JP2003299337A - Positioner - Google Patents
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Electromagnets (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、超精密加工機や半
導体露光装置などに用いられる位置決め装置に関するも
のであり、特に電磁石を用いた超精密位置決め装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning device used in an ultra-precision processing machine, a semiconductor exposure apparatus, etc., and more particularly to an ultra-precision positioning device using an electromagnet.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、精度を要求される位置決め装
置には電磁石が用いられることがある。従来、図４に示
すように、電磁石２０は、コア２１に１つのコイル２２
が巻回された構成であり、コイル２２に電流を流すこと
により、コア２１に磁束が生じ、電磁石２０と可動部２
３の間に吸引力が発生する。また、電流の大きさを変え
ることにより、電磁石２０に発生する吸引力を変化させ
ることができ、可動部２３を、固定ベース２６に固定さ
れた平行板バネからなるガイド２５に沿って移動させる
ことができる。そして、静電容量センサなどの位置セン
サ２４の信号を基に任意の位置に位置決めを行うことが
可能である。この電磁石２０により発生する吸引力Ｆ
は、下記の式で近似させることができる。2. Description of the Related Art Conventionally, an electromagnet may be used in a positioning device that requires high accuracy. Conventionally, as shown in FIG. 4, an electromagnet 20 includes a core 21 and a coil 22.
Is wound, and when a current is passed through the coil 22, a magnetic flux is generated in the core 21, and the electromagnet 20 and the movable portion 2 are
During 3, the suction force is generated. Further, the attraction force generated in the electromagnet 20 can be changed by changing the magnitude of the current, and the movable portion 23 can be moved along the guide 25 composed of the parallel leaf springs fixed to the fixed base 26. You can Then, it is possible to perform positioning at an arbitrary position based on the signal of the position sensor 24 such as the capacitance sensor. The attractive force F generated by this electromagnet 20
Can be approximated by the following formula.
【０００３】Ｆ＝μ0×Ｎ2×Ｉ2×Ｓ／（２×Ｌｇ2）
ここで、μ0：空気の透磁率、Ｎ：コイルの巻数、I：コ
イルに流れる電流、Ｓ：電磁石の吸着面積、Ｌｇ：電磁
石と可動部のギャップである。F = μ0 × N 2 × I 2 × S / (2 × Lg 2 ) where μ0 is the magnetic permeability of air, N is the number of turns of the coil, I is the current flowing in the coil, and S is the adsorption area of the electromagnet. , Lg: the gap between the electromagnet and the movable part.
【０００４】この式から、発生力を大きくするには、
Ｎ、Ｉ、Ｓを大きくし、Ｌｇを小さくする必要がある。
しかし、Ｓ、Ｎを大きくすると電磁石が大きくなり、ス
ペース的に問題が生じる。また、Ｎ、Ｓを大きくした
り、Ｌｇを小さくすると微小な電流の変化により吸引力
が大きく変化するため制御性が悪くなり、１０ｎｍ以下
の位置決めが難しくなる。また、Ｉを大きくするとコイ
ルの発熱が大きくなり、発熱による位置決め精度の劣化
が心配される。また、大きな電流を高速に通電すると磁
気飽和が発生するため大電流と高速応答を両立するため
には課題があった。From this equation, to increase the generated force,
It is necessary to increase N, I and S and decrease Lg.
However, if S and N are made large, the electromagnet becomes large, causing a space problem. Further, if N and S are increased or Lg is decreased, the attractive force greatly changes due to a minute change in current, so that the controllability deteriorates and it becomes difficult to perform positioning of 10 nm or less. Further, when I is increased, heat generation of the coil is increased, and there is a concern that positioning accuracy may be deteriorated due to heat generation. Further, when a large current is applied at high speed, magnetic saturation occurs, so that there is a problem in achieving both large current and high-speed response.
【０００５】このため、特開平０５−１１２０１９号公
報では、１つのコアに２つのコイルを巻くことにより、
インパクトプリンタにおいて磁気飽和を回避し、高速駆
動を実現している。Therefore, in Japanese Patent Laid-Open No. 05-112019, by winding two coils around one core,
High-speed drive is realized by avoiding magnetic saturation in the impact printer.
【０００６】また、特開平０２−２８４８２９号公報で
は、部品の自動組立を目的とした電磁石を用いた位置決
め装置が提案されている。Further, Japanese Patent Laid-Open No. 02-284829 proposes a positioning device using an electromagnet for the purpose of automatically assembling parts.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
０５−１１２０１９号公報に開示されている技術は、Ｏ
Ｎ／ＯＦＦ動作であり、駆動方式をふくめ、このまま任
意の位置に位置制御する位置決め装置に適用するには、
位置決め精度の面で不可能である。また、特開平０２−
２８４８２９号公報についても、１０ｎｍ以下の位置決
め精度を達成するためには、発熱対策、及び、吸引力の
分解能に関して不十分である。However, the technique disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 05-112019 has a problem of
N / OFF operation, including the drive method, to apply to a positioning device that controls the position to an arbitrary position as it is,
It is impossible in terms of positioning accuracy. In addition, JP-A-02-
Also in Japanese Patent No. 284829, in order to achieve the positioning accuracy of 10 nm or less, the countermeasure against heat generation and the resolution of the suction force are insufficient.
【０００８】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、吸引力が大きく、指令
電流に対する吸引力の分解能が高く、発熱量が小さい電
磁石を実現することにより、高精度な位置決めが可能な
位置決め装置を実現することである。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to realize an electromagnet having a large attraction force, a high resolution of the attraction force with respect to a command current, and a small heat generation amount. It is to realize a positioning device capable of highly accurate positioning.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる位置決め装置
は、電磁石の吸引力又は反発力を用いて位置決め対象物
を位置決めする位置決め装置であって、前記電磁石が、
１つのコアと、該１つのコアに巻き回された、巻き回数
の異なる少なくとも２つのコイルとを有することを特徴
としている。[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the object, a positioning device according to the present invention is a positioning device for positioning an object to be positioned by using the attraction force or repulsive force of an electromagnet,
It is characterized by having one core and at least two coils wound around the one core and having different numbers of turns.
【００１０】また、この発明に係わる位置決め装置にお
いて、前記少なくとも２つのコイルを夫々独立に駆動す
るための少なくとも２つのアンプを更に備えることを特
徴としている。Further, the positioning device according to the present invention is characterized by further comprising at least two amplifiers for respectively independently driving the at least two coils.
【００１１】また、この発明に係わる位置決め装置にお
いて、前記少なくとも２つのアンプは、夫々異なる電流
値で前記少なくとも２つのコイルを独立に駆動すること
を特徴としている。In the positioning device according to the present invention, the at least two amplifiers drive the at least two coils independently with different current values.
【００１２】また、この発明に係わる位置決め装置にお
いて、前記コイル及びアンプの数が２つであり、該２つ
のコイルの一方である第１のコイルは、小さい電流で大
きな磁束を発生できるように巻き回数が多く、前記２つ
のコイルの他方である第２のコイルは、電流値に対する
磁束の分解能が高くなるように巻き回数が少ないことを
特徴としている。Further, in the positioning device according to the present invention, the number of the coils and the number of the amplifiers is two, and the first coil, which is one of the two coils, is wound so as to generate a large magnetic flux with a small current. The second coil, which has a large number of turns and is the other of the two coils, has a small number of turns so that the resolution of the magnetic flux with respect to the current value is high.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【００１４】図１は、本発明の一実施形態に係わる電磁
石の構成を示した概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing the structure of an electromagnet according to an embodiment of the present invention.
【００１５】図１において、電磁石１は、コア２と、第
１のコイル３と、第２のコイル４とを備えており、第１
のコイル３はアンプ５に、第２のコイル４はアンプ６
に、それぞれ接続されている。アンプ５，６は、制御指
令ユニット７から別々に制御することが可能である。ま
た、第１のコイル３は巻回数が多く、小さな電流で大き
な磁束（吸引力）を発生し、第２のコイルは巻回数が少
なく、指令電流に対して生じる磁束（吸引力）は小さい
が、磁束（吸引力）の変化を微細に制御することが可能
である。この構成により、発生力が大きく、また、発生
力を微細に制御することが可能な電磁石となる。In FIG. 1, the electromagnet 1 comprises a core 2, a first coil 3 and a second coil 4, and
The coil 3 of the amplifier 5 and the second coil 4 of the amplifier 6
, Respectively. The amplifiers 5 and 6 can be controlled separately from the control command unit 7. Further, the first coil 3 has a large number of turns and generates a large magnetic flux (attraction force) with a small current, and the second coil has a small number of turns and a magnetic flux (attraction force) generated with respect to the command current is small. It is possible to finely control the change of the magnetic flux (suction force). With this configuration, the electromagnet has a large generated force and can finely control the generated force.
【００１６】次に、本実施形態の電磁石を位置決めステ
ージに適用した例について説明する。Next, an example in which the electromagnet of this embodiment is applied to a positioning stage will be described.
【００１７】図２に位置決め装置の概略図を示す。FIG. 2 shows a schematic view of the positioning device.
【００１８】図２において、１０は位置決め装置の可動
部であり、可動部１０はＸ、Ｚ方向を空気静圧軸受けで
拘束されており、１１がＺ方向の空気静圧軸受けのガイ
ド、１２がＸ方向の空気静圧軸受けのガイドであり、各
々ハッチングの部分がガイド面となっている。静圧軸受
けの軸受け部分は、図示していないが、多孔質パッドか
ら流れる空気流の圧力と永久磁石の吸引力による組み合
わせを用いて、可動部１０とガイド１１，１２の間に空
気膜を作り、可動部１０をガイド面から浮上させ、ガイ
ド面に沿って移動させることが可能である。可動部１０
のＹ方向の移動、位置決めには、アクチュエータにリニ
アモータ１３、センサにレーザ測長器を用いている。１
４がレーザ測長用のレーザヘッド、１５が測定ミラー、
１６が干渉計、１７は測長用のレーザ光を分岐、及び曲
げるためのベンダーミラーである。In FIG. 2, 10 is a movable part of the positioning device, the movable part 10 is constrained by aerostatic bearings in the X and Z directions, 11 is a guide for the aerostatic bearings in the Z direction, and 12 is a guide. This is a guide for an aerostatic bearing in the X direction, and each hatched portion serves as a guide surface. Although not shown, the bearing portion of the hydrostatic bearing forms an air film between the movable portion 10 and the guides 11 and 12 by using a combination of the pressure of the air flow flowing from the porous pad and the attractive force of the permanent magnet. The movable part 10 can be floated above the guide surface and moved along the guide surface. Moving part 10
The linear motor 13 is used for the actuator and the laser length measuring device is used for the sensor for the movement and positioning in the Y direction. 1
4 is a laser head for laser length measurement, 15 is a measurement mirror,
Reference numeral 16 is an interferometer, and 17 is a bender mirror for branching and bending a laser beam for length measurement.
【００１９】また、可動部１０には、本実施形態の電磁
石１８が３個配置されており、静圧ガイド１１を電磁石
の吸引ターゲットにしている。可動部１０のＺ方向の位
置変動は、変位センサ１９により測定している。変位セ
ンサ１９は、電磁石と同じく３個あり、各電磁石近傍に
配置されている。Further, three electromagnets 18 of this embodiment are arranged in the movable part 10, and the static pressure guide 11 is used as a suction target of the electromagnet. The displacement sensor 19 measures the position variation of the movable portion 10 in the Z direction. There are three displacement sensors 19 like the electromagnets, and they are arranged in the vicinity of each electromagnet.
【００２０】図３は、図２をＺ方向のＡから見た図であ
り、３個の電磁石１８とセンサ１９は、図の様に３ヶ所
に配置されている。この３個の電磁石により、可動部１
０が移動した時に生じる、ピッチング、ローリングの変
動を制御することが可能である。このピッチング、ロー
リングの姿勢変動を電磁石で制御し、ヨーイングの姿勢
変動を２本のリニアモータで制御することにより、Ｙ方
向の送りサーボ制御周波数を上げることができ、可動部
１０の送り方向剛性を上げることができる。これによ
り、可動部１０の６自由度の剛性を高くすることが可能
となる。この様に、静圧軸受けで拘束された方向（ピッ
チング、ローリング）をアクチュエータで変化させるた
めには、大きな発生力が必要であり、また、１０ｎｍ程
度の位置決め精度を目指すためには、発生力の分解能が
必要となる。このためには、本実施形態の電磁石は最適
な手段である。FIG. 3 is a view of FIG. 2 viewed from A in the Z direction, and three electromagnets 18 and sensors 19 are arranged at three positions as shown. The movable part 1 is composed of these three electromagnets.
It is possible to control pitching and rolling fluctuations that occur when 0 moves. By controlling the pitching and rolling attitude changes with an electromagnet and controlling the yawing attitude changes with two linear motors, the feed servo control frequency in the Y direction can be increased, and the rigidity of the movable portion 10 in the feed direction can be increased. Can be raised. This makes it possible to increase the rigidity of the movable portion 10 in six degrees of freedom. As described above, in order to change the direction (pitching, rolling) restrained by the hydrostatic bearing by the actuator, a large generated force is required, and in order to achieve a positioning accuracy of about 10 nm, the generated force is required. Resolution is required. To this end, the electromagnet of the present embodiment is an optimum means.
【００２１】次に本実施形態の電磁石について詳細に説
明する。Next, the electromagnet of this embodiment will be described in detail.
【００２２】図１における第１のコイル３の巻回数が１
５０回、第２のコイル４の巻回数が２０回、電磁石の吸
引面の寸法が□１５ｍｍ、ギャップ１００μｍ、コアは
電磁鋼板を積層したものである。また、可動部１０のス
テージのＺ方向の真直度は、大きな静圧ベースを用いて
いるため、各変位センサ１９により測定すると０．３μ
ｍ程度変動している。この０．３μｍを電磁石で修正す
るために必要な発生力は、電磁石の位置での静圧軸受け
のモーメント剛性から６０Ｎと計算される。第１のコイ
ルだけで６０Ｎの力を発生するためには、０．８７Ａの
電流を流す必要があり、また、６０Ｎ発生したところで
１ｎｍの位置変動に相当する電磁石の発生力は０．２
Ｎ、この０．２Ｎの力を制御するために必要な電流変化
値は、１．４５ｍＡとなる。０．８７Ａの電流を流すこ
とができ、且つこの１．４５ｍＡの分解能を制御するこ
とができる電流アンプは、指令値のノイズや電流アンプ
の性能から技術的、経済的に難しい。The number of turns of the first coil 3 in FIG. 1 is 1
50 times, the number of turns of the second coil 4 was 20, the size of the attracting surface of the electromagnet was □ 15 mm, the gap was 100 μm, and the core was a stack of electromagnetic steel sheets. In addition, the straightness of the movable section 10 in the Z direction is 0.3 μ when measured by each displacement sensor 19 because a large static pressure base is used.
It fluctuates by about m. The generated force required to correct this 0.3 μm with the electromagnet is calculated as 60 N from the moment rigidity of the hydrostatic bearing at the position of the electromagnet. In order to generate a force of 60 N with only the first coil, it is necessary to pass a current of 0.87 A, and when 60 N is generated, the generated force of the electromagnet corresponding to a position variation of 1 nm is 0.2.
N, the current change value required to control this 0.2 N force is 1.45 mA. A current amplifier capable of passing a current of 0.87 A and capable of controlling the resolution of 1.45 mA is technically and economically difficult due to the noise of the command value and the performance of the current amplifier.
【００２３】このため、コイルの巻回数を少なくするこ
とにより、全体の電流を大きくし、電流に対する発生力
の変化を小さくすることが考えられるが、コイルの発熱
量は電流の２乗に比例するため、コイルの発熱による位
置決め精度の劣化を考えると不利である。Therefore, it is conceivable to reduce the number of turns of the coil to increase the total current and reduce the change in the generated force with respect to the current. However, the heat generation amount of the coil is proportional to the square of the current. Therefore, it is disadvantageous in consideration of deterioration of positioning accuracy due to heat generation of the coil.
【００２４】実際に、上記の１５０巻のコイルでは、電
流０．８７Ａを流すと約０．９Ｗの発熱があり、冷却し
ないとコイル温度は３０℃程度になり周囲への影響が考
えられるが、空冷することによりその影響を除去できる
レベルである。Actually, in the coil of 150 turns described above, when a current of 0.87 A is applied, the coil heats up to about 0.9 W, and if not cooled, the coil temperature will be about 30 ° C., which may affect the surroundings. It is at a level where the effect can be removed by air cooling.
【００２５】これに対して、コイルの巻回数を減らし、
電流に対する発生力を小さくすることを考えると、５ｍ
Ａで０．２Ｎ変化すると仮定すると、６０Ｎの力を発生
するためには電流値が約３倍となり、抵抗が１／２にな
ってもコイルの発熱量は５Ｗ程度になり、空冷では除去
できず、水冷を行う必要がある。水冷を行うと水冷配管
を可動部１０に固定する必要があり、可動部１０の移動
時の抵抗や冷媒の脈動による外乱などにより位置決め精
度を劣化させるため、新たな問題が発生する。On the other hand, the number of turns of the coil is reduced,
Considering to reduce the force generated by the current, 5m
Assuming a change of 0.2N in A, the current value is about 3 times to generate a force of 60N, and even if the resistance is halved, the heating value of the coil is about 5W, which can be removed by air cooling. First, it is necessary to perform water cooling. When water cooling is performed, it is necessary to fix the water cooling pipe to the movable portion 10, and the positioning accuracy is deteriorated due to resistance during movement of the movable portion 10 or disturbance due to pulsation of the refrigerant, which causes a new problem.
【００２６】これに対して、本実施形態のように第２の
コイルを用いる場合について説明する。On the other hand, the case where the second coil is used as in this embodiment will be described.
【００２７】第２のコイルの巻回数を２０回、このコイ
ルの最大発生力を２Ｎとすると、この時の最大電流値
は、１．２Ａであり、最大発熱量は、０．２３Ｗ、０．
２Ｎ変化させるのに必要な電流値は、６０ｍＡとなる。
電流アンプの分解能として６０ｍＡは十分であり、発熱
量も第１、第２のコイルを足しても１．１３Ｗであり、
空冷でその影響を除去できる発熱量である。When the number of turns of the second coil is 20 and the maximum force generated by this coil is 2N, the maximum current value at this time is 1.2 A, and the maximum heat generation amount is 0.23 W, 0.
The current value required to change 2N is 60 mA.
60 mA is sufficient as the resolution of the current amplifier, and the heat generation amount is 1.13 W even when the first and second coils are added,
It is the amount of heat that can be removed by air cooling.
【００２８】この様に、第１のコイルに粗動の働きをさ
せ、第２のコイルに微動の働きをさせることにより、発
生力が大きく、発熱量が小さく、発生力を高精度に制御
することが可能となる。As described above, by causing the first coil to perform the coarse movement and the second coil to perform the fine movement, the generated force is large, the heat generation amount is small, and the generated force is controlled with high accuracy. It becomes possible.
【００２９】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、同一のコアに巻回数の異なる第１のコイル、第２の
コイルを巻き、別々のアンプで制御することにより、発
生力が大きく、コイルの発熱量が小さく、また、指令電
流に対する発生力の分解能を高めた電磁石が実現可能と
なる。この電磁石を位置決め装置のアクチュエータに用
いることにより、位置決め分解能が高く、温度の影響を
受けにくい、高精度な位置決めを行うことが可能とな
る。また、発生力が大きいため、静圧軸受けのクリアラ
ンスの範囲内で、ガイド剛性に打ち勝ち、姿勢を制御す
ることが可能となる。これにより、ガイド剛性、送り方
向の剛性を高くすることができ、全自由度の剛性が高い
位置決め装置が実現可能となる。As described above, according to the present embodiment, by generating the first coil and the second coil having different numbers of windings on the same core and controlling them with different amplifiers, the generated force is large. It is possible to realize an electromagnet with a small amount of heat generated by the coil and an improved resolution of the generated force with respect to the command current. By using this electromagnet for the actuator of the positioning device, it is possible to perform high-precision positioning with high positioning resolution and less influence of temperature. Further, since the generated force is large, it is possible to overcome the guide rigidity and control the posture within the clearance of the hydrostatic bearing. As a result, the guide rigidity and the rigidity in the feed direction can be increased, and a positioning device with high rigidity in all degrees of freedom can be realized.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
吸引力が大きく、指令電流に対する吸引力の分解能が高
く、発熱量が小さい電磁石を実現することが可能とな
り、それを用いて位置決め装置を構成することにより、
高精度な位置決めが可能となる。As described above, according to the present invention,
It is possible to realize an electromagnet that has a large attraction force, a high resolution of the attraction force with respect to the command current, and a small amount of heat generation, and by using it to configure the positioning device,
Highly accurate positioning is possible.
【図１】本発明の一実施形態に係わる電磁石の構成を示
した概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an electromagnet according to an embodiment of the present invention.
【図２】一実施形態の電磁石を用いた位置決め装置の概
略図である。FIG. 2 is a schematic view of a positioning device using an electromagnet according to an embodiment.
【図３】図２の上面図である。FIG. 3 is a top view of FIG.
【図４】従来の電磁石を用いた位置決め装置の概略図で
ある。FIG. 4 is a schematic diagram of a positioning device using a conventional electromagnet.
１ 電磁石 ２ コア ３ 第１のコイル ４ 第２のコイル ５ 第１のコイルのアンプ ６ 第２のコイルのアンプ ７ 制御ユニット １０ 可動部 １１ Ｚ方向の静圧ガイド １２ Ｘ方向の静圧ガイド １３ リニアモータ １４ レーザヘッド １５ ミラー １６ 干渉計 １７ ベンダーミラー １８ 電磁石 １９ 変位センサ ２０ 電磁石 ２１ コア ２２ コイル ２３ 可動部 ２４ 変位センサ ２５ 板バネガイド ２６ ガイドの固定基準 1 electromagnet 2 cores 3 First coil 4 second coil 5 First coil amplifier 6 Second coil amplifier 7 control unit 10 Moving part 11 Z direction static pressure guide 12 X direction static pressure guide 13 Linear motor 14 Laser head 15 mirror 16 Interferometer 17 vendor mirror 18 Electromagnet 19 Displacement sensor 20 electromagnets 21 core 22 coils 23 Moving part 24 displacement sensor 25 Leaf spring guide 26 Guide Fixed Criteria
Claims (4)
決め対象物を位置決めする位置決め装置であって、 前記電磁石が、１つのコアと、該１つのコアに巻き回さ
れた、巻き回数の異なる少なくとも２つのコイルとを有
することを特徴とする位置決め装置。1. A positioning device for positioning an object to be positioned using the attraction force or repulsive force of an electromagnet, wherein the electromagnet has one core and a different number of windings wound around the one core. A positioning device having at least two coils.
に駆動するための少なくとも２つのアンプを更に備える
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。2. The positioning device according to claim 1, further comprising at least two amplifiers for respectively independently driving the at least two coils.
なる電流値で前記少なくとも２つのコイルを独立に駆動
することを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。3. The positioning device according to claim 2, wherein the at least two amplifiers independently drive the at least two coils with different current values.
り、該２つのコイルの一方である第１のコイルは、小さ
い電流で大きな磁束を発生できるように巻き回数が多
く、前記２つのコイルの他方である第２のコイルは、電
流値に対する磁束の分解能が高くなるように巻き回数が
少ないことを特徴とする請求項２に記載の位置決め装
置。4. The number of the coils and the amplifier is two, and the first coil, which is one of the two coils, has a large number of windings so that a large magnetic flux can be generated with a small current, and the two coils 3. The positioning device according to claim 2, wherein the second coil, which is the other one, has a small number of windings so that the resolution of the magnetic flux with respect to the current value is high.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006142386A (en) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Nissan Motor Co Ltd | Feed gear of machine tool |
-
2002
- 2002-04-04 JP JP2002102587A patent/JP2003299337A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006142386A (en) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Nissan Motor Co Ltd | Feed gear of machine tool |
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