JP2003281781A - Optical recording medium and method for manufacturing the same - Google Patents

Optical recording medium and method for manufacturing the same

Info

Publication number
JP2003281781A
JP2003281781A JP2002079949A JP2002079949A JP2003281781A JP 2003281781 A JP2003281781 A JP 2003281781A JP 2002079949 A JP2002079949 A JP 2002079949A JP 2002079949 A JP2002079949 A JP 2002079949A JP 2003281781 A JP2003281781 A JP 2003281781A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
optical recording
layer
film
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002079949A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003281781A5 (en
JP3832737B2 (en
Inventor
Ryuichi Furukawa
龍一 古川
Tsutomu Hashiguchi
強 橋口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2002079949A priority Critical patent/JP3832737B2/en
Publication of JP2003281781A publication Critical patent/JP2003281781A/en
Publication of JP2003281781A5 publication Critical patent/JP2003281781A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3832737B2 publication Critical patent/JP3832737B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical recording medium of high density having the track pitch, the groove width and the minimum mark length shorter than those of a DVD+R/RW even though a special exposure device using an electron beam or the like is not used, in a multilayered structure type optical recording medium having a plurality of layers for recording and reproducing a signal by using light. <P>SOLUTION: The optical recording medium formed by laminating a substrate, a recording layer and a light transmission layer is characterized in that the light transmission layer consists of a heat shrinkable film and grooves and/or pits are formed on at least one surface of the heat shrinkable film. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光記録媒体とその製
造方法に関する。特に、高密度記録を可能とする光記録
媒体およびその製造方法に関わるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium and its manufacturing method. In particular, the present invention relates to an optical recording medium that enables high-density recording and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】書き込み、あるいは書き換え可能な光記
録媒体として、CD−Recordable/ReWr
itable(図1。以下、CD−R/RWと略す。)
やDVD+Recordable/ReWritabl
e(図2。以下、DVD+R/RWと略す。)が、既に
販売されている。CD−R/RW、ならびにDVD+R
/RWとも一般的には以下のような工程で作成されてい
る。書き換え可能なDVD+RWを例に取り、その工程
を説明する。図3に示すように、まず始めに、ガラス原
盤21上にレジスト剤22を塗布し(1)、レーザ光
(λ=Ar364 or Kr413nm、NA=0.
9)で露光してから(2)、現像処理することによって
得られた溝に、スパッタ法によりニッケルを成膜を行い
(3)、電解メッキ処理を施してニッケルファーザ盤2
4を形成する(4)。該ニッケルファーザ盤24をガラ
ス原盤から剥離された後(5)、内/外径をプレス金型
で打ち抜き、溝と対向面を研削しスタンパ26とする
(6)。次に、該スタンパ26を射出成形用金型に取り
つけ、射出成形などにより、厚さ0.6mmの基板を成
形する(7)。次に、該基板の溝部に、記録膜、ならび
に反射膜を製膜する(8)。最後に、二枚の基板を貼り
合わせて完成品(ここでは、DVD+RW)を得る
(9)。
2. Description of the Related Art As a writable or rewritable optical recording medium, a CD-Recordable / ReWr
itable (Fig. 1, hereinafter abbreviated as CD-R / RW)
And DVD + Recordable / ReWritable
e (FIG. 2, hereinafter abbreviated as DVD + R / RW) is already on sale. CD-R / RW and DVD + R
/ RW is generally created by the following steps. The process will be described by taking a rewritable DVD + RW as an example. As shown in FIG. 3, first, a resist material 22 is applied onto a glass master 21 (1), and laser light (λ = Ar364 or Kr413 nm, NA = 0.
After exposing in 9) (2), a nickel film is formed by a sputtering method in the groove obtained by the developing treatment (3), and electrolytic plating treatment is applied to perform nickel plating.
4 is formed (4). After the nickel father plate 24 is peeled off from the glass master plate (5), the inner / outer diameter is punched with a press die, and the groove and the facing surface are ground to form a stamper 26 (6). Next, the stamper 26 is attached to an injection molding die, and a substrate having a thickness of 0.6 mm is molded by injection molding or the like (7). Next, a recording film and a reflective film are formed in the groove of the substrate (8). Finally, the two substrates are bonded together to obtain a finished product (here, DVD + RW) (9).

【0003】更なる記録密度の向上要求に対し、DVD
+R/RWを超える記録密度の光記録媒体が提案されて
いる。例えば、特第2991443号、特開平8−23
5638号、特開平11−273147号に記載の光学
記録媒体は上記提案の一つである(表1)。レンズのN
Aを0.85とし、書き込み、あるいは読み込みのレー
ザ光の波長を405nmと短くすることにより、レーザ
スポット径をDVD+R/RWより更に小さくし、高密
度化を図る提案である。この高密度光記録媒体の構成
は、溝が形成された基板上に反射膜と記録膜(記録保護
膜を含む場合もある)が成膜され、光透過性の接着層
(例えば、紫外線硬化型樹脂等)から構成されている。
記録密度は20〜25GB、光透過層の厚さは0.1m
m、トラックピッチは0.30〜0.35μm、溝幅
0.15μm以下、最小マーク長0.13〜0.18μ
mである。上述の高密度光記録媒体は、CD−R/RW
やDVD+R/RWと比較し、トラックピッチ、溝幅、
最小マーク長が小さいため、一般的な露光機(λ=Ar
364 or Kr413nm、NA=0.9)では、
溝やピットを形成することが出来なかった。
In response to the demand for further improvement in recording density, DVD
Optical recording media having a recording density exceeding + R / RW have been proposed. For example, Japanese Patent Publication No. 2991443, JP-A-8-23.
The optical recording mediums described in JP-A-5638 and JP-A-11-273147 are one of the above proposals (Table 1). N of the lens
It is a proposal to make the laser spot diameter further smaller than that of DVD + R / RW by setting A to 0.85 and shortening the wavelength of the laser beam for writing or reading to 405 nm to achieve higher density. This high-density optical recording medium has a structure in which a reflective film and a recording film (which may include a recording protective film) are formed on a substrate on which a groove is formed, and a light-transmissive adhesive layer (for example, an ultraviolet curable type) is used. Resin etc.).
The recording density is 20 to 25 GB, and the thickness of the light transmission layer is 0.1 m.
m, track pitch 0.30 to 0.35 μm, groove width 0.15 μm or less, minimum mark length 0.13 to 0.18 μm
m. The above-mentioned high-density optical recording medium is a CD-R / RW.
Track pitch, groove width, compared to DVD + R / RW
Since the minimum mark length is small, a general exposure machine (λ = Ar
364 or Kr413nm, NA = 0.9),
It was not possible to form grooves or pits.

【0004】これら不具合を解決するために、レーザ光
の替わりに電子線を用いるスタンパ製作方法が提案され
ている。例えば、特開平11−288532、特開平1
1−288535号、特開平11−328750号等が
それにあたる。しかし、電子線露光機は、一般的なレー
ザ光より取り扱い性が困難、真空系が必要、装置コスト
が高い、更にレジスト剤も変更しなければならないとい
う欠点があった。
In order to solve these problems, a stamper manufacturing method using an electron beam instead of laser light has been proposed. For example, JP-A-11-288532 and JP-A-1
Examples thereof include 1-288535 and JP-A-11-328750. However, the electron beam exposure machine has drawbacks that it is more difficult to handle than general laser light, a vacuum system is required, the apparatus cost is high, and the resist agent must be changed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、光を用いて
信号を再生・記録する層を複数有する多層構造型の光記
録媒体において、電子線などの特殊な露光機を使用しな
くても、DVD+R/RWよりトラックピッチ、溝幅、
最小マーク長が小さい高密度光記録媒体を得ること、具
体的には、一般的な露光機(λ=Ar364あるいはK
r413nm、NA=0.9)やレジスト剤でも、露光
機のレーザ光スポット(例えば、364nm/0.9=
0.4μm)より小さいトラックピッチや溝幅を形成可
能にすることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a multilayer structure type optical recording medium having a plurality of layers for reproducing and recording signals by using light without using a special exposure device such as an electron beam. , DVD + R / RW, track pitch, groove width,
To obtain a high-density optical recording medium having a small minimum mark length, specifically, a general exposure device (λ = Ar364 or K
r413 nm, NA = 0.9) or a resist agent, the laser beam spot of the exposure device (for example, 364 nm / 0.9 =
The purpose is to be able to form a track pitch and groove width smaller than 0.4 μm.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板と、記録
層と、光透過層とが積層された光記録媒体において、該
光透過層が熱収縮フィルムからなり、且つ該熱収縮フィ
ルムの少なくとも一面に溝および/またはピットが形成
されていることを特徴とする光記録媒体を提供すること
により前記課題を解決することができた。
The present invention relates to an optical recording medium in which a substrate, a recording layer and a light transmitting layer are laminated, wherein the light transmitting layer is a heat shrink film, and the heat shrink film comprises The above problem can be solved by providing an optical recording medium having a groove and / or a pit formed on at least one surface.

【0007】本発明で使用する熱収縮フィルムとは、レ
ーザ光の波長を透過可能であり、且つ、ガラス転移点以
上、融点以下で、縦もしくは横方向だけ、または縦横二
方向に延伸して分子配向を与え、熱処理を制御して常温
では収縮せず、再加熱によって収縮特性を付与した、熱
収縮フィルムである。本発明で使用する熱収縮フィルム
は、熱収縮温度があまり低すぎると、一般環境(−20
〜40℃)下において、反りが発生し光記録媒体自体の
信頼性が低くなる。また収縮率が小さすぎると、トラッ
クピッチや溝幅を小さく出来ない。また、収縮の異方性
が大きいと、同心円状の溝が形成できない。したがっ
て、前記熱収縮フィルムは、等方性収縮、また、50℃
で10%以上の収縮率であることが好ましい。更に、前
記熱収縮フィルムとしては、比較的誘電体損の大きい熱
可塑性樹脂フィルムが好ましい。
The heat-shrinkable film used in the present invention is a molecule that is permeable to the wavelength of laser light and has a glass transition point or higher and a melting point or lower and is stretched only in the longitudinal or transverse direction or in the longitudinal and transverse directions. It is a heat-shrinkable film that is oriented, does not shrink at normal temperature by controlling heat treatment, and has shrinkage characteristics by reheating. If the heat shrink temperature is too low, the heat shrink film used in the present invention has a general environment (-20
(About -40 ° C), warpage occurs and the reliability of the optical recording medium itself becomes low. If the shrinkage ratio is too small, the track pitch and groove width cannot be reduced. If the shrinkage anisotropy is large, concentric circular grooves cannot be formed. Therefore, the heat-shrinkable film has an isotropic shrinkage and a temperature of 50 ° C.
It is preferable that the shrinkage rate is 10% or more. Further, as the heat shrinkable film, a thermoplastic resin film having a relatively large dielectric loss is preferable.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づき説
明する。 実施例1 図5および6に基づき、請求項1〜3の発明を説明す
る。図5において、光記録媒体1は、基板2、記録層
4、ならびに光透過層5が積層され、該光透過層5が熱
収縮フィルムからなり、且つ該熱収縮フィルム5の少な
くとも一面に溝、ピットが形成されている。また、該光
透過層5と基板2間は、接着層6により接合されてい
る。基板2には、厚さ1.1mmのポリカーボネイトを
用いたがこれに限るものではない。該光透過層5と基板
2の吸湿膨張量差(バイメタル効果)に起因する光記録
媒体の反り防止のために、光透過層と基板には同材質を
用いるのが良いが、高弾性率のプラスチックやガラス板
を用い、吸湿膨張量差に伴う反りを抑えても何ら問題は
ない。高弾性率のプラスチックとしては、ガラス繊維、
ガラスウィスカー、ならびに炭素繊維含有などが挙げら
れる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described below based on Examples. Embodiment 1 The inventions of claims 1 to 3 will be explained based on FIGS. 5 and 6. In FIG. 5, an optical recording medium 1 includes a substrate 2, a recording layer 4, and a light transmitting layer 5, which are laminated, the light transmitting layer 5 is made of a heat shrinkable film, and the heat shrinkable film 5 has a groove on at least one surface thereof. Pits are formed. Further, the light transmitting layer 5 and the substrate 2 are joined by an adhesive layer 6. Polycarbonate having a thickness of 1.1 mm was used as the substrate 2, but the substrate is not limited to this. In order to prevent the warp of the optical recording medium due to the difference in hygroscopic expansion between the light transmitting layer 5 and the substrate 2 (bimetal effect), it is preferable to use the same material for the light transmitting layer and the substrate, but it has a high elastic modulus. There is no problem even if a warp due to the difference in hygroscopic expansion is suppressed by using a plastic or glass plate. As the high elastic modulus plastic, glass fiber,
Examples include glass whiskers, carbon fiber inclusions, and the like.

【0009】記録層4は、反射膜を含んでいる。反射膜
の材質には、Au、Pt、Ag、Alやそれら元素を含
む合金が挙げられるがこれに限る物ではない。本発明に
おいては、価格や機能の面から、Al、あるいはAgを
主体とする無機化合物を用いた。記録膜の材質は、光や
熱によって屈折率や色相変化が生じる相変化型材料が挙
げられるが、これに限る物ではなく、単に、熱や光によ
って変化が生じる、穴あけ型、バブル型、テキスチャ型
でも問題はない。本発明においては、SbTe化合物を
主体とした材料に、数種の元素を添加したカルコゲン系
材料を用いている。また、該記録膜を保護するために、
誘電体(例えば、SiO−ZnS)膜を該記録膜の上
下に積層し、記録層を構成している。また、記録膜に有
機色素を用いても何ら問題はない。該有機色素を用いた
光記録媒体は、前記誘電体膜が不要となる。一方、RO
Mの場合は、記録膜や誘電体膜はなく、反射膜のみで構
成されている。
The recording layer 4 includes a reflective film. Examples of the material of the reflective film include Au, Pt, Ag, Al, and alloys containing these elements, but are not limited thereto. In the present invention, an inorganic compound mainly containing Al or Ag is used in terms of price and function. Examples of the material of the recording film include phase change type materials that cause a change in refractive index and hue due to light and heat, but are not limited to this, and are merely holes, bubble types, and textures that change due to heat and light. There is no problem with the type. In the present invention, a chalcogen-based material obtained by adding several kinds of elements to a material mainly containing an SbTe compound is used. Further, in order to protect the recording film,
A dielectric (eg, SiO 2 —ZnS) film is laminated on and under the recording film to form a recording layer. Further, there is no problem even if an organic dye is used for the recording film. The optical recording medium using the organic dye does not require the dielectric film. On the other hand, RO
In the case of M, there is no recording film or dielectric film, and only the reflective film is used.

【0010】光透過層5(溝あるいはピットが形成され
た熱収縮フィルム)には、ポリカーボネイト、アクリル
樹脂、あるいはポレオレフィン系の熱可塑性樹脂が挙げ
られるがこれに限るものではない。本実施例では、厚さ
0.1mmのポリカーボネイト、ポリエチレンレレフタ
レートあるいは非晶質ポレオレフィンフィルムで、50
℃以上の環境下で熱収縮50%の材質を使用している。
接着層6の材質には、アクリル系の紫外線硬化型樹脂を
用いたが、これに限るものではない。ホットメルトや両
面粘着剤等の接着剤、あるいは熱可塑性フィルムを融着
しても良く、単に基板と光透過層が剥がれなければ良
い。
Examples of the light transmitting layer 5 (heat shrinkable film having grooves or pits) include, but are not limited to, polycarbonate, acrylic resin, and polyolefin resin. In this embodiment, a polycarbonate, polyethylene relephthalate or amorphous polyolefin film having a thickness of 0.1 mm is used.
A material with 50% heat shrinkage is used in an environment of ℃ or above.
Acrylic ultraviolet curable resin was used as the material of the adhesive layer 6, but the material is not limited to this. An adhesive such as a hot melt or a double-sided pressure-sensitive adhesive, or a thermoplastic film may be fused, as long as the substrate and the light transmitting layer are not separated.

【0011】図6に基づき、前記光記録媒体の製造プロ
セスを(1)〜(8)工程に分け説明する。 (1)ガラス原盤上にレジスト剤22を塗布する。レジ
スト剤22には露光部が現像液に溶解するポジ型を使用
した。塗布にあたってはHMDS(ヘキサメチルジシラ
ザン)などの密着補強剤を併用している。密着補強剤を
ガラス原盤に滴下し、スピナーで回転展伸した後、乾燥
後、同じスピナーを用いてレジスト剤を塗布する。塗布
後レジスト膜から溶剤を除去する目的でプリベーク処理
を行い、所定のレジスト膜厚を得る。また、ガラス原盤
の材質としては青板ガラスと呼ばれる直径φ300mm
のソーダライムガラスを使用したがこれに限るものでは
ないが、ガラス表面を粒径0.5μm以下の酸化セリウ
ムのスリラーを用いて研磨し、スクラバーなどを用い
て、ある粗さまで仕上げる必要があり、比較的表面粗さ
が細かく出来る材質であれば、何ら問題はない。 (2)露光機により露光する。露光には、Krレーザ4
13nm、NA=0.9の光学系を用いて、トラックピ
ッチ0.70μm、溝幅0.3μm、溝深さ60nmを
露光したが、ROMに使用されるピットを露光しても良
い。 (3)現像処理することによって得られた溝3に、導電
化処理23を施す。導電化膜の材質には、一般的にAg
やNiが用いられる。本実施例では、スパッタ法により
Niを成膜した。成膜方法は無電解メッキでも良く、ま
た、真空蒸着法によりAgを成膜しても良いが、本発明
においては、スパッタ法で得られるNi膜質が密であ
り、次工程の電鋳で得られるニッケルファーザと同一金
属で一体化した表面層が得られ、ファーザをそのままス
タンパとして使用できることから、ニッケルを用いた。 (4)電解メッキ処理を施してニッケルファーザ盤24
を形成する。 (5)該ニッケルファーザ盤24をガラス原盤から剥離
された後、内/外径をプレス金型で打ち抜き、溝と対向
面を研削しスタンパ26とする。 (6)該スタンパ26を成形用金型、あるいはドラムに
取りつけ、熱収縮フィルムに溝、あるいはピットを成形
熱転写する。 (7)熱収縮フィルムに熱処理を施し、収縮させ光透過
層を形成する。 (8)光透過層5の溝、あるいはピット表面に記録層4
をスパッタ法で成膜する。 (9)最後に、射出成形で得られた厚さ1.1mmの基
板2に貼りつけ、光記録媒体を得る。
The manufacturing process of the optical recording medium will be described by dividing it into steps (1) to (8) with reference to FIG. (1) Apply the resist agent 22 on the glass master. The resist agent 22 used was a positive type in which the exposed portion was dissolved in the developing solution. In coating, an adhesion reinforcing agent such as HMDS (hexamethyldisilazane) is also used. The adhesion reinforcing agent is dropped on a glass master, spin-rolled with a spinner, dried, and then coated with a resist agent using the same spinner. After the application, a pre-baking process is performed for the purpose of removing the solvent from the resist film to obtain a predetermined resist film thickness. Also, as the material for the glass master, a diameter of 300 mm called soda lime glass
Although soda lime glass of was used, but it is not limited to this, it is necessary to polish the glass surface with a cerium oxide chiller having a particle size of 0.5 μm or less and to finish it to a certain roughness with a scrubber, There is no problem as long as the material has a relatively fine surface roughness. (2) Exposing with an exposure machine. Kr laser 4 for exposure
An optical system of 13 nm and NA = 0.9 was used to expose a track pitch of 0.70 μm, a groove width of 0.3 μm, and a groove depth of 60 nm, but pits used in ROM may be exposed. (3) Conductivity treatment 23 is applied to the groove 3 obtained by the development treatment. Generally, the material of the conductive film is Ag.
And Ni are used. In this embodiment, a Ni film is formed by the sputtering method. The film forming method may be electroless plating or may be Ag film forming by a vacuum vapor deposition method. However, in the present invention, the Ni film quality obtained by the sputtering method is dense, and it is obtained by electroforming in the next step. Nickel was used because a surface layer made of the same metal as that of the obtained nickel father was integrated and the father could be used as it is as a stamper. (4) Nickel father board 24 after electrolytic plating
To form. (5) After the nickel father board 24 is separated from the glass master board, the inner / outer diameter is punched out by a press die, and the groove and the facing surface are ground to form a stamper 26. (6) The stamper 26 is attached to a molding die or a drum, and grooves or pits are transferred by molding heat on a heat shrinkable film. (7) The heat-shrinkable film is heat-treated and shrunk to form a light-transmitting layer. (8) The recording layer 4 is formed on the groove of the light transmitting layer 5 or on the pit surface.
Is formed by a sputtering method. (9) Finally, it is attached to the substrate 2 having a thickness of 1.1 mm obtained by injection molding to obtain an optical recording medium.

【0012】以上の工程を経て得られた光記録媒体は、
トラックピッチ0.35μm、溝幅0.15μm、溝深
さ30nmであり、熱収縮フィルムを使用しているの
で、電子線などの特殊な露光機を使用しなくても、露光
機のレーザビーム径より狭いトラックピッチ、溝幅の光
記録媒体を得ることが出来る。また、該透過層は一般的
な環境下(−20〜40℃)において、熱収縮を生じな
い材質を使用しているため、経時的な反り変化が生じな
い。
The optical recording medium obtained through the above steps is
The track pitch is 0.35 μm, the groove width is 0.15 μm, and the groove depth is 30 nm. Since a heat-shrinkable film is used, the laser beam diameter of the exposure machine can be used without using a special exposure machine such as an electron beam. An optical recording medium having a narrower track pitch and groove width can be obtained. Further, since the permeable layer is made of a material that does not cause heat shrinkage under a general environment (-20 to 40 ° C), it does not change with time.

【0013】実施例2 図7および8に基づき、本発明で使用する熱収縮フィル
ムについて説明する。図7は実施例1で説明した
(6)、(7)工程を説明するための二軸延伸押出し成
形機(テンター法やフラット法と一般的に呼ばれてい
る)の概略図である。押出し成形機は、主に、押出し
部、延伸部、熱転写部、熱収縮部、冷却部、ならびに巻
き取り部から構成されている。ホッパへ乾燥した樹脂を
供給し、押出し部で樹脂を溶融後、Tダイスリットから
押出された溶融樹脂は、延伸部において、延伸され(遅
駆動ロールと、速駆動ロールの間の加熱ロールで縦方向
に延伸され、次いでテンターに入り、フィルム両端を保
持したまま加熱され、横方向に延伸する。)、フィルム
化される。延伸部は0.1℃単位での温度コントロール
や温度勾配制御が可能である。また、本実施例において
は、一般的なTダイを用いているが、この他溶液流延法
(キャスティング法)やカレンダー法でも良い。
Example 2 A heat shrinkable film used in the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 is a schematic view of a biaxial stretch extrusion molding machine (generally called a tenter method or a flat method) for explaining the steps (6) and (7) described in Example 1. The extrusion molding machine mainly includes an extrusion unit, a stretching unit, a heat transfer unit, a heat shrinking unit, a cooling unit, and a winding unit. After supplying the dried resin to the hopper and melting the resin in the extruding section, the molten resin extruded from the T-die slit is stretched in the stretching section (longitudinal by a heating roll between the slow drive roll and the fast drive roll). Direction, then enters the tenter, is heated while holding both ends of the film, and is stretched in the transverse direction.) To form a film. In the stretching part, temperature control and temperature gradient control in units of 0.1 ° C. are possible. Further, in this embodiment, a general T-die is used, but other solution casting method (casting method) or calender method may be used.

【0014】次に、熱転写部でスタンパの溝やピットを
フィルムに転写する。この熱転写を図8に基づいて説明
する。図8においては、ドラム41にスタンパ26が取
付られ、該ドラムの内表面にはヒータ43が塗膜されて
いるため、その温度を自由に制御できる。更に、二個の
ドラムそれぞれは、上下に稼動可能であり、フィルムに
圧力を与えることが出来ることから、該溝やピットの転
写性を自由に制御可能である。本実施例においては、前
記ドラムを用いたがこれに限るものではなく、金型等を
用いても良い。次に、熱収縮フィルム42が熱収縮部で
再加熱され熱収縮する。該熱収縮部も0.1℃単位での
温度コントロールや温度勾配制御が可能である。最後
に、冷却部において冷却され、光透過層が得られる。
Next, the grooves and pits of the stamper are transferred to the film at the thermal transfer section. This thermal transfer will be described with reference to FIG. In FIG. 8, since the stamper 26 is attached to the drum 41 and the heater 43 is coated on the inner surface of the drum 41, the temperature can be freely controlled. Furthermore, since each of the two drums can be moved up and down and pressure can be applied to the film, the transferability of the grooves and pits can be freely controlled. Although the drum is used in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and a mold or the like may be used. Next, the heat-shrinkable film 42 is reheated in the heat-shrinkable portion and heat-shrinked. The heat-shrinkable portion can also be temperature-controlled and temperature-gradient controlled in units of 0.1 ° C. Finally, it is cooled in the cooling unit to obtain the light transmission layer.

【0015】本実施例の光透過層は、厚さが30μm以
上である。従って、一般的な二軸延伸押出し成形機の一
部を改良するだけで、厚さ30μm以上の光透過層を形
成可能である。該光透過層の厚さが30μm以下になる
と、これ以降の工程(打ち抜き、成膜、貼り合わせ)で
のハンドリングが非常に困難となったり、また、熱容量
が小さいため、記録層の成膜方法に制限が加わる。一
方、延伸部や熱転写部においては、温度、テンション、
圧力等の制御が可能であり、熱収縮フィルムの収縮率を
比較的自由に調整できる。
The light transmitting layer of this embodiment has a thickness of 30 μm or more. Therefore, it is possible to form the light transmission layer having a thickness of 30 μm or more only by improving a part of a general biaxially-stretching and extruding machine. When the thickness of the light transmission layer is 30 μm or less, handling in subsequent steps (punching, film formation, bonding) becomes very difficult, and the heat capacity is small, so that the recording layer film formation method. Will be restricted. On the other hand, in the stretching section and the thermal transfer section, the temperature, tension,
The pressure and the like can be controlled, and the shrinkage rate of the heat shrinkable film can be adjusted relatively freely.

【0016】実施例3 図9に基づき、請求項4の光記録媒体を説明する。実施
例1、2で製作された記録層4を具備した厚さ0.1m
mの光透過層5’と、一般的な射出成形、あるいは射出
圧縮成形によって成形された厚さ1.2mmの溝付き基
板上に第二の記録層4を成膜した基板を、紫外線硬化樹
脂で貼り合わせてある。各基板は780nmのレーザ光
(3’’)に対し、透過率が88%以上のポリカーボネ
イトが使用されている。特に材料の指定はないが、実施
例1で詳述した反り信頼性を確保するため、光透過層と
同材質を使用している。本実施例の光記録媒体は、基板
側がCD−R/RWの規格に準拠した溝が形成され、一
方、反対側は実施例1で製作した高密度記録媒体の溝が
形成されている。
Example 3 An optical recording medium according to claim 4 will be described with reference to FIG. The recording layer 4 manufactured in Examples 1 and 2 and having a thickness of 0.1 m
m light transmitting layer 5 ′ and a substrate having a second recording layer 4 formed on a 1.2 mm-thick grooved substrate formed by general injection molding or injection compression molding. Pasted together. Polycarbonate having a transmittance of 88% or more for 780 nm laser light (3 ″) is used for each substrate. Although no particular material is specified, the same material as that of the light transmission layer is used in order to secure the warpage reliability described in detail in the first embodiment. In the optical recording medium of this example, the substrate side is formed with grooves conforming to the CD-R / RW standard, while the opposite side is formed with the grooves of the high density recording medium manufactured in Example 1.

【0017】ある映像や写真などを広告として配布、あ
るいはパーソナルビデオなどを記録保存し家族間で視聴
する場合、その光記録媒体を読み取るドライブが必要に
なる。DVD+R/RWや本発明における高密度記録媒
体は、現段階では、CD−R/RWに比べると普及され
ていない。本発明は、そういったユーザのため、片面が
0.65GBのCD−R/RWに準拠したものを片面に
具備してある(CD−R/RWは一般的なパーソナルコ
ンピュータの装備されたCD−ROMでも読み取りが可
能である。)。もちろん容量が小さすぎるため、対向面
の高密度記録媒体のダイジェスト盤となる。一方、溝の
変わりにROMに使用されるピットでももちろん良い。
When a certain image or photograph is distributed as an advertisement, or when a personal video or the like is recorded and stored and viewed by a family, a drive for reading the optical recording medium is required. The DVD + R / RW and the high-density recording medium in the present invention are not popular at this stage as compared with the CD-R / RW. For such a user, the present invention is provided with one side compliant with the CD-R / RW of 0.65 GB on one side (CD-R / RW is a CD-ROM equipped with a general personal computer). But it can be read.) Of course, since the capacity is too small, it serves as a digest board for the high-density recording medium on the facing surface. On the other hand, of course, pits used for ROM instead of grooves may be used.

【0018】実施例4 図10に基づき、請求項5の光記録媒体を説明する。本
実施例は、光記録媒体の記録層が二層化されたものであ
る。第一の光透過層5(厚さ30μm)の両面に溝を形
成し、該溝上に第一と第二の記録層4と4’を成膜す
る。次に、射出成形によって成形された厚さ1.1mm
の基板2に、接着層(紫外線硬化樹脂)で貼り合わせた
後、第二の記録層(4’)の表面に厚さ0.1mmの第
二の光透過層5’を融着している。対向面の接着層6と
して、紫外線硬化樹脂の他、両面粘着剤や熱可塑性でも
問題ない。厚さ0.1mmの第二の光透過層5’として
熱可塑性フィルムを融着したが、これも片面粘着剤(ポ
リカーボネイトフィルムの片面に粘着剤を付与したも
の)、ポリカーボネイトフィルムを紫外線硬化樹脂で貼
り合わせても、あるいは紫外線硬化樹脂のみでも良い。
本実施例の光記録媒体は、実施例1の記録容量を二倍
(40〜50GB)に出来る。
Example 4 An optical recording medium according to claim 5 will be described with reference to FIG. In this embodiment, the recording layer of the optical recording medium is made into two layers. Grooves are formed on both sides of the first light transmitting layer 5 (thickness 30 μm), and the first and second recording layers 4 and 4 ′ are formed on the grooves. Next, the thickness of 1.1mm molded by injection molding
After being bonded to the substrate 2 of 1. with an adhesive layer (ultraviolet curable resin), a second light transmitting layer 5'having a thickness of 0.1 mm is fused to the surface of the second recording layer (4 '). . As the adhesive layer 6 on the facing surface, a double-sided adhesive or thermoplastic resin may be used in addition to the ultraviolet curable resin. A thermoplastic film was fused as the second light-transmitting layer 5 ′ having a thickness of 0.1 mm, but this was also a single-sided adhesive (a polycarbonate film with an adhesive on one side), a polycarbonate film with an ultraviolet curable resin. They may be attached to each other, or may be only an ultraviolet curable resin.
The optical recording medium of the present embodiment can double the recording capacity of the first embodiment (40 to 50 GB).

【0019】実施例5 図11および12に基づき、請求項6の発明を説明す
る。図11は本実施例における光記録媒体の構成を示
し、図12はその製造プロセスを示している。本実施例
における、光記録媒体は、基板、第一の光透過層5、第
一の記録層4、第二の光透過層5’、第二の記録層
4’、第三の光透過層5’’と準次積層して製作され
る。厚さ1.1mmの基板2を一般的な射出成形で成形
する(2)。次に、実施例1で作成された第一の溝付き
熱収縮フィルム(第一の光透過層)を熱で基板2に融着
する(2)。この際、第一の記録層は成膜されていな
い。次に、第一の光透過層5の内/外径をプレス金型で
打ち抜いた後、第一の記録層4をスパッタ法で成膜する
(3)。次に、第二の溝付き熱収縮フィルム(第二の光
透過層)を第一の光透過層に熱融着し、内/外径を打ち
抜き、第二の記録層を成膜する(4)。最後に、厚さ
0.1mmの第三の光透過層を融着し、光記録媒体を得
る(5)。実施例1〜4と比較し、スパッタされる基板
の熱容量が大きいため、一般的なスパッタ装置で成膜し
ても、基板や溝が溶融することがなく、高容量(40〜
50GB)の光記録媒体を製作出来る。
Embodiment 5 The invention of claim 6 will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 shows the structure of the optical recording medium in this embodiment, and FIG. 12 shows its manufacturing process. The optical recording medium in this embodiment includes a substrate, a first light transmitting layer 5, a first recording layer 4, a second light transmitting layer 5 ′, a second recording layer 4 ′, and a third light transmitting layer. It is manufactured by quasi-layering with 5 ''. The substrate 2 having a thickness of 1.1 mm is molded by general injection molding (2). Next, the first heat-shrinkable film with grooves (first light-transmitting layer) prepared in Example 1 is fused to the substrate 2 by heat (2). At this time, the first recording layer is not formed. Next, after the inner / outer diameters of the first light transmitting layer 5 are punched out by a press die, the first recording layer 4 is formed by a sputtering method (3). Next, the second grooved heat-shrinkable film (second light-transmitting layer) is heat-sealed to the first light-transmitting layer, the inner / outer diameter is punched, and the second recording layer is formed (4 ). Finally, a third light transmitting layer having a thickness of 0.1 mm is fused to obtain an optical recording medium (5). Compared with Examples 1 to 4, since the heat capacity of the substrate to be sputtered is large, even if the film is formed by a general sputtering apparatus, the substrate and the groove are not melted, and the high capacity (40 to 40
An optical recording medium of 50 GB) can be manufactured.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】[0021]

【発明の効果】1.請求項1〜3 熱収縮フィルムを使用しているので、電子線などの特殊
な露光機を使用しなくても、露光機のレーザビーム径よ
り狭いトラックピッチ、溝幅の光記録媒体を得ることが
出来る。また、光透過層は一般的な環境下(−20〜4
0℃)において、熱収縮を生じない材質を使用している
ため、経時的な反り変化が生じない。 2.請求項4 少なくとも片面がCD−R/RWに準拠した溝、あるい
はCD−ROMに準拠した溝および/またはピットが形
成されているので、一般的に普及しているCD−ROM
ドライブでも記録内容を読む事が可能である。 3.請求項5 記録層を少なくとも二層以上有しているため、高容量の
光記録媒体を提供出来る。具体的には40〜50GB以
上の記録容量となる。 4.請求項6 基板、第一の透過層、第一の記録層、第二の透過層、第
二の記録層、カバー層と準次積層しているので、一般的
なスパッタ装置で成膜しても、基板や溝が溶融すること
がなく、高容量(40〜50GB)の光記録媒体を製作
出来る。
Effect of the Invention Since the heat shrink film is used, an optical recording medium having a track pitch and a groove width narrower than the laser beam diameter of the exposure machine can be obtained without using a special exposure machine such as an electron beam. Can be done. In addition, the light transmission layer is under a general environment (-20 to 4).
At 0 ° C., since a material that does not cause heat shrinkage is used, warpage does not change over time. 2. 4. A CD-ROM that is generally popular because at least one surface is formed with a groove conforming to CD-R / RW or a groove and / or pit conforming to CD-ROM.
It is possible to read the recorded contents with the drive. 3. A fifth aspect of the present invention is capable of providing a high-capacity optical recording medium because it has at least two recording layers. Specifically, the recording capacity is 40 to 50 GB or more. 4. 6. A substrate, a first transparent layer, a first recording layer, a second transparent layer, a second recording layer, and a cover layer, which are quasi-laminated, are formed by a general sputtering apparatus. However, a high capacity (40 to 50 GB) optical recording medium can be manufactured without melting the substrate or the groove.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光記録媒体(CD−R/RW)の構造を示す模
式的な断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of an optical recording medium (CD-R / RW).

【図2】光記録媒体(DVD+R/RW)の構造を示す
模式的な断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of an optical recording medium (DVD + R / RW).

【図3】光記録媒体(DVD+RW)の製造工程を示す
図である。
FIG. 3 is a diagram showing a manufacturing process of an optical recording medium (DVD + RW).

【図4】本発明における光記録媒体の構造を示す模式的
な断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a structure of an optical recording medium according to the present invention.

【図5】実施例1における、光記録媒体の構造を示す模
式的な断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the optical recording medium in Example 1.

【図6】実施例1における、光記録媒体の製造工程を説
明する図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process of the optical recording medium according to the first embodiment.

【図7】実施例2における、光記録媒体の製造装置を説
明する図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating an optical recording medium manufacturing apparatus according to a second embodiment.

【図8】実施例2における、光記録媒体の製造装置の熱
転写部を説明する図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a thermal transfer unit of an optical recording medium manufacturing apparatus according to a second exemplary embodiment.

【図9】実施例3における、光記録媒体の構造を示す模
式的な断面図である。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the optical recording medium in Example 3.

【図10】実施例4における、光記録媒体の構造を示す
模式的な断面図である。
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the optical recording medium in Example 4.

【図11】実施例5における、光記録媒体の構造を示す
模式的な断面図である。
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the optical recording medium in Example 5.

【図12】実施例3における、光記録媒体の製造工程を
説明する図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating the manufacturing process of the optical recording medium in Example 3.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光記録媒体 2 基板 3 溝および/またはピット 4 記録層 4’ 記録層 5, 光透過層 5’ 光透過層 5’’ 光透過層 6 接着層 7 センター穴 8 印刷層(印刷レーベル) 9 反射膜 10 誘電体膜 11 記録膜 12 トラックピッチ 12’ トラックピッチ 13 溝幅 14 溝深さ 21 ガラス原盤 22 レジスト剤 23 導電化処理(ニッケル成膜) 24 ニッケルファーザ盤 25 内径 26 スタンパ 31 レンズ 31’ レンズ 31’’ レンズ 32 レーザ光 32’ レーザ光 32’’ レーザ光 41 スタンパ付きドラム 42 (熱収縮)フィルム 43 ヒータ 1 Optical recording medium 2 substrates 3 grooves and / or pits 4 recording layers 4'recording layer 5, light transmission layer 5'light transmitting layer 5 '' light transmitting layer 6 Adhesive layer 7 Center hole 8 print layers (print label) 9 Reflective film 10 Dielectric film 11 Recording film 12 track pitch 12 'track pitch 13 Groove width 14 Groove depth 21 glass master 22 Resist agent 23 Conductivity treatment (nickel film formation) 24 Nickel Father Edition 25 inner diameter 26 Stamper 31 lens 31 'lens 31 '' lens 32 laser light 32 'laser light 32 '' laser light 41 Drum with stamper 42 (heat shrink) film 43 heater

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/24 538 G11B 7/24 538R ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G11B 7/24 538 G11B 7/24 538R

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、記録層と、光透過層とが積層さ
れた光記録媒体において、光透過層が熱収縮フィルムか
らなり、且つ該熱収縮フィルムの少なくとも一面に溝お
よび/またはピットが形成されていることを特徴とする
光記録媒体。
1. An optical recording medium in which a substrate, a recording layer and a light transmitting layer are laminated, wherein the light transmitting layer comprises a heat shrink film, and grooves and / or pits are formed on at least one surface of the heat shrink film. An optical recording medium characterized by being formed.
【請求項2】 前記熱収縮フィルムが熱可塑性樹脂で構
成され、かつ等方性収縮性であることを特徴とする請求
項1に記載の光記録媒体。
2. The optical recording medium according to claim 1, wherein the heat-shrinkable film is made of a thermoplastic resin and isotropically shrinkable.
【請求項3】 前記熱収縮フィルムは50℃以上の環境
下において、10%以上熱収縮することを特徴とする、
請求項1または2に記載の光記録媒体。
3. The heat-shrinkable film is heat-shrinkable by 10% or more in an environment of 50 ° C. or higher,
The optical recording medium according to claim 1.
【請求項4】 基板と、記録層と、光透過層とが少なく
とも積層された光記録媒体であって、前記光透過層の両
面に溝および/またはピットが形成され、かつ、少なく
とも前記光透過層の片面の溝および/またはピットがC
D−R/RWの規格に準拠したものであることを特徴と
する、請求項1〜3のいずれかに記載の光記録媒体。
4. An optical recording medium in which at least a substrate, a recording layer, and a light transmission layer are laminated, wherein grooves and / or pits are formed on both surfaces of the light transmission layer, and at least the light transmission layer is formed. The grooves and / or pits on one side of the layer are C
The optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, which is compliant with the D-R / RW standard.
【請求項5】 基板、両面に溝および/またはピットが
形成され少なくとも二層以上の第1の光透過層、該第1
の光透過層の溝および/またはピット上に形成された記
録層、および第2の光透過層が少なくとも積層して構成
された構造であることを特徴とする、請求項1〜4のい
ずれかの項に記載の光記録媒体。
5. A substrate, at least two or more first light transmission layers having grooves and / or pits formed on both sides thereof;
5. The recording layer formed on the groove and / or the pit of the light transmitting layer, and the second light transmitting layer are at least laminated to form a structure. The optical recording medium according to the item.
【請求項6】 基板と、少なくとも二層以上の記録層
と、少なくとも二層以上の光透過層が積層された光記録
媒体において、該光透過層と記録層の一対が少なくとも
二対以上順に積層され、且つ一対同士が融着により積層
されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに
記載の光記録媒体の製造方法。
6. An optical recording medium in which a substrate, at least two or more recording layers, and at least two or more light transmitting layers are laminated, and at least two pairs of the light transmitting layers and the recording layers are laminated in order. The optical recording medium manufacturing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the pair is laminated by fusion bonding.
JP2002079949A 2002-03-22 2002-03-22 Optical recording medium and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP3832737B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002079949A JP3832737B2 (en) 2002-03-22 2002-03-22 Optical recording medium and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002079949A JP3832737B2 (en) 2002-03-22 2002-03-22 Optical recording medium and manufacturing method thereof

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003281781A true JP2003281781A (en) 2003-10-03
JP2003281781A5 JP2003281781A5 (en) 2005-07-21
JP3832737B2 JP3832737B2 (en) 2006-10-11

Family

ID=29229190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002079949A Expired - Fee Related JP3832737B2 (en) 2002-03-22 2002-03-22 Optical recording medium and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3832737B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005112017A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Fujifilm Corporation Optical information recording carrier

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005112017A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Fujifilm Corporation Optical information recording carrier

Also Published As

Publication number Publication date
JP3832737B2 (en) 2006-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3763763B2 (en) Manufacturing method of optical information recording medium
CN100390885C (en) Optical information recording medium and method for producing the same
JPH11120617A (en) Optical record medium
US6599385B1 (en) Manufacturing method of a multi-layer optical information recording carrier
US20040002018A1 (en) Manufacturing method of optical disc and optical disc thereby
US6210609B1 (en) Method of manufacturing optical recording medium
JP2000067468A (en) Optical disk and its production
JP2003203402A (en) Method of manufacturing optical information recording medium and optical information recording medium
US6440516B1 (en) Optical disc
JP4066489B2 (en) Optical recording medium and manufacturing method thereof
JP3832737B2 (en) Optical recording medium and manufacturing method thereof
EP1816643B1 (en) Optical disk and method for manufacturing optical disk
US6797090B2 (en) Production method of multi-layer information record carriers
JPH0660423A (en) Thin optical recording medium
JP2001043572A (en) Method for recycling optical disk, and recycled optical disk
JPH09147417A (en) Optical recording medium and its production
JPH06274940A (en) Optical disk and its production
JP4088884B2 (en) Manufacturing method of optical disk
JP2001189034A (en) Optical recording medium and method of manufacture therefor
JPH11110816A (en) Optical recording medium and formation of image
JP2007133970A (en) Optical recording medium and manufacturing method of the same
JP2002170284A (en) Optical information carrier and its manufacturing method
JPH11345431A (en) Information recording medium
JP3443263B2 (en) Manufacturing method of information storage medium
JP2002117578A (en) Optical recording medium and method of manufacturing the same and recording and reproducing method

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20041118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041202

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041202

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20051017

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060410

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060420

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060619

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060713

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060713

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3832737

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees