JP2004045317A - 外形線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面UV光源11と、平面UV光源11上に設けられたプリズム12と、電子部品10の後方に蛍光塗料板14と、CCDカメラ17とを具備し、平面UV光源11から発せられたUV光13がプリズム12を通して蛍光塗料板14の蛍光膜を励起し、励起された蛍光膜から発光された可視光16がCCDカメラ17に入射される際に電子部品10の像を得てその外形線を検出する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は外形線検出装置に係わり、特に電気部品の外形線、すなわちエッジを検出する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
チップマウンタ等での電気部品の外形線検出のために種々の技術が提案されている。
【0003】
例えば、特開平7−174711号公報には図4に示す外観検査装置を開示している。図4において、実装基板31上の検査対象物32の外観を検査するために、第1の駆動部36で駆動される第1の蛍光灯33、第2の駆動部37で駆動される第2の蛍光灯34および第3の駆動部38で駆動される第3の蛍光灯35を階段状に設けて、それぞれの蛍光灯を切り換えて点灯させる。そしてカメラ39により得られた検査対象物32の外観に関する情報をフレームメモリに送り、画像処理部で処理をする。
【0004】
また、特開2001−317916号公報には図5に示すエッジ検出装置を開示している。図5において、装着ヘッド48は背景板46、ホルダ47、吸着ノズル45を有し、そのエッジを検出する電気部品44が吸着ヘッド45に吸着されている。そして、照明装置42には、中空半球の内側面に光源として多数の発光ダイオード43が配列されて電気部品44に対向し、この光源底部の穴の下にCCDカメラ41が設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図4に示す従来技術では、複数の円形蛍光灯を階段状に設けるので構造が複雑となり、また、発光強度を高めるのが困難となる。
【0006】
同様に図5に示す従来技術でも、中空半球の内側面に光源としているから構造が複雑となり、また、発光強度を高めるのが困難となる。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、所定空間を取り囲む発光部を有する平面UV光源と、前記発光部上に設けられたプリズムと、被検出物の前記平面UV光源とは反対側に設けられた蛍光塗料板と、前記所定空間の前記被検出物側とは反対側に設けられたCCDカメラとを具備し、前記平面UV光源から発せられたUV光が前記プリズムを通して前記蛍光塗料板の蛍光膜を励起し、励起された前記蛍光膜から発光された可視光が前記CCDカメラに入射される際に前記被検出物の像を得てその外形線を検出する外形線検出装置にある。
【0008】
ここで、前記発光部はUV発光ランプであることが好ましい。また、前記被検出物は電気部品であることができる。
【0009】
さらに、前記発光部の平面形状は、前記所定形状を内周に取り囲むドーナツ型、すなわち、外径と内径が同心の円形リング状であることが各方向からのUV光を均一にするために好ましい。
【0010】
また、前記発光部の前記被検出部側の面は平坦面であり、この平坦面に前記プリズムが密着していることができる。あるいは、前記発光部と前記プリズムとが一体的に形成されていることができる。また、前記プリズムは、UV光透過石英、UV光透過ガラスあるいはUV光透過アクリルから構成されていることができる。
【0011】
さらに、前記発光部は基板上に設けられており、前記基板には前記所定空間と対応する開口が設けられていることができる。この場合、この基板は可視光を透過しない材質で構成することができる。あるいは、前記発光部は可視光を透過する基板上に設けられていることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を説明する。図1は本発明の実施の形態の外形線検出装置の概要を示す側面図である。
【0013】
平面UV光源11の発光部上にプリズム12が設けられ、外形線を検出される被検出物である電気部品10、例えば半導体チップがチップ吸入ノズル15により吸着固定され、この電気部品10の後側に表面に蛍光膜を有する蛍光塗料板14が設けられている。さらに、平面UV光源11の下方であって電気部品10の真下にはCCDカメラ17が配置されている。
【0014】
また、後から図2および図3を参照して説明するが、平面UV光源11の発光部は所定空間25を取り囲んで形成されており、発光部を裁置する平面UV光源11の基板が可視光を透過しない絶縁性の基板の場合には、所定区間25と同様な開口26が基板に形成されている。
【0015】
この所定空間25および開口26の平面形状は電気部品10の平面形状よりも大きい面積を有して電気部品10の真下に位置している。
【0016】
さらに、各方向からのUV光線がなるべく一様に作用するように、この所定空間25は円形状であることが良く、また、各方向からのUV光線の強度がなるべく均一になるように発光部の幅は各方向に対して一定であることが良い。
【0017】
したがって、平面UV光源11の発光部の平面形状はドーナツ型であることが好ましい。この場合、発光部の上面の全面上に設けられるプリズム12の平面形状もドーナツ型である。
【0018】
次に図1の実施の形態の外形線検出装置の作用・動作について説明する。平面UV光源11の発光部から発せられたUV光13がプリズム12により中心方向に曲げられ集光されることにより効率よく蛍光塗料板14の蛍光膜に照射し、この蛍光膜を励起する。
【0019】
ここで、UV光源として平面UV光源を用いているから、均一にUV光を発生し、無駄なくUV光の光量を多くすることができる。
【0020】
励起された蛍光膜から発光された可視光16が、空間25を通って、あるいは空間25と開口26を通ってその下に配置されているCCDカメラ17に入射される。この際に、電気部品10が存在する箇所はそれにより可視光は遮断されてCCDカメラ17に入射されない。図1ではこの遮断された可視光を電気部品により遮断された仮想可視光16Aとして点線で示している。
【0021】
これにより電気部品10の像を得てその外形線(エッジ)を検出することができる。
【0022】
このように本発明の外形線検出装置は、一個の平面UV光源と一個の蛍光塗料板とCCDカメラだけで構成することができるので、簡素化して装置を実現することが可能となる。
【0023】
また、平面UV光源の発光部の外径を大きくして、あるいは外径の大きな発光部を用意してのそれにプリズムの形状を合わせるだけでUV光の発光強度を自由に高めることができるから、必要の発光強度の装置を容易に得ることが可能となる。
【0024】
次に図2を参照して実施の形態の平面UV光源11について説明する。発光部21が基板22上に固着され、基板11に形成された一対の電極端子23,23に電圧を印加することにより発光部21からUV光を発光する。
【0025】
発光部21の平面形状はドーナツ型である。したがって、発光部21により取り囲まれた所定空間25の平面形状は円形である。
【0026】
さらに、基板22が可視光を透過しない材質の場合は、開口26が設けられている。
【0027】
また、本実施の形態の発光部21はUV発光ランプ21である。このUV発光ランプ21は、UV光を透過するガラス、例えばソーダガラスを外囲器とし、その内部にXe混合ガスを封入し、電極端子間に例えば12dc−Vの電圧を印加することにより、波長が351nmのUV光(紫外線)を発光する。
【0028】
図3は、本発明の実施の形態における平面UV光源およびプリズムを示す断面図であり、図2のX−X部に相当する。(A)は第1の実施例、(B)は第2の実施例、(C)は第3の実施例、(D)は第4の実施例である。
【0029】
図3(A)では、発光部21すなわち発光ランプ21の外囲器の上面は平坦面24となっており、そこにプリズム12がUV光を透過する接着剤等により密着して固定されている。また、基板22には、空間25と対応して例えば同じ大きさの開口26が形成されている。
【0030】
したがって第1の実施例では、発光部とプリズムとを固定しているから、用途に応じてそれぞれを選択することができるという利点がある。また、基板に開口が形成されているから、基板に可視光を透過しない材質も選ぶことができる利点がある。
【0031】
図3(B)では、発光部21すなわち発光ランプ21の外囲器の上面は平坦面24となっており、そこにプリズム12がUV光を透過する接着剤等により密着して固定されている。しかし、基板22は可視光を透過する材質を用いているからそこに開口は形成されていない。
【0032】
したがって第2の実施例では、発光部とプリズムとを固定しているから、用途に応じてそれぞれを選択することができるという利点がある。また、基板に開口を形成する工数を不要にする利点がある。
【0033】
図3(C)では、発光部21すなわち発光ランプ21の外囲器とプリズム12とを一体的に形成している。プリズムはUV光透過石英、UV光透過ガラス、またはUV光透過アクリルから構成されるから、発光ランプ21の外囲器を同じ材質にすることにより、このように一体的に形成することができる。また、基板22には、空間25と対応して例えば同じ大きさの開口26が形成されている。
【0034】
したがって第3の実施例では、発光部とプリズムとが一体的に形成されているから、部品点数を削減することができるいう利点がある。また、基板に開口が形成されているから、基板に可視光を透過しない材質も選ぶことができる利点がある。
【0035】
図3(D)では、発光部21すなわち発光ランプ21の外囲器とプリズム12とを一体的に形成している。プリズムはUV光透過石英、UV光透過ガラス、またはUV光透過アクリルから構成されるから、発光ランプ21の外囲器を同じ材質にすることにより、このように一体的に形成することができる。しかし、基板22は可視光を透過する材質を用いことにより開口は形成されていない。
【0036】
したがって第4の実施例では、発光部とプリズムとが一体的に形成されているから、部品点数を削減することができるいう利点がある。また、基板に開口を形成する工数を不要にする利点がある。
【0037】
【発明の効果】
以上述べた本発明は、均一な発光が得られる平面UV光源の発光部を好ましくはドーナツ型に形成し、プリズムにてUV光を集光することで、蛍光塗料面に均一で、かつ高発光強度のUV光を当てることができるため、簡素化された構造をもって、蛍光塗料面からの可視光をも、均一で、かつ高発光強度にできる。
【0038】
このため、CCDカメラに影として投影される電気部品の外形線の認識が容易となり、外形線検出速度、すなわちエッジ検出速度が向上できて装置全体のスループットが改善できる。または外形線検出精度すなわちエッジ検出精度が高められ、誤り率が改善できる。
【0039】
さらに、平面UV光源のドーナツ型発光部の面積を大きくすることで、容易にそのUV光の発光強度を高められる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の概要を示す側面図である。
【図2】本発明の実施の形態における平面UV光源を示す平面図である。
【図3】本発明の実施の形態における平面UV光源およびプリズムを示す断面図であり、図2のX−X部に相当する。(A)は第1の実施例、(B)は第2の実施例、(C)は第3の実施例、(D)は第4の実施例である。
【図4】従来技術を示す図である。
【図5】他の従来技術を示す図である。
【符号の説明】
10 電気部品
11 平面UV光源
12 プリズム
13 UV光
14 蛍光塗料板
15 チップ吸入ノズル
16 可視光
16A 電気部品により遮断された仮想可視光
17 CCDカメラ
21 発光部
22 基板
23 電極端子
24 平坦面
25 所定空間
26 開口
31 実装基板
32 検査対象物
33 第1の蛍光灯
34 第2の蛍光灯
35 第3の蛍光灯
36 第1の駆動部
37 第2の駆動部
38 第3の駆動部
39 カメラ
41 CCDカメラ
42 照明装置
43 発光ダイオード
44 電気部品
45 吸着ノズル
46 背景板
47 ホルダ
48 装着ヘッド
Claims (10)
- 所定空間を取り囲む発光部を有する平面UV光源と、前記発光部上に設けられたプリズムと、被検出物の前記平面UV光源とは反対側に設けられた蛍光塗料板と、前記所定空間の前記被検出物側とは反対側に設けられたCCDカメラとを具備し、
前記平面UV光源から発せられたUV光が前記プリズムを通して前記蛍光塗料板の蛍光膜を励起し、励起された前記蛍光膜から発光された可視光が前記CCDカメラに入射される際に前記被検出物の像を得てその外形線を検出することを特徴とする外形線検出装置。 - 前記発光部はUV発光ランプであることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記被検出物は電気部品であることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記発光部の平面形状はドーナツ型であることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記発光部の前記被検出部側の面は平坦面であり、この平坦面に前記プリズムが密着していることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記発光部と前記プリズムとが一体的に形成されていることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記プリズムはUV光透過石英、UV光透過ガラス、またはUV光透過アクリルから構成されていることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記発光部は基板上に設けられており、前記基板には前記所定空間と対応する開口が設けられていることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
- 前記基板は可視光を透過しない基板であることを特徴とする請求項8記載の外形線検出装置。
- 前記発光部は可視光を透過する基板上に設けられていることを特徴とする請求項1記載の外形線検出装置。
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JP2002205475A JP2004045317A (ja) | 2002-07-15 | 2002-07-15 | 外形線検出装置 |
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Cited By (1)
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-
2002
- 2002-07-15 JP JP2002205475A patent/JP2004045317A/ja active Pending
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EP2344839A1 (en) * | 2008-10-10 | 2011-07-20 | Renishaw plc | Backlit vision machine |
JP2012505397A (ja) * | 2008-10-10 | 2012-03-01 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | バックライトビジョンマシン |
US9188431B2 (en) | 2008-10-10 | 2015-11-17 | Renishaw Plc | Backlit vision machine |
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