JP2004077905A

JP2004077905A - Defect correcting device for color filter

Info

Publication number: JP2004077905A
Application number: JP2002239531A
Authority: JP
Inventors: Junichi Nakatani; 中谷　純一; Hideaki Fujisaki; 藤崎　英明
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2002-08-20
Filing date: 2002-08-20
Publication date: 2004-03-11
Anticipated expiration: 2022-08-20
Also published as: JP4231670B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect correcting device for a color filter which makes it easy to precisely adjust a film thickness and gives a variety of choices of usable color filter film compositions. <P>SOLUTION: The defect correcting device for the color filter has at least a color filter film composition coating means which uses a defect correcting stylus for the color filter, sticks a color filter film composition on the tip of the defect correcting stylus, and brings the stylus into contact with a defect removing part of the color filter to apply the composition and thus corrects a defect of the color filter. The color filter film composition coating means is equipped with a plurality of defect correcting styli where the angles formed by their tip planes and tip side walls range from 90 to 135°, at different angles. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの欠陥を修正する際に用いるカラーフィルタの欠陥修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。
【０００３】
このようなカラーフィルタは、通常透明基板上に上記Ｒ、Ｇ、およびＢからなる画素部が所定のパターンで形成されたカラーフィルタ膜が形成され、このカラーフィルタ膜上に液晶を駆動させるための透明電極が形成されている。
【０００４】
しかしながら、例えばこのカラーフィルタ膜中に数μｍ〜数十μｍのゴミ等の異物が混入し、さらにこの異物が導電性のものであったり、高い誘電率を有するものであったりした場合は、液晶駆動用の電極の短絡や液晶の表示品質の低下等の不具合が生じる可能性がある。したがって、このような異物を製造時に混入させないようにすることが望ましいが、現実問題としてクリーンルーム等の異物の少ない環境で製造した場合でも、完全に異物の付着や内包のないカラーフィルタを製造することは不可能である。
【０００５】
また、近年、カラーフィルタの多面取りが行われるようになってきている。したがって、異物の混入したカラーフィルタを廃棄処分とした場合は、コスト面での問題が大きくなってしまう。
【０００６】
このような観点から、カラーフィルタに付着もしくは内包した異物を除去した後に行われる修正方法として、針先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることにより修正する方法が特開平９−６１２９６号公報に記載されている。
【０００７】
この方法においては、通常一箇所の欠陥除去箇所を修正する際には、一本の欠陥修正用針を用いるが、一度の処理で得られる膜厚は針によって固有に決定されるため、一本の針を用い塗布回数で膜厚を調整する方法では、精密な膜厚の調整は困難であった。また、用いるカラーフィルタ膜用組成物の特性によっては、複数回の塗布を繰り返しても所望の膜厚が得られない場合や、逆に一度の処理で、必要以上の膜厚が得られてしまう場合がある。このように固有の一本の針のみを用いた場合では、対応が困難であるため、必然的に使用できるカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅が狭められていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、精密な膜厚の調整を容易に可能とし、使用可能なカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅が広いカラーフィルタの欠陥修正装置を提供することを主目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、請求項１に記載するように、カラーフィルタの欠陥修正用針を用い、この欠陥修正用針の先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させることにより塗布するカラーフィルタ膜用組成物塗布手段を少なくとも有し、カラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置において、上記カラーフィルタ膜用組成物塗布手段は、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が９０°〜１３５°の範囲内にある欠陥修正用針を異なる角度で複数本搭載していることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置を提供する。
【００１０】
本発明においては、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が上記範囲内にある欠陥修正用針を複数本搭載したカラーフィルタ膜用組成物塗布手段を有するカラーフィルタの欠陥修正装置とすることにより、一箇所の欠陥除去箇所に、上述した角度が異なる欠陥修正用針を１種類以上組み合わせて使用することができるため、調整できる膜厚の範囲が広がり、精度の高い修正を行うことができる。また、欠陥除去箇所の状態に応じて好適な欠陥修正用針の選択の幅が広がるため、製造効率を向上させることができる。さらに、従来使用することが困難であったカラーフィルタ膜用組成物であっても、上記角度が異なる欠陥修正用針の中から選択することにより、使用することが可能となる場合があり、使用可能なカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅を広げることができる。
【００１１】
本発明においてはまた、請求項２に記載するように、カラーフィルタに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程と、上記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、上記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する欠陥除去工程と、上記欠陥除去工程によりカラーフィルタ膜が除去された欠陥除去箇所に、針先端に付着したカラーフィルタ膜用組成物を接触させて塗布し、硬化させることにより欠陥除去箇所を修正する修正工程とを有するカラーフィルタの製造方法において、上記修正工程では、上記請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正装置を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１２】
このように、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いて修正工程を行うことにより、容易に膜厚を調整することが可能となるため、精度の高い修正を行うことができ、高精細なカラーフィルタを製造することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００１４】
Ａ．カラーフィルタの欠陥修正装置
まず、カラーフィルタの欠陥修正装置について説明する。
【００１５】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、カラーフィルタの欠陥修正用針を用い、この欠陥修正用針の先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させることにより塗布するカラーフィルタ膜用組成物塗布手段を少なくとも有し、カラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置において、前記カラーフィルタ膜用組成物塗布手段は、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が９０°〜１３５°の範囲内にある欠陥修正用針を異なる角度で複数本搭載していることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明においては、欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なる欠陥修正用針を、カラーフィルタの欠陥修正装置のカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に複数本搭載させることにより、精密な膜厚の調整を容易に可能とするカラーフィルタの欠陥修正装置を提供することができる。
【００１７】
これは以下の理由による。まず、欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なることにより得られるカラーフィルタ膜用組成物の塗布量が異なる点について説明する。
【００１８】
欠陥修正用針をカラーフィルタ膜の欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端部分に付着しているカラーフィルタ膜用組成物は、針の先端側壁に沿って広がるが、この際、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が大きいと、針の先端部分の表面積も大きくなるため、針の先端側壁に付着するカラーフィルタ膜用組成物の量が多くなる。従って、針を欠陥除去箇所から引き上げる際、欠陥除去箇所に付着せず、針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量も多くなるため、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が大きい場合は、必然的に得られる膜厚が薄くなる。一方、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が小さいと、針の先端部分の表面積は小さくなるため、得られる膜厚は厚くなる。
【００１９】
このように本発明においては、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なることにより得られるカラーフィルタ膜用組成物の塗布量が異なることを利用して、カラーフィルタ膜の欠陥除去箇所の状態に応じて、適切な塗布量を実現できる欠陥修正用針をカラーフィルタ膜用組成物塗布手段から選択することができるため、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置を用いれば、精度の高い修正を行うことができるのである。さらに、用いるカラーフィルタ膜用組成物の特性によっては、複数回の塗布を繰り返しても所望の膜厚が得られない場合や、逆に一度の処理で必要以上の膜厚が得られる場合があったが、このようなカラーフィルタ膜用組成物であっても、本発明におけるカラーフィルタ膜用組成物塗布手段から欠陥修正用針を選択することにより使用することが可能となる場合がある。従って、カラーフィルタ膜用組成物の選択の幅を広げることができるのである。
【００２０】
以下、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置として、カラーフィルタ膜用組成物塗布手段およびそのカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載される欠陥修正用針について説明する。
【００２１】
（欠陥修正用針）
まず、本発明におけるカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載されている欠陥修正用針について説明する。
【００２２】
図１は、本発明における欠陥修正用針の断面図の一例を示している。本発明におけるカラーフィルタの欠陥修正用針３は、先端平面１と先端側壁２とでその先端部分は形成されており、さらに、先端平面１および先端側壁２とが成す角度ａは、それらが成す角度のうち図１に示すようにカラーフィルタの欠陥修正用針３の部材側に形成される角度とする。
【００２３】
なお、ここでいう欠陥修正用針の先端平面とは、針の最先端部分の平面を意味し、さらに、先端側壁とは、針の先端部分の側壁部分を意味している。
【００２４】
本発明における欠陥修正用針としては、その先端平面と先端側壁とが成す角度が、９０°〜１３５°の範囲内であり、その中でも、９０°〜１１５°の範囲内であることが好ましい。上記範囲内にある欠陥修正用針を異なる角度で複数本用意することにより、様々なカラーフィルタ膜の欠陥除去箇所に応じた膜厚の調整が容易に可能であり、さらに、従来では使用することが困難であったカラーフィルタ膜用組成物であっても、上述した範囲内にある欠陥修正用針を選択することにより、使用可能となる場合があることから、カラーフィルタ膜用組成物の選択の幅を広げることができるからである。
【００２５】
さらに、このような欠陥修正用針をカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載させる本数としては、カラーフィルタ膜の欠陥除去箇所の状態に応じて様々な膜厚の調整を容易に可能とする本数であれば特に限定はされない。具体的には、１０本以下の範囲内、その中でも３本〜６本の範囲内であることが好ましい。異なる角度の欠陥修正用針が上記範囲内の本数でカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載されていれば、様々な欠陥除去箇所の状態に応じた膜厚の調整が容易に可能となり、精度の高い修正が行えるからである。
【００２６】
また、各々の欠陥修正用針の角度の差としては、カラーフィルタ膜用組成物の膜厚に好適な差を生じさせる角度の違いであれば特に限定はされない。具体的には、５°置き、その中でも、１０°置きごとであることが好ましい。上記範囲ごとに角度の異なる欠陥修正用針がカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に複数本搭載されていれば、様々な状態の欠陥除去箇所の状態に対応することができ、また、角度の異なる欠陥修正用針を組み合わせて一箇所の欠陥除去箇所の修正を行うことにより、好適な膜厚の調整が可能であるため、精度の高い修正を行うことできるからである。
【００２７】
また、欠陥修正用針の先端平面の径は、カラーフィルタ膜の欠陥除去箇所に針の先端部分を押し込む際に、その押し込みを容易に可能とする径であれば特に限定はされない。具体的には、５μｍ〜１００μｍの範囲内、その中でも１０μｍ〜７０μｍの範囲内であることが好ましい。針の先端平面の径によっても塗布されるカラーフィルタ膜用組成物の量は変化するが、上記範囲内の径を有する欠陥修正用針であれば、好適な塗布量を得ることが可能であるからである。
【００２８】
また、本発明においては、針の先端平面と先端側壁とが成す角度と、先端平面の径が異なった針を組み合わせて、カラーフィルタ膜用組成物塗布手段に複数本搭載されている場合であっても良い。このように角度および径が異なる欠陥修正用針が複数本搭載されることにより、様々な塗布径の修正に対して精密な膜厚の調整を針交換を行うことなく一台の装置で行うことができるからである。また、使用可能なカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅もさらに広げることができる。
【００２９】
このような欠陥修正用針に用いる材料としては、加工が容易であり剛性を有する材料であれば特に限定はされない。具体的には、鉄、アルミニウムなどの金属類等を挙げることができる。
【００３０】
（カラーフィルタ膜用組成物塗布手段）
次に、本発明におけるカラーフィルタ膜用組成物塗布手段について説明する。本発明におけるカラーフィルタ膜用組成物塗布手段とは、上述した欠陥修正用針が搭載されており、この欠陥修正用針の先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させることによりカラーフィルタ膜用組成部を塗布する手段であり、さらに、搭載されている欠陥修正用針は、その針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なるものが複数本搭載されていることを特徴とする。
【００３１】
このようなカラーフィルタ膜用組成物塗布手段とすることにより、カラーフィルタの一箇所の欠陥除去箇所を修正する際、異なる角度の欠陥修正用針を１種類以上組み合わせて用いることができることから、欠陥除去箇所の状態に応じた様々な膜厚の調整を可能とする精度の高い修正が可能となる。また、従来、複数回の塗布を繰り返しても所望の膜厚を得ることができなかったカラーフィルタ膜用組成物や、逆に一度の処理で必要以上の膜厚となってしまうようなカラーフィルタ膜用組成物の場合は、一本の欠陥修正用針では、対応することは困難であったが、本発明においては、カラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載されている角度の異なる欠陥修正用針の中から適切なものを選択することにより、従来用いることが難しかったカラーフィルタ膜用組成物の使用が可能となる場合があり、使用できるカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅を広げることができる。
【００３２】
Ｂ．カラーフィルタの製造方法
次にカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００３３】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程と、前記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する欠陥除去工程と、前記欠陥除去工程によりカラーフィルタ膜が除去された欠陥除去箇所に、針先端に付着したカラーフィルタ膜用組成物を接触させて塗布し、硬化させることにより欠陥除去箇所を修正する修正工程とを有するカラーフィルタの製造方法において、前記修正工程では、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いることを特徴とするものである。
【００３４】
本発明においては、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いることにより、修正工程において、精密な膜厚の調整が可能となり、精度の高い修正を効率良く行うことができることから、高精細なカラーフィルタを製造することができる。
【００３５】
このような本発明のカラーフィルタの製造方法について図２を用いて説明する。まず、カラーフィルタ製造工程中に、図２（ａ）に示すように、透明基板１１上に形成された、カラーフィルタ膜１２の内部若しくはその表面に存在する異物１３等の欠陥を検出する欠陥検出工程を行う。
【００３６】
なお、ここでいうカラーフィルタ膜とは画素部またはブラックマトリックスを意味する。図２では、カラーフィルタ膜１２の中でも画素部１２ａに異物１３等の欠陥が存在する場合を示しているが、本発明においては、ブラックマトッリクス１２ｂの内部若しくはその表面に異物１３等の欠陥が存在する場合も含むものである。
【００３７】
次に、欠陥検出工程により検出された上記異物１３およびその近傍に存在するカラーフィルタ膜１２にレーザ光を照射し、上記異物１３およびその近傍のカラーフィルタ膜１２を除去する欠陥除去工程を行い、図２（ｂ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４が形成される。次に、図２（ｃ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４にカラーフィルタ膜用組成物を、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いて塗布し、硬化させる修正工程を行う。
【００３８】
以下、各工程について説明する。
【００３９】
ａ．欠陥検出工程
まず、本発明における欠陥検出工程について説明する。本発明における欠陥検出工程とは、カラーフィルタに存在する欠陥を検出する工程であり、例えば図２（ａ）に示すように、カラーフィルタの透明基板１１上に形成された、カラーフィルタ膜１２中もしくはその表面に存在する異物１３等の欠陥を検出する工程である。
【００４０】
なお、ここでいう欠陥とは、カラーフィルタ膜の不具合を意味するものであり、具体的には、カラーフィルタ膜の中または表面に存在する異物や、表示品質を低下させるようなカラーフィルタ膜自体の凹凸等を挙げることができる。
【００４１】
ここで、本発明の欠陥検出工程は、カラーフィルタの製造方法の工程の中でも、透明基板上にカラーフィルタ膜が形成された工程後であり、保護層等が形成される工程前に行われることから、本発明でいうカラーフィルタとは、透明基板と、その透明基板上に形成されたカラーフィルタ膜、例えば画素部またはブラックマトリクスを有するものをいう。
【００４２】
本発明に用いられる透明基板としては、一般的に透明基板として用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を挙げることができる。
【００４３】
また、本発明に用いられる画素部とは、単色からなる場合や、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色といった複数色からなる場合であってもよく、これらが種々のパターン、例えばモザイク状、トライアングル状、ストライプ状等のパターンで形成されるものである。本発明のカラーフィルタの製造方法における、この画素部の形成方法としては、従来より行われている顔料分散法やインクジェット法による印刷法等を用いることが可能であり、本発明においては特に限定されるものではない。
【００４４】
さらに、本発明において用いられるブラックマトリックスとは、上記画素部を形成する画素部間に配置され、光を遮るために形成されたものである。上記透明基材上にブラックマトリックスを製造する方法は、特に限定されるものではなく、例えばスパッタリング法、真空蒸着法等により、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングすることにより形成する方法等を挙げることができる。
【００４５】
また、上記ブラックマトリックスとしては、樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層であってもよく、用いられる樹脂バインダとしては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カゼイン、セルロース等の樹脂を１種または２種以上混合したものや、感光性樹脂、さらにはＯ／Ｗエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等を用いることができる。このような樹脂性ブラックマトリックスのパターニングの方法は、フォトリソ法、印刷法等一般的に用いられている方法を用いることができる。
【００４６】
なお、本発明のカラーフィルタの製造方法で最終的に得られるカラーフィルタとしては、上述した透明基板上にカラーフィルタ膜、例えば画素部またはブラックマトリクスだけでなく、保護層、透明電極、または配向層等を有するものも含まれる。
【００４７】
ここで、本発明における欠陥検出方法は、上記欠陥を検出することが可能な方法であれば、特に限定されるものではないが、例えばハロゲンランプ光を照射し、その反射光もしくは透過光をＣＣＤライセンサにて受光し、受光した結果を画像処理して欠陥部分を抽出するような検査装置を用いる方法等を挙げることができる。この工程において、欠陥の存在が確認された場合は、その欠陥のカラーフィルタ内での位置が測定される。
【００４８】
ｂ．欠陥除去工程
次に、本発明における欠陥除去工程について説明する。本発明における欠陥除去工程とは、上記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する工程である。例えば図２（ａ）に示すように、上記欠陥検出工程により検出されたカラーフィルタ膜１２中またはその表面に存在する異物１３等の欠陥およびその異物１３の近傍に存在するカラーフィルタ膜１２にレーザ光を照射し、図２（ｂ）に示すように上記異物およびその近傍にあるカラーフィルタ膜１２が除去されたカラーフィルタ膜除去部１４とする工程である。
【００４９】
本発明における欠陥除去工程に用いられるレーザ光は、カラーフィルタ膜と共に欠陥を除去することができるレーザ光であれば特に限定されるものではない。例えば、エキシマ、ＹＡＧ等のレーザを用いることが可能であり、ＹＡＧは、第２高調波だけでなく、ＹＡＧ基本波、ＹＡＧ第３高調波、ＹＡＧ第４高調波等を用いてもよい。
【００５０】
ｃ．修正工程
次に、本発明における修正工程について説明する。本発明における修正工程とは、上述した欠陥除去工程で、欠陥と共に欠陥の近傍にあるカラーフィルタ膜が除去されたことにより、例えば図２（ｂ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４として、カラーフィルタ膜に白抜きが生じており、このカラーフィルタ膜除去部１４に、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いてカラーフィルタ膜除去部１４にカラーフィルタ膜用組成物を塗布することによりカラーフィルタ膜除去部を修正する工程である。
【００５１】
本工程における修正方法について具体的に図３を用いて説明する。
【００５２】
図３は、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置を用いた修正工程の一例を示している。まず、図３（ａ）に示すように、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置のカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載されている欠陥修正用針３にカラーフィルタ膜用組成物４を付着させる。次に、上記欠陥除去工程により異物等の欠陥が除去され、カラーフィルタ膜除去部１４が形成されているカラーフィルタに、カラーフィルタ膜用組成物４が付着している欠陥修正用針３を接触させ、カラーフィルタ膜用組成物４を塗布し（図３（ｂ）参照）、欠陥修正用針３をカラーフィルタから引き離す。
【００５３】
さらに、欠陥修正用針３とは、針の先端平面および先端側壁が成す角度が異なり、上述したカラーフィルタの欠陥修正装置のカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に搭載されている別の欠陥修正用針３´を用い同様に修正を行う。まず、図３（ｃ）に示すように、欠陥修正用針３´の先端にカラーフィルタ膜用組成物４を付着させる。さらに、このような欠陥修正用針３´を、ある程度まで修正が進んでいるカラーフィルタ膜除去部１４に接触させ、さらにカラーフィルタ膜用組成物４を塗布する（図３（ｄ）参照）。最後に欠陥修正用針３´を引き離し、カラーフィルタ膜用組成物４を硬化させることによりカラーフィルタ膜除去部１４が修正されたカラーフィルタを得る（図３（ｅ）参照）。
【００５４】
このような本発明における修正工程においては、所望の膜厚が得られるまで、上述した修正工程を繰り返すことにより、精度の高い修正を行うことが可能である。また、図３には、異なる欠陥修正用針を用いた場合を示したが、一本の針を用いて複数回の塗布を繰り返す場合や、また、一回のみの修正工程によってカラーフィルタ膜除去部の修正を行う場合であっても良い。
【００５５】
本工程においては、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を一種類以上、すなわち、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なる針を一種類以上用いることにより、このような角度が異なるために生じる塗布量の違いを利用して、僅かな膜厚の違いによる調整を可能とし、修正の精度を向上させることができる。また、針の先端平面と先端側壁とが成す角度の違いにより得られる膜厚が違うことから、カラーフィルタ膜用組成物の特性に応じた欠陥修正用針の選択の幅が広がることにより、同時にカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅も広がる。
【００５６】
なお、ここで用いているカラーフィルタの欠陥修正装置は、上述したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００５７】
また、本発明に用いられるカラーフィルタ膜用組成物とは、例えば通常の画素部またはブラックマトリクスに用いられる塗料であっても良く、また、本発明においては、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なる針を複数取り揃えていることから、従来では使用することが困難であったカラーフィルタ膜用組成物も使用することができる。さらに、塗布性を向上させるために粘度を調整した専用塗料等を用いてもよく、さらに専用の修復剤であってもよいが、特に紫外線硬化性塗料を用いることが好ましい。紫外線硬化性塗料を用いることにより、カラーフィルタ膜に塗料を塗布後、紫外線を照射することにより、素早く塗料を硬化させることができ、すぐに次の工程に送ることができる。したがって、効率よくカラーフィルタを製造することができるからである。また、紫外線硬化性塗料の硬化に用いられる紫外光は、インキの硬化感度にも影響されるが、通常紫外線の積算路光量が、０．１Ｊ／ｃｍ^２〜５０／ｃｍ^２であることが好ましく、中でも０．５Ｊ／ｃｍ^２〜２Ｊ／ｃｍ^２であることが好ましい。
【００５８】
また、この紫外線光源を有する紫外線照射装置は、紫外線硬化型カラーフィルタ膜用組成物を硬化させることが可能な紫外線を照射することができる紫外線照射装置であれば特に限定されるものではない。例えば、スポットＵＶ照射装置や、ランプハウスにシャッターを用いた装置等を挙げることができる。
【００５９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６０】
【実施例】
以下に実施例を示し、本発明をさらに説明する。
【００６１】
［実施例］
ガラス基板上にフォトリソグラフィー法を用いてアクリル系のカラーフィルタ膜を形成したカラーフィルタ表面上に内包した異物をハロゲンランプを光源とし、その反射光により異物を検出した。次にＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□３０μｍにて数パルス照射し、レジスト部を除去した後、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が、１０５°および１１２．５°の針を用いて塗布した。１０５°の針では３回の塗布で膜厚が２．０μｍ、塗布径が５３μｍとなり、１１２．５°の針では３回の塗布で膜厚が１．６μｍ、塗布径が５３μｍとなり、針の先端平面と先端側壁とが成す角度を変更することにより、塗布膜厚を調整した。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が上記範囲内にある欠陥修正用針を複数本搭載したカラーフィルタ膜用組成物塗布手段を有するカラーフィルタの欠陥修正装置とすることにより、一箇所の欠陥除去箇所に、上述した角度が異なる欠陥修正用針を組み合わせて使用することができるため、調整できる膜厚の範囲が広がり、精度の高い修正を行うことができる。さらに、上述した角度が異なる欠陥修正用針は、針の先端部分にカラーフィルタ膜用組成物を付着させてカラーフィルタ膜の欠陥除去箇所に塗布する際、各々の針によって得られる膜厚が異なるため、従来、使用することが困難であった、カラーフィルタ膜用組成物であっても、欠陥修正用針をカラーフィルタ膜用組成物の特性に応じて選択することにより、使用することが可能となるため、使用可能なカラーフィルタ膜用組成物の幅が広がるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針の先端部分の一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図３】本発明の修正工程の一例を示す工程図である。
【符号の説明】
１　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面
２　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端側壁
３　…　カラーフィルタの欠陥修正用針
ａ　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面および先端側壁とが成す角度[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a color filter defect correction apparatus used when correcting a color filter defect.
[0002]
[Prior art]
In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal display devices, especially color liquid crystal display devices, tends to increase. The color liquid crystal display device is provided with a color filter having a coloring pattern of three primary colors of red (R), green (G), and blue (B), and R, G, and The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrode corresponding to each pixel of B, and light passes through each pixel of R, G, and B to perform color display.
[0003]
In such a color filter, a color filter film in which a pixel portion composed of R, G, and B is formed in a predetermined pattern on a transparent substrate is formed, and a liquid crystal is driven on the color filter film. A transparent electrode is formed.
[0004]
However, for example, when foreign matter such as dust of several μm to several tens of μm is mixed in the color filter film, and the foreign matter is conductive or has a high dielectric constant, Problems such as short-circuiting of the driving electrodes and deterioration of the display quality of the liquid crystal may occur. Therefore, it is desirable to prevent such foreign matter from being mixed during the manufacturing process. However, as a practical problem, even when the color filter is manufactured in an environment with a small amount of foreign material, such as a clean room, it is necessary to manufacture a color filter that is completely free of foreign matter and inclusion. Is impossible.
[0005]
In recent years, multiple color filters have been obtained. Therefore, if the color filter mixed with the foreign matter is disposed of, the problem in terms of cost is increased.
[0006]
From such a point of view, as a correction method performed after removing the foreign matter adhered or included in the color filter, a color filter film composition is adhered to the tip of the needle, and the color filter film composition is applied by contacting the color filter with a defect removal portion. Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-61296 describes a method of correcting the composition by curing.
[0007]
In this method, a single defect correction needle is usually used to correct one defect removal part. However, since the film thickness obtained in one process is uniquely determined by the needle, one defect correction needle is used. In the method of adjusting the film thickness by the number of times of application using the needle, it was difficult to precisely adjust the film thickness. In addition, depending on the characteristics of the composition for a color filter film to be used, a desired film thickness cannot be obtained even if the coating is repeated a plurality of times, or conversely, a single treatment may result in an unnecessary film thickness. There are cases. In the case where only one unique needle is used, it is difficult to cope with the problem, and the range of selection of a color filter film composition that can be used inevitably has been narrowed.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of the above problems, and enables a color filter defect repairing apparatus that enables easy adjustment of a precise film thickness and has a wide selection range of usable color filter film compositions. Its primary purpose is to provide.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, as described in claim 1, a color filter film needle is used, and a color filter film composition is adhered to the tip of the color filter needle. A color filter film composition applying means for applying the composition for color filter film by applying the color filter film by contacting the color filter film with the defect removing portion of the color filter. The defect repairing device for a color filter, wherein a plurality of defect repairing needles at different angles, each of which has an angle formed by the distal end plane of the needle and the distal side wall within a range of 90 ° to 135 °, are mounted. I will provide a.
[0010]
In the present invention, a defect correcting device for a color filter having a color filter film composition applying means mounted with a plurality of defect correcting needles in which the angle formed between the distal end flat surface and the distal end side wall is within the above range is provided. As a result, one or more types of defect correction needles having different angles described above can be used in combination at one defect removal position, so that the range of the film thickness that can be adjusted is widened and highly accurate correction can be performed. . Further, since the range of selection of a suitable needle for defect correction can be widened according to the state of the defect removal portion, manufacturing efficiency can be improved. Furthermore, even if it is a composition for a color filter film which has been difficult to use conventionally, it may be possible to use the composition by selecting from among the defect correction needles having different angles. The range of possible color filter film compositions can be broadened.
[0011]
In the present invention, as described in claim 2, a defect detection step of detecting a defect present in the color filter, and irradiating a laser beam to a region where the defect detected by the defect detection step is present, A defect removing step of removing the defects together with the color filter film; and a color filter film composition attached to the tip of the needle in contact with the defect removed portion where the color filter film has been removed by the defect removing step, and applying and curing the composition. 2. A method of manufacturing a color filter, comprising the step of: correcting a defect-removed portion by correcting the defect by using the apparatus for correcting a defect of a color filter according to claim 1. I will provide a.
[0012]
As described above, by performing the repairing process using the above-described color filter defect repairing apparatus, it is possible to easily adjust the film thickness. A filter can be manufactured.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
A defect repairing apparatus for a color filter according to the present invention and a method for manufacturing a color filter using the same will be described.
[0014]
A. First, a defect repairing device for a color filter will be described.
[0015]
The color filter defect correcting device of the present invention uses a color filter defect correcting needle, attaches a color filter film composition to the tip of the defect correcting needle, and brings the composition into contact with a defect removing portion of the color filter. A color filter film defect applying apparatus for correcting a defect of the color filter, wherein the color filter film composition applying means comprises a needle tip plane and a tip side wall. And a plurality of defect correction needles at different angles are mounted at angles between 90 ° and 135 °.
[0016]
In the present invention, by mounting a plurality of defect correction needles having different angles formed by the tip flat surface and the tip side wall of the defect correction needle in the color filter film composition applying means of the color filter defect correction device, It is possible to provide a color filter defect correction device that can easily perform precise film thickness adjustment.
[0017]
This is for the following reason. First, the difference in the application amount of the composition for a color filter film obtained by the difference between the angle formed by the tip flat surface and the tip side wall of the defect correction needle will be described.
[0018]
When the defect correction needle is pushed into the defect removal portion of the color filter film, the color filter film composition adhering to the tip of the needle spreads along the tip side wall of the needle. If the angle formed between the tip plane and the tip side wall is large, the surface area of the tip part of the needle also becomes large, so that the amount of the color filter film composition adhering to the tip side wall of the needle increases. Therefore, when the needle is pulled up from the defect removing portion, the amount of the color filter film composition pulled up together with the needle does not adhere to the defect removing portion and the amount of the composition for the color filter film also increases. Inevitably, the obtained film thickness becomes thin. On the other hand, if the angle formed between the plane of the tip of the needle and the side wall of the tip is small, the surface area of the tip of the needle is small, and the obtained film thickness is large.
[0019]
Thus, in the present invention, utilizing the difference in the amount of application of the composition for the color filter film obtained by the difference between the angle formed by the tip flat surface and the tip side wall of the needle, the defect removal portion of the color filter film is used. According to the state, it is possible to select a defect correcting needle capable of realizing an appropriate coating amount from the color filter film composition applying means, and therefore, if the color filter defect correcting apparatus of the present invention is used, highly accurate correction can be performed. You can do it. Further, depending on the characteristics of the composition for a color filter film to be used, a desired film thickness may not be obtained even if coating is repeated a plurality of times, or conversely, a film thickness more than necessary may be obtained by a single treatment. However, such a composition for a color filter film may be able to be used by selecting a needle for defect correction from the means for applying the composition for a color filter film in the present invention. Therefore, the range of selection of the composition for a color filter film can be expanded.
[0020]
Hereinafter, as a color filter defect correcting apparatus of the present invention, a color filter film composition applying means and a defect correcting needle mounted on the color filter film composition applying means will be described.
[0021]
(Defect correction needle)
First, the defect correcting needle mounted on the color filter film composition applying means of the present invention will be described.
[0022]
FIG. 1 shows an example of a cross-sectional view of a defect correction needle according to the present invention. The tip 3 of the defect correcting needle 3 of the color filter according to the present invention is formed by the tip flat surface 1 and the tip side wall 2, and the angle a formed by the tip flat surface 1 and the tip side wall 2 is formed by them. The angle is an angle formed on the member side of the defect correction needle 3 of the color filter as shown in FIG.
[0023]
Here, the tip plane of the defect correcting needle means the plane of the tip part of the needle, and the tip side wall means the side wall part of the tip part of the needle.
[0024]
The angle formed by the tip flat surface and the tip side wall of the needle for defect correction in the present invention is in the range of 90 ° to 135 °, and preferably in the range of 90 ° to 115 °. By preparing a plurality of defect correction needles within the above-mentioned range at different angles, it is possible to easily adjust the film thickness in accordance with the defect removal portions of various color filter films. Even if the composition for a color filter film was difficult, by selecting a needle for defect correction within the above-mentioned range, it may be possible to use the needle, so that the selection of the composition for a color filter film This is because it is possible to widen the width of.
[0025]
Further, the number of such defect correction needles to be mounted on the color filter film composition applying means is such that the number of the needles can be variously adjusted easily according to the state of the defect removal portion of the color filter film. If so, there is no particular limitation. Specifically, the number is preferably within a range of 10 or less, and more preferably within a range of 3 to 6 lines. If the defect correction needles at different angles are mounted on the color filter film composition applying means in the number within the above range, it is possible to easily adjust the film thickness in accordance with the state of various defect removal portions, and the accuracy is improved. This is because a highly accurate correction can be made.
[0026]
The difference between the angles of the respective defect correction needles is not particularly limited as long as the difference is such as to cause a suitable difference in the film thickness of the color filter film composition. Specifically, it is preferable to set every 5 °, and in particular, every 10 °. If a plurality of defect correcting needles having different angles for each of the above ranges are mounted on the color filter film composition applying means, it is possible to cope with various states of the defect removing portion, and also to have different angles. This is because a suitable adjustment of the film thickness can be performed by correcting a single defect removing portion by combining the defect correcting needles, and thus a highly accurate correction can be performed.
[0027]
In addition, the diameter of the plane of the tip of the defect correction needle is not particularly limited as long as the tip of the needle can be easily pushed into the defect removal portion of the color filter film when the needle is pushed. Specifically, it is preferably in the range of 5 μm to 100 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 70 μm. The amount of the composition for a color filter film to be applied varies depending on the diameter of the tip end plane of the needle. However, a defect-correcting needle having a diameter within the above range can provide a suitable application amount. Because.
[0028]
Further, in the present invention, a plurality of needles having different angles of the tip plane and the tip side wall and the diameter of the tip plane are combined, and a plurality of needles are mounted on the color filter film composition applying means. May be. By mounting a plurality of defect correction needles having different angles and diameters as described above, it is possible to perform precise film thickness adjustment for various coating diameter corrections with a single device without replacing the needles. Because it can be. Further, the range of selection of usable color filter film compositions can be further expanded.
[0029]
The material used for such a defect correction needle is not particularly limited as long as it is a material that can be easily processed and has rigidity. Specific examples include metals such as iron and aluminum.
[0030]
(Means for applying composition for color filter film)
Next, the means for applying the composition for a color filter film in the present invention will be described. The color filter film composition applying means in the present invention is provided with the above-described defect correction needle, and attaches the color filter film composition to the tip of the defect correction needle to remove the color filter film defect. This is a means for applying the color filter film composition by contacting the removed portion, and furthermore, a plurality of defect correction needles having different angles formed by the tip flat surface and the tip side wall of the needle are provided. It is characterized by being mounted.
[0031]
By using such a color filter film composition applying means, it is possible to use one or more kinds of defect correcting needles having different angles in combination when correcting one defect removing portion of the color filter. It is possible to perform highly accurate correction that enables adjustment of various film thicknesses according to the state of the removed portion. Further, conventionally, a composition for a color filter film, which could not obtain a desired film thickness even after repeated application a plurality of times, or a color filter which, on the contrary, becomes unnecessarily thick in a single treatment. In the case of the film composition, it was difficult to cope with one defect correction needle, but in the present invention, the defect correction with different angles mounted on the color filter film composition applying means is performed. By selecting an appropriate one from among the needles for use, it may be possible to use a composition for a color filter membrane which has been difficult to use in the past, and the range of selection of a composition for a color filter membrane that can be used is expanded. be able to.
[0032]
B. Next, a method for manufacturing a color filter will be described.
[0033]
The method for manufacturing a color filter according to the present invention includes a defect detection step of detecting a defect present in the color filter, and irradiating a laser beam to a region where the defect detected in the defect detection step is present, to remove the defect from the color filter film. A defect removing step of removing the color filter film adhered to the tip of the needle in contact with the defect removing portion from which the color filter film has been removed by the defect removing step, and applying and curing the composition. And a repairing step of repairing the color filter. The repairing step uses the above-described color filter defect repairing apparatus.
[0034]
In the present invention, by using the above-described color filter defect correcting apparatus, it is possible to precisely adjust the film thickness in the repairing process, and it is possible to perform highly accurate repair efficiently. Can be manufactured.
[0035]
A method for manufacturing such a color filter of the present invention will be described with reference to FIG. First, during the color filter manufacturing process, as shown in FIG. 2A, a defect detection for detecting a defect such as a foreign substance 13 existing inside or on the surface of the color filter film 12 formed on the transparent substrate 11. Perform the process.
[0036]
Here, the color filter film means a pixel portion or a black matrix. FIG. 2 shows a case where a defect such as a foreign substance 13 exists in the pixel portion 12a even in the color filter film 12, but in the present invention, a defect such as the foreign substance 13 exists inside or on the surface of the black matrix 12b. This includes cases where they exist.
[0037]
Next, a defect removing step of irradiating the foreign matter 13 detected in the defect detecting step and the color filter film 12 existing in the vicinity thereof with laser light to remove the foreign matter 13 and the color filter film 12 in the vicinity thereof is performed. As shown in FIG. 2B, a color filter film removing part 14 is formed. Next, as shown in FIG. 2C, a color filter film composition is applied to the color filter film removing section 14 by using the above-described color filter defect repair apparatus, and a curing step of curing is performed.
[0038]
Hereinafter, each step will be described.
[0039]
a. Defect Detection Step First, the defect detection step in the present invention will be described. The defect detection step in the present invention is a step of detecting a defect existing in a color filter. For example, as shown in FIG. 2A, a defect detection step is performed on a color filter film 12 formed on a transparent substrate 11 of the color filter. Alternatively, this is a step of detecting a defect such as the foreign substance 13 existing on the surface.
[0040]
Here, the defect means a defect of the color filter film, specifically, a foreign substance present in or on the color filter film, or a color filter film itself that deteriorates display quality. And the like.
[0041]
Here, the defect detection step of the present invention is performed after the step of forming the color filter film on the transparent substrate and before the step of forming the protective layer or the like, among the steps of the color filter manufacturing method. Therefore, the color filter according to the present invention refers to a color filter having a transparent substrate and a color filter film formed on the transparent substrate, for example, a pixel portion or a black matrix.
[0042]
The transparent substrate used in the present invention is not particularly limited as long as it is generally used as a transparent substrate. For example, a flexible substrate such as quartz glass, Pyrex (registered trademark), or a synthetic quartz plate may be used. Transparent rigid materials, or flexible transparent flexible materials such as transparent resin films and optical resin plates.
[0043]
Further, the pixel portion used in the present invention may be a case of a single color or a case of a plurality of colors such as three colors of red (R), green (G), and blue (B). It is formed in various patterns, for example, mosaic, triangle, stripe, etc. In the method of manufacturing the color filter of the present invention, as the method of forming the pixel portion, a conventional pigment dispersion method, a printing method using an inkjet method, or the like can be used, and the present invention is not particularly limited. Not something.
[0044]
Further, the black matrix used in the present invention is arranged between pixel portions forming the pixel portion and formed to block light. The method of producing the black matrix on the transparent substrate is not particularly limited, and for example, a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 ° is formed by, for example, a sputtering method or a vacuum evaporation method, and the thin film is formed. A method of forming by patterning and the like can be given.
[0045]
The black matrix may be a layer in which light-shielding particles such as carbon fine particles, metal oxides, inorganic pigments, and organic pigments are contained in a resin binder.The resin binder used may be a polyimide resin, An acrylic resin, an epoxy resin, polyacrylamide, polyvinyl alcohol, gelatin, casein, a mixture of two or more resins such as cellulose, a photosensitive resin, and a resin composition of an O / W emulsion type, for example, Emulsified reactive silicone can be used. As a method for patterning such a resinous black matrix, a generally used method such as a photolithography method and a printing method can be used.
[0046]
The color filter finally obtained by the method for manufacturing a color filter of the present invention includes a color filter film on the transparent substrate described above, for example, not only a pixel portion or a black matrix, but also a protective layer, a transparent electrode, or an alignment layer. Etc. are also included.
[0047]
Here, the defect detection method in the present invention is not particularly limited as long as it is a method capable of detecting the above-mentioned defect. For example, a halogen lamp light is irradiated, and the reflected light or the transmitted light is subjected to CCD. A method using an inspection device that receives light with a licensor and performs image processing of the received light to extract a defective portion can be used. In this step, if the presence of a defect is confirmed, the position of the defect in the color filter is measured.
[0048]
b. Defect Removal Step Next, the defect removal step in the present invention will be described. The defect removing step in the present invention is a step of irradiating a laser beam to a region where the defect detected in the defect detecting step exists, and removing the defect together with the color filter film. For example, as shown in FIG. 2A, a defect such as the foreign matter 13 existing in or on the surface of the color filter film 12 detected in the defect detecting step and the color filter film 12 existing in the vicinity of the foreign matter 13 This is a step of irradiating light to form the color filter film removing section 14 from which the foreign matter and the color filter film 12 in the vicinity thereof are removed as shown in FIG.
[0049]
The laser beam used in the defect removing step in the present invention is not particularly limited as long as the laser beam can remove the defect together with the color filter film. For example, a laser such as an excimer or a YAG can be used. As the YAG, not only the second harmonic, but also a YAG fundamental wave, a YAG third harmonic, a YAG fourth harmonic, or the like may be used.
[0050]
c. Correction Step Next, the correction step in the present invention will be described. The repairing step in the present invention is a step of removing the color filter film near the defect together with the defect in the above-described defect removing step, for example, as shown in FIG. The color filter film is whitened, and the color filter film removing unit 14 is coated with the color filter film composition using the above-described color filter defect correction device. This is a step of correcting the color filter film removing unit.
[0051]
The correction method in this step will be specifically described with reference to FIG.
[0052]
FIG. 3 shows an example of a repairing process using the above-described color filter defect repairing apparatus. First, as shown in FIG. 3A, the color filter film composition 4 is attached to the defect correction needle 3 mounted on the color filter film composition application means of the above-described color filter defect correction apparatus. . Next, a defect such as a foreign substance is removed by the above-described defect removing step, and the defect correcting needle 3 to which the color filter film composition 4 is attached is brought into contact with the color filter on which the color filter film removing portion 14 is formed. Then, the color filter film composition 4 is applied (see FIG. 3B), and the defect correction needle 3 is separated from the color filter.
[0053]
Further, the defect correction needle 3 differs from the defect correction needle 3 in the angle formed by the tip flat surface and the tip side wall, and has another defect correction needle mounted on the color filter film composition applying means of the color filter defect correction device described above. The correction is made in the same manner using the needle 3 '. First, as shown in FIG. 3C, the color filter film composition 4 is attached to the tip of the defect correction needle 3 '. Further, such a defect correction needle 3 'is brought into contact with the color filter film removing portion 14 which has been corrected to some extent, and the color filter film composition 4 is further applied (see FIG. 3D). Finally, the needle 3 'for defect correction is separated and the composition 4 for a color filter film is cured to obtain a color filter in which the color filter film removing section 14 has been corrected (see FIG. 3E).
[0054]
In such a repairing step of the present invention, it is possible to perform highly accurate repairing by repeating the above-described repairing step until a desired film thickness is obtained. FIG. 3 shows a case in which different needles for defect correction are used. However, a case where coating is repeated a plurality of times using one needle, or a case where a color filter film is removed by only one correction process. The modification of the section may be performed.
[0055]
In this step, one or more types of needles for defect correction of the color filter described above, that is, by using one or more types of needles having different angles formed by the tip flat surface and the tip side wall, such angles are different. By utilizing the difference in the amount of coating generated in the above, adjustment can be made by a slight difference in film thickness, and the accuracy of correction can be improved. In addition, since the obtained film thickness is different due to the difference in angle formed between the tip plane and the tip side wall of the needle, the range of selection of the defect correction needle according to the characteristics of the composition for the color filter film is widened, and at the same time, The range of choice of the composition for the color filter film is also widened.
[0056]
The defect repairing device for the color filter used here is the same as that described above, and the description is omitted here.
[0057]
Further, the composition for a color filter film used in the present invention may be, for example, a paint used for a normal pixel portion or a black matrix. Since a plurality of needles having different angles are provided, a composition for a color filter film which has been difficult to use in the past can also be used. Furthermore, a dedicated paint or the like whose viscosity has been adjusted to improve applicability may be used, or a dedicated repair agent may be used, but it is particularly preferable to use an ultraviolet curable paint. By using an ultraviolet-curable coating material, the coating material can be quickly cured by irradiating ultraviolet light after applying the coating material to the color filter film, and can be immediately sent to the next step. Therefore, a color filter can be efficiently manufactured. Further, the ultraviolet light used for curing the ultraviolet curable paint is also affected by the curing sensitivity of the ink, but usually, the integrated path light amount of ultraviolet light is preferably 0.1 J / cm ² to 50 / cm ^2. it is preferably Among them ^{^{0.5J / cm 2 ~2J / cm 2}} .
[0058]
The ultraviolet irradiation device having the ultraviolet light source is not particularly limited as long as it is an ultraviolet irradiation device that can irradiate ultraviolet light capable of curing the composition for an ultraviolet-curable color filter film. For example, a spot UV irradiation device, a device using a shutter in a lamp house, and the like can be given.
[0059]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and has the same effect. Within the technical scope of
[0060]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be further described with reference to Examples.
[0061]
[Example]
A foreign substance included on the surface of a color filter in which an acrylic color filter film was formed on a glass substrate by photolithography using a halogen lamp as a light source, and the foreign substance was detected by reflected light. Then, after irradiating several pulses with a slit diameter of □ 30 μm using a YAG laser (second harmonic) to remove the resist portion, the angle between the tip flat surface and the tip side wall is 105 ° and 112.5 °. ° using a needle. With a needle of 105 °, the film thickness becomes 2.0 μm and the coating diameter becomes 53 μm by three times of application, and with a needle of 112.5 °, the film thickness becomes 1.6 μm and the application diameter becomes 53 μm by three times of application, The coating film thickness was adjusted by changing the angle formed between the tip flat surface and the tip side wall.
[0062]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is provided a color filter defect correcting apparatus including a color filter film composition applying means in which a plurality of defect correcting needles having an angle formed by the tip flat surface and the tip side wall within the above range are provided. This makes it possible to use the defect correction needles having different angles described above in combination at one defect removal position, so that the range of the film thickness that can be adjusted is widened and highly accurate correction can be performed. Furthermore, the above-mentioned defect correcting needles having different angles have different thicknesses obtained by the respective needles when the color filter film composition is applied to the tip portion of the needle and applied to the defect removal portion of the color filter film. Therefore, even for a color filter film composition, which has been difficult to use, it can be used by selecting a defect correction needle according to the characteristics of the color filter film composition. Therefore, there is an effect that the width of the composition for a color filter film that can be used is widened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a tip portion of a defect correction needle of a color filter of the present invention.
FIG. 2 is a process chart showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.
FIG. 3 is a process chart showing an example of a correction process of the present invention.
[Explanation of symbols]
Reference numeral 1 denotes a tip flat surface of the color filter defect correction needle 2... A tip side wall 3 of the color filter defect correction needle 3... Angle formed

Claims

A color filter film composition is applied by using a color filter defect correction needle, attaching the color filter film composition to the tip of the defect correction needle, and bringing the color filter film composition into contact with a defect removal portion of the color filter. In a color filter defect repairing apparatus that has at least means and corrects a color filter defect,
The color filter film composition applying means is provided with a plurality of defect correcting needles at different angles in which the angle formed between the needle tip plane and the tip side wall is in the range of 90 ° to 135 °. A defect repair device for a color filter.

A defect detecting step of detecting a defect present in the color filter; a defect removing step of irradiating a laser beam to a region where the defect detected in the defect detecting step is present to remove the defect together with a color filter film; A color filter film having a color filter film removed by the removing step, a color filter film composition attached to the tip of the needle is applied by contacting and curing the color filter film, and a curing step of correcting the defect removed portion by curing. 2. A method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the correcting step uses the color filter defect correcting apparatus according to claim 1.