JP2003344695A - Light guide module - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に設けられ
た光導波路を有する光導波路モジュールに関するもので
ある。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical waveguide module having an optical waveguide provided on a substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバまたは平面光導波路などの光
導波路を用いた光回路においては、各光導波路を伝送さ
れる信号光の光強度を一定に保つなど、信号光の光強度
を好適な値に制御することが望ましい場合がある。この
ような場合、信号光の光強度を光回路中でモニタし、あ
るいはさらに、モニタした結果に基づいて光強度を制御
することが行われている。2. Description of the Related Art In an optical circuit using an optical fiber or an optical waveguide such as a planar optical waveguide, the optical intensity of the signal light is kept at a suitable value by keeping the optical intensity of the signal light transmitted through each optical waveguide constant. It may be desirable to control. In such a case, the light intensity of the signal light is monitored in the optical circuit, or the light intensity is controlled based on the monitored result.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記した信号光の光強
度のモニタには、従来、光導波路上に光カプラを設けて
信号光の一部を分岐する方法が用いられている。この方
法では、光導波路上の所定の位置に光カプラを設けて信
号光を数％程度分岐し、分岐した光の光強度を光検出器
でモニタすることによって、その光導波路を伝送されて
いる信号光の光強度をモニタする。ここで、このように
光カプラを用いた場合、光回路を構成する光学部品の点
数が増加する上、それらを融着接続する必要があるた
め、光回路の構成及び製造工程が複雑化するという問題
がある。In order to monitor the optical intensity of the signal light described above, a method of providing an optical coupler on the optical waveguide and branching a part of the signal light has been conventionally used. In this method, an optical coupler is provided at a predetermined position on the optical waveguide, the signal light is branched by about several percent, and the optical intensity of the branched light is monitored by a photodetector, so that the optical waveguide is transmitted. The light intensity of the signal light is monitored. Here, when the optical coupler is used in this way, the number of optical components forming the optical circuit increases, and it is necessary to fusion-bond them, which complicates the configuration and manufacturing process of the optical circuit. There's a problem.
【０００４】これに対して、光カプラを用いることな
く、信号光の一部を反射によって取り出して光強度をモ
ニタする構成が提案されている。このような構成では、
光導波路を伝搬される信号光に対し、光導波路を横切る
ように光回路に形成された溝の内側に反射フィルタを挿
入して、信号光の一部を反射する。そして、反射フィル
タによって反射された信号光をフォトダイオードなどの
光検出器で検出することにより、信号光の光強度をモニ
タする。On the other hand, a structure has been proposed in which a part of the signal light is extracted by reflection and the light intensity is monitored without using an optical coupler. In such a configuration,
For the signal light propagating through the optical waveguide, a reflection filter is inserted inside the groove formed in the optical circuit so as to cross the optical waveguide, and a part of the signal light is reflected. Then, the light intensity of the signal light is monitored by detecting the signal light reflected by the reflection filter with a photodetector such as a photodiode.
【０００５】しかしながら、このように反射フィルタ及
び光検出器を用いる構成では、反射フィルタで反射され
た信号光が、対応するチャンネルの光検出器で検出され
る一方で、光回路内において光導波路を伝搬される信号
光の位置ずれや広がりが発生し、信号光の光強度のモニ
タ特性が劣化する場合がある。すなわち、各チャンネル
の光導波路で信号光の位置ずれや広がりが発生すると、
それによる余分な信号光成分が隣接するチャンネルの光
検出器によってノイズ光として検出される。このため、
チャンネル間でのクロストークなどの信号光のモニタ特
性が劣化するという問題がある。However, in the structure using the reflection filter and the photodetector as described above, the signal light reflected by the reflection filter is detected by the photodetector of the corresponding channel, while the optical waveguide is formed in the optical circuit. The propagating signal light may be displaced or spread, and the monitor characteristic of the light intensity of the signal light may be deteriorated. That is, when the position shift or spread of the signal light occurs in the optical waveguide of each channel,
The extra signal light component resulting therefrom is detected as noise light by the photodetector of the adjacent channel. For this reason,
There is a problem that the monitor characteristics of signal light such as crosstalk between channels deteriorate.
【０００６】本発明は、以上の問題点を解決するために
なされたものであり、光導波路で発生する信号光の位置
ずれや広がりの影響が低減されて、信号光のモニタ特性
を向上することが可能な光導波路モジュールを提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is possible to improve the monitor characteristic of signal light by reducing the influence of positional deviation and spread of signal light generated in the optical waveguide. It is an object of the present invention to provide an optical waveguide module capable of performing the above.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明による光導波路モジュールは、（１）
基板、及び基板上に設けられた光導波路を含んで構成さ
れ、光導波路の所定位置を横切るように形成された溝を
有する光回路と、（２）光回路の溝の内部に光導波路を
伝搬される信号光が通過する部位を含むように設置さ
れ、信号光の一部を所定の反射率によって反射する反射
フィルタと、（３）反射フィルタによって信号光の一部
が反射された反射光を検出する光検出器とを備え、
（４）光回路は、光導波路の入力導波路部が接続された
入力ポート、及び光導波路の出力導波路部が接続された
出力ポートが同一の入出力端面に設けられていることを
特徴とする。In order to achieve such an object, the optical waveguide module according to the present invention comprises (1)
An optical circuit including a substrate and an optical waveguide provided on the substrate, the optical circuit having a groove formed so as to cross a predetermined position of the optical waveguide, and (2) propagating the optical waveguide inside the groove of the optical circuit. A reflection filter that is installed so as to include a portion through which the signal light passes and that reflects a part of the signal light with a predetermined reflectance; and (3) a reflection light that a part of the signal light is reflected by the reflection filter. Equipped with a photodetector to detect,
(4) The optical circuit is characterized in that an input port to which an input waveguide portion of the optical waveguide is connected and an output port to which an output waveguide portion of the optical waveguide is connected are provided on the same input / output end face. To do.
【０００８】上記した光導波路モジュールにおいては、
光導波路上に設けられた溝に挿入された反射フィルタを
用いて信号光の光強度をモニタすることにより、光回路
の構成及び製造工程が簡単化されている。また、光導波
路モジュールでの光強度のモニタの対象となる信号光を
入出力するための入力ポート及び出力ポートを、光回路
の同一の端面上に設置している。このとき、入力ポート
と出力ポートとの間での光導波路が直線状ではない導波
路パターンによって形成されることとなる。これによ
り、光導波路の一部の導波路部分で信号光の位置ずれや
広がりが発生した場合であっても、それによる余分な信
号光成分の他の導波路部分への影響が低減される。した
がって、チャンネル間でのクロストークなどの信号光の
モニタ特性が向上される光導波路モジュールが実現され
る。In the above optical waveguide module,
By monitoring the light intensity of the signal light by using the reflection filter inserted in the groove provided on the optical waveguide, the configuration and manufacturing process of the optical circuit are simplified. Further, an input port and an output port for inputting and outputting a signal light which is a target of light intensity monitoring in the optical waveguide module are installed on the same end face of the optical circuit. At this time, the optical waveguide between the input port and the output port is formed by a waveguide pattern that is not linear. As a result, even if the positional deviation or spread of the signal light occurs in a part of the waveguide of the optical waveguide, the influence of the extra signal light component on the other waveguide is reduced. Therefore, an optical waveguide module in which the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels are improved can be realized.
【０００９】また、このような構成においては、光導波
路モジュールに対して信号光を入力または出力する外部
からの光ファイバなどの光導波路が、光回路に対して同
一の端面から接続されることとなる。これにより、光導
波路モジュールに対する外部からの光導波路の接続、及
びその調整等が容易となる。また、外部からの光導波路
を接続するための構成が簡単化されるので、低コストの
光導波路モジュールとすることができる。Further, in such a structure, the optical waveguide such as an optical fiber from the outside for inputting or outputting the signal light to the optical waveguide module is connected to the optical circuit from the same end face. Become. This facilitates connection of the optical waveguide from the outside to the optical waveguide module and adjustment thereof. Moreover, since the structure for connecting the optical waveguide from the outside is simplified, the optical waveguide module can be manufactured at low cost.
【００１０】また、反射フィルタ及び光検出器は、入力
導波路部及び出力導波路部と略直交する導波路部に対し
て設置されていることを特徴とする。これにより、例え
ば、入力ポート近傍で信号光の位置ずれや広がりが発生
した場合に、それによる余分な信号光成分の反射フィル
タ及び光検出器への入射が抑制される。したがって、チ
ャンネル間でのクロストークなどの信号光のモニタ特性
を確実に向上することができる。Further, the reflection filter and the photodetector are characterized in that they are installed in a waveguide section which is substantially orthogonal to the input waveguide section and the output waveguide section. Thereby, for example, when the position shift or spread of the signal light occurs near the input port, the extra signal light component is suppressed from entering the reflection filter and the photodetector due to the position shift or spread. Therefore, it is possible to surely improve the signal light monitor characteristics such as crosstalk between channels.
【００１１】また、光回路は、入力導波路部と出力導波
路部との間に光遮蔽手段が設けられていることを特徴と
する。これにより、各導波路部間での余分な光成分の伝
搬が防止されるので、チャンネル間でのクロストークな
どの信号光のモニタ特性をさらに向上することができ
る。Further, the optical circuit is characterized in that a light shielding means is provided between the input waveguide portion and the output waveguide portion. As a result, the propagation of an extra optical component between the waveguide portions is prevented, so that it is possible to further improve the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels.
【００１２】このような光遮蔽手段の具体的な構成とし
ては、光遮蔽手段は、光回路に形成された光遮蔽溝から
なることが好ましい。あるいは、光遮蔽手段は、光回路
に形成された光遮蔽溝を光遮蔽性の充填材料によって充
填してなることが好ましい。また、これらの構成以外の
構成を有する光遮蔽手段を用いても良い。As a concrete structure of such a light shielding means, it is preferable that the light shielding means comprises a light shielding groove formed in the optical circuit. Alternatively, it is preferable that the light shielding means is formed by filling a light shielding groove formed in the optical circuit with a light shielding filling material. Moreover, you may use the light-shielding means which has a structure other than these structures.
【００１３】また、光回路の入出力端面に対向する端面
は、入力導波路部及び出力導波路部の光軸に直交する垂
直軸に対して、所定の傾き角度α（０°＜α）で斜めに
形成されていることを特徴とする。これにより、例え
ば、入力ポート近傍で信号光の位置ずれや広がりが発生
した場合に、それによる余分な信号光成分の入出力端面
に対向する端面での反射が抑制される。The end face of the optical circuit facing the input / output end face has a predetermined inclination angle α (0 ° <α) with respect to the vertical axis orthogonal to the optical axes of the input waveguide portion and the output waveguide portion. It is characterized in that it is formed obliquely. Thereby, for example, when the position shift or the spread of the signal light occurs near the input port, the reflection of the extra signal light component on the end surface facing the input / output end surface due to the position shift or the spread is suppressed.
【００１４】また、光回路の入出力端面に対向する端面
は、光導波路と略同一の屈折率を有する充填材料によっ
て覆われていることを特徴とする。これにより、端面を
斜めに形成した構成と同様に、余分な信号光成分の入出
力端面に対向する端面での反射が抑制される。The end face of the optical circuit facing the input / output end face is covered with a filling material having a refractive index substantially the same as that of the optical waveguide. As a result, similarly to the configuration in which the end face is formed obliquely, the reflection of the excess signal light component on the end face facing the input / output end face is suppressed.
【００１５】また、光回路は、入力ポート及び出力ポー
トに接続される位置での入力導波路部と出力導波路部と
の間隔が、反射フィルタ及び光検出器が設置されている
導波路部側の所定位置での入力導波路部と出力導波路部
との間隔よりも小さくなるように構成されていることを
特徴とする。このように、入力ポートと出力ポートとの
間での光導波路をループ状の導波路パターンによって形
成することにより、光導波路モジュールに対する外部か
らの光導波路の接続、及びその調整等を好適に行うこと
が可能となる。Further, in the optical circuit, the distance between the input waveguide section and the output waveguide section at the position where it is connected to the input port and the output port is determined by the waveguide section side where the reflection filter and the photodetector are installed. Is smaller than the distance between the input waveguide portion and the output waveguide portion at the predetermined position. In this way, by forming the optical waveguide between the input port and the output port by the loop-shaped waveguide pattern, it is possible to suitably connect the optical waveguide from the outside to the optical waveguide module, and adjust it. Is possible.
【００１６】また、光回路の溝は、反射フィルタ及び光
検出器が設置されている導波路部の光軸に直交する垂直
軸に対して、所定の傾き角度θ（０°＜θ）で斜めに形
成されていることを特徴とする。このような構成によ
り、反射フィルタからの反射光を光検出器で検出するこ
とによって信号光の光強度のモニタを行う構成を、好適
に実現することができる。Further, the groove of the optical circuit is inclined at a predetermined inclination angle θ (0 ° <θ) with respect to the vertical axis orthogonal to the optical axis of the waveguide portion where the reflection filter and the photodetector are installed. It is characterized in that it is formed in. With such a configuration, it is possible to preferably realize a configuration in which the light intensity of the signal light is monitored by detecting the reflected light from the reflection filter with the photodetector.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、図面とともに本発明による
光導波路モジュールの好適な実施形態について詳細に説
明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸
法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of an optical waveguide module according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements will be denoted by the same reference symbols, without redundant description. Further, the dimensional ratios in the drawings do not always match those described.
【００１８】図１は、本発明による光導波路モジュール
の第１実施形態の構成を示す平面図である。この光導波
路モジュールは、基板１０、及び基板１０上に設けられ
た８本（８チャンネル）の光導波路２1〜２8を有して構
成される光回路１を備えている。本実施形態において
は、光導波路２1〜２8として、基板１０上に形成された
平面導波路型の光導波路が用いられている。FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the first embodiment of the optical waveguide module according to the present invention. The optical waveguide module is provided with a configured optical circuit 1 comprises an optical waveguide 2 1 to 2 8 substrate 10, and eight provided on the substrate 10 (8 channel). In the present embodiment, as an optical waveguide 2 1 to 2 8, the optical waveguide of the planar waveguide formed on the substrate 10 is used.
【００１９】光導波路２1〜２8のそれぞれは、所定の光
伝送方向に沿って、平面導波路型光回路１の入力ポート
部１１ａから出力ポート部１１ｂに向かって、その各部
で互いに略平行かつ等間隔となっている導波路パターン
によって形成されている。Each of the optical waveguides 2 1 to 2 8 is substantially parallel to each other along the predetermined optical transmission direction from the input port portion 11a to the output port portion 11b of the planar waveguide type optical circuit 1. In addition, the waveguide patterns are formed at equal intervals.
【００２０】入力ポート部１１ａは、光導波路２1〜２8
に対応する８チャンネルの入力ポートからなり、光回路
１の一方の端面１１に設けられている。また、出力ポー
ト部１１ｂは、同様に８チャンネルの出力ポートからな
り、光回路１の入力ポート部１１ａと同一の端面１１に
設けられている。これにより、端面１１は、光回路１に
対して信号光を入出力するための入出力端面となってい
る。The input port section 11a includes optical waveguides 2 1 to 2 8
And is provided on one end surface 11 of the optical circuit 1. Similarly, the output port section 11b is composed of 8-channel output ports and is provided on the same end face 11 as the input port section 11a of the optical circuit 1. Thereby, the end face 11 is an input / output end face for inputting / outputting the signal light to / from the optical circuit 1.
【００２１】光導波路２n（ｎ＝１〜８）の入力ポート
部１１ａに接続されている導波路部分は、入力導波路部
２１となっている。この８チャンネルの入力導波路部２
１のそれぞれは、入出力端面１１上の入力ポート部１１
ａから、入出力端面１１に対向する端面１２側の所定位
置へと、端面１１に略直交するように直線状に伸びる導
波路パターンによって形成されている（図１中に矢印で
示した光入力方向を参照）。The waveguide portion connected to the input port portion 11a of the optical waveguide 2 n (n = 1 to 8) is the input waveguide portion 21. This 8-channel input waveguide section 2
Each of 1 is an input port section 11 on the input / output end face 11.
It is formed by a waveguide pattern extending linearly from a to a predetermined position on the end face 12 side facing the input / output end face 11 so as to be substantially orthogonal to the end face 11 (optical input indicated by an arrow in FIG. 1). See direction).
【００２２】同様に、光導波路２nの出力ポート部１１
ｂに接続されている導波路部分は、出力導波路部２２と
なっている。この８チャンネルの出力導波路部２２のそ
れぞれは、端面１２側の所定位置から、入出力端面１１
上の出力ポート部１１ｂへと、端面１１に略直交するよ
うに直線状に伸びる導波路パターンによって形成されて
いる（図１中に矢印で示した光出力方向を参照）。Similarly, the output port section 11 of the optical waveguide 2 n
The waveguide portion connected to b is the output waveguide portion 22. Each of the eight-channel output waveguides 22 starts from a predetermined position on the end face 12 side and ends at the input / output end face 11
A waveguide pattern extending linearly so as to be substantially orthogonal to the end face 11 is formed to the upper output port portion 11b (see the light output direction indicated by an arrow in FIG. 1).
【００２３】また、入力導波路部２１と出力導波路部２
２との間には、端面１２に沿った直線状の導波路パター
ンを有する８チャンネルの導波路部２０が形成されてい
る。これらの直列に接続された導波路部２１、２０、及
び２２によって、平面導波路型光回路１における８チャ
ンネルの光導波路２1〜２8のそれぞれが構成されてい
る。また、光導波路２1〜２8での導波路部２０は、それ
ぞれの光導波路２nを伝搬される信号光の光強度のモニ
タを行うためのモニタ導波路部となっている。なお、入
力導波路部２１とモニタ導波路部２０との接続部分、及
びモニタ導波路部２０と出力導波路部２２との接続部分
は、それぞれ曲線状の導波路パターンによって形成され
ている。Further, the input waveguide section 21 and the output waveguide section 2
An 8-channel waveguide portion 20 having a linear waveguide pattern along the end face 12 is formed between the two. The waveguide sections 21, 20, and 22 connected in series form each of the 8-channel optical waveguides 2 1 to 2 8 in the planar waveguide type optical circuit 1. Also, the waveguide portion 20 of the optical waveguide 2 1 to 2 8 is a monitor waveguide unit for performing monitoring of light intensity of signal light propagated through each of the optical waveguide 2 n. The connecting portion between the input waveguide portion 21 and the monitor waveguide portion 20 and the connecting portion between the monitor waveguide portion 20 and the output waveguide portion 22 are formed by curved waveguide patterns.
【００２４】図１に示した光導波路モジュールにおける
信号光の光強度のモニタを行うための構成について説明
する。A configuration for monitoring the light intensity of the signal light in the optical waveguide module shown in FIG. 1 will be described.
【００２５】平面導波路型光回路１には、光導波路２1
〜２8のそれぞれのモニタ導波路部２０における光伝送
方向に対する所定部位に、光導波路２1〜２8の導波路部
２０を横切る溝３が設けられている。The planar waveguide type optical circuit 1 includes an optical waveguide 2 1
The predetermined portion to light transmission direction in each of the monitor waveguide section 20 ~ 2 8, is provided a groove 3 across the waveguide portion 20 of the optical waveguide 2 1 to 2 8.
【００２６】溝３には、その内部に、各光導波路２1〜
２8を伝送される信号光の一部を所定の反射率によって
反射するための反射フィルタ４が設置されている。この
溝３の内側は、充填樹脂５によって封止されている。ま
た、溝３よりも上流側の位置で平面導波路型光回路１の
上面側には、サブマウント基板６５と、光検出器アレイ
６とが設置されている。この光検出器アレイ６は、平面
導波路型光回路１に設けられた８本の光導波路２1〜２8
にそれぞれ対応する８個の光検出器６１1〜６１8を有し
ている。なお、図１においては、光検出器６１1〜６１8
について、それぞれの受光面の形状を点線で図示してい
る。Inside the groove 3, each of the optical waveguides 2 1 ...
Reflection filter 4 for reflecting a portion of the transmitted signal light 2 8 by a predetermined reflectance is installed. The inside of the groove 3 is sealed with a filling resin 5. A submount substrate 65 and a photodetector array 6 are installed on the upper surface side of the planar waveguide type optical circuit 1 at a position upstream of the groove 3. The photodetector array 6, eight optical waveguides provided in the planar waveguide type optical circuit 1 2 1 to 2 8
Each has a corresponding eight photodetectors 61 1-61 8. In FIG. 1, the photodetector 61 1-61 8
The shape of each light receiving surface is shown by a dotted line.
【００２７】図２は、図１に示した光導波路モジュール
の断面構造を、光導波路２n（ｎ＝１〜８）のモニタ導
波路部２０での光軸方向（平面導波路型光回路１の光入
力方向及び光出力方向に略直交する方向）に沿って示す
Ｉ−Ｉ矢印断面図である。なお、この図２においては、
溝３、反射フィルタ４、及び光検出器アレイ６を含む部
分を拡大して示してある。FIG. 2 shows the sectional structure of the optical waveguide module shown in FIG. 1 in the optical axis direction (planar waveguide type optical circuit 1) in the monitor waveguide section 20 of the optical waveguide 2 n (n = 1 to 8). FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line I-I shown in FIG. In addition, in FIG.
A portion including the groove 3, the reflection filter 4, and the photodetector array 6 is shown in an enlarged manner.
【００２８】平面導波路型光回路１における光導波路２
nは、図２に示すように、下部クラッド２７、コア２
５、及び上部クラッド２６が基板１０上に形成されるこ
とによって構成されている。この光導波路２nに対し
て、図１に示したように光導波路２nをモニタ導波路部
２０の所定位置で横切る溝３は、コア２５に相当し、光
導波路２nを伝搬される信号光が通過する部位を少なく
とも含む深さｄで形成されている。Optical Waveguide 2 in Planar Waveguide Optical Circuit 1
n is the lower clad 27 and the core 2 as shown in FIG.
5 and the upper clad 26 are formed on the substrate 10. For this optical waveguide 2 n, grooves 3 crossing the optical waveguide 2 n at a predetermined position of the monitor waveguide portion 20 as shown in FIG. 1, the signal corresponds to the core 25, is propagated through the optical waveguide 2 n It is formed with a depth d including at least a portion through which light passes.
【００２９】本実施形態においては、この溝３の深さｄ
は、下部クラッド２７までの光導波路２nの厚さよりも
大きく設定されている。また、この溝３は、光導波路２
nのモニタ導波路部２０の光軸に直交（基板１０に直
交）する垂直軸に対して、所定の傾き角度θ（０°＜
θ）で斜めに形成されている。In this embodiment, the depth d of the groove 3 is
Is set to be larger than the thickness of the optical waveguide 2 n up to the lower clad 27. In addition, the groove 3 is formed in the optical waveguide 2.
A predetermined tilt angle θ (0 ° <0 ° <with respect to a vertical axis orthogonal to the optical axis of the monitor waveguide unit 20 of n (orthogonal to the substrate 10).
θ) is formed obliquely.
【００３０】溝３の内部には、反射フィルタ４が挿入さ
れている。反射フィルタ４は、溝３と略同一の傾き角度
θで、光導波路２nを伝搬される信号光が通過する部位
を少なくとも含むように設置されている。この反射フィ
ルタ４は、好ましくは誘電体多層膜フィルタからなり、
モニタ導波路部２０を伝搬される所定の信号光波長帯域
内にある波長を有する信号光の一部を所定の反射率で反
射する。A reflection filter 4 is inserted inside the groove 3. The reflection filter 4 is installed so as to have at least the same inclination angle θ as that of the groove 3 and to include at least a portion through which the signal light propagating through the optical waveguide 2 n passes. The reflection filter 4 is preferably a dielectric multilayer filter,
A part of the signal light having a wavelength within the predetermined signal light wavelength band propagated through the monitor waveguide section 20 is reflected with a predetermined reflectance.
【００３１】反射フィルタ４を含む溝３の内側は、充填
樹脂５によって封止されている。この充填樹脂５は、溝
３の内側に設置された反射フィルタ４を固定するフィル
タ固定用樹脂となっている。本実施形態におけるフィル
タ固定用樹脂５は、溝３の内側を封止している内部充填
樹脂部５１と、溝３の上部を含む平面導波路型光回路１
の上面側の所定範囲を封止している上部充填樹脂部５２
とからなる。これらの内部充填樹脂部５１及び上部充填
樹脂部５２は、同一の樹脂材料を用いて一体に形成され
ている。The inside of the groove 3 including the reflection filter 4 is sealed with a filling resin 5. The filling resin 5 is a filter fixing resin that fixes the reflection filter 4 installed inside the groove 3. The filter fixing resin 5 according to the present embodiment includes the internally filled resin portion 51 that seals the inside of the groove 3 and the planar waveguide type optical circuit 1 including the upper portion of the groove 3.
Upper filling resin portion 52 sealing a predetermined range on the upper surface side of the
Consists of. The inner filling resin portion 51 and the upper filling resin portion 52 are integrally formed by using the same resin material.
【００３２】光回路１の上部クラッド２６の上面側にあ
る所定位置には、サブマウント基板６５が設置されてい
る。このサブマウント基板６５は、光検出器アレイ６を
載置するための載置部材である。また、フィルタ固定用
樹脂５の上部充填樹脂部５２及びサブマウント基板６５
の上面側には、各光導波路２nにそれぞれ対応した光検
出器６１n（ｎ＝１〜８）を有する光検出器アレイ６が
設置されている。この光検出器アレイ６は、光導波路２
nを伝搬される信号光の一部が反射フィルタ４で反射さ
れた反射光が、それぞれ対応する光検出器６１nの受光
面へと入射されるように配置されている。A submount substrate 65 is installed at a predetermined position on the upper surface side of the upper clad 26 of the optical circuit 1. The submount substrate 65 is a mounting member for mounting the photodetector array 6. Further, the upper filling resin portion 52 of the resin 5 for fixing the filter and the submount substrate 65.
A photodetector array 6 having photodetectors 61 n (n = 1 to 8) corresponding to the respective optical waveguides 2 n is installed on the upper surface side of. This photodetector array 6 includes an optical waveguide 2
Part of the signal light propagating through n is reflected by the reflection filter 4, and the reflected light is arranged so as to enter the light receiving surface of the corresponding photodetector 61 n .
【００３３】図２に示した構成例では、光検出器アレイ
６の光検出器６１nとして表面入射型のフォトダイオー
ドが用いられており、フィルタ固定用樹脂５を介して反
射フィルタ４に対面している光検出器アレイ６の表面
が、反射フィルタ４からの反射光が入射される受光面と
なっている。また、光検出器アレイ６の受光面には、光
導波路２nを伝搬されている信号光の信号光波長帯域に
対応する所定の波長帯域に対して、その波長帯域内の光
の反射を防止するコート膜である反射防止コート（ＡＲ
コート）が設けられている。なお、光検出器としては、
裏面入射型のフォトダイオードを用いても良い。In the configuration example shown in FIG. 2, a front-illuminated photodiode is used as the photodetector 61 n of the photodetector array 6 and faces the reflection filter 4 via the filter fixing resin 5. The surface of the photodetector array 6 is a light receiving surface on which the reflected light from the reflection filter 4 is incident. Further, the light receiving surface of the photodetector array 6 prevents reflection of light within a predetermined wavelength band corresponding to the signal light wavelength band of the signal light propagating through the optical waveguide 2 n. Anti-reflection coating (AR
Coat) is provided. As a photodetector,
A back illuminated photodiode may be used.
【００３４】次に、図１に示した光導波路モジュールに
おける全体構成についてさらに説明する。Next, the overall structure of the optical waveguide module shown in FIG. 1 will be further described.
【００３５】図３は、図１に示した光導波路モジュール
の断面構造を、光導波路２nのモニタ導波路部２０での
光軸に垂直な方向に沿って示すII−II矢印断面図であ
る。また、図４は、図１に示した光導波路モジュールに
用いられる光ファイバアレイの断面構造を、光ファイバ
の光軸に垂直な方向に沿って示すIII−III矢印断面図で
ある。FIG. 3 is a II-II arrow cross-sectional view showing the sectional structure of the optical waveguide module shown in FIG. 1 along the direction perpendicular to the optical axis in the monitor waveguide section 20 of the optical waveguide 2 n . . 4 is a sectional view taken along line III-III of the optical fiber array used in the optical waveguide module shown in FIG. 1, taken along the direction perpendicular to the optical axis of the optical fiber.
【００３６】平面導波路型光回路１の入力導波路部２１
及び出力導波路部２２の間には、溝１５が設けられてい
る（図３参照）。この溝１５は、入力導波路部２１と出
力導波路部２２との間、あるいは、入力導波路部２１ま
たは出力導波路部２２とモニタ導波路部２０との間での
光遮蔽手段として機能する光遮蔽溝である。また、本実
施形態においては、光遮蔽溝１５の内側は、光遮蔽性の
充填材料からなる溝充填樹脂１６によって封止されてい
る。Input waveguide section 21 of planar waveguide type optical circuit 1
A groove 15 is provided between the output waveguide section 22 and the output waveguide section 22 (see FIG. 3). The groove 15 functions as a light shielding means between the input waveguide section 21 and the output waveguide section 22 or between the input waveguide section 21 or the output waveguide section 22 and the monitor waveguide section 20. It is a light shielding groove. Further, in the present embodiment, the inside of the light shielding groove 15 is sealed with the groove filling resin 16 made of a light shielding filling material.
【００３７】また、光回路１の入出力端面１１に対向す
る端面１２は、図３に示すように、光導波路２nの入力
導波路部２１及び出力導波路部２２の光軸に直交（基板
１０に直交）する垂直軸に対して、所定の傾き角度α
（０°＜α）で斜めに形成されている。As shown in FIG. 3, the end face 12 facing the input / output end face 11 of the optical circuit 1 is orthogonal to the optical axes of the input waveguide portion 21 and the output waveguide portion 22 of the optical waveguide 2 n (substrate). (Orthogonal to 10), a predetermined tilt angle α with respect to the vertical axis
It is obliquely formed at (0 ° <α).
【００３８】平面導波路型光回路１の入出力端面１１に
は、光ファイバアレイ７が接続されている（図４参
照）。光ファイバアレイ７は、光回路１における８本の
光導波路２1〜２8に対応して、８本の入力光ファイバ７
１1〜７１8と、出力光ファイバ７２1〜７２8とを有して
構成されている。An optical fiber array 7 is connected to the input / output end face 11 of the planar waveguide type optical circuit 1 (see FIG. 4). The optical fiber array 7 includes eight input optical fibers 7 corresponding to the eight optical waveguides 2 1 to 28 in the optical circuit 1.
1 1-71 8 is configured by an output optical fiber 72 1 to 72 8.
【００３９】この光ファイバアレイ７は、図４に示すよ
うに、基板７０と、保持部材７６とを有する。基板７０
の上面側には、光ファイバ配列部材として機能するＶ溝
７５が、入力光ファイバ７１1〜７１8、及び出力光ファ
イバ７２1〜７２8に対応する位置に、互いに平行かつ等
間隔に形成される。そして、この複数のＶ溝７５のそれ
ぞれに、コア及びクラッドからなる光ファイバ７１n、
７２n（ｎ＝１〜８）が配置されることによって、光フ
ァイバアレイ７が構成される。The optical fiber array 7 has a substrate 70 and a holding member 76, as shown in FIG. Board 70
The upper side of, V groove 75 which functions as an optical fiber array member, the position corresponding to the input optical fiber 71 1 to 71 8, and the output optical fiber 72 1 to 72 8 are formed on the parallel and equidistant to one another It Then, in each of the plurality of V grooves 75, an optical fiber 71 n including a core and a clad,
The optical fiber array 7 is configured by arranging 72 n (n = 1 to 8).
【００４０】基板７０の上面のＶ溝７５に配置された光
ファイバ７１1〜７１8、７２1〜７２8は、保持部材７６
によって基板７０の上面側から固定される。また、基板
７０と保持部材７６との間については、例えばファイバ
固定用樹脂などによって充填される構成としても良い。The optical fiber 71 1 to 71 8, which are arranged in a V groove 75 of the upper surface of the substrate 70, 72 1 to 72 8, the holding member 76
Is fixed from the upper surface side of the substrate 70. The space between the substrate 70 and the holding member 76 may be filled with, for example, a resin for fixing the fiber.
【００４１】入力光ファイバ７１1〜７１8は、それぞれ
の出力端が光回路１の入力ポート部１１ａにおいて、対
応する光導波路２1〜２8の入力ポートに光学的に接続さ
れる。また、出力光ファイバ７２1〜７２8は、それぞれ
の入力端が光回路１の出力ポート部１１ｂにおいて、対
応する光導波路２1〜２8の出力ポートに光学的に接続さ
れる。The input optical fiber 71 1 to 71 8, the respective output terminals at the input port 11a of the optical circuit 1 is optically connected to the input port of the corresponding optical waveguide 2 1 to 2 8. Further, the output optical fiber 72 1 to 72 8, the respective inputs at the output port 11b of the optical circuit 1 is optically connected to the output port of the corresponding optical waveguide 2 1 to 2 8.
【００４２】以上の構成において、光ファイバアレイ７
の入力光ファイバ７１nを介して入力ポート部１１ａか
ら光導波路２nへと入力された所定波長の信号光は、光
導波路２nの入力導波路部２１及びモニタ導波路部２０
を伝搬されて溝３へと到達する。そして、この信号光
が、上流側端面３１を介して溝３内の内部充填樹脂部５
１へと出射されると、信号光の一部が光軸に対して斜め
の反射フィルタ４によって、所定の反射率で平面導波路
型光回路１の斜め上方へと反射される。In the above configuration, the optical fiber array 7
The signal light of a predetermined wavelength which is inputted from the input port unit 11a through the input optical fiber 71 n to the optical waveguide 2 n, input waveguide section 21 and the monitor waveguide portion 20 of the optical waveguide 2 n
To reach the groove 3. Then, this signal light is transmitted through the upstream end face 31 to the inner filling resin portion 5 in the groove 3.
When it is emitted to 1, the part of the signal light is reflected obliquely above the planar waveguide type optical circuit 1 with a predetermined reflectance by the reflection filter 4 oblique to the optical axis.
【００４３】また、それ以外の信号光成分は、内部充填
樹脂部５１及び反射フィルタ４を透過して下流側端面３
２を介して光導波路２nへと入射される。そして、この
信号光は、光導波路２nのモニタ導波路部２０及び出力
導波路部２２を伝搬され、出力ポート部１１ｂから光フ
ァイバアレイ７の出力光ファイバ７２nを介して出力さ
れる。The other signal light components pass through the inner filling resin portion 51 and the reflection filter 4 and the downstream side end face 3
It is incident on the optical waveguide 2 n via 2. Then, this signal light is propagated through the monitor waveguide section 20 and the output waveguide section 22 of the optical waveguide 2 n , and is output from the output port section 11 b through the output optical fiber 72 n of the optical fiber array 7.
【００４４】一方、反射フィルタ４によって反射された
反射光は、内部充填樹脂部５１、及び上部充填樹脂部５
２を介して光検出器アレイ６に到達し、その受光面から
光検出器６１nへと所定の入射角度で入射される（図２
参照）。そして、光検出器６１nで検出された反射光の
光強度から、光導波路２nを伝搬されている信号光の光
強度がモニタされる。On the other hand, the reflected light reflected by the reflection filter 4 is the inner filling resin portion 51 and the upper filling resin portion 5.
2 to reach the photodetector array 6 and enter the photodetector array 6 n from the light receiving surface at a predetermined incident angle (see FIG. 2).
reference). Then, the light intensity of the signal light propagating through the optical waveguide 2 n is monitored from the light intensity of the reflected light detected by the photodetector 61 n .
【００４５】本実施形態の光導波路モジュールの効果に
ついて説明する。The effects of the optical waveguide module of this embodiment will be described.
【００４６】図１に示した光導波路モジュールにおいて
は、光回路１に設けられた光導波路２nを伝搬される信
号光を光カプラなどによって分岐するのではなく、光導
波路２n上に設けられた溝３に設置した反射フィルタ４
によって信号光の一部を反射させ、その反射光によって
信号光の光強度をモニタすることが可能な構成としてい
る。これにより、光回路の構成及び製造工程が簡単化さ
れる。[0046] In the optical waveguide module shown in FIG. 1, instead of branching, such as by an optical coupler the signal light propagated through the optical waveguide 2 n provided in the optical circuit 1 is provided on the optical waveguide 2 n Reflection filter 4 installed in the groove 3
A part of the signal light is reflected by, and the light intensity of the signal light can be monitored by the reflected light. This simplifies the configuration and manufacturing process of the optical circuit.
【００４７】また、光導波路モジュールの平面導波路型
光回路１に設けられた複数チャンネルの光導波路２1〜
２8に対し、光強度のモニタの対象となる信号光を光導
波路２ 1〜２8のそれぞれへと入出力するための入力ポー
ト部１１ａ及び出力ポート部１１ｂを、光回路１の同一
の端面である入出力端面１１上に設置している。このと
き、入力ポート部１１ａと出力ポート部１１ｂとの間で
の光導波路２nが直線状ではない導波路パターンによっ
て形成されることとなる。これにより、光導波路２nの
一部の導波路部分で信号光の位置ずれや広がりが発生し
た場合であっても、それによる余分な信号光成分の他の
導波路部分への影響が低減される。したがって、チャン
ネル間でのクロストークなどの信号光のモニタ特性が向
上される光導波路モジュールが実現される。Further, the planar waveguide type of the optical waveguide module
A plurality of channels of optical waveguides 2 provided in the optical circuit 11~
Two8In contrast, the signal light that is the target of light intensity monitoring is guided
Waveguide 2 1~ 28Input port for input and output to each
The optical section 1a and the output port section 11b are the same as those of the optical circuit 1.
It is installed on the input / output end face 11 which is the end face of the. This and
Between the input port section 11a and the output port section 11b.
Optical waveguide 2nIs not linear due to the waveguide pattern
Will be formed. Thereby, the optical waveguide 2nof
Positional deviation or spread of signal light occurs in some waveguide parts.
Even if the
The influence on the waveguide portion is reduced. Therefore, Chang
The monitor characteristics of signal light such as crosstalk between channels are improved.
The optical waveguide module described above is realized.
【００４８】図５は、光導波路モジュールの構成の一例
を示す平面図である。この光導波路モジュールは、図１
に示した光導波路モジュールの効果について説明するた
めに示すものである。FIG. 5 is a plan view showing an example of the structure of the optical waveguide module. This optical waveguide module is shown in FIG.
This is for explaining the effect of the optical waveguide module shown in FIG.
【００４９】図５に示す光導波路モジュールは、上記し
た実施形態と同様に、８本の平面導波路型の光導波路９
２及び溝９３が基板９０上に設けられた平面導波路型光
回路９と、溝９３の内部に設置された反射フィルタ９４
と、フィルタ固定用樹脂９５と、サブマウント基板９７
と、フィルタ固定用樹脂９５及びサブマウント基板９７
上に配置された光検出器アレイ９６とから構成されてい
る。The optical waveguide module shown in FIG. 5 has eight planar waveguide type optical waveguides 9 as in the above embodiment.
2 and the groove 93, the planar waveguide type optical circuit 9 provided on the substrate 90, and the reflection filter 94 installed inside the groove 93.
, Filter fixing resin 95, and submount substrate 97
And filter fixing resin 95 and submount substrate 97
And a photodetector array 96 disposed above.
【００５０】また、本構成例においては、光回路９の対
向する端面９１ａ、９１ｂに、それぞれ入力ポート、出
力ポートが設けられている。これに対応して、入力端面
９１ａと出力端面９１ｂとの間での光導波路９２は、そ
れぞれ直線状の導波路パターンによって形成されてい
る。Further, in the present configuration example, the input ports and the output ports are provided on the end faces 91a and 91b of the optical circuit 9 which face each other. Corresponding to this, the optical waveguides 92 between the input end face 91a and the output end face 91b are each formed by a linear waveguide pattern.
【００５１】図１に示した第１実施形態の光導波路モジ
ュール、あるいは図５に示した構成例の光導波路モジュ
ールでは、光回路が複数チャンネルの光導波路を有し、
それぞれの光導波路を伝搬される信号光の光強度がモニ
タの対象とされる。そして、反射フィルタによって反射
された複数チャンネルの信号光は、それぞれ対応する光
検出器で検出されて、その光強度がモニタされる。In the optical waveguide module of the first embodiment shown in FIG. 1 or the optical waveguide module of the configuration example shown in FIG. 5, the optical circuit has optical waveguides of a plurality of channels,
The light intensity of the signal light propagating through each optical waveguide is monitored. Then, the signal light of a plurality of channels reflected by the reflection filter is detected by the corresponding photodetector, and the light intensity thereof is monitored.
【００５２】このような構成では、反射フィルタで反射
された光導波路からの信号光が、対応するチャンネルの
光検出器で検出される一方で、光回路内において光導波
路を伝搬される信号光の位置ずれや広がりが発生し、隣
接する他のチャンネルの光検出器でノイズ光として検出
されるクロストークが問題となる。In such a structure, the signal light from the optical waveguide reflected by the reflection filter is detected by the photodetector of the corresponding channel, while the signal light propagated through the optical waveguide in the optical circuit is detected. There is a problem of crosstalk in which misalignment and spread occur and photodetectors of other adjacent channels detect noise light.
【００５３】光回路内において信号光の位置ずれや広が
りが発生する原因としては、いくつかの原因が考えられ
る。その原因の１つとして、光回路の入力ポートに信号
光入力用の光導波路として外部から接続される光ファイ
バのミスアラインメントがある。There are several possible causes for the positional deviation and spread of the signal light in the optical circuit. One of the causes is misalignment of an optical fiber that is externally connected to an input port of an optical circuit as an optical waveguide for inputting signal light.
【００５４】例えば、図５に示した構成において、その
入力端面９１ａで光導波路９２のコアに対してずれた位
置に信号光入力用の光ファイバが接続されると、光回路
９に入力された信号光は、光導波路９２のコア近傍のみ
でなく導波構造を持たないクラッド内等をも伝搬する。
さらに、そのような信号光は、入力端面９１ａにおける
光回路９への入力角度や、光回路９内での光の散乱など
により、他のチャンネルの光導波路等が設けられている
光軸に垂直な方向へと広がって伝搬される。これによ
り、光導波路モジュールにおいて、チャンネル間でのク
ロストークが発生し、信号光のモニタ特性が劣化する。For example, in the structure shown in FIG. 5, when an optical fiber for inputting a signal light is connected to the input end face 91a at a position deviated from the core of the optical waveguide 92, it is input to the optical circuit 9. The signal light propagates not only in the vicinity of the core of the optical waveguide 92 but also in the clad having no waveguide structure.
Further, such signal light is perpendicular to the optical axis where the optical waveguides of other channels are provided due to the input angle to the optical circuit 9 at the input end face 91a, light scattering in the optical circuit 9, and the like. It is propagated in various directions. As a result, crosstalk occurs between channels in the optical waveguide module, and the monitor characteristics of signal light deteriorate.
【００５５】これに対して、図１に示した光導波路モジ
ュールにおいては、入力ポート部１１ａ及び出力ポート
部１１ｂを光回路１の同一の端面１１に設置し、複数チ
ャンネルの光導波路２1〜２8のそれぞれを、端面１１に
略直交する入力導波路部２１、出力導波路部２２、及び
端面１１に略平行なモニタ導波路部２０からなるＵ字状
の導波路パターンによって形成している。On the other hand, in the optical waveguide module shown in FIG. 1, the input port portion 11a and the output port portion 11b are installed on the same end face 11 of the optical circuit 1, and the optical waveguides 2 1 to 2 of a plurality of channels are provided. Each of the eight is formed by a U-shaped waveguide pattern including an input waveguide portion 21, an output waveguide portion 22, which is substantially orthogonal to the end surface 11, and a monitor waveguide portion 20, which is substantially parallel to the end surface 11.
【００５６】このとき、入力ポート部１１ａにおいて信
号光が光回路１へとずれた位置で入力され、入力導波路
部２１である程度の信号光の位置ずれや広がりが発生し
た場合であっても、そのような信号光の位置ずれや広が
りのモニタ導波路部２０及び出力導波路部２２への影響
が低減される。これにより、光回路１内で発生する信号
光の位置ずれや広がりの影響が、光導波路モジュールの
全体として低減されることとなり、信号光のモニタ特性
が向上される。このような効果は、入力ポート部１１ａ
に接続される光ファイバのミスアラインメント以外の原
因によって発生した信号光の位置ずれや広がりについて
も同様に得られる。At this time, even if the signal light is input to the optical circuit 1 at the shifted position in the input port section 11a and the signal light is displaced or spread to some extent in the input waveguide section 21, The influence of such positional deviation and spread of the signal light on the monitor waveguide section 20 and the output waveguide section 22 is reduced. As a result, the influence of the positional deviation and spread of the signal light generated in the optical circuit 1 is reduced as a whole of the optical waveguide module, and the signal light monitor characteristics are improved. Such an effect is obtained by the input port unit 11a.
The positional deviation and spread of the signal light caused by a cause other than the misalignment of the optical fiber connected to is also obtained in the same manner.
【００５７】また、このような構成においては、光導波
路モジュールに対して信号光を入力または出力する外部
からの光ファイバなどの光導波路が、光回路１に対して
同一の入出力端面１１から接続されることとなる。これ
により、光導波路モジュールに対して外部からの光導波
路を接続する接続方法、及び光導波路を接続する際にお
ける光軸の調整等が容易化される。Further, in such a structure, an optical waveguide such as an optical fiber from the outside for inputting or outputting signal light to the optical waveguide module is connected to the optical circuit 1 from the same input / output end face 11. Will be done. This facilitates the connection method for connecting the optical waveguide from the outside to the optical waveguide module, and the adjustment of the optical axis when connecting the optical waveguide.
【００５８】また、そのような外部からの光導波路を接
続するための光導波路モジュールの構成が簡単化される
ので、低コストの光導波路モジュールとすることができ
る。Further, since the structure of the optical waveguide module for connecting such an optical waveguide from the outside is simplified, a low-cost optical waveguide module can be obtained.
【００５９】例えば、図１に示した光導波路モジュール
においては、平面導波路型光回路１での光導波路２1〜
２8の入力ポート部１１ａ、出力ポート部１１ｂに対し
て、それぞれ、入力光ファイバ７１1〜７１8からなる入
力用の光ファイバアレイ、出力光ファイバ７２1〜７２8
からなる出力用の光ファイバアレイを接続し、これらの
光ファイバアレイを介して信号光の入出力を行ってい
る。このような構成を図５に示した光導波路モジュール
に適用した場合、入力端面９１ａ及び出力端面９１ｂに
対して、それぞれ別個の光ファイバアレイを設ける必要
がある。For example, in the optical waveguide module shown in FIG. 1, the optical waveguides 2 1 to
Input port 11a of the 2 8, to the output port portion 11b, respectively, an optical fiber array for input made from the input optical fiber 71 1 to 71 8, the output optical fiber 72 1 to 72 8
The optical fiber array for output consisting of is connected and the signal light is input and output through these optical fiber arrays. When such a configuration is applied to the optical waveguide module shown in FIG. 5, it is necessary to provide separate optical fiber arrays for the input end face 91a and the output end face 91b.
【００６０】これに対して、上述したように入力ポート
部１１ａ及び出力ポート部１１ｂを同一の入出力端面１
１に設ける構成によれば、図１に示したように、入力光
ファイバ７１1〜７１8からなる光ファイバアレイと、出
力光ファイバ７２1〜７２8からなる光ファイバアレイと
を、光回路１の片側に接続される単一の光ファイバアレ
イ７として構成することができる。これにより、光導波
路モジュールの構成の簡単化、及びそれによるモジュー
ルの低コスト化が可能となる。On the other hand, as described above, the input port portion 11a and the output port portion 11b have the same input / output end face 1
According to the configuration in which the 1, as shown in FIG. 1, an optical fiber array consisting of the input optical fiber 71 1 to 71 8, and an optical fiber array consisting of the output optical fiber 72 1 to 72 8, the optical circuit 1 Can be configured as a single optical fiber array 7 connected to one side of the. This makes it possible to simplify the structure of the optical waveguide module and reduce the cost of the module.
【００６１】また、このような構成は、信号光モニタ用
の光導波路モジュールの収納性の点でも好適である。例
えば、図５に示した光導波路モジュールでは、モジュー
ルの両側の端面９１ａ、９１ｂにそれぞれ外部からの光
ファイバが接続される。ここで、光ファイバは小径で曲
げると光ファイバでの信号光に対する損失が増大し、あ
るいは光ファイバ自体が破断する可能性がある。このた
め、図５の構成では、モジュールの両側に光ファイバを
接続するための充分なスペースを確保する必要があり、
光導波路モジュールの全体としての収納性が悪くなる。
これに対して、図１に示した光導波路モジュールでは、
モジュールの片側のみに光ファイバを接続すればよいの
で、その収納性を向上することができる。Further, such a configuration is also suitable in terms of the storability of the optical waveguide module for the signal light monitor. For example, in the optical waveguide module shown in FIG. 5, optical fibers from the outside are connected to the end faces 91a and 91b on both sides of the module, respectively. Here, if the optical fiber is bent with a small diameter, the loss for the signal light in the optical fiber may increase, or the optical fiber itself may break. Therefore, in the configuration of FIG. 5, it is necessary to secure sufficient space for connecting the optical fibers on both sides of the module.
The storability of the optical waveguide module as a whole deteriorates.
On the other hand, in the optical waveguide module shown in FIG.
Since it is only necessary to connect the optical fiber to one side of the module, the storability thereof can be improved.
【００６２】また、本実施形態においては、信号光の光
強度のモニタに用いられる反射フィルタ４及び光検出器
アレイ６が、入力導波路部２１及び出力導波路部２２と
略直交するモニタ導波路部２０に対して設置されてい
る。これにより、例えば、入力ポート部１１ａ近傍など
の入力導波路部２１において信号光の位置ずれや広がり
が発生した場合に、それによる余分な信号光成分の反射
フィルタ４及び光検出器アレイ６への入射が抑制され
る。したがって、チャンネル間でのクロストークなどの
信号光のモニタ特性を確実に向上することができる。Further, in the present embodiment, the reflection filter 4 and the photodetector array 6 used for monitoring the light intensity of the signal light are monitor waveguides which are substantially orthogonal to the input waveguide section 21 and the output waveguide section 22. It is installed with respect to the unit 20. As a result, for example, when the position shift or spread of the signal light occurs in the input waveguide portion 21 such as near the input port portion 11a, the extra signal light component to the reflection filter 4 and the photodetector array 6 due to the displacement or spread. Incident is suppressed. Therefore, it is possible to surely improve the signal light monitor characteristics such as crosstalk between channels.
【００６３】なお、このような反射フィルタ４及び光検
出器アレイ６等の配置については、一般には、それぞれ
の光導波路モジュールにおける光回路での具体的な導波
路パターンに応じて、好適な位置を選択して配置するこ
とが好ましい。Regarding the arrangement of the reflection filter 4, the photodetector array 6 and the like, generally, a suitable position is set according to the specific waveguide pattern in the optical circuit in each optical waveguide module. It is preferable to select and arrange.
【００６４】また、平面導波路型光回路１の入出力端面
１１に対向する端面１２は、図３に示したように、垂直
軸に対して所定の傾き角度αで斜めに形成されている。
これにより、入力ポート部１１ａ近傍で発生した余分な
信号光成分などの光成分の端面１２での反射が抑制され
るので、反射フィルタ４及び光検出器アレイ６への余分
な光成分の入射が抑制される。Further, as shown in FIG. 3, the end face 12 facing the input / output end face 11 of the planar waveguide type optical circuit 1 is formed obliquely at a predetermined inclination angle α with respect to the vertical axis.
As a result, reflection of light components such as excess signal light components generated in the vicinity of the input port section 11a at the end face 12 is suppressed, so that the excess light components do not enter the reflection filter 4 and the photodetector array 6. Suppressed.
【００６５】また、光回路１に形成される溝３について
は、図２に示したように、光導波路２nの光軸に直交す
る垂直軸に対して所定の傾き角度θで斜めに形成するこ
とが好ましい。これにより、反射フィルタ４からの反射
光を光検出器６１nで検出することによって信号光の光
強度のモニタを行う構成を、好適に実現することができ
る。なお、この場合、信号光の一部を反射する反射フィ
ルタ４として、直交する２つの偏波に対する反射率がほ
ぼ等しくされる偏波補償が実現された反射フィルタを用
いることが好ましい。Further, as shown in FIG. 2, the groove 3 formed in the optical circuit 1 is formed obliquely at a predetermined inclination angle θ with respect to the vertical axis orthogonal to the optical axis of the optical waveguide 2 n. It is preferable. Accordingly, it is possible to preferably realize the configuration in which the light intensity of the signal light is monitored by detecting the light reflected from the reflection filter 4 by the photodetector 61 n . In this case, it is preferable to use, as the reflection filter 4 that reflects part of the signal light, a reflection filter that realizes polarization compensation in which the reflectances of two orthogonal polarizations are substantially equal.
【００６６】また、光回路１の入力導波路部２１と出力
導波路部２２との間には、光遮蔽手段である光遮蔽溝１
５が設けられている。これにより、光導波路２nの各導
波路部２０、２１、２２間での余分な光成分の伝搬が防
止されるので、チャンネル間でのクロストークなどの信
号光のモニタ特性をさらに向上することができる。この
ような光遮蔽溝１５は、図３に示したように、余分な光
成分の伝搬が充分に抑制されるように、光導波路２nの
コア２５よりも深い位置まで形成することが好ましい。Further, between the input waveguide portion 21 and the output waveguide portion 22 of the optical circuit 1, the light shielding groove 1 as the light shielding means is provided.
5 are provided. This prevents extra optical components from propagating between the waveguide portions 20, 21, and 22 of the optical waveguide 2 n , and thus further improves the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels. You can As shown in FIG. 3, such a light shielding groove 15 is preferably formed to a position deeper than the core 25 of the optical waveguide 2 n so that the propagation of an extra light component is sufficiently suppressed.
【００６７】なお、入力導波路部２１と出力導波路部２
２との間の光遮蔽手段については、様々な構成のものを
用いることができる。例えば、図１及び図３に示した構
成では、光遮蔽溝１５の内部に光遮蔽性の充填材料から
なる溝充填樹脂１６を充填することによって、光遮蔽手
段を構成している。これに対して、溝の内部に光遮蔽性
の充填材料を充填せず、光遮蔽溝１５自体を光遮蔽手段
としても良い。また、溝以外による光遮蔽手段を用いる
ことも可能である。The input waveguide portion 21 and the output waveguide portion 2
Various configurations can be used for the light shielding means between the two. For example, in the configurations shown in FIGS. 1 and 3, the light shielding means is constituted by filling the inside of the light shielding groove 15 with the groove filling resin 16 made of a light shielding filling material. On the other hand, the light shielding groove 15 itself may be used as the light shielding means without filling the inside of the groove with the light shielding filling material. It is also possible to use a light shielding means other than the groove.
【００６８】上記した実施形態による光導波路モジュー
ルの具体的な構成例について説明する。この構成例で
は、光導波路２nとして比屈折率差Δｎ＝０．４５％の
平面導波路型の光導波路を用い、光導波路のピッチ間隔
を２５０μｍ、光導波路のコア深さを３０μｍとする。
また、平面導波路型光回路１について、光入力方向及び
光出力方向に平行な方向での寸法を３８ｍｍ、垂直な方
向での寸法を４０ｍｍとする。A specific configuration example of the optical waveguide module according to the above embodiment will be described. In this configuration example, a planar waveguide type optical waveguide having a relative refractive index difference Δn = 0.45% is used as the optical waveguide 2 n , the pitch interval of the optical waveguide is 250 μm, and the core depth of the optical waveguide is 30 μm.
In the planar waveguide optical circuit 1, the dimension in the direction parallel to the light input direction and the light output direction is 38 mm, and the dimension in the vertical direction is 40 mm.
【００６９】また、信号光の光強度をモニタするための
構成については、８チャンネルの光導波路２1〜２8に対
応して８チャンネルのフォトダイオードアレイを光検出
器アレイ６として用いるとともに、溝３の深さを２００
μｍ、反射フィルタ４の反射率を５％、フィルタ固定用
樹脂５の屈折率を１．４７とする。また、端面１２の傾
き角度をα＝８°、光遮蔽溝１５の深さを光導波路のコ
アよりも深い２００μｍとする。以上の構成により、図
１〜図４に示した構成を有する光導波路モジュールを好
適に実現することができる。[0069] Further, the configuration for monitoring the light intensity of the signal light, with using a photo diode array 8-channel corresponding to the optical waveguide 2 1 to 2 8 8 channels as the photodetector array 6, a groove 3 depth 200
μm, the reflectance of the reflection filter 4 is 5%, and the refractive index of the filter fixing resin 5 is 1.47. The inclination angle of the end face 12 is α = 8 °, and the depth of the light shielding groove 15 is 200 μm, which is deeper than the core of the optical waveguide. With the above configuration, the optical waveguide module having the configuration shown in FIGS. 1 to 4 can be preferably realized.
【００７０】図６は、光導波路モジュールの第２実施形
態の構成を示す平面図である。この光導波路モジュール
は、基板１０、及び基板１０上に設けられた平面導波路
型の光導波路２1〜２8を有して構成される平面導波路型
光回路１を備えている。FIG. 6 is a plan view showing the configuration of the second embodiment of the optical waveguide module. The optical waveguide module includes a substrate 10, and the planar waveguide type optical circuit 1 configured to include an optical waveguide 2 1 to 2 8 of the planar waveguide provided on the substrate 10.
【００７１】本光導波路モジュールの構成は、平面導波
路型光回路１に設けられた光導波路２1〜２8及び溝３、
反射フィルタ４、フィルタ固定用樹脂５、光検出器６１
1〜６１8を有する光検出器アレイ６、サブマウント基板
６５、入出力端面１１に設けられた入力ポート部１１ａ
及び出力ポート部１１ｂ、光遮蔽溝１５、溝充填樹脂１
６、及び入出力端面１１に接続された光ファイバアレイ
７については、図１に示した光導波路モジュールと同様
である。[0071] The configuration of the present optical waveguide module, the optical waveguide provided in the planar waveguide type optical circuit 1 2 1 to 2 8 and the groove 3,
Reflection filter 4, filter fixing resin 5, photodetector 61
1-61 8 photodetector array 6 with the sub-mount substrate 65, an input port section 11a provided on the output end face 11
And output port portion 11b, light shielding groove 15, groove filling resin 1
6 and the optical fiber array 7 connected to the input / output end face 11 are the same as those of the optical waveguide module shown in FIG.
【００７２】図７は、図６に示した光導波路モジュール
の断面構造を、光導波路２nのモニタ導波路部２０での
光軸に垂直な方向に沿って示すIV−IV矢印断面図であ
る。FIG. 7 is a IV-IV arrow sectional view showing the sectional structure of the optical waveguide module shown in FIG. 6 along the direction perpendicular to the optical axis in the monitor waveguide portion 20 of the optical waveguide 2 n . .
【００７３】平面導波路型光回路１の入力導波路部２１
及び出力導波路部２２の間には、光遮蔽溝１５が設けら
れている。また、光遮蔽溝１５の内側は、光遮蔽性の充
填材料からなる溝充填樹脂１６によって封止されてい
る。Input waveguide section 21 of planar waveguide type optical circuit 1
The light shielding groove 15 is provided between the output waveguide section 22 and the output waveguide section 22. The inside of the light shielding groove 15 is sealed with a groove filling resin 16 made of a light shielding filling material.
【００７４】また、光回路１の入出力端面１１に対向す
る端面１２は、光導波路２nの入力導波路部２１及び出
力導波路部２２の光軸に直交する垂直軸に対して、略平
行に形成されている。また、端面１２上には、図６及び
図７に示すように、端面１２を覆う端面充填樹脂１３が
設けられている。この端面充填樹脂１３は、光導波路２
nと略同一の屈折率を有する充填材料によって形成され
ている。The end face 12 facing the input / output end face 11 of the optical circuit 1 is substantially parallel to the vertical axis orthogonal to the optical axes of the input waveguide portion 21 and the output waveguide portion 22 of the optical waveguide 2 n. Is formed in. Further, as shown in FIGS. 6 and 7, an end face filling resin 13 that covers the end face 12 is provided on the end face 12. The end face filling resin 13 is used for the optical waveguide 2
It is formed of a filling material having a refractive index substantially the same as n .
【００７５】本実施形態の光導波路モジュールにおいて
は、第１実施形態と同様に、平面導波路型光回路１に設
けられた光導波路２1〜２8に対し、信号光を光導波路２
1〜２8のそれぞれへと入出力するための入力ポート部１
１ａ及び出力ポート部１１ｂを、光回路１の同一の端面
である入出力端面１１上に設置している。これにより、
光導波路２nの一部の導波路部分で信号光の位置ずれや
広がりが発生した場合であっても、それによる余分な信
号光成分の他の導波路部分への影響が低減される。した
がって、チャンネル間でのクロストークなどの信号光の
モニタ特性が向上される光導波路モジュールが実現され
る。In the optical waveguide module of this embodiment, as in the first embodiment, the signal light is transmitted to the optical waveguides 2 1 to 2 8 provided in the planar waveguide type optical circuit 1.
Input port unit 1 for inputting and outputting to each of the 21 to 8
1a and the output port portion 11b are installed on the input / output end face 11 which is the same end face of the optical circuit 1. This allows
Even if the signal light is displaced or spread in a part of the waveguide portion of the optical waveguide 2 n , the influence of the extra signal light component on the other waveguide portions is reduced. Therefore, an optical waveguide module in which the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels are improved can be realized.
【００７６】さらに、平面導波路型光回路１の入出力端
面１１に対向する端面１２は、図７に示したように、光
導波路２nと略同一の屈折率を有する充填材料からなる
端面充填樹脂１３によって覆われている。これにより、
入力ポート部１１ａ近傍で発生した余分な信号光成分な
どの光成分の端面１２での反射が抑制されるので、端面
１２を斜めに形成した場合と同様に、反射フィルタ４及
び光検出器アレイ６への余分な光成分の入射が抑制され
る。Further, as shown in FIG. 7, the end face 12 of the planar waveguide type optical circuit 1 facing the input / output end face 11 is made of a filling material having a refractive index substantially the same as that of the optical waveguide 2 n. It is covered with resin 13. This allows
Since reflection of an optical component such as an extra signal light component generated in the vicinity of the input port portion 11a on the end face 12 is suppressed, the reflection filter 4 and the photodetector array 6 are formed as in the case where the end face 12 is formed obliquely. Excessive light components are suppressed from entering.
【００７７】図８は、光導波路モジュールの第３実施形
態の構成を示す平面図である。この光導波路モジュール
は、基板１０、及び基板１０上に設けられた平面導波路
型の光導波路２1〜２8を有して構成される平面導波路型
光回路１を備えている。FIG. 8 is a plan view showing the structure of the third embodiment of the optical waveguide module. The optical waveguide module includes a substrate 10, and the planar waveguide type optical circuit 1 configured to include an optical waveguide 2 1 to 2 8 of the planar waveguide provided on the substrate 10.
【００７８】本光導波路モジュールの構成は、平面導波
路型光回路１に設けられた溝３、反射フィルタ４、フィ
ルタ固定用樹脂５、光検出器６１1〜６１8を有する光検
出器アレイ６、サブマウント基板６５、光遮蔽溝１５、
溝充填樹脂１６、及び入出力端面１１に接続された光フ
ァイバアレイ７については、図１に示した光導波路モジ
ュールと同様である。また、端面１２の構成、及び端面
１２上に設けられた端面充填樹脂１３については、図６
に示した光導波路モジュールと同様である。[0078] The configuration of the present optical waveguide module, the groove 3 provided on the planar waveguide type optical circuit 1, reflection filter 4, a photodetector array 6 having a filter fixing resin 5, the photodetector 61 1-61 8 , Submount substrate 65, light shielding groove 15,
The groove filling resin 16 and the optical fiber array 7 connected to the input / output end face 11 are the same as those of the optical waveguide module shown in FIG. Further, regarding the configuration of the end face 12 and the end face filling resin 13 provided on the end face 12, FIG.
It is the same as the optical waveguide module shown in FIG.
【００７９】光導波路２1〜２8のそれぞれは、所定の光
伝送方向に沿って、平面導波路型光回路１の入力ポート
部１１ａから出力ポート部１１ｂに向かって、その各部
で互いに略平行かつ等間隔となっている導波路パターン
によって形成されている。入力ポート部１１ａ及び出力
ポート部１１ｂは、光回路１の同一の端面である入出力
端面１１に設けられている。Each of the optical waveguides 2 1 to 2 8 is substantially parallel to each other along the predetermined optical transmission direction from the input port portion 11a of the planar waveguide optical circuit 1 toward the output port portion 11b. In addition, the waveguide patterns are formed at equal intervals. The input port portion 11a and the output port portion 11b are provided on the input / output end face 11 which is the same end face of the optical circuit 1.
【００８０】光導波路２nの入力ポート部１１ａに接続
されている導波路部分は、入力導波路部２１となってい
る。同様に、光導波路２nの出力ポート部１１ｂに接続
されている導波路部分は、出力導波路部２２となってい
る。また、入力導波路部２１と出力導波路部２２との間
には、モニタ導波路部２０が形成されている。これらの
直列に接続された導波路部２１、２０、及び２２によっ
て、平面導波路型光回路１における８チャンネルの光導
波路２1〜２8のそれぞれが構成されている。The waveguide portion connected to the input port portion 11a of the optical waveguide 2 n is the input waveguide portion 21. Similarly, the waveguide portion connected to the output port portion 11b of the optical waveguide 2 n is the output waveguide portion 22. A monitor waveguide section 20 is formed between the input waveguide section 21 and the output waveguide section 22. The waveguide sections 21, 20, and 22 connected in series form each of the 8-channel optical waveguides 2 1 to 2 8 in the planar waveguide type optical circuit 1.
【００８１】ここで、光回路１でのそれぞれの光導波路
２nは、入力ポート部１１ａ及び出力ポート部１１ｂに
接続される位置での入力導波路部２１と出力導波路部２
２との間隔が、反射フィルタ４及び光検出器アレイ６が
設置されているモニタ導波路部２０側の所定位置での入
力導波路部２１と出力導波路部２２との間隔よりも小さ
くなるように構成された導波路パターン、すなわち、図
８に示すようなループ状の導波路パターンによって形成
されている。Here, each of the optical waveguides 2 n in the optical circuit 1 has an input waveguide portion 21 and an output waveguide portion 2 at a position where they are connected to the input port portion 11a and the output port portion 11b.
2 so as to be smaller than the distance between the input waveguide section 21 and the output waveguide section 22 at a predetermined position on the monitor waveguide section 20 side where the reflection filter 4 and the photodetector array 6 are installed. The waveguide pattern configured as described above, that is, a loop-shaped waveguide pattern as shown in FIG.
【００８２】本実施形態の光導波路モジュールにおいて
は、第１実施形態と同様に、平面導波路型光回路１に設
けられた光導波路２1〜２8に対し、信号光を光導波路２
1〜２8のそれぞれへと入出力するための入力ポート部１
１ａ及び出力ポート部１１ｂを、光回路１の同一の端面
である入出力端面１１上に設置している。これにより、
光導波路２nの一部の導波路部分で信号光の位置ずれや
広がりが発生した場合であっても、それによる余分な信
号光成分の他の導波路部分への影響が低減される。した
がって、チャンネル間でのクロストークなどの信号光の
モニタ特性が向上される光導波路モジュールが実現され
る。In the optical waveguide module of this embodiment, as in the first embodiment, the signal light is transmitted to the optical waveguides 2 1 to 2 8 provided in the planar waveguide type optical circuit 1 by the optical waveguide 2.
Input port unit 1 for inputting and outputting to each of the 21 to 8
1a and the output port portion 11b are installed on the input / output end face 11 which is the same end face of the optical circuit 1. This allows
Even if the signal light is displaced or spread in a part of the waveguide portion of the optical waveguide 2 n , the influence of the extra signal light component on the other waveguide portions is reduced. Therefore, an optical waveguide module in which the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels are improved can be realized.
【００８３】さらに、平面導波路型光回路１の光導波路
２1〜２8のそれぞれは、入力ポート部１１ａと出力ポー
ト部１１ｂとの間において、ループ状の導波路パターン
によって形成されている。これにより、光導波路モジュ
ールに対する外部からの光導波路の接続、及びその調整
等を好適に行うことが可能となる。[0083] Further, each of the optical waveguides 2 1 to 2 8 of the planar waveguide type optical circuit 1, between the input port section 11a and the output port portion 11b, and is formed by the loop-shaped waveguide pattern. This makes it possible to suitably connect the optical waveguide from the outside to the optical waveguide module, adjust the optical waveguide, and the like.
【００８４】詳述すると、光導波路モジュールに用いら
れる平面導波路型光回路を作製する方法として、火炎堆
積法（ＦＨＤ法）などによってガラスを基板上にスス付
け、焼結して光回路を形成する方法が用いられる。この
ような作製方法では、基板に加えられる熱履歴によって
光回路の基板が収縮する場合がある。また、この熱履歴
による基板の収縮率は、その焼結温度によって変化す
る。More specifically, as a method for producing a planar waveguide type optical circuit used for an optical waveguide module, glass is sooted on a substrate by a flame deposition method (FHD method) or the like and sintered to form an optical circuit. Method is used. In such a manufacturing method, the substrate of the optical circuit may contract due to the heat history applied to the substrate. The shrinkage rate of the substrate due to this thermal history changes depending on the sintering temperature.
【００８５】図９は、基板の収縮率の焼結温度に対する
依存性を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸
は、光回路を形成する際の焼結温度（℃）を示してい
る。また、縦軸は、各焼結温度での基板の外形収縮率
（％）を示している。FIG. 9 is a graph showing the dependency of the shrinkage ratio of the substrate on the sintering temperature. In this graph, the horizontal axis represents the sintering temperature (° C.) when forming the optical circuit. Moreover, the vertical axis represents the outer shape shrinkage rate (%) of the substrate at each sintering temperature.
【００８６】この図９のグラフに示すように、焼結した
際の熱履歴による基板の外形収縮率は焼結温度によって
変化し、焼結温度が高くなるとその収縮率が大きくな
る。したがって、基板の収縮率は、光回路形成時の焼結
温度を低くすることによって低減することができる。し
かしながら、スス中での不純物添加量に制限がある場合
など、条件によっては焼結温度を低い温度に変えること
が難しい。このとき、比較的高い焼結温度で焼結を行う
と、基板の収縮量が大きくなり、また、それぞれの光回
路で、基板の収縮量のばらつきが大きくなる。As shown in the graph of FIG. 9, the shrinkage rate of the outer shape of the substrate due to the heat history during sintering changes with the sintering temperature, and the shrinkage rate increases as the sintering temperature rises. Therefore, the shrinkage rate of the substrate can be reduced by lowering the sintering temperature at the time of forming the optical circuit. However, it is difficult to change the sintering temperature to a low temperature depending on the conditions, such as when the amount of impurities added in the soot is limited. At this time, if the sintering is performed at a relatively high sintering temperature, the shrinkage amount of the substrate increases, and the shrinkage amount of the substrate in each optical circuit also increases.
【００８７】例えば、図８中に、光回路１での光導波路
２1〜２8について、入力ポート部１１ａで最も外側にあ
る光導波路２8の入力導波路部２１と、出力ポート部１
１ｂで最も外側にある光導波路２8の出力導波路部２２
との距離である最外芯間距離Ｌを示している。この最外
芯間距離Ｌに対して、光回路形成時の焼結温度が高くな
ると、基板の収縮率に依存した量での軸ずれが最外芯間
距離Ｌに発生する。For example, in FIG. 8, for the optical waveguides 2 1 to 2 8 in the optical circuit 1, the input waveguide portion 21 of the optical waveguide 2 8 which is the outermost portion of the input port portion 11a and the output port portion 1 are included.
The output waveguide portion 22 of the outermost optical waveguide 2 8 in 1b
The outermost center-to-center distance L, which is the distance between and. If the sintering temperature at the time of forming the optical circuit is higher than the outermost core-to-core distance L, the outermost core-to-core distance L is misaligned by an amount depending on the shrinkage ratio of the substrate.
【００８８】このような入力ポート部１１ａと出力ポー
ト部１１ｂとの間での光導波路の軸ずれは、光回路１の
光導波路２1〜２8に対して入力ポート部１１ａ及び出力
ポート部１１ｂにおいて外部から接続される光ファイバ
のミスアラインメントなどの原因となる。そして、この
ような光ファイバのミスアラインメントにより、光回路
内において信号光の位置ずれや広がりが発生し、チャン
ネル間でのクロストークなどの信号光のモニタ特性が劣
化する。[0088] Such axial displacement of the optical waveguide between the input port section 11a and the output port unit 11b, an input port section 11a and the output port unit 11b to the optical waveguide 2 1 to 2 8 of the optical circuit 1 At the same time, it may cause misalignment of the optical fiber connected from the outside. Due to such misalignment of the optical fibers, the positional deviation or spread of the signal light occurs in the optical circuit, and the signal light monitor characteristics such as crosstalk between channels deteriorate.
【００８９】これに対して、図８に示した構成の光導波
路モジュールでは、光回路１の光導波路２1〜２8をそれ
ぞれループ状の導波路パターンによって形成している。
これにより、入出力端面１１近傍での入力導波路部２１
と出力導波路部２２との間隔を小さくして、最外芯間距
離Ｌを小さくすることができる。したがって、焼結温度
に応じて基板が収縮し、あるいは、その収縮率がある程
度ばらついた場合であっても、最外芯間距離Ｌに発生す
る軸ずれ量及びそのばらつきを低減することができる。On the other hand, in the optical waveguide module having the structure shown in FIG. 8, the optical waveguides 2 1 to 2 8 of the optical circuit 1 are each formed by a loop-shaped waveguide pattern.
As a result, the input waveguide portion 21 near the input / output end face 11
The outermost core-to-core distance L can be reduced by reducing the distance between the output waveguide portion 22 and the output waveguide portion 22. Therefore, even if the substrate shrinks in accordance with the sintering temperature or the shrinkage rate varies to some extent, it is possible to reduce the amount of axial deviation that occurs in the outermost inter-core distance L and the variation thereof.
【００９０】図１０は、軸ずれ量の焼結温度に対する依
存性を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸
は、光回路を形成する際の焼結温度（℃）を示してい
る。また、縦軸は、各焼結温度で最外芯間距離Ｌに発生
する軸ずれ量（μｍ）を示している。また、このグラフ
において、グラフＧ１は、最外芯間距離をＬ＝４０００
μｍとしたときの軸ずれ量を示している。また、グラフ
Ｇ２は、最外芯間距離をＬ＝１６０００μｍとしたとき
の軸ずれ量を示している。FIG. 10 is a graph showing the dependence of the amount of misalignment on the sintering temperature. In this graph, the horizontal axis represents the sintering temperature (° C.) when forming the optical circuit. The vertical axis represents the amount of axial deviation (μm) that occurs in the outermost inter-core distance L at each sintering temperature. Further, in this graph, the graph G1 is the outermost center-to-center distance L = 4000.
The axis shift amount when μm is shown. Further, the graph G2 shows the axis deviation amount when the outermost inter-center distance is L = 16000 μm.
【００９１】この図１０のグラフに示すように、焼結温
度による基板の収縮率の変化に伴って、最外芯間距離Ｌ
に発生する軸ずれ量は焼結温度に依存して変化し、焼結
温度が高くなるとその軸ずれ量が大きくなる。また、こ
のとき、光回路ごとの軸ずれ量のばらつきも同様に大き
くなる。また、最外芯間距離Ｌが異なる条件でのグラフ
Ｇ１及びＧ２を比較すると、最外芯間距離Ｌが大きいグ
ラフＧ２の方が、発生する軸ずれ量が大きくなってい
る。As shown in the graph of FIG. 10, the outermost core-to-core distance L changes as the shrinkage rate of the substrate changes with the sintering temperature.
The amount of axial misalignment that occurs depends on the sintering temperature, and the higher the sintering temperature, the greater the amount of axial misalignment. Further, at this time, the variation in the amount of axial deviation between the optical circuits also increases. Further, comparing the graphs G1 and G2 under the condition that the outermost center-to-center distance L is different, the graph G2 having the largest outermost center-to-center distance L has a larger axis deviation amount.
【００９２】図１１は、クロストーク劣化量の軸ずれ量
に対する依存性を示すグラフである。このグラフにおい
て、横軸は、最外芯間距離Ｌに発生する軸ずれ量（μ
ｍ）を示している。また、縦軸は、各軸ずれ量に対応す
るクロストーク劣化量（ｄＢ）を示している。FIG. 11 is a graph showing the dependency of the crosstalk deterioration amount on the axis deviation amount. In this graph, the horizontal axis is the amount of axial deviation (μ
m) is shown. Further, the vertical axis represents the crosstalk deterioration amount (dB) corresponding to each axis deviation amount.
【００９３】また、図１２は、損失増加量の軸ずれ量に
対する依存性を示すグラフである。このグラフにおい
て、横軸は、最外芯間距離Ｌに発生する軸ずれ量（μ
ｍ）を示している。また、縦軸は、各軸ずれ量に対応す
る損失増加量（ｄＢ）を示している。FIG. 12 is a graph showing the dependence of the loss increase amount on the axis deviation amount. In this graph, the horizontal axis is the amount of axial deviation (μ
m) is shown. In addition, the vertical axis represents the loss increase amount (dB) corresponding to each axis deviation amount.
【００９４】これらの図１１及び図１２のグラフに示す
ように、最外芯間距離Ｌに発生する軸ずれ量が大きくな
るほど、光導波路モジュールにおけるチャンネル間での
クロストーク、及び光導波路モジュールにおいて信号光
に発生する損失などの特性が劣化する。したがって、図
８に示したように、光回路１における光導波路２1〜２8
の導波路パターンをループ状として最外芯間距離Ｌを小
さくし、焼結温度に応じて発生する軸ずれ量を低減する
ことにより、光導波路モジュールの特性を好適に保持す
ることができる。As shown in the graphs of FIG. 11 and FIG. 12, as the amount of axis deviation generated in the outermost inter-center distance L increases, crosstalk between channels in the optical waveguide module and signal in the optical waveguide module increase. Characteristics such as loss of light are deteriorated. Accordingly, as shown in FIG. 8, the optical waveguide 2 1 to 2 8 in the optical circuit 1
The characteristics of the optical waveguide module can be preferably maintained by making the waveguide pattern of a loop shape to reduce the outermost core-to-core distance L and reduce the amount of axial deviation generated according to the sintering temperature.
【００９５】本発明による光導波路モジュールは、上記
した実施形態に限られるものではなく、様々な変形が可
能である。例えば、光回路に設けられる光導波路の導波
路パターン、及び光導波路に対して設置される反射フィ
ルタ及び光検出器などの配置等については、上記した実
施形態に示した構成以外にも、それぞれの光導波路モジ
ュールのチャンネル数や用途などに応じて様々な構成を
用いて良い。また、入出力端面に接続されている信号光
入出力用の光ファイバアレイについては、設置しない構
成としても良い。The optical waveguide module according to the present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications can be made. For example, regarding the waveguide pattern of the optical waveguide provided in the optical circuit, the arrangement of the reflection filter, the photodetector, and the like installed with respect to the optical waveguide, in addition to the configurations shown in the above-described embodiment, Various configurations may be used depending on the number of channels of the optical waveguide module and the application. Further, the optical fiber array for inputting / outputting the signal light, which is connected to the input / output end face, may not be installed.
【００９６】[0096]
【発明の効果】本発明による光導波路モジュールは、以
上詳細に説明したように、次のような効果を得る。すな
わち、光導波路を横切る溝の内部に設置された反射フィ
ルタによって信号光の一部を反射して光強度のモニタに
用いるとともに、光強度のモニタの対象となる信号光を
入出力するための入力ポート及び出力ポートを光回路の
同一の端面上に設置した構成の光導波路モジュールによ
れば、光回路の構成及び製造工程が簡単化される。ま
た、入力ポートと出力ポートとの間での光導波路が直線
状ではない導波路パターンによって形成されることとな
る。これにより、光導波路の一部の導波路部分で信号光
の位置ずれや広がりが発生した場合であっても、それに
よる余分な信号光成分の他の導波路部分への影響が低減
される。したがって、チャンネル間でのクロストークな
どの信号光のモニタ特性が向上される光導波路モジュー
ルが得られる。As described in detail above, the optical waveguide module according to the present invention has the following effects. That is, a part of the signal light is reflected by a reflection filter installed inside the groove that crosses the optical waveguide and used for monitoring the light intensity, and an input for inputting and outputting the signal light to be the target of the light intensity monitoring. According to the optical waveguide module having the configuration in which the port and the output port are installed on the same end face of the optical circuit, the configuration and manufacturing process of the optical circuit are simplified. Further, the optical waveguide between the input port and the output port is formed by a waveguide pattern that is not linear. As a result, even if the positional deviation or spread of the signal light occurs in a part of the waveguide of the optical waveguide, the influence of the extra signal light component on the other waveguide is reduced. Therefore, it is possible to obtain an optical waveguide module in which the monitoring characteristics of signal light such as crosstalk between channels are improved.
【００９７】このような光導波路モジュールは、光ファ
イバや平面光導波路などからなる光回路中に挿入される
信号光強度モニタとして適用することが可能である。あ
るいは、光合波器、光分波器、光減衰器などの様々な光
回路の所定部位に設けることによって、光回路中で信号
光強度をモニタする構成とすることも可能である。Such an optical waveguide module can be applied as a signal light intensity monitor to be inserted in an optical circuit composed of an optical fiber, a plane optical waveguide, or the like. Alternatively, the signal light intensity may be monitored in the optical circuit by providing the optical multiplexer, the optical demultiplexer, the optical attenuator, and the like at predetermined portions of various optical circuits.
【図１】光導波路モジュールの第１実施形態の構成を示
す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a first embodiment of an optical waveguide module.
【図２】図１に示した光導波路モジュールのモニタ導波
路部での光軸に沿った断面構造を一部拡大して示すＩ−
Ｉ矢印断面図である。2 is a partially enlarged view of a cross-sectional structure along the optical axis in the monitor waveguide section of the optical waveguide module shown in FIG.
It is an I arrow cross section.
【図３】図１に示した光導波路モジュールのモニタ導波
路部での光軸に垂直な断面構造を示すII−II矢印断面図
である。3 is a II-II arrow cross-sectional view showing a cross-sectional structure perpendicular to the optical axis in the monitor waveguide portion of the optical waveguide module shown in FIG.
【図４】図１に示した光導波路モジュールに用いられる
光ファイバアレイの光軸に垂直な断面構造を示すIII−I
II矢印断面図である。FIG. 4 is a III-I showing a sectional structure perpendicular to the optical axis of the optical fiber array used in the optical waveguide module shown in FIG.
FIG. 2 is a sectional view taken along the arrow II.
【図５】光導波路モジュールの構成の一例を示す平面図
である。FIG. 5 is a plan view showing an example of the configuration of an optical waveguide module.
【図６】光導波路モジュールの第２実施形態の構成を示
す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a configuration of a second embodiment of an optical waveguide module.
【図７】図６に示した光導波路モジュールのモニタ導波
路部での光軸に垂直な断面構造を示すIV−IV矢印断面図
である。7 is a IV-IV arrow sectional view showing a sectional structure perpendicular to the optical axis in the monitor waveguide portion of the optical waveguide module shown in FIG.
【図８】光導波路モジュールの第３実施形態の構成を示
す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a configuration of a third embodiment of an optical waveguide module.
【図９】基板の収縮率の焼結温度に対する依存性を示す
グラフである。FIG. 9 is a graph showing the dependency of the shrinkage ratio of the substrate on the sintering temperature.
【図１０】軸ずれ量の焼結温度に対する依存性を示すグ
ラフである。FIG. 10 is a graph showing the dependency of the amount of misalignment on the sintering temperature.
【図１１】クロストーク劣化量の軸ずれ量に対する依存
性を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing the dependency of the crosstalk deterioration amount on the axis deviation amount.
【図１２】損失増加量の軸ずれ量に対する依存性を示す
グラフである。FIG. 12 is a graph showing the dependence of the loss increase amount on the axis deviation amount.
１…平面導波路型光回路、１０…基板、１１…入出力端
面、１１ａ…入力ポート部、１１ｂ…出力ポート部、１
２…端面、１３…端面充填樹脂、１５…光遮蔽溝、１６
…溝充填樹脂、２n…光導波路、２０…モニタ導波路
部、２１…入力導波路部、２２…出力導波路部、２５…
コア、２６…上部クラッド、２７…下部クラッド、３…
溝、３１…上流側端面、３２…下流側端面、４…反射フ
ィルタ、５…フィルタ固定用樹脂、５１…内部充填樹脂
部、５２…上部充填樹脂部、６…光検出器アレイ、６１
n…光検出器、６５…サブマウント基板、７…光ファイ
バアレイ、７０…基板、７１n…入力光ファイバ、７２n
…出力光ファイバ、７５…Ｖ溝、７６…保持部材。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Planar waveguide type optical circuit, 10 ... Substrate, 11 ... Input / output end surface, 11a ... Input port part, 11b ... Output port part, 1
2 ... End face, 13 ... End face filling resin, 15 ... Light shielding groove, 16
... Groove-filling resin, 2 n ... Optical waveguide, 20 ... Monitor waveguide section, 21 ... Input waveguide section, 22 ... Output waveguide section, 25 ...
Core, 26 ... Upper clad, 27 ... Lower clad, 3 ...
Grooves, 31 ... Upstream end surface, 32 ... Downstream end surface, 4 ... Reflection filter, 5 ... Filter fixing resin, 51 ... Inner filling resin portion, 52 ... Upper filling resin portion, 6 ... Photodetector array, 61
n ... Photodetector, 65 ... Submount substrate, 7 ... Optical fiber array, 70 ... Substrate, 71 n ... Input optical fiber, 72 n
Output optical fiber, 75 V groove, 76 holding member.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 BA11 BA24 CA37 DA03 DA04 DA06 2H047 KA04 KA12 LA09 LA14 MA07 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F term (reference) 2H037 BA11 BA24 CA37 DA03 DA04 DA06 2H047 KA04 KA12 LA09 LA14 MA07
Claims (9)
波路を含んで構成され、前記光導波路の所定位置を横切
るように形成された溝を有する光回路と、 前記光回路の前記溝の内部に前記光導波路を伝搬される
信号光が通過する部位を含むように設置され、前記信号
光の一部を所定の反射率によって反射する反射フィルタ
と、 前記反射フィルタによって前記信号光の一部が反射され
た反射光を検出する光検出器とを備え、 前記光回路は、前記光導波路の入力導波路部が接続され
た入力ポート、及び前記光導波路の出力導波路部が接続
された出力ポートが同一の入出力端面に設けられている
ことを特徴とする光導波路モジュール。1. An optical circuit comprising a substrate and an optical waveguide provided on the substrate, the optical circuit having a groove formed so as to cross a predetermined position of the optical waveguide, and the groove of the optical circuit. A reflection filter which is installed so as to include a portion through which the signal light propagated through the optical waveguide passes, and which reflects a part of the signal light with a predetermined reflectance, and a part of the signal light by the reflection filter. A photodetector that detects reflected light reflected by the optical circuit, wherein the optical circuit has an input port to which an input waveguide section of the optical waveguide is connected, and an output to which an output waveguide section of the optical waveguide is connected. An optical waveguide module, wherein ports are provided on the same input / output end face.
前記入力導波路部及び前記出力導波路部と略直交する導
波路部に対して設置されていることを特徴とする請求項
１記載の光導波路モジュール。2. The reflection filter and the photodetector are:
The optical waveguide module according to claim 1, wherein the optical waveguide module is installed in a waveguide portion that is substantially orthogonal to the input waveguide portion and the output waveguide portion.
出力導波路部との間に光遮蔽手段が設けられていること
を特徴とする請求項１記載の光導波路モジュール。3. The optical waveguide module according to claim 1, wherein the optical circuit is provided with a light shielding means between the input waveguide portion and the output waveguide portion.
れた光遮蔽溝からなることを特徴とする請求項３記載の
光導波路モジュール。4. The optical waveguide module according to claim 3, wherein the light shielding means comprises a light shielding groove formed in the optical circuit.
れた光遮蔽溝を光遮蔽性の充填材料によって充填してな
ることを特徴とする請求項３記載の光導波路モジュー
ル。5. The optical waveguide module according to claim 3, wherein the light shielding means is formed by filling a light shielding groove formed in the optical circuit with a light shielding filling material.
端面は、前記入力導波路部及び前記出力導波路部の光軸
に直交する垂直軸に対して、所定の傾き角度α（０°＜
α）で斜めに形成されていることを特徴とする請求項１
記載の光導波路モジュール。6. An end face of the optical circuit facing the input / output end face has a predetermined inclination angle α (0 °) with respect to a vertical axis orthogonal to the optical axes of the input waveguide portion and the output waveguide portion. <
2. It is formed obliquely by α).
The optical waveguide module described.
端面は、前記光導波路と略同一の屈折率を有する充填材
料によって覆われていることを特徴とする請求項１記載
の光導波路モジュール。7. The optical waveguide module according to claim 1, wherein an end surface of the optical circuit that faces the input / output end surface is covered with a filling material having a refractive index substantially the same as that of the optical waveguide. .
出力ポートに接続される位置での前記入力導波路部と前
記出力導波路部との間隔が、前記反射フィルタ及び前記
光検出器が設置されている導波路部側の所定位置での前
記入力導波路部と前記出力導波路部との間隔よりも小さ
くなるように構成されていることを特徴とする請求項１
記載の光導波路モジュール。8. The optical circuit is provided with the reflection filter and the photodetector such that a distance between the input waveguide section and the output waveguide section at a position where the optical filter is connected to the input port and the output port is set. 2. The distance between the input waveguide section and the output waveguide section at a predetermined position on the side of the waveguide section is reduced.
The optical waveguide module described.
タ及び前記光検出器が設置されている導波路部の光軸に
直交する垂直軸に対して、所定の傾き角度θ（０°＜
θ）で斜めに形成されていることを特徴とする請求項１
記載の光導波路モジュール。9. The groove of the optical circuit has a predetermined inclination angle θ (0 ° <0 ° <0 ° with respect to a vertical axis orthogonal to an optical axis of a waveguide section in which the reflection filter and the photodetector are installed.
2. It is formed obliquely at θ).
The optical waveguide module described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002148126A JP2003344695A (en) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | Light guide module |
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| JP2002148126A JP2003344695A (en) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | Light guide module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003344695A true JP2003344695A (en) | 2003-12-03 |
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ID=29766833
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2003344695A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006035499A1 (en) * | 2004-09-29 | 2006-04-06 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Photoelectric integrated circuit element and transmission apparatus using the same |
| WO2006131983A1 (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing optical module, optical module and platform for optical module |
| JPWO2005057268A1 (en) * | 2003-12-08 | 2007-07-05 | 日本碍子株式会社 | Optical device |
-
2002
- 2002-05-22 JP JP2002148126A patent/JP2003344695A/en active Pending
Cited By (4)
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| US7583873B2 (en) | 2005-06-10 | 2009-09-01 | Fujitsu Limited | Fabrication method of optical module, optical module, and platform for optical module |
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