JP2004003902A5 - - Google Patents
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- テラヘルツパルス光を繰り返し平面基板に照射し、該平面基板からの反射光又は透過光を受光し、時間領域分光法を用いて前記受光された光の電場強度の時系列波形を測定し、前記時系列波形に基づいて求められた分光反射率又は分光透過率から前記平面基板の電気的特性パラメータを算出する電気特性測定方法において、
前記平面基板の被照射面以外の面で反射された光を検出しないように、前記テラヘルツパルス光の時間領域を設定することを特徴とする電気特性測定方法。 - テラヘルツパルス光を繰り返し平面基板に照射し、該平面基板からの反射光又は透過光を受光し、時間領域分光法を用いて前記受光された光の電場強度の時系列波形を測定し、前記時系列波形に基づいて求められた分光反射率又は分光透過率から前記平面基板の電気的特性パラメータを算出する電気特性測定方法において、
前記電気的特性パラメータを算出する際に、前記時系列波形上の所定の時間範囲のみをフーリエ変換して分光反射率又は分光透過率を求めることを特徴とする電気特性測定方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002161085A JP2004003902A (ja) | 2002-06-03 | 2002-06-03 | テラヘルツ光を用いた平面基板の電気特性測定方法 |
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| AU2003241695A AU2003241695A1 (en) | 2002-06-03 | 2003-05-30 | Method of measuring electric characteristics of flat substrate using terahertz light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002161085A JP2004003902A (ja) | 2002-06-03 | 2002-06-03 | テラヘルツ光を用いた平面基板の電気特性測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004003902A JP2004003902A (ja) | 2004-01-08 |
| JP2004003902A5 true JP2004003902A5 (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=29706568
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002161085A Pending JP2004003902A (ja) | 2002-06-03 | 2002-06-03 | テラヘルツ光を用いた平面基板の電気特性測定方法 |
Country Status (3)
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2003
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