JP2003289679A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2003289679A JP2003289679A JP2002089946A JP2002089946A JP2003289679A JP 2003289679 A JP2003289679 A JP 2003289679A JP 2002089946 A JP2002089946 A JP 2002089946A JP 2002089946 A JP2002089946 A JP 2002089946A JP 2003289679 A JP2003289679 A JP 2003289679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- electrostatic actuator
- electrode substrate
- electrode
- stator frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】常に安定した駆動力を発揮できるとともに、小
型化が可能な静電アクチュエータを提供すること。 【解決手段】固定子２０と、固定子２０に案内されて所
定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面に
電極が形成された可動子８０とを備えた静電アクチュエ
ータ１０において、固定子２０は、樹脂材製の固定子枠
４０と、固定子枠４０に取り付けられる電極基板５０
と、電極基板５０を固定子枠４０に固定する電極固定ピ
ン６０及び電力供給ピン７０とを備えている。
型化が可能な静電アクチュエータを提供すること。 【解決手段】固定子２０と、固定子２０に案内されて所
定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面に
電極が形成された可動子８０とを備えた静電アクチュエ
ータ１０において、固定子２０は、樹脂材製の固定子枠
４０と、固定子枠４０に取り付けられる電極基板５０
と、電極基板５０を固定子枠４０に固定する電極固定ピ
ン６０及び電力供給ピン７０とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電気力で駆動さ
れる静電アクチュエータに関し、特に固定子に電極基板
を固定する方法に関する。
れる静電アクチュエータに関し、特に固定子に電極基板
を固定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】静電アクチュエータは、小型、軽量であ
ることから内視鏡や携帯電話等の移動電話、各種ＰＤＡ
等に搭載されるレンズの焦点合わせに使用することが可
能であり最近注目されている。図３はこのような静電ア
クチュエータの一例を示す斜視図である。
ることから内視鏡や携帯電話等の移動電話、各種ＰＤＡ
等に搭載されるレンズの焦点合わせに使用することが可
能であり最近注目されている。図３はこのような静電ア
クチュエータの一例を示す斜視図である。
【０００３】静電アクチュエータ１００は、固定子１１
０と、この固定子１１０に案内されて所定方向に往復動
自在で、かつ、相対向する一対の表面に電極面１２１が
形成された可動子１２０とを備えている。また、固定子
１１０は、可動子１２０に静電気力を与えて駆動する電
極基板１１１と、この電極基板１１１を固定する固定枠
１１２とを備えている。電極基板１１１には、可動子と
の間に静電気力を発生させるためのパターン１１１ａが
形成され、このパターン１１１ａは駆動回路（不図示）
に接続されている。一方、可動子１２０にはレンズ群１
２２が保持されている。
０と、この固定子１１０に案内されて所定方向に往復動
自在で、かつ、相対向する一対の表面に電極面１２１が
形成された可動子１２０とを備えている。また、固定子
１１０は、可動子１２０に静電気力を与えて駆動する電
極基板１１１と、この電極基板１１１を固定する固定枠
１１２とを備えている。電極基板１１１には、可動子と
の間に静電気力を発生させるためのパターン１１１ａが
形成され、このパターン１１１ａは駆動回路（不図示）
に接続されている。一方、可動子１２０にはレンズ群１
２２が保持されている。
【０００４】そしてこの静電アクチュエータ１００の電
極基板１１１の表面と可動子１２０の電極面１２１は数
μｍの隙間で構成され、パターン１１１ａに駆動方向に
応じた駆動パターンで電圧を印加する事により可動子は
駆動される。
極基板１１１の表面と可動子１２０の電極面１２１は数
μｍの隙間で構成され、パターン１１１ａに駆動方向に
応じた駆動パターンで電圧を印加する事により可動子は
駆動される。
【０００５】この様に構成された構造の静電アクチュエ
ータでは、固定枠に電極を組み込む方法として、予め固
定枠を製作してから、電極を接着で組み込む方法、電極
を樹脂モールドで一体成形で組み込む方法などがある。
ータでは、固定枠に電極を組み込む方法として、予め固
定枠を製作してから、電極を接着で組み込む方法、電極
を樹脂モールドで一体成形で組み込む方法などがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した静電アクチュ
エータにおける電極基板の取付方法であると次のような
問題があった。すなわち、電極基板とそれを固定する固
定枠とを一体でモールド成形する方法では、材質の違
い、例えばシリコン材製の電極基板と、熱可塑性樹脂材
製の固定枠とでは樹脂を充填するときの成形圧力の影
響、成形時の樹脂収縮、線膨張係数の違い等により、成
形後の電極基板面にひずみが発生する場合がある。この
ため、上述した隙間を数μｍの精度で成形することが困
難である。また、電極を接着で構成する固定子枠も、電
極と固定枠の線膨張係数の違いにより、環境温度の変化
に対して電極基板が変形する問題があった。
エータにおける電極基板の取付方法であると次のような
問題があった。すなわち、電極基板とそれを固定する固
定枠とを一体でモールド成形する方法では、材質の違
い、例えばシリコン材製の電極基板と、熱可塑性樹脂材
製の固定枠とでは樹脂を充填するときの成形圧力の影
響、成形時の樹脂収縮、線膨張係数の違い等により、成
形後の電極基板面にひずみが発生する場合がある。この
ため、上述した隙間を数μｍの精度で成形することが困
難である。また、電極を接着で構成する固定子枠も、電
極と固定枠の線膨張係数の違いにより、環境温度の変化
に対して電極基板が変形する問題があった。
【０００７】一方、静電アクチュエータでは、電極基板
に駆動回路から電力を供給するための手段として、電極
面からＦＰＣ配線等の方法で固定枠から電力供給端子を
組み込む必要があった。このため、ＦＰＣ配線が通る隙
間を確保しなくてはならず小型化に一定の限界があっ
た。
に駆動回路から電力を供給するための手段として、電極
面からＦＰＣ配線等の方法で固定枠から電力供給端子を
組み込む必要があった。このため、ＦＰＣ配線が通る隙
間を確保しなくてはならず小型化に一定の限界があっ
た。
【０００８】そこで本発明は、常に安定した駆動力を発
揮できるとともに、小型化が可能な静電アクチュエータ
を提供することを目的としている。
揮できるとともに、小型化が可能な静電アクチュエータ
を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の静電アクチュエータは次のよ
うに構成されている。
達成するために、本発明の静電アクチュエータは次のよ
うに構成されている。
【００１０】（１）固定子と、この固定子に案内されて
所定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面
に電極が形成された可動子とを備えた静電アクチュエー
タにおいて、上記固定子は、樹脂材製の固定子枠と、こ
の固定子枠に取り付けられる電極基板と、この電極基板
を上記固定子枠に固定する固定用部材とを備えているこ
とを特徴とする。
所定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面
に電極が形成された可動子とを備えた静電アクチュエー
タにおいて、上記固定子は、樹脂材製の固定子枠と、こ
の固定子枠に取り付けられる電極基板と、この電極基板
を上記固定子枠に固定する固定用部材とを備えているこ
とを特徴とする。
【００１１】（２）上記（１）に記載された静電アクチ
ュエータであって、上記固定用部材は、上記電極基板に
外部から電力を供給する電力供給ピンであることを特徴
とする。
ュエータであって、上記固定用部材は、上記電極基板に
外部から電力を供給する電力供給ピンであることを特徴
とする。
【００１２】（３）上記（１）に記載された静電アクチ
ュエータであって、上記可動子と上記固定子枠と上記ベ
ースとは線膨張係数がほぼ等しいものであることを特徴
とする。
ュエータであって、上記可動子と上記固定子枠と上記ベ
ースとは線膨張係数がほぼ等しいものであることを特徴
とする。
【００１３】（４）上記（１）に記載された静電アクチ
ュエータであって、上記可動子は、レンズを支持してい
ることを特徴とする。
ュエータであって、上記可動子は、レンズを支持してい
ることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る静電アクチュエータ１０を示す分解斜視図、図２は静
電アクチュエータ１０を示す図であって、（ａ）は正面
図、（ｂ）は縦断面図である。なお、これらの図中矢印
ＸＹＺは互いに直交する三方向を示している。
る静電アクチュエータ１０を示す分解斜視図、図２は静
電アクチュエータ１０を示す図であって、（ａ）は正面
図、（ｂ）は縦断面図である。なお、これらの図中矢印
ＸＹＺは互いに直交する三方向を示している。
【００１５】静電アクチュエータ１０は、固定子２０
と、固定子２０に案内されて矢印Ｘ方向に沿って往復動
自在な可動子８０とを備えている。
と、固定子２０に案内されて矢印Ｘ方向に沿って往復動
自在な可動子８０とを備えている。
【００１６】固定子２０は、ホルダ３０と、固定子枠４
０と、この固定子枠４０に支持された一対の電極基板５
０，５０とを備えている。なお、図１及び図２中６０は
電極固定ピン（固定用部材）、７０は電力供給ピン（固
定用部材）を示している。
０と、この固定子枠４０に支持された一対の電極基板５
０，５０とを備えている。なお、図１及び図２中６０は
電極固定ピン（固定用部材）、７０は電力供給ピン（固
定用部材）を示している。
【００１７】ホルダ３０は、樹脂材により直方体状に形
成されたホルダ本体３１を備えている。このホルダ本体
３１には凹部３２，３３が形成されており、さらにこれ
ら凹部３２，３３の底部同士は貫通孔３４により連通し
ている。凹部３２の内径は固定子枠４０の外周が嵌合す
る大きさに形成されている。一方、凹部３３にはＣＣＤ
センサ３５が取り付けられており、その受光面３５ａが
貫通孔３４を介して凹部３２側に露出している。
成されたホルダ本体３１を備えている。このホルダ本体
３１には凹部３２，３３が形成されており、さらにこれ
ら凹部３２，３３の底部同士は貫通孔３４により連通し
ている。凹部３２の内径は固定子枠４０の外周が嵌合す
る大きさに形成されている。一方、凹部３３にはＣＣＤ
センサ３５が取り付けられており、その受光面３５ａが
貫通孔３４を介して凹部３２側に露出している。
【００１８】ホルダ本体３１には、複数の電力供給ピン
７０（図では８つ）が一体に成型されており、その先端
が曲成されている。電力供給ピン７０は外部の駆動回路
（不図示）と接続されている。
７０（図では８つ）が一体に成型されており、その先端
が曲成されている。電力供給ピン７０は外部の駆動回路
（不図示）と接続されている。
【００１９】固定子枠４０は四角枠状の樹脂材から形成
されており、対向する一対の電極支持部４１，４２と、
対向する一対の壁部４３，４４と、底壁部４５とを備え
ている。電極支持部４１，４２には、電極基板５０の矢
印Ｙ方向への移動を規制するための係合部４１ａ，４２
ａが形成されている。また、壁部４３，４４にはそれぞ
れ２つの切欠部４３ａ，４４ａが形成されている。これ
ら切欠部４３ａ，４４ａには４つの電極固定ピン６０が
取り付けられている。なお、電極固定ピン６０は板バネ
で形成されており、固定子枠４０と一体に成型されてい
る。
されており、対向する一対の電極支持部４１，４２と、
対向する一対の壁部４３，４４と、底壁部４５とを備え
ている。電極支持部４１，４２には、電極基板５０の矢
印Ｙ方向への移動を規制するための係合部４１ａ，４２
ａが形成されている。また、壁部４３，４４にはそれぞ
れ２つの切欠部４３ａ，４４ａが形成されている。これ
ら切欠部４３ａ，４４ａには４つの電極固定ピン６０が
取り付けられている。なお、電極固定ピン６０は板バネ
で形成されており、固定子枠４０と一体に成型されてい
る。
【００２０】電極基板５０はガラス基板５１から形成さ
れており、このガラス基板５１上には電極パターン５２
が形成されている。電極パターン５２は後述する可動子
８０の上下の電極面８２と対向する。電極パターン５２
は、可動子８０の移動方向に沿って形成された複数の系
統からなる電極を備えている。また、これら電極は接続
パッド５３と接続されている。
れており、このガラス基板５１上には電極パターン５２
が形成されている。電極パターン５２は後述する可動子
８０の上下の電極面８２と対向する。電極パターン５２
は、可動子８０の移動方向に沿って形成された複数の系
統からなる電極を備えている。また、これら電極は接続
パッド５３と接続されている。
【００２１】可動子８０は、四角筒状の可動子本体８１
を備えている。可動子本体８１の一対の対向する電極面
８２には凸状ストライプ電極が微細加工により形成され
ている。また、可動子本体８１にはレンズ群８３が支持
されている。
を備えている。可動子本体８１の一対の対向する電極面
８２には凸状ストライプ電極が微細加工により形成され
ている。また、可動子本体８１にはレンズ群８３が支持
されている。
【００２２】なお、ホルダ本体３１、固定子枠４０、可
動子本体８１は線膨張係数がほぼ等しい樹脂材から形成
されていることが好ましい。
動子本体８１は線膨張係数がほぼ等しい樹脂材から形成
されていることが好ましい。
【００２３】このような静電アクチュエータ１０は、次
のようにして組み立てられる。最初に、固定子枠４０に
電極基板５０を挿入する。この際、電極基板５０の表面
が電極固定ピン６０に当接し、電極固定ピン６０が撓
む。電極基板５０が底壁部４５に当接された時点で電極
基板５０が位置決めされる。同時に、電極固定ピン６０
の弾性力により電極基板５０が固定子枠４０に固定され
る。
のようにして組み立てられる。最初に、固定子枠４０に
電極基板５０を挿入する。この際、電極基板５０の表面
が電極固定ピン６０に当接し、電極固定ピン６０が撓
む。電極基板５０が底壁部４５に当接された時点で電極
基板５０が位置決めされる。同時に、電極固定ピン６０
の弾性力により電極基板５０が固定子枠４０に固定され
る。
【００２４】次に、固定子枠４０を電力供給ピン７０を
撓ませながらホルダ３０に挿入する。このとき、固定子
枠４０が上述したように、固定子枠４０の外周はホルダ
３０の凹部３３に嵌合する。このとき、電力供給ピン７
０の先端が電極基板５０の接続パッド５３に当接し、導
通する。また、同時に電力供給ピン７０の弾性力により
電極基板５０が固定子枠４０に固定される。
撓ませながらホルダ３０に挿入する。このとき、固定子
枠４０が上述したように、固定子枠４０の外周はホルダ
３０の凹部３３に嵌合する。このとき、電力供給ピン７
０の先端が電極基板５０の接続パッド５３に当接し、導
通する。また、同時に電力供給ピン７０の弾性力により
電極基板５０が固定子枠４０に固定される。
【００２５】上述したように本実施の形態に係る静電ア
クチュエータ１０は、電極固定ピン６０及び電力供給ピ
ン７０を用いて、固定子枠４０に電極基板５０を固定す
るようにしている。このため、電極基板５０と固定子枠
４０とを一体でモールド成形する方法等で発生する電極
基板５０のひずみを防止することができる。また、固定
子枠４０と電極基板５０とは接着剤で一体化していな
い。このため、固定子枠４０と電極基板５０とは線膨張
係数の違いがあるものの、温度変化によって電極基板５
０が固定子枠４０に対して摺動することになり、電極基
板５０の反り等が発生しない。したがって、電極基板５
０と可動子８０との隙間変動を最小限に抑えることがで
きる。したがって、常に安定した駆動力を発揮できる。
クチュエータ１０は、電極固定ピン６０及び電力供給ピ
ン７０を用いて、固定子枠４０に電極基板５０を固定す
るようにしている。このため、電極基板５０と固定子枠
４０とを一体でモールド成形する方法等で発生する電極
基板５０のひずみを防止することができる。また、固定
子枠４０と電極基板５０とは接着剤で一体化していな
い。このため、固定子枠４０と電極基板５０とは線膨張
係数の違いがあるものの、温度変化によって電極基板５
０が固定子枠４０に対して摺動することになり、電極基
板５０の反り等が発生しない。したがって、電極基板５
０と可動子８０との隙間変動を最小限に抑えることがで
きる。したがって、常に安定した駆動力を発揮できる。
【００２６】また、駆動回路から電力を供給するための
手段として電力供給ピン７０を用いることができるの
で、ＦＰＣ配線等を用いる必要がない。このため、ＦＰ
Ｃ配線を引き廻すための隙間を確保する必要がなく、全
体の構造を小型化することが可能となる。また、固定子
枠４０をホルダ３０に嵌合させるだけで電力供給が可能
となるため、組立工程が単純化され、製造コストを低減
させることが可能となる。
手段として電力供給ピン７０を用いることができるの
で、ＦＰＣ配線等を用いる必要がない。このため、ＦＰ
Ｃ配線を引き廻すための隙間を確保する必要がなく、全
体の構造を小型化することが可能となる。また、固定子
枠４０をホルダ３０に嵌合させるだけで電力供給が可能
となるため、組立工程が単純化され、製造コストを低減
させることが可能となる。
【００２７】さらに、ホルダ本体３１、固定子枠４０、
可動子本体８１は線膨張係数がほぼ等しい樹脂材から形
成されていることから温度変化に伴う歪みの発生を最小
限に抑えることができる。
可動子本体８１は線膨張係数がほぼ等しい樹脂材から形
成されていることから温度変化に伴う歪みの発生を最小
限に抑えることができる。
【００２８】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、常に安定した駆動力を
発揮できるとともに、小型化が可能となる。
発揮できるとともに、小型化が可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る静電アクチュエー
タを示す分解斜視図。
タを示す分解斜視図。
【図２】同静電アクチュエータを示す図であって、
（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断面図。
（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断面図。
【図３】従来の静電アクチュエータの一例を示す斜視
図。
図。
１０…静電アクチュエータ
２０…固定子
３０…ホルダ
４０…固定子枠
５０…電極基板
６０…電極固定ピン（固定用部材）
７０…電力供給ピン（固定用部材）
８０…可動子
Claims (4)
- 【請求項１】固定子と、この固定子に案内されて所定方
向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面に電極
が形成された可動子とを備えた静電アクチュエータにお
いて、 上記固定子は、樹脂材製の固定子枠と、この固定子枠に
取り付けられる電極基板と、この電極基板を上記固定子
枠に固定する固定用部材とを備えていることを特徴とす
る静電アクチュエータ。 - 【請求項２】上記固定用部材は、上記電極基板に外部か
ら電力を供給する電力供給ピンであることを特徴とする
請求項１に記載の静電アクチュエータ。 - 【請求項３】上記可動子と上記固定子枠と上記ベースと
は線膨張係数がほぼ等しいものであることを特徴とする
請求項１に記載の静電アクチュエータ。 - 【請求項４】上記可動子は、レンズを支持していること
を特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089946A JP3529768B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089946A JP3529768B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 静電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003289679A true JP2003289679A (ja) | 2003-10-10 |
| JP3529768B2 JP3529768B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=29235369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002089946A Expired - Fee Related JP3529768B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3529768B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007163749A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Fujinon Corp | レンズユニット |
| US7831139B2 (en) | 2008-01-28 | 2010-11-09 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Camera module with lens carrying structure using electrostatic driving unit |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002089946A patent/JP3529768B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007163749A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Fujinon Corp | レンズユニット |
| US7831139B2 (en) | 2008-01-28 | 2010-11-09 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Camera module with lens carrying structure using electrostatic driving unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3529768B2 (ja) | 2004-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10516348B2 (en) | MEMS actuator package architecture | |
| US7995297B2 (en) | Piezoelectric driving module, camera module using same and portable electronic device using same | |
| CN106233198B (zh) | 相机模块及光学装置 | |
| US20090085425A1 (en) | Flat Spring and Voice Coil Motor using the same | |
| CN106873119B (zh) | 应用热变驱动器的镜头组件和摄像模组及其自动对焦方法 | |
| US7830626B2 (en) | Resilient plate and lens actuator with same | |
| US11038439B2 (en) | Vibration-wave motor | |
| US20090290233A1 (en) | Lens actuator | |
| KR101938527B1 (ko) | 카메라 모듈 조립 지그 및 이를 활용한 카메라 모듈 조립 방법 | |
| US20090251798A1 (en) | Lens actuator and camera module with same | |
| JP6214232B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、交換用レンズ、撮像装置、及び自動ステージ | |
| JP2002300440A (ja) | 撮像装置 | |
| WO2021047635A1 (zh) | 摄像模组及移动终端 | |
| US20160028930A1 (en) | Camera Module | |
| JP2009025377A (ja) | 駆動ユニット及び駆動ユニットの製造方法 | |
| KR20090011918A (ko) | 고정자와 이를 갖는 압전 초음파 모터 | |
| JP3529766B2 (ja) | 静電アクチュエータ及びカメラモジュール | |
| JP3529768B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| KR100586755B1 (ko) | 카메라 유닛 및 그 제조 방법 | |
| KR102043896B1 (ko) | 카메라 모듈 | |
| JP3942621B2 (ja) | 静電駆動型光偏向素子 | |
| JP2008175946A (ja) | 光学モジュール、レンズ駆動装置及びカメラ付き携帯電話 | |
| CN219202100U (zh) | 光学单元 | |
| CN111258023A (zh) | 驱动装置、照相装置以及电子设备 | |
| JP7026934B2 (ja) | 駆動装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040105 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040217 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040225 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |