JP2003266298A - Sheet for polishing - Google Patents

Sheet for polishing

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JP2003266298A
JP2003266298A JP2002069503A JP2002069503A JP2003266298A JP 2003266298 A JP2003266298 A JP 2003266298A JP 2002069503 A JP2002069503 A JP 2002069503A JP 2002069503 A JP2002069503 A JP 2002069503A JP 2003266298 A JP2003266298 A JP 2003266298A
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fibers
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修一 金尾
Masaru Makimura
勝 牧村
Yukio Goto
幸生 後藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet for polishing capable of achieving high polishing speed and excellent productivity. <P>SOLUTION: This sheet for polishing containing three-dimensional slip nonwoven fabric and a resin in its inside is constituted in such a way that fibers constituting the nonwoven fabric are composed substantially of polystyrene and polyamide, a weight ratio of polystyrene to polyamide is in the range of 1:99 to 90:10, polyamide forms a continuous layer in the fibers, and a surface of fiber is composed substantially of polyamide. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、優れた研磨速度を有す
る研磨用シートに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a polishing sheet having an excellent polishing rate.

【0002】[0002]

【従来の技術】ブラウン管等のガラス部品、ハードディ
スク等の電子部品等は、その製造過程で、部品表面を研
磨することが性能を発揮する上で必須である。このとき
用いる研磨用シートには、近年の低価格化の進行に伴う
生産性向上の要求から、速やかに目標の面状態まで到達
できるよう、研磨速度の向上が強く求められている。
2. Description of the Related Art For glass parts such as cathode ray tubes and electronic parts such as hard disks, it is indispensable to polish the surface of the parts during the manufacturing process. The polishing sheet used at this time is strongly required to have an improved polishing rate so that the target surface state can be quickly reached in response to the demand for productivity improvement accompanying the recent progress in price reduction.

【0003】かかる研磨の研磨用シートとしては主にポ
リアミドもしくはポリアミド系中空糸からなる不織布に
ポリウレタン樹脂を含浸し、多孔質高剛性の板としたも
のが使用されている。これは、実用に足るだけの性能を
有してはいるが、研磨速度のよりいっそうの向上を求め
られているのは前記の通りである。
As a polishing sheet for such polishing, a porous and highly rigid plate is used which is obtained by impregnating a nonwoven fabric mainly made of polyamide or a polyamide hollow fiber with a polyurethane resin. Although this has performance sufficient for practical use, it is as described above that further improvement in polishing rate is required.

【0004】更に、かかる構成のシートは本来柔軟性に
富んだ素材であることから、研磨用シートとして用いる
ために、現在は含浸したポリウレタン樹脂の発泡セル内
に更に硬質樹脂を2次含浸し、シートの密度と弾性率を
高めることで研削用シートとしての性能を得ている。し
かしながらこの方法では研磨用シートの生産性が低いだ
けでなく、シート中の空隙が少ないため目詰まりしやす
く寿命が短くなるなど、全体としての生産性はあまり高
くないという問題がある。
Further, since the sheet having such a constitution is originally a material having a high flexibility, in order to use it as a polishing sheet, a foamed cell of impregnated polyurethane resin is secondarily impregnated with a hard resin, The performance as a grinding sheet is obtained by increasing the density and elastic modulus of the sheet. However, this method has a problem that not only the productivity of the polishing sheet is low but also the productivity is not so high as a whole because the voids in the sheet are less likely to cause clogging and shorten the life.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る問題を解決し、研磨速度が速く、より生産性に優れた
研磨用シートを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a polishing sheet having a high polishing rate and excellent productivity.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに検討を加えた結果、不織布用の繊維としてポリアミ
ドが連続層を形成しているポリアミド/ポリスチレン混
合物からなる繊維を用いるならばシート自体の剛性が向
上し、研磨速度の向上が可能であることを見出し、本発
明に至った。
Means for Solving the Problems As a result of studies to achieve the above object, if a fiber made of a polyamide / polystyrene mixture in which polyamide forms a continuous layer is used as a fiber for a non-woven fabric, the sheet itself is The inventors have found that the rigidity is improved and the polishing rate can be improved, and the present invention has been completed.

【0007】すなわち本発明は、3次元絡合不織布及び
その内部に樹脂が含有されたシートにおいて、該不織布
を構成する繊維が実質的にポリスチレンとポリアミドか
らなり、該ポリスチレンと該ポリアミドの重量比が1:
99〜90:10の範囲であり、かつ該繊維内部のポリ
アミドが連続層を形成しており、さらに該繊維表面が実
質的にポリアミドからなることを特徴とする研磨用シー
トである。そして好ましくは、該繊維が、ポリアミドを
海成分とし、ポリスチレンを島成分とする海島型繊維か
らなる研磨用シートであり、さらには、繊維が、中空繊
維からなる研磨用シートである。そして、本発明の研磨
シートを構成する3次元絡合不織布の内部に含有された
樹脂がポリウレタンであることが好ましい。
That is, according to the present invention, in a three-dimensional entangled nonwoven fabric and a sheet containing a resin therein, the fibers constituting the nonwoven fabric consist essentially of polystyrene and polyamide, and the weight ratio of the polystyrene and the polyamide is 1:
It is in the range of 99 to 90:10, the polyamide inside the fiber forms a continuous layer, and the surface of the fiber is substantially made of polyamide. And, preferably, the fiber is a polishing sheet made of sea-island type fibers having polyamide as a sea component and polystyrene as an island component, and further, the fibers are polishing sheets made of hollow fibers. The resin contained in the three-dimensional entangled nonwoven fabric that constitutes the polishing sheet of the present invention is preferably polyurethane.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下に本発明についてさらに詳細
に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in more detail below.

【0009】本発明において3次元絡合不織布を構成す
る繊維は実質的にポリスチレンとポリアミドからなり、
該ポリスチレンと該ポリアミドの重量比が1:99〜9
0:10の範囲である。そして、該繊維中でポリアミド
が連続層を形成している繊維とは、繊維をトルエン等の
ポリスチレンの良溶媒中に浸漬した際においても繊維が
縦方向に切断しない状態にある繊維を示し、具体的には
ポリアミドが海成分である海島型繊維、あるいはポリア
ミドとポリスチレンのいずれもが連続層である一般に共
連続構造または多層張り合せ型と呼ばれる構造を持った
繊維などが例示される。ポリアミドが不連続の場合、研
磨シートとして使用中に繊維の断裂が多発し、発生した
糸くずが被研磨面に欠点を生じせしめるため、研磨シー
トとしては不適当なものとなることから、本発明の繊維
はポリアミドが連続層であることが必要となる。
In the present invention, the fibers constituting the three-dimensional entangled nonwoven fabric consist essentially of polystyrene and polyamide,
The weight ratio of the polystyrene to the polyamide is 1:99 to 9
The range is 0:10. And, a fiber in which the polyamide forms a continuous layer in the fiber means a fiber in a state in which the fiber is not cut in the longitudinal direction even when the fiber is dipped in a good solvent of polystyrene such as toluene. Specific examples thereof include sea-island type fibers in which polyamide is a sea component, and fibers having a structure generally called a co-continuous structure or a multi-layer laminated type in which both polyamide and polystyrene are continuous layers. When the polyamide is discontinuous, fiber breakage frequently occurs during use as an abrasive sheet, and the generated lint causes defects on the surface to be abraded, which makes it unsuitable as an abrasive sheet. The fiber of the above requires that the polyamide is a continuous layer.

【0010】更に、本繊維の表面は実質的にポリアミド
で被覆されている必要がある。表面がポリスチレンで被
覆された場合、研磨液による濡れが悪くなるため、被研
磨材の研磨斑が発生しやすくなるほか、研磨時の摩擦に
よる繊維の膠着が発生しやすくなり、かかる膠着部によ
って被研磨面に欠点を生じせしめやすい等の問題があ
る。なお、繊維表面が実質的にポリアミドからなると
は、不織布を構成する繊維を重ねて100℃においてプ
レスした際にポリスチレンの溶融により繊維同士の融着
が発生するかどうかで判定され、必ずしも繊維表面が1
00%ポリアミドからなることを意味するものではな
い。
Furthermore, the surface of the fiber must be substantially coated with polyamide. When the surface is covered with polystyrene, the wetting by the polishing liquid will be poor, so that the unevenness of polishing of the material to be polished is likely to occur, and the fibers are apt to stick due to friction during polishing. There is a problem that defects easily occur on the polished surface. The fact that the fiber surface is substantially made of polyamide is determined by whether or not fusion of the fibers occurs due to melting of polystyrene when the fibers constituting the nonwoven fabric are stacked and pressed at 100 ° C. 1
It does not mean that it consists of 00% polyamide.

【0011】本繊維を構成する繊維は実質的にポリスチ
レンとポリアミドからなり、該ポリスチレンと該ポリア
ミドの重量比が1:99〜90:10の範囲であること
が必須であり、好ましくはポリスチレン2:98〜3
0:70、より好ましくはポリスチレン3:97〜6
0:40、最適にはポリスチレン4:96〜45:55
からなる。ポリスチレンの比率が1未満ではポリスチレ
ンの存在しないものと実質的に差を見出せずポリスチレ
ンの性質である剛性が得られにくく研磨速度が低下する
傾向にある。また、ポリスチレンの比率が90を越える
と、硬い反面もろいため研磨時に繊維が破断する傾向が
あり、どのような繊維の構造をとっても繊維の靭性が不
十分となりやすく、研磨シートとしての強度が低下する
傾向にある。また、繊維表面がポリスチレンで被覆され
やすくなるため、前述のように、研磨液による濡れが悪
くなることによって、被研磨材の研磨斑が発生しやすく
なる、さらに研磨時の摩擦による繊維の膠着が発生しや
すくなり、かかる膠着部が被研削面に欠点を生じせしめ
る傾向があるため研磨シートとしては不適当なものとな
る。
The fibers constituting the present fiber consist essentially of polystyrene and polyamide, and it is essential that the weight ratio of the polystyrene and the polyamide is in the range of 1:99 to 90:10, preferably polystyrene 2: 98-3
0:70, more preferably polystyrene 3: 97-6
0:40, optimally polystyrene 4:96 to 45:55
Consists of. When the ratio of polystyrene is less than 1, a difference from that in which polystyrene is not present is not substantially found, and it is difficult to obtain the rigidity which is the property of polystyrene, and the polishing rate tends to decrease. On the other hand, if the polystyrene ratio exceeds 90, the fibers tend to break during polishing because they are hard but brittle, and the toughness of the fibers tends to be insufficient regardless of the structure of the fibers, and the strength as a polishing sheet decreases. There is a tendency. In addition, since the fiber surface is easily coated with polystyrene, as described above, the wettability with the polishing liquid deteriorates, so that the unevenness of polishing of the material to be polished is likely to occur, and further, the sticking of the fiber due to friction during polishing is caused. It tends to occur, and such a glued portion tends to cause a defect on the surface to be ground, which makes it unsuitable as a polishing sheet.

【0012】また、前述と同様の結果をポリアミド成分
の構成重量比率から説明すると、ポリアミドの比率が9
9を越えるとポリアミド単独と実質的な差が存在せず、
前述の通りポリスチレンの性質である剛性が得られにく
く研磨速度が低下する傾向にある。また、ポリアミドの
比率が10未満では繊維の靭性が不十分となりやすく、
使用時に繊維の断裂が発生しやすくなり、研磨シートと
しては不適当なものとなる、また、表面の被覆が不安定
になり、実質的に表面をポリアミドで覆うことが困難で
あるなどの問題がある。研磨性に関して、繊維の剛性が
高いほど研磨速度が向上することから、非常に硬い樹脂
であり繊維化しやすいポリスチレンを研磨シート用のポ
リアミドに対する比率として1以上添加する必要があ
る。しかしながら、ポリスチレン単独では融点が低く摩
擦熱に弱いことと、および硬い反面もろいため研磨時に
容易に破断してしまい研磨シートとしての強度を有しな
い。そこで、ポリスチレンをポリアミドで被覆すること
で、ポリアミドの濡れ性とタフネスに優れた性質を付与
し、剛性と繊維の強さ(タフネス)を両立することが可
能となり、さらに研磨液による繊維の濡れ性も併せ持つ
繊維が得られる。
The same result as described above will be explained from the constituent weight ratio of the polyamide component.
When it exceeds 9, there is no substantial difference from the polyamide alone,
As described above, it is difficult to obtain rigidity, which is a property of polystyrene, and the polishing rate tends to decrease. If the polyamide ratio is less than 10, the toughness of the fiber tends to be insufficient,
Tear of the fiber is likely to occur during use, it becomes unsuitable as a polishing sheet, and the surface coating becomes unstable, and it is difficult to substantially cover the surface with polyamide. is there. With respect to the polishing property, the higher the rigidity of the fiber, the higher the polishing rate. Therefore, it is necessary to add polystyrene, which is a very hard resin and easily fibrillated, in a ratio of 1 or more with respect to the polyamide for the polishing sheet. However, polystyrene alone has a low melting point and is vulnerable to frictional heat, and is hard but has a brittleness, so that it is easily broken during polishing and does not have strength as a polishing sheet. Therefore, by coating polystyrene with polyamide, it is possible to give the polyamide excellent wettability and toughness, and achieve both rigidity and fiber strength (toughness), and further, wetting of the fiber by the polishing liquid. The fiber which also has is obtained.

【0013】かかる繊維の原料となるポリアミドは特に
限定されるものではなく、ナイロン6、ナイロン11、
ナイロン12、ナイロン46、ナイロン66、ナイロン
96(ノナメチレンジアミンおよび/または2−メチル
−1,8−オクタンジアミンとアジピン酸からなるナイ
ロン)、ナイロン910(ノナメチレンジアミンおよび
/または2−メチル−1,8−オクタンジアミンとセバ
シン酸からなるナイロン)、ナイロン912(ノナメチ
レンジアミンおよび/または2−メチル−1,8−オク
タンジアミンとドデカン二酸からなるナイロン)、ナイ
ロン6/12(カプロラクタムとラウロラクタムの共重
合体)、ナイロン6T(ヘキサメチレンジアミンとテレ
フタル酸からなるナイロン)、ナイロン9T(ノナメチ
レンジアミンおよび/または2−メチル−1,8−オク
タンジアミンとテレフタル酸からなるナイロン)、ポリ
アミドブロック共重合体(ポリアミドエラストマー)な
どが用いられる。また、本発明を構成する繊維はポリア
ミドおよびポリスチレン以外の樹脂成分が本発明の効果
を損なわない程度に添加されていても良く、さらに、各
種安定剤等が添加されていても良い。
The polyamide used as the raw material for such fibers is not particularly limited, and nylon 6, nylon 11,
Nylon 12, nylon 46, nylon 66, nylon 96 (nonamethylenediamine and / or 2-methyl-1,8-octanediamine and adipic acid nylon), nylon 910 (nonamethylenediamine and / or 2-methyl-1) , 8-octanediamine and sebacic acid nylon), nylon 912 (nonamethylenediamine and / or 2-methyl-1,8-octanediamine and dodecanedioic acid nylon), nylon 6/12 (caprolactam and laurolactam) Copolymer), nylon 6T (nylon consisting of hexamethylenediamine and terephthalic acid), nylon 9T (nonamethylenediamine and / or nylon consisting of 2-methyl-1,8-octanediamine and terephthalic acid), polyamide block copolymer Like polymer (polyamide elastomer) is used. Further, the fibers constituting the present invention may be added with resin components other than polyamide and polystyrene to the extent that the effects of the present invention are not impaired, and further various stabilizers and the like may be added.

【0014】かかる繊維を得る方法としては特に制限は
無く、公知の方法のいずれもが用いられる。例えば特殊
形状のノズルを用いて複合紡糸する方法、あるいは、予
め樹脂を、ポリアミドが連続相になるよう押出機で混
合、紡糸する海島型繊維を作製する方法等がある。特に
後者は海成分をポリアミドとしポリスチレンを島成分と
して微分散させることによって繊維の強度と靭性がより
高いレベルでバランスし、優れた研磨シートを与えるの
でより好ましい。更に本繊維は研磨時の目詰まりを抑制
し、より長期間安定した研磨性を得る目的で、繊維中に
空洞を設けることも好ましく行われる。かかる空洞の形
成方法としては、異型ノズルを用いて中空糸を紡糸す
る、溶媒を用いて繊維構成成分の一部を抽出するなどの
方法が例示できる。
The method for obtaining such fibers is not particularly limited, and any known method can be used. For example, there is a method of composite spinning using a nozzle having a special shape, or a method of preparing sea-island fibers in which a resin is mixed and spun in advance with an extruder so that polyamide becomes a continuous phase. In particular, the latter is more preferable because the strength and toughness of the fibers are balanced at a higher level by finely dispersing the sea component as the polyamide and the polystyrene as the island component and giving an excellent polishing sheet. Further, for the purpose of suppressing clogging during polishing of the present fiber and obtaining stable abradability for a longer period of time, it is also preferable to provide a cavity in the fiber. Examples of the method for forming such cavities include a method of spinning a hollow fiber using a modified nozzle, a method of extracting a part of fiber constituent components using a solvent, and the like.

【0015】本繊維の直径は、100μm以下が好まし
く、50μm以下がより好ましく、20μm以下が特に
好ましい。100μmを越えて過度に太くなると研磨時
に傷等が出やすくなり、また研磨後の表面平滑度が粗く
なるなどの問題がある。また、直径は0.1μm以上が
好ましく、1μm以上がより好ましく、5μm以上がさ
らに好ましい。直径が0.1μm未満の場合には、繊維
の剛性が小さくなりやすく、研磨速度が低下する傾向に
ある。
The diameter of the present fiber is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, particularly preferably 20 μm or less. If the thickness exceeds 100 μm and becomes excessively thick, scratches and the like are likely to occur during polishing, and the surface smoothness after polishing becomes rough. Further, the diameter is preferably 0.1 μm or more, more preferably 1 μm or more, still more preferably 5 μm or more. If the diameter is less than 0.1 μm, the rigidity of the fiber tends to be low, and the polishing rate tends to decrease.

【0016】本発明の繊維が中空繊維の場合には、中空
繊維の一つの孔の直径は該繊維直径の1/2以下である
ことが好ましく10μm以下であることがより好まし
く、5μm以下であることがさらに好ましく、3μm以
下であることが特に好ましい。一つの孔の直径が大きい
ほど繊維の剛性が低下し、単独で繊維径の1/2を越え
る直径を有する孔が存在する場合繊維の剛性が低下し、
結果として研磨速度が低下する傾向がある。
When the fiber of the present invention is a hollow fiber, the diameter of one hole of the hollow fiber is preferably 1/2 or less of the fiber diameter, more preferably 10 μm or less, and further preferably 5 μm or less. More preferably, it is particularly preferably 3 μm or less. The larger the diameter of one hole, the lower the rigidity of the fiber, and if there is a single hole having a diameter exceeding ½ of the fiber diameter, the rigidity of the fiber decreases,
As a result, the polishing rate tends to decrease.

【0017】また、本発明の中空繊維の一つの孔の直径
は0.005μm以上であることが好ましく、0.01
μm以上がより好ましい。これよりも小さい孔の存在は
排除されるものではなく、研磨砥粒の直径が平均数nm
〜数十nmの範囲の物が多いことからシリコンウエハー
研磨用シート(以下研磨用シート)としての性能向上に
寄与しにくい傾向がある。
The diameter of one hole of the hollow fiber of the present invention is preferably 0.005 μm or more, and 0.01
It is more preferably at least μm. The existence of pores smaller than this is not excluded, and the average diameter of the abrasive grains is several nm.
Since there are many particles in the range of to several tens of nm, it tends to be difficult to contribute to the performance improvement as a silicon wafer polishing sheet (hereinafter referred to as a polishing sheet).

【0018】この場合の孔の効果は単に目詰まりを抑制
し研磨効率を上げるだけでなく、砥粒に過大な力がかか
った場合の砥粒の逃げ場となるため、瞬間的に研磨過剰
と成ることを防ぎ、結果としてより短時間で平滑面を得
ることができる。なお、中空繊維中の孔の数はそれぞれ
の繊維の任意の断面において、多いほど好ましく少なく
とも一つ以上必要であり、2つ以上が好ましく、5以上
がより好ましく、10以上がさらに好ましい。また該中
空繊維の側面に孔の一部が開口した状態である場合や孔
によって側面が凹凸の状態になっているものが砥粒の逃
げ場が増加する点から特に好ましい。孔の数の上限は性
能面からは特に規定されるものではないが、通常200
0を越えるものは量産困難である。
In this case, the effect of the holes not only suppresses clogging and improves the polishing efficiency, but also serves as an escape area for the abrasive grains when an excessive force is applied to the abrasive grains, so that the polishing is instantaneously over-polished. This can be prevented, and as a result, a smooth surface can be obtained in a shorter time. The number of pores in the hollow fiber is preferably as large as possible in any cross section of each fiber, and at least one or more is required, preferably two or more, more preferably 5 or more, and further preferably 10 or more. In addition, it is particularly preferable that a part of the holes is opened on the side surface of the hollow fiber or that the side surface is uneven due to the hole because the escape of the abrasive grains increases. Although the upper limit of the number of holes is not particularly specified from the viewpoint of performance, it is usually 200
Those exceeding 0 are difficult to mass produce.

【0019】本発明の中空繊維の製造方法としては特に
限定されるものではなく、公知の中空繊維の製造方法の
いずれもが適用可能である。例示するならば、異型断面
の口金から溶融樹脂を押し出し、中空の繊維を得る方
法、やはり特殊な口金を使用し、溶解特性の異なる2種
類以上の樹脂を、芯鞘繊維の形で紡糸した後、芯の樹脂
を溶解除去する方法、あるいは2種以上の樹脂を溶融混
合し、紡糸した後、島成分を構成する樹脂を溶解除去す
る方法などが挙げられる。
The method for producing the hollow fiber of the present invention is not particularly limited, and any known method for producing a hollow fiber can be applied. For example, a method of extruding a molten resin from a die having an irregular cross section to obtain a hollow fiber, and also using a special die, after spinning two or more kinds of resins having different melting characteristics in the form of a core-sheath fiber A method of dissolving and removing the resin of the core, a method of melt-mixing two or more kinds of resins, spinning, and then dissolving and removing the resin constituting the island component, and the like.

【0020】かかる中空繊維の製造方法において、得ら
れる繊維中に最も多数の孔を形成できること、さらに、
繊維側壁に孔の開口部ができ、その結果繊維の側面も研
磨時の有効面として作用することによって、特に優れた
研磨速度・研磨精度を与えることから、2種以上の樹脂
を溶融混合した後紡糸し、後に島の部分の樹脂を溶媒に
より一部溶解除去するいわゆる混合紡糸によって製造す
る方法がより好ましい。なお、かかる繊維はその製造過
程で、延伸および/またはは熱処理されているほうが繊
維の強度が増し研磨用シートの寿命がより長くなるため
好ましい。また、島の部分の樹脂を溶解除去する場合、
これは、紡糸から不織布化をへて最終の研磨用シートが
完成するまでのいずれの工程で行っても良い。本発明を
構成する繊維が混合紡糸された海島型繊維の場合には、
島成分としてポリスチレンを、海成分としてポリアミド
を用いて海島型繊維を紡糸し、そのまま島成分を溶解除
去せずに研磨用シートを作製してもよいし、溶解除去し
て中空繊維とすることも可能である。溶解除去して中空
繊維とする場合には、溶解除去条件を変えてポリスチレ
ンとポリアミドの重量比を所望の比率とすることが可能
である。すなわち、所望の比率でポリアミドとポリスチ
レンの海島型繊維を紡糸し、所望のポリスチレン比率に
するために、ポリスチレンの溶解除去剤としてのトルエ
ン等の有機溶媒との接触時間、該有機溶媒の温度、およ
び繊維または該繊維で構成された不織布のディップ・ニ
ップ処理条件等公知の方法により達成可能である。そし
て結果として、ポリスチレンの一部溶解除去された空隙
部分が中空となり、海島型繊維から中空繊維を得ること
が可能となる。
In such a method for producing a hollow fiber, the largest number of pores can be formed in the obtained fiber, and further,
Since the openings of holes are formed in the side wall of the fiber, and as a result, the side surface of the fiber also acts as an effective surface at the time of polishing, it gives a particularly excellent polishing rate and polishing accuracy. Therefore, after melting and mixing two or more kinds of resins, A method of producing by so-called mixed spinning, in which the resin in the island portion is later dissolved and removed by a solvent, is more preferable. It is preferable that the fibers are stretched and / or heat-treated in the manufacturing process, because the strength of the fibers increases and the life of the polishing sheet becomes longer. Also, when dissolving and removing the resin in the island part,
This may be performed in any step from spinning to non-woven fabric to the final polishing sheet. In the case of the mixed-spun sea-island type fibers constituting the present invention,
A sea-island type fiber may be spun using polystyrene as an island component and polyamide as a sea component, and a polishing sheet may be produced without dissolving and removing the island component as it is, or may be dissolved and removed to form a hollow fiber. It is possible. In the case of dissolving and removing into hollow fibers, it is possible to change the dissolving and removing conditions to obtain a desired weight ratio of polystyrene to polyamide. That is, the sea-island type fibers of polyamide and polystyrene are spun at a desired ratio, in order to obtain a desired polystyrene ratio, the contact time with an organic solvent such as toluene as a dissolving and removing agent for polystyrene, the temperature of the organic solvent, and It can be achieved by a known method such as dip / nip treatment conditions for fibers or a nonwoven fabric composed of the fibers. As a result, the voids in which polystyrene is partially dissolved and removed become hollow, and hollow fibers can be obtained from sea-island fibers.

【0021】本発明の繊維を3次元絡合不織布とする方
法は特に限定は無く公知の方法のいずれもが用いられ
る。例えば、ニードルパンチ、水流絡合などを例示する
ことができる。
The method for forming the three-dimensional entangled nonwoven fabric of the fiber of the present invention is not particularly limited, and any known method can be used. For example, needle punching, hydroentanglement and the like can be exemplified.

【0022】本発明における研磨シートを構成する不織
布は、その充填率が、樹脂の担持力が強く研磨用シート
の硬度がより高く研磨性能が向上することから0.10
以上であることが好ましく、研磨用シートの硬度がより
高まるとともに、繊維と樹脂の分布がより均一となり研
磨精度が高くなることから0.15以上であることがよ
り好ましく、0.20以上であることが特に好ましい。
また、0.5以下であることが好ましく、0.4以下で
あることがより好ましく、0.3以下であることがさら
に好ましい。充填率が、0.5を越えると樹脂を含浸さ
せにくくなり、研磨用シートの生産性が低下する傾向が
ある。そのためシートの硬度が低下しやすく、さらに繊
維と樹脂の分布が不均一となることによって研磨精度が
低下する傾向がある。なお、ここで不織布の充填率の決
定は、あらかじめ乾燥状態で不織布の見かけ体積(厚み
×幅×長さ;厚みはピーコック型厚み計で測定)を求め
た後、アルコール中に浸漬し、アルコールの体積増を繊
維の体積とし以下の式で求められる。 充填率=繊維の体積/不織布の見かけ体積
The non-woven fabric constituting the polishing sheet of the present invention has a filling rate of 0.10 because the carrying force of the resin is strong and the hardness of the polishing sheet is higher and the polishing performance is improved.
It is preferably not less than 0.15, more preferably not less than 0.15 and not less than 0.20, because the hardness of the polishing sheet is further increased, the distribution of the fibers and the resin is more uniform, and the polishing accuracy is improved. Is particularly preferred.
Further, it is preferably 0.5 or less, more preferably 0.4 or less, and further preferably 0.3 or less. When the filling rate exceeds 0.5, it becomes difficult to impregnate the resin, and the productivity of the polishing sheet tends to decrease. Therefore, the hardness of the sheet is likely to decrease, and the distribution of the fibers and the resin becomes nonuniform, so that the polishing accuracy tends to decrease. Here, the determination of the filling rate of the nonwoven fabric is performed by previously determining the apparent volume of the nonwoven fabric in a dry state (thickness x width x length; the thickness is measured by a Peacock thickness meter), and then immersing in the alcohol to The volume increase is taken as the volume of the fiber and is calculated by the following formula. Filling rate = volume of fiber / apparent volume of non-woven fabric

【0023】なお、研磨用シートとなったものについて
も、内部に含有された樹脂を抽出した後同様の方法で求
めることができる。
[0023] It should be noted that the polishing sheet can be obtained by the same method after extracting the resin contained therein.

【0024】更に該不織布の好ましい目付は、研摩用シ
ートの取り扱い容易性から100〜3000g/m
範囲である。
Further, the preferable basis weight of the non-woven fabric is in the range of 100 to 3000 g / m 2 in view of easy handling of the polishing sheet.

【0025】また、該不織布は、表面を平滑化し厚さを
規制するため厚さ方向にプレスするのが好ましい。プレ
スの方法としては、複数の加熱ロール間を通す方法、予
熱した不織布を冷却ロール間に通す方法等、従来公知の
方法が利用でき、繊維中の海成分すなわちポリアミドの
溶融・圧着により、不織布の平滑化を達成することも可
能である。なおこの工程の際に、テンションやプレス等
による工程の形態変化を抑制することおよび中空繊維と
樹脂の密着を防止し研磨用シートの不織布と樹脂の間に
空隙を存在させることによって研磨効果を高めることを
目的として、ポリビニルアルコール、デンプン、または
樹脂エマルジョン等の接着剤を予め不織布に添加した後
に、不織布に樹脂を付与し、その後に熱水等で予め添加
した該接着剤等を抽出除去することが好ましく用いられ
る。
Further, the non-woven fabric is preferably pressed in the thickness direction in order to smooth the surface and regulate the thickness. As the pressing method, a conventionally known method such as a method of passing between a plurality of heating rolls and a method of passing a preheated nonwoven fabric between cooling rolls can be used. It is also possible to achieve smoothing. In this step, the polishing effect is enhanced by suppressing the morphological change of the step due to tension, pressing, etc., and preventing the adhesion between the hollow fiber and the resin, and providing a void between the nonwoven fabric of the polishing sheet and the resin. For that purpose, after adding an adhesive such as polyvinyl alcohol, starch, or a resin emulsion to the non-woven fabric in advance, the resin is applied to the non-woven fabric, and then the pre-added adhesive or the like is extracted and removed with hot water or the like. Is preferably used.

【0026】本発明において、不織布とともに研磨用シ
ートを構成する樹脂は、吸湿した状態で流動開始温度が
50℃以上あれば特に制限は無く、公知の樹脂いずれも
が用いることができる。かかる樹脂としては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポ
リカーボネート、ポリメチルメタクリレート樹脂、熱可
塑性ポリウレタン樹脂などの高Tg熱可塑性樹脂、エポ
キシ樹脂、架橋型アクリル樹脂、フェノール樹脂、架橋
型(熱硬化型)ポリウレタン樹脂などが挙げられる。
In the present invention, the resin constituting the polishing sheet together with the non-woven fabric is not particularly limited as long as it has a flow starting temperature of 50 ° C. or more in a moisture-absorbed state, and any known resin can be used. Examples of such resins include high Tg thermoplastic resins such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polycarbonate, polymethylmethacrylate resin and thermoplastic polyurethane resins, epoxy resins, crosslinkable acrylic resins, phenolic resins, crosslinkable (thermosetting) polyurethanes. Resin etc. are mentioned.

【0027】これらの樹脂のうち、磨耗に強く、研磨時
の耐久性に優れること、摩擦力が高く、研磨中に不織布
の糸が離脱するなどのトラブルを起こしにくいこと、更
に溶媒への溶解性が良く、不織布中に均一に付与するこ
とが容易であり生産性に優れることなどの点から熱可塑
性もしくは架橋型のポリウレタンが特に好ましく、取り
扱い時に寿命等の問題が無く最も生産性に優れることか
ら熱可塑性ポリウレタンが最も好ましい。かかるポリウ
レタン系樹脂を具体的に例示すると、トリレンジイソシ
アネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフチ
レンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネー
ト、1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサ
ンなど公知のジイソシアネートおよびそのウレタン結合
形成性誘導体のうちから選ばれた一つ以上のジイソシア
ネートと、ポリエステルポリオール、ポリエーテルポリ
オール、ポリカーボネートポリオール等の公知のポリオ
ール等から選ばれた一つ以上のポリオールと、エチレン
グリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、
3−メチル−1,5−ペンタンジオール等のジオール
類、エチレンジアミン、イソホロンジアミン、ピペラジ
ン、フェニレンジアミン等のジアミン類、アジピン酸ヒ
ドラジド、イソフタル酸ジヒドラジド等のヒドラジド類
から選ばれた2個以上の活性水素原子を有する少なくと
も1種の低分子化合物で分子量300以下の化合物から
合成されたポリウレタン等が好ましく挙げられる。
Among these resins, it is resistant to abrasion, has excellent durability during polishing, has a high frictional force, does not easily cause troubles such as detachment of threads of the nonwoven fabric during polishing, and further has solubility in a solvent. The thermoplastic or crosslinked polyurethane is particularly preferable from the viewpoints of good productivity, easy application evenly in the nonwoven fabric, and excellent productivity, because it has the best productivity without problems such as life during handling. Most preferred is thermoplastic polyurethane. Specific examples of such a polyurethane resin include known diisocyanates such as tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, naphthylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 1,3-bis (isocyanatomethyl) cyclohexane and urethane bond-forming derivatives thereof. One or more diisocyanates selected from, polyester polyols, polyether polyols, one or more polyols selected from known polyols such as polycarbonate polyols, ethylene glycol, propylene glycol, butane diol,
Two or more active hydrogens selected from diols such as 3-methyl-1,5-pentanediol, diamines such as ethylenediamine, isophoronediamine, piperazine and phenylenediamine, and hydrazides such as adipic acid hydrazide and isophthalic acid dihydrazide. Preferable examples include polyurethane synthesized from at least one low molecular weight compound having an atom and having a molecular weight of 300 or less.

【0028】本発明の3次元絡合不織布と樹脂とを一体
化させシートとする方法は特に限定されるものではな
く、例えば、3次元絡合不織布を樹脂溶液中に浸漬し、
直ちに貧溶媒中に移動し樹脂を凝固させる方法、3次元
絡合不織布内部に樹脂溶液、もしくは樹脂エマルジョン
液を付与し、樹脂を乾燥・析出させる方法、樹脂のモノ
マーおよび/またはオリゴマーを含浸し、加熱等により
重合・高分子化する方法など公知の方法が採用できる。
The method of integrating the three-dimensional entangled nonwoven fabric of the present invention and the resin to form a sheet is not particularly limited. For example, the three-dimensional entangled nonwoven fabric is dipped in a resin solution,
Immediately moving into a poor solvent to solidify the resin, a method of applying a resin solution or a resin emulsion liquid to the inside of the three-dimensional entangled nonwoven fabric, and drying / precipitating the resin, impregnating a resin monomer and / or oligomer, Known methods such as a method of polymerizing / polymerizing by heating can be adopted.

【0029】本発明においてシートを構成する3次元絡
合不織布とその内部に含有された樹脂の重量比の好まし
い範囲は、研磨シートの耐久性がより優れたものとなる
点から樹脂比率10w%以上が好ましく、研磨斑が発生
しにくくなるため樹脂比率30w%以上が特に好まし
い。また、本発明の効果を十分に得るためには繊維比率
10w%以上が好ましく、目詰まりによるメンテナンス
間隔がより長くなるという点で繊維比率30w%以上が
好ましい。
In the present invention, the preferred range of the weight ratio of the three-dimensional entangled nonwoven fabric constituting the sheet and the resin contained therein is 10% by weight or more of the resin ratio from the viewpoint that the durability of the polishing sheet is further improved. Is preferable, and it is particularly preferable that the resin ratio is 30 w% or more because polishing spots are less likely to occur. Further, in order to sufficiently obtain the effect of the present invention, a fiber ratio of 10 w% or more is preferable, and a fiber ratio of 30 w% or more is preferable in that the maintenance interval due to clogging becomes longer.

【0030】本発明の研磨用シートは、樹脂と不織布を
一体化した後に研磨用シートの硬度の微調整を行う為に
さらにその空隙率、厚みなどをプレス、発泡その他の処
理で調整することも可能である。
In the polishing sheet of the present invention, in order to finely adjust the hardness of the polishing sheet after the resin and the nonwoven fabric are integrated, the porosity, the thickness, etc. may be further adjusted by pressing, foaming or other treatment. It is possible.

【0031】本発明の研磨用シートはシートの表面を研
磨面として用いることも、また、シートを任意の形状に
切断し、その断面を研磨面として用いることもできる。
表面を研磨面として用いる場合には、シートの断面を用
いる場合より精密な研磨が可能となり、精度を重視する
研磨ではかかる方法を用いることが好ましい。また、シ
ートの表面を研磨面として用いる場合、使用時に研磨用
シートの表面の大きな凹凸を防ぐためその表面を平滑化
しておくことが好ましい。かかる平滑化の方法としては
特に制限は無く平板プレス等任意の方法を取ることがで
きるが、好ましくは本発明の繊維が均一に起毛露出し研
磨速度が向上する点からサンドペーパーなどでバフィン
グ処理を行うことで平滑化することが研磨性に優れ最も
有用である。
In the polishing sheet of the present invention, the surface of the sheet can be used as a polishing surface, or the sheet can be cut into an arbitrary shape and its cross section can be used as a polishing surface.
When the surface is used as the polishing surface, more precise polishing is possible than when using the cross section of the sheet, and it is preferable to use such a method for polishing in which accuracy is important. When the surface of the sheet is used as a polishing surface, it is preferable that the surface of the polishing sheet is smoothed during use in order to prevent large irregularities on the surface. The smoothing method is not particularly limited, and any method such as flat plate pressing can be used, but it is preferable to perform a buffing treatment with sandpaper or the like from the viewpoint that the fibers of the present invention are uniformly raised and exposed to improve the polishing rate. It is most useful to smooth the surface by performing the polishing.

【0032】また、シートの断面を研磨面として用いる
場合、繊維の配向が研磨に最も適した構造となるため、
より高速の研磨が可能となり、研磨速度を重視する工程
ではかかる方法を用いることが好ましい。また、この場
合本発明の研磨用シートを重ね合わせたり、更に、研磨
用シート同士を接着して用いることが研磨効率向上の面
から特に好ましい。
When the cross section of the sheet is used as the polishing surface, the orientation of the fibers provides the most suitable structure for polishing.
It is preferable to use such a method in a step where polishing can be performed at a higher speed and importance is attached to the polishing rate. Further, in this case, it is particularly preferable from the viewpoint of improving the polishing efficiency that the polishing sheets of the present invention are overlapped with each other or the polishing sheets are bonded together.

【0033】また本発明の研磨用シートは、厚みが0.
1〜10mmの範囲が好ましく、0.3mm〜3mmの
範囲にあることが好ましい。厚みが0.1mm未満では
剛性が不足し、しわが発生しやすくなるなど取り扱い性
が低下する他、特に表面を研磨面として用いる場合研磨
用シートの寿命が短くなるなど実用上不利であり、10
mmを越えるとわずかの歪で座屈するなど、やはり取り
扱い性が低下する他、樹脂をシート中に均一に分布させ
ることが困難になり生産性の低下をきたしやすい傾向が
ある。
The polishing sheet of the present invention has a thickness of 0.
The range of 1 to 10 mm is preferable, and the range of 0.3 mm to 3 mm is preferable. If the thickness is less than 0.1 mm, the rigidity is insufficient, wrinkles are likely to occur, and the handleability is deteriorated. In particular, when the surface is used as a polishing surface, the life of the polishing sheet is shortened, which is disadvantageous for practical use.
If the thickness exceeds mm, handling is deteriorated, such as buckling due to slight strain, and it is difficult to evenly distribute the resin in the sheet, which tends to cause a decrease in productivity.

【0034】また、本発明の研磨用シートの密度は特に
規定されるものではないが0.1〜0.9g/cm
範囲が生産性が高く好適である。本発明の研磨用シート
の表面硬度は、JIS K7312で規定されているC
硬度で表現して40゜以上であることが好ましく、50
゜以上であることがより好ましく、55゜以上であるこ
とが特に好ましい。硬度が40゜より低いと研磨速度お
よび生産性が低下が低下する傾向があり、研磨用シート
自身が変形しやすいため平滑品質にし難い傾向がある。
また100゜以下であることが好ましく、95゜以下で
あることがより好ましく、90゜以下であることがさら
に好ましい。硬度が100゜を越えると、研磨用シート
の変形が過小となるため、研磨用シートの表面不良、砥
粒の不良、研磨条件の不良等がそのまま品質不良に直結
するため研磨面の平滑性が低下する傾向にある。
The density of the polishing sheet of the present invention is not particularly limited, but a range of 0.1 to 0.9 g / cm 3 is suitable for high productivity. The surface hardness of the polishing sheet of the present invention is C specified in JIS K7312.
Expressed in hardness, it is preferably 40 ° or more, and 50
It is more preferable that the angle is ≧ °, and it is particularly preferable that the angle is ≧ 55 °. When the hardness is lower than 40 °, the polishing rate and the productivity tend to be lowered, and the polishing sheet itself tends to be deformed, which tends to make it difficult to obtain smooth quality.
Further, it is preferably 100 ° or less, more preferably 95 ° or less, and further preferably 90 ° or less. If the hardness exceeds 100 °, the deformation of the polishing sheet will be too small, and surface defects of the polishing sheet, defective abrasive grains, defective polishing conditions, etc. will directly lead to poor quality, resulting in a smooth surface. It tends to decrease.

【0035】[0035]

【実施例】以下に、実施例および比較例に基づいて本発
明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に
よりなんら限定されるものではない。なお、特に断りの
無い限り、文中の%は重量%、部は重量部を示す。 [海島型繊維の海島比率]繊維断面における海島の面積比
率は、電子顕微鏡にて繊維断面の500〜2000倍の
拡大写真を撮影し、平均繊維直径および島部の平均直径
および島数から算出する。 [繊維断面の中空率]中空部を有する繊維の中空率は、電
子顕微鏡にて繊維断面の500〜2000倍の拡大写真
を撮影し、下記式により算出する。 中空率(%)=(A/B)×100 A=繊維断面の中空部の面積 B=繊維断面の外周に囲まれた部分の面積
The present invention will be described in more detail based on the following examples and comparative examples, but the present invention is in no way limited by these examples. In the text,% means% by weight and part means part by weight unless otherwise specified. [Sea-island ratio of sea-island type fiber] The area ratio of sea-islands in the fiber cross section is calculated from the average fiber diameter, the average diameter of the islands, and the number of islands by taking an enlarged photograph of the fiber cross section at 500 to 2000 times. . [Hollowness of Fiber Section] The hollowness of a fiber having a hollow portion is calculated by the following formula by taking an enlarged photograph of a fiber section of 500 to 2000 times with an electron microscope. Hollow ratio (%) = (A / B) × 100 A = Area of hollow part of fiber cross section B = Area of part surrounded by outer circumference of fiber cross section

【0036】実施例1 ポリアミドとしてナイロン6(以下PA6と略す)50
部とポリスチレン(以下PSと略す)50部をドライブ
レンド後、単軸押出機にて溶融混練した後、ダイより押
出、海成分がPA6、島成分がPSからなる直径15μ
m、島数50の海島型繊維を防止した。得られた繊維を
延伸、クリンプ、カットして、3.5デシテックス、カ
ット長さ55mmのステープル繊維を得た。該ステープ
ル繊維をカードに通し、クロスラッパー方式によりウエ
ッブとし、積層した。次に針に1箇所のバーブのついた
フェルト針を用いて980P/cmの針刺し密度でニ
ードルパンチして目付450g/mの不織布を得た。
不織布の充填率は0.21であった。不織布を構成する
繊維を100℃においてプレスした際にPSの溶融によ
り繊維の融着が発生するかどうか確認したが繊維の融着
は見られなかった。この不織布にポリビニルアルコール
(以下PVAと略す)をグラビアコートして保形処理し
た後、17%のポリウレタンのジメチルホルムアミド
(以下DMFと略す)溶液を含浸し、DMF濃度3%水
溶液で凝固し、湯洗し3次元絡合不織布と熱可塑性ポリ
ウレタン樹脂からなる多孔質のシートを得た。得られた
シートの不織布と樹脂の重量比は2:1であった。さら
に表面をサンドペーパーでバフし、表面を平滑化して厚
み1.5mmの研磨用シートとした。この研磨用シート
のC硬度をJIS K7312に基づき高分子計器
(株)製のアスカーC型硬度計を用いて測定したところ
硬度は75であった。
Example 1 Nylon 6 (hereinafter abbreviated as PA6) 50 as polyamide
Part and polystyrene (hereinafter abbreviated as PS) 50 parts by dry blending, melt kneading with a single-screw extruder, then extruded from a die, sea component is PA6, island component is PS diameter 15μ
It prevented sea-island type fibers with m and 50 islands. The obtained fiber was drawn, crimped and cut to obtain a staple fiber having 3.5 decitex and a cut length of 55 mm. The staple fiber was passed through a card to make a web by a cross-wrapper method, and laminated. Next, a felt needle having one barb on the needle was used for needle punching at a needle sticking density of 980 P / cm 2 to obtain a nonwoven fabric having a basis weight of 450 g / m 2 .
The filling factor of the non-woven fabric was 0.21. It was confirmed whether the fibers constituting the non-woven fabric were fused by PS when the fibers were pressed at 100 ° C. However, the fusion of the fibers was not observed. This non-woven fabric was gravure coated with polyvinyl alcohol (hereinafter abbreviated as PVA) and subjected to shape retention treatment, then impregnated with a 17% dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF) solution of polyurethane, coagulated with a 3% DMF aqueous solution, and hot water was added. It was washed to obtain a porous sheet made of a three-dimensional entangled nonwoven fabric and a thermoplastic polyurethane resin. The weight ratio of nonwoven fabric to resin of the obtained sheet was 2: 1. Further, the surface was buffed with sandpaper to smooth the surface to obtain a polishing sheet having a thickness of 1.5 mm. When the C hardness of this polishing sheet was measured using an Asker C type hardness meter manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd. according to JIS K7312, the hardness was 75.

【0037】直径500mmの下定盤に本発明の研磨用
シートを感圧接着剤で貼り合わせ、続いて上定盤に直径
4インチ、研磨前の表面粗さ2μmのアルミ円盤3枚を
ワックスで接着後、両者を研磨機にセットし、コロイダ
ルシリカスラリー(ナルコ社製#2350)の20倍純
水希釈物を、流量1リットル/minで還流しつつ、1
00rpmの回転数で研磨した。2分後のアルミ円盤の
表面荒さを評価した。測定はJIS B0601−19
94に準じ、表面粗さ計(東京精密株式会社製サーファ
コム120A、円錐状触針;頂角90゜、先端曲率半径
5μm)で40mm間隔の2点間の荒さを評価した。
The polishing sheet of the present invention was attached to a lower platen having a diameter of 500 mm with a pressure-sensitive adhesive, and then three aluminum discs having a diameter of 4 inches and a surface roughness before polishing of 2 μm were adhered to the upper platen with wax. Then, both of them were set in a polishing machine, and a 20-fold pure water dilution of a colloidal silica slurry (# 2350 manufactured by Nalco) was refluxed at a flow rate of 1 liter / min and
Polishing was performed at a rotation speed of 00 rpm. The surface roughness of the aluminum disc after 2 minutes was evaluated. The measurement is JIS B0601-19
According to 94, a surface roughness meter (Surfcom 120A manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd., conical stylus; apex angle 90 °, tip curvature radius 5 μm) was used to evaluate roughness between two points at 40 mm intervals.

【0038】さらに、同一の研磨用シートを用いて、新
たなアルミ円盤を2分研磨することを繰り返し、研磨後
のアルミ円盤の表面粗さが最初に研磨したアルミ円盤の
表面粗さの1.5倍となったときの回数を研磨用シート
の耐久性の尺度として、耐久性を評価した。結果を表1
に示す。
Further, using the same polishing sheet, a new aluminum disc was repeatedly polished for 2 minutes, and the surface roughness of the aluminum disc after polishing was 1. The durability was evaluated by using the number of times when the number became 5 times as a measure of the durability of the polishing sheet. The results are shown in Table 1.
Shown in.

【0039】実施例2 実施例1で用いた研磨シートをトルエン中に浸漬し、一
部のPSを抽出することで任意の断面10箇所の平均中
空率6%の多空中空繊維からなる研磨用シートを得た。
この研磨シートのポリウレタン樹脂成分をDMFで抽出
除去した後、不織布を構成する繊維を100℃において
プレスした際にPSの溶融により繊維の融着が発生する
かどうか確認したが繊維の融着は見られなかった。この
とき、繊維を構成する成分比はPA6:PS=62.
5:37.5で繊維断面は島部分のポリスチレンが一部
溶解除去されて中空部分を構成する状態が観察された。
繊維対樹脂の比率は8:5であった。この研磨シートに
ついて実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示
す。
Example 2 The polishing sheet used in Example 1 was dipped in toluene and a part of PS was extracted to polish a multi-hollow fiber having an average hollow rate of 6% at 10 arbitrary cross sections. Got the sheet.
After the polyurethane resin component of this polishing sheet was extracted and removed with DMF, it was confirmed whether the fibers forming the non-woven fabric were melted by PS when the fibers were pressed at 100 ° C. I couldn't do it. At this time, the component ratio of the fibers is PA6: PS = 62.
At 5: 37.5, it was observed that polystyrene in the island part was partially dissolved and removed to form a hollow part in the fiber cross section.
The fiber to resin ratio was 8: 5. This polishing sheet was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【0040】実施例3 PA6とPSの比率が62.5:37.5であり、かつ
目付が360g/mである他は実施例1と同様にして
不織布を得た。不織布の充填率は0.17であった。不
織布を構成する繊維を100℃においてプレスした際に
PSの溶融により繊維の融着が発生するかどうか確認し
たが繊維の融着は見られなかった。この不織布を繊維対
樹脂の比率が8:5となるよう含浸率を調整した他は実
施例1とまったく同様にして研磨用シートを得た。この
研磨シートについて実施例1と同様の評価を行った。結
果を表1に示す。
Example 3 A nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of PA6 to PS was 62.5: 37.5 and the basis weight was 360 g / m 2 . The filling factor of the non-woven fabric was 0.17. It was confirmed whether the fibers constituting the non-woven fabric were fused by PS when the fibers were pressed at 100 ° C. However, the fusion of the fibers was not observed. A polishing sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that the impregnation rate of this nonwoven fabric was adjusted so that the fiber-to-resin ratio was 8: 5. This polishing sheet was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【0041】実施例4 中空糸用ノズルを用いた他は実施例1と同様の条件で紡
糸し中央部に直径5μmの空洞を持ち、PA6が海成分
で、PSが島成分の島数42からなる直径15μmの中
空糸を得た。これを実施例1と同一の条件で不織布化
し、目付450g/mの不織布を得た。不織布の充填
率は0.21であった。不織布を構成する繊維を100
℃においてプレスした際にPSの溶融により繊維の融着
が発生するかどうか確認したが繊維の融着は見られなか
った。この不織布にポリビニルアルコール(以下PVA
と略す)をグラビアコートして保形処理した後、17%
のポリウレタンDMF溶液を含浸し、DMF濃度3%水
溶液で凝固し、湯洗し3次元絡合不織布と熱可塑性ポリ
ウレタン樹脂からなる多孔質のシートを得た。得られた
シートの不織布と含有された樹脂の重量比は17:10
あった。さらに表面をサンドペーパーでバフし、表面を
平滑化して厚み1.5mmの研磨用シートとした。この
研磨用シートのC硬度をJIS K7312に基づき高
分子計器(株)製のアスカーC型硬度計を用いて測定し
たところ硬度は71であった。この研磨シートについて
実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。
Example 4 Spinning was carried out under the same conditions as in Example 1 except that a hollow fiber nozzle was used, and a cavity having a diameter of 5 μm was formed in the center, PA6 being the sea component, and PS being the island component from 42 islands. A hollow fiber having a diameter of 15 μm was obtained. This was made into a nonwoven fabric under the same conditions as in Example 1 to obtain a nonwoven fabric having a basis weight of 450 g / m 2 . The filling factor of the non-woven fabric was 0.21. 100 fibers that make up the non-woven fabric
It was confirmed whether or not fusion of fibers occurred due to melting of PS when pressed at 0 ° C. However, fusion of fibers was not observed. Polyvinyl alcohol (hereinafter PVA)
17% after gravure coating and shape retention treatment
Was impregnated with the DMF solution of polyurethane, coagulated with a 3% aqueous DMF solution, and washed with hot water to obtain a porous sheet composed of a three-dimensional entangled nonwoven fabric and a thermoplastic polyurethane resin. The weight ratio of the non-woven fabric of the obtained sheet to the resin contained was 17:10.
there were. Further, the surface was buffed with sandpaper to smooth the surface to obtain a polishing sheet having a thickness of 1.5 mm. When the C hardness of this polishing sheet was measured using an Asker C type hardness meter manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd. according to JIS K7312, the hardness was 71. This polishing sheet was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【0042】比較例1 繊維原料としてPA6のみを用いた他は実施例1とまっ
たく同様にして研磨用シートを得た。用いた不織布を構
成する繊維を100℃においてプレスした際にポリスチ
レンの溶融により繊維の融着が発生するかどうか確認し
たが繊維の融着は見られなかった。この研磨シートにつ
いて実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示
す。
Comparative Example 1 A polishing sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that only PA6 was used as the fiber raw material. It was confirmed whether or not fusion of fibers occurred due to melting of polystyrene when the fibers constituting the used nonwoven fabric were pressed at 100 ° C. However, fusion of fibers was not observed. This polishing sheet was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【0043】比較例2 繊維原料としてPSのみを用いた他は実施例1とまった
く同様にして研磨用シートを得た。用いた不織布を構成
する繊維を100℃においてプレスした際にポリスチレ
ンの溶融により繊維の融着が発生するかどうか確認した
ところ繊維が融解し、繊維同士が接着して板状となっ
た。この研磨シートについて実施例1と同様の評価を行
おうととしたところ、繊維の破断および膠着による糸く
ずが大量に生成し、被研磨材の汚染が発生したため評価
を中止した。
Comparative Example 2 A polishing sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that PS was used as the fiber raw material. When the fibers constituting the used nonwoven fabric were pressed at 100 ° C., it was confirmed whether the fusion of the fibers occurred due to the melting of the polystyrene, and the fibers were melted, and the fibers were adhered to each other to form a plate. When the same evaluation as in Example 1 was attempted for this polishing sheet, a large amount of lint was generated due to fiber breakage and sticking, and the material to be polished was contaminated, so the evaluation was stopped.

【0044】比較例3 PA6を島成分としPSを海成分としてさらにPA6と
PSの比率を3:7とした他は実施例1とまったく同様
にして研磨用シートを得た。用いた不織布を構成する繊
維を100℃においてプレスした際にポリスチレンの溶
融により繊維の融着が発生するかどうか確認したところ
繊維が融解し、繊維同士が接着して板状となった。この
研磨シートについて実施例1と同様の評価を行おうとと
したところ、繊維の膠着および破断による糸くずが大量
に生成し、被研磨材の汚染が発生したため評価を中止し
た。
Comparative Example 3 A polishing sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that PA6 was an island component, PS was a sea component, and the ratio of PA6 and PS was 3: 7. When the fibers constituting the used nonwoven fabric were pressed at 100 ° C., it was confirmed whether the fusion of the fibers occurred due to the melting of the polystyrene, and the fibers were melted, and the fibers were adhered to each other to form a plate. When the same evaluation as in Example 1 was attempted for this polishing sheet, a large amount of lint was generated due to the sticking and breaking of the fibers, and the material to be polished was contaminated, so the evaluation was stopped.

【0045】実施例5 実施例1で得た研磨用シートの表裏面同士を17%ポリ
ウレタンDMF溶液を接着剤として貼り合わせた後、厚
み5mmになるよう貼り合わせ方向で切断し、実施例1
の研磨用シートの断面が積層された状態の研磨面からな
るの研磨シートを得た。この研磨シートを用い生産ライ
ンにてブラウン管用ガラスの研磨を行ったところ、1個
当たり5分間の研磨で目的とする製品が得られた。
Example 5 After the front and back surfaces of the polishing sheet obtained in Example 1 were bonded together with a 17% polyurethane DMF solution as an adhesive, the polishing sheet was cut to a thickness of 5 mm in the bonding direction, and Example 1 was used.
A polishing sheet having a polishing surface in which the cross-sections of the polishing sheet were laminated was obtained. When the glass for cathode ray tubes was polished on the production line using this polishing sheet, the intended product was obtained by polishing for 5 minutes per piece.

【0046】比較例4 比較例1で得たシートを用いた他は実施例4とまったく
同様の試験を行ったところ、一個当たり9分の研磨で目
的とする製品が得られた。
Comparative Example 4 The same test as in Example 4 was carried out except that the sheet obtained in Comparative Example 1 was used, and a desired product was obtained by polishing for 9 minutes per piece.

【0047】実施例1と比較例1、2、3を比べるなら
ば、本発明の研磨シートの研磨性能がPA単独の繊維を
用いたものより勝ること、また、PS単独ないしPSが
海である繊維を使用したものは研磨材としては不適であ
り、本発明のPAが海であることが必須であることが分
かる。また、実施例1と4、また2と3を比べるなら、
繊維が中空繊維である方が研磨シートとしてよりすぐれ
た性能を発揮することが分かる。更に実施例4と比較例
4を比較することで、断面を研磨面として用いる場合で
も、本発明の効果が発揮されることが確認できる。
Comparing Example 1 with Comparative Examples 1, 2, and 3, the polishing performance of the polishing sheet of the present invention is superior to that using the fiber of PA alone, and PS alone or PS is sea. It can be seen that those using fibers are not suitable as abrasives, and it is essential that the PA of the present invention is sea. Also, comparing Examples 1 and 4, and 2 and 3,
It can be seen that when the fiber is a hollow fiber, the polishing sheet exhibits more excellent performance. Further, by comparing Example 4 with Comparative Example 4, it can be confirmed that the effects of the present invention are exhibited even when the cross section is used as a polishing surface.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明の研磨用シートを用いるならば、
より短時間に、ブラウン管等の被研磨物を研磨処理でき
るだけでなく、研摩布自体の生産性が良く安価に製造で
きる等、研磨工程全体の生産性の向上が可能となり有用
である。
If the polishing sheet of the present invention is used,
Not only can the object to be polished such as a cathode ray tube be polished in a shorter time, but the productivity of the polishing cloth itself can be improved and the manufacturing cost can be reduced, which is useful because the productivity of the entire polishing process can be improved.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) D06M 15/564 D06M 15/564 Fターム(参考) 3C058 AA07 AA09 CB01 CB03 DA17 3C063 AA03 BB11 BC03 FF23 4L033 AA05 AA08 AB07 AC15 CA18 CA34 CA45 CA47 CA49 CA50 4L041 AA07 BA04 BA05 BA16 BA41 BB05 BC20 BD20 CA19 CA55 4L047 AA18 AA23 AA25 AA27 AB02 AB09 BA03 BA04 CB10 CC14 DA00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) D06M 15/564 D06M 15/564 F term (reference) 3C058 AA07 AA09 CB01 CB03 DA17 3C063 AA03 BB11 BC03 FF23 4L033 AA05 AA08 AB07 AC15 CA18 CA34 CA45 CA47 CA49 CA50 4L041 AA07 BA04 BA05 BA16 BA41 BB05 BC20 BD20 CA19 CA55 4L047 AA18 AA23 AA25 AA27 AB02 AB09 BA03 BA04 CB10 CC14 DA00

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 3次元絡合不織布及びその内部に樹脂が
含有されたシートにおいて、該不織布を構成する繊維が
実質的にポリスチレンとポリアミドからなり、該ポリス
チレンと該ポリアミドの重量比が1:99〜90:10
の範囲であり、かつ該繊維内部のポリアミドが連続層を
形成しており、さらに該繊維表面が実質的にポリアミド
からなることを特徴とする研磨用シート。
1. A three-dimensional entangled non-woven fabric and a sheet containing a resin therein, wherein the fibers constituting the non-woven fabric are substantially composed of polystyrene and polyamide, and the weight ratio of the polystyrene and the polyamide is 1:99. ~ 90: 10
And the polyamide inside the fiber forms a continuous layer, and the surface of the fiber is substantially made of polyamide.
【請求項2】 繊維が、ポリアミドを海成分とし、ポリ
スチレンを島成分とする海島型繊維である請求項1に記
載の研磨用シート。
2. The polishing sheet according to claim 1, wherein the fiber is a sea-island type fiber containing polyamide as a sea component and polystyrene as an island component.
【請求項3】 繊維が、中空繊維である請求項1または
2に記載の研磨用シート。
3. The polishing sheet according to claim 1, wherein the fiber is a hollow fiber.
【請求項4】 樹脂が、ポリウレタンである請求項1〜
3いずれかに記載の研磨用シート。
4. The resin according to claim 1, which is polyurethane.
3. The polishing sheet according to any one of 3 above.
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