JP2003306342A - Method for producing glass preform for optical fiber, and glass preform for optical fiber - Google Patents

Method for producing glass preform for optical fiber, and glass preform for optical fiber

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JP2003306342A
JP2003306342A JP2002107249A JP2002107249A JP2003306342A JP 2003306342 A JP2003306342 A JP 2003306342A JP 2002107249 A JP2002107249 A JP 2002107249A JP 2002107249 A JP2002107249 A JP 2002107249A JP 2003306342 A JP2003306342 A JP 2003306342A
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optical fiber
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glass preform
fluorine compound
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英也 森平
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a glass preform for an optical fiber that can control bubble formation in the glass preform for an optical fiber having a layer containing fluorine and to produce glass preform for an optical fiber having less bubbles, and the glass preform for an optical fiber. <P>SOLUTION: In the method for producing the glass preform for an optical fiber having a step where a porous body comprising quartz glass powder is vitrified and added with fluorine by heat treatment at a vitrifying point in an atmosphere containing a fluorine compound, the above porous body is vitrified at a vitrifying point of 1,400°C or lower and then heated to a fixed temperature of 1,500°C or more at a rate of 10°C/min or less after reaching the above vitrifying point at the latest in an atmosphere free of the fluorine compound and kept at the temperature for 2 hours or more. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用ガラ
ス母材の製造方法および該製造方法により製作された光
ファイバ用ガラス母材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a glass preform for optical fibers and a glass preform for optical fibers manufactured by the manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバは、光を伝播するコアと光の
滲出を防ぐクラッドからなり、長距離の光伝送路を光が
伝播するためには、低損失であることが求められる。低
損失であるためには、光ファイバに用いられる材料は光
を吸収しない特性を有することが重要で、現在のとこ
ろ、光伝送路用として実用化されている光ファイバの材
料は石英ガラスである。
2. Description of the Related Art An optical fiber is composed of a core for propagating light and a clad for preventing the exudation of the light, and it is required to have low loss in order to propagate the light through a long-distance optical transmission line. In order to achieve low loss, it is important that the material used for the optical fiber has the property of not absorbing light. At present, the material of the optical fiber that has been put to practical use for optical transmission lines is quartz glass. .

【0003】また、光ファイバの屈折率分布を変化させ
るために石英ガラスに添加される材料としては、(Si
2 からなる石英ガラスより)屈折率を高くするゲルマ
ニウム(Ge)と低くするフッ素(F)が一般的であ
る。
Further, as a material added to the silica glass for changing the refractive index distribution of the optical fiber, (Si
Germanium (Ge) for increasing the refractive index and fluorine (F) for decreasing the refractive index are generally used (as compared with quartz glass made of O 2 ).

【0004】光ファイバのもっとも単純な屈折率分布
は、コアの屈折率が一様でクラッドより大きく、階段状
になっている、いわゆる単峰型のものである。この場
合、中心部のコアにGeを添加し、クラッドは純石英に
した構造が一般的である。ただし、コアの添加物をなく
して純度を高めることにより、低損失を実現したり、放
射線や紫外線に対する耐性を高めるために、コアを純粋
な石英とし、クラッドにFを添加して、クラッドの屈折
率を相対的に低くすることもある。
The simplest refractive index distribution of an optical fiber is a so-called unimodal type in which the core has a uniform refractive index, is larger than the cladding, and has a step shape. In this case, it is general that Ge is added to the central core and the cladding is made of pure quartz. However, in order to achieve low loss and increase resistance to radiation and ultraviolet rays by eliminating the additives of the core and increasing the purity, the core is made of pure quartz and F is added to the clad to refract the refraction of the clad. Sometimes the rate is relatively low.

【0005】光ファイバ中を伝播する光の速度は波長に
より、またガラスの組成により異なる。この現象は分散
といわれるものである。この分散により、信号光源に波
長分布があると、光の速度が波長により一定でなくなる
ため、信号が乱れることがある。ただ、光ファイバの屈
折率分布を適切に設定すると、分散の波長依存性を抑制
できるので、高速通信用光ファイバでは複雑な屈折率分
布を選択することがある。
The speed of light propagating in an optical fiber depends on the wavelength and the composition of the glass. This phenomenon is called dispersion. Due to this dispersion, if the signal light source has a wavelength distribution, the speed of light is not constant depending on the wavelength, and thus the signal may be disturbed. However, if the refractive index distribution of the optical fiber is set appropriately, the wavelength dependence of the dispersion can be suppressed, so that a complicated refractive index distribution may be selected in the optical fiber for high-speed communication.

【0006】最近のWDM(Wavelength Division Mult
iplexing)伝送では長距離を光増幅方式で信号光を伝播
させるため、信号の波形乱れを防ぐために分散設計が特
に重要である。WDM伝送に使用される光ファイバの屈
折率分布形状は、単峰タイプのような単純な構造でな
く、層状に屈折率が凸、凹するW型(図1参照)やWセ
グメント型(図2参照)となる。屈折率を低下させて凹
層を得るには、Fの添加が必要であり、また屈折率を高
めるにはGeを添加するのが一般的である。しかしなが
ら、このように添加物を加えると、光損失特性や非線形
特性が劣化することがある。そこで屈折率を高くする部
分へのGe添加量を抑制するかゼロにし、その周囲の層
にFを多量に添加して、相対的に屈折率差を持たせるこ
ともある。
Recent WDM (Wavelength Division Mult)
In iplexing) transmission, signal light is propagated over a long distance by an optical amplification method, so that dispersion design is particularly important to prevent signal waveform distortion. The optical fiber used for WDM transmission has a refractive index distribution shape that is not a simple structure such as a single peak type, but a layered W-shaped refractive index (see FIG. 1) or W segment type (see FIG. 2). (See). In order to lower the refractive index and obtain a concave layer, it is necessary to add F, and in order to increase the refractive index, Ge is generally added. However, when the additive is added in this way, the optical loss characteristic and the non-linear characteristic may deteriorate. Therefore, the amount of Ge added to the portion where the refractive index is increased may be suppressed or set to zero, and a large amount of F may be added to the surrounding layers to give a relative refractive index difference.

【0007】上記構造の光ファイバは幾つかの製法で製
造可能であるが、生産性からVAD法が適している。以
下、この製法の工程の一例について説明する。即ち、 1)先ず、多重構造のバ−ナを用意し、酸素ガス、水素
ガスおよびガラス原料である四塩化珪素を気化させて流
し、点火して、火炎(VAD火炎と称す)中で加水分解
反応によりガラス微粒子を生成する。このガラス微粒子
を回転する石英製種棒に吹き付けて多孔質体を成長さ
せ、石英製種棒を徐々に引き上げて、所望のサイズの多
孔質体を得る。 2)次に、上記多孔質体をHe雰囲気下で例えば160
0℃にて加熱し、透明化して透明ガラス体とする。 3)次いで、前記透明ガラス体を延伸して細長い棒状に
し、前記透明ガラス体とバ−ナを相対的に移動させなが
ら、VAD火炎を前記透明ガラス体全長に渡って吹き付
けて、多孔質層を生成する。必要に応じてこの工程を繰
り返して、多孔質層を厚くする。 4)その後、Heにフッ素化合物を共存させた雰囲気で
例えば1350℃にて加熱し、前記多孔質層にFを添加
し、前記多孔質層を透明ガラス化し、透明ガラス母材と
する。
The optical fiber having the above structure can be manufactured by several manufacturing methods, but the VAD method is suitable from the viewpoint of productivity. Hereinafter, an example of the steps of this manufacturing method will be described. That is, 1) First, a burner having a multiple structure is prepared, and oxygen gas, hydrogen gas, and silicon tetrachloride as a glass raw material are vaporized and made to flow, ignited, and hydrolyzed in a flame (called VAD flame). The reaction produces fine glass particles. The fine glass particles are sprayed onto a rotating quartz seed rod to grow a porous body, and the quartz seed rod is gradually pulled up to obtain a porous body of a desired size. 2) Next, the porous body is placed under He atmosphere, for example, at 160
It is made transparent by heating at 0 ° C. to make a transparent glass body. 3) Next, the transparent glass body is stretched into an elongated rod shape, and a VAD flame is sprayed over the entire length of the transparent glass body while moving the transparent glass body and the burner relatively to form a porous layer. To generate. This step is repeated as necessary to thicken the porous layer. 4) After that, heating is performed at, for example, 1350 ° C. in an atmosphere in which He and a fluorine compound are coexistent, F is added to the porous layer, and the porous layer is made into a transparent glass base material.

【0008】F添加はF分圧などに影響されるので、火
炎中での加水分解反応と同時に実施すると、反応条件で
制約されたり、その後の透明化処理時にFが抜けたりす
るため、設定通りにFを添加するのが困難である。そこ
で、上述のように、透明ガラス化時にFを添加する方が
添加量を増やしたり、制御することが容易となる。
Since the addition of F is influenced by the partial pressure of F, etc., if it is carried out at the same time as the hydrolysis reaction in a flame, it will be restricted by the reaction conditions and F will escape during the subsequent clearing treatment. It is difficult to add F to the. Therefore, as described above, it is easier to increase the amount of F to be added and control it by adding F during the transparent vitrification.

【0009】この透明ガラス母材の外周にさらに石英層
を形成させることもある。その場合、外付法で多孔質層
を付着し、加熱透明化するか、あるいは、石英管に入れ
て加熱融着し、一体化する。このようにして得られた光
ファイバ用ガラス母材を線引機にて例えば2000℃に
加熱し、線引する。線引時に紫外線硬化樹脂、あるいは
熱硬化シリコ−ン樹脂を塗布して光ファイバとする。
A quartz layer may be further formed on the outer periphery of the transparent glass base material. In that case, a porous layer is attached by an external method to make it transparent by heating, or it is put in a quartz tube and heat-fused to be integrated. The glass base material for an optical fiber thus obtained is heated to, for example, 2000 ° C. by a drawing machine and drawn. At the time of drawing, an ultraviolet curable resin or a thermosetting silicone resin is applied to obtain an optical fiber.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、透明ガラス
母材の外周にガラス微粒子が密に堆積された、多孔質体
を透明化する場合、透明ガラス母材と多孔質体との間に
ガスが存在すると、これが閉じ込められて気泡になると
いう問題がある。これを防ぐ目的で、ガラスへの溶け込
みが容易なHeガス雰囲気で透明化するのが一般的であ
る。しかしながら、F添加するためにHeガス雰囲気中
に共存させるフッ素化合物の濃度を高めると、フッ素化
合物がHeに比較して固体ガラス中に拡散しにくいた
め、このガス成分が残留してしまう。その結果、ガラス
化後に線引などでさらに熱が加わると気泡が発生すると
いう問題があった。
By the way, in the case of making a porous body in which fine glass particles are densely deposited on the outer periphery of the transparent glass base material transparent, a gas is generated between the transparent glass base material and the porous body. If it exists, there is a problem that it is trapped and becomes a bubble. For the purpose of preventing this, it is common to make transparent in a He gas atmosphere that is easy to melt into glass. However, when the concentration of the fluorine compound coexisting in the He gas atmosphere for adding F is increased, the fluorine compound is less likely to diffuse into the solid glass than He, and this gas component remains. As a result, there is a problem that bubbles are generated when heat is further applied by drawing or the like after vitrification.

【0011】上記気泡の発生を防ぐ手段として、透明ガ
ラス化時にHeガス雰囲気中に共存させるフッ素化合物
濃度を下げることが考えられるが、所望の屈折率差を得
るためには最低限必要なフッ素化合物濃度があり、気泡
の発生を抑制するところまでフッ素化合物濃度を低減さ
せることが困難な場合がある。
As a means for preventing the above-mentioned generation of bubbles, it is conceivable to reduce the concentration of the fluorine compound coexisting in the He gas atmosphere during the transparent vitrification, but it is the minimum necessary fluorine compound to obtain the desired refractive index difference. There is a concentration, and it may be difficult to reduce the concentration of the fluorine compound to the point where the generation of bubbles is suppressed.

【0012】また、光ファイバ用ガラス母材の製造工程
において曝される最高温度が透明ガラス化工程中で生じ
るようにして、それ以外の工程ではこの温度以上の高温
にならないようにすることが考えられる。しかしなが
ら、F添加ガラスは軟化点が低いので、高い透明ガラス
化温度下では粘度が低下して透明ガラス母材が変形する
恐れがあり、ガラス化工程における温度をその後の工程
で曝される温度まで上昇させることができない。具体的
には、透明ガラス化工程中でのF添加ガラス化温度は、
ガラス母材の変形を防ぐためには、1400℃以下が望
まれる。しかしながら、この透明ガラス化工程後にさら
に純石英を付与する場合には、その際の透明ガラス化温
度は、軟化温度がより高くなるため、1500℃以上の
処理が必要である。また線引するために軟化させるに
は、1800℃かそれ以上の温度が求められる。したが
って、F添加のガラス化工程における処理温度を後工程
での処理温度よりも高くすることができない。
Further, it is considered that the maximum temperature to be exposed in the manufacturing process of the glass preform for optical fiber is generated in the transparent vitrification process so that the temperature is not higher than this temperature in other processes. To be However, since F-added glass has a low softening point, there is a risk that the viscosity will decrease and the transparent glass base material will deform under a high transparent vitrification temperature. It cannot be raised. Specifically, the F-containing vitrification temperature in the transparent vitrification step is
In order to prevent the deformation of the glass base material, 1400 ° C. or lower is desired. However, when pure quartz is further added after the transparent vitrification step, the transparent vitrification temperature at that time is higher than the softening temperature, and therefore, a treatment at 1500 ° C. or higher is required. Further, a temperature of 1800 ° C. or higher is required for softening for drawing. Therefore, the treatment temperature in the vitrification step of adding F cannot be made higher than the treatment temperature in the subsequent step.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決すべく、鋭意、実験的検討の結果到達したものであ
る。即ち、請求項1記載の発明は、石英系ガラス微粒子
からなる多孔質体をフッ素化合物を含む雰囲気で透明ガ
ラス化温度で加熱処理して透明ガラス化し、フッ素を添
加する工程を有する光ファイバ用ガラス母材の製造方法
において、前記多孔質体を1400℃以下の透明ガラス
化温度で透明ガラス化し、次いで、フッ素化合物ガスを
含まない雰囲気で、少なくとも前記透明ガラス化温度を
超えてからは10℃/分以下の速度にて1500℃以上
の所定の温度まで昇温し、前記所定の温度にて2時間以
上保持することを特徴とするものである。
The present invention has been achieved as a result of earnest and experimental studies in order to solve the above problems. That is, the invention according to claim 1 is a glass for an optical fiber, which has a step of heating a porous body composed of silica glass fine particles at a transparent vitrification temperature in an atmosphere containing a fluorine compound to form a transparent vitrification and adding fluorine. In the method for producing a base material, the porous body is vitrified at a transparent vitrification temperature of 1400 ° C. or lower, and then 10 ° C./at least after exceeding the transparent vitrification temperature in an atmosphere containing no fluorine compound gas. It is characterized in that the temperature is raised to a predetermined temperature of 1500 ° C. or higher at a speed of not more than a minute, and the temperature is maintained at the predetermined temperature for 2 hours or longer.

【0014】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明において、前記多孔質体は、密度が0.4g/
cm3 以下であり、1100℃以下の塩素を含む雰囲気
で予め熱処理されていることを特徴とするものである。
According to a second aspect of the invention, in the invention of the first aspect, the porous body has a density of 0.4 g /
cm 3 or less, and is characterized in that it is pre-heat treated in an atmosphere containing the 1100 ° C. or less chlorine.

【0015】また、請求項3記載の発明は、請求項1ま
たは2記載の発明において、前記フッ素化合物はSiF
4 であることを特徴とするものである。
The invention of claim 3 is the same as the invention of claim 1 or 2, wherein the fluorine compound is SiF.
It is characterized by being 4 .

【0016】また、請求項4記載の発明は、請求項1な
いし3のいずれか1に記載の発明において、前記フッ素
化合物ガスを含まない雰囲気は、Arガスからなること
を特徴とするものである。
The invention according to claim 4 is characterized in that, in the invention according to any one of claims 1 to 3, the atmosphere not containing the fluorine compound gas is Ar gas. .

【0017】また、請求項5記載の発明は、請求項1な
いし4のいずれか1に記載の発明において、前記フッ素
化合物ガスを含まない雰囲気の気圧は、大気圧に対して
10kPa以上減圧されていることを特徴とするもので
ある。
The invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the atmospheric pressure of the atmosphere containing no fluorine compound gas is reduced by 10 kPa or more with respect to the atmospheric pressure. It is characterized by being present.

【0018】さらに、請求項6記載の発明は、請求項1
ないし5のいずれか1に記載の製造方法で製造された光
ファイバ用ガラス母材であって、センタ−部分はGeが
添加されて、もっとも高い屈折率を有し、その周囲の層
は少なくともフッ素が添加されて、純粋石英に対して比
屈折率差が0.4%以上低いことを特徴とするものであ
る。
Further, the invention according to claim 6 is the same as claim 1.
A glass base material for an optical fiber manufactured by the manufacturing method according to any one of 1 to 5, wherein the center portion is doped with Ge and has the highest refractive index, and the layer around it has at least fluorine. Is added, and the relative refractive index difference is 0.4% or more lower than that of pure quartz.

【0019】請求項1記載の発明のように、透明ガラス
化温度を1400℃以下にし、多孔質体を透明ガラス化
後に、フッ素化合物を含まない雰囲気で、少なくとも前
記透明ガラス化温度を超えてからは10℃/分以下の速
度にて1500℃以上の所定の温度まで昇温し、前記所
定の温度にて2時間以上保持すると、多孔質体中に高濃
度に残留しているガスを加熱により拡散させ、後工程に
おける気泡の発生を抑制することができる。ここで、所
定の温度とは、1500℃以上でかつ透明ガラス化後の
線引き工程に至る前までの後工程で曝される最高温度よ
りも高い温度を意味する。
According to the first aspect of the invention, the transparent vitrification temperature is set to 1400 ° C. or lower, and after the vitrification of the porous body to the transparent vitrification, at least the transparent vitrification temperature is exceeded in an atmosphere containing no fluorine compound. Is heated to a predetermined temperature of 1500 ° C. or higher at a rate of 10 ° C./min or lower and kept at the predetermined temperature for 2 hours or longer, by heating the gas remaining in high concentration in the porous body. It is possible to diffuse and suppress the generation of bubbles in the subsequent process. Here, the predetermined temperature means a temperature higher than or equal to 1500 ° C. and higher than the maximum temperature exposed in the subsequent steps before the drawing step after the transparent vitrification.

【0020】本発明において、透明ガラス化温度を14
00℃以下にした理由は、透明ガラス化温度が1400
℃を超えると、F添加ガラスは軟化点が低いため、変形
する恐れがあるからである。また、多孔質体中の残留ガ
スを拡散させ、後工程での気泡の発生を抑制するために
は、処理温度は高いほど、処理時間は長いほど効果があ
る。そこで、上述のように、透明ガラス化後に、フッ素
化合物を含まない雰囲気で、少なくとも前記透明ガラス
化温度を超えてからは10℃/分以下の速度で1500
℃以上の所定の温度まで昇温し、前記所定の温度にて2
時間以上保持すると、この工程および後工程での気泡の
発生を抑制することができる。ここで、昇温速度を10
℃/分以下にした理由は、これ以上の昇温速度では、ガ
スが拡散する前に膨張して気泡が発生する恐れがあるか
らである。
In the present invention, the transparent vitrification temperature is set to 14
The reason why the temperature is set to 00 ° C or lower is that the transparent vitrification temperature is 1400.
This is because if the temperature exceeds C, the F-added glass has a low softening point and may be deformed. Further, in order to diffuse the residual gas in the porous body and suppress the generation of bubbles in the subsequent process, the higher the treatment temperature and the longer the treatment time, the more effective. Therefore, as described above, after the transparent vitrification, in a fluorine compound-free atmosphere, at least after the transparent vitrification temperature is exceeded, 1500 ° C./min at a rate of 10 ° C./min or less.
The temperature is raised to a predetermined temperature of ℃ or more, and at the predetermined temperature, 2
When it is held for a time or more, generation of bubbles in this step and the subsequent steps can be suppressed. Here, the temperature rising rate is 10
The reason for setting the temperature to not more than ° C / min is that at a temperature rising rate higher than this, gas may expand and bubbles may be generated before diffusion.

【0021】また、請求項2記載の発明のように、前記
多孔質体の密度を0.4g/cm3以下にすると、効率
良くFを添加することができる。その理由は、ガラス化
の工程でFを添加することは、固体のSiO2 とフッ素
化合物の反応によるので、十分な反応を行わせるには、
多孔質体を形成する微粒子が細かくかつガスが内部に十
分流れ込むように隙間があることが望まれるためであ
る。このことは多孔質体の密度が小さいことを意味して
いる。検討の結果、上述のように、密度が0.4g/c
3 以下であると、効率良くFを添加することができ
る。また、多孔質体が水酸基を多量に含むと、光ファイ
バとした場合に1385nm付近に吸収ピークが出現す
る。これを低減する目的で、多孔質体を塩素(塩素化合
物も含むものとする)雰囲気下で熱処理することがある
が、熱処理温度が高いと、その工程で焼結が進行し、密
度が高まる。そこで、請求項2記載の発明のように、こ
の熱処理温度は1100℃以下であることが望ましい。
When the density of the porous body is 0.4 g / cm 3 or less as in the second aspect of the invention, F can be added efficiently. The reason is that the addition of F in the vitrification step depends on the reaction between the solid SiO 2 and the fluorine compound.
This is because it is desired that the fine particles forming the porous body be fine and have a gap so that the gas can sufficiently flow inside. This means that the density of the porous body is low. As a result of the examination, as described above, the density is 0.4 g / c.
When it is m 3 or less, F can be efficiently added. Further, when the porous body contains a large amount of hydroxyl groups, an absorption peak appears at around 1385 nm when used as an optical fiber. For the purpose of reducing this, the porous body may be heat-treated in a chlorine (including chlorine compound) atmosphere, but if the heat-treatment temperature is high, sintering proceeds in that step and the density increases. Therefore, it is desirable that the heat treatment temperature is 1100 ° C. or less, as in the second aspect of the invention.

【0022】また、請求項3記載の発明のように、透明
ガラス化する際の雰囲気に含めるフッ素化合物をSiF
4 にすると、SF6 、C24 などに比してFを効率よ
く添加することができる。
According to the third aspect of the invention, the fluorine compound contained in the atmosphere during the vitrification is made into SiF.
When it is 4 , F can be added more efficiently than SF 6 , C 2 F 4, and the like.

【0023】また、請求項4記載の発明のように、前記
フッ素化合物ガスを含まない雰囲気をArにすると、空
気に比してガラス中に溶け込むことが少なく、気泡発生
の抑制効果がある。また、請求項5記載の発明のよう
に、前記フッ素化合物ガスを含まない雰囲気の気圧を大
気圧に対して10kPa以上減圧すると、ガラス中に溶
け込むガスが一層少なく、気泡発生を一層抑制すること
ができる。
When the atmosphere containing no fluorine compound gas is Ar as in the fourth aspect of the invention, it is less likely to be dissolved in the glass as compared with air, which has an effect of suppressing bubble generation. When the atmospheric pressure of the atmosphere containing no fluorine compound gas is reduced by 10 kPa or more with respect to the atmospheric pressure, the amount of gas dissolved in the glass is further reduced, and the generation of bubbles is further suppressed. it can.

【0024】さらに、請求項6記載の発明のような構造
の光ファイバ用母材から作製した光ファイバは、分散ス
ロープを負とすることができるため、線路用光ファイバ
の分散補償を効率よく行うことができる。
Furthermore, since the optical fiber manufactured from the optical fiber preform having the structure as described in claim 6 can have a negative dispersion slope, the dispersion compensation of the optical fiber for a line can be performed efficiently. be able to.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図1に示すW型屈折率分布を有する光ファ
イバ用ガラス母材を以下の工程で作製した。即ち、 1)2層構造のコアを2回に分けて合成する。先ずVA
D装置を用いて、センタ−コア1に相当するGeを添加
した多孔質体を合成する。その後、この多孔質母材を透
明ガラス化し、所望の外径に延伸加工する。 2)次いで、前記透明ガラス体の外周に純粋な石英微粒
子を火炎加水分解反応によって生成、堆積させ、新たに
多孔質体を合成する。この多孔質母材を第1段階(脱水
処理)とフッ素化合物を含有する雰囲気中での第2段階
(透明ガラス化)の2段階の加熱処理により透明ガラス
化し、Fを添加する。この第1、第2段階の加熱処理の
条件を表1に示す。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below. The glass preform for optical fibers having the W-type refractive index distribution shown in FIG. 1 was manufactured by the following steps. That is, 1) A core having a two-layer structure is divided and synthesized twice. First VA
A D-device is used to synthesize a porous body to which Ge corresponding to the center-core 1 is added. Then, this porous base material is made into transparent glass and stretched to a desired outer diameter. 2) Then, pure quartz fine particles are generated and deposited on the outer circumference of the transparent glass body by a flame hydrolysis reaction to newly synthesize a porous body. This porous base material is made into transparent glass by a two-step heat treatment of a first step (dehydration treatment) and a second step (transparent vitrification) in an atmosphere containing a fluorine compound, and F is added. Table 1 shows the conditions of the first and second stage heat treatments.

【0026】表1 Table 1

【0027】このようにして製作された透明ガラス体の
屈折率分布は、センタ−コア1の純粋石英に対する比屈
折率差が2%、センタ−コア1の周囲のサイドコア2の
純粋石英に対する比屈折率差が−0.6%であった。
Regarding the refractive index distribution of the transparent glass body thus manufactured, the relative refractive index difference of the center core 1 with respect to pure quartz is 2%, and the relative refractive index difference of the side core 2 around the center core 1 with respect to pure quartz. The rate difference was -0.6%.

【0028】3)次に、上記透明ガラス体内に残留して
いるガスを拡散させる目的で、下記の加熱処理を施す。
即ち、上記透明ガラス体を延伸後に5分割し、そのうち
4本をAr雰囲気中でそれぞれ加熱処理する。加熱処理
条件は、何れも1350℃から昇温し、1500℃の保
持温度で2時間保持する。ただし、昇温速度の影響を調
べるために、昇温速度は、5℃/分、8℃/分、11℃
/分、15℃/分とする。1500℃からの降温速度は
いずれも10℃/分である。なお、残りの1本の透明ガ
ラス体には、加熱処理を施さなかった。
3) Next, the following heat treatment is performed for the purpose of diffusing the gas remaining in the transparent glass body.
That is, the transparent glass body is divided into five after being drawn, and four of them are heat-treated in an Ar atmosphere. The heat treatment conditions are such that the temperature is raised from 1350 ° C. and the temperature is maintained at 1500 ° C. for 2 hours. However, in order to investigate the effect of the heating rate, the heating rate was 5 ° C / min, 8 ° C / min, 11 ° C.
/ Min, 15 ° C / min. The rate of temperature decrease from 1500 ° C. is 10 ° C./min in all cases. No heat treatment was applied to the remaining one transparent glass body.

【0029】4)次いで、上記5本の透明ガラス体の外
周に、同一の条件で純粋石英の多孔質クラッド層を生成
させた。この多孔質クラッド層を透明ガラス化してクラ
ッド3とし、光ファイバ用ガラス母材とした。
4) Next, a pure quartz porous clad layer was formed under the same conditions on the outer periphery of the five transparent glass bodies. This porous clad layer was made into transparent glass to form clad 3, which was used as a glass preform for optical fibers.

【0030】上記光ファイバ用ガラス母材について、F
添加層に発生した気泡の個数を目視にて計数した。その
結果を表2に示す。なお、気泡は直径が0.2mm以上
のものを計数の対象とした。表2からわかるように、昇
温速度が10℃/分以下に遅くなると、気泡の発生は製
品上問題ないレベル(およそ0.003個/cm3
下)に抑えることができる。
Regarding the above glass base material for optical fiber, F
The number of bubbles generated in the addition layer was visually counted. The results are shown in Table 2. Bubbles having a diameter of 0.2 mm or more were counted. As can be seen from Table 2, when the heating rate is slowed down to 10 ° C./min or less, the generation of bubbles can be suppressed to a level at which there is no problem in the product (approximately 0.003 cells / cm 3 or less).

【0031】表2 Table 2

【0032】次に、前述と同様に準備した4本のF添加
の透明ガラス母材に、残留しているガスを拡散させる目
的で、加熱処理を施した。この加熱処理の条件は、12
00℃から10℃/分の速度で昇温し、1500℃の保
持温度で保持し、その後、10℃/分の降温速度で降温
させた。ここで、1500℃での保持時間の気泡の発生
に対する影響を調べるために、4本の透明ガラス母材の
保持時間を30分、60分、90分、150分と変化さ
せて、気泡の発生状態を比較した。これら4本の透明ガ
ラス体に、同一の条件で純粋石英の多孔質クラッド層を
生成した。このクラッド層を透明ガラス化した後に、F
添加層に発生した気泡の個数を目視にて計数した。その
結果を表3に示す。表3からわかるように、保持時間が
2時間以上の場合、気泡の発生は問題ないレベル(およ
そ0.003個/cm3 以下)に抑えることができる。
Next, four F-containing transparent glass base materials prepared in the same manner as above were subjected to a heat treatment for the purpose of diffusing the remaining gas. The conditions for this heat treatment are 12
The temperature was raised from 00 ° C. at a rate of 10 ° C./min, held at a holding temperature of 1500 ° C., and then lowered at a temperature dropping rate of 10 ° C./min. Here, in order to investigate the influence of the holding time at 1500 ° C. on the generation of bubbles, the holding time of the four transparent glass base materials was changed to 30 minutes, 60 minutes, 90 minutes, and 150 minutes, and the generation of bubbles was changed. The states were compared. A porous clad layer of pure quartz was formed on these four transparent glass bodies under the same conditions. After making this clad layer transparent glass, F
The number of bubbles generated in the addition layer was visually counted. The results are shown in Table 3. As can be seen from Table 3, when the holding time is 2 hours or more, the generation of bubbles can be suppressed to a problem-free level (approximately 0.003 cells / cm 3 or less).

【0033】表3 Table 3

【0034】また、F添加層に相当する多孔質体の密
度、および表1の第1段階(脱水工程)での温度条件に
ついて、最適値を検討した。前記多孔質体密度を0.2
〜0.5g/cm3 の範囲で変化させてサンプルを作製
し、表1の条件で透明ガラス化してF添加層の純粋石英
に対する比屈折率差を測定した。その結果を図3に示
す。図3からわかるように、前記多孔質体の密度が0.
4g/cm3 を超える高密度になると、比屈折率の低下
量が小さくなるため、前記多孔質体の密度は0.4g/
cm3 以下であることが望ましい。
Optimal values were examined for the density of the porous material corresponding to the F-added layer and the temperature conditions in the first step (dehydration step) of Table 1. The density of the porous body is 0.2
Samples were prepared by changing the amount in the range of 0.5 g / cm 3 and transparent vitrified under the conditions of Table 1, and the relative refractive index difference of the F-added layer with respect to pure quartz was measured. The result is shown in FIG. As can be seen from FIG. 3, the density of the porous body is 0.
When the density becomes higher than 4 g / cm 3 , the decrease in the relative refractive index becomes small, so the density of the porous body is 0.4 g / cm 3.
It is desirable that it is not more than cm 3 .

【0035】また、前記多孔質体の密度が0.4g/c
3 であるサンプルを4本作製し、表1の第1段階の温
度条件を900℃〜1200℃まで100℃刻みに変化
させて、透明ガラス化したF添加層を形成した。他の条
件は表1と同じとした。これらのサンプルのF添加層の
純粋石英に対する比屈折率差を測定した。また、クラッ
ド層を付与して線引きし、波長1385nmにおける吸
収損失を測定した。これらの測定結果を図4に示す。
The density of the porous body is 0.4 g / c.
Four samples of m 3 were prepared, and the temperature condition of the first step in Table 1 was changed from 900 ° C. to 1200 ° C. in 100 ° C. increments to form a transparent vitrified F-added layer. Other conditions were the same as in Table 1. The relative refractive index difference of the F-doped layer of these samples with respect to pure quartz was measured. Further, a cladding layer was added and drawn, and the absorption loss at a wavelength of 1385 nm was measured. The results of these measurements are shown in FIG.

【0036】図4からわかるように、第1段階の処理温
度が1100℃を超えると、比屈折率差の低下量は小さ
く、また、第1段階の処理温度が1000℃よりも低い
と、1385nmの損失が大きくなる。したがって、比
屈折率差の低下量を大きくし、1385nmの損失を小
さくするには、第1段階の処理温度は1000℃〜11
00℃の範囲であることが好適である。
As can be seen from FIG. 4, when the processing temperature in the first step exceeds 1100 ° C., the decrease in relative refractive index difference is small, and when the processing temperature in the first step is lower than 1000 ° C., 1385 nm. The loss will increase. Therefore, in order to increase the decrease amount of the relative refractive index difference and reduce the loss of 1385 nm, the treatment temperature in the first step is 1000 ° C to 11 ° C.
It is preferably in the range of 00 ° C.

【0037】なお、多孔質体の第2段階の加熱処理にお
いて、初期温度が1400℃を超えると、急激な加熱に
よると思われる気泡が発生し、加熱時間や昇温速度を変
化させても気泡の発生を抑制することはできなかった。
また、前記透明ガラス体の残留ガスを拡散させる加熱処
理の雰囲気(フッ素化合物ガスを含まない)を、空気、
2 、あるいはHeとしたところ、気泡の発生を抑制で
きず、この雰囲気ガスはArが望ましいことが判った。
また、前記透明ガラス体の残留ガスを拡散させる加熱処
理の雰囲気の気圧を大気圧に対して10kPa以上減圧
すると、気泡の発生が認められず、良好な光ファイバ用
ガラス母材が得られた。さらに、本発明は、図1に示す
W型屈折率分布を有する光ファイバ用ガラス母材に限定
されず、図2に示すように、センターコア11、サイド
コア12、13、クラッド14からなるWセグメント型
屈折率分布を有する光ファイバ用ガラス母材などにも適
用されることは言うまでもない。
In the second stage heat treatment of the porous body, when the initial temperature exceeds 1400 ° C., bubbles that are considered to be caused by rapid heating are generated, and the bubbles are generated even if the heating time or the heating rate is changed. It was not possible to suppress the occurrence of.
In addition, the atmosphere of the heat treatment for diffusing the residual gas of the transparent glass body (not containing the fluorine compound gas) is air,
When N 2 or He was used, the generation of bubbles could not be suppressed, and it was found that Ar is desirable as the atmosphere gas.
When the atmospheric pressure of the heat treatment for diffusing the residual gas of the transparent glass body was reduced to 10 kPa or more with respect to the atmospheric pressure, no bubbles were observed and a good glass preform for optical fibers was obtained. Further, the present invention is not limited to the glass preform for optical fibers having the W-type refractive index distribution shown in FIG. 1, but as shown in FIG. 2, a W segment including a center core 11, side cores 12, 13 and a clad 14. It goes without saying that it is also applied to a glass preform for optical fibers having a type refractive index distribution.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ッ素を含有する層を有する光ファイバ用ガラス母材中の
気泡の発生を抑制することができ、また、本発明の光フ
ァイバ用ガラス母材を線引きすることにより、含まれる
気泡を少なくした光ファイバが得られるという優れた効
果がある。
As described above, according to the present invention, it is possible to suppress the generation of bubbles in the glass base material for an optical fiber having a layer containing fluorine, and the glass for an optical fiber according to the present invention. By drawing the base material, there is an excellent effect that an optical fiber in which bubbles contained therein are reduced can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる光ファイバ用ガラス母材の製造
方法で製造した光ファイバ用ガラス母材の一実施形態の
W型屈折率分布形状を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a W-shaped refractive index profile of an embodiment of an optical fiber glass preform manufactured by a method for manufacturing an optical fiber glass preform according to the present invention.

【図2】本発明が適用可能な他のWセグメント型屈折率
分布形状を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing another W segment type refractive index profile shape to which the present invention is applicable.

【図3】上記実施形態における、フッ素添加前の多孔質
体密度とフッ素添加後の透明ガラス体の比屈折率差およ
び1385nmの損失との関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a density of a porous body before adding fluorine, a relative refractive index difference of a transparent glass body after adding fluorine, and a loss of 1385 nm in the embodiment.

【図4】上記実施形態における、第1段階(脱水工程)
の炉内温度とフッ素添加後の透明ガラス体の比屈折率差
および線引きして得られた光ファイバの1385nmの
損失との関係を示す図である。
FIG. 4 is a first stage (dehydration step) in the above embodiment.
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the furnace temperature, the relative refractive index difference of the transparent glass body after the addition of fluorine, and the loss of 1385 nm of the optical fiber obtained by drawing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11 センターコア 2、12、13 サイドコア 3、14 クラッド 1, 11 Center core 2, 12, 13 Side core 3,14 Clad

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 石英系ガラス微粒子からなる多孔質体を
フッ素化合物を含む雰囲気で透明ガラス化温度で加熱処
理して透明ガラス化し、フッ素を添加する工程を有する
光ファイバ用ガラス母材の製造方法において、前記多孔
質体を1400℃以下の透明ガラス化温度で透明ガラス
化し、次いで、フッ素化合物ガスを含まない雰囲気で、
少なくとも前記透明ガラス化温度を超えてからは10℃
/分以下の速度にて1500℃以上の所定の温度まで昇
温し、前記所定の温度にて2時間以上保持することを特
徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
1. A method for producing a glass preform for an optical fiber, which comprises a step of heating a porous body composed of silica glass fine particles to a transparent vitrification by heating at a transparent vitrification temperature in an atmosphere containing a fluorine compound, and adding fluorine. In the above, the porous body is made into transparent vitrification at a transparent vitrification temperature of 1400 ° C. or lower, and then in an atmosphere containing no fluorine compound gas,
10 ° C at least after exceeding the transparent vitrification temperature
A method for producing a glass preform for an optical fiber, which comprises raising the temperature to a predetermined temperature of 1500 ° C. or higher at a rate of / min or less and holding the glass at the predetermined temperature for 2 hours or longer.
【請求項2】 前記多孔質体は、密度が0.4g/cm
3 以下であり、1100℃以下の塩素を含む雰囲気で予
め熱処理されていることを特徴とする請求項1記載の光
ファイバ用ガラス母材の製造方法。
2. The porous body has a density of 0.4 g / cm.
The method for producing a glass preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the glass base material for an optical fiber is preheated in an atmosphere containing chlorine at 3 ° C or lower and 1100 ° C or lower.
【請求項3】 前記フッ素化合物はSiF4 であること
を特徴とする請求項1または2記載の光ファイバ用ガラ
ス母材の製造方法。
3. The method for producing a glass base material for an optical fiber according to claim 1, wherein the fluorine compound is SiF 4 .
【請求項4】 前記フッ素化合物ガスを含まない雰囲気
は、Arガスからなることを特徴とする請求項1ないし
3のいずれか1に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造
方法。
4. The method for producing a glass base material for an optical fiber according to claim 1, wherein the atmosphere containing no fluorine compound gas is Ar gas.
【請求項5】 前記フッ素化合物ガスを含まない雰囲気
の気圧は、大気圧に対して10kPa以上減圧されてい
ることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1に記
載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
5. The glass fiber for optical fiber according to claim 1, wherein the atmospheric pressure of the atmosphere containing no fluorine compound gas is reduced by 10 kPa or more with respect to the atmospheric pressure. Method of manufacturing wood.
【請求項6】 請求項1ないし5のいずれか1に記載の
製造方法で製造された光ファイバ用ガラス母材であっ
て、センタ−部分はGeが添加されて、もっとも高い屈
折率を有し、その周囲の層は少なくともフッ素が添加さ
れて、純粋石英に対して比屈折率差が0.4%以上低い
ことを特徴とする光ファイバ用ガラス母材。
6. A glass base material for an optical fiber manufactured by the manufacturing method according to claim 1, wherein Ge is added to the center portion and has the highest refractive index. A glass preform for an optical fiber, characterized in that at least fluorine is added to the surrounding layer, and the relative refractive index difference is 0.4% or more lower than that of pure quartz.
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