JP2003323217A - System for controlling flow rate - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、流量制御システ
ムに関する。より詳細には、簡潔な構成で複数ラインの
ガスの流量制御を同時に行なうことができる流量制御シ
ステムに関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flow control system. More specifically, the present invention relates to a flow rate control system capable of simultaneously controlling the flow rate of a plurality of lines of gas with a simple structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は、従来の流量制御システムを用い
た流量制御システム２１の例を示す図である。図５にお
いて、２２ａ，２２ｂ…は複数の半導体製造ラインを構
成するチャンバ、２３はガスＧを供給するガス供給ライ
ン、２３ａ，２３ｂ…は分岐点２３ｐにおいてガス供給
ライン２３から分岐して各チャンバ２２ａ，２２ｂ…に
所定流量Ｆａ，Ｆｂ…のガスＧを供給するガス分岐供給
ライン、２４はガスＧを供給するガスボンベである。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a diagram showing an example of a flow control system 21 using a conventional flow control system. 5, 22a, 22b ... Chambers constituting a plurality of semiconductor manufacturing lines, 23 is a gas supply line for supplying the gas G, 23a, 23b ... are branched from the gas supply line 23 at a branch point 23p, and each chamber 22a. , 22b ... Gas branch supply lines for supplying a predetermined flow rate Fa, Fb ... Of gas G, and 24 is a gas cylinder for supplying gas G.
【０００３】前記分岐点２３ｐから分岐した各ガス供給
ライン２３ａ，２３ｂ…にはそれぞれ例えば機械式の調
圧器２５ａ，２５ｂ…と、この調圧器２５ａ，２５ｂ…
の下流側のゲージ２６ａ，２６ｂ…と、フィルタ２７
ａ，２７ｂ…と、流量制御弁２８ａ，２８ｂ…と、電磁
弁２９ａ，２９ｂ…とを有する。For example, mechanical pressure regulators 25a, 25b ... Are respectively connected to the gas supply lines 23a, 23b ... Branching from the branch point 23p, and the pressure regulators 25a, 25b.
26a, 26b on the downstream side of the filter and the filter 27
a, 27b ..., Flow control valves 28a, 28b ..., and solenoid valves 29a, 29b.
【０００４】上記流量制御システム２１では、前記ボン
ベ２４から供給されるガスＧが、調圧器２５ａ，２５ｂ
…で３０ｋＰａ程度に減圧された状態で流量制御弁２８
ａ，２８ｂ…に供給され、流量制御弁２８ａ，２８ｂ…
によって所定の流量Ｆａ，Ｆｂ…に流量調節された状態
でチャンバ２２ａ，２２ｂ…に供給される。さらに、電
磁弁２９ａ，２９ｂ…は、チャンバ２２ａ，２２ｂ…に
供給されるガスＧの流れを完全に停止するものである。In the flow rate control system 21, the gas G supplied from the cylinder 24 is regulated by the pressure regulators 25a and 25b.
In the state where the pressure is reduced to about 30 kPa, the flow rate control valve 28
a, 28b ..., and flow control valves 28a, 28b ...
Are supplied to the chambers 22a, 22b ... In a state where the flow rates are adjusted to predetermined flow rates Fa, Fb. Further, the electromagnetic valves 29a, 29b ... Completely stop the flow of the gas G supplied to the chambers 22a, 22b.
【０００５】図６は前記流量制御システム２１の一部の
構成を示す実態図である。図６においては、分岐点２３
ｐから分岐する２つのガス分岐供給ライン２３ａ，２３
ｂの一部分のみを図示しているが、図５に示した他のガ
ス分岐供給ライン２３ｃ，２３ｄ…も同様に分岐点２３
ｐから分岐するものである。FIG. 6 is an actual view showing a partial configuration of the flow rate control system 21. In FIG. 6, the branch point 23
Two gas branch supply lines 23a, 23 branched from p
Although only a part of b is illustrated, the other gas branch supply lines 23c, 23d ... Shown in FIG.
It is a branch from p.
【０００６】また、３０ａ，３０ｂ…はそれぞれ流量制
御弁２８ａ，２８ｂ…に電力を供給すると共に制御信号
を供給する制御部、Ｃａ，Ｃｂ…は各制御部３０ａ，３
０ｂ…を流量制御弁２８ａ，２８ｂ…に接続するための
接続ケーブルである。すなわち各流量制御弁２８ａ，２
８ｂ…は制御部３０ａ，３０ｂ…からの制御信号によっ
て制御された流量Ｆａ，Ｆｂ…のガスＧを各ガス分岐供
給ライン２３ａ，２３ｂ…に流すようにコントロールさ
れる。Further, reference numerals 30a, 30b ... Supply control signals to the flow rate control valves 28a, 28b ... And control signals, and Ca, Cb ... Respective control sections 30a, 3b.
0b ... Is a connection cable for connecting the flow control valves 28a, 28b. That is, each flow control valve 28a, 2
Are controlled so that the gas G having the flow rates Fa, Fb, ... Controlled by the control signals from the control units 30a, 30b, ... Flow through the gas branch supply lines 23a, 23b.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複数の
流量制御弁２８ａ，２８ｂ…を用いて各ガス分岐供給ラ
イン２３ａ，２３ｂ…に流すガスＧの流量Ｆａ，Ｆｂ…
を安定制御するためには、各ガス分岐供給ライン２３
ａ，２３ｂ…に調圧器２５ａ，２５ｂ…と、ゲージ２６
ａ，２６ｂ…と、フィルタ２７ａ，２７ｂ…と、流量制
御弁２８ａ，２８ｂ…と、電磁弁２９ａ，２９ｂ…とを
それぞれ設ける必要があるだけでなく、各流量制御弁２
８ａ，２８ｂ…に電力を供給し、制御信号を出力するた
めの制御部３０ａ，３０ｂ…を複数設ける必要があっ
た。つまり、電気的な制御対象となる流量制御弁２８
ａ，２８ｂ…を各ガス分岐供給ライン２３ａ，２３ｂ…
にそれぞれ設ける必要があるので、それだけコストが高
くなるという問題があった。However, the flow rates Fa, Fb ... Of the gas G flowing through the gas branch supply lines 23a, 23b ... Using the plurality of flow rate control valves 28a, 28b.
In order to stably control the gas, each gas branch supply line 23
a, 23b ..., Pressure regulators 25a, 25b ..., and a gauge 26
a, 26b ..., Filters 27a, 27b ..., Flow control valves 28a, 28b ... and Solenoid valves 29a, 29b.
It is necessary to provide a plurality of control units 30a, 30b ... For supplying electric power to 8a, 28b ... And outputting a control signal. That is, the flow control valve 28 that is an electrical control target
a, 28b ... to each gas branch supply line 23a, 23b ...
However, there is a problem in that the cost increases accordingly.
【０００８】また、前記従来の流量制御システム２１
で、新たなガス分岐供給ラインを増設する場合は、調圧
器、ゲージ、フィルタ、流量制御弁、電磁弁に加えて制
御信号および電力を供給する制御部を設ける必要がある
ので、ガス分岐供給ラインの拡張を難しくしていた。こ
れは所定流量の流体を用いて大量生産を行なう種々の製
造プロセスにおけるライン拡張の妨げとなっている。The conventional flow control system 21 is also provided.
Therefore, when adding a new gas branch supply line, it is necessary to provide a control unit that supplies control signals and power in addition to the pressure regulator, gauge, filter, flow control valve, solenoid valve. Was difficult to extend. This hinders line expansion in various manufacturing processes that perform mass production using a predetermined flow rate of fluid.
【０００９】本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなさ
れたものであって、その目的は、複数ラインのガスの流
量制御を同時に行うことができ、ラインの数を容易に増
加させることができる簡略化した流量制御システムを提
供することにある。The present invention has been made in consideration of the above matters, and it is an object of the present invention to control the flow rate of gas in a plurality of lines at the same time and to easily increase the number of lines. It is to provide a simplified flow control system that can be performed.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流量制御システムは一つの自動調圧器と、
複数の絞り部と、自動調圧器を用いて各絞り部の上流側
における圧力を調節することにより全絞り部を流れる流
体の流量を制御する制御部とを有することを特徴として
いる。（請求項１）To achieve the above object, the flow control system of the present invention comprises one automatic pressure regulator,
It is characterized by having a plurality of throttle portions and a control portion for controlling the flow rate of the fluid flowing through all the throttle portions by adjusting the pressure on the upstream side of each throttle portion using an automatic pressure regulator. (Claim 1)
【００１１】したがって、この流量制御システムを用い
ることにより、全絞り部を流れる流体の流量を一つの自
動調圧器を用いて調節することができるので、制御対象
を一つの圧力制御のみとして、複数の流量を同時に安定
制御することができる。つまり、それだけ流量制御シス
テムの製造コストを引き下げることができる。Therefore, by using this flow rate control system, the flow rate of the fluid flowing through all the throttle portions can be adjusted by using one automatic pressure regulator, so that only one pressure control is performed as a control target, and a plurality of pressure control targets are controlled. The flow rate can be controlled stably at the same time. That is, the manufacturing cost of the flow control system can be reduced accordingly.
【００１２】また、絞り部を増やすだけで、安定した流
量制御を行なうことができるガスの流路を増やすことが
でき、それだけ容易にて流量制御システムの増設を柔軟
に行なうことができる。Further, it is possible to increase the number of gas passages for which stable flow rate control can be performed by simply increasing the number of throttle portions, and the flow control system can be easily and flexibly expanded.
【００１３】各絞り部の下流側に開閉弁を設けてなる場
合（請求項２）には、各ラインに対する流体の供給を完
全に停止することが可能である。なお、絞り部と開閉弁
をできるだけ近く配置し、望ましくは一体成形すること
により、絞り部から開閉弁までの間の容積を必要最小限
に抑えることが望ましい。すなわち、絞り部から開閉弁
までの間の容積を小さくすることにより、開弁時におけ
る突入流量を低く抑えることができる。また、開閉弁は
開弁状態で絞り部の下流側における流路に大きな抵抗を
発生させないものとすることが望ましい。When an on-off valve is provided on the downstream side of each throttle (claim 2), it is possible to completely stop the supply of fluid to each line. It is desirable to arrange the throttle portion and the on-off valve as close as possible, and preferably to integrally form them so that the volume between the throttle portion and the on-off valve can be minimized. That is, by reducing the volume from the throttle portion to the opening / closing valve, the rush flow rate at the time of opening the valve can be suppressed low. Further, it is desirable that the open / close valve does not generate a large resistance in the flow path on the downstream side of the throttle portion in the open state.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図１，２は本発明の流量制御シス
テム１の一例を示す図である。なお、図５，６と同じ符
号を付した部分は図５，６と同等の部分であるから、そ
の詳細な説明を省略する。1 and 2 are views showing an example of a flow rate control system 1 of the present invention. Note that the portions denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 5 and 6 are the same portions as those in FIGS.
【００１５】図１において、２ａ，２ｂ…は例えば複数
の半導体製造ラインを構成するチャンバ、３はガスＧ
（流体の一例）を供給するガス供給ライン、３ａ，３ｂ
…は分岐点３ｐにおいて例えば放射線状にガス供給ライ
ン３から分岐して各チャンバ２ａ，２ｂ…に所定流量Ｆ
ａ，Ｆｂ…のガスＧを供給するガス分岐供給ライン、４
はガスＧを供給するガスボンベ、５は例えば前記ガス供
給ライン３上に設けられた調圧器、６はゲージ、７はフ
ィルタである。In FIG. 1, 2a, 2b ... Are, for example, chambers constituting a plurality of semiconductor manufacturing lines, and 3 is a gas G.
Gas supply lines for supplying (an example of fluid) 3a, 3b
Is branched from the gas supply line 3 in a radial manner at a branch point 3p, and a predetermined flow rate F is supplied to each chamber 2a, 2b.
Gas branch supply line for supplying the gas G of a, Fb ...
Is a gas cylinder for supplying the gas G, 5 is, for example, a pressure regulator provided on the gas supply line 3, 6 is a gauge, and 7 is a filter.
【００１６】また、図２に示すように、本例の流量制御
システム１はガス供給ライン３に設けられた１つの自動
調圧器８と、前記分岐点３ｐの下流側の各ガス分岐供給
ライン３ａ，３ｂ…にそれぞれ設けられた絞り部（以
下、音速ノズルという）９ａ，９ｂ…と、各音速ノズル
９ａ，９ｂ…の下流側に設けられた例えば空圧弁などか
らなる開閉弁１０ａ，１０ｂ…と、自動調圧器８を用い
て各音速ノズル９ａ，９ｂ…の上流側における圧力Ｐ1
を調節する制御部１１と、自動調圧器８を制御部１１に
接続する接続ケーブルＣを有している。なお、本発明は
絞り部の一例としての音速ノズルを例示しているので、
安定した流量のガスＧを流すことが可能であるが、本発
明は絞り弁を音速ノズルに限定するものではなく、オリ
フィスなどの簡素化された構成としてもよい。Further, as shown in FIG. 2, the flow rate control system 1 of the present embodiment has one automatic pressure regulator 8 provided in the gas supply line 3 and each gas branch supply line 3a downstream of the branch point 3p. , 3b, respectively, and throttle parts (hereinafter referred to as sonic nozzles) 9a, 9b, ... , Pressure P 1 on the upstream side of each sonic nozzle 9a, 9b ...
And a connection cable C for connecting the automatic pressure regulator 8 to the control unit 11. Since the present invention exemplifies the sonic nozzle as an example of the diaphragm,
Although it is possible to flow the gas G at a stable flow rate, the present invention does not limit the throttle valve to the sonic nozzle, and may have a simplified configuration such as an orifice.
【００１７】また、図２には図面を簡略化するために、
２つのガス分岐供給ライン３ａ，３ｂのみを図示してい
るが、本例の流量制御システム１はその他のガス分岐供
給ライン３ｃ，３ｄ…も有する。しかしながら、本発明
はガス分岐供給ライン３ａ，３ｂ…の数を限定するもの
ではないことはいうまでもない。Further, in order to simplify the drawing, FIG.
Although only two gas branch supply lines 3a and 3b are shown, the flow rate control system 1 of this example also has other gas branch supply lines 3c, 3d. However, it goes without saying that the present invention does not limit the number of gas branch supply lines 3a, 3b ...
【００１８】図１，２において、Ｐａ，Ｐｂ…は音速ノ
ズル９ａ，９ｂ…の下流側における圧力を示している。
また、自動調圧器８は、制御部１１による制御によって
分岐点３ｐにおける圧力Ｐ1 を、各ガス分岐供給ライン
３ａ，３ｂ…の下流部分における圧力Ｐａ，Ｐｂ…の何
れよりも３倍以上高圧になるように調圧する。ここで、
一般的に大気や窒素等の場合は、音速ノズル９ａ，９ｂ
…の上流側における圧力Ｐ1 を、その下流側における圧
力Ｐａ，Ｐｂ…に対して２倍以上となるように制御する
ことにより、音速ノズル９ａ，９ｂ…を流れる流体の流
量Ｆａ，Ｆｂ…は下流側の圧力Ｐａ，Ｐｂ…に影響され
ることなく、上流側における圧力Ｐ1 のみに比例して一
義的に決定されることが知られている。1 and 2, Pa, Pb ... Denote pressures on the downstream side of the sonic nozzles 9a, 9b.
Further, the automatic pressure regulator 8 makes the pressure P 1 at the branch point 3p three times or more higher than any of the pressures Pa, Pb ... In the downstream portions of the gas branch supply lines 3a, 3b ... Under the control of the control unit 11. Adjust the pressure so that here,
Generally, in the case of the atmosphere or nitrogen, the sonic nozzles 9a, 9b
By controlling the pressure P 1 on the upstream side of ... to be at least twice the pressure Pa, Pb on the downstream side, the flow rates Fa, Fb ... Of the fluid flowing through the sonic nozzles 9a, 9b. It is known that it is uniquely determined in proportion to only the upstream pressure P 1 without being influenced by the downstream pressures Pa, Pb ...
【００１９】しかしながら、本例では開閉弁１０ａ，１
０ｂ…などによる圧力損失なども考慮に入れて、自動調
圧器８が３倍以上である圧力差を確保できるように圧力
調整するように制御することにより、圧力Ｐ1 と流量Ｐ
ａ，Ｐｂ…の直線的な関係を確実なものとしている。な
お、前記圧力差は各音速ノズル９ａ，９ｂ…の直下にお
ける圧力と直上における圧力Ｐ1 との差が２倍以上（す
なわち音速ノズル９ａ，９ｂ…の二次側圧力Ｐａ，Ｐｂ
…を一次側圧力Ｐ1 で割った値が何れも制御対象ガスＧ
の臨界圧以下）であれば、何倍であってもよい。However, in this example, the on-off valves 10a, 1
The pressure P 1 and the flow rate P 1 are controlled by controlling the automatic pressure regulator 8 so as to secure a pressure difference that is three times or more in consideration of the pressure loss due to 0b.
The linear relationship between a, Pb ... Is assured. Incidentally, the pressure difference each sonic nozzle 9a, the difference between the pressure P 1 immediately above the pressure at 9b ... immediately below are more than double (i.e. sonic nozzle 9a, 9b ... of the secondary pressure Pa, Pb
Control ... both is divided by the primary pressure P 1 of the subject gas G
If the pressure is equal to or lower than the critical pressure of 1), it may be any multiple.
【００２０】本発明のように、一つの自動調圧器８と、
複数の音速ノズル９ａ，９ｂ…を組み合わせることによ
り、自動調圧器８が制御部１１による制御によって、音
速ノズル９ａ，９ｂ…の上流側における圧力Ｐ1 を一定
に保つので、全音速ノズル９ａ，９ｂ…を流れるガスＧ
の流量Ｆａ，Ｆｂ…を一定に保つことができる。また、
前記開閉弁１０ａ，１０ｂ…を閉鎖すると、これに対応
するガス分岐流路３ａ，３ｂ…を流れるガスＧの流れを
完全に止めることが可能である。そして、この開閉弁１
０ａ，１０ｂ…を再び開くことにより、所定流量Ｆａ，
Ｆｂ…のガスＧを流すことができる。As in the present invention, one automatic pressure regulator 8;
By combining a plurality of sonic nozzles 9a, 9b ... By the control of the control unit 11, the automatic pressure regulator 8 maintains a constant pressure P 1 on the upstream side of the sonic nozzles 9a, 9b. Gas G flowing through
The flow rates Fa, Fb ... Of can be kept constant. Also,
When the on-off valves 10a, 10b ... Are closed, it is possible to completely stop the flow of the gas G flowing through the corresponding gas branch flow paths 3a, 3b. And this on-off valve 1
By reopening 0a, 10b ..., the predetermined flow rate Fa,
The gas G of Fb ... Can be flowed.
【００２１】したがって、本発明の流量制御システム１
は、一つの自動調圧器８だけを制御対象として、これに
制御信号や電力を供給する単一の制御部１１を設けるだ
けで、複数のガス分岐流路３ａ，３ｂ…を流れるガスＧ
の流量Ｆａ，Ｆｂ…を安定して制御することができ、そ
れだけ流量制御システム１の全体としての製造コストを
引き下げることができる。Therefore, the flow control system 1 of the present invention
The gas G that flows through the plurality of gas branch flow paths 3a, 3b ... Only by providing a single control unit 11 that controls only one automatic pressure regulator 8 and supplies a control signal and electric power thereto.
The flow rates Fa, Fb ... Of can be stably controlled, and the manufacturing cost of the flow rate control system 1 as a whole can be reduced accordingly.
【００２２】また、各ガス分岐流路３ａ…を流れるガス
Ｇの流量Ｆａ…は音速ノズル９ａ…の形状および大きさ
のみによって定まるので、適切な形状および大きさの音
速ノズルを介在させたガス分岐流路を分岐点３ｐに連通
連結するだけで、極めて容易に安定した流量のガスＧを
流すガス分岐流路を増設することができる。Further, since the flow rate Fa of the gas G flowing through each of the gas branch flow passages 3a is determined only by the shape and size of the sonic nozzles 9a, the gas branch with the sonic nozzle having an appropriate shape and size interposed. By simply connecting the flow path to the branch point 3p, it is possible to add a gas branch flow path through which the gas G having a stable flow rate can be added very easily.
【００２３】本例に示すように、音速ノズル９を開閉弁
１０と同じブロック１５内に形成することにより、音速
ノズル９から開閉弁１０までの間の配管をなくすことが
できる。さらに望ましくは、本例のように音速ノズル９
の下流側に弁座１２を形成することで、音速ノズル９か
ら開閉弁１０に至るまでの空間容積を事実上０にするこ
とができる。これによって、開閉弁１０の開閉動作に対
する流量Ｆの応答性を可及的に向上することができる。As shown in this example, by forming the sonic nozzle 9 in the same block 15 as the opening / closing valve 10, the pipe between the sonic nozzle 9 and the opening / closing valve 10 can be eliminated. More preferably, as in this example, the sonic nozzle 9
By forming the valve seat 12 on the downstream side of, the space volume from the sonic nozzle 9 to the opening / closing valve 10 can be virtually zero. Thereby, the responsiveness of the flow rate F to the opening / closing operation of the opening / closing valve 10 can be improved as much as possible.
【００２４】図３は本発明の流量制御システム１の別の
変形例を示す図である。図３において、図１，２と同じ
符号を付した部分は同一または同等の部分であるから、
その詳細な説明を省略する。図３において、ガス分岐流
路３ａ〜３ｄは開閉弁１０ａ〜１０ｄの下流側における
合流点３ｍにおいて合流し、一つの半導体プロセス２に
流れるように接続されている。FIG. 3 is a diagram showing another modification of the flow rate control system 1 of the present invention. In FIG. 3, the parts denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 are the same or equivalent parts,
Detailed description thereof will be omitted. In FIG. 3, the gas branch flow passages 3 a to 3 d join together at a joining point 3 m on the downstream side of the on-off valves 10 a to 10 d and are connected so as to flow into one semiconductor process 2.
【００２５】また、各開閉弁１０ａ〜１０ｄは制御部１
６によって開閉操作可能に構成されており、音速ノズル
９ａ〜９ｄはこれを流れる流体の流量Ｆａ〜Ｆｄに以下
の式（１）の関係が成立するように、その絞り部分の形
状および大きさを定める。
Ｆａ＝２×Ｆｂ＝４×Ｆｃ＝８×Ｆｄ … 式（１）Further, each on-off valve 10a-10d has a control unit 1
The sonic nozzles 9a to 9d are configured so as to be opened and closed by means of 6, and the shape and size of their throttle portions are set so that the flow rate Fa to Fd of the fluid flowing therethrough satisfies the relationship of the following formula (1). Establish. Fa = 2 × Fb = 4 × Fc = 8 × Fd Formula (1)
【００２６】前記構成の制御部１６は一つの自動調圧器
８によって音速ノズル９ａ〜９ｄの上流側における圧力
Ｐ1 を所定値に調節すると共に、各開閉弁１０ａに対し
て４ビットのオン／オフ信号Ｆ0 〜Ｆ3 を出力すること
により、合流点３ｍにおける流量Ｆｍをデジタル的に高
速制御することが可能となる。なお、本例においても音
速ノズル９ａ〜９ｄを開閉弁１０ａ〜１０ｄと一体化す
ることが望ましいことはいうまでもない。The control unit 16 having the above-mentioned configuration adjusts the pressure P 1 on the upstream side of the sonic nozzles 9a to 9d to a predetermined value by one automatic pressure regulator 8 and turns on / off 4 bits for each on-off valve 10a. By outputting the signals F 0 to F 3 , the flow rate Fm at the confluence 3 m can be digitally controlled at high speed. Needless to say, in this example as well, it is desirable to integrate the sonic nozzles 9a to 9d with the on-off valves 10a to 10d.
【００２７】図４は本発明の流量制御システム１の流路
の具体的な構成例を示す図である。図４において、図１
〜３と同じ符号を付した部分は同一または同等の部分で
あるから、その詳細な説明を省略する。図４においてＢ
0 〜Ｂ3 は継手Ｊによって分離可能に連通連結されたブ
ロックであり、８ａ，８ｂは自動調圧器８を構成する制
御弁と，圧力センサ、１７は入力側の配管接続部、１８
ａ〜１８ｄは出力側の配管接続部である。FIG. 4 is a diagram showing a concrete example of the structure of the flow path of the flow rate control system 1 of the present invention. In FIG. 4, FIG.
Since the parts denoted by the same reference numerals as the symbols 1 to 3 are the same or equivalent parts, detailed description thereof will be omitted. B in FIG.
0 to B 3 are blocks that are separably connected by a joint J, 8a and 8b are control valves and pressure sensors that constitute the automatic pressure regulator 8, 17 is a pipe connecting portion on the input side, 18
Reference numerals a to 18d are pipe connection parts on the output side.
【００２８】本例のように構成する場合は、多数のガス
分岐供給ライン３ａ〜３ｄを容易に増設できると共に、
全体的な構成を可及的に小型化することが可能となり、
有用である。なお、各ブロックＢ1 〜Ｂ3 の形状は単な
る一例を示すものであるから、継手Ｊの形状や向き、配
管接続部１７，１８ａ〜１８ｄの取付け位置や数、分岐
部３ｐを構成する内部流路の形状や太さなどは任意に設
計可能であることはいうまでもない。In the case of the configuration of this example, a large number of gas branch supply lines 3a to 3d can be easily added, and
It is possible to miniaturize the overall configuration as much as possible,
It is useful. Since the shapes of the blocks B 1 to B 3 are merely examples, the shape and orientation of the joint J, the mounting positions and numbers of the pipe connecting portions 17, 18a to 18d, and the internal flow forming the branch portion 3p. It goes without saying that the shape and thickness of the road can be designed arbitrarily.
【００２９】また、本例では図面を簡略化するために省
略しているが、各ブロックＢ0 〜Ｂ 3 内の音速ノズル９
ａ〜９ｄの下流側に開閉弁１０を連設することが望まし
いことはいうまでもない。Further, in this example, in order to simplify the drawing, it is omitted.
Not shown, but each block B0~ B 3Sonic nozzle 9 in
It is desirable to connect the open / close valve 10 to the downstream side of a to 9d.
Needless to say.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、一つの自
動調圧器に対して制御信号および電力を供給するだけ
で、複数の分岐流路全てに対して安定した流量の流体を
流すことができるので、安価で省スペースな複数流路制
御を行なうことができる。As described above, according to the present invention, by supplying a control signal and electric power to one automatic pressure regulator, a stable flow rate of fluid can be supplied to all of the plurality of branch flow paths. Therefore, inexpensive and space-saving control of a plurality of flow paths can be performed.
【図１】本発明の流量制御システムの一例を示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing an example of a flow rate control system of the present invention.
【図２】前記流量制御システムの各部の配置を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing an arrangement of each part of the flow rate control system.
【図３】本発明の流量制御システムを用いた流量制御の
例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of flow rate control using the flow rate control system of the present invention.
【図４】前記流量制御システムにおける各部の配置の変
形例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a modified example of the arrangement of each part in the flow rate control system.
【図５】従来の流量制御システムの例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional flow rate control system.
【図６】前記従来の流量制御システムの各部の配置を示
す図である。FIG. 6 is a view showing an arrangement of each part of the conventional flow rate control system.
１…流量制御システム、８…自動調圧器、９，９ａ，９
ｂ…絞り部、１０，１０ａ，１０ｂ…開閉弁、１１，１
６…制御部、Ｆａ，Ｆｂ…流量、Ｇ…流体（ガス）、Ｐ
1 ，Ｐａ，Ｐｂ…圧力。1 ... Flow control system, 8 ... Automatic pressure regulator, 9, 9a, 9
b ... throttle part, 10, 10a, 10b ... on-off valve, 11, 1
6 ... Control unit, Fa, Fb ... Flow rate, G ... Fluid (gas), P
1 , Pa, Pb ... Pressure.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F045 BB08 EE01 5H307 AA20 BB02 CC03 DD12 EE02 ES02 FF12 GG01 GG11 JJ01 KK07 LL05 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F term (reference) 5F045 BB08 EE01 5H307 AA20 BB02 CC03 DD12 EE02 ES02 FF12 GG01 GG11 JJ01 KK07 LL05
Claims (2)
自動調圧器を用いて各絞り部の上流側における圧力を調
節することにより全絞り部を流れる流体の流量を制御す
る制御部とを有することを特徴とする流量制御システ
ム。1. An automatic pressure regulator, a plurality of throttles,
A flow rate control system comprising: a control unit that controls the flow rate of the fluid flowing through all the throttle units by adjusting the pressure on the upstream side of each throttle unit using an automatic pressure regulator.
請求項１に記載の流量制御システム。2. The flow control system according to claim 1, wherein an on-off valve is provided on the downstream side of each throttle.
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