JP2003279264A - 温間等方圧加圧装置の温度制御方法及び温度制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温間等方圧加圧装置において、圧力容器内に
被処理物と共に液体より成る圧媒を充填してこの圧力容
器内で加圧処理を行わせる場合にあって、圧媒が液体で
あるために圧力容器内へヒータを設けることができず、
そのため圧媒の温度制御が困難であった。 【解決手段】 圧力容器３内の圧媒温度を測定し、この
測定温度を所定の設定温度と比較して得られた温度差に
基づいて、圧力容器３内に対する昇減圧速度を制御す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、温間等方圧加圧装
置の温度制御方法及び温度制御装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】温間等方圧加圧装置（一般に「ＷＩＰ」
等と略称されている）は、圧力容器内に被処理物を装填
してこの圧力容器内を昇圧又は減圧させることで、被処
理品に対する加圧処理を行わせるものである。この温間
等方圧加圧装置では、圧力容器内を昇圧又は減圧させる
ための圧媒として、水単独、又は水と水溶性油との混合
物、又はシリコン油等、液体を使用している。

【０００３】この点で、アルゴンガス等の気体を圧媒と
して使用する熱間等方圧加圧装置（一般に「ＨＩＰ」等
と略称されている）とは異なっている。すなわち、熱間
等方圧加圧装置では、圧媒が気体であるために圧力容器
内にヒータを設けることが可能であり、従ってこのヒー
タの制御によって加圧中の温度制御をすることが比較的
簡単に行えるが、これに対して温間等方圧加圧装置で
は、圧媒が液体であることから圧力容器内にヒータを設
けることは絶縁の問題等から実現できず、従って昇圧中
又は減圧中の温度制御は、難しいという一面を有してい
る。

【０００４】従来、温間等方圧加圧装置での一般的な温
度制御は、圧力容器を取り囲むように設けたジャケット
部に熱媒又は冷媒を流通させて、これにより圧力容器を
加熱又は冷却させることをもって、間接的に、圧力容器
内の圧媒を加熱又は冷却させるようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】温間等方圧加圧装置に
おいて、圧力容器はその周壁が分厚く形成されている。
そのため、ジャケット部内を流通させる冷媒又は熱媒に
よって圧力容器自体を冷却又は加熱しようとしても、そ
の温度変化は応答性の悪いものであり、従って当然に、
圧力容器内の圧媒を冷却又は加熱させにくい（応答性に
劣る）ものとなっている。そのため、昇圧中に起こる圧
媒の温度上昇や減圧中に起こる温度降下は、それらを防
止しようとする冷却や加熱が遅れる分だけ、過度のもの
となってしまう。また、圧媒が液体の温間等方圧加圧装
置では、圧媒が気体の熱間等方圧加圧装置に比して、断
熱膨張や断熱圧縮に伴う温度変化が起こりやすいという
事情もあった。

【０００６】例えば図５は、温間等方圧加圧装置の圧力
容器内を、最高圧６９０ＭＰａとして昇圧し、その後、
減圧させた場合における、圧力容器内の圧媒の温度変化
を示したものである。この図５から明らかなように、６
９０ＭＰａから短い時間のうちに減圧を行うことは可能
であるが、このようにした場合には、圧媒の温度降下量
［Ｓ］はじつに９℃にも及んでいることが判る。このよ
うに、圧媒が断熱膨張や断熱圧縮することに伴って生じ
る温度変化に対して、この圧媒の温度を制御する（例え
ば温度の一定化或いは均一変化を図る）ことは困難とな
っている。

【０００７】なお、殊にこの温間等方圧加圧装置が研究
機として用いられる場合に関して言えば、圧媒の断熱膨
張や断熱圧縮に伴う温度制御（殊に断熱圧縮時の昇温の
影響）が十分にできないということは、得られる実験結
果に無視できない誤差（温度変化を原因とした外乱）が
生じることになり、研究機としては信頼性にかけると言
わざるをえない場合もあった。また上記図５からは、上
記した９℃もの温度降下量［Ｓ］を元に回復させるため
に約３分もの時間［Ｍ］を要しており、この間、次の昇
圧を行えないロスタイムに繋がっていることも判る。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、圧力容器内の圧媒温度を所望に応じて制御可
能なものとし、その結果、温度的外乱の排除が可能であ
り、また場合によってはロスタイムの短縮乃至解消にも
つなげることができる温間等方圧加圧装置の温度制御方
法及び温度制御装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は次の手段を講じた。即ち、本発明に係る温
間等方圧加圧装置の温度制御方法は、圧力容器内に被処
理物と共に充填された液体より成る圧媒の温度を測定
し、この測定温度を所定の設定温度と比較し、これによ
って得られた温度差に基づいて、圧力容器内に対する昇
減圧速度（昇圧速度又は減圧速度）を制御するものであ
る。このような方法であれば、圧媒の温度を直接的に制
御することになり、制御の応答性を速くすることができ
る。

【００１０】すなわち、圧媒が断熱圧縮や断熱膨張する
ことに伴ってその温度が変化することを逆に利用して、
断熱圧縮や断熱膨張を急変させない範囲で圧力容器内に
対する昇圧速度や減圧速度を変化させることで、温度操
作（温度の一定化等）をしようというものである。例え
ば、圧力容器内の昇圧時にあって、測定温度と設定温度
との比較により、測定温度の方が高くなっていることが
検出及び判断された場合には、このときの温度差を元
に、昇圧速度を遅くするか又は停止させる。反対に、測
定温度の方が低くなっていることが検出及び判断された
場合には、この温度差を元に、昇圧速度を速くする。

【００１１】上記設定温度にはある程度の幅を与えてお
き、そのうちの高温上限範囲を圧媒温度が超えたときを
基準として、上記のような昇圧速度の制御を行ってもよ
い。一方、圧力容器内の減圧時にあって、測定温度と設
定温度との比較との比較により、測定温度の方が高くな
っていることが検出及び判断された場合には、このとき
の温度差を元に、減圧速度を速くさせる。反対に、測定
温度の方が低くなっていることが検出及び判断された場
合には、この温度差を元に、減圧速度を遅くするか又は
停止させる。

【００１２】この場合も、上記設定温度にはある程度の
幅を与えておき、そのうちの低温下限範囲を圧媒温度が
下回ったときを基準として、上記のような減圧速度の制
御を行ってもよい。なお、このように測定温度と設定温
度との比較に基づいて圧力容器内に対する昇減圧速度を
制御するときには、これに並行させつつ圧力容器自体を
加熱又は冷却する（例えば従来と同様なジャケット部を
使った加熱又は冷却等をする）ようにしてもよい。

【００１３】上記した圧力容器内の昇圧時にあっては、
圧媒温度が設定温度の高温上限範囲を超えた場合に昇圧
を停止させて内圧保持状態に切り替えると、圧媒は設定
温度との間で相対的に温度降下をはじめることになる。
そこで、この温度降下に伴って圧媒の温度が元の設定温
度に回復したときに、再び昇圧に切り替えるといったこ
とを、サイクル的に繰り返すようにすればよい。また、
上記した圧力容器内の減圧時にあっては、圧媒温度が設
定温度の低温下限範囲を下回った場合に減圧を停止させ
て内圧保持状態に切り替えると、圧媒は設定温度との間
で相対的に温度上昇をはじめることになる。

【００１４】そこで、この温度上昇に伴って圧媒の温度
が元の設定温度に回復したときに、再び減圧に切り替え
るといったことを、サイクル的に繰り返すようにすれば
よい。一方、本発明に係る温間等方圧加圧装置の温度制
御装置は、圧力容器内に被処理物と共に液体より成る圧
媒を充填してこの圧力容器内で加圧処理を行わせる温間
等方圧加圧装置に対し処理温度を制御する装置であっ
て、上記圧力容器内に対して昇減圧を行う昇減圧手段に
対し昇圧速度又は減圧速度を可変にさせる速度制御手段
と、上記圧力容器内の圧媒温度を測定する温度測定手段
と、この温度測定手段で得られた測定温度を所定の設定
温度と比較して温度差を求めその結果に基づいて上記速
度制御手段を制御する制御部とを有している。

【００１５】そして、圧力容器には、これを加熱又は冷
却する補助温度制御手段（例えば、圧力容器を取り囲ん
で熱媒又は冷媒を流通させるジャケット部を具備したも
の）を設けておくことも可能である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づき説明する。図１は、温間等方圧加圧装置１に
対して本発明に係る温度制御装置２を組み込んだ一実施
形態を示している。本実施形態で採用した温間等方圧加
圧装置１は、圧力容器３の容器内を昇減圧させるための
昇減圧手段４として、圧力容器３の容器内へピストン５
の一端部を挿入させた油圧シリンダ６と、この油圧シリ
ンダ６を駆動させる（ピストン５を圧力容器３に対して
進退させる）油圧ユニット７とを有したものとしてあ
る。

【００１７】油圧シリンダ６は進出動作側ポート１０及
び後退動作側ポート１１を備えた復動型とされており、
油圧ユニット７に設けられた電磁弁１２が、ポンプ１３
によって加圧供給される作動油を各ポート１０，１１へ
と適宜切り替えるようになっている。従って、圧力容器
３内に被処理物（図示略）と共に液体より成る圧媒（例
えば水単独、又は水と水溶性油との混合物、又はシリコ
ン油等）を充填した状態としたうえで、油圧シリンダ６
を作動させることによって、この圧力容器３内で被処理
物に対する加圧処理が行われる（言うまでもなく、ピス
トン５を進出動させることで昇圧させ、反対にピストン
５を後退させることで減圧させる）ものである。

【００１８】このような温間等方圧加圧装置１に対し、
温度制御装置２は、圧力容器３内の圧媒温度を測定する
熱電対等より成る温度測定手段１５を有している。また
この温度制御装置２は、上記油圧ユニット７が油圧シリ
ンダ６を作動させるときにピストン５の進退速度を制御
可能にし、もって圧力容器３内の昇圧速度又は減圧速度
を可変にさせる速度制御手段１６を有している。本実施
形態においてこの速度制御手段１６は、油圧ユニット７
のポンプ１３を駆動させるためのモータ１７に対して、
その回転数を制御することを通じて油圧シリンダ６の進
退速度を制御するものとしている。

【００１９】更にこの温度制御装置２は、上記した温度
測定手段１５によって得られた測定温度を、所定の設定
温度と比較して温度差を求め、その結果に基づいて上記
した速度制御手段１６を制御する制御部１８を有してい
る。この制御部１８は、設定温度を入力するための温度
指示設定器２０を有したものとした。またこの制御部１
８は、油圧シリンダ６の進出動作側ポート１０等での作
用圧を検出して、これから圧力容器３内の内圧を換算
し、これを常時監視できるようにした圧力変換器２１を
有したものとした。

【００２０】一方、本実施形態において、上記圧力容器
３には、その容器内の圧媒を加熱又は冷却することがで
きる補助温度制御手段２３が設けられたものとしてあ
る。この補助温度制御手段２３は、圧力容器３の周壁を
取り囲むようにして、熱媒又は冷媒を流通させるジャケ
ット部を設けたものとしてある。次に、このような構成
の本発明に係る温度制御装置２を具備させた温間等方圧
加圧装置１を用いて被処理物の加圧処理を行う手順に基
づいて、本発明に係る温度制御方法を説明する。

【００２１】図２は、本発明に係る温度制御方法によ
り、圧力容器３内を最高圧６９０ＭＰａとして昇圧し、
その後、減圧させた場合における、圧力容器３内の圧媒
の温度変化を示したものである。ここにおいて、減圧の
過程を図３のフローチャートで示す。この図３から明ら
かなように、ステップ１００で油圧シリンダ６（図１参
照）のピストン５を後退させることにより減圧を開始さ
せた後、ステップ１０１では、温度測定手段１５（図１
参照）によって測定した圧力容器３内の圧媒温度［ｔ］
を、予め温度指示設定器２０に入力させておいた所定の
設定温度［Ｔ］と比較し、このとき設定温度［Ｔ］より
も圧媒温度［ｔ］の方が低温で、且つ低くなりすぎてい
ないか否かを監視する。

【００２２】本実施形態では、このときの温度差［Ｔ−
ｔ］として得られる値に低温下限範囲（＋０．５℃より
温度差が小さいこと）を持たせるものとした。このとき
の温度差［Ｔ−ｔ］が上記低温下限範囲に入っていれば
ステップ１０５へ進むが、もしこのときの温度差が上記
低温下限範囲を逸脱していれば（即ち、圧媒温度［ｔ］
が冷却されすぎていると判断された場合には）ステップ
１０２へ進み、減圧速度を遅くさせる。例えば、いま設
定温度［Ｔ］を６０℃とおくとき、圧媒温度［ｔ］が５
９．１℃であれば温度差［Ｔ−ｔ］は＋０．１℃とな
り、従ってこの値は設定温度［Ｔ］よりも圧媒温度
［ｔ］の方が低温であることを示してはいるものの、上
記低温下限範囲内に入っている（＋０．５℃より温度差
が小さい）のでステップ１０５へと進む。

【００２３】しかし、圧媒温度［ｔ］が５９．４℃であ
れば温度差［Ｔ−ｔ］は＋０．６℃となり、従ってこの
値は上記低温下限範囲を逸脱しているのでステップ１０
２へと進むことになる。ステップ１０２において圧力容
器３内の減圧速度を遅くさせると、圧媒が温度降下を起
こすときの温度勾配が緩やかになるか、場合によっては
温度降下が停止することになるので、この様子（即ち、
圧媒の冷却が鈍化されて温度差［Ｔ−ｔ］が＋０．５℃
側から０℃側へ傾く様子）をステップ１０３で監視す
る。

【００２４】このとき、温度差［Ｔ−ｔ］が＋０．５℃
側から０℃側へ傾く傾向が見られない場合には、ステッ
プ１０４で減圧を一旦停止して内圧保持状態とさせるよ
うなことを行ってもよい。また図３中では省略したが、
場合によっては補助温度制御手段２３（図１参照）にお
いてジャケット部内へ熱媒を通し、積極的に圧力容器３
を加熱させ、圧媒温度を設定温度［Ｔ］よりも若干高く
させるようにしてもよい。このようにして温度差［Ｔ−
ｔ］が上記低温下限範囲に入った時点でステップ１０３
からステップ１０８へと移行する。

【００２５】一方、上記したステップ１０１において温
度差［Ｔ−ｔ］が上記低温下限範囲内に入っておりその
ままステップ１０５へ進んだ場合には、次に、このステ
ップ１０５において設定温度［Ｔ］よりも圧媒温度
［ｔ］の方が高温で、且つ高くなりすぎていないか否か
を監視する。本実施形態では、このときの温度差［Ｔ−
ｔ］として得られる値に高温上限範囲（−０．５℃より
温度差が小さいこと）を持たせるものとした。このとき
の温度差［Ｔ−ｔ］が上記高温上限範囲に入っていれば
ステップ１０８へ進むが、もしこのときの温度差が上記
高温上限範囲を逸脱していれば（即ち、圧媒温度［ｔ］
が冷却不足のために高温すぎると判断された場合には）
ステップ１０６へ進み、減圧速度を速くさせる。

【００２６】例えば、上記のように設定温度［Ｔ］を６
０℃とおくとき、圧媒温度［ｔ］が６０．１℃であれば
温度差［Ｔ−ｔ］は−０．１℃となり、従ってこの値は
設定温度［Ｔ］よりも圧媒温度［ｔ］の方が高温である
ことを示してはいるものの、上記高温上限範囲内に入っ
ている（−０．５℃より温度差が小さい）のでステップ
１０８へと進む。しかし、圧媒温度［ｔ］が６０．６℃
であれば温度差［Ｔ−ｔ］は−０．６℃となり、従って
この値は上記高温上限範囲を逸脱しているのでステップ
１０６へと進むことになる。

【００２７】ステップ１０６において圧力容器３内の減
圧速度を速くさせると、圧媒が温度降下を起こすときの
温度勾配が急になるので、この様子（即ち、圧媒の冷却
が促進されて温度差［Ｔ−ｔ］が−０．５℃側から０℃
側へ傾く様子）をステップ１０７で監視する。また図３
中では省略したが、場合によっては補助温度制御手段２
３においてジャケット部内へ冷媒を通し、積極的に圧力
容器３を冷却させ、圧媒温度を設定温度［Ｔ］よりも若
干低くさせるようにしてもよい。

【００２８】このようにして温度差［Ｔ−ｔ］が上記高
温上限範囲に入った時点でステップ１０７からステップ
１０８へと移行する。ステップ１０８では、圧力変換器
２１（図１参照）で検出された圧力値が目標とする減圧
状態まで達成されたか否かの判定を行う。達成されてい
ればここでの減圧は終了（ステップ１０９）であるが、
未だ圧力容器３内が所定の内圧に達していなければ、再
びステップ１００に戻って減圧を開始させるという一連
のサイクルを繰り返す。

【００２９】このような減圧を行わせることで、図２に
示したように圧媒温度を略一定（横軸の一目盛りは４分
としているが、この間の温度変化量Ｑは僅かに１℃であ
った）に保持させることができる。なお、上記したステ
ップ１０１やステップ１０５等において、設定温度
［Ｔ］と圧媒温度［ｔ］との温度差［Ｔ−ｔ］に±０．
５℃の低温下限範囲及び高温上限範囲を設けているが、
これらの範囲の程度をどの程度に設定するかや、或いは
これら低温下限範囲及び高温上限範囲を設けるか否かに
ついては、特に限定されるものではない。

【００３０】次に、図２に示した圧力容器３内の昇圧、
減圧時のうちの昇圧の過程を図４のフローチャートで示
す。この図４から明らかなように、ステップ２００で油
圧シリンダ６（図１参照）のピストン５を後退させるこ
とにより昇圧を開始させた後、ステップ２０１では、温
度測定手段１５（図１参照）によって測定した圧力容器
３内の圧媒温度［ｔ］を、予め温度指示設定器２０に入
力させておいた所定の設定温度［Ｔ］と比較し、このと
き設定温度［Ｔ］よりも圧媒温度［ｔ］の方が低温で、
且つ低くなりすぎていないか否かを監視する。

【００３１】本実施形態では、このときの温度差［Ｔ−
ｔ］として得られる値に低温下限範囲（＋０．５℃より
温度差が小さいこと）を持たせるものとした。このとき
の温度差［Ｔ−ｔ］が上記低温下限範囲に入っていれば
ステップ２０４へ進むが、もしこのときの温度差が上記
低温下限範囲を逸脱していれば（即ち、圧媒温度［ｔ］
が加熱不足であると判断された場合には）ステップ２０
２へ進み、昇圧速度を速くさせる。例えば、いま設定温
度［Ｔ］を６０℃とおくとき、圧媒温度［ｔ］が５９．
１℃であれば温度差［Ｔ−ｔ］は＋０．１℃となり、従
ってこの値は設定温度［Ｔ］よりも圧媒温度［ｔ］の方
が低温であることを示してはいるものの、上記低温下限
範囲内に入っている（＋０．５℃より温度差が小さい）
のでステップ２０４へと進む。

【００３２】しかし、圧媒温度［ｔ］が５９．４℃であ
れば温度差［Ｔ−ｔ］は＋０．６℃となり、従ってこの
値は上記低温下限範囲を逸脱しているのでステップ２０
２へと進むことになる。ステップ２０２において圧力容
器３内の昇圧速度を速くさせると、圧媒が温度上昇を起
こすときの温度勾配が急になるので、この様子（即ち、
圧媒の加熱が促進されて温度差［Ｔ−ｔ］が＋０．５℃
側から０℃側へ傾く様子）をステップ２０３で監視す
る。

【００３３】また図３中では省略したが、場合によって
は補助温度制御手段２３（図１参照）においてジャケッ
ト部内へ熱媒を通し、積極的に圧力容器３を加熱させ、
圧媒温度を設定温度［Ｔ］よりも若干高くさせるように
してもよい。このようにして温度差［Ｔ−ｔ］が上記低
温下限範囲に入った時点でステップ２０３からステップ
２０８へと移行する。一方、上記したステップ２０１に
おいて温度差［Ｔ−ｔ］が上記低温下限範囲内に入って
おりそのままステップ２０４へ進んだ場合には、次に、
このステップ２０４において設定温度［Ｔ］よりも圧媒
温度［ｔ］の方が高温で、且つ高くなりすぎていないか
否かを監視する。

【００３４】本実施形態では、このときの温度差［Ｔ−
ｔ］として得られる値に高温上限範囲（−０．５℃より
温度差が小さいこと）を持たせるものとした。このとき
の温度差［Ｔ−ｔ］が上記高温上限範囲に入っていれば
ステップ２０８へ進むが、もしこのときの温度差が上記
高温上限範囲を逸脱していれば（即ち、圧媒温度［ｔ］
が加熱されすぎていると判断された場合には）ステップ
２０５へ進み、昇圧速度を遅くさせる。例えば、上記の
ように設定温度［Ｔ］を６０℃とおくとき、圧媒温度
［ｔ］が６０．１℃であれば温度差［Ｔ−ｔ］は−０．
１℃となり、従ってこの値は設定温度［Ｔ］よりも圧媒
温度［ｔ］の方が高温であることを示してはいるもの
の、上記高温上限範囲内に入っている（−０．５℃より
温度差が小さい）のでステップ２０８へと進む。

【００３５】しかし、圧媒温度［ｔ］が６０．６℃であ
れば温度差［Ｔ−ｔ］は−０．６℃となり、従ってこの
値は上記高温上限範囲を逸脱しているのでステップ２０
５へと進むことになる。ステップ２０５において圧力容
器３内の昇圧速度を遅くさせると、圧媒が温度上昇を起
こすときの温度勾配が緩やかになるか、場合によっては
温度上昇が停止することになので、この様子（即ち、圧
媒の加熱が鈍化されて温度差［Ｔ−ｔ］が−０．５℃側
から０℃側へ傾く様子）をステップ２０６で監視する。

【００３６】このとき、温度差［Ｔ−ｔ］が−０．５℃
側から０℃側へ傾く傾向が見られない場合には、ステッ
プ２０７で昇圧を一旦停止して内圧保持状態とさせるよ
うなことを行ってもよい。また図４中では省略したが、
場合によっては補助温度制御手段２３においてジャケッ
ト部内へ冷媒を通し、積極的に圧力容器３を冷却させ、
圧媒温度を設定温度［Ｔ］よりも若干低くさせるように
してもよい。このようにして温度差［Ｔ−ｔ］が上記高
温上限範囲に入った時点でステップ２０６からステップ
２０８へと移行する。

【００３７】ステップ２０８では、圧力変換器１０（図
１参照）で検出された圧力値が目標とする昇圧状態まで
達成されたか否かの判定を行う。達成されていればここ
での昇圧は終了（ステップ２０９）であるが、未だ圧力
容器３内が所定の内圧に達していなければ、再びステッ
プ２００に戻って昇圧を開始させるという一連のサイク
ルを繰り返す。このような昇圧を行わせることで、図２
に示したように圧媒温度を略一定（上記したように４分
間の温度変化量Ｑは僅かに１℃であった）に保持させる
ことができる。

【００３８】なお、上記したステップ２０１やステップ
２０４等において、設定温度［Ｔ］と圧媒温度［ｔ］と
の温度差［Ｔ−ｔ］に±０．５℃の低温下限範囲及び高
温上限範囲を設けているが、これらの範囲の程度をどの
程度に設定するかや、或いはこれら低温下限範囲及び高
温上限範囲を設けるか否かについては、特に限定される
ものではない。ところで、本発明は、上記した実施形態
に限定されるものではなく、実施の形態に応じて適宜変
更可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る温間等方圧加圧装置の温度制御方法及び温度制御
装置では、圧力容器内の圧媒温度を所望に応じて制御で
きるものであり、従ってこの加圧処理によって得られる
結果として温度的外乱の排除が可能であり、また場合に
よってはロスタイムの短縮乃至解消にもつなげることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る温度制御装置を温間等方圧加圧装
置に対して組み込んだ一実施形態を示した構成図であ
る。

【図２】本発明に係る温度制御方法によって圧力容器内
を昇圧し、その後、減圧させた場合における圧力容器内
の圧媒の温度変化を示した折れ線グラフである。

【図３】本発明に係る温度制御方法による減圧の過程を
示したフローチャートである。

【図４】本発明に係る温度制御方法による昇圧の過程を
示したフローチャートである。

【図５】従来の温度制御方法によって圧力容器内を昇圧
し、その後、減圧させた場合における圧力容器内の圧媒
の温度変化を示した折れ線グラフである。

【符号の説明】

１ 温間等方圧加圧装置 ２ 温度制御装置 ３ 圧力容器 １５ 温度測定手段 １６ 速度制御手段 １８ 制御部 ２３ 補助温度制御手段

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ２２Ｆ 3/04 Ｂ２２Ｆ 3/04 Ａ 3/14 3/14 Ｎ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力容器（３）内に被処理物と共に液体
   より成る圧媒を充填してこの圧力容器（３）内で加圧処
   理を行わせる温間等方圧加圧装置（１）に対し処理温度
   を制御する方法であって、 上記圧力容器（３）内の圧媒温度を測定し、この測定温
   度を所定の設定温度と比較して得られた温度差に基づい
   て、圧力容器（３）内に対する昇減圧速度を制御するこ
   とを特徴とする温間等方圧加圧装置の温度制御方法。
2. 【請求項２】 圧力容器（３）内の昇圧時にあって、測
   定温度と設定温度との比較で測定温度の方が高いと判断
   されたときには昇圧速度を遅くするか又は停止させ、測
   定温度の方が低いと判断されたときには昇圧速度を速く
   することを特徴とする請求項１記載の温間等方圧加圧装
   置の温度制御方法。
3. 【請求項３】 圧力容器（３）内の減圧時にあって、測
   定温度と設定温度との比較で測定温度の方が高いと判断
   されたときには減圧速度を速くさせ、測定温度の方が低
   いと判断されたときには減圧速度を遅くするか又は停止
   させることを特徴とする請求項１記載の温間等方圧加圧
   装置の温度制御方法。
4. 【請求項４】 測定温度と設定温度との比較に基づいて
   圧力容器（３）内に対する昇減圧速度を制御するとき
   に、これに並行させつつ圧力容器（３）を加熱又は冷却
   することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
   に記載の温間等方圧加圧装置の温度制御方法。
5. 【請求項５】 圧媒温度が設定温度に設けた高温上限範
   囲を超えたときには昇圧を停止させて内圧保持状態に切
   り替えると共にこれにより圧媒温度が上記高温上限範囲
   に入ったときに昇圧に切り替えるといったサイクルを繰
   り返すことを特徴とする請求項２又は請求項４記載の温
   間等方圧加圧装置の温度制御方法。
6. 【請求項６】 圧媒温度が設定温度に設けた低温下限範
   囲を下回ったときには減圧を停止させて内圧保持状態に
   切り替えると共にこれにより圧媒温度が上記低温下限範
   囲に入ったときに減圧に切り替えるといったサイクルを
   繰り返すことを特徴とする請求項３又は請求項４記載の
   温間等方圧加圧装置の温度制御方法。
7. 【請求項７】 圧力容器（３）内に被処理物と共に液体
   より成る圧媒を充填してこの圧力容器（３）内で加圧処
   理を行わせる温間等方圧加圧装置（１）に対し処理温度
   を制御する装置であって、 上記圧力容器（３）内に対して昇減圧を行う昇減圧手段
   に対し昇圧速度又は減圧速度を可変にさせる速度制御手
   段（１６）と、上記圧力容器（３）内の圧媒温度を測定
   する温度測定手段（１５）と、この温度測定手段（１
   ５）で得られた測定温度を所定の設定温度と比較して温
   度差を求めその結果に基づいて上記速度制御手段（１
   ６）を制御する制御部（１８）とを有していることを特
   徴とする温間等方圧加圧装置の温度制御装置。
8. 【請求項８】 前記圧力容器（３）には、これを加熱又
   は冷却する補助温度制御手段（２３）が設けられている
   ことを特徴とする請求項７記載の温間等方圧加圧装置の
   温度制御装置。
9. 【請求項９】 前記補助温度制御手段（２３）は、圧力
   容器（３）を取り囲んで熱媒又は冷媒を流通させるジャ
   ケット部を具備したものであることを特徴とする請求項
   ８記載の温間等方圧加圧装置の温度制御装置。