JP2003247076A - Method for depositing electroless plating film, and plated article - Google Patents

Method for depositing electroless plating film, and plated article

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JP2003247076A
JP2003247076A JP2002044719A JP2002044719A JP2003247076A JP 2003247076 A JP2003247076 A JP 2003247076A JP 2002044719 A JP2002044719 A JP 2002044719A JP 2002044719 A JP2002044719 A JP 2002044719A JP 2003247076 A JP2003247076 A JP 2003247076A
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JP
Japan
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electroless plating
plated
layer
zinc
treatment
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JP2002044719A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiji Saijo
義司 西條
Katsuhisa Tanabe
克久 田邉
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C Uyemura and Co Ltd
Original Assignee
C Uyemura and Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for depositing an electroless plating film by which a film with excellent adhesion can be deposited onto the surface of a material to be plated without performing etching. <P>SOLUTION: When depositing the electroless plating film by immersion in an electroless plating solution onto the material to be plated on which a catalyst layer is formed, the material to be plated is immersed in a pretreating liquid containing a nitrate ion, a zinc ion, an indium ion and an amine borane complex to undergo formation of a substrate treatment layer for electroless plating, then immersed in a treating liquid containing water-soluble metallic salt, and successively immersed in the above electroless plating solution to undergo deposition of the electroless plating film. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被めっき物上に密
着性に優れた被膜を形成できる無電解めっき方法及び被
めっき物上に無電解めっき用下地処理層を有し、被めっ
き物との密着性に優れた無電解めっき層が形成されため
っき処理品に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electroless plating method capable of forming a coating film having excellent adhesion on an object to be plated, and an undercoating layer for electroless plating on the object to be plated. The present invention relates to a plated product on which an electroless plating layer having excellent adhesion is formed.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来か
ら、ガラス基材や樹脂基材等の非導電性基材などの被め
っき物上に無電解めっき被膜を形成する場合、高い密着
性を有する被膜を得るために、ガラス基材ではクロムス
パッタ及びフッ酸によるエッチングを行った後、一方、
樹脂基材ではアルカリ溶液によるエッチングを行った
後、基材表面に触媒層を形成し、続いて、無電解めっき
を行って被膜を形成していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, when an electroless plating film is formed on an object to be plated such as a non-conductive base material such as a glass base material or a resin base material, high adhesion is required. In order to obtain a film having, after the glass substrate is subjected to chromium sputtering and etching with hydrofluoric acid, on the other hand,
In the resin base material, after etching with an alkaline solution, a catalyst layer was formed on the surface of the base material, and subsequently electroless plating was performed to form a film.

【0003】しかしながら、上記従来法では、有害物質
を使用したスパッタやエッチング処理を必要とするた
め、安全面で問題があるだけでなく、それを含んだ廃液
が多量に発生し、環境面においても問題がある。
However, in the above-mentioned conventional method, since spattering or etching treatment using a harmful substance is required, there is not only a safety problem, but also a large amount of waste liquid containing it is generated, which is also environmentally friendly. There's a problem.

【0004】更に、様々な分野において、被めっき物上
に無電解めっき被膜を形成することで、導電性、防錆
性、耐磨耗性、装飾性、電気めっきの下地などの各種機
能を付与されためっき処理品が開発されているが、上記
エッチング処理等を行っているにもかかわらず、被膜の
被めっき物に対する密着性が依然として不十分であり、
無電解めっき被膜が形成された物品の信頼性も十分では
なかった。そのため、より密着性に優れた被膜を形成で
きる無電解めっき被膜の形成方法及びより密着性に優れ
た無電解めっき被膜が形成されためっき処理品の開発が
望まれていた。
Further, in various fields, by forming an electroless plating film on an object to be plated, various functions such as conductivity, rust prevention, abrasion resistance, decorativeness, and a base for electroplating are imparted. Has been developed, the adhesion of the coating to the object to be plated is still insufficient, despite the above etching treatment,
The reliability of the article on which the electroless plating film was formed was also insufficient. Therefore, it has been desired to develop a method of forming an electroless plating film capable of forming a film having higher adhesiveness and a plated product having the electroless plating film having higher adhesiveness.

【0005】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、エッチング処理を行わなくとも密着性に優れた
被膜を被めっき物上に形成することができる無電解めっ
き被膜の形成方法、及び密着性に優れた無電解めっき被
膜が形成されたより信頼性のあるめっき処理品を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and a method for forming an electroless plating film capable of forming a film having excellent adhesion on an object to be plated without etching treatment, and It is an object of the present invention to provide a more reliable plated product on which an electroless plating film having excellent adhesion is formed.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ね
た結果、被めっき物上に無電解めっきを施す前に、硝酸
イオン、亜鉛イオン、インジウムイオン及びアミンボラ
ンコンプレックスを含有するプレ処理液で処理して無電
解めっき用下地処理層を形成することで、エッチング処
理等を施さなくとも、密着性に優れた無電解めっき被膜
を形成し得ることを見出した。
Means for Solving the Problems and Modes for Carrying Out the Invention As a result of intensive studies for achieving the above-mentioned object, the present inventors have found that nitrate ions are formed before the electroless plating on the object to be plated. An electroless plating film having excellent adhesion even if etching treatment is not performed by forming a base treatment layer for electroless plating by treating with a pretreatment liquid containing a zinc ion, an indium ion, and an amine borane complex. It has been found that can be formed.

【0007】また、被めっき物上に無電解めっき被膜を
形成するための下地処理層として、亜鉛含有水酸化イン
ジウムめっき層を用いることで、密着性に優れた無電解
めっき被膜を形成できることを見出し、本発明を完成し
た。
It has also been found that the use of a zinc-containing indium hydroxide plating layer as a base treatment layer for forming an electroless plating film on an object to be plated makes it possible to form an electroless plating film having excellent adhesion. The present invention has been completed.

【0008】即ち、本発明は、下記無電解めっき被膜の
形成方法及びめっき処理品を提供する。 請求項1:触媒層が形成された被めっき物上に硝酸イオ
ン、亜鉛イオン、インジウムイオン及びアミンボランコ
ンプレックスを含有するプレ処理液を用いて無電解めっ
き用下地処理層を形成した後、水溶性金属塩を含有する
処理液を用いて処理し、続いて、無電解めっき液を用い
て無電解めっき被膜を形成することを特徴とする無電解
めっき被膜の形成方法。 請求項2:前記プレ処理液によるプレ処理後に加熱処理
した後、水溶性金属塩を含有する処理液を用いて処理す
ることを特徴とする請求項1記載の無電解めっき被膜の
形成方法。 請求項3:被めっき物上に無電解めっき用下地処理層、
無電解めっき層の順に積層されためっき処理品であっ
て、上記無電解めっき用下地処理層が、亜鉛含有水酸化
インジウムめっき層であることを特徴とするめっき処理
品。 請求項4:被めっき物上に無電解めっき用下地処理層、
無電解めっき層の順に積層されためっき処理品であっ
て、上記無電解めっき用下地処理層が、亜鉛含有水酸化
インジウムめっき層を加熱処理したものであることを特
徴とするめっき処理品。 請求項5:前記亜鉛含有水酸化インジウムめっき層が、
無電解めっき法で作製されたことを特徴とする請求項3
又は4記載のめっき処理品。
That is, the present invention provides the following method for forming an electroless plating film and a plated product. Claim 1: Water-soluble after forming a base treatment layer for electroless plating using a pre-treatment liquid containing nitrate ions, zinc ions, indium ions and amine borane complex on an object to be plated having a catalyst layer formed thereon. A method for forming an electroless plating film, which comprises performing treatment using a treatment liquid containing a metal salt and subsequently forming an electroless plating film using an electroless plating liquid. [2] The method for forming an electroless plating film according to [1], wherein after the pre-treatment with the pre-treatment liquid, heat treatment is performed and then treatment is performed using a treatment liquid containing a water-soluble metal salt. Claim 3: A base treatment layer for electroless plating on an object to be plated,
A plated product in which an electroless plated layer is laminated in this order, wherein the electroless plated undercoat layer is a zinc-containing indium hydroxide plated layer. Claim 4: A base treatment layer for electroless plating on an object to be plated,
A plated product in which an electroless plated layer is laminated in this order, wherein the electroless plated undercoat layer is a zinc-containing indium hydroxide plated layer subjected to a heat treatment. Claim 5: The zinc-containing indium hydroxide plating layer,
It is produced by an electroless plating method.
Alternatively, the plated product according to item 4.

【0009】以下、本発明について更に詳しく説明す
る。本発明の被めっき物としては、該被めっき物の表面
全体に無電解めっき被膜が形成されるもの、及び該被め
っき物表面の一部に無電解めっき被膜が形成されるもの
が採用できる。上記被めっき物の形状は特に制限はな
く、板状、シート状、粉体等が挙げられる。また、上記
被めっき物の材質は、特に制限はないが、ガラスなどの
セラミック、プラスチックなどの樹脂、ITOなどの酸
化物等、通常無電解めっき被膜との密着性が悪い材質で
ある場合に本発明の効果は顕著となり、他に金属であっ
てもよい。以下、上記被めっき物としてその表面全体に
無電解めっき被膜が形成されるものを採用した場合を例
として本発明を説明するが、これに制限されるものでは
ない。
The present invention will be described in more detail below. As the object to be plated of the present invention, one having an electroless plating film formed on the entire surface of the object to be plated and one having an electroless plating film formed on a part of the surface of the object to be plated can be employed. The shape of the object to be plated is not particularly limited, and examples thereof include a plate shape, a sheet shape, and a powder. The material of the object to be plated is not particularly limited, but when it is a material such as ceramics such as glass, resins such as plastics, oxides such as ITO, etc., which usually have poor adhesion with the electroless plating film, The effect of the invention becomes remarkable, and other metals may be used. Hereinafter, the present invention will be described by taking as an example the case where an electroless plating film is formed on the entire surface of the object to be plated, but the invention is not limited thereto.

【0010】これら被めっき物は、公知の脱脂剤、有機
溶剤等で洗浄し、次いで界面活性剤やシランカップリン
グ剤等の公知の表面調整剤を用いて表面に電荷を付与し
た後、触媒付与処理を行う。
These objects to be plated are washed with a known degreasing agent, an organic solvent or the like, and then a known surface conditioner such as a surfactant or a silane coupling agent is used to impart an electric charge to the surface and then a catalyst is applied. Perform processing.

【0011】上記被めっき物上ヘの触媒の付与方法につ
いては、センシタイジング−アクチベーティング法、ア
ルカリキャタリスト法、キャタライジング−アクセレレ
ーティング法等の水溶液による付与方法、有機金属錯体
を付与した後に熱分解を施す方法、スパッタリング法等
の乾式法等を使用することができる。
Regarding the method of applying the catalyst onto the object to be plated, an aqueous solution application method such as a sensitizing-activating method, an alkaline catalyst method, a catalyzing-accelerating method, or an organometallic complex is applied. Then, a thermal decomposition method, a dry method such as a sputtering method, or the like can be used.

【0012】この場合、センシタイザーとしては、塩化
錫(塩化第1錫)等の水溶性第1錫塩1〜50g/L、
特に5〜30g/L、塩酸等の酸5〜100ml/L、
特に20〜60ml/Lを含有し、pH1〜5、特に
1.5〜3に調整された溶液を用いることが好ましい。
In this case, the sensitizer is a water-soluble stannous salt such as tin chloride (stannous chloride) of 1 to 50 g / L,
Especially 5 to 30 g / L, acid such as hydrochloric acid 5 to 100 ml / L,
It is particularly preferable to use a solution containing 20 to 60 ml / L and adjusted to pH 1 to 5, particularly 1.5 to 3.

【0013】また、アクチベーターとしては、塩化パラ
ジウム等の水溶性パラジウム塩0.01〜1g/L、特
に0.02〜0.5g/L、塩酸等の酸0.01〜1m
l/L、特に0.02〜0.5ml/Lを含有し、pH
1〜5、特に1.5〜3に調整された溶液を用いること
が好ましい。
As the activator, a water-soluble palladium salt such as palladium chloride 0.01 to 1 g / L, particularly 0.02 to 0.5 g / L, an acid such as hydrochloric acid 0.01 to 1 m
1 / L, especially 0.02-0.5 ml / L, pH
It is preferable to use a solution adjusted to 1 to 5, particularly 1.5 to 3.

【0014】一方、キャタリストとしては、塩化錫(塩
化第1錫)等の水溶性第1錫塩10〜100g/L、特
に20〜50g/L、塩化パラジウム等の水溶性パラジ
ウム塩0.01〜1g/L、特に100〜500mg/
Lを含有し、pH1〜5、特に1.5〜3に調整された
溶液であることが好ましい。また、アクセレレーターと
しては、公知のものが用いられる。
On the other hand, as a catalyst, a water-soluble stannous salt such as tin chloride (stannous chloride) is in the range of 10 to 100 g / L, particularly 20 to 50 g / L, and a water-soluble palladium salt such as palladium chloride is 0.01. ~ 1 g / L, especially 100-500 mg /
A solution containing L and adjusted to pH 1 to 5, particularly 1.5 to 3, is preferable. Known accelerators are used as the accelerator.

【0015】処理条件としては、公知の条件が採用され
るが、センシタイジング−アクチベーティング法では、
それぞれ25℃で1分間の浸漬処理を2回繰り返す処
理、キャタライジング−アクセレレーティング法では、
キャタリスト溶液に25℃で10分間浸漬した後、アク
セレレーター溶液に25℃で3分間浸漬することが好ま
しい。
As the processing conditions, known conditions are adopted, but in the sensitizing-activating method,
In the catalyzing-accelerating method, in which the dipping treatment is repeated twice at 25 ° C. for 1 minute each time,
It is preferable to immerse in the catalyst solution at 25 ° C. for 10 minutes and then in the accelerator solution at 25 ° C. for 3 minutes.

【0016】とりわけ、Sn、Ag,Pdを有する触媒
層を形成することが好ましく、水溶液を用いたセンシタ
イジング−銀活性−パラジウム活性による付与方法がそ
の工程や水溶液、処理の条件を制御することにより容易
に適用できる。
In particular, it is preferable to form a catalyst layer containing Sn, Ag, and Pd, and the method of applying sensitizing-silver activity-palladium activity using an aqueous solution controls the steps, aqueous solution, and treatment conditions. Can be applied more easily.

【0017】上記センシタイジング溶液としては、例え
ば、SnCl2,SnSO4等の2価の錫塩を塩酸、硫酸
等の酸溶液に溶解した、2価の錫イオンを1〜50g/
L含有し、pH0.1〜1.5程度の酸性溶液を使用
し、該溶液に上記被めっき物を10〜60℃で10秒〜
5分間浸漬処理し、次いで、銀イオンを含有する活性化
剤としては、例えば、銀イオンが0.0001〜0.5
mol/Lであるものを用い、pHは5〜11とし、液
温を15〜60℃として、上記被めっき物を10秒〜5
分間浸漬処理すればよい。
Examples of the sensitizing solution include divalent tin ions such as SnCl 2 and SnSO 4 dissolved in an acid solution such as hydrochloric acid and sulfuric acid in an amount of 1 to 50 g / divalent tin ion.
An acidic solution containing L and having a pH of about 0.1 to 1.5 is used, and the object to be plated is added to the solution at 10 to 60 ° C. for 10 seconds to
The immersion treatment is carried out for 5 minutes, and the silver ion-containing activator is, for example, silver ion 0.0001 to 0.5.
Mol / L is used, pH is set to 5 to 11, liquid temperature is set to 15 to 60 ° C., and the plated object is set to 10 seconds to 5 seconds.
Immersion treatment may be performed for a minute.

【0018】パラジウムを含有する活性化剤としては、
PdCl2,PdSO4等の2価のパラジウム塩を塩酸、
硫酸等の酸溶液に溶解し、2価のPdイオンを0.01
〜1g/L含有し、pHが1〜3である溶液を使用し、
10〜60℃で1秒〜5分間浸漬処理することが好まし
い。長時間浸漬しすぎると、Pd核が凝集し、塊粒化が
生じるおそれがある。
As the activator containing palladium,
Divalent palladium salts such as PdCl 2 and PdSO 4 are added with hydrochloric acid,
Dissolve in an acid solution such as sulfuric acid and add divalent Pd ion to 0.01
Using a solution containing ~ 1 g / L and having a pH of 1-3,
It is preferable to perform the immersion treatment at 10 to 60 ° C. for 1 second to 5 minutes. If it is soaked for too long, Pd nuclei may be aggregated and agglomerated.

【0019】本発明においては、このように被めっき物
表面上にSn,Ag,Pdを、Sn:Ag:Pd=(1
〜10):(1〜10):(1〜10)の重量割合で付
与することが推奨され、特に水溶液による付与方法の場
合、微細な触媒核を高密度で得ることを考慮すると、好
ましくはSn:Ag:Pd=(1〜5):(1〜5):
(1〜5)、更に好ましくはSn:Ag:Pd=(1〜
4):(1〜3):(1〜2)の範囲とし、かつ、Sn
≧Ag≧Pdとすることが望ましい。
In the present invention, Sn, Ag, and Pd are thus deposited on the surface of the object to be plated, Sn: Ag: Pd = (1
-10): (1-10): (1-10) is recommended to be applied in a weight ratio. Particularly, in the case of an application method using an aqueous solution, considering that fine catalyst nuclei are obtained at a high density, it is preferable. Sn: Ag: Pd = (1-5) :( 1-5):
(1-5), more preferably Sn: Ag: Pd = (1
4) :( 1-3) :( 1-2), and Sn
It is desirable that ≧ Ag ≧ Pd.

【0020】また、センシタイジング処理とAg活性化
処理によりSn:Ag=3:2程度に付与させることに
より、微細な触媒核を高密度に付与させることができ
る。更に、その後に付与させるPdの割合としても、特
に、AgよりもPdの割合が少ない方が好ましく、A
g:Pd=2:1程度とすることがよく、この比率より
もPdが多いと粒子径が大きくなる可能性が高くなる。
なお、Pdが少なすぎると無電解めっきの触媒としての
機能が低下する。即ち、Sn:Ag:Pd=3:2:1
付近が微細な触媒核を高密度で得るための最適条件であ
る。
Further, by applying sensitizing treatment and Ag activating treatment to about Sn: Ag = 3: 2, fine catalyst nuclei can be imparted at high density. Further, as the ratio of Pd to be applied after that, it is particularly preferable that the ratio of Pd is smaller than Ag.
It is preferable that g: Pd = 2: 1 or so, and if Pd is larger than this ratio, the particle size is likely to be large.
If the amount of Pd is too small, the function as a catalyst for electroless plating deteriorates. That is, Sn: Ag: Pd = 3: 2: 1
The vicinity is the optimum condition for obtaining fine catalyst nuclei at a high density.

【0021】ここで、上述のような最適条件とするに
は、センシタイジング−銀活性−パラジウム活性を1つ
の工程として、複数回繰り返すことが好ましく、これに
よって微細な触媒核を高密度に付与することができる。
Here, in order to obtain the optimum conditions as described above, it is preferable to repeat sensitizing-silver activity-palladium activity a plurality of times as one step, whereby fine catalyst nuclei are provided at high density. can do.

【0022】この理由については定かではないが、まず
センシタイジング−銀活性−パラジウム活性を1回行う
ことにより、非常に微細な触媒核が形成され、上記工程
を繰り返すことによって、最初に付与された触媒核を中
心に高密度に触媒核が形成されるためであると考えられ
る。
Although the reason for this is not clear, very fine catalyst nuclei are formed by first performing sensitizing-silver activity-palladium activity once, and then it is first provided by repeating the above steps. It is considered that this is because the catalyst nuclei are formed at a high density around the catalyst nuclei.

【0023】このため、ガラスや樹脂といった通常触媒
粒子が付着しにくい材質である被めっき物上にも、多く
の触媒粒子を付着でき、後続のプレ処理による下地処理
層形成を確実に行うことができる。
Therefore, a large amount of catalyst particles can be deposited even on the object to be plated, which is a material such as glass or resin to which normal catalyst particles are difficult to deposit, and the subsequent pretreatment can surely form the undercoat layer. it can.

【0024】なお、センシタイジング−パラジウム活性
法、センシタイジング−銀活性法を用いる場合において
も、上記と同様のことがいえる。
The same applies to the cases where the sensitizing-palladium activation method and the sensitizing-silver activation method are used.

【0025】Sn,Ag,Pdを上記範囲とすることに
より、触媒核粒子を1500核/μm2以上、好ましく
は2000核/μm2以上、更に好ましくは2500核
/μm 2以上、特には3000核/μm2以上の核密度と
することができる。
Setting Sn, Ag, and Pd within the above range
From 1500 nuclei / μm2Or more, preferably
Is 2000 nuclei / μm2Above, more preferably 2500 nuclei
/ Μm 2Above, especially 3000 nuclei / μm2With the above nuclear density
can do.

【0026】この場合、高密度Pd核分散層は、平均表
面粗さが0.5nm以下、特に0.3nm以下とするこ
とができ、また、触媒核粒子径は2nm以下、好ましく
は1.5nm以下、更に好ましくは1nm以下とするこ
とができ、高密度で緻密な層を形成し得る。このような
高密度Pd核分散層を、無電解めっき用下地処理層の触
媒層として利用する場合には、触媒核の粒子径を0.0
3nm以上とすることが好ましい。
In this case, the high density Pd nucleus dispersion layer can have an average surface roughness of 0.5 nm or less, particularly 0.3 nm or less, and a catalyst nucleus particle diameter of 2 nm or less, preferably 1.5 nm. The thickness is more preferably 1 nm or less, and a dense and dense layer can be formed. When such a high-density Pd nucleus dispersion layer is used as the catalyst layer of the undercoat layer for electroless plating, the particle size of the catalyst nucleus is 0.0
It is preferably 3 nm or more.

【0027】なお、上記核密度、平均粗さ、平均粒子径
は、AFM(原子間力顕微鏡)観察により測定でき、S
n,Ag,Pdの重量割合は、ICP(誘導結合プラズ
マ発光分光分析装置)にて分析できる。
The nucleus density, average roughness, and average particle size can be measured by AFM (atomic force microscope) observation.
The weight ratio of n, Ag, and Pd can be analyzed by ICP (inductively coupled plasma optical emission spectroscopy analyzer).

【0028】本発明においては、このように被めっき物
上に、触媒層を形成した後、後述するようなプレ処理液
を用いる等して、当該触媒層上に亜鉛含有水酸化インジ
ウムめっき層を無電解めっき用下地処理層として形成
し、その後水溶性金属塩を含有してなる処理液を用いて
処理し、続いて、無電解めっき液を用いて無電解めっき
被膜を形成するものである。
In the present invention, after the catalyst layer is formed on the object to be plated in this way, a zinc-containing indium hydroxide plating layer is formed on the catalyst layer by using a pretreatment liquid as described later. It is formed as a base treatment layer for electroless plating, and then treated with a treatment solution containing a water-soluble metal salt, and subsequently, an electroless plating film is formed using the electroless plating solution.

【0029】この亜鉛含有水酸化インジウムめっき層で
は、層中の全てのインジウムが水酸化インジウムとして
存在していなくてもよく、一部のインジウムは金属、酸
化物やその他の化合物、亜鉛との合金などとして存在し
ていてもよい。また、水酸化インジウムも水酸化インジ
ウムのみで構成されたものに限らず、水酸化インジウム
と他の化合物が結合したものでもよい。一方、亜鉛は、
亜鉛元素を含有していればよいことを意味しており、金
属、水酸化物や酸化物又はその他の化合物、インジウム
との合金として含有されていてもよい。これらは、無電
解めっき用下地処理層をX線回折法やX線光電子光分法
(XPS)などによって測定することでわかる。ここ
で、本発明においては、無電解めっき用下地処理層とな
る水酸化インジウムめっき層中に、亜鉛が含有されてい
ることが重要である。亜鉛が存在しない場合には、無電
解めっき被膜の形成時に、被膜の析出速度が遅くなり、
また、形成された無電解めっき被膜の密着性が悪くなる
おそれがある。
In this zinc-containing indium hydroxide plating layer, not all of the indium in the layer may be present as indium hydroxide, but some of the indium is a metal, oxide or other compound, or an alloy with zinc. And so on. Further, the indium hydroxide is not limited to one composed only of indium hydroxide, and may be one in which indium hydroxide and another compound are bonded. On the other hand, zinc is
It means that the element zinc should be contained, and it may be contained as a metal, a hydroxide or an oxide or other compound, or an alloy with indium. These can be understood by measuring the undercoat layer for electroless plating by an X-ray diffraction method, an X-ray photoelectron light splitting method (XPS), or the like. Here, in the present invention, it is important that zinc is contained in the indium hydroxide plating layer which is the undercoating layer for electroless plating. When zinc is not present, the deposition rate of the electroless plating film becomes slower during formation,
Further, the formed electroless plating film may have poor adhesion.

【0030】この亜鉛含有水酸化インジウムめっき層に
含有される亜鉛の量としては、インジウムよりも少なけ
ればよいが、亜鉛が多すぎると、後述する無電解めっき
被膜の形成に用いる無電解めっき液中の錯化剤等によっ
て亜鉛が侵食され、形成された無電解めっき被膜の密着
性が悪くなるおそれがある。亜鉛含有水酸化インジウム
めっき層中のインジウム及び亜鉛の量は、原子吸光法な
どで測定することができる。
The amount of zinc contained in the zinc-containing indium hydroxide plating layer may be smaller than that of indium. There is a possibility that zinc will be eroded by the complexing agent and the like and the adhesion of the formed electroless plating film will deteriorate. The amounts of indium and zinc in the zinc-containing indium hydroxide plating layer can be measured by an atomic absorption method or the like.

【0031】亜鉛含有水酸化インジウムめっき層を形成
する方法としては、スパッタリング法等の乾式めっき法
も採用できるが、経済性、生産性及び被膜の密着性の面
から湿式めっき法、特に無電解めっき法、更に好ましく
は浸漬無電解めっき法を採用することが好ましい。な
お、乾式めっき法を用いる場合は、上述の触媒層の形成
を行わなくてもよい。
As a method for forming the zinc-containing indium hydroxide plating layer, a dry plating method such as a sputtering method can be adopted, but from the aspects of economical efficiency, productivity and adhesion of the coating, a wet plating method, particularly electroless plating is used. It is preferable to adopt the dipping electroless plating method. When the dry plating method is used, it is not necessary to form the above catalyst layer.

【0032】無電解めっき法で形成する場合、既に述べ
た方法によって被めっき物上に触媒層を形成した後、硝
酸イオン、亜鉛イオン、インジウムイオン及びアミンボ
ランコンプレックスを含有するプレ処理液を用いて処理
すればよい。
When the electroless plating method is used, a catalyst layer is formed on the object to be plated by the method described above, and then a pretreatment liquid containing nitrate ions, zinc ions, indium ions and amine borane complex is used. Just process it.

【0033】ここで、硝酸イオン、亜鉛イオン、インジ
ウムイオン及びアミンボランコンプレックスを含有する
プレ処理液としては、これらの各成分を含むものであれ
ば特に限定されるものではないが、亜鉛イオンを0.0
01〜5mol/L、特に0.05〜0.5mol/
L、インジウムイオンを0.00001〜0.1mol
/L、特に0.0001〜0.01mol/L、ジメチ
ルアミンボラン等のアミンボランコンプレックスを0.
0001〜1mol/L、特に0.001〜0.1mo
l/L含有する、pH2〜7、特に3〜6の処理液を好
適に用いることができる。この場合、硝酸イオン濃度
は、0.001〜5mol/L、特に0.01〜1mo
l/Lとなる。
The pretreatment liquid containing nitrate ion, zinc ion, indium ion and amine borane complex is not particularly limited as long as it contains each of these components, but zinc ion is 0 .0
01-5 mol / L, especially 0.05-0.5 mol / L
L, indium ion 0.00001-0.1 mol
/ L, in particular 0.0001 to 0.01 mol / L, and an amine borane complex such as dimethylamine borane to 0.
0001 to 1 mol / L, especially 0.001 to 0.1 mo
A treatment liquid containing 1 / L and having a pH of 2 to 7, particularly 3 to 6, can be preferably used. In this case, the nitrate ion concentration is 0.001 to 5 mol / L, particularly 0.01 to 1 mo.
It becomes 1 / L.

【0034】上記亜鉛イオンやインジウムイオンを供給
するものとしては、これらの硝酸塩や硫酸塩等、制限は
ないが、亜鉛イオンやインジウムイオンを硫酸塩などで
添加する場合、硝酸カリウムや硝酸ナトリウムなどで硝
酸イオンを上記範囲となるように調整する。
The zinc ion and indium ion may be supplied by any of these nitrates and sulfates. However, when zinc ion or indium ion is added as a sulfate, nitric acid such as potassium nitrate or sodium nitrate is added. Ions are adjusted to fall within the above range.

【0035】ここで、上記プレ処理液中の亜鉛イオン濃
度が0.001mol/Lよりも低い場合、及びインジ
ウムイオン濃度が0.1mol/Lよりも高い場合に
は、形成される下地処理層に亜鉛が共析しないおそれが
あり、無電解めっき被膜の密着性が悪くなるおそれがあ
る。また、インジウムイオン濃度が0.00001mo
l/Lよりも低いと、下地処理層中にインジウムの共析
が十分とならず、無電解めっき被膜の密着性が悪くなる
おそれがある。
Here, when the zinc ion concentration in the pretreatment liquid is lower than 0.001 mol / L and the indium ion concentration is higher than 0.1 mol / L, the formed undercoat layer is formed. Zinc may not be co-deposited, and the adhesion of the electroless plating film may be deteriorated. In addition, the indium ion concentration is 0.00001mo
When it is lower than 1 / L, indium is not sufficiently codeposited in the undercoat layer, and the adhesion of the electroless plating film may be deteriorated.

【0036】そして、該処理液中に、上記被めっき物を
50〜90℃、特に60〜85℃で、1分以上、特に1
0分以上浸漬して処理を行えばよい。処理時間の上限は
特に限定されないが、通常90分以下、特に60分以下
である。
Then, the object to be plated is placed in the treatment liquid at 50 to 90 ° C., particularly 60 to 85 ° C. for 1 minute or more, especially 1
The treatment may be performed by immersing it for 0 minutes or more. The upper limit of the treatment time is not particularly limited, but is usually 90 minutes or less, and particularly 60 minutes or less.

【0037】なお、上記無電解めっき法で形成した亜鉛
含有水酸化インジウムめっき層は、厚さは特に制限はな
く、通常、厚さ0.01〜1μm、特に0.1〜0.5
μmであり、例えば、厚さ0.2μm程度とすることが
できる。また、上記亜鉛含有水酸化インジウムめっきに
おいて、インジウムや亜鉛が被膜として析出しているの
か、結晶粒子が密集した結果としての被膜様として析出
しているのか、あるいは他の状態での析出なのかは不明
であるが、図1に示すように、被めっき物上の無電解め
っき被膜を形成する部分を実質的に覆っていればよく、
また断面としても実質的に層状と確認できればよい。
The thickness of the zinc-containing indium hydroxide plating layer formed by the above electroless plating method is not particularly limited and is usually 0.01 to 1 μm, particularly 0.1 to 0.5.
The thickness can be about 0.2 μm, for example. Further, in the above zinc-containing indium hydroxide plating, whether indium or zinc is deposited as a coating, whether it is deposited as a coating as a result of dense crystal grains, or is it deposited in another state? Although it is unknown, as shown in FIG. 1, it suffices if it substantially covers the portion of the object to be plated that forms the electroless plating film,
Also, the cross section may be substantially layered.

【0038】更に、本発明の亜鉛含有水酸化インジウム
めっき層を形成した後、大気中又は窒素雰囲気下、20
0〜400℃で5〜30分間加熱処理してもよい。この
加熱処理を行った場合、亜鉛含有水酸化インジウムめっ
き層中の水酸化インジウムは、一部又は全部が酸化イン
ジウムに変化するが、当該亜鉛含有水酸化インジウムめ
っき層に加熱処理を行った無電解めっき用下地処理層
も、亜鉛含有水酸化インジウム層と同様に密着性に優れ
た無電解めっき被膜を形成することができる。
Further, after the zinc-containing indium hydroxide plating layer of the present invention is formed, it is exposed to 20 atmospheres or nitrogen atmosphere.
You may heat-process at 0-400 degreeC for 5 to 30 minutes. When this heat treatment is performed, the indium hydroxide in the zinc-containing indium hydroxide plating layer is partially or wholly converted to indium oxide, but the zinc-containing indium hydroxide plating layer is subjected to the heat treatment without electrolysis. Also in the undercoating layer for plating, it is possible to form an electroless plating film having excellent adhesion as in the zinc-containing indium hydroxide layer.

【0039】上記硝酸イオン、亜鉛イオン、インジウム
イオン及びアミンボランコンプレックスを含有するプレ
処理液で処理され、亜鉛含有水酸化インジウムめっき層
(無電解めっき用下地処理層)が形成された被めっき物
は、水溶性金属塩を含有する処理液で処理する。この場
合、この処理液としては、無電解めっき膜を形成可能な
触媒金属層を形成できる金属の塩を含む処理液であれ
ば、特に限定されるものではなく、コロイドタイプのも
のも使用できる。
An object to be plated on which a zinc-containing indium hydroxide plating layer (primary treatment layer for electroless plating) is formed by treatment with a pretreatment liquid containing the above nitrate ions, zinc ions, indium ions and amine borane complex is formed. , A treatment liquid containing a water-soluble metal salt. In this case, the treatment liquid is not particularly limited as long as it is a treatment liquid containing a metal salt capable of forming a catalytic metal layer capable of forming an electroless plated film, and a colloid type can also be used.

【0040】具体的な水溶性金属塩としては、塩化パラ
ジウム等の水溶性Pd塩、塩化銀等の水溶性Ag塩、硝
酸銅等の水溶性Cu塩、塩化白金酸等の水溶性Pt塩等
が挙げられ、中でも水溶性Pd塩を好適に用いることが
できる。
Specific water-soluble metal salts include water-soluble Pd salts such as palladium chloride, water-soluble Ag salts such as silver chloride, water-soluble Cu salts such as copper nitrate, and water-soluble Pt salts such as chloroplatinic acid. Among these, water-soluble Pd salt can be preferably used.

【0041】上記処理液中の水溶性金属塩の濃度は、
0.01〜1g/L、特に0.05〜0.5g/Lであ
ることが好ましく、この場合、水溶液のpHは1〜5、
特に2〜4であることが好ましい。
The concentration of the water-soluble metal salt in the treatment liquid is
It is preferably 0.01 to 1 g / L, particularly 0.05 to 0.5 g / L, in which case the pH of the aqueous solution is 1 to 5,
It is particularly preferably 2 to 4.

【0042】この処理液への浸漬工程は、上述のプレ処
理液で処理した被めっき物を、室温〜80℃、特に25
〜60℃に調整した水溶性金属塩を含有する処理液に、
15秒〜5分、特に15秒〜1分浸漬すればよい。な
お、この処理液での処理法は上記浸漬法以外でもよく、
スプレー法、塗布法が採用できる。
In the dipping step in this treatment liquid, the object to be plated treated with the above-mentioned pretreatment liquid is at room temperature to 80 ° C., especially 25
To a treatment liquid containing a water-soluble metal salt adjusted to -60 ° C,
Immersion may be performed for 15 seconds to 5 minutes, especially 15 seconds to 1 minute. The treatment method with this treatment liquid may be other than the above-mentioned immersion method,
A spray method or a coating method can be adopted.

【0043】前述のようにしてプレ処理液での処理後に
触媒金属層を形成した被めっき物に、無電解めっきを施
すこととなるが、この場合の条件は特に限定されるもの
ではなく、通常行われるめっき条件を用いることができ
る。また、めっき金属も特に限定されるものではなく、
例えば、無電解Cu被膜、無電解Ni−P被膜、無電解
Ni−B被膜、無電解Ag被膜、無電解Au被膜、無電
解Co被膜、各種無電解合金被膜、共析被膜等を適宜選
択して使用することができる。
The object to be plated on which the catalytic metal layer is formed after the treatment with the pretreatment liquid as described above is subjected to electroless plating, but the conditions in this case are not particularly limited, and are usually The plating conditions used can be used. Also, the plating metal is not particularly limited,
For example, an electroless Cu coating, an electroless Ni-P coating, an electroless Ni-B coating, an electroless Ag coating, an electroless Au coating, an electroless Co coating, various electroless alloy coatings, an eutectoid coating, etc. are appropriately selected. Can be used.

【0044】一例を挙げると、無電解Cuめっき被膜を
形成する場合、硫酸銅等の水溶性銅塩0.01〜0.5
mol/L、特に0.03〜0.1mol/L、ホルム
アルデヒド等の還元剤0.1〜1mol/L、特に0.
3〜0.8mol/L、EDTA等の錯化剤0.01〜
1mol/L、特に0.05〜0.5mol/Lを含有
し、pH9〜14、特に10〜13に調整した溶液に、
30〜70℃で5〜60分浸漬する方法を採用すること
ができる。
As an example, when forming an electroless Cu plating film, a water-soluble copper salt such as copper sulfate 0.01 to 0.5 is used.
mol / L, especially 0.03 to 0.1 mol / L, a reducing agent such as formaldehyde 0.1 to 1 mol / L, especially 0.1.
3 to 0.8 mol / L, complexing agent such as EDTA 0.01 to
A solution containing 1 mol / L, particularly 0.05 to 0.5 mol / L, and adjusted to pH 9 to 14, particularly 10 to 13,
A method of immersing at 30 to 70 ° C. for 5 to 60 minutes can be adopted.

【0045】更に、無電解めっき被膜上に、更に電気め
っきを施すこともでき、この場合も、基材と無電解めっ
き層との密着性を良好に保つことができる。
Further, the electroless plating film may be further electroplated, and in this case also, good adhesion between the base material and the electroless plating layer can be maintained.

【0046】この場合、電気めっきを行う条件として
は、硫酸銅等の水溶性銅塩0.1〜0.5mol/L、
特に0.2〜0.4mol/L、硫酸等の酸1.5〜3
mol/Lを含有し、pH0.1〜2の溶液に浸漬し、
20〜30℃、陰極電流密度1〜4A/dm2、特に2
〜3A/dm2で5〜60分電解する方法を採用するこ
とができる。
In this case, the conditions for electroplating are 0.1 to 0.5 mol / L of water-soluble copper salt such as copper sulfate,
Especially 0.2 to 0.4 mol / L, acid such as sulfuric acid 1.5 to 3
containing mol / L, immersed in a solution of pH 0.1-2,
20 to 30 ° C., cathode current density 1 to 4 A / dm 2 , particularly 2
A method of electrolyzing at 3 A / dm 2 for 5 to 60 minutes can be adopted.

【0047】上述のように処理して被めっき物上に形成
された無電解めっき被膜は、密着性に優れている。ま
た、レジストでマスキングしたり、触媒層を感光パター
ニングするなどして、被めっき物の表面の一部に無電解
めっき被膜を形成する場合にも、無電解めっき被膜と被
めっき物との密着性は優れている。そのため、本発明の
めっき処理品は、めっき被膜の剥離が可及的に防止さ
れ、無電解めっき被膜によって各種機能を付与しためっ
き製品や部品、あるいはその材料として有効に用いるこ
とができる。例えば、プラスチック上へ金めっき等の貴
金属めっきを行う装飾めっき製品又はその材料、銅めっ
き配線が施されたガラス基板や銅めっき配線が施された
プリント基板などの電子部品又はその材料などに有効に
用いることができる。
The electroless plating film formed on the object to be plated by the above-mentioned treatment has excellent adhesion. Also, when forming an electroless plating film on a part of the surface of the object to be plated by masking with a resist or photosensitive patterning of the catalyst layer, the adhesion between the electroless plating film and the object to be plated Is excellent. Therefore, the plated product of the present invention can be effectively used as a plated product or part having various functions provided by the electroless plating film, or a material thereof, in which peeling of the plating film is prevented as much as possible. For example, it is effective for decorative plated products or their materials that perform precious metal plating such as gold plating on plastics, electronic components such as glass substrates with copper-plated wiring or printed boards with copper-plated wiring, or their materials. Can be used.

【0048】[0048]

【実施例】以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を
より具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限
されるものではない。 [1]触媒付与 [実施例1〜3、比較例1〜3]被めっき物としてソー
ダライムガラスを用い、下記の工程で触媒を付与した被
めっき物に被膜形成を行った。 i.脱脂・表面調整 下記表面調整剤溶液に50℃で5分間浸漬処理した。 アサヒクリーナーC−4000(上村工業(株)製)
50g/L ii.水洗 25℃,15秒間 iii.センシタイジング 下記のセンシタイジング溶液に20℃で1分間浸漬し
た。 塩化錫 15g/L 塩酸 45mL/L pH 1.5 iv.水洗 25℃,15秒間 v.触媒付与 下記のパラジウム活性化溶液に20℃で1分間浸漬し
た。 塩化パラジウム 0.15g/L 塩酸 0.15mL/L pH 2.8 vi.水洗 25℃,15秒間 なお、実施例3では、上記iii〜viの操作を2回繰
り返した。また、比較例1では、触媒付与の前に、フッ
酸によるエッチング処理を行った。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. [1] Application of catalyst [Examples 1 to 3, Comparative Examples 1 to 3] Soda lime glass was used as the object to be plated, and a film was formed on the object to be plated with the catalyst in the following steps. i. Degreasing / Surface Conditioning It was immersed in the following surface conditioner solution at 50 ° C. for 5 minutes. Asahi Cleaner C-4000 (manufactured by Uemura Industry Co., Ltd.)
50 g / L ii. Rinse with water at 25 ° C. for 15 seconds iii. Sensitizing It was immersed in the following sensitizing solution at 20 ° C. for 1 minute. Tin chloride 15 g / L hydrochloric acid 45 mL / L pH 1.5 iv. Washing with water 25 ° C, 15 seconds v. Catalytic Immersion It was immersed in the following palladium activating solution at 20 ° C. for 1 minute. Palladium chloride 0.15 g / L hydrochloric acid 0.15 mL / L pH 2.8 vi. Washing with water, 25 ° C., 15 seconds In Example 3, the operations of iii to vi were repeated twice. In addition, in Comparative Example 1, etching treatment with hydrofluoric acid was performed before applying the catalyst.

【0049】[実施例4〜6]被めっき物としてソーダ
ライムガラスを用い、下記の工程で触媒を付与した被め
っき物に被膜形成を行った。 i.脱脂・表面調整 下記表面調整剤溶液に50℃で5分間浸漬処理した。 アサヒクリーナーC−4000(上村工業(株)製)
50g/L ii.水洗 25℃,15秒間 iii.センシタイジング 下記のセンシタイジング溶液に20℃で1分間浸漬し
た。 塩化錫 15g/L 塩酸 45mL/L pH 1.5 iv.水洗 25℃,15秒間 v.触媒付与 下記の銀活性化溶液に20℃で1分間浸漬した。 硝酸銀 0.96g/L pH 7.0 vi.水洗 25℃,15秒間 vii.触媒付与 下記のパラジウム活性化溶液に20℃で1分間浸漬し
た。 塩化パラジウム 0.15g/L 塩酸 0.15mL/L pH 2.8 viii.水洗 25℃,15秒間 上記iii〜viiiの操作を2回繰り返した。
[Examples 4 to 6] Soda lime glass was used as the object to be plated, and a film was formed on the object to be plated with the catalyst in the following steps. i. Degreasing / Surface Conditioning It was immersed in the following surface conditioner solution at 50 ° C. for 5 minutes. Asahi Cleaner C-4000 (manufactured by Uemura Industry Co., Ltd.)
50 g / L ii. Rinse with water at 25 ° C. for 15 seconds iii. Sensitizing It was immersed in the following sensitizing solution at 20 ° C. for 1 minute. Tin chloride 15 g / L hydrochloric acid 45 mL / L pH 1.5 iv. Washing with water 25 ° C, 15 seconds v. Catalysis Addition The above silver activating solution was dipped at 20 ° C. for 1 minute. Silver nitrate 0.96 g / L pH 7.0 vi. Rinse with water at 25 ° C for 15 seconds vii. Catalytic Immersion It was immersed in the following palladium activating solution at 20 ° C. for 1 minute. Palladium chloride 0.15 g / L hydrochloric acid 0.15 mL / L pH 2.8 viii. The above operation of iii to viii was repeated twice at 25 ° C. for 15 seconds.

【0050】[2]プレ処理 [実施例1〜6、比較例2,3]上述のように触媒付与
を行った被めっき物を、表1に示されるプレ処理液(水
溶液)に80℃で20分間浸漬した。なお、比較例1で
は、プレ処理を行わなかった。また、実施例6では、プ
レ処理後、大気中300℃で10分間加熱処理を行っ
た。
[2] Pretreatment [Examples 1 to 6, Comparative Examples 2 and 3] The pretreated liquid (aqueous solution) shown in Table 1 was treated with the catalyst-added object to be plated at 80 ° C. It was immersed for 20 minutes. In Comparative Example 1, no pretreatment was performed. In Example 6, after the pretreatment, heat treatment was performed at 300 ° C. for 10 minutes in the atmosphere.

【0051】実施例1〜6及び比較例2,3の無電解め
っき用下地処理層をX線回折、原子吸光で測定した結果
を併せて表2に示す。また、図1に実施例1に係る下地
処理層のSEM写真、図2に比較例2に係る下地処理層
のSEM写真を示す。
Table 2 also shows the results of measurement of the underlayers for electroless plating of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 2 and 3 by X-ray diffraction and atomic absorption. Further, FIG. 1 shows a SEM photograph of the base treatment layer according to Example 1, and FIG. 2 shows a SEM photograph of the base treatment layer according to Comparative Example 2.

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】[3]Pd吸着 [実施例1〜6、比較例2,3]上述のようにプレ処理
を行った被めっき物を、塩化パラジウム0.15g/
L、塩酸0.15mL/L、pH3.0の処理液(水溶
液)に、25℃で30秒間浸漬し、Pd吸着を行った。
なお、比較例1では、このPd吸着処理は行わなかっ
た。
[3] Pd adsorption [Examples 1 to 6, Comparative Examples 2 and 3] Palladium chloride 0.15 g /
L, hydrochloric acid 0.15 mL / L, a treatment solution (aqueous solution) of pH 3.0 was immersed at 25 ° C. for 30 seconds to adsorb Pd.
In Comparative Example 1, this Pd adsorption treatment was not performed.

【0054】[4]無電解めっき [実施例1〜6、比較例1〜3]下記組成のCuめっき
溶液に60℃で20分間浸漬し、無電解Cuめっきを行
った。 めっき溶液組成: 硫酸銅 0.06mol/L EDTA 0.12mol/L HCHO 0.5mol/L pH 12.5
[4] Electroless Plating [Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3] Electroless Cu plating was performed by immersing in a Cu plating solution having the following composition for 20 minutes at 60 ° C. Plating solution composition: Copper sulfate 0.06 mol / L EDTA 0.12 mol / L HCHO 0.5 mol / L pH 12.5

【0055】[5]電気めっき、加熱処理 [実施例2〜4]実施例2〜4について、上述のように
無電解Cuめっき被膜が形成された被めっき物を、スル
カップAC−90(上村工業(株)製)に浸漬し、25
℃、2A/dm2、50分の条件で電気Cuめっきを施
した後、250℃で30分間加熱処理を行った。
[5] Electroplating, heat treatment [Examples 2 to 4] In Examples 2 to 4, the object to be plated on which the electroless Cu plating film was formed as described above was used as a through cup AC-90 (Uemura Kogyo). 25)
After Cu electroplating was performed under conditions of 50 ° C., 2 A / dm 2 for 30 minutes, heat treatment was performed for 30 minutes at 250 ° C.

【0056】上記各実施例及び比較例で得られた無電解
めっき被膜について、被めっき物と被膜との密着性につ
いて評価した。結果を表2に示す。
With respect to the electroless plated coatings obtained in each of the above Examples and Comparative Examples, the adhesion between the object to be plated and the coating was evaluated. The results are shown in Table 2.

【0057】なお、密着性評価は、2mm間隔に碁盤目
状にクロスカットした後、3M社製スコッチテープを用
いて引き剥がしテストを実施し、被膜の剥離の有無を目
視で確認した。 ○:被膜の剥離は観察されなかった。 ×:被膜の剥離が観察された。
The adhesion was evaluated by cross-cutting at intervals of 2 mm in a grid pattern and then using a 3M Scotch tape to perform a peeling test to visually confirm the peeling of the coating. ◯: No peeling of the coating was observed. X: Peeling of the film was observed.

【0058】[0058]

【表2】 [Table 2]

【0059】表2に示されるように、実施例1〜6の無
電解めっき用下地処理層は、亜鉛含有水酸化インジウム
めっき層、又は熱処理により水酸化インジウムが酸化イ
ンジウムに変化した亜鉛含有酸化インジウムめっき層で
あるため、その上に形成された無電解Cu被膜は、被め
っき物との密着性に優れていることがわかる。また、無
電解Cuめっき被膜表面上に電気めっき被膜を形成した
場合においても、被膜と被めっき物との密着性を維持で
きていることがわかる。
As shown in Table 2, the electroless plating undercoat layers of Examples 1 to 6 were zinc-containing indium hydroxide plating layers or zinc-containing indium oxide in which indium hydroxide was changed to indium oxide by heat treatment. Since it is a plating layer, it can be seen that the electroless Cu coating formed thereon has excellent adhesion to the object to be plated. Further, it is found that even when the electroplating film is formed on the surface of the electroless Cu plating film, the adhesion between the film and the object to be plated can be maintained.

【0060】一方、比較例1では、予め被めっき物にエ
ッチング処理を行っているが、プレ処理を行わず無電解
めっき用下地処理層を形成していないため、各実施例と
比べ密着性が悪化していることがわかる。また、比較例
2においては、無電解めっき用下地処理層である水酸化
インジウムめっき層でないため、また、比較例3におい
ては、無電解めっき用下地処理層である水酸化インジウ
ムめっき層中に亜鉛が含有されていないため、各実施例
よりも密着性が劣ることがわかる。
On the other hand, in Comparative Example 1, the object to be plated was previously subjected to etching treatment, but the pretreatment was not performed and the undercoating layer for electroless plating was not formed. You can see that it is getting worse. Further, in Comparative Example 2, the indium hydroxide plating layer which is the base treatment layer for electroless plating is not used, and in Comparative Example 3, zinc is contained in the indium hydroxide plating layer which is the base treatment layer for electroless plating. It can be seen that the adhesiveness is inferior to that of each of the Examples, since the alloy does not contain any of.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
触媒層が形成された被めっき物上に硝酸イオン、亜鉛イ
オン、インジウムイオン及びアミンボランコンプレック
スを含有するプレ処理液で処理して無電解めっき用下地
処理層として亜鉛含有水酸化インジウムめっき層を形成
した後に、無電解めっきを行い被膜を形成しているた
め、予め被めっき物にエッチング処理を行わなくとも、
被めっき物との密着性に優れた被膜を形成できる。ま
た、被めっき物との密着性が優れた無電解めっき被膜
(層)が形成できるため、本発明によって得られるめっ
き処理品は、めっき被膜の剥離を可及的に防止でき、各
種めっき製品やその材料として有効に用いることができ
る。
As described above, according to the present invention,
A zinc-containing indium hydroxide plating layer is formed as a pretreatment layer for electroless plating by treating with a pretreatment liquid containing nitrate ions, zinc ions, indium ions and amine borane complex on the object to be plated on which the catalyst layer has been formed. After that, since electroless plating is performed to form a coating, it is possible to perform etching treatment on the object to be plated in advance.
It is possible to form a film having excellent adhesion to the object to be plated. Further, since the electroless plating film (layer) having excellent adhesion to the object to be plated can be formed, the plated product obtained by the present invention can prevent the peeling of the plating film as much as possible, and various plated products and It can be effectively used as the material.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1における下地処理層の電子顕微鏡写真
である。
FIG. 1 is an electron micrograph of a base treatment layer in Example 1.

【図2】比較例2における下地処理層の電子顕微鏡写真
である。
2 is an electron micrograph of a base treatment layer in Comparative Example 2. FIG.

フロントページの続き Fターム(参考) 4K022 AA02 AA03 AA04 AA05 AA11 BA01 BA03 BA08 BA10 BA14 BA31 BA33 BA36 CA03 CA06 CA07 CA13 DA03 DB06 EA01Continued front page    F-term (reference) 4K022 AA02 AA03 AA04 AA05 AA11                       BA01 BA03 BA08 BA10 BA14                       BA31 BA33 BA36 CA03 CA06                       CA07 CA13 DA03 DB06 EA01

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 触媒層が形成された被めっき物上に硝酸
イオン、亜鉛イオン、インジウムイオン及びアミンボラ
ンコンプレックスを含有するプレ処理液を用いて無電解
めっき用下地処理層を形成した後、水溶性金属塩を含有
する処理液を用いて処理し、続いて、無電解めっき液を
用いて無電解めっき被膜を形成することを特徴とする無
電解めっき被膜の形成方法。
1. A pretreatment liquid containing nitrate ions, zinc ions, indium ions, and amine borane complex is used on the object to be plated on which the catalyst layer is formed, to form a base treatment layer for electroless plating, and then a water-soluble solution is prepared. A method for forming an electroless plating film, comprising the steps of: treating with a treatment liquid containing an organic metal salt, and subsequently forming an electroless plating film with an electroless plating liquid.
【請求項2】 前記プレ処理液によるプレ処理後に加熱
処理した後、水溶性金属塩を含有する処理液を用いて処
理することを特徴とする請求項1記載の無電解めっき被
膜の形成方法。
2. The method for forming an electroless plating film according to claim 1, wherein the pretreatment with the pretreatment liquid is followed by heat treatment and then treatment with a treatment liquid containing a water-soluble metal salt.
【請求項3】 被めっき物上に無電解めっき用下地処理
層、無電解めっき層の順に積層されためっき処理品であ
って、上記無電解めっき用下地処理層が、亜鉛含有水酸
化インジウムめっき層であることを特徴とするめっき処
理品。
3. A plating-processed product in which an electroless plating undercoat layer and an electroless plating layer are laminated in this order on an object to be plated, wherein the electroless plating undercoat layer is zinc-containing indium hydroxide plating. A plated product characterized by being a layer.
【請求項4】 被めっき物上に無電解めっき用下地処理
層、無電解めっき層の順に積層されためっき処理品であ
って、上記無電解めっき用下地処理層が、亜鉛含有水酸
化インジウムめっき層を加熱処理したものであることを
特徴とするめっき処理品。
4. A plating-processed product in which an electroless plating undercoat layer and an electroless plating layer are laminated in this order on an object to be plated, wherein the electroless plating undercoat layer is zinc-containing indium hydroxide plating. A plated product, characterized in that the layer is heat-treated.
【請求項5】 前記亜鉛含有水酸化インジウムめっき層
が、無電解めっき法で作製されたことを特徴とする請求
項3又は4記載のめっき処理品。
5. The plated product according to claim 3, wherein the zinc-containing indium hydroxide plating layer is produced by an electroless plating method.
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