JP2003249048A - Disk apparatus, wiring body for disk apparatus, and method for manufacturing wiring body for disk apparatus - Google Patents

Disk apparatus, wiring body for disk apparatus, and method for manufacturing wiring body for disk apparatus

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JP2003249048A
JP2003249048A JP2002367280A JP2002367280A JP2003249048A JP 2003249048 A JP2003249048 A JP 2003249048A JP 2002367280 A JP2002367280 A JP 2002367280A JP 2002367280 A JP2002367280 A JP 2002367280A JP 2003249048 A JP2003249048 A JP 2003249048A
Authority
JP
Japan
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wiring
head
drive
disk device
flexure
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2002367280A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Sakamoto
憲一 阪本
Makoto Miyamoto
誠 宮本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2002367280A priority Critical patent/JP2003249048A/en
Publication of JP2003249048A publication Critical patent/JP2003249048A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a disk apparatus which can increase the reliability of a head wiring and a driving wiring. <P>SOLUTION: The disk apparatus is equipped with a head slider, an arm, a driving means, a wiring body which supplies a head current for recording or reproducing a signal to or from a disklike recording medium to a head mounted on the head slider and also supplies a driving current for swinging the arm to the driving means, and a lead-out terminal part, and the wiring body has a flexure provided in the arm so as to support the head slider, a head wiring provided for connecting the head slider and the lead-out terminal part while passing over the flexure to supply the head current to the head mounted on the head slider, and a driving wiring provided along the head wiring from a wiring connection part formed on a side of the flexure opposite the head slider to the lead-out terminal part to supply the driving current to the driving means. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク状記録媒
体に信号を記録または再生するためのヘッド電流をヘッ
ドスライダに搭載されたヘッドへ供給し、アームを揺動
させるための駆動電流を駆動手段へ供給するために設け
られたディスク装置用配線体、その製造方法およびこれ
を備えたディスク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention supplies a head current for recording or reproducing a signal to a disk-shaped recording medium to a head mounted on a head slider, and a drive current for swinging an arm. The present invention relates to a disk device wiring body provided for supplying the same, a manufacturing method thereof, and a disk device including the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハードディスクや光ディスクなどのディ
スク状記録媒体(以下、単にディスクという)を用いて
信号の記録・再生をするディスク装置が、これまでのコ
ンピュータ用に限らず、各種情報処理機器に広く使用さ
れるようになってきている。その中でも携帯電話機など
に代表される携帯情報機器の分野において、大容量で、
かつ希望する情報に高速にアクセスすることができる記
憶装置が望まれている。そのひとつとして、磁気ディス
ク装置が検討されている。
2. Description of the Related Art A disk device for recording / reproducing a signal using a disk-shaped recording medium (hereinafter referred to simply as a disk) such as a hard disk or an optical disk is widely used not only for conventional computers but also for various information processing devices. It is becoming used. Among them, in the field of portable information equipment typified by mobile phones, large capacity,
Moreover, a storage device is desired that can access desired information at high speed. As one of them, a magnetic disk device is under study.

【0003】磁気ディスク装置では、磁気ヘッドを保持
したヘッドスライダが、揺動自在に保持されたアームの
先端に取り付けられており、このアームを他端側に配置
したボイスコイルモータによって揺動させることで、回
転するディスクに形成されたトラック上に磁気ヘッドを
位置させて、信号を記録または再生する。これらの構成
要素は、塵埃付着などによる信頼性の低下を防止するた
めに、気密ケース内に収納されている。
In a magnetic disk device, a head slider holding a magnetic head is attached to the tip of an arm held swingably, and this arm is swung by a voice coil motor arranged on the other end side. Then, the magnetic head is positioned on the track formed on the rotating disk to record or reproduce a signal. These components are housed in an airtight case in order to prevent deterioration of reliability due to dust adhesion and the like.

【0004】磁気ヘッドへヘッド電流を供給するための
ヘッド配線やボイスコイルモータへ駆動電流を供給する
ための駆動配線の各端部はアームの側面に設けられた配
線接続部にそれぞれ接続されており、さらにこの配線接
続部と、ケースに設けられた信号処理装置および駆動制
御装置とを接続するための外部端子とは、フレキシブル
配線によって接続されている。これらの配線を通して磁
気ヘッドと信号処理装置との間で信号を送受し、駆動制
御装置からボイスコイルモータに駆動電流を供給してア
ームを揺動させる。このような磁気ディスク装置の具体
的な構造は、例えば、特開平9−128728号公報に
示されている。
Each end of the head wiring for supplying the head current to the magnetic head and the driving wiring for supplying the driving current to the voice coil motor is connected to the wiring connecting portion provided on the side surface of the arm. Further, the wiring connection portion and an external terminal for connecting the signal processing device and the drive control device provided in the case are connected by a flexible wiring. Signals are transmitted and received between the magnetic head and the signal processing device through these wirings, and a drive current is supplied from the drive control device to the voice coil motor to swing the arm. The specific structure of such a magnetic disk device is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-128728.

【0005】[0005]

【特許文献1】特開平9−128728号公報[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-128728

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の磁気ディスク装置においては、磁気ヘッドへヘ
ッド電流を供給するためのヘッド配線とボイスコイルモ
ータを駆動するための駆動電流を供給するための駆動配
線とが、アームに設けられた配線接続部において、外部
装置と接続するためのフレキシブル配線にそれぞれはん
だ付けによって接続されていることから、組立作業が煩
雑になるばかりでなく、配線の接続個所が多くなるため
に、配線の信頼性向上がいちじるしく制約されるという
問題がある。
However, in the above-mentioned conventional magnetic disk device, the head wiring for supplying the head current to the magnetic head and the drive for supplying the drive current for driving the voice coil motor are provided. Since the wiring is connected to the flexible wiring for connecting to the external device by soldering at the wiring connecting portion provided on the arm, not only the assembling work becomes complicated but also the wiring connecting point is Since the number of wirings increases, there is a problem that the improvement of wiring reliability is severely restricted.

【0007】さらに、装置自体の小型化にともなって、
アームが小型化し、アームの質量が小さくなるにしたが
って、配線接続部の質量のばらつきがアームの揺動制御
に好ましくない影響を与えるという問題がある。
Further, as the device itself is miniaturized,
As the size of the arm becomes smaller and the mass of the arm becomes smaller, there is a problem that the variation in the mass of the wiring connection portion adversely affects the swing control of the arm.

【0008】本発明の目的は、磁気ヘッドへヘッド電流
を供給するためのヘッド配線とボイスコイルモータを駆
動するための駆動電流を供給するための駆動配線との信
頼性を高めることができるディスク装置、ディスク装置
用配線体およびディスク装置用配線体の製造方法を提供
することにある。
An object of the present invention is to improve the reliability of a head wiring for supplying a head current to a magnetic head and a driving wiring for supplying a driving current for driving a voice coil motor. An object of the present invention is to provide a wiring body for a disk device and a method for manufacturing the wiring body for a disk device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係るディスク装
置は、ディスク状記録媒体に信号を記録または再生する
ヘッドを搭載したヘッドスライダと、前記ヘッドスライ
ダに搭載された前記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上
の所要の位置に位置決めするために揺動自在に設けられ
たアームと、前記アームを揺動させるために設けられた
駆動手段と、前記ディスク状記録媒体に前記信号を記録
または再生するためのヘッド電流を前記ヘッドスライダ
に搭載された前記ヘッドへ供給し、前記アームを揺動さ
せるための駆動電流を前記駆動手段へ供給するために設
けられた配線体と、前記ヘッド電流と前記駆動電流とを
前記配線体へ供給するために設けられた導出端子部とを
具備しており、前記配線体は、前記ヘッドスライダを支
持するように前記アームに設けられたフレクシャと、前
記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドへ前記ヘッド
電流を供給するために、前記フレクシャの上を通って前
記ヘッドスライダと前記導出端子部とを接続するように
形成されたヘッド配線と、前記駆動手段へ前記駆動電流
を供給するために、前記フレクシャに形成された配線接
続部から前記導出端子部まで、前記ヘッド配線に沿って
形成された駆動配線とを有していることを特徴とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION A disk device according to the present invention comprises a head slider equipped with a head for recording or reproducing a signal on a disk recording medium, and the head mounted on the head slider for the disk recording. An arm swingably provided for positioning at a required position on the medium, a drive means provided for swinging the arm, and for recording or reproducing the signal on the disc-shaped recording medium. Of the wiring current provided to the head mounted on the head slider and a drive current for swinging the arm to the drive means, the head current and the drive current. And a lead-out terminal portion provided to supply the wiring body to the wiring body, the wiring body supporting the head slider. A flexure provided on the flexure and the head slider mounted on the head slider to connect the head slider and the lead-out terminal portion through the flexure so as to supply the head current to the head. And a drive wiring formed along the head wiring from a wiring connection portion formed on the flexure to the lead-out terminal portion in order to supply the drive current to the driving means. It is characterized by

【0010】本発明に係るディスク装置用配線体は、デ
ィスク状記録媒体に信号を記録または再生するためにヘ
ッドスライダに搭載されたヘッドへ、前記ディスク状記
録媒体に信号を記録または再生するためのヘッド電流を
供給し、前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドを
前記ディスク状記録媒体上の所要の位置に位置決めする
ために揺動自在に設けられたアームを揺動させるために
設けられた駆動手段へ前記アームを揺動させるための駆
動電流を供給するために設けられたディスク装置用配線
体であって、前記配線体へは、導出端子部から前記ヘッ
ド電流と前記駆動電流とが供給されるようになってお
り、前記配線体は、前記ヘッドスライダを支持するため
に前記アームに設けられるように形成されたフレクシャ
と、前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドへ前記
ヘッド電流を供給するために、前記フレクシャの上を通
って前記ヘッドスライダと前記導出端子部とを接続する
ために形成されたヘッド配線と、前記駆動手段へ前記駆
動電流を供給するために、前記導出端子部から前記フレ
クシャに形成された配線接続部まで、前記ヘッド配線に
沿って形成された駆動配線とを具備することを特徴とす
る。
A disk device wiring body according to the present invention is for recording or reproducing a signal on or from a disk-shaped recording medium to or from a head mounted on a head slider for recording or reproducing the signal on or from the disk-shaped recording medium. Driving means provided for supplying a head current and swinging an arm swingably provided for positioning the head mounted on the head slider at a required position on the disk-shaped recording medium. A wiring body for a disk device, which is provided to supply a drive current for swinging the arm, to which the head current and the drive current are supplied from a lead-out terminal portion. The wiring body includes a flexure formed to be provided on the arm for supporting the head slider, and the head slider. A head wiring formed to connect the head slider and the lead-out terminal portion over the flexure to supply the head current to the head mounted on the head, and to the driving means. In order to supply a drive current, a drive wiring formed along the head wiring from the lead-out terminal portion to the wiring connection portion formed on the flexure is provided.

【0011】本発明に係るディスク装置用配線体の製造
方法は、ディスク状記録媒体に信号を記録または再生す
るためにヘッドスライダに搭載されたヘッドへ、前記デ
ィスク状記録媒体に信号を記録または再生するためのヘ
ッド電流を供給し、前記ヘッドスライダに搭載された前
記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上の所要の位置に位
置決めするために揺動自在に設けられたアームを揺動さ
せるために設けられた駆動手段へ前記アームを揺動させ
るための駆動電流を供給するために設けられたディスク
装置用配線体の製造方法であって、金属薄板の上に第1
絶縁膜を形成する第1絶縁膜形成工程と、前記ヘッドへ
前記ヘッド電流を供給するために前記ヘッドスライダと
前記導出端子部とを接続するための複数のヘッド配線を
前記第1絶縁膜の上にそれぞれ形成し、前記駆動手段へ
前記駆動電流を供給するための駆動配線を各ヘッド配線
の一部に沿って前記第1絶縁膜の上にそれぞれ形成する
配線形成工程と、各ヘッド配線と各駆動配線とを覆うよ
うに第2絶縁膜を前記第1絶縁膜の上に形成する第2絶
縁膜形成工程と、前記ヘッドスライダを支持するために
前記アームに設けられる複数のフレクシャを形成するよ
うに前記金属薄板をエッチングするエッチング工程とを
包含することを特徴とする。
In the method for manufacturing a wiring for a disk device according to the present invention, a signal is recorded or reproduced on or from a head mounted on a head slider for recording or reproducing the signal on or from the disk-shaped recording medium. Is provided for swinging an arm that is swingable for supplying a head current for driving the head and positioning the head mounted on the head slider at a required position on the disk-shaped recording medium. A method of manufacturing a wiring body for a disk device, which is provided for supplying a driving current for swinging the arm to the driving means, comprising:
A first insulating film forming step of forming an insulating film, and a plurality of head wirings for connecting the head slider and the lead-out terminal portion for supplying the head current to the head are provided on the first insulating film. A wiring forming step of forming driving wires for forming the driving currents on the first insulating film along a part of the head wirings, respectively. A second insulating film forming step of forming a second insulating film on the first insulating film so as to cover the drive wiring; and a plurality of flexures provided on the arm for supporting the head slider. And an etching step of etching the thin metal plate.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本実施の形態に係るディスク装置
においては、ヘッドスライダに搭載されたヘッドへヘッ
ド電流を供給するためのヘッド配線が、ヘッド電流と駆
動電流とを配線体へ供給するために設けられた導出端子
部とヘッドスライダとを接続するようにフレクシャの上
を通って設けられている。このため、ヘッド配線は、ヘ
ッドスライダから導出端子部へ連続するように構成され
る。従って、ヘッド電流を供給するための配線接合用接
点をアーム上のヘッド配線に形成する必要がなくなる。
その結果、ヘッド電流を供給するための配線接合の信頼
性が高いディスク装置を提供することができる。
In the disk device according to the present embodiment, the head wiring for supplying the head current to the head mounted on the head slider supplies the head current and the driving current to the wiring body. It is provided on the flexure so as to connect the lead-out terminal portion provided on the head slider to the head slider. For this reason, the head wiring is configured to be continuous from the head slider to the lead-out terminal portion. Therefore, it is not necessary to form a wiring connection contact for supplying the head current on the head wiring on the arm.
As a result, it is possible to provide a disk device in which the wiring connection for supplying the head current is highly reliable.

【0013】前記フレクシャは、第1金属薄板によって
構成されており、前記配線接続部から前記導出端子部ま
では、前記ヘッド配線および前記駆動配線に沿って第2
金属薄板が選択的に形成されていることが好ましい。
The flexure is composed of a first thin metal plate, and a second metal wire is provided along the head wiring and the drive wiring from the wiring connecting portion to the lead-out terminal portion.
It is preferable that the thin metal plate is selectively formed.

【0014】前記第1金属薄板と前記第2金属薄板と
は、互いに同一の材料によって構成されており、互いに
同一の厚みを有していることが好ましい。
It is preferable that the first thin metal plate and the second thin metal plate are made of the same material and have the same thickness.

【0015】前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッ
ドを微小変位させるために前記フレクシャに設けられた
圧電アクチュエータと、前記ヘッドが微小変位するよう
に前記圧電アクチュエータを駆動するための圧電アクチ
ュエータ電流を前記圧電アクチュエータに供給するため
に、前記フレクシャの上を通って前記圧電アクチュエー
タと前記導出端子部とを接続するように設けられたアク
チュエータ配線とをさらに具備していることが好まし
い。
A piezoelectric actuator provided on the flexure for finely displacing the head mounted on the head slider, and a piezoelectric actuator current for driving the piezoelectric actuator so that the head is finely displaced are supplied to the piezoelectric actuator. In order to supply to the actuator, it is preferable that the actuator further includes an actuator wiring that is provided so as to pass over the flexure and connect the piezoelectric actuator and the lead-out terminal portion.

【0016】前記フレクシャは、金属薄板によって構成
されており、前記金属薄板は、前記配線接続部において
折り曲げられた折り曲げ部を有していることが好まし
い。
It is preferable that the flexure is made of a thin metal plate, and the thin metal plate has a bent portion bent at the wiring connection portion.

【0017】前記折り曲げ部は、前記ディスク状媒体の
表面と実質的に垂直な方向に沿って折り曲げられている
ことが好ましい。
It is preferable that the bent portion is bent along a direction substantially perpendicular to the surface of the disk-shaped medium.

【0018】前記駆動手段へ前記駆動電流を供給するた
めに前記配線接続部において前記駆動配線に接続された
給電配線をさらに具備することが好ましい。
It is preferable that a power supply wiring connected to the drive wiring at the wiring connection portion is further provided for supplying the drive current to the driving means.

【0019】前記駆動手段は、ボイスコイルモータであ
ることが好ましい。
The drive means is preferably a voice coil motor.

【0020】前記アームと前記駆動手段と前記導出端子
部とを支持するために設けられた筐体をさらに具備する
ことが好ましい。
It is preferable to further include a housing provided to support the arm, the driving means, and the lead-out terminal portion.

【0021】前記フレクシャには、前記ヘッドスライダ
を支持するためのジンバルばね部が形成されていること
が好ましい。
It is preferable that a gimbal spring portion for supporting the head slider is formed on the flexure.

【0022】前記ヘッドスライダには、1個のヘッドが
搭載されていることが好ましい。
It is preferable that one head is mounted on the head slider.

【0023】前記駆動配線と前記ヘッド配線における前
記駆動配線に沿って形成された部分とは、前記アームの
揺動に応じて弾性たわみ変形が生じるように構成されて
いることが好ましい。
It is preferable that the drive wiring and a portion of the head wiring formed along the drive wiring are elastically deformed in accordance with the swing of the arm.

【0024】前記駆動配線と前記ヘッド配線における前
記駆動配線に沿って形成された部分とは、前記導出端子
部と前記フレクシャに形成された前記配線接続部との間
においてアーチ状に形成されていることが好ましい。
The drive wiring and the portion of the head wiring formed along the drive wiring are formed in an arch shape between the lead-out terminal portion and the wiring connection portion formed on the flexure. It is preferable.

【0025】本実施の形態に係るディスク装置用配線体
においては、ヘッドスライダに搭載されたヘッドへヘッ
ド電流を供給するためのヘッド配線が、ヘッド電流と駆
動電流とを配線体へ供給するために設けられた導出端子
部とヘッドスライダとを接続するようにフレクシャの上
を通って設けられている。このため、ヘッド配線は、ヘ
ッドスライダから導出端子部へ連続するように構成され
る。従って、ヘッド電流を供給するための配線接合用接
点をアーム上のヘッド配線に形成する必要がなくなる。
その結果、ヘッド電流を供給するための配線接合の信頼
性が高いディスク装置用配線体を提供することができ
る。
In the disk device wiring body according to the present embodiment, the head wiring for supplying the head current to the head mounted on the head slider supplies the head current and the driving current to the wiring body. It is provided above the flexure so as to connect the provided lead-out terminal portion and the head slider. For this reason, the head wiring is configured to be continuous from the head slider to the lead-out terminal portion. Therefore, it is not necessary to form a wiring connection contact for supplying the head current on the head wiring on the arm.
As a result, it is possible to provide a disk device wiring body with high reliability of wiring connection for supplying a head current.

【0026】前記ヘッド配線と前記駆動配線とを前記導
出端子部に接続するために設けられた接続端子部をさら
に具備することが好ましい。
It is preferable to further include a connection terminal portion provided for connecting the head wiring and the drive wiring to the lead-out terminal portion.

【0027】前記フレクシャは、第1金属薄板によって
構成されており、前記接続端子部から前記配線接続部ま
では、前記ヘッド配線および前記駆動配線に沿って第2
金属薄板が選択的に形成されていることが好ましい。
The flexure is formed of a first thin metal plate, and a second portion is formed along the head wiring and the drive wiring from the connection terminal portion to the wiring connection portion.
It is preferable that the thin metal plate is selectively formed.

【0028】前記第1金属薄板と前記第2金属薄板と
は、互いに同一の材料によって構成されており、互いに
同一の厚みを有していることが好ましい。
It is preferable that the first thin metal plate and the second thin metal plate are made of the same material and have the same thickness.

【0029】前記第2金属薄板は、複数であり、それぞ
れが所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に対し
て実質的に垂直な方向に沿って選択的に形成されている
ことが好ましい。
It is preferable that a plurality of the second metal thin plates are provided, and each of the second metal thin plates is selectively formed at predetermined intervals along a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the drive wiring. .

【0030】前記第2金属薄板は、複数であり、それぞ
れが所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に沿っ
て選択的に形成されていることが好ましい。
It is preferable that a plurality of the second thin metal plates are provided, and each of the second thin metal plates is selectively formed along a longitudinal direction of the drive wiring with a predetermined interval.

【0031】前記第2金属薄板は、前記駆動配線の長手
方向に沿って選択的に形成されていることが好ましい。
It is preferable that the second thin metal plate is selectively formed along the longitudinal direction of the drive wiring.

【0032】前記ヘッド配線と前記駆動配線とは、前記
フレクシャの上に形成された絶縁部材によって被覆され
ていることが好ましい。
It is preferable that the head wiring and the driving wiring are covered with an insulating member formed on the flexure.

【0033】本実施の形態に係るディスク装置用配線体
の製造方法においては、ヘッドへヘッド電流を供給する
ためにヘッドスライダと導出端子部とを接続するための
複数のヘッド配線がそれぞれ形成される。このため、ヘ
ッド配線は、ヘッドスライダから導出端子部へ連続する
ように構成される。従って、ヘッド電流を供給するため
の配線接合用接点をアーム上のヘッド配線に形成する必
要がなくなる。その結果、ヘッド電流を供給するための
配線接合の信頼性が高いディスク装置用配線体の製造方
法を提供することができる。
In the method of manufacturing a disk device wiring body according to the present embodiment, a plurality of head wirings for connecting the head slider and the lead-out terminal portion for supplying a head current to the head are respectively formed. . For this reason, the head wiring is configured to be continuous from the head slider to the lead-out terminal portion. Therefore, it is not necessary to form a wiring connection contact for supplying the head current on the head wiring on the arm. As a result, it is possible to provide a method for manufacturing a wiring body for a disk device, which has high reliability of wiring connection for supplying a head current.

【0034】前記エッチング工程は、前記配線形成工程
において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線が形
成された領域において、前記金属薄膜が前記第1絶縁膜
に選択的に残されるように前記金属薄板をエッチングす
ることが好ましい。
In the etching step, the metal thin film is selectively left on the first insulating film in a region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step. It is preferred to etch the metal sheet.

【0035】前記エッチング工程は、前記配線形成工程
において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線が形
成された領域において、前記金属薄膜が、それぞれが所
定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に対して実質
的に垂直な方向に沿って選択的に残されるように前記金
属薄板をエッチングすることが好ましい。
In the etching step, in the area where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step, the metal thin films are spaced from each other by a predetermined distance and the length of the drive wiring is increased. It is preferred to etch the sheet metal such that it is selectively left along a direction substantially perpendicular to the direction.

【0036】前記エッチング工程は、前記配線形成工程
において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線が形
成された領域において、前記金属薄膜が、それぞれが所
定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に沿って選択
的に残されるように前記金属薄板をエッチングすること
が好ましい。
In the etching step, in the area where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step, the metal thin films are spaced apart from each other by a predetermined distance and the length of the drive wiring is increased. It is preferable to etch the sheet metal such that it is selectively left along the direction.

【0037】前記エッチング工程は、前記配線形成工程
において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線が形
成された領域において、前記金属薄膜が、前記駆動配線
の長手方向に沿って選択的に残されるように前記金属薄
板をエッチングすることが好ましい。
In the etching step, the metal thin film is selectively left along the longitudinal direction of the drive wiring in the region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring formation step. It is preferable to etch the thin metal plate as described above.

【0038】以下、図面を参照して本発明の実施の形態
を説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0039】(実施の形態1)図1は、実施の形態1に
係るディスク装置150の構成を示す平面図である。デ
ィスク装置150は、略板状形状をした筐体19を備え
ている。筐体19には、略円柱形状をした主軸31が設
けられている。主軸31には、円板形状をしたディスク
20が取り付けられている。ディスク20は、主軸31
に直結された図示しない駆動手段によって回転駆動され
る。駆動手段は、例えばスピンドルモータによって構成
されている。
(First Embodiment) FIG. 1 is a plan view showing the structure of a disk device 150 according to the first embodiment. The disk device 150 includes a housing 19 having a substantially plate shape. The housing 19 is provided with a main shaft 31 having a substantially columnar shape. A disk 20 having a disk shape is attached to the main shaft 31. The disk 20 has a spindle 31.
It is rotationally driven by a driving means (not shown) directly connected to. The drive means is composed of, for example, a spindle motor.

【0040】筐体19には、略円柱形状をした軸受け部
32がディスク20に隣接する位置に設けられている。
軸受け部32には、アーム15が軸受け部32を中心と
して揺動自在に設けられている。アーム15におけるデ
ィスク20側の先端には、略直方体形状をしたヘッドス
ライダ16が設けられている。ヘッドスライダ16に
は、ディスク20に信号を記録または再生するためのヘ
ッド17が搭載されている。アーム15は、ヘッドスラ
イダ16に搭載されたヘッド17をディスク20の上の
所要の位置に位置決めするように揺動自在に設けられて
いる。
The housing 19 is provided with a substantially cylindrical bearing portion 32 at a position adjacent to the disk 20.
An arm 15 is provided on the bearing portion 32 so as to be swingable around the bearing portion 32. A head slider 16 having a substantially rectangular parallelepiped shape is provided at the tip of the arm 15 on the disk 20 side. A head 17 for recording or reproducing a signal on the disk 20 is mounted on the head slider 16. The arm 15 is swingably provided so that the head 17 mounted on the head slider 16 is positioned at a desired position on the disk 20.

【0041】筐体19には、ボイスコイルモータ18が
軸受け部32に対してディスク20の反対側に設けられ
ている。ボイスコイルモータ18は、ヘッドスライダ1
6に搭載されたヘッド17をディスク20の上の所要の
位置に位置決めするようにアーム15を揺動させる。ボ
イスコイルモータ18には、扁平コイル35が設けられ
ている。ボイスコイルモータ18は、扁平コイル35を
挟むように設けられたヨーク36を有している。ボイス
コイルモータ18は、ねじ37によって筐体19に固定
されている。
In the case 19, the voice coil motor 18 is provided on the opposite side of the disc 20 with respect to the bearing 32. The voice coil motor 18 is used for the head slider 1
The arm 15 is swung so as to position the head 17 mounted on the disk 6 at a desired position on the disk 20. The voice coil motor 18 is provided with a flat coil 35. The voice coil motor 18 has a yoke 36 provided so as to sandwich the flat coil 35. The voice coil motor 18 is fixed to the housing 19 with screws 37.

【0042】ディスク装置150は、配線体100を備
えている。図2は配線体100の構成を模式的に示す平
面図であり、図3はその正面図であり、図4は配線体1
00に設けられたフレクシャのジンバルバネ部の構成を
説明するための斜視図であり、図5は配線体100に設
けられたフレクシャの配線接続部の構成を説明するため
の斜視図である。
The disk device 150 has a wiring body 100. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the wiring body 100, FIG. 3 is a front view thereof, and FIG. 4 is a wiring body 1
00 is a perspective view for explaining a configuration of a gimbal spring portion of the flexure provided in FIG. 00, and FIG. 5 is a perspective view for explaining a configuration of a wiring connection portion of the flexure provided in the wiring body 100.

【0043】配線体100は、ディスク20に信号を記
録または再生するためのヘッド電流をヘッドスライダ1
6に搭載されたヘッド17へ供給し、アーム15を揺動
させるための駆動電流をボイスコイルモータ18へ供給
するために設けられている。配線体100は、固定フレ
クシャ部33とフレキシブル配線部34とによって構成
されている。固定フレクシャ部33は、フレクシャ3を
有している。フレクシャ3は、金属薄板によって構成さ
れており、ヘッドスライダ16を支持するようにアーム
15のディスク20側に設けられている。フレクシャ3
のボイスコイルモータ18と反対側の先端には、ヘッド
スライダ16を支持するためのジンバルばね部8が形成
されている。
The wiring body 100 supplies a head current for recording or reproducing a signal to or from the disk 20 to the head slider 1.
6 is provided to supply to the voice coil motor 18 a drive current for supplying the head 17 mounted on the No. 6 and swinging the arm 15. The wiring body 100 includes a fixed flexure portion 33 and a flexible wiring portion 34. The fixed flexure portion 33 has the flexure 3. The flexure 3 is made of a thin metal plate and is provided on the arm 20 on the side of the disk 20 so as to support the head slider 16. Flexure 3
A gimbal spring portion 8 for supporting the head slider 16 is formed at the tip opposite to the voice coil motor 18.

【0044】フレクシャ3のヘッドスライダ16の反対
側には、配線接続部4がアーム15の長手方向に対して
実質的に垂直な方向に向かってアーム15から突出する
ように形成されている。フレクシャ3の配線接続部4に
は、ディスク20の表面に対して実質的に垂直な方向に
沿って折り曲げられた折り曲げ部7が形成されている。
On the side of the flexure 3 opposite to the head slider 16, a wiring connecting portion 4 is formed so as to project from the arm 15 in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the arm 15. The wiring connection portion 4 of the flexure 3 has a bent portion 7 that is bent along a direction substantially perpendicular to the surface of the disk 20.

【0045】フレクシャ3の折り曲げ部7側には、ヘッ
ド電流と駆動電流とを配線体100へ供給するために設
けられた導出端子部13が筐体19に固定されている。
On the bent portion 7 side of the flexure 3, a lead-out terminal portion 13 provided for supplying a head current and a drive current to the wiring body 100 is fixed to the housing 19.

【0046】配線体100は、ヘッド配線1を備えてい
る。ヘッド配線1は、ヘッドスライダ16に搭載された
ヘッド17へヘッド電流を供給するために、フレクシャ
3の上を通ってヘッドスライダ17と導出端子部13と
を接続するように形成されている。
The wiring body 100 includes the head wiring 1. The head wiring 1 is formed to pass over the flexure 3 and connect the head slider 17 and the lead-out terminal portion 13 in order to supply a head current to the head 17 mounted on the head slider 16.

【0047】図6は、図2に示す線AAに沿った断面図
である。ヘッド配線1は、フレクシャ3の上に形成され
た絶縁部材10によって被覆されている。フレクシャ3
の厚みは約25ミクロンであり、ヘッド配線1の厚みは
約12ミクロンである。ヘッド配線1の下側の絶縁部材
10の厚みは約10ミクロンであり、ヘッド配線1の上
側の絶縁部材10の厚みは約3ミクロンである。
FIG. 6 is a sectional view taken along the line AA shown in FIG. The head wiring 1 is covered with an insulating member 10 formed on the flexure 3. Flexure 3
Is about 25 μm, and the thickness of the head wiring 1 is about 12 μm. The thickness of the insulating member 10 on the lower side of the head wiring 1 is about 10 μm, and the thickness of the insulating member 10 on the upper side of the head wiring 1 is about 3 μm.

【0048】配線体100には、駆動配線2が設けられ
ている。駆動配線2は、ボイスコイルモータ18へ駆動
電流を供給するために配線接続部4から導出端子部13
までヘッド配線1に沿って形成されている。駆動配線2
とヘッド配線1における駆動配線2に沿って形成された
部分とは、導出端子部13とフレクシャ3に形成された
配線接続部4との間においてアーチ状に形成されてい
る。
The wiring 100 is provided with the drive wiring 2. The drive wiring 2 is connected from the wiring connection portion 4 to the lead-out terminal portion 13 in order to supply a drive current to the voice coil motor 18.
Is formed along the head wiring 1. Drive wiring 2
The portion of the head wiring 1 formed along the drive wiring 2 is formed in an arch shape between the lead-out terminal portion 13 and the wiring connection portion 4 formed on the flexure 3.

【0049】フレキシブル配線部34は、接続端子部9
を有している。接続端子部9は、ヘッド配線1と駆動配
線2とを導出端子部13に接続するために設けられてい
る。
The flexible wiring portion 34 has a connection terminal portion 9
have. The connection terminal portion 9 is provided to connect the head wiring 1 and the drive wiring 2 to the lead-out terminal portion 13.

【0050】図7は、図2に示す配線体100のフレキ
シブル配線部34の構成を模式的に示す平面図である。
図3および図7を参照すると、フレキシブル配線部34
には、複数の金属薄板5が、それぞれが所定の間隔を空
けて駆動配線2の長手方向に対して実質的に垂直な方向
に沿って選択的に形成されている。ヘッド配線1の幅と
駆動配線2の幅との合計幅Wは約1ミリメートルであ
り、短冊状の各金属薄板5の幅d1は約100ミクロン
である。各金属薄板5とフレクシャ3を構成する金属薄
板とは、互いに同一の材料によって構成されており、互
いに同一の厚みを有している。
FIG. 7 is a plan view schematically showing the structure of the flexible wiring portion 34 of the wiring body 100 shown in FIG.
Referring to FIGS. 3 and 7, the flexible wiring part 34
The plurality of thin metal plates 5 are selectively formed along the direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the drive wiring 2 at predetermined intervals. The total width W of the width of the head wiring 1 and the width of the drive wiring 2 is about 1 millimeter, and the width d1 of each strip-shaped metal thin plate 5 is about 100 microns. The metal thin plates 5 and the metal thin plates forming the flexure 3 are made of the same material and have the same thickness.

【0051】図8は図7に示す線BBに沿った断面図で
あり、図9は図7に示す線CCに沿った断面図である。
4本のヘッド配線1と2本の駆動配線2とは、絶縁部材
10によって被覆されている。金属薄板5は、絶縁部材
10の上に形成されている。
FIG. 8 is a sectional view taken along line BB shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a sectional view taken along line CC shown in FIG.
The four head wirings 1 and the two drive wirings 2 are covered with an insulating member 10. The thin metal plate 5 is formed on the insulating member 10.

【0052】再び図1および図5を参照すると、アーム
15には、ボイスコイルモータ18へ駆動電流を供給す
るために配線接続部4に形成された給電接続端子39に
おいて駆動配線2に接続された給電配線14が設けられ
ている。
Referring again to FIGS. 1 and 5, the arm 15 is connected to the drive wiring 2 at the power supply connection terminal 39 formed in the wiring connection portion 4 for supplying the drive current to the voice coil motor 18. Power supply wiring 14 is provided.

【0053】このように構成された配線体100は、以
下のようにして製造される。図10は配線体100の製
造方法を説明するための平面図であり、図11は配線体
100の製造方法を示すフローチャートである。
The wiring body 100 thus constructed is manufactured as follows. FIG. 10 is a plan view for explaining the method for manufacturing the wiring body 100, and FIG. 11 is a flowchart showing the method for manufacturing the wiring body 100.

【0054】まず、複数個の配線体100を得るための
長方形形状をした金属薄板110を準備する(ステップ
S1)。図10に示す例では、1枚の金属薄板110か
ら6個の配線体100を得る例を示している。そして、
金属薄板110の上に第1絶縁膜を約10ミクロンの厚
みに形成する(ステップS2)。
First, a rectangular metal thin plate 110 for obtaining a plurality of wiring bodies 100 is prepared (step S1). The example shown in FIG. 10 shows an example in which six wiring bodies 100 are obtained from one metal thin plate 110. And
A first insulating film is formed on the metal thin plate 110 to a thickness of about 10 microns (step S2).

【0055】次に、銅箔埋め込み法またはスクリーン印
刷法によって各ヘッド配線1および各駆動配線2を約1
2ミクロンの厚みによって図10に示す所定のパターン
にそれぞれ形成する(ステップS3)。その後、第1絶
縁膜の上に各ヘッド配線1および各駆動配線2を覆うよ
うに第2絶縁膜を約15ミクロンの厚みに形成する(ス
テップS4)。第1絶縁膜および第2絶縁膜は、樹脂に
よって構成されており、スクリーン印刷法またはエッチ
ング法によって形成する。
Next, each head wiring 1 and each driving wiring 2 are approximately 1 by a copper foil embedding method or a screen printing method.
A predetermined pattern shown in FIG. 10 is formed with a thickness of 2 microns (step S3). Then, a second insulating film is formed on the first insulating film so as to cover the head wirings 1 and the driving wirings 2 with a thickness of about 15 microns (step S4). The first insulating film and the second insulating film are made of resin and are formed by screen printing or etching.

【0056】そして、各フレクシャ3を形成し、および
各金属薄板5を残すように、金属薄板110をエッチン
グする(ステップS5)。
Then, the metal thin plate 110 is etched so as to form each flexure 3 and leave each metal thin plate 5 (step S5).

【0057】このようにして、6個のフレクシャ一体型
配線体100がその周囲に残された金属薄板と所定の部
位において結合された一枚の部品シートとなる。次に、
これら一つ一つのフレクシャ一体型配線体100をプレ
ス法やレーザーカット法により個片化する(ステップS
6)。その後、個片化した配線体100をアーム15に
取り付ける(ステップS7)。次に、配線体100に設
けられた駆動配線2を給電接続端子39において、ボイ
スコイルモータ18(VCM)に接続された給電配線1
4と接続する。そして、配線体100に設けられたヘッ
ド配線1および駆動配線2と接続された接続端子部9を
導出端子部13に接続する(ステップS8)。これによ
り、アクチュエータユニットが完成する。
In this manner, the six flexure-integrated wiring bodies 100 are combined with the thin metal plate remaining around them in a predetermined portion to form a single component sheet. next,
Each of these flexure-integrated wiring bodies 100 is singulated by a pressing method or a laser cutting method (step S
6). Then, the individual wiring body 100 is attached to the arm 15 (step S7). Next, the drive wiring 2 provided on the wiring body 100 is connected to the voice coil motor 18 (VCM) at the power supply connection terminal 39.
Connect with 4. Then, the connection terminal portion 9 connected to the head wiring 1 and the drive wiring 2 provided on the wiring body 100 is connected to the lead-out terminal portion 13 (step S8). As a result, the actuator unit is completed.

【0058】このように構成されたディスク装置150
の動作を説明する。まず、ディスク20が図示しないス
ピンドルモータによって回転駆動されると、アーム15
を揺動させるための駆動電流が、導出端子部13から、
配線体100に設けられた駆動配線2および給電配線1
4を通ってボイスコイルモータ18へ供給される。
The disk device 150 configured as described above
The operation of will be described. First, when the disk 20 is rotationally driven by a spindle motor (not shown), the arm 15
The drive current for swinging the
Drive wiring 2 and power feeding wiring 1 provided in wiring body 100
4 to the voice coil motor 18.

【0059】そして、ボイスコイルモータは、供給され
た駆動電流に基づいて、ヘッドスライダ16に搭載され
たヘッド17をディスク20上の所要の位置に位置決め
するようにアーム15を揺動させる。次に、配線体10
0のフレキシブル配線部34におけるヘッド配線1およ
び駆動配線2は、アーム15の揺動に応じて弾性たわみ
変形を生じる。
Then, the voice coil motor swings the arm 15 so as to position the head 17 mounted on the head slider 16 at a desired position on the disk 20 based on the supplied drive current. Next, the wiring body 10
The head wiring 1 and the driving wiring 2 in the flexible wiring section 34 of 0 are elastically deformed in flexion according to the swing of the arm 15.

【0060】図12は、実施の形態1に係るディスク装
置150におけるバイアストルクとアーム15のシーク
角度との関係を示すグラフである。横軸はアーム15の
揺動に応じて変化するアーム15のシーク角度を示して
おり、縦軸は配線体100のフレキシブル配線部34に
おけるヘッド配線1および駆動配線2(フレキシブルプ
リント基板(FPC))に生じるバイアストルクを示し
ている。直線51は、実施の形態1に係るディスク装置
150におけるバイアストルクとアームのシーク角度と
の関係を示している。直線52は、従来のディスク装置
におけるバイアストルクとアームのシーク角度との関係
を示している。
FIG. 12 is a graph showing the relationship between the bias torque and the seek angle of the arm 15 in the disk device 150 according to the first embodiment. The horizontal axis indicates the seek angle of the arm 15 that changes according to the swing of the arm 15, and the vertical axis indicates the head wiring 1 and the drive wiring 2 (flexible printed circuit board (FPC)) in the flexible wiring portion 34 of the wiring body 100. Shows the bias torque that occurs in the. The straight line 51 indicates the relationship between the bias torque and the arm seek angle in the disk device 150 according to the first embodiment. A straight line 52 shows the relationship between the bias torque and the arm seek angle in the conventional disk device.

【0061】直線52によって示される従来のディスク
装置におけるバイアストルクは、シーク角度25度にお
いて約0.15×e-4Nmになっており、シーク角度−
25度において約−0.15×e-4Nmになっている。
従って、従来のディスク装置におけるバイアストルク
は、約0.3×e-4Nmp−pである。これに対して、
実施の形態1に係るディスク装置150におけるバイア
ストルクは、シーク角度25度において約0.05×e
-4Nmになっており、シーク角度−25度において約
0.01×e-4Nmになっている。従って、実施の形態
1に係るディスク装置150におけるバイアストルク
は、約0.04×e-4Nmp−pである。このように、
実施の形態1に係るディスク装置150におけるバイア
ストルクは、従来の構成におけるバイアストルクよりも
非常に小さくすることができる。
The bias torque in the conventional disk device indicated by the straight line 52 is about 0.15 × e −4 Nm at the seek angle of 25 degrees, and the seek angle −
It is about −0.15 × e −4 Nm at 25 degrees.
Therefore, the bias torque in the conventional disk device is about 0.3 × e −4 Nmp-p. On the contrary,
The bias torque in the disk device 150 according to the first embodiment is about 0.05 × e at a seek angle of 25 degrees.
It has become -4 Nm, which is approximately 0.01 × e -4 Nm in a seek angle -25 degrees. Therefore, the bias torque in the disk device 150 according to the first embodiment is about 0.04 × e −4 Nmp-p. in this way,
The bias torque in the disk device 150 according to the first embodiment can be made much smaller than the bias torque in the conventional configuration.

【0062】ボイスコイルモータ18の駆動負荷には、
ピボット軸受けの負荷、ランプ負荷、FPCの負荷等が
ある。ディスク装置の小型薄型化に伴って、ボイスコイ
ルモータの小型薄型化が要求されている。ボイスコイル
モータを小型薄型化すると、ボイスコイルモータの発生
トルクが低下するので、ピボット軸受けの負荷、ランプ
負荷、FPCの負荷等のボイスコイルモータ18の駆動
負荷を低減しなければならない。
The drive load of the voice coil motor 18 is
There are loads on the pivot bearing, lamp load, FPC load, etc. As the disk device becomes smaller and thinner, there is a demand for smaller and thinner voice coil motors. If the voice coil motor is made smaller and thinner, the torque generated by the voice coil motor is reduced, and therefore the drive load of the voice coil motor 18, such as the load of the pivot bearing, the lamp load, and the FPC load, must be reduced.

【0063】図12に示すように、FPCの負荷は、ア
ームのシーク角度に応じて変化する。FPCの負荷は、
アームに常に付加される。このため、FPCの負荷は、
アームの制御系における外乱となる。従って、FPCの
負荷は極力低減する必要がある。実施の形態1によれ
ば、バイアストルクを従来の構成におけるバイアストル
クよりも非常に小さくすることによって、FPCの負荷
を大きく低減することができる。
As shown in FIG. 12, the load of the FPC changes according to the seek angle of the arm. FPC load is
Always added to the arm. Therefore, the load of FPC is
It becomes a disturbance in the arm control system. Therefore, it is necessary to reduce the load on the FPC as much as possible. According to the first embodiment, the load on the FPC can be significantly reduced by making the bias torque much smaller than the bias torque in the conventional configuration.

【0064】実施の形態1に係る配線体は、ボイスコイ
ルモータの発生トルクが小さい小型のディスク装置に対
して特に有効となる。具体的には、ボイスコイルモータ
の体積が極端に小さくなる1インチサイズ(幅42.8
ミリメートル×奥行き36.4ミリメートル×高さ5.
0ミリメートル)のディスク装置、または1インチサイ
ズよりも小さいディスク装置に対して非常に有効とな
る。
The wiring body according to the first embodiment is particularly effective for a small disk device in which the torque generated by the voice coil motor is small. Specifically, the 1-inch size (width 42.8) in which the volume of the voice coil motor becomes extremely small.
Mm x depth 36.4 mm x height 5.
It is very effective for 0 mm) disk devices or disk devices smaller than 1 inch size.

【0065】実施の形態1に係る配線体100において
は、各金属薄板5が、駆動配線2の長手方向に実質的に
垂直な方向に沿って形成されているので、長手方向に実
質的に垂直な方向に沿った剛性が増大する。このため、
フレキシブル配線部34の水平方向への倒れが抑制され
る。このため、アーチ状に形成されたフレキシブル配線
部34のアーム15の揺動に応じた弾性たわみ変形動作
がスムーズになる。
In the wiring body 100 according to the first embodiment, since each metal thin plate 5 is formed along the direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the drive wiring 2, it is substantially perpendicular to the longitudinal direction. The rigidity along the direction is increased. For this reason,
The collapse of the flexible wiring portion 34 in the horizontal direction is suppressed. Therefore, the elastic flexural deformation operation according to the swing of the arm 15 of the flexible wiring portion 34 formed in an arch shape becomes smooth.

【0066】以上のように実施の形態1によれば、ヘッ
ドスライダ16に搭載されたヘッド17へヘッド電流を
供給するためのヘッド配線1が、ヘッド電流と駆動電流
とを配線体100へ供給するために設けられた導出端子
部13とヘッドスライダ16とを接続するようにフレク
シャ3の上を通って設けられている。このため、ヘッド
配線1は、ヘッドスライダ16から導出端子部13へ連
続するように構成される。従って、ヘッド電流を供給す
るための配線接合用接点をアーム上のヘッド配線に形成
する必要がなくなる。その結果、ヘッド電流を供給する
ための配線接合の信頼性が高いディスク装置を提供する
ことができる。
As described above, according to the first embodiment, the head wiring 1 for supplying the head current to the head 17 mounted on the head slider 16 supplies the head current and the driving current to the wiring body 100. The lead-out terminal portion 13 provided for this purpose is provided above the flexure 3 so as to connect the head slider 16. For this reason, the head wiring 1 is configured to extend from the head slider 16 to the lead-out terminal portion 13. Therefore, it is not necessary to form a wiring connection contact for supplying the head current on the head wiring on the arm. As a result, it is possible to provide a disk device in which the wiring connection for supplying the head current is highly reliable.

【0067】また、配線接続部においてヘッド配線のた
めの接点を形成する必要がなくなるので、ディスク装置
を組み立てるための作業性が向上する。
Further, since it is not necessary to form a contact for the head wiring at the wiring connecting portion, workability for assembling the disk device is improved.

【0068】さらにはんだ付けなどにより接点を形成す
る際の接点の質量ばらつきによるアームの制御ばらつき
を抑制することができる。さらに、配線の可動する領域
においては剛性の大きい金属板が少なくとも部分的に除
去されている。このため、フレキシブル配線部の可撓性
が向上する。その結果、アームが揺動する時にフレキシ
ブル配線部に生じる反力を小さくすることができる。
Further, it is possible to suppress variation in control of the arm due to variation in mass of the contact when forming the contact by soldering or the like. Further, the metal plate having high rigidity is at least partially removed in the movable region of the wiring. Therefore, the flexibility of the flexible wiring portion is improved. As a result, the reaction force generated in the flexible wiring portion when the arm swings can be reduced.

【0069】さらに、配線体を製造途中においてまたは
組み立て途中において配線の断線などの発生がなくな
る。このため、高い歩留まりで配線体を製造することが
できる。
Furthermore, the breakage of the wiring does not occur during the manufacturing or assembling of the wiring body. Therefore, the wiring body can be manufactured with a high yield.

【0070】図13は図2に示す配線体のフレキシブル
配線部の他の構成を模式的に示す平面図であり、図14
は図13に示す線DDに沿った断面図である。フレキシ
ブル配線部において、2本の金属薄板5Aが、それぞれ
が所定の間隔を空けて駆動配線の長手方向に沿って選択
的に形成されていてもよい。金属薄板5Aの幅d2は、
約数百ミクロン以下である。4本のヘッド配線1と2本
の駆動配線2とは、絶縁部材10によって覆われてい
る。2本の金属薄板5Aは、絶縁部材10の上に形成さ
れている。
FIG. 13 is a plan view schematically showing another structure of the flexible wiring portion of the wiring body shown in FIG.
FIG. 14 is a sectional view taken along line DD shown in FIG. 13. In the flexible wiring portion, the two metal thin plates 5A may be selectively formed along the longitudinal direction of the drive wiring with a predetermined space therebetween. The width d2 of the thin metal plate 5A is
It is about several hundred microns or less. The four head wirings 1 and the two driving wirings 2 are covered with an insulating member 10. The two metal thin plates 5A are formed on the insulating member 10.

【0071】図15は実施の形態1に係る配線体100
の他の製造方法を説明するための平面図であり、図16
は実施の形態1に係る配線体100の他の製造方法を説
明するための詳細平面図である。図10を参照して前述
した製造方法と同様に、まず、金属薄板110を準備し
金属薄板の上に第1絶縁膜を形成し、各ヘッド配線1お
よび各駆動配線2を所定のパターンにそれぞれ形成し、
第1絶縁膜の上に各ヘッド配線1および各駆動配線2を
覆うように第2絶縁膜を形成する。
FIG. 15 shows a wiring body 100 according to the first embodiment.
FIG. 16 is a plan view for explaining another manufacturing method of FIG.
FIG. 6 is a detailed plan view for explaining another method for manufacturing the wiring body 100 according to the first embodiment. Similar to the manufacturing method described above with reference to FIG. 10, first, the metal thin plate 110 is prepared, the first insulating film is formed on the metal thin plate, and each head wiring 1 and each drive wiring 2 is formed into a predetermined pattern. Formed,
A second insulating film is formed on the first insulating film so as to cover each head wiring 1 and each drive wiring 2.

【0072】そして、各フレクシャ3を形成しおよび各
金属薄板5Aを残すように金属薄板をエッチングする。
このようにして、フレクシャ一体型配線体が周囲の金属
薄板と所定の部位において結合された一枚の部品シート
となる。次に、これら一つ一つのフレクシャ一体型配線
体をプレス法やレーザーカット法により個片化する。
Then, the metal thin plate is etched so as to form each flexure 3 and leave each metal thin plate 5A.
In this way, the flexure-integrated wiring body is combined with the surrounding thin metal plate at a predetermined portion to form a single component sheet. Next, each of these flexure-integrated wiring bodies is singulated by a pressing method or a laser cutting method.

【0073】このように本実施の形態によれば、複数配
線体の部品シート製造時に、フレキシブル配線部の剛性
を確保することができる。そのため、個片化する際に
は、フレキシブル配線部の位置決めが可能となり、配線
の断線などを起こすことがなく製造歩留まりを上げるこ
とができる。一方、個片化されたフレクシャ一体型配線
体は、フレキシブル配線部の帯状金属部の幅を小さく
し、反力を十分に小さくした配線体とすることができる
とともに、シールド効果を有して安定した電気信号の伝
送が可能なフレクシャ一体型配線体を得ることができ
る。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to secure the rigidity of the flexible wiring portion at the time of manufacturing a component sheet of a plurality of wiring bodies. Therefore, the flexible wiring portion can be positioned when it is divided into individual pieces, and the manufacturing yield can be increased without causing disconnection of the wiring. On the other hand, the individual flexure-integrated wiring body can be a wiring body in which the width of the strip-shaped metal part of the flexible wiring part is made small and the reaction force is sufficiently small, and at the same time, it has a shielding effect and is stable. A flexure-integrated wiring body capable of transmitting the electric signal can be obtained.

【0074】図17は、図2に示す配線体100のフレ
キシブル配線部のさらに他の構成を模式的に示す平面図
である。1本の金属薄板5Bが、フレキシブル配線部の
略中央において、駆動配線2の長手方向に沿って形成さ
れていてもよい。
FIG. 17 is a plan view schematically showing still another structure of the flexible wiring portion of wiring body 100 shown in FIG. One thin metal plate 5B may be formed along the longitudinal direction of the drive wiring 2 at approximately the center of the flexible wiring portion.

【0075】図18は、実施の形態1に係る配線体に設
けられたフレクシャの配線接続部の他の構成を説明する
ための斜視図である。図5を参照して前述した構成要素
と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。従
って、これらの構成要素の詳細な説明は省略する。
FIG. 18 is a perspective view for explaining another structure of the wiring connection portion of the flexure provided on the wiring body according to the first embodiment. The same components as those described with reference to FIG. 5 are designated by the same reference numerals. Therefore, detailed description of these components will be omitted.

【0076】フレクシャ3Aの配線接続部には、ディス
ク20の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って折り
曲げられた折り曲げ部7Aが形成されている。折り曲げ
部7Aには、J字形状に180度方向を変換するように
屈曲する屈曲部44が形成されている。フレキシブル配
線部34Aは、屈曲部44に沿って屈曲し、図示しない
導出端子部13へ向かって延伸している。
At the wiring connection portion of the flexure 3A, a bent portion 7A which is bent along a direction substantially perpendicular to the surface of the disk 20 is formed. The bent portion 7A is formed with a bent portion 44 that is bent so as to change the direction by 180 degrees into a J shape. The flexible wiring portion 34A is bent along the bent portion 44 and extends toward the lead-out terminal portion 13 (not shown).

【0077】このようにフレクシャ3Aの折り曲げ部7
Aに屈曲部44を形成すると、平面展開したフレクシャ
1枚あたりの材料取り効率を向上させることができる。
このため、フレクシャのコストを低減することができ
る。
In this way, the bending portion 7 of the flexure 3A is
When the bent portion 44 is formed in A, it is possible to improve the material removal efficiency for each flexure that is developed in a plane.
Therefore, the flexure cost can be reduced.

【0078】なお、フレクシャ3Aの折り曲げ部7Aに
屈曲部44を形成する例を示したが、本発明はこれに限
定されない。フレキシブル配線部34Aのみが屈曲する
ように構成してもよい。
Although the bent portion 44 is formed in the bent portion 7A of the flexure 3A, the present invention is not limited to this. You may comprise so that only the flexible wiring part 34A may bend.

【0079】また、屈曲部44がJ字形状に180度方
向を変換するように屈曲する例を示したが、屈曲部44
の角度は180度である必要はない。屈曲部44の角度
は、フレキシブル配線部34Aが導出端子部13へ向か
って延伸するために適切な角度であればよい。
Also, an example in which the bent portion 44 is bent so as to change the direction by 180 degrees into a J-shape is shown.
The angle need not be 180 degrees. The angle of the bent portion 44 may be an angle suitable for the flexible wiring portion 34A to extend toward the lead-out terminal portion 13.

【0080】さらに本実施の形態においては、給電配線
14が、配線体100に設けられた駆動配線2と接続す
るために、フレクシャ3に設けられた給電接続端子39
において半田付けされる例を示したが、給電配線14も
フレクシャ3上に設けるようにフレクシャ3を構成して
もよい。給電配線14もフレクシャ3上に設けるように
フレクシャ3を構成すれば、給電配線14と駆動配線2
とを一体に形成することができるので、給電接続端子3
9における半田付けが不要になる。
Further, in the present embodiment, the power supply wiring 14 is connected to the drive wiring 2 provided on the wiring body 100, so that the power supply connection terminal 39 provided on the flexure 3 is provided.
Although the example of soldering is shown in the above, the flexure 3 may be configured such that the power supply wiring 14 is also provided on the flexure 3. If the flexure 3 is configured such that the power supply wiring 14 is also provided on the flexure 3, the power supply wiring 14 and the drive wiring 2
Since the and can be integrally formed, the power supply connection terminal 3
The soldering at 9 is unnecessary.

【0081】(実施の形態2)図19は実施の形態2に
係る配線体に設けられた圧電アクチュエータの構成を説
明するための斜視図である。図20は実施の形態2に係
る配線体に設けられた圧電アクチュエータへ信号を供給
するための配線の構成を説明するための断面図である。
実施の形態1において図4および図6を参照して前述し
た構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付し
ている。従って、これらの構成要素の詳細な説明は省略
する。
(Second Embodiment) FIG. 19 is a perspective view for explaining the structure of a piezoelectric actuator provided in a wiring body according to a second embodiment. FIG. 20 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the wiring for supplying a signal to the piezoelectric actuator provided in the wiring body according to the second embodiment.
The same components as those described in Embodiment 1 with reference to FIGS. 4 and 6 are designated by the same reference numerals. Therefore, detailed description of these components will be omitted.

【0082】実施の形態2に係るフレクシャ3には、圧
電アクチュエータ45を備えている。圧電アクチュエー
タ45は、ヘッドスライダ16に搭載されたヘッド17
を微小変位させるために設けられている。圧電アクチュ
エータ45は、フレクシャ3の長手方向に沿って設けら
れた一対の圧電アクチュエータ21を有している。
The flexure 3 according to the second embodiment has a piezoelectric actuator 45. The piezoelectric actuator 45 includes a head 17 mounted on the head slider 16.
Is provided for minute displacement. The piezoelectric actuator 45 has a pair of piezoelectric actuators 21 provided along the longitudinal direction of the flexure 3.

【0083】各圧電アクチュエータ21の一端には、略
直方体形状をした一端部46がジンバルばね部8によっ
て固定的に支持されるように形成されている。各圧電ア
クチュエータ21の他端には、略直方体形状をした他端
部47が矢印Aおよび矢印Bに示す方向に沿って可動自
在に形成されている。他端部47には、ヘッド17を搭
載したヘッドスライダ16が固定されている。
An end portion 46 having a substantially rectangular parallelepiped shape is formed at one end of each piezoelectric actuator 21 so as to be fixedly supported by the gimbal spring portion 8. At the other end of each piezoelectric actuator 21, another end portion 47 having a substantially rectangular parallelepiped shape is formed so as to be movable along the directions shown by arrows A and B. The head slider 16 having the head 17 mounted thereon is fixed to the other end portion 47.

【0084】各圧電アクチュエータ21の上面および下
面には、圧電アクチュエータ21を伸縮させるための図
示しない電極がそれぞれ設けられている。
Electrodes (not shown) for expanding and contracting the piezoelectric actuators 21 are provided on the upper surface and the lower surface of each piezoelectric actuator 21, respectively.

【0085】フレクシャ3には、アクチュエータ信号配
線22およびアクチュエータ共通配線48が形成されて
いる。アクチュエータ信号配線22およびアクチュエー
タ共通配線48は、矢印Aおよび矢印Bに示す方向に沿
ってヘッド17が微小変位するように圧電アクチュエー
タ21を駆動するための圧電アクチュエータ電流を圧電
アクチュエータ21に供給するために、フレクシャ3の
上を通って圧電アクチュエータ21と導出端子部とを接
続するように設けられている。
On the flexure 3, the actuator signal wiring 22 and the actuator common wiring 48 are formed. The actuator signal wiring 22 and the actuator common wiring 48 are for supplying the piezoelectric actuator 21 with a piezoelectric actuator current for driving the piezoelectric actuator 21 so that the head 17 is slightly displaced along the directions shown by the arrows A and B. , Is provided so as to connect the piezoelectric actuator 21 and the lead-out terminal portion by passing over the flexure 3.

【0086】2本のアクチュエータ信号配線22と2本
のヘッド配線1とは、フレクシャ3の上に形成された絶
縁部材10によって被覆されている。アクチュエータ共
通配線48と他の2本のヘッド配線1とは、フレクシャ
3の上に形成された他の絶縁部材10によって被覆され
ている。アクチュエータ信号配線22およびアクチュエ
ータ共通配線48は、ヘッド配線1に沿って導出端子部
まで連続して形成されている。
The two actuator signal wirings 22 and the two head wirings 1 are covered with an insulating member 10 formed on the flexure 3. The actuator common wiring 48 and the other two head wirings 1 are covered with another insulating member 10 formed on the flexure 3. The actuator signal wiring 22 and the actuator common wiring 48 are continuously formed along the head wiring 1 to the lead-out terminal portion.

【0087】このように構成された実施の形態2に係る
ディスク装置においては、まず、ディスクスピンドルモ
ータによって回転駆動されると、アームを揺動させるた
めの駆動電流が、導出端子部から、配線体に設けられた
駆動配線および給電配線を通ってボイスコイルモータへ
供給される。
In the disk device according to the second embodiment having such a configuration, first, when the disk spindle motor is rotationally driven, a drive current for swinging the arm is transferred from the lead-out terminal portion to the wiring body. It is supplied to the voice coil motor through the drive wiring and the power feeding wiring provided in the.

【0088】そして、ボイスコイルモータは、供給され
た駆動電流に基づいて、ヘッドスライダ16に搭載され
たヘッド17をディスク20上の所要の位置に位置決め
するようにアーム15を揺動させる。次に、配線体のフ
レキシブル配線部におけるヘッド配線1および駆動配線
は、アームの揺動に応じて弾性たわみ変形を生じる。
Then, the voice coil motor swings the arm 15 so as to position the head 17 mounted on the head slider 16 at a desired position on the disk 20 based on the supplied drive current. Next, the head wiring 1 and the drive wiring in the flexible wiring portion of the wiring body undergo elastic flexural deformation in response to the swing of the arm.

【0089】その後、矢印Aおよび矢印Bに示す方向に
沿ってヘッド17が微小変位するように圧電アクチュエ
ータ21を駆動するための圧電アクチュエータ電流が、
アクチュエータ信号配線22およびアクチュエータ共通
配線48を通って圧電アクチュエータ21へ供給され
る。そして、一方の圧電アクチュエータ21が長手方向
に沿って伸び、他方の圧電アクチュエータ21が長手方
向に沿って縮むと、ヘッド17は、矢印Aまたは矢印B
に示す方向に向かって微小変位する。例えば、図19に
おいて手前の圧電アクチュエータ21が伸び、向こう側
の圧電アクチュエータ21が縮むと、ヘッド17は、矢
印Aに示す方向に向かって微小変位する。逆に、向こう
側の圧電アクチュエータ21が伸び、手前の圧電アクチ
ュエータ21が縮むと、ヘッド17は、矢印Bに示す方
向に向かって微小変位する。このようにして、ヘッドス
ライダ16に搭載されたヘッド17はディスク20上の
所要の位置に精密に位置決めされる。
After that, the piezoelectric actuator current for driving the piezoelectric actuator 21 so that the head 17 is slightly displaced along the directions shown by the arrows A and B is
It is supplied to the piezoelectric actuator 21 through the actuator signal wiring 22 and the actuator common wiring 48. When one piezoelectric actuator 21 extends along the longitudinal direction and the other piezoelectric actuator 21 contracts along the longitudinal direction, the head 17 moves toward the arrow A or the arrow B.
It is slightly displaced in the direction indicated by. For example, in FIG. 19, when the piezoelectric actuator 21 on the front side extends and the piezoelectric actuator 21 on the other side contracts, the head 17 is slightly displaced in the direction indicated by the arrow A. On the contrary, when the piezoelectric actuator 21 on the other side extends and the piezoelectric actuator 21 on the front side contracts, the head 17 is slightly displaced in the direction indicated by the arrow B. In this way, the head 17 mounted on the head slider 16 is precisely positioned at a desired position on the disk 20.

【0090】以上のように実施の形態2によれば、圧電
アクチュエータを設けたために配線本数が増加する場合
でも、配線接続部においては、ボイスコイルモータから
の給電配線と駆動配線との接続のみで済む。そのため、
配線作業の作業性、信頼性が損なわれることはない。ま
た、配線を一体化したフレクシャは高密度の配線が可能
となるため、配線本数が増加しても、アームの揺動によ
って生じる反力の小さいフレキシブル配線部を実現する
ことができる。
As described above, according to the second embodiment, even if the number of wirings increases due to the provision of the piezoelectric actuator, the wiring connection portion only needs to connect the power supply wiring from the voice coil motor and the drive wiring. I'm done. for that reason,
The workability and reliability of wiring work will not be impaired. Further, since the flexure with integrated wiring enables high-density wiring, it is possible to realize a flexible wiring portion with a small reaction force generated by the swing of the arm even if the number of wirings increases.

【0091】また、圧電素子アクチュエータを設けたた
めに配線本数が増加する場合でも、高密度な配線が可能
となり、特に小型でヘッドが1つのディスク装置用とし
て好適な配線体を低コストで提供することができる。
Further, even when the number of wirings increases due to the provision of the piezoelectric element actuator, high-density wiring is possible, and a wiring body particularly small and suitable for a disk device having one head can be provided at low cost. You can

【0092】すなわち本発明は、実施の形態2のように
配線本数が増加する場合に特にその効果が大きくなる。
なお、本発明に用いる圧電アクチュエータはバルク材料
と薄膜材料とのどちらを用いても同様の効果が得られる
ことは言うまでもない。
That is, the present invention is particularly effective when the number of wirings is increased as in the second embodiment.
Needless to say, the same effect can be obtained by using either a bulk material or a thin film material for the piezoelectric actuator used in the present invention.

【0093】[0093]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気ヘッ
ドへヘッド電流を供給するためのヘッド配線とボイスコ
イルモータを駆動するための駆動電流を供給するための
駆動配線との信頼性を高めることができるディスク装
置、ディスク装置用配線体およびディスク装置用配線体
の製造方法を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the reliability of the head wiring for supplying the head current to the magnetic head and the driving wiring for supplying the driving current for driving the voice coil motor can be improved. It is possible to provide a disc device, a disc device wiring body, and a method for manufacturing a disc device wiring body that can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施の形態1に係るディスク装置の構成を示す
平面図
FIG. 1 is a plan view showing the configuration of a disk device according to a first embodiment.

【図2】実施の形態1に係るディスク装置に設けられた
配線体の構成を模式的に示す平面図
FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of a wiring body provided in the disk device according to the first embodiment.

【図3】実施の形態1に係るディスク装置に設けられた
配線体の構成を模式的に示す正面図
FIG. 3 is a front view schematically showing the configuration of a wiring body provided in the disk device according to the first embodiment.

【図4】実施の形態1に係る配線体に設けられたフレク
シャのジンバルバネ部の構成を説明するための斜視図
FIG. 4 is a perspective view for explaining a configuration of a gimbal spring portion of a flexure provided on the wiring body according to the first embodiment.

【図5】実施の形態1に係る配線体に設けられたフレク
シャの配線接続部の構成を説明するための斜視図
FIG. 5 is a perspective view for explaining the configuration of the wiring connection portion of the flexure provided in the wiring body according to the first embodiment.

【図6】図2に示す線AAに沿った断面図6 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG.

【図7】図2に示す配線体のフレキシブル配線部の構成
を模式的に示す平面図
FIG. 7 is a plan view schematically showing the configuration of a flexible wiring portion of the wiring body shown in FIG.

【図8】図7に示す線BBに沿った断面図8 is a cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG.

【図9】図7に示す線CCに沿った断面図9 is a cross-sectional view taken along the line CC shown in FIG.

【図10】実施の形態1に係る配線体の製造方法を説明
するための平面図
FIG. 10 is a plan view for explaining the method for manufacturing the wiring body according to the first embodiment.

【図11】実施の形態1に係る配線体の製造方法を示す
フローチャート
FIG. 11 is a flowchart showing a method for manufacturing the wiring body according to the first embodiment.

【図12】実施の形態1に係るディスク装置におけるバ
イアストルクとアームの揺動角度との関係を示すグラフ
FIG. 12 is a graph showing the relationship between the bias torque and the swing angle of the arm in the disk device according to the first embodiment.

【図13】図2に示す配線体のフレキシブル配線部の他
の構成を模式的に示す平面図
13 is a plan view schematically showing another configuration of the flexible wiring portion of the wiring body shown in FIG.

【図14】図13に示す線DDに沿った断面図14 is a cross-sectional view taken along the line DD shown in FIG.

【図15】実施の形態1に係る配線体の他の製造方法を
説明するための平面図
FIG. 15 is a plan view for explaining another method for manufacturing the wiring body according to the first embodiment.

【図16】実施の形態1に係る配線体の他の製造方法を
説明するための詳細平面図
FIG. 16 is a detailed plan view for explaining another method for manufacturing the wiring body according to the first embodiment.

【図17】図2に示す配線体のフレキシブル配線部のさ
らに他の構成を模式的に示す平面図
FIG. 17 is a plan view schematically showing still another configuration of the flexible wiring portion of the wiring body shown in FIG.

【図18】実施の形態1に係る配線体に設けられたフレ
クシャの配線接続部の他の構成を説明するための斜視図
FIG. 18 is a perspective view for explaining another configuration of the wiring connection portion of the flexure provided in the wiring body according to the first embodiment.

【図19】実施の形態2に係る配線体に設けられた圧電
アクチュエータの構成を説明するための斜視図
FIG. 19 is a perspective view for explaining the configuration of the piezoelectric actuator provided in the wiring body according to the second embodiment.

【図20】実施の形態2に係る配線体に設けられた圧電
アクチュエータへ信号を供給するための配線の構成を説
明するための断面図
FIG. 20 is a cross-sectional view for explaining a configuration of wiring for supplying a signal to the piezoelectric actuator provided in the wiring body according to the second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヘッド配線 2 駆動配線 3 フレクシャ 4 配線接続部 5 金属薄板 7 折り曲げ部 8 ジンバルばね部 9 接続端子部 10 絶縁部材 13 導出端子部 14 給電配線 15 アーム 16 ヘッドスライダ 17 ヘッド 18 ボイスコイルモータ 19 筐体 20 記録媒体 21 圧電アクチュエータ 22 アクチュエータ信号配線 1 head wiring 2 drive wiring 3 flexure 4 wiring connection 5 Metal sheet 7 Bent section 8 Gimbal spring part 9 Connection terminal part 10 Insulation member 13 Lead-out terminal part 14 Power supply wiring 15 arms 16 head slider 17 heads 18 voice coil motor 19 housing 20 recording media 21 Piezoelectric actuator 22 Actuator signal wiring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5D042 LA01 MA15 NA02 PA01 TA07 5D059 AA01 BA01 CA14 CA18 DA19 DA26 DA31 DA36 EA08 EA12 5D096 NN03 NN07    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5D042 LA01 MA15 NA02 PA01 TA07                 5D059 AA01 BA01 CA14 CA18 DA19                       DA26 DA31 DA36 EA08 EA12                 5D096 NN03 NN07

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ディスク状記録媒体に信号を記録または
再生するヘッドを搭載したヘッドスライダと、 前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドを前記ディ
スク状記録媒体上の所要の位置に位置決めするために揺
動自在に設けられたアームと、 前記アームを揺動させるために設けられた駆動手段と、 前記ディスク状記録媒体に前記信号を記録または再生す
るためのヘッド電流を前記ヘッドスライダに搭載された
前記ヘッドへ供給し、前記アームを揺動させるための駆
動電流を前記駆動手段へ供給するために設けられた配線
体と、 前記ヘッド電流と前記駆動電流とを前記配線体へ供給す
るために設けられた導出端子部とを具備しており、 前記配線体は、前記ヘッドスライダを支持するように前
記アームに設けられたフレクシャと、 前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドへ前記ヘッ
ド電流を供給するために、前記フレクシャの上を通って
前記ヘッドスライダと前記導出端子部とを接続するよう
に形成されたヘッド配線と、 前記駆動手段へ前記駆動電流を供給するために、前記フ
レクシャに形成された配線接続部から前記導出端子部ま
で、前記ヘッド配線に沿って形成された駆動配線とを有
していることを特徴とするディスク装置。
1. A head slider having a head for recording or reproducing a signal on and from a disk-shaped recording medium, and a swing for positioning the head mounted on the head slider at a desired position on the disk-shaped recording medium. An arm provided movably, a drive means provided for swinging the arm, and a head current for recording or reproducing the signal on or from the disk-shaped recording medium mounted on the head slider. A wiring body that is provided to supply a drive current for supplying the head to the arm and to swing the arm, and a wiring body that is provided for supplying the head current and the drive current to the wiring body. The wiring body is provided with a flexure provided on the arm so as to support the head slider, A head wiring formed so as to connect the head slider and the lead-out terminal portion through the flexure in order to supply the head current to the head mounted on the slider. In order to supply a drive current, the drive device has a drive wire formed along the head wire from a wire connection part formed on the flexure to the lead-out terminal part.
【請求項2】 前記フレクシャは、第1金属薄板によっ
て構成されており、 前記配線接続部から前記導出端子部までは、前記ヘッド
配線および前記駆動配線に沿って第2金属薄板が選択的
に形成された、請求項1記載のディスク装置。
2. The flexure is composed of a first thin metal plate, and a second thin metal plate is selectively formed along the head wiring and the drive wiring from the wiring connection portion to the lead-out terminal portion. The disk device according to claim 1, which has been recorded.
【請求項3】 前記第1金属薄板と前記第2金属薄板と
は、互いに同一の材料によって構成されており、互いに
同一の厚みを有している、請求項2記載のディスク装
置。
3. The disk device according to claim 2, wherein the first thin metal plate and the second thin metal plate are made of the same material and have the same thickness.
【請求項4】 前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘ
ッドを微小変位させるために前記フレクシャに設けられ
た圧電アクチュエータと、 前記ヘッドが微小変位するように前記圧電アクチュエー
タを駆動するための圧電アクチュエータ電流を前記圧電
アクチュエータに供給するために、前記フレクシャの上
を通って前記圧電アクチュエータと前記導出端子部とを
接続するように設けられたアクチュエータ配線とをさら
に具備している、請求項1記載のディスク装置。
4. A piezoelectric actuator provided on the flexure for making a minute displacement of the head mounted on the head slider, and a piezoelectric actuator current for driving the piezoelectric actuator so that the head makes a minute displacement. 2. The disk device according to claim 1, further comprising an actuator wiring that is provided so as to connect the piezoelectric actuator and the lead-out terminal portion over the flexure to supply the piezoelectric actuator. .
【請求項5】 前記フレクシャは、金属薄板によって構
成されており、 前記金属薄板は、前記配線接続部において折り曲げられ
た折り曲げ部を有している、請求項1記載のディスク装
置。
5. The disk device according to claim 1, wherein the flexure is made of a metal thin plate, and the metal thin plate has a bent portion bent at the wiring connection portion.
【請求項6】 前記折り曲げ部は、前記ディスク状媒体
の表面と実質的に垂直な方向に沿って折り曲げられてい
る、請求項5記載のディスク装置。
6. The disk device according to claim 5, wherein the bent portion is bent along a direction substantially perpendicular to the surface of the disk-shaped medium.
【請求項7】 前記駆動手段へ前記駆動電流を供給する
ために前記配線接続部において前記駆動配線に接続され
た給電配線をさらに具備する、請求項1記載のディスク
装置。
7. The disk device according to claim 1, further comprising a power supply wiring connected to the drive wiring at the wiring connection portion for supplying the drive current to the drive means.
【請求項8】 前記駆動手段は、ボイスコイルモータで
ある、請求項1記載のディスク装置。
8. The disk device according to claim 1, wherein the drive means is a voice coil motor.
【請求項9】 前記アームと前記駆動手段と前記導出端
子部とを支持するために設けられた筐体をさらに具備す
る、請求項1記載のディスク装置。
9. The disk device according to claim 1, further comprising a housing provided to support the arm, the driving means, and the lead-out terminal portion.
【請求項10】 前記フレクシャには、前記ヘッドスラ
イダを支持するためのジンバルばね部が形成されてい
る、請求項1記載のディスク装置。
10. The disk device according to claim 1, wherein a gimbal spring portion for supporting the head slider is formed on the flexure.
【請求項11】 前記ヘッドスライダには、1個のヘッ
ドが搭載されている、請求項1記載のディスク装置。
11. The disk device according to claim 1, wherein one head is mounted on the head slider.
【請求項12】 前記駆動配線と前記ヘッド配線におけ
る前記駆動配線に沿って形成された部分とは、前記アー
ムの揺動に応じて弾性たわみ変形が生じるように構成さ
れている、請求項1記載のディスク装置。
12. The drive wire and a portion of the head wire formed along the drive wire are configured to elastically deform in response to the swing of the arm. Disk device.
【請求項13】 前記駆動配線と前記ヘッド配線におけ
る前記駆動配線に沿って形成された部分とは、前記導出
端子部と前記フレクシャに形成された前記配線接続部と
の間においてアーチ状に形成されている、請求項1記載
のディスク装置。
13. The drive wiring and a portion of the head wiring formed along the drive wiring are formed in an arch shape between the lead-out terminal portion and the wiring connection portion formed on the flexure. The disk device according to claim 1, wherein
【請求項14】 ディスク状記録媒体に信号を記録また
は再生するためにヘッドスライダに搭載されたヘッド
へ、前記ディスク状記録媒体に信号を記録または再生す
るためのヘッド電流を供給し、前記ヘッドスライダに搭
載された前記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上の所要
の位置に位置決めするために揺動自在に設けられたアー
ムを揺動させるために設けられた駆動手段へ前記アーム
を揺動させるための駆動電流を供給するために設けられ
たディスク装置用配線体であって、 前記配線体へは、導出端子部から前記ヘッド電流と前記
駆動電流とが供給されるようになっており、 前記配線体は、前記ヘッドスライダを支持するために前
記アームに設けられるように形成されたフレクシャと、 前記ヘッドスライダに搭載された前記ヘッドへ前記ヘッ
ド電流を供給するために、前記フレクシャの上を通って
前記ヘッドスライダと前記導出端子部とを接続するため
に形成されたヘッド配線と、 前記駆動手段へ前記駆動電流を供給するために、前記導
出端子部から前記フレクシャに形成された配線接続部ま
で、前記ヘッド配線に沿って形成された駆動配線とを具
備することを特徴とするディスク装置用配線体。
14. A head current for recording or reproducing a signal to or from a disk-shaped recording medium is supplied to a head mounted on a head slider for recording or reproducing a signal to or from the disk-shaped recording medium. For swinging the arm mounted to a drive means provided for swinging an arm swingably provided for positioning the head at a required position on the disk-shaped recording medium. A wiring body for a disk device provided to supply a driving current, wherein the head current and the driving current are supplied to the wiring body from a lead-out terminal portion. Is a flexure formed to be provided on the arm for supporting the head slider, and the flexure formed on the head mounted on the head slider. Head wiring formed to connect the head slider and the lead-out terminal portion over the flexure to supply a head current; and to supply the drive current to the drive means, A wiring body for a disk device comprising: a lead-out terminal portion to a wiring connection portion formed on the flexure, and drive wiring formed along the head wiring.
【請求項15】 前記ヘッド配線と前記駆動配線とを前
記導出端子部に接続するために設けられた接続端子部を
さらに具備する、請求項14記載のディスク装置用配線
体。
15. The disk device wiring body according to claim 14, further comprising a connection terminal portion provided to connect the head wiring and the drive wiring to the lead-out terminal portion.
【請求項16】 前記フレクシャは、第1金属薄板によ
って構成されており、 前記接続端子部から前記配線接続部までは、前記ヘッド
配線および前記駆動配線に沿って第2金属薄板が選択的
に形成された、請求項15記載のディスク装置用配線
体。
16. The flexure is formed of a first metal thin plate, and a second metal thin plate is selectively formed along the head wiring and the drive wiring from the connection terminal portion to the wiring connection portion. 16. The wiring body for a disk device according to claim 15, which is formed.
【請求項17】 前記第1金属薄板と前記第2金属薄板
とは、互いに同一の材料によって構成されており、互い
に同一の厚みを有している、請求項16記載のディスク
装置用配線体。
17. The wiring body for a disk device according to claim 16, wherein the first thin metal plate and the second thin metal plate are made of the same material and have the same thickness.
【請求項18】 前記第2金属薄板は、複数であり、そ
れぞれが所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に
対して実質的に垂直な方向に沿って選択的に形成されて
いる、請求項16記載のディスク装置用配線体。
18. A plurality of the second thin metal plates, each of which is selectively formed along a direction substantially perpendicular to a longitudinal direction of the drive wiring, with a predetermined space therebetween. The wiring body for a disk device according to claim 16.
【請求項19】 前記第2金属薄板は、複数であり、そ
れぞれが所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に
沿って選択的に形成されている、請求項16記載のディ
スク装置用配線体。
19. The wiring for a disk device according to claim 16, wherein a plurality of the second thin metal plates are formed, and each of the second thin metal plates is selectively formed along a longitudinal direction of the drive wiring with a predetermined interval. body.
【請求項20】 前記第2金属薄板は、前記駆動配線の
長手方向に沿って選択的に形成されている、請求項16
記載のディスク装置用配線体。
20. The second thin metal plate is selectively formed along a longitudinal direction of the drive wiring.
The wiring body for the disk device described.
【請求項21】 前記ヘッド配線と前記駆動配線とは、
前記フレクシャの上に形成された絶縁部材によって被覆
されている、請求項15記載のディスク装置用配線体。
21. The head wiring and the drive wiring are
The disk device wiring body according to claim 15, which is covered with an insulating member formed on the flexure.
【請求項22】 ディスク状記録媒体に信号を記録また
は再生するためにヘッドスライダに搭載されたヘッド
へ、前記ディスク状記録媒体に信号を記録または再生す
るためのヘッド電流を供給し、前記ヘッドスライダに搭
載された前記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上の所要
の位置に位置決めするために揺動自在に設けられたアー
ムを揺動させるために設けられた駆動手段へ前記アーム
を揺動させるための駆動電流を供給するために設けられ
たディスク装置用配線体の製造方法であって、 金属薄板の上に第1絶縁膜を形成する第1絶縁膜形成工
程と、 前記ヘッドへ前記ヘッド電流を供給するために前記ヘッ
ドスライダと前記導出端子部とを接続するための複数の
ヘッド配線を前記第1絶縁膜の上にそれぞれ形成し、前
記駆動手段へ前記駆動電流を供給するための駆動配線を
各ヘッド配線の一部に沿って前記第1絶縁膜の上にそれ
ぞれ形成する配線形成工程と、 各ヘッド配線と各駆動配線とを覆うように第2絶縁膜を
前記第1絶縁膜の上に形成する第2絶縁膜形成工程と、 前記ヘッドスライダを支持するために前記アームに設け
られる複数のフレクシャを形成するように前記金属薄板
をエッチングするエッチング工程とを包含することを特
徴とするディスク装置用配線体の製造方法。
22. A head current for recording or reproducing a signal on the disk-shaped recording medium is supplied to a head mounted on a head slider for recording or reproducing a signal on the disk-shaped recording medium, and the head slider. For swinging the arm mounted to a drive means provided for swinging an arm swingably provided for positioning the head at a required position on the disk-shaped recording medium. A method of manufacturing a disk device wiring body provided for supplying a drive current, comprising: a first insulating film forming step of forming a first insulating film on a thin metal plate; and supplying the head current to the head. To this end, a plurality of head wirings for connecting the head slider and the lead-out terminal portion are respectively formed on the first insulating film, and the drive means is driven by the drive means. A wiring forming step of forming a driving wiring for supplying a flow on the first insulating film along a part of each head wiring, and a second insulating film so as to cover each head wiring and each driving wiring. Forming a second insulating film on the first insulating film, and an etching step of etching the thin metal plate so as to form a plurality of flexures provided on the arms for supporting the head slider. A method of manufacturing a wiring body for a disk device, which includes:
【請求項23】 前記エッチング工程は、前記配線形成
工程において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線
が形成された領域において、前記金属薄膜が前記第1絶
縁膜に選択的に残されるように前記金属薄板をエッチン
グする、請求項22記載のディスク装置用配線体の製造
方法。
23. In the etching step, the metal thin film is selectively left on the first insulating film in a region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step. 23. The method of manufacturing a wiring body for a disk device according to claim 22, wherein the thin metal plate is etched.
【請求項24】 前記エッチング工程は、前記配線形成
工程において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線
が形成された領域において、前記金属薄膜が、それぞれ
が所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に対して
実質的に垂直な方向に沿って選択的に残されるように前
記金属薄板をエッチングする、請求項22記載のディス
ク装置用配線体の製造方法。
24. In the etching process, in the region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step, the metal thin films are spaced apart from each other by a predetermined distance. 23. The method for manufacturing a wiring body for a disk device according to claim 22, wherein the thin metal plate is etched so as to be selectively left along a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the.
【請求項25】 前記エッチング工程は、前記配線形成
工程において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線
が形成された領域において、前記金属薄膜が、それぞれ
が所定の間隔を空けて前記駆動配線の長手方向に沿って
選択的に残されるように前記金属薄板をエッチングす
る、請求項22記載のディスク装置用配線体の製造方
法。
25. In the etching step, in the region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring forming step, the metal thin films are spaced apart from each other by a predetermined distance. 23. The method for manufacturing a wiring body for a disk device according to claim 22, wherein the thin metal plate is etched so as to be selectively left along the longitudinal direction of the.
【請求項26】 前記エッチング工程は、前記配線形成
工程において各ヘッド配線の一部に沿って前記駆動配線
が形成された領域において、前記金属薄膜が、前記駆動
配線の長手方向に沿って選択的に残されるように前記金
属薄板をエッチングする、請求項22記載のディスク装
置用配線体の製造方法。
26. In the etching step, the metal thin film is selectively formed along a longitudinal direction of the drive wiring in a region where the drive wiring is formed along a part of each head wiring in the wiring formation step. 23. The method for manufacturing a wiring body for a disk device according to claim 22, wherein the thin metal plate is etched so that the metal thin plate remains.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011253583A (en) * 2010-06-01 2011-12-15 Nhk Spring Co Ltd Head suspension wiring structure
JP2013054811A (en) * 2011-09-06 2013-03-21 Dainippon Printing Co Ltd Substrate for suspension, suspension, suspension with element, hard disk drive and production method for substrate for suspension

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