JP2003307655A - Optical module - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュールに関
し、特に、発光素子又は受光素子と光ファイバとの光軸
合わせを容易に精度よく行うことが可能な光モジュール
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module, and more particularly, to an optical module capable of easily and accurately aligning an optical axis of a light emitting element or a light receiving element with an optical fiber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、通信容量の増大により、ネットワ
ークの光化が注目されており、光アクセス網の普及には
光モジュールの低コスト化、小型化が必要不可欠であ
る。発光素子又は受光素子と光ファイバを結合させる方
式としては、アクティブアライメント方式と、パッシブ
アライメント方式がある。アクティブアライメント方式
は、レーザダイオード（ＬＤ）を動作させて、光ファイ
バに結合される光強度をモニタしながら、位置合わせを
行う方式で、実装精度が向上するという利点があるが、
複雑で組立に時間がかかるという問題がある。これに対
し、パッシブアライメント方式は、基板上に設けられた
マーカーなどを利用して位置合わせを行う方式で、組立
が容易であり、量産化に適しているので、近年注目され
ている。2. Description of the Related Art In recent years, due to an increase in communication capacity, attention has been paid to opticalization of networks, and cost reduction and miniaturization of optical modules are indispensable for the spread of optical access networks. As a method of coupling the light emitting element or the light receiving element with the optical fiber, there are an active alignment method and a passive alignment method. The active alignment method is a method in which a laser diode (LD) is operated to perform alignment while monitoring the intensity of light coupled to an optical fiber, and has the advantage of improving mounting accuracy.
There is a problem that it is complicated and it takes time to assemble. On the other hand, the passive alignment method is a method of performing alignment using a marker or the like provided on the substrate, is easy to assemble, and is suitable for mass production, and thus has been attracting attention in recent years.
【０００３】また、並列光伝送モジュールの実装方法で
は、生産性を上げるために、一部にアクティブアライメ
ントを取り入れた、例えば特許第３１２１０９３号が提
案されている。図１１は、この公報に記載されているモ
ジュールの光軸調整機構を示す図である。図１１におい
て、ファイバ固定用Ｖ溝１０５は、光ファイバ１０３を
固定するための溝である。また、微調整用Ｖ溝１０４
は、ファイバ端を微小領域において微動可能にするため
の溝となっている。ファイバ固定用Ｖ溝１０５と微調整
用Ｖ溝１０４とは、基板１０１上に形成されていて、フ
ァイバ固定用Ｖ溝１０５に光ファイバ１０３を固定した
後に吸着ノズル１１１を高分解能のステージにより動か
すことにより、ファイバ先端を移動させ、バンプ１１３
を介し基板１０１に取り付けられている光素子１０２に
対して光軸を微調整してモジュールを実装する。なお、
小銀ランプ１１４は紫外線硬化性樹脂１１２ａ、１１２
ｂを硬化させるために用いられている。Further, in a method of mounting a parallel optical transmission module, for example, Japanese Patent No. 3121093 has been proposed in which active alignment is partially incorporated in order to improve productivity. FIG. 11 is a diagram showing the optical axis adjusting mechanism of the module described in this publication. In FIG. 11, a fiber fixing V groove 105 is a groove for fixing the optical fiber 103. Also, the fine adjustment V groove 104
Is a groove for enabling the fine movement of the fiber end in a minute area. The fiber fixing V groove 105 and the fine adjustment V groove 104 are formed on the substrate 101, and after the optical fiber 103 is fixed to the fiber fixing V groove 105, the suction nozzle 111 is moved by a high resolution stage. Moves the tip of the fiber to move the bump 113
The module is mounted by finely adjusting the optical axis of the optical element 102 mounted on the substrate 101 via. In addition,
The small silver lamp 114 is made of ultraviolet curable resin 112a, 112.
It is used to cure b.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、近
年、発光素子又は受光素子と光ファイバを結合させる方
式としてパッシブアライメントが注目されているが、発
光素子又は受光素子の実装精度、その実装の際に利用す
るマーカーの位置精度、光ファイバを固定するための基
板上に形成されるＶ溝の位置精度など、さまざまなばら
つき要因があり、実際に要求される実装精度を実現する
ためには高額な生産設備をそろえる必要がある。As described above, in recent years, passive alignment has attracted attention as a method for coupling a light emitting element or a light receiving element to an optical fiber. There are various variation factors such as the positional accuracy of the marker used in the case, the positional accuracy of the V groove formed on the substrate for fixing the optical fiber, etc., and it is expensive to realize the mounting accuracy actually required. It is necessary to prepare various production facilities.
【０００５】また、図１１に示すモジュールでは、ファ
イバと発光素子又は受光素子の光軸を１つ１つ合わせる
ため、組立時間がかかり、歩留りは向上するが、生産性
が高いとはいえない。さらに、樹脂の硬化収縮や熱膨張
でファイバの光軸がずれてしまう可能性がある。In the module shown in FIG. 11, the fiber and the optical axis of the light emitting element or the light receiving element are aligned one by one, so that it takes time to assemble and the yield is improved, but it cannot be said that the productivity is high. Further, there is a possibility that the optical axis of the fiber may be displaced due to curing shrinkage or thermal expansion of the resin.
【０００６】そこで、本発明は上記課題を解決するため
になされたもので、アクティブアライメントであっても
簡単な構成で位置合わせができ、Ｖ溝の高い加工精度や
素子の高精度実装を不要とするモジュール構造を有する
光モジュールを提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to perform alignment with a simple structure even with active alignment, and it is not necessary to have a high V-groove processing precision and high-precision mounting of elements. It is an object of the present invention to provide an optical module having a module structure that
【０００７】また、複数の光ファイバであっても一度に
位置合わせが行える生産性の高い光モジュールを提供す
ることを目的とする。It is another object of the present invention to provide a highly productive optical module capable of aligning a plurality of optical fibers at one time.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係る光モジュー
ルは、基板上に実装した発光素子又は受光素子と、前記
発光素子又は受光素子と対向する前記基板上の位置に設
けられた光ファイバとを有し、かつ前記基板上には、前
記光ファイバを光軸に対し水平方向に微調整するための
第１のＶ溝と、前記第１のＶ溝の内部に設けられて前記
発光素子又は受光素子との光軸を垂直方向に調整するた
めの支点とが形成されている。この構成により、光ファ
イバを光軸に対し簡単に位置合わせでき、Ｖ溝の高い加
工精度や素子の高精度実装を不要とするモジュール構造
を有する光モジュールを提供することができる。An optical module according to the present invention comprises a light emitting element or a light receiving element mounted on a substrate, and an optical fiber provided at a position on the substrate facing the light emitting element or the light receiving element. And a first V groove for finely adjusting the optical fiber in the horizontal direction with respect to the optical axis on the substrate, and the light emitting element provided inside the first V groove. A fulcrum for adjusting the optical axis of the light receiving element in the vertical direction is formed. With this configuration, the optical fiber can be easily aligned with the optical axis, and it is possible to provide an optical module having a module structure that does not require high processing accuracy of the V groove or high-accuracy mounting of elements.
【０００９】また、前記光ファイバを前記基板の上部か
ら固定するためのファイバ保持部材を備え、当該ファイ
バ保持部材は、光ファイバを微動させるための力点とな
る突起物を有している。この構成により、ファイバ保持
部材を微動させることによって光軸の位置合わせを行う
ことができ、また、ファイバ保持部材は同時にファイバ
固定部品としても使用できるので、吸着ノズルなどの光
ファイバを固定する道具を用いる必要がないため、アク
ティブアライメントの構成が簡単になる。Further, a fiber holding member for fixing the optical fiber from above the substrate is provided, and the fiber holding member has a protrusion serving as a force point for finely moving the optical fiber. With this configuration, the optical axis can be aligned by finely moving the fiber holding member, and since the fiber holding member can be used as a fiber fixing component at the same time, a tool for fixing the optical fiber such as a suction nozzle can be used. The configuration of active alignment is simplified because it does not need to be used.
【００１０】また、前記ファイバ保持部材は、光ファイ
バ固定用の第２のＶ溝を有し、前記突起物は、前記第２
のＶ溝の内部に形成されている。この構成により、前記
ファイバ保持部材を前記基板面に平行に、前後左右に微
動させることで、ファイバの光軸に対して垂直方向と水
平方向の２つの軸方向にファイバの光軸調整をすること
が容易にできる。Further, the fiber holding member has a second V groove for fixing the optical fiber, and the protrusion is the second V groove.
Is formed inside the V groove. With this configuration, the optical axis of the fiber can be adjusted in two axial directions, that is, a vertical direction and a horizontal direction with respect to the optical axis of the fiber, by finely moving the fiber holding member in the front-rear direction and the left-right direction in parallel with the substrate surface. Can be done easily.
【００１１】また、前記第２のＶ溝は、前記発光素子又
は受光素子側に向かうにしたがって深さが徐々に浅くな
っている。この構成により、前記ファイバ保持部材を前
記基板面に平行に、前後左右に微動させることで、ファ
イバの光軸に対して垂直方向と水平方向の２つの軸方向
にファイバの光軸調整をすることが容易にできる。The depth of the second V-shaped groove is gradually reduced toward the light emitting element or the light receiving element. With this configuration, the optical axis of the fiber can be adjusted in two axial directions, that is, a vertical direction and a horizontal direction with respect to the optical axis of the fiber, by finely moving the fiber holding member in the front-rear direction and the left-right direction in parallel with the substrate surface. Can be done easily.
【００１２】また、前記発光素子又は受光素子は、発光
素子アレイ又は受光素子アレイとして備えられ、前記フ
ァイバ保持部材に設けられた前記第２のＶ溝は、前記発
光素子アレイ又は受光素子アレイのピッチ間隔と等しい
ピッチ間隔を有して複数形成されている。この構成によ
り、発光素子アレイ又は受光素子アレイの実装精度がそ
れほど高くなくても、ファイバ保持部材に形成されたＶ
溝のピッチ間隔が揃っているので、ファイバ保持部材を
微調整することによって、複数の光ファイバと発光素子
アレイ又は受光素子アレイの光軸の位置合わせを一度に
行うことができる。Further, the light emitting element or the light receiving element is provided as a light emitting element array or a light receiving element array, and the second V groove provided in the fiber holding member is provided with a pitch of the light emitting element array or the light receiving element array. A plurality of them are formed with a pitch interval equal to the interval. With this configuration, even if the mounting accuracy of the light emitting element array or the light receiving element array is not so high, the V formed on the fiber holding member is formed.
Since the pitch intervals of the grooves are uniform, the optical axes of the plurality of optical fibers and the light emitting element array or the light receiving element array can be aligned at one time by finely adjusting the fiber holding member.
【００１３】さらに、前記ファイバ保持部材は、その底
面が前記基板の上面と接した状態で、前後左右にスライ
ドすることにより、前記光ファイバの端面を光軸と垂直
な方向と水平な方向に微調整させる。この構成により、
光ファイバは、第１、第２のＶ溝と支点及び力点で固定
されるので、ファイバを固定するのに用いる樹脂の硬化
収縮や熱膨張により、光軸がずれてしまうのを防ぐこと
ができる。Further, the fiber holding member slides forward, backward, leftward and rightward with the bottom surface thereof in contact with the upper surface of the substrate, so that the end face of the optical fiber is finely moved in a direction perpendicular to the optical axis and a horizontal direction. To adjust. With this configuration,
Since the optical fiber is fixed to the first and second V-grooves by the fulcrum and the force point, it is possible to prevent the optical axis from being displaced due to curing shrinkage or thermal expansion of the resin used to fix the fiber. .
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る光モジュールの概略構成を示す斜視図である。
また、図２は、図１中のＸ−Ｘ線の断面図を示す。図１
及び図２に示すように、基板１上には、光ファイバ３を
光軸に対し、水平方向に微調整するための第１のＶ溝４
が形成され、その溝の内部には光ファイバ３と発光素子
又は受光素子２との光軸を垂直方向に調整する際の支点
６が形成されている。第１のＶ溝４の内部は、光ファイ
バ３が支点６上で微小領域において可動できる程度の幅
になっている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an optical module according to a first embodiment of the present invention.
2 shows a cross-sectional view taken along line XX in FIG. Figure 1
And as shown in FIG. 2, on the substrate 1, a first V groove 4 for finely adjusting the optical fiber 3 in the horizontal direction with respect to the optical axis is provided.
Is formed, and a fulcrum 6 for adjusting the optical axes of the optical fiber 3 and the light emitting element or the light receiving element 2 in the vertical direction is formed inside the groove. The inside of the first V-shaped groove 4 has a width that allows the optical fiber 3 to move in a minute area on the fulcrum 6.
【００１５】また、ファイバ保持部材７には光ファイバ
３と接する面に第２のＶ溝５が形成されて光ファイバ３
を固定するようになっており、このファイバ保持部材７
を前後にスライドさせることにより、光ファイバ３を垂
直方向に微調整することができる。また、ファイバ保持
部材７を左右にスライドさせることによって、ファイバ
先端の位置を水平方向に微調整することができる。発光
素子又は受光素子２と光ファイバ３との光軸を微調整し
た後、図３に示すように、硬化性樹脂１２によりファイ
バ保持部材７と共に固着させる。このとき、樹脂が収縮
しても支点６により光ファイバ３を支えているので、光
軸がずれにくい構造になっている。なお、図１におい
て、８は発光素子又は受光素子２の電極を示す。A second V groove 5 is formed on the surface of the fiber holding member 7 which is in contact with the optical fiber 3 so that the optical fiber 3
The fiber holding member 7
By sliding back and forth, the optical fiber 3 can be finely adjusted in the vertical direction. Further, by sliding the fiber holding member 7 left and right, the position of the fiber tip can be finely adjusted in the horizontal direction. After the optical axes of the light emitting element or the light receiving element 2 and the optical fiber 3 are finely adjusted, they are fixed together with the fiber holding member 7 by the curable resin 12, as shown in FIG. At this time, since the optical fiber 3 is supported by the fulcrum 6 even if the resin contracts, the optical axis is not easily displaced. In FIG. 1, reference numeral 8 denotes an electrode of the light emitting element or the light receiving element 2.
【００１６】次に、図４を用いて本発明による光モジュ
ールの第１のＶ溝４及び支点６の製造方法を説明する。
なお、図４において、（ａ１）、（ｂ１）、（ｃ１）、
（ｄ１）、（ｅ１）は工程別の平面図であり、（ａ
２）、（ｂ２）、（ｃ２）、（ｄ２）、（ｅ２）は（ａ
１）のＩ−Ｉ線断面図、（ｂ１）のＩＩ−ＩＩ線断面
図、（ｃ１）のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図、（ｄ１）のＩ
Ｖ−ＩＶ線断面図、（ｅ１）のＶ−Ｖ線断面図をそれぞ
れ示す。Next, a method of manufacturing the first V groove 4 and the fulcrum 6 of the optical module according to the present invention will be described with reference to FIG.
In addition, in FIG. 4, (a1), (b1), (c1),
(D1) and (e1) are plan views for each process, and
2), (b2), (c2), (d2) and (e2) are (a
1) I-I line sectional view, (b1) II-II line sectional view, (c1) III-III line sectional view, (d1) I
A cross-sectional view taken along the line V-IV and a cross-sectional view taken along the line V-V of (e1) are shown.
【００１７】まず、第１のＶ溝４の作製には、図４（ａ
１），（ａ２）に示すように、Ｓｉでなる基板１上にＳ
ｉＯ2膜をマスクとして形成し、フォトリソグラフィに
よりマスクパターン９を形成する。そして、Ｓｉの結晶
方向によるエッチング速度の違いを利用して、異方性エ
ッチングを行う。第１のＶ溝４内に設けられた支点６の
作製については、図４（ｂ１），（ｂ２）における支点
作製用マスクパターン１０を用いる。この支点作製用マ
スクパターン１０により、図４（ｃ１），（ｃ２）に示
すように、Ｖ溝が形成される部分よりもエッチングが遅
れるので、図４（ｄ１），（ｄ２）に示すように、第１
のＶ溝４内に支点６が形成される。さらに、支点作製用
マスクパターン１０の幅を調節することにより、支点６
の高さを所望の高さにすることができる。さらに、図４
（ｅ１），（ｅ２）に示すようにマスクを除去する。First, in order to fabricate the first V-shaped groove 4, FIG.
1) and (a2), S is formed on the substrate 1 made of Si.
The iO 2 film is formed as a mask, and the mask pattern 9 is formed by photolithography. Then, anisotropic etching is performed by utilizing the difference in etching rate depending on the crystal direction of Si. For manufacturing the fulcrum 6 provided in the first V-groove 4, the fulcrum manufacturing mask pattern 10 shown in FIGS. 4B1 and 4B2 is used. The fulcrum forming mask pattern 10 causes etching to be delayed as compared with the portion where the V groove is formed, as shown in FIGS. 4 (c1) and (c2). Therefore, as shown in FIGS. 4 (d1) and 4 (d2). , First
A fulcrum 6 is formed in the V-groove 4. Further, the fulcrum 6 is adjusted by adjusting the width of the fulcrum-forming mask pattern 10.
The height of the can be set to a desired height. Furthermore, FIG.
The mask is removed as shown in (e1) and (e2).
【００１８】また、ファイバ保持部材７に設けられた第
２のＶ溝５、及び、力点となる突起物１１の製造方法
は、図５のようになっている。すなわち、図５（ａ）に
示すように、ファイバ保持部材７にマスクパターン９を
形成し、異方性エッチングを行い、図５（ｂ）に示す第
２のＶ溝５を形成する。そして、図５（ｃ）に示すよう
に、端面を切断し、図５（ｄ）に示す突起物１１を形成
する。その後、図５（ｅ）に示すように、マスクを除去
する。The method of manufacturing the second V-shaped groove 5 provided in the fiber holding member 7 and the protrusion 11 serving as a force point is as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 5A, the mask pattern 9 is formed on the fiber holding member 7, and anisotropic etching is performed to form the second V groove 5 shown in FIG. 5B. Then, as shown in FIG. 5C, the end face is cut to form the protrusion 11 shown in FIG. 5D. After that, as shown in FIG. 5E, the mask is removed.
【００１９】（第２の実施の形態）次に、図６は、本発
明の第２の実施の形態に係る光モジュールの概略図であ
る。また、図７と図８は、図６中のＸ−Ｘ線の断面図と
Ｙ−Ｙ線の断面図である。本発明の第２の実施の形態
は、ファイバ保持部材７に設けられた第２のＶ溝５の深
さが発光素子又は受光素子２が実装されている側に近づ
くにしたがって浅くなっている。このため、ファイバ保
持部材７を前後させることによって、光ファイバ３と第
２のＶ溝５との接点の高さが変わるので、光ファイバ３
を垂直方向に微調整することができる。(Second Embodiment) Next, FIG. 6 is a schematic view of an optical module according to a second embodiment of the present invention. 7 and 8 are a sectional view taken along line XX and a sectional view taken along line YY in FIG. In the second embodiment of the present invention, the depth of the second V groove 5 provided in the fiber holding member 7 becomes shallower as it approaches the side on which the light emitting element or the light receiving element 2 is mounted. Therefore, the height of the contact point between the optical fiber 3 and the second V groove 5 is changed by moving the fiber holding member 7 back and forth.
Can be finely adjusted in the vertical direction.
【００２０】この第２のＶ溝５の製造方法は図９のよう
になっている。図９（ａ）は平面図であり、図９（ｂ）
と（ｃ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ線断面図とＢ−Ｂ線断
面図である。図９（ａ）に示すように、Ｓｉでなる基板
１上にＳｉＯ2膜をマスクとして形成し、フォトリソグ
ラフィによりマスクパターン９を形成する。そして、Ｓ
ｉの結晶方向によるエッチング速度の違いを利用して、
異方性エッチングを行う。図９（ｂ）に対し、図９
（ｃ）に示すように、第２のＶ溝５の幅を変えることに
よって、溝の深さを徐々に深くすることができる。The method of manufacturing the second V groove 5 is as shown in FIG. 9 (a) is a plan view and FIG. 9 (b) is a plan view.
9C are cross-sectional views taken along the line AA and the line BB of FIG. 9A. As shown in FIG. 9A, a SiO 2 film is formed as a mask on a substrate 1 made of Si, and a mask pattern 9 is formed by photolithography. And S
Utilizing the difference in etching rate depending on the crystal direction of i,
Perform anisotropic etching. As compared with FIG.
As shown in (c), the depth of the groove can be gradually increased by changing the width of the second V groove 5.
【００２１】（第３の実施の形態）次に、本発明の第３
の実施の形態の光モジュールの概略図を図１０に示す。
本発明の第３の実施の形態は、上述した第１と第２の実
施の形態の光モジュールをアレイ状に並べたものであ
る。図１０は、アレイ状に４つ並んでいるが、この数に
限定するものではなく、いくつであっても構わない。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 10 is a schematic view of the optical module according to the embodiment.
The third embodiment of the present invention is an array of the optical modules of the first and second embodiments described above. Although four are arranged in an array in FIG. 10, the number is not limited to this and any number may be used.
【００２２】本発明の第３の実施の形態の光モジュール
の製造方法は、第１と第２の実施の形態と同様である。
基板１及びファイバ保持部材７に形成される第１及び第
２のＶ溝４及び５は、それぞれ同一基板上に形成される
ので、同じ条件でエッチングを行うことができ、溝の深
さや支点の高さが均一で製作誤差を最小限に抑えたＶ溝
を製作することができる。また、発光素子アレイ又は受
光素子アレイ１３のピッチ間隔とファイバ保持部材７に
設けられた第２のＶ溝５のピッチ間隔を揃えることによ
り、複数の光軸を一度に調整することができる。The method of manufacturing the optical module of the third embodiment of the present invention is the same as that of the first and second embodiments.
Since the first and second V-grooves 4 and 5 formed on the substrate 1 and the fiber holding member 7 are formed on the same substrate, etching can be performed under the same conditions, and the groove depth and fulcrum It is possible to manufacture a V-shaped groove having a uniform height and minimizing manufacturing errors. Further, by aligning the pitch interval of the light emitting element array or the light receiving element array 13 and the pitch interval of the second V groove 5 provided in the fiber holding member 7, it is possible to adjust a plurality of optical axes at once.
【００２３】したがって、発光素子又は受光素子アレイ
１３の実装精度がそれほど良くなくても、ファイバ保持
部材７を微動させ、調整することにより、発光素子アレ
イ又は受光素子アレイ１３の実装による誤差をカバーす
ることができ、歩留りを向上させることができる。Therefore, even if the mounting accuracy of the light emitting element or the light receiving element array 13 is not so high, the error due to the mounting of the light emitting element array or the light receiving element array 13 is covered by finely moving and adjusting the fiber holding member 7. Therefore, the yield can be improved.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上のように、本発明に係る光モジュー
ルによれば、基板上に実装した発光素子又は受光素子
と、前記発光素子又は受光素子と対向する前記基板上の
位置に設けられた光ファイバとを有し、かつ前記基板上
には、前記光ファイバを光軸に対し水平方向に微調整す
るための第１のＶ溝と、前記第１のＶ溝の内部に設けら
れて前記発光素子又は受光素子との光軸を垂直方向に調
整するための支点とが形成されているので、アクティブ
アライメントであっても簡単な構成で位置合わせがで
き、Ｖ溝の高い加工精度や素子の高精度実装を不要とす
るモジュール構造を有する光モジュールを提供すること
ができる。As described above, according to the optical module of the present invention, the light emitting element or the light receiving element mounted on the substrate and the position on the substrate facing the light emitting element or the light receiving element are provided. An optical fiber, and a first V groove for finely adjusting the optical fiber in the horizontal direction with respect to the optical axis on the substrate; and a first V groove provided inside the first V groove. Since the fulcrum for adjusting the optical axis of the light emitting element or the light receiving element in the vertical direction is formed, the position can be aligned with a simple configuration even in the active alignment, and the high processing accuracy of the V groove and the element It is possible to provide an optical module having a module structure that does not require high-precision mounting.
【００２５】また、前記発光素子又は受光素子は、発光
素子アレイ又は受光素子アレイとして備えられ、光ファ
イバを前記基板の上部から固定するためのファイバ保持
部材に設けられて第２の溝を、前記発光素子アレイ又は
受光素子アレイのピッチ間隔と等しいピッチ間隔を有し
て複数形成することにより、複数の光ファイバであって
も一度に位置合わせが行える生産性の高い光モジュール
を提供することができる。Further, the light emitting element or the light receiving element is provided as a light emitting element array or a light receiving element array, and is provided in a fiber holding member for fixing an optical fiber from the upper part of the substrate, and a second groove is provided in the fiber holding member. By forming a plurality of light emitting element arrays or light receiving element arrays with a pitch interval equal to that of the light emitting element array or the light receiving element array, it is possible to provide a highly productive optical module capable of performing alignment at a time even with a plurality of optical fibers. .
【図１】本発明の第１の実施の形態による光モジュール
の概略図FIG. 1 is a schematic diagram of an optical module according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のＸ−Ｘ線の断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG.
【図３】硬化性樹脂により固定したときの図１のＸ−Ｘ
線の断面図FIG. 3 is XX of FIG. 1 when fixed by a curable resin.
Cross section of line
【図４】本発明の光モジュールの第１のＶ溝、及び支点
の製造方法を示す図FIG. 4 is a diagram showing a method of manufacturing a first V groove and a fulcrum of the optical module of the present invention.
【図５】本発明の光モジュールの第２のＶ溝の製造方法
を示す図FIG. 5 is a diagram showing a method for manufacturing a second V groove of the optical module of the present invention.
【図６】本発明の第２の実施の形態における光モジュー
ルの概略図FIG. 6 is a schematic diagram of an optical module according to a second embodiment of the present invention.
【図７】図６のＸ−Ｘ線の断面図FIG. 7 is a sectional view taken along line XX of FIG.
【図８】図６のＹ−Ｙ線の断面図FIG. 8 is a sectional view taken along line YY of FIG.
【図９】本発明の第２の実施の形態における第２のＶ溝
の製造方法を示す図FIG. 9 is a diagram showing a method of manufacturing a second V groove according to the second embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第３の実施の形態における光モジュ
ールの概略図FIG. 10 is a schematic diagram of an optical module according to a third embodiment of the present invention.
【図１１】従来の光モジュールの光軸調整機構を示す図FIG. 11 is a view showing an optical axis adjusting mechanism of a conventional optical module.
１ 基板 ２ 発光素子又は受光素子 ３ 光ファイバ ４ 第１のＶ溝 ５ 第２のＶ溝 ６ 支点 ７ ファイバ保持部材 ８ 電極 ９ マスクパターン １０ 支点作製用マスクパターン １１ 力点となる突起物 １２ 硬化性樹脂 １３ 発光素子アレイ又は受光素子アレイ 1 substrate 2 Light emitting element or light receiving element 3 optical fiber 4 First V groove 5 Second V groove 6 fulcrum 7 Fiber holding member 8 electrodes 9 Mask pattern 10 Mask pattern for fulcrum production 11 Projection points 12 Curable resin 13 Light emitting element array or light receiving element array
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅野 弘明 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA02 BA05 BA11 BA14 DA04 DA06 DA12 DA18 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Hiroaki Asano 3-1, Tsunashima-Higashi 4-chome, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Matsushita Communication Industry Co., Ltd. F term (reference) 2H037 AA01 BA02 BA05 BA11 BA14 DA04 DA06 DA12 DA18
Claims (6)
と、 前記発光素子又は受光素子と対向する前記基板上の位置
に設けられた光ファイバとを有し、かつ、 前記基板上には、前記光ファイバを光軸に対し水平方向
に微調整するための第１のＶ溝と、前記第１のＶ溝の内
部に設けられて前記発光素子又は受光素子との光軸を垂
直方向に調整するための支点とが形成されている光モジ
ュール。1. A light emitting element or a light receiving element mounted on a substrate, and an optical fiber provided at a position on the substrate facing the light emitting element or the light receiving element, and on the substrate, A first V groove for finely adjusting the optical fiber in the horizontal direction with respect to the optical axis, and an optical axis of the light emitting element or the light receiving element provided inside the first V groove to adjust the optical axis in the vertical direction. An optical module on which a fulcrum for and is formed.
て、 前記光ファイバを前記基板の上部から固定するためのフ
ァイバ保持部材を備え、前記ファイバ保持部材は、前記
光ファイバを微動させるための力点となる突起物を有し
ている光モジュール。2. The optical module according to claim 1, further comprising a fiber holding member for fixing the optical fiber from above the substrate, the fiber holding member for finely moving the optical fiber. An optical module that has a protrusion that serves as an emphasis point.
て、 前記ファイバ保持部材は、光ファイバ固定用の第２のＶ
溝を有し、前記突起物は、前記第２のＶ溝の内部に形成
されている光モジュール。3. The optical module according to claim 2, wherein the fiber holding member is a second V for fixing an optical fiber.
An optical module having a groove, wherein the protrusion is formed inside the second V groove.
て、 前記第２のＶ溝は、前記発光素子又は受光素子側に向か
うにしたがって深さが徐々に浅くなっている光モジュー
ル。4. The optical module according to claim 3, wherein the second V groove has a depth that gradually decreases toward the light emitting element or the light receiving element side.
て、 前記発光素子又は受光素子は、発光素子アレイ又は受光
素子アレイとして備えられ、 前記ファイバ保持部材に設けられた前記第２のＶ溝は、
前記発光素子アレイ又は受光素子アレイのピッチ間隔と
等しいピッチ間隔を有して複数形成される光モジュー
ル。5. The optical module according to claim 4, wherein the light emitting element or the light receiving element is provided as a light emitting element array or a light receiving element array, and the second V groove provided in the fiber holding member. Is
A plurality of optical modules are formed with a pitch interval equal to the pitch interval of the light emitting element array or the light receiving element array.
あって、 前記ファイバ保持部材は、その底面が前記基板の上面と
接した状態で、前後左右にスライドすることにより、前
記光ファイバの端面を光軸と垂直な方向と水平な方向と
に微調整して光軸の位置合わせを行うよう構成されてい
る光モジュール。6. The optical module according to claim 4, wherein the fiber holding member slides forward, backward, leftward and rightward with the bottom surface of the fiber holding member in contact with the top surface of the substrate. An optical module configured to align the optical axis by finely adjusting the end face in a direction perpendicular to the optical axis and a horizontal direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002114326A JP2003307655A (en) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | Optical module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002114326A JP2003307655A (en) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | Optical module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003307655A true JP2003307655A (en) | 2003-10-31 |
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ID=29396184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002114326A Withdrawn JP2003307655A (en) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | Optical module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003307655A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013238665A (en) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Method of manufacturing semiconductor laser module, and semiconductor laser module |
-
2002
- 2002-04-17 JP JP2002114326A patent/JP2003307655A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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