JP2004098195A - Polishing device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨テープをワークに押しつけてワークの研磨を行う研磨装置に関し、更に詳しくは、研磨テープとワークの接点近傍の高精度な位置および研磨圧の調整に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
巻き出しローラ、フィードローラ、巻き取りローラを備え、フィードローラにより研磨テープを巻き出しローラから巻き取りローラに送り、搬送途中で研磨テープをワークに押しつけることによりワークを研磨する研磨装置が使用されている。
【0003】
このような研磨装置においては、研磨テープの搬送張力を一定にするために、巻き取りローラの速度制御、および巻き出しローラのトルク制御を行うことが一般的である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、以下の問題がある。すなわち、研磨テープがワークから受ける摩擦力により、研磨テープが引っ張られたり、滑ったりするなど、研磨を行う加工点で研磨テープとワークの相対速度が一定にならずに、研磨ムラが発生する。
【0005】
また、研磨テープとワークの接点における押しつけ圧を極低い圧力にすることが困難であり、精密に研磨することが困難であるという問題もある。
【0006】
更に、一般的に使用されているボールネジ駆動のワーク搬送装置においては、高精度な位置決め、および滑らかで真っ直ぐな移動が困難であるため、研磨位置の制御と均一な面の確保が難しいという問題もある。
【0007】
係る問題を解決するために、本発明は、ワークから受ける外力が研磨テープの搬送に及ぼす影響を低減し、テープの伸縮や速度変動による研磨ムラを防止し、更に高い精度で研磨可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様は、研磨テープの接触によりワークの表面を研磨する装置において、研磨テープのウェブを保持する巻き出しローラと前記巻き出しローラから前記研磨テープを巻き出すフィードローラと前記研磨テープを巻き取る巻き取りローラとを備えたウェブ搬送装置と、前記研磨テープをワークに押しつけるコンタクトロールと、前記ワークを移動させるワーク搬送装置と、前記ワークと前記研磨テープの接点近傍において常に加工量を一定および一様に保持する加工量調整装置とを設けたものである。
【0009】
本発明の第2の態様は、上述の第1の態様に係わる研磨装置において、前記加工量調整装置を、前記コンタクトローラに近接して設置するフィードローラと、前記巻き出しローラの回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置と、前記フィードローラの速度を制御する速度制御装置とにより構成するようにしたものである。
【0010】
本発明の第3の態様は、上述の第1または2の態様に係る研磨装置において、前記加工量調整装置を、研磨テープをワークに押しつける押しつけ圧を一定に保持する圧力調整装置により構成するようにしたものである。
【0011】
本発明の第4の態様は、上述の第1から3の態様に係わる研磨装置において、前記圧力調整装置を、前記コンタクトローラ両端に配置し該コンタクトローラの押しつけ圧を調整するエアシリンダと、前記エアシリンダの押し側および引き側の各々に供給するエアのバランスを調整するエア供給口とにより構成するようにしたものである。
【0012】
本発明の第5の態様は、上述の第1から4の態様に係わる研磨装置において、前記圧力調整装置を、前記コンタクトローラ両端に配置し該コンタクトローラの押しつけ位置を調整する楔型のストッパーにより構成するようにしたものである。
【0013】
本発明の第6の態様は、上述の第1から5の態様に係わる研磨装置において、前記コンタクトローラが、中心軸を通す中空のコンタクトローラであり、前記コンタクトローラの内径と前記中心軸の間にベアリング状の支持部品を設けたものである。
【0014】
本発明の第7の態様は、上述の第1から6の態様に係る研磨装置において、前記ワーク搬送装置を、リニアモータおよびエアスライダーにより構成するようにしたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示する実施例に基づき説明する。図1は、本発明の研磨装置の基本構成の一実施例である。
【0016】
研磨装置は、巻き出しローラ1、コンタクトローラ2、フィードローラ3、ニップローラ4、巻き取りローラ5、ワーク搬送装置6を備えている。更に、巻き出しローラ1にはトルク制御装置7が、コンタクトローラ2には圧力調整装置8が、フィードローラ3には速度制御装置9が設置されている。
【0017】
研磨装置は、フィードローラ3とニップローラ4により研磨テープ10を挟むことで、巻き出しローラ1から研磨テープ10を送り出し、コンタクトローラ2およびワーク搬送装置6により、研磨テープ10に対して相対的に移動するワーク11に研磨テープ10に押しつけて研磨を行い、最終的に巻き取りローラ5に研磨テープ10を巻き取るように動作する。
【0018】
研磨装置は、巻き出しローラ1の回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置7、およびフィードローラ3の速度を制御する速度制御装置9により、研磨テープ10の搬送張力を一定に保つ。
【0019】
更に、フィードローラ3、およびニップローラ4を、コンタクトローラ2の近傍に設置し、研磨テープ10を巻き取りローラ5よりコンタクトローラ2に近い位置で支持することにより、研磨テープ10の搬送に外力が影響を及ぼす範囲を狭くし、研磨テープ10の張力変動に伴う伸縮や速度変動を低減する。
【0020】
図2は、圧力調整装置8の正面図、および側面図、およびコンタクトローラ4の断面図である。
【0021】
圧力調整装置8は、エアシリンダ12、引き側エア供給口13、押し側エア供給口14、楔型ストッパー15、アクチュエータ16から構成されている。
【0022】
エアシリンダ12は、コンタクトローラ2の両端に設置され、引き側エア供給口13からコンタクトローラ2の自重を打ち消す空気圧を供給し、押し側エア供給口14から実際に研磨を行うために必要な押しつけ圧を供給し、押しつけ圧を高精度に調整を可能にするものである。
【0023】
また、楔型ストッパー15は、アクチュエータ16により楔型ストッパー15の移動量を調整することでコンタクトローラ2の高さを決定し、エアシリンダ12からのエアがコンタクトローラ2を押しつけることで生じるコンタクトローラ2の表面ゴム17の変形量(図2におけるδ)により押しつけ圧を調整することを可能にするものである。
【0024】
また、コンタクトローラ2は、中空構造を有し、コンタクトローラ2の内径と中空に通した中心軸18の間にベアリング状の支持部品19を備えており、支持部品19を中心軸18の任意の位置に設置することにより、中心軸18の両端に荷重が作用した場合のコンタクトローラ2がワーク8に接触する面の圧力分布を一様にすることが可能である。
【0025】
【発明の効果】
以上の通りであるから、本発明に係る研磨装置によれば、加工量調整装置により、テープの伸縮や速度変動を低減し、均一な研磨面を得ることができ、研磨ムラを防止することが可能となる。
【0026】
また、圧力調整装置、リニアモータ、およびエアスライダーにより構成したワーク搬送装置を備えることにより、コンタクトローラの押しつけ圧の調整と、高精度な研磨位置の調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の研磨装置の構成図である。
【図2】本発明の圧力調整装置の正面図および側面図である。
【符号の説明】
1 巻き出しローラ
2 コンタクトロール
3 フィードローラ
4 ニップローラ
5 巻き取りローラ
6 ワーク搬送装置
7 トルク制御装置
8 圧力調整装置
9 速度制御装置
10 研磨テープ
11 ワーク
12 エアシリンダ
13 エア供給口(引き側)
14 エア供給口(押し側)
15 楔型ストッパー
16 アクチュエータ
17 表面ゴム
18 中心軸
19 支持部品[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a polishing apparatus for polishing a work by pressing a polishing tape against the work, and more particularly to a highly accurate position near a contact point between the polishing tape and the work and adjustment of a polishing pressure.
[0002]
[Prior art]
A polishing apparatus that includes an unwind roller, a feed roller, and a take-up roller, uses a feed roller to feed the polishing tape from the unwind roller to the take-up roller, and polishes the work by pressing the polishing tape against the work during conveyance. I have.
[0003]
In such a polishing apparatus, it is general to control the speed of the winding roller and the torque of the unwinding roller in order to keep the transport tension of the polishing tape constant.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, conventionally, there are the following problems. That is, the relative speed between the polishing tape and the work is not constant at the processing point where the polishing is performed, such as when the polishing tape is pulled or slipped due to the frictional force that the polishing tape receives from the work, and polishing unevenness occurs.
[0005]
Further, it is difficult to make the pressing pressure at the contact point between the polishing tape and the work extremely low, and there is also a problem that it is difficult to perform precise polishing.
[0006]
Further, in a generally used ball screw driven work transfer device, since it is difficult to perform high-precision positioning and smooth and straight movement, it is difficult to control a polishing position and to secure a uniform surface. is there.
[0007]
In order to solve such a problem, the present invention reduces the influence of an external force received from a work on the conveyance of a polishing tape, prevents polishing unevenness due to expansion and contraction of the tape and fluctuation in speed, and a polishing apparatus capable of polishing with higher precision. The purpose is to provide.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, a first aspect of the present invention is an apparatus for polishing a surface of a work by contacting a polishing tape, comprising: an unwinding roller for holding a web of a polishing tape; A web transport device having a feed roller for unwinding the polishing tape and a take-up roller for winding the polishing tape, a contact roll for pressing the polishing tape against the work, a work transport device for moving the work, the work and the polishing A processing amount adjusting device for constantly and uniformly holding the processing amount near the contact point of the tape is provided.
[0009]
According to a second aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first aspect, the processing amount adjusting device is provided with a feed roller installed in close proximity to the contact roller and a driving shaft of the unwinding roller. It comprises a torque control device for controlling the force and a speed control device for controlling the speed of the feed roller.
[0010]
According to a third aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first or second aspect described above, the processing amount adjusting device is configured by a pressure adjusting device that keeps a pressing pressure for pressing the polishing tape against the work constant. It was made.
[0011]
A fourth aspect of the present invention is the polishing apparatus according to the first to third aspects described above, wherein the pressure adjusting device is disposed at both ends of the contact roller, and an air cylinder for adjusting a pressing pressure of the contact roller; And an air supply port for adjusting the balance of the air supplied to each of the push side and the pull side of the air cylinder.
[0012]
According to a fifth aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first to fourth aspects, the pressure adjusting device is provided at both ends of the contact roller by a wedge-shaped stopper that adjusts a pressing position of the contact roller. It is configured.
[0013]
According to a sixth aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first to fifth aspects, the contact roller is a hollow contact roller passing through a central axis, and the contact roller is provided between an inner diameter of the contact roller and the central axis. And a bearing-like supporting part.
[0014]
According to a seventh aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first to sixth aspects described above, the work transfer device is configured by a linear motor and an air slider.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described based on the illustrated embodiments. FIG. 1 shows an embodiment of the basic configuration of the polishing apparatus of the present invention.
[0016]
The polishing apparatus includes an
[0017]
The polishing device sends the polishing tape 10 from the
[0018]
The polishing apparatus keeps the transport tension of the polishing tape 10 constant by a torque control device 7 for controlling the driving force of the rotating shaft of the
[0019]
Further, the feed roller 3 and the
[0020]
FIG. 2 is a front view and a side view of the pressure adjusting device 8, and a cross-sectional view of the
[0021]
The pressure adjusting device 8 includes an
[0022]
The
[0023]
Further, the wedge-
[0024]
The
[0025]
【The invention's effect】
As described above, according to the polishing apparatus of the present invention, it is possible to reduce the expansion and contraction and speed fluctuation of the tape, to obtain a uniform polished surface, and to prevent uneven polishing by the processing amount adjusting apparatus. It becomes possible.
[0026]
In addition, the provision of the work transfer device including the pressure adjusting device, the linear motor, and the air slider enables the adjustment of the pressing pressure of the contact roller and the highly accurate adjustment of the polishing position.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a polishing apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a front view and a side view of the pressure adjusting device of the present invention.
[Explanation of symbols]
REFERENCE SIGNS
14 Air supply port (push side)
15 Wedge type stopper 16
Claims (7)
研磨テープのウェブを保持する巻き出しローラと、前記巻き出しローラから前記研磨テープを巻き出すフィードローラと、前記研磨テープを巻き取る巻き取りローラとを備えたウェブ搬送装置と、
前記研磨テープをワークに押しつけるコンタクトロールと、
前記ワークを移動させるワーク搬送装置と、
前記ワークと、前記研磨テープの接点近傍において常に加工量を一定および一様に保持する加工量調整装置と、
を備えることを特徴とする研磨装置。An apparatus for polishing the surface of a work by contacting a polishing tape,
An unwinding roller that holds a web of polishing tape, a feed roller that unwinds the polishing tape from the unwinding roller, and a web transport device that includes a winding roller that winds the polishing tape,
A contact roll for pressing the polishing tape against the work,
A work transfer device for moving the work,
The work, a processing amount adjustment device that constantly and uniformly holds the processing amount near the contact point of the polishing tape,
A polishing apparatus comprising:
前記加工量調整装置が、
前記コンタクトローラに近接して設置するフィードローラと、
前記巻き出しローラの回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置と、
前記フィードローラの速度を制御する速度制御装置と、
から成ることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to claim 1,
The processing amount adjustment device,
A feed roller installed in proximity to the contact roller,
A torque control device for controlling a driving force of a rotating shaft of the unwinding roller,
A speed control device for controlling the speed of the feed roller,
A polishing apparatus, comprising:
前記加工量調整装置が、
研磨テープをワークに押しつける押しつけ圧を一定に保持する圧力調整装置、
から成ることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to claim 1 or 2,
The processing amount adjustment device,
A pressure adjusting device that maintains a constant pressing pressure that presses the polishing tape against the work,
A polishing apparatus, comprising:
前記圧力調整装置が、
前記コンタクトローラ両端に配置し、該コンタクトローラの押しつけ圧を調整するエアシリンダと、
前記エアシリンダの押し側および引き側の各々に供給するエアのバランスを調整するエア供給口と、
から成ることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
The pressure adjusting device,
An air cylinder arranged at both ends of the contact roller and adjusting a pressing pressure of the contact roller,
An air supply port for adjusting the balance of air supplied to each of the push side and the pull side of the air cylinder,
A polishing apparatus, comprising:
前記圧力調整装置が、
前記コンタクトローラ両端に配置し、該コンタクトローラの押しつけ位置および押しつけ圧を調整する楔型のストッパー、
から成ることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein
The pressure adjusting device,
A wedge-shaped stopper which is arranged at both ends of the contact roller and adjusts a pressing position and a pressing pressure of the contact roller;
A polishing apparatus, comprising:
前記コンタクトローラが、
中心軸を通す中空のコンタクトローラであり、
前記コンタクトローラの内径と前記中心軸の間にベアリング状の支持部品、
を備えることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein
The contact roller,
It is a hollow contact roller that passes through the center shaft,
A bearing-like support component between the inner diameter of the contact roller and the central axis,
A polishing apparatus comprising:
前記ワーク搬送装置が、
リニアモータ、およびエアスライダー、
から成ることを特徴とする研磨装置。The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein
The work transfer device,
Linear motors and air sliders,
A polishing apparatus, comprising:
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2002261277A JP2004098195A (en) | 2002-09-06 | 2002-09-06 | Polishing device |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007326212A (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Snu Precision Co Ltd | Device and method for repairing substrate |
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2002
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