JP2003326702A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JP2003326702A JP2002135506A JP2002135506A JP2003326702A JP 2003326702 A JP2003326702 A JP 2003326702A JP 2002135506 A JP2002135506 A JP 2002135506A JP 2002135506 A JP2002135506 A JP 2002135506A JP 2003326702 A JP2003326702 A JP 2003326702A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink head capable of dealing readily with high density by saving the space of the channel structure.
SOLUTION: The ink jet head comprises a plurality of nozzles 35 ejecting ink, pressure chambers 36 being connected with the nozzles 35, limit channels 43 having one end being connected with one end of the pressure chambers 36, and a common ink chamber 7 being connected with the other end of the pressure chambers 36 and distributing ink to the pressure chambers 36. The head has a laminated plate structure including at least following plates. (1) A first plate P1 forming the pressure chambers 36, (2) a second plate P2 forming the common ink chamber 7, and (3) a third plate P3 interposed between the first plate P1 and the second plate P2 to form the limit channels 43. The limit channels 43 are formed in the third plate P3 to elongate along the plane direction thereof and extend from one end being connected with the pressure chambers 36 in a direction parallel with the plane defined by the plurality of pressure chambers 36.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記録装置において、インクの微小液滴を噴射させて印字面上に画像を形成するインクジェットヘッドの構成に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] [Technical Field of the Invention The present invention is an ink jet recording apparatus, a structure of the ink jet head for forming an image on a fine liquid droplets by ejecting the printing surface on the ink. 【0002】 【従来の技術】インクジェットプリンタなどのインクジェット記録装置に備えられるインクジェットヘッドとしては、印字面に対しインクを噴射するための複数のノズルを備えるとともに、各ノズルごとに設けられて該ノズルに接続される圧力室や、該圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室を、インクジェットヘッド内部に設けた構成が知られている。 [0002] As an ink-jet head provided in the ink jet recording apparatus such as Ink jet printer is provided with a plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, to the nozzle provided for each nozzle and connected thereto a pressure chamber, a common ink chamber for supplying ink to the distribution to the pressure chamber, the configuration provided inside the inkjet head is known. 共通インク室は、インクジェットヘッド外面に設けられるインク供給口を介して、図示しないインク供給源(例えば、インクタンク)に接続される。 Common ink chamber via an ink supply port provided in the ink jet head outer surface, are connected to an ink supply source (not shown) (e.g., an ink tank). この構成で、インク供給源から共通インク室に導入されたインクは、各圧力室に分配して供給される。 In this arrangement, ink introduced into the common ink chamber from an ink supply source is supplied by distributing the respective pressure chambers. 圧力室には例えば圧電素子よりなるアクチュエータが備えられており、このアクチュエータの駆動によって噴射エネルギーを与えられたインクは、ノズルから噴射されて、印字面に所望の画像を形成する。 The pressure chamber is provided with an actuator made of a piezoelectric element for example, ink given firing energy by the driving of the actuator is ejected from the nozzle, to form a desired image on the printed surface. 【0003】そして、これらの圧力室や共通インク室などを内部に形成するために、圧力室や共通インク室等の形状を予めエッチング等で形成した薄い平板群を互いに積層させて固定する方法が広く採用されている。 [0003] Then, in order to form a these pressure chambers and the common ink chamber therein, a method of fixing by laminating together a previously thin tabular group formed by etching or the like shape such as a pressure chamber and the common ink chamber It has been widely adopted. 【0004】そして、アクチュエータの駆動によって圧力室内のインクに生じた圧力をノズル側に効率良く向かわせるために、共通インク室に向かうのを制限する制限流路を備えたインクジェットヘッドの構成も広く知られている。 [0004] Then, the pressure generated in the ink in the pressure chamber by driving of the actuator to direct efficiently the nozzle side, wider configuration of the inkjet head provided with a restricted flow path that restricts the toward the common ink chamber Intellectual It is. 【0005】この構成例が図11に示されており、この図11のインクジェットヘッド6は、六枚の薄い金属平板(11・12・13X・13Y・14・15)を積層させて構成したキャビティプレート10を備える。 [0005] This configuration example is shown in Figure 11, the ink-jet head 6 of FIG. 11, the cavity configured by laminating six sheets of thin flat metal plate (11 · 12 · 13X · 13Y · 14 · 15) It comprises a plate 10. このキャビティプレート10内部には、前記共通インク室7 Inside the cavity plate 10, the common ink chamber 7
や、圧力室36が形成される。 And, the pressure chamber 36 is formed. 符号35はノズルである。 Reference numeral 35 is a nozzle. この構成では、図示しないインク供給口から共通インク室7内部へ導入されたインクは、インク供給孔38 In this arrangement, ink introduced from the ink supply port (not shown) into the internal common ink chamber 7, the ink supply hole 38
を経由して圧力室36の端部36bに至り、絞り部(制限流路)36dを通過して圧力室36内部へ導かれる。 Via reaches the end 36b of the pressure chamber 36, is guided to the inner pressure chamber 36 through the throttle portion (restricted flow passage) 36d.
そして、アクチュエータ20の駆動によりインク噴射圧力が与えられた圧力室36内部のインクは、貫通孔37 Then, ink inside the pressure chamber 36 to the ink ejection pressure is applied by driving the actuator 20, through hole 37
を経由してノズル35へ至り、下方の印字面(図略)に向けて噴射される。 Via leads to the nozzle 35, it is injected toward the lower side of the printing surface (not shown). 【0006】前記の制限流路36dは平板15の下面側からハーフエッチングで溝状に形成してあり、形成される制限流路36dの流路断面積を圧力室36よりも小さく抑えて、圧力室36から共通インク室7側に逆流するインク流を制限するための流路抵抗を確保する構成となっている。 [0006] The restriction passage 36d is Yes formed in a groove shape at the half-etching from the lower surface side of the flat plate 15, the flow path cross-sectional area of ​​the restriction passage 36d formed suppressed smaller than the pressure chamber 36, the pressure It has a structure to ensure a flow path resistance for limiting the flow of ink flowing back to the common ink chamber 7 side from the chamber 36. 【0007】 【発明が解決しようとする課題】しかし、この図11に示すような従来のインクジェットヘッド6は、制限流路36dが圧力室36と同じ平板(平板15)に、圧力室36の延長方向に設けられているため、平板の平面方向に(圧力室の長さ)+(制限流路の長さ)の幅が必要となる。 [0007] The present invention is to provide, however, the conventional ink jet head 6, as shown in FIG. 11, the same flat restricted flow path 36d is a pressure chamber 36 (the flat plate 15), the extension of the pressure chamber 36 because it is provided in the direction, the width of the planar direction of the flat plate (length of the pressure chamber) + (the length of the restricted flow passage) is required. 従って、インクジェットヘッドのコンパクト化や、画像の高解像度化のニーズに伴う高集積化の要請に応えることが困難であるという不都合があった。 Therefore, compactness and the ink jet head, to meet the demand for high integration with the needs of the higher resolution of the image is a disadvantage that it is difficult. 【0008】また、圧力室36と制限流路36aは、インクジェットヘッドにおいて高い精度が要求され、両者を同じ平板15に作り込むことはその両者を同時に高い精度で加工しなければならず、製造の歩留まりが悪く、 Further, restricted flow path 36a and the pressure chamber 36 is required to have high accuracy in the ink jet head, it must be processed at the same time high accuracy both to fabricate both the same flat plate 15, the manufacturing yield is poor,
コストが増大する問題があった。 Cost there has been a problem to increase. さらに、他の課題は、 In addition, other challenges,
制限流路36aを、圧力室36と同じ平板15に作り込むには、必要な流路断面積を得るために、ハーフエッチングで溝状に形成し、このハーフエッチングの深さを高い精度で加工しなければならず、やはり、製造の歩留まりが悪く、コストが増大することである。 Processing the restricted flow path 36a, the fabricated in the same flat plate 15 and the pressure chamber 36, in order to obtain a flow passage cross-sectional area necessary to form the groove shape by half-etching, the depth of the half etching with high precision It must still poor manufacturing yields, is that the cost is increased. 【0009】 【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 [0009] solving problems you try of the present invention SUMMARY OF] is as described above, will be described a means for solving this problem. 【0010】即ち、請求項1においては、印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、該ヘッドユニットを構成する平板は、・前記圧力室を形成する第1平板と、・前記共通インク室を形成する第2平板と、・前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、前記制限流路は第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに、前記圧力室と接続する一端から複数の圧力室のなす [0010] That is, in claim 1, and a plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, and a pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzle, one end of the pressure chamber to a restricted flow path connecting one end connected to the other end of the restricted flow path, there in the inkjet head of the flat laminated structure having a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber Te, flat plate constituting the head unit includes a first flat plate to form a - the pressure chamber, and a second plate which forms a - the common ink chamber to form-the restricted flow path, said first flat plate a third flat plate located between the second plate includes at least a, and, the restricted flow path while being formed longer along the surface direction to the third flat plate, a plurality of end that communicates with the pressure chamber mercy of the pressure chamber 面と平行な方向に伸びているものである。 Those extending in the direction parallel to the plane of. これにより、制限流路を、圧力室と積層方向に重なる位置を含む圧力室と平行な面において任意の方向に配置することを可能にし、インクジェットヘッドのコンパクト化、高集積化を可能にする。 Thus, the restricted flow path, making it possible to place in any direction in a plane parallel to the pressure chamber comprising a position overlapping in the stacking direction with the pressure chamber, compact ink-jet head, which enables high integration. また、圧力室と制限流路を別々の平板に形成することで、従来のように両者を同時に高い精度で加工しなければならない課題を解消してコストの低減を可能にする。 Further, by forming the restricted flow path between the pressure chamber separately of the plate, allowing a reduction in costs by eliminating the conventional problems to be processed both at the same time high accuracy as. これらは、さらに以下の構成によって容易に実現することができる。 These can be easily realized yet by the following configuration. 【0011】請求項2においては、前記制限流路は第3 [0011] In claim 2, the restricted flow passage third
平板に貫通状に形成されるとともに、この第3平板と前記第1平板との間に第4平板を介在させて、該第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設けたものである。 It is formed in a flat plate through-shaped, and the fourth flat plate is interposed between the third flat plate and the first flat plate, connecting flow that connects the restricted flow path and the pressure chamber to the fourth flat plate it is provided with a road. 【0012】請求項3においては、前記第1平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第1平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられているものである。 [0012] In claim 3, causes laminated without passing through the flat plate and the third flat plate and the first flat plate, wherein the restricted flow path on the opposite side surface and the first flat plate of the third flat plate groove provided, and, in the third flat plate, connecting flow passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage is one that is provided in a penetrating manner. 【0013】請求項4においては、前記制限流路は前記平板の積層方向において前記共通インク室と前記圧力室との間にあって、前記第2平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第2 [0013] In claim 4, wherein the restricted flow path there between the common ink chamber and the pressure chamber in the stacking direction of the flat plate, are stacked without using the flat plate and the second flat plate and the third flat plate together, said third flat plate second
平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられているものである。 Flat and the restricted flow path on the opposite side is provided in a groove shape, and, in the third flat plate, connecting flow passage for connecting the common ink chamber and the restricted passage is provided in a penetrating manner it is intended. 【0014】請求項5においては、印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、 [0014] In claim 5, a plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, and a pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzles, the one end of the pressure chamber a restricted flow path connecting one end,
この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、該ヘッドユニットを構成する平板は、・前記圧力室を形成する第1 Connected to the other end of the restricted flow path, an ink jet head of the flat laminated structure having a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber, a flat plate constituting the head unit, · the formation of the pressure chamber 1
平板と、・前記共通インク室を形成する第2平板と、・ A second flat plate to form a flat plate, a-the common ink chamber, -
前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、前記制限流路は前記第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに板厚方向に貫通して形成され、また、 Wherein forming the restricted flow path, and a third flat plate located between the first flat plate and the second plate includes at least a, and, the restricted flow path is long along the surface direction in the third flat plate formed therethrough in the thickness direction while being formed, also,
前記制限流路は、その長さ方向と直交する断面が、前記共通インク室から圧力室に至るインク流路において最小の断面積を有するものである。 Wherein the restriction passage cross-section perpendicular to the longitudinal direction, and has a minimum cross-sectional area in the ink flow path to the pressure chamber from the common ink chamber. これにより、制限流路の深さを、ハーフエッチングによらず低コストで高い精度で確保し、所定の流路抵抗を低コストで得ることを可能にする。 Thus, the depth of the restricted flow path, ensuring a high degree of accuracy at a low cost regardless of the half-etching, making it possible to obtain at low cost a certain flow resistance. また、制限流路を、圧力室と積層方向に重なる位置を含む圧力室と平行な面において任意の方向に配置することを可能にし、インクジェットヘッドのコンパクト化、高集積化を可能にする。 Further, the restricted flow path, making it possible to place in any direction in a plane parallel to the pressure chamber comprising a position overlapping in the stacking direction with the pressure chamber, compact ink-jet head, which enables high integration. また、圧力室と制限流路を別々の平板に形成することで、従来のように両者を同時に高い精度で加工しなければならない課題を解消してコストの低減を可能にする。 Further, by forming the restricted flow path between the pressure chamber separately of the plate, allowing a reduction in costs by eliminating the conventional problems to be processed both at the same time high accuracy as. これらは、さらに以下の構成によって容易に実現することができる。 These can be easily realized yet by the following configuration. 【0015】請求項6においては、前記制限流路は、前記共通インク室と前記圧力室とに接続する両端よりも、 [0015] In claim 6, wherein the restricted flow path, than both ends connected to said common ink chamber and said pressure chamber,
その中間の方が断面積が小さいものである。 Its direction of the intermediate is of smaller cross-sectional area. 【0016】請求項7においては、前記第3平板は、インクジェットヘッドを構成する積層平板のうち最も薄いものである。 [0016] In claim 7, wherein the third flat plate is thinnest among the stacked flat plate constituting the ink jet head. 【0017】請求項8においては、前記制限流路は、前記平板の積層方向において前記共通インク室と圧力室との間に位置させるとともに、前記第3平板と前記第1平板との間に第4平板を介在させ、この第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設け、かつ、前記第3平板と前記第2平板との間に第5平板を介在させ、この第5平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路を設けたものである。 [0017] In claim 8, wherein the restricted flow path, with is located between the common ink chamber and the pressure chamber in the stacking direction of the flat plate, first between the third flat plate and the first flat plate 4 flat plate is interposed, the communication passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage to the fourth flat plate provided, and, the fifth flat plate is interposed between the third flat plate and the second flat plate , to the fifth flat plate, it is provided with a connecting passage for connecting the common ink chamber and the restricted passage. 【0018】 【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, the preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 図1は、本発明の一実施形態のインクジェットヘッドを備えたカラーインクジェットプリンタの斜視図である。 Figure 1 is a perspective view of a color ink jet printer having an ink jet head of an embodiment of the present invention. 【0019】図1において、このカラーインクジェットプリンタ100のプリンタヘッド63は、その本体フレーム68に、四色(例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック)のインクを噴射させるために各色ごとに配設された計四個の圧電式のインクジェットヘッド6を固着し、更に、カラーインクがそれぞれ充填される計四個のインクカートリッジ61を本体フレーム68に脱着可能に取り付けた構成としている。 [0019] In FIG. 1, the printer head 63 of the color ink-jet printer 100 has, in its main body frame 68, four colors (e.g., cyan, magenta, yellow, black) are arranged for each color in order to eject ink of was total fixed the four inkjet heads 6 of the piezoelectric type, further, has a total of four ink cartridges 61 in which the color inks are respectively filled with configuration removably attached to the frame 68. この本体フレーム6 The body frame 6
8は、駆動機構65により直線方向に往復駆動されるキャリッジ64に固着されている。 8 is fixed to the carriage 64 is reciprocally driven in a linear direction by a drive mechanism 65. 用紙を送るためのプラテンローラ66は、その軸線がキャリッジ64の往復移動方向に沿うよう配置され、インクジェットヘッド6と対向されている。 A platen roller 66 for feeding the paper, its axis is arranged along the reciprocating direction of the carriage 64, and is opposed to the ink-jet head 6. 【0020】キャリッジ64は、プラテンローラ66の支軸と平行に配設されるガイド軸71およびガイド板7 [0020] The carriage 64, the guide is disposed parallel to the shaft of the platen roller 66 shaft 71 and the guide plate 7
2によって、摺動自在に支持される。 By 2, it is slidably supported. ガイド軸71の両端部の近傍にはプーリー73・74が支持され、これらのプーリー73・74の間に無端ベルト75が掛け渡される。 In the vicinity of both end portions of the guide shaft 71 is supported a pulley 73, 74, endless belt 75 is stretched between these pulleys 73, 74. 前記のキャリッジ64はこの無端ベルト75に固定される。 The carriage 64 of the is fixed to the endless belt 75. このような駆動機構65の構成において、一方のプーリー73がモータ76の駆動により正逆回転されると、それに伴ってキャリッジ64がガイド軸71およびガイド板72に沿って直線方向に往復駆動され、プリンタヘッド63の往復移動を行わせる。 In such a configuration of the drive mechanism 65, when one of the pulley 73 is normally and reversely rotated by driving the motor 76, the carriage 64 with it being reciprocally driven in a linear direction along the guide shaft 71 and the guide plate 72, causing reciprocating movement of the printer head 63. 【0021】用紙62は、インクジェットプリンタ10 [0021] The paper 62, the ink-jet printer 10
0の側方に設けられた給紙カセット(図示せず)から給紙され、インクジェットヘッド6とプラテンローラ66 Provided on the side of 0 is fed from the paper feed cassette (not shown), the ink-jet head 6 and the platen roller 66
との間の空間に導かれて、インクジェットヘッド6から噴射されるインクにより所定の印字がなされた後に排紙される。 Guided into the space between the is discharged after a predetermined printing has been performed by the ink ejected from the ink jet head 6. なお、図1においては、用紙62の給紙機構および排紙機構の図示を省略している。 In FIG. 1, it is not shown a feeding mechanism and a discharging mechanism of the sheet 62. 【0022】パージ機構67は、前記インクジェットヘッド6の内部に溜まる気泡やゴミなどを含んだ不良インクを強制的に吸引して除去するためのものである。 The purge mechanism 67 is provided for removing by forcibly sucks any defective ink containing air bubbles or dust accumulated inside the ink-jet head 6. このパージ機構67はプラテンローラ66の側方に設けられ、前述の駆動機構65によってプリンタヘッド63がリセット位置に至ったときにそのインクジェットヘッド6に対向するよう、該パージ機構67の配設位置が定められている。 The purge mechanism 67 is provided on the side of the platen roller 66, so as to face the inkjet head 6 when the printer head 63 by the drive mechanism 65 described above has reached the reset position, the arrangement position of the purge mechanism 67 It is defined. このパージ機構67はパージキャップ81 The purge mechanism 67 may purge cap 81
を備えており、インクジェットヘッド6の下面に設けられる多数のノズル(詳細は後述)を覆うように、当該インクジェットヘッド6の下面に対し当接する。 Includes a (described later in detail) a plurality of nozzles provided on the lower surface of the ink-jet head 6 so as to cover the abut against the lower surface of the inkjet head 6. この構成で、プリンタヘッド63がリセット位置にあるときに、 In this arrangement, when the printer head 63 is in the reset position,
このキャリッジ64に設けられているインクジェットヘッド6のノズルをパージキャップ81で覆って、インクジェットヘッド6の内部に溜まる気泡などを含んだ不良インクを、カム83の駆動によりポンプ82によって吸引して廃インク溜め84へ廃棄することにより、インクジェットヘッド6の復旧を行うようにしている。 The nozzles of the ink-jet head 6 provided on the carriage 64 is covered with the purge cap 81, any defective ink containing air bubbles trapped inside the ink-jet head 6, is aspirated by the pump 82 by driving the cam 83 waste ink by discarding the reservoir 84, and to perform the recovery of the ink jet head 6. これにより、インクジェットヘッド6に対するインクの初期導入時において気泡を除去でき、あるいは、印字に伴う内部の気泡の成長などによって陥っていた噴射不良状態からインクジェットヘッド6を正常状態へ復帰させることができる。 This can remove the air bubbles at the time of initial introduction of the ink to the inkjet head 6, or can be returned from the jetting failure state has fallen or the like inside the bubble growth due to printing an ink-jet head 6 to the normal state. なお、図1に示すキャップ85は、印字が終了してリセット位置に戻されるキャリッジ64上のインクジェットヘッド6の多数のノズルを覆って、インクの乾燥を防止するためのものである。 Incidentally, the cap 85 shown in Figure 1, printing over a number of nozzles of the inkjet head 6 on the carriage 64 is returned to the reset position ends, is intended to prevent the ink from drying. 【0023】プリンタヘッド63を上下逆さまにした状態の斜視図が図2に示される。 The perspective view of a state in which the printer head 63 and turned upside down is shown in FIG. 該プリンタヘッド63の本体フレーム68は同図に示すように、その上面側(図2においては下面側に位置するよう図示している)が開放された略箱状に形成されており、その開放された側から四つのインクカートリッジ61を着脱自在に装着できるようにして、搭載部を形成している。 Frame 68 of the printer head 63, as shown in the figure, are formed on the upper surface side substantially box-like shape (as shown so as to be positioned on the lower side in FIG. 2) is opened, the open as the four ink cartridges 61 from the side that is detachably attached, to form a mounting portion. 図2に示すように、本体フレーム68の搭載部の一側部位には、各インクカートリッジ61のインク放出部に接続できるインク供給通路4・4・4・4が、本体フレーム68の底板5 As shown in FIG. 2, at one side portion of the mounting portion of the main frame 68, the ink supply passages 4, 4, 4, 4 that can be connected to the ink discharge portion of the ink cartridge 61, the bottom plate 5 of the main frame 68
の下面(インクジェットヘッド6が固着される側の面) The lower surface of the (surface on which the ink-jet head 6 is fixed)
まで連通している。 It is communicated to. また、それぞれのインク供給通路4 Further, each of the ink supply passage 4
に対応させて、インクジェットヘッド6のインク供給口(後述)と密接できるようにしたゴム製等のジョイント部材47が、底板5の下面に取り付けられる。 In correspondence with the joint member 47 of rubber or the like to allow close contact with the ink supply port of the ink-jet head 6 (described later) is attached to the lower surface of the bottom plate 5. 【0024】図2に示すように、底板5の下面側には、 As shown in FIG. 2, the lower surface side of the bottom plate 5,
インクジェットヘッド6を四つ並列させて配置させるための四つの支持部8を、段付き状に形成している。 Four support portions 8 for disposing the ink jet head 6 by four parallel, are formed in a stepped shape. インクジェットヘッド6は、この各支持部8に対し、紫外線硬化型の接着剤にて固定される。 Inkjet head 6, with respect to the respective support portions 8, is fixed by ultraviolet curing adhesive. 【0025】インクジェットヘッド6の斜視図が図3に示される。 The perspective view of the ink jet head 6 is shown in FIG. このインクジェットヘッド6は積層型のキャビティプレート10を有しており、該キャビティプレート10に対してプレート型の圧電アクチュエータ(以下「アクチュエータ」)20が、接着剤又は接着シートを介して接着・積層される。 The inkjet head 6 has a cavity plate 10 of the multilayer piezoelectric actuator (hereinafter "actuators") 20 of the plate type with respect to the cavity plate 10, is bonded and laminated through an adhesive or the adhesive sheet that. そして更にアクチュエータ2 And further actuator 2
0の上面には、外部機器との電気的接続のためのフレキシブルフラットケーブル40が、接着剤にて重ね接合されている。 The upper surface of 0, the flexible flat cable 40 for electrical connection to the external device, are joined superposed with an adhesive. 最下層のキャビティプレート10の下面側にはノズル35が多数開口されており、各ノズル35から下向きにインクが噴射される。 The lower surface of the lowermost cavity plate 10 and nozzle 35 is many openings, the ink is ejected downward from the nozzles 35. 【0026】図4はキャビティプレート10の分解斜視図を、図5はキャビティプレート10の分解拡大斜視図(図4のV−V方向断面)を、それぞれ示す。 [0026] Figure 4 is an exploded perspective view of the cavity plate 10, FIG. 5 is an exploded enlarged perspective view of the cavity plate 10 a (V-V cross section in FIG. 4), respectively. キャビティプレート10は図4・図5に示すように、ノズルプレート11、ダンパプレート12、二枚のマニホールドプレート13X・13Y、三枚のスペーサプレート14X Cavity plate 10, as shown in FIGS. 4 and 5, the nozzle plate 11, a damper plate 12, two manifold plates 13X, 13Y, three sheets of spacer plates 14X
・14Y・14Z、ベースプレート15の計八枚の薄い金属板を、それぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造としている。 · 14Y · 14Z, a total of eight sheets of thin metal plate of the base plate 15, has a structure formed by laminating and bonding overlapped with each adhesive. 【0027】ノズルプレート11には図4・図5に示すように、微小径(本実施形態では、25μm程度)のインク噴射用のノズル35が、プレスにより多数穿設されている。 [0027] As the nozzle plate 11 shown in FIGS. 4 and 5 (in this embodiment, approximately 25 [mu] m) small diameter nozzle 35 for ejection of ink has been drilled a number by pressing. このノズル35は、当該ノズルプレート11における長手方向に沿って、微小の間隔をおいて千鳥状の二列に配列されている。 The nozzle 35 along the longitudinal direction of the nozzle plate 11, are arranged in a staggered two rows at intervals of the minute. 【0028】ベースプレート15(第1平板P 1 )には図5に示すように、複数の圧力室36・36・・・が、 [0028] The base plate 15 (first flat plate P 1) as shown in FIG. 5, a plurality of pressure chambers 36, 36, ...,
ベースプレート15の長手方向に沿って千鳥状配列で二列に穿設されている。 They are bored in two rows in staggered arrangement along the longitudinal direction of the base plate 15. 圧力室36の具体的な形状が図5 Figure concrete shape of the pressure chamber 36 5
に示されるが、この図に示すように各圧力室36は、その長手方向が該ベースプレート15の長手方向に対して直交するように、細幅に形成されている。 Although shown in, each of the pressure chambers 36, as shown in this figure, the longitudinal direction so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the base plate 15, are formed in narrow. 【0029】そして図6に示すように、各圧力室36の一端部36aが、三枚のスペーサプレート14X・14 [0029] Then, as shown in FIG. 6, one end portion 36a of the pressure chambers 36, three sheets of spacer plates 14X · 14
Y・14Z、二枚のマニホールドプレート13X・13 Y · 14Z, two manifold plates 13X · 13
Y、およびダンパプレート12に同じく千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔37を介して、ノズルプレート11における前述のノズル35に連通している。 Y, and through the small-diameter through holes 37 are bored in the same staggered to the damper plate 12, and communicates with the aforementioned nozzles 35 in the nozzle plate 11. 【0030】ベースプレート15に隣接する上側スペーサプレート14X(第4平板P 4 )には、各圧力室36 [0030] The upper spacer plate 14X adjacent to the base plate 15 (fourth flat plates P 4), each pressure chamber 36
に対応する位置にインク供給孔(連絡流路)38が穿設され、このインク供給孔38が、各圧力室36の他端部36bに接続される。 The ink supply hole (communication passage) 38 is bored at a position corresponding to this ink supply hole 38 is connected to the other end portion 36b of the pressure chambers 36. すぐ下側に位置する中間スペーサプレート14Y(第3平板P 3 )には絞り部(制限流路)43が、該中間スペーサプレート14Yの面方向に沿って細長く(具体的には、前記圧力室36の長手方向と平行に細長く)、板厚方向に貫通させて形成される。 Immediately intermediate spacer plate 14Y positioned on the lower side (third flat plate P 3) in the diaphragm portion (restricted flow passage) 43, the elongated along the surface direction of the intermediate spacer plate 14Y (specifically, the pressure chamber parallel elongated to the longitudinal direction of 36), is formed by penetrating in the thickness direction.
前記インク供給孔38は、この絞り部43の一端に連通される。 The ink supply hole 38 is communicated with one end of the throttle portion 43. 絞り部43の他端は、下側スペーサプレート1 The other end of the throttle portion 43, the lower spacer plates 1
4Z(第5平板P 5 )に貫通して設けられた導入孔(連絡流路)44を介して、後述する共通インク室7に連通する。 4Z through the introduction hole (communication passage) 44 provided through the (fifth flat plate P 5), communicating with the common ink chamber 7 to be described later. 【0031】共通インク室7から絞り部43、圧力室3 The common ink chamber 7 from the throttle unit 43, the pressure chamber 3
6と経てノズル35に至るインク流路の輪郭を斜視図で示したものが図7であり、この図においては絞り部43 It shows the outline of an ink flow path to the nozzle 35 in a perspective view through a 6 is 7, the aperture 43 in FIG.
を実線で強調して示してある。 The are shown highlighted in solid lines. この図7に示すように、 As shown in FIG. 7,
絞り部43はその長手方向中央部において細く絞られた形状とされている。 Throttle unit 43 is a finely focused shape in its longitudinal center. 即ち、インク供給孔38を介して圧力室36へ接続する端部や、導入孔44を介して共通インク室7に接続する端部よりも、長手方向中間部の流路断面積(絞り部43の長さ方向と直交する断面の面積) That is, the end portion and which connects to the pressure chamber 36 via the ink supply hole 38, than the end that communicates with the common ink chamber 7 through the introduction hole 44, the flow path cross-sectional area of ​​the longitudinally intermediate portion (narrowed portion 43 area of ​​the cross section perpendicular to the longitudinal direction of)
Sが小さくなるよう構成されている。 S is configured to decrease. そして、この絞り部43の中間部の流路断面積Sが、共通インク室7から圧力室36まで至るインク流路において最小とされている。 Then, the flow path cross-sectional area S of the intermediate portion of the diaphragm portion 43 is at the minimum ink flow path extending from the common ink chamber 7 to the pressure chamber 36. この絞り作用によって、後述するアクチュエータ2 This throttling action, described below actuator 2
0が駆動した際に、圧力室36内のインクに生じた圧力が共通インク室7側に向かうのを制限して、ノズル35 When 0 is driven, by limiting the pressure generated in the ink in the pressure chamber 36 toward the common ink chamber 7 side, the nozzle 35
側に効率よく向かわせ、効率のよいインク噴射を行うことができる。 Efficiency and good directed to the side, it is possible to perform efficient ink ejection. なお、絞り部43の両端は中間部よりも流路断面積を大きく構成してあるので、三枚のスペーサプレート14X・14Y・14Zの貼り合わせの際に多少の位置ズレが生じても、導入孔44・絞り部43間、及び、絞り部43・インク供給孔38間の連通は確実に確保される(貼りズレに対する許容マージンが増大されている)。 Since both ends of the throttle portion 43 is made larger constituting the flow path cross-sectional area than the intermediate portion, even if slight misalignment during attachment of three pieces of spacer plates 14X · 14Y · 14Z, introduced between holes 44, throttle unit 43, and, communication between the diaphragm portion 43, the ink supply hole 38 (which allowed margin for bonding misalignment is increased) reliably reserved it is. 【0032】図5に示すように、二枚のマニホールドプレート(13X・13Y)のうちスペーサプレート14 As shown in FIG. 5, the spacer plate 14 of the two manifold plates (13X · 13Y)
X〜14Zに近い側の上側マニホールドプレート13X Side of the upper manifold plate 13X close to X~14Z
には、二つのインク室半部13a・13aが貫通状に形成されている。 The two ink chamber half parts 13a · 13a are formed in a penetrating manner. 一方、ノズルプレート11側に位置する下側マニホールドプレート13Yには、二つのインク室半部13b・13bが、上側マニホールドプレート13 On the other hand, the lower manifold plate 13Y located on the nozzle plate 11 side, two ink chamber half parts 13b · 13b are upper manifold plate 13
Xに向けてのみ開放するように凹設されている。 It has been recessed so that only open towards the X. なお、 It should be noted that,
本実施形態においては、インク室半部13a・13bともにエッチングで形成され、下側の半部13bはハーフエッチングで形成されている。 In this embodiment, it is formed in the ink chamber half parts 13a · 13b both etching halves 13b on the lower side is formed by half-etching. この構成で、二枚のマニホールドプレート13X・13Yと下側スペーサプレート14Zの計三枚を積層することにより、対応する上下のインク室半部13a・13bが相互に接合されて、貫通孔37の列の両側に一つずつ、計二つの共通インク室7・7が図6のように形成される。 In this configuration, by laminating a total of three pieces of the two manifold plates 13X · 13Y and the lower spacer plate 14Z, corresponding upper and lower ink chamber halves 13a · 13b are joined to each other, the through-holes 37 one on each side of the column, a total of two of the common ink chamber 7, 7 are formed as shown in FIG. 従って本実施形態においては、この二枚のマニホールドプレート13X・1 In this embodiment, therefore, the two manifold plates 13X · 1
3Yが、本発明の第2平板P 2に相当する。 3Y corresponds to the second flat plate P 2 of the present invention. 【0033】なお、貫通孔37の列の両側に二つの共通インク室7・7を設けたのは、二列に配置された圧力室36に対応させるためである。 [0033] Note that was provided with two common ink chambers 7, 7 on both sides of the rows of the through-holes 37, in order to correspond to the pressure chambers 36 arranged in two rows. 即ち、二列配置されるうちの一列側の圧力室群は一方の共通インク室7に、残りの一列側の圧力室群は他方の共通インク室7に、それぞれ連通されているのである。 That is, the pressure chamber groups of a row side of which are arranged in two rows on one of the common ink chamber 7, the pressure chamber groups of the remaining one row side to the other of the common ink chamber 7 is what is communicated, respectively. このようにインクジェットヘッド6を構成することで、二つの共通インク室7・7 By thus configuring the ink jet head 6, the two common ink chambers 7, 7
に互いに異なる色のインクを供給して一つのインクジェットヘッド6で二色の印字を行わせる印字形態に用いることをも可能にし、インクジェットヘッド6の汎用性を高めて部品の種類の低減を図っている。 Also makes it possible to use a single printing mode that in the ink-jet head 6 to perform the printing of two colors by supplying ink of different colors, the aim to reduce the types of parts to enhance the versatility of the ink-jet head 6 there. ただし本実施形態においては、双方の共通インク室7・7に同色のインクを供給し、二列のノズル35で単色の高解像度の印字を行わせる印字形態を採っている。 However, in this embodiment, by supplying the same color of ink to the common ink chamber 7, 7 both have taken printing mode to perform printing of monochromatic high-resolution nozzle 35 of the two rows. 【0034】図5に示すように、マニホールドプレート13X・13Yのすぐ下に位置するダンパプレート12 As shown in FIG. 5, the damper plate 12 located immediately below the manifold plate 13X · 13Y
には、ダンパ溝12c・12cが凹設される。 The damper grooves 12c · 12c is recessed. このダンパ溝12c・12cはマニホールドプレート13Y側に向けてのみ開放するように形成され、その位置および形状は前記共通インク室7・7と一致させている。 The damper grooves 12c, 12c are formed so as to open only toward the manifold plate 13Y side and the position and shape to match with said common ink chamber 7, 7. 従って、マニホールドプレート13X・13Yおよびダンパプレート12を接合したときは、マニホールドプレート13Yのインク室半部13bを凹設してある部分(ダンパ部42)に、前記ダンパ溝12cが位置する。 Therefore, when joining the manifold plates 13X · 13Y and the damper plate 12, the portion that is recessed ink chamber half parts 13b of the manifold plate 13Y (damper unit 42), the damper grooves 12c are located. ここでマニホールドプレート13Yは適宜弾性変形し得る金属素材(例えば、ステンレス鋼)で構成されているので、 Wherein the metal manifold plate 13Y may appropriately elastically deformed material (e.g., stainless steel) which is configured by,
このダンパ部42は、共通インク室7側にも、ダンパ溝12c側にも、自由に振動することができる。 The damper unit 42 is also the common ink chamber 7 side, in the damper grooves 12c side, it is possible to vibrate freely. 以上の構成により、インク噴射時に圧力室36で発生した圧力変動が共通インク室7に伝播しても、該ダンパ部42が弾性変形して振動することによって当該圧力変動を吸収減衰させることができ(ダンパ作用)、圧力変動が他の圧力室36へ伝播してしまうクロストークを防止することができる。 With the above arrangement, even pressure variation generated in the pressure chamber 36 when ink ejection is propagated to the common ink chamber 7, the damper unit 42 can be absorbed attenuate the pressure fluctuations by vibrating elastically deformed (damping action), it is possible to prevent crosstalk pressure fluctuations will be propagated to another pressure chamber 36. 【0035】図4に示すように、ベースプレート15には二つのインク供給孔39a・39aが穿設され、スペーサプレート14X・14Y・14Zにおいても同様にインク供給孔39b〜39dが二つずつ穿設されている。 As shown in FIG. 4, the base plate 15 two ink supply holes 39a · 39a is bored, drilled likewise ink supply hole 39b~39d even spacer plates 14X · 14Y · 14Z are two by two It is. ベースプレート15とスペーサプレート14X・1 The base plate 15 and the spacer plates 14X · 1
4Y・14Zとを接合することで、対応するインク供給孔39a〜39dが互いに接続され、前述の二つの共通インク室7・7のそれぞれに対応するインク供給口39 By joining the 4Y-14Z, corresponding ink supply holes 39a~39d are connected to each other, the ink supply port 39 corresponding to each of the two common ink chambers 7, 7 of the aforementioned
・39が形成される。 · 39 is formed. インクジェットヘッド6の小型化の要請から、このインク供給口39・39は、複数の圧力室36・36・・・のなす列の端部に近い位置に穿設され、また、二つのインク供給口39・39は互いに接近して配置されている。 The demand for miniaturization of the ink jet head 6, the ink supply port 39, 39 is formed in a position near the end portion of forming a plurality of rows of pressure chambers 36, 36, ..., and two ink supply ports 39 - 39 are disposed close to each other. 【0036】以上のキャビティプレート10の構成により、前述のインク供給口39・39から共通インク室7 [0036] With the configuration described above of the cavity plate 10, the common ink chamber from the ink supply port 39, 39 of the aforementioned 7
・7内に流入したインクは、導入孔44から絞り部43 Inflow ink to within 7, stop the introduction hole 44 43
→インク供給孔38と経由して、各圧力室36の他端部36b側から供給される。 → via the ink supply hole 38 is supplied from the other end 36b side of the pressure chambers 36. そして、それぞれの圧力室3 Then, each of the pressure chamber 3
6において後述のアクチュエータ20により噴射エネルギーを与えられたインクは、その一端部36aから各貫通孔37・37・・・を経由した後、対応するノズル3 Ink given firing energy by the actuator 20 described later in 6, after passing through the through-holes 37, 37 ... from one end portion 36a, corresponding nozzle 3
5に至って噴射される。 Is injected led to the 5. 【0037】図8はアクチュエータ20の分解拡大斜視図を示すものである。 [0037] Figure 8 illustrates an exploded enlarged perspective view of the actuator 20. アクチュエータ20は図6や図8 The actuator 20 is 6 or 8
に示すように、二種類の圧電シート21・22と、一枚の絶縁シート23とを積層した構造である。 As shown in, the two piezoelectric sheets 21 and 22, a structure formed by laminating the single insulating sheet 23. 一方の圧電シート21の上面には、キャビティプレート10における各圧力室36毎に対応した細幅の複数の駆動電極24 On the upper surface of one piezoelectric sheet 21, a plurality of driving electrodes 24 of the narrow width corresponding to the pressure chambers every 36 in the cavity plate 10
が、千鳥状配列で設けられている。 But it is provided in a staggered arrangement. 各駆動電極24の一端部24aは、アクチュエータ20の表裏面20a・2 One end 24a of the drive electrodes 24, the front and back surfaces 20a · 2 of the actuator 20
0bと直交する左右側面に露出するように形成されている。 It is formed so as to expose the left and right sides perpendicular to 0b. 【0038】もう一つの圧電シート22の上面には、複数の圧力室36に対して共通のコモン電極25が設けられている。 [0038] upper surface of another piezoelectric sheet 22, the common common electrode 25 is provided for a plurality of pressure chambers 36. コモン電極25の一端部25aも、各駆動電極24の一端部24aと同様、左右側面に露出するように形成されている。 One end portion 25a of the common electrode 25 is also similar to the one end portion 24a of the drive electrodes 24, it is formed so as to expose the left and right sides. 圧電シート21・22は、図示のように1枚ずつ交互に積層するだけでなく、交互に複数枚積層することもできる。 Piezoelectric sheet 21, 22 are not only stacked alternately one by one as shown, may also be plurally stacked alternately. 各駆動電極24とコモン電極2 Each drive electrode 24 and the common electrode 2
5とに挟まれる圧電シート21・22におけるそれぞれの領域は、各圧力室36ごとに対応した圧力発生部となる。 Each region in 5 and piezoelectric sheet 21, 22 sandwiched between is a pressure generating unit corresponding to each pressure chamber 36. 【0039】最上段の絶縁シート23の上面には、各駆動電極24の各々に対する表面電極26と、コモン電極25に対する表面電極27とが、左右側面に沿って並ぶように設けられている。 [0039] the upper surface of the uppermost insulating sheet 23, the surface electrode 26 for each of the drive electrodes 24, and the surface electrode 27 relative to the common electrode 25 are provided so as to be aligned along the lateral sides. 【0040】また、左右側面には、各駆動電極24の一端部24aに第1の凹み溝30が、コモン電極25の一端部25aに第2の凹み溝31が、それぞれ積層方向に延びるように設けられている。 Further, the right and left sides, as the first recess groove 30 at one end 24a of the drive electrodes 24, a second recessed groove 31 at one end 25a of the common electrode 25 extends on each stacking direction It is provided. 各第1の凹み溝30内には、各駆動電極24と各表面電極26とを電気的に接続する側面電極(図示せず)が、第2の凹み溝31内には、コモン電極25と表面電極27とを電気的に接続する側面電極(図示せず)が、それぞれ形成されている。 Each first recess groove 30, a side electrode that electrically connects the respective drive electrodes 24 and the surface electrodes 26 (not shown), the second recessed groove 31, the common electrode 25 side electrode that electrically connects the surface electrode 27 (not shown) are formed respectively.
なお、符号28および29の電極は、捨てパターンの電極である。 The electrode of the reference numeral 28 and 29 are electrodes discarded patterns. 【0041】以上のような構成のキャビティプレート1 [0041] The above configuration of the cavity plate 1
0とアクチュエータ20とは、キャビティプレート10 0 and the actuator 20, the cavity plate 10
における各圧力室36と、アクチュエータ20における駆動電極24とが対応するように積層される。 And the pressure chambers 36 in the drive electrodes 24 of the actuator 20 are stacked so as to correspond. また、アクチュエータ20における上側の表面20aにおいて、 Further, the upper surface 20a of the actuator 20,
フレキシブルフラットケーブル40における各種の配線パターン(図示せず)が、各表面電極26・27に電気的に接合される。 Various wiring patterns in the flexible flat cable 40 (not shown) is electrically bonded to each surface electrode 26, 27. 【0042】そして、インクジェットヘッド6におけるアクチュエータ20の各駆動電極24のうち任意の駆動電極24とコモン電極25との間に電圧を印加すると、 [0042] When a voltage is applied between any of the drive electrodes 24 and the common electrode 25 of the drive electrodes 24 of the actuator 20 in the inkjet head 6,
圧電シート22のうち電圧を印加した駆動電極24の部分(即ち圧力発生部)に、圧電による積層方向の歪みが発生し、圧力室36の容積が縮小する。 The portion of the drive electrode 24 by applying a voltage of the piezoelectric sheet 22 (i.e. the pressure generating portion), distortion in the stacking direction is generated by the piezoelectric, the volume of the pressure chamber 36 is reduced. こうして圧力室36内のインクに噴射エネルギーが与えられ、インクはノズル35から液滴状に噴射され、用紙62への所定の印字が行われる。 Thus given ink firing energy in the pressure chamber 36, ink is ejected from the nozzle 35 in the form of droplets, predetermined printing on the paper 62 is performed. 【0043】上述したように本実施形態においては、圧力室36を形成する平板(第1平板P 1たるベースプレート15)と異なる平板(第3平板P 3たる中間スペーサプレート14Y)に制限流路たる絞り部43を形成している。 [0043] In this embodiment as described above, serving as restricted flow path in a plate (the first flat plate P 1 serving base plate 15) different from the flat plate (third flat plate P 3 serving intermediate spacer plate 14Y) forming the pressure chamber 36 form a throttle portion 43. そしてこの絞り部43は中間スペーサプレート14Yの面方向に沿って長く形成されており、かつ、前記圧力室36とインク供給孔38を介して接続する一端から、複数の圧力室36のなす平面と平行な方向に伸びて形成されている。 Then the diaphragm portion 43 is formed long along the surface direction of the intermediate spacer plate 14Y, and from one end connected through the pressure chamber 36 and the ink supply hole 38, and the plane formed of a plurality of pressure chambers 36 It is formed extending in parallel directions. 従って、インクジェットヘッド内部に各ノズル35に対応した流路を配置する際に、圧力室36と絞り部43との干渉を避けることができる。 Thus, when arranging the flow paths corresponding to the respective nozzles 35 inside the ink jet head, it is possible to avoid interference between the pressure chamber 36 and the throttle portion 43. この結果、インクジェットヘッド6のコンパクト化を図ることができるとともに、高解像度化のニーズに基づく高集積化の要請にも容易に対応することができる。 As a result, it is possible to it is possible to reduce the size of the ink jet head 6, readily cope with demand for higher integration based on the needs of the high resolution. また、絞り部43は複数の圧力室36がなす平面と平行な方向に伸びているから、流路スペースの平板積層方向の増大もわずかとすることができる。 The diaphragm portion 43 from extending in a plane parallel to the direction formed by the plurality of pressure chambers 36 may be slightly and also an increase in the flat-plate lamination direction of the passage space. 【0044】特に本実施形態においては、絞り部43からインク供給孔38を介して圧力室36へ流れる経路は側面視「コ」字状をなしており、絞り部43に流入したインクは図7に示すようにインク供給孔38から圧力室36に至った際に向きを反転させ、折り返し状に流れることになる。 [0044] In this embodiment in particular, the path flows through the ink supply hole 38 from the throttle unit 43 to the pressure chamber 36 is without the side view "U" shape, the ink that has flowed into the throttle section 43 is 7 by reversing the direction from the ink supply hole 38 as shown in the time that has reached the pressure chamber 36, it flows to the folded shape. このように圧力室36と絞り部43とが平板積層方向で重複する流路配置となっているから、導入孔44から絞り部43・圧力室36・インク供給孔38 Because this way the pressure chamber 36 and the throttle portion 43 has a flow passage disposed overlapping a flat plate laminating direction, the ink aperture 43 and pressure chamber 36 from the introduction hole 44 supply holes 38
を介してノズル35へ至るインク流路を、小さい幅(図6・図7に示す幅W)の中に合理的に収めることができる。 The ink flow path leading to the nozzle 35, can be accommodated reasonably in a small width (the width shown in FIG. 6 and FIG. 7 W) through. 【0045】なお、本実施形態においては図6に示すように、絞り部43は第3平板P 3たる中間スペーサプレート14Yに貫通状に形成されており、これにより絞り部43の流路抵抗のバラツキを抑えて、ノズル35からのインク噴射量のバラツキの低減を図っている。 [0045] Incidentally, as shown in FIG. 6 in the present embodiment, the diaphragm portion 43 is formed in a penetrating manner to the third flat plate P 3 serving intermediate spacer plate 14Y, thereby the narrowed portion 43 the flow path of the resistor suppressing variation, thereby reducing the ink ejection amount of variation of the nozzle 35. 即ち、 In other words,
絞り部(制限流路)43の流路抵抗は前述のように噴射の際に圧力室36から共通インク室7側に向かうインクの流れに大きく影響するため、この制限流路の流路抵抗を精度良く定めることが、ノズル35からのインク噴射量のバラツキを抑えるために極めて重要である。 Since the flow resistance of the throttle portion (restricted flow passage) 43 greatly influences the flow of ink toward the common ink chamber 7 side from the pressure chamber 36 during the injection, as described above, the flow path resistance of the restricted flow passage be determined accurately is critical to suppress variations in the ink ejection amount from the nozzle 35. しかしながら図11の従来の構成に示すように、この制限流路36dを平板15の一側からハーフエッチングにより溝状に形成していたため、エッチング液の温度や劣化の度合いなどの要因によってエッチング速度が容易に変動してしまい、これが溝の深さのバラツキに繋がる。 However, as shown in the conventional arrangement of FIG. 11, the restricted flow path 36d because it was formed in a groove shape by half etching from one side of the flat plate 15, by factors such as the degree of temperature and deterioration of the etching solution etching rate readily fluctuates, which leads to variations in the depth of the groove. ここで制限流路36dの流路抵抗は流路断面積(=溝の深さ× Here the flow path resistance of the restricted flow path 36d is the flow passage cross-sectional area (= the groove depth ×
溝の幅)に反比例するため、溝の深さのバラツキが流路抵抗のバラツキに直結し、インクの吐出量の過剰あるいは過小による印字品質の低下を招いていたのである。 Inversely proportional to the width) of the groove, variations in the depth of the groove is directly linked to the variation of the channel resistance, it had led to deterioration in printing quality due to excessive or too little amount of ink discharge. 一方、本実施形態では、図5・図6に示すように、制限流路たる絞り部43が中間スペーサプレート14Yに板厚方向に貫通状に形成されているから、絞り部43の深さの精度は中間スペーサプレート14Yの厚みの精度にのみ依存する。 On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, restricted flow path serving the throttle portion 43 from being formed in a penetrating manner in the thickness direction in the intermediate spacer plate 14Y, the throttle portion 43 depth accuracy depends only on the thickness of the intermediate spacer plate 14Y accuracy. これは絞り部43の深さ、ひいては流路断面積(図7に示す面積S)を精度良く定めることができることを意味し、この結果として流路抵抗のバラツキを低減でき、インクジェット印字の品質が向上される。 This depth of the diaphragm portion 43, which means that can be defined and thus a channel cross-sectional area (area shown in FIG. 7 S) accurately, it is possible to reduce the variation in the resulting flow resistance, the quality of ink jet printing It is improved. 【0046】なお、第3平板P 3たる中間スペーサプレート14Yの厚みは、他の平板よりも小さく構成している。 [0046] The thickness of the third flat plate P 3 serving intermediate spacer plate 14Y constitute less than the other plates. 具体的には、キャビティプレート10を構成する八枚の平板11〜15のうち、中間スペーサプレート14 Specifically, among the eight flat plates 11 to 15 constituting the cavity plate 10, the intermediate spacer plate 14
Yの厚みが最小となるようにしてある。 Y of thickness are set to be minimum. ここで前述のように絞り部43は貫通状に穿設してあるので、この絞り部43の深さは中間スペーサプレート14Yの厚みに一致する。 Here, since the throttle portion 43 as described above are then formed in a penetrating manner, the depth of the narrowed portion 43 corresponds to the thickness of the intermediate spacer plate 14Y. 従って、絞り部43の深さも小さくなる結果となる。 Therefore, the results also the depth of the narrowed portion 43 becomes small. ここで絞り部43の深さが仮に大きいと、インク流に適切な抵抗を付与するために必要な流路断面積S Now that if a large depth of the diaphragm portion 43, the flow path cross-sectional area S required to impart an appropriate resistance to the ink flow
(=幅×深さ)とするために流路幅を極端に狭めなければならず、加工が極めて困難になってしまう。 Must extremely narrowed flow path width to the (= width × depth), the processing becomes very difficult. しかし本実施形態では、中間スペーサプレート14Yの厚みが小さいため絞り部43の深さを小さくでき、絞り部43の流路幅を狭める必要がさほど無いために絞り部43の加工が容易である。 However, in the present embodiment, it is possible to reduce the depth of the intermediate spacer plate 14Y for the throttle portion 43 the thickness is small, the processing of the throttle portion 43 of the channel stop portion 43 for required much not to narrow the width is easy. また、上記構成により、絞り部43をエッチングだけでなく、プレスにより打ち抜き加工することも可能になる。 Further, the above-described configuration, not the aperture portion 43 by etching, it also becomes possible to punching by a press. この場合、絞り部43の中間の細く絞られた部分と両端の拡大した部分とが接続する箇所に適度な丸みを付けることで、プレス加工が一層容易になる。 In this case, by attaching an appropriate rounded portion where the intermediate thin narrowed portion and enlarged portions at both ends of the throttle portion 43 is connected, press working becomes easier. エッチング加工では絞り部43の幅を±15μm〜 ± 15Myuemu~ the width of the aperture 43 by etching
20μmの精度で製作できるが、プレス加工では±5μ Can be manufactured with 20μm of accuracy, ± in the press working 5μ
mの精度で製作できる。 It can be manufactured in the m of accuracy. 【0047】ただし、絞り部43を貫通状に形成せず、 [0047] However, without forming the diaphragm portion 43 in a penetrating manner,
いわゆるハーフエッチングにより形成する構成でも、インク流路をコンパクトなスペースに収めるという本発明の効果は達成可能である。 It is configured to form a so-called half-etching, the effect of the present invention that an ink flow path accommodated in a compact space can be achieved. 以下に、絞り部43をハーフエッチングにより形成した二つの変形例を図9・図10 Hereinafter, two modifications of forming the aperture portion 43 by half-etching FIGS. 9 and 10
を参照しながら説明する。 It refers to the will be described. 【0048】図9に示す構成(変形例1)においては、 [0048] In the configuration shown in FIG. 9 (Modification 1)
共通インク室7を形成するマニホールドプレート13X Manifold plates 13X forming the common ink chamber 7
・13Y(第2平板P 2 )と中間スペーサプレート14 · 13Y (second plate P 2) and the intermediate spacer plate 14
Y(第3平板P 3 )とを、間に平板を介さず隣接させて積層させてある(即ち、下側スペーサプレート14Zを省略している)。 Y (the third flat plate P 3) and, are then stacked to be adjacent without the intervention of the flat plate between (i.e., are omitted lower spacer plate 14Z). そして、第3平板P 3たる中間スペーサプレート14Yに対し、その圧力室36側を向く面にハーフエッチングを施して、細長い絞り部43を溝状に凹設している。 Then, with respect to the third flat plate P 3 serving intermediate spacer plate 14Y, it is subjected to half etching on a surface facing the pressure chamber 36 side, and an elongated aperture 43 and recessed in a groove shape. 絞り部43の一端は、圧力室36の他端部36bに対し、上側スペーサプレート14Xに貫通状に形成されたインク供給孔38を介して接続される。 One end of the throttle portion 43, with respect to the other end portion 36b of the pressure chamber 36 are connected via the ink supply hole 38 formed in a penetrating manner to the upper spacer plate 14X. 絞り部43の他端は、中間スペーサプレート14Yに貫通状に形成された導入孔44を介して、共通インク室7に接続される。 The other end of the throttle portion 43 via the introduction hole 44 formed in a penetrating manner in the intermediate spacer plate 14Y, is connected to the common ink chamber 7. この変形例1の構成は、上述のようにインク流路をコンパクトな幅W内に収めることができるほか、下側スペーサプレート14Zを省略できることから、部品点数を削減できる。 The configuration of the first modification, addition can fit an ink flow path in a compact width W as described above, since it is possible to omit the lower spacer plate 14Z, the number of parts can be reduced. 【0049】また、図10に示す構成(変形例2)においては、圧力室36を形成するベースプレート15(第1平板P 1 )と中間スペーサプレート14Y(第3平板P 3 )とを、間に平板を介さず積層させてある(即ち、 [0049] Further, in the configuration (Modification 2) shown in FIG. 10, a base plate 15 which forms a pressure chamber 36 (first flat plate P 1) and an intermediate spacer plate 14Y (third flat plate P 3), while are then laminated without passing through the flat plate (i.e.,
上側スペーサプレート14Xを省略している)。 It is omitted upper spacer plate 14X). そして、第3平板P 3たる中間スペーサプレート14Yに対し、その共通インク室7側を向く面にハーフエッチングを施して、細長い絞り部43を溝状に凹設している。 Then, with respect to the third flat plate P 3 serving intermediate spacer plate 14Y, it is subjected to half-etching on the surface facing the common ink chamber 7 side, and an elongated aperture 43 and recessed in a groove shape. 絞り部43の一端は、中間スペーサプレート14Yに貫通状に形成されたインク供給孔38を介して、圧力室36 One end of the throttle portion 43 via the ink supply hole 38 formed in a penetrating manner in the intermediate spacer plate 14Y, the pressure chamber 36
の他端部36bに対し接続される。 It is connected to the other end portion 36b. 絞り部43の他端は、下側スペーサプレート14Zに貫通状に形成された導入孔44を介して、共通インク室7に接続される。 The other end of the throttle portion 43 via the introduction hole 44 formed in a penetrating manner in the lower spacer plate 14Z, is connected to the common ink chamber 7. この変形例2の構成も上述の変形例1と同様に、インク流路をコンパクトな幅W内に収めることができるほか、上側スペーサプレート14Xを省略できることから、部品点数を削減できる。 Similar to the first modification also configured of the above-described second modification, in addition to be able to keep the ink flow path in a compact width W, since it is possible to omit the upper spacer plates 14X, the number of parts can be reduced. 【0050】 【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、 [0050] According to the present invention, since it is configured as described above,
以下に示すような効果を奏する。 Constructed as the above brings the following effects. 【0051】即ち、請求項1に示す如く、印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、該ヘッドユニットを構成する平板は、・前記圧力室を形成する第1平板と、・前記共通インク室を形成する第2平板と、・前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、前記制限流路は第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに、前記圧力室と接続する一端から複数の圧力室のなす [0051] That is, as shown in claim 1, and a plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, and a pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzle, the pressure chamber a restricted flow path connecting one end at one end, connected to the other end of the restricted flow path, a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber, in the ink-jet head of the flat laminated structure having there are, flat plate constituting the head unit is formed with the first flat plate to form a - the pressure chamber, and a second plate which forms a - the common ink chamber, a-said restricted flow path, said first flat plate When comprise at least a third and a flat plate located between the second plate, a, and, together with the restricted flow path is formed to extend in the surface direction to the third flat, from one end to be connected to said pressure chamber formed between a plurality of pressure chambers 面と平行な方向に伸びているので、 Since extending in the direction parallel to the plane of,
インク流路を、コンパクトなスペースの中に合理的に配置できる。 An ink flow path, can reasonably be placed in a compact space. 即ち、制限流路は第3平板に、圧力室は第1 That is, the restricted flow passage third flat plate, the pressure chamber is first
平板に、というように、制限流路と圧力室とを別々の平板に形成しているから、インク流路の配置にあたって圧力室と制限流路との干渉を避けることができる。 A flat plate, and so on, because they and the restricted flow path and the pressure chamber is formed separately of the plate, it is possible to avoid interference between the restricted flow path between the pressure chamber when the arrangement of the ink flow path. また、 Also,
制限流路は複数の圧力室のなす平面と平行な方向に形成しているから、流路の配置スペースの平板積層方向の増大も僅かである。 Restricted flow path from being formed on the plane formed by the direction parallel to the plurality of pressure chambers, an increase of the plate laminating direction of the arrangement space of the flow path is very small. この結果、インク流路の集積度向上が容易となり、インクジェットヘッドのコンパクト化や、 As a result, improve integration of the ink flow path is facilitated, and downsizing of the ink jet head,
画像の高解像度化の要請に基づくノズルの高密度配置にも容易に対応することができる。 In high-density arrangement of the nozzles based on the demand for high-resolution images can be dealt with ease. また、圧力室と制限流路を別々の平板に形成することで、従来のように両者を同時に高い精度で加工しなければならない課題も解消でき、製造コストを低減することができる。 Further, by forming the restricted flow path between the pressure chamber separately of the plate, problems to be processed both at the same time high accuracy as in the conventional can also be eliminated, thereby reducing the manufacturing cost. 【0052】請求項2に示す如く、前記制限流路は第3 [0052] As shown in claim 2, wherein the restricted flow path 3
平板に貫通状に形成されるとともに、この第3平板と前記第1平板との間に第4平板を介在させて、該第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設けたので、平板に制限流路が貫通状に形成されているから、溝状に凹設する場合に比して、制限流路の断面積の精度を容易に向上させ得る。 It is formed in a flat plate through-shaped, and the fourth flat plate is interposed between the third flat plate and the first flat plate, connecting flow that connects the restricted flow path and the pressure chamber to the fourth flat plate It is provided with the road, because flat plate restricted flow path is formed in a penetrating manner, as compared with the case where recessed like a groove, can easily increase the accuracy of the cross-sectional area of ​​the restriction channel. 即ち、溝状に凹設する場合は、溝の加工形状の板厚方向のバラツキが制限流路の断面積のバラツキに繋がり、結果的にノズルからのインク噴射量の過剰あるいは過小の原因となり、印字品質の低下を招いてしまう。 That is, when the recessed like a groove leads to a variation of the cross-sectional area of ​​the plate thickness direction of the variation in the processed shape of the grooves is restricted flow path, resulting in excessively or cause of under the ink ejection amount from the nozzle, which leads to deterioration in printing quality. この点本発明では、制限流路を平板に貫通状に形成しているから、板厚方向の寸法精度は当該平板の厚みの精度にのみ依存することになる。 In this respect the present invention, because they limit flow path formed in the flat plate through shape, dimensional accuracy in the thickness direction will depend only on the accuracy of the thickness of the flat-plate. 従って制限流路を、その断面積(流路抵抗)が精度良く所望の値となるように加工でき、結果的にインク噴射量のバラツキが抑えられ、印字品質を向上させることができる。 Thus the restricted flow path, the cross-sectional area (flow resistance) can be processed to have a precisely desired value, resulting in variations in the ink ejection amount is suppressed, thereby improving the printing quality.
また、圧力室と制限流路とを繋ぐ連絡流路が、第3平板と第1平板との間の第4平板に形成されている構成であるので、圧力室と制限流路とを隔てる隔壁としての役割を果たす第4平板に連絡流路が貫通状に形成される合理的な構成となる。 Further, communication passage that connects the pressure chamber restricted flow path, since the third flat plate and is fourth configuration that is formed in a flat plate between the first flat plate, the partition wall separating the restricted flow path between the pressure chamber connecting passage becomes rational structure formed in a penetrating manner to serve a fourth flat plate as. この結果、共通インク室から圧力室に至る流路の構造を簡素化できる。 As a result, it is possible to simplify the structure of the flow path leading to the pressure chamber from the common ink chamber. 【0053】請求項3に示す如く、前記第1平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第1平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられているので、第3平板と第1平板との間の平板を省略できるから、部品点数を削減することができ、製造コスト・ [0053] claimed as shown in claim 3, wherein the first flat plate and the third flat plate with is laminated not via the flat plate, the restricted flow path grooves on the opposite side surface and the first flat plate of the third flat plate It provided Jo, and, in the third flat plate, since the connecting flow passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage is provided in a penetrating manner, a flat plate between the third flat plate and the first flat plate because can be omitted, it is possible to reduce the number of parts, manufacturing cost
製造工数の低減に寄与できる。 It can contribute to a reduction in the number of manufacturing steps. 【0054】請求項4に示す如く、前記制限流路は前記平板の積層方向において前記共通インク室と前記圧力室との間にあって、前記第2平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第2 [0054] As shown in claim 4, wherein the restricted flow path there between the pressure chamber and the common ink chamber in the stacking direction of the flat plate, wherein the said third flat second plate without using the flat plate laminate together is, the of the third flat plate second
平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられているので、 Flat and the restricted flow path on the opposite side is provided in a groove shape, and, in the third flat plate, connecting flow passage for connecting the common ink chamber and the restricted passage is provided in a penetrating manner because,
制限流路が前記共通インク室と前記圧力室との間にある構成であるから、共通インク室→制限流路→圧力室と流れるインク流路を合理的に配置することができる。 Since restricted flow path is configured in between the pressure chamber and the common ink chamber, it is possible to rationally arranging the ink flow path through the common ink chamber → restricted flow passage → the pressure chamber. 更には、第3平板と第2平板との間の平板を省略できるから、部品点数を削減することができ、製造コスト・製造工数の低減に寄与できる。 Furthermore, because can be omitted flat between the third flat plate and the second plate, it is possible to reduce the number of parts, thereby contributing to reduction in manufacturing cost and manufacturing man-hour. 【0055】請求項5に示す如く、印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、 [0055] As shown in claim 5, a plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, and a pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzles, to one end of the pressure chamber a restricted flow path connecting one end,
この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、該ヘッドユニットを構成する平板は、・前記圧力室を形成する第1 Connected to the other end of the restricted flow path, an ink jet head of the flat laminated structure having a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber, a flat plate constituting the head unit, · the formation of the pressure chamber 1
平板と、・前記共通インク室を形成する第2平板と、・ A second flat plate to form a flat plate, a-the common ink chamber, -
前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、前記制限流路は前記第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに板厚方向に貫通して形成され、また、 Wherein forming the restricted flow path, and a third flat plate located between the first flat plate and the second plate includes at least a, and, the restricted flow path is long along the surface direction in the third flat plate formed therethrough in the thickness direction while being formed, also,
前記制限流路は、その長さ方向と直交する断面が、前記共通インク室から圧力室に至るインク流路において最小の断面積を有するので、インク流路を、コンパクトなスペースの中に合理的に配置できる。 Wherein the restriction passage cross-section perpendicular to the longitudinal direction, because it has a smallest cross-sectional area in the ink flow path to the pressure chamber from said common ink chamber, an ink flow path, reasonable in a compact space It can be placed in. 即ち、制限流路は第3平板に、圧力室は第1平板に、というように、制限流路と圧力室とを別々の平板に形成しているから、インク流路の配置にあたって圧力室と制限流路との干渉を避けることができる。 That is, the restricted flow passage third flat plate, the pressure chamber is first flat plate, and so on, because they and the restricted flow path and the pressure chamber is formed separately of the flat plate, and the pressure chamber when the arrangement of the ink flow path it is possible to avoid interference between the restricted flow path. また、制限流路は、第3平板にその面方向に沿って長く形成しているから、流路の配置スペースの平板積層方向の増大も僅かである。 Moreover, it restricted flow path, because they form long along the surface direction to the third flat plate, increase of the plate laminating direction of the arrangement space of the flow path is very small. この結果、インク流路の集積度向上が容易となり、インクジェットヘッドのコンパクト化や、画像の高解像度化の要請に基づくノズルの高密度配置にも容易に対応することができる。 As a result, improve integration of the ink flow path is facilitated, compact and the inkjet head, it is possible to easily cope to a high-density arrangement of the nozzles based on the demand for high resolution images.
また、圧力室と制限流路を別々の平板に形成することで、従来のように両者を同時に高い精度で加工しなければならない課題も解消でき、製造コストを低減することができる。 Further, by forming the restricted flow path between the pressure chamber separately of the plate, problems to be processed both at the same time high accuracy as in the conventional can also be eliminated, thereby reducing the manufacturing cost. また制限流路が第3平板に貫通状に形成されているから、前記請求項2の効果と同様に、溝状に凹設する場合に比して、当該制限流路の断面積の精度を容易に向上させ得る。 And since restricted flow path is formed in a penetrating manner in the third flat plate, similar to the effect of claim 2, in comparison with the case of recessed like a groove, the accuracy of the cross-sectional area of ​​the restricted flow passage capable of easily improved. そして、この断面の断面積が、前記共通インク室から圧力室に至るインク流路において最小の断面積となっているので、この制限流路の流路抵抗により、噴射に際して圧力室から共通インク室へ向かうインク流を適切にコントロールできるから、ノズルからのインクの噴射量のバラツキが低減されて、印字品質の低下が回避される。 Then, the cross-sectional area of ​​the cross section, since the minimum cross-sectional area in the ink flow path to the pressure chamber from said common ink chamber, the flow path resistance of the restriction passage, the common ink chamber from the pressure chamber during injection since it properly control the ink flow toward the, variation in the ink ejection amount from the nozzle is reduced, deterioration in printing quality can be avoided. 【0056】請求項6に示す如く、前記制限流路は、前記共通インク室と前記圧力室とに接続する両端よりも、 [0056] As shown in claim 6, wherein the restricted flow path, than both ends to be connected to said pressure chamber and said common ink chamber,
その中間の方が断面積が小さいので、制限流路の中間部において流路抵抗を精度良く定めると同時に、その両端は断面積を大きくしてあるので、共通インク室や圧力室に対する接続が確実になされる。 Since the cross-sectional area toward the middle is small, at the same time the flow resistance determined accurately in the middle portion of the restricted flow path, so that both ends are a larger cross-sectional area, reliable connection to the common ink chamber and the pressure chamber It is made to. 即ち、第3平板と第2 That is, the third flat plate and the second
平板との間に貼りズレが少々あっても、あるいは第3平板と第1平板との間に多少の貼りズレがあっても、共通インク室・制限流路間、および、制限流路・圧力室間の接続が確実に保たれる。 Even a little there is attached misalignment between the flat plate, or even if there is some bonding misalignment between the third flat plate and the first flat plate, between the common ink chamber, restricted flow path, and, restricted flow path and pressure connection between the chambers is ensured maintained. 【0057】請求項7に示す如く、前記第3平板は、インクジェットヘッドを構成する積層平板のうち最も薄いので、絞り部の深さ(第3平板の厚さと等しくなる)を小さくできるから、絞り部の幅をある程度大きくしても、インク流量を絞るために必要な流路抵抗を発生させることができる。 [0057] As shown in claim 7, wherein the third flat plate, since the thinnest among the stacked flat plate constituting the ink jet head, since the depth of the aperture portion (equal to the thickness of the third flat plate) can be reduced, the diaphragm even if the width of the parts to some extent, it is possible to generate a flow resistance necessary to narrow the ink flow rate. 従って、絞り部の形成が容易となる。 Therefore, formation of the aperture portion is facilitated. 【0058】請求項8に示す如く、前記制限流路は、前記平板の積層方向において前記共通インク室と圧力室との間に位置させるとともに、前記第3平板と前記第1平板との間に第4平板を介在させ、この第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設け、かつ、前記第3平板と前記第2平板との間に第5平板を介在させ、この第5平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路を設けたので、制限流路が前記共通インク室と前記圧力室との間にある構成であるから、共通インク室→制限流路→圧力室と流れるインク流路を合理的に配置することができる。 [0058] As shown in claim 8, wherein the restricted flow path, with is located between the common ink chamber and the pressure chamber in the stacking direction of the plates between the first flat plate and the third flat plate It is interposed a fourth flat plate, a connecting passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage to the fourth flat plate provided, and, interposed fifth flat plate between the third flat plate and the second flat plate it is, in the fifth flat plate, is provided with the connecting passage which connects the common ink chamber and the restricted passage, because restricted flow path is configured in between the pressure chamber and the common ink chamber , it is possible to rationally arranging the ink flow path through the common ink chamber → restricted flow passage → the pressure chamber. 更には、圧力室と制限流路とを繋ぐ連絡流路が、第3平板と第1平板との間の第4平板に、制限流路と共通インク室とを繋ぐ連絡流路が、第3平板と第2平板との間の第5平板に、それぞれ形成されている構成であるので、圧力室・制限流路・共通インク室の三者を互いに隔てる隔壁としての役割を果たす第4・第5平板に連絡流路が貫通状に形成される合理的な構成となる。 Furthermore, connecting passage that connects the restricted flow path and the pressure chamber, the fourth flat plate between the third flat plate and the first flat plate, connection passage for connecting the restricted flow path and a common ink chamber, the third fifth flat between the flat plate and the second flat plate, since the configuration of the formed respectively, fourth and serves as a partition wall separating from each other the three parties of the pressure chambers, restricted flow passage, the common ink chamber communication channel to the 5 flat is rational structure formed in a penetrating manner. この結果、共通インク室から圧力室に至る流路の構造を簡素化できる。 As a result, it is possible to simplify the structure of the flow path leading to the pressure chamber from the common ink chamber.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の一実施形態を適用したカラーインクジェットプリンタを示す斜視図。 Perspective view of a color ink jet printer according to the embodiment of the BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [Figure 1] present invention. 【図2】プリンタヘッドの断面図。 2 is a cross-sectional view of a printer head. 【図3】ヘッドユニットの分解斜視図。 Figure 3 is an exploded perspective view of the head unit. 【図4】キャビティプレートの積層構造を示す分解斜視図。 Figure 4 is an exploded perspective view showing a laminated structure of the cavity plate. 【図5】図4におけるV−V断面拡大斜視図。 [5] sectional view taken along line V-V enlarged perspective view in FIG. 【図6】図3におけるVI−VI断面拡大図。 6 section VI-VI enlarged view in FIG. 【図7】共通インク室から絞り部・圧力室を経由してノズルに至るインク流路を示した斜視図。 Figure 7 is a perspective view showing an ink flow path to the nozzle via the aperture portion, the pressure chambers from the common ink chamber. 【図8】アクチュエータの積層構造を示す分解斜視図。 Figure 8 is an exploded perspective view showing a laminated structure of the actuator. 【図9】絞り部の構成の変形例1を示す断面図。 Sectional view showing a first modification of FIG. 9 constricted portion of the structure. 【図10】絞り部の構成の変形例2を示す断面図。 Sectional view showing a second modification of FIG. 10 throttle portion of the structure. 【図11】従来のインクジェットヘッドの制限流路の構成を示す断面図。 Figure 11 is a sectional view showing a structure of a restricted flow path of the conventional ink jet head. 【符号の説明】 6 インクジェットヘッド7 共通インク室11〜15 平板P 1第1平板(ベースプレート15) P 2第2平板(上側スペーサプレート14X) P 3第3平板(中間スペーサプレート14Y) P 4第4平板(下側スペーサプレート14Z) P 5第5平板(マニホールドプレート13X・13 [Description of Reference Numerals] 6 inkjet head 7 common ink chamber 11 to 15 plate-P 1 first flat plate (base plate 15) P 2 second flat plate (upper spacer plates 14X) P 3 third flat plate (intermediate spacer plate 14Y) P 4 a 4 flat (lower spacer plate 14Z) P 5 5 flat (manifold plate 13X · 13
Y) 35 ノズル36 圧力室38 インク供給孔(連絡流路) 43 絞り部(制限流路) 44 導入孔(連絡流路) Y) 35 nozzle 36 the pressure chamber 38 the ink supply hole (communication passage) 43 throttle portion (restricted flow passage) 44 introduction hole (communication passage)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、 このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、 該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、 この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、 該インクジェットヘッドを構成する平板は、 ・前記圧力室を形成する第1平板と、 ・前記共通インク室を形成する第2平板と、 ・前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、 前記制限流路は第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに、前記圧力室と接続する一端から複数の圧力室の A plurality of nozzles for ejecting ink to Patent Claims 1. A printing surface, and a pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzle, one end of the pressure chamber to a restricted flow path connecting one end connected to the other end of the restricted flow path, there in the inkjet head of the flat laminated structure having a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber Te, flat plate constituting the ink jet head includes a first flat plate to form a - the pressure chamber, and a second plate which forms a - the common ink chamber to form-the restricted flow path, said first flat plate a third flat plate located between the second plate includes at least a, and, the restricted flow path while being formed longer along the surface direction to the third flat plate, a plurality of end that communicates with the pressure chamber of the pressure chamber of なす平面と平行な方向に伸びていることを特徴とする、インクジェットヘッド。 Characterized in that it extends in a plane parallel to the direction Nasu, the ink jet head. 【請求項2】 請求項1に記載のインクジェットヘッドであって、前記制限流路は第3平板に貫通状に形成されるとともに、この第3平板と前記第1平板との間に第4 2. A ink jet head according to claim 1, wherein the restricted flow path is formed into a penetrating manner in the third flat plate, the fourth between the third flat plate and the first flat plate
    平板を介在させて、該第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設けたことを特徴とする、 With intervening flat, characterized in that a connecting passage which connects the restricted flow path and the pressure chamber to the fourth flat plate,
    インクジェットヘッド。 The ink-jet head. 【請求項3】 請求項1に記載のインクジェットヘッドであって、前記第1平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第1平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられていることを特徴とする、 3. A ink jet head according to claim 1, wherein with the first flat plate and the third flat plate are stacked without using the flat plate, the surface opposite to the first flat plate of the third flat plate the restricted flow path is provided in a groove in, and, in the third flat plate, connecting flow passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage, characterized in that provided in the through-shaped,
    インクジェットヘッド。 The ink-jet head. 【請求項4】 請求項1に記載のインクジェットヘッドであって、前記制限流路は前記平板の積層方向において前記共通インク室と前記圧力室との間にあって、前記第2平板と前記第3平板とは平板を介さず積層させるとともに、前記第3平板の前記第2平板と反対側の面に前記制限流路が溝状に設けられ、かつ、この第3平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路が貫通状に設けられていることを特徴とする、インクジェットヘッド。 4. A ink jet head according to claim 1, wherein the restricted flow path there between the pressure chamber and the common ink chamber in the stacking direction of the flat plate, the third flat plate and the second flat plate together is laminated not via the flat plate and the restricted flow passage is provided in a groove shape on a surface thereof opposite to the second flat plate of the third flat plate, and, in the third flat plate, the said restricted flow path wherein the communication passage for connecting the common ink chamber is provided in a penetrating manner, the ink jet head. 【請求項5】 印字面に対しインクを噴射する複数のノズルと、 このノズルのそれぞれに対応して設けられるとともに該ノズルに接続される圧力室と、 該圧力室の一端にその一端を接続する制限流路と、 この制限流路の他端に接続する、前記圧力室にインクを分配して供給するための共通インク室と、を有する平板積層構造のインクジェットヘッドであって、 該ヘッドユニットを構成する平板は、 ・前記圧力室を形成する第1平板と、 ・前記共通インク室を形成する第2平板と、 ・前記制限流路を形成する、前記第1平板と第2平板との間に位置する第3平板と、を少なくとも含み、かつ、 前記制限流路は前記第3平板にその面方向に沿って長く形成されるとともに板厚方向に貫通して形成され、 また、前記制限流路は、その長さ方向と 5. A plurality of nozzles for ejecting ink to the printing surface, connects the pressure chamber connected to the nozzle with provided corresponding to each of the nozzles, the one end to one end of the pressure chamber a restricted flow path and connected to the other end of the restricted flow path, a common ink chamber for supplying and distributing ink to the pressure chamber, an ink jet head of the flat laminated structure having, the head unit plates constituting the between the first flat plate to form a - the pressure chamber, and a second plate which forms a - the common ink chamber to form-the restricted flow path, and the first flat plate and the second flat plate wherein at least a third flat positioned, to, and, the restricted flow path is formed through the thickness direction while being formed longer along the surface direction in the third flat plate, also said restricted flow road has its longitudinal direction 直交する断面が、前記共通インク室から圧力室に至るインク流路において最小の断面積を有することを特徴とする、インクジェットヘッド。 Orthogonal cross section, and having a minimum cross-sectional area in the ink flow path to the pressure chamber from said common ink chamber, the ink jet head. 【請求項6】 請求項5に記載のインクジェットヘッドであって、前記制限流路は、前記共通インク室と前記圧力室とに接続する両端よりも、その中間の方が断面積が小さいことを特徴とする、インクジェットヘッド。 6. The ink jet head according to claim 5, wherein the restricted flow path than said both ends to connect the common ink chamber and the said pressure chamber, that the direction of the intermediate small cross-sectional area wherein, the ink jet head. 【請求項7】 請求項5または請求項6に記載のインクジェットヘッドであって、前記第3平板は、インクジェットヘッドを構成する積層平板のうち最も薄いことを特徴とする、インクジェットヘッド。 7. The ink jet head according to claim 5 or claim 6, wherein the third flat plate is characterized in that the thinnest among the stacked flat plate constituting the ink jet head, the ink jet head. 【請求項8】 請求項5から請求項7までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、 前記制限流路は、前記平板の積層方向において前記共通インク室と圧力室との間に位置させるとともに、 前記第3平板と前記第1平板との間に第4平板を介在させ、この第4平板に前記制限流路と前記圧力室とを接続する連絡流路を設け、かつ、 前記第3平板と前記第2平板との間に第5平板を介在させ、この第5平板に、前記制限流路と前記共通インク室とを接続する連絡流路を設けたことを特徴とする、インクジェットヘッド。 8. The ink jet head according to any one of claims 5 to claim 7, wherein the restricted flow path, between the common ink chamber and the pressure chamber in the stacking direction of the plate together is positioned, the fourth flat plate is interposed between the third flat plate and the first flat plate, a connecting passage for connecting the pressure chamber and the restricted passage provided in the fourth flat plate, and wherein the fifth flat plate is interposed between the second flat plate and the third flat plate, the fifth flat plate, characterized in that a connecting passage which connects the common ink chamber and the restricted passage, the ink-jet head.
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