JP2003270010A - Device for setting flow rate and for measuring flow rate - Google Patents
Device for setting flow rate and for measuring flow rateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばエアシリン
ダ等の流体圧機器に圧力流体を一定量で供給し、その圧
力流体の流量を表示する流量設定装置及び流量計測器に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow rate setting device and a flow rate measuring device for supplying a constant amount of pressure fluid to a fluid pressure device such as an air cylinder and displaying the flow rate of the pressure fluid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の流量設定装置としては、例え
ば、図９（ａ），（ｂ）に示すものがある。この流量設
定装置５１では、一次側流路５２から二次側流路５３に
流れる圧力流体の量を調節するための絞り弁（図示しな
い）を備えている。絞り弁の絞り量は、調節ノブ５４を
回動操作することにより調節される。2. Description of the Related Art As a flow rate setting device of this type, there is one shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), for example. The flow rate setting device 51 includes a throttle valve (not shown) for adjusting the amount of the pressure fluid flowing from the primary side flow passage 52 to the secondary side flow passage 53. The throttle amount of the throttle valve is adjusted by rotating the adjustment knob 54.
【０００３】従来の流量設定装置５１は、二次側流路５
３に流れる圧力流体の量を表示するのに面積式流量計５
４を備えている。この面積式流量計５４は、鉛直に設置
されたテーパ管５５を有している。テーパ管５５は、流
体の通過面積を変化させるために、下端（上流端）から
上端（下流端）に向かうに従って径が小さくなるように
形成されている。テーパ管５５の内部には球状のフロー
ト（浮子）５６が設けられている。テーパ管５５の下端
から上端に圧力流体が吹き上げられると、流量に比例し
てフロート５６が浮遊し、その上下の差圧がバランスし
た位置で静止する。そして、フロート５６が静止してい
る位置を、テーパ管５５の外周面に付された流量を表示
する目盛りで読み取ることにより、二次側流路５３に流
れる圧力流体の流量が計測される。The conventional flow rate setting device 51 includes a secondary side flow path 5
Area type flow meter 5 to display the amount of pressure fluid flowing in 3
It is equipped with 4. The area type flow meter 54 has a taper tube 55 installed vertically. The tapered tube 55 is formed so that its diameter decreases from the lower end (upstream end) to the upper end (downstream end) in order to change the passage area of the fluid. Inside the tapered tube 55, a spherical float (float) 56 is provided. When the pressure fluid is blown up from the lower end to the upper end of the taper pipe 55, the float 56 floats in proportion to the flow rate and stands still at a position where the differential pressure above and below the float 56 is balanced. Then, the position where the float 56 is stationary is read by a scale that indicates the flow rate attached to the outer peripheral surface of the taper pipe 55, so that the flow rate of the pressure fluid flowing through the secondary side flow passage 53 is measured.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の流量
設定装置は、テーパ管５５内に吹き上げられる圧力流体
の動圧力によってフロート５６を浮き上がらせる構造を
有していることから、流量設定装置５１の取付け姿勢が
自ずと限定されることとなる。すなわち、テーパ管５５
が鉛直方向（重力方向）を向けて流量設定装置５１を取
り付けなければ、圧力流体の流量を計測することができ
ない。それに加え、長尺状のテーパ管５５を使用してい
るため、流量設定装置５１全体が大型化するという問題
もある。更に、圧力流体の流量を計測するのに、浮き上
がっているフロート５６の位置をテーパ管５５に付され
た目盛りで読みとっているため、目盛り付近でしか正確
に流量を把握することができない。However, since the conventional flow rate setting device has a structure in which the float 56 is lifted by the dynamic pressure of the pressure fluid blown up into the taper pipe 55, the flow rate setting device 51 is The mounting posture is naturally limited. That is, the tapered tube 55
Cannot measure the flow rate of the pressure fluid unless the flow rate setting device 51 is attached in the vertical direction (gravitational direction). In addition, since the long taper pipe 55 is used, there is a problem that the flow rate setting device 51 as a whole becomes large. Further, in order to measure the flow rate of the pressure fluid, the position of the floating float 56 is read by the scale attached to the taper pipe 55, so that the flow rate can be accurately grasped only near the scale.
【０００５】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的は、
取付け姿勢を自由に設定することができ、小型化が可能
になる流量設定装置を提供することにある。The present invention has been made by paying attention to the problems existing in such conventional techniques. Its purpose is
An object of the present invention is to provide a flow rate setting device in which the mounting posture can be freely set and the size can be reduced.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】（請求項１の発明…実施
形態１，２に対応）請求項１に記載の発明では、一次側
流路から供給される圧力流体を二次側流路で一定となる
ように減圧制御するレギュレータと、前記レギュレータ
よりも下流側に設けられたオリフィスと、前記レギュレ
ータとオリフィスとの間を流れる圧力流体の圧力を検出
する圧力検出手段と、前記圧力検出手段によって検出さ
れる圧力とその圧力に応じた流量との関係を設定した特
性データを有し、この特性データに基づいて圧力流体の
流量を算出する流量算出手段とを備えたことを要旨とす
る。(Invention of Claim 1 ... Corresponding to Embodiments 1 and 2) In the invention of Claim 1, the pressure fluid supplied from the primary side flow passage is supplied to the secondary side flow passage. A regulator for controlling the pressure to be constant, an orifice provided on the downstream side of the regulator, a pressure detection unit for detecting the pressure of the pressure fluid flowing between the regulator and the orifice, and the pressure detection unit. The gist of the present invention is to have characteristic data that sets the relationship between the detected pressure and the flow rate according to the pressure, and to include flow rate calculation means that calculates the flow rate of the pressure fluid based on this characteristic data.
【０００７】この構成とすれば、レギュレータとオリフ
ィスとの間を流れる圧力流体の圧力が圧力検出手段によ
って検出されると、流量算出手段は、特性データに基づ
いて圧力流体の流量を算出する。流量が算出されると
き、圧力流体の圧力によって浮き上がらせるフロート等
を用いていないことから、流量設定装置を任意の取付け
姿勢で設置することができる。しかも、圧力流体を通す
細長いテーパ管等のような部材を必要としないことか
ら、小型化することができる。According to this structure, when the pressure of the pressure fluid flowing between the regulator and the orifice is detected by the pressure detecting means, the flow rate calculating means calculates the flow rate of the pressure fluid based on the characteristic data. When the flow rate is calculated, since a float or the like that floats up due to the pressure of the pressure fluid is not used, the flow rate setting device can be installed in any mounting posture. Moreover, since it is not necessary to provide a member such as an elongated taper pipe for passing the pressure fluid, the size can be reduced.
【０００８】（請求項２の発明…実施形態１、２に対
応）請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の流量
設定装置において、前記特性データは、オリフィスの孔
径の違いに応じて複数種類設けられ、これらの特性デー
タは選択手段によって選ばれることを要旨とする。(Invention of Claim 2 ... Corresponding to Embodiments 1 and 2) In the invention of Claim 2, in the flow rate setting device of Claim 1, the characteristic data is based on the difference in the hole diameter of the orifice. In summary, a plurality of types are provided, and the characteristic data is selected by the selecting means.
【０００９】この構成にすれば、所定条件に応じた最適
な特性データが選択手段によって選定される。そのた
め、オリフィスの孔径の違いに応じた流量設定装置を用
意する必要がないので、流量設定装置の共通化を図るこ
とが可能になり、低コスト化に貢献する。With this structure, the selecting means selects the optimum characteristic data according to the predetermined condition. Therefore, it is not necessary to prepare a flow rate setting device according to the difference in the hole diameter of the orifice, so that the flow rate setting device can be made common, which contributes to cost reduction.
【００１０】（請求項３の発明…実施形態１、２に対
応）請求項３に記載の発明によると、請求項１又は２に
記載の流量設定装置において、前記二次側流路を流れる
圧力流体の圧力を検出する背圧検出手段と、前記圧力検
出手段によって検出される圧力、及び前記背圧検出手段
によって検出される圧力の差を演算する演算手段と、前
記演算手段によって演算される差圧が所定のしきい値よ
りも大きいか否かを比較する比較手段と、前記比較手段
による結果に基づいて、オリフィスよりも下流側の流路
で目詰まりが起きているかを判定する目詰まり判定手段
とを備えたことを要旨とする。(Invention of Claim 3 ... Corresponding to Embodiments 1 and 2) According to the invention of Claim 3, in the flow rate setting device of Claim 1 or 2, the pressure flowing through the secondary side flow passage Back pressure detecting means for detecting the pressure of the fluid, calculating means for calculating the difference between the pressure detected by the pressure detecting means and the pressure detected by the back pressure detecting means, and the difference calculated by the calculating means. Based on the result of the comparing means for comparing whether the pressure is larger than a predetermined threshold value and the comparing means, it is determined whether or not clogging has occurred in the flow path downstream of the orifice. The gist is to have means.
【００１１】この構成にすれば、圧力検出手段によって
検出される圧力と、背圧検出手段によって検出される圧
力との差が演算手段によって演算され、演算された差圧
がしきい値よりも大きいかが比較手段によって比較され
る。そして、この比較結果が大きいと判定される場合に
は、判定手段によりオリフィスよりも下流側の流路で目
詰まりが生じていると判定される。よって、流量設定装
置の異常を検出することができる。According to this structure, the difference between the pressure detected by the pressure detecting means and the pressure detected by the back pressure detecting means is calculated by the calculating means, and the calculated differential pressure is larger than the threshold value. The squid is compared by the comparison means. When it is determined that the comparison result is large, the determination unit determines that the flow path on the downstream side of the orifice is clogged. Therefore, the abnormality of the flow rate setting device can be detected.
【００１２】（請求項４の発明…実施形態２に対応）請
求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれか１項
に記載の流量設定装置において、前記圧力検出手段は、
圧力流体を流通するためのチューブを介してレギュレー
タから離間配置されるとともに、同圧力検出手段は、流
量算出手段によって算出される圧力流体の流量を表示す
る流量表示器と一体化されていることを要旨とする。(Invention of Claim 4 ... Corresponding to Embodiment 2) In the invention of Claim 4, in the flow rate setting device of any one of Claims 1 to 3, the pressure detecting means is
It is arranged apart from the regulator via a tube for circulating the pressure fluid, and the pressure detection means is integrated with a flow rate indicator for displaying the flow rate of the pressure fluid calculated by the flow rate calculation means. Use as a summary.
【００１３】この構成にすれば、流量表示器はチューブ
の長さ分だけレギュレータから離間配置されることとな
り、流量を遠隔表示することが可能になる。
（請求項５の発明…実施形態３に対応）請求項５に記載
の発明では、請求項１〜４のいずれか１項に記載の流量
設定装置において、前記レギュレータが複数設けられ、
それらのレギュレータは共通流路を有するマニホールド
ベースの設置面に連設され、マニホールドベースに設け
られた共通ポートは前記共通流路を介して各レギュレー
タに通じていることを要旨とする。According to this structure, the flow rate indicator is spaced apart from the regulator by the length of the tube, and the flow rate can be remotely displayed. (Invention of Claim 5 ... Corresponding to Embodiment 3) In the invention of Claim 5, in the flow rate setting device of any one of Claims 1 to 4, a plurality of the regulators are provided,
The gist of these regulators is that they are connected to a mounting surface of a manifold base having a common flow path, and a common port provided in the manifold base communicates with each regulator via the common flow path.
【００１４】この構成にすれば、レギュレータのマニホ
ールド化が図られることで、流量設定装置が小型化する
とともに、特定の箇所から共通流路を介して各レギュレ
ータに流体を供給することができるので、配管数が少な
くなる。According to this structure, since the regulator can be made into a manifold, the flow rate setting device can be downsized, and a fluid can be supplied to each regulator from a specific location through the common flow path. The number of pipes is reduced.
【００１５】（請求項６の発明…実施形態１〜３に対
応）請求項６に記載の発明では、圧力流体の圧力を検出
する圧力検出手段と、この圧力検出手段によって検出さ
れる圧力と流量との関係を設定した特性データを有し、
この特性データに基づいて圧力流体の流量を算出する流
量算出手段とを備えたことを要旨とする。(Invention of Claim 6 ... Corresponding to Embodiments 1 to 3) In the invention of Claim 6, pressure detection means for detecting the pressure of the pressure fluid, and pressure and flow rate detected by this pressure detection means. Has characteristic data that sets the relationship with
The gist of the present invention is to have a flow rate calculating means for calculating the flow rate of the pressure fluid based on the characteristic data.
【００１６】この構成とすれば、圧力検出手段によって
圧力流体の圧力が検出されると、流量算出手段は、特性
データに基づいて検出された圧力から流量を算出する。
流量が算出されるとき、圧力流体の圧力によって浮き上
がらせるフロート等を用いていないことから、流量設定
装置を任意の取付け姿勢で設置することができる。しか
も、圧力流体を通す細長いテーパ管等のような部材を必
要としないことから、小型化することができる。With this structure, when the pressure of the pressure fluid is detected by the pressure detecting means, the flow rate calculating means calculates the flow rate from the detected pressure based on the characteristic data.
When the flow rate is calculated, since a float or the like that floats up due to the pressure of the pressure fluid is not used, the flow rate setting device can be installed in any mounting posture. Moreover, since it is not necessary to provide a member such as an elongated taper pipe for passing the pressure fluid, the size can be reduced.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明を
具体化した第１実施形態について、図面を参照して説明
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION (First Embodiment) A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１８】図１（ａ），（ｂ）、図２に示すように、
流量設定装置１１は、圧力流体が流れる流路１２上に設
けられている。そして、流量設定装置１１の内部に設け
られたレギュレータとしての減圧弁１４によって、一次
側流路１５から二次側流路１６に排出される圧力流体の
圧力が一定となるように減圧制御される。減圧弁１４の
上部には圧力調節部１４ａが設けられ、これを図示しな
い治具で回動操作することにより減圧弁１４の設定圧が
変更される。なお、圧力流体としては、エアや窒素ガス
等があげられる。もちろん、流体の種類としては任意に
変更することが可能である。As shown in FIGS. 1 (a), 1 (b) and FIG.
The flow rate setting device 11 is provided on the flow path 12 through which the pressure fluid flows. Then, the pressure reducing valve 14 as a regulator provided inside the flow rate setting device 11 performs pressure reduction control so that the pressure of the pressure fluid discharged from the primary side flow passage 15 to the secondary side flow passage 16 becomes constant. . A pressure adjusting unit 14a is provided above the pressure reducing valve 14, and the set pressure of the pressure reducing valve 14 is changed by rotating the pressure adjusting unit 14a with a jig (not shown). The pressure fluid may be air or nitrogen gas. Of course, the type of fluid can be arbitrarily changed.
【００１９】減圧弁１４には、孔径が可変不能なオリフ
ィス１７が内蔵されている。減圧弁１４には流量計測器
２６が取り付けられている。この流量計測器２６は、圧
力検出手段としての圧力検出センサ１８を備えている。
圧力検出センサ１８は、流量設定装置１１内において、
減圧弁１４とオリフィス１７との間の内部流路２１上に
設けられている。そして、圧力検出センサ１８は、減圧
弁１４とオリフィス１７との間を流れる圧力流体の圧力
を検出し、その検出信号をコントローラ２０に出力す
る。The pressure reducing valve 14 has a built-in orifice 17 whose hole diameter cannot be changed. A flow rate measuring device 26 is attached to the pressure reducing valve 14. The flow rate measuring device 26 includes a pressure detection sensor 18 as pressure detection means.
In the flow rate setting device 11, the pressure detection sensor 18 is
It is provided on the internal flow path 21 between the pressure reducing valve 14 and the orifice 17. The pressure detection sensor 18 detects the pressure of the pressure fluid flowing between the pressure reducing valve 14 and the orifice 17, and outputs the detection signal to the controller 20.
【００２０】二次側流路１６上には背圧検出手段として
の背圧検出センサ１９が設けられている。この背圧検出
センサ１９は、二次側流路１６を流れる圧力流体の圧力
を検出し、その検出信号をコントローラ２０に出力す
る。コントローラ２０は、両センサ１８，１９によって
検出される圧力の差を演算し、その差圧がコントローラ
２０に記憶されたしきい値よりも大きいか否かを比較す
る。そして、この比較結果に基づいて、コントローラ２
０は流路１２の目詰まりを判定する。従って、本実施形
態では、コントローラ２０によって演算手段、比較手
段、目詰まり判定手段が構成されている。A back pressure detecting sensor 19 as a back pressure detecting means is provided on the secondary side flow path 16. The back pressure detection sensor 19 detects the pressure of the pressure fluid flowing through the secondary side flow path 16 and outputs the detection signal to the controller 20. The controller 20 calculates the difference between the pressures detected by the sensors 18 and 19 and compares whether the pressure difference is larger than a threshold value stored in the controller 20 or not. Then, based on the comparison result, the controller 2
0 determines whether the flow path 12 is clogged. Therefore, in the present embodiment, the controller 20 constitutes the calculating means, the comparing means, and the clogging determining means.
【００２１】コントローラ２０は、流量計測器２６の各
部の動作を制御するとともに、流量計測器２６の動作に
必要な各種の制御プログラムを記憶している。コントロ
ーラ２０には、図３に示す圧力と流量との関係を示す特
性データ２２，２３が記憶されている。この特性データ
２２，２３の縦軸には圧力検出センサ１８によって検出
される圧力が設定され、横軸にはその圧力に応じた流量
が設定されている。そして、流量算出手段としてのコン
トローラ２０は、圧力検出センサ１８から検出信号が入
力されたとき、その圧力に応じて流路１２を流れる圧力
流体の流量を算出する。The controller 20 controls the operation of each part of the flow rate measuring device 26 and stores various control programs necessary for the operation of the flow rate measuring device 26. The controller 20 stores characteristic data 22 and 23 showing the relationship between the pressure and the flow rate shown in FIG. The pressure detected by the pressure detection sensor 18 is set on the vertical axis of the characteristic data 22 and 23, and the flow rate according to the pressure is set on the horizontal axis. Then, when the detection signal is input from the pressure detection sensor 18, the controller 20 as the flow rate calculation means calculates the flow rate of the pressure fluid flowing through the flow path 12 according to the pressure.
【００２２】ここで、オリフィス１７を通過する圧力流
体の速度が音速以上であることを条件として、圧力流体
の圧力と流量とが比例する関係が成立する。又、コント
ローラ２０は、オリフィス１７の孔径に応じた複数種類
の特性データ２２，２３を記憶している。本実施形態に
おいて、オリフィス１７の孔径（直径）が１．３ｍｍと
１．０ｍｍとに応じた圧力流体の特性データ２２，２３
が設定されている。特性データ２２，２３を複数設定し
たのは、流量設定装置１１に使用されるオリフィス１７
に応じた最適な特性データ２２，２３を選択すること
で、圧力流体の流量の計測精度を向上させるためであ
る。それとともに、１つの流量計測器２６で、孔径が異
なるオリフィス１７を装着した複数種類の減圧弁１４に
対応させるためである。Here, on condition that the velocity of the pressure fluid passing through the orifice 17 is equal to or higher than the sonic velocity, the pressure fluid flow rate and the flow rate are proportional. The controller 20 also stores a plurality of types of characteristic data 22 and 23 according to the hole diameter of the orifice 17. In the present embodiment, the pressure fluid characteristic data 22, 23 corresponding to the hole diameter (diameter) of the orifice 17 being 1.3 mm and 1.0 mm, respectively.
Is set. A plurality of characteristic data 22 and 23 are set because the orifice 17 used in the flow rate setting device 11 is set.
This is to improve the measurement accuracy of the flow rate of the pressure fluid by selecting the optimum characteristic data 22 and 23 according to the above. At the same time, this is to make one flow rate measuring device 26 compatible with a plurality of types of pressure reducing valves 14 equipped with orifices 17 having different hole diameters.
【００２３】減圧弁１４には、流路１２に流れる圧力流
体の流量を表示する流量表示器２４が一体的に設けられ
ている。そして、コントローラ２０は、特性データ２
２，２３に基づいて圧力センサ１８の圧力値から算出さ
れた流量を流量表示器２４に表示する。本実施形態にお
いて、液晶ディスプレイ等からなり、流量が数字で表示
される。この流量表示器２４には、オリフィス１７に応
じた最適な特性データ２２，２３を切り換える切換ボタ
ン２５が設けられている。この切換ボタン２５の操作に
基づき、コントローラ２０は、前記複数ある特性データ
２２，２３から１つを選択する。従って、本実施形態で
は、コントローラ２０によって選択手段が構成されてい
る。The pressure reducing valve 14 is integrally provided with a flow rate indicator 24 for displaying the flow rate of the pressure fluid flowing through the flow path 12. Then, the controller 20 sets the characteristic data 2
The flow rate calculated from the pressure value of the pressure sensor 18 based on Nos. 2 and 23 is displayed on the flow rate display 24. In this embodiment, a liquid crystal display or the like is used, and the flow rate is displayed by numbers. The flow rate indicator 24 is provided with a switching button 25 for switching between the optimum characteristic data 22 and 23 according to the orifice 17. Based on the operation of the switching button 25, the controller 20 selects one from the plurality of characteristic data 22 and 23. Therefore, in the present embodiment, the controller 20 constitutes the selecting means.
【００２４】次に、上記のように構成された流量設定装
置１１の作用について説明する。切換ボタン２５を操作
し、流量設定装置１１に使用されているオリフィス１７
の孔径に応じた特性データ２２，２３を選択しておく。
ここでは、特性データ２２が選択されたものとする。こ
の状態で、一次側流路１５から圧力流体が減圧弁１４に
供給されると、所定の圧力でもって圧力流体が二次側流
路１６に排出される。一次側流路１５を流れる圧力流体
の圧力が圧力検出センサ１８によって検出されると、コ
ントローラ２０は、選定された特性データ２２に基づい
て流路１２上の流量を算出し、その流量を流量表示器２
４に表示する。そして、流量表示器２４に表示される流
量を見ながら、減圧弁１４に設けられた圧力調節部１４
ａを回動操作して内部流路２１の圧力流体の圧力を変更
することで、所望の流量に調節する。Next, the operation of the flow rate setting device 11 configured as described above will be described. By operating the switching button 25, the orifice 17 used in the flow rate setting device 11
Characteristic data 22 and 23 corresponding to the hole diameter of are selected.
Here, it is assumed that the characteristic data 22 is selected. In this state, when the pressure fluid is supplied from the primary side flow passage 15 to the pressure reducing valve 14, the pressure fluid is discharged to the secondary side flow passage 16 at a predetermined pressure. When the pressure of the pressure fluid flowing through the primary side flow path 15 is detected by the pressure detection sensor 18, the controller 20 calculates the flow rate on the flow path 12 based on the selected characteristic data 22 and displays the flow rate. Bowl 2
Display in 4. Then, while observing the flow rate displayed on the flow rate indicator 24, the pressure adjusting unit 14 provided in the pressure reducing valve 14
The desired flow rate is adjusted by rotating a to change the pressure of the pressure fluid in the internal flow path 21.
【００２５】又、コントローラ２０は、両センサ１８，
１９によって検出される圧力の差がしきい値を越えてい
るかを比較し、越えている場合には二次側流路１６で目
詰まりが起きていると判定する。そして、その判定結果
をブザーやランプ等の報知手段（図示しない）を作動さ
せて作業者に知らせる。The controller 20 also includes both sensors 18,
It is compared whether the pressure difference detected by 19 exceeds the threshold value, and if it exceeds the threshold value, it is determined that the secondary side flow path 16 is clogged. Then, the operator is notified of the determination result by operating a notification means (not shown) such as a buzzer or a lamp.
【００２６】従って、本実施形態によれば以下のような
効果を得ることができる。
（１） 流量計測器２６は、コントローラ２０に記憶さ
れた特性データ２２，２３に基づいて、流路１２に流れ
る圧力流体の流量が算出できるようになっている。その
ため、流量計測器２６の設定向きは重力方向に関係ない
ため、流量設定装置１１を任意の取付け姿勢で設置する
ことができる。しかも、従来技術で示した面積式流量計
に用いられる長尺状テーパ管等を必要としないので、流
量設定装置１１の小型化を図ることができる。Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained. (1) The flow rate measuring device 26 can calculate the flow rate of the pressure fluid flowing through the flow path 12 based on the characteristic data 22 and 23 stored in the controller 20. Therefore, since the setting direction of the flow rate measuring device 26 is not related to the gravity direction, the flow rate setting device 11 can be installed in any mounting posture. Moreover, since the long taper tube used in the area type flow meter shown in the prior art is not required, the flow rate setting device 11 can be downsized.
【００２７】（２） コントローラ２０には複数の特性
データ２２，２３が記憶されており、それらをオリフィ
ス１７の孔径に応じて選択できるようになっている。そ
のため、孔径が異なるオリフィス１７が装着されている
複数種類の流量設定装置１１に対し、１つ流量計測器２
６で対応することができる。従って、流量計測器２６の
共通化を図ることができ、結果として流量設定装置１１
の低コスト化につながる。しかも、オリフィス１７に応
じた最適な特性データ２２，２３が選択されて流量が計
測されるため、計測精度が高くなる。(2) The controller 20 stores a plurality of characteristic data 22 and 23, which can be selected according to the diameter of the orifice 17. Therefore, one flow rate measuring device 2 is provided for a plurality of types of flow rate setting devices 11 equipped with orifices 17 having different hole diameters.
You can deal with 6. Therefore, the flow rate measuring device 26 can be shared, and as a result, the flow rate setting device 11 can be used.
Leading to lower costs. Moreover, since the optimum characteristic data 22 and 23 corresponding to the orifice 17 are selected and the flow rate is measured, the measurement accuracy becomes high.
【００２８】（３） 減圧弁１４とオリフィス１７との
間の流路上に配置された圧力検出センサ１８と、二次側
流路１６に配置された背圧検出センサ１９とによって検
出される圧力の差を演算することにより、オリフィス１
７等で目詰まりを起こしているかを判定することができ
る。(3) The pressure detected by the pressure detection sensor 18 arranged on the flow path between the pressure reducing valve 14 and the orifice 17 and the back pressure detection sensor 19 arranged on the secondary side flow path 16 Orifice 1 by calculating the difference
It is possible to determine whether or not clogging has occurred at 7.
【００２９】（４） 目詰まりに使用される圧力検出セ
ンサ１８は、目詰まり用と流量計測用とを兼ねている。
従って、部品点数の減少に伴い、流量設定装置１１の構
造の簡素化を図ることができるとともに、流量設定装置
１１の低コスト化を図ることができる。(4) The pressure detection sensor 18 used for clogging serves both for clogging and for flow rate measurement.
Therefore, as the number of parts decreases, the structure of the flow rate setting device 11 can be simplified and the cost of the flow rate setting device 11 can be reduced.
【００３０】（第２実施形態）第２実施形態を、前記実
施形態と異なる部分を中心に説明する。さて、この第２
実施形態では、図４，図５に示すように、流量計測器２
６と減圧弁１４とは離間されており、それらの間には圧
力流体を流通するためのチューブ３１が介在されてい
る。チューブ３１の一端は減圧弁１４に接続され、他端
は流量計測器２６に接続されている。流量計測器２６
は、チューブ３１の距離分だけ減圧弁１４から離間して
配置されている。このため、減圧弁１４から離れた箇所
で流量を表示させることができる。(Second Embodiment) The second embodiment will be described focusing on the points different from the above-mentioned embodiment. Now this second
In the embodiment, as shown in FIG. 4 and FIG.
6 and the pressure reducing valve 14 are separated from each other, and a tube 31 for circulating a pressure fluid is interposed between them. One end of the tube 31 is connected to the pressure reducing valve 14, and the other end is connected to the flow rate measuring device 26. Flow meter 26
Are separated from the pressure reducing valve 14 by the distance of the tube 31. Therefore, the flow rate can be displayed at a location away from the pressure reducing valve 14.
【００３１】（第３実施形態）第３実施形態を、前記実
施形態と異なる部分を中心に説明する。図６〜図８に示
すように、ＤＩＮレール３５にはマニホールドベース３
６が固定金具３７によって固定されている。マニホール
ドベース３６には複数（本実施形態では２つ）の流量設
定装置１１が連設され、それぞれはネジ３７ａによって
マニホールドベース３６に固定されている。このマニホ
ールドベース３６の底面には、１つの共通給気ポート
（共通ポート）３８が設けられ、この共通給気ポート３
８はマニホールドベース３６内に形成された共通流路４
０を介して、各流量設定装置１１の減圧弁１４に連通し
ている。そして、共通給気ポート３８から圧力流体が供
給されると、各流量設定装置１１に圧力流体が供給さ
れ、それぞれの流量設定装置１１に設けられた流量計測
器２６の流量表示器２４に流量が表示される。(Third Embodiment) The third embodiment will be described focusing on the points different from the above-mentioned embodiment. As shown in FIGS. 6 to 8, the manifold base 3 is provided on the DIN rail 35.
6 is fixed by a fixing bracket 37. A plurality of (two in the present embodiment) flow rate setting devices 11 are connected to the manifold base 36, and each is fixed to the manifold base 36 by a screw 37a. One common air supply port (common port) 38 is provided on the bottom surface of the manifold base 36.
8 is a common channel 4 formed in the manifold base 36
0 to the pressure reducing valve 14 of each flow rate setting device 11. When the pressure fluid is supplied from the common air supply port 38, the pressure fluid is supplied to each flow rate setting device 11, and the flow rate is displayed on the flow rate display 24 of the flow rate measuring device 26 provided in each flow rate setting device 11. Is displayed.
【００３２】従って、本実施形態の流量設定装置１１に
よれば、１つの共通給気ポート３８から複数の流量設定
装置１１に圧力流体を供給することができるので、配管
数を少なくすることができる。しかも、マニホールド化
したことで、複数の流量設定装置１１があっても全体的
に小型化する。Therefore, according to the flow rate setting device 11 of this embodiment, since the pressure fluid can be supplied from one common air supply port 38 to the plurality of flow rate setting devices 11, the number of pipes can be reduced. . In addition, since the manifold is used, the overall size can be reduced even if there are a plurality of flow rate setting devices 11.
【００３３】（別の実施形態）本発明の実施形態は以下
のように変更してもよい。
・ 前記実施形態では、オリフィス１７の孔径に応じた
複数種類の特性データ２２，２３を用いたが、１種類又
は３種類以上に変更してもよい。(Another Embodiment) The embodiment of the present invention may be modified as follows. -In the said embodiment, although the characteristic data 22 and 23 of multiple types according to the hole diameter of the orifice 17 were used, you may change to 1 type or 3 types or more.
【００３４】・ 前記第２実施形態に示したチューブ３
１によって流量表示器２４を減圧弁１４から離間した流
量設定装置１１をマニホールド化してもよい。
・ 前記実施形態では、流量表示器２４に表示される流
量を見ながら、減圧弁１４に設けられた圧力調節部１４
ａを手動で回動操作して所望の流量に調節している。こ
の構成以外に、圧力調節部１４ａを正逆方向に回転する
モータを設ける。そして、このモータの駆動をコントロ
ーラ２０で制御することにより、あらかじめ設定された
流量に自動調節するようにしてもよい。The tube 3 shown in the second embodiment
The flow rate setting device 11 in which the flow rate indicator 24 is separated from the pressure reducing valve 14 by 1 may be formed as a manifold. -In the said embodiment, the pressure control part 14 provided in the pressure reducing valve 14 is seen, seeing the flow volume displayed on the flow volume display 24.
A is manually rotated to adjust to a desired flow rate. In addition to this configuration, a motor that rotates the pressure adjusting unit 14a in the forward and reverse directions is provided. Then, the drive of this motor may be controlled by the controller 20 to automatically adjust to a preset flow rate.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明によれば、取付け姿勢を自由に設
定することができ、小型化を図ることができる。According to the present invention, the mounting posture can be freely set and the size can be reduced.
【図１】（ａ）は第１実施形態における流量設定装置の
正面図、（ｂ）は流量設定装置の側面図。FIG. 1A is a front view of a flow rate setting device according to a first embodiment, and FIG. 1B is a side view of the flow rate setting device.
【図２】同じく流量設定装置の電気的構成を示すブロッ
ク図。FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the flow rate setting device.
【図３】同じく特性データを示す図。FIG. 3 is a diagram similarly showing characteristic data.
【図４】第２実施形態における流量設定装置の電気的構
成を示すブロック図。FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of a flow rate setting device in a second embodiment.
【図５】同じく流量設定装置の側面図。FIG. 5 is a side view of the flow rate setting device.
【図６】第３実施形態におけるマニホールド化した流量
設定装置の正面図。FIG. 6 is a front view of a manifold-type flow rate setting device according to a third embodiment.
【図７】同じくマニホールド化した流量設定装置の側面
図。FIG. 7 is a side view of a flow rate setting device that is also manifoldized.
【図８】マニホールド化した流量設定装置の底面図。FIG. 8 is a bottom view of a manifold-type flow rate setting device.
【図９】（ａ）は従来技術における面積式流量計の正面
図、（ｂ）はその側面図。9A is a front view of an area type flow meter according to a conventional technique, and FIG. 9B is a side view thereof.
１２…流路、１４…減圧弁（レギュレータ）、１５…一
次側流路、１６…二次側流路、１７…オリフィス、１８
…圧力検出センサ（圧力検出手段）、１９…背圧検出セ
ンサ（背圧検出手段）、２０…コントローラ（流量算出
手段、選択手段、演算手段、比較手段、目詰まり判定手
段）、２２，２３…特性データ、２４…流量表示器、３
１…チューブ、３６…マニホールドベース、３８…共通
給気ポート（共通ポート）、４０…共通流路。12 ... Flow path, 14 ... Pressure reducing valve (regulator), 15 ... Primary flow path, 16 ... Secondary flow path, 17 ... Orifice, 18
... Pressure detection sensor (pressure detection means), 19 ... Back pressure detection sensor (back pressure detection means), 20 ... Controller (flow rate calculation means, selection means, calculation means, comparison means, clogging determination means), 22, 23 ... Characteristic data, 24 ... Flow rate indicator, 3
1 ... Tube, 36 ... Manifold base, 38 ... Common air supply port (common port), 40 ... Common flow path.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F030 CB04 CC11 CE24 CF05 5H307 AA18 BB01 DD11 DD13 EE02 FF12 GG01 JJ01 KK01 KK08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F term (reference) 2F030 CB04 CC11 CE24 CF05 5H307 AA18 BB01 DD11 DD13 EE02 FF12 GG01 JJ01 KK01 KK08
Claims (6)
次側流路で一定となるように減圧制御するレギュレータ
と、 前記レギュレータよりも下流側に設けられたオリフィス
と、 前記レギュレータとオリフィスとの間を流れる圧力流体
の圧力を検出する圧力検出手段と、 前記圧力検出手段によって検出される圧力とその圧力に
応じた流量との関係を設定した特性データを有し、この
特性データに基づいて圧力流体の流量を算出する流量算
出手段とを備えたことを特徴とする流量設定装置。1. A regulator for controlling the pressure of a pressure fluid supplied from a primary side flow passage to be constant in a secondary side flow passage, an orifice provided downstream of the regulator, and the regulator and the orifice. Pressure detecting means for detecting the pressure of the pressure fluid flowing between the pressure detecting means and the pressure detecting means, and characteristic data in which the relationship between the pressure detected by the pressure detecting means and the flow rate according to the pressure is set, and based on this characteristic data And a flow rate calculating means for calculating the flow rate of the pressure fluid.
違いに応じて複数種類設けられ、これらの特性データは
選択手段によって選ばれることを特徴とする請求項１に
記載の流量設定装置。2. The flow rate setting device according to claim 1, wherein a plurality of types of the characteristic data are provided according to the difference in the hole diameter of the orifice, and these characteristic data are selected by the selecting means.
を検出する背圧検出手段と、 前記圧力検出手段によって検出される圧力、及び前記背
圧検出手段によって検出される圧力の差を演算する演算
手段と、 前記演算手段によって演算される差圧が所定のしきい値
よりも大きいか否かを比較する比較手段と、 前記比較手段による結果に基づいて、オリフィスよりも
下流側の流路で目詰まりが起きているかを判定する目詰
まり判定手段とを備えたことを特徴とする請求項１又は
２に記載の流量設定装置。3. A back pressure detecting means for detecting the pressure of the pressure fluid flowing through the secondary side flow path, a pressure detected by the pressure detecting means, and a difference between the pressure detected by the back pressure detecting means. A calculating means for calculating, a comparing means for comparing whether or not the differential pressure calculated by the calculating means is larger than a predetermined threshold value, and a flow downstream of the orifice based on the result of the comparing means. The flow rate setting device according to claim 1 or 2, further comprising: a clogging determination unit that determines whether clogging has occurred in the road.
るためのチューブを介してレギュレータから離間配置さ
れるとともに、同圧力検出手段は、流量算出手段によっ
て算出される圧力流体の流量を表示する流量表示器と一
体化されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
か１項に記載の流量設定装置。4. The pressure detecting means is arranged apart from the regulator via a tube for circulating the pressure fluid, and the pressure detecting means displays the flow rate of the pressure fluid calculated by the flow rate calculating means. The flow rate setting device according to claim 1, wherein the flow rate setting device is integrated with a flow rate indicator.
らのレギュレータは共通流路を有するマニホールドベー
スに連設され、マニホールドベースに設けられた共通ポ
ートは前記共通流路を介して各レギュレータに通じてい
ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載
の流量設定装置。5. A plurality of the regulators are provided, the regulators are connected to a manifold base having a common flow path, and a common port provided in the manifold base communicates with each regulator via the common flow path. The flow rate setting device according to claim 1, wherein the flow rate setting device is a flow rate setting device.
と、この圧力検出手段によって検出される圧力と流量と
の関係を設定した特性データを有し、この特性データに
基づいて圧力流体の流量を算出する流量算出手段とを備
えたことを特徴とする流量計測器。6. Pressure detection means for detecting the pressure of the pressure fluid, and characteristic data in which the relationship between the pressure and the flow rate detected by the pressure detection means are set, and the flow rate of the pressure fluid is based on this characteristic data. A flow rate measuring device comprising: a flow rate calculating means for calculating
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|---|---|---|---|
| JP2002076384A JP2003270010A (en) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | Device for setting flow rate and for measuring flow rate |
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