JP2003344133A - Flowmeter - Google Patents

Flowmeter

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JP2003344133A
JP2003344133A JP2002160430A JP2002160430A JP2003344133A JP 2003344133 A JP2003344133 A JP 2003344133A JP 2002160430 A JP2002160430 A JP 2002160430A JP 2002160430 A JP2002160430 A JP 2002160430A JP 2003344133 A JP2003344133 A JP 2003344133A
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JP
Japan
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flow
flow passage
sensor
flowmeter
case body
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002160430A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Inagaki
広行 稲垣
Junichi Iseya
順一 伊勢谷
Takeshi Watanabe
剛 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
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Publication of JP2003344133A publication Critical patent/JP2003344133A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem in the trouble and the time required in the inspection work that the inspection work is troublesome because the flowmeter must be disassembled and taken off from the piping to see the inside of a flow passage, in confirming the unstable measurement due to breakdown or a foreign body; and that the re-adjustment in the assembly after the inspection is required, and so forth. <P>SOLUTION: A transparent case main body 10, a flow passage 18 formed inside the transparent case main body, and a sensor 28 which is arranged so as to be facing to the inside of the flow passage, are provided. The visual recognition whether the foreign body is stuck to the sensor or not can be performed without taking off the flowmeter from the piping and without disassembling the flowmeter. Thus, the inspection work is simplified. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流量計に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の流量計としては、特開平11−2
30803号公報に開示されたものがある。この流量計
は、図4に示したように、流路1を形成したケース本体
2の上部に回路基板3を設置し、流路1を画成する壁2
aに形成した穴8からマイクロフローセンサ4(以下、
センサと略称する)を流路1内に臨ませるとともに、該
センサのリード線4aを回路基板3に導いている。ま
た、この流量計は、流路1の入口5に複数枚の網板を間
隔をもって配置させた整流部6を備えている。そして、
この流量計は、入口ポート5から流入した流体を整流部
6で層流にしてセンサ4に案内し、そこで流量を計測す
る。
2. Description of the Related Art As a conventional flow meter, Japanese Patent Laid-Open No. 11-2
There is one disclosed in Japanese Patent No. 30803. As shown in FIG. 4, in this flowmeter, a circuit board 3 is installed on an upper part of a case body 2 in which a flow path 1 is formed, and a wall 2 defining the flow path 1 is provided.
From the hole 8 formed in a to the micro flow sensor 4 (hereinafter,
(Abbreviated as a sensor) is exposed in the flow path 1, and the lead wire 4a of the sensor is led to the circuit board 3. Further, this flow meter is provided with a rectifying section 6 in which a plurality of mesh plates are arranged at intervals at the inlet 5 of the flow path 1. And
In this flow meter, the fluid flowing from the inlet port 5 is made a laminar flow in the rectifying unit 6 and is guided to the sensor 4, where the flow rate is measured.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の流量計は以上の
ように構成されているので、整流部6の網板によって異
物等をある程度補足できる。しかし、微少な異物を補足
するのは難しく、流路1内に侵入した異物がセンサ4等
に付着する場合がある。その場合には、計測が不安定に
なってしまう。
Since the conventional flowmeter is constructed as described above, the net plate of the rectifying section 6 can trap foreign matters and the like to some extent. However, it is difficult to capture a minute foreign substance, and the foreign substance that has entered the flow path 1 may adhere to the sensor 4 or the like. In that case, the measurement becomes unstable.

【0004】計測が不安定になった際に、その原因とし
て異物がセンサ4に付着したためか、他の部品等の電気
的な障害のためかの判断ができない。異物がセンサ4に
付着した場合には、その都度流量計を配管から外し、流
量計を分解して流路内部を見なければならないため、点
検作業が面倒で、点検組み付け後に再度調整が必要にな
る等、点検に手数と時間を要するという課題があった。
When the measurement becomes unstable, it is not possible to determine whether the cause is that a foreign substance adheres to the sensor 4 or an electrical failure of other parts. When a foreign substance adheres to the sensor 4, the flow meter must be removed from the pipe each time, and the flow meter must be disassembled to look inside the flow path, so the inspection work is troublesome and readjustment is required after inspection and assembly. However, there is a problem that the inspection requires time and labor.

【0005】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、故障、異物による計測の不安定
の確認等を容易に行える流量計を提供することを目的と
する。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a flow meter capable of easily confirming measurement instability due to a failure or foreign matter.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明に係る流量計
は、内部に形成した流路および該流路に臨ませて配設し
たセンサを外部から視認できるようにケース本体を透明
体で形成したものである。
In the flowmeter according to the present invention, the case main body is formed of a transparent body so that the flow passage formed inside and the sensor arranged facing the flow passage can be visually recognized from the outside. It is a thing.

【0007】この発明に係る流量計は、センサに対向す
る流路の壁面を凸レンズ状に形成したものである。
In the flow meter according to the present invention, the wall surface of the flow path facing the sensor is formed in a convex lens shape.

【0008】この発明に係る流量計における流路は、入
口ポートおよび出口ポートに対してそれぞれ垂直な方向
に連通する流路部分と、それらの流路部分間を連通する
該流路部分に対して垂直な方向の流路部分とによって構
成したものである。
The flow channel in the flowmeter according to the present invention is provided with respect to a flow channel portion which communicates with the inlet port and the outlet port in a direction perpendicular to each other and a flow channel portion which communicates between the flow channel portions. And a flow path portion in a vertical direction.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明に係る流量計の概念的な
分解斜視図、図2はその縦断面図、図3は図2における
A―A線断面図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1. 1 is a conceptual exploded perspective view of a flowmeter according to the present invention, FIG. 2 is a vertical sectional view thereof, and FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG.

【0010】この流量計は、図1に示したように、透明
な樹脂によって一体形成されたケース本体10,このケ
ース本体に一端部が回動自在に支持された蓋体11,ケ
ース本体10内に取り付けられる回路基板12等を備え
ている。
As shown in FIG. 1, the flowmeter includes a case body 10 integrally formed of a transparent resin, a lid 11 whose one end is rotatably supported by the case body 10, and a case body 10. The circuit board 12 and the like attached to the.

【0011】ケース本体10は、図1に示したように、
上部に上方に開口する凹部13を有している。この凹部
13の底壁14には上方に開口する溝15が形成されて
おり、該溝15の両端底面には、該溝15に対して垂直
下方へ延びる穴16,17が形成されている。そして、
溝15の幅と穴16,17の幅は同一であり、溝15の
深さaは穴16,17の間隙bよりも小さく設定されて
いる。これらの穴16,17は、流路18の流路部分1
8a,18bを構成するもので、穴16,17の下端部
は、ケース本体10の端面に形成された入口ポート1
9,出口ポート20にそれぞれ垂直に連通されている。
The case body 10 is, as shown in FIG.
The upper part has a recess 13 that opens upward. A groove 15 opening upward is formed in a bottom wall 14 of the recess 13, and holes 16 and 17 extending vertically downward with respect to the groove 15 are formed in bottom surfaces of both ends of the groove 15. And
The width of the groove 15 is the same as the width of the holes 16 and 17, and the depth a of the groove 15 is set smaller than the gap b between the holes 16 and 17. These holes 16 and 17 are formed in the flow path portion 1 of the flow path 18.
8a, 18b, and the lower end portions of the holes 16, 17 are the inlet port 1 formed on the end surface of the case body 10.
9 and the outlet port 20 are vertically communicated with each other.

【0012】図2に示したように、溝15のセンサ28
に対向する底面には、流路部分内18cに突出する弧状
面21が形成されており、該弧状面21に対向するケー
ス本体10の外面には、外側に突出する弧状面22が形
成されている。そして、弧状面21,22によって両面
凸レンズ23が構成されている。また、センサ28に対
向する溝15の側壁には、図3に示したように、流路部
分内18cに突出する弧状面24,24が形成されてお
り、その溝15の開口周縁に沿ってリブ25が形成され
ている。
As shown in FIG. 2, the sensor 28 of the groove 15 is
An arcuate surface 21 projecting into the flow path portion 18c is formed on the bottom surface opposed to the arcuate surface 21, and an arcuate surface 22 projecting outward is formed on the outer surface of the case body 10 facing the arcuate surface 21. There is. The arcuate surfaces 21 and 22 form the double-sided convex lens 23. Further, as shown in FIG. 3, on the side wall of the groove 15 facing the sensor 28, arc-shaped surfaces 24, 24 projecting into the flow path portion 18c are formed, and along the periphery of the opening of the groove 15. Ribs 25 are formed.

【0013】一方、上記蓋体11は、一端部の側方に軸
11a,11aが形成され、該軸11a,11aを凹部
13の側壁26,26に形成した孔26a,26aに挿
嵌させることによってケース本体10に対して回動自在
に支持されている。この蓋体11の先端には、爪11b
が形成されている。そして、この蓋体11は、爪11b
が凹部13の側壁26に形成した切欠き26bに係合す
ることによって凹部13の開口を塞ぐ。
On the other hand, the lid 11 has shafts 11a, 11a formed on one side of one end thereof, and the shafts 11a, 11a are inserted into holes 26a, 26a formed in the side walls 26, 26 of the recess 13 respectively. It is rotatably supported by the case body 10. At the tip of the lid body 11, a claw 11b is provided.
Are formed. Then, the lid 11 has the claw 11b.
Engages with the notch 26b formed in the side wall 26 of the recess 13 to close the opening of the recess 13.

【0014】上記回路基板12はセラミック基板であ
り、この回路基板12の上面には、コネクタ27や各種
機能をもった素子が搭載されており、回路基板12の下
面中央部には、不図示の電路を介してマイクロフローセ
ンサ28が接着等によって配設されている。このマイク
ロフローセンサ28は、例えばヒータエレメントを挟む
ように測温抵抗エレメントが配置されたフローセンサで
ある。
The circuit board 12 is a ceramic board. A connector 27 and elements having various functions are mounted on the upper surface of the circuit board 12, and a central portion of the lower surface of the circuit board 12 is not shown. The micro flow sensor 28 is arranged by adhesion or the like via an electric path. The micro flow sensor 28 is, for example, a flow sensor in which a temperature measuring resistance element is arranged so as to sandwich a heater element.

【0015】そして、この回路基板12は、図2に示し
たように、凹部13の底壁14に形成したリブ25に載
置され、接着剤29によって凹部13の底壁14に固定
される。
As shown in FIG. 2, the circuit board 12 is mounted on the ribs 25 formed on the bottom wall 14 of the recess 13 and fixed to the bottom wall 14 of the recess 13 by the adhesive 29.

【0016】このようにして、設置された回路基板12
は、溝15の開口を完全に塞ぎ、回路基板12を一壁面
として流路18の流路部分18cを構成する。そして、
回路基板12に固定されたマイクロフローセンサ28
は、図2に示したように、レンズ23の中央上方で、図
3に仮想線で示したように、弧状面24,24間に位置
される。
The circuit board 12 thus installed
Completely closes the opening of the groove 15 and forms the flow path portion 18c of the flow path 18 with the circuit board 12 as one wall surface. And
Micro flow sensor 28 fixed to the circuit board 12
Is located above the center of the lens 23, as shown in FIG. 2, and between the arcuate surfaces 24, 24, as shown in phantom in FIG.

【0017】また、この流量計では、入口ポート19,
出口ポート20がケース本体10に埋め込まれた金属製
管体30,30によって形成されている。そして、この
金属製管体30,30の内周面には雌ねじ31,31が
形成されている。
Further, in this flow meter, the inlet port 19,
The outlet port 20 is formed by the metal pipe bodies 30 and 30 embedded in the case body 10. Female screws 31, 31 are formed on the inner peripheral surfaces of the metal pipe bodies 30, 30.

【0018】このように構成された流量計は、図1に示
したように、入口ポート19の雌ねじ31に例えば、先
端に吸着パッド(図示せず)等を備えたホース32のコ
ネクタ33が螺合され、ポート20の雌ねじ31に真空
ポンプ(図示せず)等に接続したホース34のコネクタ
35が螺合される。その際に、コネクタ33とケース本
体10との間,コネクタ35とケース本体10との間に
は、ガスケット36,36がそれぞれ介在される。
In the flowmeter thus constructed, as shown in FIG. 1, a female screw 31 of the inlet port 19 is screwed with a connector 33 of a hose 32 having a suction pad (not shown) at the tip. Then, the connector 35 of the hose 34 connected to a vacuum pump (not shown) or the like is screwed into the female screw 31 of the port 20. At that time, gaskets 36 and 36 are respectively interposed between the connector 33 and the case body 10 and between the connector 35 and the case body 10.

【0019】そして、真空ポンプを作動させると、流体
例えば空気は入口ポート19から流路18の流路部分1
8aに吸引され、流路部分18c,18b,出口ポート
20を経て真空ポンプに吸引される。その際、流体は流
路部分18aで先ず偏流される。次いで、深さが浅く流
路断面積が縮小された流路部分18cで層流とされ、さ
らに弧状面21,24,24による絞り部によって整流
され、センサ28によって例えば、流体の流れ状態が計
測される。その計測値はコネクタ27を介して、図示し
ないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり流量
が演算される。例えば、吸引パッドに何も吸引されてい
ない状態では流量が最大になり、吸引パッドに物が吸引
されている状態では流量がほぼゼロになることから、吸
引パッドが物を吸着しているか否かを判断することがで
きる。
When the vacuum pump is operated, fluid such as air flows from the inlet port 19 to the flow passage portion 1 of the flow passage 18.
8a, and then the vacuum pump through the flow path portions 18c, 18b and the outlet port 20. At that time, the fluid is first biased in the flow path portion 18a. Then, a laminar flow is formed in the flow passage portion 18c having a shallow depth and a reduced flow passage cross-sectional area, and the flow is rectified by the narrowed portions by the arcuate surfaces 21, 24 and 24, and the sensor 28 measures, for example, the flow state of the fluid. To be done. The measured value is sent to a controller (not shown) via the connector 27, where the flow velocity value, that is, the flow rate is calculated. For example, the flow rate is maximum when nothing is sucked into the suction pad, and the flow rate is almost zero when something is sucked into the suction pad. Can be judged.

【0020】この流量計は、流路部分18aの流路が入
口ポート19に対して垂直に形成されているので、入口
ポート19から流入する流体は流路部分18aの壁面に
当って流れが偏流(減速)される。したがって、流体に
異物が混入している場合には、異物は流路部分18aの
底部Bに留められる。次いで、流体は流路部分18cに
流入することになるが、流路部分18bの流路は流路部
分18aの流路に対して垂直に形成されているので、流
路部分18aから流入する流体は流路部分18cの壁
面、つまり、回路基板に当って、流れが偏流(減速)さ
れる。したがって、流体に異物が含まれていたとして
も、それらの異物は、流路部分18aの底部Bおよび該
流路部分と流路部分18cとの会合部(隅部)Cに留め
られる。同様にして、流体に含まれている異物は、流路
部分18cと流路部分18bとの会合部(隅部)Dおよ
び流路部分18bの底部Eに留められる。
In this flow meter, since the flow passage of the flow passage portion 18a is formed perpendicular to the inlet port 19, the fluid flowing from the inlet port 19 hits the wall surface of the flow passage portion 18a and the flow is lopsided. (Decelerated). Therefore, when foreign matter is mixed in the fluid, the foreign matter is retained at the bottom portion B of the flow path portion 18a. Next, the fluid will flow into the flow passage portion 18c, but since the flow passage of the flow passage portion 18b is formed perpendicular to the flow passage of the flow passage portion 18a, the fluid flowing from the flow passage portion 18a Hits the wall surface of the flow path portion 18c, that is, the circuit board, and the flow is diverted (decelerated). Therefore, even if the fluid contains foreign matters, these foreign matters are retained at the bottom portion B of the flow passage portion 18a and the meeting portion (corner portion) C between the flow passage portion and the flow passage portion 18c. Similarly, the foreign matter contained in the fluid is retained at the meeting portion (corner) D between the flow passage portion 18c and the flow passage portion 18b and the bottom portion E of the flow passage portion 18b.

【0021】したがって、この流量計は、入口ポート1
9から流入した流体に異物が混入していても、異物は流
路部分18aの底部Bまたは流路部分18aと流路部分
18bとの会合部(隅部)Cに留められるので、異物が
センサ28に達することによるセンサ28への付着が防
止される。また、流体に混入している異物は、流路部分
18bと流路部分18cとの会合部(隅部)Dおよび流
路部分18cの底部Eでも補足されるので、異物が出口
ポート20を経て吸引ポンプ等に流入することが防止さ
れる。なお、この流量計によれば、流体を反対方向、即
ち出口ポート20から流入し、入口ポート19から排出
するようにした場合でも、異物を流路部分18cの底部
Eおよび流路部分18bと流路部分18cとの会合部
(隅部)Dで補足することになるので、異物がセンサ2
8に達することによるセンサ28への付着が防止され
る。
Therefore, this flow meter has an inlet port 1
Even if foreign matter is mixed in the fluid flowing in from 9, the foreign matter is retained at the bottom portion B of the flow passage portion 18a or the meeting portion (corner portion) C between the flow passage portion 18a and the flow passage portion 18b. Adhesion to the sensor 28 due to reaching 28 is prevented. Further, since the foreign matter mixed in the fluid is also captured at the meeting portion (corner) D between the flow passage portion 18b and the flow passage portion 18c and the bottom portion E of the flow passage portion 18c, the foreign matter passes through the outlet port 20. It is prevented from flowing into a suction pump or the like. According to this flow meter, even if the fluid flows in the opposite direction, that is, when the fluid flows in through the outlet port 20 and is discharged through the inlet port 19, foreign matter flows through the bottom E of the channel portion 18c and the channel portion 18b. Foreign matter is detected by the sensor 2 because it is supplemented at the meeting portion (corner) D with the road portion 18c.
Adhesion to the sensor 28 due to reaching 8 is prevented.

【0022】この流量計は、ケース本体10が透明なの
で、異物がセンサ28に付着した状態および異物が各流
路部分18a,18bの底部B,D、各隅部C,Eに溜
まった状態を外部から視認できる。特に、センサ28の
状態は、レンズ23を通して拡大して観ることができ
る。
Since the case body 10 of this flowmeter is transparent, the state in which foreign matter adheres to the sensor 28 and the state in which foreign matter collects in the bottom portions B and D of the flow passage portions 18a and 18b and the corner portions C and E are shown. Can be seen from the outside. In particular, the state of the sensor 28 can be magnified and viewed through the lens 23.

【0023】また、本実施の形態では、弧状面21,2
2によって両面凸レンズ23を形成しているが、弧状面
21,22のいずれか一方のみによる片面凸レンズであ
ってもよい。
Further, in this embodiment, the arcuate surfaces 21, 2 are formed.
Although the double-sided convex lens 23 is formed by 2, the single-sided convex lens may be formed by only one of the arcuate surfaces 21 and 22.

【0024】ケース本体10の材料は、透明な樹脂であ
ればよく、例えば、ポリカーボネート、アクリル、ポリ
エチレン等の透明度の高い樹脂が好ましい。
The material of the case body 10 may be any transparent resin, and for example, a highly transparent resin such as polycarbonate, acryl or polyethylene is preferable.

【0025】なお、この発明の流量計は、上記したよう
な使用態様ばかりでなく、流路18を流れる流体の連続
的な流量(流速)変化を検出することもできることは勿
論である。
The flow meter according to the present invention can, of course, detect not only the above-described use mode but also a continuous flow rate (flow velocity) change of the fluid flowing through the flow path 18.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、内部
に形成した流路および該流路に臨ませて配設したセンサ
を外部から視認できるようにケース本体を透明体で形成
したので、異物がセンサに付着されているか否かを視認
を、流量計を配管から外し、流量計を分解することなく
行うことができ、点検作業を簡単にすることができると
いう効果がある。
As described above, according to the present invention, the case main body is formed of the transparent body so that the flow passage formed inside and the sensor arranged facing the flow passage can be visually recognized from the outside. It is possible to visually check whether or not foreign matter is attached to the sensor without disconnecting the flow meter from the pipe and disassembling the flow meter, and it is possible to simplify the inspection work.

【0027】この発明によれば、センサに対向する流路
の壁面を凸レンズ状に形成したので、センサに異物が付
着しているか否かをより容易に視認できるという効果が
ある。
According to the present invention, since the wall surface of the flow path facing the sensor is formed in the shape of a convex lens, it is possible to more easily visually recognize whether or not foreign matter is attached to the sensor.

【0028】この発明によれば、入口ポートおよび出口
ポートに対してそれぞれ垂直な方向に連通する流路部分
と、それらの流路部分間を連通する該流路部分に対して
垂直な方向の流路部分とによって流路を構成したので、
異物がセンサに付着するのを可及的に低減することがで
きるという効果がある。
According to the present invention, the flow passage portions communicating with the inlet port and the outlet port in the respective directions perpendicular to each other, and the flow passages in the direction perpendicular to the flow passage portions communicating between the flow passage portions. Since the flow path was composed of the road part,
There is an effect that it is possible to reduce foreign matter from adhering to the sensor as much as possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施の形態による流量計を概念的に
示した分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view conceptually showing a flow meter according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した流量計の縦断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view of the flow meter shown in FIG.

【図3】図2におけるA−A線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

【図4】従来の小型流量計を示した縦断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing a conventional small flow meter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ケース本体 11 蓋体 11a 軸 11b 爪 12 回路基板 13 凹部 14 底壁 15 溝 16,17 穴 18 流路 18a,18b,18c 流路部分 19,20 ポート 21,22 弧状面 23 レンズ 24 弧状面 25 リブ 26 側壁 26a 孔 26b 切欠き 27 コネクタ 28 マイクロフローセンサ 29 接着剤 30 管体 31 雌ねじ 32 ホース 33 コネクタ 34 ホース 35 コネクタ 36 ガスケット B,E 底部 C,D 隅部 10 Case body 11 lid 11a axis 11b nail 12 circuit board 13 recess 14 bottom wall 15 grooves 16,17 holes 18 channels 18a, 18b, 18c Flow path part 19, 20 ports 21,22 arc surface 23 lenses 24 arc surface 25 ribs 26 Side wall 26a hole 26b Notch 27 connectors 28 Micro Flow Sensor 29 Adhesive 30 tube 31 female screw 32 hose 33 connector 34 Hose 35 connector 36 gasket B, E bottom C, D corner

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 剛 東京都渋谷区渋谷2丁目12番19号 株式会 社山武内 Fターム(参考) 2F035 EA00    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Tsuyoshi Watanabe             2-12-19 Shibuya, Shibuya-ku, Tokyo Stock market             Takeyama F-term (reference) 2F035 EA00

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明ケース本体と、この透明ケース本体
内に形成した流路と、この流路内に臨ませて配設したセ
ンサとを備えた流量計。
1. A flowmeter comprising a transparent case body, a flow channel formed in the transparent case body, and a sensor arranged so as to face the flow channel.
【請求項2】 センサに対向する流路の壁面を凸レンズ
状に形成した請求項1記載の流量計。
2. The flowmeter according to claim 1, wherein the wall surface of the flow path facing the sensor is formed in a convex lens shape.
【請求項3】 流路は、入口ポートおよび出口ポートに
対してそれぞれ垂直な方向に連通する流路部分と、それ
らの流路部分間を連通する該流路部分に対して垂直な方
向の流路部分とによって構成した請求項1または請求項
2記載の流量計。
3. The flow passage includes a flow passage portion that communicates with the inlet port and the outlet port in a direction perpendicular to each other, and a flow passage in a direction perpendicular to the flow passage portion that communicates between the flow passage portions. The flowmeter according to claim 1 or 2, which is constituted by a road portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071687A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Yamatake Corp Flow sensor
JP2012208009A (en) * 2011-03-30 2012-10-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Coating device

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