JP2004025657A - Ink jet head - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを印字面に噴射することで所望の画像を形成するインクジェット記録装置のインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、エッチング等で予め空間を形成してある複数枚の薄い平板を複数枚積層・接着することで、前記の空間同士を接続し、マニホールド流路や圧力室やノズル孔などのインク流路を内部に形成する構成としたインクジェットヘッドの技術は公知となっている。
【0003】
そして、このインクジェットヘッドを構成するプレートのうち前記ノズル孔を形成してあるプレート(ノズルプレート)について、噴射されたインクが当該ノズルプレートに付着するのを防止すべく、その印字面と対向する面に撥水性のメッキ膜を形成したものも知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、ノズル孔から噴射されたインクがノズルプレートに付着するのを確実に防止したいという観点からは、前記メッキ膜がノズル孔の開口のキワのぎりぎりにまで形成され、ノズル孔の開口部分でインクが濡れて留まることを防止できることが望ましい。
しかしながら、上述のようにメッキ膜が開口のキワ位置まで形成されるようにメッキ処理をコントロールすることは困難であった。特に、高画質化の要請からノズル孔の小径化・高集積化が進展している近時の状況においては、安定して開口のキワのぎりぎりまでメッキ膜を形成させることは極めて困難とされていた。
【0005】
なお、上記見地から、ノズルプレートの表面に形成してある前記メッキ膜を、前記開口からノズル孔の内面にまで積極的に入り込ませる構成としたインクジェットヘッドも公知とされている。確かにこの構成によれば、ノズル孔の開口周囲にインク液滴が付着して濡れて留まることを回避できることになる。
しかしながらこの構成では、撥水メッキ膜がノズル孔内部にまで形成されているために、当該ノズル孔の内部でのインクの濡れ性が低下し、例えばノズル孔の部分にインクの良好なメニスカスを安定して形成できなくなるという問題がある。
【0006】
本発明は以上の点に鑑みてされたものであり、その目的は、インクによるノズル孔の目詰まりを低減でき、かつ、ノズル孔内のインクの濡れ性を確保できるインクジェットヘッドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0008】
即ち、請求項1においては、インクジェット記録装置に備えられる、印字面にインクを噴射するためのインクジェットヘッドであって、当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、その前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施され、かつ、そのメッキ膜が前記ノズル孔の内部に入り込まないように構成されているものである。
【0009】
請求項2においては、前記ノズルプレートが、少なくとも、・当該ノズルプレートに、前記印字面と反対側からプレス加工をすることにより貫通状のノズル孔を形成する、第一工程、・ノズルプレートの印字面と反対側の面にレジストを塗布するとともに、前記第一の工程で形成されたノズル孔の内部に当該レジストを充填する、第二工程、・ノズルプレートの印字面側の面に研磨加工を施す、第三工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第四工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第五工程、を含む方法で製造されているものである。
【0010】
請求項3においては、前記ノズルプレートが、少なくとも、・予めノズル孔を形成した前記ノズルプレートを、印字面側の面を上に向けた状態で、予め形成してあるレジスト層上に載置し、当該レジストを毛細管現象により前記ノズル孔内に充填する、第一工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第二工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第三工程、を含む方法で製造されているものである。
【0011】
請求項4においては、インクジェット記録装置に備えられる、印字面にインクを噴射するインクジェットヘッドであって、当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施されるとともに、当該メッキ膜のノズル孔内に入り込んだ部分に高エネルギ線を照射して、当該部分の撥水性を喪失させてあるものである。
【0012】
請求項5においては、前記ノズルプレートが、少なくとも、・予めノズル孔を形成してある当該ノズルプレートを、その印字面側の面を下方に向けて、かつ、前記ノズル孔が印字面側の面に形成する開口部分を浮かせた状態とする、第一工程、・前記状態のノズルプレートに対し、レジストを上側からバーコートにより塗布する、第二工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第三工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第四工程、を含む方法で製造されているものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図1は本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置(インクジェットプリンタ)の全体的な構成を示した側面図である。
図2はインクジェットヘッドが並べて設けられた状態を示す底面図、図3はインクジェットヘッドの側面拡大図である。図4は、流路ユニット内のインク流路を示す、インクジェットヘッド本体の断面図である。
【0014】
図1には、本実施形態のインクジェットヘッド2を四つ備えるカラーインクジェットプリンタ(インクジェット記録装置)1の概略構成が示される。このプリンタ1は、図中左方に給紙部11が、図中右方に排紙部12が、それぞれ構成され、給紙部11から排紙部12に向かって流れる用紙搬送経路が装置内部に形成されている。
【0015】
上記用紙搬送経路の具体的な構成を説明する。
前記給紙部11のすぐ下流側には用紙送りローラ5・5が備えられて、画像記録媒体たる用紙を図中左方から右方へ送るように構成されている。用紙搬送経路の中間部においては、二つのベルトローラ6・7と、両ローラ6・7間に掛け渡されるように巻回されたループ状の搬送ベルト8を備える。搬送ベルト8の外周面(搬送面)にはシリコーン処理が施されており、前記送りローラ5・5によって搬送されてくる用紙を、搬送ベルト8上側の搬送面にその粘着力により保持させながら、一方のベルトローラ6の駆動によって下流側(右方)に向けて搬送できるようになっている。
なお、符号9は押さえ部材であって、搬送ベルト8上の用紙が搬送面から浮かないように、搬送ベルト8の搬送面に用紙を押し付けて搬送面上に確実に粘着させるためのものである。
【0016】
搬送ベルト8の図中右方には剥離機構10が設けられており、搬送ベルト8の搬送面に粘着されている用紙を当該搬送面から剥離して、右方の排紙部12へ向けて送るように構成されている。
【0017】
プリンタ1のインクジェットヘッド2は、四色のインク(マゼンタ,イエロー,ブルー,ブラック)に対応して、用紙搬送方向に沿って四つ並べて設けられている。インクジェットヘッド2はその下面側から見た図である図2に示すように、用紙搬送方向に垂直な長手方向を有する細長い長方形状とされるとともに、その下面に取り付けられるヘッド本体18には、インクを下方に向けて噴射するための微小径のノズル孔13を多数並べて形成している。
インクジェットヘッド2は、その下面が前記搬送ベルト8の搬送面との間に少量の隙間を形成しながら配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成されている。この構成で、搬送ベルト8上を搬送される用紙は四つのインクジェットヘッド2のヘッド本体18のすぐ下方側を順に通過し、この用紙の上面(印字面)に向けて前記ノズル孔13から各色のインクを噴射することで、所望のカラー画像を形成できるようになっている。
【0018】
インクジェットヘッド2の部分の側面拡大図が図3に示され、このインクジェットヘッド2は、プリンタ1側に設けられている適宜の部材14に対し、ホルダ15を介して取り付けられる。このホルダ15は、側面視で垂直部15aと水平部15bとを有する逆「T」字状に形成されており、垂直部15aがネジ16によりプリンタ本体側に取り付けられる一方で、水平部15bの下面には、スペーサ部材40を介して、ベースブロック17及びヘッド本体18を固定する構成となっている。
ベースブロック17は図3に示すように平板積層構造とされ、その内部には、図示せぬインク供給源からヘッド本体18のインク供給口18aへインクを導くためのインク流路17aが形成されている。
【0019】
次に、インクジェットヘッド2の主要部をなすヘッド本体18の構成を説明する。
ヘッド本体18は、多数の圧力室や前記ノズル孔13が形成された流路ユニット20と、その上面に並べて接着される複数の台形平板状のアクチュエータユニット19と、によりなる。
流路ユニット20は図4に示すように、九枚のステンレス製の薄い平板21〜29を積層した構造とされている。上から数えて第5〜第7層の平板25〜27に跨るようにしてマニホールド流路30が形成され、この流路30が前述のインク供給口18aに連通している。直ぐ上に位置する第4層の平板24には連絡孔31が形成され、この連絡孔31が、第3層の平板23に形成された絞り部32に接続している。
【0020】
絞り部32は、第2層の平板22に形成された連通孔33を介して、第1層の平板21に形成される圧力室34の一端に連通する。この圧力室34は、上記のアクチュエータユニット19の駆動を受けてインクに圧力を与えるためのものであり、多数のノズル孔13のそれぞれに対応して一つずつ設けられている。圧力室34の他端は、第2〜第8層の平板に貫通して形成したノズル連絡孔35を介して、第9層の平板(ノズルプレート)29に形成されたノズル孔13に接続されている。
【0021】
以上の構成でインクは、前記インク供給源からベースブロック17内のインク流路17aを経由し、前述のインク供給口18aから導入され、流路ユニット20内のマニホールド流路30に至る。そして、連絡孔31から絞り部32・連通孔33を経由して圧力室34に供給されたインクは、後述のアクチュエータユニット19の駆動によって圧力を付与され、ノズル連絡孔35を経由してノズル孔13に至り噴射される。
【0022】
なお、前述のマニホールド流路30や圧力室34や絞り部32や孔31・33・35等は、各平板21〜28にエッチングで形成されており、またノズルプレート29のノズル孔13はプレス加工により形成されている。
【0023】
アクチュエータユニット19についてその概略を説明する。このアクチュエータユニット19は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミック材料からなる薄い圧電シートを複数枚重ねるとともに、薄いAg−Pd系の金属材料からなる電極膜を圧電シート間に介在させることで、前記圧力室34のそれぞれに対応して活性部が一つずつ形成される構成となっている。
この構成において、対となる電極間に電位差が与えられることで、当該活性部の部分が前記圧力室34側に凸となるように変形する。この結果、圧力室34の容積が縮小されて、圧力室34内部のインクに噴射のための圧力が与えられる。
【0024】
図4に示すように、アクチュエータユニット19の上面にはフレキシブルフラットケーブル41の一端が接着されており、このケーブル41は図3に示すようにヘッド本体18から引き出されて、屈曲されながら上側に延出されている。このフレキシブルフラットケーブル41内の導線を介して、前記アクチュエータユニット19の前述の電極が、印字制御のための図示しないドライバICと電気的に接続される。
なお、符号42はヘッド本体18の側部を覆うように盛られたシリコーン系の接着剤であり、フレキシブルフラットケーブル41が引き出される部分で強く屈曲されないよう保護するとともに、アクチュエータユニット19の部分にインク等が侵入するのを防止する役割を果たす。
【0025】
次に、上述のノズルプレート29に撥水メッキを形成する方法を説明する。
即ち、本実施形態のノズルプレート29には、その前記印字面と対向する側の面(印字面に近い側の面)に撥水メッキが施されており、このメッキ膜をノズル孔13の開口ぎりぎりまで形成している結果、噴射されたインクが開口部分で濡れて留まってノズル孔13の目詰まりの原因となることを回避しているのである。
以下に、上記撥水メッキを形成する第一から第四までの方法を示す。なお、以下の方法はいずれも、他の平板21〜28と相互に積層・接着される前の段階のノズルプレート29に対し行われるものである。
【0026】
〔第一の方法〕
まず、第一の方法について、図5を参照しながら説明する。
図5はノズルプレートに撥水メッキ膜を施す第一の方法を説明した図である。
【0027】
▲1▼この方法においては先ず、図5(a)に示すように、先細状の突起を多数有する型50を用いて、ノズルプレート29に対し印字面側と反対側からプレス加工を行う。これにより同図(b)に示すように、印字面側に近づくにつれて徐々に細くなる形状の前記ノズル孔13が、ノズルプレート29に形成される。
なお、このときにノズル孔13が上下方向に貫通状に形成されることとなるように(即ち、プレス加工の段階で、ノズル孔13がノズルプレート29の印字面側の面に開口13aを形成することとなるように)、前記型の形状等を設定しておく。
【0028】
▲2▼次に、レジストによるマスキングが行われる。
このマスキング工程においては、先ず、ノズルプレート29を適宜のアルカリ溶液に浸漬して脱脂する。その後に図5(c)に示すように、ノズルプレート29に対し、印字面と反対側の面から熱乾燥型のレジスト51をバーコート法で塗布する。
そして、この塗布と同時に当該レジストがノズル孔13の内部に充填され、かつ、ノズル孔13がノズルプレート29の印字面側に形成する開口13aから前記レジスト51が印字面側へハミ出して突出するように、バーコートの塗工速度やレジストインクの粘度・量などが調整されている。なお、ノズル孔13は前述のとおり貫通状に形成されているので、レジスト充填時にはノズル孔13内部の空気が開口13aを介して抜ける形となるから、レジスト51のノズル孔13内部への充填は容易である。
レジスト51の塗布後は、ノズルプレート29を100℃以上の高温の環境に数分程度おいて、レジスト51を乾燥硬化させる。
【0029】
▲3▼続いて、ノズルプレート29の印字面側の面にラップ加工(研磨加工)を施す。
これによって図5(d)に示すように、前述のプレス加工によって生じたバリ13bが除去されて前記開口13aの形が整えられるとともに、同時に、ノズル孔13の当該開口13aから印字面側へ突出していたレジスト(図5(c)に符号51aで示す部分)も併せて除去される。
このように、レジスト51の突出した部分51aをノズルプレート29の印字面側の面を研磨することで除去する方法を採ることで、レジスト51は図5(d)に示すように、当該ノズルプレート29の印字面側の面と面一となるように削られることになる(レジスト51の削られた面を符号51bで示す)。
即ち、レジスト51がノズル孔13の開口13aから引っ込んだ状態となったり、逆に開口13aから印字面側へ突出した状態となったりすることもない。従って、ノズル孔13の内面はレジスト51によってその開口13aのキワぎりぎりまでマスキングされると同時に、ノズルプレート29の印字面側の面は、前記開口13aのキワぎりぎりまで露出されることになる。
【0030】
▲4▼そして、ノズルプレート29の印字面側の面に撥水メッキが施される。
この工程では先ず最初に、硝酸水溶液にノズルプレート29を浸漬して酸活性化処理を施し、次にストライクNiメッキが施される。これは、ステンレス製のノズルプレート29に対し、後述する撥水メッキ膜の密着性を向上させるためのものである。なお、必要に応じて、スルファミン酸Niメッキも併せて施される。
そして、Ni−PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)よりなる撥水メッキを施し、図5の(e)に示すように、膜厚0.5〜3μmのメッキ膜52をノズルプレート29の印字面側の面に形成する。
【0031】
なお、ノズルプレート29の印字面と反対側の面や、前記ノズル孔13の内面は、前述のレジスト51によってマスキングされているので、これらの箇所には撥水メッキ膜52は形成されない。
このようにマスキングを行うのは、ノズルプレート29の印字面との反対側の面に撥水メッキ膜が形成されていると、この面に接着剤を塗布して他の板(具体的には、第8層の平板28)と貼り合わせた際に、十分な接着力を得られないおそれがあるためである。また、ノズル孔13の内面に撥水メッキ膜が形成されると、ノズル孔13の内面のインクの濡れ性が大幅に低下して、例えばノズル孔13の部分に良好なインクメニスカスを安定的に形成できない等の悪影響が考えられるからである。
【0032】
そして前記▲3▼の部分(図5(d))で述べたように、レジスト51はノズル孔13内面の開口13aのキワぎりぎりまで形成されると同時に、ノズルプレート29の印字面側の面は、その開口13aのキワぎりぎりまで露出される。そして、前述の撥水メッキ膜52はその露出部分に形成される形となるから、結局、図5の(e)に示すように、撥水メッキ膜52をノズル孔13の開口13aのキワぎりぎりまで、かつ、ノズル孔13の内面まで入り込むことなく形成できるのである。
従って、ノズル孔13から噴射されたインク液滴が、当該開口13aのキワ部分に付着し留まることが確実に防止される。この結果、インクによるノズル孔13の目詰まりを防止でき、記録画質の低下を防止できメンテナンス性に優れたインクジェットヘッドとすることができる。また一方で、撥水メッキ膜52がノズル孔13の内部に入り込んでいないから、ノズル孔13内部のインクの濡れ性が確保され、インクの噴射もスムーズである。
【0033】
▲5▼次に、ノズルプレート29を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬して10分程度放置することで、前述のレジストをノズルプレート29から剥離して除去する。なお、レジスト51の確実な剥離・除去という観点からは、ノズルプレート29は水酸化ナトリウム水溶液中で超音波振動されることが望ましい。
【0034】
▲6▼最後にノズルプレートを300〜400℃の高温で加熱処理した後、超音波水洗又は流水洗が行われ、ノズル孔13の内部などに残留するレジスト等の異物を押し流して除去する。
以上によりノズルプレート29が図5(f)に示すように完成し、このノズルプレート29を他の平板21〜28と積層接着させることで、前述の流路ユニット20が構成される。
【0035】
〔第二の方法〕
次に、第二の方法について、図6を参照しながら、前述の第一の方法と異なる点を中心に説明する。
図6は撥水メッキ膜を施す第二の方法において、レジストをノズル孔内に充填する様子を説明した図である。
【0036】
最初にノズルプレート29にノズル孔13がプレス加工にて形成されるが、その後は、レジストによるマスキング工程の前の段階で、ノズルプレート29の印字面側の面にラップ加工を施して、予めバリを除去しておく。
【0037】
次に、前述の第一の方法と異なる、以下のような方法でマスキングが行われる。
即ちこの第二の方法においては、図6(a)に示すように、適当な平板53上にレジストを塗布して、当該平板53上に適宜の厚さのレジスト層51を形成した後、脱脂処理を予め行ってあるノズルプレート29を、その印字面側の面を上に向けた状態で、レジスト層51の上に載置する。
【0038】
これにより図6の(b)→(c)に示すように、ノズル孔13の部分に位置する上記レジスト層51のレジストが、毛細管現象によって引き上げられて、ノズル孔13内に充填される。ただし、レジスト51が重力に抗して引き上げられ得るのは、内部が細く狭いために毛細管現象が現れるノズル孔13内のみであるから、レジスト51がノズル孔13から上方に飛び出してノズルプレート29上面(即ち、ノズルプレート29の印字面側の面)にまで至ることはない。
従って、前述の第一の方法と同様に、ノズル孔13の内面はレジスト51によってその開口13aのキワぎりぎりまでマスキングされると同時に、ノズルプレート29の印字面側の面は、前記開口13aのキワぎりぎりまで露出されることになる。
なお、ノズル孔13内を毛細管現象でレジスト51が引き上げられる度合いはレジスト51の粘度によって大きく影響されるので、レジスト51に適宜の引上げ力が作用することとなるよう、当該レジスト51の粘度を予め調整してある。
【0039】
後の撥水メッキ処理→熱処理→洗浄の工程は、前述の第一の方法とまったく同様であるので、説明を省略する。この結果、図5(f)と同様に、撥水メッキ膜52をノズル孔13の開口13aのキワぎりぎりまで形成でき、インクによるノズル孔13の目詰まりを防止することができる。
【0040】
〔第三の方法〕
次に、第三の方法を図7を参照しながら説明する。この方法は、マスキングの際にレジストを用いず、ノズル孔13の内面に撥水メッキ膜をいったん形成してしまう方法である。
図7は撥水メッキ膜を施す第三の方法において、ノズル孔内の撥水メッキ膜の撥水性を喪失させる様子を説明した図である。
【0041】
具体的には、前記第二の方法と同様に、ノズルプレート29にプレス加工でノズル孔13を形成し、ラップ加工によってバリを除去する。そして図7(a)に示すように、このノズルプレート29の印字面側と反対側の面にマスキングテープ54を貼って、当該面をマスキングする。なお、この第三の方法においては、ノズル孔13の内部にはマスキングを行わない。
そして、前述の第一の方法とまったく同様の撥水メッキ工程を行う。この結果、ノズルプレート29には図7(b)に示すように、その印字面側の面及びノズル孔13の内面に撥水メッキ膜52が形成されることとなる。
【0042】
その後は、前記マスキングテープ54を取り去った上で、図7(c)に示すように、ノズルプレート29の印字面側と反対側の面からレーザー、プラズマ等の高エネルギ線を照射して、前記ノズル孔13の内面を局部加熱する。撥水メッキ膜52に使用される前述のPTFEは400℃以上に加熱されると変質してその撥水機能を喪失するので、ノズル孔13の内面の撥水性は失われ、インクの濡れ性が確保される。そして、前記高エネルギ線の角度を種々変化させて、当該高エネルギ線をノズル孔13に対して様々な角度から入射させることで、ノズル孔13内面の前記開口13aのキワぎりぎりまで加熱して、その部分の撥水メッキ膜52の撥水性を失わせることができる。
一方、高エネルギ線は印字面側と反対側から照射されるため、ノズルプレート29の印字面側の面は(ノズル孔13の開口13aのキワ部分も含めて)前述の高エネルギ線の照射を受けず、撥水メッキ膜52の撥水性は失われず維持される。
以上のように、ノズルプレート29の印字面側の面に対し、そのノズル孔13の開口13aのキワの部分まで撥水効果を付与させる一方、ノズル孔13の内面部分は、開口13aのキワぎりぎりまで撥水性を喪失させることができる。従って、前述の第一・第二の方法と同様に、インクによるノズル孔13の目詰まりを確実に防止できる。
【0043】
〔第四の方法〕
次に第四の方法を説明するが、この方法はレジストをバーコート法で塗布する際の方法に特徴を有するものである。以下、具体的に説明する。
図8は撥水メッキ膜を施す第四の方法において、レジストをノズルプレートに塗布する際の方法を示した図である。
【0044】
先ず、前記第二の方法と同様に、ノズルプレート29に対しプレス加工によりノズル孔13を形成した後、ノズルプレート29の印字面側の面にラップ加工を施してバリ取りを行う。
その後、ノズルプレート29を図8に示すように、その印字面側と反対側の面を上にして、適宜の台55上に載置する。このときには、ノズルプレート29と台55との間に適宜のスペーサ部材56が介在されており、このスペーサ部材56があるために、ノズルプレート29のノズル孔13が印字面側の面に形成する開口13aが、前記台55から適宜の間隔をおいて浮いた形となっている。なお、該スペーサ部材56は、ノズル孔13の前記開口13aを避けた位置に配置され、当該開口13aの部分をスペーサ部材56が塞がないようになっている。
【0045】
この状態で、ノズルプレート29の上面(即ち、印字面側とは反対側の面)に、レジスト51をバーコートにより塗布する。
なお、このときは前記第一の方法と同様に、塗布と同時に当該レジストをノズル孔13の内部に充填し、このノズル孔13がノズルプレート29の印字面側に形成する開口13aから前記レジスト51が印字面側へやや突出するように、バーコートの塗工速度やレジストインクの量などが調整されている。
【0046】
そして、実際にレジスト51が前記開口13aから印字面側(下側)にやや突出しても、当該開口13aは台55から浮いているので、レジスト51が台55とノズルプレート29との狭い隙間に毛細管現象で入り込んで、ノズルプレート29の印字面側の面に回り込んで付着することが防止される。
従って、第一の方法のようにレジストに対しラップ加工を施さなくとも、ノズル孔13の内面はレジスト51によってその開口13aのキワぎりぎりまでマスキングされると同時に、ノズルプレート29の印字面側の面は、その開口13aのキワぎりぎりまで露出されることになる。
【0047】
後の撥水メッキ処理→熱処理→洗浄の工程は、前述の第一の方法とまったく同様である。この結果、図5(f)に示すように、ノズルプレート29の印字面側の面の撥水メッキ膜52を、そのノズル孔13の開口13aのキワまで形成でき、インクによるノズル孔13の目詰まりを確実に防止できる。
【0048】
以上に実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
例えば、前記の実施形態において、撥水メッキ処理はNi−PTFEメッキ処理としているが、撥水性を有する膜をノズルプレート29上に形成できるものである限り、その方法は限定されない。
【0049】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下のような効果を奏する。
【0050】
請求項1に示す如く、インクジェット記録装置に備えられる、印字面にインクを噴射するためのインクジェットヘッドであって、当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、その前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施され、かつ、そのメッキ膜が前記ノズル孔の内部に入り込まないように構成されているので、
ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキが施されているので、ノズル孔から噴射されるインクがノズルプレートに付着してノズル孔が詰まることを防止できる。また、撥水メッキがノズル孔の内部に入り込んでいないから、ノズル孔内部のインクの濡れ性が確保され、インクの噴射もスムーズである。
【0051】
請求項2に示す如く、前記ノズルプレートが、少なくとも、・当該ノズルプレートに、前記印字面と反対側からプレス加工をすることにより貫通状のノズル孔を形成する、第一工程、・ノズルプレートの印字面と反対側の面にレジストを塗布するとともに、前記第一の工程で形成されたノズル孔の内部に当該レジストを充填する、第二工程、・ノズルプレートの印字面側の面に研磨加工を施す、第三工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第四工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第五工程、を含む方法で製造されているので、
ノズルプレートにノズル孔を貫通孔として形成し、それからノズル孔の内部にレジストを充填するので、充填時にノズル孔内の空気を抜くことが容易で、レジストによるマスキングをスムーズかつ確実に行える。
また、レジスト充填時にレジストをノズル孔から意図的にハミ出させ、その後のノズルプレートの印字面側の面を研磨加工することで当該ハミ出したレジストを除去する方法を用いるので、ノズル孔の内部を、ノズルプレートの印字面側の面との境界のキワまで、レジストにより確実にマスキングできる。従って、ノズルプレートの印字面側の面の撥水メッキを、そのノズル孔の開口部のキワまで形成できる。この結果、インクによるノズル孔の目詰まりを確実に防止できる。
更には、前記研磨加工によって、ハミ出したレジストを除去するとともにプレス加工によって生じたバリを取ることが可能であるので、作業を合理化でき、製造工数を低減させることができる。
【0052】
請求項3に示す如く、前記ノズルプレートが、少なくとも、・予めノズル孔を形成した前記ノズルプレートを、印字面側の面を上に向けた状態で、予め形成してあるレジスト層上に載置し、当該レジストを毛細管現象により前記ノズル孔内に充填する、第一工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第二工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第三工程、を含む方法で製造されているので、
レジストの粘度などの条件を調整することで、マスキングとしてのレジストを、ノズル孔の開口部のキワまで充填させ得るようにすることができる。一方で、レジストを毛細管現象によって、ノズル孔内を重力に逆らって引き上げて充填させる形となるので、レジストがノズルプレート上面(即ち、ノズルプレートの印字面側の面)にまで至ることはない。従って、請求項2と同様に、ノズルプレートの印字面側の面の撥水メッキを、そのノズル孔の開口部のキワまで形成できる。この結果、インクによるノズル孔の目詰まりを確実に防止できる。
【0053】
請求項4に示す如く、インクジェット記録装置に備えられる、印字面にインクを噴射するインクジェットヘッドであって、当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施されるとともに、当該メッキ膜のノズル孔内に入り込んだ部分に高エネルギ線を照射して、当該部分の撥水性を喪失させてあるので、
ノズルプレートの印字面側の面の撥水性を確保できる一方で、ノズル孔内部のメッキ膜の撥水性を喪失させることで、ノズル孔内部のインクの濡れ性を確保できる。この結果、ノズルプレートの印字面側の面に対し、そのノズル孔の開口部のキワの部分まで撥水効果を付与することができるので、インクによるノズル孔の目詰まりを確実に防止できる。
また、この方法によれば、ノズル孔内部に撥水メッキを形成させないようにするためのマスキングの手間を省略できる。
【0054】
請求項5に示す如く、前記ノズルプレートが、少なくとも、・予めノズル孔を形成してある当該ノズルプレートを、その印字面側の面を下方に向けて、かつ、前記ノズル孔が印字面側の面に形成する開口部分を浮かせた状態とする、第一工程、・前記状態のノズルプレートに対し、レジストを上側からバーコートにより塗布する、第二工程、・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第三工程、・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第四工程、を含む方法で製造されているので、
ノズルプレートにレジストをバーコートで塗布して、そのノズル孔にレジストを充填する際に、その下面(ノズルプレートの印字面側の面)の開口部からレジストが突出しても、当該開口部分が浮いているので、その突出レジストがノズルプレートの印字面側の面に回り込んで付着することを防止できる。従って、請求項2・請求項3と同様に、ノズルプレートの印字面側の面の撥水メッキを、そのノズル孔の開口部のキワまで形成できる。この結果、インクによるノズル孔の目詰まりを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置(インクジェットプリンタ)の全体的な構成を示した側面図。
【図2】インクジェットヘッドが並べて設けられた状態を示す底面図。
【図3】インクジェットヘッドの側面拡大図。
【図4】流路ユニット内のインク流路を示す、インクジェットヘッド本体の断面図。
【図5】ノズルプレートに撥水メッキ膜を施す第一の方法を説明した図。
【図6】撥水メッキ膜を施す第二の方法において、レジストをノズル孔内に充填する様子を説明した図。
【図7】撥水メッキ膜を施す第三の方法において、ノズル孔内の撥水メッキ膜の撥水性を喪失させる様子を説明した図。
【図8】撥水メッキ膜を施す第四の方法において、レジストをノズルプレートに塗布する際の方法を示した図。
【符号の説明】
2 インクジェットヘッド
13 ノズル孔
13a ノズル孔の開口
20 流路ユニット
29 ノズルプレート
51 レジスト
52 撥水メッキ膜[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet head of an inkjet recording apparatus that forms a desired image by ejecting ink onto a printing surface.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a plurality of thin flat plates in which a space has been formed in advance by etching or the like are stacked and adhered to connect the spaces to each other to form a manifold flow path, an ink flow path such as a pressure chamber or a nozzle hole. The technology of an ink jet head having a structure in which is formed is known.
[0003]
A surface of the plate (nozzle plate) on which the nozzle holes are formed among the plates constituting the ink jet head, the surface facing the printing surface of the plate to prevent the ejected ink from adhering to the nozzle plate. There is also known a film having a water-repellent plating film formed thereon.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Here, from the viewpoint of reliably preventing the ink ejected from the nozzle hole from adhering to the nozzle plate, the plating film is formed to the very edge of the opening of the nozzle hole, and at the opening portion of the nozzle hole. It is desirable to be able to prevent the ink from staying wet.
However, it has been difficult to control the plating process so that the plating film is formed up to the edge of the opening as described above. In particular, in recent circumstances where the diameter of nozzle holes has become smaller and more highly integrated due to the demand for higher image quality, it has been extremely difficult to stably form a plating film up to the edge of the opening. Was.
[0005]
In addition, from the above viewpoint, an inkjet head having a configuration in which the plating film formed on the surface of the nozzle plate is positively inserted from the opening to the inner surface of the nozzle hole is also known. Indeed, according to this configuration, it is possible to prevent the ink droplets from adhering around the openings of the nozzle holes and remaining wet.
However, in this configuration, since the water-repellent plating film is formed to the inside of the nozzle hole, the wettability of the ink inside the nozzle hole is reduced, and for example, a good meniscus of the ink is stably formed in the nozzle hole portion. Therefore, there is a problem that it cannot be formed.
[0006]
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an ink jet head which can reduce clogging of a nozzle hole by ink and can ensure the wettability of ink in the nozzle hole. is there.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.
[0008]
That is, in
[0009]
In
[0010]
In
[0011]
The ink jet head according to
[0012]
In
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, an embodiment of the invention will be described.
FIG. 1 is a side view showing the overall configuration of an ink jet recording apparatus (ink jet printer) according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a bottom view showing a state in which the inkjet heads are provided side by side, and FIG. 3 is an enlarged side view of the inkjet head. FIG. 4 is a cross-sectional view of the ink jet head main body, showing an ink flow path in the flow path unit.
[0014]
FIG. 1 shows a schematic configuration of a color inkjet printer (inkjet recording apparatus) 1 including four
[0015]
A specific configuration of the paper transport path will be described.
Immediately downstream of the paper feed unit 11, paper feed rollers 5.5 are provided to feed a paper as an image recording medium from left to right in the figure. In the middle part of the paper transport path, there are provided two belt rollers 6, 7 and a loop-
[0016]
A peeling mechanism 10 is provided on the right side of the
[0017]
The inkjet heads 2 of the
The lower surface of the ink-
[0018]
FIG. 3 is an enlarged side view of a portion of the
The
[0019]
Next, the configuration of the head
The head
As shown in FIG. 4, the
[0020]
The throttle portion 32 communicates with one end of a pressure chamber 34 formed in the first layer flat plate 21 through a
[0021]
In the above configuration, ink is introduced from the ink supply source through the ink supply port 18a through the ink flow path 17a in the
[0022]
The above-described
[0023]
The outline of the
In this configuration, when a potential difference is given between the paired electrodes, the active portion is deformed so as to be convex toward the pressure chamber 34 side. As a result, the volume of the pressure chamber 34 is reduced, and a pressure for jetting is applied to the ink inside the pressure chamber 34.
[0024]
As shown in FIG. 4, one end of a flexible flat cable 41 is adhered to the upper surface of the
Reference numeral 42 denotes a silicone adhesive spread over the side of the head
[0025]
Next, a method for forming water-repellent plating on the above-described
That is, the
Hereinafter, first to fourth methods for forming the water-repellent plating will be described. Note that any of the following methods is performed on the
[0026]
[First method]
First, the first method will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is a diagram illustrating a first method of applying a water-repellent plating film to a nozzle plate.
[0027]
{Circle around (1)} In this method, first, as shown in FIG. 5 (a), the
At this time, the nozzle holes 13 are formed so as to penetrate in the vertical direction (that is, the nozzle holes 13 form the
[0028]
{Circle around (2)} Next, masking with resist is performed.
In this masking step, first, the
Simultaneously with the application, the resist is filled into the
After the application of the resist 51, the
[0029]
{Circle around (3)} Subsequently, a lapping process (polishing process) is performed on the surface of the
As a result, as shown in FIG. 5 (d), the
As described above, by adopting a method of removing the protruding
That is, the resist 51 does not retract from the
[0030]
{Circle around (4)} Then, the surface on the printing surface side of the
In this step, first, the
Then, a water-repellent plating made of Ni-PTFE (Poly Tetra Fluoro Ethylene) is applied, and a
[0031]
Since the surface of the
Masking is performed in such a manner that when a water-repellent plating film is formed on the surface of the
[0032]
As described in the portion (3) (FIG. 5 (d)), the resist 51 is formed up to the edge of the
Therefore, the ink droplets ejected from the nozzle holes 13 are reliably prevented from adhering and remaining on the rim portions of the
[0033]
(5) Next, the
[0034]
{Circle around (6)} After the nozzle plate is finally subjected to a heat treatment at a high temperature of 300 to 400 ° C., ultrasonic water washing or running water washing is performed, and foreign matters such as resist remaining in the inside of the nozzle holes 13 are washed away and removed.
As described above, the
[0035]
[Second method]
Next, the second method will be described with reference to FIG. 6, focusing on differences from the first method.
FIG. 6 is a view for explaining how the resist is filled in the nozzle holes in the second method of applying the water-repellent plating film.
[0036]
First, the nozzle holes 13 are formed in the
[0037]
Next, masking is performed by the following method, which is different from the first method described above.
That is, in the second method, as shown in FIG. 6A, a resist is applied on an appropriate
[0038]
As a result, as shown in FIGS. 6B to 6C, the resist of the resist
Therefore, as in the first method described above, the inner surface of the
Note that the degree to which the resist 51 is pulled up by the capillary phenomenon in the
[0039]
The subsequent steps of water-repellent plating treatment → heat treatment → cleaning are exactly the same as those in the first method described above, and therefore description thereof is omitted. As a result, similarly to FIG. 5F, the water-
[0040]
[Third method]
Next, a third method will be described with reference to FIG. In this method, a resist is not used at the time of masking, and a water-repellent plating film is once formed on the inner surface of the
FIG. 7 is a view for explaining how the water repellency of the water repellent plating film in the nozzle hole is lost in the third method of applying the water repellent plating film.
[0041]
Specifically, similarly to the second method, the nozzle holes 13 are formed in the
Then, the same water-repellent plating process as in the first method is performed. As a result, a water-
[0042]
After that, after removing the masking
On the other hand, since the high energy ray is irradiated from the side opposite to the printing surface side, the surface of the
As described above, the water repellent effect is imparted to the surface of the
[0043]
[Fourth method]
Next, a fourth method will be described. This method has a feature in a method of applying a resist by a bar coating method. Hereinafter, a specific description will be given.
FIG. 8 is a diagram showing a method for applying a resist to a nozzle plate in a fourth method for applying a water-repellent plating film.
[0044]
First, similarly to the second method, after forming the nozzle holes 13 in the
Thereafter, as shown in FIG. 8, the
[0045]
In this state, a resist 51 is applied to the upper surface of the nozzle plate 29 (that is, the surface opposite to the printing surface side) by bar coating.
In this case, similarly to the first method, the resist is filled into the
[0046]
Even if the resist 51 actually protrudes slightly from the
Therefore, even if the resist is not lapped as in the first method, the inner surface of the
[0047]
The subsequent steps of water-repellent plating treatment → heat treatment → cleaning are exactly the same as in the first method described above. As a result, as shown in FIG. 5 (f), the water-
[0048]
Although the embodiments have been described above, the technical scope of the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the water-repellent plating is Ni-PTFE plating, but the method is not limited as long as a water-repellent film can be formed on the
[0049]
【The invention's effect】
The present invention is configured as described above, and has the following effects.
[0050]
An inkjet head for ejecting ink to a printing surface, which is provided in an inkjet recording apparatus, wherein the nozzle plate, which forms a part of the inkjet head and has a nozzle hole, has Water-repellent plating is applied to the surface facing the printing surface, and since the plating film is configured not to enter the inside of the nozzle hole,
Since the print surface side of the nozzle plate is coated with water repellent, it is possible to prevent the ink ejected from the nozzle holes from adhering to the nozzle plate and clogging the nozzle holes. Further, since the water-repellent plating does not enter the inside of the nozzle hole, the wettability of the ink inside the nozzle hole is ensured, and the ink ejection is smooth.
[0051]
As shown in
Since the nozzle hole is formed as a through hole in the nozzle plate and then the inside of the nozzle hole is filled with the resist, the air in the nozzle hole can be easily evacuated during filling, and masking with the resist can be performed smoothly and reliably.
Also, a method is used in which the resist is intentionally exposed from the nozzle hole when filling the resist, and a method of removing the exposed resist by polishing the surface on the printing surface side of the subsequent nozzle plate is used. Can be reliably masked by the resist up to the border between the nozzle plate and the surface on the printing surface side. Therefore, the water-repellent plating on the surface on the printing surface side of the nozzle plate can be formed up to the edge of the opening of the nozzle hole. As a result, clogging of the nozzle holes by ink can be reliably prevented.
Furthermore, since the polishing process can remove the resist that has come off and remove the burrs generated by the pressing process, the work can be streamlined and the number of manufacturing steps can be reduced.
[0052]
As shown in
By adjusting the conditions such as the viscosity of the resist, it is possible to fill the resist as a mask up to the opening of the nozzle hole. On the other hand, since the resist is pulled up in the nozzle hole against the gravity by the capillary action and filled, the resist does not reach the upper surface of the nozzle plate (that is, the surface of the nozzle plate on the printing surface side). Therefore, similarly to the second aspect, the water-repellent plating on the surface of the nozzle plate on the printing surface side can be formed up to the edge of the opening of the nozzle hole. As a result, clogging of the nozzle holes by ink can be reliably prevented.
[0053]
As shown in
While the water repellency of the printing surface side of the nozzle plate can be ensured, the wettability of the ink inside the nozzle hole can be ensured by losing the water repellency of the plating film inside the nozzle hole. As a result, a water-repellent effect can be imparted to the surface of the nozzle plate on the printing surface side up to the edge of the opening of the nozzle hole, so that clogging of the nozzle hole by ink can be reliably prevented.
Further, according to this method, the trouble of masking for preventing water-repellent plating from being formed inside the nozzle hole can be omitted.
[0054]
As shown in
When the resist is applied to the nozzle plate with a bar coat and the nozzle holes are filled with the resist, even if the resist protrudes from the opening on the lower surface (the surface on the printing surface side of the nozzle plate), the opening does not float. Therefore, it is possible to prevent the projecting resist from wrapping around and adhering to the printing surface side of the nozzle plate. Therefore, the water-repellent plating on the print surface side of the nozzle plate can be formed up to the crevices at the openings of the nozzle holes, as in the second and third aspects. As a result, clogging of the nozzle holes by ink can be reliably prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing an overall configuration of an ink jet recording apparatus (ink jet printer) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a bottom view showing a state in which inkjet heads are provided side by side.
FIG. 3 is an enlarged side view of the inkjet head.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the ink jet head main body, showing an ink flow path in a flow path unit.
FIG. 5 is a diagram illustrating a first method of applying a water-repellent plating film to a nozzle plate.
FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which a resist is filled in a nozzle hole in a second method of applying a water-repellent plating film.
FIG. 7 is a diagram illustrating a state in which the water repellency of a water repellent plating film in a nozzle hole is lost in a third method of applying a water repellent plating film.
FIG. 8 is a diagram showing a method for applying a resist to a nozzle plate in a fourth method of applying a water-repellent plating film.
[Explanation of symbols]
2 Inkjet head
13 Nozzle hole
13a Opening of nozzle hole
20 Channel unit
29 Nozzle plate
51 Resist
52 Water-repellent plating film
Claims (5)
当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、その前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施され、かつ、そのメッキ膜が前記ノズル孔の内部に入り込まないように構成されていることを特徴とする、インクジェットヘッド。An inkjet head for ejecting ink to a printing surface, provided in the inkjet recording apparatus,
A nozzle plate that forms a part of the inkjet head and has a nozzle hole is provided with a water-repellent plating on a surface facing the printing surface, and the plating film does not enter the inside of the nozzle hole. An ink jet head characterized by being configured as follows.
・当該ノズルプレートに、前記印字面と反対側からプレス加工をすることにより貫通状のノズル孔を形成する、第一工程。
・ノズルプレートの印字面と反対側の面にレジストを塗布するとともに、前記第一の工程で形成されたノズル孔の内部に当該レジストを充填する、第二工程。
・ノズルプレートの印字面側の面に研磨加工を施す、第三工程。
・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第四工程。
・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第五工程。The ink jet head according to claim 1, wherein the nozzle plate is manufactured by a method including at least the following first to fifth steps.
A first step of forming a penetrating nozzle hole in the nozzle plate by pressing from a side opposite to the printing surface;
A second step of applying a resist to the surface of the nozzle plate opposite to the printing surface and filling the inside of the nozzle holes formed in the first step with the resist;
A third step of polishing the surface of the nozzle plate on the printing surface side.
-The fourth step of applying a water-repellent plating to the printing surface side of the nozzle plate.
A fifth step of removing and removing the resist from the nozzle plate.
・予めノズル孔を形成した前記ノズルプレートを、印字面側の面を上に向けた状態で、予め形成してあるレジスト層上に載置し、当該レジストを毛細管現象により前記ノズル孔内に充填する、第一工程。
・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第二工程。
・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第三工程。The inkjet head according to claim 1, wherein the nozzle plate is manufactured by a method including at least the following first to third steps.
・ The nozzle plate in which the nozzle holes are formed in advance is placed on a resist layer formed in advance with the printing surface side facing upward, and the resist is filled in the nozzle holes by capillary action. Do the first step.
-The second step of applying a water-repellent plating to the printing surface side of the nozzle plate.
A third step of removing and removing the resist from the nozzle plate;
当該インクジェットヘッドの一部を構成するとともにノズル孔を有するノズルプレートには、前記印字面に対向する面に撥水性のメッキが施されるとともに、当該メッキ膜のノズル孔内に入り込んだ部分に高エネルギ線を照射して、当該部分の撥水性を喪失させてあることを特徴とする、インクジェットヘッド。An ink jet head that is provided in the ink jet recording apparatus and ejects ink to a printing surface,
A nozzle plate that forms a part of the ink jet head and has a nozzle hole is provided with a water-repellent plating on a surface facing the printing surface, and a high portion is provided in a portion of the plating film that has entered the nozzle hole. An ink jet head, characterized in that the water repellency of the portion is lost by irradiating an energy beam.
・予めノズル孔を形成してある当該ノズルプレートを、その印字面側の面を下方に向けて、かつ、前記ノズル孔が印字面側の面に形成する開口部分を浮かせた状態とする、第一工程。
・前記状態のノズルプレートに対し、レジストを上側からバーコートにより塗布する、第二工程。
・ノズルプレートの印字面側の面に撥水メッキを施す、第三工程。
・ノズルプレートからレジストを剥離して除去する、第四工程。The ink jet head according to claim 1, wherein the nozzle plate is manufactured by a method including at least the following first to fourth steps.
The nozzle plate having a nozzle hole formed in advance, the printing surface side of the nozzle plate is directed downward, and the nozzle hole is formed in a state where the opening formed on the printing surface side is raised. One step.
A second step of applying a resist to the nozzle plate in the above state by bar coating from above.
-The third step of applying water-repellent plating to the printing surface side of the nozzle plate.
A fourth step of removing and removing the resist from the nozzle plate;
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100687570B1 (en) * | 2005-07-19 | 2007-02-27 | 삼성전기주식회사 | Nozzle for ink jet head and method of the same |
JP2008544852A (en) * | 2005-07-01 | 2008-12-11 | フジフィルム ディマティックス,インコーポレイテッド | Non-wetting coating on fluid ejector |
US8191993B2 (en) | 2007-06-21 | 2012-06-05 | Ricoh Company, Ltd. | Nozzle plate for liquid ejector head, liquid ejector head, liquid ejector, liquid ejection method, inkjet recording apparatus, and inkjet recording method |
-
2002
- 2002-06-26 JP JP2002186091A patent/JP2004025657A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008544852A (en) * | 2005-07-01 | 2008-12-11 | フジフィルム ディマティックス,インコーポレイテッド | Non-wetting coating on fluid ejector |
KR100687570B1 (en) * | 2005-07-19 | 2007-02-27 | 삼성전기주식회사 | Nozzle for ink jet head and method of the same |
US8191993B2 (en) | 2007-06-21 | 2012-06-05 | Ricoh Company, Ltd. | Nozzle plate for liquid ejector head, liquid ejector head, liquid ejector, liquid ejection method, inkjet recording apparatus, and inkjet recording method |
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