JP2003508925A - 多波長分布ブラッグ反射フェーズドアレイレーザ - Google Patents

多波長分布ブラッグ反射フェーズドアレイレーザ

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Abstract

(57)【要約】 多波長レーザは、波長正確性を与えるフェーザ部（２）と、当該フェーザ部（２）に結合されて、フェーザ部（２）とともにレーザーキャビティ（１４２）を形成するＤＢＲ部（１４）とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザに関し、特に、光通信における送信機に使用される分布反射
型（distributed Bragg reflector：ＤＢＲ）レーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
波長分割・多重化（ＷＤＭ）ネットワークでは、物理的に１本のファイバに同
時に送信される独立のチャネル数は、透過する離散波長の数に等しい。これらの
チャネルは、高い情報スループット、フレキシブルなバンド幅制御、光透明性、
経済的な方法での光アド／ドロップスイッチングの探求をシステムインテグレー
タに許容する。
【０００４】 データ通信ＤＷＤＮシステムアプリケーションにおいて、クロストーク仕様を
満たし、且つ、その標準的な動作寿命（約25年）を越えるシステムの動作の信頼
性を確保するために、伝送波長は、ＩＴＵグリッドの国際電気通信連合(ＩＴＵ)
の標準波長のうちの１つに固定されてきた。高密度波長分割多重化（ＤＷＤＭ）
システムで使用される多重波長光学制御フェーズドアレイ（phasar：フェーザ）
アンテナアプリケーションでは、アンテナアレイ素子の数は、波長の数に等しい
。
【０００５】 上記ＤＷＤＭアプリケーションをサポートするためには、高い波長正確性を有
する集積化多波長レーザの使用が望まれる。この種のレーザは、以下の要件、す
なわち、組立によりあらかじめ決定される安定な波長コム、簡略化された光学パ
ッケージ、コンポーネント共有（例えば一般の温度冷却器及び光アイソレータ）
、簡略化された試験法、及びコンパクトさ、の要件を満たさなければならない。
上記の長所は、当初調達コスト及び続く動作コストの両観点から波長あたりの伝
送コストを減じなければならない。周知のように、レーザ波長コムは、出力波長
がチャネルセパレーション若しくは波長間隔で分離されたレーザの数Ｎを有する
レーザアレイを参照する。
【０００６】 単一のレーザチップで得られるチャネル数は、材料のゲインバンド幅及びチャ
ネル間での波長間隔によって制限される。シリカベースエルビウム添加ファイバ
増幅器（ＥＤＦＡ）の平坦なゲインを利用するためには、システム波長は、1545
nmから1560nmに制限される。40チャネルシステムでは、望ましい波長間隔は、0.
4nm（若しくは、周波数間隔で50GHz）である。その内蔵ＤＦＢグレーティング及
び半導体導波路の屈折率によって決定されるフリーランニングの商用の分布帰還
型（ＤＦＢ）レーザのレイジング波長は、温度によって変化し、故に、温度制御
をしなければならないことが公知である。例えば、ＤＦＢレーザは、固定された
波長を維持するために温度冷却器及び／またはアイソレータとともにしばしば使
用される。ある周知の固定されたＤＦＢレーザアレイ技術において、所望のオン
チップパワー結合器及び共有出力半導体光増幅器（ＳＯＡ）の中で+/-0.2nm（25
GHz）の波長正確性が高い歩留まりで達成される。マルチプレクサ/デマルチプレ
クサフィルタ応答の平坦な頂部領域が、チャネルスペーシングの一断片にある故
に、このレーザアレイでサポートされる最小システム波長間隔（スペーシング）
は、約1.6mn（200GHz）である。特に多くのフィルタカスケードが必要であるリ
ングまたは長距離ネットワークのためには、波長スペーシングは正確に画定され
ていなければならない。
【０００７】 波長正確性が波長可変レーザアレイを用いて大幅に改善され得るが、ＤＢＲレ
ーザアレイの如き、固定波長レーザアレイは、単純な動作及び長期の信頼性の観
点から、波長可変のものよりも望ましい。 多波長レーザの実現のための１つのアプローチは、フェーズドアレイ（フェー
ザ）レーザを形成する波長マルチプレクサを有するゲイン素子のアレイを集積化
することである。このようなフェーザレーザにおいては、マルチプレクサは、１
つの劈開端部及び劈開した時の反対側の端部の上に高反射コートされたファセッ
トによって画定されるレーザキャビティの中に位置する。
【０００８】 周知のように、共有ゲイン素子は、任意である。低損失マルチプレクサを有す
るフェーザレーザの18-波長同時の連続波（ＣＷ）動作が文献において最近、開
示された。この場合、レーザのチャネル間隔は、波長マルチプレクサのチャネル
間隔に等しい。波長間隔の変動が長手方向のモード間隔のオーダー（＜0.02 nm
）である故に、フェーザレーザの波長スペーシングは極めて一様であることが期
待される。このアプローチで、0.4ナノメートルの波長間隔で40チャネルを結合
することが達成される。しかしながら、フェーザレーザのチャネルあたりの１Gb
/sを上回る直接変調は、長いレーザキャビティの制限がある故に達成され得なか
った。
【０００９】 ３dB変調バンド幅がキャビティ長が減じられるにつれて増加する故に、長いキ
ャビティレーザは、高いビットレートで直接的に調整することができない。ピー
ク振動数が信号の調和振動数のうちの１つに近いとき、信号はゆがめられるであ
ろう。それゆえに、高いビットレートアプリケーションにおいて、長いキャビテ
ィレーザが高速外部変調器を変調バンド幅の中心方向へピーク周波数を戻すよう
にシフトするために必要である。この外部変調器は、非常に高価である。それゆ
えに、外部変調のための内部変調器を有する長いキャビティレーザを集積化する
コストを節減する理由が少なくともあるのである。
【００１０】 共有出力光ゲイン素子による厳しい光クロストークが他の欠点であって、これ
は同時に多チャンネル変調を制限する。 他のフェーザアプローチは、選択されたエリアエピタキシによって形成された
電子吸収変調出力を有する８−チャネルデジタル可変送信器において示されてき
た。ある電子吸収変調器を集積化したデジタル波長選択可能フェーザレーザが出
力とともに第２オーダ回折光を使用して実証されてきたが、その出力パワーは低
かった（ほぼ-16dBm）。この選択可能フェーザレーザは、小さな自由スペクトル
レンジと非反射（ＡＲ）/高反射（ＨＲ）分割コーティングを必要としており、
１つのファセット面において、このチップは大であって、分割ファセットコーテ
ィングのアプリケーションは困難である。それゆえに、波長につき2.5Gbits/sを
越える同時多チャンネル変調可能なレーザを提供し、追加の特徴として、例えば
分割コーティングの如き複雑でなく、波長正確性及び選択性を提供したいとの願
望がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の１つの特徴は、フェーズドアレイマルチプレクサによって第１の反射
端部及び広帯域ミラーによる第２の反射端部で画定されるレーザキャビティから
形成される多波長レーザの結合された利点である。 他の特徴では、本発明はブロードバンドミラーとして、分布ブラッグ反射器を
含む。
【００１２】 本発明の追加の特徴及び利点は、以下の詳細な説明に記載され、そして、部分
的には、当業者であれば、その詳細説明から直ちに明らかとなるであろうが、添
付した図面とともに詳細説明、特許請求の範囲を含む本願を実施することによっ
ても認識されるであろう。 上述した全体的な説明及び以下の詳細な説明は、単に本発明の典型例に過ぎず
、特許請求の範囲としての本発明の特性及び特徴を理解するための概要または骨
組を与えることを意図していることを目的としていることを理解されたい。添付
図面は、本発明の更なる理解を提供するために含まれており、ここに組み入れら
れて、本願明細書の一部を構成する。図面は、本発明のさまざまな実施例を図示
するとともに、本発明の原理及び動作の説明に供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
引用は、本発明の現時点での好適な実施例を詳細にするであろう。また、これ
らの例は、添付図面に図示される。可能な限り、同じ参照番号が同様の部分又は
類似の部分を参照するために図面全体に亘って使用されている。 本発明の教示によると、図１に図示されているように、フェーザ/ＤＢＲレー
ザと称される多波長レーザの新規なクラスが示される。本発明の多波長レーザの
典型的な実施例が図１に示されており、非集積化若しくは集積化チップの形態の
いずれにおいても、参照番号10として全体に亘って示されている。本発明による
と、多波長レーザ10は、フェーザ部２及びブロードバンドミラー領域、例えばＤ
ＢＲ部14を含む。レーザキャビティ142の一端に配置された劈開ファセット332は
、全てのチャネルに亘って波長のブロードバンド反射を与える。ＤＢＲ部14のブ
ロードバンドミラー136は、レーザキャビティ142の反対の端部を与えて、チャネ
ル間隔よりも小さい反射バンド幅を有する。劈開ファセット332とブロードバン
ドミラー136との間のレーザキャビティ142に配置されたフェーザ部２のフェーザ
マルチプレクサは、内部キャビティ波長フィルタを与えるためのブロードバンド
ミラー136の反射バンド幅未満の狭い透過バンド幅を有する。換言すれば、レー
ザキャビティに配置され、劈開ファセットに結合されたフェーザマルチプレクサ
は、自由スペクトルレンジと内部キャビティ波長フィルタを与えるための狭い透
過バンド幅を有する。ブロードバンドミラーは、レーザキャビティの反対の端部
を与え、前記した狭い透過バンド幅よりも広く、且つ、選択された波長の反射を
与えるフェーザマルチプレクサの自由スペクトルレンジよりも狭い反射バンド幅
を有する。
【００１４】 波長あたり2.5Gb/sを越える同時多重チャンネル変調が実現され得るように、
このフェーザ/ＤＢＲは、外部電子吸収変調器410のアレイ（図２を参照）を集積
化し得るように結合されたフェーザレーザの波長正確性を与える。図１を参照す
ると、フェーザマルチプレクサ320は、左若しくは第１の反射端部での各ＤＢＲ1
36と、劈開ファセット332、すなわち図２の高反射コートファセット132若しくは
右又は第２の反射端部でのもう一つのＤＢＲ（図示せず）の間で形成されたレー
ザキャビティ142の中央に位置する。要求される反射率を有する反射配列のいく
つかの形態がキャビティに存在する限り、キャビティは上記したように、働かな
ければならない。
【００１５】 共有出力導波路134からのレイジング波長は、光学ゲイン素子118が特定のコム
の特定の波長を選択する左側、すなわち入力側若しくは第１の反射端部でバイア
スを掛けられることで、物理的に決定される。 フェーザマルチプレクサ320について既知であるように、自由スペクトルレン
ジｆFSR及び中心波長λcは、以下の式によって決定される。
【式１】
【式２】 ここで、ｍはフェーザの番号、ｎeffはアレイ導波路モードの実効屈折率、ΔＬ
は隣接アレイ導波路間の長さの差である。ガウスビーム近似値を使用して、dBス
ケールのフェーザマルチプレクサの透過スペクトル応答は、以下の方程式によっ
て概略、与えられる。
【式３】 ここで、Δｆは中心波長からの周波数デチューニング、Ｗeはモード場の実効導
波路幅、分散Ｄは、以下の式によって与えられるように、単位周波数変化あたり
の像平面に沿ったフォーカルスポットの横方向変位である。
【式４】 ここで、ｎslabはスラブ導波路モードの実効屈折率、Δαはファンイン及びファ
ンアウト領域の隣接したアレイ導波路間のビーム開き角である。図３は、２つの
異なる分散（5/200及び10/200μm/GHz）でのフェーザマルチプレクサの透過スペ
クトル応答を示す。実効導波路幅は、２μmと仮定される。
【００１６】 フェーザマルチプレクサの所与の自由スペクトルレンジ内で、各々のピーク透
過波長は、フェーズドアレイによって形成される分散Ｄ及び光学ゲイン素子に接
続された各入力導波路の物理的な位置によって決定される。各々のピークの透過
波長は、同じフェーズドアレイによって包括的に決定されるので、波長結合器の
チャネル間隔は、極めて一様である。いかなる製造上における不完全性があって
も、例えば、チャネル間隔が不変のままとなるように、フェーズドアレイの材料
屈折率及び層厚さ変動が等しく全てのピークの透過波長を変化させるだろう。チ
ャネル間隔がシステム条件を満たす場合、絶対波長誤差はヒートシンク温度を調
整することによって修正することができる。
【００１７】 ＤＢＲとして知られているように、ブラッグ波長λB及び反射スペクトル応答
Ｒ(Δf)は、以下の方程式によって与えられる：
【式５】
【式６】
【式７】 ここで、Ｌはグレーティング空間周期、
【外１】 はグレーティング長さ、αは導波路の吸収係数、κはグレーティング結合定数で
ある。図４は、κＬ＝１及び２つの異なるグレーティング長さ、100及び200μm
を有するＤＢＲの反射スペクトル応答を示す。導波路損失は、それぞれゼロ（実
線）及び20/cm（一点鎖線）と仮定される。導波路損失は、拡散反射率を減じる
が、反射バンド幅にほとんど影響を及ぼさない。
【００１８】 各々のブラッグ波長がそのローカル実効屈折率及びグレーティング周期によっ
て決定されるので、製造不完全性によるブラッグ波長のローカル変位は、システ
ム公差を凌ぐ波長結合器の範囲内でのチャネル間隔変化を導く。 ２つの従来技術における構造（フェーザ及びＤＢＲ）の利点を結合すると、本
発明の教示によると、フェーザ/ＤＢＲキャビティのレイジング波長は、最小平
均単一行程損失及び往復多重π位相状態によって決定される。共有ファセットが
ミラー損失を有していないと仮定するならば、平均単一行程損失は、次の式によ
って与えられる。
【式８】 図５は、フェーザマルチプレクサ（一点鎖線）及びＤＢＲ（実線）の透過及び反
射スペクトル応答をそれぞれ示している。典型的なフェーザマルチプレクサの透
過バンド幅は、典型的なＤＢＲの反射バンド幅よりも非常に小さい。したがって
、ＤＢＲはブロードバンドミラーとして作用する。
【００１９】 本発明によって教示されるように、図６は、周波数デチューニングの関数とし
て、フェーザ/ＤＢＲキャビティの平均単一パス損失を示す。各スペクトル応答
は、図５の曲線に示される。したがって、ＤＢＲでは、κＬ＝１及びＬ＝100μm
が仮定され、フェーザマルチプレクサでは、Ｄ＝10/200m/GHz及びＷe＝２μmが
仮定される。製造の不完全性を考慮して、図６の一点鎖線は、ＤＢＲのブラッグ
波長がフェーザマルチプレクサのピークの透過波長に関して＋/−100 GHzだけば
らつくときの計算されたスペクトルの応答を示している。このグラフにおいて、
ＤＢＲでは、κＬ＝１及びＬ＝100μmが仮定され、フェーザマルチプレクサでは
、Ｄ＝10/200m/GHz及びＷe＝２μmが仮定される。実線は、フェーザマルチプレ
クサのピーク透過波長とＤＢＲのピーク反射波長との間の周波数デチューニング
のないときのものを表している。一点鎖線は、＋/−100GHz周波数デチューニン
グのあるときを表している。このデチューニングの場合において、最小損失波長
は、＋/−100GHzのミスアライメントを有するにもかかわらず、フェーザマルチ
プレクサによって主に決定される。図５の曲線で示すように、より少なく要求さ
れる装置パラメータのときであっても、最小の損失波長は＋/−100GHzミスアラ
インメントを有するにもかかわらず、図７で示すフェーザのピーク透過波長の５
GHz以内にある。両方のコンポネントが材料屈折率から生じる同じ温度依存性を
有している故に、波長デチューニングはヒートシンク温度で変化しない。ファセ
ットミラー損失及び過剰導波路損失ともに1545nmから1560mmの波長範囲内で独立
した波長である故に、これらはここでの教示において言及されない。
【００２０】 最小の損失状態に加えて、レイジング波長は、往復行路多重π位相状態を満た
さねばならない。位相状態によるレイジング波長の不確実性は、モード間隔の約
＋／−半分である。１cmのキャビティ長では、モード間隔は、約４GHzである。
損失及び位相状態を考慮に入れると、フェーザ/ＤＢＲレーザのレイジング波長
の不確実性は、最良の設計でフェーザレーザのレイジング波長の不確実性と等し
く、＜＋/−２GHzであって、それほど要求されない設計の場合であって、＜＋/
−７GHzである。いずれの設計とも、50GHzのチャネル間隔で、40-波長または40-
チャネルシステムをサポートすることが可能でなければならない。
【００２１】 ＤＢＲのそれに関してフェーザマルチプレクサの波長結合器を一直線に並べる
１つの方法が図９に示される。共有出力光ゲイン素子310がどちらかのコムを選
択するようにバイアス掛けされるように選択することで、波長デチューニングが
最小になるように、フェーザの波長コム320が別々に調整され得る。バイアス無
しでは、光学的に不透明である故に、バイアス無しの出力光ゲイン素子310が機
能しない。
【００２２】 図10は、いくつかの多波長レーザの比較一覧を示す。本発明のフェーザ/ＤＢ
Ｒレーザは、多彩な効果を有する。正確な波長間隔は、エルビウムを添加された
ファイバ増幅器の平坦なゲイン領域の範囲内で、40波長若しくはチャネルをサポ
ートし得るフェーザマルチプレクサによって主に定義される。 本発明の教示によると、本発明のフェーザＤＢＲは、従来のフェーザレーザの
マルチバンドレージングの問題を回避する。フェーザマルチプレクサのスペクト
ルの応答が周期的であるので、フェーザのレイジング波長は、半導体ゲイン素子
の非常に幅広いバンド幅（〜100nm）故に、所与の自由スペクトルレンジからは
全く来ないかもしれない。この状態は、要求されるシステム波長結合器から、い
くつかの不明な波長を導く。近年、正の放物線のチャープを有する導波路グレー
ティングルータースターカプラによって実施された二重チャープフェーズドアレ
イは、サイドバンド透過を減じるために提案された。しかしながら、ＤＢＲは周
期的でない故に、本発明のフェーザ/ＤＢＲレーザはこの種のマルチバンドのレ
イジング問題を有しない。故に、従来のフェーザレーザよりもフェーザマルチプ
レクサにおける設計自由度が高いのである。
【００２３】 本発明のフェーザ/ＤＢＲは、また、低チャープと、波長あたり2.5Gb/sを越え
る高速変調の利点を提供する。図２に示すように、外部変調器410のアレイは、
フェーザ/ＤＢＲレーザキャビティ142の外側でモノリシック集積化され得る。こ
の構成において、低チャープ及び高速変調は、波長につき2.5Gb/sを超えて得る
ことができる。本発明の１つの態様における光ピグテールを単純化するために、
変調された波長は、図２で示す同じフェーザマルチプレクサ320によって１つの
出力導波路に再結合され、故に完全にマルチプレクサのユニークなルーティング
能力を利用するのである。出力導波路134のファセットから、背面反射による光
クロストークを避けるために、公知のフェーザレーザの高反射コートファセット
の代わりに、非反射ファセットコーティング26を有するウインドウファセットが
図２及び図１に与えられる。
【００２４】 図８に示すように実行され得る波長選択可能動作が他の利点である。この状態
において、チャープ化ＤＢＲ936は、全てのシステム波長をカバーする広帯域反
射帯を生じる。主にフェーザ320によって決定されるレイジング波長は、どの光
学ゲイン素子118がバイアス掛けされることで選択される。選択された波長は、
それから共有集積化された外部変調器410によって調整される。出力光増幅器210
は、任意である。出力導波路のファセット134からの背面反射による光学クロス
トークを避けるため、非反射ファセットコーティング26を与えられたウインドウ
ファセットが使用される。本発明による波長選択可能フェーザ/ＤＢＲレーザは
、従来のフェーザレーザの低い変調速度の欠点を有しない。ＷＤＭネットワーク
素子のバックアップレーザとして、図８の波長選択可能なレーザを使用すること
は、Ｎ伝送を防止する経済的な方法である。ここで、Ｎは、１つのレーザチップ
からの波長選択の数である。
【００２５】 図８の集積化されたフェーザ/ＤＢＲレーザチップに関して、本発明の教示に
よると、受動導波路134を集積化した半導体光増幅器（ＳＯＡ）210の如き、個々
の素子のすべて、すなわちフェーザデマルチプレクサ320、チャープＤＢＲ内の
ブラッググレーティング、及び集積化電子吸収変調器410は、個々に公知であっ
て、必ずしも好適に結合されるものではないので、これらは、ここでは詳述しな
い。
【００２６】 例えば、他の種類のブロードバンドミラーがＤＢＲと置換され得るなど、改良
及びバリエーションは、要求されるＤＢＲ及びフェーザの組合わせの詳細に依存
して、本発明の多波長レーザにおいて形成され得ることは、当業者であれば明ら
かであろう。 さまざまな改良及びバリエーションが本発明の精神と範囲から逸脱することな
く、本発明においてなされ得ることは、当業者にとって明らかである。以上の如
く、本発明は、特許請求の範囲及びそれらの均等の範囲内で与えられる本発明の
変更態様及びバリエーションをカバーすることを意図している。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による多波長フェーズドアレイ（フェーザ）／分布ブラッグ反
射（ＤＢＲ）レーザのダイアグラム図である。
【図２】 本発明による集積化された外部変調器アレイを有する多波長フェーザ
/ＤＢＲレーザの図である。
【図３】 ２つの異なる分散（5/200及び10/200μm/GHz）を有するフェーザマル
チプレクサの透過スペクトルの応答のグラフである。
【図４】 κＬ＝１及び100及び200μmの２つの異なる波長を有するＤＢＲの反
射スペクトルの応答のグラフである。
【図５】 フェーザマルチプレクサ（一点鎖線）及びＤＢＲ（実線）の透過及び
反射スペクトルの応答のグラフである。
【図６】 ＤＢＲでＬ=100μm、フェーザマルチプレクサで分散Ｄ=10/200μm/GH
zであるときの周波数デチューニングの関数としての図１のフェーザ/ＤＢＲキャ
ビティの平均単一パス損失のグラフである。
【図７】 ＤＢＲでＬ=200μm、フェーザマルチプレクサで分散Ｄ=5/200μm/GHz
であるときの周波数デチューニングの関数としての図１のフェーザ/ＤＢＲキャ
ビティの平均単一パス損失のグラフである。
【図８】 本発明による集積化された外部変調器を有する波長選択可能フェーザ
/ＤＢＲレーザの図である。
【図９】 本発明による複数のＤＢＲを有するフェーザマルチプレクサの波長マ
ッチングを示すフェーザ/ＤＢＲの図である。
【図１０】 従来技術によるレーザと本発明によるフェーザ/ＤＢＲレーザとの
比較を示すチャート図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＥ，ＡＬ，Ａ Ｍ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ， ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，Ｈ Ｕ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ， ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，Ｎ Ｚ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ， ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レーザキャビティと、 前記レーザキャビティに配置されたフェーザ部と、 フィードバックミラーとして前記フェーザ部に連結され、前記レーザキャビテ
    ィでレイジングを持続させるＤＢＲ部と、を含むことを特徴とする多波長レーザ
    。
  2. 【請求項２】 前記レーザキャビティに連結されて、波長あたり2.5Gb/sよりも
    大なる同時多重チャンネル変調を与える電子吸収変調器アレイを更に含むことを
    特徴とする請求項１記載の多波長レーザ。
  3. 【請求項３】 前記レーザキャビティと一体化されて、波長あたり2.5Gb/sより
    も大なる同時多重チャンネル変調を与える集積化外部電子吸収変調器アレイを含
    むことを特徴とする請求項１記載の多波長レーザ。
  4. 【請求項４】 前記フェーザ部は、フェーザマルチプレクサからなることを特徴
    とする請求項１記載の多波長レーザ。
  5. 【請求項５】 前記フェーザ部は、前記レーザキャビティの中央に配置したフェ
    ーザマルチプレクサを含むことを特徴とする請求項１記載の多波長レーザ。
  6. 【請求項６】 前記ＤＢＲ部は、前記レーザキャビティの第１の端部を形成し、
    前記レーザキャビティ内への戻り光を反射する分布ブラッグ反射器を含むことを
    特徴とする請求項１記載の多波長レーザ。
  7. 【請求項７】 前記フェーザ部は、前記レーザキャビティの第２の端部を形成し
    て、前記レーザキャビティ内に光を反射して戻す反射面を含むことを特徴とする
    請求項６記載の多波長レーザ。
  8. 【請求項８】 前記反射面は、劈開ファセットからなることを特徴とする請求項
    ７記載の多波長レーザ。
  9. 【請求項９】 前記反射面は、第２の分布ブラッグ反射器からなることを特徴と
    する請求項７記載の多波長レーザ。
  10. 【請求項１０】 前記ＤＢＲ部は、前記レーザキャビティの前記システム波長の
    すべてをカバーする広反射バンドを生じる複数のチャープ化分布ブラッグ反射器
    を含むことを特徴とする請求項１記載の多波長レーザ。
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