JP2003334743A - Tool state detecting device - Google Patents

Tool state detecting device

Info

Publication number
JP2003334743A
JP2003334743A JP2002142920A JP2002142920A JP2003334743A JP 2003334743 A JP2003334743 A JP 2003334743A JP 2002142920 A JP2002142920 A JP 2002142920A JP 2002142920 A JP2002142920 A JP 2002142920A JP 2003334743 A JP2003334743 A JP 2003334743A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
state
side electrode
frequency signal
high frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002142920A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4072377B2 (en
Inventor
Shinobu Shimizu
忍 清水
Genichi Sato
厳一 佐藤
Hajime Mizutani
肇 水谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Fuji Bellows Co Ltd
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Fuji Bellows Co Ltd
Fuji Seiko Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp, Fuji Bellows Co Ltd, Fuji Seiko Ltd filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2002142920A priority Critical patent/JP4072377B2/en
Publication of JP2003334743A publication Critical patent/JP2003334743A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4072377B2 publication Critical patent/JP4072377B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tool state detecting device for surely detecting the state of a tool even in process of machining, and even when a load is small. <P>SOLUTION: A tool side electrode 17 is installed via an insulator 16 in a tool part 15 having the tool 12 rotatably driven in a state of being installed at the tip of a spindle 3. A diode 18 is connected between the tool side electrode 17 and the tool part 15. A high frequency signal is outputted between the tool side electrode 17 and a workpiece 54 by a high frequency signal output device 20. The breakage of the tool 12 is detected on the basis of the state of a high frequency signal when the tool 12 is displaced to a position for contacting with the workpiece 54. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、主軸の先端部に装
着された状態で回転駆動される工具の状態を検知する工
具状態検知装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tool state detection device for detecting the state of a tool that is rotationally driven while being attached to the tip of a spindle.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】被加工物を加工する所
謂マシニングセンタなどの工作機械は、無人の状態で運
転されることが多い。従って、加工に使用される工具に
例えば折損が発生した場合には、その状態を自動的に検
出して工具を交換する必要がある。
A machine tool such as a so-called machining center for processing a work piece is often operated unmanned. Therefore, for example, when a tool used for machining is broken, it is necessary to automatically detect the state and replace the tool.

【0003】従来、工具の状態として折損を検知する方
式には様々なものがある。例えば、加工が終了した後、
工具がツールマガジンに収納された状態で、スイングバ
ー式のリミットスイッチを用いて検知する機械検知型
や、工具の折損によりスピンドル(主軸)が無負荷とな
ることで、消費電力が変化することに基づいて検知する
電力検知型などがある。
Conventionally, there are various methods for detecting breakage as a tool state. For example, after processing is completed,
When the tool is stored in the tool magazine, a machine detection type that uses a swing bar type limit switch to detect it, or a spindle (spindle) with no load due to breakage of the tool causes power consumption to change. There is a power detection type that is detected based on.

【0004】しかしながら、機械検知型のものでは加工
の全工程が終了した後に検知を行うため、加工の途中で
工具が折損した場合は、その状態で被加工物の加工が行
なわれてしまう可能性がある。すると、工具の折損状態
が悪化したり、被加工物の加工不良が発生するおそれが
ある。
However, in the machine detection type, the detection is performed after all the processing steps are completed. Therefore, if the tool is broken during the processing, the workpiece may be processed in that state. There is. In that case, the broken state of the tool may be deteriorated, or the processing failure of the workpiece may occur.

【0005】また、電力検知型では、加工時におけるス
ピンドルの負荷が小さく消費電力量も小さい場合には、
工具が折損した場合の電力変化量も小さいため、検知を
行なうことができない。例えば、定格22kWのスピン
ドルでφ2のドリル穴加工を行った場合には、工具の折
損による電力変化の差が現れない。
In the power detection type, when the load on the spindle during machining is small and the power consumption is small,
Since the amount of change in power when the tool breaks is small, detection cannot be performed. For example, when a φ2 drill hole is drilled with a spindle rated at 22 kW, there is no difference in power change due to tool breakage.

【0006】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、加工の途中であっても、また、負荷
が小さい場合でも、工具の状態を確実に検出することが
できる工具状態検知装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to make it possible to reliably detect the state of a tool even during machining and when the load is small. It is to provide a detection device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の工具状態検知装置は、主軸の先端部
に装着された状態で回転駆動される工具を有してなる工
具部に、絶縁体を介して装着される工具側電極と、この
工具側電極と所定の間隔を有して静電結合するように配
置される固定側電極と、出力端子の一端が前記固定側電
極に接続され、他端が前記工具によって加工される導電
性材料よりなる被加工物側に接続され、出力端子間に高
周波信号を出力する高周波信号出力手段と、前記工具側
電極と前記工具部との間に接続される整流素子とを備
え、前記工具の変位状態と、前記高周波信号出力手段に
より出力される高周波信号の状態とに基づいて、前記工
具の状態を検知することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a tool state detecting device according to a first aspect of the present invention is a tool portion including a tool which is rotationally driven in a state of being attached to a tip portion of a spindle. , A tool-side electrode that is mounted via an insulator, a fixed-side electrode that is disposed so as to be electrostatically coupled to the tool-side electrode with a predetermined gap, and one end of the output terminal is the fixed-side electrode. Of the high-frequency signal output means for outputting a high-frequency signal between the output terminals, which are connected to each other, and the other end of which is connected to the workpiece side made of a conductive material to be processed by the tool, A rectifying element connected between them is provided, and the state of the tool is detected based on the displacement state of the tool and the state of the high frequency signal output by the high frequency signal output means.

【0008】即ち、高周波信号出力手段によって出力さ
れる高周波信号は、固定側電極から静電結合により工具
側電極に供給されると、整流素子により直流信号に整流
されて工具部に印加される。そして、主軸の回転が停止
している場合、主軸とその主軸を支承するヘッド(ハウ
ジング)との間はベアリングを介して導通接触している
ため、前記直流信号の抵抗、即ち、工具(部)→主軸→
ベアリング→ヘッド→コラム(支持柱)→ベッド(基
盤)→テーブル→被加工物、といった経路における直流
抵抗は0Ωに近い値となっている。
That is, when the high frequency signal output from the high frequency signal output means is supplied from the fixed side electrode to the tool side electrode by electrostatic coupling, the high frequency signal is rectified into a DC signal by the rectifying element and applied to the tool portion. When the rotation of the main shaft is stopped, the main shaft and the head (housing) supporting the main shaft are in conductive contact with each other via bearings, so that the resistance of the DC signal, that is, the tool (part). → Spindle →
The DC resistance in the path of bearing → head → column (supporting pillar) → bed (base) → table → workpiece is close to 0Ω.

【0009】一方、主軸が回転する場合は、ベアリング
のボール若しくはローラは油膜に覆われるため、その油
膜がキャパシタンスをなすことで前記直流信号の抵抗は
極めて大きな状態となるが、工具と被加工物とが接触す
るとその部分が短絡状態となる。
On the other hand, when the main shaft rotates, the ball or roller of the bearing is covered with an oil film, so that the oil film forms a capacitance and the resistance of the DC signal becomes extremely large. When and are in contact with each other, that part is short-circuited.

【0010】このように、工具と被加工物とが接触して
いるか否かに応じて測定系のインピーダンスが変化する
ため、その変化の影響を受けて、高周波信号出力手段側
において高周波信号の出力状態が変化する。従って、工
具の変位に伴う高周波信号の変化を参照すれば、工具の
状態を検知することができる。そして、工具による被加
工物の加工が行われている途中であっても状態の検知が
可能であり、また、工具にかかる負荷が小さい場合でも
検知することができる。
As described above, the impedance of the measurement system changes depending on whether or not the tool and the workpiece are in contact with each other. Therefore, under the influence of the change, the high frequency signal output means outputs a high frequency signal. The state changes. Therefore, the state of the tool can be detected by referring to the change of the high frequency signal accompanying the displacement of the tool. The state can be detected even while the workpiece is being processed by the tool, and even when the load applied to the tool is small.

【0011】更に、固定側電極と工具側電極とが静電結
合することで、高周波信号を、工具側に対して非接触状
態で供給することができるので、工具側が回転すること
に伴って磨耗するような部材が無く、安定した状態で供
給することができる。
Further, since the fixed side electrode and the tool side electrode are electrostatically coupled to each other, a high frequency signal can be supplied to the tool side in a non-contact state, so that the tool side is worn as it rotates. It is possible to supply in a stable state without any member that does.

【0012】この場合、請求項2に記載したように、前
記工具の状態として、工具の折損を検知することが好適
である。即ち、工具が折損した状態で被加工物の加工が
行われると、加工不良が発生する可能性が高いので、本
発明によれば工具の折損を速やかに検知して対応するこ
とができる。
In this case, as described in claim 2, it is preferable to detect breakage of the tool as the state of the tool. That is, if the workpiece is machined in a state where the tool is broken, a machining defect is likely to occur, and therefore, according to the present invention, the breakage of the tool can be quickly detected and dealt with.

【0013】また、請求項3に記載したように、前記固
定側電極側に、高周波信号の伝送線路のインピーダンス
を調整するためのインピーダンス調整手段を配置するの
が好ましい。即ち、伝送線路のインピーダンスを調整し
て整合を取るようにすれば、高周波信号を反射が生じな
い状態にして工具側に伝送することができるので、変化
状態の観測を容易に行なうことができる。
Further, as described in claim 3, it is preferable that an impedance adjusting means for adjusting the impedance of the transmission line of the high frequency signal is arranged on the fixed electrode side. That is, if the impedance of the transmission line is adjusted to achieve matching, the high-frequency signal can be transmitted to the tool side without reflection, so that the change state can be easily observed.

【0014】この場合、請求項4に記載したように、前
記高周波信号出力手段側における電圧定在波比を測定す
ることで、前記工具の状態を検知すると良い。即ち、工
具と被加工物とが接触した状態における測定系のインピ
ーダンスを予め整合させておけば、例えば工具の状態が
変化することで被加工物と接触すべき位置で接触しなく
なった場合は、前記インピーダンスが整合状態から外れ
て反射波が発生する。従って、その反射波の発生を、電
圧定在波比を測定することで検出すれば、工具の状態を
容易に検知することができる。
In this case, as described in claim 4, the state of the tool may be detected by measuring the voltage standing wave ratio on the high frequency signal output means side. That is, if the impedance of the measurement system in a state where the tool and the workpiece are in contact with each other is matched in advance, for example, when the state of the tool changes and the workpiece is no longer in contact with the workpiece, The impedance deviates from the matched state and a reflected wave is generated. Therefore, if the occurrence of the reflected wave is detected by measuring the voltage standing wave ratio, the state of the tool can be easily detected.

【0015】更に、請求項5に記載したように、前記整
流素子を、前記絶縁体の内部に埋め込んだ状態で配置す
ると良く、斯様に構成すれば、整流素子を工具側電極と
工具部との間に容易に接続することができる。また、主
軸を回転させて加工を行う場合に、振動などにより整流
素子が脱落することを防止できる。
Further, as described in claim 5, it is preferable that the rectifying element is arranged in a state of being embedded in the inside of the insulator. According to this structure, the rectifying element is connected to the tool side electrode and the tool portion. Can be easily connected between. In addition, it is possible to prevent the rectifying element from falling off due to vibration or the like when machining is performed by rotating the main shaft.

【0016】加えて、請求項6に記載したように、前記
固定側電極と前記工具側電極との間に圧縮空気を送出す
るための圧縮空気送出手段を備えることが好ましい。即
ち、固定側電極と工具側電極とは、静電結合されるよう
に所定の間隔を有して配置されるため、両者の隙間にク
ーラント液や加工により発生する切削屑などが入ると短
絡するおそれがあり、測定系のインピーダンスが変化し
て状態検知を正確に行えなくなる場合がある。従って、
圧縮空気送出手段によって両電極間に圧縮空気を送出す
れば、切削屑などが入ることを防止できる。
In addition, as described in claim 6, it is preferable to provide a compressed air delivery means for delivering compressed air between the fixed side electrode and the tool side electrode. That is, since the fixed side electrode and the tool side electrode are arranged with a predetermined interval so as to be electrostatically coupled, a short circuit occurs if a coolant liquid or cutting waste generated by machining enters the gap between them. There is a possibility that the impedance of the measurement system may change and the state detection may not be performed accurately. Therefore,
By sending compressed air between the electrodes by the compressed air sending means, it is possible to prevent cutting chips from entering.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図1は、工作機械の構成を概
略的に示すと共に、本発明の工具状態検知装置の構成を
示すものである。工作機械50の主軸装置1は、例え
ば、中空円筒状のヘッド(ハウジング)2内に、スピン
ドル(主軸)3とそのスピンドル3を回転駆動させる誘
導モータ4とを内蔵するビルトインタイプとして構成さ
れている。スピンドル3の先端部分及び中間部分は、玉
軸受5及び6によってヘッド2に対して回転自在に支承
されている。尚、ヘッド2及びスピンドル3は、いずれ
も鉄系材料で構成されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the structure of a machine tool and also shows the structure of a tool state detection device of the present invention. The spindle device 1 of the machine tool 50 is, for example, a built-in type in which a spindle (spindle) 3 and an induction motor 4 that rotationally drives the spindle 3 are built in a hollow cylindrical head (housing) 2. . The tip portion and the intermediate portion of the spindle 3 are rotatably supported on the head 2 by ball bearings 5 and 6. The head 2 and the spindle 3 are both made of iron-based material.

【0018】玉軸受5及び6によって支承されている部
分の略中間に位置する部位のスピンドル3側には、コア
及びかご形巻線(エンドリング)からなるロータ7が配
設され、ヘッド2の内周部には、上記コアと所定ギャッ
プを以て対向するコア及び巻線(コイルエンド)からな
るステータ8が配設されることにより、前述の誘導モー
タ4が構成されている。
A rotor 7 composed of a core and a squirrel-cage winding (end ring) is arranged on the spindle 3 side of a portion located approximately in the middle of the portions supported by the ball bearings 5 and 6, and the head 2 of the head 2 is disposed. The induction motor 4 is configured by disposing a stator 8 composed of a core and a winding (coil end) facing the core with a predetermined gap in the inner peripheral portion.

【0019】スピンドル3の内部には、周知の機構であ
るドローバー9,そのドローバー9の先端側に配置され
たチャック機構及び図示しないドローバースプリング等
が配設されている。一方、切削加工用の工具12は、ツ
ールホルダ13に取付けられており、そのツールホルダ
13は、上端部にプルスタッド14を備えている。そし
て、スピンドル3側のドローバー9が図示しない駆動機
構によって軸方向に変位することにより、スピンドル3
内部で、チャック機構がツールホルダ13のプルスタッ
ド14を鋼球を介して把持することで、工具12がスピ
ンドル3の先端部に取付けられるようになっている。
尚、工具12とツールホルダ13とは、工具部15を構
成している。
Inside the spindle 3, there are provided a drawbar 9, which is a known mechanism, a chuck mechanism arranged on the tip side of the drawbar 9, a drawbar spring (not shown), and the like. On the other hand, the cutting tool 12 is attached to a tool holder 13, and the tool holder 13 has a pull stud 14 at its upper end. Then, the draw bar 9 on the spindle 3 side is axially displaced by a drive mechanism (not shown), so that the spindle 3
Inside, the chuck mechanism grips the pull stud 14 of the tool holder 13 via a steel ball, so that the tool 12 is attached to the tip portion of the spindle 3.
The tool 12 and the tool holder 13 form a tool unit 15.

【0020】工作機械50は、ベッド51上にサドル5
2及びテーブル53が配置されており、テーブル53上
に導電性材料よりなる被加工物54が載置される。ま
た、ベッド51上には、コラム55が立設されており、
そのコラム55は、主軸装置1を支持するようになって
いる。
The machine tool 50 has a saddle 5 on a bed 51.
2 and the table 53 are arranged, and the workpiece 54 made of a conductive material is placed on the table 53. A column 55 is erected on the bed 51,
The column 55 supports the spindle device 1.

【0021】また、コラム55と主軸装置1との間に
は、図示しない駆動機構が存在しており、主軸装置1を
上下方向に変位させて工具12により被加工物54の加
工を行なうようになっている。尚、ベッド51、サドル
52、テーブル53及びコラム55も、鉄系材料によっ
て構成されている。
There is a drive mechanism (not shown) between the column 55 and the spindle device 1, and the spindle device 1 is displaced in the vertical direction so that the workpiece 12 can be machined by the tool 12. Has become. The bed 51, saddle 52, table 53, and column 55 are also made of iron-based material.

【0022】ところで、ベッド51上のサドル52とテ
ーブル53とは、各々油膜を介した状態にあるため電気
的には非接触となっているが、これらの接触面積は比較
的大きく、また、テーブル53のサドル52に対する移
動速度は小さいため、直流抵抗値は小さい(設備によっ
て異なるが、大体1kΩ以下である)。
By the way, the saddle 52 on the bed 51 and the table 53 are electrically non-contact with each other through the oil film, but their contact area is relatively large, and the table Since the moving speed of 53 with respect to the saddle 52 is small, the DC resistance value is small (it depends on the equipment, but it is about 1 kΩ or less).

【0023】図2(a)には、工具部15の拡大図を示
す。ツールホルダ13の外周部には、リング状の工具側
電極17が同じくリング状の絶縁体16を介して配置さ
れている。そして、絶縁体16の内部には、アノードが
工具側電極17に接続され、カソードがツールホルダ1
3に接続されるダイオード(整流素子)18が埋設され
ている。尚、図1においては、理解を容易にするためダ
イオード18を外部に出して図示している。
FIG. 2A shows an enlarged view of the tool section 15. A ring-shaped tool-side electrode 17 is arranged on the outer peripheral portion of the tool holder 13 with a ring-shaped insulator 16 interposed therebetween. Then, inside the insulator 16, the anode is connected to the tool-side electrode 17 and the cathode is connected to the tool holder 1.
A diode (rectifying element) 18 connected to 3 is embedded. Incidentally, in FIG. 1, the diode 18 is shown outside for easy understanding.

【0024】また、工具側電極17の外側には、所定の
間隔を有して、円弧状を成す固定側電極19が配置され
ている。この固定側電極19は、例えば、ヘッド2に固
定支持されるようになっている。尚、図2(b)には、
2つの電極17,19の配置関係を断面図で示してい
る。
On the outside of the tool-side electrode 17, fixed-side electrodes 19 having an arc shape are arranged with a predetermined interval. The fixed electrode 19 is fixedly supported by the head 2, for example. In addition, in FIG.
The positional relationship between the two electrodes 17 and 19 is shown in a sectional view.

【0025】そして、高周波信号出力装置(高周波信号
出力手段)20の出力端子の一端はSWR(Standing Wa
ve Ratio)メータ21を介して固定側電極19に接続さ
れ、他端は主軸装置1のテーブル53(機械側アース)
に接続されている。高周波信号出力装置20は、例えば
100MHzの高周波信号を出力する。即ち、100M
Hzの高周波信号は2,3pF程度の容量でも静電結合
により伝送可能であり、また、FM帯でも使用されてい
ないためノイズが少ない。
One end of the output terminal of the high-frequency signal output device (high-frequency signal output means) 20 has an SWR (Standing Wafer).
ve Ratio) is connected to the fixed side electrode 19 via a meter 21, and the other end is a table 53 (machine side ground) of the spindle device 1.
It is connected to the. The high frequency signal output device 20 outputs a high frequency signal of 100 MHz, for example. That is, 100M
A high frequency signal of Hz can be transmitted even by a capacitance of about 2 or 3 pF by electrostatic coupling, and since it is not used even in the FM band, it has little noise.

【0026】また、固定側電極19側には、測定系の線
路のインピーダンスを調整するためのインピーダンス調
整部(インピーダンス調整手段)22が設けられてい
る。即ち、図3に等価回路で示すように、高周波信号出
力装置20の出力端子の一端は、コイル23及びトリマ
コンデンサ24を介して固定側電極19に接続されてお
り、また、両出力端子間にもトリマコンデンサ25が接
続されている。そして、これらのコイル23及びコンデ
ンサ24,25がインピーダンス調整部22を構成して
いる。尚、このインピーダンス調整部22は、その一部
または全部を固定側電極19に取り付けて一体に構成し
ても良いし、高周波信号出力装置20の出力端子と固定
側電極19との間に配置しても良い。
On the fixed electrode 19 side, an impedance adjusting section (impedance adjusting means) 22 for adjusting the impedance of the line of the measurement system is provided. That is, as shown by an equivalent circuit in FIG. 3, one end of the output terminal of the high-frequency signal output device 20 is connected to the fixed-side electrode 19 via the coil 23 and the trimmer capacitor 24, and between both output terminals. A trimmer capacitor 25 is also connected. The coil 23 and the capacitors 24 and 25 constitute the impedance adjusting section 22. The impedance adjusting unit 22 may be partially or wholly attached to the fixed-side electrode 19 to be integrally configured, or may be arranged between the output terminal of the high-frequency signal output device 20 and the fixed-side electrode 19. May be.

【0027】圧縮空気送出装置(圧縮空気送出手段)2
6は、固定側電極19側から2つの電極17,19の間
に乾燥圧縮空気を送出するものである。即ち、工具12
によって被加工物54の加工を行なう際には、切削屑が
生じたり、或いは冷却用のクーラント液が図示しない供
給手段によって供給される。これらが電極17,19の
間に入ると両者が短絡する可能性があることから、その
防止のために乾燥圧縮空気を送出するようになってい
る。
Compressed air delivery device (compressed air delivery means) 2
6 is for delivering dry compressed air from the fixed side electrode 19 side to between the two electrodes 17, 19. That is, the tool 12
When the workpiece 54 is processed by the above, cutting chips are generated, or a coolant liquid for cooling is supplied by a supply means (not shown). If they enter between the electrodes 17 and 19, there is a possibility that they will short-circuit, so dry compressed air is sent out to prevent this.

【0028】即ち、図4に示すように、固定側電極19
は、例えば樹脂製の固定側電極部27に取り付けられて
いる。固定側電極部27は、径方向に厚みを有する円弧
状に形成されており、工具側電極17と対向する面側に
は、例えば深さ1mm程度の溝28が形成されている。
そして、固定側電極19は、溝28に貼り付けられてい
る。
That is, as shown in FIG.
Is attached to the fixed side electrode portion 27 made of resin, for example. The fixed electrode portion 27 is formed in an arc shape having a thickness in the radial direction, and a groove 28 having a depth of, for example, about 1 mm is formed on the surface side facing the tool side electrode 17.
The fixed electrode 19 is attached to the groove 28.

【0029】また、固定側電極部27の図4(b)中左
方側には貫通孔29が設けられており、圧縮空気送出装
置26より送出された圧縮空気は、この貫通孔29を介
して工具側電極17と固定側電極19との間に供給され
る。尚、工具側電極17と固定側電極部27とのクリア
ランスは、例えば0.5mm程度である。また、溝28
及び貫通孔29も圧縮空気送出手段を構成している。
A through hole 29 is provided on the left side of the fixed electrode section 27 in FIG. 4 (b), and the compressed air sent from the compressed air sending device 26 passes through this through hole 29. And is supplied between the tool-side electrode 17 and the fixed-side electrode 19. The clearance between the tool-side electrode 17 and the fixed-side electrode portion 27 is, for example, about 0.5 mm. Also, the groove 28
The through hole 29 also constitutes a compressed air delivery means.

【0030】次に、本実施例の作用について図5をも参
照して説明する。図5(a)は、測定系の構成を、電気
的接続関係を中心として示すもので、図5(b)は、そ
の等価回路を示すものである。コンデンサC1は、固定
側電極19と工具側電極17との間における静電結合の
容量成分であり、ダイオード18のカソード側の抵抗R
1は、工具部15が有している抵抗分である。スイッチ
SWは、工具12と被加工物54との間の接触、非接触
状態に対応するものである。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 (a) shows the configuration of the measurement system centering on the electrical connection relationship, and FIG. 5 (b) shows its equivalent circuit. The capacitor C1 is a capacitive component of electrostatic coupling between the fixed-side electrode 19 and the tool-side electrode 17, and has a resistance R on the cathode side of the diode 18.
1 is a resistance component of the tool unit 15. The switch SW corresponds to a contact / non-contact state between the tool 12 and the workpiece 54.

【0031】また、抵抗R2は、スピンドル3の回転が
停止している場合における、玉軸受5及び6部の抵抗分
であり、コンデンサC2は、スピンドル3が回転してい
る場合における、スピンドル3とヘッド2との間の容量
分である。
The resistance R2 is the resistance of the ball bearings 5 and 6 when the rotation of the spindle 3 is stopped, and the capacitor C2 is equivalent to the resistance of the spindle 3 when the spindle 3 is rotating. This is the capacity between the head 2 and the head 2.

【0032】即ち、スピンドル3の回転が停止している
場合の直流抵抗は0Ωに近い値であるが、スピンドル3
が回転する場合は、玉軸受5,6におけるベアリングの
ボールは油膜に覆われるため、その油膜がキャパシタン
スC2をなす。この場合の直流抵抗は、設備によって異
なるが例えば20k〜30kΩ程度である。そして、抵
抗R3は、ヘッド2、ベッド51、サドル52、テーブ
ル53及びコラム55などが有する抵抗分である。尚、
ダイオード18のカソード側には、高周波チョークコイ
ル(平滑手段)30が介挿されているが、このチョーク
コイル30はダイオード18によって整流された信号を
平滑する目的で設けられている。
That is, the DC resistance when the rotation of the spindle 3 is stopped is a value close to 0Ω, but the spindle 3
When is rotated, the balls of the bearings in the ball bearings 5 and 6 are covered with the oil film, and the oil film forms the capacitance C2. The DC resistance in this case is, for example, about 20 k to 30 kΩ, although it depends on the equipment. The resistance R3 is a resistance component included in the head 2, the bed 51, the saddle 52, the table 53, the column 55, and the like. still,
A high frequency choke coil (smoothing means) 30 is inserted on the cathode side of the diode 18, and the choke coil 30 is provided for the purpose of smoothing the signal rectified by the diode 18.

【0033】図5(b)において、工具12と被加工物
54との間が非接触状態でスイッチSWが開いており、
且つ、スピンドル3の回転が停止している場合、高周波
信号出力装置20により出力される高周波信号は、コン
デンサC1,ダイオード18,抵抗R2,R3の実線で
示す経路で流れ、スピンドル3が回転すると、上記経路
における抵抗R2がコンデンサC2に置き換わる。
In FIG. 5 (b), the switch SW is open with the tool 12 and the workpiece 54 in a non-contact state,
In addition, when the rotation of the spindle 3 is stopped, the high frequency signal output by the high frequency signal output device 20 flows through the path indicated by the solid line of the capacitor C1, the diode 18, the resistors R2 and R3, and when the spindle 3 rotates, The resistor R2 in the above path replaces the capacitor C2.

【0034】そして、その状態から、工具12と被加工
物54との間が接触状態となり、スイッチSWが閉じる
と、高周波信号は、コンデンサC1,ダイオード18,
抵抗R1,スイッチSWの破線で示す経路で流れる。よ
って、この状態で測定系の線路インピーダンスが整合す
るように、インピーダンス調整部22により予め調整を
行なっておく。
Then, from that state, the tool 12 and the workpiece 54 come into contact with each other, and when the switch SW is closed, the high-frequency signal is transferred to the capacitor C1, the diode 18, and the like.
It flows in the path shown by the broken line of the resistor R1 and the switch SW. Therefore, in this state, the impedance adjustment unit 22 performs adjustment in advance so that the line impedance of the measurement system matches.

【0035】即ち、工具12が健全であれば、主軸1を
所定位置まで下降させた時に工具12の先端が被加工物
54に接触して両者は電気的に接続され、スイッチSW
が閉じることなる。一方、工具12が折損した場合は、
主軸1を所定位置まで下降させても工具12の先端は被
加工物54に接触しなくなるので、両者は電気的に接続
されることがない。従って、スイッチSWは開いたまま
となるので、伝送線路のインピーダンスは整合せず、反
射が生じる状態となる。すると、反射波によって伝送線
路に定在波が発生するようになり、その状態はSWRメ
ータ21によって観測することができる。
That is, if the tool 12 is sound, the tip of the tool 12 contacts the workpiece 54 when the spindle 1 is lowered to a predetermined position, and the two are electrically connected to each other.
Will be closed. On the other hand, if the tool 12 breaks,
Even if the spindle 1 is lowered to a predetermined position, the tip of the tool 12 does not come into contact with the workpiece 54, so the two are not electrically connected. Therefore, since the switch SW remains open, the impedances of the transmission lines are not matched and the reflection occurs. Then, the reflected wave causes a standing wave to be generated in the transmission line, and the state thereof can be observed by the SWR meter 21.

【0036】実際の使用形態を考慮すれば、被加工物5
4の加工が終了した後、主軸装置1を引き上げる際に、
工具12の先端が上記所定位置に達した時点で接触があ
るか否かによって折損を検知すれば良い。
Considering the actual usage, the work piece 5
When the spindle device 1 is pulled up after the processing of 4 is completed,
The breakage may be detected depending on whether or not there is contact when the tip of the tool 12 reaches the predetermined position.

【0037】以上のように本実施例によれば、スピンド
ル3の先端部に装着された状態で回転駆動される工具1
2を有してなる工具部15に絶縁体16を介して工具側
電極17を装着し、工具側電極17と工具部15との間
にダイオード18を接続して、工具側電極17と被加工
物54との間に高周波信号出力装置20により高周波信
号を出力する。そして、工具12が被加工物54に接触
する位置に変位した場合における高周波信号の状態に基
づいて工具12の折損を検知するようにした。
As described above, according to this embodiment, the tool 1 that is rotationally driven while being mounted on the tip of the spindle 3 is used.
The tool side electrode 17 is attached to the tool part 15 having 2 through the insulator 16, the diode 18 is connected between the tool side electrode 17 and the tool part 15, and the tool side electrode 17 and the workpiece are processed. The high-frequency signal output device 20 outputs a high-frequency signal to the object 54. Then, the breakage of the tool 12 is detected based on the state of the high-frequency signal when the tool 12 is displaced to the position where it contacts the workpiece 54.

【0038】即ち、工具12が折損している場合は、工
具12が被加工物に接触する位置に変位しても両者が接
触しなくなり測定系のインピーダンスが変化するので、
その変化の影響を受けて、高周波信号の出力状態が変化
する。従って、その時の変化状態により工具12の折損
を検知することができる。そして、被加工物54の加工
が行われている途中であっても折損の速やかな検知が可
能であり、また、工具12にかかる負荷が小さい場合で
も折損を検知することができる。
That is, when the tool 12 is broken, even if the tool 12 is displaced to the position where it contacts the workpiece, the two do not contact each other and the impedance of the measurement system changes.
Under the influence of the change, the output state of the high frequency signal changes. Therefore, the breakage of the tool 12 can be detected based on the change state at that time. The breakage can be quickly detected even while the workpiece 54 is being processed, and the breakage can be detected even when the load applied to the tool 12 is small.

【0039】また、工具側電極17と所定の間隔を有し
て静電結合するように配置される固定側電極19を備え
たので、高周波信号を、工具12側に対して非接触状態
で供給することが可能となり、工具12側が回転するこ
とに伴って磨耗するような部材が無く、安定した状態で
供給を行なうことができる。
Since the fixed side electrode 19 is provided so as to be electrostatically coupled to the tool side electrode 17 with a predetermined gap, a high frequency signal is supplied to the tool 12 side in a non-contact state. Therefore, there is no member that wears as the tool 12 rotates, and the supply can be performed in a stable state.

【0040】また、固定側電極19側に、高周波信号の
伝送線路のインピーダンスを調整するためのインピーダ
ンス調整部22を配置したので、伝送線路のインピーダ
ンスを整合させることで高周波信号を反射が生じない状
態にして工具12側に伝送できるので、変化状態の観測
を容易に行なうことができる。そして、SWRメータ2
1によって、高周波信号出力装置20側における電圧定
在波比を測定することで工具12の折損を容易に検知す
ることができる。
Further, since the impedance adjusting unit 22 for adjusting the impedance of the transmission line of the high frequency signal is arranged on the fixed electrode 19 side, the impedance of the transmission line is matched so that the high frequency signal is not reflected. Since it can be transmitted to the tool 12 side, the change state can be easily observed. And the SWR meter 2
1, the breakage of the tool 12 can be easily detected by measuring the voltage standing wave ratio on the high frequency signal output device 20 side.

【0041】更に、ダイオード18を、絶縁体16の内
部に埋め込んだ状態で配置したので、ダイオード18を
工具側電極17と工具部15との間に容易に接続するこ
とができる。また、スピンドル3を回転させて加工を行
う場合に、振動などによりダイオード18が脱落するこ
とを防止できる。
Furthermore, since the diode 18 is arranged so as to be embedded inside the insulator 16, the diode 18 can be easily connected between the tool-side electrode 17 and the tool portion 15. In addition, it is possible to prevent the diode 18 from falling off due to vibration when the spindle 3 is rotated for processing.

【0042】加えて、固定側電極19と工具側電極17
との間に圧縮空気を送出するための圧縮空気送出装置2
3を設けたので、両者の隙間にクーラント液や加工によ
り発生する切削屑などが入って短絡が発生することを防
止できる。
In addition, the fixed side electrode 19 and the tool side electrode 17
Compressed air delivery device 2 for delivering compressed air between
Since 3 is provided, it is possible to prevent a short circuit from occurring due to the coolant liquid or cutting chips generated by processing entering the gap between the two.

【0043】本発明は上記し且つ図面に記載した実施例
にのみ限定されるものではなく、次のような変形または
拡張が可能である。ダイオード18のカソードは、工具
12に直接接続しても良い。整流素子は、固定を確実に
行って脱落するおそれがないような場合は、必ずしも絶
縁体の内部に埋設する必要はない。折損の検出は、必ず
しも電圧定在波比を検出することで行う必要はなく、そ
の他、例えば電圧振幅の変化や、或いは伝送電力量の変
化等を観測することで検出しても良い。他の対策などに
よって、固定側電極19と工具側電極17との間にクー
ラント液や切削屑などが入るおそれがない場合は、圧縮
空気送出装置23を設けなくても良い。ビルトインタイ
プの主軸装置に限らず、主軸装置の外部にモータが配置
されるものであっても良い。
The present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, but the following modifications and expansions are possible. The cathode of the diode 18 may be directly connected to the tool 12. The rectifying element does not necessarily have to be embedded inside the insulator if the rectifying element is securely fixed and there is no risk of falling off. The breakage does not necessarily have to be detected by detecting the voltage standing wave ratio, but may be detected by, for example, observing a change in voltage amplitude, a change in transmission power amount, or the like. If there is no risk that coolant, cutting dust, or the like will enter between the fixed-side electrode 19 and the tool-side electrode 17 due to other measures, the compressed air delivery device 23 may not be provided. Not limited to the built-in type spindle device, the motor may be arranged outside the spindle device.

【0044】工具の状態としては、折損を検知するもの
に限ることなく、その他、例えば以下のようにして、工
具の長さや幅、或いは工具の振れなどを検出することも
可能である。工具の長さは、その先端が被加工物に接触
した時点における主軸装置の変位量で検知することがで
き、工具の幅は、工具が幅方向に変位する場合に同様に
して検知できる。また、工具の振れは、振れ幅の許容範
囲に対応する位置に被加工物側に電気的に接続される導
体板を配置しておけば、その導体板に工具が接触するこ
とで振れ幅が許容範囲一杯になったことが検知できる。
更に、被加工物の状態、例えば加工後の寸法を測定する
ことに適用しても良い。即ち、これについても、工具が
被加工物に接触した時点における主軸装置の変位量で検
知することが可能である。
The state of the tool is not limited to the one that detects breakage, but it is also possible to detect the length and width of the tool, or the deflection of the tool, for example, as follows. The length of the tool can be detected by the amount of displacement of the spindle device at the time when its tip comes into contact with the workpiece, and the width of the tool can be similarly detected when the tool is displaced in the width direction. In addition, if the conductor plate electrically connected to the workpiece is placed at a position corresponding to the allowable range of the runout width, the runout width of the tool will be reduced by the tool contacting the conductor plate. It can be detected that the allowable range is full.
Further, it may be applied to measure the state of the workpiece, for example, the dimension after processing. That is, this can also be detected by the amount of displacement of the spindle device when the tool contacts the workpiece.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明は以上に説明した通りであり、以
下の効果を奏する。請求項1記載の工具状態検知装置に
よれば、主軸の先端部に装着された状態で回転駆動され
る工具を有してなる工具部に、絶縁体を介して工具側電
極を装着し、工具側電極と静電結合するように配置され
る固定側電極と被加工物側との間に高周波信号を出力
し、工具の変位状態と高周波信号出力手段により出力さ
れる高周波信号の状態とに基づいて工具の状態を検知す
るようにした。
The present invention is as described above, and has the following effects. According to the tool state detection device of claim 1, the tool-side electrode is attached via an insulator to a tool portion including a tool that is rotationally driven in a state of being attached to a tip end portion of a spindle. A high frequency signal is output between the fixed side electrode disposed so as to be electrostatically coupled to the side electrode and the workpiece side, and based on the displacement state of the tool and the state of the high frequency signal output by the high frequency signal output means. To detect the tool condition.

【0046】即ち、工具と被加工物とが接触しているか
否かに応じて測定系のインピーダンスが変化するため、
その変化の影響を受けて、高周波信号出力手段側におい
て高周波信号の出力状態が変化するので工具の状態を検
知することができる。そして、被加工物の加工が行われ
ている途中であっても、また、工具にかかる負荷が小さ
い場合でも検知することができる。更に、高周波信号
を、工具側に対して非接触状態で供給することができる
ので、工具側が回転することに伴って磨耗するような部
材が無く、安定した状態で供給することができる。
That is, since the impedance of the measurement system changes depending on whether the tool and the workpiece are in contact with each other,
The output state of the high frequency signal changes on the side of the high frequency signal output means under the influence of the change, so that the state of the tool can be detected. Then, it can be detected even while the workpiece is being processed or even when the load applied to the tool is small. Further, since the high-frequency signal can be supplied to the tool side in a non-contact state, it is possible to supply the high-frequency signal in a stable state without any member that wears as the tool side rotates.

【0047】請求項2記載の工具状態検知装置によれ
ば、工具の状態として、工具の折損を検知するので、折
損を速やかに検知して対応することができる。請求項3
記載の工具状態検知装置によれば、固定側電極側に、高
周波信号の伝送線路のインピーダンスを調整するための
インピーダンス調整手段を配置したので、伝送線路のイ
ンピーダンスを調整して整合を取るようにすれば、高周
波信号を反射が生じない状態にして工具側に伝送するこ
とができ、変化状態の観測を容易に行なうことができ
る。
According to the tool state detecting device of the second aspect, since the breakage of the tool is detected as the state of the tool, the breakage can be quickly detected and dealt with. Claim 3
According to the tool state detecting device described above, the impedance adjusting means for adjusting the impedance of the transmission line of the high frequency signal is arranged on the fixed electrode side, so that the impedance of the transmission line should be adjusted to achieve matching. For example, the high frequency signal can be transmitted to the tool side in a state where reflection does not occur, and the change state can be easily observed.

【0048】請求項4記載の工具状態検知装置によれ
ば、高周波信号出力手段側における電圧定在波比を測定
することで工具の状態を検知するので、工具の状態が変
化した場合に伝送線路のインピーダンスが整合状態から
外れて反射波が発生したことを検出すれば、工具の状態
を容易に検知することができる。
According to the tool state detecting device of the fourth aspect, since the state of the tool is detected by measuring the voltage standing wave ratio on the high frequency signal output means side, the transmission line is changed when the state of the tool changes. The tool state can be easily detected by detecting that the reflected wave is generated when the impedance of the is out of the matched state.

【0049】請求項5記載の工具状態検知装置によれ
ば、整流素子を、絶縁体の内部に埋め込んだ状態で配置
するので、整流素子を工具側電極と工具部との間に容易
に接続することができる。また、主軸を回転させて加工
を行う場合に、振動などにより整流素子が脱落すること
を防止できる。
According to the tool state detecting device of the fifth aspect, since the rectifying element is arranged so as to be embedded in the insulator, the rectifying element is easily connected between the tool side electrode and the tool portion. be able to. In addition, it is possible to prevent the rectifying element from falling off due to vibration or the like when machining is performed by rotating the main shaft.

【0050】請求項6記載の工具状態検知装置によれ
ば、固定側電極と工具側電極との間に圧縮空気を送出す
るための圧縮空気送出手段を備えるので、両者の隙間に
クーラント液や加工により発生する切削屑などが入るこ
とで短絡が発生することを防止できる。
According to the tool state detecting device of the sixth aspect, since the compressed air delivery means for delivering the compressed air is provided between the fixed side electrode and the tool side electrode, the coolant liquid or the machining is provided in the gap between the two. It is possible to prevent the occurrence of a short circuit due to the inclusion of cutting chips and the like generated by.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であり、工作機械の構成を概
略的に示すと共に、工具状態検知装置の構成を示す図
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a machine tool and a configuration of a tool state detection device, which is an embodiment of the present invention.

【図2】(a)は工具部の拡大図、(b)は2つの電極
の配置関係を示す断面図
FIG. 2A is an enlarged view of a tool portion, and FIG. 2B is a cross-sectional view showing a positional relationship between two electrodes.

【図3】インピーダンス調整部の構成を示す等価回路図FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing a configuration of an impedance adjusting unit.

【図4】(a)は、固定側電極部の構成を示す斜視図、
(b)は同一部を透視して示す平面図
FIG. 4A is a perspective view showing a configuration of a fixed-side electrode portion,
FIG. 3B is a plan view showing the same portion as seen through.

【図5】(a)は測定系の構成を電気的接続関係を中心
として示すもので、(b)はその等価回路図
5A is a diagram showing the configuration of a measurement system, focusing on electrical connection relationships, and FIG. 5B is an equivalent circuit diagram thereof.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3はスピンドル(主軸)、12は工具、15は工具部、
16は絶縁体、17は工具側電極、18はダイオード
(整流素子)、19は固定側電極、20は高周波信号出
力装置(高周波信号出力手段)、21はSWRメータ、
22はインピーダンス調整部(インピーダンス調整手
段)、27は圧縮空気送出装置(圧縮空気送出手段)、
28は溝(圧縮空気送出手段)、29は貫通孔(圧縮空
気送出手段)、54は被加工物を示す。
3 is a spindle (spindle), 12 is a tool, 15 is a tool part,
Reference numeral 16 is an insulator, 17 is a tool side electrode, 18 is a diode (rectifying element), 19 is a fixed side electrode, 20 is a high frequency signal output device (high frequency signal output means), 21 is a SWR meter,
22 is an impedance adjusting unit (impedance adjusting means), 27 is a compressed air delivery device (compressed air delivery means),
Reference numeral 28 is a groove (compressed air delivery means), 29 is a through hole (compressed air delivery means), and 54 is a workpiece.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 忍 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 佐藤 厳一 愛知県名古屋市千種区振甫町3丁目2番地 (72)発明者 水谷 肇 愛知県豊田市吉原町平子26番地 富士精工 株式会社内 Fターム(参考) 3C029 DD04    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Shinobu Shimizu             1 Toyota Town, Toyota City, Aichi Prefecture Toyota Auto             Car Co., Ltd. (72) Inventor Kenichi Sato             Aichi Prefecture, Nagoya City Chikusa-ku, Shinjukucho 3-2 (72) Inventor Hajime Mizutani             26 Hirako Yoshiwara-cho, Toyota-shi, Aichi Fuji Seiko             Within the corporation F-term (reference) 3C029 DD04

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 主軸の先端部に装着された状態で回転駆
動される工具を有してなる工具部に、絶縁体を介して装
着される工具側電極と、 この工具側電極と所定の間隔を有して静電結合するよう
に配置される固定側電極と、 出力端子の一端が前記固定側電極に接続され、他端が前
記工具によって加工される導電性材料よりなる被加工物
側に接続され、出力端子間に高周波信号を出力する高周
波信号出力手段と、 前記工具側電極と前記工具部との間に接続される整流素
子とを備え、 前記工具の変位状態と、前記高周波信号出力手段により
出力される高周波信号の状態とに基づいて、前記工具の
状態を検知することを特徴とする工具状態検知装置。
1. A tool-side electrode mounted via an insulator on a tool part having a tool that is rotationally driven in the state of being mounted on the tip of a spindle, and a predetermined distance from this tool-side electrode. A fixed-side electrode disposed so as to be electrostatically coupled to the fixed-side electrode, one end of the output terminal is connected to the fixed-side electrode, and the other end is connected to the workpiece side made of a conductive material processed by the tool. A high-frequency signal output unit that is connected and outputs a high-frequency signal between output terminals; and a rectifying element that is connected between the tool-side electrode and the tool unit, the displacement state of the tool, and the high-frequency signal output A tool state detection device for detecting the state of the tool based on the state of the high frequency signal output by the means.
【請求項2】 前記工具の状態として、工具の折損を検
知することを特徴とする請求項1記載の工具状態検知装
置。
2. The tool state detection device according to claim 1, wherein breakage of the tool is detected as the state of the tool.
【請求項3】 前記固定側電極側に、高周波信号の伝送
線路のインピーダンスを調整するためのインピーダンス
調整手段を配置したことを特徴とする請求項2記載の工
具状態検知装置。
3. The tool state detecting device according to claim 2, wherein impedance adjusting means for adjusting the impedance of the transmission line of the high frequency signal is arranged on the fixed electrode side.
【請求項4】 前記高周波信号出力手段側における電圧
定在波比を測定することで、前記工具の状態を検知する
ことを特徴とする請求項3記載の工具状態検知装置。
4. The tool state detection device according to claim 3, wherein the state of the tool is detected by measuring a voltage standing wave ratio on the high frequency signal output means side.
【請求項5】 前記整流素子を、前記絶縁体の内部に埋
め込んだ状態で配置することを特徴とする請求項1乃至
3の何れかに記載の工具状態検知装置。
5. The tool state detection device according to claim 1, wherein the rectifying element is arranged in a state of being embedded inside the insulator.
【請求項6】 前記固定側電極と前記工具側電極との間
に圧縮空気を送出するための、圧縮空気送出手段を備え
たことを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の工
具状態検知装置。
6. The tool according to claim 1, further comprising compressed air delivery means for delivering compressed air between the fixed side electrode and the tool side electrode. State detection device.
JP2002142920A 2002-05-17 2002-05-17 Tool state detection device Expired - Fee Related JP4072377B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002142920A JP4072377B2 (en) 2002-05-17 2002-05-17 Tool state detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002142920A JP4072377B2 (en) 2002-05-17 2002-05-17 Tool state detection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003334743A true JP2003334743A (en) 2003-11-25
JP4072377B2 JP4072377B2 (en) 2008-04-09

Family

ID=29703076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002142920A Expired - Fee Related JP4072377B2 (en) 2002-05-17 2002-05-17 Tool state detection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4072377B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728282B1 (en) * 2006-08-21 2007-06-13 두산인프라코어 주식회사 Tool clamp certifying device and method of turning center machine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728282B1 (en) * 2006-08-21 2007-06-13 두산인프라코어 주식회사 Tool clamp certifying device and method of turning center machine

Also Published As

Publication number Publication date
JP4072377B2 (en) 2008-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8276489B2 (en) Spindle apparatus
US7066028B2 (en) Acoustic sensor for monitoring machining processes in machining tools
CN100509273C (en) Machine tool accessory and machine tool thereof
TWI507102B (en) Processing device
JP4184575B2 (en) Workpiece machining method, tool breakage detection method, and machining apparatus
JP5313026B2 (en) Cutting equipment
JP4072377B2 (en) Tool state detection device
JP3063810B2 (en) Rotating device having static pressure air bearing and method of manufacturing inner cylinder thereof
JP4034612B2 (en) Blind hole machining method for multilayer circuit boards
JP4167007B2 (en) Tool state detection device
JP5453640B2 (en) Electric discharge machine
JP2002233933A (en) Contact detecting method and device for machine tool
JP3948301B2 (en) Processing device, method for detecting deflection of rotary tool mounted on processing device, and method for checking detection circuit of processing device
JPH10217069A (en) Approach-contact detecting method between work and tool and device thereof
WO2000009289A1 (en) Apparatus for detecting operation of machine tool
JP2006263907A (en) Electric discharge machine
JPH0753877Y2 (en) Spindle shaft rotation abnormality detection device
JP2004190740A (en) Non-contact bearing spindle device
JPH11188576A (en) Tool position detecting device of machine tool
JP7370069B2 (en) Workpiece inspection device
JP4373297B2 (en) Processing equipment
JP2022054177A (en) Machine tool and method for determining tool unit fitting state
JPS6171967A (en) Method and device for locating of rotary grinder
JP2002328002A (en) Conductor detecting device
JPH08294843A (en) Machining device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050421

A977 Report on retrieval

Effective date: 20071214

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20071225

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20080121

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees