JP2004103564A - Excimer irradiation unit, excimer lamp tube, excimer irradiation line, and excimer lamp - Google Patents

Excimer irradiation unit, excimer lamp tube, excimer irradiation line, and excimer lamp Download PDF

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中村　勝
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a excimer lamp in which an irradiating efficiency of an excimer light is further improved and to provide an excimer irradiation unit. <P>SOLUTION: The excimer irradiation unit includes a hollow double cylindrical tube having a discharge space formed between an outer tube and an inner tube which are concentrically disposed with each other, an excimer lamp tube having an internal electrode disposed in the inner tube and a discharge gas sealed in the discharge space, a lamp house housing the lamp tube and performing a function as an external electrode and having an irradiation window, and a power source for applying a high-frequency voltage between the internal electrode and the external electrode. The irradiation unit is disposed in such a manner that the direction of the lamp tube becomes perpendicular to a conveying direction of a conveying line for conveying an object to be irradiated. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エキシマ照射装置、エキシマランプ管、エキシマ照射ライン及びエキシマランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
エキシマ照射装置とは、エキシマ光を発生するエキシマランプを備え、発生したエキシマ光を被照射体に照射するための装置である。そして、従来から知られているエキシマランプとは、放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、無声放電と呼ばれる誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、そのエキシマ分子から放射される単一波長の紫外光（以下「エキシマ光」という。）を照射するものである。
【０００３】
そうしたエキシマランプとしては、誘電体からなる放電容器と、その放電容器内に放電用ガスを充填した放電空間と、その放電空間内に配置された内部管と、放電容器上の外部電極と、内部管内の内部電極とから少なくとも構成されるものが知られている。こうした誘電体バリア放電を利用したエキシマランプを備えているエキシマ照射装置は、放電用ガスの種類に応じて、１７２ｎｍ、１９３ｎｍ、２０７ｎｍ、２２２ｎｍ、２４８ｎｍ等のエキシマ光を発生させることができる。
【０００４】
また、放電ランプをランプハウス内に格納した従来の光源装置は、ランプの前面を窓部材で被い、不活性ガスを導入している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】
特開平１１−２０４０８７号公報（段落番号２０、図１など）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
こうしたエキシマ照射装置に関しては、発生するエキシマ光を効率的に照射するための研究開発が種々行われている。例えば、（イ）エキシマランプが装着される容器内に窒素ガスを流し、エキシマランプから発生するエキシマ光が吸収されないように工夫することによって、エキシマ光の照射効率を改善したり、（ロ）エキシマランプが装着される容器のガラス窓やエキシマランプの放電容器を、透過性に優れた石英ガラス等の材質に変更してエキシマ光の透過性を高めることによって、エキシマ光の照射効率を改善したり、（ハ）エキシマランプが配置されている容器の背面側に反射板を設けることによって、照射効率を改善したりしているが、依然として、照射効率をより一層向上させることに対する要請がある。
【０００６】
本発明は、上述の要請に応えるべくなされたものであって、その目的は、エキシマ光の照射効率をより一層向上させたエキシマランプ及びエキシマ照射装置を提供することにある。
【０００７】
また、エキシマランプは自己が放出する熱及びエキシマ光によってエキシマランプを構成する石英ガラスを劣化させるという問題があった。
【０００８】
本発明は、エキシマ光の照射効率を向上させたエキシマランプ及びエキシマ照射装置、長寿命化を図ったエキシマランプ及びエキシマ照射装置を提供することを他の目的とする。
【０００９】
また、従来の中空二重円筒管形状のエキシマランプを水平に配置して使用したとき、内部管の上面にひび割れが生じて、エキシマランプの寿命が尽きる傾向にあった。エキシマランプの用途として、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ：Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）製造工程におけるドライ洗浄が挙げられるが、近年のＬＣＤの大型化に伴い、エキシマランプの長尺化の要請がある。従来の中空二重円筒管形状のエキシマランプでは自重による内部管の撓みによる内部応力の影響が無視できず、エキシマランプを長尺にすると寿命が短くなる傾向があった。
【００１０】
更に、従来のエキシマ照射装置では、ランプの冷却と保護のために、ランプの前面に窓を設けていたが、窓があることで、被照射体への照射量が低下していた。
【００１１】
更にまた、従来のエキシマランプでは照射面の側にも金網状の電極が配置されていたので、照射面の側の開口率が低下していた。
【００１２】
本発明は、長寿命化を図るとともに、照射効率の良いエキシマ照射装置、エキシマランプ管及びエキシマ照射ラインを提供することを更に他の目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【００１４】
請求項１にかかるエキシマ照射装置は、外部管と内部管との間に放電空間が形成された中空二重円筒管と、内部管内に配置された内部電極とを有するエキシマランプと、外部管の外周面に係合する凹部を有し、凹部には前記エキシマランプの外部電極が備わったランプハウスと、内部電極と外部電極との間に高周波電圧を印加する電源装置と、を有することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、エキシマランプ管は外部電極を有していないので、エキシマランプを安価に製造することができる。また、照射面の側に外部電極が配置されていないので、照射面の開口率が低下することはなく、高い照射量を確保することができる。
【００１６】
請求項２にかかるエキシマ照射装置は、請求項１に記載のエキシマ照射装置において、凹部の中央付近に外部電極が備わっていない部分があること、を特徴とする。
【００１７】
凹部の中央付近は内部管を挟んで照射面の反対側に相当し、ここでの放電によって生じるエキシマ光は内部管が障害となって照射面から外部へ放出されることは少ない。この発明によって、凹部の中央付近の放電が生じないようにしても、照射面から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。
【００１８】
また、外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、この発明によって、エキシマランプ管の素材劣化の問題が生じない。
【００１９】
更に、この発明によって、照射面から放出されない（無駄な）放電を減少させることができ、その結果、外部電極と内部電極との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面から放出されるので、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
【００２０】
請求項３にかかるエキシマランプ管（７１）は、外部管（３）と内部管（４）とが同心に配され、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）が形成された中空二重円筒管と、内部管（４）内に配置された内部電極（５）と、を有し、放電空間（６）には放電ガス（６ａ）が封入され、高周波電圧を印加したとき放電ガス（６ａ）がエキシマ光を発する、ことを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、エキシマランプ管（７１）は外部電極を有していないので、エキシマランプ管（７１）を安価に製造することができる。また、照射面の側に外部電極が配置されていないので、照射面の開口率が低下することはなく、高い照射量を確保することができる。
【００２２】
請求項４にかかるエキシマランプ管は、請求項３に記載のエキシマランプ管（７１）において、外部管（３）の外周面の一部に、エキシマ光に耐性を有する絶縁材（５４）が配されている、ことを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、絶縁材（５４）が配置されている部分では放電が発生せず、発熱も生じない。
【００２４】
また、内部管（４）を挟んで照射面の反対側での放電によって生じるエキシマ光は内部管（４）が障害となって照射面から外部へ放出されることは少ない。この発明によって、内部管（４）を挟んで照射面の反対側に絶縁材（５４）を配して放電が生じないようにしても、照射面から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプ管（７１）の有害な放電及び発熱を防げる。
【００２５】
更に、外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプ管（７１）を構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、この発明によれば、絶縁材（５４）によって放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ管（７１）の素材劣化の問題が生じない。
【００２６】
更にまた、この発明によれば、絶縁材（５４）があることで照射面から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、絶縁材（５４）が配置されていない部分と内部電極との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
【００２７】
請求項５にかかるエキシマランプ管（８１）は、外部管（３）の内周面と内部管（４）の外周面とが接合し、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）が形成された二重円筒管と、内部管（４）内に配置された内部電極（５）と、を有し、放電空間（６）には放電ガス（６ａ）が封入され、高周波電圧を印加したとき放電ガス（６ａ）がエキシマ光を発する、ことを特徴とする。
【００２８】
この発明によれば、外部管（３）の内周面と内部管（４）の外周面とが接合している接合部（８２）で管壁が厚くなるので、内部管（４）の撓みによる内部応力に抗することができ、エキシマランプ管（８１）の長寿命化を図ることができる。
【００２９】
請求項６にかかるエキシマランプ管は、請求項５に記載のエキシマランプ管（８１）において、外部管（３）の外周面であって、外部管（３）の内周面と内部管（４）の外周面とが接合している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材（５４）が配されている、ことを特徴とする。
【００３０】
請求項７にかかるエキシマランプ管（８３）は、外部管（３）と、外部管（３）の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管（８４）が平板部（８５）を介して外部管（３）の管壁に接合されて形成された内部管（８７）と、外部管（３）と内部管（８７）との間に放電空間（６）が形成された円筒管と、内部管（８７）内に配置された内部電極（５）と、を有し、放電空間（６）には放電ガス（６ａ）が封入され、高周波電圧を印加したとき放電ガス（６ａ）がエキシマ光を発する、ことを特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、照射面を下方にしてエキシマランプ管（８３）を水平に配置したとき、内部管（８７）の平板部（８５）は垂直の向きに配されるので、断面２次モーメントが大きくなり、自重による内部管（８７）の撓みによる内部応力に抗することができる。
【００３２】
請求項８にかかるエキシマランプ管は、請求項７に記載のエキシマランプ管（８３）において、外部管（３）の外周面であって、外部管（３）と内部管（８７）とが管壁を共有している箇所（８６）には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材（５４）が配されている、ことを特徴とする。
【００３３】
請求項９にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項３乃至請求項８のいずれか一項に記載のエキシマランプ管と、エキシマランプ管を収納する収納穴（９３）を有し、エキシマランプ管に対して外部電極としての機能を果たすランプハウス（９１）と、内部電極（５）と外部電極との間に高周波電圧を印加する電源装置（９２）と、を有するエキシマ照射装置（９０）において、ランプハウス（９１）は、高周波電圧印加時にエキシマランプ管の発するエキシマ光を外部に放出する照射窓（９４）を有し、照射窓（９４）は長方形又は長円形であって、その長手方向がエキシマランプ管の軸方向と一致している、ことを特徴とする。
【００３４】
この発明によれば、エキシマランプ管はランプハウス（９１）に収納されているので、ランプハウス（９１）の収納穴（９３）の内側面とエキシマランプ管との接触面積を大きく確保することができる。従って、放電によって生じる熱を効率よくランプハウス（９１）に伝えることができ、冷却効率がよい。また、照射窓（９４）の側に冷却ガスを流す必要がないので、ガラスカバーが必要なく、エキシマ光を効率よく照射できる。冷却ガスを流す設備が必要ないので装置の製造原価を低く抑えることできる。
【００３５】
請求項１０にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項９に記載のエキシマ照射装置（９０）において、エキシマランプ管の外周面は、ランプハウス（９１）の外側面から出ていない、ことを特徴とする。
【００３６】
この発明によれば、エキシマランプ管が収納穴（９３）に収納されたとき、エキシマランプ管の外周面はランプハウス（９１）の外側面から出ない配置となるので、照射窓（９４）の側にエキシマランプ管を保護するための保護用ガラスを設ける必要がない。その結果、エキシマ光を効率よく照射できるとともに、装置の製造原価を低く抑えることできる。
【００３７】
請求項１１にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項９に記載のエキシマ照射装置（９０）において、エキシマランプ管の外周面は、ランプハウス（９１）の外側面から出ている、ことを特徴とする。
【００３８】
この発明によれば、エキシマランプ管が収納穴（９３）に収納されたとき、エキシマランプ管の外周面はランプハウス（９１）の外側面から出る配置となるので、エキシマランプ管を被照射体により近づけることができる。その結果、エキシマ光を効率よく照射できる。
【００３９】
請求項１２にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項９乃至請求項１１のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置（９０）において、ランプハウス（９１）の収納穴（９３）には照射窓（９４）と反対側の位置に溝部（９５）が設けられている、ことを特徴とする。
【００４０】
請求項１３にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項９乃至請求項１２のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置（９０）において、ランプハウス（９１）は複数のエキシマランプ管を有している、ことを特徴とする。
【００４１】
この発明によれば、エキシマランプ管を複数並べることで、充分な照射量のエキシマ光を得ることができる。
【００４２】
請求項１４にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項１３に記載のエキシマ照射装置（９０）において、複数のエキシマランプ管は平行に配されている、ことを特徴とする。
【００４３】
請求項１５にかかるエキシマ照射装置（９０）は、請求項１３又は請求項１４に記載のエキシマ照射装置（９０）において、隣り合うエキシマランプ管は向きが互い違いに配されている、ことを特徴とする。
【００４４】
エキシマランプ管の放出するエキシマ光の照射密度は長手方向で異なっている。この発明によれば、長手方向でエキシマ光の被照射量を均一にできる。
【００４５】
請求項１６にかかるエキシマ照射ライン（１２０）は、請求項９乃至請求項１５のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置（９０）と、照射窓（９４）から発せられるエキシマ光が照射される被照射体（１２２）を搬送する搬送ライン（１２１）、とを有することを特徴とする。
【００４６】
請求項１７にかかるエキシマ照射ライン（１２０）は、請求項１６に記載のエキシマ照射ライン（１２０）において、エキシマランプ管の向きがエキシマ照射ライン（１２０）の搬送方向に対して垂直になるようにエキシマ照射装置（９０）が配されている、ことを特徴とする。
【００４７】
請求項１８にかかるエキシマ照射ライン（１２０）は、請求項１６又は請求項１７に記載のエキシマ照射ライン（１２０）において、被照射体（１２２）が搬送ライン（１２１）上を搬送されたときに、被照射体（１２２）の被照射面のいずれの箇所でもエキシマ光の被照射量が均一になるように、エキシマ照射装置（９０）内でエキシマランプ管が配されている、ことを特徴とする。
【００４８】
請求項１９にかかるエキシマランプ（１３１）は、外部管（３）の内周面と内部管（４）の外周面とが接合し、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）が形成された二重円筒管と、内部管（４）内に配置された内部電極（５）と、外部管（３）上に配置された外部電極（６２）と、を有し、放電空間（６）には放電ガス（６ａ）が封入され、高周波電圧を印加したとき放電ガス（６ａ）がエキシマ光を発する、ことを特徴とする。
【００４９】
請求項２０にかかるエキシマランプ（１３２）は、請求項１９に記載のエキシマランプ（１３１）において、外部管（３）と外部電極（６２）との間であって、外部管（３）の内周面と内部管（４）の外周面とが接合している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材（５４）が配されている、ことを特徴とする。
【００５０】
請求項２１にかかるエキシマランプ（１３３）は、外部管（３）と、外部管（３）の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管（８４）が平板部（８５）を介して外部管（３）の管壁に接合されて形成された内部管（８７）と、外部管（３）と内部管（８７）との間に放電空間（６）が形成された円筒管と、内部管（８７）内に配置された内部電極（５）と、外部管（３）上に配置された外部電極（６２）と、を有し、放電空間（６）には放電ガス（６ａ）が封入され、高周波電圧を印加したとき放電ガス（６ａ）がエキシマ光を発する、ことを特徴とする。
【００５１】
請求項２２にかかるエキシマランプ（１３４）は、請求項２１に記載のエキシマランプ（１３３）において、外部管（３）と外部電極（６２）との間であって、外部管（３）と内部管（８７）とが管壁を共有している箇所（８６）には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材（５４）が配されている、ことを特徴とする。
【００５２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置について図面を参照しつつ説明する。
【００５３】
（エキシマランプ）
図１は、本発明のエキシマランプの一例を示す正面図（ａ）および左側断面図（ｂ）であり、図２は、図１に示したエキシマランプ本体の内部構造の一例を示す正面図（ａ）およびＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【００５４】
本発明のエキシマランプ１は、図１および図２に示すように、エキシマ光を照射するためのランプ本体１ａを少なくとも有するものであり、必要に応じ、ランプ本体１ａを支持し且つランプ本体１ａへの通電を容易にするためのキャップ１ｂを備えている。
【００５５】
ランプ本体１ａは、外部管３および内部管４から構成され、それらの間に放電空間が形成された中空二重円筒管と、その外部管３上に配置された外部電極２と、その内部管４内に配置された内部電極５と、を備えている。一方、キャップ１ｂは、キャップ本体１１と、冷却ガスの循環に利用される円筒状の隔壁１１ａと、冷却ガスを流入するための入力継手１２と、内部電極５及び外部電極２に給電するための給電ケーブル１４、１４ａと、ランプ本体１ａを支持するための支持壁１１ｂと、エキシマランプ１をエキシマランプ照射装置に設置する際の孔１１ｃとを少なくとも備えている。このとき、隔壁１１ａと支持壁１１ｂとは、キャップ本体１ｂに一体化され、その隔壁１１ａは、ランプ本体１ａの長手方向の長さよりも若干短い。
【００５６】
なお、外部管３の外周面には、外部電極２を構成する複数の突起部１０２が巻き付いている領域からなる照射面２３を備え、その照射面２３から被照射体にエキシマ光が照射される。また、外部管３と内部管４とは、放電空間６を形成するために密閉され、その放電空間６には、放電用ガス６ａが所定の圧力で充填される。放電用ガス６ａは、キセノンガス、アルゴンガス又はクリプトンガスといった希ガス、或いは、キセノンガス、アルゴンガス又はクリプトンガスのうちのいずれか一つのガスとハロゲンガスとの混合ガスが好ましい。また、放電用ガス６ａの圧力は５ｋＰａから１００ｋＰａの範囲が好ましい。
【００５７】
外部管：外部管３は、内部管４と協働して中空二重円筒管を構成する。具体的には、図１に示すように、ランプ本体１ａの長手方向において、ランプ本体１ａの一方の先端１ｃが密閉され、他方が開口している円筒形状からなるものである。本発明のエキシマランプでは、１００〜２５００ｍｍ程度の長さで、１５〜５５ｍｍ程度の外径からなる外部管３が使用される。この外部管３においては、図１のランプ先端に現されているように、その先端１ｃを中央に向かって段差を有するように構成してもよく、その段差部分を保持部材（図示しない。）に差し込んで保持することができる。通常、外部管３は、そのような保持部材で保持されるので、本発明のエキシマランプの有効照射面２３の長手方向の長さは、外部管３の長さよりも５０ｍｍ程度短い長さとなっている。こうした外部管３は、両端が開放されたものであってもよく、特に限定されるものではないが、両端が開放された外部管３においては、その両端をシールして密閉する必要がある。
【００５８】
外部管３は、発生したエキシマ光が減衰しないように、透過性に優れていることが好ましく、その材質としては、合成石英管が好ましく用いられる。また、外部管３の厚さは、エキシマ光が外部管３を通過する際における透過率の低下を極力小さくするために薄くするとよく、その厚さは例えば１〜３ｍｍ程度であることが好ましい。この範囲の厚さからなる外部管３は、強度に優れる円筒管形状で通常構成されるので、後述する保護管２９との間に充填又は循環される冷却ガスの圧力や、後述する内部管４との間に充填される放電ガスの圧力にも十分耐えることができる。
【００５９】
なお、外部管３の内壁には蛍光体膜を形成してもよく、蛍光灯とすることもできる。
【００６０】
外部電極：外部電極２は、図３〜図５に示すように、略長方形の金属薄板部１０１と、その金属薄板部１０１の長尺両辺１０３’、１０３”（本願において、これらを峻別しないときには、１０３で表す。）から突出した複数の突起部１０２’、…、１０２”、…（本願において、これらを峻別しないときには、１０２で表す。）とからなっている。
【００６１】
金属薄板部１０１は、被照射体に向かい合わない側の外部管上に、その長手方向に沿って配置される。金属薄板部１０１をそのように配置することにより、被照射体に向かい合う側の外部管上からのエキシマ光の照射を遮ることがない。また、金属薄板部１０１の表面を鏡面にして反射板として作用させることもでき、被照射体への照射効率を向上させることができる。金属薄板部１０１が覆わない外部管３上の領域は、エキシマ光の有効照射面２３となり、その有効照射面２３から被照射体にエキシマ光が照射される。
【００６２】
外部管３の長手方向における金属薄板部１０１の長さは、図１に示すように、エキシマ光が被照射体に照射される有効照射面２３の長手方向の長さと同じ長さであることが好ましい。また、外部管３の円周方向における金属薄板部１０１の長さは、外部管３の外径に応じて任意に選択されるが、外部管３の円周方向における全周の３０％〜５０％の長さであることが好ましい。こうした寸法からなる金属薄板部１０１を有する外部電極２は、被照射体に向き合う側の外部管３から照射されるエキシマ光の照射効率をより向上させることができる。
【００６３】
なお、外部管３の長手方向における金属薄板部１０１の長さおよび外部管３の円周方向における金属薄板部１０１の長さは、上述した長さであることがより好ましいが、その範囲を外れた場合であっても実用上使用することは可能であることから、その長さは特に限定されない。また、金属薄板部１０１の厚さは、０．１〜１．０ｍｍ程度であることが好ましく、その範囲は、使用する板材の材質に応じて設定される。
【００６４】
なお、金属薄板部１０１の表面に多数の孔（貫通孔）を形成したものであってもよい。この孔はどのような形状のものでもよいが、好適には六角形または円形である。
【００６５】
突起部１０２は、金属薄板部１０１の長尺両辺１０３から突出した形態からなるものであり、外部管３に巻き付くように作用する。
【００６６】
具体的には、図３〜図５に示すように、金属薄板部１０１の一方の長尺辺１０３’から突出した突起部１０２’と、他方の長尺辺１０３”から突出した突起部１０２”とが、互い違いに配されている。こうした突起部１０２を外部管３に巻き付けてなる外部電極２は、被照射体に向き合う側の外部管上において、エキシマ光の照射を遮ることが少なく、高い照射効率を実現できる。
【００６７】
突起部１０２を互い違いに配してなる外部電極２においては、突起部１０２の幅が、０．２〜２ｍｍであり、突起部１０２の間隔が、突起部１０２の幅の２倍〜４倍であることが好ましい。また、突起部１０２の突出長さについては、特に限定されないが、外部管３に巻き付いて外部電極２として有効に作用する長さであることが好ましく、より具体的には、外部管３の円周方向における全周の５０％程度または４５〜６５％程度に設計することができる。なお、突起部１０２の厚さは、上述の金属薄板部１０１と同じ０．１〜１．０ｍｍ程度である。そうした寸法からなる外部電極２は、被照射体に向き合う側の外部管上からのエキシマ光の照射を遮ることが少なく、高い照射効率を実現できる。
【００６８】
上述した形態の金属薄板部１０１および突起部１０２を有する外部電極２は、外部管３への装着が極めて簡単であり、しかも、発生するエキシマ光の遮蔽を極力少なくすることができるという利点がある。さらに、突起部１０２の突出長さ、間隔、幅等の寸法を任意に設定することも容易なので、エキシマランプの大きさやエキシマランプの仕様に対応した外部電極２を容易に製造することができる。
【００６９】
外部管３に巻き付けられるように装着される上述の形態からなる外部電極２は、外部管３の外周面と同様な湾曲形状に加工し易い材質で製造されることが好ましく、具体的には、ステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金の平板が使用される。そうした外部電極２の選定にあっては、装着する際に要する変形が容易であるとともに、装着後は外部管３から容易に外れたりずれたりせずにしっかり固定できる弾性力を備えた材質または厚さであることが好ましい。なお、外部電極２に用いられる他の金属としては、銅、酸化銅、またはそれらの合金、酸化イットリウム、酸化イットリウムアルミニウム、その他の金属等の中から良好な金属導電性を有し、かつ、放電率が高く、弾性があるものから選定されてもよい。
【００７０】
次に、外部電極の他の形態について以下に説明する。
【００７１】
図６は、金属薄板部の形状に特徴がある外部電極の装着形態を示す断面形態図である。この場合においては、金属薄板部と外部管３との接触部分ができるだけ少なくなるように、予め矩形状に折り曲げた金属薄板部１０４を外部管３に配置する。矩形状としては、図６に示すように、ギザギザに折り曲げた形状とすることが好ましい。こうした装着形態からなる外部電極２は、矩形状の金属薄板部１０４の矩形先端のみが部分的に外部管３に接触するので、被照射体に向き合わない側、すなわち矩形状の金属薄板部１０４が配置された側でのエキシマ光の発生が起こり難くなり、被照射体に向かい合う側、すなわち突起部１０２が巻き付いている側で専らエキシマ光の発生が起こることになる。その結果、印加電力に対する照射効率を向上させることができると共に、放電強度が高くなる。なお、この形態においては、矩形状にして装着した後の金属薄板部１０４が、矩形状でない上述の金属薄板部１０１と同じ領域に配置されるようにその大きさや寸法が設定される。
【００７２】
図７は、金属薄板部と外部管との間にエキシマ光に耐性を有する材料を介在させた形態を示す断面形態図である。この場合においては、外部管３上にエキシマ光に耐性を有する材料１０５を設け、その上にさらに金属薄板部１０１を配置するので、金属薄板部１０１と外部管３とが接触しない。こうした形態とすることにより、金属薄板部１０１が配置された側、すなわち被照射体に向き合わない側におけるエキシマ光の発生が抑制され、その結果、エキシマ光の発生は、被照射体に向き合う側で主に起こり、放電効率が向上すると共に放電強度が高くなる。
【００７３】
介在させる材料１０５としては、少なくともエキシマ光に耐性を有する材料であることが必要である。例えば、セラミクス系材料、フッ素系樹脂、特にテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（フッ化エチレンプロピレン共重合樹脂、パーフロロエチレンプロペン共重合樹脂）、ポリテトラフルオロエチレンを好ましく挙げることができ、そうした材料１０５を外部管上または金属薄板部上にコーティングしたり、そうした材料１０５からなるシートまたはフィルムを単に挟んだり接着させたりして介在させることが好ましい。
【００７４】
また、かかる材料１０５は、エキシマ光の波長との関係から決定されるべきである。例えば、２２２ｎｍの波長に対しては上述のフッ素系樹脂、特にテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（フッ化エチレンプロピレン共重合樹脂、パーフロロエチレンプロペン共重合樹脂）、ポリテトラフルオロエチレンを好ましく、１７２ｎｍの波長にはより耐性を有するセラミクス系材料が好ましく用いられる。
【００７５】
図８〜図１０は、外部電極のさらに他の態様の説明図である。この態様の外部電極２は、外部管３の約半周部分を覆う金属薄板部１０１と、その金属薄板部１０１の長尺方向の一端から突出して外部管３の円周方向に巻き付く帯状部１０６と、その帯状部１０６からすだれ状に延びた電極細線１０７とで構成されている。
【００７６】
帯状部１０６は、図８（ａ）に示すように、金属薄板部１０１の一端の片側から延びるように構成したり、図８（ｂ）に示すように、金属薄板部１０１の一端の両側から延びるように構成したりすることができる。この態様の外部電極２において、金属薄板部１０１は、その弾性の復元力により外部管３に固定される。金属薄板部１０１の外部管３への固定は、金属薄板部１０１を外部管３の直径よりも小さい直径となるように湾曲加工し、その後、金属薄板部１０１の両辺を広げるようにして外部管３に装着固定することにより行う。この際、外部管３の断面中心と、外部電極２の両辺１０３の端部とがなす照射面側の角度（以下、「開口角」と呼ぶ。）は、９０°〜１８０°の範囲となるように外部電極２が配置される。このとき開口角は、好適には１２０〜１６０°、より好適には１４０°であるとよい。開口角を９０°〜１８０°とすることにより、発生するエキシマ光を効率よく被照射体に照射することができる。また、開口角の設定範囲において、開口角が１８０°未満では、外部電極２が容易に外れてしまう場合がある。一方、開口角が９０°を越えてしまうと、照射効率が低下する。なお、この態様における外部電極２は、矩形状で弾性があり且つ導電性のある金属としての板材が用いられ、具体的には、厚さ０．１〜１．０ｍｍのステンレス鋼またはアルミニウムが用いられる。
【００７７】
図８に示す形態における外部電極２の厚さは、図３〜図７において説明した外部電極２の厚さと同じ厚さとすることができる。また、金属薄板部１０１の一端または両端から延びる帯状部１０６の長さは、金属薄板部１０１とその帯状部１０６とにより外部管３を一回りできる長さであることが好ましい。また、帯状部１０６からすだれ状に延びた電極細線１０７は、その幅が約１〜５ｍｍであり、その長さが有効照射面２３を覆う長さとなるように形成される。なお、図９は、外部管３に装着した形態を示すものであり、図１０は、すだれ状に延びた電極細線１０７を固定した態様を示す一例である。
【００７８】
なお、すだれ状の電極細線１０７が外部管上でばらけないように、ランプ先端部及びランプ後端部にてキャップ１１等により固定することが好ましい。
【００７９】
内部管：内部管４は、外部管３と協働して中空二重円筒管を構成する。具体的には、図１に示すように、ランプ本体１ａの長手方向において、ランプ本体１ａの一方の先端１ｃが密閉され、他方が開口している円筒形状からなるものである。この内部管４は、例えば外部管３に段差部分を設けた場合にあっては、その外部管３の段差部分の内壁寸法と同じ大きさの外形を有し、且つその外部管３に対して一定の間隔を保つように平行に配置されるように構成することができる。
【００８０】
内部管４の材質としては、誘電体である石英管を用いることが好ましい。
【００８１】
内部管４の内部には、エキシマランプ１を冷却する目的で、冷却ガス４ａを充填したり、冷却ガス４ａを循環することが好ましい。この場合における冷却ガス４ａとしては、例えば窒素ガス等の非活性なガスやアルゴンガス等の不活性ガス等を用いることができるが、経済性の点からは窒素ガスまたは冷却された空気が好適に用いられる。
【００８２】
内部管４の厚さは、例えば１〜３ｍｍ程度であることが好ましい。この範囲の厚さからなる内部管４は、強度に優れる円筒管形状で通常構成されるので、その中に充填又は循環される冷却ガスの圧力や、上述した外部管３との間に充填される放電ガスの圧力にも十分耐えることができる。
【００８３】
内部電極：内部電極５は、内部管４の中に設けられ、外部電極２との間に電圧が印加されてエキシマ光を発生させるために設けられる。
【００８４】
内部電極５の形状は、内部管４の内部に充填された窒素ガス４ａが通過しやすい形状、例えばメッシュ又は網目模様の円筒形状であることが好ましい。内部電極５の材質は、良好な金属導電性を有し且つ放電率が高くなるものが好ましく、上述した外部電極２で用いられる金属と同種の金属を用いることができる。
【００８５】
ランプ本体およびキャップ：ランプ本体１ａは、キャップ１ｂの隔壁１１ａと支持壁１１ｂとの間に挿入され、上述したキャップ本体１１に篏合される。そして、ランプ本体１ａの開口している一方がキャップ１ｂにより塞がれる。
【００８６】
キャップ１ｂに一体化されてなる隔壁１１ａは、内部電極４の内側に配置され、その先端は、図２に示すように、ランプ本体１ａの先端１ｃ近傍にまで延びている。こうした隔壁１１ａを設けることにより、内部管４の内部に充填する冷却ガス４ａを、内部管４の先端１ｃまで充填できるとともに、冷却ガス４ａを均一に循環させることができる。さらに、この隔壁１１ａにより内部管４の内部が第１空間部１５及び第２空間部１６に仕切られる。また、キャップ本体１１には、冷却ガス４ａを出力継手１３から流出するための流路１１ｆと、冷却ガス４ａを入力継手１２からランプ本体１ａ内へ流入するための流路１１ｇと、空間部１６と空間部１１ｅとを接続するための流路１１ｄとが形成されている。なお、空間部１６は、隔壁１１ａと内部管４との間をなし、空間部１１ｅは、ランプ本体１ａと支持壁１１ｂとの間をなしている。
【００８７】
入力継手１２と出力継手１３は、冷却ガス４ａを循環させるための冷却ガス循環装置等に接続される。冷却ガス４ａは、入力継手１２よりランプ本体１ａの内部に流入し、第１の空間部１５を通過して、先端１ｃまで流入した後、第２の空間部１６を循環し、流路１１ｄを通り、空間部１１ｅから外部へと放出される。なお、通常、このようなエキシマランプ１は、密閉された空間内に複数配置されて使用されるため、上述の空間部１１ｅから外部に放出した冷却ガス４ａは、密閉空間を循環後、流路１１ｆを通り、出力継手１３から流出することとなる。
【００８８】
以上のように構成されたエキシマランプ１は、図１１および図１２に示すように、給電ケーブル１４、１４ａに電源２０ｃを接続し、外部電極２及び内部電極５に電圧を印加すると、放電空間６に発生した多条の放電プラズマが放電ガスの原子を励起しエキシマ光が発生する。
【００８９】
なお、本発明の変形例として、放熱量が少ない場合には入力継手１２と出力継手１３を省いてもよい。
【００９０】
（エキシマ照射装置）
次に、上記エキシマランプ１を用いたエキシマ照射装置２０について詳細に説明する。
【００９１】
図１１は、エキシマ照射装置の一例を示す底面図であり、図１２はその側面図である。図示のように、エキシマ照射装置２０は、被照射体にエキシマ光を照射するためのエキシマランプ１を複数備える照射部２０ａと、各エキシマランプ１から放出される熱を冷却するための冷却ガス４ａをランプ本体１ａの内部及び外部（エキシマ照射装置２０の空間部２２。）に循環させるための冷却ガス循環装置２０ｂと、各エキシマランプ１に高周波電圧を印加するための電源２０ｃと、を備えている。
【００９２】
このエキシマ照射装置２０は、ケーシング２１により覆われた形態からなるものであり、そのケーシング内には被照射体と対向する側に空間部２２が形成され、その空間部２２には、そのケーシング２１の開口部位２２ａと所定の間隔となるようにエキシマランプ１が配設されている。その間隔は、被照射体上の照度分布が均一となるように、エキシマ照射装置２０と被照射体との距離をも勘案して随時設定される。また、空間部２２の開口部位２２ａには、必要に応じて空間部２２を密閉するための窓２４を設けることもでき、その窓２４としては、通常、光透過性のよい合成石英板が用いられる。
【００９３】
空間部２２の内壁２５を、鏡面加工されたステンレス鋼又はコーティングされたアルミニウム材で形成し、反射面２６として作用させることもできる。その反射面２６の表面形状については特に限定されない。
【００９４】
空間部２２の内壁２５の所定位置には、所定間隔に複数の孔２７、…、２７を設けてもよい。この孔２７は、エキシマランプ１を冷却するための冷却ガス４ａを流入または流出するためのものであり、エキシマランプ相互間の直上部またはエキシマランプ１の直上部であることが好ましい。
【００９５】
エキシマ照射装置２０は、冷却ガス循環装置２０ｂを備えている。この冷却ガス循環装置２０ｂは、内壁２５に設けられた孔２７及びエキシマランプ１の入力継手１２と出力継手１３とに接続し、空間部２２内およびエキシマランプ内に冷却ガス４ａを供給するための装置である。
【００９６】
冷却ガス４ａは、孔２７からランプ本体１ａに向かって吹き出し、さらに空間部２２内を循環することにより、発熱するエキシマランプ１を外側から冷却すると共に、エキシマランプ１の外部電極２の酸化を防止する。また、冷却ガス４ａは、流入継手１２からエキシマランプ１の内部管４内に流入することにより、発熱するエキシマランプ１を内部から冷却すると共に、エキシマランプ１の内部電極５の酸化を防止する。冷却ガス４ａとしては、窒素ガスを用いることが経済性及び安全性の点から好ましい。また、窒素ガスはエキシマ光の吸収が少ないという点からも好ましい。
【００９７】
エキシマ照射装置２０は、各エキシマランプ１、…、１に個別に対応した電源２０ｃ、…、２０ｃを備えている。この電源２０ｃは、エキシマランプ１の外部電極２と内部電極５とに接続された給電ケーブル１４、１４ａに接続され、エキシマランプ１に１ＭＨｚを超える高周波電圧を印加する。
【００９８】
（第２実施形態のエキシマランプ）
図１３および図１４は、本発明の第２実施形態に係るエキシマランプ２８の一例を示す説明図である。なお、図１３および図１４において、図１と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【００９９】
このエキシマランプ２８は、ランプ本体１ａの外周を覆うような保護管２９を備えたことに特徴がある。保護管２９は、円筒形状であり、エキシマランプの長手方向において、一端（ランプ本体１ａの先端１ｃ方向の端部）が密閉され、他端が開口している。開口している端部はキャップの支持壁１１ｂに支持され、密閉される。保護管２９は、透過性があり、合成石英管を用いることが好ましい。
【０１００】
図１４に示すように、隔壁１１ａ内の空間部１５、隔壁１１ａと内部管４との間の空間部１６、及び外部管３と保護管２９との間の空間部１７（ランプ本体１ａ及び保護管２９内）には、冷却ガス４ａが循環される。冷却ガス４ａは、入力継手１２よりランプ本体１ａの内部に流入し、隔壁１１ａに沿って空間部１５を循環した後、その隔壁１１ａと内部管４との間の空間部１６内を循環する。その後、キャップ本体１１に形成された流路１１ｄ及び空間部１１ｅを通過して、ランプ本体１ａと保護管２９との間に設けられた空間部１７を循環し、流路１１ｆを通り、出力継手１３から流出する。このように、空間部１７にも冷却ガス４ａを循環することにより、ランプ本体１ａが放出する熱を抑えるとともに、外部電極２の酸化を防ぐことができる。
【０１０１】
（第３及び第４実施形態のエキシマランプ）
図１５は、本発明の第３実施形態に係るエキシマランプ３５の一例を示す説明図であり、図１６は、本発明の第４実施形態に係るエキシマランプ３９の一例を示す説明図である。なお、図１５および図１６において、図１と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【０１０２】
これらの実施形態に係るエキシマランプは、長尺のエキシマランプにおいて、電圧の印加不足により放電空間で発生する放電プラズマにばらつきが生じるという問題を、外部電極２及び内部電極５の両端部近傍に１ＭＨｚを超える高周波電圧を印加することにより解決したものである。また、自重によりたわみが生じ、ランプ本体に変形や破壊が生じるという問題を、内部電極５の一部に接するように内部電極５の長手方向に沿って中空管を備えることにより解決したものである。
【０１０３】
図１５は、第３実施形態に係るエキシマランプ３５の断面構造図である。この実施形態のエキシマランプ３５は、第１実施形態のエキシマランプ１が片端部を支持するエキシマランプであるのに対し、両端部を支持するエキシマランプである点で異なる。なお、図中「Ｐ／Ｓ」とは、パワーサプライ（電源）を意味し、「Ｓ／Ｂ」とは、スタビライザ（安定器）を意味する。
【０１０４】
エキシマランプ３５は、外部管３６及び内部管３７の何れも両端部が開口してなるものであり、その外部管３６の外周面の一部を覆うように備えられた外部電極２と、内部管３７の内周面の一部と接するように設けられた内部電極５と、を備える。外部管３６と内部管３７との間の放電空間６は、支持部材３８、３８ａにより外部管３６及び内部管３７の両先端部がシールされ、密閉される。この放電空間６には、放電用ガス６ａが所定の圧力で充填される。また、支持部材３８、３８ａには、ランプ本体３５ａ内に冷却ガスを流出入するための流入路３８ｂ、流出路３８ｃがそれぞれ形成される。
【０１０５】
外部管３６は、長手方向において円筒形状である。この外部管３６は、透過性があり、合成石英管が好ましく用いられる。
【０１０６】
内部管３７も、長手方向において円筒形状である。また、内部管３７は、外部管３６の内部に一定の間隔を保つように平行に配置される。この内部管３７としては、誘電体である石英管が好ましく用いられる。
【０１０７】
内部管３７の空間部４５には冷却ガス４ａを循環する。冷却ガス４ａは、図中矢印で示すように、一方の支持部材３８に形成されている流入路３８ｂから流入し、ランプ本体３５ａの内部を通って、他方の支持部材３８ａに形成されている流出路３８ｃから流出する。
【０１０８】
個々のエキシマランプには、通常、一個の電源（Ｐ／Ｓ）から一個の安定器（Ｓ／Ｂ）を介して給電されるが、エキシマランプ３５が長尺である場合は、図１５〜図１７に示すように、外部電極２と内部電極５の一方の端部（図中右側の端部）と、他方の端部（図中左側の端部）とに、それぞれ安定器（Ｓ／Ｂ）を介して１ＭＨｚを超える高周波電圧を印加するように電源３５ｂを電気的に接続することが好ましい。
【０１０９】
図１６は、第４実施形態に係るエキシマランプ３９の断面構造図である。なお、図１６においても、図１及び図１５と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【０１１０】
このエキシマランプ３９は、第３実施形態において示したランプ本体３５ａの外周を覆うような保護管４０を備える。保護管４０は、筒形状であり、両端部が開口している。両端部は、支持部材３８、３８ａにより支持され、シール（密閉）される。保護管４０は、透過性があり、合成石英管が好ましく用いられる。また、内部電極５の内周面の一部には、内部電極５の長手方向に沿って噴射管４１が備えられている。その噴射管４１は、エキシマランプ３９の照射面２３と対向する内部電極５の内周面の一部（図１６においては内部電極５の内周面上部。）に設けられる。また、噴射管４１は中空管であり、その噴射管４１の一方の端部には冷却ガス循環装置が接続され、その噴射管４１の内部には冷却ガス４ａが流入する。また、噴射管４１には、所定間隔に複数の孔４１ａが設けられており、その孔４１ａから冷却ガス４ａが噴出する。孔４１ａの径は、冷却ガス４ａ全体の孔４１ａからほぼ均等に噴出されるように調整される。具体的には、孔４１ａの径は、冷却ガス４ａが流入する側に近ければ近いほど小さく設定される。
【０１１１】
このように、冷却ガス４ａをランプ本体３５ａの空間部４５及び保護管４０と外部電極２との間の空間部４６に循環させることにより、ランプ本体３５ａの冷却及び内部電極５と外部電極２の酸化防止をすることができる。
【０１１２】
外部管３６と保護管４０との間の空間部４２に冷却ガス４ａを循環する際には、冷却ガス４ａを流出入するための流入口及び流出口を、偏心させて設けるとよい。偏心させることにより、冷却ガス４ａが渦をまくように流出入するため、冷却ガス４ａが全体に行き渡り易い。
【０１１３】
冷却ガス４ａがランプ本体３５ａの内部を効率よく循環できるように、一方の支持部材３８には、冷却ガス４ａを入力継手１２から噴出管４１に流入するための流路４６ａと、冷却ガス４ａを保護管４０と外部管３６との間の空間部４２から出力継手１３を介して流出するための流路４６と、を設けることが好ましい。また、他方の支持部材３８ａには、内部管３７と空間部４２とを接続するための流路４６ｂを設けることが好ましい。冷却ガス４ａは入力継手１２より流入し、流入した冷却ガス４ａは、噴射管４１の孔４１ａから噴出し、流路４６ｂを通って空間部４２を循環する。循環後、支持部材３８に形成された流路４６を通り、出力継手１３を介して流出する。
【０１１４】
（第５実施形態のエキシマランプ）
図１７は、第５実施形態に係るエキシマランプ３９ａの断面構造図である。なお、図１７において、図１６と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【０１１５】
このエキシマランプ３９ａにおいては、一方の支持部材３８に、冷却ガス４ａを入力継手１２から噴出管４１に流入するための流路４６ａと、冷却ガス４ａを保護管４０と外部管３６との間の空間部４２から出力継手１３を介して流出するための流路４６と、内部管３７と空間部４２とを接続するための流路４６ｃと、が設けられている。また、他方の支持部材３８ｂには、新たに冷却ガス４ａを流入するための流入路４７が設けられている。
【０１１６】
冷却ガス４ａは入力継手１２より流入し、流入した冷却ガス４ａは、噴射管４１の孔４１ａから噴出し、流路４６ｃを通って空間部４２を循環する。一方、空間部４２には、新たな流入路４７からも冷却ガス４ａが流入される。冷却ガス４ａは空間部４２を循環した後、支持部材３８に形成された流路４６を通り、出力継手１３を介して流出する。
【０１１７】
以上、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置について説明したが、本発明は上述した各実施形態に限定されることなく、種々の形態にて実施してよい。例えば、実施の形態においては、内部電極５を中空形状としているが、特にこの形状に限られるわけではなく、棒状の電極を用いても構わない。また、使用する内部管、外部管、保護管、外部電極、内部電極、噴射管等の材質は、実施の形態に限定されることなく、種々の材質を使用してもよい。また、キャップに形成している隔壁１１ｂは、冷却ガス４ａが内部管４内を均一に循環するために設けたものであるが、なくても構わない。
【０１１８】
（第６実施形態のエキシマランプ）
図１８は、本発明の第６実施形態に係るエキシマランプ５０の一例を示す断面図である。なお、図１８において、図７と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【０１１９】
図７に示すエキシマランプの外部電極２は、その斜視図が図３に示されているように、金属薄板部１０１の両側に突起部１０２、１０２’、１０２”を有した形状である。外部電極２は、外部管３のほぼ全周に外部電極２が配置されている。図７に示すエキシマランプでは、突起部１０２、１０２’、１０２”が照射面２３を形成する。内部管を挟んで照射面の反対側には、外周面と外部電極（金属薄板部）の間にエキシマ光に耐性を有する材料１０５が配置されている。
【０１２０】
これに対して、図１８に示すエキシマランプ５０の外部電極２ａ，２ｂは略長方形状の金属薄板であって、照射面２３側に突起部を有していない。外部管３には、外部電極２ａ，２ｂが配置されていない面が、内部管４を挟んで反対の位置に２ヶ所ある。即ち、外部電極２ａ，２ｂは、内部管４を挟んで対照の位置に離れて配置されている。内部管４を挟んで照射面２３の反対側に、外部電極２ａ，２ｂが配置されていない面（開口面５１）がある。
【０１２１】
外部電極２ａ，２ｂの長手方向における長さは、エキシマ光が被照射体に照射される照射面２３の長手方向の長さと同じ長さであることが好ましいが、その範囲を外れた場合であっても実上使用することは可能であることから、その長さは特に限定されない。
【０１２２】
照射面２３の円周方向の長さは、外部管３の外径に応じて任意に選択されるが、内部管４の外径、外部電極２ａ，２ｂと内部電極５との相対する放電面の大きさ、要求される出力等との関係から、外部管３の円周方向における全周の２５％〜５０％の長さ、更に３０％〜５０％であることが好ましい。
【０１２３】
内部管４を挟んで照射面２３の反対側にある開口面５１の円周方向の長さも、外部管３の外径に応じて任意に選択されるが、外部管３の円周方向における全周の２．５％〜２５％の長さであることが好ましい。また、開口面５１の長さを、内部管４の外径、照射効率等との関係から決定することも可能であり、その場合は、発生したエキシマ光が照射面２３から放出されにくい部分を開口面５１とすべく内部管４の外径と等しくすることも好ましい。照射面２３及び開口面５１がこうした寸法となるように外部電極２ａ，２ｂの円周方向の長さが決定される。
【０１２４】
外部電極２ａ，２ｂの厚さは、０．１〜１．０ｍｍ程度であることが好ましく、その範囲は、使用する板材の材質に応じて設定される。具体的には、ステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金の平板が使用される。なお、外部電極２ａ，２ｂに用いられる他の金属としては、銅、酸化銅、またはそれらの合金、酸化イットリウム、酸化イットリウムアルミニウム、その他の金属等の中から良好な金属導電性を有し、かつ、放電率が高く、弾性があるものから選定されてもよい。
【０１２５】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　開口面５１側では放電が生じず、発熱も生じない。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に開口面５１を設けて放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプ５０の有害な放電及び発熱を防げる。
●　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプ５０を構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、開口面５１によって放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ５０の素材劣化の問題が生じない。
●　開口面５１があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、外部電極２ａ，２ｂと内部電極５とが相対する部分でのみ放電が生じ、発生したエキシマ光は照射面２３から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
【０１２６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　図１９は、本発明の第６実施形態に係るエキシマランプの変形例５２を示す断面図である。図８及び図９で示した金属薄板部１０１において、照射面２３と内部管４を挟んで反対の側に開口面５１を設けた形態でもある。照射面２３の中央に外部電極となる電極細線１０７を１本配置している。この場合、外部電極となる電極細線１０７によって照射面２３が２個に分けられ、外部管３の外周面には外部電極が配置されていない面が３個となる。実質的に照射面２３の中央に位置する電極細線１０７と内部電極５との間で放電が生じ、しかも電極細線１０７は線幅が狭いのでエキシマ光の照射の障害とならず、照射効率の向上が可能となる。なお、外部電極は図８〜図１０に示すように電極細線１０７を複数本備えてもよい。
○　開口面５１の側には、エキシマランプの放熱に配慮しつつ、エキシマ光に耐性のある材料で遮蔽板を設けてもよい。開口面５１からのエキシマ光の照射によって、エキシマランプの設置場所付近で意図せぬ害の発生を防ぐためである。
【０１２７】
（第７実施形態のエキシマランプ）
図２０は、本発明の第７実施形態に係るエキシマランプ５３の一例を示す断面図である。なお、図２０において、図１８と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【０１２８】
図１８に示すエキシマランプ５０の外部電極２ａ，２ｂは２個あり、内部管４を挟んで反対の位置に離れて配置されている。その結果、外部管３には外部電極２ａ，２ｂが配置されていない面が、内部管４を挟んで対照の位置に、照射面２３と開口面５１として２ヶ所ある。
【０１２９】
これに対して、図２０に示すエキシマランプ５３の外部電極２の金属薄板は１個であり、分離していない。内部管４を挟んで照射面２３の反対側には開口面５１はなく、外部管３と外部電極２との間にエキシマ光に耐性を有する絶縁材５４が配置されている。
【０１３０】
絶縁材５４は、少なくともエキシマ光に耐性を有することが必要である。例えば、セラミクス系材料、フッ素系樹脂、特にテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（フッ化エチレンプロピレン共重合樹脂、パーフロロエチレンプロペン共重合樹脂）、ポリテトラフルオロエチレンを好ましく挙げることができ、そうした絶縁材５４を外部管３上または外部電極２上にコーティングしたり、そうした絶縁材５４からなるシートまたはフィルムを単に挟んだり接着させたりして介在させることが好ましい。
【０１３１】
また、かかる絶縁材５４は、エキシマ光の波長との関係から決定されるべきである。例えば、２２２ｎｍの波長のエキシマランプに対しては上述のフッ素系樹脂、特にテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（フッ化エチレンプロピレン共重合樹脂、パーフロロエチレンプロペン共重合樹脂）、ポリテトラフルオロエチレンを好ましく、１７２ｎｍの波長のエキシマランプにはより耐性を有するセラミクス系材料が好ましく用いられる。
【０１３２】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　絶縁材５４が配置された部分では放電が生じず、発熱も生じない。
●　絶縁材５４があるのでエキシマ光は照射面２３の反対側へ放出されることはない。よって、照射面２３の反対側にエキシマ光に耐性のある材料で遮蔽板を設ける必要はない。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に絶縁材５４を配して放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプの有害な放電及び発熱を防げる。
●　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、本実施の形態の場合絶縁材５４があることで放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ５３の素材劣化の問題が生じない。
●　絶縁材５４があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、絶縁材５４が配置されていない外部電極２の部分と内部電極５との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面２３から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
●　放電によって生じる熱は外部電極２を伝わって絶縁材５４の外側の外部電極部分５５で放熱される。従って、エキシマランプ５３の温度上昇を抑えることが可能となる。
【０１３３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　絶縁材５４の上の外部電極部分５５に放熱フィン等のヒートシンクを設けてもよい。この場合、放熱フィンによって外部への放熱効率が向上し、エキシマランプ５３の温度上昇を更に抑えることが可能となる。
○　絶縁材５４の上の外部電極部分５５にディンプル処理（エンボス処理）を施してもよい。この安価な処理によって外部電極部分５５の表面積が大きくなり、外部への放熱効率が向上し、エキシマランプ５３の温度上昇を更に抑えることが可能となる。
【０１３４】
（第８実施形態のエキシマランプ）
図２１は、本発明の第８実施形態に係るエキシマランプ５６の一例を示す断面図である。なお、図２１において、図１８と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【０１３５】
図１８に示すエキシマランプ５０の外部管３は略円筒形状であるのに対して、図２１に示すエキシマランプ５６の外部管３は内部管４を挟んで照射面２３の反対側に管壁の一部を共有する中空管５７が長手方向に沿って配置されている点で相違する。
【０１３６】
中空管５７は、温度上昇によって割れが生じないよう、外部管３と同じ材料で構成されることが好ましい。
【０１３７】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側には、中空管５７が配置され、外部電極がないので、放電が生じず、発熱も生じない。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に中空管５７を配して放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプ５６の有害な放電及び発熱を防げる。
●　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、中空管５７によって放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ５６の素材劣化の問題が生じない。
●　中空管５７があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、外部電極２ａ，２ｂと内部電極５との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面２３から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
●　放電によって生じる熱は、共有する管壁を熱伝導によって中空管５７に伝わり、中空管５７部分で放熱される。従って、エキシマランプ５６の温度上昇を抑えることが可能となる。
【０１３８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　中空管５７に冷却ガスを循環させる構成としてもよい。この場合、熱交換がさらに促進し、放電によるエキシマランプ５６の温度上昇をさらに抑えることができる。
○　外部管３と中空管５７との接続部分を肉厚にしてもよい。断面積が大きくなることでこの部分の強度が増すと共に、放電によって生じる熱が共有する管壁だけでなく、中空管５７の管壁全体に伝わり、放熱効果が高まる。
○　中空管５７を覆うように外部電極２を設けてもよい。この場合、中空管５７を覆うように配された外部電極２は内部電極５から離れた位置にあるので、中空管５７を挟んで放電が生じることはない。熱は共有する管壁を熱伝導によって伝わる他に外部電極２を伝わるので、中空管５７を覆う外部電極２によって外部への放熱効率が向上し、エキシマランプ５６の温度上昇を更に抑えることが可能となる。外部電極２を１個のものとできるので製造コストを抑えることが可能となる。
○　この場合、中空管５７を覆う外部電極２の内側面を鏡面に仕上げてもよい。電極間で生じたエキシマ光が外部電極２の内側面で反射して照射面から放出されるので、エキシマランプ５６の照射量（紫外光の放出量）は多くなる。
○　外部電極を図３〜図６、図８〜図１０に示す形状にしてもよい。無駄な放電をなくし、照射効率を向上させるという中空管の効果は外部管及び外部電極の形状に依存しないからである。
【０１３９】
（第９実施形態のエキシマランプ）
図２２は、本発明の第９実施形態に係るエキシマランプ５８の一例を示す断面図である。
【０１４０】
第９実施形態に係るエキシマランプ５８では、外部電極５９は、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に、外部管３との間に、長手方向に沿って空隙６０を有している。
【０１４１】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　第８実施形態にかかるエキシマランプ５６と異なり、第９実施形態に係るエキシマランプ５８は中空管を有しないので、安価にエキシマランプ５８を製造することができる。
●　外部電極５９は内部電極５から離れた位置にあるので、条件によっては僅かに放電が生じることはあるが、実質的に実用となる放電は空隙６０を挟んで生じることはない。熱は外部管３の管壁を熱伝導によって伝わって空隙６０で放熱される他に、外部電極５９を伝わり、空隙６０を囲む外部電極５９で放熱される。その結果、外部への放熱効率が向上し、エキシマランプ５８の温度上昇を更に抑えることが可能となる。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に空隙６０を配して放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプ５８の有害な放電及び発熱を防げる。
●　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、空隙６０によって放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ５８の素材劣化の問題が生じない。
●　空隙６０があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、外部電極５９と内部電極５との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面２３から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
【０１４２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　空隙６０に冷却ガスを循環させる構成としてもよい。この場合、熱交換がさらに促進し、放電によるエキシマランプ５８の温度上昇をさらに抑えることができる。
○　外部電極５９の内側面を鏡面に仕上げてもよい。電極間で生じたエキシマ光が外部電極５９の内側面で反射して照射面から放出されるので、エキシマランプ５８の照射量（紫外光の放出量）は多くなる。
○　外部電極を図３〜図５、図８〜図１０に示す形状にしてもよい。突起部や電極細線を有していても、無駄な放電をなくし、照射効率を向上させるという空隙６０の効果は外部管及び外部電極の形状に依存しないからである。
【０１４３】
（第１０実施形態のエキシマランプ）
図２３は、本発明の第１０実施形態に係るエキシマランプ６１の一例を示す断面図である。なお、図２３において、図２０と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【０１４４】
第１０実施形態に係るエキシマランプ６１は、外部電極として導電性網状電極としての金属製網状電極６２が使われ、外部管３と網状電極６２との間に絶縁材５４が配されている点に特徴がある。
【０１４５】
図２４は、網状電極の一例を示す詳細図である。外部管３の外周面には光を透過する網状電極６２が設けられている。網状電極６２は図２４にその一部分を示すように、一枚の金属板に穿孔した構造で、金属板は厚さ０．２ｍｍのアルミニウムで、菱形の孔、すなわち網目が穿孔されており、残された幅０．２ｍｍの金属板の部分は金属網の素線群を形成しており、それぞれ斜めに交差している。
【０１４６】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　外部管３と網状電極６２の間に絶縁材５４が配置されている部分では放電が発生せず、発熱も生じない。
●　内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、内部管４を挟んで照射面２３の反対側に絶縁材５４を配して放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。むしろエキシマランプの有害な放電及び発熱を防げる。
●　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、絶縁材５４によって放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ６１の素材劣化の問題が生じない。
●　絶縁材５４があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができる。その結果、絶縁材５４が配置されていない外部電極の部分と内部電極との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面から放出される。よって、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
【０１４７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　導電性網状電極として複数群の金属細線を編んだ構造の通常の網としてもよい。この場合、一枚の金属板に穿孔した構造の網状電極に比して安価に製作することができる。
○　導電性網状電極又は穿孔した金属板電極は照射面２３部分には配置されない構成としてもよい。また、導電性網状電極又は穿孔した金属板電極は、内部管４を挟んで照射面２３と反対側の絶縁材５４が配された部分に配置されない構成としてもよい。
○　外部管３の外周面に接するように長手方向に沿って中空管５７が配置し、外部電極である網状電極６２は外部管２と中空管５７とを包んで配置されるようにしても良い。導電性網状電極又は穿孔した金属板電極は電極の断面積が小さいので、電極を熱伝導によって伝わる熱量は小さいが、中空管を配することで放熱効果が高まり、エキシマランプの温度上昇を抑えることが可能となる。このとき、中空管５７に冷却ガスを循環させれば、熱交換がさらに促進し、放電によるエキシマランプの温度上昇をさらに抑えることができる。
【０１４８】
（第２実施形態のエキシマ照射装置）
図２５は本発明の第２実施形態に係る実施形態に係るエキシマ照射装置７０の一例を示す断面図である。
【０１４９】
この実施形態に係るエキシマ照射装置７０で使用されるエキシマランプ管７１は、エキシマランプ自体には外部電極が備わっておらず、ランプハウス７４が外部電極７３を有している点に特徴がある。
【０１５０】
エキシマランプ管：図２６は、本発明の第２実施形態に係るエキシマ照射装置に使用されるエキシマランプ管の一例を示す正面図（ａ）およびＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。
【０１５１】
本発明のエキシマランプ管７１は、外部管３と内部管４とが同心に配され、外部管３と内部管４との間に放電空間６が形成された中空二重円筒管と、内部管４内に配置された内部電極５と、を有して構成されている。放電空間６には放電ガス６ａが封入され、電源装置７５によって高周波電圧が印加されたとき放電ガス６ａはエキシマ光を発する。ここで放電ガス６ａは、希ガス、或いは、希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが好ましい。また、放電ガス６ａの圧力は５ｋＰａから１００ｋＰａの範囲が好ましい。
【０１５２】
エキシマ照射装置：エキシマ照射装置７０は、複数のエキシマランプ管７１と、外部管３の外周面に係合する複数の凹部７２を有し、凹部７２にはエキシマランプ管７１のための外部電極７３が備わったランプハウス７４と、内部電極５と外部電極７３との間に高周波電圧を印加する電源装置７５と、を備えている。複数の凹部７２は互いに平行になるように配されており、内側面は鏡面加工がされている。
【０１５３】
凹部７２にエキシマランプ管７１が係合すると、凹部７２に備わった外部電極７３とエキシマランプ管７１の有する内部電極５との間に電源装置７５によって高周波電圧が印加され、放電が生じる。
【０１５４】
この実施の形態では以下の効果を有する。
●　エキシマランプ管７１は外部電極を有していないので、エキシマランプ管７１を安価に製造することができる。
●　エキシマランプ管７１は照射面の側に外部電極が配置されていないので、照射面の開口率が低下することはなく、高い照射量を確保することができる。
●　凹部７２の内側面は鏡面加工がされているので、エキシマ光を効率よく外部へ照射することができる。
【０１５５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　ランプハウス７４を冷却する構成としてもよい。具体的には、ランプハウス７４内に冷却用流体流通路７６を設け、ランプハウス７４を冷却する構成とする。凹部７２に外部電極７３が備わっているので、ランプハウス７４（外部電極７３）とエキシマランプ管７１との接触面積を大きく確保することができ、冷却効率がよい。
○　凹部７２の中央付近には外部電極が備わっていない部分を設けるようにしてもよい。凹部７２の中央付近に溝部９５を設けるようにしてもよい。内部管４を挟んで照射面２３の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射面２３から外部へ放出されることは少ない。よって、凹部７２の中央付近に外部電極が備わっていない部分、或いは、凹部７２の中央付近に溝部９５を設けて放電が生じないようにしても、照射面２３から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。
○　外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプを構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、外部電極が備わっていない部分があることで放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ管７１の素材劣化の問題が生じない。
○　外部電極が備わっていない部分があることで照射面２３から放出されない（無駄な）放電を減少させることができ、その結果、外部電極と内部電極５との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射面２３から放出されるので、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
○　エキシマランプ管７１の代わりに、導電性網状電極又は穿孔した金属板電極のいずれかで構成された外部電極を有した構成のエキシマランプとしてもよい。凹部７２に備わった外部電極７３とエキシマランプの導電性網状電極又は穿孔した金属板電極の外部電極とが接触する。凹部７２では外部電極７３及び導電性網状電極又は穿孔した金属板電極の外部電極と内部電極５の間で放電が生じる。エキシマランプの照射面側では導電性網状電極又は穿孔した金属板電極の外部電極と内部電極５の間で放電が生じる。
【０１５６】
（エキシマランプ管の変形例）
図２７に示すエキシマランプ管８１は、外部管３の内周面と内部管４の外周面とが接合部８２にて接合し、外部管３と内部管４との間に放電空間６が形成された二重円筒管と、内部管４内に配置された内部電極５と、を有し、放電空間６には放電ガス６ａが封入された構成を有している。図２６で示すような従来の中空二重円筒管形状のエキシマランプ管７１を水平に配置して使用したとき、内部管４の上側面にひび割れが生じて、エキシマランプ管７１の寿命が尽きることがあった。エキシマ照射装置の用途として、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ：Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）製造工程におけるドライ洗浄が挙げられるが、近年のＬＣＤの大型化に伴い、同時に照射される面積（特に照射幅）の大型化が望まれ、エキシマランプ管の長尺化の要請がある。ところが、長尺化したとき、従来の中空二重円筒管形状のエキシマランプ管７１では自重による内部管の撓みによる内部応力の影響が無視できず、長尺化にすると寿命が短くなる傾向があった。エキシマランプ管８１では外部管３の内周面と内部管４の外周面とが接合している接合部８２で管壁が厚くなるので、内部管４の撓みによる内部応力に抗することができ、エキシマランプ管８１の長寿命化を図ることができる。
【０１５７】
図２８に示すエキシマランプ管８３は、外部管３と、外部管３の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管８４が平板部８５を介して外部管３の管壁に接合されて形成された内部管８７と、外部管３と内部管８７との間に放電空間６が形成された円筒管と、内部管内に配置された内部電極５と、を有した構成で、放電空間６には放電ガス６ａが封入されている。照射面を下方にしてエキシマランプ管８３を水平に配置したとき、内部管８７の平板部８５は垂直の向きに配されるので、断面２次モーメントが大きくなり、自重による内部管８７の撓みによる内部応力に抗することができる。
【０１５８】
図２９に示す３種類のエキシマランプ管はいずれも照射面と反対側に、セラミクス系、フッ素系樹脂等のエキシマ光に耐性を有する絶縁材５４を配している。照射面と反対側におけるエキシマ光の発生が抑制され、その結果、エキシマ光の発生は、照射面側で主に起こり、放電効率が向上すると共に放電強度が高くなる。
【０１５９】
（第３実施形態のエキシマ照射装置）
以下、本発明の第３実施形態に係るエキシマ照射装置について図面を参照しつつ説明する。
【０１６０】
図３０は本発明の第３実施形態に係るエキシマ照射装置９０の一例を示す断面図である。
【０１６１】
図３０に示すように、エキシマ照射装置９０は、エキシマランプ管７１と、外部電極としての機能を果たすランプハウス９１と、エキシマランプ管７１の内部電極５とランプハウス９１との間に高周波電圧を印加する電源装置９２と、を有している。ランプハウス９１はアルミニウム又はステンレス等のエキシマ光に対して耐性を有する金属材料で作られ、収納穴９３を有しエキシマランプ管７１を収納している。また、ランプハウス９１は、エキシマランプ管７１の発するエキシマ光を外部に放出する照射窓９４を有している。底面から見たときランプハウス９１の照射窓９４は長方形又は長円形であって、その長手方向がエキシマランプ管７１の軸方向と一致している。電源装置９２はスタビライザ９２ａとパワーサプライ９２ｂとで構成されている。収納穴９３の内側面がエキシマランプ管７１の外部電極としての機能を果たす。また、収納穴９３の内側面は鏡面加工がされていて、エキシマ光を効率よく反射している。
【０１６２】
図３１にエキシマランプ管７１がランプハウス９１の収納穴９３に収納されたときの断面図を示す。エキシマランプ管７１が収納穴９３に収納されたとき、エキシマランプ管７１の外周面はランプハウス９１の外側面から出ない配置となっている（ｔ≧０）。
【０１６３】
この第３実施形態のエキシマ照射装置９０では上記第２実施形態のエキシマ照射装置の効果の他に以下の効果を有する。
●　エキシマランプ管７１はランプハウス９１に収納されているので、ランプハウス９１の収納穴９３の内側面とエキシマランプ管７１との接触面積を大きく確保することができる。従って、放電によって生じる熱を効率よくランプハウス９１に伝えることができ、冷却効率がよい。また、照射窓９４の側に冷却ガスを流す必要がないので、ガラスカバーが必要なく、エキシマ光を効率よく照射できる。冷却ガスを流す設備が必要ないので装置の製造原価を低く抑えることできる。
●　エキシマランプ管７１が収納穴９３に収納されたとき、エキシマランプ管７１の外周面はランプハウス９１の外側面から出ない配置となっているので、照射窓９４の側にエキシマランプ管７１を保護するための保護用ガラスを設ける必要がない。その結果、エキシマ光を効率よく照射できるとともに、装置の製造原価を低く抑えることできる。
【０１６４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　図３２に示すようにランプハウス９１の収納穴９３には照射窓９４と反対側の位置に溝部９５を設けた構成としてもよい。内部管４を挟んで照射窓９４の反対側での放電によって生じるエキシマ光は本来内部管４が障害となって照射窓９４から外部へ放出されることは少ない。よって、収納穴９３の照射窓９４と反対側の位置に溝部９５を設けて放電が生じないようにしても、照射窓９４から放出されるエキシマ光の照射量はほとんど変わらない。外部へ放出されない熱及びエキシマ光は、エキシマランプ管７１を構成する石英ガラス又は合成石英等の素材を劣化させるが、溝部９５があることで放電が発生せず、外部へ放出されない熱及びエキシマ光が発生しない。その結果、エキシマランプ管７１の素材劣化の問題が生じない。溝部９５があることで照射窓９４から放出されない（無駄な）放電を減少させることができ、その結果、収納穴９３の溝部９５以外の箇所の内側面と内部電極５との間でのみ放電は生じ、発生したエキシマ光は照射窓９４から放出されるので、印加電力に対する放電効率（照射効率）が向上し放電強度が高くなる。即ち、電力の効率的な消費が可能となる。
○　図３３にエキシマランプ管７１がランプハウス９１の収納穴９３に収納されたときの変形例の断面図を示す。エキシマランプ管７１が収納穴９３に収納されたとき、エキシマランプ管７１の外周面はランプハウス９１の外側面から出る配置となっている。エキシマランプ管７１を被照射体（図示省略）により近づけることができる。その結果、エキシマ光を効率よく照射できる。また、エキシマランプ管７１の外周面がランプハウス９１の外側面から出ているこの変形例において、照射窓９４と反対側の位置に溝部９５を設けた構成としてもよい（図示省略）。
○　第２実施形態に係るエキシマ照射装置と同様に、ランプハウス９１を冷却する構成としてもよい。具体的には、ランプハウス９１内に冷却用流体流通路７６を設け、ランプハウス９１を冷却する構成とする。ランプハウス９１の収納穴９３の内側面とエキシマランプ管７１との接触面積を大きく確保することができ、冷却効率がよい。
○　上記実施の形態ではエキシマランプ管７１を例に説明をしたが、これに限定されるわけではなく、エキシマランプ管８１や８３でもよく、更に、図２９に示すような照射面と反対側に絶縁材５４を配したエキシマランプ管であってもよい。
○　エキシマランプ管の代わりに、導電性網状電極又は穿孔した金属板電極のいずれかで構成された外部電極を有した構成のエキシマランプとしてもよい。収納穴９３の内側面とエキシマランプの外部電極とが接触する。収納穴９３では内側面及びエキシマランプの外部電極と内部電極５の間で放電が生じる。照射窓９４の側では外部電極と内部電極５の間で放電が生じる。
【０１６５】
（第４実施形態のエキシマ照射装置）
以下、本発明の第４実施形態に係るエキシマ照射装置について図面を参照しつつ説明する。
【０１６６】
図３４は本発明の第４実施形態に係るエキシマ照射装置９０を有するエキシマ照射ライン１２０の一例を示す外観略図である。エキシマ照射装置９０の部分は断面図として表している。
【０１６７】
図３４に示すように、エキシマ照射装置９０は複数のエキシマランプ管７１を平行に配した構成となっている。エキシマ照射装置９０の照射窓９４の近くに搬送ライン１２１が配置され、搬送ライン上１２１に被照射体１２２が搬送されている。被照射体１２２の搬送方向に対してエキシマランプ管７１が垂直になるようにエキシマ照射装置９０は配されている。
【０１６８】
第４実施形態のエキシマ照射装置は以下の効果を有する。
●　エキシマランプ管７１を複数並べることで、搬送ライン１２１を停止しなくても充分な照射量のエキシマ光を被照射体１２２に照射することが可能となる。その結果、生産性を向上させることができる。
【０１６９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　図３５に示すように隣り合うエキシマランプ管７１は向きが互い違いに配する構成としてもよい。エキシマランプ管７１の放出するエキシマ光の照射密度は長手方向で異なっている。向きを互い違いに配することで、被照射体１２２の被照射面のいずれの箇所でもエキシマ光の被照射量を均一にできる。
○　図３６に示すように、複数のエキシマランプ管７１のうちの幾本かは長さが異なるエキシマランプ管７１ａを配する構成としてもよい。照射量の少ない箇所に短いエキシマランプ管７１ａを配することで、被照射体の被照射面のいずれの箇所でもエキシマ光の被照射量を更に均一にできる。
【０１７０】
（第１１実施形態のエキシマランプ）
図３７は、本発明の第１１実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【０１７１】
（ａ）は、外部管３の内周面と内部管４の外周面とが接合部８２にて接合し、外部管３と内部管４との間に放電空間６が形成された二重円筒管と、内部管４内に配置された内部電極５と、外部管３上に配置された網状電極６２と、を有し、放電空間６には放電ガス６ａが封入された構成のエキシマランプ１３１を示している。即ち、エキシマランプ管８１に網状電極６２を配した構成である。
【０１７２】
（ｂ）は、上記エキシマランプ１３１において、外部管３と網状電極６２との間であって、外部管３の内周面と内部管４の外周面とが接合している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材５４が配された構成のエキシマランプ１３２を示している。
【０１７３】
（ｃ）は、外部管３と、外部管３の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管８４が平板部８５を介して外部管３の管壁に接合されて形成された内部管８７と、外部管３と内部管８７との間に放電空間６が形成された円筒管と、内部管８７内に配置された内部電極５と、外部管３上に配置された網状電極６２と、を有し、放電空間６には放電ガス６ａが封入された構成のエキシマランプ１３３を示している。即ち、エキシマランプ管８３に網状電極６２を配した構成である。
【０１７４】
（ｄ）は、上記エキシマランプ１３３において、外部管３と網状電極６２との間であって、外部管３と内部管８７とが管壁を共有している箇所８６には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材５４が配された構成のエキシマランプ１３４を示している。
【０１７５】
尚、上記エキシマランプ１３１，１３２，１３３，１３４において、放電ガス６ａは、希ガス、或いは、希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが好ましい。また、放電ガス６ａの圧力は５ｋＰａから１００ｋＰａの範囲が好ましい。
【０１７６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○　上記実施の形態を示す図３７では外部電極を導電性網状電極６２としているが、これに限定されるわけではなく、例えば、穿孔した金属板電極であってもよい。
【０１７７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置によれば、被照射体に向き合う側の外部管上からのエキシマ光の照射を遮ることが少なく、高い照射効率を実現できると共に、外部電極を外部管上に巻き付けて構成できるので、外部電極の取り付けやエキシマランプの製造が容易である。さらに、両辺から突出した突起部が互い違いに配されているので、被照射体に向き合う側の外部管上におけるエキシマ光の発生バランスを高めることができ、高い照射効率を実現できる。
【０１７８】
また、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置によれば、金属薄板部側でのエキシマ光の発生を抑制することにより、被照射体に向き合わない側におけるエキシマ光の発生を抑制し、エキシマ光の発生を被照射体に向き合う側で主に起こし、その結果として、放電効率が向上すると共に放電強度を高くすることができる。
【０１７９】
更に、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置によれば、内部管を挟んで照射面と反対側に、外部電極を配さない開口面を有しているので、この開口面では照射面から放出されない無駄な放電が起きず、よって、放電効率の向上を図ることができる。
【０１８０】
更にまた、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置によれば、放電によって生じる熱は、外部電極を伝わって絶縁材の外側の外部電極部分で放熱される。従って、エキシマランプの温度上昇を抑えることが可能となる。
【０１８１】
更にまた、本発明のエキシマランプおよびエキシマ照射装置によれば、放電によって生じる熱は、共有する管壁を熱伝導によって中空管に伝わり、中空管部分で放熱される。従って、エキシマランプの温度上昇を抑えることが可能となる。中空管に冷却ガスを循環させれば、熱交換がさらに促進し、放電によるエキシマランプの温度上昇をさらに抑えることができる。
【０１８２】
更にまた、本発明のエキシマランプ管及びエキシマ照射装置によれば、照射面の側の金網状の電極が不要になるので、被照射体への効率の良い照射が可能となる。
【０１８３】
更にまた、本発明のエキシマランプ管、エキシマ照射装置及びエキシマランプによれば、エキシマランプを長尺化したとき、自重による内部管の撓みによる内部応力に抗することができ、エキシマランプの長寿命化を図ることができる。
【０１８４】
更にまた、本発明のエキシマ照射装置及びエキシマ照射ラインによれば、エキシマランプの冷却と保護のためのランプ前面の窓が不要になるので、被照射体への効率の良い照射が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエキシマランプの一例を示す正面図（ａ）および左側断面図（ｂ）である。
【図２】図１に示したエキシマランプ本体の内部構造の一例を示す正面図（ａ）およびＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【図３】外部電極の装着形態を示す斜視図である。
【図４】外部電極の装着形態を示す底面図である。
【図５】外部電極の装着前の形態を示す平面図である。
【図６】外部電極の他の装着形態を示す断面図である。
【図７】金属薄板部と外部管との間にエキシマ光に耐性を有する材料を介在させた形態を示す断面図である。
【図８】外部電極のさらに他の態様を示す平面図である。
【図９】図８（ａ）に示す外部電極を外部管に装着した形態を示す斜視図である。
【図１０】図８（ａ）に示す外部電極の装着形態の一例を示す部分拡大図である。
【図１１】本発明のエキシマ照射装置の一例を示す底面図である。
【図１２】本発明のエキシマ照射装置の一例を示す側面図である。
【図１３】第２実施形態のエキシマランプの一例を示す正面図（ａ）およびＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。
【図１４】第２実施形態のエキシマランプにおける断面構造図である。
【図１５】第３実施形態のエキシマランプの一例を示す断面構造図である。
【図１６】第４実施形態のエキシマランプの一例を示す断面構造図である。
【図１７】第５実施形態のエキシマランプの一例を示す断面構造図である。
【図１８】第６実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【図１９】第６実施形態に係るエキシマランプの変形例を示す断面図である。
【図２０】第７実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【図２１】第８実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【図２２】第９実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【図２３】第１０実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【図２４】第１０実施形態に係るエキシマランプの網状電極の一例を示す詳細図である。
【図２５】第２実施形態に係るエキシマ照射装置の一例を示す断面図である。
【図２６】第２実施形態に係るエキシマ照射装置に使用されるエキシマランプ管の一例を示す図である。
【図２７】第２実施形態に係るエキシマ照射装置に使用されるエキシマランプ管の変形例を示す図である。
【図２８】第２実施形態に係るエキシマ照射装置に使用されるエキシマランプ管の他の変形例を示す図である。
【図２９】第２実施形態に係るエキシマ照射装置に使用されるエキシマランプ管の他の変形例を示す図である。
【図３０】第３実施形態に係るエキシマ照射装置の一例を示す断面図である。
【図３１】エキシマランプ管がランプハウスの収納穴に収納されたときの断面図である。
【図３２】第３実施形態に係るエキシマ照射装置のランプハウスの収納穴の変形例を示す図である。
【図３３】エキシマランプ管がランプハウスの収納穴に収納されたときの変形例の断面図である。
【図３４】第４実施形態に係るエキシマ照射装置を有するエキシマ照射ラインの一例を示す外観略図である。
【図３５】第４実施形態に係るエキシマ照射装置の変形例に示す底面図である。
【図３６】第４実施形態に係るエキシマ照射装置の変形例に示す底面図である。
【図３７】第１１実施形態に係るエキシマランプの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１、２８、３５、３９、３９ａ　エキシマランプ
１ａ、３５ａ　ランプ本体
１ｂ　キャップ
１ｃ　先端
２　外部電極
３、３６　外部管
４、３７　内部管
４ａ　冷却ガス
５　内部電極
６　放電空間
６ａ　放電用ガス
１１ａ　隔壁
１１ｂ　支持壁
１１ｃ　孔
１１ｄ、１１ｆ、１１ｇ、４６、４６ａ、４６ｂ、４６ｃ　流路
１１ｅ、１５、１６、１７、２２、４２、４５、４６　空間部
１２　入力継手
１３　出力継手
１４、１４ａ　給電ケーブル
２０　エキシマ照射装置
２０ａ　照射部
２０ｂ　冷却ガス循環装置
２０ｃ、３５ｂ　電源
２１　ケーシング
２２ａ　開口部位
２３　照射面
２４　窓
２５　内壁
２６　反射面
２７、４１ａ　孔
２９、４０　保護管
３８、３８ａ、３８ｂ　支持部材
３８ｃ　流出路
４１　噴出管
４７　流入路
１０１　金属薄板部
１０１ａ　矩形状の金属薄板部
１０２、１０２’、１０２”　突起部
１０３、１０３’、１０３”　辺
１０４　矩形状の金属薄板部
１０５　エキシマ光に耐性を有する材料
１０６　帯状部
１０７　電極細線
２ａ，２ｂ、５５、５９、７３　外部電極
５０、５２、５３、５６、５８、６１、７１　エキシマランプ
５１　開口面
５４　絶縁材
５７　中空管
６０　空隙
６２　網状電極
７０　エキシマ照射装置
７２　凹部
７４　ランプハウス
７５　電源装置
７６　冷却用流体流通路
７１，８１，８３　エキシマランプ管
８４　開口円管
８５　平板部
８７　内部管
９０　エキシマ照射装置
９１　ランプハウス
９２　電源装置
９３　収納穴
９４　照射窓
９５　溝部
１２０　エキシマ照射ライン
１２１　搬送ライン
１２２　被照射体
１３１，１３２，１３３，１３４　エキシマランプ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an excimer irradiation device, an excimer lamp tube, an excimer irradiation line, and an excimer lamp.
[0002]
[Prior art]
An excimer irradiation apparatus is an apparatus that includes an excimer lamp that generates excimer light and irradiates the object to be irradiated with the generated excimer light. A conventionally known excimer lamp fills a discharge vessel with a discharge gas forming excimer molecules, forms excimer molecules by a dielectric barrier discharge called a silent discharge, and is radiated from the excimer molecules. Irradiation with a single wavelength of ultraviolet light (hereinafter referred to as “excimer light”).
[0003]
Such excimer lamps include a discharge vessel made of a dielectric material, a discharge space filled with a discharge gas in the discharge vessel, an internal tube arranged in the discharge space, an external electrode on the discharge vessel, What consists at least of an internal electrode in a tube is known. An excimer irradiator equipped with such an excimer lamp using dielectric barrier discharge can generate excimer light of 172 nm, 193 nm, 207 nm, 222 nm, 248 nm, etc., depending on the type of discharge gas.
[0004]
Further, in a conventional light source device in which a discharge lamp is stored in a lamp house, a front surface of the lamp is covered with a window member, and an inert gas is introduced (for example, see Patent Document 1).
[Patent Document 1]
JP-A-11-204087 (Paragraph No. 20, FIG. 1, etc.)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
With respect to such excimer irradiation devices, various researches and developments have been made to efficiently irradiate the generated excimer light. For example, the irradiation efficiency of excimer light can be improved by (a) introducing a nitrogen gas into a container to which the excimer lamp is mounted so that excimer light generated from the excimer lamp is not absorbed, or (b) excimer light. Improve the excimer light irradiation efficiency by changing the glass window of the vessel in which the lamp is mounted or the discharge vessel of the excimer lamp to a material such as quartz glass with excellent transparency to increase the excimer light transmittance. (C) Although the irradiation efficiency is improved by providing a reflection plate on the back side of the container in which the excimer lamp is disposed, there is still a demand for further improving the irradiation efficiency.
[0006]
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to provide an excimer lamp and an excimer irradiator that further improve the excimer light irradiation efficiency.
[0007]
Further, the excimer lamp has a problem that the quartz glass constituting the excimer lamp is deteriorated by heat and excimer light emitted by the excimer lamp.
[0008]
Another object of the present invention is to provide an excimer lamp and an excimer irradiator that have improved excimer light irradiation efficiency, and an excimer lamp and an excimer irradiator that have a longer life.
[0009]
In addition, when a conventional hollow double cylindrical tube-shaped excimer lamp is used horizontally, cracks are formed on the upper surface of the inner tube, and the life of the excimer lamp tends to be exhausted. As an application of the excimer lamp, there is a dry cleaning in an LCD (Liquid Crystal Display) manufacturing process. However, with the recent increase in size of the LCD, there is a demand for a longer excimer lamp. In the case of a conventional excimer lamp having a hollow double cylindrical tube shape, the influence of internal stress due to the bending of the inner tube due to its own weight cannot be ignored, and a longer excimer lamp tends to shorten its life.
[0010]
Further, in the conventional excimer irradiation apparatus, a window is provided on the front of the lamp for cooling and protecting the lamp. However, the presence of the window reduces the irradiation amount on the irradiation target.
[0011]
Furthermore, in the conventional excimer lamp, a wire mesh-shaped electrode is also arranged on the irradiation surface side, so that the aperture ratio on the irradiation surface side is reduced.
[0012]
It is still another object of the present invention to provide an excimer irradiation device, an excimer lamp tube, and an excimer irradiation line which have a long life and high irradiation efficiency.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
Hereinafter, the present invention will be described. In addition, in order to facilitate understanding of the present invention, reference numerals in the accompanying drawings are added in parentheses, but the present invention is not limited to the illustrated embodiment.
[0014]
An excimer irradiation apparatus according to claim 1 includes an excimer lamp having a hollow double cylindrical tube having a discharge space formed between an outer tube and an inner tube, an internal electrode disposed in the inner tube, and an excimer lamp. It has a concave portion that engages with the outer peripheral surface, and the concave portion has a lamp house provided with an external electrode of the excimer lamp, and a power supply device that applies a high-frequency voltage between the internal electrode and the external electrode. And
[0015]
According to the present invention, since the excimer lamp tube has no external electrode, the excimer lamp can be manufactured at low cost. Further, since no external electrodes are arranged on the side of the irradiation surface, the aperture ratio of the irradiation surface does not decrease, and a high irradiation amount can be secured.
[0016]
An excimer irradiation apparatus according to a second aspect is characterized in that, in the excimer irradiation apparatus according to the first aspect, a portion without an external electrode is provided near the center of the concave portion.
[0017]
The vicinity of the center of the concave portion corresponds to the opposite side of the irradiation surface across the inner tube, and excimer light generated by the discharge is rarely emitted from the irradiation surface to the outside due to the obstruction of the inner tube. According to the present invention, even if discharge is not generated near the center of the concave portion, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface hardly changes.
[0018]
In addition, heat and excimer light that are not emitted to the outside deteriorate the material such as quartz glass or synthetic quartz constituting the excimer lamp, but the present invention does not cause a problem of deterioration of the material of the excimer lamp tube.
[0019]
Further, according to the present invention, it is possible to reduce the (unnecessary) discharge that is not emitted from the irradiation surface. As a result, discharge occurs only between the external electrode and the internal electrode, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
[0020]
An excimer lamp tube (71) according to a third aspect is configured such that the outer tube (3) and the inner tube (4) are arranged concentrically, and the discharge space (6) is provided between the outer tube (3) and the inner tube (4). ) Formed therein, and an internal electrode (5) disposed in the internal tube (4). The discharge space (6) is filled with a discharge gas (6a), The discharge gas (6a) emits excimer light when a voltage is applied.
[0021]
According to the present invention, since the excimer lamp tube (71) has no external electrode, the excimer lamp tube (71) can be manufactured at low cost. Further, since no external electrodes are arranged on the side of the irradiation surface, the aperture ratio of the irradiation surface does not decrease, and a high irradiation amount can be secured.
[0022]
An excimer lamp tube according to a fourth aspect is the excimer lamp tube (71) according to the third aspect, wherein an insulating material (54) having resistance to excimer light is disposed on a part of an outer peripheral surface of the outer tube (3). Has been characterized.
[0023]
According to the present invention, no discharge occurs and no heat is generated in the portion where the insulating material (54) is disposed.
[0024]
Excimer light generated by discharge on the opposite side of the irradiation surface across the inner tube (4) is less likely to be emitted from the irradiation surface to the outside due to the obstruction of the inner tube (4). According to the present invention, even if the insulating material (54) is arranged on the opposite side of the irradiation surface across the inner tube (4) so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface hardly changes. Absent. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp tube (71) can be prevented.
[0025]
Further, heat and excimer light not emitted to the outside deteriorate the material such as quartz glass or synthetic quartz constituting the excimer lamp tube (71). According to the present invention, however, discharge is generated by the insulating material (54). And no heat or excimer light that is not emitted to the outside is generated. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp tube (71) does not occur.
[0026]
Furthermore, according to the present invention, the presence of the insulating material (54) can reduce the (unnecessary) discharge that is not emitted from the irradiation surface. As a result, discharge occurs only between the portion where the insulating material (54) is not disposed and the internal electrode, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
[0027]
An excimer lamp tube (81) according to claim 5, wherein the inner peripheral surface of the outer tube (3) and the outer peripheral surface of the inner tube (4) are joined to each other, and between the outer tube (3) and the inner tube (4). A discharge tube (6a) in the discharge space (6), and a double cylindrical tube having a discharge space (6) formed therein and an internal electrode (5) disposed in the inner tube (4). The discharge gas (6a) emits excimer light when a high frequency voltage is applied.
[0028]
According to the present invention, since the pipe wall is thickened at the joint (82) where the inner peripheral surface of the outer pipe (3) and the outer peripheral face of the inner pipe (4) are joined, the deflection of the inner pipe (4) is achieved. , And the life of the excimer lamp tube (81) can be extended.
[0029]
An excimer lamp tube according to claim 6 is the excimer lamp tube (81) according to claim 5, which is an outer peripheral surface of the outer tube (3), wherein the inner peripheral surface of the outer tube (3) and the inner tube (4). (3), an insulating material (54) having resistance to excimer light is disposed at a portion where the outer peripheral surface is joined.
[0030]
An excimer lamp tube (83) according to claim 7 comprises an outer tube (3) and a semi-cylindrical open circular tube (84) which is disposed inside the outer tube (3) and bisects the cylindrical tube in the axial direction. A discharge space (6) between the inner tube (87) formed by being joined to the tube wall of the outer tube (3) via the flat plate portion (85) and the outer tube (3) and the inner tube (87); , And an internal electrode (5) disposed in the internal tube (87). The discharge space (6) is filled with a discharge gas (6a), and a high-frequency voltage is applied. The discharge gas (6a) emits excimer light.
[0031]
According to the present invention, when the excimer lamp tube (83) is arranged horizontally with the irradiation surface downward, the flat portion (85) of the inner tube (87) is arranged in the vertical direction, so that the second moment of area is obtained. And the internal stress caused by the deflection of the internal pipe (87) due to its own weight can be prevented.
[0032]
An excimer lamp tube according to claim 8 is the excimer lamp tube (83) according to claim 7, wherein the outer tube (3) and the inner tube (87) are outer peripheral surfaces of the outer tube (3). An insulating material (54) having resistance to excimer light is disposed in a portion (86) sharing the wall.
[0033]
An excimer irradiation apparatus (90) according to claim 9 includes the excimer lamp tube according to any one of claims 3 to 8, and a storage hole (93) for storing the excimer lamp tube. An excimer irradiator (90) having a lamp house (91) serving as an external electrode to the tube, and a power supply (92) for applying a high-frequency voltage between the internal electrode (5) and the external electrode. , The lamp house (91) has an irradiation window (94) for emitting the excimer light emitted by the excimer lamp tube to the outside when a high-frequency voltage is applied, and the irradiation window (94) is rectangular or oval, and has a longitudinal shape. The direction is coincident with the axial direction of the excimer lamp tube.
[0034]
According to the present invention, since the excimer lamp tube is housed in the lamp house (91), it is possible to secure a large contact area between the inner surface of the housing hole (93) of the lamp house (91) and the excimer lamp tube. it can. Therefore, the heat generated by the discharge can be efficiently transmitted to the lamp house (91), and the cooling efficiency is good. Further, since there is no need to supply a cooling gas to the side of the irradiation window (94), a glass cover is not required, and excimer light can be efficiently irradiated. Since no equipment for flowing the cooling gas is required, the manufacturing cost of the apparatus can be kept low.
[0035]
An excimer irradiation device (90) according to claim 10 is the excimer irradiation device (90) according to claim 9, wherein the outer peripheral surface of the excimer lamp tube does not protrude from the outer surface of the lamp house (91). Features.
[0036]
According to the present invention, when the excimer lamp tube is housed in the housing hole (93), the outer peripheral surface of the excimer lamp tube is arranged so as not to protrude from the outer surface of the lamp house (91). There is no need to provide a protective glass on the side to protect the excimer lamp tube. As a result, excimer light can be efficiently emitted, and the manufacturing cost of the apparatus can be reduced.
[0037]
An excimer irradiation device (90) according to claim 11 is the excimer irradiation device (90) according to claim 9, wherein the outer peripheral surface of the excimer lamp tube protrudes from the outer surface of the lamp house (91). Features.
[0038]
According to the present invention, when the excimer lamp tube is housed in the housing hole (93), the outer peripheral surface of the excimer lamp tube is arranged to protrude from the outer surface of the lamp house (91). Can be brought closer. As a result, excimer light can be efficiently emitted.
[0039]
An excimer irradiation apparatus (90) according to claim 12 is the excimer irradiation apparatus (90) according to any one of claims 9 to 11, wherein the storage hole (93) of the lamp house (91) is irradiated. A groove (95) is provided at a position opposite to the window (94).
[0040]
An excimer irradiation device (90) according to claim 13 is the excimer irradiation device (90) according to any one of claims 9 to 12, wherein the lamp house (91) has a plurality of excimer lamp tubes. It is characterized by having.
[0041]
According to the present invention, by arranging a plurality of excimer lamp tubes, it is possible to obtain excimer light with a sufficient irradiation amount.
[0042]
An excimer irradiation apparatus (90) according to claim 14 is the excimer irradiation apparatus (90) according to claim 13, wherein a plurality of excimer lamp tubes are arranged in parallel.
[0043]
An excimer irradiation apparatus (90) according to claim 15 is the excimer irradiation apparatus (90) according to claim 13 or 14, wherein adjacent excimer lamp tubes are alternately arranged. I do.
[0044]
The irradiation density of the excimer light emitted from the excimer lamp tube differs in the longitudinal direction. According to the present invention, the irradiation amount of the excimer light can be made uniform in the longitudinal direction.
[0045]
The excimer irradiation line (120) according to claim 16 irradiates the excimer irradiation device (90) according to any one of claims 9 to 15 and excimer light emitted from an irradiation window (94). And a transport line (121) for transporting the irradiation target (122).
[0046]
The excimer irradiation line (120) according to claim 17 is such that, in the excimer irradiation line (120) according to claim 16, the direction of the excimer lamp tube is perpendicular to the transport direction of the excimer irradiation line (120). An excimer irradiation device (90) is provided.
[0047]
The excimer irradiation line (120) according to claim 18 is the excimer irradiation line (120) according to claim 16 or 17, wherein the object (122) is conveyed on the conveyance line (121). An excimer lamp tube is arranged in the excimer irradiation device (90) so that the amount of excimer light irradiation is uniform at any position on the irradiation surface of the irradiation object (122). I do.
[0048]
The excimer lamp (131) according to claim 19, wherein the inner peripheral surface of the outer tube (3) and the outer peripheral surface of the inner tube (4) are joined, and the outer tube (3) and the inner tube (4) are connected. A double cylindrical tube having a discharge space (6) formed therein, an internal electrode (5) disposed in the internal tube (4), and an external electrode (62) disposed on the external tube (3). A discharge gas (6a) is sealed in the discharge space (6), and the discharge gas (6a) emits excimer light when a high-frequency voltage is applied.
[0049]
An excimer lamp (132) according to claim 20 is the excimer lamp (131) according to claim 19, between the outer tube (3) and the outer electrode (62). An insulating material (54) having resistance to excimer light is disposed at a portion where the peripheral surface and the outer peripheral surface of the inner tube (4) are joined.
[0050]
The excimer lamp (133) according to claim 21, wherein an outer tube (3) and a semi-cylindrical open circular tube (84) that is disposed inside the outer tube (3) and bisects the cylindrical tube in the axial direction are flat plates. A discharge space (6) is formed between the outer tube (3) and the inner tube (87), and an inner tube (87) formed by being joined to the tube wall of the outer tube (3) via the portion (85). A discharge space (6) having a formed cylindrical tube, an internal electrode (5) disposed in the internal tube (87), and an external electrode (62) disposed on the external tube (3); Is filled with a discharge gas (6a), and the discharge gas (6a) emits excimer light when a high-frequency voltage is applied.
[0051]
An excimer lamp (134) according to claim 22 is the excimer lamp (133) according to claim 21, between the outer tube (3) and the outer electrode (62), and between the outer tube (3) and the inner tube. An insulating material (54) having resistance to excimer light is disposed in a portion (86) where the tube (87) shares a tube wall.
[0052]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an excimer lamp and an excimer irradiation device of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0053]
(Excimer lamp)
FIG. 1 is a front view (a) and a left side sectional view (b) showing an example of the excimer lamp of the present invention, and FIG. 2 is a front view showing an example of the internal structure of the excimer lamp body shown in FIG. FIG. 3A is a cross-sectional view of FIG.
[0054]
The excimer lamp 1 of the present invention has at least a lamp body 1a for irradiating excimer light, as shown in FIGS. 1 and 2, supports the lamp body 1a as necessary, and Is provided with a cap 1b for facilitating energization.
[0055]
The lamp body 1a includes an outer tube 3 and an inner tube 4, and a hollow double cylindrical tube having a discharge space formed therebetween, an outer electrode 2 disposed on the outer tube 3, and an inner tube. And an internal electrode 5 disposed in the internal electrode 4. On the other hand, the cap 1b has a cap main body 11, a cylindrical partition wall 11a used for circulation of the cooling gas, an input joint 12 for flowing the cooling gas, and a power supply for the internal electrode 5 and the external electrode 2. The apparatus includes at least power supply cables 14 and 14a, a support wall 11b for supporting the lamp body 1a, and a hole 11c for installing the excimer lamp 1 in an excimer lamp irradiation device. At this time, the partition 11a and the support wall 11b are integrated with the cap body 1b, and the partition 11a is slightly shorter than the length of the lamp body 1a in the longitudinal direction.
[0056]
The outer peripheral surface of the outer tube 3 is provided with an irradiation surface 23 formed of a region around which the plurality of projections 102 constituting the external electrode 2 are wound, and the object to be irradiated is irradiated with excimer light from the irradiation surface 23. . The outer tube 3 and the inner tube 4 are sealed to form a discharge space 6, and the discharge space 6 is filled with a discharge gas 6a at a predetermined pressure. The discharge gas 6a is preferably a rare gas such as xenon gas, argon gas or krypton gas, or a mixed gas of xenon gas, argon gas or krypton gas and a halogen gas. Further, the pressure of the discharge gas 6a is preferably in the range of 5 kPa to 100 kPa.
[0057]
Outer tube The outer tube 3 cooperates with the inner tube 4 to form a hollow double cylindrical tube. Specifically, as shown in FIG. 1, in the longitudinal direction of the lamp main body 1a, one end 1c of the lamp main body 1a is closed, and the other end is open, and has a cylindrical shape. In the excimer lamp of the present invention, the outer tube 3 having a length of about 100 to 2500 mm and an outer diameter of about 15 to 55 mm is used. The outer tube 3 may be configured so that the tip 1c has a step toward the center as shown at the tip of the lamp in FIG. 1, and the step is held by a holding member (not shown). Can be inserted and held. Usually, since the outer tube 3 is held by such a holding member, the length in the longitudinal direction of the effective irradiation surface 23 of the excimer lamp of the present invention is a length shorter by about 50 mm than the length of the outer tube 3. I have. Such an outer tube 3 may be open at both ends, and is not particularly limited. However, in the outer tube 3 having both open ends, it is necessary to seal both ends thereof.
[0058]
The outer tube 3 is preferably excellent in transmittance so that the generated excimer light is not attenuated, and a synthetic quartz tube is preferably used as the material. Further, the thickness of the outer tube 3 may be reduced to minimize the decrease in transmittance when the excimer light passes through the outer tube 3, and the thickness is preferably, for example, about 1 to 3 mm. Since the outer pipe 3 having a thickness in this range is generally formed in a cylindrical pipe shape having excellent strength, the pressure of the cooling gas filled or circulated between the outer pipe 3 and the protective pipe 29 described later, the inner pipe 4 described later, and the like. Can withstand the pressure of the discharge gas filled between them.
[0059]
Note that a phosphor film may be formed on the inner wall of the outer tube 3 or a fluorescent lamp may be used.
[0060]
External electrode As shown in FIGS. 3 to 5, the external electrode 2 includes a substantially rectangular metal thin plate portion 101 and two long sides 103 ′ and 103 ″ of the metal thin plate portion 101 (in the present application, when these are not distinguished from each other, 103 ′). ., 102 ″,... (In the present application, when these are not distinguished, they are indicated by 102).
[0061]
The thin metal plate portion 101 is disposed along the longitudinal direction on the outer tube on the side not facing the irradiation object. By arranging the metal sheet portion 101 in such a manner, irradiation of excimer light from the outer tube on the side facing the irradiation object is not blocked. In addition, the surface of the thin metal plate portion 101 can be mirror-finished to function as a reflection plate, and the irradiation efficiency to the irradiation target can be improved. A region on the outer tube 3 that is not covered by the thin metal plate portion 101 becomes an effective irradiation surface 23 of excimer light, and the object to be irradiated is irradiated with the excimer light from the effective irradiation surface 23.
[0062]
As shown in FIG. 1, the length of the thin metal plate portion 101 in the longitudinal direction of the outer tube 3 may be the same as the length in the longitudinal direction of the effective irradiation surface 23 where the excimer light is irradiated onto the irradiation target. preferable. Further, the length of the metal sheet portion 101 in the circumferential direction of the outer tube 3 is arbitrarily selected according to the outer diameter of the outer tube 3, but is 30% to 50% of the entire circumference of the outer tube 3 in the circumferential direction. % Length is preferred. The external electrode 2 having the thin metal plate portion 101 having such dimensions can further improve the irradiation efficiency of excimer light irradiated from the external tube 3 on the side facing the irradiation target.
[0063]
The length of the thin metal plate portion 101 in the longitudinal direction of the outer tube 3 and the length of the thin metal plate portion 101 in the circumferential direction of the outer tube 3 are more preferably the above-described lengths, but are out of the ranges. The length is not particularly limited since it can be used practically even in the case of the above. Further, the thickness of the thin metal plate portion 101 is preferably about 0.1 to 1.0 mm, and the range is set according to the material of the plate material to be used.
[0064]
Note that a number of holes (through holes) may be formed on the surface of the thin metal plate portion 101. The holes may be of any shape, but are preferably hexagonal or circular.
[0065]
The protruding portion 102 has a shape protruding from both long sides 103 of the thin metal plate portion 101, and acts so as to wind around the outer tube 3.
[0066]
Specifically, as shown in FIGS. 3 to 5, a protrusion 102 ′ protruding from one long side 103 ′ of the thin metal plate portion 101 and a protrusion 102 ″ protruding from the other long side 103 ″. And are alternately arranged. The external electrode 2 formed by winding the projection 102 around the external tube 3 does not block the excimer light irradiation on the external tube on the side facing the irradiation object, and can realize high irradiation efficiency.
[0067]
In the external electrode 2 in which the protrusions 102 are alternately arranged, the width of the protrusions 102 is 0.2 to 2 mm, and the interval between the protrusions 102 is 2 to 4 times the width of the protrusions 102. Preferably, there is. The length of protrusion of the projection 102 is not particularly limited, but is preferably a length that wraps around the external tube 3 and effectively acts as the external electrode 2, and more specifically, the circle of the external tube 3. It can be designed to be about 50% or about 45 to 65% of the entire circumference in the circumferential direction. The thickness of the protrusion 102 is about 0.1 to 1.0 mm, which is the same as the thickness of the above-described metal thin plate 101. The external electrode 2 having such dimensions rarely blocks excimer light irradiation from the external tube on the side facing the object to be irradiated, and can realize high irradiation efficiency.
[0068]
The external electrode 2 having the thin metal plate portion 101 and the protruding portion 102 of the above-described embodiment has an advantage that mounting to the external tube 3 is extremely easy, and furthermore, shielding of generated excimer light can be minimized. . Further, since it is easy to arbitrarily set dimensions such as a protruding length, an interval, and a width of the protruding portion 102, the external electrode 2 corresponding to the size of the excimer lamp and the specifications of the excimer lamp can be easily manufactured.
[0069]
The external electrode 2 having the above-mentioned configuration, which is mounted so as to be wound around the external tube 3, is preferably made of a material that can be easily processed into a curved shape similar to the outer peripheral surface of the external tube 3. A flat plate of stainless steel, aluminum or aluminum alloy is used. In selecting such an external electrode 2, a material or a thickness having an elastic force capable of easily deforming at the time of mounting and being easily fixed without being detached from the external tube 3 easily after being mounted. Is preferred. Other metals used for the external electrode 2 include copper, copper oxide, or alloys thereof, yttrium oxide, yttrium aluminum oxide, other metals, and the like. It may be selected from those having high modulus and elasticity.
[0070]
Next, another embodiment of the external electrode will be described below.
[0071]
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a mounting mode of an external electrode characterized by the shape of the thin metal plate. In this case, the metal thin plate portion 104 that has been bent in a rectangular shape in advance is disposed on the external tube 3 so that the contact portion between the metal thin plate portion and the external tube 3 is as small as possible. As the rectangular shape, as shown in FIG. 6, it is preferable that the shape be bent jagged. In the external electrode 2 having such a mounting form, since only the rectangular tip of the rectangular thin metal plate portion 104 partially contacts the external tube 3, the side not facing the irradiation target, that is, the rectangular thin metal plate portion 104 Excimer light is less likely to be generated on the arranged side, and excimer light is generated exclusively on the side facing the irradiation target, that is, on the side around which the projection 102 is wound. As a result, the irradiation efficiency with respect to the applied power can be improved, and the discharge intensity increases. In this embodiment, the size and dimensions are set such that the metal sheet portion 104 after being mounted in a rectangular shape is arranged in the same region as the above-described metal sheet portion 101 which is not rectangular.
[0072]
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a mode in which a material having resistance to excimer light is interposed between the thin metal plate portion and the outer tube. In this case, since the material 105 having resistance to excimer light is provided on the outer tube 3 and the thin metal plate portion 101 is further disposed thereon, the thin metal plate portion 101 and the outer tube 3 do not come into contact with each other. With such a configuration, generation of excimer light on the side where the thin metal plate portion 101 is arranged, that is, on the side that does not face the irradiation target is suppressed, and as a result, generation of excimer light occurs on the side facing the irradiation target. This mainly occurs, and the discharge efficiency is improved and the discharge intensity is increased.
[0073]
The material 105 to be interposed needs to be a material having at least resistance to excimer light. For example, preferred are ceramic materials, fluorine resins, particularly tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymers (fluoroethylene propylene copolymer resins, perfluoroethylene propene copolymer resins), and polytetrafluoroethylene. It is preferable to coat such a material 105 on an outer tube or a thin metal plate, and to simply interpose a sheet or film made of such a material 105 by sandwiching or bonding.
[0074]
The material 105 should be determined in relation to the wavelength of the excimer light. For example, for the wavelength of 222 nm, the above-mentioned fluororesins, especially tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (fluorinated ethylene propylene copolymer resin, perfluoroethylene propene copolymer resin) and polytetrafluoroethylene are preferable. , 172 nm is preferably used.
[0075]
8 to 10 are explanatory views of still another mode of the external electrode. The external electrode 2 of this embodiment includes a metal thin plate portion 101 that covers approximately a half circumferential portion of the external tube 3, and a band portion 106 protruding from one end of the metal thin plate portion 101 in the longitudinal direction and wound around the external tube 3 in the circumferential direction. And an electrode thin wire 107 extending in an IDT shape from the strip portion 106.
[0076]
The band portion 106 is configured to extend from one side of one end of the thin metal plate portion 101 as shown in FIG. 8A, or from both sides of one end of the thin metal plate portion 101 as shown in FIG. It can be configured to extend. In the external electrode 2 of this embodiment, the thin metal plate portion 101 is fixed to the external tube 3 by its elastic restoring force. The metal sheet portion 101 is fixed to the external tube 3 by bending the metal sheet portion 101 so as to have a diameter smaller than the diameter of the external tube 3, and then expanding both sides of the metal sheet portion 101. 3 by attaching and fixing. At this time, the angle (hereinafter, referred to as “opening angle”) on the irradiation surface side between the center of the cross section of the external tube 3 and the end of both sides 103 of the external electrode 2 is in the range of 90 ° to 180 °. External electrode 2 is arranged as described above. At this time, the opening angle is preferably 120 to 160 °, more preferably 140 °. By setting the opening angle to 90 ° to 180 °, it is possible to efficiently irradiate the irradiated object with the generated excimer light. Further, in the setting range of the opening angle, if the opening angle is less than 180 °, the external electrode 2 may easily come off. On the other hand, when the opening angle exceeds 90 °, the irradiation efficiency decreases. The external electrode 2 in this embodiment is made of a rectangular plate having elasticity and conductivity, and specifically, stainless steel or aluminum having a thickness of 0.1 to 1.0 mm is used. Can be
[0077]
The thickness of the external electrode 2 in the embodiment shown in FIG. 8 can be the same as the thickness of the external electrode 2 described in FIGS. Further, it is preferable that the length of the band portion 106 extending from one end or both ends of the thin metal plate portion 101 is a length that can make a round of the outer tube 3 by the thin metal plate portion 101 and the strip portion 106. In addition, the electrode thin wire 107 extending in the shape of a barb from the belt-shaped portion 106 has a width of about 1 to 5 mm, and is formed such that its length covers the effective irradiation surface 23. FIG. 9 shows an embodiment mounted on the outer tube 3, and FIG. 10 shows an example showing an embodiment in which the electrode thin wires 107 extending in an interdigital shape are fixed.
[0078]
In addition, it is preferable to fix the interdigital electrode 107 with the cap 11 or the like at the lamp front end portion and the lamp rear end portion so that the fine electrode wires 107 do not disperse on the external tube.
[0079]
Inner tube The inner tube 4 cooperates with the outer tube 3 to form a hollow double cylindrical tube. Specifically, as shown in FIG. 1, in the longitudinal direction of the lamp main body 1a, one end 1c of the lamp main body 1a is closed, and the other end is open, and has a cylindrical shape. For example, when a step portion is provided in the outer tube 3, the inner tube 4 has an outer shape of the same size as the inner wall dimension of the step portion of the outer tube 3, and It can be configured to be arranged in parallel so as to keep a constant interval.
[0080]
As a material of the inner tube 4, it is preferable to use a quartz tube which is a dielectric.
[0081]
It is preferable that the inside of the inner tube 4 is filled with a cooling gas 4a or circulated with the cooling gas 4a for the purpose of cooling the excimer lamp 1. As the cooling gas 4a in this case, for example, an inert gas such as nitrogen gas or an inert gas such as argon gas can be used, but from the viewpoint of economy, nitrogen gas or cooled air is preferably used. Used.
[0082]
The thickness of the inner tube 4 is preferably, for example, about 1 to 3 mm. Since the inner pipe 4 having a thickness in this range is usually formed in a cylindrical pipe shape having excellent strength, the inner pipe 4 is filled or circulated therein or filled with the outer pipe 3 described above. Discharge gas pressure.
[0083]
Internal electrode : The internal electrode 5 is provided in the internal tube 4, and is provided for applying a voltage between the internal electrode 4 and the external electrode 2 to generate excimer light.
[0084]
The shape of the internal electrode 5 is preferably a shape through which the nitrogen gas 4a filled in the inside of the inner tube 4 can easily pass, for example, a mesh or mesh-like cylindrical shape. The material of the internal electrode 5 preferably has good metal conductivity and a high discharge rate, and the same metal as the metal used for the above-described external electrode 2 can be used.
[0085]
Lamp body and cap : The lamp body 1a is inserted between the partition wall 11a of the cap 1b and the support wall 11b, and is fitted to the cap body 11 described above. One opening of the lamp body 1a is closed by the cap 1b.
[0086]
The partition wall 11a integrated with the cap 1b is disposed inside the internal electrode 4, and its tip extends to the vicinity of the tip 1c of the lamp body 1a, as shown in FIG. By providing such a partition wall 11a, the cooling gas 4a filling the inside of the internal pipe 4 can be filled up to the tip 1c of the internal pipe 4, and the cooling gas 4a can be circulated uniformly. Further, the inside of the inner tube 4 is partitioned into a first space portion 15 and a second space portion 16 by the partition wall 11a. The cap body 11 has a flow path 11f for flowing the cooling gas 4a from the output joint 13, a flow path 11g for flowing the cooling gas 4a from the input joint 12 into the lamp body 1a, and a space 16 And a flow path 11d for connecting the space 11e. The space 16 forms a space between the partition 11a and the inner tube 4, and the space 11e forms a space between the lamp body 1a and the support wall 11b.
[0087]
The input joint 12 and the output joint 13 are connected to a cooling gas circulation device or the like for circulating the cooling gas 4a. The cooling gas 4a flows into the lamp body 1a from the input joint 12, passes through the first space 15, flows into the tip 1c, circulates in the second space 16, and flows through the flow path 11d. As a result, it is released from the space 11e to the outside. Usually, a plurality of such excimer lamps 1 are used by being arranged in a closed space, so that the cooling gas 4a discharged to the outside from the above-mentioned space portion 11e circulates through the closed space and then flows through the flow path. It flows out of the output joint 13 through 11f.
[0088]
In the excimer lamp 1 configured as described above, when the power supply 20c is connected to the power supply cables 14 and 14a and the voltage is applied to the external electrodes 2 and the internal electrodes 5, as shown in FIGS. The multiple discharge plasmas generated excite the atoms of the discharge gas to generate excimer light.
[0089]
As a modification of the present invention, the input joint 12 and the output joint 13 may be omitted when the heat radiation amount is small.
[0090]
(Excimer irradiation device)
Next, the excimer irradiation device 20 using the excimer lamp 1 will be described in detail.
[0091]
FIG. 11 is a bottom view showing an example of an excimer irradiation device, and FIG. 12 is a side view thereof. As shown in the figure, an excimer irradiation device 20 includes an irradiation unit 20a having a plurality of excimer lamps 1 for irradiating an object to be irradiated with excimer light, and a cooling gas 4a for cooling heat emitted from each excimer lamp 1. And a power supply 20c for applying a high-frequency voltage to each of the excimer lamps 1 and a cooling gas circulating device 20b for circulating the excimer lamp 1 inside and outside the lamp body 1a (the space 22 of the excimer irradiation device 20). I have.
[0092]
The excimer irradiation device 20 is configured to be covered by a casing 21, and a space 22 is formed in the casing on a side facing the object to be irradiated, and the space 21 is provided in the casing 21. The excimer lamp 1 is disposed so as to be at a predetermined distance from the opening 22a. The interval is set as needed in consideration of the distance between the excimer irradiation device 20 and the irradiation target so that the illuminance distribution on the irradiation target is uniform. In addition, a window 24 for sealing the space 22 can be provided at the opening 22a of the space 22 if necessary. As the window 24, a synthetic quartz plate having good light transmittance is usually used. Can be
[0093]
The inner wall 25 of the space 22 may be formed of a mirror-finished stainless steel or a coated aluminum material to serve as the reflection surface 26. The surface shape of the reflection surface 26 is not particularly limited.
[0094]
A plurality of holes 27,..., 27 may be provided at predetermined positions on the inner wall 25 of the space 22 at predetermined intervals. The holes 27 are for inflow or outflow of the cooling gas 4 a for cooling the excimer lamp 1, and are preferably located immediately between the excimer lamps or immediately above the excimer lamp 1.
[0095]
The excimer irradiation device 20 includes a cooling gas circulation device 20b. The cooling gas circulating device 20b is connected to the hole 27 provided on the inner wall 25 and the input joint 12 and the output joint 13 of the excimer lamp 1 to supply the cooling gas 4a into the space 22 and into the excimer lamp. Device.
[0096]
The cooling gas 4a blows out from the hole 27 toward the lamp body 1a, and further circulates in the space portion 22, thereby cooling the excimer lamp 1 which generates heat from the outside and preventing the external electrode 2 of the excimer lamp 1 from being oxidized. I do. Further, the cooling gas 4a flows from the inflow joint 12 into the internal pipe 4 of the excimer lamp 1, thereby cooling the excimer lamp 1 that generates heat from the inside and preventing the internal electrode 5 of the excimer lamp 1 from being oxidized. It is preferable to use a nitrogen gas as the cooling gas 4a from the viewpoint of economy and safety. Nitrogen gas is also preferable from the viewpoint of low absorption of excimer light.
[0097]
The excimer irradiation device 20 includes power supplies 20c,..., 20c individually corresponding to the excimer lamps 1,. The power supply 20c is connected to power supply cables 14 and 14a connected to the external electrode 2 and the internal electrode 5 of the excimer lamp 1, and applies a high-frequency voltage exceeding 1 MHz to the excimer lamp 1.
[0098]
(Excimer Lamp of Second Embodiment)
FIGS. 13 and 14 are explanatory views showing an example of the excimer lamp 28 according to the second embodiment of the present invention. 13 and FIG. 14, the same reference numerals are given to the same parts as those in FIG. 1, and the description thereof will be omitted below.
[0099]
The excimer lamp 28 is characterized in that it has a protective tube 29 that covers the outer periphery of the lamp body 1a. The protection tube 29 has a cylindrical shape, and has one end (the end in the direction of the tip 1c of the lamp body 1a) sealed and the other end open in the longitudinal direction of the excimer lamp. The open end is supported by the support wall 11b of the cap and is sealed. As the protective tube 29, it is preferable to use a synthetic quartz tube having transparency.
[0100]
As shown in FIG. 14, a space 15 in the partition 11a, a space 16 between the partition 11a and the inner tube 4, and a space 17 between the outer tube 3 and the protection tube 29 (the lamp body 1a and the protection tube 29). The cooling gas 4a is circulated in the pipe 29). The cooling gas 4a flows into the lamp body 1a from the input joint 12, circulates through the space 15 along the partition 11a, and then circulates in the space 16 between the partition 11a and the internal pipe 4. After that, it passes through the flow path 11d and the space 11e formed in the cap main body 11, circulates in the space 17 provided between the lamp main body 1a and the protection tube 29, passes through the flow path 11f, and outputs through the output joint. Outflow from 13. In this way, by circulating the cooling gas 4a also in the space 17, the heat emitted from the lamp body 1a can be suppressed, and the oxidation of the external electrode 2 can be prevented.
[0101]
(Excimer Lamp of Third and Fourth Embodiments)
FIG. 15 is an explanatory diagram showing an example of the excimer lamp 35 according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 16 is an explanatory diagram showing an example of the excimer lamp 39 according to the fourth embodiment of the present invention. 15 and FIG. 16, the same reference numerals are given to the same parts as those in FIG. 1, and the description thereof will be omitted.
[0102]
The excimer lamps according to these embodiments have a problem that, in a long excimer lamp, the problem that the discharge plasma generated in the discharge space due to insufficient application of voltage causes a variation is 1 MHz near both ends of the external electrode 2 and the internal electrode 5. This problem has been solved by applying a high-frequency voltage exceeding. In addition, the problem that deflection occurs due to its own weight and deformation or destruction occurs in the lamp body is solved by providing a hollow tube along the longitudinal direction of the internal electrode 5 so as to be in contact with a part of the internal electrode 5. is there.
[0103]
FIG. 15 is a sectional structural view of an excimer lamp 35 according to the third embodiment. The excimer lamp 35 of this embodiment is different from the excimer lamp 1 of the first embodiment in that it is an excimer lamp that supports one end and an excimer lamp that supports both ends. In the drawings, “P / S” means a power supply (power supply), and “S / B” means a stabilizer (ballast).
[0104]
The excimer lamp 35 is formed by opening both ends of the outer tube 36 and the inner tube 37. The outer electrode 36 provided to cover a part of the outer peripheral surface of the outer tube 36 and the inner tube 37, and an internal electrode 5 provided so as to be in contact with a part of the inner peripheral surface of 37. In the discharge space 6 between the outer tube 36 and the inner tube 37, both ends of the outer tube 36 and the inner tube 37 are sealed by the support members 38, 38a, and the discharge space 6 is hermetically sealed. The discharge space 6 is filled with a discharge gas 6a at a predetermined pressure. In addition, an inflow passage 38b and an outflow passage 38c through which the cooling gas flows in and out of the lamp body 35a are formed in the support members 38 and 38a, respectively.
[0105]
The outer tube 36 has a cylindrical shape in the longitudinal direction. The outer tube 36 has transparency, and a synthetic quartz tube is preferably used.
[0106]
The inner tube 37 is also cylindrical in the longitudinal direction. Further, the inner pipe 37 is arranged in parallel inside the outer pipe 36 so as to keep a constant interval. As the inner tube 37, a quartz tube, which is a dielectric, is preferably used.
[0107]
The cooling gas 4a is circulated in the space 45 of the inner pipe 37. The cooling gas 4a flows from an inflow passage 38b formed in one support member 38 as shown by an arrow in the drawing, passes through the inside of the lamp body 35a, and flows out of the other support member 38a. It flows out of the road 38c.
[0108]
Each excimer lamp is usually supplied with power from one power supply (P / S) via one ballast (S / B). When the excimer lamp 35 is long, FIGS. As shown in FIG. 17, a ballast (S / B) is provided at one end (the right end in the drawing) of the external electrode 2 and the internal electrode 5 and at the other end (the left end in the drawing), respectively. ), It is preferable to electrically connect the power supply 35b so as to apply a high-frequency voltage exceeding 1 MHz.
[0109]
FIG. 16 is a sectional structural view of an excimer lamp 39 according to the fourth embodiment. In FIG. 16, the same reference numerals are given to the same parts as those in FIGS. 1 and 15, and the description thereof will be omitted.
[0110]
The excimer lamp 39 includes a protective tube 40 that covers the outer periphery of the lamp body 35a described in the third embodiment. The protection tube 40 has a cylindrical shape, and both ends are open. Both ends are supported by the support members 38 and 38a and are sealed (sealed). The protective tube 40 has transparency and a synthetic quartz tube is preferably used. In addition, an injection pipe 41 is provided on a part of the inner peripheral surface of the internal electrode 5 along the longitudinal direction of the internal electrode 5. The injection tube 41 is provided on a part of the inner peripheral surface of the internal electrode 5 facing the irradiation surface 23 of the excimer lamp 39 (in FIG. 16, the upper part of the inner peripheral surface of the internal electrode 5). The injection pipe 41 is a hollow pipe, and a cooling gas circulation device is connected to one end of the injection pipe 41, and the cooling gas 4a flows into the injection pipe 41. The injection pipe 41 is provided with a plurality of holes 41a at predetermined intervals, and the cooling gas 4a is jetted from the holes 41a. The diameter of the hole 41a is adjusted so as to be almost uniformly ejected from the hole 41a of the entire cooling gas 4a. Specifically, the diameter of the hole 41a is set smaller as it is closer to the side where the cooling gas 4a flows.
[0111]
In this way, by circulating the cooling gas 4a to the space 45 of the lamp body 35a and the space 46 between the protective tube 40 and the external electrode 2, the cooling of the lamp body 35a and the cooling of the internal electrode 5 and the external electrode 2 are performed. It can prevent oxidation.
[0112]
When circulating the cooling gas 4a in the space 42 between the outer pipe 36 and the protection pipe 40, the inlet and the outlet for flowing the cooling gas 4a may be eccentrically provided. The eccentricity allows the cooling gas 4a to flow in and out so as to form a swirl, so that the cooling gas 4a is easily distributed throughout.
[0113]
In order to allow the cooling gas 4a to efficiently circulate through the interior of the lamp body 35a, a flow path 46a for flowing the cooling gas 4a from the input joint 12 to the ejection pipe 41 and a cooling gas 4a It is preferable to provide a flow path 46 for flowing out from the space 42 between the protective tube 40 and the external tube 36 via the output joint 13. In addition, it is preferable to provide a flow path 46b for connecting the inner pipe 37 and the space 42 to the other support member 38a. The cooling gas 4a flows from the input joint 12, and the cooling gas 4a flows out from the hole 41a of the injection pipe 41 and circulates in the space 42 through the flow path 46b. After the circulation, it flows out through the output joint 13 through the flow path 46 formed in the support member 38.
[0114]
(Excimer Lamp of Fifth Embodiment)
FIG. 17 is a sectional structural view of an excimer lamp 39a according to the fifth embodiment. 17, the same reference numerals are given to the same parts as those in FIG. 16, and the description thereof will be omitted.
[0115]
In this excimer lamp 39 a, the flow path 46 a for flowing the cooling gas 4 a from the input joint 12 to the ejection pipe 41 and the cooling gas 4 a between the protection pipe 40 and the external pipe 36 are provided to one support member 38. A flow path 46 for flowing out of the space 42 via the output joint 13 and a flow path 46c for connecting the internal pipe 37 and the space 42 are provided. The other support member 38b is provided with an inflow path 47 for newly inflowing the cooling gas 4a.
[0116]
The cooling gas 4a flows from the input joint 12, and the cooling gas 4a flows out from the hole 41a of the injection pipe 41 and circulates in the space 42 through the flow path 46c. On the other hand, the cooling gas 4a also flows into the space 42 from a new inflow path 47. After circulating through the space portion 42, the cooling gas 4 a flows out through the output joint 13 through a flow path 46 formed in the support member 38.
[0117]
As described above, the excimer lamp and the excimer irradiation device of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and may be implemented in various forms. For example, in the embodiment, the internal electrode 5 has a hollow shape, but is not particularly limited to this shape, and a rod-shaped electrode may be used. The materials used for the inner tube, the outer tube, the protection tube, the outer electrode, the inner electrode, the injection tube, and the like are not limited to those in the embodiment, and various materials may be used. Further, the partition wall 11b formed on the cap is provided for uniformly circulating the cooling gas 4a in the inner pipe 4, but may be omitted.
[0118]
(Excimer Lamp of Sixth Embodiment)
FIG. 18 is a sectional view showing an example of an excimer lamp 50 according to the sixth embodiment of the present invention. Note that, in FIG. 18, the same parts as those in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted below.
[0119]
The external electrode 2 of the excimer lamp shown in Fig. 7 has a shape having projections 102, 102 ', 102 "on both sides of a thin metal plate portion 101, as shown in a perspective view of Fig. 3. In the electrode 2, the external electrode 2 is arranged almost all around the external tube 3. In the excimer lamp shown in Fig. 7, the projections 102, 102 ', 102 "form the irradiation surface 23. On the opposite side of the irradiation surface across the inner tube, a material 105 having resistance to excimer light is disposed between the outer peripheral surface and the external electrode (metal thin plate portion).
[0120]
On the other hand, the external electrodes 2a and 2b of the excimer lamp 50 shown in FIG. 18 are substantially rectangular metal thin plates, and do not have a projection on the irradiation surface 23 side. The outer tube 3 has two surfaces on which the external electrodes 2a and 2b are not arranged at opposite positions with the inner tube 4 interposed therebetween. That is, the external electrodes 2a and 2b are spaced apart from each other at the position of contrast with the internal tube 4 interposed therebetween. On the opposite side of the irradiation surface 23 across the inner tube 4, there is a surface (opening surface 51) on which the external electrodes 2a and 2b are not arranged.
[0121]
It is preferable that the length in the longitudinal direction of the external electrodes 2a and 2b is the same as the length in the longitudinal direction of the irradiation surface 23 on which the excimer light is irradiated onto the irradiation target. However, the length is not particularly limited since it can be practically used.
[0122]
The length of the irradiation surface 23 in the circumferential direction is arbitrarily selected according to the outer diameter of the outer tube 3, but the outer diameter of the inner tube 4 and the discharge surface of the outer electrodes 2a, 2b and the inner electrode 5 are opposed to each other. In view of the relationship with the size of the outer tube 3 and the required output, the length is preferably 25% to 50% of the entire circumference in the circumferential direction of the outer tube 3, and more preferably 30% to 50%.
[0123]
The circumferential length of the opening surface 51 on the opposite side of the irradiation surface 23 across the inner tube 4 is also arbitrarily selected according to the outer diameter of the outer tube 3. Preferably it is 2.5% to 25% of the circumference. It is also possible to determine the length of the opening surface 51 from the relationship with the outer diameter of the inner tube 4, the irradiation efficiency, and the like. In this case, the portion where the generated excimer light is difficult to be emitted from the irradiation surface 23 is determined. It is also preferable to make the outer diameter of the inner tube 4 equal to the opening diameter 51. The circumferential lengths of the external electrodes 2a and 2b are determined so that the irradiation surface 23 and the opening surface 51 have such dimensions.
[0124]
The thickness of the external electrodes 2a and 2b is preferably about 0.1 to 1.0 mm, and the range is set according to the material of the plate material to be used. Specifically, a flat plate of stainless steel, aluminum, or an aluminum alloy is used. Other metals used for the external electrodes 2a and 2b include copper, copper oxide, or alloys thereof, yttrium oxide, yttrium aluminum oxide, and other metals, and have good metal conductivity, and May be selected from those having a high discharge rate and elasticity.
[0125]
This embodiment has the following effects.
● No discharge occurs and no heat is generated on the opening surface 51 side.
The excimer light generated by the discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if the opening surface 51 is provided on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface 23 hardly changes. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp 50 can be prevented.
● The heat and excimer light not emitted to the outside degrade the material such as quartz glass or synthetic quartz constituting the excimer lamp 50, but the discharge is not generated by the opening surface 51, and the heat and excimer light not emitted to the outside are generated. do not do. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp 50 does not occur.
The presence of the opening surface 51 can reduce discharges (wasteful) that are not emitted from the irradiation surface 23. As a result, discharge occurs only in the portion where the external electrodes 2a, 2b and the internal electrode 5 face each other, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface 23. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
[0126]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
FIG. 19 is a sectional view showing a modified example 52 of the excimer lamp according to the sixth embodiment of the present invention. In the metal sheet portion 101 shown in FIGS. 8 and 9, an opening surface 51 is provided on the side opposite to the irradiation surface 23 and the inner tube 4 with the inner tube 4 interposed therebetween. One electrode thin line 107 serving as an external electrode is arranged at the center of the irradiation surface 23. In this case, the irradiation surface 23 is divided into two by the electrode thin wire 107 serving as an external electrode, and there are three surfaces on the outer peripheral surface of the external tube 3 where no external electrode is arranged. Discharge occurs substantially between the electrode thin line 107 located at the center of the irradiation surface 23 and the internal electrode 5, and since the electrode thin line 107 has a narrow line width, it does not hinder the irradiation of excimer light, thereby improving the irradiation efficiency. Becomes possible. The external electrode may include a plurality of electrode thin wires 107 as shown in FIGS.
A shielding plate made of a material resistant to excimer light may be provided on the side of the opening surface 51 while considering heat radiation of the excimer lamp. This is to prevent unintended harm from occurring near the installation location of the excimer lamp due to the irradiation of the excimer light from the opening surface 51.
[0127]
(Excimer Lamp of Seventh Embodiment)
FIG. 20 is a sectional view showing an example of an excimer lamp 53 according to the seventh embodiment of the present invention. In FIG. 20, portions common to FIG. 18 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted below.
[0128]
The excimer lamp 50 shown in FIG. 18 has two external electrodes 2 a and 2 b, which are arranged at opposite positions with the internal tube 4 interposed therebetween. As a result, the outer tube 3 has two surfaces, on which the external electrodes 2a and 2b are not arranged, as the irradiation surface 23 and the opening surface 51 at positions symmetrical with respect to the inner tube 4.
[0129]
In contrast, the external electrode 2 of the excimer lamp 53 shown in FIG. 20 has only one thin metal plate and is not separated. There is no opening surface 51 on the opposite side of the irradiation surface 23 across the inner tube 4, and an insulating material 54 having resistance to excimer light is disposed between the outer tube 3 and the outer electrode 2.
[0130]
The insulating material 54 needs to have at least resistance to excimer light. For example, preferred are ceramic materials, fluorine resins, particularly tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymers (fluoroethylene propylene copolymer resins, perfluoroethylene propene copolymer resins), and polytetrafluoroethylene. It is preferable that such an insulating material 54 is coated on the external tube 3 or the external electrode 2 or that a sheet or film made of such an insulating material 54 is simply sandwiched or adhered to be interposed.
[0131]
The insulating material 54 should be determined in relation to the wavelength of the excimer light. For example, for an excimer lamp having a wavelength of 222 nm, the above-mentioned fluororesin, in particular, tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (fluorinated ethylene propylene copolymer resin, perfluoroethylene propene copolymer resin), polytetrafluorocarbon Ethylene is preferable, and a ceramic material having higher resistance is preferably used for an excimer lamp having a wavelength of 172 nm.
[0132]
This embodiment has the following effects.
● No discharge occurs and no heat is generated in the portion where the insulating material 54 is disposed.
The excimer light is not emitted to the opposite side of the irradiation surface 23 because of the presence of the insulating material 54. Therefore, it is not necessary to provide a shield plate made of a material resistant to excimer light on the side opposite to the irradiation surface 23.
The excimer light generated by the discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if the insulating material 54 is arranged on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface 23 hardly changes. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp can be prevented.
● Heat and excimer light that are not emitted to the outside deteriorate materials such as quartz glass or synthetic quartz constituting the excimer lamp. However, in the case of the present embodiment, the discharge does not occur due to the presence of the insulating material 54 and the discharge to the outside. No heat and excimer light are emitted. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp 53 does not occur.
The presence of the insulating material 54 can reduce discharges (wasteful) that are not emitted from the irradiation surface 23. As a result, discharge occurs only between the portion of the external electrode 2 where the insulating material 54 is not disposed and the internal electrode 5, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface 23. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
● The heat generated by the discharge is transmitted through the external electrode 2 and is radiated at the external electrode portion 55 outside the insulating material 54. Therefore, it is possible to suppress the temperature rise of the excimer lamp 53.
[0133]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
A heat sink such as a radiation fin may be provided on the external electrode portion 55 on the insulating material 54. In this case, the radiation fins improve the radiation efficiency to the outside, and the temperature rise of the excimer lamp 53 can be further suppressed.
The external electrode portion 55 on the insulating material 54 may be subjected to a dimple process (embossing process). This inexpensive processing increases the surface area of the external electrode portion 55, improves the heat radiation efficiency to the outside, and further suppresses the temperature rise of the excimer lamp 53.
[0134]
(Excimer Lamp of Eighth Embodiment)
FIG. 21 is a sectional view showing an example of an excimer lamp 56 according to the eighth embodiment of the present invention. In FIG. 21, portions common to FIG. 18 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted below.
[0135]
The outer tube 3 of the excimer lamp 50 shown in FIG. 18 has a substantially cylindrical shape, whereas the outer tube 3 of the excimer lamp 56 shown in FIG. The difference is that the hollow tube 57 sharing a part is arranged along the longitudinal direction.
[0136]
The hollow tube 57 is preferably made of the same material as the outer tube 3 so that cracks do not occur due to a rise in temperature.
[0137]
This embodiment has the following effects.
● A hollow tube 57 is disposed on the opposite side of the irradiation surface 23 with respect to the inner tube 4 and has no external electrodes, so that no discharge occurs and no heat is generated.
The excimer light generated by the discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if the hollow tube 57 is arranged on the opposite side of the irradiation surface 23 with the internal tube 4 interposed therebetween so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface 23 hardly changes. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp 56 can be prevented.
● Heat and excimer light that are not emitted to the outside degrade the material such as quartz glass or synthetic quartz that constitutes the excimer lamp. However, no discharge is generated by the hollow tube 57, and heat and excimer light that is not emitted to the outside is generated. do not do. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp 56 does not occur.
The presence of the hollow tube 57 can reduce the (unnecessary) discharge that is not emitted from the irradiation surface 23. As a result, discharge occurs only between the external electrodes 2a and 2b and the internal electrode 5, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface 23. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
The heat generated by the discharge is transmitted to the hollow tube 57 through the shared tube wall by heat conduction, and is radiated at the hollow tube 57 portion. Therefore, it is possible to suppress the temperature rise of the excimer lamp 56.
[0138]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
The cooling gas may be circulated through the hollow tube 57. In this case, heat exchange is further promoted, and the temperature rise of the excimer lamp 56 due to discharge can be further suppressed.
The thickness of the connection between the outer tube 3 and the hollow tube 57 may be increased. By increasing the cross-sectional area, the strength of this portion is increased, and the heat generated by the discharge is transmitted not only to the shared tube wall but also to the entire tube wall of the hollow tube 57, and the heat radiation effect is enhanced.
The external electrode 2 may be provided so as to cover the hollow tube 57. In this case, since the external electrode 2 disposed so as to cover the hollow tube 57 is located at a position away from the internal electrode 5, no discharge occurs across the hollow tube 57. Since heat is transmitted by the external electrode 2 in addition to being transmitted by heat conduction through the shared tube wall, the external electrode 2 covering the hollow tube 57 improves the heat radiation efficiency to the outside, and further suppresses the temperature rise of the excimer lamp 56. It becomes possible. Since only one external electrode 2 can be used, manufacturing costs can be reduced.
In this case, the inner surface of the external electrode 2 covering the hollow tube 57 may be mirror-finished. Since the excimer light generated between the electrodes is reflected on the inner surface of the external electrode 2 and emitted from the irradiation surface, the irradiation amount (ultraviolet light emission amount) of the excimer lamp 56 increases.
The external electrodes may have the shapes shown in FIGS. 3 to 6 and FIGS. This is because the effect of the hollow tube of eliminating unnecessary discharge and improving the irradiation efficiency does not depend on the shapes of the external tube and the external electrodes.
[0139]
(Excimer Lamp of Ninth Embodiment)
FIG. 22 is a sectional view showing an example of the excimer lamp 58 according to the ninth embodiment of the present invention.
[0140]
In the excimer lamp 58 according to the ninth embodiment, the external electrode 59 has a gap 60 along the longitudinal direction between the external electrode 3 and the opposite side of the irradiation surface 23 with the internal tube 4 interposed therebetween. .
[0141]
This embodiment has the following effects.
● Unlike the excimer lamp 56 according to the eighth embodiment, the excimer lamp 58 according to the ninth embodiment does not have a hollow tube, so that the excimer lamp 58 can be manufactured at low cost.
Since the external electrode 59 is located away from the internal electrode 5, a slight discharge may occur depending on conditions, but practically no practical discharge occurs across the gap 60. The heat is transmitted through the tube wall of the outer tube 3 by heat conduction and is radiated at the gap 60, and also transmitted through the external electrode 59 and is radiated at the external electrode 59 surrounding the gap 60. As a result, the heat radiation efficiency to the outside is improved, and the temperature rise of the excimer lamp 58 can be further suppressed.
The excimer light generated by the discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if the gap 60 is arranged on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface 23 hardly changes. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp 58 can be prevented.
The heat and excimer light that is not emitted to the outside deteriorates the material such as quartz glass or synthetic quartz that constitutes the excimer lamp. However, no discharge is generated due to the gap 60, and the heat and excimer light that is not emitted to the outside are not generated. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp 58 does not occur.
The presence of the gap 60 can reduce discharges (wasteful) that are not emitted from the irradiation surface 23. As a result, discharge occurs only between the external electrode 59 and the internal electrode 5, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface 23. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
[0142]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
The cooling gas may be circulated through the gap 60. In this case, heat exchange is further promoted, and the temperature rise of the excimer lamp 58 due to discharge can be further suppressed.
The inner surface of the external electrode 59 may be mirror-finished. Since the excimer light generated between the electrodes is reflected on the inner side surface of the external electrode 59 and emitted from the irradiation surface, the irradiation amount (ultraviolet light emission amount) of the excimer lamp 58 increases.
The external electrodes may be shaped as shown in FIGS. 3 to 5 and FIGS. This is because the effect of the gap 60 that eliminates useless discharge and improves irradiation efficiency does not depend on the shape of the external tube and the external electrode even if it has a protrusion or an electrode thin wire.
[0143]
(Excimer Lamp of Tenth Embodiment)
FIG. 23 is a sectional view showing an example of an excimer lamp 61 according to the tenth embodiment of the present invention. Note that in FIG. 23, the same parts as those in FIG. 20 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted below.
[0144]
The excimer lamp 61 according to the tenth embodiment is configured such that a metal mesh electrode 62 is used as a conductive mesh electrode as an external electrode, and an insulating material 54 is disposed between the external tube 3 and the mesh electrode 62. There are features.
[0145]
FIG. 24 is a detailed diagram illustrating an example of a mesh electrode. A mesh electrode 62 for transmitting light is provided on the outer peripheral surface of the outer tube 3. As shown in FIG. 24, the reticulated electrode 62 has a structure in which one metal plate is perforated. The metal plate is made of aluminum having a thickness of 0.2 mm, and a diamond-shaped hole, that is, a mesh is perforated. The formed metal plate portion having a width of 0.2 mm forms a group of strands of a metal net, each of which obliquely intersects.
[0146]
This embodiment has the following effects.
● No discharge occurs and no heat is generated in the portion where the insulating material 54 is disposed between the outer tube 3 and the mesh electrode 62.
The excimer light generated by the discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if the insulating material 54 is arranged on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation surface 23 hardly changes. Rather, harmful discharge and heat generation of the excimer lamp can be prevented.
● Heat and excimer light that are not emitted to the outside deteriorate the material such as quartz glass or synthetic quartz that constitutes the excimer lamp, but no discharge occurs due to the insulating material 54, and no heat and excimer light that is not emitted to the outside is generated. . As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp 61 does not occur.
The presence of the insulating material 54 can reduce discharges (wasteful) that are not emitted from the irradiation surface 23. As a result, discharge occurs only between the internal electrode and the portion of the external electrode where the insulating material 54 is not disposed, and the generated excimer light is emitted from the irradiation surface. Therefore, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
[0147]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
A normal net having a structure in which a plurality of groups of fine metal wires are knitted as the conductive net electrode may be used. In this case, it can be manufactured at a lower cost than a reticulated electrode having a structure perforated in one metal plate.
The conductive mesh electrode or the perforated metal plate electrode may not be disposed on the irradiation surface 23. Further, the conductive mesh electrode or the perforated metal plate electrode may be configured not to be disposed at a portion where the insulating material 54 is disposed on the opposite side to the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween.
The hollow tube 57 is arranged along the longitudinal direction so as to be in contact with the outer peripheral surface of the external tube 3, and the mesh electrode 62 as the external electrode is arranged so as to surround the external tube 2 and the hollow tube 57. Is also good. The conductive mesh electrode or the perforated metal plate electrode has a small cross-sectional area of the electrode, so the amount of heat transmitted through the electrode by heat conduction is small, but by disposing the hollow tube, the heat radiation effect is enhanced and the temperature rise of the excimer lamp is suppressed. It becomes possible. At this time, if a cooling gas is circulated through the hollow tube 57, heat exchange is further promoted, and the temperature rise of the excimer lamp due to discharge can be further suppressed.
[0148]
(Excimer Irradiation Device of Second Embodiment)
FIG. 25 is a cross-sectional view showing an example of an excimer irradiation device 70 according to the second embodiment of the present invention.
[0149]
The excimer lamp tube 71 used in the excimer irradiation device 70 according to this embodiment is characterized in that the excimer lamp itself has no external electrode, and the lamp house 74 has the external electrode 73.
[0150]
Excimer lamp tube FIG. 26 is a front view (a) and an BB cross-sectional view (b) showing an example of an excimer lamp tube used in the excimer irradiation device according to the second embodiment of the present invention.
[0151]
The excimer lamp tube 71 of the present invention includes a hollow double cylindrical tube in which the outer tube 3 and the inner tube 4 are arranged concentrically and a discharge space 6 is formed between the outer tube 3 and the inner tube 4, 4 and an internal electrode 5 arranged in the internal electrode 4. The discharge space 6 is filled with a discharge gas 6a. When a high frequency voltage is applied by the power supply device 75, the discharge gas 6a emits excimer light. Here, the discharge gas 6a is preferably a rare gas or a mixed gas of a rare gas and a halogen gas. Further, the pressure of the discharge gas 6a is preferably in the range of 5 kPa to 100 kPa.
[0152]
Excimer irradiation equipment The excimer irradiation device 70 has a plurality of excimer lamp tubes 71 and a plurality of concave portions 72 which engage with the outer peripheral surface of the external tube 3, and the concave portions 72 are provided with external electrodes 73 for the excimer lamp tubes 71. A lamp house 74 and a power supply device 75 for applying a high-frequency voltage between the internal electrode 5 and the external electrode 73 are provided. The plurality of recesses 72 are arranged so as to be parallel to each other, and the inner surface is mirror-finished.
[0153]
When the excimer lamp tube 71 is engaged with the concave portion 72, a high-frequency voltage is applied between the external electrode 73 provided in the concave portion 72 and the internal electrode 5 of the excimer lamp tube 71 by the power supply device 75, and discharge occurs.
[0154]
This embodiment has the following effects.
Since the excimer lamp tube 71 has no external electrodes, the excimer lamp tube 71 can be manufactured at low cost.
Since the excimer lamp tube 71 has no external electrode disposed on the side of the irradiation surface, the aperture ratio of the irradiation surface does not decrease and a high irradiation amount can be secured.
● Since the inner surface of the concave portion 72 is mirror-finished, excimer light can be efficiently emitted to the outside.
[0155]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
The lamp house 74 may be cooled. Specifically, a cooling fluid flow passage 76 is provided in the lamp house 74 to cool the lamp house 74. Since the concave portion 72 is provided with the external electrode 73, a large contact area between the lamp house 74 (external electrode 73) and the excimer lamp tube 71 can be secured, and the cooling efficiency is good.
A portion without an external electrode may be provided near the center of the concave portion 72. A groove 95 may be provided near the center of the recess 72. Excimer light generated by discharge on the opposite side of the irradiation surface 23 with the inner tube 4 interposed therebetween is rarely emitted from the irradiation surface 23 to the outside due to the obstruction of the inner tube 4. Therefore, even if a portion where no external electrode is provided near the center of the concave portion 72 or a groove portion 95 is provided near the center of the concave portion 72 so that no discharge occurs, the amount of excimer light emitted from the irradiation surface 23 is emitted. Is almost unchanged.
○ The heat and excimer light that are not emitted to the outside degrade the material such as quartz glass or synthetic quartz that constitutes the excimer lamp.However, since there is a part without an external electrode, discharge does not occur and is not emitted to the outside. No heat or excimer light is generated. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp tube 71 does not occur.
The discharge which is not emitted from the irradiation surface 23 (wasteful) can be reduced due to the portion without the external electrode, and as a result, the discharge is generated only between the external electrode and the internal electrode 5 and generated. Since the excimer light is emitted from the irradiation surface 23, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
Instead of the excimer lamp tube 71, an excimer lamp having an external electrode composed of either a conductive mesh electrode or a perforated metal plate electrode may be used. The external electrode 73 provided in the concave portion 72 comes into contact with the conductive mesh electrode of the excimer lamp or the external electrode of the perforated metal plate electrode. In the concave portion 72, a discharge occurs between the external electrode 73 and the external electrode of the conductive mesh electrode or the perforated metal plate electrode and the internal electrode 5. On the irradiation surface side of the excimer lamp, discharge occurs between the external electrode and the internal electrode 5 of the conductive mesh electrode or the perforated metal plate electrode.
[0156]
(Modification of excimer lamp tube)
In the excimer lamp tube 81 shown in FIG. 27, the inner peripheral surface of the outer tube 3 and the outer peripheral surface of the inner tube 4 are joined at a joint 82 so that a discharge space 6 is formed between the outer tube 3 and the inner tube 4. And an internal electrode 5 disposed in the internal tube 4. The discharge space 6 has a configuration in which a discharge gas 6 a is sealed. When the conventional hollow double cylindrical tube-shaped excimer lamp tube 71 as shown in FIG. 26 is used in a horizontal arrangement, cracks are formed on the upper surface of the inner tube 4 and the life of the excimer lamp tube 71 is exhausted. was there. As an application of the excimer irradiator, there is a dry cleaning in an LCD (Liquid Crystal Display) manufacturing process, but with the recent increase in the size of the LCD, it is desired to increase the area (particularly, irradiation width) to be simultaneously irradiated. Rarely, there is a demand for longer excimer lamp tubes. However, when the length is increased, the influence of internal stress due to the bending of the inner tube due to its own weight cannot be ignored in the conventional hollow double cylindrical tube-shaped excimer lamp tube 71, and when the length is increased, the life tends to be shortened. Was. In the excimer lamp tube 81, since the tube wall becomes thick at the joint portion 82 where the inner peripheral surface of the outer tube 3 and the outer peripheral surface of the inner tube 4 are joined, it is possible to resist internal stress due to the bending of the inner tube 4. The life of the excimer lamp tube 81 can be extended.
[0157]
An excimer lamp tube 83 shown in FIG. 28 includes an outer tube 3 and a semi-cylindrical open circular tube 84 which is disposed inside the outer tube 3 and which is obtained by bisecting a cylindrical tube in the axial direction. An inner tube 87 formed by being joined to the tube wall of the above, a cylindrical tube having a discharge space 6 formed between the outer tube 3 and the inner tube 87, and an inner electrode 5 arranged in the inner tube. In this configuration, the discharge space 6 is filled with a discharge gas 6a. When the excimer lamp tube 83 is arranged horizontally with the irradiation surface down, the flat portion 85 of the inner tube 87 is arranged in a vertical direction, so that the second moment of area increases, and the inner tube 87 is bent by its own weight. Can withstand internal stress.
[0158]
In each of the three types of excimer lamp tubes shown in FIG. 29, an insulating material 54 having resistance to excimer light, such as a ceramics-based or fluorine-based resin, is disposed on the side opposite to the irradiation surface. The generation of excimer light on the side opposite to the irradiation surface is suppressed. As a result, the generation of excimer light mainly occurs on the irradiation surface side, improving discharge efficiency and increasing discharge intensity.
[0159]
(Excimer Irradiation Device of Third Embodiment)
Hereinafter, an excimer irradiation apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0160]
FIG. 30 is a sectional view showing an example of an excimer irradiation device 90 according to the third embodiment of the present invention.
[0161]
As shown in FIG. 30, an excimer irradiation device 90 includes an excimer lamp tube 71, a lamp house 91 serving as an external electrode, and a high-frequency voltage applied between the internal electrode 5 of the excimer lamp tube 71 and the lamp house 91. And a power supply device 92 for applying voltage. The lamp house 91 is made of a metal material having resistance to excimer light such as aluminum or stainless steel, has a storage hole 93, and stores the excimer lamp tube 71. Further, the lamp house 91 has an irradiation window 94 for emitting excimer light emitted from the excimer lamp tube 71 to the outside. When viewed from the bottom, the irradiation window 94 of the lamp house 91 is rectangular or oval, and its longitudinal direction matches the axial direction of the excimer lamp tube 71. The power supply device 92 includes a stabilizer 92a and a power supply 92b. The inner surface of the storage hole 93 functions as an external electrode of the excimer lamp tube 71. The inner surface of the storage hole 93 is mirror-finished to efficiently reflect excimer light.
[0162]
FIG. 31 shows a cross-sectional view when the excimer lamp tube 71 is housed in the housing hole 93 of the lamp house 91. When the excimer lamp tube 71 is stored in the storage hole 93, the outer peripheral surface of the excimer lamp tube 71 is arranged so as not to protrude from the outer surface of the lamp house 91 (t ≧ 0).
[0163]
The excimer irradiation device 90 of the third embodiment has the following effects in addition to the effects of the excimer irradiation device of the second embodiment.
Since the excimer lamp tube 71 is housed in the lamp house 91, a large contact area between the inner surface of the housing hole 93 of the lamp house 91 and the excimer lamp tube 71 can be ensured. Therefore, heat generated by the discharge can be efficiently transmitted to the lamp house 91, and the cooling efficiency is good. Further, since it is not necessary to supply a cooling gas to the side of the irradiation window 94, a glass cover is not required, and excimer light can be efficiently irradiated. Since no equipment for flowing the cooling gas is required, the manufacturing cost of the apparatus can be kept low.
When the excimer lamp tube 71 is stored in the storage hole 93, the outer peripheral surface of the excimer lamp tube 71 is arranged so as not to protrude from the outer surface of the lamp house 91. There is no need to provide protective glass for protection. As a result, excimer light can be efficiently emitted, and the manufacturing cost of the apparatus can be reduced.
[0164]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
As shown in FIG. 32, a groove 95 may be provided in the storage hole 93 of the lamp house 91 at a position opposite to the irradiation window 94. Excimer light generated by discharge on the opposite side of the irradiation window 94 across the inner tube 4 is rarely emitted to the outside from the irradiation window 94 due to the inner tube 4 becoming an obstacle. Therefore, even if the groove 95 is provided at a position opposite to the irradiation window 94 of the storage hole 93 so that no discharge occurs, the irradiation amount of the excimer light emitted from the irradiation window 94 hardly changes. The heat and excimer light that are not emitted to the outside deteriorate the material such as quartz glass or synthetic quartz that constitutes the excimer lamp tube 71, but the heat and the excimer light that are not emitted to the outside because the groove 95 does not generate discharge. Does not occur. As a result, the problem of material deterioration of the excimer lamp tube 71 does not occur. The presence of the groove 95 can reduce the (unnecessary) discharge that is not emitted from the irradiation window 94, and as a result, the discharge occurs only between the inner surface of the storage hole 93 other than the groove 95 and the internal electrode 5. Since the generated and generated excimer light is emitted from the irradiation window 94, the discharge efficiency (irradiation efficiency) with respect to the applied power is improved, and the discharge intensity is increased. That is, the power can be efficiently consumed.
FIG. 33 is a cross-sectional view of a modification when the excimer lamp tube 71 is housed in the housing hole 93 of the lamp house 91. When the excimer lamp tube 71 is stored in the storage hole 93, the outer peripheral surface of the excimer lamp tube 71 is arranged to protrude from the outer surface of the lamp house 91. The excimer lamp tube 71 can be brought closer to the irradiation target (not shown). As a result, excimer light can be efficiently emitted. Further, in this modified example in which the outer peripheral surface of the excimer lamp tube 71 protrudes from the outer surface of the lamp house 91, a configuration may be adopted in which a groove 95 is provided at a position opposite to the irradiation window 94 (not shown).
In a similar manner to the excimer irradiation apparatus according to the second embodiment, the lamp house 91 may be cooled. Specifically, a cooling fluid flow passage 76 is provided in the lamp house 91 to cool the lamp house 91. A large contact area between the inner surface of the storage hole 93 of the lamp house 91 and the excimer lamp tube 71 can be secured, and the cooling efficiency is good.
In the above-described embodiment, the excimer lamp tube 71 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. Excimer lamp tubes 81 and 83 may be used. An excimer lamp tube provided with the insulating material 54 may be used.
O Instead of the excimer lamp tube, an excimer lamp having an external electrode formed of either a conductive mesh electrode or a perforated metal plate electrode may be used. The inner surface of the storage hole 93 contacts the external electrode of the excimer lamp. In the storage hole 93, discharge occurs between the inner surface and the outer electrode and the inner electrode 5 of the excimer lamp. Discharge occurs between the external electrode and the internal electrode 5 on the side of the irradiation window 94.
[0165]
(Excimer Irradiation Device of Fourth Embodiment)
Hereinafter, an excimer irradiation apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0166]
FIG. 34 is a schematic external view showing an example of an excimer irradiation line 120 having an excimer irradiation device 90 according to the fourth embodiment of the present invention. The part of the excimer irradiation device 90 is shown as a sectional view.
[0167]
As shown in FIG. 34, the excimer irradiation device 90 has a configuration in which a plurality of excimer lamp tubes 71 are arranged in parallel. A transfer line 121 is arranged near the irradiation window 94 of the excimer irradiation device 90, and an irradiation target 122 is transferred on the transfer line 121. The excimer irradiation device 90 is arranged so that the excimer lamp tube 71 is perpendicular to the transport direction of the irradiation target 122.
[0168]
The excimer irradiation apparatus of the fourth embodiment has the following effects.
By arranging a plurality of excimer lamp tubes 71, it is possible to irradiate the irradiation target 122 with a sufficient amount of excimer light without stopping the transport line 121. As a result, productivity can be improved.
[0169]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
As shown in FIG. 35, adjacent excimer lamp tubes 71 may be arranged so that their directions are alternately arranged. The irradiation density of the excimer light emitted from the excimer lamp tube 71 differs in the longitudinal direction. By arranging the directions alternately, the amount of excimer light irradiation can be made uniform at any position on the irradiation surface of the irradiation object 122.
As shown in FIG. 36, some of the plurality of excimer lamp tubes 71 may be provided with excimer lamp tubes 71a having different lengths. By arranging the short excimer lamp tube 71a at a position where the irradiation amount is small, the irradiation amount of the excimer light can be made more uniform at any position on the irradiation surface of the irradiation object.
[0170]
(Excimer lamp of eleventh embodiment)
FIG. 37 is a sectional view showing an example of the excimer lamp according to the eleventh embodiment of the present invention.
[0171]
(A) is a double cylinder in which the inner peripheral surface of the outer tube 3 and the outer peripheral surface of the inner tube 4 are joined at a joining portion 82 and a discharge space 6 is formed between the outer tube 3 and the inner tube 4. An excimer lamp 131 having a tube, an internal electrode 5 disposed in the internal tube 4, and a mesh electrode 62 disposed on the external tube 3, and having a discharge space 6 filled with a discharge gas 6 a. Is shown. That is, the configuration is such that the reticulated electrodes 62 are arranged in the excimer lamp tube 81.
[0172]
FIG. 4B shows an excimer lamp 131 in a portion between the outer tube 3 and the mesh electrode 62 where the inner peripheral surface of the outer tube 3 and the outer peripheral surface of the inner tube 4 are joined. An excimer lamp 132 having a configuration in which an insulating material 54 having light resistance is arranged is shown.
[0173]
(C) shows an outer tube 3 and a semi-cylindrical open circular tube 84 which is arranged inside the outer tube 3 and which bisects a cylindrical tube in the axial direction, is joined to the tube wall of the outer tube 3 via a flat plate portion 85. Formed inside tube 87, a cylindrical tube having a discharge space 6 formed between the outer tube 3 and the inner tube 87, an inner electrode 5 arranged in the inner tube 87, and An excimer lamp 133 having a reticulated electrode 62 disposed therein and having a discharge space 6 filled with a discharge gas 6a is shown. That is, the configuration is such that the reticulated electrodes 62 are arranged in the excimer lamp tube 83.
[0174]
(D) shows a portion 86 of the excimer lamp 133 between the outer tube 3 and the mesh electrode 62 where the outer tube 3 and the inner tube 87 share a tube wall. The excimer lamp 134 has a configuration in which the insulating material 54 having the following structure is disposed.
[0175]
In the excimer lamps 131, 132, 133, and 134, the discharge gas 6a is preferably a rare gas or a mixed gas of a rare gas and a halogen gas. Further, the pressure of the discharge gas 6a is preferably in the range of 5 kPa to 100 kPa.
[0176]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, there are the following modifications.
In FIG. 37 showing the above embodiment, the external electrode is the conductive mesh electrode 62. However, the present invention is not limited to this. For example, a perforated metal plate electrode may be used.
[0177]
【The invention's effect】
As described above, according to the excimer lamp and the excimer irradiation apparatus of the present invention, the excimer light irradiation from the outer tube on the side facing the irradiation target is hardly interrupted, and high irradiation efficiency can be realized. Since the electrode can be wound around the external tube, it is easy to attach the external electrode and manufacture the excimer lamp. Further, since the projections protruding from both sides are alternately arranged, the generation balance of excimer light on the external tube on the side facing the irradiation object can be increased, and high irradiation efficiency can be realized.
[0178]
Further, according to the excimer lamp and the excimer irradiation device of the present invention, by suppressing the generation of excimer light on the thin metal plate side, the generation of excimer light on the side not facing the irradiation target is suppressed, and the excimer light The generation mainly occurs on the side facing the irradiation object, and as a result, the discharge efficiency can be improved and the discharge intensity can be increased.
[0179]
Furthermore, according to the excimer lamp and the excimer irradiation device of the present invention, since the opening surface on which the external electrode is not provided is provided on the opposite side to the irradiation surface with the inner tube interposed therebetween, the emission surface emits light from the irradiation surface. Unnecessary useless discharge does not occur, so that the discharge efficiency can be improved.
[0180]
Furthermore, according to the excimer lamp and the excimer irradiation device of the present invention, the heat generated by the discharge is transmitted to the external electrode and is radiated at the external electrode portion outside the insulating material. Therefore, it is possible to suppress the temperature rise of the excimer lamp.
[0181]
Furthermore, according to the excimer lamp and the excimer irradiation device of the present invention, the heat generated by the discharge is transmitted to the hollow tube by heat conduction through the shared tube wall, and is radiated at the hollow tube portion. Therefore, it is possible to suppress the temperature rise of the excimer lamp. By circulating the cooling gas through the hollow tube, heat exchange is further promoted, and the temperature rise of the excimer lamp due to discharge can be further suppressed.
[0182]
Furthermore, according to the excimer lamp tube and the excimer irradiating apparatus of the present invention, a wire mesh electrode on the side of the irradiation surface is not required, so that the irradiation object can be efficiently irradiated.
[0183]
Furthermore, according to the excimer lamp tube, the excimer irradiation device, and the excimer lamp of the present invention, when the excimer lamp is lengthened, it is possible to withstand the internal stress due to the bending of the inner tube due to its own weight, and the long life of the excimer lamp Can be achieved.
[0184]
Furthermore, according to the excimer irradiation apparatus and the excimer irradiation line of the present invention, a window on the front surface of the excimer lamp for cooling and protecting the excimer lamp is not required, so that the irradiation object can be efficiently irradiated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view (a) and a left side sectional view (b) showing an example of an excimer lamp of the present invention.
FIGS. 2A and 2B are a front view and an AA sectional view, respectively, showing an example of the internal structure of the excimer lamp body shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a mounting form of an external electrode.
FIG. 4 is a bottom view showing a mounting form of an external electrode.
FIG. 5 is a plan view showing a form before mounting external electrodes.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing another mounting mode of the external electrodes.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a form in which a material having resistance to excimer light is interposed between a thin metal plate portion and an outer tube.
FIG. 8 is a plan view showing still another embodiment of the external electrode.
FIG. 9 is a perspective view showing a form in which the external electrode shown in FIG. 8A is mounted on an external tube.
FIG. 10 is a partially enlarged view showing an example of a mounting form of the external electrodes shown in FIG.
FIG. 11 is a bottom view showing an example of the excimer irradiation device of the present invention.
FIG. 12 is a side view showing an example of the excimer irradiation device of the present invention.
FIGS. 13A and 13B are a front view and an BB sectional view showing an example of an excimer lamp according to a second embodiment.
FIG. 14 is a sectional structural view of an excimer lamp according to a second embodiment.
FIG. 15 is a sectional structural view showing an example of an excimer lamp according to a third embodiment.
FIG. 16 is a sectional structural view showing an example of an excimer lamp according to a fourth embodiment.
FIG. 17 is a sectional structural view showing an example of an excimer lamp according to a fifth embodiment.
FIG. 18 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to a sixth embodiment.
FIG. 19 is a sectional view showing a modification of the excimer lamp according to the sixth embodiment.
FIG. 20 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to a seventh embodiment.
FIG. 21 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to an eighth embodiment.
FIG. 22 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to a ninth embodiment.
FIG. 23 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to a tenth embodiment.
FIG. 24 is a detailed view showing an example of a mesh electrode of the excimer lamp according to the tenth embodiment.
FIG. 25 is a sectional view showing an example of an excimer irradiation apparatus according to the second embodiment.
FIG. 26 is a diagram illustrating an example of an excimer lamp tube used in the excimer irradiation device according to the second embodiment.
FIG. 27 is a view showing a modification of the excimer lamp tube used in the excimer irradiation device according to the second embodiment.
FIG. 28 is a view showing another modification of the excimer lamp tube used in the excimer irradiation device according to the second embodiment.
FIG. 29 is a view showing another modification of the excimer lamp tube used in the excimer irradiation device according to the second embodiment.
FIG. 30 is a sectional view showing an example of an excimer irradiation device according to a third embodiment.
FIG. 31 is a cross-sectional view when an excimer lamp tube is housed in a housing hole of a lamp house.
FIG. 32 is a view showing a modification of the storage hole of the lamp house of the excimer irradiation device according to the third embodiment.
FIG. 33 is a cross-sectional view of a modification when an excimer lamp tube is housed in a housing hole of a lamp house.
FIG. 34 is a schematic external view showing an example of an excimer irradiation line having an excimer irradiation device according to a fourth embodiment.
FIG. 35 is a bottom view showing a modification of the excimer irradiation device according to the fourth embodiment.
FIG. 36 is a bottom view showing a modification of the excimer irradiation apparatus according to the fourth embodiment.
FIG. 37 is a sectional view showing an example of an excimer lamp according to the eleventh embodiment.
[Explanation of symbols]
1,28,35,39,39a Excimer lamp
1a, 35a Lamp body
1b cap
1c Tip
2 External electrodes
3, 36 outer tube
4, 37 Inner tube
4a Cooling gas
5 Internal electrode
6 Discharge space
6a Discharge gas
11a Partition wall
11b Support wall
11c hole
11d, 11f, 11g, 46, 46a, 46b, 46c
11e, 15, 16, 17, 22, 42, 45, 46 space
12 Input fitting
13 Output coupling
14, 14a power supply cable
20 Excimer irradiation equipment
20a irradiation unit
20b Cooling gas circulation device
20c, 35b power supply
21 Casing
22a Opening site
23 Irradiation surface
24 windows
25 Inner wall
26 Reflective surface
27, 41a hole
29, 40 Protection tube
38, 38a, 38b Supporting member
38c Outflow channel
41 Ejector tube
47 Inflow channel
101 Metal sheet part
101a Rectangular metal sheet part
102, 102 ', 102 "projection
103, 103 ', 103 "side
104 Rectangular metal sheet
105 Materials resistant to excimer light
106 belt
107 electrode thin wire
2a, 2b, 55, 59, 73 External electrodes
50, 52, 53, 56, 58, 61, 71 Excimer lamp
51 Opening surface
54 Insulation
57 hollow tube
60 void
62 mesh electrode
70 Excimer irradiation equipment
72 recess
74 Lamp House
75 Power supply
76 Cooling fluid flow passage
71,81,83 Excimer lamp tube
84 Open circular pipe
85 Flat part
87 inner tube
90 Excimer irradiation device
91 Lamp House
92 Power supply
93 storage hole
94 Irradiation window
95 groove
120 excimer irradiation line
121 transport line
122 Irradiated object
131,132,133,134 Excimer lamp

Claims (22)

外部管と内部管との間に放電空間が形成された中空二重円筒管と、前記内部管内に配置された内部電極とを有するエキシマランプと、
前記外部管の外周面に係合する凹部を有し、当該凹部には前記エキシマランプの外部電極が備わったランプハウスと、
前記内部電極と前記外部電極との間に高周波電圧を印加する電源装置と、
を有することを特徴とするエキシマ照射装置。A hollow double cylindrical tube in which a discharge space is formed between an outer tube and an inner tube, and an excimer lamp having an internal electrode arranged in the inner tube,
A lamp house having an external electrode of the excimer lamp, having a concave portion engaged with the outer peripheral surface of the external tube;
A power supply for applying a high-frequency voltage between the internal electrode and the external electrode,
An excimer irradiation device, comprising: 請求項１に記載のエキシマ照射装置において、
前記凹部の中央付近には外部電極が備わっていない部分があること
を特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation device according to claim 1,
An excimer irradiator characterized in that there is a portion without an external electrode near the center of the recess. 外部管と内部管とが同心に配され、前記外部管と前記内部管との間に放電空間が形成された中空二重円筒管と、
前記内部管内に配置された内部電極と、を有し、
前記放電空間には放電ガスが封入され、
高周波電圧を印加したとき前記放電ガスがエキシマ光を発する、
ことを特徴とするエキシマランプ管。An outer tube and an inner tube are arranged concentrically, and a hollow double cylindrical tube in which a discharge space is formed between the outer tube and the inner tube;
An internal electrode arranged in the internal tube,
A discharge gas is sealed in the discharge space,
The discharge gas emits excimer light when a high-frequency voltage is applied,
An excimer lamp tube, characterized in that: 請求項３に記載のエキシマランプ管において、
前記外部管の外周面の一部に、エキシマ光に耐性を有する絶縁材が配されている、
ことを特徴とするエキシマランプ管。The excimer lamp tube according to claim 3,
An insulating material having resistance to excimer light is disposed on a part of the outer peripheral surface of the outer tube.
An excimer lamp tube, characterized in that: 外部管の内周面と内部管の外周面とが接合し、前記外部管と前記内部管との間に放電空間が形成された二重円筒管と、
前記内部管内に配置された内部電極と、を有し、
前記放電空間には放電ガスが封入され、
高周波電圧を印加したとき前記放電ガスがエキシマ光を発する、
ことを特徴とするエキシマランプ管。A double cylindrical tube in which the inner peripheral surface of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube are joined, and a discharge space is formed between the outer tube and the inner tube;
An internal electrode arranged in the internal tube,
A discharge gas is sealed in the discharge space,
The discharge gas emits excimer light when a high-frequency voltage is applied,
An excimer lamp tube, characterized in that: 請求項５に記載のエキシマランプ管において、
前記外部管の外周面であって、前記外部管の内周面と前記内部管の外周面とが接合している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材が配されている、
ことを特徴とするエキシマランプ管。The excimer lamp tube according to claim 5,
An insulating material having resistance to excimer light is provided at a position on the outer peripheral surface of the outer tube where the inner peripheral surface of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube are joined.
An excimer lamp tube, characterized in that: 外部管と、
前記外部管の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管が平板部を介して前記外部管の管壁に接合されて形成された内部管と、
前記外部管と前記内部管との間に放電空間が形成された円筒管と、
前記内部管内に配置された内部電極と、を有し、
前記放電空間には放電ガスが封入され、
高周波電圧を印加したとき前記放電ガスがエキシマ光を発する、
ことを特徴とするエキシマランプ管。An outer tube,
An inner pipe formed inside the outer pipe and formed by joining a semi-cylindrical open circular pipe obtained by bisecting a cylindrical pipe in the axial direction to a pipe wall of the outer pipe via a flat plate portion,
A cylindrical tube having a discharge space formed between the outer tube and the inner tube;
An internal electrode arranged in the internal tube,
A discharge gas is sealed in the discharge space,
The discharge gas emits excimer light when a high-frequency voltage is applied,
An excimer lamp tube, characterized in that: 請求項７に記載のエキシマランプ管において、
前記外部管の外周面であって、前記外部管と前記内部管とが管壁を共有している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材が配されている、
ことを特徴とするエキシマランプ管。The excimer lamp tube according to claim 7,
On the outer peripheral surface of the outer tube, where the outer tube and the inner tube share a tube wall, an insulating material having resistance to excimer light is disposed.
An excimer lamp tube, characterized in that: 請求項３乃至請求項８のいずれか一項に記載のエキシマランプ管と、
前記エキシマランプ管を収納する収納穴を有し、前記エキシマランプ管に対して外部電極としての機能を果たすランプハウスと、
前記内部電極と前記外部電極との間に高周波電圧を印加する電源装置と、
を有するエキシマ照射装置において、
前記ランプハウスは、高周波電圧印加時に前記エキシマランプ管の発するエキシマ光を外部に放出する照射窓を有し、
前記照射窓は長方形又は長円形であって、その長手方向が前記エキシマランプ管の軸方向と一致している、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。An excimer lamp tube according to any one of claims 3 to 8,
A lamp house having a storage hole for storing the excimer lamp tube, and serving as an external electrode for the excimer lamp tube;
A power supply for applying a high-frequency voltage between the internal electrode and the external electrode,
In an excimer irradiation apparatus having
The lamp house has an irradiation window that emits excimer light emitted from the excimer lamp tube when a high-frequency voltage is applied,
The irradiation window is rectangular or oval, and its longitudinal direction coincides with the axial direction of the excimer lamp tube.
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項９に記載のエキシマ照射装置において、
前記エキシマランプ管の外周面は、前記ランプハウスの外側面から出ていない、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation apparatus according to claim 9,
The outer peripheral surface of the excimer lamp tube does not protrude from the outer surface of the lamp house,
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項９に記載のエキシマ照射装置において、
前記エキシマランプ管の外周面は、前記ランプハウスの外側面から出ている、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation apparatus according to claim 9,
An outer peripheral surface of the excimer lamp tube protrudes from an outer surface of the lamp house.
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項９乃至請求項１１のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置において、
前記ランプハウスの前記収納穴には前記照射窓と反対側の位置に溝部が設けられている、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation device according to any one of claims 9 to 11,
A groove is provided in the storage hole of the lamp house at a position opposite to the irradiation window,
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項９乃至請求項１２のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置において、
前記ランプハウスは複数のエキシマランプ管を有している、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation device according to any one of claims 9 to 12,
The lamp house has a plurality of excimer lamp tubes;
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項１３に記載のエキシマ照射装置において、
前記複数のエキシマランプ管は平行に配されている、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation device according to claim 13,
The plurality of excimer lamp tubes are arranged in parallel;
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項１３又は請求項１４に記載のエキシマ照射装置において、
前記複数のエキシマランプ管のうち隣り合うエキシマランプ管は向きが互い違いに配されている、
ことを特徴とするエキシマ照射装置。The excimer irradiation device according to claim 13 or claim 14,
Adjacent excimer lamp tubes among the plurality of excimer lamp tubes are staggered in direction,
An excimer irradiation device, characterized in that: 請求項９乃至請求項１５のいずれか一項に記載のエキシマ照射装置と、
前記照射窓から発せられるエキシマ光が照射される被照射体を搬送する搬送ライン、
とを有するエキシマ照射ライン。An excimer irradiation device according to any one of claims 9 to 15,
A transport line that transports an irradiation target to which the excimer light emitted from the irradiation window is irradiated,
And an excimer irradiation line having: 請求項１６に記載のエキシマ照射ラインにおいて、
前記エキシマランプ管の向きが前記搬送ラインの搬送方向に対して垂直になるように前記エキシマ照射装置が配されている、
ことを特徴とするエキシマ照射ライン。The excimer irradiation line according to claim 16,
The excimer irradiation device is arranged such that the direction of the excimer lamp tube is perpendicular to the transport direction of the transport line,
An excimer irradiation line, characterized in that: 請求項１６又は請求項１７に記載のエキシマ照射ラインにおいて、
前記被照射体が前記搬送ライン上を搬送されたときに、前記被照射体の被照射面のいずれの箇所でもエキシマ光の被照射量が均一になるように、前記エキシマ照射装置内でエキシマランプ管が配されている、
ことを特徴とするエキシマ照射ライン。In the excimer irradiation line according to claim 16 or 17,
An excimer lamp is provided within the excimer irradiation apparatus so that when the object is conveyed on the conveyance line, the amount of excimer light irradiated is uniform at any point on the surface to be irradiated of the object. Pipes are arranged,
An excimer irradiation line, characterized in that: 外部管の内周面と内部管の外周面とが接合し、前記外部管と前記内部管との間に放電空間が形成された二重円筒管と、
前記内部管内に配置された内部電極と、
前記外部管上に配置された外部電極と、を有し、
前記放電空間には放電ガスが封入され、
高周波電圧を印加したとき前記放電ガスがエキシマ光を発する、
ことを特徴とするエキシマランプ。A double cylindrical tube in which the inner peripheral surface of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube are joined, and a discharge space is formed between the outer tube and the inner tube;
An internal electrode disposed in the internal tube;
An external electrode disposed on the external tube,
A discharge gas is sealed in the discharge space,
The discharge gas emits excimer light when a high-frequency voltage is applied,
An excimer lamp characterized in that: 請求項１９に記載のエキシマランプにおいて、
前記外部管と前記外部電極との間であって、前記外部管の内周面と前記内部管の外周面とが接合している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材が配されている、
ことを特徴とするエキシマランプ。The excimer lamp according to claim 19,
An insulating material having resistance to excimer light is disposed between the outer tube and the outer electrode, at a portion where the inner peripheral surface of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube are joined. Yes,
An excimer lamp characterized in that: 外部管と、
前記外部管の内部に配され、円筒管を軸方向に二分した半円筒形状の開口円管が平板部を介して前記外部管の管壁に接合されて形成された内部管と、
前記外部管と前記内部管との間に放電空間が形成された円筒管と、
前記内部管内に配置された内部電極と、
前記外部管上に配置された外部電極と、を有し、
前記放電空間には放電ガスが封入され、
高周波電圧を印加したとき前記放電ガスがエキシマ光を発する、
ことを特徴とするエキシマランプ。An outer tube,
An inner pipe formed inside the outer pipe and formed by joining a semi-cylindrical open circular pipe obtained by bisecting a cylindrical pipe in the axial direction to a pipe wall of the outer pipe via a flat plate portion,
A cylindrical tube having a discharge space formed between the outer tube and the inner tube;
An internal electrode disposed in the internal tube;
An external electrode disposed on the external tube,
A discharge gas is sealed in the discharge space,
The discharge gas emits excimer light when a high-frequency voltage is applied,
An excimer lamp characterized in that: 請求項２１に記載のエキシマランプにおいて、
前記外部管と前記外部電極との間であって、前記外部管と前記内部管とが管壁を共有している箇所には、エキシマ光に耐性を有する絶縁材が配されている、
ことを特徴とするエキシマランプ。The excimer lamp according to claim 21,
Between the outer tube and the outer electrode, where the outer tube and the inner tube share a tube wall, an insulating material having resistance to excimer light is disposed.
An excimer lamp characterized in that:
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010015825A (en) * 2008-07-03 2010-01-21 Hamamatsu Photonics Kk Light emitting device
JP2016028004A (en) * 2015-07-06 2016-02-25 株式会社エム光・エネルギー開発研究所 Apparatus for forming transparent photo-oxidation layer thin film
JP2017164417A (en) * 2016-03-18 2017-09-21 ウシオ電機株式会社 Phototherapeutic device
CN113178381A (en) * 2020-01-24 2021-07-27 优志旺电机株式会社 Excimer lamp and light irradiation apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010015825A (en) * 2008-07-03 2010-01-21 Hamamatsu Photonics Kk Light emitting device
JP2016028004A (en) * 2015-07-06 2016-02-25 株式会社エム光・エネルギー開発研究所 Apparatus for forming transparent photo-oxidation layer thin film
JP2017164417A (en) * 2016-03-18 2017-09-21 ウシオ電機株式会社 Phototherapeutic device
CN113178381A (en) * 2020-01-24 2021-07-27 优志旺电机株式会社 Excimer lamp and light irradiation apparatus
CN113178381B (en) * 2020-01-24 2024-03-01 优志旺电机株式会社 Excimer lamp and light irradiation device

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