JP2004061114A - Self-diagnosis test circuit and method - Google Patents

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JP2004061114A
JP2004061114A JP2002215378A JP2002215378A JP2004061114A JP 2004061114 A JP2004061114 A JP 2004061114A JP 2002215378 A JP2002215378 A JP 2002215378A JP 2002215378 A JP2002215378 A JP 2002215378A JP 2004061114 A JP2004061114 A JP 2004061114A
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Soji Hori
堀 聡司
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the inspection time and to improve the inspection mass production yield and the inspection coverage degree, in the inspection of a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit. <P>SOLUTION: An SRAM 1017 for storing test setting data for each externally designated test item and a BIST (built-in self-test) controller 1005 for reading out the test setting data stored in the SRAM and for executing the BIST, in parallel with the operation of storing the test setting data in the SRAM, are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路等論理回路を効率的に検査するのための自己診断試験回路および方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体集積回路の回路規模増大に従い、高品質な製品生産を行うために必要な出荷検査データを人手に頼り作成することが困難になりつつあり、半導体集積回路等論理回路において自己診断試験回路が採用されるようになっている。その中でも、論理回路の検査を自動化する検査方法として、スキャンパステスト手法や、さらに高度化したロジックBIST(ビルトインセルフテスト)手法が多く採用されている。
【0003】
図5は、このような従来の自己診断試験回路の構成を示すブロック図である。図5において、自己診断試験回路を搭載した検査対象回路1001は半導体集積回路や論理回路システムであり、大規模論理回路用の自己診断システムとして、スキャンパステスト手法を利用したロジックBISTを搭載している。
【0004】
ロジックBISTの基本構成は、データ発生器1002が擬似ランダム符号を発生しスキャン入力データ信号1012として出力し、これをスキャンパステスト対象回路1003に印加し、内部レジスタのスキャンパスを構成するシフトレジスタ構造を利用して印加データの制御性を得るとともに、少なくとも1クロック以上のキャプチャ動作を行うことにより、論理組み合わせ回路を通過させたデータを内部レジスタに再度蓄積し、スキャン出力データ信号1013として出力し、これを多入力の符号圧縮回路であるデータ圧縮回器1004へ入力する。
【0005】
このような自己診断機能の制御を行う回路であるBISTコントローラ1005は、例えばJTAG等のバウンダリスキャンテスト方式に準拠し、バウンダリスキャンデータ入力1007等テスト専用端子を最小に抑えながら製品とその外部との接続検査を行うTAPコントローラ1006から制御を受け、内部回路検査用の手順の設定を行う。
【0006】
データ圧縮回器1004に蓄積された検査結果は、データ読み出し信号1014としてBISTコントローラ1005に渡され、さらにTAPコントローラ1006への外部からの制御によって検査データ読み出し信号1015として取り出され、さらにTAPコントローラ1006からバウンダリスキャンデータ出力1016として外部へ取り出される。
【0007】
ロジックBISTは、より高い信頼性で検査するために何度も擬似ランダムデータのパターン設定を変更しながらデータを印加する必要があり、発生する符合の指定と発生タイミングの指定を行う発生データ設定信号1009がBISTコントローラ1005からデータ発生器1002に印加される。また、BISTコントローラ1005は、TAPコントローラ1006からのBIST制御信号1008により、上記発生データの指定を外部から受け取る必要がある。
【0008】
また、スキャンシフト動作のためには、スキャン回路状態へのモード固定およびシフトとキャプチャ動作の切り替え等を行うスキャン動作制御信号1010をスキャンパステスト対象回路1003に印加しなければならない。
【0009】
また、データ圧縮回器1004の内部状態が検査の最初に初期化され、データ設定状態の変更が不要な期間では圧縮動作が変わらないように、初期化およびデータ圧縮タイミング設定1011をBISTコントローラ1005からデータ圧縮回器1004に与える必要がある。
【0010】
図6は、以上のように構成された従来の自己診断試験回路における検査手順を示す図である。図6において、横軸は検査手順における累積検査時間を示す検査の時間軸1301である。
【0011】
1回目テスト動作単位時間1302では、1回目BIST設定動作1306の後に1回目BISTテスト動作1307を行い、次の2回目テスト動作単位時間1303では、2回目BIST設定動作1308の後に2回目BISTテスト動作1309を行い、3回目以降も同様にして、n回目テスト動作単位時間1304では、n回目BIST設定動作1310の後にn回目BISTテスト動作1311を行う。
【0012】
このように、BIST設定動作とBISTテスト動作をそれぞれ1回からn回まで順次実施し、最終的には、テスト結果読み出し時間1305にて、圧縮器に蓄積されたテスト結果を読み出す圧縮器モニタ動作1312を実行して検査が完了する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の自己診断試験回路の構成では、本来低速なバウンダリスキャン設定の時間がかかりすぎ、検査時間の増大および検査コストの高騰につながるという欠点を有していた。
【0014】
また、実際の回路使用時には不要なタイミングパスからのデータにおいて設計値以上のタイミングばらつきによるデータ化けが発生した場合に、データ圧縮回器に蓄積された圧縮データがすべて利用できなくなるため、歩留まりの低下や検査項目の削除などにより検査網羅度が低下するという欠点を有していた。
【0015】
さらに、近年の半導体集積回路等では多電源や多種のクロック供給を行いながら極力低パワーな設計を行う必要があるが、このような半導体集積回路等の検査を自動化する方法は従来提供されていなかった。
【0016】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、半導体集積回路等論理回路の検査において、検査時間を低減し、検査の量産歩留まりと検査網羅度を向上させ、さらには、多電源多種クロックシステムにおいても検査を自動化し易い自己診断試験回路および方法を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明の請求項1に係る自己診断試験回路は、被検査対象の半導体集積回路等論理回路に搭載され、外部から指定されるテスト項目毎のテスト設定データを用いてテストデータを発生させBIST(ビルトインセルフテスト)を実行する自己診断試験回路であって、前記テスト設定データを蓄積するメモリと、前記テスト設定データを前記メモリに蓄積する動作と平行して、前記メモリに蓄積された前記テスト設定データを読み出して前記BISTを実行するBISTコントローラと、を具備したことを特徴とする。
【0018】
上記構成によれば、外部から指定されるテスト項目毎のテスト設定データを取り込みメモリに蓄積する動作と平行してBISTが実行されるため、外部の低速なシリアルインターフェースに起因する処理時間が抑えられ、テスト時間を短縮することができる。
【0019】
本発明の請求項2に係る自己診断試験回路は、請求項1記載の自己診断試験回路において、前記BISTは複数のスキャンパスを用いて実行され、前記複数のスキャンパスの出力に対して外部からテスト項目毎にマスクデータの設定が可能なマスク回路を備えるものである。
【0020】
上記構成によれば、テスト項目毎かつスキャンパス出力毎にマスク設定ができるため、特定のテスト番号の特定のスキャンラインに限定して期待値をマスクでき、他のスキャンラインのデータ圧縮検査結果を損なわずに検査できることにより、検査網羅度を著しく低下させることなく、短期間に安定した量産検査が可能になる。
【0021】
本発明の請求項3に係る自己診断試験回路は、請求項1または2記載の自己診断試験回路において、通常機能として内部の回路ブロックに対して電源電圧値および電源のオン/オフもしくは再起動タイミングの設定等を行う電源設定機能を有し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、BISTの実行を制御するBISTコントローラが前記テスト設定データを用いて前記電源設定機能を制御するものである。
【0022】
上記構成によれば、通常機能として備えられた電源設定機能をBISTコントローラが制御してBISTを実行できるため、従来、電源については自動化された検査が行われていなかった電源設定機能を備えた半導体集積回路等論理回路においてもBISTによる自動化検査を行うことができる。
【0023】
本発明の請求項4に係る自己診断試験回路は、請求項1から3のいずれか1項記載の自己診断試験回路において、通常機能として内部の回路ブロックに対してクロック周波数の設定もしくはクロック停止と再起動のタイミングの設定等を行うクロック設定機能を有し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、BISTの実行を制御するBISTコントローラが前記テスト設定データを用いて前記クロック設定機能を制御するものである。
【0024】
上記構成によれば、通常機能として備えられたクロック設定機能をBISTコントローラが制御してBISTを実行できるため、従来、クロックについては自動化された検査が行われていなかったクロック設定機能を備えた半導体集積回路等論理回路においてもBISTによる自動化検査を行うことができる。
【0025】
本発明の請求項5に係る自己診断試験回路は、請求項4記載の自己診断試験回路において、前記内部の回路ブロックに対するクロック周波数の設定に応じて前記内部の回路ブロックに対する電源電圧が一義的に設定可能な構成を有するものである。
【0026】
上記構成によれば、通常機能として電源設定機能とクロック設定機能を備え、クロック周波数の設定に応じて電源電圧が一義的に設定されることで、必要な処理速度に応じて最適な電源電圧が設定される半導体集積回路等論理回路において、BISTによりこれらの機能を使用した自動化検査を行うことができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図である。図1において、図5に示した従来の自己診断試験回路の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し詳細な説明を省略する。
【0028】
図1では、検査対象回路1001は、データ発生器1002、スキャンパステスト対象回路1003、データ圧縮器1004、BISTコントローラ1005、TAPコントローラ1006およびBISTコントローラ1005に接続されたSRAM1017を備える。大規模回路であれば通常複数のSRAMが搭載されているものであるため、このSRAM1017は専用に搭載する必要はなく、出荷検査以外では他の機能に利用可能なものでよい。
【0029】
SRAM1017はデータ書き込み信号1018およびデータ読み出し信号1019でBISTコントローラ1005と接続される。ロジックBISTのモードでBISTコントローラ1005がロジックBISTの設定のためにTAPコントローラ1006から受け取ったテストの設定データは一旦バッファするためにSRAM1017に書き込まれ、BISTコントローラ1005が設定データを必要とする時点でSRAM1017から設定データが読み出される。
【0030】
図2は、以上のように構成された本実施の形態の自己診断試験回路における検査手順を示す図である。図2において、縦軸1400がテスト項目数、横軸1401がテスト時間を示し、グラフはSRAM1017を利用した場合のテスト項目設定とテスト項目処理時間の関係を表している。
【0031】
具体的には、1単位時間(横軸1目盛り分)当たりにテスト項目が1件(縦軸1目盛り分)設定され、テスト項目が設定されると検査対象回路内部でロジックBIST動作がすぐに開始され、その処理時間が2単位時間の場合を例として示している。
【0032】
図2において、点線で示すテスト項目設定数1402の推移では、1テスト項目当たりの設定時間Tsetが1単位時間で処理され、5件の設定が5単位時間後に完了している。一方、テスト項目処理数1403の推移では、1テスト項目当たりの処理時間Texが2単位時間で処理され、最初の設定時間であるTsetに加え、5件の処理時間の合計11単位時間後に完了している。
【0033】
すべての設定項目が処理されると検査結果をJTAGポートから読み出す操作が必要になるが、この読み出し時間をTreadとして、本実施形態による概算処理時間T1と、図5で示した従来例による概算処理時間T5の計算式を導くと、*を乗算記号として以下のようになる。
【0034】
T1=Tset+(Tex)*(総テスト項目数)+Tread
T5=(Tset+Tex)*(総テスト項目数)+Tread
【0035】
上記の通り、従来例では外部の低速なシリアルインターフェースによる検査時間への影響が大きい。これは、SRAM1017のような設定データのバッファが無い場合は、設定動作時間と検査動作時間が加算されるのに対して、設定項目数を十分に蓄えられるSRAM等のバッファが接続された場合は、設定動作と内部の検査処理動作が並列に進行するため、外部の低速なシリアルインターフェースに起因する処理時間が抑えられるためである。
【0036】
以上のように、本実施形態によれば、ロジックBISTテストモードにおいて、ロジックBISTのコントローラにバッファ用のメモリを接続し、ロジックBIST用の各テスト内容を一時的に蓄積可能とすることにより、テスト時間を短縮することができる。
【0037】
(実施の形態2)
図3は本発明の実施の形態2に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図である。図3において、図1に示した実施の形態1の自己診断試験回路の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し詳細な説明を省略する。
【0038】
図3では、検査対象回路1001は、データ発生器1002、スキャンパステスト対象回路1003、データ圧縮器1004、BISTコントローラ1005、TAPコントローラ1006、SRAM1017およびスキャンパステスト対象回路1003とデータ圧縮器1004との間に挿入されたスキャン出力データのマスク回路1102を備える。そして、マスク回路1102に対してBISTコントローラ1005からスキャン出力データをマスク制御するスキャン出力データのマスク信号1101が接続されている。
【0039】
全体でk本のスキャン出力データに対して1ビット単位でマスク可能なように、スキャン出力データのマスク信号1101もk本から構成され、スキャン出力データのマスク回路1102はk個のANDゲートで構成される。
【0040】
すなわち、LSB用ANDゲート1103は、スキャンパス出力のLSBビット1106とマスク信号のLSBビット1105を入力し、マスク出力のLSBビット1107を出力し、MSB用ANDゲート1104も同様に、スキャンパス出力のMSBビット1109とマスク信号のMSBビット1108を入力し、マスク出力のMSBビット1110を出力する。
【0041】
以上のように、本実施形態によれば、外部からBISTコントローラ経由でスキャンパス毎に設定可能なマスク機能を設けることで、特定のテスト番号の特定のスキャンラインに限定して期待値をマスクできるため、不要なデータによるタイミングばらつきに対しても、これをマスクすることができることにより、検査網羅度を著しく低下させたり、回路の修正による開発の遅延を発生させたりすることなく安定した量産検査が可能になる。
【0042】
(実施の形態3)
図4は本発明の実施の形態3に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図である。図4において、ロジックBISTの対象である検査対象回路1201は、通常モードで常時電源が起動している領域に搭載されるB電源回路部1202と、他の2つの電源領域のM電源回路部1203およびH電源回路部1204からなる。
【0043】
また、製品出荷後の通常使用状態で、電源の起動停止や処理速度に応じたクロック周波数および最適電源電圧の制御を行うプロセッサ部1205もH電源回路部1204に搭載されている。
【0044】
常時電源が起動している領域のB電源回路部1202には、実施の形態1および2においてロジックBISTの実施形態で説明したBISTコントローラ1206、TAPコントローラ1006、SRAM1017が、実施の形態1および2と同様の構成で接続されているが、さらに、電源の制御のために以下に説明する回路が追加されている。
【0045】
起動および電源マスク等タイミング制御部1207は複数電源間で受け渡す信号を制御する回路で、相手電源のオフ時に入力部トランジスタ回路の貫通電流防止措置や、出力先電源がオフ状態の場合にHレベルの電圧を印可しないように電源間マスク信号を供給し、さらに、電源の供給開始後も電源安定化までの一定の時間は継続して電源間マスク信号を供給する機能を有する。
【0046】
さらに、起動および電源マスク等タイミング制御部1207は、電源の停止と再起動までの時間設定や電源電圧値の設定、電源電圧に従ったクロック周波数の設定等を受け、さらには外部から電源起動指示通知信号RSTN1220の印加を受け、また、外部電源との間の電源間マスク用信号の発生機能が必要になる。
【0047】
起動および電源マスク等タイミング制御部1207への制御信号として、通常動作時にはプロセッサ部1205の制御によるプロセッサ起動指示入力信号1218が選択されるのに対して、ロジックBISTモード検査時にはBISTコントローラ起動指示入力信号1219が選択されるようにする。それぞれの起動指示入力信号は選択回路1217に入力して選択され、起動指示入力信号1216として起動および電源マスク等タイミング制御部1207に印加される。
【0048】
起動および電源マスク等タイミング制御部1207が出力する起動制御信号1215は、電源部1210とクロック発生部1213とBISTコントローラ1206へ接続され、電源とクロックと電源間の保護用制御等に利用する。
【0049】
電源部1210はM電源出力部1208とH電源出力部1209から構成され、起動および電源マスク等タイミング制御部1207からの電源電圧設定値および投入タイミングの制御に従い、M電源回路部へはVDDM1223を、H電源回路部へはVDDH1224をそれぞれ電源供給する。
【0050】
クロック発生部1213は、PLL部1211と分周回路1212から構成され、起動および電源マスク等タイミング制御部1207からの電源電圧に応じたクロック周波数および印加タイミングの制御に従い、M電源回路部へはCKM1225を、H電源回路部へはCKH1226をそれぞれ供給する。
【0051】
BISTコントローラは、起動および電源マスク等タイミング制御部1207から入力される電源の状態および電源の供給タイミング情報等により、M電源回路部およびH電源回路部に対してテスト用制御およびデータ入出力信号1221を出力し、各電源回路部に位置するBIST制御対象回路を制御もしくは観測する。
【0052】
また、B電源部以外の電源間での信号ラインを保護するために、起動および電源マスク等タイミング制御部1207は、各電源回路部に対して電源間マスク信号1222を供給する。
【0053】
ここで、RSTN1220は、検査対象回路1201の内部電源が起動状態で外部電源が起動していない場合に、外部電源の状態を通知する信号として、起動および電源マスク等タイミング制御部1207へ外部から供給され、外部電源と内部の各電源間の信号に対して必要なマスク条件を与えている。
【0054】
電源やクロック周波数を制御する回路については、従来もロジックBISTの対象にして常時起動状態の電源電圧に固定して検証しているが、電源電圧が本来変動する場合については正確に検査できていない。
【0055】
これに対して、以上説明した本実施形態の自己診断試験回路では、JTAG等のシリアル設定により電源状態やクロック周波数すらもプロセッサ制御と同様に簡単に変更可能にし、さらに、プロセッサが制御する起動指示入力の選択回路1217を設け、ロジックBISTのテスト状態ではロジックBISTコントローラ1206による制御を可能としているため、製品の信頼性を損なう設定に陥ることの無い検査中において、自由に電源電圧およびクロック周波数を変更可能である。
【0056】
なお、図1で説明したSRAMは、少なくともロジックBISTの設定データを蓄積するが、ランダム符号の発生を制御する初期値情報の他に、データ圧縮器のスキャン出力データのマスクビット情報や、多電源回路の電源起動および停止、さらには電源電圧やクロック周波数指定の情報等の設定情報を一時バッファするようにしてもよい。
【0057】
また、電源制御は、電源遮断後に電源を再起動してロジックBIST動作を継続させる場合においても、電源遮断前にデータ圧縮器1004が保持しているデータを外部へ読み出さずにSRAMへ一旦蓄積し、電源再起動後にこれを復元することで外部との通信時間を節約してもよい。
【0058】
また、図4における各電源回路部は、BIST対象の回路に分割して、クロック発生部から分割した回路に必要なクロック周波数毎にクロックを供給することで、必要十分なクロック周波数での検査を行ってもかまわない。
【0059】
また、電源部からの各電源供給先への電源供給は、検査対象回路1201の外部へ一度出力した後、外部配線又は外部電源回路を経由して制御されてもかまわない。
【0060】
また、以上の説明ではプロセッサ1205が検査対象回路1201の中にある場合を示したが、検査対象回路1201の外部にあってもかまわない。
【0061】
また、BISTコントローラは、ロジックBISTの制御機能を有するが、DRAM等の他の機能マクロを検査する機能を併せ持っていてもかまわない。
【0062】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、外部からシリアルインターフェース経由で設定されるテスト項目毎のテスト設定データをメモリに蓄積する動作と平行して、メモリから読み出したテスト設定データを用いてBISTが実行されるため、外部の低速なシリアルインターフェースに起因する処理時間が抑えられ、テスト時間を短縮することができるという優れた効果が得られる。
【0063】
さらに本発明によれば、特定のテスト番号の特定のスキャンラインに限定して期待値をマスクできるため、他のスキャンラインのデータ圧縮検査結果を損なわずに検査できることにより、検査網羅度を著しく低下させたり、回路の修正による開発の遅延を発生させたりすることなく、安定した量産検査が可能になるという優れた効果が得られる。
【0064】
さらに本発明によれば、低電力設定のために通常機能として備えられた電源設定機能やクロック設定機能をBISTコントローラが制御してBISTを実行できるため、これらのプロセッサ設定機能を使用した自動化検査を行うことができるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図。
【図2】本発明の実施の形態1に係る自己診断試験回路における検査手順を示す図。
【図3】本発明の実施の形態2に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図。
【図4】本発明の実施の形態3に係る自己診断試験回路の構成を示すブロック図。
【図5】従来の自己診断試験回路の構成を示すブロック図。
【図6】従来の自己診断試験回路における検査手順を示す図。
【符号の説明】
1001 検査対象回路
1002 データ発生器
1003 スキャンパステスト対象回路
1004 データ圧縮器
1005 BISTコントローラ
1006 TAPコントローラ
1007 バウンダリスキャンデータ入力
1008 BIST制御信号
1009 発生データ設定信号
1010 スキャン動作制御信号
1011 初期化およびデータ圧縮タイミング設定
1012 スキャン入力データ信号
1013 スキャン出力データ信号
1014 データ読み出し信号
1015 検査データ読み出し信号
1016 バウンダリスキャンデータ出力
1017 SRAM
1018 データ書き込み信号
1019 データ読み出し信号
1101 スキャン出力データのマスク信号
1102 スキャン出力データのマスク回路
1103 LSB用ANDゲート
1104 MSB用ANDゲート
1105 マスク信号のLSBビット
1106 スキャンパス出力のLSBビット
1107 マスク出力のLSBビット
1108 マスク信号のMSBビット
1109 スキャンパス出力のMSBビット
1110 マスク出力のMSBビット
1201 検査対象回路
1202 B電源回路部
1203 M電源回路部
1204 H電源回路部
1205 プロセッサ部
1206 BISTコントローラ
1207 起動および電源マスク等タイミング制御部
1208 M電源出力部
1209 H電源出力部
1210 電源部
1211 PLL部
1212 分周回路
1213 クロック発生部
1215 起動制御信号
1216 起動指示入力信号
1217 起動指示入力選択回路
1218 プロセッサ起動指示入力信号
1219 BISTコントローラ起動指示入力信号
1220 RSTN(外部からの電源起動指示通知信号)
1221 テスト用制御およびデータ入出力信号
1222 電源間マスク信号
1223 VDDM
1224 VDDH
1225 CKM
1226 CKH
1301 検査の時間軸
1302 1回目テスト動作単位時間
1303 2回目テスト動作単位時間
1304 n回目テスト動作単位時間
1305 テスト結果読み出し時間
1306 1回目BIST設定動作
1307 1回目BISTテスト動作
1308 2回目BIST設定動作
1309 2回目BISTテスト動作
1310 n回目BIST設定動作
1311 n回目BISTテスト動作
1312 圧縮器モニタ動作
1400 テスト項目数
1401 テスト時間
1402 テスト項目設定数
1403 テスト項目処理数
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a self-diagnosis test circuit and a method for efficiently testing a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit.
[0002]
[Prior art]
In recent years, as the circuit scale of semiconductor integrated circuits has increased, it has become difficult to manually create and inspect shipping inspection data necessary for producing high-quality products. Is being adopted. Among them, a scan path test method and a more advanced logic BIST (built-in self test) method are often used as test methods for automating the test of a logic circuit.
[0003]
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of such a conventional self-diagnosis test circuit. In FIG. 5, a test target circuit 1001 including a self-diagnosis test circuit is a semiconductor integrated circuit or a logic circuit system. A logic BIST using a scan path test method is mounted as a self-diagnosis system for a large-scale logic circuit. I have.
[0004]
The basic configuration of the logic BIST is that a data generator 1002 generates a pseudo-random code and outputs it as a scan input data signal 1012, which is applied to a scan path test target circuit 1003 to form a scan register of an internal register. , And by performing capture operation of at least one clock or more, the data passed through the logic combination circuit is accumulated again in the internal register, and output as the scan output data signal 1013. This is input to a data compression circuit 1004 which is a multi-input code compression circuit.
[0005]
The BIST controller 1005, which is a circuit for controlling such a self-diagnosis function, conforms to a boundary scan test method such as JTAG, etc., while minimizing the number of dedicated test terminals such as the boundary scan data input 1007 and connecting the product to the outside. Under the control of the TAP controller 1006 that performs a connection test, a procedure for an internal circuit test is set.
[0006]
The test result stored in the data compression circuit 1004 is passed to the BIST controller 1005 as a data read signal 1014, and is further taken out as a test data read signal 1015 by external control of the TAP controller 1006. The data is taken out as the boundary scan data output 1016.
[0007]
The logic BIST needs to apply data while changing the pattern setting of pseudo-random data many times in order to inspect with higher reliability, and a generated data setting signal for specifying a code to be generated and a generation timing. 1009 is applied from the BIST controller 1005 to the data generator 1002. Also, the BIST controller 1005 needs to receive the designation of the generated data from the outside by the BIST control signal 1008 from the TAP controller 1006.
[0008]
In addition, for the scan shift operation, a scan operation control signal 1010 for fixing the mode to the scan circuit state, switching between the shift and the capture operation, and the like must be applied to the scan path test target circuit 1003.
[0009]
Also, the internal state of the data compression circuit 1004 is initialized at the beginning of the test, and the initialization and data compression timing setting 1011 are transmitted from the BIST controller 1005 so that the compression operation does not change during the period in which the data setting state does not need to be changed. It needs to be provided to the data compression circuit 1004.
[0010]
FIG. 6 is a diagram showing a test procedure in the conventional self-diagnosis test circuit configured as described above. In FIG. 6, the horizontal axis is an inspection time axis 1301 indicating the accumulated inspection time in the inspection procedure.
[0011]
In the first test operation unit time 1302, the first BIST test operation 1307 is performed after the first BIST setting operation 1306. In the second test operation unit time 1303, the second BIST test operation is performed after the second BIST setting operation 1308. 1309, and similarly in the third and subsequent times, in the nth test operation unit time 1304, the nth BIST test operation 1311 is performed after the nth BIST setting operation 1310.
[0012]
As described above, the BIST setting operation and the BIST test operation are sequentially performed once to n times, respectively, and finally, at the test result read time 1305, the compressor monitor operation for reading the test results accumulated in the compressor. Execute 1312 to complete the inspection.
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
However, the configuration of the above-described conventional self-diagnosis test circuit has a disadvantage in that it takes too much time to set a boundary scan which is inherently slow, which leads to an increase in inspection time and an increase in inspection cost.
[0014]
In addition, when data is garbled due to timing variations exceeding the design value in data from unnecessary timing paths when an actual circuit is used, all of the compressed data stored in the data compression circuit cannot be used, thereby lowering the yield. And that the inspection coverage is reduced due to deletion of inspection items and the like.
[0015]
Further, in recent semiconductor integrated circuits and the like, it is necessary to design as low power as possible while supplying multiple power supplies and various clocks. However, a method for automating the inspection of such semiconductor integrated circuits has not been provided. Was.
[0016]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in testing a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit, reduces the test time, improves the mass production yield of the test and the test coverage, and furthermore, in a multi-power supply and various clock system. Another object of the present invention is to provide a self-diagnosis test circuit and a method which can easily automate the test.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve this problem, a self-diagnosis test circuit according to claim 1 of the present invention is mounted on a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit to be inspected and uses test setting data for each test item specified from the outside. A self-diagnosis test circuit for generating test data and performing a BIST (built-in self test), comprising: a memory for storing the test setting data; and a memory for storing the test setting data in the memory. A BIST controller that reads the test setting data stored in the memory and executes the BIST.
[0018]
According to the above configuration, since the BIST is executed in parallel with the operation of fetching the test setting data for each test item specified from the outside and storing it in the memory, the processing time caused by the external low-speed serial interface is suppressed. , Test time can be reduced.
[0019]
The self-diagnosis test circuit according to claim 2 of the present invention is the self-diagnosis test circuit according to claim 1, wherein the BIST is executed using a plurality of scan paths, and an output of the plurality of scan paths is externally provided. It is provided with a mask circuit capable of setting mask data for each test item.
[0020]
According to the above configuration, since a mask can be set for each test item and each scan path output, an expected value can be masked only for a specific scan line of a specific test number, and the data compression inspection result of another scan line can be obtained. By being able to perform inspection without impairment, stable mass production inspection can be performed in a short period of time without significantly reducing inspection coverage.
[0021]
A self-diagnosis test circuit according to a third aspect of the present invention is the self-diagnosis test circuit according to the first or second aspect, wherein a power supply voltage value and a power on / off or restart timing for an internal circuit block are provided as a normal function. And a BIST controller that controls the execution of the BIST without using the normal function when the BIST is executed, controls the power setting function using the test setting data. .
[0022]
According to the above configuration, since the BIST controller can control the power supply setting function provided as a normal function and execute the BIST, the semiconductor having the power supply setting function which has not been subjected to the automated inspection of the power supply conventionally. The automatic inspection by BIST can be performed also in a logic circuit such as an integrated circuit.
[0023]
A self-diagnosis test circuit according to a fourth aspect of the present invention is the self-diagnosis test circuit according to any one of the first to third aspects, wherein a clock frequency setting or a clock stop for an internal circuit block is performed as a normal function. It has a clock setting function for setting the timing of restarting, etc., and when executing the BIST, the BIST controller that controls the execution of the BIST controls the clock setting function using the test setting data, regardless of the normal function. Is what you do.
[0024]
According to the above configuration, since the BIST controller can control the clock setting function provided as a normal function and execute the BIST, the semiconductor having the clock setting function in which the clock has not been subjected to the automated inspection conventionally has been performed. The automatic inspection by BIST can be performed also in a logic circuit such as an integrated circuit.
[0025]
The self-diagnosis test circuit according to claim 5 of the present invention is the self-diagnosis test circuit according to claim 4, wherein the power supply voltage for the internal circuit block is uniquely determined according to the setting of the clock frequency for the internal circuit block. It has a configuration that can be set.
[0026]
According to the above configuration, the power supply setting function and the clock setting function are provided as normal functions, and the power supply voltage is uniquely set according to the setting of the clock frequency, so that the optimum power supply voltage can be set according to the required processing speed. In a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit to be set, an automatic inspection using these functions can be performed by BIST.
[0027]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a self-diagnosis test circuit according to Embodiment 1 of the present invention. 1, the same components as those of the conventional self-diagnosis test circuit shown in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description will be omitted.
[0028]
In FIG. 1, the test target circuit 1001 includes a data generator 1002, a scan path test target circuit 1003, a data compressor 1004, a BIST controller 1005, a TAP controller 1006, and an SRAM 1017 connected to the BIST controller 1005. Since a large-scale circuit usually has a plurality of SRAMs mounted thereon, the SRAM 1017 does not need to be mounted exclusively, and may be used for other functions other than shipping inspection.
[0029]
The SRAM 1017 is connected to the BIST controller 1005 by a data write signal 1018 and a data read signal 1019. In the logic BIST mode, the test setting data received by the BIST controller 1005 from the TAP controller 1006 for the setting of the logic BIST is written into the SRAM 1017 to temporarily buffer the SRAM, and the SRAM 1017 is required when the BIST controller 1005 needs the setting data. Is read from the setting data.
[0030]
FIG. 2 is a diagram showing a test procedure in the self-diagnosis test circuit of the present embodiment configured as described above. In FIG. 2, the vertical axis 1400 indicates the number of test items, and the horizontal axis 1401 indicates the test time. The graph shows the relationship between the test item setting and the test item processing time when the SRAM 1017 is used.
[0031]
More specifically, one test item (one scale on the vertical axis) is set per unit time (one scale on the horizontal axis), and when a test item is set, the logic BIST operation is immediately performed inside the circuit to be inspected. The processing is started and the processing time is 2 unit times as an example.
[0032]
In FIG. 2, in the transition of the test item setting number 1402 indicated by the dotted line, the setting time Tset per test item is processed in one unit time, and the setting of five items is completed after five unit times. On the other hand, in the transition of the test item processing count 1403, the processing time Tex per test item is processed in 2 unit times, and the processing is completed after a total of 11 unit times of 5 processing times in addition to the initial set time Tset. ing.
[0033]
When all the setting items have been processed, an operation of reading the inspection result from the JTAG port is required. The read time is set to Tread, and the rough processing time T1 according to the present embodiment and the rough processing according to the conventional example shown in FIG. When the formula for calculating the time T5 is derived, the following is obtained using * as a multiplication symbol.
[0034]
T1 = Tset + (Tex) * (total number of test items) + Tread
T5 = (Tset + Tex) * (total number of test items) + Tread
[0035]
As described above, in the conventional example, the external low-speed serial interface has a large effect on the inspection time. This is because the setting operation time and the inspection operation time are added when there is no buffer for setting data such as the SRAM 1017, whereas when a buffer such as an SRAM that can sufficiently store the number of setting items is connected, This is because the setting operation and the internal inspection processing operation proceed in parallel, so that the processing time caused by the external low-speed serial interface can be suppressed.
[0036]
As described above, according to the present embodiment, in the logic BIST test mode, the memory for the buffer is connected to the controller of the logic BIST, and each test content for the logic BIST can be temporarily stored, so that the test can be performed. Time can be reduced.
[0037]
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the self-diagnosis test circuit according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 3, the same components as those of the self-diagnosis test circuit of the first embodiment shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description will be omitted.
[0038]
In FIG. 3, the test target circuit 1001 includes a data generator 1002, a scan path test target circuit 1003, a data compressor 1004, a BIST controller 1005, a TAP controller 1006, an SRAM 1017, a scan path test target circuit 1003, and a data compressor 1004. It has a mask circuit 1102 for the scan output data inserted between them. A mask signal 1101 of scan output data for mask-controlling the scan output data from the BIST controller 1005 is connected to the mask circuit 1102.
[0039]
The mask signal 1101 of the scan output data is also composed of k pieces so that the k pieces of scan output data can be masked in 1-bit units, and the mask circuit 1102 of the scan output data is composed of k AND gates. Is done.
[0040]
That is, the LSB AND gate 1103 for LSB receives the LSB bit 1106 of the scan path output and the LSB bit 1105 of the mask signal, outputs the LSB bit 1107 of the mask output, and the AND gate 1104 for MSB similarly outputs the scan path output. The MSB bit 1109 and the MSB bit 1108 of the mask signal are input, and the MSB bit 1110 of the mask output is output.
[0041]
As described above, according to the present embodiment, by providing a mask function that can be set for each scan path from the outside via the BIST controller, the expected value can be masked only for a specific scan line of a specific test number. As a result, timing variations due to unnecessary data can be masked, so that stable mass production inspection can be performed without significantly lowering test coverage and delaying development due to circuit modification. Will be possible.
[0042]
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a self-diagnosis test circuit according to Embodiment 3 of the present invention. In FIG. 4, a test target circuit 1201 that is a target of the logic BIST includes a B power supply circuit unit 1202 mounted in an area where power is constantly activated in a normal mode, and an M power supply circuit unit 1203 in the other two power supply areas. And an H power supply circuit section 1204.
[0043]
Further, in a normal use state after the product is shipped, a processor unit 1205 for controlling the clock frequency and the optimum power supply voltage according to the start / stop of the power supply and the processing speed is also mounted on the H power supply circuit unit 1204.
[0044]
A BIST controller 1206, a TAP controller 1006, and an SRAM 1017 described in the embodiment of the logic BIST in the first and second embodiments are different from the first and second embodiments in the B power supply circuit unit 1202 in the area where the constant power supply is activated. The circuits are connected in a similar configuration, but a circuit described below is added for controlling the power supply.
[0045]
A timing control unit 1207 such as a start-up and power supply mask is a circuit for controlling a signal to be transferred between a plurality of power supplies. And a function of supplying a mask signal between power supplies for a certain period of time until the power supply is stabilized even after the supply of power is started.
[0046]
Further, the timing control unit 1207 such as a start-up and power supply mask receives a time setting until the power is stopped and restarted, a power supply voltage value setting, a clock frequency setting according to the power supply voltage, and the like, and further receives a power supply start instruction from outside. A notification signal RSTN 1220 is applied, and a function of generating a signal for inter-power supply masking with an external power supply is required.
[0047]
As a control signal to the timing control unit 1207 such as a start-up and power supply mask, a processor start instruction input signal 1218 is selected under the control of the processor unit 1205 during a normal operation, whereas a BIST controller start instruction input signal is input during a logic BIST mode test. 1219 is selected. Each start instruction input signal is input to the selection circuit 1217 to be selected, and is applied as a start instruction input signal 1216 to the timing control unit 1207 such as start and power mask.
[0048]
The activation control signal 1215 output from the timing control unit 1207 such as activation and power supply mask is connected to the power supply unit 1210, the clock generation unit 1213, and the BIST controller 1206, and is used for protection control between the power supply, the clock, and the power supply.
[0049]
The power supply unit 1210 includes an M power supply output unit 1208 and an H power supply output unit 1209. According to the control of the power supply voltage set value and the turn-on timing from the timing control unit 1207 such as start-up and power supply mask, the VDDM 1223 is supplied to the M power supply circuit unit, VDDH 1224 is supplied with power to the H power supply circuit unit.
[0050]
The clock generation unit 1213 includes a PLL unit 1211 and a frequency dividing circuit 1212. The clock generation unit 1213 controls the clock frequency and application timing according to the power supply voltage from the timing control unit 1207 such as start-up and power supply mask. , And CKH1226 to the H power supply circuit unit.
[0051]
The BIST controller performs a test control and data input / output signal 1221 to the M power circuit section and the H power circuit section based on the power supply state and power supply timing information input from the timing control section 1207 such as the activation and power supply mask. To control or observe the BIST control target circuit located in each power supply circuit unit.
[0052]
In addition, in order to protect signal lines between power supplies other than the B power supply section, the timing control section 1207 such as a start-up and power supply mask supplies an inter-power supply mask signal 1222 to each power supply circuit section.
[0053]
Here, when the internal power supply of the test target circuit 1201 is in the activated state and the external power supply is not activated, the RSTN 1220 supplies the activation and power supply masking timing control unit 1207 from the outside as a signal for notifying the external power supply state. In addition, a necessary mask condition is given to a signal between an external power supply and each internal power supply.
[0054]
Conventionally, a circuit for controlling a power supply and a clock frequency has been verified by fixing the power supply voltage in a constantly activated state to a target of a logic BIST, but it has not been able to accurately inspect a case where the power supply voltage originally fluctuates. .
[0055]
On the other hand, in the self-diagnosis test circuit of the present embodiment described above, the power supply state and even the clock frequency can be easily changed by the serial setting such as JTAG as in the case of the processor control. Since an input selection circuit 1217 is provided and control by the logic BIST controller 1206 is possible in the test state of the logic BIST, the power supply voltage and the clock frequency can be freely adjusted during the inspection without falling into a setting that impairs the reliability of the product. Can be changed.
[0056]
The SRAM described with reference to FIG. 1 stores at least the setting data of the logic BIST. In addition to the initial value information for controlling the generation of the random code, mask bit information of the scan output data of the data compressor and multiple power supplies The setting information such as the start and stop of the power supply of the circuit and the information of the power supply voltage and the designation of the clock frequency may be temporarily buffered.
[0057]
Further, even when the power is restarted after the power is turned off and the logic BIST operation is continued, the data stored in the data compressor 1004 is temporarily stored in the SRAM before the power is turned off without being read out to the outside. Alternatively, by restoring this after restarting the power supply, communication time with the outside may be saved.
[0058]
In addition, each power supply circuit unit in FIG. 4 is divided into circuits to be subjected to the BIST, and a clock is supplied from the clock generation unit to each of the divided circuits so that a test at a necessary and sufficient clock frequency is performed. You can go.
[0059]
Further, the power supply from the power supply unit to each power supply destination may be output once to the outside of the inspection target circuit 1201 and then controlled via external wiring or an external power supply circuit.
[0060]
In the above description, the case where the processor 1205 is inside the circuit under test 1201 is shown, but the processor 1205 may be outside the circuit under test 1201.
[0061]
Further, the BIST controller has a control function of the logic BIST, but may have a function of checking another function macro such as a DRAM.
[0062]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the BIST is performed using the test setting data read from the memory in parallel with the operation of accumulating the test setting data for each test item externally set via the serial interface in the memory. Is executed, the processing time caused by the external low-speed serial interface is suppressed, and an excellent effect that the test time can be shortened is obtained.
[0063]
Further, according to the present invention, the expected value can be masked only for a specific scan line of a specific test number, so that inspection can be performed without impairing data compression inspection results of other scan lines, thereby significantly reducing inspection coverage. An excellent effect that a stable mass production inspection can be performed without causing the development or delaying the development due to the modification of the circuit can be obtained.
[0064]
Further, according to the present invention, since the BIST controller can control the power setting function and the clock setting function provided as the normal functions for the low power setting and execute the BIST, the automatic inspection using these processor setting functions can be performed. An excellent effect that it can be performed is obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a self-diagnosis test circuit according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a test procedure in the self-diagnosis test circuit according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a self-diagnosis test circuit according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a self-diagnosis test circuit according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a conventional self-diagnosis test circuit.
FIG. 6 is a diagram showing a test procedure in a conventional self-diagnosis test circuit.
[Explanation of symbols]
1001 Test target circuit 1002 Data generator 1003 Scan path test target circuit 1004 Data compressor 1005 BIST controller 1006 TAP controller 1007 Boundary scan data input 1008 BIST control signal 1009 Generated data setting signal 1010 Scan operation control signal 1011 Initialization and data compression timing Setting 1012 Scan input data signal 1013 Scan output data signal 1014 Data read signal 1015 Test data read signal 1016 Boundary scan data output 1017 SRAM
1018 Data write signal 1019 Data read signal 1101 Scan output data mask signal 1102 Scan output data mask circuit 1103 LSB AND gate 1104 MSB AND gate 1105 Mask signal LSB bit 1106 Scan path output LSB bit 1107 Mask output LSB Bit 1108 MSB bit of mask signal 1109 MSB bit of scan path output 1110 MSB bit of mask output 1201 Test target circuit 1202 B power supply circuit section 1203 M power supply circuit section 1204 H power supply circuit section 1205 Processor section 1206 BIST controller 1207 Startup and power supply mask Equal timing control section 1208 M power output section 1209 H power output section 1210 power supply section 1211 PLL section 1212 frequency dividing circuit 1 13 clock generating unit 1215 start control signal 1216 start instruction input signal 1217 startup instruction input selection circuit 1218 processor start instruction input signal 1219 BIST controller start instruction input signal 1220 RSTN (power activation instruction notification signal from the outside)
1221 Test control and data input / output signal 1222 Power supply mask signal 1223 VDDM
1224 VDDH
1225 CKM
1226 CKH
1301 Inspection time axis 1302 First test operation unit time 1303 Second test operation unit time 1304 Nth test operation unit time 1305 Test result read time 1306 First BIST setting operation 1307 First BIST test operation 1308 Second BIST setting operation 1309 Second BIST test operation 1310 Nth BIST setting operation 1311 Nth BIST test operation 1312 Compressor monitor operation 1400 Number of test items 1401 Test time 1402 Number of set test items 1403 Number of processed test items

Claims (10)

被検査対象の半導体集積回路等論理回路に搭載され、外部から指定されるテスト項目毎のテスト設定データを用いてテストデータを発生させBIST(ビルトインセルフテスト)を実行する自己診断試験回路であって、
前記テスト設定データを蓄積するメモリと、
前記テスト設定データを前記メモリに蓄積する動作と平行して、前記メモリに蓄積された前記テスト設定データを読み出して前記BISTを実行するBISTコントローラと、
を具備したことを特徴とする自己診断試験回路。
A self-diagnosis test circuit mounted on a logic circuit such as a semiconductor integrated circuit to be inspected, generating test data using test setting data for each test item specified from the outside, and executing a BIST (built-in self test), ,
A memory for storing the test setting data;
A BIST controller that reads the test setting data stored in the memory and executes the BIST in parallel with an operation of storing the test setting data in the memory;
A self-diagnosis test circuit comprising:
前記BISTは複数のスキャンパスを用いて実行され、前記複数のスキャンパスの出力に対して外部からテスト項目毎にマスクデータの設定が可能なマスク回路を備えることを特徴とする請求項1記載の自己診断試験回路。2. The BIST according to claim 1, wherein the BIST is executed using a plurality of scan paths, and a mask circuit capable of externally setting mask data for each test item with respect to outputs of the plurality of scan paths. Self-diagnosis test circuit. 通常機能として内部の回路ブロックに対して電源電圧値および電源のオン/オフもしくは再起動タイミングの設定を行う電源設定機能を有し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、BISTの実行を制御するBISTコントローラが前記テスト設定データを用いて前記電源設定機能を制御することを特徴とする請求項1または2記載の自己診断試験回路。As a normal function, it has a power supply setting function for setting a power supply voltage value and a power on / off or restart timing for an internal circuit block. When the BIST is executed, the BIST is executed regardless of the normal function 3. The self-diagnosis test circuit according to claim 1, wherein a controlling BIST controller controls the power setting function using the test setting data. 通常機能として内部の回路ブロックに対してクロック周波数の設定もしくはクロック停止と再起動のタイミングの設定を行うクロック設定機能を有し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、BISTの実行を制御するBISTコントローラが前記テスト設定データを用いて前記クロック設定機能を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の自己診断試験回路。As a normal function, it has a clock setting function for setting a clock frequency or setting a clock stop and restart timing for an internal circuit block. When the BIST is executed, the BIST execution is controlled regardless of the normal function. 4. The self-diagnosis test circuit according to claim 1, wherein a BIST controller that controls the clock setting function using the test setting data. 前記内部の回路ブロックに対するクロック周波数の設定に応じて前記内部の回路ブロックに対する電源電圧が一義的に設定可能に構成されたことを特徴とする請求項4記載の自己診断試験回路。5. The self-diagnosis test circuit according to claim 4, wherein a power supply voltage for said internal circuit block can be uniquely set according to a setting of a clock frequency for said internal circuit block. 外部から指定されるテスト項目毎のテスト設定データを用いてテストデータを発生させBIST(ビルトインセルフテスト)を実行する自己診断試験方法であって、
前記テスト設定データをメモリに蓄積する動作と平行して、前記メモリに蓄積された前記テスト設定データを読み出して前記BISTを実行することを特徴とする自己診断試験方法。
A self-diagnosis test method for generating test data using test setting data for each test item specified from the outside and executing a BIST (built-in self test),
A self-diagnosis test method, wherein the test setting data stored in the memory is read and the BIST is executed in parallel with the operation of storing the test setting data in the memory.
前記BISTを複数のスキャンパスを用いて実行し、前記複数のスキャンパスの出力に対して外部からテスト項目毎にマスクデータの設定を行うことを特徴とする請求項6記載の自己診断試験方法。7. The self-diagnosis test method according to claim 6, wherein the BIST is executed using a plurality of scan paths, and mask data is set externally for each test item with respect to outputs of the plurality of scan paths. 通常機能として内部の回路ブロックに対して電源電圧値および電源のオン/オフもしくは再起動タイミングの設定を行う電源設定機能に対し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、前記テスト設定データを用いて前記電源設定機能を制御することを特徴とする請求項6または7記載の自己診断試験方法。As a normal function, a power supply setting function for setting a power supply voltage value and power supply on / off or restart timing for an internal circuit block. The self-diagnosis test method according to claim 6, wherein the power supply setting function is controlled by using the self-diagnosis test function. 通常機能として内部の回路ブロックに対してクロック周波数の設定もしくはクロック停止と再起動のタイミングの設定を行うクロック設定機能に対し、前記BIST実行時は、通常機能によらず、前記テスト設定データを用いて前記クロック設定機能を制御することを特徴とする請求項6から8のいずれか1項記載の自己診断試験方法。As a normal function, a clock setting function for setting a clock frequency or a clock stop and restart timing for an internal circuit block is used. When the BIST is executed, the test setting data is used regardless of the normal function. 9. The self-diagnosis test method according to claim 6, wherein the clock setting function is controlled by controlling the clock setting function. 前記内部の回路ブロックに対するクロック周波数の設定に応じて前記内部の回路ブロックに対する電源電圧を一義的に設定することを特徴とする請求項9記載の自己診断試験方法。10. The self-diagnosis test method according to claim 9, wherein a power supply voltage for said internal circuit block is uniquely set according to a setting of a clock frequency for said internal circuit block.
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