JP2003298393A - 共振器型表面弾性波装置 - Google Patents

共振器型表面弾性波装置

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JP2003298393A
JP2003298393A JP2002104370A JP2002104370A JP2003298393A JP 2003298393 A JP2003298393 A JP 2003298393A JP 2002104370 A JP2002104370 A JP 2002104370A JP 2002104370 A JP2002104370 A JP 2002104370A JP 2003298393 A JP2003298393 A JP 2003298393A
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capacitor
surface acoustic
acoustic wave
type surface
wave device
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Haruhiko Hieda
晴彦 稗田
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化が可能で、減衰特性を簡単に調整する
ことが可能な共振器型表面弾性波装置を得る。 【解決手段】 圧電性基板10上に形成された直列一端
子対表面弾性波共振器11と、この直列一端子対表面弾
性波共振器11の入力側及び出力側にそれぞれ接続され
たインダクタ18a、18bとキャパシタ12、13の
直列回路をLC並列要素とした共振器型表面弾性波装置
であって、入力側及び出力側に設けられた上記LC並列
要素のそれぞれのキャパシタ12、13を圧電性基板1
0上に形成したインターディジタルコンデンサ12a〜
12c、13a〜13cで構成し、このインターディジ
タルコンデンサ12a〜12c、13a〜13cの容量
を選択的に可変にして上記LC並列要素のキャパシタと
して使用するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は通信装置の高周波
回路等に用いられる共振器型表面弾性波装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図13は従来のこの種のフィルタ回路の
一例である。図において、1は直列要素を構成する一端
子対表面弾性波共振器であり、インダクタ2a、2bと
コンデンサ3a、3bとの直列共振回路をLC並列要素
とするπ型回路構成をしている。4は入力端子、5は出
力端子である。
【0003】次に動作を説明する。図14は、図13に
示したフィルタ回路の動作を説明するもので、表面弾性
波共振器1が表面弾性波を励振しない周波数範囲、すな
わち表面弾性波共振器1の共振周波数f1よりも低い周
波数範囲や、表面弾性波共振器1の反共振周波数f2よ
りも高い周波数範囲における図13に示したフィルタ回
路の等価回路を示す図である。
【0004】表面弾性波共振器1は表面弾性波を励振し
ない上記周波数範囲では静電容量Cのコンデンサ6とし
て動作する。LC並列要素であるインダクタ2aとコン
デンサ3a、及びインダクタ2bとコンデンサ3bから
なる直列共振回路は、周波数f3で直列共振、すなわち
共振特性を示す。この時、入力端子4と接地端子との間
はほぼ短絡の状態となり、入力端子4に入力した電気信
号のほとんどは反射する。同様にして出力端子5と接地
端子との間もほぼ短絡の状態となる。従って、入力端子
4と出力端子5との間を、入力信号はほとんど伝播でき
ない。すなわち、フィルタ回路としては減衰極を示し、
大きな阻止特性を示す。
【0005】図15、図16は図13に示す表面弾性波
共振器1の通過特性を説明する図である。図15に示す
ように、表面弾性波共振器1を直列要素として使うと、
図16に示すような通過特性を示す。すなわち、表面弾
性波共振器1は周波数f1で直列共振特性を示し、周波
数f2で並列共振特性を示す。周波数f1を共振周波数と
いい、周波数f2を反共振周波数と言う。共振周波数f1
では表面弾性波共振器1はほぼ短絡となるので通過特性
は低損失の特性を示す。一方、反共振周波数f2では表
面弾性波共振器1はほぼ開放となるので、通過特性は減
衰極を示す。このとき表面弾性波共振器1の減衰極は、
図14に示したようなインダクタ2a、2bとコンデン
サ3a、3bからなる直列共振回路の場合より急峻な減
衰極を形成することができる。
【0006】図2は図13に示したフィルタ回路の動作
特性を説明する図である。7は図14に示したLC直列
共振回路の通過特性曲線、8は図15に示した表面弾性
波共振器1による通過特性曲線である。図13のインダ
クタ2a、2bとコンデンサ3a、3bそれぞれの直列
共振回路の共振周波数f3を表面弾性波共振器1の反共
振周波数f2付近になるように設定すると、通過特性曲
線7に通過特性曲線8が重畳し、図2の曲線9のよう
に、表面弾性波共振器1だけの場合よりも減衰量を大き
くとることが可能になる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図13のインダクタ2
a、2bとコンデンサ3a、3bとのそれぞれの直列共
振回路の共振周波数f3を表面弾性波共振器1の反共振
周波数f2付近になるように設定すると、図2の曲線7
に示したLC直列共振回路による通過特性に表面弾性波
共振器1による図2の曲線8に示した通過特性が重畳
し、図2の曲線9のように、表面弾性波共振器1だけの
場合よりも減衰量を大きくとることが可能になるが、L
Cによる直列共振周波数f3はLC各素子値のバラツキ
に大きく左右されるため、無調整では上記共振周波数f
3を上記反共振周波数f2付近に合わせるのは困難であ
る。そのため回路形成後、LCの付け替え、パターンの
カットや継ぎ足し等を行わなければならず、調整に多く
の労力が必要になっている。またLCが外付け部品とな
るため、回路の小型化を困難にしている。
【0008】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、小型化を達成し、かつ減
衰特性を簡単に調整することが可能な共振器型表面弾性
波装置を得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に係る共振器型
表面弾性波装置は、圧電性基板上に形成された直列一端
子対表面弾性波共振器の入力側及び出力側にそれぞれ接
続されたインダクタとキャパシタの直列回路をLC並列
要素としたものであって、入力側及び出力側に設けられ
た上記LC並列要素のそれぞれのキャパシタを上記圧電
性基板上に形成したインターディジタルコンデンサで構
成し、このインターディジタルコンデンサの容量を可変
にして上記LC並列要素のキャパシタとして使用するよ
うにしたことを特徴とするものである。
【0010】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記キャパシタを上記圧電性基板上に形成した容量
の異なる複数のインターディジタルコンデンサで構成
し、これら複数のインターディジタルコンデンサの内の
一つを選択し、上記LC並列要素のキャパシタとして使
用するようにしたものである。
【0011】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記キャパシタを上記圧電性基板上に形成した主イ
ンターディジタルコンデンサとこれに接続して主インタ
ーディジタルコンデンサの容量を調整する副インターデ
ィジタルコンデンサとで構成し、上記LC並列要素のキ
ャパシタとして使用するようにしたものである。
【0012】また、この発明にかかる共振器型表面弾性
波装置は、圧電性基板上に形成された入力側及び出力側
の並列一端子対表面弾性波共振器間に接続されたインダ
クタとキャパシタの並列回路をLC直列要素としたもの
であって、上記LC直列要素のキャパシタを上記圧電性
基板上に形成したインターディジタルコンデンサで構成
し、このインターディジタルコンデンサの容量を可変に
して上記LC直列要素のキャパシタとして使用するよう
にしたことを特徴とするものである。
【0013】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記キャパシタを上記圧電性基板上に形成した容量
の異なる複数のインターディジタルコンデンサで構成
し、これら複数のインターディジタルコンデンサの内の
一つを選択し、上記LC直列要素のキャパシタとして使
用するようにしたものである。
【0014】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記キャパシタを上記圧電性基板上に形成した主イ
ンターディジタルコンデンサとこれに接続して主インタ
ーディジタルコンデンサの容量を調整する副インターデ
ィジタルコンデンサとで構成し、上記LC直列要素のキ
ャパシタとして使用するようにしたものである。
【0015】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記インダクタを圧電性基板上に形成したものであ
る。
【0016】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、複数のインターディジタルコンデンサの内の一つを
選択するための接続または主インターディジタルコンデ
ンサと副インターディジタルコンデンサとの接続にワイ
ヤによるワイヤボンディングを利用するようにしたもの
である。
【0017】また、この発明にかかる共振器型表面弾性
波装置は、圧電性基板上に形成された入力側及び出力側
の並列一端子対表面弾性波共振器間に接続されたインダ
クタとキャパシタの並列回路をLC直列要素としたもの
であって、上記LC直列要素のキャパシタを上記圧電性
基板上に形成したインターディジタルコンデンサで構成
し、また上記LC直列要素のインダクタを上記圧電性基
板上に形成したタップ付のインダクタで構成し、上記イ
ンダクタのタップ接続の位置を変えてそのインダクタン
ス値を調整するようにしたことを特徴とするものであ
る。
【0018】また、この発明にかかる共振器型表面弾性
波装置は、圧電性基板上に形成された直列一端子対表面
弾性波共振器の入力側及び出力側にそれぞれ接続された
インダクタとキャパシタの直列回路をLC並列要素とし
たものであって、入力側及び出力側に設けられた上記L
C並列要素のそれぞれのキャパシタを上記圧電性基板上
に形成したインターディジタルコンデンサで構成し、ま
た入力側及び出力側に設けられた上記LC並列要素のそ
れぞれのインダクタを上記圧電性基板上に形成したタッ
プ付のインダクタで構成し、上記両インダクタのタップ
接続の位置を変えてそれらのインダクタンス値を調整す
るようにしたことを特徴とするものである。
【0019】また、上記共振器型表面弾性波装置におい
て、上記インダクタのタップ接続にはワイヤによるワイ
ヤボンディングを利用するようにしたものである。
【0020】
【発明の実施の形態】実施の形態1.この発明の実施の
形態1を図1について説明する。図1において、10は
圧電性基板である。11は圧電性基板10上のほぼ中央
に設けられた直列一端子対表面弾性波共振器であり、一
方の電極から入力端子4及び接続端子14aが、また他
方の電極から出力端子5及び接続端子15aが引き出さ
れている。鎖線で囲んだ12及び13は圧電性基板10
上に設けられたそれぞれ入力側及び出力側のキャパシタ
で、後述するインダクタと直列に接続されてLC並列要
素を形成する。これらキャパシタ12、13は、櫛形電
極からなる複数のインターディジタルコンデンサ(以下
IDCと呼ぶ)で構成されていて、直列一端子対表面弾
性波共振器11の両側に、3者が川の字をなすように配
置されている。
【0021】入力側キャパシタ12はそれぞれ容量の僅
かに異なる3個のIDC12a〜12cからなり、それ
ぞれのIDCには14bと16b、14cと16c、1
4dと16dの接続端子が設けられている。また、出力
側キャパシタ13はそれぞれ容量の僅かに異なる3個の
IDC13a〜13cからなり、それぞれのIDCには
15bと17b、15cと17c、15dと17dの接
続端子が設けられている。
【0022】18a、18bはそれぞれ一端が接続端子
16a、17aに接続され、他端が接地された外部素子
であるインダクタであり、上記キャパシタ12、13と
それぞれ直列に接続され、LC並列要素を構成してい
る。50は導電性のワイヤで、この例では接続端子14
aと14d、接続端子15aと15b、接続端子16a
と16d、接続端子17bと17dをそれぞれ結んでい
る。
【0023】次に、図1に示した表面弾性波装置(フィ
ルタ回路)の動作を説明する。インダクタ18aとキャ
パシタ12の直列回路及びインダクタ18bとキャパシ
タ13の直列回路はフィルタ回路のLC並列要素を構成
している。上記それぞれの直列共振回路の共振周波数f
4を、直列一端子対表面弾性波共振器11の反共振周波
数f5付近になるように設定すると、図2の曲線7で示
したLC直列共振回路の通過特性に、表面弾性波共振器
11の通過特性である図2の曲線8が重畳し、図2の曲
線9に示すように、表面弾性波共振器11だけの場合よ
りも減衰量を大きくとることが可能になる。
【0024】しかし、LC並列要素による直列共振周波
数は各素子値のバラツキに大きく左右されるため、無調
整では、インダクタ18aとキャパシタ12及びインダ
クタ18bとキャパシタ13の共振周波数f4は表面弾
性波共振器11の反共振周波数f5付近に一致しないこ
とが多い。
【0025】そこで、キャパシタ12、13を、それぞ
れ複数(本例では3個)のIDCで構成し、LC各素子
値のバラツキが無い時に良好な特性が得られると計算さ
れた容量値のIDCを例えば12a、13aとし、さら
にLC各素子値のバラツキを考慮して、IDC12a、
13aの容量値に対して多少増減した容量値の12b、
12c、13b、13cのIDCを設け、これらのいず
れかのIDCを選択して使用することによりLC各素子
値のバラツキを補正する周波数調整を行うことができ
る。
【0026】図1では、入力側キャパシタとしてIDC
12cを選択するようにワイヤ50で接続端子14dと
14a及び接続端子16dと16aをワイヤボンディン
グにより接続している。また、出力側キャパシタとして
IDC13aを選択するように、ワイヤ50で接続端子
15bと15a及び接続端子17bと17aをワイヤボ
ンディングにより接続している。このように、LC素子
値のバラツキをワイヤ50の接続を変えることで補正す
ることにより、LCの付け替え、パターンのカットや継
ぎ足し等を行わなず、簡単に特性の調整を行うことが可
能になる。
【0027】また、キャパシタ12、13を圧電性基板
10上にIDCとして形成しているので、従来外付けさ
れていたコンデンサが不要となり、回路の小型化を可能
にする。また、この種のIDCパターンは極めて正確な
パターン形成が成されるので、通常のチップコンデンサ
等を用いる場合よりも格段に高精度に静電容量を得るこ
とができる。さらに、入力側及び出力側のキャパシタ1
2、13を、直列一端子対表面弾性波共振器11の両側
に、川の字状に配置することにより、圧電性基板上の配
置スペースを有効に利用して、全体を小型にすることが
できる。
【0028】実施の形態2.この発明の実施の形態2を
図3を用いて説明する。図3において、19a、19b
は圧電性基板10上に形成された並列一端子対表面弾性
波共振器で、各々の一方の電極は接地され、他方の電極
には接続端子22a、23aが設けられている。鎖線で
囲んだ20は2個の並列一端子対表面弾性波共振器19
a、19bの電波伝播方向と直交するように圧電性基板
10上に配置されたキャパシタであり、後述するインダ
クタと並列接続され、LC直列要素を構成する。
【0029】キャパシタ20はそれぞれ容量の僅かに異
なる3個のIDC20a〜20cからなり、それぞれの
IDCには22bと23b、22cと23c、22dと
23dの接続端子が設けられている。22aは並列一端
子対表面弾性波共振器19aの一方の電極の接続端子、
23aは並列一端子対表面弾性波共振器19bの一方の
電極の接続端子である。50は導電性のワイヤで、図で
は接続端子22aと22b及び接続端子23aと23b
を接続している。21は外部素子であるインダクタで、
並列一端子対表面弾性波共振器19aと19bの接続端
子22dと23dとの間に接続されており、キャパシタ
20に並列接続されたLC直列要素を構成している。4
は入力端子、5は出力端子である。
【0030】図3に示す実施の形態2に係る回路は、並
列一端子対表面弾性波共振器19a、19bを並列要素
に用い、インダクタ21とキャパシタ20との並列共振
回路をLC直列要素に用いている。図4は、図3に示し
た回路の並列一端子対表面弾性波共振器19a、19b
が表面弾性波を励振しない周波数範囲における等価回路
である。並列一端子表面弾性波共振器19a、19bは
それぞれ電極容量Cと同じ静電容量のコンデンサ6とし
て考えられる。
【0031】図5は、図4に示した回路の動作特性を説
明する図である。図4に示した回路の直列要素21、2
4は周波数f6にて並列共振すなわち反共振を示す。こ
のとき、図3の入力端子4から出力端子5に至る経路中
に存在する上記直列要素のインピーダンスは開放となっ
ており、入力端子4から出力端子5への通過特性は減衰
極を示し、大きな減衰特性を示す。
【0032】図3の回路の通過特性を示す図5の曲線2
5は、図4の回路の通過特性である図5の曲線26と、
図6の表面弾性波共振器27の通過特性である図5の曲
線28とを重畳した特性である。図3の並列一端子対表
面弾性波共振器19a、19bそれぞれの共振周波数f
7近傍に形成される急峻な減衰極に、図4の回路の通過
特性及び図5の曲線26の減衰極を合わせることによっ
て良好な減衰特性を得ることができるが、LC直列要素
による共振周波数は各素子値のバラツキに大きく左右さ
れるため、無調整では図3のインダクタ21とキャパシ
タ20による並列共振回路の共振周波数f8は並列一端
子対表面弾性波共振器19a、19bの共振周波数f7
付近には一致しないことが多い。
【0033】そこでキャパシタ20を複数(本例では3
個)のIDCで構成し、LC各素子値のバラツキが無い
ときに良好な特性が得られると計算された容量値のID
Cを例えば20aとし、さらにLC各素子値のバラツキ
を考慮して、IDC20aの容量値に対して多少増減し
た容量値の20b、20cのIDCを形成しておき、こ
れらのいずれかのIDCを選択して使用することにより
LC各素子値のバラツキを補正する周波数調整を行う。
【0034】図3では、IDC20aを選択するよう
に、ワイヤ50を接続端子22bと22a及び接続端子
23bと23aにワイヤボンディングにより接続してい
る。このように、LC各素子値のバラツキを吸収できる
IDCを、ワイヤ50の接続を変えて選択することによ
り、LCの付け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を
行わなず、簡単に特性の調整を行うことが可能になる。
【0035】また、キャパシタ20を圧電性基板10上
にIDCとして形成するので、従来外付けされていたコ
ンデンサが不要となり、回路の小型化を可能にする。ま
た、この種のパターンは極めて正確なパターン形成が成
されるので、通常のチップコンデンサ等を用いる場合よ
りも格段に高精度に静電容量を得ることができる。
【0036】実施の形態3.図7はこの発明の実施の形
態3に係る回路を示す図である。図中に示した回路構成
はIDCの形状が異なるだけで、その他は図1に示した
ものと同じであり、図1と同じ素子値を用いれば、特性
は図2の曲線9に示した特性と同じになる。IDCを除
いて、図1と同一の要素には同一符号を付して説明を省
略する。
【0037】本実施の形態では、図7に示すように、キ
ャパシタとして適当な容量のIDCを複数形成するので
はなく、キャパシタ29、30は、主となるIDC29
a、30aにそれぞれワイヤーボンディングによって接
続可能な副のIDC29b、29c及び30b、30c
を付加的に形成したもので構成する。そして、主IDC
29a、30aの、インダクタに接続されていない電極
は常時直列一端子対表面弾性波共振器11に接続されて
いる。キャパシタ29、30は直列一端子対表面弾性波
共振器11をはさんで川の字状に圧電性基板10上に配
置されている。
【0038】必要に応じ、ワイヤ50を用いて、副ID
C29b、29cのいずれか、及び30b、30cのい
ずれかを主IDC29a、30aにそれぞれワイヤーボ
ンディングによって接続することによって、キャパシタ
29、30全体のキャパシタンスを微調整可能とし、L
Cの付け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を行わな
ず、簡単に特性の調整を行うことが可能になる他、圧電
性基板10のスペースを有効に活用することができ、装
置全体の小型化に貢献する。
【0039】実施の形態4.図8はこの発明の実施の形
態4に係る回路を示す図である。図中に示した回路構成
はIDCの形状が異なるだけで、その他は図3に示した
ものと同じであり、図3と同じ素子値を用いれば、特性
は図5の曲線25に示した特性と同じになる。IDCを
除いて、図3と同一の要素には同一符号を付して説明を
省略する。
【0040】本実施の形態では、図8に示すように、キ
ャパシタとして適当な容量のIDCを複数形成するので
はなく、キャパシタ31を、主となるIDC31aとそ
れにそれぞれワイヤーボンディングによって接続可能な
副のIDC31b、31cを付加形成している。そし
て、主IDC31aの電極は常時並列一端子対表面弾性
波共振器19a、19bの接地されていない電極に接続
されている。
【0041】必要に応じ、ワイヤ50を用いて、副ID
C31b、31cのいずれかを主IDC31aにワイヤ
ーボンディングによって接続することにより、キャパシ
タ31全体のキャパシタンスを微調整可能とし、LCの
付け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を行わなず、
簡単に特性の調整を行うことが可能になる他、圧電性基
板10のスペースを有効に活用することができ、装置全
体の小型化に貢献する。
【0042】実施の形態5.図9はこの発明の実施の形
態5に係る回路を示す図である。本実施の形態の回路構
成は、インダクタの形成方法が異なるだけで、他は図3
に示したものと同じである。図3のものと同じ素子値を
用いれば、特性は図5の曲線25と同じになり、実施の
形態2と同様の効果を奏する。インダクタを除いて、図
3と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0043】本実施の形態では、図9に示すように、チ
ップ等による外付けのインダクタではなく、圧電性基板
10上にパターンとしてパターンインダクタ32を形成
している。これによって圧電性基板10のスペースを有
効に活用することができ、装置全体の小型化に貢献す
る。また、この種のパターンは極めて正確なパターン形
成が成されるので、通常のチップインダクタ等を用いる
場合よりも格段に高精度のインダクタンスを得ることが
できる。
【0044】実施の形態6.図10はこの発明の実施の
形態6に係る回路を示す図である。本実施の形態の回路
構成は、インダクタの形成方法が異なるだけで、他は図
7に示したものと同じである。図7のものと同じ素子値
を用いれば、特性は図2の曲線9と同じになり、実施の
形態3と同様の効果を奏する。インダクタを除いて、図
7と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0045】本実施の形態では、図10に示すように、
チップ等による外付けのインダクタではなく、圧電性基
板10上にパターンとしてパターンインダクタ33a、
33bを形成する。これによって装置全体の小型化に貢
献する。また、この種のパターンは極めて正確なパター
ン形成が成されるので、通常のチップインダクタ等を用
いる場合よりも格段に高精度のインダクタンスを得るこ
とができる。
【0046】実施の形態7.図11はこの発明の実施の
形態7に係る回路を示す図である。図中に示した回路構
成はインダクタ34及びキャパシタであるIDC36の
形状が異なるだけで、他は図9に示したものと同じであ
り、図9のものと同じ素子値を用いれば、特性は図5の
曲線25と同じになる。インダクタ及びキャパシタを除
いて、図9と同一要素には同一符号を付して説明を省略
する。
【0047】本実施の形態では、図11に示すように、
図9のキャパシタ20の代わりにキャパシタとして単一
のIDC36を用い、図9のインダクタ32の代わりに
タップ付のパターンインダクタ34を用いている。ID
C36は並列一端子対表面弾性波共振器19a、19b
の接地されていない電極間に常時接続されている。一
方、パターンインダクタ34には例えば2個のタップ3
5b、35cが設けられている。そして、必要に応じて
パターンインダクタ34の一端の接続端子35aと上記
タップのいずれかをワイヤ50でワイヤボンディングに
よって接続することによりパターンインダクタ34のイ
ンダクタンスを調整し、LC各素子値のバラツキを吸収
するような、最適のインダクタンスを選択することがで
き、LCの付け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を
行わなず、簡単に特性の調整を行うことが可能になる
他、装置全体の小型化に貢献する。
【0048】実施の形態8.図12はこの発明の実施の
形態8に係る回路を示す図である。本実施の形態の回路
構成は、インダクタ及びキャパシタの形成方法が異なる
だけで、他は図10に示したものと同じである。図10
のものと同じ素子値を用いれば、特性は図2の曲線9と
同じになり、発明の実施の形態6と同様の効果を奏す
る。インダクタとキャパシタを除いて、図10と同一要
素には同一符号を付して説明を省略する。
【0049】本実施の形態では、図12に示すように、
キャパシタはそれぞれ単一のIDC38a、38bを用
いる。一方、インダクタはチップ等による外付けのイン
ダクタではなく、圧電性基板10上にパターンとしてタ
ップ付のパターンインダクタ37a、37bを形成す
る。39b、39cはパターンインダクタ37aのタッ
プ、39aはパターンインダクタ37aの一端の接続端
子、40b、40cはパターンインダクタ37bのタッ
プ、40aはパターンインダクタ37bの一端の接続端
子である。
【0050】上記構成において、必要に応じてパターン
インダクタ37aの一端の接続端子39aと上記タップ
39b、39cのいずれかをワイヤ50でワイヤボンデ
ィングにより接続することによってパターンインダクタ
37aのインダクタンスを調整し、同様に、パターンイ
ンダクタ37bの一端の接続端子40aと上記タップ4
0b、40cのいずれかをワイヤ50でワイヤボンディ
ングにより接続することによってパターンインダクタ3
7bのインダクタンスを調整し、LC各素子値のバラツ
キを吸収するような、最適のインダクタンスを選択す
る。これによって装置全体の小型化に貢献する。また、
この種のパターンは極めて正確なパターン形成が成され
るので、通常のチップインダクタ等を用いる場合よりも
格段に高精度のインダクタンスを得ることができる。
【0051】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、LC
素子値のバラツキを、接続を変えることで補正できるた
め、LCの付け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を
行わなず、簡単に特性の調整を行うことが可能になる。
また、コンデンサを圧電基板上にIDCとして形成する
ので、従来外付けされていたコンデンサが不要となり、
回路の小型化を可能にする。また、この種のパターンは
極めて正確なパターン形成が成されるので、通常のチッ
プコンデンサ等を用いる場合よりも格段に高精度に静電
容量を得ることができる。
【0052】また、主IDCに副IDCを付加する形で
キャパシタンスを微調整可能としているので、LCの付
け替え、パターンのカットや継ぎ足し等を行わなず、簡
単に特性の調整を行うことが可能になる他、圧電性基板
のスペースを有効に活用することができ、装置全体の小
型化に貢献する。
【0053】また、チップ等による外付けのインダクタ
ではなく、圧電性基板上にパターンとしてパターンイン
ダクタを形成することにより、格段に高精度のインダク
タンスを得ることができ、調整も容易で、装置の性能を
高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に係る共振器型表面
弾性波装置を示す構造図である。
【図2】 実施の形態1の特性図である。
【図3】 この発明の実施の形態2に係る共振器型表面
弾性波装置を示す構造図である。
【図4】 実施の形態2の動作を説明するための回路図
である。
【図5】 実施の形態2の特性図である。
【図6】 実施の形態2の動作を説明するための回路図
である。
【図7】 この発明の実施の形態3に係る共振器型表面
弾性波装置を示す構造図である。
【図8】 この発明の実施の形態4に係る共振器型表面
弾性波装置を示す構造図である。
【図9】 この発明の実施の形態5に係る共振器型表面
弾性波装置を示す構造図である。
【図10】 この発明の実施の形態6に係る共振器型表
面弾性波装置を示す構造図である。
【図11】 この発明の実施の形態7に係る共振器型表
面弾性波装置を示す構造図である。
【図12】 この発明の実施の形態8に係る共振器型表
面弾性波装置を示す構造図である。
【図13】 従来の共振器型表面弾性波装置を示す回路
図である。
【図14】 従来の共振器型表面弾性波装置の動作を説
明するための回路図である。
【図15】 従来の共振器型表面弾性波装置の動作を説
明するための回路図である。
【図16】 従来の共振器型表面弾性波装置の動作を説
明するための特性図である。
【符号の説明】
4 入力端子、 5 出力端
子、6 静電容量Cのコンデンサ、 10 圧電
性基板、11 直列一端子対表面弾性波共振器、 12
キャパシタ、12a 入力側IDC、
12b 入力側IDC、12c 入力側IDC、
13 キャパシタ、13a 出力側ID
C、 13b 出力側IDC、13c
出力側IDC、 14a 接続端子、1
4a 接続端子、 14c 接続端
子、14d 接続端子、 15a
接続端子、15b 接続端子、 1
5c 接続端子、15d 接続端子、
16a 接続端子、16b 接続端子、
16c 接続端子、16d 接続端子、
17a 接続端子17b 接続端子、
17c 接続端子、17d 接続
端子、 18a 入力側インダク
タ、18b 出力側インダクタ、19a 並列一端子対
表面弾性波共振器、19b 並列一端子対表面弾性波共
振器、20 キャパシタ、 20a
IDC、20b IDC、 20
c IDC、21 インダクタ、 2
2a 接続端子、22b 接続端子、
22c 接続端子、22d 接続端子、
23a 接続端子、23b 接続端子、
23c 接続端子、23d 接続端
子、 24 コンデンサ、27
並列接続された一端子対表面弾性波共振器、29 キャ
パシタ、 29a 入力側主IDC、
29b 入力側副IDC、 29c 入力
側副IDC、30 キャパシタ、 3
0a 出力側主IDC、30b 出力側副IDC、
30c 出力側副IDC、31 キャパシ
タ、 31a 主IDC、31b 副
IDC、 31c 副IDC、32
パターンインダクタ、 33a 入力側パタ
ーンインダクタ、33b 出力側パターンインダクタ、
34 タップ付パターンインダクタ、 35a 接続端
子、35b タップ、 35c
タップ、36 IDC(キャパシタ)、37a 入力側
タップ付パターンインダクタ、37b 出力側タップ付
パターンインダクタ、38a 入力側IDC(キャパシ
タ)、38b 出力側IDC(キャパシタ)、39a
接続端子、 39b 入力側タッ
プ、39c 入力側タップ、 40a
端子、40b 出力側タップ、 40c
出力側タップ、50 ワイヤ。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電性基板上に形成された直列一端子対
    表面弾性波共振器の入力側及び出力側にそれぞれ接続さ
    れたインダクタとキャパシタの直列回路をLC並列要素
    とした共振器型表面弾性波装置であって、入力側及び出
    力側に設けられた上記LC並列要素のそれぞれのキャパ
    シタを上記圧電性基板上に形成したインターディジタル
    コンデンサで構成し、このインターディジタルコンデン
    サの容量を可変にして上記LC並列要素のキャパシタと
    して使用するようにしたことを特徴とする共振器型表面
    弾性波装置。
  2. 【請求項2】 上記キャパシタを上記圧電性基板上に形
    成した容量の異なる複数のインターディジタルコンデン
    サで構成し、これら複数のインターディジタルコンデン
    サの内の一つを選択し、上記LC並列要素のキャパシタ
    として使用するようにしたことを特徴とする請求項1に
    記載の共振器型表面弾性波装置。
  3. 【請求項3】 上記キャパシタを上記圧電性基板上に形
    成した主インターディジタルコンデンサとこれに接続し
    て主インターディジタルコンデンサの容量を調整する副
    インターディジタルコンデンサとで構成し、上記LC並
    列要素のキャパシタとして使用するようにしたことを特
    徴とする請求項1に記載の共振器型表面弾性波装置。
  4. 【請求項4】 圧電性基板上に形成された入力側及び出
    力側の並列一端子対表面弾性波共振器間に接続されたイ
    ンダクタとキャパシタの並列回路をLC直列要素とした
    共振器型表面弾性波装置であって、上記LC直列要素の
    キャパシタを上記圧電性基板上に形成したインターディ
    ジタルコンデンサで構成し、このインターディジタルコ
    ンデンサの容量を可変にして上記LC直列要素のキャパ
    シタとして使用するようにしたことを特徴とする共振器
    型表面弾性波装置。
  5. 【請求項5】 上記キャパシタを上記圧電性基板上に形
    成した容量の異なる複数のインターディジタルコンデン
    サで構成し、これら複数のインターディジタルコンデン
    サの内の一つを選択し、上記LC直列要素のキャパシタ
    として使用するようにしたことを特徴とする請求項5に
    記載の共振器型表面弾性波装置。
  6. 【請求項6】 上記キャパシタを上記圧電性基板上に形
    成した主インターディジタルコンデンサとこれに接続し
    て主インターディジタルコンデンサの容量を調整する副
    インターディジタルコンデンサとで構成し、上記LC直
    列要素のキャパシタとして使用するようにしたことを特
    徴とする請求項5に記載の共振器型表面弾性波装置。
  7. 【請求項7】 上記インダクタを圧電性基板上に形成し
    たことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一
    項に記載の共振器型表面弾性波装置。
  8. 【請求項8】 複数のインターディジタルコンデンサの
    内の一つを選択する接続または主インターディジタルコ
    ンデンサと副インターディジタルコンデンサとの接続に
    ワイヤによるワイヤボンディングを利用するようにした
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項
    に記載の共振器型表面弾性波装置。
  9. 【請求項9】 圧電性基板上に形成された入力側及び出
    力側の並列一端子対表面弾性波共振器間に接続されたイ
    ンダクタとキャパシタの並列回路をLC直列要素とした
    共振器型表面弾性波装置であって、上記LC直列要素の
    キャパシタを上記圧電性基板上に形成したインターディ
    ジタルコンデンサで構成し、また上記LC直列要素のイ
    ンダクタを上記圧電性基板上に形成したタップ付のイン
    ダクタで構成し、上記インダクタのタップ接続の位置を
    変えてそのインダクタンス値を調整するようにしたこと
    を特徴とする共振器型表面弾性波装置。
  10. 【請求項10】 圧電性基板上に形成された直列一端子
    対表面弾性波共振器の入力側及び出力側にそれぞれ接続
    されたインダクタとキャパシタの直列回路をLC並列要
    素とした共振器型表面弾性波装置であって、入力側及び
    出力側に設けられた上記LC並列要素のそれぞれのキャ
    パシタを上記圧電性基板上に形成したインターディジタ
    ルコンデンサで構成し、また入力側及び出力側に設けら
    れた上記LC並列要素のそれぞれのインダクタを上記圧
    電性基板上に形成したタップ付のインダクタで構成し、
    上記両インダクタのタップ接続の位置を変えてそれらの
    インダクタンス値を調整するようにしたことを特徴とす
    る共振器型表面弾性波装置。
  11. 【請求項11】 上記インダクタのタップ接続にはワイ
    ヤによるワイヤボンディングを利用するようにしたこと
    を特徴とする請求項10または請求項11に記載の共振
    器型表面弾性波装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7061345B2 (en) * 2001-12-14 2006-06-13 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Filter circuit with series and parallel elements
JP2017204729A (ja) * 2016-05-11 2017-11-16 京セラ株式会社 容量素子、弾性波素子および弾性波モジュール

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