【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディジタルヴァーサタイルディスク（以下ＤＶＤと称する）等の光ディスクの原盤記録に使用される原盤露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、光ディスクの原盤記録に使用される原盤露光装置は、ガラス原盤上にレーザビームを照射する記録レンズの高精度の位置決めが要求される。このような要求を満たすために高分解能で記録位置（半径位置）を計測するレーザ式変位計や機械的な摩擦を抑えて移動台を潤滑にするエアスライダが使用される。上記の光ディスクのトラックピッチはコンパクトディスク（ＣＤ）では１．６μｍ程度、これより記録密度の高いＤＶＤではトラックピッチを０．６〜０．８μｍ±０．０２μｍになっている。近年、さらに記録密度を上げるためにトラックピッチを０．２５〜０．３５μｍ±０．００５μｍ程度にすることが検討されている。これに対応するために露光装置も様々な改善が必要となる。上記のレーザー式変位計の分解能を２．７ｎｍ〜０．２７ｎｍへと上げて送り精度の向上を図り高密度化に対応している。
【０００３】
このために、従来では問題とならなかった点が問題点として出てきている。このような原盤露光装置において、移動台に設置されている部品への駆動電源の供給や各種センサへの制御信号を送信したりする電気信号コードが弾性を有するために、エアスライダの移動によって伸縮やよじれによる外力が発生し、高精度の位置決めに際して著しい影響を及ぼすようになった。これらを解決するために様々な方法が試みられている。例えば特開平８−２２１８０９号公報には以下の発明が開示されている。この発明では電源や信号ケーブル、配管チューブのそれぞれの他端が接続された併走移動体と前記併走移動体に設置されたレーザ照射装置と該レーザ照射装置から照射されたレーザビームを受光し前記エアスライダの移動部に固着されたレーザ受光素子と該レーザ受光素子の出力により前記併走移動体を前記エアスライダの移動部と相対して保持するための位置制御を行う送り装置とからなる配線配管移送装置を光ディスク用原盤露光装置に設けたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記配線配管移送装置により移動部の動きと一定の相対位置に保持する位置制御を行い、移動部と併走移動体との間の電気信号コードは一定の姿勢を保ったまま移動するので電気信号コードのねじれや伸縮による外力は発生しににくくなるが、これらの制御を実施するには、移動体の送り精度に近い制御が要求されるために、併走移動体の駆動方式が複雑で高価となる。
【０００５】
また、移動体部と併走移動体を接続している電気信号コードは剛性を有しているために移動体部の高精度位置決め制御に伴う微少振動による影響を受け、スライダにピッチングやヨーイングを与えるためにトラックピッチムラやピッチズレの原因となる。
【０００６】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、記録位置にかかわらずピッチムラやピッチズレを吸収し、高精密な記録が可能である原盤露光装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、光ディスク用原盤露光装置において、除振台に取り付けられた固定側端子台から移動光学部に取り付けられた移動側端子台への電源供給及び前記固定側端子台と前記移動側端子台との間の信号の授受をフレキシブル基板を用いて行うことにある。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る原盤露光装置の実施の形態について図面を用いて説明する。
【０００９】
図１は、本発明の一実施の形態を示す全体構成図である。原盤露光装置は、地盤の振動等の外乱信号を台上に伝達しない除振台（図示せず）の上に、露光レーザ１、および固定光学部１７、１８を設けて構成される。回転スピンドル２２には固定部と回転部があり、固定部は上記除振台の上に設置され、回転部は空気軸受け等の軸受けによって上記固定部に回転支持されている。この回転スピンドル２２の回転部にはターンテーブル２１があり、このターンテーブル２１の上にはフォトレジストが塗布された例えば光ディスク用のガラス原盤２０が真空吸着によって着脱自在に載置される。
【００１０】
除振台上に堅固に固定された直線ガイドに空気軸受け等の軸受けによって移動光学部１９を光ディスク原盤の半径方向５０に直線移動できるように支持するエアスライダは、機械的に無負荷で摺動するリニア駆動方式や微少の駆動力を自動調芯された回転円筒から得る摩擦駆動方式などで動作するために移動光学部１９の高精度の位置決めが可能である。上記エアスライダ上に設置された移動光学部１９は、上記ガラス原盤２０に記録するための記録レンズ２５などの光学記録系部品と、上記記録レンズ２５の焦点位置を制御するアクチュエータと、原盤の厚さの変動に対応するアクチェータなどの電気制御系とを備えて構成される。
【００１１】
露光レーザ１から出射された露光用レーザビームである記録レーザビーム３５はミラー２により固定光学系１７へ導入される。固定光学系１７に入ったレーザービームはビームスプリッタ３により所定のパワーに分割される。分割された反射ビームはミラー４により透過ビームと平行に調整される。さらに、分割されたレーザービームはそれぞれノイズイータ５、６により所定のパワーに調整され、さらに、変調素子７、８により記録されるべきデータ信号に応じて強度変調され、ミラー９、１０により光路をつぎの固定光学系１８へと導かれる。このように記録されるべきデータ信号に応じて強度変調された各レーザービームは、偏向素子１１、１２を通過する際、必要に応じて偏向信号により偏向される。この後、透過側ビームは１／２波長板１３により偏光方向を水平方向に直線偏光される。一方、反射側のビームは固定光学系１８に設置されたミラー１５により偏光ビームスプリッタ１４へ導かれ、透過側のビームと合流する。合流した記録レーザビーム３６は、１／４波長板１６を通過し、直線偏光から円偏光に偏光される。
【００１２】
さらに合流記録レーザビーム３６は、移動光学部１９と平行に移動するように調整された移動光学系に設置されたダイクロックミラー３０に導かれ、方向を９０度変更して記録レンズ２５へ導かれ、ターンテーブル２１上を回転する原盤２０上に照射され、データ情報を露光記録する。
【００１３】
このとき、記録光の焦点を原盤２０上に保持するために、記録レンズ２５は、自動焦点（ＡＦ）光学系及びアクチュエータ、自動制御回路により制御される。
【００１４】
ところで、光ディスクの高密度化に伴い、トラックピッチを狭小化せざるえず、そのため、記録レーザの波長の深紫外化を採用しなければならない状況にある。このように記録レーザの波長が深紫外化、即ち３００ｎｍ以下になると、記録レンズ２５は、露光用のレーザの波長とＡＦ用のレーザ波長（通常６３０から６８０ｎｍ）で焦点位置が同じになる色消しレンズの使用が困難となる。このために色収差の補正に関して鋭意検討されているが、次に説明するように色収差を補正する構成を追加して対応せざるを得ない状況にある。
【００１５】
即ち、一実施例として特願２００１−２１３００６に示すような自動焦点光学系が提案されている。このＡＦ光学系に示すように自動焦点光学系は、通常６３０から６８０ｎｍの波長を有するＡＦ用レーザビーム３３を出射するＡＦ用レーザ光源３２、該ＡＦ用レーザ光源からのＡＦ用レーザビーム３３を光軸から離軸した方向（光軸に対して傾きをもった方向）から絞り込むＡＦ絞込みレンズ３１、原盤２０からの反射光であるＡＦレーザの戻りビーム３４を絞り込むＡＦ戻り光絞込みレンズ２８、絞り込んだＡＦレーザ光のビーム位置を検出するビーム位置検出センサ２９などから構成される。ＡＦ用レーザ光源３２から出射されたＡＦ用レーザビーム３３は、ＡＦ光絞込みレンズ３１により光軸から離軸して絞り込まれ、ダイクロックミラー３０を透過して記録レンズ２５へ導かれる。記録レンズ２５により原盤２０の表面に焦点を結んだＡＦビームの反射光であるＡＦレーザ戻りビーム３４は、再び記録レンズ２５を通過し、ＡＦ戻り光絞込みレンズ２８によって絞り込まれ、ビーム位置検出センサ２９上に結像される。その結果、ＡＦ用レーザビーム３３がＡＦ光絞込みレンズ３１により光軸から離軸して絞り込まれて記録レンズ２５へ導かれるため、上記ビーム位置検出センサ２９からは原盤２０の表面の高さ（焦点状態）に応じたビーム位置として検出される。
【００１６】
そして、センサ２９はこのビームの位置の検出信号を移動側信号・電源端子台４０からプレキシブル基板４６を介して固定側信号・電源端子台４７に送信して固定側の全体制御部７０内の制御回路（図示せず）に提供し、上記制御回路からの制御信号を固定側信号・電源端子台４７からプレキシブル基板４６を介して移動側信号・電源端子台４０に送信して記録レンズ２５を保持しているヴォイスコイル２６に伝えて記録レンズ２５を上下に微動させてビーム位置検出センサのビームの位置を一定に保つようにすることにより露光レーザの焦点をガラス原盤２０上に結ばせる（合焦点状態にする）。
【００１７】
また、記録レンズ２５を保持するヴォイスコイル（記録レンズ２５を上下に微動させる駆動手段）２６は記録レンズホルダー２７に固定されている。記録レンズホルダー２７は露光する原盤の厚さの変化に対応するために上下に移動可能な昇降スライダ２４に固定され、昇降スライダ２４は昇降用の動力源である昇降モータ２３と連結され、レンズホルダ２７を昇降ヘッドの上下方向動作６０をさせる。即ち、全体制御部７０には、露光する原盤の厚さの情報が入力手段を用いて入力されている。従って、全体制御部７０は、露光する原盤の厚さの情報を基に、昇降スライダ２４から検出されて移動側信号・電源端子台４０からプレキシブル基板４６を介して固定側信号・電源端子台４７に送信して得られる昇降位置情報に応じて制御信号を生成し、該生成された制御信号を固定側信号・電源端子台４７からプレキシブル基板４６を介して移動側信号・電源端子台４０に送信して昇降モータ２３を駆動制御することによって、レンズホルダ２７に取り付けられた記録レンズ２５を露光する原盤の厚さに対応させて位置付けすることが可能となる。
【００１８】
移動光学系のこれらの部品を動作させるには、ＡＦ用レーザ３２の電源供給ケーブル４１、ビーム位置検出センサ２９のビーム位置検出信号ケーブル４２、ヴォイスコイル２６のヴォイスコイル駆動信号ケーブル４３、昇降スライダ２４の位置情報を検出する昇降スライダ位置信号ケーブル４４、昇降スライダを駆動する昇降モータ２３の昇降モータ制御信号ケーブル４５へ、固定側に設けられた全体制御部７０との間で信号や外部に設けられた電源７１から電力を供給する必要がある。そのため、これらのケーブル４１〜４５は移動側信号・電源端子台４０に接続されている。
【００１９】
そして、この端子台４０は、除振台（図示せず）上に固定された固定側信号・電源端子台４７にフレキシブル基板（ＦＰＣ）４６を介して接続され、固定側に設けられた全体制御部７０との間の信号の送受信や固定側に設けられた電源７１からの電力の供給が実行される。このＦＰＣ４６は非常に柔軟性に富んでいるために二つに折り曲げて余長を十分に持たせて設置することにより、移動台の移動に対して機械的な外力をほとんど生じさせないでスライダを動作させることが可能となる。このために移動光学系１９へのピッチングやヨーイングを抑制できるので、スライダの移動によるピッチムラやピッチズレを低減し、高精密な露光が可能となる。
【００２０】
即ち、本発明は、記録情報を持った記録レーザビーム３６を原盤２０に照射する記録レンズ２５と、焦点検出用のレーザ３３を上記記録レンズ２５を通して原盤２０の表面に照射する照射光学系３０〜３２および原盤２０の表面から記録レンズ２５を通して得られる反射光を受光して焦点合わせ信号に変換する検出光学系２８〜２９を有する記録レンズの焦点制御系（記録レンズ２５を上下に微動させる駆動手段２６も含む）と、上記記録レンズ２５を昇降させる昇降制御系２３〜２４、２７とを備えてスライダ上に設置された移動光学部１９を設け、上記除振台に取り付けられた固定側端子台４７から上記移動光学部１９に取り付けられた移動側端子台４０への電源供給及び上記固定側端子台４７と上記移動側端子台４０との間の信号の授受をフレキシブル基板４６を用いて行うように構成したことを特徴とする原盤露光装置である。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、信号ケーブルや電源ケーブルからの外力の発生は無くなるので光ディスク原盤の記録位置にかかわらず外力によるピッチムラやピッチズレは起こらず、高密度記録が可能である原盤露光装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る原盤露光装置の一実施の形態を示す全体構成図である。
【符号の説明】
１…露光レーザ、２、４、９、１０、１５…ミラー、３…ビームスプリッタ、５、６…ノイズイータ、７、８…変調素子、１１，１２…偏向素子、１３…１／２波長板、１４…偏光ビームスプリッタ、１６…１／４波長板、１７、１８…固定光学部、１９…移動光学部、２０…光ディスク原盤（ガラス原盤）、２１…ターンテーブル、２２…回転スピンドル、２３…昇降モータ、２４…昇降スライダ、２５…記録レンズ、２６…ヴォイスコイル、２７…記録レンズホルダー、２８…ＡＦ戻り光絞込みレンズ、２９…ビーム位置検出センサ、３０…ダイクロックミラー、３１…ＡＦ光絞込みレンズ、３２…ＡＦ用レーザ光源、３３…ＡＦ用レーザビーム、３４…ＡＦレーザ戻りビーム、３５…記録レーザビーム、３６…合流記録レーザビーム、４０…移動側信号電源端子台、４１…電源供給ケーブル、４２…ビーム位置検出信号ケーブル、４３…ヴォイスコイル駆動信号ケーブル、４４…昇降スライダ位置信号ケーブル、４５…昇降モータ制御信号ケーブル、４６…フレキシブル基板（ＦＰＣ）、４７…固定側信号電源端子台、５０…移動台の半径方向動作、６０…昇降ヘッドの上下方向動作、７０…全体制御部、７１…電源。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a master exposure apparatus used for recording a master of an optical disc such as a digital versatile disc (hereinafter referred to as a DVD).
[0002]
[Prior art]
For example, a master disc exposure apparatus used for recording a master disc of an optical disc requires high-precision positioning of a recording lens for irradiating a laser beam onto a glass master disc. In order to satisfy such demands, a laser displacement gauge for measuring a recording position (radial position) with high resolution and an air slider for lubricating a moving table by suppressing mechanical friction are used. The track pitch of the above optical disk is about 1.6 μm for a compact disk (CD), and the track pitch is 0.6 to 0.8 μm ± 0.02 μm for a DVD having a higher recording density. In recent years, it has been studied to set the track pitch to about 0.25 to 0.35 μm ± 0.005 μm in order to further increase the recording density. To cope with this, the exposure apparatus also needs various improvements. The resolution of the above-mentioned laser displacement meter is increased to 2.7 nm to 0.27 nm to improve the feed accuracy and cope with high density.
[0003]
For this reason, a point that has not been a problem in the past has come up as a problem. In such a master exposure apparatus, the electric signal code for supplying drive power to the components installed on the moving table and transmitting control signals to various sensors has elasticity. An external force is generated due to kinking, which has a remarkable effect on high-precision positioning. Various methods have been tried to solve these. For example, JP-A-8-221809 discloses the following invention. In the present invention, a power supply, a signal cable, and a parallel moving body to which the other ends of the piping tubes are connected, a laser irradiation device installed on the parallel moving body, and a laser beam emitted from the laser irradiation device are received and the air is received. Wiring pipe transfer comprising a laser light receiving element fixed to a moving part of a slider and a feeder for performing position control for holding the parallel moving object relative to the moving part of the air slider by an output of the laser light receiving element. The apparatus is provided in an optical disk master exposure apparatus.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The movement of the moving unit is controlled by the above-mentioned wiring and pipe transfer device to maintain a constant relative position, and the electric signal code between the moving unit and the parallel moving body moves while maintaining a constant posture. External force due to torsion and expansion and contraction of the moving body is less likely to be generated, but in order to perform these controls, control close to the feeding precision of the moving body is required, so the driving method of the parallel traveling moving body is complicated and expensive. .
[0005]
Also, since the electric signal cord connecting the moving body and the parallel moving body has rigidity, the electric signal cord is affected by minute vibrations accompanying the high-precision positioning control of the moving body and gives pitching and yawing to the slider. This causes track pitch unevenness and pitch shift.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a master exposure apparatus capable of absorbing pitch unevenness and pitch shift regardless of a recording position and performing high-precision recording, in order to solve the above-mentioned problems.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention relates to an optical disk master exposure apparatus, wherein power is supplied from a fixed terminal block attached to a vibration isolation table to a moving terminal block attached to a moving optical section, and the fixed side Signal transmission between the terminal block and the moving-side terminal block is performed using a flexible substrate.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of a master exposure apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0009]
FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of the present invention. The master exposure apparatus is configured by providing an exposure laser 1 and fixed optical units 17 and 18 on a vibration isolation table (not shown) that does not transmit a disturbance signal such as ground vibration to the table. The rotary spindle 22 has a fixed part and a rotating part. The fixed part is installed on the vibration isolation table, and the rotating part is rotatably supported by the fixed part by a bearing such as an air bearing. A turntable 21 is provided at a rotating portion of the rotary spindle 22. On the turntable 21, a glass master 20 for an optical disk, for example, coated with a photoresist is detachably mounted by vacuum suction.
[0010]
An air slider which supports the moving optical section 19 so as to be able to linearly move in the radial direction 50 of the optical disk master by means of a bearing such as an air bearing on a linear guide firmly fixed on the vibration isolation table is slid mechanically without load. The moving optical section 19 can be positioned with high precision because it operates by a linear driving method or a friction driving method in which a minute driving force is obtained from a rotating cylinder that is automatically aligned. The moving optical section 19 installed on the air slider includes an optical recording system component such as a recording lens 25 for recording on the glass master 20, an actuator for controlling a focal position of the recording lens 25, and a thickness of the master. And an electric control system such as an actuator that responds to the fluctuation of the height.
[0011]
A recording laser beam 35, which is an exposure laser beam emitted from the exposure laser 1, is introduced into the fixed optical system 17 by the mirror 2. The laser beam entering the fixed optical system 17 is split by the beam splitter 3 into a predetermined power. The split reflected beam is adjusted by the mirror 4 in parallel with the transmitted beam. Further, the divided laser beams are adjusted to predetermined powers by noise eaters 5 and 6, respectively, and further subjected to intensity modulation in accordance with data signals to be recorded by modulating elements 7 and 8, and the optical paths are changed by mirrors 9 and 10. To the fixed optical system 18. Each laser beam intensity-modulated according to the data signal to be recorded as described above is deflected by a deflection signal as necessary when passing through the deflection elements 11 and 12. Thereafter, the transmission side beam is linearly polarized in the horizontal direction by the half-wave plate 13. On the other hand, the beam on the reflection side is guided to the polarization beam splitter 14 by the mirror 15 installed in the fixed optical system 18 and merges with the beam on the transmission side. The combined recording laser beam 36 passes through the quarter wave plate 16 and is polarized from linearly polarized light to circularly polarized light.
[0012]
Further, the merged recording laser beam 36 is guided to the dichroic mirror 30 installed in the moving optical system adjusted to move in parallel with the moving optical unit 19, and the direction is changed by 90 degrees to the recording lens 25. The light is irradiated onto the master 20 rotating on the turntable 21, and the data information is exposed and recorded.
[0013]
At this time, the recording lens 25 is controlled by an automatic focus (AF) optical system, an actuator, and an automatic control circuit in order to keep the focus of the recording light on the master 20.
[0014]
By the way, as the density of the optical disk increases, the track pitch has to be narrowed, and therefore, there is a situation in which the wavelength of the recording laser must be changed to deep ultraviolet. As described above, when the wavelength of the recording laser becomes deep ultraviolet, that is, 300 nm or less, the recording lens 25 achromatizes the focal position at the wavelength of the laser for exposure and the laser wavelength for AF (typically 630 to 680 nm). Use of the lens becomes difficult. For this reason, correction of chromatic aberration has been earnestly studied, but there is a situation in which a configuration for correcting chromatic aberration must be added as described below to cope with it.
[0015]
That is, as one embodiment, an automatic focusing optical system as shown in Japanese Patent Application No. 2001-213006 has been proposed. As shown in this AF optical system, the auto-focus optical system normally emits an AF laser beam 32 having a wavelength of 630 to 680 nm, and outputs an AF laser beam 33 from the AF laser beam. AF focusing lens 31 for focusing from a direction away from the axis (a direction inclined with respect to the optical axis), AF return light focusing lens 28 for focusing the return beam 34 of the AF laser which is the reflected light from master 20, and focusing. It comprises a beam position detection sensor 29 for detecting the beam position of the AF laser light. The AF laser beam 33 emitted from the AF laser light source 32 is narrowed off the optical axis by the AF light narrowing lens 31, transmitted through the dichroic mirror 30, and guided to the recording lens 25. The AF laser return beam 34, which is the reflected light of the AF beam focused on the surface of the master 20 by the recording lens 25, passes through the recording lens 25 again and is narrowed down by the AF return light narrowing lens 28, and the beam position detection sensor 29. Imaged on top. As a result, the AF laser beam 33 is narrowed down from the optical axis by the AF light narrowing lens 31 and guided to the recording lens 25. Therefore, the beam position detection sensor 29 outputs the height of the surface of the master 20 (focus point). State).
[0016]
Then, the sensor 29 transmits a detection signal of the position of the beam from the moving-side signal / power supply terminal block 40 to the fixed-side signal / power supply terminal block 47 via the plexible substrate 46, and controls the fixed-side overall control unit 70. And a control signal from the control circuit is transmitted from the fixed-side signal / power supply terminal block 47 to the movable-side signal / power supply terminal block 40 via the plexible substrate 46 to hold the recording lens 25. The exposure laser is focused on the glass master 20 by moving the recording lens 25 up and down so as to keep the position of the beam of the beam position detection sensor constant by transmitting the signal to the voice coil 26 which is being used. State).
[0017]
A voice coil (driving means for finely moving the recording lens 25 up and down) 26 for holding the recording lens 25 is fixed to a recording lens holder 27. The recording lens holder 27 is fixed to an elevating slider 24 that can move up and down in order to cope with a change in the thickness of the master to be exposed. The elevating slider 24 is connected to an elevating motor 23 that is a power source for elevating the lens holder. 27 causes the vertical movement 60 of the lifting head. That is, information on the thickness of the master to be exposed is input to the overall control unit 70 using the input unit. Therefore, the overall control unit 70 detects the fixed-side signal / power supply terminal block 47 from the movable-side signal / power supply terminal block 40 through the plexible substrate 46 based on the information on the thickness of the master to be exposed. A control signal is generated in accordance with the ascending / descending position information obtained by transmitting the control signal, and the generated control signal is transmitted from the fixed-side signal / power supply terminal block 47 to the movable-side signal / power supply terminal block 40 via the flexible board 46. By controlling the driving of the elevating motor 23, the recording lens 25 attached to the lens holder 27 can be positioned in accordance with the thickness of the master to be exposed.
[0018]
In order to operate these parts of the moving optical system, a power supply cable 41 for the AF laser 32, a beam position detection signal cable 42 for the beam position detection sensor 29, a voice coil drive signal cable 43 for the voice coil 26, and a lifting slider 24 To the lifting / lowering motor control signal cable 45 of the lifting / lowering motor 23 for driving the lifting / lowering slider, and a signal or an externally provided signal to / from the overall control unit 70 provided on the fixed side. It is necessary to supply power from the power supply 71 that has been used. Therefore, these cables 41 to 45 are connected to the moving-side signal / power supply terminal block 40.
[0019]
The terminal block 40 is connected to a fixed-side signal / power supply terminal block 47 fixed on a vibration isolation table (not shown) via a flexible board (FPC) 46, and is provided with a general control provided on the fixed side. Transmission and reception of signals with the unit 70 and supply of power from a power supply 71 provided on the fixed side are performed. Since the FPC 46 is very flexible, it is folded into two parts so that the FPC 46 is provided with a sufficient length so that the FPC 46 can operate the slider with almost no mechanical external force against the movement of the carriage. It is possible to do. For this reason, pitching and yawing to the moving optical system 19 can be suppressed, so that pitch unevenness and pitch shift due to the movement of the slider can be reduced, and high-precision exposure can be performed.
[0020]
That is, the present invention provides a recording lens 25 for irradiating a recording laser beam 36 having recording information to the master 20, and an irradiation optical system 30 to irradiating a laser 33 for focus detection onto the surface of the master 20 through the recording lens 25. 32 and a focus control system of the recording lens having detection optical systems 28 to 29 for receiving reflected light obtained from the surface of the master 20 through the recording lens 25 and converting it into a focusing signal (driving means for finely moving the recording lens 25 up and down) 26), and a movable optical unit 19 provided on a slider including elevation control systems 23 to 24 and 27 for elevating the recording lens 25, and a fixed terminal block attached to the vibration isolation table. 47 supplies power to the moving terminal block 40 attached to the moving optical section 19 and transfers signals between the fixed terminal block 47 and the moving terminal block 40. A master exposure apparatus characterized by being configured to perform using the flexible substrate 46.
[0021]
【The invention's effect】
According to the present invention, since a generation of external force from a signal cable or a power cable is eliminated, pitch unevenness and pitch shift due to external force do not occur irrespective of a recording position of an optical disk master, thereby realizing a master exposure apparatus capable of high-density recording. Can be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall configuration diagram showing one embodiment of a master exposure apparatus according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Exposure laser, 2, 4, 9, 10, 15 ... Mirror, 3 ... Beam splitter, 5, 6 ... Noise eater, 7, 8 ... Modulation element, 11, 12 ... Deflection element, 13 ... 1/2 wavelength plate, 14: polarization beam splitter, 16: 1/4 wavelength plate, 17, 18: fixed optical unit, 19: moving optical unit, 20: optical disk master (glass master), 21: turntable, 22: rotating spindle, 23: elevating Motor, 24 lifting slider, 25 recording lens, 26 voice coil, 27 recording lens holder, 28 AF return light focusing lens, 29 beam position detection sensor, 30 dichroic mirror, 31 AF light focusing lens 32, an AF laser light source, 33, an AF laser beam, 34, an AF laser return beam, 35, a recording laser beam, 36, a merged recording laser beam, 0: moving-side signal power terminal block, 41: power supply cable, 42: beam position detection signal cable, 43: voice coil drive signal cable, 44: lift slider position signal cable, 45: lift motor control signal cable, 46: flexible Substrate (FPC), 47: fixed-side signal power terminal block, 50: radial operation of moving table, 60: vertical operation of lifting head, 70: overall control unit, 71: power supply.
