JP2004026570A - Glass substrate for information recording medium, its manufacturing process and magnetic recording medium for recording information - Google Patents

Glass substrate for information recording medium, its manufacturing process and magnetic recording medium for recording information Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate having an excellent surface smoothness and flatness and no bubbles, by finding and using a clarifier suitable for manufacturing a molded glass substrate for information recording media which serves as an alternative to conventional clarifiers, and its manufacturing process. <P>SOLUTION: The manufacturing process comprises steps wherein a glass material composition composing the glass substrate is melted, the molten glass material composition is molded in a metal mold into the glass substrate, the molded glass substrate is taken out from the metal mold, and the obtained glass substrate is annealed. To the molten glass material composition, at least one compound chosen from the group consisting of CeO<SB>2</SB>, Pr<SB>6</SB>O<SB>11</SB>and Tb<SB>4</SB>O<SB>7</SB>is added as the clarifier. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板および該ガラス基板を備えた情報磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年における磁気ディスクの高密度記録化に伴い、デジタル信号を記録する磁性層の性能向上のみならず、記録の読み出しを司る磁気ヘッドおよび基板といった様々な構成要素の性能向上についても要求が高まっている。このような要求に向けた基板の検討では、従来から使用されていたアルミニウム基板に代り、ガラス基板が注目されるようになってきている。
【0003】
その理由としては、▲1▼小型・高密度化に要求される基板の薄板化が容易である、▲2▼磁気ヘッドの低浮上量化に伴う基板表面の平滑度および平坦度の確保が容易である、▲3▼アルミニウム基板に比べてガラス基板は高い潜在能力を有している、ことが挙げられる。また、ガラスは、ガラスの軟化温度(Ts)近傍で圧力を加えることによって、容易に円板状に成形できる。そのため、ガラスを基板材料として用いることで円板状基板を低コストで作製できるという可能性を持つことも理由として挙げられる。
【0004】
このように、低コストでガラス基板を作製するためには、基板成形時に使用する加圧装置や金型の寿命ができるだけ長くなるように、成形温度をできるだけ低くすることが望ましい。一般に、ガラス基板の成形温度を低下させるために、ガラス原料にはLi、Na、Kなどのアルカリ金属が添加される。また、金型の長寿命化のためには、基板の成形温度を低温化させるだけでなく、ガラス基板の原料成分と、該原料成分を所望の形状に成形するための金型との間に生じる反応についても十分に考慮しなければならない。それ故、金型材料およびガラス基板の原料成分は、互いの影響を十分に考えて設計する必要がある。
【0005】
情報記録媒体用の良好なガラス基板とするためには、ガラス基板内に気泡が存在しないことが必須である。ガラス基板内に気泡が存在すると、例えば、以下(a)〜(c)に示すような様々な欠陥の原因となり得る:
(a)基板表面に直接現れている気泡(開気泡)があると、その上に成膜された磁性膜にも凹欠陥が生じ、そのことによりビットエラーが生じる。
(b)成膜後では基板表面に直接現れていない閉気泡でも、表面にダイレクトテクスチャーを形成するための極微量の研磨や、スクラブ洗浄などにより表面が除かれると気泡が現れる場合があり、その際には(a)と同様の欠陥が生じる。
(c)基板表面から少し深い所に位置している閉気泡でも、磁性層成膜時の昇温(200〜300℃)に伴って、気泡の有無により熱膨張差が生じ、その結果として磁性膜にエラーが発生する場合がある。また、磁性層成膜時の加熱は、赤外ランプによる加熱法が用いられているが、気泡の有無により赤外の吸収が異なるために部分的に温度のバラツキが生じ、その結果として磁性膜にエラーが発生する場合もある。
【0006】
一般に、ガラス基板の製造では、溶融したガラス中の気泡を除去する目的で、ガラス基板原料中に清澄剤が添加されている。従来、多くの場合、清澄剤としてAs(亜ヒ酸)が使用されてきた。しかし、Asは毒性物質であるため、それらをガラス基板原料へ添加することは健康上および環境上の問題から好ましくない。したがって、現在では、通常、Sb、あるいはNaSOで代表される硫酸塩が清澄剤として使用されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
情報磁気記録媒体などの情報記録媒体に適用される基板は、基板内に気泡が存在しないだけでなく、その表面が光学レンズの表面と比べてはるかに平滑でなければならない。そのため、金型とガラス基板原料とが反応して金型表面に異物が生成し、その結果としてガラス基板の表面に凹凸が形成されることを避けなければならない。また、光学レンズは曲面であるのに対して、情報記録媒体用の基板は高度な平坦性が要求される。ガラス基板原料と金型表面とが、例え僅かであっても反応した場合は、ガラス基板と金型とが付着し、金型からガラス基板を離型することが困難になるという問題が発生する。したがって、ガラス基板の主原料は勿論のこと、気泡を除去するためにガラス基板原料中にごく僅かに添加される清澄剤などの添加剤についても、十分な配慮が必要である。
【0008】
一方、金型材料についても、できる限りガラス基板原料と反応し難い材料および構成を選択する必要がある。例えば、金型本体は、機械的強度を保つためにWC(炭化タングステン)系の材料が使用されている。また離型性を保つために、上述の金型本体の表面に、Ir−Ptのような貴金属系の材料が成膜される。なお、離型性を保つために金型本体の表面に成膜される貴金属系材料の膜を、本明細書では以後「保護膜」と称す。
【0009】
上述したように、現在、情報記録媒体用ガラス基板は、Sb、あるいはNaSOなどの硫酸塩を清澄剤として使用し、そのような清澄剤を含むガラス基板原料を、貴金属系材料からなる保護膜を有する金型で成形することにより製造している。しかし、このようなガラス基板の製造においても、依然として、ガラス基板と金型とが付着し、金型からガラス基板を離型することが困難になり、ガラス基板の割れが生じるという解決すべき課題がある。近年、ガラス基板に向けた本発明者らの検討の中で、SbあるいはNaSOなどを使用した際に生じる問題がより明らかにされた。本発明者らの見解を以下に記載する。
【0010】
NaSOのような硫酸塩を清澄剤として使用すると、ガラス基板原料の溶融中にNaSOは下式のように分解する。
【0011】
NaSO→ NaO(ガラス)+SO(g)+1/2 O(g)
NaSOが分解するとき、大部分のSはガラス原料から飛散するが、一部はSOの形でガラス中に残留する。この残留SOが、基板成形時に金型表面に設けられた保護膜の表面まで移動し、金型の保護膜とガラスとの付着を引き起こす。
【0012】
更に詳しく説明すると、ガラス中に残留したSOは、金型の保護膜材料として使用される殆どの貴金属系材料と反応する。そして、SOと貴金属系保護膜材料との反応によって、保護膜の表面にSOx系の残留物を生じる。その結果、ガラス基板と金型の保護膜とが付着し、成形冷却過程でガラス基板の割れが発生する。理論によって拘束するものではないが、上述した付着および基板の割れといった問題は、残留SOxにより、金型−SOx−ガラス、又は金型−S−ガラスといった直接的な反応か、あるいはSOxが触媒的に働き、金型−O−ガラスといった反応が進行することで発生すると推測される。
【0013】
同様に、Sbを清澄剤として使用した場合においても、金型とガラス基板との付着が生じ、成形冷却過程で基板割れが発生し易くなるという問題が生じる。この原因としては、例えば、Ir−Pt系の金型保護膜では、ガラス中のSbが基板成形中にIrと反応することでIr−Sb合金を形成し、そのようなIr−Sb合金が基板の成形を繰り返す度に金型保護膜表面に蓄積されることが挙げられる。100ショット程度の成形を繰り返すと、金型保護膜表面には約5〜50nmの高さの凹凸が生じることになる。また、Ir−Sb合金は融点が615℃であり、Ir−Pt合金の融点と比べて極端に低いために、酸化物を形成しやすいということが挙げられる。
【0014】
上述のように、現在、一般に使用されているSbあるいはNaSOといった清澄剤を使用し、そのような清澄剤を含有するガラス基板原料を金型で成形加工することによって、高度な表面平滑性が要求される情報記録媒体用ガラス基板を製造することは非常に困難である。そのため、情報記録媒体に適用されるガラス基板の製造時に、金型とガラス基板との付着といった問題を引き起こすことなく良好な清澄作用を示す、情報記録媒体用ガラス基板に適切な清澄剤が望まれている。
【0015】
したがって、本発明の課題は、従来の清澄剤に代り得る情報記録媒体用成形ガラス基板の製造に適切な清澄剤を見出し、そのような清澄剤を用いて、気泡がなくかつ平滑性および平坦性に優れたガラス基板と、簡便かつ安価にそのようなガラス基板を供給する製造方法を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明者らは、従来のガラス基板と金型の保護膜表面との反応について種々の検討を重ねた結果、成形ガラス基板の製造においてCeO(酸化セリウム)、Pr11(酸化プラセオジム)、およびTb(酸化テルビウム)が従来の清澄剤に代わる良好な清澄剤となり得ることを見出した。以下に検討の詳細を説明する。
【0017】
一般に、ある物質が清澄作用を示すためには、それらが高温でOを放出することが不可欠である。例えば、代表的な清澄剤であるAsおよびAsは、それらが高温下におかれると下式で示すようにOを放出する。
As ⇔ As+O
Sb ⇔ Sb+O
そこで、金型の保護膜材料として用いられるIrなどの貴金属と反応せず、また高温においても酸化剤として働く可能性のある物質として、CeO、Pr11、Tbに着目した。これらの物質は、後述するように高温で酸化作用を有する。したがって、良好な清澄剤として機能する可能性がある。
【0018】
更に詳しく説明すると、一般的にはランタン系希土類酸化物は室温においても3価の状態で安定であるため、高温で酸素を放出することは期待できない。しかし、ランタン系希土類酸化物の中でも、CeO、Pr11およびTbだけは、室温において4価、または3価と4価との混合状態で安定している。これらは、高温において全て3価の状態で安定となり、安定化の際にOを放出することが考えられる。つまり、下式のように反応する。
2CeO ⇔ Ce+ 1/2 O
Pr11(=4PrO・Pr)⇔ 3Pr+O
Tb(=2TbO・Tb)⇔ 2Tb+1/2 O
上述の反応は、いずれも可逆的であるため、ガラスの再溶融を行った場合にも清澄作用が維持される。
【0019】
CeO、Pr11、またはTbをガラス基板の原料組成物に添加すると、Ce4+、Pr3+、Tb3+により着色したガラスとなる。しかし、情報記録媒体用のガラス基板は、最終的にはその上に磁性膜などが成膜されるため、必ずしも透明である必要はなく、着色されていてもよい。
【0020】
ところで、特開平9−295831号公報では、天然石の代りに建築物の内装材や外装材として使用される結晶化ガラスに向けて、Feによるガラスの着色を抑制するためにCeOを使用することを開示している。すなわち、CeOは「化学消色剤」としてガラス基板原料中に添加されており、清澄剤としてはNaSOが添加されている。このように、特開平9−295831号公報では、CeOとNaSOなどの硫酸塩との特定の組み合わせによって透明なガラス基板を得ており、清澄剤としてCeOを使用すること、またCeOが単独で清澄作用を示すことについて何ら教示も示唆もしていない。
【0021】
以上の見地からCeO、Pr11およびTbについて種々の検証を行った結果、それらはガラス溶融中に生じる気泡を消失させ、良好な清澄作用を示すことが確認できた。また、清澄剤としてCeO、Pr11、またはTbを用い、かつ貴金属系材料からなる保護膜を有する金型を用いる、ガラス基板の製造では、ガラスと貴金属系金型保護膜との反応が全く起こらず、1,000ショット以上の連続成形が可能であることも分かった。
【0022】
以上説明したように、本発明者らは、成形ガラス基板の製造において、CeO、Pr11、およびTbが有効な清澄剤となり得ることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明にもとづく情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、ガラス基板を構成するガラス原料組成物を溶融する工程と、上記溶融したガラス原料組成物を金型でガラス基板に成形する工程と、上記成形されたガラス基板を金型から取り出す工程と、得られたガラス基板を徐冷する工程とを有し、上記溶融したガラス原料組成物に清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbからなる群から選択される少なくとも1つの化合物を添加することを特徴とする。
【0023】
ここで、上記清澄剤として添加される化合物の量が、0.02モル%〜2.0モル%の範囲であることが好ましく、0.05モル%〜1.0モル%の範囲であることがさらに好ましい。
【0024】
また、上記金型が、該金型の表面に貴金属からなる保護膜を有することが好ましい。
【0025】
上記保護膜が、Pt、Ir、Re、Os、Pd、Rh、およびRuからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含むことが好ましい。
【0026】
上記保護膜が、Ta、Hf、W、Auからなる群から選択される少なくとも1種の元素をさらに含むことが好ましい。
【0027】
本発明にもとづく情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス原料組成物を溶融し金型で成形することによって得られるものであって、該ガラス基板が上述の製造方法によって作製されたものであることを特徴とする。
【0028】
本発明にもとづく情報磁気記録媒体は、基板の上に、少なくとも磁気的な記録を可能とする磁性層を有するものであって、上記基板が上述の情報記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
【0030】
本発明の第1の態様は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法に関する。本発明の製造方法は、情報記録媒体用ガラス基板に向けたものであって、ガラス基板を構成するガラス原料組成物を溶融する工程と、溶融したガラス原料組成物を金型でガラス基板に成形する工程と、成形されたガラス基板を金型から取り出す工程と、得られたガラス基板を徐冷する工程とを有し、上記ガラス原料組成物の溶融工程において清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbからなる群から選択される少なくとも1つの化合物を添加することを特徴とする。
【0031】
以下、情報磁気記録媒体用として一般的な円形状ガラス基板の製造を例に挙げて、本発明の製造方法についてさらに詳しく説明する。なお、作製する円形状ガラス基板は、厚さ0.635mm、直径65mm、および基板中心部に内径20mmの同心的に形成された円形の穴を有するものを想定した。円形状ガラス基板の概略を図1に示す。
【0032】
先ず最初に、ガラス基板の原料組成物を構成するSiO、B、Al、LiO、NaO、KOなどの粉末をそれぞれ秤量し所望の組成比とした後にそれらを混合する。なお、本明細書において「ガラス基板の原料組成物」とは、基本的にはSi,Al,B,Li,Na,K,Mg,Ca,Ba,Sr,Zn,Zr,Ti,Y,希土類元素などの酸化物、あるいはこれらの複合酸化物を意味する。勿論、これらの組成に、ガラス特性を改善するために他の添加物をさらに添加したものも含まれる。また、さらに、ガラス作製過程で分解し、前述した酸化物と同様な特性を示すような化合物、例えば、LiCOなどの炭酸塩、LiNOなどの硝酸塩、ホウ酸(HBO)、NaClなどの塩化物、を用いることも含まれる。また、当然、成形可能なガラスを構成する範囲においては、その組成は特に限定されるものではない。
【0033】
次に、混合したガラス原料組成物の粉末をルツボに入れ、それらを1200〜1500℃の温度で溶融する。この時、本発明の製造方法では、清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbの粉末の少なくとも一類をガラス原料組成物に添加することを特徴とする。このように、CeO、Pr11、およびTbからなる群から選択される少なくとも1種の化合物を清澄剤としてガラス組成物中に添加することによって、最終的に得られるガラス基板中の気泡を著しく減少させることが可能である。清澄剤として添加される化合物の量は、好ましくは、0.02モル%〜2.0モル%、より好ましくは0.05モル%〜1.0モル%の範囲である。清澄剤としてガラス組成物中に添加される上記化合物の量が0.02モル%を下回ると、清澄作用が不十分となり、基板中に気泡が残留してしまう。一方、清澄剤としてガラス組成物中に添加される量が2.0モル%を超えると、Tsが10℃以上上昇し、これに伴って成形温度も上昇するため金型表面の保護膜の劣化が起こり易くなる。
【0034】
次に、金型による成形に先立ち、上述のように溶融させたガラス組成物を、例えばカーボン製の受け皿に流し込んだ後、冷却してガラスの塊(以後、「ゴブ」と称す)を得る。このような成形用ゴブの形状は、特に限定されるものではないが、例えば、重さ約6g、厚さ約8mm、直径約23mmの形状とする。なお、成形用ゴブは、所望の組成の添加物を含有するガラス粉末を溶融し冷やすことで直接所望の形状とするだけでなく、いったん任意の形状に作製したゴブを、再度ルツボで溶融し冷やすことで所望の形状とすることも可能である。
【0035】
次に、上述の成形用ゴブを成形用の金型に導入し、金型をTs近傍の温度に保持しながら加圧することで、直径65mm、厚さ0.635mmの円板状のガラス板を得る。加圧は、例えば0.2〜0.6t/cmで、3分間にわたって実施する。なお、成形時に使用する金型は、WC(炭化タングステン)をベースとし、その表面に離型性を高めるために貴金属系材料からなる厚さ数μmの保護膜を有することが好ましい。より具体的には、保護膜は、Pt、Ir、Re、Os、Pd、Rh、およびRuからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含むことが好ましい。また、保護膜は、Ta、Hf、W、Auからなる群から選択される少なくとも1種の元素をさらに含んでもよい。
【0036】
次いで、円板状ガラス基板の中心部に内径20mmの穴を開け、さらに基板の機械的強度を増すために一般的な化学強化を実施する。化学強化は、例えば、NaNOとKNOとを0.4対0.6の比率で含む混合物を加熱し融解させることによって得られ、350〜400℃に維持した液体に、上述のような成形加工によって得られたガラス基板を1〜5時間にわたって浸漬させることにより実施する。
【0037】
最後に、上述の液体からガラス基板を引き上げ、純水中で洗浄する。さらに、必要に応じて、スクラブ洗浄、純水洗浄、イソプロピルアルコール(IPA)洗浄を順次実施する。
【0038】
上述のように、本発明の製造方法では、現在、清澄剤として一般的に使用されているSb、あるいはNaSOなどの硫酸塩に代えて、CeO、Pr11、およびTbを使用する。そのことにより、金型とガラスとの付着を改善し、ガラス基板の離型を良好に実施することができる。また、付着の問題が改善されることで金型の表面は良好に維持されため、ガラス基板を連続加工することが可能となる。さらに、本発明の製造方法によれば、気泡がなく表面平滑性および平坦性に優れたガラス基板が簡便かつ安価に安定して得られる。
【0039】
本発明の第2の態様は、情報記録媒体用ガラス基板に関する。本発明の情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス原料組成物を溶融し金型で成形することによって得られるガラス基板であって、上述の第1の態様によって作製されることを特徴とする。すなわち、本発明の情報記録媒体用ガラス基板は、その製造工程において、ガラス原料組成物中に清澄剤として、CeO、Pr11、およびTbからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が添加されていることを最大の特徴とする。ガラス組成物中に添加されたCeO、Pr11、およびTbが清澄剤として十分な清澄作用を示すために、成形されたガラス基板中には気泡が存在しない。また、清澄剤として添加されるCeO、Pr11、およびTbが金型表面に悪影響を与えないため、成形されたガラス基板は優れた平滑性および平坦性を有する。
【0040】
このように、本発明の情報記録媒体用ガラス基板は、平滑性および平坦性に優れ、かつ基板中に気泡が存在しないために、高密度で高い信頼性が要求される磁気記録媒体用基板として優れている。なお、ガラス基板の形状は、特に限定されるものではないが、図1に示すような、基板の中央部に同心的に形成された円形の穴を有するものが一般的である。
【0041】
本発明の第3の態様は、情報磁気記録媒体に関する。本発明の情報磁気記録媒体は、基板の上に、少なくとも磁気的な記録を可能とする磁性層を有し、上記基板が上述の第2の態様で示した情報記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。すなわち、本発明の情報磁気記録媒体に適用されるガラス基板は、平滑性および平坦性に優れ、かつ基板中に気泡が存在しない信頼性の高い基板である。そのため、上述の第2の態様で示したガラス基板を使用して情報磁気記録媒体を構成することによって、高性能でかつ信頼性の高い媒体を供給することが可能となる。上述のように構成された媒体は、基板表面の凹凸が非常に少ないためにヘッド浮上量を5nm以下に低減させることが可能となり、その結果として基板は約100Gbits/inの記録密度の潜在能力を有するようになる。また、基板表面の凹凸が少ないために基板とヘッドのクラッシュが起こりにくいなどの様々な有益性を有する。
【0042】
上述のように、本発明の情報磁気記録媒体は、基板として本発明の情報記録媒体用ガラス基板を使用すること以外は、当業界で周知の材料および方法を用いて構成される。例えば、本発明の情報磁気記録媒体は、必要に応じて、下地層、保護層、潤滑層などをさらに有してもよく、そのような層を基板の両面に設けてもよい。高性能な情報磁気記録媒体を達成するためには、ガラス基板の上に下地層またはテクスチャー層を設けて磁性層の配向を制御することが好ましい。
【0043】
図2は、本発明の情報磁気記録媒体の一例を示す模式的断面図である。図2に示すように、磁気記録媒体は、ガラス基板10の上に、中間層20と、非磁性下地層22と、磁性層24と、保護層26と、潤滑層28とを順次積層することにより構成される。このように構成される磁気記録媒体に、上述の製造方法によって作製されたガラス基板を適用することにより、高性能で信頼性の高い情報磁気記録媒体を提供することが可能となる。
【0044】
なお、中間層、非磁性下地層、磁性層、保護層、潤滑層には、当業界で周知の材料を使用することができる。特に限定するものではないが、例えば、中間層にはCo−Cr合金、Co−Cr−Ta合金など、非磁性下地層にはCr、Cr−Mo合金、Cr−V合金などを使用できる。磁性層にはCo−Cr−Pt、Co−Cr−Pt−BなどのCo系合金、保護層にはアモルファスカーボン(a−C)膜、を使用できる。潤滑層にはパーフルオロポリエーテル系潤滑剤などのフッ素系潤滑剤を使用できる。
【0045】
以上、本発明の情報磁気記録媒体の一例について、図2に沿って説明したが、それらは上述の媒体の構造および形状に限定されるものではなく、種々変更可能であることは当業者によって容易に理解されるであろう。
【0046】
【実施例】
以下、実施例によって本発明をより具体的に説明するが、これらは本発明を限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
【0047】
(実施例1)
本実施例では、ガラス基板の製造過程において、清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbを用いることによる効果について検討した。
【0048】
<ガラス基板の作製>
以下の手順にしたがって、各種ガラス基板を作製した。
先ず、ガラス基板の原料組成物として、SiO 65.0mol.%、Al 4.0mol.%、B 9.0mol.%、LiO 12.0mol.%、NaO 6.0mol.%、KO 1.0mol.%の割合で秤量したベース粉末に、さらに微量のZnO、ZrO、TiO、MgO、BaO、SrOなどの副成分を添加し混合した。原料組成物の粉末を十分に混合した後、ルツボに入れ1200〜1500℃で溶融した。このとき、溶融中のガラスから気泡を除去するために、各種清澄剤を添加した。
【0049】
次に、溶融したガラスをルツボからカーボン製の受け皿に流し込み、重さ約6g、厚さ約8mm、直径約23mmの成形ゴブを作製した。次いで、このゴブを、成形用の金型に導入し、金型をTs近傍の温度に保持しながら、0.2〜0.6t/cmで、3分間にわたって加圧した。この操作により、直径65mm、厚さ0.635mmの円板状のガラス基板を得た。成形に使用した金型は、WC(炭化タングステン)をベースとし、その表面に、離型性を高めるために厚さ数μmのIr−Pt系、Ir−Au系、Ir−Rh系保護膜が設けられているものとした。なお、添加された清澄剤、およびガラス基板の成形時に使用された金型表面の保護膜材料について表1にまとめた。
【0050】
次に、上述のようにして得られたガラス基板の中心部にコアドリルを用いた穴あけ加工機により直径20mmの穴を設けた。さらに、この円板の抵抗強度を確保するために、化学強化を施した。具体的な処理条件は、重量比でNaNO:KNO=2:3の比率で混ぜた硝酸塩を、370℃で溶融させ、この融液に穴開け加工を施したガラス基板を2時間にわたって浸漬させた。最後に、化学強化を終えたガラス板を洗浄し、乾燥させた。
【0051】
<評価>
上述のガラス基板の作製に伴って、ガラス基板中の残留気泡数の評価、金型保護膜とガラスとの反応生成物の評価、成形時の金型保護膜とガラス基板との付着の評価を実施した。なお、それぞれの評価は、以下の方法を採用した。
【0052】
(1)成形ガラス基板の気泡数:光学顕微鏡にて直径65mmのガラス基板全体にわたって、気泡の数を数えた。少なくとも、直径1μm以上の気泡は計測可能である。
【0053】
(2)金型とガラスとの反応生成物:金型とガラスを成形後、金型表面をX線光電子分光法(XPS)で分析し、金型表面に残っている物質を調べた。
【0054】
(3)金型とガラスの付着:上記成形用ゴブと金型を用いて、何ショット(何枚)まで付着が発生せずに連続成形が可能であるかを確認した。なお、付着の有無は、基本的には、光学的表面検査装置、走査型電子顕微鏡(SEM)、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて検査し、それらの検査で付着が見られない場合には、さらにXPSを用いて表面変化の確認を行った。
【0055】
上述の方法による評価結果を表1にまとめた。なお、比較のために従来の代表的な清澄剤であるNaSOおよびSbを用いて、上述と同様に実施されるガラス基板の製造に関する評価結果も示した。
【0056】
【表1】

Figure 2004026570
【0057】
表1から分かるように、本発明の範囲であるCeO清澄剤(No.1〜No.3)、Pr11清澄剤(No.4〜No.6)、Tb清澄剤(No.7〜9)では、金型表面に残留物がなく、また基板の気泡もなく、更に連続成形可能枚数も1,000枚以上であることが明らかである。また、CeO、Pr11、Tb清澄剤を組み合わせて添加した場合にも、同様な効果が得られることが表1のNo.1〜No.13から明らかである。
【0058】
一方、従来技術であるNaSO清澄剤(No.14〜No.16)では、金型表面に残留物としてSOxが認められ、連続成形可能枚数も10枚以内である。また、もう一つの従来技術であるSb清澄剤(No.17〜No.19)では、金型表面にIr−Sb合金が残留物として検出される。また、参考のために、表1には清澄剤を添加しない場合についても示してあるが(No.20)、この場合には基板の気泡は1枚当たり30個以上も存在する。
【0059】
なお、実施例としては具体的には示していないが、CeO清澄剤、Pr11清澄剤、Tb清澄剤はSb清澄剤と同様、ガラスを再溶融して成形ゴブを作製した場合にも、その清澄作用は維持されることを確認した。これは以下の反応式:
2CeO ⇔ Ce+ 1/2 O
Pr11 ⇔ 3Pr+O
Tb ⇔ 2Tb+1/2 O
によって示されるように、それぞれの化合物が高温と低温との間で可逆的な酸化還元反応を生じるためと推測できる。
【0060】
(実施例2)
本実施例は、CeO清澄剤の添加量を検討するものであり、CeO清澄剤の添加量を0.01〜3.0mol.%の範囲で変化させた以外は実施例1と同様に実施した。評価結果を表2に示す。
【0061】
【表2】
Figure 2004026570
【0062】
表2から明らかなように、添加量が0.01mol.%と少ないと、基板中に存在する残留気泡数は10数個存在し、添加量が適切でないことが分かる。また、3mol.%以上添加すると、Tsが20℃上昇した。Tsの上昇に伴って成形温度も約20℃上昇するので、金型保護膜に何らかの劣化が生じ、連続成形可能枚数が500枚程度に低下する。
【0063】
したがって、CeOの添加量としては、0.02mol.%〜2.0mol.%の範囲(No.24〜47)が好ましい。更に、好ましくはTsがそれほど上昇せず、また気泡数がゼロの0.05mol.%〜1.0mol.%の範囲(No.30〜44)である。
【0064】
(実施例3)
本実施例は、Pr11清澄剤の添加量を検討するものであり、Pr11清澄剤の添加量を0.01〜3.0mol.%の範囲で変化させた以外は実施例1と同様に実施した。評価結果を表3に示す。
【0065】
【表3】
Figure 2004026570
【0066】
表3から明らかなように、添加量が0.01mol.%と少ないと、基板中に存在する残留気泡数は10数個存在し、添加量が適切でないことが分かる。また、3mol.%以上添加すると、Tsが20℃上昇した。Tsの上昇に伴って成形温度も約20℃上昇するので、金型保護膜に何らかの劣化が生じ、連続成形可能枚数が500枚程度に低下する。
【0067】
したがって、Pr11の添加量としては、0.02mol.%〜2.0mol.%の範囲(No.57〜80)が好ましい。更に、好ましくはTsがそれほど上昇せず、また気泡数がゼロの0.05mol.%〜1.0mol.%の範囲(No.63〜77)である。
【0068】
(実施例4)
本実施例は、Tb清澄剤の添加量を検討するものであり、Tb清澄剤の添加量を0.01〜3.0mol.%の範囲で変化させた以外は実施例1と同様に実施した。評価結果を表4に示す。
【0069】
【表4】
Figure 2004026570
【0070】
表4から明らかなように、添加量が0.01mol.%と少ないと、基板中に存在する残留気泡数は10数個存在し、添加量が適切でないことが分かる。また、3mol.%以上添加すると、Tsが20℃上昇した。Tsの上昇に伴って成形温度も約20℃上昇するので、金型保護膜に何らかの劣化が生じ、連続成形可能枚数が500枚程度に低下する。
【0071】
したがって、Tbの添加量としては、0.02mol.%〜2.0mol.%の範囲(No.90〜113)が好ましい。更に、好ましくはTsがそれほど上昇せず、また気泡数がゼロの0.05mol.%〜1.0mol.%の範囲(No.96〜110)である。
【0072】
(実施例5)
本実施例は、本発明の情報記録媒体用基板を用いて構成される情報磁気記録媒体に関する。
【0073】
実施例1で作製された3種の情報記録媒体用ガラス基板(表1のNo.1、No.4、No.7の構成で作成されたガラス基板)の両面にそれぞれ中間層、Cr下地層、Co−Pt−Cr磁性層、カーボン保護膜を順次積層することにより情報磁気記録媒体を作製した。中間層は、基板温度200℃でCo−Cr合金ターゲットをスパッタすることで成膜し、膜厚2nmとした。Cr下地層は、基板温度200℃でターゲットをスパッタすることで成膜し、膜厚5nmとした。Co−Pt−Cr磁性層は、基板温度250℃でCo−Pt−Cr合金ターゲットをスパッタすることで成膜し、膜厚10nmとした。カーボン保護膜は、CVD法により成膜し、膜厚5nmとした。なお、連続成形による影響(ショット数による基板の変化)についても検討する目的で、上記3種の各基板について、それぞれ100ショット目、500ショット目、1000ショット目の3枚の基板を使用して合計9種類の情報磁気記録媒体を作製した。
【0074】
上述のようにして得られたそれぞれの情報磁気記録媒体について、書き込み/読み込み試験を実施したが、ショット数の異なる基板によるそれら媒体の特性の変化は認められなかった。また、添加された清澄剤の違いによる影響も確認できなかった。
【0075】
なお、実施例1〜5では、1種類のガラス組成についてのみ説明したが、本発明の効果は、成形可能なガラスであれば、その組成にかかわらず有効であることは確認済みである。
【0076】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、溶融したガラスを成形することによって情報記録媒体用ガラス基板を作製する際、ガラスの清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbの少なくとも1種類を添加することによって、従来のガラス基板の製造における金型とガラスとの付着の問題を著しく改善することが可能となる。また、本発明によれば、基板中に存在する残留気泡数が極めて少なく、かつ表面平滑性および平坦性に優れた信頼性の高いガラス基板を提供することが可能となる。また、金型保護膜表面に生成反応物が生じないことで、1000ショット以上の連続成形が可能となり、信頼性の高いガラス基板を安定して供給することが可能となる。さらに、そのようなガラス基板を用いて情報記録媒体を構成することによって、高性能で信頼性の高い情報記録媒体を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にもとづく情報記録媒体用ガラス基板の一例を示す模式図である。
【図2】本発明にもとづく情報磁気記録媒体の一例を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
10 ガラス基板
20 中間層
22 非磁性下地層
24 磁性層
26 保護層
28 潤滑層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a glass substrate for an information recording medium, a glass substrate for an information recording medium, and an information magnetic recording medium provided with the glass substrate.
[0002]
[Prior art]
With the recent increase in the recording density of magnetic disks, not only the performance of magnetic layers for recording digital signals but also the performance of various components such as a magnetic head and a substrate for controlling reading of data have been increasing. . In the study of substrates to meet such demands, attention has been paid to glass substrates instead of conventionally used aluminum substrates.
[0003]
The reasons are as follows: (1) It is easy to reduce the thickness of the substrate required for miniaturization and high density, and (2) It is easy to ensure the smoothness and flatness of the substrate surface due to the low flying height of the magnetic head. (3) Glass substrates have higher potential than aluminum substrates. Further, the glass can be easily formed into a disk shape by applying a pressure near the softening temperature (Ts) of the glass. For this reason, the use of glass as a substrate material has a possibility that a disk-shaped substrate can be manufactured at low cost.
[0004]
As described above, in order to manufacture a glass substrate at low cost, it is desirable to lower the molding temperature as much as possible so that the life of a pressing device and a mold used in molding the substrate is as long as possible. Generally, an alkali metal such as Li, Na, or K is added to a glass raw material in order to lower the molding temperature of a glass substrate. In order to extend the life of the mold, not only the molding temperature of the substrate is lowered, but also the raw material component of the glass substrate and the mold for molding the raw material component into a desired shape. The reactions that take place must also be carefully considered. Therefore, it is necessary to design the mold material and the raw material component of the glass substrate in consideration of mutual influence.
[0005]
In order to obtain a good glass substrate for an information recording medium, it is essential that no bubbles exist in the glass substrate. The presence of bubbles in the glass substrate can cause various defects, for example, as shown in the following (a) to (c):
(A) If there are air bubbles (open air bubbles) directly appearing on the substrate surface, a concave defect also occurs in the magnetic film formed thereon, thereby causing a bit error.
(B) Even if closed air bubbles do not directly appear on the substrate surface after film formation, air bubbles may appear when the surface is removed by a very small amount of polishing for forming a direct texture on the surface or scrub cleaning, etc. In this case, a defect similar to that shown in FIG.
(C) Even with closed bubbles located slightly deeper than the substrate surface, a difference in thermal expansion occurs due to the presence or absence of bubbles with the temperature rise (200 to 300 ° C.) during the formation of the magnetic layer. An error may occur in the film. In addition, a heating method using an infrared lamp is used for heating during the formation of the magnetic layer. However, the infrared absorption differs depending on the presence or absence of air bubbles, resulting in partial temperature fluctuations. An error may occur.
[0006]
Generally, in the production of a glass substrate, a fining agent is added to a glass substrate raw material in order to remove bubbles in molten glass. Conventionally, in many cases, As is used as a fining agent.2O3(Arsenous acid) has been used. But As2O3Is a toxic substance, and it is not preferable to add them to the glass substrate raw material in view of health and environmental problems. Therefore, at present, usually Sb2O3Or Na2SO4Is used as a fining agent.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
A substrate applied to an information recording medium such as an information magnetic recording medium must not only have no air bubbles in the substrate but also have a much smoother surface than the surface of the optical lens. Therefore, it is necessary to avoid the reaction between the mold and the raw material of the glass substrate to generate foreign matter on the surface of the mold, and as a result, to form irregularities on the surface of the glass substrate. Further, while the optical lens has a curved surface, a substrate for an information recording medium requires a high degree of flatness. If the glass substrate material and the mold surface react even if slightly, the problem occurs that the glass substrate and the mold adhere to each other, making it difficult to release the glass substrate from the mold. . Therefore, not only the main raw material of the glass substrate, but also an additive such as a fining agent that is added very slightly in the raw material of the glass substrate to remove bubbles needs to be sufficiently considered.
[0008]
On the other hand, as for the mold material, it is necessary to select a material and a configuration which are unlikely to react with the glass substrate material as much as possible. For example, a WC (tungsten carbide) -based material is used for the mold body to maintain mechanical strength. Further, in order to maintain releasability, a film of a noble metal material such as Ir-Pt is formed on the surface of the above-mentioned mold body. In addition, the film of the noble metal-based material formed on the surface of the mold body to maintain the mold releasability is hereinafter referred to as a “protective film” in this specification.
[0009]
As described above, currently, the glass substrate for the information recording medium is Sb2O3Or Na2SO4Such a fining agent is used as a fining agent, and a glass substrate material containing such a fining agent is manufactured by molding in a mold having a protective film made of a noble metal-based material. However, even in the production of such a glass substrate, the glass substrate and the mold still adhere to each other, making it difficult to release the glass substrate from the mold, and causing a problem that the glass substrate is cracked. There is. In recent years, during the study of the present inventors toward glass substrates, Sb2O3Or Na2SO4The problems that arise when using such are clarified. The views of the present inventors are described below.
[0010]
Na2SO4When a sulfate such as is used as a fining agent, Na is used during melting of the glass substrate raw material.2SO4Breaks down as shown below.
[0011]
Na2SO4→ Na2O (glass) + SO2(G) +1/2 O2(G)
Na2SO4Decomposes, most of the S scatters from the glass raw material, but some3Remains in the glass in the form of This residual SO3Move to the surface of the protective film provided on the surface of the mold at the time of molding the substrate, causing adhesion between the protective film of the mold and the glass.
[0012]
More specifically, SO 2 remaining in the glass3Reacts with most noble metal-based materials used as a protective film material of a mold. And SO3The SOx-based residue is generated on the surface of the protective film due to the reaction between and the noble metal-based protective film material. As a result, the glass substrate and the protective film of the mold adhere to each other, and the glass substrate is cracked during the molding and cooling process. Without being bound by theory, the problems described above, such as adhesion and substrate cracking, can be a direct reaction, such as mold-SOx-glass or mold-S-glass, due to residual SOx, or the SOx It is presumed that it occurs when a reaction such as mold-O-glass progresses.
[0013]
Similarly, Sb2O3Even when is used as a fining agent, there is a problem that adhesion between the mold and the glass substrate occurs, and the substrate is easily cracked in the molding and cooling process. The reason for this is that, for example, in an Ir-Pt-based mold protective film, Sb in glass reacts with Ir during substrate molding to form an Ir-Sb alloy, and such an Ir-Sb alloy forms a substrate. Every time the molding is repeated, it is accumulated on the surface of the mold protection film. When the molding of about 100 shots is repeated, irregularities having a height of about 5 to 50 nm are generated on the surface of the mold protective film. Further, the melting point of the Ir-Sb alloy is 615 ° C, which is extremely lower than the melting point of the Ir-Pt alloy, so that an oxide is easily formed.
[0014]
As described above, currently used Sb2O3Or Na2SO4By using a fining agent and molding a glass substrate raw material containing such a fining agent with a mold, it is very difficult to manufacture a glass substrate for an information recording medium requiring a high surface smoothness. Have difficulty. Therefore, at the time of manufacturing a glass substrate applied to an information recording medium, a fining agent suitable for an information recording medium glass substrate that shows a good fining action without causing a problem such as adhesion between a mold and a glass substrate is desired. ing.
[0015]
Therefore, an object of the present invention is to find a fining agent suitable for the production of a molded glass substrate for an information recording medium that can replace a conventional fining agent, and using such a fining agent, is free of bubbles and has smoothness and flatness. It is an object of the present invention to provide an excellent glass substrate and a method for supplying such a glass substrate simply and inexpensively.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted various studies on the reaction between the conventional glass substrate and the surface of the protective film of the mold.2(Cerium oxide), Pr6O11(Praseodymium oxide), and Tb4O7It has been found that (terbium oxide) can be a good fining agent in place of conventional fining agents. The details of the study are described below.
[0017]
Generally, in order for certain materials to exhibit a clarifying effect, they must be O 2 at high temperatures.2It is essential to release. For example, a typical fining agent, As2O5And As2O3When they are exposed to high temperatures, O2Release.
As2O5⇔ As2O3+ O2
Sb2O5⇔ Sb2O3+ O2
Therefore, CeO is used as a substance that does not react with a noble metal such as Ir used as a material for a protective film of a mold and that may act as an oxidizing agent even at a high temperature.2, Pr6O11, Tb4O7We paid attention to. These substances have an oxidizing action at high temperatures as described below. Therefore, it may function as a good fining agent.
[0018]
More specifically, lanthanum-based rare earth oxides are generally stable in a trivalent state even at room temperature, and therefore cannot release oxygen at high temperatures. However, among lanthanum-based rare earth oxides, CeO2, Pr6O11And Tb4O7Is stable at room temperature in a tetravalent state or a mixed state of trivalent and tetravalent states. These are all stable in a trivalent state at high temperature, and O2To be released. That is, it reacts as in the following equation.
2CeO2⇔ Ce2O3+ {1/2} O2
Pr6O11(= 4PrO2・ Pr2O3) ⇔ 3Pr2O3+ O2
Tb4O7(= 2TbO2・ Tb2O3) ⇔ 2Tb2O3+1/2 O2
Since the above reactions are reversible, the refining action is maintained even when the glass is re-melted.
[0019]
CeO2, Pr6O11Or Tb4O7Is added to the raw material composition of the glass substrate to obtain Ce.4+, Pr3+, Tb3+Becomes colored glass. However, a glass substrate for an information recording medium is not necessarily transparent and may be colored, since a magnetic film or the like is finally formed thereon.
[0020]
By the way, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-295831 discloses that Fe is directed toward crystallized glass used as an interior or exterior material of a building in place of natural stone.2O3CeO to suppress the coloring of the glass by2Are disclosed. That is, CeO2Is added to the glass substrate raw material as a “chemical decoloring agent”, and Na is used as a fining agent.2SO4Is added. As described above, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-295831, CeO2And Na2SO4A transparent glass substrate is obtained by a specific combination with a sulfate such as CeO.2Use of CeO2Does not teach or suggest that it exhibits a clarifying effect alone.
[0021]
From the above point of view, CeO2, Pr6O11And Tb4O7As a result of various verifications, it was confirmed that they eliminated bubbles generated during glass melting and exhibited a good fining action. In addition, CeO as a fining agent2, Pr6O11Or Tb4O7In the production of a glass substrate using a metal mold having a protective film made of a noble metal-based material, no reaction between the glass and the noble metal-based mold protective film occurs at all, enabling continuous molding of 1,000 shots or more. I also found out.
[0022]
As described above, the present inventors have found that in the production of a molded glass substrate, CeO2, Pr6O11, And Tb4O7Have been found to be effective fining agents, and have completed the present invention. That is, the method of manufacturing a glass substrate for an information recording medium according to the present invention includes a step of melting a glass raw material composition constituting the glass substrate, and a step of forming the molten glass raw material composition into a glass substrate with a mold. Removing the molded glass substrate from the mold, and gradually cooling the obtained glass substrate. The molten glass raw material composition is treated with CeO as a fining agent.2, Pr6O11, And Tb4O7At least one compound selected from the group consisting of:
[0023]
Here, the amount of the compound added as the fining agent is preferably in the range of 0.02 mol% to 2.0 mol%, and more preferably in the range of 0.05 mol% to 1.0 mol%. Is more preferred.
[0024]
Preferably, the mold has a protective film made of a noble metal on the surface of the mold.
[0025]
It is preferable that the protective film includes at least one element selected from the group consisting of Pt, Ir, Re, Os, Pd, Rh, and Ru.
[0026]
It is preferable that the protective film further includes at least one element selected from the group consisting of Ta, Hf, W, and Au.
[0027]
A glass substrate for an information recording medium based on the present invention is obtained by melting a glass raw material composition and molding with a mold, and that the glass substrate is manufactured by the above-described manufacturing method. Features.
[0028]
An information magnetic recording medium according to the present invention has at least a magnetic layer that enables magnetic recording on a substrate, and the substrate is the glass substrate for the information recording medium described above. I do.
[0029]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
[0030]
A first aspect of the present invention relates to a method for manufacturing a glass substrate for an information recording medium. The production method of the present invention is directed to a glass substrate for an information recording medium, a step of melting a glass raw material composition constituting the glass substrate, and forming the molten glass raw material composition into a glass substrate with a mold. , A step of removing the formed glass substrate from the mold, and a step of gradually cooling the obtained glass substrate. In the melting step of the glass raw material composition, CeO is used as a fining agent.2, Pr6O11, And Tb4O7At least one compound selected from the group consisting of:
[0031]
Hereinafter, the production method of the present invention will be described in more detail by taking production of a general circular glass substrate for an information magnetic recording medium as an example. Note that the circular glass substrate to be manufactured was assumed to have a thickness of 0.635 mm, a diameter of 65 mm, and a circular hole formed concentrically with an inner diameter of 20 mm at the center of the substrate. FIG. 1 schematically shows a circular glass substrate.
[0032]
First, SiO constituting the raw material composition of the glass substrate2, B2O3, Al2O3, Li2O, Na2O, K2Powders such as O are weighed to obtain a desired composition ratio, and then mixed. In the present specification, “raw material composition for glass substrate” basically means Si, Al, B, Li, Na, K, Mg, Ca, Ba, Sr, Zn, Zr, Ti, Y, rare earth It means an oxide of an element or the like, or a composite oxide thereof. Of course, these compositions include those further added with other additives in order to improve the glass properties. Further, a compound which is decomposed in the glass production process and exhibits the same properties as the oxide described above, for example, Li2CO3Carbonates such as LiNO3Nitrates such as boric acid (H3BO3) And chlorides such as NaCl. In addition, as a matter of course, the composition is not particularly limited as long as the glass can be formed.
[0033]
Next, the powder of the mixed glass raw material composition is put into a crucible, and they are melted at a temperature of 1200 to 1500 ° C. At this time, in the production method of the present invention, CeO is used as a fining agent.2, Pr6O11, And Tb4O7Characterized in that at least one of the powders is added to the glass raw material composition. Thus, CeO2, Pr6O11, And Tb4O7By adding at least one compound selected from the group consisting of as a fining agent to the glass composition, it is possible to significantly reduce bubbles in the finally obtained glass substrate. The amount of compound added as a fining agent preferably ranges from 0.02 mol% to 2.0 mol%, more preferably from 0.05 mol% to 1.0 mol%. If the amount of the above compound added as a fining agent to the glass composition is less than 0.02 mol%, the fining action becomes insufficient and bubbles remain in the substrate. On the other hand, if the amount added as a fining agent in the glass composition exceeds 2.0 mol%, Ts rises by 10 ° C. or more, and the molding temperature rises accordingly, so that the deterioration of the protective film on the mold surface deteriorates. Is more likely to occur.
[0034]
Next, prior to molding with a mold, the glass composition melted as described above is poured into a carbon tray, for example, and then cooled to obtain a lump of glass (hereinafter, referred to as “gob”). Although the shape of such a molding gob is not particularly limited, it is, for example, about 6 g in weight, about 8 mm in thickness, and about 23 mm in diameter. In addition, the gob for molding is not only directly formed into a desired shape by melting and cooling a glass powder containing an additive of a desired composition, but also a gob once formed into an arbitrary shape, is melted again in a crucible and cooled. Thus, a desired shape can be obtained.
[0035]
Next, the above-mentioned molding gob is introduced into a molding die, and is pressed while maintaining the temperature of the die at a temperature near Ts, whereby a disk-shaped glass plate having a diameter of 65 mm and a thickness of 0.635 mm is formed. obtain. The pressure is, for example, 0.2 to 0.6 t / cm.2For 3 minutes. In addition, it is preferable that the mold used at the time of molding is based on WC (tungsten carbide), and has a protective film having a thickness of several μm made of a noble metal-based material on the surface thereof in order to enhance releasability. More specifically, the protective film preferably contains at least one element selected from the group consisting of Pt, Ir, Re, Os, Pd, Rh, and Ru. Further, the protective film may further include at least one element selected from the group consisting of Ta, Hf, W, and Au.
[0036]
Next, a hole having an inner diameter of 20 mm is formed in the center of the disk-shaped glass substrate, and general chemical strengthening is performed to further increase the mechanical strength of the substrate. Chemical strengthening can be performed, for example, using NaNO3And KNO3Is heated and melted at a ratio of 0.4 to 0.6, and a glass substrate obtained by the above-described molding process is added to a liquid maintained at 350 to 400 ° C. by 1 to 5 times. Performed by soaking for a time.
[0037]
Finally, the glass substrate is lifted from the above liquid and washed in pure water. Further, scrub cleaning, pure water cleaning, and isopropyl alcohol (IPA) cleaning are sequentially performed as necessary.
[0038]
As described above, in the production method of the present invention, Sb which is currently generally used as a fining agent is used.2O3Or Na2SO4CeO instead of sulfate2, Pr6O11, And Tb4O7Use Thereby, the adhesion between the mold and the glass can be improved, and the release of the glass substrate can be favorably performed. In addition, since the problem of the adhesion is improved, the surface of the mold is favorably maintained, so that the glass substrate can be continuously processed. Further, according to the production method of the present invention, a glass substrate having no bubbles and having excellent surface smoothness and flatness can be obtained easily, inexpensively and stably.
[0039]
A second aspect of the present invention relates to a glass substrate for an information recording medium. The glass substrate for an information recording medium of the present invention is a glass substrate obtained by melting a glass raw material composition and molding it with a mold, and is characterized by being produced by the above-described first embodiment. That is, the glass substrate for an information recording medium of the present invention is obtained by using CeO as a fining agent in a glass raw material composition in the manufacturing process.2, Pr6O11, And Tb4O7The greatest feature is that at least one compound selected from the group consisting of is added. CeO added in glass composition2, Pr6O11, And Tb4O7Has sufficient fining action as a fining agent, so that no bubbles exist in the formed glass substrate. Also, CeO added as a fining agent2, Pr6O11, And Tb4O7Does not adversely affect the mold surface, and thus the formed glass substrate has excellent smoothness and flatness.
[0040]
As described above, the glass substrate for an information recording medium of the present invention is excellent in smoothness and flatness, and because there are no bubbles in the substrate, a high-density and high reliability substrate for a magnetic recording medium is required. Are better. The shape of the glass substrate is not particularly limited, but generally has a circular hole formed concentrically in the center of the substrate as shown in FIG.
[0041]
A third aspect of the present invention relates to an information magnetic recording medium. The information magnetic recording medium of the present invention has at least a magnetic layer capable of magnetic recording on a substrate, and the substrate is the glass substrate for an information recording medium described in the second aspect described above. It is characterized by. That is, the glass substrate applied to the information magnetic recording medium of the present invention is a highly reliable substrate having excellent smoothness and flatness and no bubbles in the substrate. Therefore, by configuring the information magnetic recording medium using the glass substrate described in the second aspect, it is possible to supply a medium with high performance and high reliability. In the medium configured as described above, the head flying height can be reduced to 5 nm or less because the unevenness of the substrate surface is very small, and as a result, the substrate is about 100 Gbits / in.2Recording density potential. In addition, there are various benefits such as the substrate and the head hardly crashing due to less unevenness on the substrate surface.
[0042]
As described above, the information magnetic recording medium of the present invention is formed using materials and methods well known in the art, except that the glass substrate for the information recording medium of the present invention is used as the substrate. For example, the information magnetic recording medium of the present invention may further have an underlayer, a protective layer, a lubricating layer, and the like, if necessary, and such layers may be provided on both surfaces of the substrate. In order to achieve a high-performance information magnetic recording medium, it is preferable to provide an underlayer or a texture layer on a glass substrate to control the orientation of the magnetic layer.
[0043]
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of the information magnetic recording medium of the present invention. As shown in FIG. 2, in the magnetic recording medium, an intermediate layer 20, a nonmagnetic underlayer 22, a magnetic layer 24, a protective layer 26, and a lubricating layer 28 are sequentially laminated on a glass substrate 10. It consists of. By applying the glass substrate manufactured by the above-described manufacturing method to the magnetic recording medium configured as described above, it is possible to provide an information magnetic recording medium with high performance and high reliability.
[0044]
The intermediate layer, the nonmagnetic underlayer, the magnetic layer, the protective layer, and the lubricating layer can be made of a material known in the art. Although not particularly limited, for example, a Co-Cr alloy, a Co-Cr-Ta alloy or the like can be used for the intermediate layer, and a Cr, Cr-Mo alloy, Cr-V alloy or the like can be used for the non-magnetic underlayer. A Co-based alloy such as Co-Cr-Pt or Co-Cr-Pt-B can be used for the magnetic layer, and an amorphous carbon (a-C) film can be used for the protective layer. A fluorine-based lubricant such as a perfluoropolyether-based lubricant can be used for the lubricating layer.
[0045]
As described above, one example of the information magnetic recording medium of the present invention has been described with reference to FIG. 2, but these are not limited to the structure and shape of the medium, and it is easily understood by those skilled in the art that various changes can be made. Will be understood.
[0046]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, these examples do not limit the present invention, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.
[0047]
(Example 1)
In this embodiment, CeO is used as a fining agent in the process of manufacturing a glass substrate.2, Pr6O11, And Tb4O7We examined the effect of using.
[0048]
<Preparation of glass substrate>
Various glass substrates were produced according to the following procedures.
First, as a raw material composition for a glass substrate, SiO 2 was used.2{65.0 mol. %, Al2O3{4.0 mol. %, B2O3{9.0 mol. %, Li2O 12.0 mol. %, Na2O 6.0 mol. %, K2O 1.0 mol. % Of the base powder weighed in the amount of ZnO and ZrO2, TiO2, MgO, BaO, SrO, etc. were added and mixed. After sufficiently mixing the powder of the raw material composition, it was put into a crucible and melted at 1200 to 1500 ° C. At this time, various fining agents were added to remove bubbles from the glass being melted.
[0049]
Next, the molten glass was poured from a crucible into a carbon tray, and a molded gob having a weight of about 6 g, a thickness of about 8 mm, and a diameter of about 23 mm was produced. Next, the gob is introduced into a molding die, and the die is kept at a temperature near Ts while maintaining a temperature of 0.2 to 0.6 t / cm.2For 3 minutes. By this operation, a disk-shaped glass substrate having a diameter of 65 mm and a thickness of 0.635 mm was obtained. The mold used for molding is based on WC (tungsten carbide), and on its surface, an Ir-Pt-based, Ir-Au-based, and Ir-Rh-based protective film having a thickness of several μm is provided to enhance the releasability. It has been provided. Table 1 summarizes the added fining agent and the material for the protective film on the mold surface used in molding the glass substrate.
[0050]
Next, a hole having a diameter of 20 mm was formed in the center of the glass substrate obtained as described above using a boring machine using a core drill. Furthermore, in order to secure the resistance strength of this disk, chemical strengthening was performed. Specific processing conditions are NaNO in weight ratio.3: KNO3A nitrate mixed at a ratio of 2: 3 was melted at 370 ° C., and a perforated glass substrate was immersed in the melt for 2 hours. Finally, the chemically strengthened glass plate was washed and dried.
[0051]
<Evaluation>
Along with the production of the glass substrate described above, evaluation of the number of residual bubbles in the glass substrate, evaluation of the reaction product between the mold protective film and the glass, and evaluation of the adhesion between the mold protective film and the glass substrate during molding. Carried out. In addition, each evaluation adopted the following method.
[0052]
(1) Number of bubbles in molded glass substrate: The number of bubbles was counted over the entire glass substrate having a diameter of 65 mm by an optical microscope. At least bubbles having a diameter of 1 μm or more can be measured.
[0053]
(2) Reaction product between mold and glass: After molding the mold and the glass, the surface of the mold was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) to check substances remaining on the surface of the mold.
[0054]
(3) Adhesion of mold and glass: Using the above-mentioned molding gob and mold, it was confirmed how many shots (how many sheets) could be continuously molded without adhesion. In addition, the presence or absence of adhesion is basically inspected using an optical surface inspection device, a scanning electron microscope (SEM), or an atomic force microscope (AFM). Further, the surface change was confirmed using XPS.
[0055]
Table 1 summarizes the evaluation results obtained by the above-described method. For comparison, the conventional representative fining agent Na2SO4And Sb2O3The results of the evaluation of the production of the glass substrate carried out in the same manner as described above were also shown by using.
[0056]
[Table 1]
Figure 2004026570
[0057]
As can be seen from Table 1, CeO within the scope of the present invention2Clarifying agent (No.1 to No.3), Pr6O11Clarifying agent (No. 4 to No. 6), Tb4O7It is clear that the fining agents (Nos. 7 to 9) have no residue on the mold surface, no air bubbles on the substrate, and the number of sheets that can be continuously formed is 1,000 or more. Also, CeO2, Pr6O11, Tb4O7No. 1 in Table 1 shows that the same effect can be obtained when a combination of fining agents is added. 1 to No. 13 is clear.
[0058]
On the other hand, the prior art Na2SO4In the fining agents (No. 14 to No. 16), SOx was recognized as a residue on the mold surface, and the number of continuously moldable sheets was within 10 sheets. In addition, another prior art, Sb2O3In the fining agents (No. 17 to No. 19), Ir-Sb alloy is detected as a residue on the mold surface. For reference, Table 1 also shows the case where no fining agent is added (No. 20), but in this case, there are more than 30 bubbles per substrate.
[0059]
Although not specifically shown as an example, CeO2Clarifying agent, Pr6O11Clarifying agent, Tb4O7The fining agent is Sb2O3As in the case of the fining agent, it was confirmed that the fining action was maintained even when the glass was re-melted to produce a molded gob. It has the following reaction formula:
2CeO2⇔ Ce2O3+ {1/2} O2
Pr6O11⇔ 3 Pr2O3+ O2
Tb4O7⇔ 2Tb2O3+1/2 O2
As shown by, it can be inferred that each compound causes a reversible oxidation-reduction reaction between high and low temperatures.
[0060]
(Example 2)
In this embodiment, CeO2The purpose of this study was to examine the amount of fining agent added.2The addition amount of the fining agent is 0.01 to 3.0 mol. %, And carried out in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the evaluation results.
[0061]
[Table 2]
Figure 2004026570
[0062]
As is clear from Table 2, the addition amount was 0.01 mol. %, The number of residual bubbles existing in the substrate is more than 10 and it is understood that the addition amount is not appropriate. In addition, 3 mol. %, Ts increased by 20 ° C. Since the molding temperature rises by about 20 ° C. with an increase in Ts, some deterioration occurs in the mold protection film, and the number of continuously moldable sheets drops to about 500 sheets.
[0063]
Therefore, CeO2As an addition amount of 0.02 mol. % To 2.0 mol. % (Nos. 24 to 47) is preferable. Furthermore, it is preferable that Ts does not increase so much and that the number of bubbles is 0.05 mol. % To 1.0 mol. % (Nos. 30 to 44).
[0064]
(Example 3)
In this embodiment, Pr6O11The purpose of this study is to examine the amount of the fining agent added.6O11The addition amount of the fining agent is 0.01 to 3.0 mol. %, And carried out in the same manner as in Example 1. Table 3 shows the evaluation results.
[0065]
[Table 3]
Figure 2004026570
[0066]
As is clear from Table 3, the amount of addition was 0.01 mol. %, The number of residual bubbles existing in the substrate is more than 10 and it is understood that the addition amount is not appropriate. In addition, 3 mol. %, Ts increased by 20 ° C. Since the molding temperature rises by about 20 ° C. with an increase in Ts, some deterioration occurs in the mold protection film, and the number of continuously moldable sheets drops to about 500 sheets.
[0067]
Therefore, Pr6O11As an addition amount of 0.02 mol. % To 2.0 mol. % (No. 57 to 80) is preferable. Furthermore, it is preferable that Ts does not increase so much and that the number of bubbles is 0.05 mol. % To 1.0 mol. % (Nos. 63 to 77).
[0068]
(Example 4)
In this embodiment, Tb4O7The purpose of this study is to examine the amount of fining agent added.4O7The addition amount of the fining agent is 0.01 to 3.0 mol. %, And carried out in the same manner as in Example 1. Table 4 shows the evaluation results.
[0069]
[Table 4]
Figure 2004026570
[0070]
As is clear from Table 4, the addition amount was 0.01 mol. %, The number of residual bubbles existing in the substrate is more than 10 and it is understood that the addition amount is not appropriate. In addition, 3 mol. %, Ts increased by 20 ° C. Since the molding temperature rises by about 20 ° C. with an increase in Ts, some deterioration occurs in the mold protection film, and the number of continuously moldable sheets drops to about 500 sheets.
[0071]
Therefore, Tb4O7As an addition amount of 0.02 mol. % To 2.0 mol. % (Nos. 90 to 113) is preferable. Furthermore, it is preferable that Ts does not increase so much and that the number of bubbles is 0.05 mol. % To 1.0 mol. % (No. 96 to 110).
[0072]
(Example 5)
The present embodiment relates to an information magnetic recording medium constituted by using the information recording medium substrate of the present invention.
[0073]
An intermediate layer and a Cr underlayer were respectively formed on both surfaces of the three types of glass substrates for information recording media (glass substrates prepared with the configurations No. 1, No. 4, and No. 7 in Table 1) manufactured in Example 1. , A Co-Pt-Cr magnetic layer and a carbon protective film were sequentially laminated to produce an information magnetic recording medium. The intermediate layer was formed by sputtering a Co—Cr alloy target at a substrate temperature of 200 ° C. to have a thickness of 2 nm. The Cr underlayer was formed by sputtering a target at a substrate temperature of 200 ° C. to a thickness of 5 nm. The Co—Pt—Cr magnetic layer was formed by sputtering a Co—Pt—Cr alloy target at a substrate temperature of 250 ° C. to a thickness of 10 nm. The carbon protective film was formed by a CVD method to a thickness of 5 nm. In addition, for the purpose of examining the influence of continuous molding (change in the substrate due to the number of shots), three substrates of the above-mentioned three types of substrates, 100th shot, 500th shot, and 1000th shot, respectively, were used. A total of nine types of information magnetic recording media were produced.
[0074]
A write / read test was performed for each of the information magnetic recording media obtained as described above, and no change in the characteristics of the media due to substrates having different numbers of shots was observed. In addition, the effect due to the difference in the added fining agent could not be confirmed.
[0075]
In Examples 1 to 5, only one type of glass composition was described. However, it has been confirmed that the effects of the present invention are effective as long as the glass can be formed, regardless of the composition.
[0076]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when producing a glass substrate for an information recording medium by molding a molten glass, CeO is used as a glass fining agent.2, Pr6O11, And Tb4O7By adding at least one of the above, it becomes possible to remarkably improve the problem of adhesion between a mold and glass in the conventional production of a glass substrate. Further, according to the present invention, it is possible to provide a highly reliable glass substrate having an extremely small number of residual bubbles existing in the substrate and having excellent surface smoothness and flatness. Further, since no formed reactant is generated on the surface of the mold protection film, continuous molding of 1,000 shots or more can be performed, and a highly reliable glass substrate can be stably supplied. Further, by forming an information recording medium using such a glass substrate, a high-performance and highly reliable information recording medium can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a glass substrate for an information recording medium according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of an information magnetic recording medium according to the present invention.
[Explanation of symbols]
10 glass substrate
20 middle class
22 ° non-magnetic underlayer
24 ° magnetic layer
26 protective layer
28 lubrication layer

Claims (8)

情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
ガラス基板を構成するガラス原料組成物を溶融する工程と、
前記溶融したガラス原料組成物を金型でガラス基板に成形する工程と、
前記成形されたガラス基板を金型から取り出す工程と
得られたガラス基板を徐冷する工程
とを有し、
前記溶融したガラス原料組成物に清澄剤としてCeO、Pr11、およびTbからなる群から選択される少なくとも1つの化合物を添加することを特徴とする製造方法。
A method for producing a glass substrate for an information recording medium,
Step of melting the glass raw material composition constituting the glass substrate,
Molding the molten glass raw material composition into a glass substrate with a mold,
Having a step of removing the molded glass substrate from the mold and a step of gradually cooling the obtained glass substrate,
A production method, comprising adding at least one compound selected from the group consisting of CeO 2 , Pr 6 O 11 , and Tb 4 O 7 as a fining agent to the molten glass raw material composition.
前記清澄剤として添加される化合物の量が、0.02モル%〜2.0モル%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。The method according to claim 1, wherein the amount of the compound added as the fining agent is in the range of 0.02 mol% to 2.0 mol%. 前記清澄剤として添加される化合物の量が、0.05モル%〜1.0モル%の範囲であることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。The method according to claim 2, wherein the amount of the compound added as the fining agent is in a range of 0.05 mol% to 1.0 mol%. 前記金型が、該金型の表面に貴金属からなる保護膜を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の製造方法。The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the mold has a protective film made of a noble metal on a surface of the mold. 前記保護膜が、Pt、Ir、Re、Os、Pd、Rh、およびRuからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含むことを特徴とする請求項4に記載の製造方法。The method according to claim 4, wherein the protective film contains at least one element selected from the group consisting of Pt, Ir, Re, Os, Pd, Rh, and Ru. 前記保護膜が、Ta、Hf、W、Auからなる群から選択される少なくとも1種の元素をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。The method according to claim 5, wherein the protective film further includes at least one element selected from the group consisting of Ta, Hf, W, and Au. ガラス原料組成物を溶融し金型で成形することによって得られる情報記録媒体用ガラス基板であって、該ガラス基板が請求項1から6のいずれかに記載の製造方法によって作製されたものであることを特徴とするガラス基板。A glass substrate for an information recording medium obtained by melting a glass raw material composition and molding with a mold, wherein the glass substrate is produced by the production method according to any one of claims 1 to 6. A glass substrate, characterized in that: 基板の上に、少なくとも磁気的な記録を可能とする磁性層を有する情報磁気記録媒体であって、
前記基板が請求項7に記載の情報記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする情報磁気記録媒体。
An information magnetic recording medium having a magnetic layer that enables at least magnetic recording on a substrate,
An information magnetic recording medium, wherein the substrate is the glass substrate for an information recording medium according to claim 7.
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