JP2003270255A - 回転体計測装置 - Google Patents
回転体計測装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】簡素かつ低コストな回転体計測装置を提供す
る。 【解決手段】回転体５の表面に取り付けられた反射手段
６ａ，６ｂに照射する光線発生手段２ａ，２ｂと、一方
向光線伝送路３ａ，３ｂおよび双方向光線伝送路４ａ，
４ｂを介して前記照射光線を導入され前記照射光線を前
記反射手段に照射して反射光線を受光する送受信手段７
ａ，７ｂと、前記一方向光線伝送路と前記双方向光線伝
送路のあいだに接続されて前記送受信手段によって受光
され前記双方向光線伝送路によって伝送された前記反射
光線を前記照射光線と分離する光線分離手段８ａ，８ｂ
と、反射光線伝送路９ａを介して前記光線分離手段に接
続されて前記反射光線を検知する光検知手段１１ａ，１
１ｂと、この光検知手段が出力する出力信号を信号処理
して前記対象回転体の回転速度または出力トルクの少な
くともいずれか一方を演算する信号処理手段１４とを備
えた構成とする。
る。 【解決手段】回転体５の表面に取り付けられた反射手段
６ａ，６ｂに照射する光線発生手段２ａ，２ｂと、一方
向光線伝送路３ａ，３ｂおよび双方向光線伝送路４ａ，
４ｂを介して前記照射光線を導入され前記照射光線を前
記反射手段に照射して反射光線を受光する送受信手段７
ａ，７ｂと、前記一方向光線伝送路と前記双方向光線伝
送路のあいだに接続されて前記送受信手段によって受光
され前記双方向光線伝送路によって伝送された前記反射
光線を前記照射光線と分離する光線分離手段８ａ，８ｂ
と、反射光線伝送路９ａを介して前記光線分離手段に接
続されて前記反射光線を検知する光検知手段１１ａ，１
１ｂと、この光検知手段が出力する出力信号を信号処理
して前記対象回転体の回転速度または出力トルクの少な
くともいずれか一方を演算する信号処理手段１４とを備
えた構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転機器や車両な
どに設けられた回転体の回転速度や出力トルクを非接触
で高精度に計測する回転体計測装置に関する。
どに設けられた回転体の回転速度や出力トルクを非接触
で高精度に計測する回転体計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転体の回転速度や出力トルクを計測す
る装置としては、例えば、特開平５−３４２２２号公報
に記載されている装置が知られている。この公報記載の
装置は図１４に示すように、被検体の回転軸７０に取り
付けられ格子パターンを有する第１および第２の回転体
７１Ａ，７１Ｂと、これら第１および第２の回転体７１
Ａ，７１Ｂに光を照射する第１および第２の光源装置７
２Ａ，７２Ｂと、これら第１および第２の光源装置７２
Ａ，７２Ｂから照射され第１および第２の回転体７１
Ａ，７１Ｂによって反射した光の影絵パターンを検知す
る第１および第２の光電変換素子７３Ａ，７３Ｂと、こ
れら第１および第２の光電変換素子７３Ａ，７３Ｂの出
力からトルクを求める演算手段７４で構成される。
る装置としては、例えば、特開平５−３４２２２号公報
に記載されている装置が知られている。この公報記載の
装置は図１４に示すように、被検体の回転軸７０に取り
付けられ格子パターンを有する第１および第２の回転体
７１Ａ，７１Ｂと、これら第１および第２の回転体７１
Ａ，７１Ｂに光を照射する第１および第２の光源装置７
２Ａ，７２Ｂと、これら第１および第２の光源装置７２
Ａ，７２Ｂから照射され第１および第２の回転体７１
Ａ，７１Ｂによって反射した光の影絵パターンを検知す
る第１および第２の光電変換素子７３Ａ，７３Ｂと、こ
れら第１および第２の光電変換素子７３Ａ，７３Ｂの出
力からトルクを求める演算手段７４で構成される。
【０００３】第１および第２の回転体７１Ａ，７１Ｂに
よる反射光の影絵パターンは、被検体の回転を影絵的に
拡大して変位する。この変位は、第１および第２の光電
変換素子７３Ａ，７３Ｂによって検知される。そして、
演算手段７４によって第１および第２の回転体７１Ａ，
７１Ｂの回転の基準位置と回転量が検出され、回転量の
差からトルクの算出が行われる。
よる反射光の影絵パターンは、被検体の回転を影絵的に
拡大して変位する。この変位は、第１および第２の光電
変換素子７３Ａ，７３Ｂによって検知される。そして、
演算手段７４によって第１および第２の回転体７１Ａ，
７１Ｂの回転の基準位置と回転量が検出され、回転量の
差からトルクの算出が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記装置で
は、回転機器および車両などへ適用する場合、第１およ
び第２の回転体７１Ａ，７１Ｂの製作・取り付けが困難
であり、また、回転体７１Ａ，７１Ｂ上の格子パターン
は高精度に作製する必要があるため時間と手間がかか
る。これらの結果としてコスト高になるなどの問題があ
る。
は、回転機器および車両などへ適用する場合、第１およ
び第２の回転体７１Ａ，７１Ｂの製作・取り付けが困難
であり、また、回転体７１Ａ，７１Ｂ上の格子パターン
は高精度に作製する必要があるため時間と手間がかか
る。これらの結果としてコスト高になるなどの問題があ
る。
【０００５】そこで、本発明は、回転機器や車両などの
回転体へ簡単に適用して回転速度あるいは出力トルクを
計測することができる簡素かつ低コストな回転体計測装
置を提供することを目的とする。
回転体へ簡単に適用して回転速度あるいは出力トルクを
計測することができる簡素かつ低コストな回転体計測装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明の回転体計測装置は、回転速度または
出力トルクの少なくともいずれか一方を計測すべき対象
回転体の表面に取り付けられた反射手段に照射して前記
計測を行うための照射光線を発生する光線発生手段と、
一方向光線伝送路および双方向光線伝送路を介して前記
照射光線を導入され前記照射光線を前記反射手段に照射
して反射光線を受光する送受信手段と、前記一方向光線
伝送路と前記双方向光線伝送路のあいだに接続されて前
記送受信手段によって受光され前記双方向光線伝送路に
よって伝送された前記反射光線を前記照射光線と分離す
る光線分離手段と、反射光線伝送路を介して前記光線分
離手段に接続されて前記反射光線を検知する光検知手段
と、この光検知手段が出力する出力信号を信号処理して
前記対象回転体の回転速度または出力トルクの少なくと
もいずれか一方を演算する信号処理手段とを備えた構成
とする。
に請求項１の発明の回転体計測装置は、回転速度または
出力トルクの少なくともいずれか一方を計測すべき対象
回転体の表面に取り付けられた反射手段に照射して前記
計測を行うための照射光線を発生する光線発生手段と、
一方向光線伝送路および双方向光線伝送路を介して前記
照射光線を導入され前記照射光線を前記反射手段に照射
して反射光線を受光する送受信手段と、前記一方向光線
伝送路と前記双方向光線伝送路のあいだに接続されて前
記送受信手段によって受光され前記双方向光線伝送路に
よって伝送された前記反射光線を前記照射光線と分離す
る光線分離手段と、反射光線伝送路を介して前記光線分
離手段に接続されて前記反射光線を検知する光検知手段
と、この光検知手段が出力する出力信号を信号処理して
前記対象回転体の回転速度または出力トルクの少なくと
もいずれか一方を演算する信号処理手段とを備えた構成
とする。
【０００７】このように構成された請求項１の発明の回
転体計測装置では、反射手段に照射される照射光線は所
定の照射ビーム径に絞られる。そして反射光線は短い立
上り、立下り時間のパルス状となる。
転体計測装置では、反射手段に照射される照射光線は所
定の照射ビーム径に絞られる。そして反射光線は短い立
上り、立下り時間のパルス状となる。
【０００８】この反射光線は、照射光線を伝送したと同
じ双方向光線伝送路によって伝送され、光検知手段によ
ってパルス状の出力信号が検知される。信号処理手段で
は、出力信号の立上りまたは立下りにおいてトリガ時間
を抽出し、回転速度または出力トルクを求める。
じ双方向光線伝送路によって伝送され、光検知手段によ
ってパルス状の出力信号が検知される。信号処理手段で
は、出力信号の立上りまたは立下りにおいてトリガ時間
を抽出し、回転速度または出力トルクを求める。
【０００９】その結果、回転速度または出力トルクの計
測精度は反射光線の立上り立下り時間で決定され、照射
光線の照射ビーム径を調整することによって所定の計測
精度に設定することができ、高精度計測が必要とされる
回転機器および車両などへの適用が可能となる。
測精度は反射光線の立上り立下り時間で決定され、照射
光線の照射ビーム径を調整することによって所定の計測
精度に設定することができ、高精度計測が必要とされる
回転機器および車両などへの適用が可能となる。
【００１０】そして、送受信手段はビーム倍率を調整す
るだけの構造であり、また双方向光線伝送路が照射光線
とその反射光線の伝送路を兼ねるため数量が少なく、さ
らに反射手段は対象回転体表面の一部に取り付けるだけ
よいため、本発明の回転体計測装置は、簡素かつ低コス
ト、適用が簡単であるという特長を有する。
るだけの構造であり、また双方向光線伝送路が照射光線
とその反射光線の伝送路を兼ねるため数量が少なく、さ
らに反射手段は対象回転体表面の一部に取り付けるだけ
よいため、本発明の回転体計測装置は、簡素かつ低コス
ト、適用が簡単であるという特長を有する。
【００１１】なお、対象回転体の回転速度だけを測定す
る場合には反射手段および送受信手段は１個でよいが、
出力トルクも測定するためには対象回転体の軸方向に所
定の距離をおいて複数の反射手段および送受信手段を備
える必要がある。
る場合には反射手段および送受信手段は１個でよいが、
出力トルクも測定するためには対象回転体の軸方向に所
定の距離をおいて複数の反射手段および送受信手段を備
える必要がある。
【００１２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、光線発生手段は、パルス光線を発生するパルス光線
発生手段である構成とする。この発明によれば、パルス
光線発生手段が発生する照射光線はパルス光であるた
め、連続光に比べて高強度であり、高SN比の出力信号を
得ることができる。その結果、ノイズ対策を軽減するこ
とができ、簡素かつ低コストで適用が簡単な回転体計測
装置とすることが可能となる。
て、光線発生手段は、パルス光線を発生するパルス光線
発生手段である構成とする。この発明によれば、パルス
光線発生手段が発生する照射光線はパルス光であるた
め、連続光に比べて高強度であり、高SN比の出力信号を
得ることができる。その結果、ノイズ対策を軽減するこ
とができ、簡素かつ低コストで適用が簡単な回転体計測
装置とすることが可能となる。
【００１３】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、光線発生手段は、照射光線の波長を変えることがで
きる波長可変光線発生手段である構成とする。この発明
によれば、対象回転体の回転軸が変動する場合には、波
長可変光線発生手段を用いて照射光線の波長を変え、波
長によって光学レンズの焦点距離が異なる色収差を利用
することにより、照射光線の照射ビーム径を調整し、所
定の計測精度に設定することができる。その結果、回転
軸が変動する回転機器および車両などへの適用が可能と
なる。
て、光線発生手段は、照射光線の波長を変えることがで
きる波長可変光線発生手段である構成とする。この発明
によれば、対象回転体の回転軸が変動する場合には、波
長可変光線発生手段を用いて照射光線の波長を変え、波
長によって光学レンズの焦点距離が異なる色収差を利用
することにより、照射光線の照射ビーム径を調整し、所
定の計測精度に設定することができる。その結果、回転
軸が変動する回転機器および車両などへの適用が可能と
なる。
【００１４】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、送受信手段は、対象回転体の周面とのあいだの距離
を調整する位置調整手段を備えた構成とする。この発明
によれば、対象回転体の回転軸が変動する場合には、位
置調整手段によって送受信手段の位置調整を行うことに
より、照射光線の照射ビーム径を調整し、所定の計測精
度に設定することができる。その結果、回転軸が変動す
る回転機器および車両などへの適用が可能となる。
て、送受信手段は、対象回転体の周面とのあいだの距離
を調整する位置調整手段を備えた構成とする。この発明
によれば、対象回転体の回転軸が変動する場合には、位
置調整手段によって送受信手段の位置調整を行うことに
より、照射光線の照射ビーム径を調整し、所定の計測精
度に設定することができる。その結果、回転軸が変動す
る回転機器および車両などへの適用が可能となる。
【００１５】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、送受信手段は、照射光線の照射ビーム径を調整して
反射手段に照射する照射ビーム径調整手段を備えた構成
とする。この発明によれば、対象回転体の回転軸が変動
する場合には、照射ビーム径調整手段を用いて照射光線
のビーム径を光学的に拡大または縮小することにより、
照射光線の照射ビーム径を調整し、所定の計測精度に設
定することができる。その結果、回転軸が変動する回転
機器および車両などへの適用が可能となる。
て、送受信手段は、照射光線の照射ビーム径を調整して
反射手段に照射する照射ビーム径調整手段を備えた構成
とする。この発明によれば、対象回転体の回転軸が変動
する場合には、照射ビーム径調整手段を用いて照射光線
のビーム径を光学的に拡大または縮小することにより、
照射光線の照射ビーム径を調整し、所定の計測精度に設
定することができる。その結果、回転軸が変動する回転
機器および車両などへの適用が可能となる。
【００１６】請求項６の発明は、請求項１の発明におい
て、反射手段および送受信手段は対象回転体の周方向に
複数備えられている構成とする。この発明によれば、対
象回転体の回転軸が振動する場合には、反射手段および
送受信手段を対象回転体の周方向に各々ns個備え、ns個
の回転速度の計測値、ns×ns個の出力トルクの計測値を
一回転毎に得て平均することにより、振動の影響を低減
することができる。その結果、対象回転体の回転軸が振
動する場合であっても、回転速度や出力トルクを所定の
計測精度で求めることが可能となる。
て、反射手段および送受信手段は対象回転体の周方向に
複数備えられている構成とする。この発明によれば、対
象回転体の回転軸が振動する場合には、反射手段および
送受信手段を対象回転体の周方向に各々ns個備え、ns個
の回転速度の計測値、ns×ns個の出力トルクの計測値を
一回転毎に得て平均することにより、振動の影響を低減
することができる。その結果、対象回転体の回転軸が振
動する場合であっても、回転速度や出力トルクを所定の
計測精度で求めることが可能となる。
【００１７】請求項７の発明は、請求項１の発明におい
て、反射手段および送受信手段は対象回転体の軸方向に
複数備えられている構成とする。この発明によれば、対
象回転体の回転軸が振動する場合には、反射手段および
送受信手段を対象回転体の軸方向にna個備え、na個の回
転速度の計測値、na×(n a−１)/２個の出力トルクの計
測値を一回転毎に得て平均することにより、振動の影響
を低減することができる。その結果、対象回転体の回転
軸が振動する場合であっても、回転速度および出力トル
クを所定の計測精度で求めることが可能となる。
て、反射手段および送受信手段は対象回転体の軸方向に
複数備えられている構成とする。この発明によれば、対
象回転体の回転軸が振動する場合には、反射手段および
送受信手段を対象回転体の軸方向にna個備え、na個の回
転速度の計測値、na×(n a−１)/２個の出力トルクの計
測値を一回転毎に得て平均することにより、振動の影響
を低減することができる。その結果、対象回転体の回転
軸が振動する場合であっても、回転速度および出力トル
クを所定の計測精度で求めることが可能となる。
【００１８】請求項８の発明は、請求項１の発明におい
て、光線分離手段は、一方向光線伝送路から導入された
単一の照射光線を複数に分割して複数の双方向光線伝送
路へ送出するとともに、前記複数の双方向伝送路から導
入された複数の反射光線を合成して単一の反射光線を形
成し反射光線伝送路へ送出する光線分割合成手段である
構成とする。
て、光線分離手段は、一方向光線伝送路から導入された
単一の照射光線を複数に分割して複数の双方向光線伝送
路へ送出するとともに、前記複数の双方向伝送路から導
入された複数の反射光線を合成して単一の反射光線を形
成し反射光線伝送路へ送出する光線分割合成手段である
構成とする。
【００１９】この発明によれば、単一の照射光線の分割
と複数の反射光線の合成を光線分割合成手段で行うこと
により、光線の分割と合成を一つの光線分割合成手段で
行うことができる。その結果、簡素かつ低コストな回転
体計測装置とすることができる。
と複数の反射光線の合成を光線分割合成手段で行うこと
により、光線の分割と合成を一つの光線分割合成手段で
行うことができる。その結果、簡素かつ低コストな回転
体計測装置とすることができる。
【００２０】請求項９の発明は、請求項１の発明におい
て、光検知手段は、反射光線の波長を選択する波長選択
手段を備えた構成とする。この発明によれば、反射光線
に外乱光が混入する場合には、波長選択手段により、外
乱光を遮断して反射光線の波長を選択して計測し、反射
光線を高SN比で検知することができる。その結果、対象
回転体が外乱光環境に存在する場合であっても、回転速
度や出力トルクを所定の計測精度で求めることが可能と
なる。
て、光検知手段は、反射光線の波長を選択する波長選択
手段を備えた構成とする。この発明によれば、反射光線
に外乱光が混入する場合には、波長選択手段により、外
乱光を遮断して反射光線の波長を選択して計測し、反射
光線を高SN比で検知することができる。その結果、対象
回転体が外乱光環境に存在する場合であっても、回転速
度や出力トルクを所定の計測精度で求めることが可能と
なる。
【００２１】請求項１０の発明は、請求項１の発明にお
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号のサンプ
リング周波数を選択するサンプリング周波数選択手段を
備えた構成とする。
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号のサンプ
リング周波数を選択するサンプリング周波数選択手段を
備えた構成とする。
【００２２】この発明によれば、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳する場合には、サンプリング周波数選択
手段により、光検知手段の出力に対するサンプリング周
波数を調整することによってノイズを除去した出力信号
を得ることができる。その結果、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳する場合であっても、回転速度や出力ト
ルクを所定の計測精度で求めることが可能となる。
にノイズが重畳する場合には、サンプリング周波数選択
手段により、光検知手段の出力に対するサンプリング周
波数を調整することによってノイズを除去した出力信号
を得ることができる。その結果、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳する場合であっても、回転速度や出力ト
ルクを所定の計測精度で求めることが可能となる。
【００２３】請求項１１の発明は、請求項１の発明にお
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号のサンプ
リング時間を調整するサンプリング時間調整手段を備え
た構成とする。
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号のサンプ
リング時間を調整するサンプリング時間調整手段を備え
た構成とする。
【００２４】この発明によれば、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳する場合には、サンプリング時間調整手
段により、出力信号のサンプリング時間を調整すること
によってノイズを除去した出力信号を得ることができ
る。その結果、光検知手段の出力信号にノイズが重畳す
る場合であっても、回転速度や出力トルクを所定の計測
精度で求めることが可能となる。
にノイズが重畳する場合には、サンプリング時間調整手
段により、出力信号のサンプリング時間を調整すること
によってノイズを除去した出力信号を得ることができ
る。その結果、光検知手段の出力信号にノイズが重畳す
る場合であっても、回転速度や出力トルクを所定の計測
精度で求めることが可能となる。
【００２５】請求項１２の発明は、請求項１の発明にお
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号を所定回
数積算して平滑化する平滑化処理手段を備えた構成とす
る。この発明によれば、光検知手段の出力信号に時間的
にランダムなノイズが重畳する場合には、平滑化処理手
段により、出力信号を所定回数で積算して平滑化するこ
とによってノイズを低減した出力信号を得ることができ
る。その結果、光検知手段の出力信号に時間的にランダ
ムなノイズが重畳する場合であっても、回転速度や出力
トルクを所定の計測精度で求めることが可能となる。
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号を所定回
数積算して平滑化する平滑化処理手段を備えた構成とす
る。この発明によれば、光検知手段の出力信号に時間的
にランダムなノイズが重畳する場合には、平滑化処理手
段により、出力信号を所定回数で積算して平滑化するこ
とによってノイズを低減した出力信号を得ることができ
る。その結果、光検知手段の出力信号に時間的にランダ
ムなノイズが重畳する場合であっても、回転速度や出力
トルクを所定の計測精度で求めることが可能となる。
【００２６】請求項１３の発明は、請求項１の発明にお
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号に対して
相関法を適用することによって対象回転体の回転速度ま
たは出力トルクの少なくともいずれか一方を演算する構
成とする。
いて、信号処理手段は、光検知手段の出力信号に対して
相関法を適用することによって対象回転体の回転速度ま
たは出力トルクの少なくともいずれか一方を演算する構
成とする。
【００２７】この発明によれば、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリ
ガ時間を高精度に抽出することが困難な場合には、出力
信号に相関法を適用することにより、トリガ時間差を高
精度に求めることができる。その結果、光検知手段の出
力信号にノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りか
らトリガ時間を高精度に抽出することが困難な場合であ
っても、回転速度や出力トルクを所定の計測精度で求め
ることが可能となる。
にノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリ
ガ時間を高精度に抽出することが困難な場合には、出力
信号に相関法を適用することにより、トリガ時間差を高
精度に求めることができる。その結果、光検知手段の出
力信号にノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りか
らトリガ時間を高精度に抽出することが困難な場合であ
っても、回転速度や出力トルクを所定の計測精度で求め
ることが可能となる。
【００２８】請求項１４の発明は、請求項１３の発明に
おいて、反射手段は、照射光線に対する反射率が対象回
転体の周方向に分布を有する分布型反射手段である構成
とする。
おいて、反射手段は、照射光線に対する反射率が対象回
転体の周方向に分布を有する分布型反射手段である構成
とする。
【００２９】この発明によれば、光検知手段の出力信号
にノイズが重畳する場合には、分布型反射手段を適用す
ることにより、複数のパルスで構成される出力信号を得
ることができ、相関法を高精度に適用することができ
る。その結果、出力信号にノイズが重畳する場合であっ
ても、回転速度や出力トルクを所定の計測精度で求める
ことが可能となる。
にノイズが重畳する場合には、分布型反射手段を適用す
ることにより、複数のパルスで構成される出力信号を得
ることができ、相関法を高精度に適用することができ
る。その結果、出力信号にノイズが重畳する場合であっ
ても、回転速度や出力トルクを所定の計測精度で求める
ことが可能となる。
【００３０】請求項１５の発明は、請求項１の発明にお
いて、信号処理手段は、複数の信号処理値を平均化する
構成とする。この発明によれば、対象回転体の回転軸が
振動する場合には、平均化処理手段により、回転速度や
出力トルクを所定回数で平均することによって振動の影
響を低減することができる。その結果、対象回転体の回
転軸が振動する場合であっても、回転速度や出力トルク
を所定の計測精度で求めることが可能となる。
いて、信号処理手段は、複数の信号処理値を平均化する
構成とする。この発明によれば、対象回転体の回転軸が
振動する場合には、平均化処理手段により、回転速度や
出力トルクを所定回数で平均することによって振動の影
響を低減することができる。その結果、対象回転体の回
転軸が振動する場合であっても、回転速度や出力トルク
を所定の計測精度で求めることが可能となる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
の回転体計測装置を図１を参照して説明する。すなわ
ち、本実施の形態の回転体計測装置は、第１および第２
の照射光線１ａ，１ｂを発生する第１および第２の光線
発生装置２ａ，２ｂと、第１および第２の照射光線１
ａ，１ｂを伝送する第１および第２の一方向光線伝送路
３ａ，３ｂおよび双方向光線伝送路４ａ，４ｂと、対象
回転体５の表面に取り付けられ、第１および第２の照射
光線１ａ，１ｂを反射する第１および第２の反射板６
ａ，６ｂと、第１および第２の照射光線１ａ，１ｂを第
１および第２の反射板６ａ，６ｂに照射し、第１および
第２の反射板６ａ，６ｂによる第１および第２の反射光
線１ａｒ，１ｂｒを受光する第１および第２の送受信装
置７ａ，７ｂとを備えている。
の回転体計測装置を図１を参照して説明する。すなわ
ち、本実施の形態の回転体計測装置は、第１および第２
の照射光線１ａ，１ｂを発生する第１および第２の光線
発生装置２ａ，２ｂと、第１および第２の照射光線１
ａ，１ｂを伝送する第１および第２の一方向光線伝送路
３ａ，３ｂおよび双方向光線伝送路４ａ，４ｂと、対象
回転体５の表面に取り付けられ、第１および第２の照射
光線１ａ，１ｂを反射する第１および第２の反射板６
ａ，６ｂと、第１および第２の照射光線１ａ，１ｂを第
１および第２の反射板６ａ，６ｂに照射し、第１および
第２の反射板６ａ，６ｂによる第１および第２の反射光
線１ａｒ，１ｂｒを受光する第１および第２の送受信装
置７ａ，７ｂとを備えている。
【００３２】さらに本実施の形態の回転体計測装置は、
前記第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂによって受
光され、第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂ
によって伝送された第１および第２の反射光線を第１お
よび第２の照射光線と分離する第１および第２の光線分
離装置８ａ，８ｂと、第１および第２の光線分離装置８
ａ，８ｂによって分離され、第１および第２の反射光線
伝送路９ａ，９ｂによって伝送される第１および第２の
反射光線を光学フィルタ１０ａ，１０ｂを通して受けて
検知する第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂ
と、第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力
信号を電気信号伝送路１２を通して受けて信号処理する
信号処理装置１４とを備えている。信号処理装置１４の
入力端にはサンプリング周波数選択装置１３が設けられ
ている。また、送受信装置７ａ，７ｂは位置調整装置１
５ａ，１５ｂを備えている。
前記第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂによって受
光され、第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂ
によって伝送された第１および第２の反射光線を第１お
よび第２の照射光線と分離する第１および第２の光線分
離装置８ａ，８ｂと、第１および第２の光線分離装置８
ａ，８ｂによって分離され、第１および第２の反射光線
伝送路９ａ，９ｂによって伝送される第１および第２の
反射光線を光学フィルタ１０ａ，１０ｂを通して受けて
検知する第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂ
と、第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力
信号を電気信号伝送路１２を通して受けて信号処理する
信号処理装置１４とを備えている。信号処理装置１４の
入力端にはサンプリング周波数選択装置１３が設けられ
ている。また、送受信装置７ａ，７ｂは位置調整装置１
５ａ，１５ｂを備えている。
【００３３】第１および第２の光線発生装置２ａ，２ｂ
は、固体、気体、液体、半導体等の各種レーザ、指向性
を有するLEDやランプ等、指向性を有する光源で構成さ
れている。
は、固体、気体、液体、半導体等の各種レーザ、指向性
を有するLEDやランプ等、指向性を有する光源で構成さ
れている。
【００３４】また、第１および第２の光線伝送路３ａ，
３ｂ，４ａ，４ｂ，９ａ，９ｂは、ガラスやプラスチッ
ク等の光ファイバで構成される。光ファイバと第１およ
び第２の光線発生装置２ａ，２ｂとの光学的結合は非球
面レンズ等の光学素子を用いて行い、第１および第２の
照射光線１ａ，１ｂが高効率で光ファイバへ入射するよ
うにする。なお、光ファイバを用いることなく、ミラー
やレンズを用いて第１および第２の照射光線１ａ，１ｂ
を空間伝送するようにしてもよい。
３ｂ，４ａ，４ｂ，９ａ，９ｂは、ガラスやプラスチッ
ク等の光ファイバで構成される。光ファイバと第１およ
び第２の光線発生装置２ａ，２ｂとの光学的結合は非球
面レンズ等の光学素子を用いて行い、第１および第２の
照射光線１ａ，１ｂが高効率で光ファイバへ入射するよ
うにする。なお、光ファイバを用いることなく、ミラー
やレンズを用いて第１および第２の照射光線１ａ，１ｂ
を空間伝送するようにしてもよい。
【００３５】対象回転体５に取り付ける第１および第２
の反射板６ａ，６ｂはＡｇ，Ａｕ，Ａｌ，ＳＵＳ等の金
属材料で構成され、その寸法が次の式（１）、（２）を
満足するように構成される。厚さLt[m]は、対象回転体
５に取り付けることができれば制限はない。 La≫φ （１） Lb≫φ （２）
の反射板６ａ，６ｂはＡｇ，Ａｕ，Ａｌ，ＳＵＳ等の金
属材料で構成され、その寸法が次の式（１）、（２）を
満足するように構成される。厚さLt[m]は、対象回転体
５に取り付けることができれば制限はない。 La≫φ （１） Lb≫φ （２）
【００３６】ただし、La[m]は第１および第２の反射板
６ａ，６ｂの横の長さ（対象回転体５の軸方向の長
さ），Lb[m]は第１および第２の反射板６ａ，６ｂの縦
の長さ（対象回転体５の周方向の長さ）であり、φ[m]
は第１および第２の照射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径
である。そして、第１の反射板６ａは対象回転体５の伝
達軸の駆動側に取り付けられ、第２の反射板６ｂは伝達
軸の負荷側に取り付けられている。
６ａ，６ｂの横の長さ（対象回転体５の軸方向の長
さ），Lb[m]は第１および第２の反射板６ａ，６ｂの縦
の長さ（対象回転体５の周方向の長さ）であり、φ[m]
は第１および第２の照射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径
である。そして、第１の反射板６ａは対象回転体５の伝
達軸の駆動側に取り付けられ、第２の反射板６ｂは伝達
軸の負荷側に取り付けられている。
【００３７】第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂ
は、ビーム倍率Fで第１および第２の照射光線１ａ，１
ｂを拡大・縮小でき、第１および第２の照射光線１ａ，
１ｂの正反射である第１および第２の反射光線１ａｒ，
１ｂｒを受光できるように構成する。このような構成は
数多く存在するが、第１の送受信装置７ａを例に挙げて
その構成例を図２に示す。ビーム倍率Fは次の式（３）
で設定することができる。 Ｆ＝fa／fb （３） ただし、fa[m]はレンズ１７の焦点距離、fb[m]はレンズ
１６の焦点距離である。
は、ビーム倍率Fで第１および第２の照射光線１ａ，１
ｂを拡大・縮小でき、第１および第２の照射光線１ａ，
１ｂの正反射である第１および第２の反射光線１ａｒ，
１ｂｒを受光できるように構成する。このような構成は
数多く存在するが、第１の送受信装置７ａを例に挙げて
その構成例を図２に示す。ビーム倍率Fは次の式（３）
で設定することができる。 Ｆ＝fa／fb （３） ただし、fa[m]はレンズ１７の焦点距離、fb[m]はレンズ
１６の焦点距離である。
【００３８】第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂに
備えられた第１および第２の位置調整装置１５ａ，１５
ｂはステッピングモータ等で構成され、第１および第２
の送受信装置７ａ，７ｂの位置を調整して、第１および
第２の反射板６ａ，６ｂに照射する第１および第２の照
射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径を調整することができ
るようになっている。
備えられた第１および第２の位置調整装置１５ａ，１５
ｂはステッピングモータ等で構成され、第１および第２
の送受信装置７ａ，７ｂの位置を調整して、第１および
第２の反射板６ａ，６ｂに照射する第１および第２の照
射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径を調整することができ
るようになっている。
【００３９】第１および第２の光線分離装置８ａ，８ｂ
は、第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによ
って第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂから伝送さ
れる第１および第２の反射光線１ａｒ，１ｂｒを第１お
よび第２の照射光線１ａ，１ｂから分離するように構成
する。このような構成は数多く存在するが、第１の光線
分離装置８ａを例に挙げてその構成例を図３に示す。
は、第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによ
って第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂから伝送さ
れる第１および第２の反射光線１ａｒ，１ｂｒを第１お
よび第２の照射光線１ａ，１ｂから分離するように構成
する。このような構成は数多く存在するが、第１の光線
分離装置８ａを例に挙げてその構成例を図３に示す。
【００４０】すなわち、第１の双方向光線伝送路４ａに
よって伝送される第１の反射光線１ａｒは、レンズ１
８、ビームスプリッタ２０、ミラー２１、レンズ２２の
順で進み、反射光線伝送路９ａによって第１の光検知装
置１１ａへ伝送される。一方、第１の一方向光線伝送路
３ａによって伝送される第１の照射光線１ａは、レンズ
２３、ビームスプリッタ２０、レンズ１８の順で進行
し、第１の双方向光線伝送路４ａによって第１の送受信
装置７ａへ伝送されるようになっている。
よって伝送される第１の反射光線１ａｒは、レンズ１
８、ビームスプリッタ２０、ミラー２１、レンズ２２の
順で進み、反射光線伝送路９ａによって第１の光検知装
置１１ａへ伝送される。一方、第１の一方向光線伝送路
３ａによって伝送される第１の照射光線１ａは、レンズ
２３、ビームスプリッタ２０、レンズ１８の順で進行
し、第１の双方向光線伝送路４ａによって第１の送受信
装置７ａへ伝送されるようになっている。
【００４１】第１および第２の光検知装置１１ａ，１１
ｂは、フォトダイオード、光電管、光電子増倍管等の各
種の光電変換素子で構成される。そして、第１および第
２の照射光線１ａ，１ｂと同一波長の光を選択して受光
できるように第１および第２の光学フィルタ１０ａ，１
０ｂが取り付けられている。
ｂは、フォトダイオード、光電管、光電子増倍管等の各
種の光電変換素子で構成される。そして、第１および第
２の照射光線１ａ，１ｂと同一波長の光を選択して受光
できるように第１および第２の光学フィルタ１０ａ，１
０ｂが取り付けられている。
【００４２】信号処理装置１４はサンプリング周波数選
択装置１３および計算機で構成される。サンプリング周
波数選択装置１３はAD変換器で構成され、ハード的手段
またはソフト的手段によって第１および第２の光検知装
置１１ａ，１１ｂの出力を任意のサンプリング周波数で
デジタル電気信号に変換し、計算機へ伝送するようにな
っている。計算機は前記デジタル電気信号に対してソフ
ト的手段によって各種演算を行うようになっている。
択装置１３および計算機で構成される。サンプリング周
波数選択装置１３はAD変換器で構成され、ハード的手段
またはソフト的手段によって第１および第２の光検知装
置１１ａ，１１ｂの出力を任意のサンプリング周波数で
デジタル電気信号に変換し、計算機へ伝送するようにな
っている。計算機は前記デジタル電気信号に対してソフ
ト的手段によって各種演算を行うようになっている。
【００４３】以上のように構成した本発明の第１の実施
の形態の回転体計測装置の作用を次に説明する。計測対
象とする対象回転体５としては、車両、船舶、列車等の
動力部、発電機、電動機、モータ等の機器が挙げられ
る。
の形態の回転体計測装置の作用を次に説明する。計測対
象とする対象回転体５としては、車両、船舶、列車等の
動力部、発電機、電動機、モータ等の機器が挙げられ
る。
【００４４】第１の光線発生装置２ａから出射された第
１の照射光線１ａは、第１の一方向光線伝送路３ａに入
射して伝送され、第１の光線分離装置８ａ、第１の双方
向光線伝送路４ａを経て、第１の送受信装置７ａへ伝送
される（図１）。なお、第１の光線分離装置８ａの内部
では、第１の一方向光線伝送路３ａから入射する第１の
照射光線１ａは、レンズ２３、ビームスプリッタ２０、
レンズ１８を経て第１の双方向光線伝送路４ａに入射す
る（図３）。
１の照射光線１ａは、第１の一方向光線伝送路３ａに入
射して伝送され、第１の光線分離装置８ａ、第１の双方
向光線伝送路４ａを経て、第１の送受信装置７ａへ伝送
される（図１）。なお、第１の光線分離装置８ａの内部
では、第１の一方向光線伝送路３ａから入射する第１の
照射光線１ａは、レンズ２３、ビームスプリッタ２０、
レンズ１８を経て第１の双方向光線伝送路４ａに入射す
る（図３）。
【００４５】そして、第１の照射光線１ａは、第１の送
受信装置７ａにより、対象回転体５の表面上において前
記（１），（２）式および次に示す式（４）を満足する
照射ビーム径φ[m]となるように照射される。 φ＝Ｆ・Φ （４）
受信装置７ａにより、対象回転体５の表面上において前
記（１），（２）式および次に示す式（４）を満足する
照射ビーム径φ[m]となるように照射される。 φ＝Ｆ・Φ （４）
【００４６】ただし、Ｆは第１の送受信装置７ａによる
第１の照射光線１ａのビーム倍率であり、Φ[m]は第１
の双方向光線伝送路４ａにおける第１の照射光線１ａの
ビーム径である。照射された第１の照射光線１ａは、対
象回転体５の第１の反射板６ａに照射されて正反射し、
第１の反射光線１ａｒとなる。
第１の照射光線１ａのビーム倍率であり、Φ[m]は第１
の双方向光線伝送路４ａにおける第１の照射光線１ａの
ビーム径である。照射された第１の照射光線１ａは、対
象回転体５の第１の反射板６ａに照射されて正反射し、
第１の反射光線１ａｒとなる。
【００４７】第１の反射光線１ａｒは対象回転体５の一
回転毎に得られ、次の式（５）に示す立上り・立下り時
間tr[s]を有する単一のパルス光線となる。 tr＝φ／Vr （５） ただし、Vr[ｍ/ｓ]は対象回転体５の回転速度である。
回転毎に得られ、次の式（５）に示す立上り・立下り時
間tr[s]を有する単一のパルス光線となる。 tr＝φ／Vr （５） ただし、Vr[ｍ/ｓ]は対象回転体５の回転速度である。
【００４８】第１の反射光線１ａｒは第１の送受信装置
７ａへ戻り、第１の双方向光線伝送路４ａ、第１の光線
分離装置８ａ、第１の反射光線伝送路９ａを経て、第１
の光検知装置１１ａへ伝送される。なお、第１の光線分
離装置８ａの内部では、第１の双方向光線伝送路４ａか
ら入射する第１の反射光線１ａｒは、レンズ１８、ビー
ムスプリッタ２０、ミラー２１、レンズ２２を経て第１
の反射光線伝送路９ａに出射する。
７ａへ戻り、第１の双方向光線伝送路４ａ、第１の光線
分離装置８ａ、第１の反射光線伝送路９ａを経て、第１
の光検知装置１１ａへ伝送される。なお、第１の光線分
離装置８ａの内部では、第１の双方向光線伝送路４ａか
ら入射する第１の反射光線１ａｒは、レンズ１８、ビー
ムスプリッタ２０、ミラー２１、レンズ２２を経て第１
の反射光線伝送路９ａに出射する。
【００４９】一方、第２の光線発生装置２ｂから出射し
た第２の照射光線１ｂについても同様の作用を受ける。
この結果、第１の光検知装置１１ａでは図４に示す第１
の出力信号２７が得られ、第２の光検知装置１１ｂでは
図４に示す第２の出力信号２８が得られる。第１および
第２の出力信号２７，２８は一回転毎に得られ、信号処
理装置１４へ逐次伝送される。
た第２の照射光線１ｂについても同様の作用を受ける。
この結果、第１の光検知装置１１ａでは図４に示す第１
の出力信号２７が得られ、第２の光検知装置１１ｂでは
図４に示す第２の出力信号２８が得られる。第１および
第２の出力信号２７，２８は一回転毎に得られ、信号処
理装置１４へ逐次伝送される。
【００５０】信号処理装置１４では、図４に示すように
第１および第２の出力信号２７，２８の立上振幅値に閾
値Vth[V]を設定し、第i回転目における第１の出力信号
２７のトリガ時間trg1[s]、第２の出力信号２８のトリ
ガ時間trg2[s]、第i+1回転目における第１の出力信号２
７のトリガ時間trg1'[s]および第２の出力信号２８のト
リガ時間trg2'[s]を抽出する。そして、次の式（６）、
（７）により回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を
求める。
第１および第２の出力信号２７，２８の立上振幅値に閾
値Vth[V]を設定し、第i回転目における第１の出力信号
２７のトリガ時間trg1[s]、第２の出力信号２８のトリ
ガ時間trg2[s]、第i+1回転目における第１の出力信号２
７のトリガ時間trg1'[s]および第２の出力信号２８のト
リガ時間trg2'[s]を抽出する。そして、次の式（６）、
（７）により回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を
求める。
【００５１】
【数１】
【００５２】
【数２】
【００５３】ただし、η[Nm/rad]は対象回転体５の該当
部のねじり剛性であり、trg1[s]は第１の出力信号から
求めたトリガ時間、trg1'[s]は１回転後の第１の出力信
号から求めたトリガ時間、trg2[s]は第２の出力信号か
ら求めたトリガ時間、trg2'[s]は１回転後の第２の出力
信号から求めたトリガ時間である。
部のねじり剛性であり、trg1[s]は第１の出力信号から
求めたトリガ時間、trg1'[s]は１回転後の第１の出力信
号から求めたトリガ時間、trg2[s]は第２の出力信号か
ら求めたトリガ時間、trg2'[s]は１回転後の第２の出力
信号から求めたトリガ時間である。
【００５４】以上に述べた作用の結果、回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]の計測精度は、式（５）に示
した第１および第２の反射光線の立上り・立下り時間で
決定され、第１および第２の照射光線の照射ビーム径φ
[m]を調整することによって所定の計測精度に設定する
ことができ、高精度計測が必要とされる回転機器および
車両などへの適用が可能となる。
および出力トルクTrq[Nm]の計測精度は、式（５）に示
した第１および第２の反射光線の立上り・立下り時間で
決定され、第１および第２の照射光線の照射ビーム径φ
[m]を調整することによって所定の計測精度に設定する
ことができ、高精度計測が必要とされる回転機器および
車両などへの適用が可能となる。
【００５５】そして、第１および第２の送受信装置７
ａ，７ｂはビーム倍率を調整するだけの構造であり、ま
た第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂが照射
光線とその反射光線の伝送路を兼ねるため数量が少な
く、さらに第１および第２の反射板６ａ，６ｂは対象回
転体５の表面の一部に取り付けるだけよいため、簡素か
つ低コスト、適用が簡単であるという特長を有する。
ａ，７ｂはビーム倍率を調整するだけの構造であり、ま
た第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂが照射
光線とその反射光線の伝送路を兼ねるため数量が少な
く、さらに第１および第２の反射板６ａ，６ｂは対象回
転体５の表面の一部に取り付けるだけよいため、簡素か
つ低コスト、適用が簡単であるという特長を有する。
【００５６】この第１の実施の形態の回転体計測装置に
おいて、対象回転体５の回転中、回転軸の位置が変動し
て第１および第２の照射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径
φ[m]が大きくなる場合がある。この場合、式（５）に
示した立上り・立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速
度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下す
る。
おいて、対象回転体５の回転中、回転軸の位置が変動し
て第１および第２の照射光線１ａ，１ｂの照射ビーム径
φ[m]が大きくなる場合がある。この場合、式（５）に
示した立上り・立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速
度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下す
る。
【００５７】このような状況の場合には、第１の位置調
整装置１５ａにより第１の送受信装置７ａの位置調整を
行って第１の照射光線１ａを調整し、所定の照射ビーム
径φ[m]となるようにする。同様に、第２の送受信装置
７ｂについても第２の位置調整装置１５ｂにより第２の
照射光線１ｂを調整し、所定の照射ビーム径φ[m]とな
るようにする。
整装置１５ａにより第１の送受信装置７ａの位置調整を
行って第１の照射光線１ａを調整し、所定の照射ビーム
径φ[m]となるようにする。同様に、第２の送受信装置
７ｂについても第２の位置調整装置１５ｂにより第２の
照射光線１ｂを調整し、所定の照射ビーム径φ[m]とな
るようにする。
【００５８】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転軸が変動する場合であっても、第１および第２の位
置調整装置１５ａ，１５ｂを用いて第１および第２の送
受信装置７ａ，７ｂの位置調整を行うことにより、第１
および第２の照射光線の照射ビーム径φ[m]を調整して
所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を計測することができる。その結果、回転軸が変動す
る回転機器および車両などへの適用が可能となる。
回転軸が変動する場合であっても、第１および第２の位
置調整装置１５ａ，１５ｂを用いて第１および第２の送
受信装置７ａ，７ｂの位置調整を行うことにより、第１
および第２の照射光線の照射ビーム径φ[m]を調整して
所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を計測することができる。その結果、回転軸が変動す
る回転機器および車両などへの適用が可能となる。
【００５９】またこの第１の実施の形態の回転体計測装
置において、対象回転体５が、太陽や照明などの外乱光
環境に直接曝されて第１および第２の反射光線１ａｒ，
１ｂｒに外乱光が混入し、第１および第２の出力信号２
７，２８にノイズが重畳してSN比が低下する場合があ
る。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr
[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq
[Nm]の計測精度が低下する。
置において、対象回転体５が、太陽や照明などの外乱光
環境に直接曝されて第１および第２の反射光線１ａｒ，
１ｂｒに外乱光が混入し、第１および第２の出力信号２
７，２８にノイズが重畳してSN比が低下する場合があ
る。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr
[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq
[Nm]の計測精度が低下する。
【００６０】このような状況の場合であっても、第１お
よび第２の光学フィルタ１０ａ，１０ｂが第１および第
２の照射光線だけを選択できるようになっているため、
第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂでは、外乱
光を除去して高SN比の第１および第２の出力信号２７，
２８を得ることができる。
よび第２の光学フィルタ１０ａ，１０ｂが第１および第
２の照射光線だけを選択できるようになっているため、
第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂでは、外乱
光を除去して高SN比の第１および第２の出力信号２７，
２８を得ることができる。
【００６１】以上に述べた作用の結果、第１および第２
の反射光線１ａｒ，１ｂｒに外乱光が混入する場合であ
っても、第１および第２の光学フィルタ１０ａ，１０ｂ
により、第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂで
は、外乱光を除去した高SN比の第１および第２の出力信
号２７，２８を得ることができ、所定の計測精度で回転
速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することがで
きる。その結果、対象回転体５が外乱光環境に存在する
場合であっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を所定の計測精度で求めることが可能となる。
の反射光線１ａｒ，１ｂｒに外乱光が混入する場合であ
っても、第１および第２の光学フィルタ１０ａ，１０ｂ
により、第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂで
は、外乱光を除去した高SN比の第１および第２の出力信
号２７，２８を得ることができ、所定の計測精度で回転
速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することがで
きる。その結果、対象回転体５が外乱光環境に存在する
場合であっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を所定の計測精度で求めることが可能となる。
【００６２】またこの第１の実施形態の回転体計測装置
において、第１および第２の出力信号２７，２８に高周
波数ノイズfnhが重畳してSN比が低下する場合がある。
この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr[s]
が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]
の計測精度が低下する。
において、第１および第２の出力信号２７，２８に高周
波数ノイズfnhが重畳してSN比が低下する場合がある。
この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr[s]
が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]
の計測精度が低下する。
【００６３】このような状況の場合には、サンプリング
周波数選択装置１３において、第１および第２の光検知
装置１１ａ，１１ｂの出力に対して高周波数ノイズfnh
の周波数fnh[Hz]より小さいサンプリング周波数で取り
込むことにより、高周波数ノイズfnhを除去して高SN比
の第１および第２の出力信号２７，２８を得ることがで
きる。
周波数選択装置１３において、第１および第２の光検知
装置１１ａ，１１ｂの出力に対して高周波数ノイズfnh
の周波数fnh[Hz]より小さいサンプリング周波数で取り
込むことにより、高周波数ノイズfnhを除去して高SN比
の第１および第２の出力信号２７，２８を得ることがで
きる。
【００６４】以上に述べた作用の結果、第１および第２
の出力信号２７，２８に高周波数ノイズfnhが重畳する
場合、サンプリング周波数選択装置１３により、第１お
よび第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力に対して高
周波数ノイズfnhの周波数より小さいサンプリング周波
数で取り込むことによって高周波数ノイズfnhを除去し
た高SN比の第１および第２の出力信号２７，２８を得る
ことができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出
力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
の出力信号２７，２８に高周波数ノイズfnhが重畳する
場合、サンプリング周波数選択装置１３により、第１お
よび第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力に対して高
周波数ノイズfnhの周波数より小さいサンプリング周波
数で取り込むことによって高周波数ノイズfnhを除去し
た高SN比の第１および第２の出力信号２７，２８を得る
ことができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出
力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
【００６５】その結果、第１および第２の出力信号２
７，２８に高周波数ノイズfnhが重畳する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
７，２８に高周波数ノイズfnhが重畳する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
【００６６】さらにこの第１の実施の形態の回転体計測
装置において、第１および第２の出力信号２７，２８に
時間的にランダムなノイズが重畳してSN比が低下する場
合がある。この場合、式（５）に示した立上り・立下り
時間tr[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]の計測精度が低下する。
装置において、第１および第２の出力信号２７，２８に
時間的にランダムなノイズが重畳してSN比が低下する場
合がある。この場合、式（５）に示した立上り・立下り
時間tr[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]の計測精度が低下する。
【００６７】このような状況の場合、信号処理装置14に
おいて、時間：1/f[s]を波形の取り込み時間単位とし、
第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力波形
を任意の時刻から各々Ns個取り込む。そして、Ns個の出
力波形を積算して平滑化することにより、時間的にラン
ダムなノイズを除去して高SN比の第１および第２の出力
信号２７，２８を得ることができる。
おいて、時間：1/f[s]を波形の取り込み時間単位とし、
第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力波形
を任意の時刻から各々Ns個取り込む。そして、Ns個の出
力波形を積算して平滑化することにより、時間的にラン
ダムなノイズを除去して高SN比の第１および第２の出力
信号２７，２８を得ることができる。
【００６８】以上に述べた作用の結果、第１および第２
の出力信号２７，２８に時間的にランダムなノイズが重
畳する場合、信号処理装置１４の平滑化処理手段によ
り、時間：1/f[s]を波形の取り込み時間単位として各々
Ns個の出力波形を取り込み、Ns個の出力波形を積算して
平滑化することによって、時間的にランダムなノイズを
除去した高SN比の第１および第２の出力信号２７，２８
を得ることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]お
よび出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
の出力信号２７，２８に時間的にランダムなノイズが重
畳する場合、信号処理装置１４の平滑化処理手段によ
り、時間：1/f[s]を波形の取り込み時間単位として各々
Ns個の出力波形を取り込み、Ns個の出力波形を積算して
平滑化することによって、時間的にランダムなノイズを
除去した高SN比の第１および第２の出力信号２７，２８
を得ることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]お
よび出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
【００６９】その結果、第１および第２の出力信号２
７，２８に時間的にランダムなノイズが重畳する場合で
あっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所
定の計測精度で求めることが可能となる。
７，２８に時間的にランダムなノイズが重畳する場合で
あっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所
定の計測精度で求めることが可能となる。
【００７０】次に、本発明の第２の実施の形態の回転体
計測装置を図５を参照して説明する。この実施の形態の
回転体計測装置は、第１および第２のパルス照射光線を
出射する第１および第２のパルス光線発生装置２９，３
０と、第１および第２のパルス光線を伝送する第１およ
び第２の一方向光線伝送路３ａ，３ｂおよび双方向光線
伝送路４ａ，４ｂと、対象回転体５の表面に複数取り付
けられ、第１および第２のパルス照射光線を反射する第
１および第２の反射板群３１，３２と、照射径を光学的
に調節して第１および第２のパルス照射光線を第１およ
び第２の反射板群３１，３２に照射し、第１および第２
の反射板群３１，３２による第１および第２のパルス反
射光線を受光する第１および第２の照射径可変送受信装
置３３，３４とを備えている。
計測装置を図５を参照して説明する。この実施の形態の
回転体計測装置は、第１および第２のパルス照射光線を
出射する第１および第２のパルス光線発生装置２９，３
０と、第１および第２のパルス光線を伝送する第１およ
び第２の一方向光線伝送路３ａ，３ｂおよび双方向光線
伝送路４ａ，４ｂと、対象回転体５の表面に複数取り付
けられ、第１および第２のパルス照射光線を反射する第
１および第２の反射板群３１，３２と、照射径を光学的
に調節して第１および第２のパルス照射光線を第１およ
び第２の反射板群３１，３２に照射し、第１および第２
の反射板群３１，３２による第１および第２のパルス反
射光線を受光する第１および第２の照射径可変送受信装
置３３，３４とを備えている。
【００７１】さらにこの実施の形態の回転体計測装置
は、前記第１および第２の照射径可変送受信装置３３，
３４によって受光され、第１および第２の双方向光線伝
送路４ａ，４ｂによって伝送された第１および第２のパ
ルス反射光線を第１および第２のパルス照射光線と分離
する第１および第２の光線分離装置８ａ，８ｂと、第１
および第２の光線分離装置８ａ，８ｂによって分離さ
れ、第１および第２の反射光線伝送路９ａ，９ｂによっ
て伝送される第１および第２のパルス反射光線を検知す
る第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂと、第１
および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力信号を電
気信号伝送路１２を通して受けて信号処理する信号処理
装置１４とを備えている。信号処理装置１４は、サンプ
リング周波数選択装置１３および計算機で構成されてい
る。
は、前記第１および第２の照射径可変送受信装置３３，
３４によって受光され、第１および第２の双方向光線伝
送路４ａ，４ｂによって伝送された第１および第２のパ
ルス反射光線を第１および第２のパルス照射光線と分離
する第１および第２の光線分離装置８ａ，８ｂと、第１
および第２の光線分離装置８ａ，８ｂによって分離さ
れ、第１および第２の反射光線伝送路９ａ，９ｂによっ
て伝送される第１および第２のパルス反射光線を検知す
る第１および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂと、第１
および第２の光検知装置１１ａ，１１ｂの出力信号を電
気信号伝送路１２を通して受けて信号処理する信号処理
装置１４とを備えている。信号処理装置１４は、サンプ
リング周波数選択装置１３および計算機で構成されてい
る。
【００７２】第１および第２のパルス光線発生装置２
９，３０は、パルス発振形式の固体、気体、液体、半導
体等の各種レーザ、パルス点灯のLED、フラッシュラン
プ等、パルス発振形式の指向性を有する光源で構成され
ている。第１および第２の反射板群３１，３２は、第１
および第２の反射板６ａ，６ｂを対象回転体５の周方向
に各々nr個取り付けた構成になっている。
９，３０は、パルス発振形式の固体、気体、液体、半導
体等の各種レーザ、パルス点灯のLED、フラッシュラン
プ等、パルス発振形式の指向性を有する光源で構成され
ている。第１および第２の反射板群３１，３２は、第１
および第２の反射板６ａ，６ｂを対象回転体５の周方向
に各々nr個取り付けた構成になっている。
【００７３】第１および第２の照射径可変送受信装置３
３，３４は、可変ビーム倍率で第１および第２のパルス
照射光線を拡大・縮小でき、第１および第２のパルス照
射光線の正反射である第１および第２のパルス反射光線
を受光できるように構成されている。このような構成は
数多く存在するが、第１の照射径可変送受信装置３３を
例に挙げてその構成例を図６に示す。可変ビーム倍率：
Fvは次の式（８）で表すことができ、レンズ１７とレン
ズ３５の間隔dr[m]をレンズ駆動装置３６によって変え
ることによって、第１の照射径可変送受信装置３３を移
動させることなく所定の照射ビーム径に設定することが
できる。
３，３４は、可変ビーム倍率で第１および第２のパルス
照射光線を拡大・縮小でき、第１および第２のパルス照
射光線の正反射である第１および第２のパルス反射光線
を受光できるように構成されている。このような構成は
数多く存在するが、第１の照射径可変送受信装置３３を
例に挙げてその構成例を図６に示す。可変ビーム倍率：
Fvは次の式（８）で表すことができ、レンズ１７とレン
ズ３５の間隔dr[m]をレンズ駆動装置３６によって変え
ることによって、第１の照射径可変送受信装置３３を移
動させることなく所定の照射ビーム径に設定することが
できる。
【数３】
ただし、fc[m]はレンズ３５の焦点距離である。
【００７４】以上のように構成した本発明の第２の実施
の形態の回転体計測装置の作用を次に説明する。まず、
第１および第２のパルス光線発生装置２９，３０におい
て、第１および第２のパルス照射光線の繰り返し周波数
fL[Hz]が、対象回転体５の回転速度f[Hz]に第１および
第２の反射板群３１，３２における反射板の構成個数nr
を乗じた周波数より十分大きく、さらに第１および第２
のパルス照射光線のパルス時間幅tL[s]が、各反射板の
周方向長さLb[m]を対象回転体５の回転速度Vr[m/s]で除
した値より十分大きい値となるように設定する。
の形態の回転体計測装置の作用を次に説明する。まず、
第１および第２のパルス光線発生装置２９，３０におい
て、第１および第２のパルス照射光線の繰り返し周波数
fL[Hz]が、対象回転体５の回転速度f[Hz]に第１および
第２の反射板群３１，３２における反射板の構成個数nr
を乗じた周波数より十分大きく、さらに第１および第２
のパルス照射光線のパルス時間幅tL[s]が、各反射板の
周方向長さLb[m]を対象回転体５の回転速度Vr[m/s]で除
した値より十分大きい値となるように設定する。
【００７５】この場合、第１および第２のパルス照射光
線はパルス光であり高強度であるため、第１および第２
の光検知装置１１ａ，１１ｂでは、図７に示す高SN比の
第１および第２の出力信号群３７，３８を得ることがで
きる。そして、第１および第２のパルス照射光線は、繰
り返し周波数fL[Hz]、パルス時間幅tL[s]であるため、
一回転毎に漏れなく各々nr個の出力信号群を得ることが
できる。
線はパルス光であり高強度であるため、第１および第２
の光検知装置１１ａ，１１ｂでは、図７に示す高SN比の
第１および第２の出力信号群３７，３８を得ることがで
きる。そして、第１および第２のパルス照射光線は、繰
り返し周波数fL[Hz]、パルス時間幅tL[s]であるため、
一回転毎に漏れなく各々nr個の出力信号群を得ることが
できる。
【００７６】第１および第２の出力信号群３７，３８は
信号処理装置１４へ逐次伝送され、図７に示すように第
i回転目における第１および第２の出力信号群３７，３
８の第ｊ番目のパルスに対してトリガ時間trg1[s]およ
びtrg2[s]、第i+1回転目における第１および第２の出力
信号群３７，３８の第ｊ番目のパルスに対してトリガ時
間trg1'[s]およびtrg2'[s]を抽出する。そして、前記の
式（６）、（７）により回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]を求める。
信号処理装置１４へ逐次伝送され、図７に示すように第
i回転目における第１および第２の出力信号群３７，３
８の第ｊ番目のパルスに対してトリガ時間trg1[s]およ
びtrg2[s]、第i+1回転目における第１および第２の出力
信号群３７，３８の第ｊ番目のパルスに対してトリガ時
間trg1'[s]およびtrg2'[s]を抽出する。そして、前記の
式（６）、（７）により回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]を求める。
【００７７】以上に述べた作用の結果、第１および第２
のパルス光線発生装置２９，３０が照射する第１および
第２のパルス照射光線はパルス光であるため、前記第１
の実施の形態における連続光の照射光線１ａ，１ｂに比
べて高強度であり、高SN比の第１および第２の出力信号
群３７，３８を得ることができ、所定の計測精度で回転
速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することがで
きる。その結果、ノイズ対策を軽減することができ、簡
素かつ低コスト、適用が簡単な回転体診断装置とするこ
とができる。
のパルス光線発生装置２９，３０が照射する第１および
第２のパルス照射光線はパルス光であるため、前記第１
の実施の形態における連続光の照射光線１ａ，１ｂに比
べて高強度であり、高SN比の第１および第２の出力信号
群３７，３８を得ることができ、所定の計測精度で回転
速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することがで
きる。その結果、ノイズ対策を軽減することができ、簡
素かつ低コスト、適用が簡単な回転体診断装置とするこ
とができる。
【００７８】この第２の実施の形態の回転体計測装置に
おいて、対象回転体５の回転中、回転軸の位置が変動し
て第１および第２のパルス照射光線の照射ビーム径φ
[m]が大きくなる場合がある。この場合、式（５）に示
した立上り・立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速度f
[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下する。
おいて、対象回転体５の回転中、回転軸の位置が変動し
て第１および第２のパルス照射光線の照射ビーム径φ
[m]が大きくなる場合がある。この場合、式（５）に示
した立上り・立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速度f
[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下する。
【００７９】このような状況の場合には、第１の照射径
可変送受信装置３３のレンズ駆動装置３６によってレン
ズ３５を移動させて照射ビーム径を光学的に縮小し、第
１のパルス照射光線の所定の照射ビーム径φ[m]となる
ようにする。同様に、第２の照射径可変送受信装置３４
についても、第２のパルス照射光線の所定の照射ビーム
径φ[m]となるようにする。
可変送受信装置３３のレンズ駆動装置３６によってレン
ズ３５を移動させて照射ビーム径を光学的に縮小し、第
１のパルス照射光線の所定の照射ビーム径φ[m]となる
ようにする。同様に、第２の照射径可変送受信装置３４
についても、第２のパルス照射光線の所定の照射ビーム
径φ[m]となるようにする。
【００８０】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転軸が変動する場合であっても、第１および第２の照
射径可変送受信装置３３，３４を用いて第１および第２
のパルス照射光線のビーム径を光学的に拡大または縮小
することにより、第１および第２のパルス照射光線の照
射ビーム径φ[m]を調整し、所定の計測精度で回転速度f
[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができ
る。その結果、回転軸が変動する回転機器および車両な
どへの適用が可能となる。
回転軸が変動する場合であっても、第１および第２の照
射径可変送受信装置３３，３４を用いて第１および第２
のパルス照射光線のビーム径を光学的に拡大または縮小
することにより、第１および第２のパルス照射光線の照
射ビーム径φ[m]を調整し、所定の計測精度で回転速度f
[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができ
る。その結果、回転軸が変動する回転機器および車両な
どへの適用が可能となる。
【００８１】またこの第２の実施の形態の回転体計測装
置において、第１および第２の出力信号群３７，３８に
高周波数ノイズfnhが重畳し、SN比が低下する場合があ
る。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr
[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq
[Nm]の計測精度が低下する。
置において、第１および第２の出力信号群３７，３８に
高周波数ノイズfnhが重畳し、SN比が低下する場合があ
る。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間tr
[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq
[Nm]の計測精度が低下する。
【００８２】このような状況の場合には、信号処理装置
１４において、デジタル電気信号に変換後の第１および
第２の出力信号群３７，３８に対し、高周波数ノイズf
nhの周波数の逆数より大きなサンプリング時間Δtで出
力信号群を抽出して第１および第２の出力信号群３７，
３８とすることにより、高周波数ノイズfnhを除去して
高SN比の第１および第２の出力信号群３７，３８を得る
ことができる。
１４において、デジタル電気信号に変換後の第１および
第２の出力信号群３７，３８に対し、高周波数ノイズf
nhの周波数の逆数より大きなサンプリング時間Δtで出
力信号群を抽出して第１および第２の出力信号群３７，
３８とすることにより、高周波数ノイズfnhを除去して
高SN比の第１および第２の出力信号群３７，３８を得る
ことができる。
【００８３】以上に述べた作用の結果、第１および第２
の出力信号群３７，３８に高周波数ノイズfnhが重畳す
る場合、信号処理装置１４におけるサンプリング時間調
整手段により、デジタル電気信号に変換後の第１および
第２の出力信号群３７，３８に対して高周波数ノイズf
nhの周波数の逆数より大きなサンプリング時間Δtで出
力信号群を抽出することによって高周波数ノイズfnhを
除去した高SN比の第１および第２の出力信号群３７，３
８を得ることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
の出力信号群３７，３８に高周波数ノイズfnhが重畳す
る場合、信号処理装置１４におけるサンプリング時間調
整手段により、デジタル電気信号に変換後の第１および
第２の出力信号群３７，３８に対して高周波数ノイズf
nhの周波数の逆数より大きなサンプリング時間Δtで出
力信号群を抽出することによって高周波数ノイズfnhを
除去した高SN比の第１および第２の出力信号群３７，３
８を得ることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
【００８４】その結果、第１および第２の出力信号群３
７，３８に高周波数ノイズfnhが重畳する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
７，３８に高周波数ノイズfnhが重畳する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
【００８５】またこの第２の実施の形態の回転体計測装
置において、対象回転体５の回転中、回転軸が振動して
第１および第２のパルス照射光線の照射ビーム径φ[m]
の大きさが変動する場合がある。この場合、式（５）に
示した立上り・立下り時間tr[s]の値も変動し、回転速
度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下す
る。
置において、対象回転体５の回転中、回転軸が振動して
第１および第２のパルス照射光線の照射ビーム径φ[m]
の大きさが変動する場合がある。この場合、式（５）に
示した立上り・立下り時間tr[s]の値も変動し、回転速
度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下す
る。
【００８６】このような状況の場合には、信号処理装置
１４において、各回転毎に得られる回転速度f[Hz]およ
び出力トルクTrq[Nm]の計測値をＮ回転の間で平均し、
回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とする。この
際、回転軸の振動の影響を十分低減できるように、Ｎ回
転にかかる時間：N/f[s]は、回転軸の振動周期に比べ十
分長くなるように設定する。
１４において、各回転毎に得られる回転速度f[Hz]およ
び出力トルクTrq[Nm]の計測値をＮ回転の間で平均し、
回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とする。この
際、回転軸の振動の影響を十分低減できるように、Ｎ回
転にかかる時間：N/f[s]は、回転軸の振動周期に比べ十
分長くなるように設定する。
【００８７】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転中、回転軸が振動する場合であっても、信号処理装
置１４における平均化処理手段により、各回転毎に得ら
れる回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測値を
Ｎ回転の間で平均することによって回転軸の振動の影響
を低減することができ、所定の計測精度で回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
その結果、回転軸が振動する場合であっても、回転速度
f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計測精度で求め
ることが可能となる。
回転中、回転軸が振動する場合であっても、信号処理装
置１４における平均化処理手段により、各回転毎に得ら
れる回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測値を
Ｎ回転の間で平均することによって回転軸の振動の影響
を低減することができ、所定の計測精度で回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
その結果、回転軸が振動する場合であっても、回転速度
f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計測精度で求め
ることが可能となる。
【００８８】さらにまた、この第２の実施の形態の回転
体計測装置においては、第１および第２の反射板群３
１，３２は、前記第１の実施の形態における第１および
第２の反射板６ａ，６ｂを各々nr個取り付けた構成にな
っているため、信号処理装置１４では、図７に示すよう
にnr個のパルスで構成される第１および第２の出力信号
群３７，３８を一回転毎に得ることができる。そして、
nr個の各パルスにおいて回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]の計測値を得ることができるため、２nr個の
回転速度f[Hz]と、nr×nr個の出力トルクTrq[Nm]を一回
転毎に得ることができる。
体計測装置においては、第１および第２の反射板群３
１，３２は、前記第１の実施の形態における第１および
第２の反射板６ａ，６ｂを各々nr個取り付けた構成にな
っているため、信号処理装置１４では、図７に示すよう
にnr個のパルスで構成される第１および第２の出力信号
群３７，３８を一回転毎に得ることができる。そして、
nr個の各パルスにおいて回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]の計測値を得ることができるため、２nr個の
回転速度f[Hz]と、nr×nr個の出力トルクTrq[Nm]を一回
転毎に得ることができる。
【００８９】そこで、対象回転体５の回転中、回転軸が
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、２nr個の回転速度f[Hz]の計
測値およびnr×nr個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を平
均して、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とす
る。
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、２nr個の回転速度f[Hz]の計
測値およびnr×nr個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を平
均して、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とす
る。
【００９０】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転中、回転軸が振動する場合であっても、第１および
第２の反射板群３１，３２を対象回転体５の周方向に各
々nr個備え、２nr個の回転速度f[Hz]の計測値および、n
r×nr個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を一回転毎に得て
平均することにより振動の影響を低減することができ、
所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を計測することができる。
回転中、回転軸が振動する場合であっても、第１および
第２の反射板群３１，３２を対象回転体５の周方向に各
々nr個備え、２nr個の回転速度f[Hz]の計測値および、n
r×nr個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を一回転毎に得て
平均することにより振動の影響を低減することができ、
所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[N
m]を計測することができる。
【００９１】その結果、対象回転体５の回転軸が振動す
る場合であっても、第１および第２の反射板群３１，３
２を対象回転体５の周方向に各々nr個備えて多くの計測
値で平均することより、回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]を所定の計測精度で求めることが可能とな
る。
る場合であっても、第１および第２の反射板群３１，３
２を対象回転体５の周方向に各々nr個備えて多くの計測
値で平均することより、回転速度f[Hz]および出力トル
クTrq[Nm]を所定の計測精度で求めることが可能とな
る。
【００９２】次に、本発明の第３の実施の形態の回転体
計測装置を図８を参照して説明する。本実施の形態の回
転体計測装置は、第１から第４の照射光線の波長を選択
することができる第１から第４の波長可変光線発生装置
３９，４０，４１，４２と、第１から第４の照射光線を
伝送する第１から第４の一方向光線伝送路３ａ，３ｂ，
３ｃ，３ｄおよび双方向光線伝送路４ａ，４ｂ，４ｃ，
４ｄと、対象回転体５の表面に取り付けられ、第１から
第４の照射光線に対する反射率が対象回転体５の周方向
に分布を有する第１から第３の分布型反射板４５，４
６，４７と、第１から第４の照射光線を第１から第３の
分布型反射板４５，４６，４７に照射し、第１から第３
の分布型反射板４５，４６，４７による第１から第４の
反射光線を受光する第１から第４の送受信装置７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄとを備えている。
計測装置を図８を参照して説明する。本実施の形態の回
転体計測装置は、第１から第４の照射光線の波長を選択
することができる第１から第４の波長可変光線発生装置
３９，４０，４１，４２と、第１から第４の照射光線を
伝送する第１から第４の一方向光線伝送路３ａ，３ｂ，
３ｃ，３ｄおよび双方向光線伝送路４ａ，４ｂ，４ｃ，
４ｄと、対象回転体５の表面に取り付けられ、第１から
第４の照射光線に対する反射率が対象回転体５の周方向
に分布を有する第１から第３の分布型反射板４５，４
６，４７と、第１から第４の照射光線を第１から第３の
分布型反射板４５，４６，４７に照射し、第１から第３
の分布型反射板４５，４６，４７による第１から第４の
反射光線を受光する第１から第４の送受信装置７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄとを備えている。
【００９３】さらに本実施の形態の回転体計測装置は、
前記第１から第４の送受信装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ
によって受光され、第１から第４の双方向光線伝送路４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄによって伝送された第１から第４
の反射光線を第１から第４の照射光線と分離する第１か
ら第４の光線分離装置８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと、第１
から第４の光線分離装置８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄによっ
て分離され、第１から第４の反射光線伝送路９ａ，９
ｂ，９ｃ，９ｄによって伝送される第１から第４の反射
光線を検知する第１から第４の光検知装置１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄと、第１から第４の光検知装置１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの出力信号を信号処理する
信号処理装置１４とを備えている。
前記第１から第４の送受信装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ
によって受光され、第１から第４の双方向光線伝送路４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄによって伝送された第１から第４
の反射光線を第１から第４の照射光線と分離する第１か
ら第４の光線分離装置８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと、第１
から第４の光線分離装置８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄによっ
て分離され、第１から第４の反射光線伝送路９ａ，９
ｂ，９ｃ，９ｄによって伝送される第１から第４の反射
光線を検知する第１から第４の光検知装置１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄと、第１から第４の光検知装置１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの出力信号を信号処理する
信号処理装置１４とを備えている。
【００９４】第１から第４の波長可変光線発生装置３
９，４０，４１，４２は、固体、気体、液体、半導体等
の波長可変レーザ、各種の波長選択素子或いは波長変換
素子等を取り付けて発振波長を適宜に変えることができ
るようになっている各種のレーザ、LED、ランプで構成
されている。また、発振波長が異なる複数個のレーザ、
LED、ランプで構成することもできる。
９，４０，４１，４２は、固体、気体、液体、半導体等
の波長可変レーザ、各種の波長選択素子或いは波長変換
素子等を取り付けて発振波長を適宜に変えることができ
るようになっている各種のレーザ、LED、ランプで構成
されている。また、発振波長が異なる複数個のレーザ、
LED、ランプで構成することもできる。
【００９５】第１から第３の分布型反射板４５，４６，
４７は、前記第１の実施の形態における第１および第２
の反射板６ａ，６ｂと材質および寸法が同一であるが、
その表面が加工され、反射率が高い領域と低い領域が規
則的或いは不規則的に周方向に分布する構造になってい
る。表面の加工は、例えば、超音波やレーザ光を用いて
行うことができる。
４７は、前記第１の実施の形態における第１および第２
の反射板６ａ，６ｂと材質および寸法が同一であるが、
その表面が加工され、反射率が高い領域と低い領域が規
則的或いは不規則的に周方向に分布する構造になってい
る。表面の加工は、例えば、超音波やレーザ光を用いて
行うことができる。
【００９６】第１から第３の分布型反射板４５，４６，
４７の例を図９に示す。図９では、高反射領域４８と低
反射領域４９が規則的に分布する規則分布領域５０と不
規則的に分布する二種類の不規則分布領域５１，５２
が、対象回転体５の軸方向に並ぶ構造になっている。な
お、軸方向の分布は、回転軸の軸方向の移動を検知する
ために設けたものであり、必ずしも必要ではない。
４７の例を図９に示す。図９では、高反射領域４８と低
反射領域４９が規則的に分布する規則分布領域５０と不
規則的に分布する二種類の不規則分布領域５１，５２
が、対象回転体５の軸方向に並ぶ構造になっている。な
お、軸方向の分布は、回転軸の軸方向の移動を検知する
ために設けたものであり、必ずしも必要ではない。
【００９７】第１から第４の送受信装置７ａ，７ｂ，７
ｃ，７ｄに関し、本実施の形態では、図８に示すように
第１および第２および第３の送受信装置７ａ，７ｂ，７
ｃが対象回転体５の軸方向に取り付けられ、第４の送受
信装置７ｄが周方向に取り付けられている。なお、周方
向の取付個数ns個、軸方向の取付個数na個については、
特に制限はない。
ｃ，７ｄに関し、本実施の形態では、図８に示すように
第１および第２および第３の送受信装置７ａ，７ｂ，７
ｃが対象回転体５の軸方向に取り付けられ、第４の送受
信装置７ｄが周方向に取り付けられている。なお、周方
向の取付個数ns個、軸方向の取付個数na個については、
特に制限はない。
【００９８】信号処理装置１４では、図１０に示す第１
から第４の出力信号５６，５７，５８，５９が得られ信
号処理が行われる。回転速度f[Hz]は、第１から第４の
出力信号５６，５７，５８，５９のいづれの信号からで
も求めることができる。一方、出力トルクTrq[Nm]は、
軸方向に関して同一位置にある第３と第４の出力信号５
８，５９の組み合わせを除き、任意の信号の組み合わせ
から求めることができる。
から第４の出力信号５６，５７，５８，５９が得られ信
号処理が行われる。回転速度f[Hz]は、第１から第４の
出力信号５６，５７，５８，５９のいづれの信号からで
も求めることができる。一方、出力トルクTrq[Nm]は、
軸方向に関して同一位置にある第３と第４の出力信号５
８，５９の組み合わせを除き、任意の信号の組み合わせ
から求めることができる。
【００９９】以上のように構成した第３の実施の形態の
回転体計測装置において、対象回転体５の回転中、回転
軸の位置が変動して第１から第４の照射光線の照射ビー
ム径φ[m]が大きくなる場合がある。この場合、式
（５）に示した立上り・立下り時間tr[s]が大きくな
り、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度
が低下する。
回転体計測装置において、対象回転体５の回転中、回転
軸の位置が変動して第１から第４の照射光線の照射ビー
ム径φ[m]が大きくなる場合がある。この場合、式
（５）に示した立上り・立下り時間tr[s]が大きくな
り、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測精度
が低下する。
【０１００】このような状況の場合には、第１から第４
の波長可変光線照射装置３９，４０，４１，４２によっ
て第１から第４の照射光線の波長を変え、第１から第４
の送受信装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄから照射される第
１から第４の照射光線の焦点距離を色収差を利用して調
整することにより照射ビーム径を光学的に縮小し、所定
の照射ビーム径φ[m]となるようにする。ここで、対象
回転体５の回転軸が第１から第４の送受信装置７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄに近づいた場合には、青色側の短波長の
照射波長とし、逆に遠ざかった場合は、赤色側の長波長
の照射波長とする。
の波長可変光線照射装置３９，４０，４１，４２によっ
て第１から第４の照射光線の波長を変え、第１から第４
の送受信装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄから照射される第
１から第４の照射光線の焦点距離を色収差を利用して調
整することにより照射ビーム径を光学的に縮小し、所定
の照射ビーム径φ[m]となるようにする。ここで、対象
回転体５の回転軸が第１から第４の送受信装置７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄに近づいた場合には、青色側の短波長の
照射波長とし、逆に遠ざかった場合は、赤色側の長波長
の照射波長とする。
【０１０１】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転軸が変動する場合であっても、第１から第４の波長
可変光線照射装置３９，４０，４１，４２を用いて第１
から第４の照射光線の波長を変え、波長によって光学レ
ンズの焦点距離が異なる色収差を利用することにより照
射ビーム径を光学的に拡大または縮小することにより、
第１から第４の照射光線の所定の照射ビーム径φ[m]を
調整し、所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力ト
ルクTrq[Nm]を計測することができる。その結果、回転
軸が変動する回転機器および車両などへの適用が可能と
なる。
回転軸が変動する場合であっても、第１から第４の波長
可変光線照射装置３９，４０，４１，４２を用いて第１
から第４の照射光線の波長を変え、波長によって光学レ
ンズの焦点距離が異なる色収差を利用することにより照
射ビーム径を光学的に拡大または縮小することにより、
第１から第４の照射光線の所定の照射ビーム径φ[m]を
調整し、所定の計測精度で回転速度f[Hz]および出力ト
ルクTrq[Nm]を計測することができる。その結果、回転
軸が変動する回転機器および車両などへの適用が可能と
なる。
【０１０２】この第３の実施の形態の回転体計測装置に
おいて、第１から第４の出力信号５６，５７，５８，５
９に高周波或いは低周波のノイズが重畳し、信号の立上
りまたは立下りからトリガ時間を抽出することが困難に
なる場合がある。この場合、式（５）に示した立上り・
立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出
力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下する。
おいて、第１から第４の出力信号５６，５７，５８，５
９に高周波或いは低周波のノイズが重畳し、信号の立上
りまたは立下りからトリガ時間を抽出することが困難に
なる場合がある。この場合、式（５）に示した立上り・
立下り時間tr[s]が大きくなり、回転速度f[Hz]および出
力トルクTrq[Nm]の計測精度が低下する。
【０１０３】このような状況の場合には、信号処理装置
１４において、第１および第２の出力信号５６，５７に
対し相関法を適用する。最初に回転速度f[Hz]を求め
る。次に、時間変数τ[s]を用いて次の式（９）に示す
相関関数Cr(τ)を計算する。
１４において、第１および第２の出力信号５６，５７に
対し相関法を適用する。最初に回転速度f[Hz]を求め
る。次に、時間変数τ[s]を用いて次の式（９）に示す
相関関数Cr(τ)を計算する。
【数４】
【０１０４】ただし、tは時間変数、Sm(t)は第１から第
４の出力信号５６，５７，５８，５９のいずれか、２δ
は相関演算する時間領域、Ciはi回転目のSm(t)が検知さ
れた時刻である。
４の出力信号５６，５７，５８，５９のいずれか、２δ
は相関演算する時間領域、Ciはi回転目のSm(t)が検知さ
れた時刻である。
【０１０５】そして、i回転目とi+1回転目の出力信号は
同一形状であるため、相関関数Cr(τ)が最大となる場合
の時間変数値τmax[s]が、式（６）に示した（trg1 −t
rg1’）、（trg2 −trg2’）となる。なお、時間変数値
τmax[s]は、対象回転体５の回転周期に等しい。回転速
度f[Hz]は、時間変数値τmax[s]の逆数として求めるこ
とができる。
同一形状であるため、相関関数Cr(τ)が最大となる場合
の時間変数値τmax[s]が、式（６）に示した（trg1 −t
rg1’）、（trg2 −trg2’）となる。なお、時間変数値
τmax[s]は、対象回転体５の回転周期に等しい。回転速
度f[Hz]は、時間変数値τmax[s]の逆数として求めるこ
とができる。
【０１０６】次に、出力トルクTrq[Nm]を求める。時間
変数τ[s]を用いて次の式（１０）に示す相関関数C
d(τ)を計算する。
変数τ[s]を用いて次の式（１０）に示す相関関数C
d(τ)を計算する。
【０１０７】
【数５】
ここで、Sn(t)はSm(t)と組み合わせる第１から第４の出
力信号５６，５７，５８，５９のいずれかである。ただ
し、第３と第４の出力信号の組み合わせは除く。
力信号５６，５７，５８，５９のいずれかである。ただ
し、第３と第４の出力信号の組み合わせは除く。
【０１０８】そして、第１から第３の分布型反射板４
５，４６，４７は同一形状であるため、相関関数Cd(τ)
が最大となる場合の時間変数値τmax[s]が、式（７）に
示される|trg1 −trg2|となる。従って、出力トルクTrq
[Nm]を式（７）から求めることができる。
５，４６，４７は同一形状であるため、相関関数Cd(τ)
が最大となる場合の時間変数値τmax[s]が、式（７）に
示される|trg1 −trg2|となる。従って、出力トルクTrq
[Nm]を式（７）から求めることができる。
【０１０９】以上に述べた作用の結果、第１から第４の
出力信号５６，５７，５８，５９に高周波或いは低周波
のノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリ
ガ時間を高精度に抽出することが困難な場合であって
も、式（９）、（１０）に示した相関法を第１から第４
の出力信号５６，５７，５８，５９に適用することによ
り、式（６）に示される（trg1 −trg1’）、（trg2 −
trg2’）、式（７）に示される|trg1 −trg2|を高精度
に求めることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
出力信号５６，５７，５８，５９に高周波或いは低周波
のノイズが重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリ
ガ時間を高精度に抽出することが困難な場合であって
も、式（９）、（１０）に示した相関法を第１から第４
の出力信号５６，５７，５８，５９に適用することによ
り、式（６）に示される（trg1 −trg1’）、（trg2 −
trg2’）、式（７）に示される|trg1 −trg2|を高精度
に求めることができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
【０１１０】その結果、第１から第４の出力信号５６，
５７，５８，５９に高周波或いは低周波のノイズが重畳
し、信号の立上りまたは立下りからトリガ時間を高精度
に抽出することが困難な場合であっても、回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計測精度で求める
ことが可能となる。
５７，５８，５９に高周波或いは低周波のノイズが重畳
し、信号の立上りまたは立下りからトリガ時間を高精度
に抽出することが困難な場合であっても、回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計測精度で求める
ことが可能となる。
【０１１１】またこの第３の実施の形態の回転体計測装
置においては、第１から第４の出力信号５６，５７，５
８，５９にパルス形状のノイズが重畳し、信号の立上り
または立下りからトリガ時間の抽出が困難になる場合が
ある。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間
tr[s]の抽出を誤り、回転速度f[Hz]および出力トルクTr
q[Nm]の計測精度が低下する。
置においては、第１から第４の出力信号５６，５７，５
８，５９にパルス形状のノイズが重畳し、信号の立上り
または立下りからトリガ時間の抽出が困難になる場合が
ある。この場合、式（５）に示した立上り・立下り時間
tr[s]の抽出を誤り、回転速度f[Hz]および出力トルクTr
q[Nm]の計測精度が低下する。
【０１１２】このような状況の場合には、第１から第３
の分布型反射板４５，４６，４７を適用し、図１０に示
される複数パルスで構成される第１から第４の出力信号
５６，５７，５８，５９とする。このような複数パルス
の信号に対し、式（９）、（１０）を計算して相関関数
Cr(τ)、Cd(τ)の最大値を求めることにより、時間変数
値τmax[s]を誤りが少なく高精度に求めることができ
る。
の分布型反射板４５，４６，４７を適用し、図１０に示
される複数パルスで構成される第１から第４の出力信号
５６，５７，５８，５９とする。このような複数パルス
の信号に対し、式（９）、（１０）を計算して相関関数
Cr(τ)、Cd(τ)の最大値を求めることにより、時間変数
値τmax[s]を誤りが少なく高精度に求めることができ
る。
【０１１３】以上に述べた作用の結果、第１から第４の
出力信号５６，５７，５８，５９にパルス形状のノイズ
が重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリガ時間の
抽出が困難な場合であっても、第１から第３の分布型反
射板４５，４６，４７を適用することにより、複数パル
スで構成される第１から第４の出力信号５６，５７，５
８，５９として相関関数Cr(τ)、Cd(τ)の最大値を求め
ることにより、時間変数値τmax[s]を誤りが少なく高精
度に求めることができ、所定の計測精度で回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
出力信号５６，５７，５８，５９にパルス形状のノイズ
が重畳し、信号の立上りまたは立下りからトリガ時間の
抽出が困難な場合であっても、第１から第３の分布型反
射板４５，４６，４７を適用することにより、複数パル
スで構成される第１から第４の出力信号５６，５７，５
８，５９として相関関数Cr(τ)、Cd(τ)の最大値を求め
ることにより、時間変数値τmax[s]を誤りが少なく高精
度に求めることができ、所定の計測精度で回転速度f[H
z]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。
【０１１４】その結果、第１から第４の出力信号５６，
５７，５８，５９にパルス形状のノイズが重畳し、信号
の立上りまたは立下りからトリガ時間の抽出が困難な場
合であっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]
を所定の計測精度で求めることが可能となる。
５７，５８，５９にパルス形状のノイズが重畳し、信号
の立上りまたは立下りからトリガ時間の抽出が困難な場
合であっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]
を所定の計測精度で求めることが可能となる。
【０１１５】この第３の実施の形態の回転体計測装置に
おいて、対象回転体５の周方向に取り付けた第３および
第４の送受信装置７ｃ，７ｄと第１の送受信装置７ａの
作用および効果は次のとおりである。
おいて、対象回転体５の周方向に取り付けた第３および
第４の送受信装置７ｃ，７ｄと第１の送受信装置７ａの
作用および効果は次のとおりである。
【０１１６】すなわち、信号処理装置１４では、回転速
度f[Hz]は、第３および第４の送受信装置７ｃ，７ｄの
出力である第３および第４の出力信号５８，５９のそれ
ぞれから得ることができる。一方、出力トルクTrq[Nm]
は、第１および第３の送受信装置７ａ，７ｃの出力であ
る第１および第３の出力信号５６，５８、あるいは第１
および第４の送受信装置７ａ，７ｄの出力である第１お
よび第４の出力信号５６，５９から得ることができる。
度f[Hz]は、第３および第４の送受信装置７ｃ，７ｄの
出力である第３および第４の出力信号５８，５９のそれ
ぞれから得ることができる。一方、出力トルクTrq[Nm]
は、第１および第３の送受信装置７ａ，７ｃの出力であ
る第１および第３の出力信号５６，５８、あるいは第１
および第４の送受信装置７ａ，７ｄの出力である第１お
よび第４の出力信号５６，５９から得ることができる。
【０１１７】従って、一般的には、一方の送受信装置を
周方向にns個備えた場合、ns個の回転速度f[Hz]および
出力トルクTrq[Nm]の計測値を一回転毎に得ることがで
きる。他方の送受信装置もns個備えた場合は、２ns個の
回転速度f[Hz]の計測値およびn s×ns個の出力トルクTrq
[Nm]の計測値を一回転毎に得ることができる。
周方向にns個備えた場合、ns個の回転速度f[Hz]および
出力トルクTrq[Nm]の計測値を一回転毎に得ることがで
きる。他方の送受信装置もns個備えた場合は、２ns個の
回転速度f[Hz]の計測値およびn s×ns個の出力トルクTrq
[Nm]の計測値を一回転毎に得ることができる。
【０１１８】そこで、対象回転体5の回転中、回転軸が
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、２ns個の回転速度f[Hz]、ns
×ns個の出力トルクTrq[Nm]を平均して、回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]とする。
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、２ns個の回転速度f[Hz]、ns
×ns個の出力トルクTrq[Nm]を平均して、回転速度f[Hz]
および出力トルクTrq[Nm]とする。
【０１１９】このようにして、対象回転体５の回転中、
回転軸が振動する場合であっても、送受信装置を対象回
転体５の周方向に各々ns個備え、２ns個の回転速度f[H
z]の計測値およびns×ns個の出力トルクTrq[Nm]の計測
値を一回転毎に得て平均することにより振動の影響を低
減することができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]お
よび出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。その
結果、対象回転体５の回転軸が振動する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
回転軸が振動する場合であっても、送受信装置を対象回
転体５の周方向に各々ns個備え、２ns個の回転速度f[H
z]の計測値およびns×ns個の出力トルクTrq[Nm]の計測
値を一回転毎に得て平均することにより振動の影響を低
減することができ、所定の計測精度で回転速度f[Hz]お
よび出力トルクTrq[Nm]を計測することができる。その
結果、対象回転体５の回転軸が振動する場合であって
も、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所定の計
測精度で求めることが可能となる。
【０１２０】さらにこの第３の実施の形態の回転体計測
装置において、対象回転体５の軸方向に取り付けた第２
および第３の送受信装置７ｂ，７ｃと第１の送受信装置
７ａの作用および効果は次のとおりである。
装置において、対象回転体５の軸方向に取り付けた第２
および第３の送受信装置７ｂ，７ｃと第１の送受信装置
７ａの作用および効果は次のとおりである。
【０１２１】すなわち、信号処理装置１４では、回転速
度f[Hz]は、第１および第２および第３の送受信装置７
ａ，７ｂ，７ｃの出力である第１および第２および第３
の出力信号５６，５７，５８のそれぞれから得ることが
できる。一方、出力トルクTrq[Nm]は、第１および第２
の送受信装置７ａ，７ｂの出力である第１および第２の
出力信号５６，５７および第１および、第３の送受信装
置７ａ，７ｃの出力である第１および第３の出力信号５
６，５８および、第２および第３の送受信装置７ｂ，７
ｃの出力である第２および第３の出力信号５７，５８か
らそれぞれ得ることができる。従って、一般的には、送
受信装置を軸方向にna個備えた場合、na個の回転速度f
[Hz]の計測値および、na×(na−1)/2個の出力トルクTrq
[Nm]の計測値を一回転毎に得ることができる。
度f[Hz]は、第１および第２および第３の送受信装置７
ａ，７ｂ，７ｃの出力である第１および第２および第３
の出力信号５６，５７，５８のそれぞれから得ることが
できる。一方、出力トルクTrq[Nm]は、第１および第２
の送受信装置７ａ，７ｂの出力である第１および第２の
出力信号５６，５７および第１および、第３の送受信装
置７ａ，７ｃの出力である第１および第３の出力信号５
６，５８および、第２および第３の送受信装置７ｂ，７
ｃの出力である第２および第３の出力信号５７，５８か
らそれぞれ得ることができる。従って、一般的には、送
受信装置を軸方向にna個備えた場合、na個の回転速度f
[Hz]の計測値および、na×(na−1)/2個の出力トルクTrq
[Nm]の計測値を一回転毎に得ることができる。
【０１２２】そこで、対象回転体５の回転中、回転軸が
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、na個の回転速度f[Hz]の計測
値、na×(na−1)/2個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を平
均し、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とする。
振動して回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]の計測
精度が低下する場合には、na個の回転速度f[Hz]の計測
値、na×(na−1)/2個の出力トルクTrq[Nm]の計測値を平
均し、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]とする。
【０１２３】以上に述べた作用の結果、対象回転体５の
回転中、回転軸が振動する場合であっても、送受信装置
を対象回転体５の軸方向にna個備え、na個の回転速度f
[Hz]の計測値およびna×(na−1)/2個の出力トルクTrq[N
m]の計測値を一回転毎に得て平均することにより振動の
影響を低減することができ、所定の計測精度で回転速度
f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができ
る。その結果、対象回転体５の回転軸が振動する場合で
あっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所
定の計測精度で求めることが可能となる。
回転中、回転軸が振動する場合であっても、送受信装置
を対象回転体５の軸方向にna個備え、na個の回転速度f
[Hz]の計測値およびna×(na−1)/2個の出力トルクTrq[N
m]の計測値を一回転毎に得て平均することにより振動の
影響を低減することができ、所定の計測精度で回転速度
f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を計測することができ
る。その結果、対象回転体５の回転軸が振動する場合で
あっても、回転速度f[Hz]および出力トルクTrq[Nm]を所
定の計測精度で求めることが可能となる。
【０１２４】次に、本発明の第４の実施の形態の回転体
計測装置を図１１を参照して説明する。本実施の形態の
回転体計測装置は、照射光線を発生する光線発生装置２
と、発生された照射光線を伝送する一方向光線伝送路３
と、伝送された照射光線を第１および第２の照射光線に
分割し、さらに第１および第２の反射光線を一つに合成
する光線分割合成装置６０と、第１および第２の照射光
線を伝送するとともに第１および第２の反射光線を伝送
する第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂと、
対象回転体５の表面に取り付けられ、第１および第２の
照射光線を反射する第１および第２の反射板６ａ，６ｂ
とを備えている。
計測装置を図１１を参照して説明する。本実施の形態の
回転体計測装置は、照射光線を発生する光線発生装置２
と、発生された照射光線を伝送する一方向光線伝送路３
と、伝送された照射光線を第１および第２の照射光線に
分割し、さらに第１および第２の反射光線を一つに合成
する光線分割合成装置６０と、第１および第２の照射光
線を伝送するとともに第１および第２の反射光線を伝送
する第１および第２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂと、
対象回転体５の表面に取り付けられ、第１および第２の
照射光線を反射する第１および第２の反射板６ａ，６ｂ
とを備えている。
【０１２５】さらに本実施の形態の回転体計測装置は、
前記第１および第２の照射光線を第１および第２の反射
板６ａ，６ｂに照射し、第１および第２の反射板６ａ，
６ｂによる第１および第２の反射光線を受光する第１お
よび第２の送受信装置７ａ，７ｂと、第１および第２の
送受信装置７ａ，７ｂによって受光されて第１および第
２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによって伝送され、光
線分割合成装置６０によって合成された後、反射光線伝
送路９によって伝送される反射光線を検知する光検知装
置１１と、光検知装置１１の出力信号を信号処理する信
号処理装置１４とを備えている。
前記第１および第２の照射光線を第１および第２の反射
板６ａ，６ｂに照射し、第１および第２の反射板６ａ，
６ｂによる第１および第２の反射光線を受光する第１お
よび第２の送受信装置７ａ，７ｂと、第１および第２の
送受信装置７ａ，７ｂによって受光されて第１および第
２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによって伝送され、光
線分割合成装置６０によって合成された後、反射光線伝
送路９によって伝送される反射光線を検知する光検知装
置１１と、光検知装置１１の出力信号を信号処理する信
号処理装置１４とを備えている。
【０１２６】光線分割合成装置６０は、一方向光線伝送
路３によって伝送される照射光線を第１および第２の照
射光線に分割するともに、第１および第２の反射光線を
一つに合成し、反射光線伝送路９へ送出するように構成
されている。このような構成は数多く存在するが、その
一例を図１２に示す。
路３によって伝送される照射光線を第１および第２の照
射光線に分割するともに、第１および第２の反射光線を
一つに合成し、反射光線伝送路９へ送出するように構成
されている。このような構成は数多く存在するが、その
一例を図１２に示す。
【０１２７】すなわち、光線伝送路３，４ａ，４ｂ，９
のいずれか一つによって入射される光線が、レンズ６１
ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを介してビームスプリッタ
６２で反射成分と透過成分に二分割され、対向する光線
伝送路３，４ａ，４ｂ，９のいずれか一つおよびビーム
スプリッタ６２の向きで決まる光線伝送路３，４ａ，４
ｂ，９のいずれか一つの２つに出射されるようになって
いる。
のいずれか一つによって入射される光線が、レンズ６１
ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを介してビームスプリッタ
６２で反射成分と透過成分に二分割され、対向する光線
伝送路３，４ａ，４ｂ，９のいずれか一つおよびビーム
スプリッタ６２の向きで決まる光線伝送路３，４ａ，４
ｂ，９のいずれか一つの２つに出射されるようになって
いる。
【０１２８】また、第１および第２の反射板６ａ，６ｂ
は、対象回転体５の周方向に対し、第１および第２の反
射板６ａ，６ｂの周方向長さLb[mm]より長い間隔を離し
て取り付けられている。
は、対象回転体５の周方向に対し、第１および第２の反
射板６ａ，６ｂの周方向長さLb[mm]より長い間隔を離し
て取り付けられている。
【０１２９】以上のように構成した第４の実施の形態の
回転体計測装置において、光線発生装置２から出射した
照射光線は、一方向光線伝送路３によって光線分割合成
装置６０へ伝送される。そして、光線分割合成装置６０
において照射光線は、レンズ６１ｂを経て約半分がビー
ムスプリッタ６２で反射し、レンズ６１ａを経て第１の
双方向光線伝送路４ａへ出射され、第１の照射光線とな
る。一方、ビームスプリッタ６２を透過する他の約半分
の照射光線は、レンズ６１ｄを経て第２の双方向光線伝
送路４ｂへ出射され、第２の照射光線となる。
回転体計測装置において、光線発生装置２から出射した
照射光線は、一方向光線伝送路３によって光線分割合成
装置６０へ伝送される。そして、光線分割合成装置６０
において照射光線は、レンズ６１ｂを経て約半分がビー
ムスプリッタ６２で反射し、レンズ６１ａを経て第１の
双方向光線伝送路４ａへ出射され、第１の照射光線とな
る。一方、ビームスプリッタ６２を透過する他の約半分
の照射光線は、レンズ６１ｄを経て第２の双方向光線伝
送路４ｂへ出射され、第２の照射光線となる。
【０１３０】以上に述べた作用の結果、光線発生装置２
が発生する照射光線を光線分割合成装置６０で分割して
第１および第２の照射光線とすることにより、１個の光
線発生装置で２つの照射光線を得ることができる。その
結果、簡素かつ低コストな回転体計測装置とすることが
できる。
が発生する照射光線を光線分割合成装置６０で分割して
第１および第２の照射光線とすることにより、１個の光
線発生装置で２つの照射光線を得ることができる。その
結果、簡素かつ低コストな回転体計測装置とすることが
できる。
【０１３１】なお、この第４の実施の形態の回転体計測
装置において、第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂ
によって受光され、第１および第２の双方向光線伝送路
４ａ，４ｂによって伝送される第１および第２の反射光
線は、光線分割合成装置６０へ各々伝送される。
装置において、第１および第２の送受信装置７ａ，７ｂ
によって受光され、第１および第２の双方向光線伝送路
４ａ，４ｂによって伝送される第１および第２の反射光
線は、光線分割合成装置６０へ各々伝送される。
【０１３２】第１の双方向光線伝送路４ａから入力され
る第１の反射光線は、レンズ６１ａを経てビームスプリ
ッタ６２を透過し、レンズ６１ｃを経て反射光線伝送路
９へ出力される。なお、ビームスプリッタ６２で反射す
る部分は用いない。
る第１の反射光線は、レンズ６１ａを経てビームスプリ
ッタ６２を透過し、レンズ６１ｃを経て反射光線伝送路
９へ出力される。なお、ビームスプリッタ６２で反射す
る部分は用いない。
【０１３３】他方、第２の双方向光線伝送路４ｂから入
力される第２の反射光線は、レンズ６１ｄを経てビーム
スプリッタ６２で反射し、レンズ６１ｃを経て反射光線
伝送路９へ出力される。なお、ビームスプリッタ６２で
透過する部分は用いない。そして、第１および第２の反
射光線は、反射光線伝送路９によって光検知装置１１へ
伝送される。
力される第２の反射光線は、レンズ６１ｄを経てビーム
スプリッタ６２で反射し、レンズ６１ｃを経て反射光線
伝送路９へ出力される。なお、ビームスプリッタ６２で
透過する部分は用いない。そして、第１および第２の反
射光線は、反射光線伝送路９によって光検知装置１１へ
伝送される。
【０１３４】光検知装置１１では、図１３に示す出力信
号６３が得られる。そして、回転速度f[Hz]は、i回転時
とi+1回転時の第１の反射板６ａによる波形６４または
第２の反射板６ｂによる波形６５から求めることがで
き、出力トルクTrq[Nm]は、第１の反射板６ａによる波
形６４および第２の反射板６ｂによる波形６５から求め
ることができる。
号６３が得られる。そして、回転速度f[Hz]は、i回転時
とi+1回転時の第１の反射板６ａによる波形６４または
第２の反射板６ｂによる波形６５から求めることがで
き、出力トルクTrq[Nm]は、第１の反射板６ａによる波
形６４および第２の反射板６ｂによる波形６５から求め
ることができる。
【０１３５】このようにして、第１および第２の反射光
線を光線分割合成装置６０で合成して光検知装置１１で
検知することにより、１台の光検知装置１１だけで第１
の反射板６ａによる波形６４および第２の反射板６ｂに
よる波形６５を得ることができる。その結果、簡素かつ
低コストな回転体計測装置とすることができる。
線を光線分割合成装置６０で合成して光検知装置１１で
検知することにより、１台の光検知装置１１だけで第１
の反射板６ａによる波形６４および第２の反射板６ｂに
よる波形６５を得ることができる。その結果、簡素かつ
低コストな回転体計測装置とすることができる。
【０１３６】さらになお、この第４の実施の形態の回転
体計測装置において、光線分割合成装置６０は、１つの
一方向光線伝送路３から入力される照射光線を第１およ
び第２の照射光線に分割し、第１の照射光線を第１の双
方向光線伝送路４ａに出力し、第２の照射光線を第２の
双方向光線伝送路４ｂへ出力する。他方、第１および第
２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによって伝送される第
１および第２の反射光線を共に１つの反射光線伝送装置
９へ出力する。
体計測装置において、光線分割合成装置６０は、１つの
一方向光線伝送路３から入力される照射光線を第１およ
び第２の照射光線に分割し、第１の照射光線を第１の双
方向光線伝送路４ａに出力し、第２の照射光線を第２の
双方向光線伝送路４ｂへ出力する。他方、第１および第
２の双方向光線伝送路４ａ，４ｂによって伝送される第
１および第２の反射光線を共に１つの反射光線伝送装置
９へ出力する。
【０１３７】このようにして、第１および第２の照射光
線への分割に加え、第１および第２の反射光線の合成を
光線分割合成装置６０だけで行うことができる。その結
果、簡素かつ低コストな回転体計測装置とすることがで
きる。
線への分割に加え、第１および第２の反射光線の合成を
光線分割合成装置６０だけで行うことができる。その結
果、簡素かつ低コストな回転体計測装置とすることがで
きる。
【０１３８】以上、本発明の４つの実施の形態の回転体
計測装置を説明したが、これら４つの実施の形態におけ
る構成要素を適宜入れ替えた実施の形態も可能である。
計測装置を説明したが、これら４つの実施の形態におけ
る構成要素を適宜入れ替えた実施の形態も可能である。
【０１３９】
【発明の効果】本発明によれば、回転機器や車両などの
回転体へ簡単に適用して回転速度あるいは出力トルクを
計測することができる簡素かつ低コストな回転体計測装
置を提供することができる。
回転体へ簡単に適用して回転速度あるいは出力トルクを
計測することができる簡素かつ低コストな回転体計測装
置を提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の回転体計測装置の
構成を示す図。
構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の回転体計測装置に
おける送受信装置の構成を示す図。
おける送受信装置の構成を示す図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の回転体計測装置に
おける光線分離装置の構成を示す図。
おける光線分離装置の構成を示す図。
【図４】本発明の第１の実施の形態の回転体計測装置に
おける出力信号を示す図。
おける出力信号を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の回転体計測装置の
構成を示す図。
構成を示す図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の回転体計測装置に
おける照射径可変送受信装置の構成を示す図。
おける照射径可変送受信装置の構成を示す図。
【図７】本発明の第２の実施の形態の回転体計測装置に
おける出力信号を示す図。
おける出力信号を示す図。
【図８】本発明の第３の実施の形態の回転体計測装置の
構成を示す図。
構成を示す図。
【図９】本発明の第３の実施の形態の回転体計測装置に
おける分布型反射板を示す図。
おける分布型反射板を示す図。
【図１０】本発明の第３の実施の形態の回転体計測装置
における出力信号を示す図。
における出力信号を示す図。
【図１１】本発明の第４の実施の形態の回転体計測装置
の構成を示す図。
の構成を示す図。
【図１２】本発明の第４の実施の形態の回転体計測装置
における光線分割合成装置の構成を示す図。
における光線分割合成装置の構成を示す図。
【図１３】本発明の第４の実施の形態の回転体計測装置
における出力信号を示す図。
における出力信号を示す図。
【図１４】従来の回転体計測装置を示す図。
１ａ，１ｂ…照射光線、１ａｒ，１ｂｒ…反射光線、
２，２ａ，２ｂ…光線発生装置、３，３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄ…一方向光線伝送路、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ
…双方向光線伝送路、５…対象回転体、６ａ，６ｂ…反
射板、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…送受信装置、８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄ…光線分離装置、９，９ａ，９ｂ，９
ｃ，９ｄ…反射光線伝送路、１０ａ，１０ｂ…光学フィ
ルタ、１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ…光検知
装置、１２…電気信号伝送路、１３…サンプリング周波
数選択装置、１４…信号処理装置、１５ａ，１５ｂ…位
置調整装置、１６，１７，１８…レンズ、２０…ビーム
スプリッタ、２１…ミラー、２２，２３…レンズ、２
７，２８…出力信号、２９，３０…パルス光線発生装
置、３１，３２…反射板群、３３，３４…照射径可変送
受信装置、３５…レンズ、３６…レンズ駆動装置、３
７，３８…出力信号群、３９，４０，４１，４２…波長
可変光線発生装置、４５，４６，４７…分布反射板、４
８…高反射領域、４９…低反射領域、５０…規則分布領
域、５１，５２…不規則分布領域、５６，５７，５８，
５９…第１〜第４の出力信号、６０…光線分割合成装
置、６１，６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ…レンズ、
６２…ビームスプリッタ、６３…出力信号、６４…第１
の反射板による波形、６５…第２の反射板による波形、
７０…回転軸、７１Ａ，７１Ｂ…回転体、７２Ａ，７２
Ｂ…光源装置、７３Ａ，７３Ｂ…光電変換素子、７４…
演算手段。
２，２ａ，２ｂ…光線発生装置、３，３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄ…一方向光線伝送路、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ
…双方向光線伝送路、５…対象回転体、６ａ，６ｂ…反
射板、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…送受信装置、８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄ…光線分離装置、９，９ａ，９ｂ，９
ｃ，９ｄ…反射光線伝送路、１０ａ，１０ｂ…光学フィ
ルタ、１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ…光検知
装置、１２…電気信号伝送路、１３…サンプリング周波
数選択装置、１４…信号処理装置、１５ａ，１５ｂ…位
置調整装置、１６，１７，１８…レンズ、２０…ビーム
スプリッタ、２１…ミラー、２２，２３…レンズ、２
７，２８…出力信号、２９，３０…パルス光線発生装
置、３１，３２…反射板群、３３，３４…照射径可変送
受信装置、３５…レンズ、３６…レンズ駆動装置、３
７，３８…出力信号群、３９，４０，４１，４２…波長
可変光線発生装置、４５，４６，４７…分布反射板、４
８…高反射領域、４９…低反射領域、５０…規則分布領
域、５１，５２…不規則分布領域、５６，５７，５８，
５９…第１〜第４の出力信号、６０…光線分割合成装
置、６１，６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ…レンズ、
６２…ビームスプリッタ、６３…出力信号、６４…第１
の反射板による波形、６５…第２の反射板による波形、
７０…回転軸、７１Ａ，７１Ｂ…回転体、７２Ａ，７２
Ｂ…光源装置、７３Ａ，７３Ｂ…光電変換素子、７４…
演算手段。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 兼本 茂
神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株
式会社東芝横浜事業所内
(72)発明者 大八木 清人
東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社
東芝本社事務所内
(72)発明者 小湊 宏
東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東
芝アイティー・コントロールシステム株式
会社内
Claims (15)
- 【請求項１】 回転速度または出力トルクの少なくとも
いずれか一方を計測すべき対象回転体の表面に取り付け
られた反射手段に照射して前記計測を行うための照射光
線を発生する光線発生手段と、一方向光線伝送路および
双方向光線伝送路を介して前記照射光線を導入され前記
照射光線を前記反射手段に照射して反射光線を受光する
送受信手段と、前記一方向光線伝送路と前記双方向光線
伝送路のあいだに接続されて前記送受信手段によって受
光され前記双方向光線伝送路によって伝送された前記反
射光線を前記照射光線と分離する光線分離手段と、反射
光線伝送路を介して前記光線分離手段に接続されて前記
反射光線を検知する光検知手段と、この光検知手段が出
力する出力信号を信号処理して前記対象回転体の回転速
度または出力トルクの少なくともいずれか一方を演算す
る信号処理手段とを備えたことを特徴とする回転体計測
装置。 - 【請求項２】 光線発生手段は、パルス光線を発生する
パルス光線発生手段であることを特徴とする請求項１記
載の回転体計測装置。 - 【請求項３】 光線発生手段は、照射光線の波長を変え
ることができる波長可変光線発生手段であることを特徴
とする請求項１記載の回転体計測装置。 - 【請求項４】 送受信手段は、対象回転体の周面とのあ
いだの距離を調整する位置調整手段を備えたことを特徴
とする請求項１記載の回転体計測装置。 - 【請求項５】 送受信手段は、照射光線の照射ビーム径
を調整して反射手段に照射する照射ビーム径調整手段を
備えたことを特徴とする請求項１記載の回転体計測装
置。 - 【請求項６】 反射手段および送受信手段は対象回転体
の周方向に複数備えられていることを特徴とする請求項
１記載の回転体計測装置。 - 【請求項７】 反射手段および送受信手段は対象回転体
の軸方向に複数備えられていることを特徴とする請求項
１記載の回転体計測装置。 - 【請求項８】 光線分離手段は、一方向光線伝送路から
導入された単一の照射光線を複数に分割して複数の双方
向光線伝送路へ送出するとともに、前記複数の双方向伝
送路から導入された複数の反射光線を合成して単一の反
射光線を形成し反射光線伝送路へ送出する光線分割合成
手段であることを特徴とする請求項１記載の回転体計測
装置。 - 【請求項９】 光検知手段は、反射光線の波長を選択す
る波長選択手段を備えたことを特徴とする請求項１記載
の回転体計測装置。 - 【請求項１０】 信号処理手段は、光検知手段の出力信
号のサンプリング周波数を選択するサンプリング周波数
選択手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の回転
体計測装置。 - 【請求項１１】 信号処理手段は、光検知手段の出力信
号のサンプリング時間を調整するサンプリング時間調整
手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の回転体計
測装置。 - 【請求項１２】 信号処理手段は、光検知手段の出力信
号を所定回数積算して平滑化する平滑化処理手段を備え
たことを特徴とする請求項１記載の回転体計測装置。 - 【請求項１３】 信号処理手段は、光検知手段の出力信
号に対して相関法を適用することによって対象回転体の
回転速度または出力トルクの少なくともいずれか一方を
演算することを特徴とする請求項１記載の回転体計測装
置。 - 【請求項１４】 反射手段は、照射光線に対する反射率
が対象回転体の周方向に分布を有する分布型反射手段で
あることを特徴とする請求項１３記載の回転体計測装
置。 - 【請求項１５】 信号処理手段は、複数の信号処理値を
平均化することを特徴とする請求項１記載の回転体計測
装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002072522A JP4148689B2 (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 回転体計測装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2002072522A JP4148689B2 (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 回転体計測装置 |
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|---|---|
| JP2003270255A true JP2003270255A (ja) | 2003-09-25 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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