JP2004020926A - グレーティング付き光導波路部品の製造方法 - Google Patents
グレーティング付き光導波路部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004020926A JP2004020926A JP2002175766A JP2002175766A JP2004020926A JP 2004020926 A JP2004020926 A JP 2004020926A JP 2002175766 A JP2002175766 A JP 2002175766A JP 2002175766 A JP2002175766 A JP 2002175766A JP 2004020926 A JP2004020926 A JP 2004020926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- optical waveguide
- optical fiber
- optical
- refractive index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
【解決手段】光ファイバ5などの光導波路の光学特性をモニタしながら、該光導波路のコアに屈折率変化を誘起させてグレーティングを形成する際、加熱器9などを用いて、光導波路を所定の温度に加熱する。これにより、熱的に不安定な部分を除去しながらグレーティングを形成することができる。前記コアに屈折率変化を誘起させる手段としては、特に、フェムト秒パルスレーザ2を集光照射する方法が好ましい。また、前記所定の温度は300℃以上であることが好ましい。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信、光計測分野で用いられるグレーティング付き光導波路部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバブラッググレーティング(FBG)等のグレーティング付き光導波路部品は、波長選択デバイス等として広く利用されている。
従来、この種のグレーティング付き光導波路部品は、紫外光の露光による屈折率変化誘起を利用して、光導波路のコア中に、該コアより高い屈折率を有するグレーティング(回折格子)を書き込むことによって作製されている。
【0003】
これに対し、例えば、特開2000−155225号公報や特願2002−81927号には、フェムト秒パルスレーザの集光照射を利用して屈折率変化を誘起させ、グレーティングの書き込みを行う方法が開示されている。
これらの公報に記載された技術は、例えば、特開平9−311237号公報に記載のフェムト秒パルスレーザを用いた屈折率変化誘起を利用したものである。この技術によれば、従来の紫外光露光を用いた方法に比して、透光性材料中に大きな屈折率変化を効率よく誘起することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、フェムト秒パルスレーザを利用して形成された高屈折率領域は、500℃程度までの加熱では変化しないなど、熱的安定性に優れているといわれている(例えば、Kondo Y., Nouchi K., Watanabe S., Kazanski P.G., Mitsuyu T., Hirao K. Optics Letters, Vol.24, p646 (1999) 参照)。
【0005】
しかしながら、本発明者らの検討によれば、フェムト秒パルスレーザにより形成されたグレーティングであっても、欠陥等、熱劣化しやすい成分を含むことが分かった。図2に、グレーティング周期500μm、長さ20mm、40段の光ファイバグレーティングを300℃に加熱処理したときの透過損失の変化の一例を示す。この光ファイバグレーティングは、レーザ発振源としてTiサファイアを用い、中心波長810nm、パルス幅170fs、繰り返し周波数200kHz、平均出力700mWのフェムト秒パルスレーザをNdフィルタにより減衰させたのち、光ファイバのコアに集光照射することにより、作製したものである。図2に示すように、該グレーティングの損失波長帯は、300℃に加熱すると直ちに中心波長のシフトを生じている。しかし、5分以上加熱してもその後はあまり変化しないことが分かる。
【0006】
このように、熱劣化しやすい成分が残留したままでは、グレーティングの長期信頼性に大きな影響を及ぼす。このため、熱的安定性の低い成分は出荷前に熱処理するなどして除去し、出荷後には光学特性を維持できるようにすることが好ましい。しかし、グレーティングを形成した後に改めて熱処理を行う場合、熱処理によるグレーティングの光学特性の変動量を、グレーティングの形成時に予想するのは難しい。熱処理前後の光学特性の変動を考慮して、熱処理後に所望の光学特性が得られるようにグレーティングを形成することは容易ではなく、このため、所望の光学特性を得ることが困難となり、不良品の発生により歩留まりが低下しており、問題となっている。
【0007】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、光学特性の精密な制御を容易に行うことができ、歩留まりを向上することができるグレーティング付き光導波路部品の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、光導波路の光学特性をモニタしながら、該光導波路のコアに屈折率変化を誘起させてグレーティングを形成する際、光導波路を所定の温度に加熱することによって解決される。これにより、熱的に不安定な部分を除去しながらグレーティングを形成して、その光学特性をモニタすることができるので、精密な光学特性制御を簡便に行うことができる。
コアに屈折率変化を誘起させる手段としては、特に、フェムト秒パルスレーザを集光照射する方法が好ましい。また、前記所定の温度は300℃以上であることが好ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態に基づいて、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明のグレーティング付き光導波路部品の製造方法を実施するのに用いられる製造装置の一例を示している。図1において、符号1は、レーザ発振源であり、このレーザ発振源1からは、フェムト秒パルスレーザ2が発振されるようになっている。このフェムト秒パルスレーザ2は、ハーフミラー3により反射されたのち、集光レンズ4を介して、光ファイバ5の内部の所定の目標位置6に集光照射されるようになっている。
【0010】
光ファイバ5は、光通信用に使用され、かつ、フェムト秒パルスレーザ2を集光照射したとき集光点で屈折率を増加させることができる材料からなるものである。このような材料としては、石英系ガラス、酸化物ガラス、フッ化物ガラスが例示される。石英系ガラスとしては、石英ガラスやゲルマニウム(Ge)ドープ石英ガラス、フッ素ドープ石英ガラス、ゲルマニウム−フッ素共添加石英ガラスなどが例示される。また、酸化物ガラスとしては、ケイ酸塩ガラス、ホウ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、弗リン酸塩ガラス、酸化ビスマス系ガラス等が挙げられる。一般的には、低損失な光ファイバが容易に得られ、量産性、生産性の高い製造方法が確立されている石英系光ファイバを用いることが好ましい。
また、光ファイバ5としては、取扱いの容易な光ファイバ素線を用いることが好ましく、その場合は、グレーティングの書き込み加工を行う前に被覆を有機溶媒等を用いて除去しておくことが好ましい。
【0011】
光ファイバ5は、V溝基板7上に形成されたV溝8の上に載置されて固定されている。V溝基板7は、加熱器9の上に置かれており、この加熱器9によって所定の温度に加熱されるようになっている。
加熱器9は、図示しない精密ステージの上に固定されており、この精密ステージの移動により、フェムト秒パルスレーザ2の集光の目標位置6を所望の位置に定められるようになっている。所望の位置に目標位置6を定めるため、目標位置6をモニタするためのCCDカメラ10が設けられている。
さらに、この装置には、フェムト秒パルスレーザ2の光路上にシャッタ11が設けられており、該シャッタ11の開閉によりフェムト秒パルスレーザ2の照射をスイッチすることができるようになっている。
【0012】
さらに、光ファイバ5には、光学特性測定手段(図示せず)が接続されており、これにより、光ファイバ5の光学特性をモニタできるようになっている。
光学特性測定手段としては、例えば、光ファイバ5の一端に光カプラを介して光源を接続し、前記光カプラの残る出力端にスペクトラムアナライザを接続して、前記光源から光ファイバ5に光を入射させたとき、スペクトラムアナライザにより、グレーティングの反射光をモニタできるようにした装置系が挙げられる。また、光ファイバ5の一端に光源を、他端にスペクトラムアナライザを接続して、グレーティングの通過光をモニタできるようにした装置系を用いてもよい。
【0013】
本実施の形態においては、加熱器9を用いて、V溝基板7を加熱し、これによって光ファイバ5を所定の温度に加熱する。これにより、熱的安定性の向上のための熱処理を、屈折率誘起変化およびモニタリングと同時に行うことができるので、熱的安定性の低い成分を除去した後の状態をモニタしながら、グレーティングを形成することができることになる。従って、グレーティングを形成する際に、熱処理による光学特性の変動を考慮する必要はなくなり、モニタリングの結果をそのまま用いて、所望の光学特性が得られるようにグレーティングを形成すればよくなるので、光学特性制御を極めて精密に行うことができる。この結果、光学特性の優れた光ファイバグレーティングを容易に製造することができるようになり、歩留まりを向上させることができる。
本発明の方法は、従来の製造装置に加熱器9を取り付けて、光ファイバ5を所定の温度に加熱するだけでよいので、実施は極めて容易であり、コストもあまり掛からない。
【0014】
前記所定の加熱温度は、熱的に不安定な部分を除去するために必要な温度とすればよく、この温度は、必要に応じて、用いる光ファイバの種類およびレーザの種類ごとに、予め実験的に決定することができる。
例えば、光ファイバ5等の光導波路が石英系材料からなり、屈折率誘起変化を起こす手段としてフェムト秒パルスレーザ2を用いた場合、300℃以上とすることが好ましい。
加熱温度の上限は、光ファイバ5が軟化したり、ドーパントが拡散するなどして変質したりしない温度とされる。例えば、コアにドーパントとしてGeを含む石英系光ファイバの場合、1500℃以下とすることが好ましい。
【0015】
加熱器9としては、所望の温度制御が可能であり、上記製造装置に容易に組み込み可能な構造および寸法を有するものであれば、一般的に使用されている市販品などを特に制限なく使用することができる。
本実施の形態のように、グレーティングを形成すべき光導波路が光ファイバ5である場合、直接光ファイバ5を加熱する必要はなく、例えば、図1に示すように、V溝基板7を加熱し、間接的に光ファイバ5を加熱するようにすると、実施が容易である。また、加熱器9として上面にV溝を有するものを用い、そのV溝の上に光ファイバ5を載置して、これを直接加熱するようにしてもよい。
【0016】
本実施の形態においては、屈折率誘起変化を起こす手段として、パルス幅が1ps以下であるフェムト秒パルスレーザ2を用いる。この理由は、フェムト秒パルスレーザ2のパルス幅は非常に狭いので、ピークパワーは時間圧縮効果により増大し、光誘起屈折率変化の作用を大きくすることができるからである。
フェムト秒パルスレーザ2の波長は、例えば、800nmなど、近赤外領域の波長とすることが好ましい。これにより、該フェムト秒パルスレーザ2が石英ガラスなどの透光性材料にほとんど吸収されないので、目標位置6までほとんど減衰することなく到達させることができる。
フェムト秒パルスレーザ2の繰返し周波数は、特に制約されるものではないが、10kHzあるいは100kHzより高いほうが望ましい。
【0017】
本実施の形態により形成されるグレーティングの波長特性は、該グレーティングを構成する屈折率変化の周期、グレーティング長、屈折率変化量に依存するが、これらのパラメータは、いずれも制御可能である。すなわち、屈折率変化の周期は、フェムト秒パルスレーザ2の集光点の相対移動距離によって調節できる。また、グレーティング長は、フェムト秒パルスレーザ2の集光照射を連続的または間歇的に繰り返すとき、その全体の移動距離によって決められる。また、屈折率変化量は、フェムト秒パルスレーザ2の集光照射条件によって制御可能である。
【0018】
図1に示す装置を用いた場合、光ファイバグレーティングは、例えば、以下の手順により製造することができる。
まず、光ファイバ5に光学特性測定手段を接続して、光ファイバ5の光学特性をモニタリングできるようにする。そして、光ファイバ5のコアのある一点にフェムト秒パルスレーザ2を集光照射して、第1の屈折率変化領域を形成する。次いで、グレーティング周期の分だけV溝基板7を光ファイバ5の長手方向に沿って移動させることにより、目標位置6をずらす。さらに光ファイバ5に対し、同様なフェムト秒パルスレーザ2の集光照射によって第2の屈折率変化領域を形成する。以下、必要とするグレーティング長に応じてフェムト秒パルスレーザ2の集光照射の目標位置6をずらした上でその集光照射を所定の回数繰り返し、複数の屈折率変化領域を形成することにより、グレーティングを形成することができる。
【0019】
または、V溝基板7を一定の速度またはプログラム制御された所定の移動状態にて移動させ、この移動に同期して、フェムト秒パルスレーザ2の光路内に挿入したシャッタ11を所定の時間間隔にて開閉し、所定の位置にのみフェムト秒パルスレーザ2を照射して、複数の屈折率変化領域を形成することによっても、グレーティングを形成することができる。
【0020】
そして、フェムト秒パルスレーザ2の集光照射及び光ファイバの相対移動を繰り返しながら複数のグレーティングを形成していく過程で、所望の波長を中心として反射光強度が増大するか、もしくは透過光強度が減少し始める。この状態でさらに照射を続け、目標とするグレーティング特性が得られた時点でフェムト秒パルスレーザ2の集光照射を中止することにより、所望の特性を有するグレーティングを形成することができる。
【0021】
上記説明の実施の形態においては、光導波路として、光ファイバを用いたが、特にこれに限定されるものではなく、シリコンウエハ、石英ウエハなどの基板上にコアおよびクラッドを形成した平面型光導波路を用いてもよい。この場合、平面型光導波路を加熱するためには、その平面型光導波路が形成された基板を加熱する方法を用いてもよい。
【0022】
【実施例】
グレーティングを形成すべき光導波路として、クラッド径125μm、モードフィールド径9.5μm、被覆径250μmの石英系シングルモード光ファイバを用いた。
また、レーザ発振源1としてTiサファイアレーザを用い、フェムト秒パルスレーザ2の中心波長を810nm、パルス幅を170fs、繰り返し周波数を200kHz、平均出力を700mWとした。
【0023】
図1に示す装置を用いて、被覆を一部除去した光ファイバ5をV溝基板7上に載置し、このV溝基板7を300℃に加熱しながら、フェムト秒パルスレーザ2をNdフィルタにより減衰させたのち、光ファイバ5のコアに集光照射した。精密3次元ステージを一定の速度で操作することにより、グレーティング周期500μm、長さ20mm、40段のグレーティングを書き込んだ。これにより、中心波長1515nm、阻止率10dB以上の光ファイバグレーティングを作製した。
得られた光ファイバグレーティングを300℃にて10分間加熱したのち、その光学特性を測定したところ、損失の中心波長は1515nm、阻止率は10dB以上となっており、加熱前と比べてほとんど変化がなかった。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、熱的安定性の向上のための熱処理を、屈折率誘起変化およびモニタリングと同時に行うことができるので、グレーティングを形成する際に、熱処理による光学特性の変動を考慮する必要はなくなり、光学特性制御を極めて容易かつ精密に行うことができ、歩留まりを向上させることができる。熱処理をグレーティングの形成と一括して実施することにより、工程数の削減にもなるので、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のグレーティング付き光導波路部品の製造方法に用いられる製造装置の一例を示す概略構成図である。
【図2】フェムト秒パルスレーザの集光照射によって作製された光ファイバグレーティングを加熱処理した時の透過損失の変化の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
2…フェムト秒パルスレーザ、5…光ファイバ、9…加熱器。
Claims (7)
- 光導波路の光学特性をモニタしながら、該光導波路のコアに屈折率変化を誘起させてグレーティングを形成するグレーティング付き光導波路部品の製造方法であって、
グレーティングを形成する際、光導波路を所定の温度に加熱することを特徴とするグレーティング付き光導波路部品の製造方法。 - 光導波路のコアに屈折率変化を誘起する方法が該コアにフェムト秒パルスレーザを集光照射する方法であることを特徴とする請求項1に記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
- 前記所定の温度が300℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
- 前記光導波路が基板型光導波路であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
- 前記光導波路が光ファイバであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
- 光ファイバを加熱する方法が、該光ファイバを固定する固定部材を加熱することにより、間接的に光ファイバを加熱するものであることを特徴とする請求項5に記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
- 前記固定部材がV溝基板であることを特徴とする請求項6に記載のグレーティング付き光導波路部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002175766A JP2004020926A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | グレーティング付き光導波路部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002175766A JP2004020926A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | グレーティング付き光導波路部品の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004020926A true JP2004020926A (ja) | 2004-01-22 |
Family
ID=31174328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002175766A Pending JP2004020926A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | グレーティング付き光導波路部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004020926A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019517134A (ja) * | 2016-04-29 | 2019-06-20 | ヌブル インク | モノリシック可視波長ファイバーレーザー |
-
2002
- 2002-06-17 JP JP2002175766A patent/JP2004020926A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019517134A (ja) * | 2016-04-29 | 2019-06-20 | ヌブル インク | モノリシック可視波長ファイバーレーザー |
JP7316791B2 (ja) | 2016-04-29 | 2023-07-28 | ヌブル インク | モノリシック可視波長ファイバーレーザー |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Florea et al. | Fabrication and characterization of photonic devices directly written in glass using femtosecond laser pulses | |
CA2768718C (en) | Method for writing high power resistant bragg gratings using short wavelength ultrafast pulses | |
JP3531738B2 (ja) | 屈折率の修正方法、屈折率の修正装置、及び光導波路デバイス | |
US10845533B2 (en) | Writing of high mechanical strength fiber bragg gratings using ultrafast pulses and a phase mask | |
AU2017319799A1 (en) | Femtosecond laser inscription | |
CN101622556B (zh) | 在低声子能量玻璃介质中永久写入衍射光栅的系统和方法 | |
JPH1184151A (ja) | 光ファイバグレーティングおよびその製造方法 | |
KR19990082091A (ko) | 모드 필드 직경 전환 섬유, 광도파관 굴절계수 국지 변경방법및 광도파관 예비 성형물 제조방법 | |
US7835605B1 (en) | High temperature sustainable fiber bragg gratings | |
US6832025B2 (en) | Fiber bragg grating fabrication method | |
US20010021293A1 (en) | Method for modifying refractive index in optical wave-guide device | |
JP3426154B2 (ja) | グレーティング付き光導波路の製造方法 | |
CN107632336A (zh) | 一种长周期光栅及其制作方法 | |
JP2004020926A (ja) | グレーティング付き光導波路部品の製造方法 | |
RU2723979C1 (ru) | Способ изготовления устройства поверхностной аксиальной нанофотоники | |
JP4519334B2 (ja) | 光ファイバグレーティングの製造方法 | |
KR20050042921A (ko) | 브라그 격자를 갖는 광섬유 및 그 제조방법 | |
JPH06308546A (ja) | 光回路の特性調整方法 | |
Zhang et al. | Type II femtosecond laser writing of Bragg grating waveguides in bulk glass | |
JP2003255157A (ja) | 光導波路の加工方法、光導波路部品及び光ファイバグレーティング | |
Krisanov et al. | Introducing negative effective radius variations to control whispering gallery modes propagating on optical fibers | |
JP2003279759A (ja) | 光ファイバの加工方法および光導波路部品の製造方法 | |
JP2000155225A (ja) | グレーティング付き光ファイバーの製造方法 | |
JP4673642B2 (ja) | 光導波路形成方法 | |
JP2004279957A (ja) | 光減衰性光導波材料及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060912 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070327 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070828 |