JP2003344298A - Imaging means and flaw inspection device for work using it - Google Patents

Imaging means and flaw inspection device for work using it

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JP2003344298A
JP2003344298A JP2002151972A JP2002151972A JP2003344298A JP 2003344298 A JP2003344298 A JP 2003344298A JP 2002151972 A JP2002151972 A JP 2002151972A JP 2002151972 A JP2002151972 A JP 2002151972A JP 2003344298 A JP2003344298 A JP 2003344298A
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JP
Japan
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work
scratch
lens
optical fiber
flaw
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Application number
JP2002151972A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigefumi Kume
重文 久米
Masafumi Ishii
雅文 石井
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive imaging means capable of changing an imaging visual field range by changing the magnification of an imaging screen without a zoom lens and to provide an inexpensive flaw inspection device for work capable of performing the quality determination of a work considering the depth of flaw. <P>SOLUTION: A lens 30 having a fixed focus is arranged in the vicinity of an optical fiber connector C, a CCD camera 38 arranged on the opposite side of the optical fiber connector C across the lens 30 is moved in its optical axial direction and focused by the lens 30, whereby the imaging magnification can be changed. Therefore, the inspection can be performed by use of one objective lens without using an expensive zoom lens. In the flaw inspection device 10, a surface of subject is imaged by an imaging means 14, and a flaw part is extracted from the image data. The average brightness of the flaw part and the average brightness of the circumference of the flaw part are calculated, and when the brightness difference between the both exceeds a preset reference brightness difference, it is recognized as a flaw. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は撮像手段及びそれを
用いたワークの傷検査装置に係り、特に倍率可変の撮像
手段と、それを用いた光ファイバコネクタの端面に生じ
た傷の有無を検査するワークの傷検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image pickup device and a work scratch inspection device using the image pickup device, and more particularly to an image pickup device having a variable magnification and an optical fiber connector using the image pickup device for inspecting for damages. The present invention relates to a work scratch inspection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に光ファイバ同士の接続には光ファ
イバコネクタが用いられ、光ファイバが挿入されたフェ
ルールの端面同士を突き合わせることにより接続を行っ
ている。この光ファイバコネクタは、端面に傷があると
光ファイバの性能に悪影響を及ぼすおそれがあることか
ら、製造後は端面の傷検査が行われる。
2. Description of the Related Art Generally, an optical fiber connector is used to connect optical fibers, and the end faces of a ferrule in which the optical fibers are inserted are butted against each other. Since damage to the end face of this optical fiber connector may adversely affect the performance of the optical fiber, the end face is inspected for scratches after manufacturing.

【0003】従来、この光ファイバコネクタ端面の傷検
査は、光ファイバコネクタの端面をTVカメラで撮像
し、モニタ上に拡大して映し出された画像から作業者が
目視で検査していた。
Conventionally, in the flaw inspection of the end surface of the optical fiber connector, an operator visually inspects the end surface of the optical fiber connector with a TV camera and enlarges the image on a monitor.

【0004】この時、低倍の光ファイバコネクタの端面
全体の撮像画面と、高倍の光ファイバ部の撮像画面と、
更に高倍の光ファイバのコア部の撮像画面とが撮像され
て検査される。この撮像に用いられる光学系では、対物
レンズにズームレンズを使用したり、あるいは接眼レン
ズの倍率を変えることで総合倍率を切替える光学系が用
いられていた。
At this time, an image pickup screen of the entire end face of the low-magnification optical fiber connector, an image pickup screen of the high-magnification optical fiber portion,
Further, the image pickup screen of the core portion of the high-magnification optical fiber is picked up and inspected. In the optical system used for this image capturing, a zoom lens is used as an objective lens, or an optical system that switches the total magnification by changing the magnification of the eyepiece lens is used.

【0005】しかし、このような検査装置に使用される
ような高倍率なズームレンズは少なく、また、ズームの
ための高精度な駆動機構が必要になる上、作動距離を変
化させないレンズ構成は高価なものとなり、これを組込
んだ検査装置全体のコストの上昇を招いていた。
However, there are few high-magnification zoom lenses used in such an inspection apparatus, a highly accurate drive mechanism for zooming is required, and a lens structure that does not change the working distance is expensive. This leads to an increase in the cost of the entire inspection device incorporating this.

【0006】また、従来の光ファイバコネクタ端面の傷
検査方法では作業者の目視検査のため、検査に時間がか
かるという欠点があった。また、人間が合否を判断する
ため、 合否結果にバラツキが発生するという欠点もあっ
た。
Further, the conventional method for inspecting the end face of the optical fiber connector has a drawback that the inspection is time-consuming because it is visually inspected by the operator. In addition, since humans judge pass / fail, there is a drawback that the pass / fail results vary.

【0007】そこで、検査を自動で行う方法として、画
像処理技術を用いた傷検査方法が提案された。この方法
は光ファイバコネクタの端面をCCDカメラで撮像し、
得られた画像データから傷部を抽出して、その大きさと
位置から製品としての合否を判定するものである。
Therefore, a scratch inspection method using an image processing technique has been proposed as a method for automatically performing the inspection. This method takes an image of the end face of the optical fiber connector with a CCD camera,
The flaw is extracted from the obtained image data, and the pass / fail of the product is determined based on the size and position of the flaw.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、画像処理に
よって傷部を検出する場合、その傷部の検出能力はCC
Dカメラに取り付けられた光学顕微鏡の倍率に左右され
る。したがって、光学顕微鏡の倍率を上げれば、より微
細な傷の検出が可能になる。
By the way, when a flaw is detected by image processing, the flaw detection capability is CC.
It depends on the magnification of the optical microscope attached to the D camera. Therefore, if the magnification of the optical microscope is increased, finer scratches can be detected.

【0009】一方、光ファイバコネクタは、端面に傷が
ある場合であっても、その深さによっては光ファイバの
性能に全く影響を及ぼさないものもある。
On the other hand, some optical fiber connectors do not affect the performance of the optical fiber at all depending on the depth even if the end face is damaged.

【0010】しかしながら、従来の検査方法は、傷部の
大きさと位置のみに基づいて合否を判定しているため、
光学顕微鏡の精度を上げて微細な傷まで検出できるよう
にすると、光ファイバの性能に影響を与えないような浅
い傷までもが不可の傷として認識されてしまうという欠
点があった。
However, in the conventional inspection method, the pass / fail judgment is made only on the basis of the size and position of the scratched portion.
If the precision of the optical microscope is increased so that even fine scratches can be detected, even a shallow scratch that does not affect the performance of the optical fiber is recognized as an impossible scratch.

【0011】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、ズームレンズを使用せずに撮像画面の倍率を
変化させ、撮像視野範囲を変化させることのできる安価
な撮像手段を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such a problem, and provides an inexpensive image pickup means capable of changing the magnification of the image pickup screen and changing the image pickup field range without using a zoom lens. The purpose is to

【0012】更に、傷の深さを考慮してワークの合否判
定ができる安価なワークの傷検査装置を提供することを
目的とする。
It is another object of the present invention to provide an inexpensive work flaw inspection apparatus capable of judging whether a work is acceptable or not in consideration of the depth of the flaw.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1に記載の撮像手段は、ワークの近傍に配置
され、該ワークの像を結像させるレンズと、該レンズを
挟んで前記ワークと反対側に配置され、前記ワークを撮
像するカメラと、該カメラを光軸方向に移動させるカメ
ラ移動手段と、前記レンズの位置を微調整して前記カメ
ラの撮像面のピントを合わせる合焦点手段と、を有し、
前記カメラを光軸方向に移動するとともに前記レンズで
ピント合わせを行うことにより、撮像倍率が変更される
ように構成されたことを特徴としている。
In order to achieve the above object, the image pickup means according to claim 1 is arranged near a work, and a lens for forming an image of the work is sandwiched between the lens and the lens. A camera that is arranged on the opposite side of the work and that picks up the work, a camera moving unit that moves the camera in the optical axis direction, and a lens that finely adjusts the position of the lens to focus the imaging surface of the camera. Focusing means, and
It is characterized in that the imaging magnification is changed by moving the camera in the optical axis direction and focusing with the lens.

【0014】請求項1に記載の発明によれば、ワークの
近傍に固定焦点レンズを配し、該レンズを挟んでワーク
と反対側に配置されたカメラを光軸方向に移動させるこ
とにより、撮像倍率が変更されるので、対物レンズ1個
で済み、高価なズームレンズやズームのための駆動機構
を必要としないため、安価な撮像手段を得ることができ
る。
According to the first aspect of the present invention, a fixed focus lens is arranged in the vicinity of the work, and a camera arranged on the opposite side of the work with the lens interposed therebetween is moved in the optical axis direction to pick up an image. Since the magnification is changed, only one objective lens is required, and an expensive zoom lens or a driving mechanism for zooming is not required, so that an inexpensive imaging means can be obtained.

【0015】また、請求項2に記載の発明は、ワークの
表面に生じた傷の有無を検査するワークの傷検査装置に
おいて、ワークの検査対象面を撮像する前記請求項1に
記載の撮像手段と、前記撮像手段で撮像された画像デー
タから傷の判定を行う判定手段と、が設けられているこ
とを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in the scratch inspection device for a work for inspecting the presence or absence of scratches on the surface of the work, the image pickup means according to the first aspect for picking up an image of the inspection target surface of the work. And a determination unit that determines a scratch from the image data captured by the image capturing unit.

【0016】請求項2に記載の発明によれば、容易に撮
像倍率を変更できる安価な撮像手段で検査対象面を撮像
し、撮像された画像データから傷の判定を行うので、ワ
ークの傷の測定を安価に、自動で行うことができる。
According to the second aspect of the present invention, since the surface to be inspected is imaged by the inexpensive image pickup means capable of easily changing the image pickup magnification and the flaw is judged from the picked-up image data, the flaw of the work is judged. The measurement can be automatically performed at low cost.

【0017】請求項3に記載の発明は、請求項2のワー
クの傷検査装置において、前記ワークの傷検査装置に
は、前記撮像手段で撮像された画像データから傷部の平
均明度と傷部周辺の平均明度とを算出して、その明度差
を算出する明度差演算手段が設けられ、前記判定手段
は、前記明度差演算手段で算出した明度差が、あらかじ
め設定した基準明度差を超えているか否かを判定し、超
えていると判定した場合に傷と認定する判定手段である
ことを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the work flaw inspection apparatus of the second aspect, the work flaw inspection apparatus uses the image data picked up by the image pickup means to determine the average brightness of the flaw and the flaw. A brightness difference calculation means for calculating the average brightness of the periphery and the brightness difference is provided, and the determination means is such that the brightness difference calculated by the brightness difference calculation means exceeds a reference brightness difference set in advance. It is characterized in that it is a judging means for judging whether or not it is present, and if it is judged as exceeding, it is judged as a scratch.

【0018】請求項3に記載の発明によれば、先ず、ワ
ークの検査対象面を撮像手段で撮像し、その画像データ
から傷部を抽出する。そして、その傷部の平均明度と傷
部周辺の平均明度とを算出して、両者の明度差を算出す
る。算出された明度差は傷部の深さを表すので、この明
度差が、あらかじめ設定した基準明度差を超えていれば
傷と認定し、不良ワークと判定する。ここで、基準明度
差は、ユーザーが適宜設定し、これにより、傷の深さに
基づく合否判定が可能になる。
According to the third aspect of the invention, first, the inspection target surface of the work is imaged by the image pickup means, and the scratched portion is extracted from the image data. Then, the average brightness of the scratches and the average brightness around the scratches are calculated, and the brightness difference between the two is calculated. Since the calculated brightness difference represents the depth of the scratched portion, if this brightness difference exceeds a preset reference brightness difference, it is determined as a scratch and a defective work is determined. Here, the reference lightness difference is appropriately set by the user, which enables the acceptance / rejection determination based on the depth of the scratch.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係る撮像手段及びそれを用いたワークの傷検査装置の好
ましい実施の形態について詳説する。尚各図において、
同一の部材については同一の番号又は符号を付してい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of an image pickup means and a work flaw inspection apparatus using the same according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In each figure,
The same numbers are assigned to the same members.

【0020】図1は、本発明に係る撮像手段の構成を表
わす概念図である。撮像手段14は、図1に示すよう
に、レンズ30がワークである光ファイバコネクタCに
近接して配置されている。レンズ30を挟んでワークと
反対側に、ワークを撮像するカメラとしてCCDカメラ
38が配置されている。このCCDカメラ38は、その
CCD撮像面38Aの中心部が光ファイバコネクタCの
中心軸と略一致するように光軸を合わせて配置されてい
る。また、レンズ30の位置は合焦点手段であるAF駆
動ユニット32によって微調整され、CCDカメラ38
のCCD撮像面38Aに結ぶ像のピント合わせが行われ
る。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing the structure of the image pickup means according to the present invention. As shown in FIG. 1, the image pickup means 14 has a lens 30 arranged in proximity to an optical fiber connector C which is a work. A CCD camera 38 is arranged as a camera for picking up an image of the work on the side opposite to the work with the lens 30 interposed therebetween. The CCD camera 38 is arranged with its optical axis aligned so that the central portion of the CCD image pickup surface 38A substantially coincides with the central axis of the optical fiber connector C. The position of the lens 30 is finely adjusted by the AF drive unit 32 which is a focusing means, and the CCD camera 38
The image formed on the CCD image pickup surface 38A is focused.

【0021】また、このCCDカメラ38はカメラ移動
手段39によってその光軸方向に移動されるようになっ
ている。カメラ移動手段39は、図示しないモータによ
るネジ送り機構等、既知の送り機構が用いられ、図示し
ない制御手段によって任意の位置に位置決めされる。
The CCD camera 38 is moved in the direction of its optical axis by the camera moving means 39. A known feed mechanism such as a screw feed mechanism using a motor (not shown) is used as the camera moving means 39, and the camera moving means 39 is positioned at an arbitrary position by the control means (not shown).

【0022】レンズ30は、光ファイバコネクタCに近
接して配置されているので、レンズ30を僅かに移動さ
せると結像位置が大きく移動する。また、撮像倍率は、
レンズ30から結像位置即ちCCD撮像面38Aまでの
距離をレンズ30から光ファイバコネクタCの端面まで
の距離で除した値として求められるので、CCDカメラ
38の位置を移動させることにより撮像倍率を変更する
ことができる。
Since the lens 30 is arranged close to the optical fiber connector C, if the lens 30 is slightly moved, the image forming position is largely moved. Also, the imaging magnification is
Since the distance from the lens 30 to the image forming position, that is, the CCD image pickup surface 38A is divided by the distance from the lens 30 to the end face of the optical fiber connector C, the value is obtained. Therefore, the image pickup magnification is changed by moving the position of the CCD camera 38. can do.

【0023】レンズ30とCCDカメラ38との間には
図示しないハーフミラーが、光軸に対して略45°の角
度で配置され、光軸に直交する方向から図示しない照明
ユニットによって射出される照明光をワークである光フ
ァイバコネクタCに照射させている。
A half mirror (not shown) is arranged between the lens 30 and the CCD camera 38 at an angle of about 45 ° with respect to the optical axis, and illumination is emitted by an illumination unit (not shown) from a direction orthogonal to the optical axis. The optical fiber connector C which is a work is irradiated with light.

【0024】このように構成された撮像手段14の作用
について説明する。先ず、撮像対象物である光ファイバ
コネクタCを撮像位置にセットする。次に図示しない照
明ユニットから照明光が照射され、図示しないハーフミ
ラーによって略半分の光がレンズ30を経由し、照明光
として光ファイバコネクタCの端面に照射される。光フ
ァイバコネクタCの端面で反射された光はレンズ30に
よって屈折され、CCDカメラ38のCCD撮像面38
Aに入射する。
The operation of the image pickup means 14 thus constructed will be described. First, the optical fiber connector C, which is an imaging target, is set at the imaging position. Next, illumination light is emitted from an illumination unit (not shown), and approximately half the light is emitted to the end surface of the optical fiber connector C as illumination light by a half mirror (not shown) via the lens 30. The light reflected by the end face of the optical fiber connector C is refracted by the lens 30, and the CCD image pickup surface 38 of the CCD camera 38.
It is incident on A.

【0025】次いで、図示しない測距センサの測距情報
に基づきAF駆動ユニット32が作動し、レンズ30の
ピント位置を光ファイバコネクタCの端面に合わせる。
これにより光ファイバコネクタCの端面全体が低倍でC
CDカメラ38に撮像される。
Then, the AF drive unit 32 is operated based on the distance measurement information of the distance measurement sensor (not shown), and the focus position of the lens 30 is adjusted to the end face of the optical fiber connector C.
As a result, the entire end face of the optical fiber connector C is
The image is taken by the CD camera 38.

【0026】次に、カメラ移動手段39によってCCD
カメラ38が光ファイバコネクタCに対して後退され、
光ファイバコネクタCの中央部の光ファイバ部のみの拡
大画像が撮像される。この時も、AF駆動ユニット32
がレンズ30の位置を微小移動させピント合わせを行
う。更に、光ファイバのコア部のみを拡大して撮像した
い場合は、CCDカメラ38が更に後退されて撮像され
る。
Next, the CCD is moved by the camera moving means 39.
The camera 38 is retracted with respect to the fiber optic connector C,
An enlarged image of only the optical fiber portion at the center of the optical fiber connector C is captured. Also at this time, the AF drive unit 32
Moves the position of the lens 30 slightly to focus. Further, when it is desired to magnify and image only the core portion of the optical fiber, the CCD camera 38 is further retracted and imaged.

【0027】このようにして、CCDカメラ38の位置
を移動して、レンズ30でピント合わせをするだけで低
倍率/広視野の画像から高倍率/狭視野の画像を容易に
撮像することができる。
In this way, by simply moving the position of the CCD camera 38 and focusing with the lens 30, it is possible to easily pick up an image of high magnification / narrow field from low magnification / wide field of view. .

【0028】本願ではズームレンズを使用していないの
で、ズームのための駆動機構が不要であり、更に総合倍
率を上げるための接眼レンズも不要である。また、本願
は対物レンズ1個で済むため、光学系が安価に構成でき
る。更にレンズ30がワークである光ファイバコネクタ
Cに近接して配置されているため、フォーカス位置合わ
せのためのストロークが短くて済む。
Since no zoom lens is used in the present application, a drive mechanism for zooming is unnecessary, and an eyepiece lens for increasing the total magnification is also unnecessary. Further, since the present application requires only one objective lens, the optical system can be constructed at low cost. Further, since the lens 30 is arranged close to the optical fiber connector C which is the work, the stroke for focus position adjustment can be short.

【0029】このように本発明は、CCDカメラ38の
光軸とワークの中心とが略一致しており、CCDカメラ
38を光軸方向に後退させることによってワーク中心部
の画像を拡大することができるので、光ファイバコネク
タCのように、中心部の光ファイバ部や、光ファイバの
コア部の画像を拡大して観察する場合に特に有効であ
る。
As described above, according to the present invention, the optical axis of the CCD camera 38 and the center of the workpiece are substantially coincident with each other, and the image of the central portion of the workpiece can be enlarged by retracting the CCD camera 38 in the optical axis direction. Therefore, it is particularly effective when magnifying and observing an image of the optical fiber portion at the center or the core portion of the optical fiber as in the optical fiber connector C.

【0030】尚、上記実施の形態では、ピント合わせの
ためのAF駆動ユニット32を用いて自動焦点合わせを
行うようにしていたが、これに限らず、レンズ30の位
置の微調整を手動で行ってピント合わせを行ってもよ
い。また、対物レンズとしてレンズ30を1個のレンズ
のみで構成したが、これに限らず、複数枚のレンズを組
み合わせてもよい。また、レンズ30の位置を微調整す
る代わりにワークを微小量移動させてピント合せを行っ
てもよい。
In the above embodiment, the AF drive unit 32 for focusing is used for automatic focusing, but the present invention is not limited to this, and the position of the lens 30 is finely adjusted manually. You may focus on it. Further, although the lens 30 is composed of only one lens as an objective lens, the present invention is not limited to this, and a plurality of lenses may be combined. Further, instead of finely adjusting the position of the lens 30, the work may be moved by a small amount to perform focusing.

【0031】次に、本発明の撮像手段14を用いたワー
クの傷検査装置の好ましい実施の形態について説明す
る。図2は、本発明に係るワークの傷検査装置の構成を
示すブロック図である。なお、本実施の形態では光ファ
イバコネクタの端面に生じた傷の検査を行う場合を例に
説明する。光ファイバコネクタCは、円筒状に形成され
たフェルールFの内周部に光ファイバOを挿入して形成
される。フェルールFは、直径がφ2.5mm若しくはφ
1.25mmに形成された極小径の部品であり、たとえば
ジルコニア系セラミック材で成形されている。
Next, a preferred embodiment of a work flaw inspection apparatus using the image pickup means 14 of the present invention will be described. FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the work flaw inspection apparatus according to the present invention. In this embodiment, the case of inspecting a scratch on the end face of the optical fiber connector will be described as an example. The optical fiber connector C is formed by inserting the optical fiber O into the inner peripheral portion of a ferrule F formed in a cylindrical shape. Ferrule F has a diameter of 2.5 mm or φ
It is a component with an extremely small diameter formed to 1.25 mm and is formed of, for example, a zirconia-based ceramic material.

【0032】図2に示すように、本実施の形態の傷検査
装置10は、主としてワーク保持部12、撮像手段1
4、検査部16、ワーク供給部18、ワーク回収部20
及び制御部22で構成されている。
As shown in FIG. 2, the flaw inspection apparatus 10 of the present embodiment mainly comprises a work holding section 12 and an image pickup means 1.
4, inspection unit 16, work supply unit 18, work recovery unit 20
And a control unit 22.

【0033】ワーク保持部12は、検査対象の光ファイ
バコネクタCを保持するためのワーク保持台24を備え
ている。図3に示すように、ワーク保持台24は矩形の
ブロック状に形成されており、その上面に断面V字状の
溝26が形成されている。光ファイバコネクタCは、フ
ェルールFの部分が、この溝26に載置される。また、
このワーク保持台24の下面には吸気口28が形成され
ている。吸気口28は吸気路29を介して溝26の谷部
に連通されている。吸気口28には図示しない吸気パイ
プを介してバキュームポンプが接続されており、このバ
キュームポンプを駆動することにより、溝26内の空気
が吸引される。そして、この溝26内の空気が吸引され
ることにより、溝26に載置された光ファイバコネクタ
Cがワーク保持台24に固定される。
The work holding section 12 is provided with a work holding table 24 for holding the optical fiber connector C to be inspected. As shown in FIG. 3, the work holding table 24 is formed in a rectangular block shape, and a groove 26 having a V-shaped cross section is formed on the upper surface thereof. The ferrule F of the optical fiber connector C is placed in the groove 26. Also,
An intake port 28 is formed on the lower surface of the work holding table 24. The intake port 28 communicates with the trough of the groove 26 via an intake passage 29. A vacuum pump is connected to the intake port 28 via an intake pipe (not shown). By driving this vacuum pump, the air in the groove 26 is sucked. Then, by sucking the air in the groove 26, the optical fiber connector C placed in the groove 26 is fixed to the work holding table 24.

【0034】撮像手段14は、ワーク保持台24に保持
された光ファイバコネクタCの端面の画像をCCDカメ
ラ38で撮像する。この撮像手段14は、レンズ30、
AF駆動ユニット32、ハーフミラー34、照明ユニッ
ト36、CCDカメラ38、及びカメラ移動手段39で
構成されている。
The image pickup means 14 picks up an image of the end face of the optical fiber connector C held by the work holding table 24 by the CCD camera 38. The image pickup means 14 includes a lens 30,
It is composed of an AF drive unit 32, a half mirror 34, an illumination unit 36, a CCD camera 38, and a camera moving means 39.

【0035】レンズ30は、ワーク保持台24に保持さ
れた光ファイバコネクタCの端面に対向するように設置
され、その光軸が光ファイバコネクタCの中心軸と同軸
上に位置するように設置されている。AF駆動ユニット
32は、レンズ30をAF駆動する。すなわち、図示し
ない測距センサの測距情報に基きレンズ30のピント位
置を光ファイバコネクタCの端面に合わせる。
The lens 30 is installed so as to face the end face of the optical fiber connector C held by the work holding table 24, and its optical axis is installed coaxially with the central axis of the optical fiber connector C. ing. The AF drive unit 32 AF-drives the lens 30. That is, the focus position of the lens 30 is adjusted to the end face of the optical fiber connector C based on the distance measurement information of the distance measurement sensor (not shown).

【0036】ハーフミラー34は、レンズ30の後方に
配置され、照明ユニット36に備えられた照明用ランプ
(不図示)からの照明光をレンズ30を通して光ファイ
バコネクタCの端面に照射する。光ファイバコネクタC
の端面に照射された照明光は、光ファイバコネクタCの
端面で反射し、その反射光はレンズ30、ハーフミラー
34を通ってCCDカメラ38のCCD撮像面38A上
に結像される。CCDカメラ38は、その画像データを
検査部16に出力する。また、カメラ移動手段39は、
CCDカメラ38を光軸上で移動させる。
The half mirror 34 is disposed behind the lens 30 and irradiates the end face of the optical fiber connector C with illumination light from an illumination lamp (not shown) provided in the illumination unit 36 through the lens 30. Optical fiber connector C
The illuminating light applied to the end surface of the optical fiber is reflected by the end surface of the optical fiber connector C, and the reflected light passes through the lens 30 and the half mirror 34 and is imaged on the CCD image pickup surface 38A of the CCD camera 38. The CCD camera 38 outputs the image data to the inspection unit 16. Further, the camera moving means 39 is
The CCD camera 38 is moved on the optical axis.

【0037】検査部16は、CCDカメラ38で撮像さ
れた光ファイバコネクタ端面の画像データに基づき傷検
査を実施する。CCDカメラ38から出力された光ファ
イバコネクタ端面の画像データは画像処理ボード40を
介して、傷部と傷周辺部との平均明度差を算出する明度
差算出手段、及び算出された明度差から傷を判定する判
定手段として機能するパーソナルコンピュータ42に入
力される。
The inspection section 16 carries out a flaw inspection based on the image data of the end face of the optical fiber connector taken by the CCD camera 38. The image data of the end face of the optical fiber connector output from the CCD camera 38 is processed through the image processing board 40 to calculate the brightness difference between the scratch and the peripheral part of the scratch, and the brightness difference calculating means for calculating the brightness difference from the calculated brightness difference. Is input to the personal computer 42 that functions as a determination unit for determining.

【0038】パーソナルコンピュータ42は、入力され
た画像データを画像処理して検査対象の光ファイバコネ
クタCの合否判定を実施する。このパーソナルコンピュ
ータ42には、入力手段としてのキーボード44と、表
示手段としてのディスプレイ46とが接続されている。
また、パーソナルコンピュータ42に内蔵されたメモリ
には、検査を実施するためのプログラムが記憶されてい
る。
The personal computer 42 performs image processing on the input image data to judge whether the optical fiber connector C to be inspected is acceptable or not. A keyboard 44 as an input unit and a display 46 as a display unit are connected to the personal computer 42.
A program for performing the inspection is stored in the memory built in the personal computer 42.

【0039】ワーク供給部18は、図示しない供給スト
ッカに多数収納された光ファイバコネクタCを1本ずつ
ワーク保持台24に自動給送する。
The work supply section 18 automatically feeds a plurality of optical fiber connectors C, which are stored in a supply stocker (not shown), to the work holding table 24 one by one.

【0040】ワーク回収部20は、検査が終了した光フ
ァイバコネクタCをワーク保持台24から回収し、その
測定結果に応じて所定の回収ストッカ(図示せず)に分
別する。
The work collecting section 20 collects the optical fiber connector C which has been inspected from the work holding table 24 and sorts it into a predetermined collecting stocker (not shown) according to the measurement result.

【0041】制御部22は、パーソナルコンピュータ4
2からの制御信号に基づき傷検査装置10を構成する個
々の装置を制御する。
The control unit 22 is a personal computer 4
Based on the control signal from 2, the individual devices that constitute the flaw inspection device 10 are controlled.

【0042】以上のように構成された本実施の形態の傷
検査装置10による光ファイバコネクタ端面の傷検査装
置の作用は次のとおりである。
The operation of the flaw inspecting apparatus for the end face of the optical fiber connector by the flaw inspecting apparatus 10 of the present embodiment configured as described above is as follows.

【0043】パーソナルコンピュータ42からの制御信
号に基づいて制御部22からワーク供給部18に駆動信
号が出力される。これにより、図示しない供給ストッカ
から1本の光ファイバコネクタCがワーク保持台24に
供給され、所定の位置に載置される。光ファイバコネク
タCがワーク保持台24に載置されると、制御部22に
よって図示しないバキュームポンプが駆動され、光ファ
イバコネクタCがワーク保持台24に固定される。
A drive signal is output from the control section 22 to the work supply section 18 based on a control signal from the personal computer 42. As a result, one optical fiber connector C is supplied from the supply stocker (not shown) to the work holding table 24 and placed at a predetermined position. When the optical fiber connector C is placed on the work holder 24, the control unit 22 drives a vacuum pump (not shown) to fix the optical fiber connector C to the work holder 24.

【0044】次に、制御部22から照明ユニット36に
駆動信号が出力され、照明用ランプ(不図示)が点灯さ
れる。この照明用ランプからの照明光は、ハーフミラー
34によってレンズ30の方向に導かれ、そのレンズ3
0を通って光ファイバコネクタCの端面に照射される。
Next, a drive signal is output from the control unit 22 to the lighting unit 36, and a lighting lamp (not shown) is turned on. The illumination light from the illumination lamp is guided by the half mirror 34 toward the lens 30, and the lens 3
It is irradiated onto the end face of the optical fiber connector C through 0.

【0045】次に、制御部22からAF駆動ユニット3
2に駆動信号が出力され、レンズ30がAF駆動され
る。これにより、レンズ30のピント位置がワーク保持
台24に保持された光ファイバコネクタCの端面に合わ
せられる。
Next, from the control section 22 to the AF drive unit 3
A drive signal is output to 2 and the lens 30 is AF-driven. As a result, the focus position of the lens 30 is aligned with the end surface of the optical fiber connector C held by the work holding table 24.

【0046】次に、ワーク保持台24に保持された光フ
ァイバコネクタCの端面の像がCCDカメラ38によっ
て撮像される。ここで、このCCDカメラ38によって
撮像される領域Aは、図3及び図5に示すように、光フ
ァイバコネクタCの端面全体が撮像されるように設定さ
れる。
Next, an image of the end face of the optical fiber connector C held on the work holding table 24 is picked up by the CCD camera 38. Here, the area A imaged by the CCD camera 38 is set so that the entire end face of the optical fiber connector C is imaged, as shown in FIGS. 3 and 5.

【0047】CCDカメラ38によって撮像された光フ
ァイバコネクタ端面の画像データは、画像処理ボード4
0を介してパーソナルコンピュータ42に入力される。
パーソナルコンピュータ42は、内蔵するメモリにあら
かじめ記憶されたプログラムに従ってその光ファイバコ
ネクタCの合否判定を実施する。この光ファイバコネク
タCの合否判定の処理は、図4に示すフローチャートに
従って次のように行われる。
The image data of the end face of the optical fiber connector taken by the CCD camera 38 is used as the image processing board 4.
It is input to the personal computer 42 via 0.
The personal computer 42 carries out the pass / fail judgment of the optical fiber connector C according to a program stored in advance in a built-in memory. The pass / fail judgment process of the optical fiber connector C is performed as follows according to the flowchart shown in FIG.

【0048】パーソナルコンピュータ42は、CCDカ
メラ38から光ファイバコネクタ端面の画像データを取
得すると(ステップS1)、その画像データから傷部W
の抽出を行う(ステップS2)。傷部Wの抽出は、画像
データからCCDを構成する個々の画素の明度を求め、
その明度が基準値を超えている画素を特定することによ
り行う。なお、この基準値はユーザが決定し、検査開始
前にあらかじめキーボード44からパーソナルコンピュ
ータ42に入力しておく。
When the personal computer 42 acquires the image data of the end face of the optical fiber connector from the CCD camera 38 (step S1), the scratch W is obtained from the image data.
Is extracted (step S2). The extraction of the scratched portion W is performed by obtaining the brightness of each pixel forming the CCD from the image data,
This is done by identifying pixels whose brightness exceeds the reference value. Note that this reference value is determined by the user and is input to the personal computer 42 from the keyboard 44 in advance before the inspection is started.

【0049】次に、明度差演算手段としてのパーソナル
コンピュータ42は、抽出した傷部Wの平均明度L1
算出する(ステップS3)。この傷部Wの平均明度L1
は、図5に示すように、傷部Wを構成する個々の画素P
1 、P2 (図5において領域Wの画素P1 、P2 )の明
度の平均値として算出する。
Next, the personal computer 42 as the lightness difference calculating means calculates the average lightness L 1 of the extracted scratch W (step S3). Average brightness L 1 of this scratch W
As shown in FIG. 5, each pixel P forming the scratched portion W is
1 and P 2 (pixels P 1 and P 2 in the area W in FIG. 5) are calculated as average values of brightness.

【0050】次に、パーソナルコンピュータ42は、抽
出した傷部周辺Tの平均明度L0 を算出する(ステップ
S4)。この傷部周辺Tの平均明度L0 は、図5に示す
ように、傷部Wの輪郭部を構成する画素P2 に隣接する
画素P0 (図5において領域Wの画素P0 )の明度の平
均値として算出する。
Next, the personal computer 42 calculates the average brightness L 0 around the extracted wound portion T (step S4). Average brightness L 0 of the flaw peripheral T, as shown in FIG. 5, the brightness of the pixel P 0 adjacent to the pixel P 2 constituting the contour of the wound portion W (pixel P 0 of the region W in FIG. 5) It is calculated as the average value of.

【0051】次に、パーソナルコンピュータ42は、求
めた傷部Wの平均明度L1 と傷部周辺Tの平均明度L0
との明度差ΔL(ΔL=L0 −L1 )を算出する(ステ
ップS5)。そして、傷認定の判定手段としてのパーソ
ナルコンピュータ42は、その求めた明度差ΔLと基準
明度差Mとを比較する(ステップS6)。比較の結果、
求めた明度差ΔLが、基準明度差Mを超えている場合
は、当該傷部Wを光ファイバの性能に影響を及ぼす「N
G傷」と判定し(ステップS7)、基準明度差M以下の
場合は、当該傷部Wを光ファイバの性能には影響を及ぼ
さない「OK傷」と判定する(ステップS8)。
Next, the personal computer 42 determines the average brightness L 1 of the scratched portion W and the average brightness L 0 around the scratched portion T obtained.
Then, a brightness difference ΔL (ΔL = L 0 −L 1 ) is calculated (step S5). Then, the personal computer 42 as the scratch recognition determination means compares the obtained brightness difference ΔL with the reference brightness difference M (step S6). As a result of the comparison,
When the calculated brightness difference ΔL exceeds the reference brightness difference M, the flaw W affects the performance of the optical fiber by “N”.
If it is less than or equal to the reference lightness difference M, it is determined that the flaw W is an “OK flaw” that does not affect the performance of the optical fiber (step S8).

【0052】すなわち、傷部Wは、同じ大きさであって
も、その深さが違えば光ファイバの性能に及ぼす影響も
違ってくるので、傷部Wの深さに応じて「OK傷」か
「NG傷」かを判別する必要がある。
That is, even if the scratches W have the same size, different depths have different effects on the performance of the optical fiber. Therefore, "OK scratches" depending on the depth of the scratches W. It is necessary to determine whether it is "NG scratch".

【0053】ここで、CCD上に映し出される傷部W
は、その深さが違えば明度が異なって映し出されるの
で、その傷部Wの平均明度を求めれば、傷部Wの深さを
把握することができる。
Here, the scratched portion W projected on the CCD
If the depth is different, the lightness is reflected differently, and therefore, if the average lightness of the scratch W is obtained, the depth of the scratch W can be grasped.

【0054】そこで、本実施の形態の傷検査装置では、
傷部Wの平均明度L1 を求め、その傷部Wの平均明度L
1 が、傷部周辺Tの平均明度L0 に対して一定値(基準
明度差M)以上であることをもって光ファイバの性能に
影響を及ぼす傷、すなわち「NG傷」と認定する。
Therefore, in the flaw inspection apparatus of the present embodiment,
The average brightness L 1 of the scratch W is calculated, and the average brightness L of the scratch W is calculated.
The fact that 1 is a certain value (reference lightness difference M) or more with respect to the average brightness L 0 around the scratched portion T is recognized as a scratch that affects the performance of the optical fiber, that is, “NG scratch”.

【0055】なお、この基準明度差Mはユーザが決定
し、検査開始前にあらかじめキーボード44からパーソ
ナルコンピュータ42に入力しておく。また、その値は
実験結果等に基づいて決定する。
The reference lightness difference M is determined by the user and is input to the personal computer 42 from the keyboard 44 in advance before the inspection is started. Moreover, the value is determined based on the experimental results and the like.

【0056】また、光ファイバコネクタCの光ファイバ
Oの端面を拡大して検査する場合は、CCDカメラ38
を光軸方向に後退させ、AF駆動ユニット32によって
レンズ30の位置を微調整してピント合せを行い、前述
のように傷検査を行う。
When the end face of the optical fiber O of the optical fiber connector C is enlarged and inspected, the CCD camera 38 is used.
Is retracted in the optical axis direction, the position of the lens 30 is finely adjusted by the AF drive unit 32 to perform focusing, and the flaw inspection is performed as described above.

【0057】以上により光ファイバコネクタCの端面の
傷検査が終了する。この判定結果は、傷部Wの平均明度
1 、傷部周辺Tの平均明度L0 及び明度差ΔLととも
にディスプレイ46上に表示される。なお、傷部Wが複
数個所にある場合は、各個所の傷部Wについて検査が行
われる。
With the above, the flaw inspection of the end face of the optical fiber connector C is completed. This determination result is displayed on the display 46 together with the average brightness L 1 of the scratch W, the average brightness L 0 of the wound periphery T, and the brightness difference ΔL. When there are a plurality of scratches W, the scratches W at each spot are inspected.

【0058】この後、パーソナルコンピュータ42は、
制御部22に検査終了信号を出力し、制御部22は、そ
の信号を受けてワーク回収部20に駆動信号を出力す
る。ワーク回収部20は、ワーク保持台24から光ファ
イバコネクタを回収し、その検査結果に基づいて図示し
ないストッカに分別回収する。すなわち、傷部がない、
若しくは傷部があっても「OK傷」と判定された「OK
光ファイバコネクタ」と、「NG傷」を有する「NG光
ファイバコネクタ」とを別々のストッカに分別して回収
する。
After that, the personal computer 42
The inspection end signal is output to the control unit 22, and the control unit 22 receives the signal and outputs the drive signal to the work recovery unit 20. The work collecting unit 20 collects the optical fiber connectors from the work holding table 24, and sorts and collects them into a stocker (not shown) based on the inspection result. That is, there are no scratches,
Or, even if there is a scratch, it is judged as “OK” and “OK”.
The "optical fiber connector" and the "NG optical fiber connector" having the "NG scratch" are separated and collected in different stockers.

【0059】以上一連の工程を経ることにより、1つの
光ファイバコネクタCの検査が終了する。以下、同様の
手順で検査が行われる。
The inspection of one optical fiber connector C is completed through the series of steps described above. Hereinafter, the inspection is performed in the same procedure.

【0060】このように本実施の形態の傷検査装置10
によれば、傷部Wの深さに基づいて光ファイバの性能に
影響を及ぼす傷か否かの判定を行うことができる。これ
により、一定の大きさの傷を有する光ファイバコネクタ
であっても、その傷が浅く、光ファイバの性能に影響を
及ぼさないような傷の場合には、有効な製品と判断する
ことができ、実情に即した判断ができる。
As described above, the flaw inspection apparatus 10 of the present embodiment
According to this, it is possible to determine whether or not there is a flaw affecting the performance of the optical fiber based on the depth of the flaw W. As a result, even if the optical fiber connector has a certain size of scratch, if the scratch is shallow and does not affect the performance of the optical fiber, it can be judged as an effective product. , You can make a judgment according to the actual situation.

【0061】尚、本実施の形態では、傷の深さに基づい
て光ファイバコネクタの合否を判定しているが、更に傷
部の数に基づいて光ファイバコネクタの合否を判定する
ようにしてもよい。すなわち、一定個以上の「NG傷」
を有する光ファイバコネクタをNG光ファイバコネクタ
と判定したり、「OK傷」であっても、規定数(ユーザ
が設定)以上ある場合はNG光ファイバコネクタと判定
したりするようにしてもよい。
Although the pass / fail of the optical fiber connector is determined based on the depth of the scratch in the present embodiment, the pass / fail of the optical fiber connector may be determined based on the number of scratches. Good. That is, a certain number or more of "NG scratches"
May be determined to be an NG optical fiber connector, or may be determined to be an NG optical fiber connector if there are more than a prescribed number (set by the user) even if the number is “OK”.

【0062】なお、上述した実施の形態では、本発明を
光ファイバコネクタの端面の傷検査方法に適用した例で
説明したが、本発明の適用は、これに限定されるもので
はなく、たとえば、光ファイバコネクタの外周面の傷検
査にも用いることができるとともに、光ファイバコネク
タ以外のワークの表面に形成された傷の検査も行うこと
ができる。
In the above-described embodiments, the present invention is applied to the method for inspecting the end face of the optical fiber connector. However, the application of the present invention is not limited to this. It can be used to inspect for scratches on the outer peripheral surface of the optical fiber connector, and can also inspect for scratches formed on the surface of the work other than the optical fiber connector.

【0063】また、本実施の形態では、傷部周辺の平均
明度を算出する際、傷部に隣接する画素の平均明度を求
めているが、この他、傷部を含む一定の領域を特定し、
その領域内における傷部以外の部分の平均明度を求めて
傷部周辺の平均明度としてもよい。また、あらかじめ光
ファイバコネクタ端面を複数の領域に分割しておき、そ
の領域内における傷部以外の部分の平均明度を求めて傷
部周辺の平均明度としてもよい。さらに、傷部以外の光
ファイバコネクタ端面の全体の平均明度を求めて傷部周
辺の平均明度としてもよい。
Further, in the present embodiment, when the average brightness around the scratch is calculated, the average brightness of the pixels adjacent to the scratch is calculated, but in addition to this, a certain area including the scratch is specified. ,
The average brightness of the portion other than the scratch in the area may be obtained and used as the average brightness around the scratch. Alternatively, the end face of the optical fiber connector may be divided into a plurality of areas in advance, and the average brightness of the portion other than the scratch in the area may be obtained and used as the average brightness around the scratch. Furthermore, the average brightness of the entire end face of the optical fiber connector other than the scratch may be obtained and used as the average brightness around the scratch.

【0064】なお、CCDカメラ38で撮像して得られ
る画像は、傷がない部分においても、明度にムラが生じ
ることから、上述した実施の形態のように、傷部に隣接
する画素の平均明度を求めて、これを傷部周辺の平均明
度とする方法が、もっとも正確な検査を行うことができ
る。
Since the image obtained by the CCD camera 38 has unevenness in brightness even in a part without a scratch, the average brightness of the pixels adjacent to the scratch is as in the above-described embodiment. The most accurate inspection can be carried out by obtaining the value of the average brightness around the scratch.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の撮像手段
によれば、CCDカメラの位置を移動して、対物レンズ
でピント合わせをするだけで低倍率/広視野の画像から
高倍率/狭視野の画像を容易に撮像することができる。
また、本願ではズームレンズを使用していないので、ズ
ームのための駆動機構が不要であり、更に総合倍率を上
げるための接眼レンズも不要である。また、本願は対物
レンズ1個で済むため、光学系が安価に構成できる。更
に対物レンズがワークに近接して配置されているため、
フォーカス位置合わせのためのストロークが短くて済
む。従って、容易に撮像倍率と視野範囲を変更できる安
価な撮像手段を得ることができる。
As described above, according to the image pickup means of the present invention, by moving the position of the CCD camera and focusing with the objective lens, it is possible to change from a low-magnification / wide-field image to a high-magnification / narrow field. It is possible to easily capture an image of the field of view.
Further, since the zoom lens is not used in the present application, a drive mechanism for zooming is unnecessary, and an eyepiece lens for increasing the total magnification is also unnecessary. Further, since the present application requires only one objective lens, the optical system can be constructed at low cost. Furthermore, since the objective lens is placed close to the workpiece,
The stroke for focus alignment is short. Therefore, it is possible to obtain an inexpensive image pickup means which can easily change the image pickup magnification and the visual field range.

【0066】また、本発明の傷検査装置によれば、安価
な撮像手段を用いているので、トータルコストを低く抑
えることができる。更に、ワークの表面に形成された傷
部の深さを考慮したワークの合否判定が可能になる。こ
れにより、表面に一定の大きさの傷を有するワークであ
っても、その傷が浅く、ワークの性能に影響を及ぼさな
いような傷の場合には、有効なワークと判断することが
でき、実情に即した判断が可能になる。
Further, according to the flaw inspection apparatus of the present invention, since the inexpensive image pickup means is used, the total cost can be kept low. Further, it becomes possible to judge whether the work is acceptable or not in consideration of the depth of the scratched portion formed on the surface of the work. As a result, even a work having a certain size of scratch on the surface can be determined as an effective work if the scratch is shallow and does not affect the performance of the work. Judgment according to the actual situation becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施の形態の撮像手段の構成を示す概念図FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of an image pickup means of the present embodiment.

【図2】本実施の形態の傷検査装置の概略構成を示すブ
ロック図
FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a flaw inspection apparatus according to the present embodiment.

【図3】ワーク保持台の構成を示す正面図FIG. 3 is a front view showing the configuration of a work holding table.

【図4】傷検査方法を示すフローチャートFIG. 4 is a flowchart showing a flaw inspection method.

【図5】傷検査方法の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of a flaw inspection method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…傷検査装置、12…ワーク保持部、14…撮像手
段、16…検査部、18…ワーク供給部、20…ワーク
回収部、22…制御部、24…ワーク保持台、30…レ
ンズ、32…AF駆動ユニット、34…ハーフミラー、
36…照明ユニット、38…CCDカメラ(カメラ)、
39…カメラ移動手段、40…画像処理ボード、42…
パーソナルコンピュータ(明度差演算手段、判定手
段)、44…キーボード、46…ディスプレイ、C…光
ファイバコネクタ、O…光ファイバ、F…フェルール、
W…傷部、T…傷部周辺、P…画素、P1 …傷部の画
素、P2…傷部の輪郭を構成する画素、P0 …傷部に隣
接する画素、L1 …傷部の平均明度、L0 …傷部周辺の
平均明度、ΔL…明度差、M…基準明度差
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Scratch inspection device, 12 ... Work holding part, 14 ... Imaging means, 16 ... Inspection part, 18 ... Work supply part, 20 ... Work collection part, 22 ... Control part, 24 ... Work holding stand, 30 ... Lens, 32 ... AF drive unit, 34 ... Half mirror,
36 ... Illumination unit, 38 ... CCD camera (camera),
39 ... Camera moving means, 40 ... Image processing board, 42 ...
Personal computer (brightness difference calculation means, determination means), 44 ... Keyboard, 46 ... Display, C ... Optical fiber connector, O ... Optical fiber, F ... Ferrule,
W ... flaw, T ... flaw neighborhood, P ... pixel, P 1 ... pixel wound portion, pixels constituting the contour of P 2 ... flaw, pixels adjacent to P 0 ... flaw, L 1 ... flaw Average lightness of L 0 , average lightness around the scratched portion, ΔL, lightness difference, M, reference lightness difference

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ワークの近傍に配置され、該ワークの像を
結像させるレンズと、 該レンズを挟んで前記ワークと反対側に配置され、前記
ワークを撮像するカメラと、 該カメラを光軸方向に移動させるカメラ移動手段と、 前記レンズの位置を微調整して前記カメラの撮像面のピ
ントを合わせる合焦点手段と、を有し、 前記カメラを光軸方向に移動するとともに前記レンズで
ピント合わせを行うことにより、撮像倍率が変更される
ように構成されたことを特徴とする撮像手段。
1. A lens arranged near a work for forming an image of the work, a camera arranged on the opposite side of the work with the lens interposed therebetween, and a camera for picking up the work, and an optical axis of the camera. Camera moving means for moving the camera in a direction, and focusing means for finely adjusting the position of the lens to focus the image pickup surface of the camera, and moving the camera in the optical axis direction and focusing with the lens. An image pickup means characterized in that the image pickup magnification is changed by performing matching.
【請求項2】ワークの表面に生じた傷の有無を検査する
ワークの傷検査装置において、 ワークの検査対象面を撮像する前記請求項1に記載の撮
像手段と、 前記撮像手段で撮像された画像データから傷の判定を行
う判定手段と、 が設けられていることを特徴とするワークの傷検査装
置。
2. A work scratch inspection apparatus for inspecting the presence or absence of a scratch on the surface of a work, wherein the image pick-up means according to claim 1 picks up an image of an inspection target surface of the work, and the image pick-up means picks up an image. A scratch inspection device for a work, comprising: a judging unit for judging a scratch from image data;
【請求項3】前記ワークの傷検査装置には、前記撮像手
段で撮像された画像データから傷部の平均明度と傷部周
辺の平均明度とを算出して、その明度差を算出する明度
差演算手段が設けられ、 前記判定手段は、前記明度差演算手段で算出した明度差
が、あらかじめ設定した基準明度差を超えているか否か
を判定し、超えていると判定した場合に傷と認定する判
定手段であることを特徴とする、請求項2に記載のワー
クの傷検査装置。
3. A work difference inspection device for calculating a difference in brightness between an average brightness of a scratch and an average brightness around a scratch from image data picked up by the image pickup means. Computation means is provided, and the determination means determines whether or not the brightness difference calculated by the brightness difference calculation means exceeds a preset reference brightness difference, and if it is determined that the brightness difference is determined to be a scratch. The scratch inspection device for a workpiece according to claim 2, wherein the scratch inspection device is a determination unit for performing the inspection.
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