５５ａと、相対的に厚い主導体膜５５ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【００９２】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【００９３】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができる。すなわち、開口部５２を形成するためのエッチング工程および開口部５４を形成するためのエッチング工程において、絶縁膜５０がエッチングのハードマスクとして機能することができる。このため、フォトレジストパターンと反射防止膜との合計の厚みが、ドライエッチング工程におけるエッチング量に比較して薄い場合でも、ビア（開口部５２）および配線溝（開口部５４）に肩削れが生じるのを防止することができる。
【００９４】
また、たとえ開口部５２形成のための絶縁膜４９および５０のエッチング工程で絶縁膜５０に肩削れが生じたとしても、肩削れ部とその周辺領域は開口部５４形成のためのエッチング工程で除去されるので、悪影響は及ぼさない。また、開口部５４形成のためのエッチング工程で絶縁膜５０の開口部５４の端部に対応する部分が削れて肩削れが生じたとしても、開口部５２から露出する（ビア底の）絶縁膜４６のエッチング工程で絶縁膜５０も除去され得るので、悪影響は及ぼさない。
【００９５】
従って、導電性バリア膜５５ａおよび主導体膜５５ｂを形成する際には、開口部５２および開口部５４には肩削れが生じていない。開口部５２および５４内に導電性バリア膜５５ａおよび主導体膜５５ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部５４の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜５０をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【００９６】
（実施の形態３）
図３４〜図４３は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図３６および図３９は、それぞれ図３５および図３８の半導体装置の要部平面図であり、図３６および図３９のＡ−Ａ線の断面が図３５および図３８に対応する。図３６および図３９以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【００９７】
図２２の構造が得られた後、図３４に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜６１〜６７を順に形成する。絶縁膜６１、６３、６５および６７は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、３０ｎｍ、１０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６２および６４は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えばそれぞれ３１０ｎｍおよび１９０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６６は絶縁膜２７と同様の材料（例えば酸化シリコン膜）からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜６１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜６６は、例えばＣＭＰ処理時における下層の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。絶縁膜６７は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜６７を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜６６がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【００９８】
次に、絶縁膜６７上に反射防止膜６８ａを形成する。反射防止膜６８ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜６８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン６８ｂを形成する。フォトレジストパターン６８ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図３４に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン６８ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【００９９】
次に、フォトレジストパターン６８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜６８ａ、絶縁膜６７、絶縁膜６６、絶縁膜６５および絶縁膜６４を選択的に除去して開口部６９（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。絶縁膜６４のエッチング工程では、絶縁膜６３はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図３５および図３６に示される構造が得られる。
【０１００】
フォトレジストパターン６８ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン６８ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜６４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン６８ｂおよび反射防止膜６８ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜６７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜６６のエッチングされるべきでない部分（開口部６９を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部６９形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜６７に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜６７の肩削れ部は開口部（配線溝）７１形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部６９形成時に生じた絶縁膜６７の肩削れが（開口部７１形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１０１】
次に、図３７に示されるように、絶縁膜６７上に、開口部６９を埋め込むように、反射防止膜７０ａを形成する。反射防止膜７０ａの絶縁膜６７上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜７０ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン７０ｂを形成する。フォトレジストパターン７０ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部６９のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部６９を反射防止膜７０ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜６４〜６７をドライエッチングして形成した開口部６９（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜７０ａの材料を埋め込むので、反射防止膜７０ａの材料による開口部６９の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン７０ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１０２】
次に、図３８および図３９に示されるように、フォトレジストパターン７０ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜７０ａ、絶縁膜６７、および絶縁膜６３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部７１（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜６７に形成される。
【０１０３】
次に、図４０に示されるように、フォトレジストパターン７０ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、開口部７１から露出した絶縁膜６６、６５および６４と、開口部６９から露出した絶縁膜６２とを、選択的に除去する。その際、絶縁膜６３および６１はエッチングストッパとして機能することができる。その後、残存するフォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａをアッシングなどによって除去する。
【０１０４】
フォトレジストパターン７０ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン７０ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜６２および６４のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン７０ｂおよび反射防止膜７０ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜６７がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜６６のエッチングされるべきでない部分（開口部を形成しない部分）がエッチングされることはない。
【０１０５】
次に、図４１に示されるように、ドライエッチング法により、開口部６９の底部で露出する絶縁膜６１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜６７と、開口部７１の底部の絶縁膜６３も除去され得る。この工程で絶縁膜６７が除去されるので、絶縁膜６２および６４のドライエッチング工程で絶縁膜６７に肩削れ（開口部７１の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１０６】
次に、図４２に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部６９および７１の底面および側壁上を含む絶縁膜６６上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜７２ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜７２ａ上に、開口部６９および開口部７１を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜７２ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１０７】
次に、図４３に示されるように主導体膜７２ｂ、導電性バリア膜７２ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜６６の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部６９および７１からなる配線開口部内に配線（第２層配線）７２が形成される。配線７２は、相対的に薄い導電性バリア膜７２ａと、相対的に厚い主導体膜７２ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１０８】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１０９】
本実施の形態においても、上記実施の形態１および２と同様の効果を得ることができる。また、上記実施の形態２では、本実施の形態における絶縁膜６６の形成を省略しているので、製造工程数を低減することが可能であるが、本実施の形態では、主導体膜７２ｂおよび導電性バリア膜７２ａをＣＭＰ法によって研磨する際の保護膜として酸化シリコンなどからなる絶縁膜６６を形成しているので、ＣＭＰ工程での平坦化が容易である。
【０１１０】
（実施の形態４）
図４４〜図５４は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図４６および図５０は、それぞれ図４５および図４９の半導体装置の要部平面図であり、図４６および図５０のＡ−Ａ線の断面が図４５および図４９に対応する。図４６および図５０以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【０１１１】
図２２の構造が得られた後、図４４に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜８１〜８３を順に形成する。絶縁膜８１および８３は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜８２は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えば６６０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜８１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜８３は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜８３を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜８２がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【０１１２】
次に、絶縁膜８３上に反射防止膜８４ａを形成する。反射防止膜８４ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜８４ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン８４ｂを形成する。フォトレジストパターン８４ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図４４に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン８４ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１１３】
次に、フォトレジストパターン８４ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜８４ａ、絶縁膜８３および絶縁膜８２を選択的に除去して開口部８５（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。ここで、絶縁膜８２のエッチングの際には、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜８２の途中（厚み方向の中間領域）でエッチングを終了させる。その後、残存するフォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図４５および図４６に示される構造が得られる。
【０１１４】
フォトレジストパターン８４ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン８４ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜８２のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン８４ｂおよび反射防止膜８４ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜８３がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜８２のエッチングされるべきでない部分（開口部８５を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部８５形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜８３に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜８３の肩削れ部は開口部（配線溝）８７形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部８５形成時に生じた絶縁膜８３の肩削れが（開口部８７形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１１５】
次に、図４７に示されるように、絶縁膜８３上に、開口部８５を埋め込むように、反射防止膜８６ａを形成する。反射防止膜８６ａの絶縁膜８３上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜８６ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン８６ｂを形成する。フォトレジストパターン８６ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部８５のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、開口部８５を反射防止膜８６ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜８２の途中（中間）までドライエッチングして形成した開口部８５（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜８６ａの材料を埋め込むので、反射防止膜８６ａの材料による開口部８５の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン８６ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１１６】
次に、図４８に示されるように、フォトレジストパターン８６ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜８６ａおよび絶縁膜８３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部８７（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が絶縁膜８３に形成される。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜８３に開口部８３が形成され、開口部８７の底部で絶縁膜８２が若干エッチングされた段階でエッチングを終了させる。それから、残存するフォトレジストパターン８６ｂおよび反射防止膜８６ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図４９および図５０に示されるような構造が得られる。
【０１１７】
次に、図５１に示されるように、絶縁膜８３をエッチングマスク（ハードマスク）にしたドライエッチング法により、絶縁膜８２の開口部８７の底部に対応する部分と開口部８５の底部に対応する部分とを選択的に除去する。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、開口部８５の底部で絶縁膜８１が露出され、かつ開口部８７の深さが所定の深さ（形成すべき銅配線の高さ）に達した段階でエッチングを終了させる。
【０１１８】
次に、図５２に示されるように、ドライエッチング法により、開口部８５の底部で露出する絶縁膜８１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜８３も除去され得る。この工程で絶縁膜８３が除去されるので、絶縁膜８２のドライエッチング工程で絶縁膜８３に肩削れ（開口部８７の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１１９】
次に、図５３に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部８５および開口部８７の底面および側壁上を含む絶縁膜８２上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜８８ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜８８ａ上に、開口部８５および開口部８７を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜８８ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１２０】
次に、図５４に示されるように主導体膜８８ｂ、導電性バリア膜８８ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜８２の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部８５および８７からなる配線開口部内に配線（第２層配線）８８が形成される。配線８８は、相対的に薄い導電性バリア膜８８ａと、相対的に厚い主導体膜８８ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１２１】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１２２】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができ、導電性バリア膜８８ａおよび主導体膜８８ｂを形成する際には、開口部８５および開口部８７には肩削れが生じていない。開口部８５および８７内に導電性バリア膜８８ａおよび主導体膜８８ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部８７の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜８３をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【０１２３】
また、本実施の形態では、絶縁膜８２の材料として、ＳｉＯＣ系の低誘電率材料（例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄなど）のような、ＣＶＤ法で形成でき、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理にダメージをほとんど受けない低誘電率材料を用いたが、他の低誘電率材料、例えば有機ポリマー系の低誘電率材料（例えば上記ＳｉＬＫなど）のような酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料を用いることもできる。
【０１２４】
（実施の形態５）
図５５〜図６５は、本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図または要部平面図である。図５７および図６１は、それぞれ図５６および図６０の半導体装置の要部平面図であり、図５７および図６１のＡ−Ａ線の断面が図５６および図６０に対応する。図５７および図６１以外は断面図であるが、理解を簡単にするために、図１の絶縁膜１１より下の構造に対応する部分は図示を省略している。また、図２２までの製造工程は上記実施の形態２と同様であるので、ここではその説明は省略し、図２２に続く製造工程について説明する。
【０１２５】
図２２の構造が得られた後、図５５に示されるように半導体基板１の主面の全面に（すなわち、配線４５の上面上を含む絶縁膜４１上に）、絶縁膜９１〜９５を順に形成する。絶縁膜９１、９３および９５は絶縁膜２１と同様の材料（例えば窒化シリコン膜）からなり、例えばそれぞれ５０ｎｍ、１０ｎｍおよび７５ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９２は絶縁膜４１と同様の材料（例えばＳｉＯＣ系の低誘電率材料）からなり、例えば６６０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９４は絶縁膜２７と同様の材料（例えば酸化シリコン膜）からなり、例えば５０ｎｍ程度の厚みを有する。絶縁膜９１は、配線４５のバリア絶縁膜として機能する。絶縁膜９４は、例えばＣＭＰ処理時における下層の機械的強度の確保、表面保護および耐湿性の確保等のような機能を有している。絶縁膜９５は、上記実施の形態１の絶縁膜２８と同様に、絶縁膜９５を除去するためのエッチング工程以外のエッチング工程において、その下層の絶縁膜９４がエッチングされて肩削れを生じるのを防止するよう機能する。
【０１２６】
次に、絶縁膜９５上に反射防止膜９６ａを形成する。反射防止膜９６ａの厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜９６ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン９６ｂを形成する。フォトレジストパターン９６ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。これにより、図５５に示される構造が得られる。なお、フォトレジストパターン９６ｂには、ビアを形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１２７】
次に、フォトレジストパターン９６ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜９６ａ、絶縁膜９５、絶縁膜９４、絶縁膜９３および絶縁膜９２を選択的に除去して開口部９７（上記実施の形態１の開口部３０に対応）を形成する。ここで、絶縁膜９２のエッチングの際には、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜９２の途中（厚み方向の中間領域）でエッチングを終了させる。その後、残存するフォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図５６および図５７に示される構造が得られる。
【０１２８】
フォトレジストパターン９６ｂの材料としてＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光でフォトレジスト膜を露光してフォトレジストパターン９６ｂを形成することもできるが、その場合、フォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａの（合計の）膜厚が比較的薄くなるので、絶縁膜９２のエッチング工程が終了したとき（あるいは終了前）に、フォトレジストパターン９６ｂおよび反射防止膜９６ａもエッチングによりなくなってしまう場合がある。このような場合にも、絶縁膜９５がハードマスク（エッチングマスク）として機能するので、絶縁膜９４のエッチングされるべきでない部分（開口部９７を形成しない部分）がエッチングされることはない。また、開口部９７形成のためのドライエッチング工程で絶縁膜９５に肩削れが生じたとしても、上記実施の形態１と同様に、絶縁膜９５の肩削れ部は開口部（配線溝）９９形成のためのドライエッチング工程で除去されるので、開口部９７形成時に生じた絶縁膜９５の肩削れが（開口部９９形成工程およびそれ以降の工程に）悪影響を及ぼすことはない。
【０１２９】
次に、図５８に示されるように、絶縁膜９５上に、開口部９７を埋め込むように、反射防止膜９８ａを形成する。反射防止膜９８ａの絶縁膜９５上の部分の厚みは、例えば１００ｎｍ程度である。それから、反射防止膜９８ａ上にフォトレジスト膜を形成し、露光などによりフォトレジスト膜をパターン化してフォトレジストパターン９８ｂを形成する。フォトレジストパターン９８ｂの厚みは、例えば３５０ｎｍ程度である。開口部９７のアスペクト比が高い（例えば３〜４以上）場合、であれば、開口部９７を反射防止膜９８ａの材料で埋め込むのは容易ではない。しかしながら、本実施の形態では、絶縁膜９２の途中（中間）までドライエッチングして形成した開口部９７（アスペクト比はそれほど高くない）に反射防止膜９８ａの材料を埋め込むので、反射防止膜９８ａの材料による開口部９７の埋込み性はよい。なお、フォトレジストパターン９８ｂには、配線溝を形成すべき平面領域に開口部が形成されている。
【０１３０】
次に、図５９に示されるように、フォトレジストパターン９８ｂをエッチングマスクにしたドライエッチング法により、反射防止膜９８ａ、絶縁膜９５、絶縁膜９４、絶縁膜９３を選択的に除去する。これにより、配線溝に対応する平面領域を有する開口部９９（上記実施の形態１の開口部３２に対応）が形成される。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、絶縁膜９３〜９５に開口部９９が形成され、開口部９９の底部で絶縁膜９２が露出された段階（あるいは絶縁膜９２が若干エッチングされた段階）でエッチングを終了させる。それから、残存するフォトレジストパターン９８ｂおよび反射防止膜９８ａをアッシングなどによって除去する。これにより、図６０および図６１に示される構造が得られる。
【０１３１】
次に、図６２に示されるように、絶縁膜９５をエッチングマスク（ハードマスク）にしたドライエッチング法により、絶縁膜９２の開口部９９の底部に対応する部分と開口部９７の底部に対応する部分とを選択的に除去する。なお、このエッチング工程も、例えばエッチング時間を制御するなどして、開口部９７の底部で絶縁膜９１が露出され、かつ開口部９９の深さが所定の深さ（形成すべき銅配線の高さ）に達した段階でエッチングを終了させる。
【０１３２】
次に、図６３に示されるように、ドライエッチング法により、開口部９７の底部で露出する絶縁膜９１を除去して配線４５を露出させる。このとき、絶縁膜９５も除去され得る。この工程で絶縁膜９５が除去されるので、絶縁膜９２のドライエッチング工程で絶縁膜９５に肩削れ（開口部９９の上端角部が削れて丸みを帯びる現象）が生じていたとしても、特に悪影響を及ぼすことはない。
【０１３３】
次に、図６４に示されるように、半導体基板１の主面上の全面（すなわち開口部９７および開口部９９の底面および側壁上を含む絶縁膜９４上）に、導電性バリア膜３３ａと同様の材料（例えば窒化チタン）からなる導電性バリア膜１００ａをスパッタリング法などで形成する。それから、導電性バリア膜１００ａ上に、開口部９７および開口部９９を埋めるように、主導体膜３３ｂと同様の材料（例えば銅）からなる主導体膜１００ｂを、主導体膜３３ｂと同様の手法、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法またはめっき法などを用いて形成する。
【０１３４】
次に、図６５に示されるように主導体膜１００ｂ、導電性バリア膜１００ａをＣＭＰ法によって、絶縁膜９４の上面が露出するまで研磨する。これにより、開口部９７および９９からなる配線開口部内に配線（第２層配線）１００が形成される。配線１００は、相対的に薄い導電性バリア膜１００ａと、相対的に厚い主導体膜１００ｂとを有しており、配線４５に電気的に接続されている。
【０１３５】
その後、同様の工程を必要に応じて繰り返して、第３層配線以降の上層配線を形成することができるが、ここではその説明は省略する。
【０１３６】
本実施の形態においても、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができ、導電性バリア膜１００ａおよび主導体膜１００ｂを形成する際には、開口部９７および開口部９９には肩削れが生じていない。開口部９７および９９内に導電性バリア膜１００ａおよび主導体膜１００ｂを埋め込んだとき、不要な導体部分が開口部９９の上端近傍に埋め込まれず、ＣＭＰ法による研磨後に不要な導体部分が残留することもない。これにより、同層配線の隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。また、同層配線の隣接配線間の間隔の設計値を小さくすることも可能となる。また、フォトレジスト膜の膜厚が比較的薄い場合でも、絶縁膜９５をハードマスクとして用いて配線開口部を形成することができるので、ＡｒＦ用のフォトレジスト膜を用い、ＡｒＦレーザ光による露光によりフォトレジストパターンを形成することが可能となる。このため、配線の微細加工が可能となる。半導体装置を小型化することもできる。
【０１３７】
また、本実施の形態では、絶縁膜９２の材料として、ＳｉＯＣ系の低誘電率材料（例えば上記Ｂｌａｃｋ Ｄｉａｍｏｎｄなど）のような、ＣＶＤ法で形成でき、酸素（Ｏ２）プラズマ処理などの酸化性プラズマ処理にダメージをほとんど受けない低誘電率材料を用いたが、他の低誘電率材料、例えば有機ポリマー系の低誘電率材料（例えば上記ＳｉＬＫなど）のような酸化性プラズマ処理に弱く、ダメージを受ける低誘電率材料を用いることもできる。
【０１３８】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【０１３９】
前記実施の形態では、ＭＩＳＦＥＴを有する半導体装置について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、銅を主成分とする主導体膜を含む配線を有する種々の半導体装置に適用することができる。
【０１４０】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【０１４１】
隣接配線間の絶縁破壊耐性を向上することができる。
【０１４２】
配線溝の上端角部が削れることなく埋込み配線を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図２】図１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３】図２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４】図３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５】図４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６】図５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図７】図６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図８】図７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図９】図８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１０】図９の半導体装置の要部平面図である。
【図１１】図９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１２】図１１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１３】図１２の半導体装置の要部平面図である。
【図１４】図１２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１５】図１４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１６】図１５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１７】図１６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１８】図１７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図１９】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図２０】図１９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２１】図２０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２２】図２１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２３】図２２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２４】図２３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２５】図２４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２６】図２５の半導体装置の要部平面図である。
【図２７】図２５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２８】図２７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図２９】図２８の半導体装置の要部平面図である。
【図３０】図２８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３１】図３０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３２】図３１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３３】図３２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３４】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図３５】図３４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３６】図３５の半導体装置の要部平面図である。
【図３７】図３５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３８】図３７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図３９】図３８の半導体装置の要部平面図である。
【図４０】図３８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４１】図４０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４２】図４１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４３】図４２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４４】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図４５】図４４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４６】図４５の半導体装置の要部平面図である。
【図４７】図４５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４８】図４７に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図４９】図４８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５０】図４９の半導体装置の要部平面図である。
【図５１】図４９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５２】図５１に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５３】図５２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５４】図５３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５５】本発明の他の実施の形態である半導体装置の製造工程中の要部断面図である。
【図５６】図５５に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５７】図５６の半導体装置の要部平面図である。
【図５８】図５６に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図５９】図５８に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６０】図５９に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６１】図６０の半導体装置の要部平面図である。
【図６２】図６０に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６３】図６２に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６４】図６３に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【図６５】図６４に続く半導体装置の製造工程中における要部断面図である。
【符号の説明】
１ 半導体基板
２ 素子分離領域
３ ｐ型ウエル
４ ゲート絶縁膜
５ ゲート電極
５ａ シリサイド膜
６ ｎ−型半導体領域
７ サイドウォール
８ ｎ＋型半導体領域
８ａ シリサイド膜
９ ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴ
１０ 絶縁膜
１１ 絶縁膜
１２ コンタクトホール
１３ プラグ
１３ａ 窒化チタン膜
１４〜１７ 絶縁膜
１８ａ 反射防止膜
１８ｂ フォトレジストパターン
１９ 開口部
２０ 配線
２０ａ 導電性バリア膜
２０ｂ 主導体膜
２１〜２８ 絶縁膜
２９ａ 反射防止膜
２９ｂ フォトレジストパターン
３０ 開口部
３１ａ 反射防止膜
３１ｂ フォトレジストパターン
３２ 開口部
３３ 配線
３３ａ 導電性バリア膜
３３ｂ 主導体膜
４１ 絶縁膜
４２ 絶縁膜
４３ａ 反射防止膜
４３ｂ フォトレジストパターン
４４ 開口部
４５ 配線
４５ａ 導電性バリア膜
４５ｂ 主導体膜
４６〜５０ 絶縁膜
５１ａ 反射防止膜
５１ｂ フォトレジストパターン
５２ 開口部
５３ａ 反射防止膜
５３ｂ フォトレジストパターン
５４ 開口部
５５ 配線
５５ａ 導電性バリア膜
５５ｂ 主導体膜
６１〜６７ 絶縁膜
６８ａ 反射防止膜
６８ｂ フォトレジストパターン
６９ 開口部
７０ａ 反射防止膜
７０ｂ フォトレジストパターン
７１ 開口部
７２ 配線
７２ａ 導電性バリア膜
７２ｂ 主導体膜
８１〜８３ 絶縁膜
８４ａ 反射防止膜
８４ｂ フォトレジストパターン
８５ 開口部
８６ａ 反射防止膜
８６ｂ フォトレジストパターン
８７ 開口部
８８ 配線
８８ａ 導電性バリア膜
８８ｂ 主導体膜
９１〜９５ 絶縁膜
９６ａ 反射防止膜
９６ｂ フォトレジストパターン
９７ 開口部
９８ａ 反射防止膜
９８ｂ フォトレジストパターン
９９ 開口部
１００ 配線
１００ａ 導電性バリア膜
１００ｂ 主導体膜
Claims (20)
- 以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ａ）半導体基板を準備する工程、
（ｂ）前記半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、
（ｃ）前記第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、
（ｄ）前記第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、
（ｅ）前記第３絶縁膜上に第４絶縁膜を形成する工程、
（ｆ）前記第４絶縁膜上に第５絶縁膜を形成する工程、
（ｇ）前記第５絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、
（ｈ）前記第１開口部から露出する前記第４絶縁膜を除去する工程、
（ｉ）前記第５絶縁膜を選択的に除去して、前記第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、
（ｊ）前記第１開口部から露出する前記第３絶縁膜を除去する工程、
（ｋ）前記第１開口部から露出する前記第２絶縁膜と前記第２開口部から露出する前記第４絶縁膜とを除去する工程、
（ｌ）前記第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｋ）工程の後で、前記第５絶縁膜を除去する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｋ）工程の後で前記（ｌ）工程の前に、前記第５絶縁膜と、前記第１開口部から露出する前記第１絶縁膜とを除去する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記第２絶縁膜および第４絶縁膜は低誘電率材料からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記第５絶縁膜は、窒化シリコン膜、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜または酸窒化シリコン膜からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｅ）工程の後で前記（ｆ）工程の前に、前記第４絶縁膜上に第６絶縁膜を形成する工程を有し、
前記（ｆ）工程では、前記第６絶縁膜上に前記第５絶縁膜が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項６記載の半導体装置の製造方法において、
前記第６絶縁膜は、酸化シリコン膜を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｌ）工程は、
前記第１開口部および第２開口部の底部および側壁上を含む前記半導体基板の全面上に、銅の拡散を抑制または防止する機能を有する第１導体膜を形成する工程、
前記第１開口部および第２開口部を埋めるように、前記第１導電体膜上に銅を主成分として含む第２導体膜を形成する工程、
前記第１開口部および第２開口部内に埋め込まれた前記第１および第２導体膜を残すように、それ以外の前記第１および第２導体膜を除去する工程、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｆ）工程の後で前記（ｇ）工程の前に、前記第５絶縁膜上に第１マスクパターンを形成する工程を有し、
前記（ｇ）工程では、前記第１マスクパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｈ）工程では、前記第１マスクパターンおよび前記第５絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｆ）工程の後で前記（ｇ）工程の前に、
前記第５絶縁膜上に第１フォトレジスト膜を形成する工程、
前記第１フォトレジスト膜をＡｒＦレーザ光を用いて露光して第１フォトレジストパターンを形成する工程、
を有し、
前記（ｇ）工程では、前記第１フォトレジストパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｈ）工程では、前記第１フォトレジストパターンおよび前記第５絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｈ）工程の後で前記（ｉ）工程の前に、前記第５絶縁膜上に第２マスクパターンを形成する工程を有し、
前記（ｉ）工程では、前記第２マスクパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｋ）工程では、前記第２マスクパターンおよび前記第５絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｈ）工程の後で前記（ｉ）工程の前に、
前記第５絶縁膜上に第２フォトレジスト膜を形成する工程、
前記第２フォトレジスト膜をＡｒＦレーザ光を用いて露光して第２フォトレジストパターンを形成する工程、
を有し、
前記（ｉ）工程では、前記第２フォトレジストパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｋ）工程では、前記第２フォトレジストパターンおよび前記第５絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ａ）半導体基板を準備する工程、
（ｂ）前記半導体基板上に第１絶縁膜を形成する工程、
（ｃ）前記第１絶縁膜上に第２絶縁膜を形成する工程、
（ｄ）前記第２絶縁膜上に第３絶縁膜を形成する工程、
（ｅ）前記第３絶縁膜を選択的に除去して第１開口部を形成する工程、
（ｆ）前記第１開口部の底部に対応する前記第２絶縁膜を、前記第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去する工程、
（ｇ）前記第３絶縁膜を選択的に除去して、前記第１開口部を含む領域に第２開口部を形成する工程、
（ｈ）前記第２開口部の底部に対応する前記第２絶縁膜を前記第２絶縁膜の厚み方向の中間領域まで除去し、前記第１開口部の底部に対応する前記第２絶縁膜を前記第１絶縁膜が露出するまで除去する工程、
（ｉ）前記第１開口部および第２開口部内に第１配線を形成する工程。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｈ）の後で前記（ｉ）工程の前に、前記第３絶縁膜と、前記第１開口部から露出する第１絶縁膜とを除去する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記第２絶縁膜は低誘電率材料からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３絶縁膜は、窒化シリコン膜、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜または酸窒化シリコン膜からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｃ）工程の後で前記（ｄ）工程の前に、前記第２絶縁膜上に第４絶縁膜を形成する工程を有し、
前記（ｄ）工程では、前記第４絶縁膜上に前記第３絶縁膜が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１７記載の半導体装置の製造方法において、
前記第４絶縁膜は、酸化シリコン膜を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｄ）工程の後で前記（ｅ）工程の前に、前記第３絶縁膜上に第１マスクパターンを形成する工程を有し、
前記（ｅ）工程では、前記第１マスクパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｆ）工程では、前記第１マスクパターンおよび前記第３絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項１３記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｄ）工程の後で前記（ｅ）工程の前に、
前記第３絶縁膜上に第１フォトレジスト膜を形成する工程、
前記第１フォトレジスト膜をＡｒＦレーザ光を用いて露光して第１フォトレジストパターンを形成する工程、
を有し、
前記（ｅ）工程では、前記第１フォトレジストパターンがエッチングマスクとして機能し、
前記（ｆ）工程では、前記第１フォトレジストパターンおよび前記第３絶縁膜がエッチングマスクとして機能することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP2002274884A JP2004111795A (ja) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | 半導体装置の製造方法 |
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| JP2004111795A true JP2004111795A (ja) | 2004-04-08 |
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|---|---|---|---|
| JP2002274884A Pending JP2004111795A (ja) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | 半導体装置の製造方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005311069A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Jsr Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| JP2014072228A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2002
- 2002-09-20 JP JP2002274884A patent/JP2004111795A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2014072228A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
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