JP2003347799A - Work support apparatus - Google Patents

Work support apparatus

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JP2003347799A
JP2003347799A JP2002156349A JP2002156349A JP2003347799A JP 2003347799 A JP2003347799 A JP 2003347799A JP 2002156349 A JP2002156349 A JP 2002156349A JP 2002156349 A JP2002156349 A JP 2002156349A JP 2003347799 A JP2003347799 A JP 2003347799A
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air pressure
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篤志 佐々木
Hirokuni Kurihara
弘邦 栗原
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Koganei Corp
Hitachi Plant Technologies Ltd
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Koganei Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To allow a single work support apparatus to support works of a plurality of kinds. <P>SOLUTION: A support stage 10 is provided with a plurality of cylinder chambers 12 which house a piston for reciprocation which is provided with a piston rod 14 contacting a work. The cylinder chamber 12 is partitioned into an advancement air-pressure chamber 16 positioned on the rear end side of a piston 13, and a retreatment air-pressure chamber 18 positioned on the front end side of the piston 13. An advancement flow path 22 is connected to the advancement air-pressure chamber 16 while a retreatment flow path 24 is connected to the retreatment air-pressure chamber 18. When the piston 13 comes to an advancement limit position, a seal member 26 which is an opening/closing member shuts off the retreatment flow path 24. When the piston 13 retreats by prescribed strokes, the retreatment flow path 24 is opened. When opened, the piston 13 is applied with a thrust in retreating direction that is larger than that in advancing direction. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は複数のロッドにより
板状のワークを支持するワーク支持装置に関し、たとえ
ば、ICなどの部品が搭載されるプリント基板などを支
持するために適用して有用なワーク支持装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work supporting apparatus for supporting a plate-like work by a plurality of rods, and for example, a work useful when applied to a printed circuit board on which components such as ICs are mounted. It relates to a support device.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板ないし実装基板にクリーム
ハンダを塗布する際には、ハンダが塗布されるパターン
が形成されたマスキング板材を実装基板に取り付けた状
態でクリームハンダを塗布するようにしている。
2. Description of the Related Art When applying cream solder to a printed board or a mounting board, cream solder is applied while a masking plate material on which a pattern to be applied with solder is formed is attached to the mounting board.

【0003】また、プリント基板などの実装基板に対し
てIC,LSI、コンデンサおよび抵抗体などの部品を
搭載する場合には、実装基板をコンベアなどにより搭載
ステージにまで搬送し、その搭載ステージにおいて搭載
装置などにより自動的に種々の部品を実装基板に搭載す
るようにしている。搭載ステージにおいては、実装基板
を所定の位置に位置決めした後に、チップマウンタとも
言われる搭載装置の搬送ヘッドによって部品収容部から
部品を掴んで搭載したり、部品を真空吸着して実装基板
まで搬送して搭載するようにしている。
When mounting components such as ICs, LSIs, capacitors and resistors on a mounting board such as a printed board, the mounting board is transported to a mounting stage by a conveyor or the like, and mounted on the mounting stage. Various components are automatically mounted on a mounting board by a device or the like. On the mounting stage, after positioning the mounting board at a predetermined position, the transfer head of the mounting device, also called a chip mounter, grabs and mounts components from the component storage section, or vacuum-adsorbs components and transports them to the mounting board. To be mounted.

【0004】このようなハンダ塗布ステージや搭載ステ
ージには実装基板を支持するために、ワーク支持装置が
設けられている。従来のワーク支持装置はそれぞれ同時
に上下動する複数本の棒材を有し、実装基板をその下面
で棒材により支持して所定の位置に位置決めしている。
位置決めされた状態のもとでハンダ塗布ステージではク
リームハンダが塗布され、搭載ステージでは実装基板の
上面に部品が搭載されることになる。
A work supporting device is provided on such a solder coating stage or a mounting stage to support a mounting substrate. The conventional work supporting apparatus has a plurality of bars which move up and down at the same time, and positions the mounting substrate at a predetermined position by supporting the mounting board with the bars at the lower surface thereof.
Under the positioned state, cream solder is applied on the solder application stage, and components are mounted on the upper surface of the mounting board on the mounting stage.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、部品が
搭載される実装基板には種々のタイプがあり、実装基板
の上面のみならず、上下両面に電子部品が搭載される場
合がある。上下両面に電子部品が搭載される場合には、
下面に部品が搭載された実装基板面の上面にさらに部品
を搭載することになる。また、ハンダ塗布ステージでは
下面に電子部品が搭載された状態で上面にクリームハン
ダが塗布されることになる。そのような場合には、実装
基板をその下面で支持する際に、既に下面に搭載された
部品の部分に支持棒材が当たることになると、既に搭載
された部品に支持棒材が接触して部品を破損させるおそ
れがある。
However, there are various types of mounting boards on which components are mounted, and electronic components may be mounted not only on the upper surface of the mounting board but also on both upper and lower surfaces. When electronic components are mounted on both upper and lower sides,
The components are further mounted on the upper surface of the mounting board surface on which the components are mounted on the lower surface. In the solder application stage, cream solder is applied to the upper surface while electronic components are mounted on the lower surface. In such a case, when supporting the mounting board on its lower surface, if the support rod material hits the part of the component already mounted on the lower surface, the support rod material contacts the already mounted component. Parts may be damaged.

【0006】したがって、従来では、実装基板の種類に
応じて支持装置の種類を複数用意する必要があり、1つ
の搭載ステージやハンダ塗布ステージに多種類の実装基
板に対して部品の搭載を行うためには、用意する支持装
置の種類も多種となり、実装基板の種類に応じて支持装
置を交換したり、その都度実装基板に応じて、棒材の位
置を差し替えたりする必要がある。このため、部品の組
立工程が複雑となり、効率的に組立を行うことができな
いという問題点がある。
Therefore, conventionally, it is necessary to prepare a plurality of types of support devices in accordance with the type of mounting substrate, and it is necessary to mount components on various types of mounting substrates on one mounting stage or solder application stage. Therefore, there are various types of supporting devices to be prepared, and it is necessary to replace the supporting device according to the type of the mounting substrate, or to replace the position of the bar in each case according to the mounting substrate. For this reason, there is a problem that the assembling process of the parts becomes complicated, and the assembling cannot be performed efficiently.

【0007】本発明の目的は、複数種類のワークを1台
のワーク支持装置によって簡単に短時間で支持し得るよ
うにすることにある。
An object of the present invention is to enable a plurality of types of works to be easily supported in a short time by one work support device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のワーク支持装置
は、それぞれワークに接触するピストンロッドが設けら
れたピストンを往復動自在に収容するシリンダ室が複数
形成された支持台と、前記シリンダ室のうち前記ピスト
ンの後端面側の前進用空気圧室に連通する前進用流路
と、前記シリンダ室のうち前記ピストンの前端面側の後
退用空気圧室に連通する後退用流路と、前記ピストンが
前進限位置となったときに前記後退用空気圧室を閉じ、
前記ピストンが所定のストローク後退移動したときに前
記後退用空気圧室と前記後退用流路とを連通させる開閉
部材と、前記ピストンが前進限位置となったときに前記
開閉部材と前記ピストンとの間から漏れる空気を外部に
漏出する漏出路を、前記ピストンが所定のストローク後
退移動したときに閉じるシール部材と、前記ピストンに
前進方向の推力を加える前進用空気圧を制御する前進用
空気圧制御部と、前記ピストンに後退方向の推力を加え
る後退用空気圧を制御する後退用空気圧制御部とを有す
ることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a work supporting apparatus comprising: a support base having a plurality of cylinder chambers for reciprocally accommodating a piston provided with a piston rod contacting a work; A forward flow path communicating with a forward air pressure chamber on the rear end face side of the piston, a retreat flow path communicating with a backward air pressure chamber on the front end face side of the piston in the cylinder chamber, When the forward limit position is reached, the retreat pneumatic chamber is closed,
An opening / closing member for communicating the retreat pneumatic chamber with the retreat channel when the piston moves backward by a predetermined stroke, and between the open / close member and the piston when the piston is at a forward limit position. A leakage member that leaks air leaking from the outside to the outside, a seal member that closes when the piston moves backward by a predetermined stroke, a forward air pressure control unit that controls forward air pressure that applies forward thrust to the piston, A reverse air pressure control unit that controls a reverse air pressure that applies a thrust in the reverse direction to the piston.

【0009】本発明にあっては、ピストンロッドが前進
限位置となっているときに、後退用流路に供給されてい
る空気がピストンと開閉部材との間から漏れても漏出路
を介して外部に空気が排気されるので、後退用空気圧室
には後退用流路からの空気圧が作用しなくなり、所定の
ストロークだけピストンが後退移動すると、シール部材
によって漏出路は閉塞されて、後退用空気圧室に確実に
圧力が加わることになる。これにより、部品の加工精度
のバラツキや作動によるシール部材の磨耗により不用意
にピストンロッドが後退移動することを防止できる。
In the present invention, even if air supplied to the retreat passage leaks from between the piston and the opening / closing member when the piston rod is at the forward limit position, the air flows through the leak passage. Since the air is exhausted to the outside, the air pressure from the retreating channel does not act on the retreating air pressure chamber, and when the piston retreats by a predetermined stroke, the leakage path is closed by the seal member, and the retreating air pressure is reduced. The pressure is surely applied to the chamber. Thus, it is possible to prevent the piston rod from retreating carelessly due to variations in the processing accuracy of parts and wear of the seal member due to operation.

【0010】前記開閉部材を前記ピストンが前進限位置
となったときに前記ピストンの前端面に接触する弾性変
形自在のシール材により形成しても良く、前記ピストン
に接触するストッパ面を有し前記支持台に取り付けられ
るストッパと、前記支持台に軸方向に移動自在に装着さ
れ前記ピストンが前進限位置から所定のストローク後退
移動するまで前記ピストンに接触する弁部材とにより形
成しても良い。また、前記ピストンに接触するストッパ
面と、前記ピストンに設けられたシール部材に前記ピス
トンが前進限位置から所定のストローク後退移動するま
で接触するシール面とを有するストッパにより前記開閉
部材を形成しても良い。
The opening / closing member may be formed of a resiliently deformable sealing material which comes into contact with a front end face of the piston when the piston is at a forward limit position, and has a stopper surface which comes into contact with the piston. The stopper may be formed by a stopper attached to the support base and a valve member which is movably mounted in the support base in the axial direction and contacts the piston until the piston retreats from the forward limit position by a predetermined stroke. Further, the opening and closing member is formed by a stopper having a stopper surface that contacts the piston and a seal surface that contacts the seal member provided on the piston until the piston retreats by a predetermined stroke from a forward limit position. Is also good.

【0011】本発明のワーク支持装置は、前記ピストン
が後退限位置になると前記前進用空気圧室と前記前進用
流路とを遮断する流路開閉部材と、前記後退用空気圧室
の圧力を低下させると前記前進用空気圧室と前記前進用
流路とを連通させる位置まで前記ピストンを移動させる
ばね部材とを有することを特徴とする。
In the work supporting device of the present invention, when the piston is at the retreat limit position, a flow path opening / closing member that shuts off the forward pneumatic chamber and the forward flow path, and reduces the pressure of the retreat pneumatic chamber. And a spring member for moving the piston to a position at which the forward air pressure chamber and the forward flow path communicate with each other.

【0012】本発明にあっては、ピストンが後退限位置
となったときには、流路開閉部材によって前進用空気圧
室には前進用流路からの空気が流入しないようにする
と、前進限位置となっているピストンロッドと後退限位
置となっているピストンロッドとが混在した状態で前進
限位置となっているピストンに対して前進方向に高い圧
力を供給することができる。これにより、前進限位置と
なってワークを支持しているピストンロッドを強く固定
させることができる。
In the present invention, when the piston is in the retreat limit position, the flow opening / closing member prevents the air from the forward flow channel from flowing into the forward pneumatic chamber. A high pressure can be supplied in the forward direction to the piston at the forward limit position in a state where the piston rod at the forward limit position and the piston rod at the backward limit position are mixed. Thereby, the piston rod supporting the work at the forward end position can be strongly fixed.

【0013】また、ワーク支持装置は、前記支持台に形
成され前記ピストンロッドの突出側開口部に外部からの
異物の侵入を阻止するスクレーパーを前記支持台に設け
たことを特徴とする。本発明にあっては、ワーク支持台
から外部に突出するピストンロッドと支持台側の開口部
との間から異物が侵入することを防止できる。
Further, the work support device is characterized in that a scraper formed on the support base and for preventing entry of foreign matter from the outside into the projecting opening of the piston rod is provided on the support base. According to the present invention, it is possible to prevent foreign matter from entering from between the piston rod protruding outside from the work support base and the opening on the support base side.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の一実施の形
態であるワーク支持装置を示す斜視図であり、図2は図
1におけるA−A線に沿う断面図であり、図3は図1に
おけるB−B線に沿う断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a work supporting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. It is sectional drawing which follows.

【0015】図1に示すように、このワーク支持装置
は、直方体形状の支持ブロック10aとこれの上面に複
数のねじ部材11により締結されるカバー材10bとに
より形成される支持台10を有している。支持ブロック
10aには、図3に示すように、上下方向に12個のシ
リンダ室12が形成されており、シリンダ室12は、4
行3列となってマトリックス状に形成されている。ただ
し、シリンダ室12の数は12個に限られず、ワークの
サイズに応じて、行数と列数とを、たとえば、それぞれ
20〜30程度にするなど任意の数に設定することがで
きる。
As shown in FIG. 1, the work supporting apparatus has a support base 10 formed by a rectangular parallelepiped support block 10a and a cover member 10b fastened by a plurality of screw members 11 to an upper surface thereof. ing. As shown in FIG. 3, twelve cylinder chambers 12 are formed in the support block 10a in the vertical direction.
It is formed in a matrix with three rows and three columns. However, the number of cylinder chambers 12 is not limited to 12, and the number of rows and the number of columns can be set to any number, for example, about 20 to 30, respectively, according to the size of the work.

【0016】それぞれのシリンダ室12には、図2に示
されるように、ピストン13が上下方向に往復動自在に
収容され、それぞれのピストン13にはピストンロッド
14が設けられており、それぞれのピストンロッド14
はカバー部材10bを貫通して上方に突出している。そ
れぞれのシリンダ室12は、ピストン13によってピス
トン13の後端面15側の前進用空気圧室16と、前端
面17側の後退用空気圧室18とに区画形成されてお
り、両方の空気圧室16,18はピストン13に装着さ
れたシール材13aによりシールされている。それぞれ
のピストン13およびピストンロッド14は、支持台1
0から突出する移動方向が前進方向であり、逆の方向が
後退方向となっている。
As shown in FIG. 2, a piston 13 is accommodated in each cylinder chamber 12 so as to be vertically reciprocable. Each piston 13 is provided with a piston rod 14. Rod 14
Protrudes upward through the cover member 10b. Each of the cylinder chambers 12 is defined by a piston 13 into a forward air pressure chamber 16 on the rear end face 15 side of the piston 13 and a backward air pressure chamber 18 on the front end face 17. Are sealed by a seal material 13a attached to the piston 13. Each of the pistons 13 and the piston rods 14
The moving direction projecting from 0 is the forward direction, and the opposite direction is the backward direction.

【0017】支持台10には図1および図3に示すよう
に給排ポート21が形成され、この給排ポート21に連
通して支持台10に形成された主流路22aは分岐流路
22bによりそれぞれの前進用空気圧室16に連通して
おり、これらの主流路22aと分岐流路22bとによっ
て前進用流路22が形成されている。さらに、支持台1
0には給排ポート23が形成され、この給排ポート23
に連通して支持台10に形成された主流路24aは分岐
流路24bによりそれぞれの後退用空気圧室18に連通
するようになっており、これらの主流路24aと分岐流
路24bとによって後退用流路24が形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 3, a supply / discharge port 21 is formed in the support base 10, and a main flow path 22a formed in the support base 10 in communication with the supply / discharge port 21 is formed by a branch flow path 22b. The main flow path 22a and the branch flow path 22b form a forward flow path 22 which communicates with the respective forward air pressure chambers 16. In addition, support table 1
0, a supply / discharge port 23 is formed.
The main flow path 24a formed in the support base 10 is communicated with the respective retraction air pressure chambers 18 by the branch flow paths 24b, and the main flow path 24a and the branch flow paths 24b communicate with the main flow path 24a. A channel 24 is formed.

【0018】それぞれのピストン13は、図2に示され
るように、その後端面15がシリンダ室12の底面であ
るストッパ面25aに当接する後退限位置と、前端面1
7がカバー材10bの内面に形成されたストッパ面25
bに当接する前進限位置との間を往復動するようになっ
ている。支持台10のカバー材10bには、図2に示す
ように、ピストン13の前端面17の外周縁部に対応さ
せて開閉部材としてゴムなどからなり弾性変形自在の断
面矩形のシール部材26が取り付けられている。このシ
ール部材26はピストン13が前進限位置となったとき
に後退用空気圧室18を閉じ、ピストン13が前進限位
置から所定のストロークLよりも後退移動したらピスト
ン13と接触しなくなって後退用空気圧室18と後退用
流路24とを連通させる。
As shown in FIG. 2, each piston 13 has a rear end position where its rear end surface 15 contacts a stopper surface 25a which is a bottom surface of the cylinder chamber 12, and a front end surface 1
7 is a stopper surface 25 formed on the inner surface of the cover member 10b.
It reciprocates between a forward limit position abutting on b. As shown in FIG. 2, a sealing member 26 made of rubber or the like and made of rubber or the like as an opening / closing member and elastically deformable and having a rectangular cross section is attached to the cover member 10b of the support base 10, as shown in FIG. Have been. The seal member 26 closes the retraction air pressure chamber 18 when the piston 13 reaches the forward limit position, and does not come into contact with the piston 13 when the piston 13 moves backward from the forward limit position by more than a predetermined stroke L. The chamber 18 communicates with the retreat channel 24.

【0019】図4は後退用流路24を介してそれぞれの
後退用空気圧室18に圧縮空気を供給し、前進用流路2
2を介してそれぞれの前進用空気圧室16に圧縮空気を
供給するための空気圧回路を示す図である。給排ポート
21には、前進用空気圧制御部27が流路を介して接続
され、給排ポート23には後退用空気圧制御部28が流
路を介して接続されている。それぞれの空気圧制御部2
7,28は、コンプレッサなどの空気圧源からの圧宿空
気を所定の圧力に調圧する圧力調整弁や流路開閉弁など
を有しており、給排ポート21には、P1〜P2の範囲の
任意の圧力に設定された圧縮空気が供給される。
FIG. 4 shows that compressed air is supplied to the respective retraction pneumatic chambers 18 via the retreat channel 24,
FIG. 2 is a diagram showing a pneumatic circuit for supplying compressed air to each forward air pressure chamber 16 through a second air pressure chamber; A forward air pressure control unit 27 is connected to the supply / discharge port 21 via a flow path, and a retreat air pressure control unit 28 is connected to the supply / discharge port 23 via a flow path. Each air pressure control unit 2
Reference numerals 7 and 28 each include a pressure adjusting valve for adjusting pressurized air from an air pressure source such as a compressor to a predetermined pressure, a flow path opening / closing valve, and the like, and the supply / discharge port 21 has a range of P1 to P2. Compressed air set to an arbitrary pressure is supplied.

【0020】給排ポート21に供給される圧力は、たと
えば、P1=0.1MpaからP2=0.4Mpaの範囲の圧力に調圧
される。一方、給排ポート23に供給される圧力は、圧
力P3の空気圧と圧力P0の空気圧が切り換えられて供給
されるようになっている。この圧力としては、たとえ
ば、P3=0.5Mpaの圧力とP0=0Mpaの圧力に切り換え
ることができる。
The pressure supplied to the supply / discharge port 21 is regulated, for example, to a pressure in the range of P1 = 0.1 Mpa to P2 = 0.4 Mpa. On the other hand, the pressure supplied to the supply / discharge port 23 is supplied by switching between the air pressure of the pressure P3 and the air pressure of the pressure P0. For example, the pressure can be switched between P3 = 0.5 MPa and P0 = 0 MPa.

【0021】したがって、後退用流路24に対する供給
圧をゲージ圧0Mpaとし、前進用流路22に対して、た
とえば、0.1Mpa以上の圧力を供給すると、図4に示すよ
うに、ピストン13は前進方向に移動して、全てのピス
トンロッド14が前進限位置となる。図1に示すよう
に、ワーク支持台10に12本のピストンロッド14が
設けられていれば、12本のピストンロッド14は全て
前進限位置となる。
Therefore, when the supply pressure to the retreat channel 24 is set to a gauge pressure of 0 Mpa, and a pressure of, for example, 0.1 Mpa or more is supplied to the forward channel 22, the piston 13 moves forward as shown in FIG. , All the piston rods 14 are at the forward limit position. As shown in FIG. 1, if twelve piston rods 14 are provided on the work support base 10, all twelve piston rods 14 are at the forward limit position.

【0022】この状態のもとでは、ピストン13が前進
限位置となってこれの前端面17が開閉部材としてのシ
ール部材26に接触して後退用空気圧室18と後退用流
路24との連通が遮断される。したがって、前進用流路
22に対して供給される空気圧をP2、たとえば、0.4Mp
aに設定し、後退用流路24に対してP2よりも高い圧力
P3、たとえば、0.5Mpaの空気圧を供給しても、ピスト
ンロッド14は後退移動することがない。
In this state, the piston 13 is at the forward limit position, and the front end face 17 thereof comes into contact with the sealing member 26 as an opening / closing member, and the communication between the retreating air pressure chamber 18 and the retreating passage 24 is established. Is shut off. Therefore, the air pressure supplied to the forward flow path 22 is set to P2, for example, 0.4 Mp
Even if the pressure is set to a and a pressure P3 higher than P2, for example, an air pressure of 0.5 MPa is supplied to the retreat channel 24, the piston rod 14 does not retreat.

【0023】このようにして、ピストンロッド14が図
4に示すように前進限位置となった状態のもとで、いず
れかのピストンロッド14に後退移動方向の推力が加え
られて、そのピストンロッド14が所定のストローク、
つまり図2に示すストロークL以上後退移動すると、シ
ール部材26がピストン13の前端面17から離れて後
退用流路24に供給されている空気圧が後退用空気圧室
18内に流入する。流入する圧力P3と前端面17の受
圧面積との積によりピストン13に後退方向に加えられ
る推力は、前進用空気圧室16に供給される圧力P2と
後端面15の受圧面積との積によりピストン13に前進
方向に加えられる推力よりも大きく設定されているの
で、ピストン13は後退限位置まで後退移動する。図1
および図2において符号,を付した2本のピストン
ロッド14は前進限位置となっており、符号を付した
ピストンロッド14は後退限位置となっており、図1に
示される他のピストンロッド14は全て後退限位置とな
って示されている。
In this manner, while the piston rod 14 is in the forward limit position as shown in FIG. 4, a thrust in the backward movement direction is applied to any one of the piston rods 14, and 14 is a predetermined stroke,
That is, when the seal member 26 moves backward more than the stroke L shown in FIG. 2, the seal member 26 separates from the front end face 17 of the piston 13, and the air pressure supplied to the backward flow channel 24 flows into the backward air pressure chamber 18. The thrust applied to the piston 13 in the retreating direction by the product of the inflowing pressure P3 and the pressure receiving area of the front end face 17 is determined by the product of the pressure P2 supplied to the forward pneumatic chamber 16 and the pressure receiving area of the rear end face 15. Is set larger than the thrust applied in the forward direction, the piston 13 moves backward to the retreat limit position. FIG.
2, the two piston rods 14 with the reference numeral are at the forward limit position, and the piston rods 14 with the reference numeral are at the retreat limit position, and the other piston rods 14 shown in FIG. Are all shown as the retracted positions.

【0024】このように、ピストンロッド14が前進限
位置となっているときに、後退用流路24に圧縮空気が
供給されている状態となっていると、もしも、シール部
材26とピストン13の前端面17との間に異物が入り
込んだり、シール部材26に傷が発生すると、後退用流
路24に供給されている圧縮空気がピストン13の前端
面17側に入り込むことになる。もしも空気が入り込む
と、その空気はピストン13の前端面17側に入り込む
ことになって、ピストン13には後退方向の空気圧が加
わってピストン13は後退限位置まで移動することにな
る。
As described above, if the compressed air is supplied to the retreat passage 24 when the piston rod 14 is at the forward limit position, if the seal member 26 and the piston 13 If a foreign substance enters between the front end face 17 or the seal member 26 is damaged, the compressed air supplied to the retreat passage 24 enters the front end face 17 side of the piston 13. If air enters, the air will enter the front end face 17 side of the piston 13, and the air pressure in the backward direction is applied to the piston 13, so that the piston 13 moves to the retreat limit position.

【0025】ところで、ピストンロッド14とカバー材
10bとの間には、ピストンロッド14が円滑に軸方向
に摺動するように僅かな隙間31が形成されている。こ
の隙間31によって、前述したようにピストン13が前
進限位置となっているときにピストン13とシール部材
26との間からもしも空気が漏れた場合には、その空気
を外部に漏出させる漏出路となっている。これにより、
漏れが発生したとしても後退用空気圧室18には圧力が
発生しないので、前進限位置から不用意にピストンロッ
ド14が後退移動することは回避される。
By the way, a small gap 31 is formed between the piston rod 14 and the cover member 10b so that the piston rod 14 slides smoothly in the axial direction. If the air leaks from between the piston 13 and the seal member 26 when the piston 13 is in the forward limit position as described above, the gap 31 allows the air to leak to the outside. Has become. This allows
Even if a leak occurs, no pressure is generated in the retraction pneumatic chamber 18, so that the piston rod 14 is prevented from retreating carelessly from the forward limit position.

【0026】しかし、前進限位置のピストン13が所定
のストロークL以上後退移動したときには、後退用空気
圧室18が漏出路を介して外部に連通しないように、ピ
ストン13が所定のストロークL以上後退移動したとき
には漏出路を閉じるためのシール部材32が支持台10
に設けられている。このシール部材32としては、たと
えばOリングが使用されている。ピストンロッド14に
は、ピストン13が前進限位置から所定のストロークL
以上後退移動するまでは隙間を介して確実に漏出空気を
外部に排出させるために、くびれ部33が形成されてい
る。このくびれ部33がシール部材32に対応する位置
となっているときには、ピストンロッド14とシール部
材32との間には十分な隙間が形成されることになる。
一方、ピストン13が後退移動すると、シール部材32
はピストンロッド14の外周面に接触して空気の漏れが
確実に防止される。これにより、開閉部材としてのシー
ル部材26に傷が発生し、後退用流路24に供給されて
いる空気が前進限位置のピストン13の前端面17側に
漏入することを回避することができ、ワーク支持装置の
耐久性を向上させることができる。
However, when the piston 13 at the forward limit position retreats by a predetermined stroke L or more, the piston 13 retreats by a predetermined stroke L so that the retraction air pressure chamber 18 does not communicate with the outside through the leak path. The sealing member 32 for closing the leakage path
It is provided in. As the seal member 32, for example, an O-ring is used. The piston rod 14 has a predetermined stroke L from the forward limit position.
A constricted portion 33 is formed in order to reliably discharge the leaked air to the outside through the gap until the retracted movement. When the constricted portion 33 is located at a position corresponding to the seal member 32, a sufficient gap is formed between the piston rod 14 and the seal member 32.
On the other hand, when the piston 13 moves backward, the sealing member 32
Is in contact with the outer peripheral surface of the piston rod 14 to reliably prevent air from leaking. Accordingly, it is possible to prevent the seal member 26 serving as the opening / closing member from being damaged and the air supplied to the retreat passage 24 from leaking into the front end face 17 of the piston 13 at the forward limit position. In addition, the durability of the work supporting device can be improved.

【0027】図5は前述したワーク支持装置を使用して
ワークである実装基板を支持する手順を示す工程図であ
る。図5(A)は図示しない搬送装置によって実装基板
Wがワーク支持装置の真上にまで搬送された状態を示
す。この実装基板Wの下面には予めICやLSIなどの
部品Waが搭載されている。この状態のもとで、図5
(B)に示すように、実装基板Wがワーク支持装置に向
けて接近移動すると、いずれかのピストンロッド14と
干渉する部品Waは、ピストンロッド14に接触するこ
とになる。
FIG. 5 is a process chart showing a procedure for supporting a mounting substrate, which is a work, using the above-described work supporting device. FIG. 5A shows a state in which the mounting substrate W has been transferred to a position directly above the work supporting device by a transfer device (not shown). Components Wa such as ICs and LSIs are mounted on the lower surface of the mounting substrate W in advance. Under this condition, FIG.
As shown in (B), when the mounting substrate W moves closer to the work supporting device, a component Wa that interferes with one of the piston rods 14 comes into contact with the piston rod 14.

【0028】図5(B)にあっては、図示された4本の
ピストンロッド14のうち中央の2本のピストンロッド
14が部品Waに接触して僅かに後退移動した状態を示
す。引き続き実装基板Wをワーク支持装置に向けて接近
移動させて他のピストンロッド14の先端面が実装基板
Wに直接接触する状態となると、部品Waに接触したピ
ストンロッド14が所定のストロークL以上後退移動す
ることになる。これにより、前述したように、後退用流
路24に供給されている圧縮空気が後退用空気圧室18
内に供給されるので、そのピストンロッド14は、図5
(C)に示すように、後退限位置まで移動する。
FIG. 5 (B) shows a state in which the center two piston rods 14 of the four piston rods 14 shown in FIG. When the mounting substrate W is successively moved toward the work supporting device and the tip surface of another piston rod 14 comes into direct contact with the mounting substrate W, the piston rod 14 in contact with the component Wa retreats by a predetermined stroke L or more. Will move. As a result, as described above, the compressed air supplied to the retreat channel 24 is released from the retreat air pressure chamber 18.
The piston rod 14 is supplied in FIG.
As shown in (C), it moves to the retreat limit position.

【0029】したがって、図5(C)に示すように、実
装基板Wのうち部品Waが搭載されていない部分に他の
ピストンロッド14が接触して実装基板Wを支持するこ
とになる。この状態のもとで、クリームハンダを塗布す
る操作をしたり、実装基板Wの上面に他の部品の搭載を
行うことができ、上面への作業を行う際には下面に予め
搭載されている部品Waには負荷が加わることを防止で
きる。
Therefore, as shown in FIG. 5C, another piston rod 14 comes into contact with a portion of the mounting substrate W where the component Wa is not mounted, and supports the mounting substrate W. In this state, it is possible to perform an operation of applying cream solder or mount other components on the upper surface of the mounting substrate W, and when performing an operation on the upper surface, it is mounted on the lower surface in advance. It is possible to prevent a load from being applied to the component Wa.

【0030】なお、実装基板Wをワーク支持装置に接近
させる際には、実装基板Wを図5において下降移動させ
るようにしても良く、逆に、ワーク支持装置を上昇移動
させるようにしても良い。また、部品Waと干渉するこ
とになるピストンロッド14を後退限位置まで下降移動
させる際には、それぞれのピストンロッド14に対する
前進方向の推力が、図5(C)に示すように上面への作
業を行なうときよりも小さい推力となるように、前進用
空気圧制御部27によって前進用空気圧室16に供給さ
れる圧力を調整するようにしても良い。
When the mounting substrate W is brought closer to the work supporting device, the mounting substrate W may be moved downward in FIG. 5, or conversely, the work supporting device may be moved upward. . Further, when the piston rods 14 that interfere with the component Wa are moved down to the retreat limit position, the thrust of the respective piston rods 14 in the forward direction is applied to the upper surface as shown in FIG. The pressure supplied to the forward air pressure chamber 16 may be adjusted by the forward air pressure control unit 27 so that the thrust becomes smaller than when performing.

【0031】図6は他のタイプの開閉部材を有するワー
ク支持装置の一部を示す拡大断面図であり、図6には前
進限位置と後退限位置の2本のピストンロッド14が示
されている。このワーク支持装置にあっては、支持ブロ
ック10aに形成された大径収容孔35内に開閉部材を
構成する円筒形状のストッパ36が組み込まれている。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of a work supporting device having another type of opening / closing member. FIG. 6 shows two piston rods 14 at a forward limit position and a backward limit position. I have. In this work support device, a cylindrical stopper 36 constituting an opening / closing member is incorporated in a large-diameter accommodation hole 35 formed in the support block 10a.

【0032】図7は開閉部材を示す一部切り欠き斜視図
であり、ストッパ36にはシール部材32を収容する環
状溝37が内周面に形成されており、このシール部材3
2は図2に示されたシール部材と相違してV字形状とな
っている。ストッパ36の図6における下端部には大径
部38aと小径部38bとにより環状の収容溝39が形
成されており、小径部38bの端面はストッパ面25b
となっている。収容溝39内には、ゴムなどの弾性部材
からなる弁部材41が軸方向に移動自在に装着されてい
る。弁部材41は端板部41aと、これにそれぞれ一体
となった小径筒部41bおよび大径筒部41cとを有
し、小径筒部41bと大径筒部41cとの間には環状溝
部41dが形成されている。
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view showing the opening and closing member. An annular groove 37 for accommodating the seal member 32 is formed in the stopper 36 on the inner peripheral surface.
2 has a V-shape unlike the seal member shown in FIG. At the lower end of the stopper 36 in FIG. 6, an annular accommodation groove 39 is formed by a large diameter portion 38a and a small diameter portion 38b, and the end surface of the small diameter portion 38b is formed on the stopper surface 25b.
It has become. A valve member 41 made of an elastic member such as rubber is mounted in the accommodation groove 39 so as to be movable in the axial direction. The valve member 41 has an end plate portion 41a, a small-diameter tube portion 41b and a large-diameter tube portion 41c integrated with the end plate portion 41a, and an annular groove portion 41d is provided between the small-diameter tube portion 41b and the large-diameter tube portion 41c. Are formed.

【0033】弁部材41に対してピストン13に向かう
ばね力を加えるために圧縮コイルばね42が収容溝39
内に装着され、圧縮コイルばね42の一端部は環状溝部
41d内に入り込んでいる。これにより、ピストン13
が前進限位置から所定のストロークLだけ後退移動する
までは、弁部材41はピストン13の前端面17に接触
しながら、圧縮コイルばね42のばね力を受けて収容溝
39内を移動し、所定のストロークL以上ピストン13
が後退移動すると、弁部材41は段差面に当接してピス
トン13は弁部材41から離れることになり、後退用空
気圧室18と後退用流路24とが連通状態となる。この
ように弁部材41が軸方向に移動することによって、図
6および図7に示す場合には、ピストン13が前進限位
置となったときにおける弁部材41の弾性収縮量は、図
2に示したシール部材26の収縮量よりも少なくなる。
To apply a spring force toward the piston 13 to the valve member 41, the compression coil spring 42 is
The one end of the compression coil spring 42 is inserted into the annular groove 41d. Thereby, the piston 13
Until the valve member 41 moves backward from the forward limit position by a predetermined stroke L, the valve member 41 moves in the receiving groove 39 under the spring force of the compression coil spring 42 while contacting the front end face 17 of the piston 13. More than stroke L of piston 13
Moves backward, the valve member 41 comes into contact with the step surface, and the piston 13 separates from the valve member 41, so that the retreat pneumatic chamber 18 and the retreat channel 24 are in communication. By moving the valve member 41 in the axial direction in this way, in the case shown in FIGS. 6 and 7, the amount of elastic contraction of the valve member 41 when the piston 13 reaches the forward limit position is shown in FIG. The amount of contraction of the sealing member 26 is smaller than the amount of contraction.

【0034】図8は他のタイプの開閉部材を有するワー
ク支持装置の一部を示す拡大断面図であり、図6と同様
の部分が示されている。このワーク支持装置にあって
は、支持ブロック10aに形成された大径収容孔35内
に組み込まれて開閉部材を構成する円筒形状のストッパ
36には、図6に示した場合と同様に、シール部材32
を収容する環状溝37が内周面に形成されている。この
ストッパ36にはピストン13が前進限位置となると当
接するストッパ面25bが形成されるとともに、ピスト
ン13の一部が嵌合する嵌合筒部43が設けられてい
る。この嵌合筒部43には、その内周面と後退用流路2
4とを連通させる連通孔44が形成されるとともに、ピ
ストン13に設けられたシール部材13bに接触するシ
ール面45が形成されている。したがって、ピストン1
3が前進限位置から所定のストロークLだけ移動するま
では、シール部材13bが嵌合筒部43のシール面45
に接触して後退用空気圧室18と後退用流路24は遮断
され、所定のストローク以上後退移動すると後退用流路
24は後退用空気圧室18と連通状態となる。
FIG. 8 is an enlarged sectional view showing a part of a work supporting apparatus having another type of opening / closing member, and shows a part similar to FIG. In this work supporting device, a cylindrical stopper 36 which is incorporated in a large-diameter receiving hole 35 formed in the supporting block 10a and constitutes an opening / closing member is provided with a sealing member as shown in FIG. Member 32
Is formed in the inner peripheral surface. The stopper 36 has a stopper surface 25b with which the piston 13 comes into contact when the piston 13 reaches the forward limit position, and a fitting cylinder portion 43 into which a part of the piston 13 fits. The fitting cylindrical portion 43 has an inner peripheral surface thereof and the retreating channel 2.
A communication hole 44 that communicates with the piston 4 is formed, and a seal surface 45 that contacts the seal member 13b provided on the piston 13 is formed. Therefore, piston 1
Until 3 moves from the forward limit position by a predetermined stroke L, the sealing member 13b is
, The retreating air pressure chamber 18 and the retreating flow path 24 are shut off, and when the retreating movement is performed for a predetermined stroke or more, the retreating flow path 24 is in communication with the retreating air pressure chamber 18.

【0035】図8に示すように、支持台10にはピスト
ン13の後退限位置に対応させて円筒形状のストッパ4
7が取り付けられ、このストッパ47の外側にはばね受
け48が取り付けられており、ストッパ47およびばね
受け48は流路開閉部材を構成している。ストッパ47
は端板部47aとこれと一体となった円筒部47bとを
有し、端板部47aには貫通孔49が形成されている。
ばね受け48は端板部48aとこれと一体となった円筒
部48bとを有し、端板部48aにはブリード孔51が
形成され、ストッパ47の端板部47aとばね受け48
の端板部48aとの間には、弁部材52が組み込まれる
とともに、この弁部材52に対して貫通孔49を閉じる
方向にばね力を加えるために圧縮コイルばね53が組み
込まれている。
As shown in FIG. 8, the support 10 has a cylindrical stopper 4 corresponding to the retreat limit position of the piston 13.
7 is mounted, and a spring receiver 48 is mounted outside the stopper 47. The stopper 47 and the spring receiver 48 constitute a flow path opening / closing member. Stopper 47
Has an end plate portion 47a and a cylindrical portion 47b integrated therewith, and a through hole 49 is formed in the end plate portion 47a.
The spring receiver 48 has an end plate portion 48a and a cylindrical portion 48b integrated with the end plate portion 48a. A bleed hole 51 is formed in the end plate portion 48a, and the end plate portion 47a of the stopper 47 and the spring receiver 48 are formed.
And a compression coil spring 53 for applying a spring force to the valve member 52 in a direction to close the through hole 49.

【0036】ストッパ47の円筒部47bには前進用流
路22と前進用空気圧室16とを連通させる連通孔54
が形成され、連通孔54を介して前進用空気圧室16内
に圧縮空気が供給されているときには、弁部材52によ
って貫通孔49は閉じられている。ストッパ47の円筒
部47bの内周面には、ピストン13に設けられたシー
ル部材13cに接触するシール面55が形成され、ピス
トン13の後端面には後方に突出する作動ロッド56が
設けられており、ピストン13が後退用空気圧室18に
供給される圧縮空気によって後退限位置まで移動する
と、作動ロッド56によって弁部材52は貫通孔49を
開放するが、シール部材13cによって前進用流路22
と貫通孔49との連通は遮断される。さらに、作動ロッ
ド56が弁部材52を介して圧縮コイルばね53を収縮
することから、ピストン13には前進方向のばね力が加
えられることになる。
A communication hole 54 for communicating the forward passage 22 and the forward air pressure chamber 16 is formed in the cylindrical portion 47b of the stopper 47.
Is formed, and when the compressed air is supplied into the forward air pressure chamber 16 through the communication hole 54, the through hole 49 is closed by the valve member 52. A seal surface 55 that contacts the seal member 13c provided on the piston 13 is formed on the inner peripheral surface of the cylindrical portion 47b of the stopper 47, and an operating rod 56 that projects rearward is provided on the rear end surface of the piston 13. When the piston 13 moves to the retreat limit position by the compressed air supplied to the retreat pneumatic chamber 18, the valve member 52 opens the through hole 49 by the operating rod 56, but is moved by the seal member 13 c.
The communication with the through hole 49 is cut off. Further, since the operating rod 56 contracts the compression coil spring 53 via the valve member 52, a forward spring force is applied to the piston 13.

【0037】このように、ピストン13が後退限位置ま
で移動すると、前進用流路22と前進用空気圧室16と
の連通が遮断されるので、前進限位置のピストンロッド
14を大きな力で前進限位置に留めるために、前進用流
路22に対して高い圧力を供給しても、後退限位置のピ
ストン13が前進移動することを防止できる。これによ
り、前進限位置となってワークを支持しているピストン
ロッド14を強く固定することができ、ワークWを作業
時に強く押し付けてもピストンロッド14が後退移動す
ることを防止できる。後退限位置となっているピストン
ロッド14を前進移動させる際には、後退用空気圧室1
8に供給されている圧力を低下させたり、大気開放する
と、後退限位置のピストン13は圧縮コイルばね53の
ばね力で前進用流路22と前進用空気圧室16とが連通
する位置まで前進移動した後に、前進用流路22からの
圧縮空気によって前進限位置まで移動する。
As described above, when the piston 13 moves to the retreat limit position, the communication between the forward passage 22 and the forward pneumatic chamber 16 is cut off. Even if a high pressure is supplied to the forward flow path 22 in order to keep the piston 13 at the position, the piston 13 at the retreat limit position can be prevented from moving forward. Accordingly, the piston rod 14 supporting the work at the forward end position can be strongly fixed, and the piston rod 14 can be prevented from retreating even if the work W is strongly pressed during the work. When the piston rod 14 at the retreat limit position is moved forward, the retraction pneumatic chamber 1
When the pressure supplied to the piston 8 is reduced or the atmosphere is released to the atmosphere, the piston 13 at the retreat limit position moves forward by the spring force of the compression coil spring 53 to a position where the forward passage 22 and the forward air pressure chamber 16 communicate with each other. Then, it moves to the forward limit position by the compressed air from the forward flow path 22.

【0038】図8に示す流路開閉部材は、図2および図
6に示すタイプのワーク支持装置に組み込むようにして
も良い。
The channel opening / closing member shown in FIG. 8 may be incorporated in a work supporting device of the type shown in FIGS.

【0039】支持台10を構成するカバー材10bはピ
ストンロッド14の突出側開口部となっており、カバー
材10bに取り付けられたホルダー57には、断面V字
形状のシール部材からなるスクレーパー58が保持され
ている。このスクレーパー58は常にピストンロッド1
4の外周面に接触しており、ピストンロッド14の軸方
向の往復動によって外部から異物が侵入するのを阻止す
る。この場合には、シール部材13bとシール面45と
の間からの漏れた空気はスクレーパー58とピストンロ
ッド14との間から外部に漏出することができないの
で、漏出した空気を外部に排出するために空気抜き通路
59が支持台10に形成されている。
The cover member 10b constituting the support base 10 is an opening on the protruding side of the piston rod 14, and a holder 57 attached to the cover member 10b is provided with a scraper 58 made of a sealing member having a V-shaped cross section. Is held. The scraper 58 always has the piston rod 1
The outer peripheral surface of the piston rod 14 is in contact with the outer peripheral surface of the piston rod 4 to prevent foreign matter from entering from outside due to reciprocation of the piston rod 14 in the axial direction. In this case, air leaking from between the sealing member 13b and the sealing surface 45 cannot leak out from between the scraper 58 and the piston rod 14, so that the leaked air is discharged to the outside. An air vent passage 59 is formed in the support base 10.

【0040】このスクレーパー58は、ワーク支持装置
が使用される環境によっては、用いないようにしても良
く、図2および図6に示すワーク支持装置にも使用する
ようにしても良い。なお、図6〜図8においては、図1
〜図5に示した実施の形態における部材と共通する部材
には同一の符号が付されている。
The scraper 58 may not be used depending on the environment in which the work supporting device is used, or may be used in the work supporting device shown in FIGS. 2 and 6. 6 to 8, FIG.
The same reference numerals are given to members common to members in the embodiment shown in FIGS.

【0041】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。たとえば、図1に示すワーク支持装置は、ワーク
である実装基板Wを支持するために、12本のピストン
ロッド14を有しているが、ワークのサイズによっては
任意の本数のピストンロッドを設けることができる。ま
た、ピストンロッドは、図示するように、マトリックス
状に配置することなく、ランダムに配置するようにして
も良い。さらに、図示するワーク支持装置にあっては、
ピストンロッドが上下方向に移動するようにしている
が、水平方向でも傾斜方向でも任意の方向に前進後退移
動させて使用することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be variously modified without departing from the gist thereof. For example, the work supporting device shown in FIG. 1 has twelve piston rods 14 for supporting the mounting substrate W as a work, but an arbitrary number of piston rods may be provided depending on the size of the work. Can be. Further, the piston rods may be randomly arranged without being arranged in a matrix as shown in the figure. Further, in the illustrated work support device,
Although the piston rod moves vertically, the piston rod can be used by moving it forward or backward in any direction whether it is horizontal or inclined.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明によれば、複数のピストンロッド
のうち任意のピストンロッドを所定のストローク後退移
動させると、そのピストンロッドは後退限位置まで移動
することになるので、複数のピストンロッドにより支持
するようにしたワークの支持面に部品などが突出してい
る面があると、その面に対応するピストンロッドは後退
移動し、所定の支持面にのみピストンロッドが当接して
ワークを支持することができる。したがって、1台のワ
ーク支持装置によって複数種類のワークを支持すること
ができる。
According to the present invention, when an arbitrary piston rod of a plurality of piston rods is moved backward by a predetermined stroke, the piston rod moves to the retreat limit position. If there is a projecting surface on the supporting surface of the work that is to be supported, the piston rod corresponding to that surface moves backward, and the piston rod contacts only the predetermined supporting surface to support the work. Can be. Therefore, a plurality of types of works can be supported by one work supporting device.

【0043】ピストンロッドが前進限位置となっている
ときに、後退用流路に供給されている空気がピストンと
開閉部材との間から漏れても漏出路を介して外部に空気
が排気されるので、後退用空気圧室には後退用流路から
の空気圧が作用しなくなり、所定のストロークだけピス
トンが後退移動すると、シール部材によって漏出路は閉
塞されて、後退用空気圧室に確実に圧力が加わることに
なる。これにより、不用意にピストンロッドが後退移動
することを防止できる。
When the piston rod is at the forward limit position, even if air supplied to the retreat passage leaks from between the piston and the opening / closing member, the air is exhausted to the outside via the leak passage. Therefore, the air pressure from the retreating channel does not act on the retreating air pressure chamber, and when the piston retreats by a predetermined stroke, the leakage path is closed by the seal member, and the pressure is reliably applied to the retreating air pressure chamber. Will be. This can prevent the piston rod from retreating carelessly.

【0044】さらに、ピストンが後退限位置となったと
きには、流路開閉部材によって前進用空気圧室には前進
用流路からの空気が流入しないようにすると、前進限位
置となっているピストンロッドと後退限位置となってい
るピストンロッドとが混在した状態で前進限位置となっ
ているピストンに対して前進方向に高い圧力を供給する
ことができる。これにより、前進限位置となってワーク
を支持しているピストンロッドを強く固定させることが
できる。
Further, when the piston is at the retreat limit position, if the air from the forward passage is prevented from flowing into the forward pneumatic chamber by the passage opening / closing member, the piston rod at the forward limit position is removed. A high pressure can be supplied in the forward direction to the piston at the forward limit position in a state where the piston rod at the backward limit position is mixed with the piston rod at the backward limit position. Thereby, the piston rod supporting the work at the forward end position can be strongly fixed.

【0045】また、支持台にスクレーパーを設けること
により、ワーク支持台から外部に突出するピストンロッ
ドと支持台側の開口部との間から異物が侵入することを
防止できる。
Further, by providing a scraper on the support table, it is possible to prevent foreign matter from entering between the piston rod projecting from the work support table to the outside and the opening on the support table side.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態であるワーク支持装置を
示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a work supporting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1におけるA−A線に沿う断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG.

【図3】図1におけるB−B線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1;

【図4】ワーク支持装置の空気圧回路を示す回路図であ
る。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a pneumatic circuit of the work supporting device.

【図5】(A)〜(C)はそれぞれワークの支持手順を
示す工程図である。
5 (A) to 5 (C) are process diagrams each showing a procedure for supporting a work.

【図6】他のタイプの開閉部材を有するワーク支持装置
の一部を示す拡大断面図である。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of a work supporting device having another type of opening / closing member.

【図7】図6に示された開閉部材を示す一部切り欠き斜
視図である。
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view showing the opening and closing member shown in FIG. 6;

【図8】他のタイプの開閉部材を有するワーク支持装置
の一部を示す拡大断面図である。
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing a part of a work supporting device having another type of opening / closing member.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ワーク支持台 11 ねじ部材 12 シリンダ室 13 ピストン 13a シール部材 14 ピストンロッド 15 後端面 16 前進用空気圧室 17 前端面 18 後退用空気圧室 21 給排ポート 22 前進用流路 23 給排ポート 24 後退用流路 25a,25b ストッパ面 26 シール部材(開閉部材) 27,28 空気圧制御部 31 隙間(漏出路) 32 シール部材 33 くびれ部 35 大径収容孔 36 ストッパ 37 環状溝 38a 大径部 38b 小径部 39 収容溝 41 弁部材 42 圧縮コイルばね 43 嵌合筒部 44 連通孔 45 シール面 47 ストッパ 48 ばね受け 49 貫通孔 51 ブリード孔 52 弁部材 53 圧縮コイルばね 54 連通孔 55 シール面 56 作動ロッド 57 ホルダー 58 スクレーパー 10 Work support 11 Screw member 12 cylinder chamber 13 piston 13a Seal member 14 Piston rod 15 Rear end face 16 pneumatic chamber for advance 17 Front end face 18 Retraction pneumatic chamber 21 Supply / discharge port 22 Forward channel 23 Supply / discharge port 24 Retreat channel 25a, 25b Stopper surface 26 Sealing member (opening / closing member) 27,28 Air pressure controller 31 gap (leakage path) 32 Sealing member 33 Constriction 35 Large-diameter accommodation hole 36 Stopper 37 annular groove 38a Large diameter part 38b small diameter part 39 accommodation groove 41 Valve member 42 Compression coil spring 43 Fitting tube 44 Communication hole 45 Seal surface 47 Stopper 48 Spring support 49 Through hole 51 Bleed hole 52 Valve member 53 Compression coil spring 54 Communication hole 55 sealing surface 56 Operating rod 57 Holder 58 Scraper

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗原 弘邦 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 株式会 社日立インダストリイズ竜ヶ崎事業所内 Fターム(参考) 5E313 AA01 AA02 AA11 CC02 CC07 CC09 DD01 DD02 DD05 EE01 EE02 EE05 EE22 EE24 FF12 FG04    ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page    (72) Inventor Hirokuni Kurihara             5-2-2 Koyodai, Ryugasaki, Ibaraki Pref.             Hitachi Industries Ryugasaki Office F term (reference) 5E313 AA01 AA02 AA11 CC02 CC07                       CC09 DD01 DD02 DD05 EE01                       EE02 EE05 EE22 EE24 FF12                       FG04

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれワークに接触するピストンロッ
ドが設けられたピストンを往復動自在に収容するシリン
ダ室が複数形成された支持台と、 前記シリンダ室のうち前記ピストンの後端面側の前進用
空気圧室に連通する前進用流路と、 前記シリンダ室のうち前記ピストンの前端面側の後退用
空気圧室に連通する後退用流路と、 前記ピストンが前進限位置となったときに前記後退用空
気圧室を閉じ、前記ピストンが所定のストローク後退移
動したときに前記後退用空気圧室と前記後退用流路とを
連通させる開閉部材と、 前記ピストンが前進限位置となったときに前記開閉部材
と前記ピストンとの間から漏れる空気を外部に漏出する
漏出路を、前記ピストンが所定のストローク後退移動し
たときに閉じるシール部材と、 前記ピストンに前進方向の推力を加える前進用空気圧を
制御する前進用空気圧制御部と、 前記ピストンに後退方向の推力を加える後退用空気圧を
制御する後退用空気圧制御部とを有すことを特徴とする
ワーク支持装置。
1. A support base having a plurality of cylinder chambers for reciprocally accommodating a piston provided with a piston rod contacting a work, and a forward air pressure of a rear end face side of the piston in the cylinder chamber. A forward passage communicating with the chamber; a backward passage communicating with a backward air pressure chamber of the cylinder chamber at the front end face side of the piston; and the backward air pressure when the piston reaches the forward limit position. An opening / closing member that closes the chamber and communicates the retreat air pressure chamber and the retreat channel when the piston moves backward by a predetermined stroke; and the open / close member when the piston is at a forward limit position. A sealing member that closes a leakage path that leaks air leaking from between the piston and the outside when the piston moves backward by a predetermined stroke; Work supporting device for the the forward pneumatic control unit for controlling the forward pressure applying thrust, characterized by having a and retracting pneumatic control unit for controlling the retraction pressure applying thrust backward direction to the piston.
【請求項2】 請求項1記載のワーク支持装置におい
て、前記開閉部材を前記ピストンが前進限位置となった
ときに前記ピストンの前端面に接触する弾性変形自在の
シール材により形成したことを特徴とするワーク支持装
置。
2. The work supporting device according to claim 1, wherein the opening / closing member is formed of an elastically deformable sealing material that comes into contact with a front end surface of the piston when the piston reaches a forward limit position. And work supporting device.
【請求項3】 請求項1記載のワーク支持装置におい
て、前記ピストンに接触するストッパ面を有し前記支持
台に取り付けられるストッパと、前記支持台に軸方向に
移動自在に装着され前記ピストンが前進限位置から所定
のストローク後退移動するまで前記ピストンに接触する
弁部材とにより前記開閉部材を形成したこと特徴とする
ワーク支持装置。
3. The work support device according to claim 1, wherein a stopper having a stopper surface that comes into contact with the piston is attached to the support base, and the piston is mounted on the support base so as to be movable in the axial direction, and the piston moves forward. A work supporting device, wherein the opening / closing member is formed by a valve member that comes into contact with the piston until the piston moves backward from a limit position by a predetermined stroke.
【請求項4】 請求項1記載のワーク支持装置におい
て、前記ピストンに接触するストッパ面と、前記ピスト
ンに設けられたシール部材に前記ピストンが前進限位置
から所定のストローク後退移動するまで接触するシール
面とを有するストッパにより前記開閉部材を形成したこ
とを特徴とするワーク支持装置。
4. The work support device according to claim 1, wherein the seal contacts the stopper surface contacting the piston and a seal member provided on the piston until the piston retreats from a forward limit position by a predetermined stroke. A work supporting device, wherein the opening and closing member is formed by a stopper having a surface.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のワ
ーク支持装置において、前記ピストンが後退限位置にな
ると前記前進用空気圧室と前記前進用流路とを遮断する
流路開閉部材と、前記後退用空気圧室の圧力を低下させ
ると前記前進用空気圧室と前記前進用流路とを連通させ
る位置まで前記ピストンを移動させるばね部材とを有す
ることを特徴とするワーク支持装置。
5. A flow opening / closing member according to claim 1, wherein when the piston reaches a retreat limit position, the flow path opening / closing member shuts off the forward air pressure chamber and the forward flow path. And a spring member for moving the piston to a position where the forward pressure chamber and the forward flow path are communicated when the pressure of the backward pressure chamber is reduced.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項に記載のワ
ーク支持装置において、前記支持台に形成され前記ピス
トンロッドの突出側開口部に外部からの異物の侵入を阻
止するスクレーパーを前記支持台に設けたことを特徴と
するワーク支持装置。
6. The work support device according to claim 1, wherein the scraper is formed on the support base and prevents entry of foreign matter from the outside into the projecting side opening of the piston rod. A work support device provided on a support base.
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