JP2003338411A - Laminated chip inductor and its manufacturing method - Google Patents

Laminated chip inductor and its manufacturing method

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JP2003338411A
JP2003338411A JP2002146658A JP2002146658A JP2003338411A JP 2003338411 A JP2003338411 A JP 2003338411A JP 2002146658 A JP2002146658 A JP 2002146658A JP 2002146658 A JP2002146658 A JP 2002146658A JP 2003338411 A JP2003338411 A JP 2003338411A
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JP
Japan
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pattern
chip inductor
conductor
conductor pattern
laminated
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Application number
JP2002146658A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Suzuki
靖生 鈴木
Yoshinari Oba
佳成 大場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FDK Corp
Original Assignee
FDK Corp
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Publication date
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  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To inexpensively and efficiently form a coil having a conductor width of, for example, ≤0.05 mm with high winding efficiency in a laminated chip inductor in which the coil overlapped in the direction of layers is formed by successively connecting conductor patterns of different layers to each other while nonmagnetic electrically insulating layers and the conductor patterns are alternately laminated upon another by screen printing. <P>SOLUTION: Through windows 22, 23, 24, etc., are formed astride a plurality of adjacent chip sections in insulating layers 12, 13, 14, etc., interposed among conductor patterns 31, 32, 33, 34, etc., and the conductor patterns 31, 32, 33, 34, etc., are connected to each other in notched openings formed in a state where parts of the through windows 22, 23, 24, etc., enter into the chip sections. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、非磁性電気絶縁
層と導体パターンがスクリーン印刷で交互に積層されて
形成される積層チップインダクタおよびその製造方法に
関し、とくに、携帯機器等に使用される超小形表面実装
型チップインダクタに適用して有効なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated chip inductor in which a non-magnetic electric insulating layer and a conductor pattern are alternately laminated by screen printing and a method for manufacturing the laminated chip inductor, and more particularly, to a super chip used in portable equipment. It is effective when applied to a small surface mount type chip inductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層チップインダクタは携帯機器等の電
子回路基板に表面実装されて使用されるが、機器の小形
化や高機能化にともなって、より小形のものが求められ
ている。この積層チップインダクタは、非磁性電気絶縁
層と導体パターンが交互に積層されるとともに各層の導
体パターンが順次接続されることにより、積層方向に重
畳するコイルが形成されている。この場合、絶縁層と導
体パターンの積層は、スクリーン印刷で行うのがコスト
的に有利である。
2. Description of the Related Art A multilayer chip inductor is used by being surface-mounted on an electronic circuit board of a portable device or the like, but a smaller one is required as the device becomes smaller and has higher functionality. In this laminated chip inductor, nonmagnetic electrical insulating layers and conductor patterns are alternately laminated, and the conductor patterns of each layer are sequentially connected to form a coil that is superposed in the lamination direction. In this case, it is advantageous in terms of cost to stack the insulating layer and the conductor pattern by screen printing.

【0003】図7は従来の積層チップインダクタの形成
段階(a)〜(h)を示す。同図において、上記積層チ
ップインダクタの形成に際しては、まず、下地となる第
1の絶縁層(非磁性電気絶縁層)61の上に第1の導体
パターン81を印刷積層する(a,b)。この第1の導
体パターン81はコイルの最初のターン部分なし、その
一端からは引き出し導体部が延長されている。
FIG. 7 shows steps (a) to (h) of forming a conventional multilayer chip inductor. In the figure, when forming the multilayer chip inductor, first, a first conductor pattern 81 is printed and laminated on a first insulating layer (non-magnetic electrical insulating layer) 61 as a base (a, b). The first conductor pattern 81 does not have the first turn portion of the coil, and the lead conductor portion extends from one end thereof.

【0004】上記第1の導体パターン81の上から第2
の絶縁層62を印刷積層する(c)。この絶縁層62
は、上記第1の導体パターン81の他端部を覗かせる透
窓72を有する。この透窓72はいわゆるスルーホール
であって、印刷による導体部92の埋め込みによりスル
ーホール配線部を形成する(d)。
From the top of the first conductor pattern 81 to the second
The insulating layer 62 is printed and laminated (c). This insulating layer 62
Has a transparent window 72 through which the other end of the first conductor pattern 81 can be seen. The transparent window 72 is a so-called through hole, and the through hole wiring portion is formed by embedding the conductor portion 92 by printing (d).

【0005】スルーホール配線部の形成後、第2の導体
パターン82を印刷積層する(e)。この導体パターン
82はその一端部が上記透窓72の導体部92に重なる
ように形成する。これにより、第1の導体パターン81
の他端部に第2の導体パターン82の一端部が接続され
る。
After forming the through-hole wiring portion, the second conductor pattern 82 is printed and laminated (e). The conductor pattern 82 is formed so that one end thereof overlaps the conductor portion 92 of the transparent window 72. As a result, the first conductor pattern 81
One end of the second conductor pattern 82 is connected to the other end of the.

【0006】このあと、第3の絶縁層63を印刷積層す
る(f)。この絶縁層63は、上記第2の導体パターン
82の他端部を覗かせる透窓72を有する。この透窓7
2に導体部93を埋め込んだのち、第4の導体パターン
83を印刷積層する(g,h)。上述のような工程を繰
り返すことにより、積層方向に重畳するコイルを形成す
ることができる。
After that, the third insulating layer 63 is printed and laminated (f). The insulating layer 63 has a window 72 through which the other end of the second conductor pattern 82 can be seen. This transparent window 7
After embedding the conductor portion 93 in 2, the fourth conductor pattern 83 is printed and laminated (g, h). By repeating the above-described steps, it is possible to form a coil that is superposed in the stacking direction.

【0007】上述した積層チップインダクタの各導体パ
ターンはそれぞれ角U字形であって、1層ごとに3/4
ターン分のコイル巻線を形成する。この3/4ターンの
導体パターンを上記スルーホール配線部で順次接続しな
がら所定数積層することにより、所定のインダクタンス
値のコイルを形成することができる。このコイルの形成
は、多数のチップ形成領域が区画された加工基板上で多
数個同時に行う。各チップ区画は基板加工の完了後に切
断・分割されて、最終的に外部端子付きの積層チップイ
ンダクタに仕上げられる。
Each of the conductor patterns of the above-mentioned multilayer chip inductor has a square U-shape, and each layer has a 3/4 length.
A coil winding for the number of turns is formed. A coil having a predetermined inductance value can be formed by laminating a predetermined number of these 3/4 turn conductor patterns while sequentially connecting the conductor patterns at the through hole wiring portions. The formation of this coil is performed simultaneously on a plurality of processed substrates in which a large number of chip forming regions are defined. Each chip section is cut and divided after the substrate processing is completed, and finally a multilayer chip inductor with external terminals is finished.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述した積層チップイ
ンダクタはスクリーン印刷により、低い設備コストで効
率良く生産することが可能であるが、そのためには、ス
クリーン印刷によるパターン形成が高精度かつ再現性良
く行われる必要がある。一方、積層チップインダクタは
機器の小形化や高機能化等により、小形化に対する要求
が強いが、小形化のためにはコイルの導体パターンを微
細化しなければならず、これにともなって、その導体パ
ターンを順次接続するスルーホール配線部も微細化しな
ければならない。たとえば上述した従来の構成におい
て、コイルの導体幅を0.05mm以下にするために
は、スルーホール配線部の径を少なくとも0.1mm以
下にする必要があるが、このような微小なスルーホール
配線構造をスクリーン印刷で形成することは非常に困難
である。
The multilayer chip inductor described above can be efficiently produced by screen printing at a low equipment cost. For that purpose, pattern formation by screen printing is highly accurate and reproducible. Needs to be done. On the other hand, there is a strong demand for downsizing of multilayer chip inductors due to downsizing and higher functionality of equipment, but in order to downsize, the conductor pattern of the coil must be miniaturized. The through-hole wiring part that sequentially connects the patterns must be miniaturized. For example, in the above-described conventional configuration, the diameter of the through-hole wiring portion must be at least 0.1 mm or less in order to reduce the conductor width of the coil to 0.05 mm or less. It is very difficult to form the structure by screen printing.

【0009】スクリーン印刷で形成される絶縁層にスル
ーホールを形成する場合、そのスルーホールが潰れて塞
がることがないようにしなければならない。このために
は絶縁層の形状保持性を十分に高める必要がある。この
形状保持性を高めるためには高粘度の印刷ペーストを使
用しなければならない。しかし、高粘度の印刷ペースト
は流動性に欠くため、その下の導体パターンの段差を埋
めて表面が平坦な絶縁層を形成するのには適さない、と
いう背反がある。
When forming a through hole in an insulating layer formed by screen printing, it is necessary to prevent the through hole from being crushed and blocked. For this purpose, it is necessary to sufficiently improve the shape retention of the insulating layer. In order to improve this shape retention property, a high-viscosity printing paste must be used. However, there is a trade-off that a high-viscosity printing paste is not suitable for forming an insulating layer having a flat surface by filling a step of a conductor pattern thereunder because of its lack of fluidity.

【0010】スルーホール配線を使わずに各層の導体パ
ターンを順次接続するためには、導体パターンの半面だ
けに絶縁層を積層し、この絶縁層と上記導体パターンの
残り半面の上に跨って次の導体パターンを積層すること
を繰り返せばよい。この場合、各層の導体パターンは次
の導体パターンと半面ずつ重合接続しながらコイルの周
回パターンを形成する。しかし、この構成だと、各層の
導体パターンはそれぞれ1/2ターン分のコイル巻線し
か形成できない。つまり、層ごとのコイルの巻数効率が
悪く、積層数の割に高インダクタンス値を得ることがで
きないという問題があった。
In order to connect the conductor patterns of each layer in sequence without using through-hole wiring, an insulating layer is laminated only on one half of the conductor pattern, and the insulating layer and the other half of the above conductor pattern are laid over and next to each other. It is sufficient to repeat stacking the conductor patterns of. In this case, the conductor pattern of each layer forms a coil winding pattern while being superposed and connected to the next conductor pattern half by half. However, with this configuration, the conductor pattern of each layer can only form a coil winding of ½ turn. That is, there is a problem that the winding efficiency of the coil for each layer is poor and a high inductance value cannot be obtained for the number of layers.

【0011】この発明は以上のような問題を鑑みてなさ
れたもので、非磁性電気絶縁層と導体パターンがスクリ
ーン印刷で交互に積層されながら各層の導体パターンが
順次接続されて層方向に重畳するコイルが形成されてい
る積層チップインダクタにおいて、たとえば導体幅が
0.05mm以下といったコイルを高い巻線効率および
低コストで効率良く形成することを可能にした技術を提
供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and the non-magnetic electrical insulating layers and the conductor patterns are alternately laminated by screen printing, and the conductor patterns of each layer are sequentially connected and overlapped in the layer direction. It is an object of the present invention to provide a technique capable of efficiently forming a coil having a conductor width of 0.05 mm or less in a multilayer chip inductor in which a coil is formed with high winding efficiency and low cost.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明による第1の手段
は、非磁性電気絶縁層と導体パターンがスクリーン印刷
で交互に積層されながら各層の導体パターンが順次接続
されて層方向に重畳するコイルが形成されている積層チ
ップインダクタにおいて、次の各構成を備えたことを特
徴とする。すなわち、各層の導体パターンはそれぞれほ
ぼ3/4ターンのコイル巻数を形成する。上記導体パタ
ーンの層間に介在する絶縁層には、その絶縁層パターン
の端部を部分的に切欠したパターン形状の開口部が形成
されている。上記導体パターンは上記切欠状開口部で層
間接続されている。上記切欠状開口部では、絶縁層の上
側に積層された導体パターンの一端部がその絶縁層の下
側に積層された導体パターンの他端部に直接重なって接
続している。
A first means according to the present invention is a coil in which a non-magnetic electrical insulating layer and a conductor pattern are alternately laminated by screen printing while the conductor patterns of the respective layers are sequentially connected and overlapped in the layer direction. The multilayer chip inductor in which is formed is characterized by having the following respective configurations. That is, the conductor patterns of the respective layers form coil turns of about 3/4 turn. In the insulating layer interposed between the layers of the conductor pattern, a pattern-shaped opening is formed by partially cutting out the end of the insulating layer pattern. The conductor patterns are interlayer-connected at the cutout-shaped openings. In the cutout-shaped opening, one end of the conductor pattern laminated on the upper side of the insulating layer is directly overlapped with and connected to the other end of the conductor pattern laminated on the lower side of the insulating layer.

【0013】上記第1の手段では、たとえば次のような
態様が可能である。すなわち、各導体パターンをそれぞ
れほぼ角U字形のパターン形状で積層形成するととも
に、層間接続部分のパターン形状については、下層およ
び/または上層の導体パターンが存在する方向に若干延
長した形状で積層形成する。これにより層間接続の安定
性をさらに高めることができる。
The first means can have the following modes, for example. That is, each conductor pattern is laminated and formed in a substantially square U-shaped pattern shape, and the pattern shape of the interlayer connection portion is laminated and formed so as to be slightly extended in the direction in which the lower layer and / or upper layer conductor patterns are present. . Thereby, the stability of the interlayer connection can be further enhanced.

【0014】上記切欠状開口部は、上記絶縁層パターン
の1角を方形に切り取ったパターン形状とする。これに
より、その切欠状開口部は、加工基板上で隣接する4つ
のチップ形成領域に跨る大きさの透窓によって形成する
ことができる。その透窓はスクリーン印刷により確実か
つ容易に形成可能な大きさとすることができる。上記切
欠状開口部は絶縁ペーストで平坦化させることができ
る。
The notched opening has a pattern shape in which one corner of the insulating layer pattern is cut out in a square shape. As a result, the cutout-shaped opening can be formed by a window having a size that spans four adjacent chip formation regions on the processed substrate. The window can be sized so that it can be reliably and easily formed by screen printing. The notched opening can be planarized with an insulating paste.

【0015】本発明の第2の手段は、非磁性電気絶縁層
と導体パターンをスクリーン印刷で交互に積層しながら
各導体パターンを順次接続して層方向に重畳するコイル
を形成するとともに、このコイルの形成を多数のチップ
形成領域が区画された加工基板上で多数同時に行う積層
チップインダクタの製造方法において、上記導体パター
ンの層間に介在する絶縁層に、隣り合う複数のチップ区
画に跨る透窓を形成し、この透窓の一部が各チップ区画
に入り込んで形成する切欠状開口部にて、上記導体パタ
ーンの接続を行わせることを特徴とする。
The second means of the present invention is to form a coil in which the non-magnetic electric insulating layers and the conductor patterns are alternately laminated by screen printing while sequentially connecting the conductor patterns to form a coil which is superposed in the layer direction. In a method of manufacturing a multilayer chip inductor in which a plurality of chip forming regions are simultaneously formed on a processed substrate, a transparent window extending over a plurality of adjacent chip sections is formed in an insulating layer interposed between the conductor pattern layers. It is characterized in that the conductive pattern is connected at a notched opening formed by forming a part of the through window into each chip section.

【0016】上記第2の手段では、たとえば次のような
態様が可能である。すなわち、上記透窓は隣り合う4つ
のチップ区画に跨いで形成するとよい。これにより、そ
の4つのチップ区画にそれぞれ、上記透窓の1/4の面
積の切欠状開口部を形成することができる。透窓は上記
切欠状開口部の4倍の大きさなので、スクリーン印刷で
確実かつ容易に形成することができる。また、上記透窓
を方形パターンで形成することにより、隣り合う複数の
チップ区画にそれぞれ方形の切欠状開口部を形成するこ
とができる。この方形の切欠状開口部は、角U字形の導
体パターンを順次接続するのに適している。
The above-mentioned second means can have the following modes, for example. That is, the transparent window may be formed so as to straddle four adjacent chip sections. This makes it possible to form a notch-shaped opening having an area ¼ that of the through window in each of the four chip sections. Since the transparent window is four times as large as the cutout-shaped opening, it can be reliably and easily formed by screen printing. Further, by forming the transparent window in a rectangular pattern, it is possible to form a rectangular notch-shaped opening in each of a plurality of adjacent chip sections. This rectangular notch-shaped opening is suitable for sequentially connecting the rectangular U-shaped conductor patterns.

【0017】この場合、各導体パターンをそれぞれほぼ
角U字形のパターン形状で積層形成するとともに、層間
接続部分のパターン形状については、下層および/また
は上層の導体パターンが存在する方向に若干延長した形
状で積層形成すれば、層間接続の安定性を高めることが
できる。
In this case, each conductor pattern is laminated in a substantially U-shaped pattern shape, and the pattern shape of the interlayer connection portion is slightly extended in the direction in which the lower layer and / or upper layer conductor patterns exist. By stacking the layers, the stability of interlayer connection can be improved.

【0018】上記透窓に絶縁ペーストを印刷することに
より、その透窓の部分を平坦化させることができる。こ
の場合、その絶縁ペーストは、透窓の中央に島状に印刷
するだけでもよい。また、透窓内の導体パターン以外の
領域に沿うパターン形状で絶縁ペーストを印刷すれば、
その透窓内をさらに確実に平坦化させることができる。
一方、上記絶縁ペーストは、上記透窓の導体パターンの
部分も含めた全体を一様に覆うパターン形状で印刷して
もよい。絶縁ペーストは、上記透窓が形成される絶縁層
よりも低粘度のペーストを用いて印刷する。これによ
り、絶縁ペーストの流動による平坦化を確実に行わせる
ことができる。
By printing an insulating paste on the transparent window, the transparent window portion can be flattened. In this case, the insulating paste may be printed in an island shape at the center of the transparent window. Also, if the insulating paste is printed in a pattern shape along the area other than the conductor pattern in the transparent window,
The inside of the transparent window can be further surely flattened.
On the other hand, the insulating paste may be printed in a pattern shape that uniformly covers the entire portion including the conductor pattern portion of the window. The insulating paste is printed using a paste having a viscosity lower than that of the insulating layer in which the transparent window is formed. As a result, flattening due to the flow of the insulating paste can be reliably performed.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1〜図3は本発明の一実施例に
よる積層チップインダクタの要部を示す。この場合、図
1と図2はこの実施例の要部となる構成の形成段階
(a)〜(h)を示す。図3は積層チップインダクタ全
体の概略構成を示す。
1 to 3 show the essential parts of a multilayer chip inductor according to an embodiment of the present invention. In this case, FIGS. 1 and 2 show the forming steps (a) to (h) of the structure which is the main part of this embodiment. FIG. 3 shows a schematic configuration of the entire laminated chip inductor.

【0020】図1と図2において、積層チップインダク
タは、非磁性電気絶縁層11,12,13,14,……
と導体パターン31,32,33,34,……が交互に
積層されるとともに各層の導体パターン31,32,3
3,34,……が順次接続されることにより、積層方向
に重畳するコイルが形成される。絶縁層11,12,1
3,14,……と導体パターン31,32,33,3
4,……の積層は、低コストで高効率の生産に適したス
クリーン印刷で行われる。スクリーン印刷による積層加
工は基板単位で行われる。一枚の加工基板上には多数の
チップ形成領域が区画され、各チップ区画ごとに1つの
積層チップインダクタが形成される。各チップ区画は基
板加工の完了後に切断・分割されて個別の積層チップイ
ンダクタに加工される。
In FIGS. 1 and 2, the multilayer chip inductor comprises a non-magnetic electric insulating layer 11, 12, 13, 14 ,.
And the conductor patterns 31, 32, 33, 34, ... Are alternately laminated and the conductor patterns 31, 32, 3 of each layer are laminated.
The coils that are superposed in the stacking direction are formed by sequentially connecting 3, 34, .... Insulating layers 11, 12, 1
3, 14, ... and conductor patterns 31, 32, 33, 3
The lamination of 4, ... Is performed by screen printing, which is suitable for low cost and high efficiency production. Lamination processing by screen printing is performed for each substrate. A large number of chip formation regions are defined on one processed substrate, and one laminated chip inductor is formed for each chip division. After the substrate processing is completed, each chip section is cut and divided into individual multilayer chip inductors.

【0021】各層の導体パターン31,32,33,3
4,……はそれぞれ角U字形であって、1層ごとに3/
4ターン分のコイル巻線を形成する。この3/4ターン
の導体パターンを順次接続しながら所定数積層すること
により、所定のインダクタンス値のコイルを形成する。
この導体パターンの接続は絶縁層12,13,14,…
…に形成した切欠状開口部にて行う。
Conductor patterns 31, 32, 33, 3 of each layer
4, ... are each U-shaped, and each layer is 3 /
A coil winding for 4 turns is formed. A coil having a predetermined inductance value is formed by stacking a predetermined number of layers while sequentially connecting the conductor patterns of 3/4 turns.
This conductor pattern is connected to the insulating layers 12, 13, 14, ...
It is performed in the notched opening formed in.

【0022】絶縁層11,12,13,14,……はチ
ップの断面形状をなす方形(略正方形)のパターンで形
成されるが、上記導体パターン31,32,33,……
の間に挟まれる絶縁層12,13,14,……について
は、その方形パターンの端部を部分的に切欠したパター
ン形状の開口部が形成される。この切欠状開口部は、同
一加工基板上にて隣り合う複数のチップ区画を跨いで形
成される透窓22,23,24,……によって形作られ
る。つまり、上記切欠状開口部は、隣り合う複数のチッ
プ区画同士で互いに連合して一つの大きな透窓22,2
3,24,……を形成する。各チップ区画の切欠状開口
部はそれぞれ、その透窓22,23,24,……の一部
(1/4区画)をなす。このようなパターン形状の切欠
状開口部にて上記導体パターンが層間接続される。
The insulating layers 11, 12, 13, 14, ... Are formed in a rectangular (substantially square) pattern forming the cross-sectional shape of the chip. The conductor patterns 31, 32, 33 ,.
In the insulating layers 12, 13, 14, ... That are sandwiched in between, pattern-shaped openings are formed by partially cutting off the ends of the rectangular pattern. The notch-shaped opening is formed by the through windows 22, 23, 24, ... Formed over a plurality of adjacent chip sections on the same processed substrate. That is, the notch-shaped openings are joined together in a plurality of adjacent chip sections to form one large through window 22,2.
3, 24, ... are formed. The notch-shaped opening of each chip section forms a part (1/4 section) of the through windows 22, 23, 24 ,. The conductor patterns are interconnected through the notched openings having such a pattern shape.

【0023】上記透窓22,23,24,……の形成位
置については、隣り合う4つのチップ区画の1角を跨ぐ
十字境界の上が望ましい。この場合、各チップ区画には
それぞれ、絶縁層12,13,14,……の1角を方形
に切り取ったパターン形状の切欠状開口部が、上記透窓
22,23,24,……の1/4の大きさ(面積)で形
成される。つまり、導体パターンの接続個所となる切欠
状開口部は、その4倍の大きさの透窓を使って形成する
ことができる。これにより、スクリーン印刷によるパタ
ーン形成が確実かつ容易に行える大きさの透窓22,2
3,24,……でもって、各チップ区画における導体パ
ターン31,32,33,34,……の層間接続を小面
積で確実に行わせることができる。
Regarding the formation positions of the transparent windows 22, 23, 24, ..., It is desirable that they are located on the cross boundary that crosses one corner of four adjacent chip sections. In this case, in each chip section, a notch-shaped opening having a pattern shape obtained by cutting one corner of the insulating layers 12, 13, 14, ... It is formed with a size (area) of / 4. That is, the notch-shaped opening serving as the connection point of the conductor pattern can be formed by using the translucent window which is four times as large as that. As a result, the translucent windows 22 and 2 having a size capable of reliably and easily forming a pattern by screen printing.
Thus, the interlayer connection of the conductor patterns 31, 32, 33, 34, ... In each chip section can be reliably performed in a small area.

【0024】各層の導体パターンをそれぞれ3/4ター
ン分のコイル巻数を確保しながら順次接続するために
は、その接続領域が広がりすぎないようにする必要があ
るが、上記切欠状開口部はその3/4ターン分の巻数を
支障なく確保できる大きさとすることができる。透窓2
2,23,24,……の形状については、図に示したよ
うな方形パターンが最適だが、円形あるいはその他のパ
ターン形状とすることも妨げない。
In order to sequentially connect the conductor patterns of the respective layers while ensuring the number of coil turns of 3/4 turns, it is necessary to prevent the connecting region from being too wide. It is possible to make it possible to secure the number of turns for 3/4 turns without any hindrance. Transparent window 2
For the shapes of 2, 23, 24, ..., The rectangular pattern as shown in the figure is the most suitable, but the circular shape or any other pattern shape is not hindered.

【0025】また、各導体パターン31,32,33,
34,……のをそれぞれほぼ角U字形のパターン形状で
積層形成するとともに、層間接続部分のパターン形状に
ついては、図1および図2に示すように、下層および/
または上層の導体パターンが存在する方向に若干延長し
た形状で積層形成すれば、層間接続の安定性をさらに高
めることができる。図1および図2に示す例では、その
延長部が形成された導体パターンの一端または他端がカ
ギ状になっている。
Further, each conductor pattern 31, 32, 33,
34 and the like are laminated in a substantially U-shaped pattern shape, and the pattern shape of the interlayer connecting portion is as shown in FIG. 1 and FIG.
Alternatively, the stability of the interlayer connection can be further enhanced by stacking the layers in a shape that is slightly extended in the direction in which the upper layer conductor pattern exists. In the example shown in FIGS. 1 and 2, one end or the other end of the conductor pattern having the extension is formed in a hook shape.

【0026】以下、図1と図2に示した形成段階(a)
〜(h)について説明する。同図において、まず、下地
となる第1の絶縁層(非磁性電気絶縁層)11の上に第
1の導体パターン31を印刷積層する(a,b)。この
第1の導体パターン31はコイルの最初のターン部分な
し、その一端からは引き出し導体部が延長されている。
Hereinafter, the forming step (a) shown in FIGS. 1 and 2
(H) will be described. In the figure, first, a first conductor pattern 31 is printed and laminated on a first insulating layer (nonmagnetic electrically insulating layer) 11 as a base (a, b). The first conductor pattern 31 has no first turn portion of the coil, and the lead conductor portion extends from one end thereof.

【0027】第1の導体パターン31の上から第2の絶
縁層12を印刷積層する(c)。この絶縁層12には上
述した切欠状開口部が形成されている。この切欠状開口
部は隣り合う4つチップ区画に跨る透窓22により形成
される。この透窓22は各チップ区画にそれぞれに形成
された第1の導体パターン31の各他端部に重なる。
A second insulating layer 12 is printed and laminated on the first conductor pattern 31 (c). The above-mentioned notched opening is formed in this insulating layer 12. This notch-shaped opening is formed by a transparent window 22 that straddles four adjacent chip sections. The transparent window 22 overlaps each other end of the first conductor pattern 31 formed in each chip section.

【0028】上記第2の絶縁層12の上に第2の導体パ
ターン32を印刷積層する(d)。この第2の導体パタ
ーン32はその一端部が第1の導体パターン31の他端
部に重なるように形成する。これにより、第1の導体パ
ターン31の他端部に第2の導体パターン32の一端部
が直接重なって接続される。
A second conductor pattern 32 is printed and laminated on the second insulating layer 12 (d). The second conductor pattern 32 is formed so that one end thereof overlaps with the other end of the first conductor pattern 31. As a result, one end of the second conductor pattern 32 is directly overlapped and connected to the other end of the first conductor pattern 31.

【0029】さらに、上記第2の導体パターン32の上
に第3の絶縁層13を印刷積層する(e)。この第3の
絶縁層13にも透窓23が形成される。このあと、第3
の絶縁層13の上に第3の導体パターン33を印刷積層
する(f)。この第3の導体パターン33の一端部は透
窓23の部分にて第2の導体パターン32の他端部に接
続する。さらに、第4の絶縁層14を印刷積層したの
ち、第4の導体パターン34を印刷形成する(g,
h)。この第4の導体パターン34の一端部も透窓24
の部分にて第3の導体パターン33の他端部に接続す
る。
Further, the third insulating layer 13 is printed and laminated on the second conductor pattern 32 (e). The transparent window 23 is also formed in the third insulating layer 13. After this, the third
A third conductor pattern 33 is printed and laminated on the insulating layer 13 of (f). One end of the third conductor pattern 33 is connected to the other end of the second conductor pattern 32 at the window 23. Further, after the fourth insulating layer 14 is printed and laminated, the fourth conductor pattern 34 is formed by printing (g,
h). The one end of the fourth conductor pattern 34 also has the transparent window 24.
Is connected to the other end of the third conductor pattern 33.

【0030】上述のような工程を繰り返すことにより、
積層方向に重畳しながら巻回するコイルを形成すること
ができる。コイルを形成する各層の導体パターンはそれ
ぞれ角U字形であって、1層ごとに3/4ターン分のコ
イル巻線を形成する。この3/4ターンの導体パターン
を上記透窓22,23,……の部分で順次接続しながら
所定数積層することにより、所定のインダクタンス値の
コイルを形成することができる。各チップ区画は基板上
の加工完了後に切断・分割されて個別の積層チップイン
ダクタに仕上げられる。
By repeating the above steps,
It is possible to form a coil that is wound while being superposed in the stacking direction. The conductor pattern of each layer forming the coil has a square U shape, and a coil winding of 3/4 turn is formed for each layer. A coil having a predetermined inductance value can be formed by laminating a predetermined number of the 3/4 turn conductor patterns while sequentially connecting the through windows 22, 23, .... After the processing on the substrate is completed, each chip section is cut and divided into individual multilayer chip inductors.

【0031】図3は、上述の形成段階(a)〜(h)を
経て作製された積層チップインダクタ50の全体構成を
示す。このチップインダクタ50は、コイルLの端部に
接続する外部端子51,52を有する。コイルLは絶縁
層1xを挟みながら順次接続された導体パターン3xに
より形成されている。
FIG. 3 shows the overall structure of the laminated chip inductor 50 manufactured through the above-mentioned forming steps (a) to (h). The chip inductor 50 has external terminals 51 and 52 connected to the ends of the coil L. The coil L is formed of conductor patterns 3x that are sequentially connected while sandwiching the insulating layer 1x.

【0032】上述した積層チップインダクタは、絶縁層
の上側に積層された導体パターンの一端部が、その絶縁
層の下側に積層された導体パターンの他端部に直接重な
って接続することにより、スクリーン印刷では形成が困
難なスルーホール配線を使用することなく、層方向に重
畳するコイルを形成することができる。
In the above-described multilayer chip inductor, one end of the conductor pattern laminated on the upper side of the insulating layer is directly overlapped with the other end of the conductor pattern laminated on the lower side of the insulating layer to be connected, Coils that overlap in the layer direction can be formed without using through-hole wiring, which is difficult to form by screen printing.

【0033】上側と下側の両導体パターンは上記切欠状
開口部で部分的に重なって互いに接続されるが、その切
欠状開口部は、同一の加工基板上にて隣り合う複数のチ
ップ区画に跨る大きな透窓によって形成される。この大
きな透窓はスクリーン印刷で確実かつ容易に形成するこ
とができる。たとえば、各チップ区画における切欠状開
口部が0.1mm角以下の微小寸法であっても、その切
欠状開口部が複数連合した透窓は、スクリーン印刷によ
り確実かつ容易に形成することが可能な大きさとなる。
Both the upper and lower conductor patterns are partially overlapped and connected to each other at the cutout-shaped openings, and the cutout-shaped openings are formed in a plurality of chip sections adjacent to each other on the same processed substrate. It is formed by a large translucent window. This large transparent window can be reliably and easily formed by screen printing. For example, even if the cutout-shaped openings in each chip section have a small dimension of 0.1 mm square or less, a transparent window in which a plurality of cutout-shaped openings are associated can be formed reliably and easily by screen printing. It becomes the size.

【0034】上記切欠状開口部で順次接続される各層の
導電パターン31,32,33,34……はそれぞれ、
3/4ターンのコイル巻線を形成することができる。こ
れにより、非磁性電気絶縁層と導体パターンがスクリー
ン印刷で交互に積層されながら各層の導体パターンが順
次接続されて層方向に重畳するコイルが形成されている
積層チップインダクタにおいて、たとえば導体幅が0.
05mm以下といった超小形のコイルも、高い巻線効率
および低コストで効率良く形成することできる。
The conductive patterns 31, 32, 33, 34, ... Of the respective layers, which are sequentially connected by the notched opening, are respectively
A 3/4 turn coil winding can be formed. As a result, in the multilayer chip inductor in which the non-magnetic electrical insulating layers and the conductor patterns are alternately laminated by screen printing, the conductor patterns of the respective layers are sequentially connected to form a coil overlapping in the layer direction, for example, the conductor width is 0. .
An ultra-small coil of 05 mm or less can be efficiently formed with high winding efficiency and low cost.

【0035】図4は本発明の別の実施例の要部をその形
成段階(a)〜(e)別に示す。同図に示すように、こ
の実施例では、前記切欠状開口部を形成する透窓22内
に絶縁ペースト部41をスクリーン印刷により島状に印
刷する。この絶縁ペースト部41は、その後の印刷積層
工程で流動変形させられて上記透窓22の部分を平坦化
する。これにより、その後の印刷積層工程を精度良く行
わせることができる。この場合、絶縁ペースト部41
は、透窓22内の段差を埋めて平坦化するために、その
透窓22を形成する絶縁層12よりも低粘度のペースト
を用いて印刷形成することが望ましい。
FIG. 4 shows an essential part of another embodiment of the present invention by the forming steps (a) to (e). As shown in the figure, in this embodiment, the insulating paste portion 41 is printed in an island shape by screen printing in the transparent window 22 forming the cutout opening. The insulating paste portion 41 is fluidized and deformed in the subsequent printing and laminating process to flatten the portion of the transparent window 22. As a result, the subsequent printing and laminating process can be performed accurately. In this case, the insulating paste portion 41
In order to fill the step inside the transparent window 22 and flatten it, it is desirable to print by using a paste having a viscosity lower than that of the insulating layer 12 forming the transparent window 22.

【0036】図5は上記絶縁ペースト部41の印刷パタ
ーン例(a)〜(c)を示す。上記絶縁ペースト部41
は、(a)に示すように、透窓22の中央部のみに島状
に印刷するだけでもよいが、透窓22内を確実に平坦化
させるためには、(b)に示すように、導体パターン3
1,32以外の領域に沿うパターン形状で印刷した方が
よい。しかし、上記絶縁ペースト部41はその後の印刷
積層で平坦化させることができるので、その粘度を適当
に設定すれば、(c)に示すように、透窓22の全体を
導体パターン31,32の部分も含めて一様に覆うパタ
ーン形状であってもよい。
FIG. 5 shows print pattern examples (a) to (c) of the insulating paste portion 41. The insulating paste portion 41
May be printed in an island shape only on the central portion of the transparent window 22 as shown in (a), but in order to surely flatten the inside of the transparent window 22, as shown in (b), Conductor pattern 3
It is better to print in a pattern shape along an area other than 1, 32. However, since the insulating paste portion 41 can be flattened by the subsequent printing lamination, if the viscosity is appropriately set, as shown in (c), the entire through window 22 is covered with the conductor patterns 31, 32. It may be a pattern shape that evenly covers the portion.

【0037】図6は本発明により形成される積層チップ
インダクタのコイル方向に関する別の実施例を示す。図
3に示した積層チップインダクタ50は、コイルLが実
装面に対して水平方向を向く横巻型インダクタとして構
成されているが、図6に示すものでは、そのコイルLが
実装面に対して垂直方向を向く縦巻型インダクタとして
構成されている。つまり、本発明は横巻または縦巻のい
ずれのインダクタ構造にも対応できる。
FIG. 6 shows another embodiment relating to the coil direction of the multilayer chip inductor formed according to the present invention. The multilayer chip inductor 50 shown in FIG. 3 is configured as a horizontally wound inductor in which the coil L is oriented in the horizontal direction with respect to the mounting surface, but in the one shown in FIG. 6, the coil L is with respect to the mounting surface. It is configured as a vertically wound type inductor that faces the vertical direction. That is, the present invention can be applied to either a horizontal winding or a vertical winding inductor structure.

【0038】以上、本発明をその代表的な実施例に基づ
いて説明したが、本発明は上述した以外にも種々の態様
が可能である。たとえば、3/4ターン分のコイル巻数
を形成する導体パターン31,32,33,34,……
は、変形C字形などのように、角U字形以外のパターン
形状も可能である。
Although the present invention has been described above based on its typical embodiment, the present invention can have various modes other than those described above. For example, the conductor patterns 31, 32, 33, 34, ... Which form the number of coil turns of 3/4 turns.
Can have a pattern shape other than the square U-shape, such as a modified C-shape.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明によれば、非磁性電気絶縁層と導
体パターンがスクリーン印刷で交互に積層されながら各
層の導体パターンが順次接続されて層方向に重畳するコ
イルが形成されている積層チップインダクタにおいて、
たとえば導体幅が0.05mm以下といったコイルを高
い巻線効率および低コストで効率良く形成することがで
きる。
According to the present invention, a laminated chip in which a non-magnetic electrical insulating layer and a conductor pattern are alternately laminated by screen printing, and the conductor patterns of the respective layers are sequentially connected to form a coil overlapping in the layer direction. In the inductor,
For example, a coil having a conductor width of 0.05 mm or less can be efficiently formed with high winding efficiency and low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による積層チップインダクタの要部とな
る構成を形成段階別に示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration that is a main part of a multilayer chip inductor according to the present invention at each formation step.

【図2】図1に引き続いて要部構成を形成段階別に示す
平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a main part at each stage of formation, following FIG. 1;

【図3】本発明による積層チップインダクタの全体構成
を示す透視斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing the overall structure of the multilayer chip inductor according to the present invention.

【図4】本発明の別の実施例の要部を形成段階別に示す
平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a main part of another embodiment of the present invention in each forming step.

【図5】透窓に形成される絶縁ペースト部の印刷パター
ン例を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing an example of a printing pattern of an insulating paste portion formed on a window.

【図6】本発明による積層チップインダクタのコイル方
向に関する別の実施例を示す透視斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the coil direction of the multilayer chip inductor according to the present invention.

【図7】従来の積層チップインダクタの要部を形成段階
別にを示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing a main part of a conventional multilayer chip inductor at each formation step.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11〜14 非磁性電気絶縁層 22〜24 複数のチップ区画を跨いで形成される透
窓 31〜34 導体パターン 41 絶縁ペースト部 61〜63 非磁性電気絶縁層 72,73 透窓(スルーホール) 81〜83 導体パターン 92,93 埋込導体部(スルーホール配線) L コイル 51,52 外部端子 1x 絶縁層(11,12,13,14,…
…) 3x 導体パターン(31,32,33,3
4,……)
11-14 Nonmagnetic Electrical Insulation Layer 22-24 Through Window 31-34 Formed Across Multiple Chip Sections Conductor Pattern 41 Insulation Paste 61-63 Nonmagnetic Electrical Insulation Layer 72, 73 Through Window (Through Hole) 81 To 83 conductor patterns 92, 93 embedded conductor portion (through hole wiring) L coil 51, 52 external terminal 1x insulating layer (11, 12, 13, 14, ...
…) 3x conductor pattern (31, 32, 33, 3
4, ……)

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性電気絶縁層と導体パターンがスク
リーン印刷で交互に積層されながら各層の導体パターン
が順次接続されて層方向に重畳するコイルが形成されて
いる積層チップインダクタにおいて、次の(1)〜
(4)の構成を備えたことを特徴とする積層チップイン
ダクタ。 (1)各層の導体パターンはそれぞれほぼ3/4ターン
のコイル巻数を形成する。 (2)上記導体パターンの層間に介在する絶縁層には、
その絶縁層パターンの端部を部分的に切欠したパターン
形状の開口部が形成されている。 (3)上記導体パターンは上記切欠状開口部で層間接続
されている。 (4)上記切欠状開口部では、絶縁層の上側に積層され
た導体パターンの一端部がその絶縁層の下側に積層され
た導体パターンの他端部に直接重なって接続している。
1. A multilayer chip inductor in which a non-magnetic electrical insulating layer and a conductor pattern are alternately laminated by screen printing while the conductor patterns of the respective layers are sequentially connected to form a coil overlapping in the layer direction. 1) ~
A multilayer chip inductor having the configuration (4). (1) The conductor pattern of each layer forms a coil turn number of approximately 3/4 turns. (2) The insulating layer interposed between the conductor pattern layers includes:
A pattern-shaped opening is formed by partially cutting the end of the insulating layer pattern. (3) The conductor patterns are interlayer-connected at the cutout-shaped openings. (4) In the notched opening, one end of the conductor pattern laminated on the upper side of the insulating layer is directly overlapped and connected to the other end of the conductor pattern laminated on the lower side of the insulating layer.
【請求項2】 請求項1において、各導体パターンはそ
れぞれほぼ角U字形のパターン形状で積層形成されると
ともに、層間接続部分のパターン形状については、下層
および/または上層の導体パターンが存在する方向に若
干延長した形状で積層形成されていることを特徴とする
積層チップインダクタ。
2. The conductor pattern according to claim 1, wherein each conductor pattern is laminated in a substantially U-shaped pattern shape, and the pattern shape of the interlayer connection portion is in the direction in which the lower layer and / or upper layer conductor patterns exist. A laminated chip inductor, wherein the laminated chip inductor is formed so as to have a shape that is slightly extended.
【請求項3】 請求項1または2において、前記切欠状
開口部は前記絶縁層パターンの1角を方形に切り取った
パターン形状であることを特徴とする積層チップインダ
クタ。
3. The multilayer chip inductor according to claim 1, wherein the notch-shaped opening has a pattern shape in which one corner of the insulating layer pattern is cut in a square shape.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれかにおいて、前記
切欠状開口部が絶縁ペーストで平坦化されていることを
特徴とする積層チップインダクタ。
4. The multilayer chip inductor according to claim 1, wherein the notched opening is flattened with an insulating paste.
【請求項5】 非磁性電気絶縁層と導体パターンをスク
リーン印刷で交互に積層しながら各導体パターンを順次
接続して層方向に重畳するコイルを形成するとともに、
このコイルの形成を多数のチップ形成領域が区画された
加工基板上で多数同時に行う積層チップインダクタの製
造方法において、上記導体パターンの層間に介在する絶
縁層に、隣り合う複数のチップ区画に跨る透窓を形成
し、この透窓の一部が各チップ区画に入り込んで形成す
る切欠状開口部にて、上記導体パターンの接続を行わせ
ることを特徴とする積層チップインダクタの製造方法。
5. A non-magnetic electrical insulating layer and a conductor pattern are alternately laminated by screen printing while sequentially connecting the conductor patterns to form a coil that is superposed in the layer direction.
In a method of manufacturing a multilayer chip inductor in which a large number of coil formations are simultaneously performed on a processed substrate in which a large number of chip formation regions are divided, an insulating layer interposed between the conductor pattern layers is provided with a transparent layer extending over a plurality of adjacent chip divisions. A method for manufacturing a multilayer chip inductor, comprising forming a window, and connecting the conductor pattern at a notched opening formed by a part of the transparent window entering each chip section.
【請求項6】 請求項5において、前記透窓は隣り合う
4つのチップ区画に跨いで形成することを特徴とする積
層チップインダクタの製造方法。
6. The method of manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 5, wherein the transparent window is formed so as to straddle four adjacent chip sections.
【請求項7】 請求項5または6において、前記透窓を
方形パターンで形成することにより、隣り合う複数のチ
ップ区画にそれぞれ方形の切欠状開口部を形成すること
を特徴とする積層チップインダクタの製造方法。
7. The laminated chip inductor according to claim 5, wherein the through window is formed in a rectangular pattern to form rectangular notch-shaped openings in a plurality of adjacent chip sections. Production method.
【請求項8】 請求項5〜7のいずれかにおいて、前記
透窓に絶縁ペーストを印刷することにより、その透窓の
部分を平坦化させることを特徴とする積層チップインダ
クタの製造方法。
8. The method for manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 5, wherein the transparent window is flattened by printing an insulating paste on the transparent window.
【請求項9】 請求項8において、前記絶縁ペースト
は、前記透窓の中央に島状に印刷することを特徴とする
積層チップインダクタの製造方法。
9. The method of manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 8, wherein the insulating paste is printed in an island shape in the center of the through window.
【請求項10】 請求項8において、前記絶縁ペースト
は、前記透窓内の導体パターン以外の領域に沿うパター
ン形状で印刷することを特徴とする積層チップインダク
タの製造方法。
10. The method for manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 8, wherein the insulating paste is printed in a pattern shape along a region other than the conductor pattern in the transparent window.
【請求項11】 請求項8において、前記絶縁ペースト
は、前記透窓の導体パターンの部分も含めた全体を一様
に覆うパターン形状で印刷することを特徴とする積層チ
ップインダクタの製造方法。
11. The method of manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 8, wherein the insulating paste is printed in a pattern shape that uniformly covers the entire conductive pattern of the through window.
【請求項12】 請求項8〜11のいずれかにおいて、
前記絶縁ペーストは、前記透窓が形成される絶縁層より
も低粘度のペーストを用いて印刷することを特徴とする
積層チップインダクタの製造方法。
12. The method according to any one of claims 8 to 11,
The method of manufacturing a multilayer chip inductor, wherein the insulating paste is printed using a paste having a viscosity lower than that of an insulating layer in which the transparent window is formed.
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