JP2003241156A - 検査装置およびその検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】液晶セルの基本特性を変動させることなく、よ
り短時間で液晶表示装置を検査可能な検査装置およびそ
の検査方法を提供する。 【解決手段】駆動電圧よりも高い第１の電圧と、第１の
電圧よりも高く、所定の期間以上連続して印加する液晶
セル２３を破壊可能な第２の電圧を液晶セル２３を破壊
にいたらせない所定の期間だけ発生し、上述した第１の
電圧および第２の電圧を所定の周期で発生し液晶表示装
置２に印加する電圧発生部１１と、電圧発生部１１によ
り液晶表示装置２に所定の電圧を印加するとき、液晶表
示装置２を所定の温度に制御する温度制御部１２とを設
ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、液晶表
示装置を検査する検査装置およびその検査方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶を用いた表示装置、ＬＣＤ
（Liquid crystal display）の躍進が著しい。この液晶
表示装置は、ノート型パソコンや、薄型のテレビ等に広
く使われている。上述した液晶表示装置は、たとえば、
印加される駆動電圧に応じて画像表示を行う液晶セル
（ピクセルともいう）が平面内に行列状に形成されてい
る。液晶表示装置には、いろいろな種類が知られてお
り、たとえば、液晶セル内に液晶素子およびＴＦＴ（Th
in film transistor）を用いた液晶表示装置が知られて
いる。

【０００３】ところで、上述したＴＦＴを用いた液晶表
示装置の液晶セルの輝点や減点等の初期不良の検査およ
び抽出を行う検査装置が知られている。この検査装置で
は、たとえば、液晶表示装置の初期不良を検査、抽出、
およびデバイスに内在している不具合を短時間で除去す
るために、液晶セルの白および黒の画像表示それぞれに
対応した所定の検査用の電圧を所定の周期で印加して、
実際に液晶セルに画像表示させて検査を行っている。こ
の印加電圧は、ＴＦＴの基本特性を損なわない程度の電
圧である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した検査
装置の検査方法では、液晶表示装置のデバイスに内在し
ている不具合を検査、抽出、および除去するのに、長時
間、たとえば、数時間を要するという問題点があり、上
述の検査時間を短くしたいという要望がある。しかし、
たとえば、検査時間を短時間にするために、液晶セル内
の液晶素子やＴＦＴに所定の電圧よりも高い電圧を長時
間にわたり印加して検査すると、ＴＦＴや液晶素子等の
基本特性、たとえば閾値等が変動してしまうために、適
切な検査、抽出、および除去を行うことができないとい
う問題点がある。

【０００５】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、液晶セルの基本特性を変動させ
ることなく、より短時間で液晶表示装置を検査可能な検
査装置およびその検査方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の検査装置は、駆動電圧に応じた画像表示を
行う液晶セルを有する液晶表示装置を検査する検査装置
であって、前記駆動電圧よりも高い第１の電圧と、前記
第１の電圧よりも高く、所定の期間以上連続して印加す
ると前記液晶セルの不具合のある領域を破壊可能な第２
の電圧とを所定の周期で発生し、前記液晶表示装置に印
加する電圧発生手段を有する。

【０００７】好適には、前記電圧発生手段は、前記液晶
セルを破壊にいたらせない期間だけ、前記第２の電圧を
発生し、前記液晶表示装置に印加する。

【０００８】また、好適には、前記液晶表示装置の液晶
セルは、液晶素子と、前記電圧発生手段により入力され
る前記所定の電圧に応じて、前記液晶素子と駆動電圧供
給ラインとを作動的に接続するスイッチング素子とを含
む。

【０００９】また、好適には、前記スイッチング素子
は、ゲートが前記電圧発生手段の発生電圧の供給ライン
に接続された絶縁ゲート型電界効果トランジスタであ
る。

【００１０】また、好適には、前記電圧発生手段により
前記液晶表示装置に前記所定の電圧を印加するとき、前
記液晶表示装置を所定の温度に制御する温度制御手段と
を有する。

【００１１】さらに、前記目的を達成するために、本発
明の検査方法は、駆動電圧に応じた画像表示を行う液晶
セルを有する液晶表示装置を検査する検査方法であっ
て、前記駆動電圧よりも高い第１の電圧と、前記第１の
電圧よりも高く、所定の期間以上連続して印加すると前
記液晶セルを破壊可能な第２の電圧とを所定の周期で発
生し、前記液晶表示装置に印加する。

【００１２】好適には、前記液晶セルを破壊にいたらせ
ない期間だけ前記第２の電圧を発生し、前記液晶表示装
置に印加する。

【００１３】また、好適には、前記所定の電圧を印加
し、前記液晶セルに含まれる、液晶素子と、駆動電圧供
給ラインとをスイッチング素子に作動的に接続させる。
また、好適には、前記所定の電圧を絶縁ゲート型電界効
果トランジスタのゲートに印加し、前記液晶セルに含ま
れる、液晶素子と、駆動電圧供給ラインとを前記絶縁ゲ
ート型電界効果トランジスタに作動的に接続させる。

【００１４】また、好適には、前記液晶表示装置に前記
所定の電圧を印加するとき、前記液晶表示装置を所定の
温度に制御する。

【００１５】本発明によれば、駆動電圧に応じた画像表
示を行う液晶セルを有する液晶表示装置に対して検査を
行う。電圧発生手段では、駆動電圧よりも高い第１の電
圧と、第１の電圧よりも高く、所定の期間以上連続して
印加すると液晶素子を破壊可能な第２の電圧を液晶素子
を破壊にいたらせない期間だけ、所定の周期で発生し、
液晶表示装置に印加する。

【００１６】液晶セルにおいて、スイッチング素子で
は、電圧発生手段により入力される電圧に応じて、液晶
素子と駆動電圧供給ラインとを作動的に接続される。好
ましくは、スイッチング素子は、ゲートが電圧発生手段
の発生電圧の供給ラインに接続された絶縁ゲート型電界
効果トランジスタであり、印加電圧に応じて、液晶素子
と駆動電圧供給ラインとを作動的に接続する。温度制御
手段では、電圧発生手段により液晶表示装置に所定の電
圧を印加するとき、液晶表示装置を所定の温度に制御す
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る検査装置を
用いた検査システムの一実施の形態の概要を示す図であ
る。本実施の形態に係る検査装置１を用いた検査システ
ム１００は、図１に示すように、検査装置１および液晶
表示装置２を有する。

【００１８】検査装置１は、液晶表示装置２に接続され
ている。検査装置１は、液晶表示装置２に所定の検査用
の電圧を印加し、液晶表示装置２の画面表示の初期不
良、たとえば、表示画面の輝点や減点等を検査、抽出、
および除去を行う。また、検査装置１は、液晶表示装置
２に所定の検査用の電圧を印加するとき、液晶表示装置
を所定の温度、たとえば、上述の検査、抽出、および除
去の時間がより短くなるような温度に設定する。

【００１９】液晶表示装置２は、駆動電圧および画像デ
ータに応じた画像表示を行う。液晶表示装置２は、たと
えば、図１に示すように、液晶表示パネル２０に、ゲー
ト線駆動回路２１、信号線駆動回路２２、複数の液晶セ
ル２３−ｎｍ、ゲート線ＧＬｎ、および信号線ＤＬｍを
有する。

【００２０】また、上述した本実施の形態の構成に限ら
れるものではなく、たとえば、液晶表示パネル２０の外
部に、ゲート線駆動回路２１、および信号線駆動回路２
２を設けてもよい。個々を区別しない場合には、単に液
晶セル２３、ゲート線ＧＬ、信号線ＤＬと言う。

【００２１】複数のゲート線ＧＬｎはゲート線駆動回路
２１に接続され、複数の信号線ＤＬｍは信号線駆動回路
２２に接続されている。ゲート線駆動回路２１は、ゲー
ト線ＧＬｎに印加する電圧を制御する。たとえば、ゲー
ト線駆動回路２１は、検査装置１により入力される検査
用の信号およびラインクロック等によりゲート線選択信
号を発生し、所定のゲート線ＧＬｎの液晶セル２３−ｎ
ｍを選択する。

【００２２】具体的には、ゲート線駆動回路２１は、検
査装置１から入力される検査用の信号に応じて、後述す
る所定の液晶セル２３−ｎｍのＴＦＴに所定の電圧を印
加し、白および黒の画像表示を行わせる。また、具体的
には、ゲート線駆動回路２１は、たとえば、シフトレジ
スタを含み、検査装置１から入力されるラインクロック
に応じて、ゲート線ＧＬ１から、ゲート線ＧＬｎまで、
順番に所定の電圧を印加する。

【００２３】信号線駆動回路２２は、複数の信号線ＤＬ
ｍに印加する電圧を制御する。たとえば、信号線駆動回
路２２は、検査装置１により入力されるラインクロック
等により所定の液晶セル２３−ｎｍを選択し、検査装置
１から入力される検査用の信号である所定の電圧に応じ
て、選択された液晶セル２３を駆動させる。

【００２４】また、通常時には、信号線駆動回路２２
は、ラインクロック、およびシリアル（直列）データと
して供給されるデジタル信号の画像データを１ライン分
のパラレル（並列）なアナログ信号に変換し出力するこ
とで、所定の液晶セル２３−ｎｍを選択し、液晶セル２
３−ｎｍに実際に白および黒の画像表示を行わせる。液
晶セル２３−ｎｍは、たとえば、図１に示すように行列
状に形成され、入力される駆動電圧に応じた画像表示を
行う。液晶セル２３−ｎｍの駆動電圧は、たとえば１２
Ｖである。

【００２５】図２は、図１に示した検査システムの液晶
表示装置の液晶素子２３２の構成の一具体例を示す図で
ある。液晶セル２３−ｎｍは、図２に示すように、ＴＦ
Ｔ２３１−ｎｍ、液晶素子２３２−ｎｍ、対向電極２３
３−ｎｍ、およびキャパシタ２３４−ｎｍを有する。個
々を区別しない場合には、単に液晶セル２３、ＴＦＴ２
３１、液晶素子２３２、対向電極２３３、およびキャパ
シタ２３４という。

【００２６】個々の液晶素子２３２の一端は対向電極２
３３に接続されている。対向電極２３３には、全ての液
晶素子２３２が共通に接続されている。ＴＦＴ２３１の
ゲートはゲート線ＧＬに接続されている。ＴＦＴ２３１
のソースは液晶素子２３２の他端に接続されている。Ｔ
ＦＴ２３１のドレインは選択されたラインの個々の液晶
素子２３２に書き込まれる画像データが供給される信号
線ＤＬに接続されている。

【００２７】ＴＦＴ２３１は、スイッチとしての機能を
有し、ゲート線ＧＬに印加された信号により画像データ
を書き込むラインが選択され、信号線ＤＬと、液晶素子
２３２およびキャパシタ２３４を接続する。たとえば、
ＴＦＴ２３１は、絶縁ゲート型電界効果トランジスタで
ある。液晶素子２３２は、たとえば、印加される電圧に
応じて白および黒の画面表示を行う。

【００２８】キャパシタ２３４は、各液晶素子２３２の
画像データとしての信号電荷を所定の時間だけ蓄積す
る。本実施の形態では、キャパシタ２３４を構成要素と
したが、液晶素子２３２が画像表示を行う際に、１フレ
ーム期間経過した後でも液晶素子２３２に画像データに
応じた電荷が保持されている場合には、キャパシタ２３
４は不要である。

【００２９】上述した液晶セル２３では、ゲート線ＧＬ
に駆動信号が印加されると、そのゲート線ＧＬに接続さ
れたＴＦＴ２３１がオン状態になる。ＴＦＴ２３１は、
信号線ＤＬと液晶素子２３２を接続する。その液晶セル
２３に接続された信号線ＤＬに画像データに応じた電圧
が印加されると、ゲート線ＧＬおよび信号線ＤＬにより
選択された液晶セル２３およびキャパシタ２３４に画像
データとしての信号電荷が供給されて書き込みが行わ
れ、液晶セル２３では、その信号電荷に応じた画面表示
が行われる。

【００３０】書き込み時間が終了すると、ゲート線ＧＬ
に印加する信号が、所定の電圧よりも低くなり、ゲート
線ＧＬに接続されたＴＦＴ２３１がオフ状態になる。画
像データは、液晶素子２３２やＴＦＴ２３１キャパシタ
２３４の容量のため、次の書き込みが行われるまで、そ
の画像データに応じた電位が保持される。また、図２に
示した液晶表示装置２の液晶セル２３−ｎｍの構造は、
全ての液晶セル２３について共通である。

【００３１】検査装置１は、駆動電圧に応じた画像表示
を行う液晶セル２３を有する液晶表示装置２を検査す
る。また、本実施の形態に係る検査装置１では、たとえ
ば、不図示の機能回路によりラインクロックおよび同期
信号を生成し、液晶表示装置２に印加する。検査装置１
は、図１に示すように、電圧発生手段である電圧発生部
１１、および温度制御手段である温度制御部１２を有す
る。電圧発生部１１は、たとえば、通常（従来）モード
の検査用の信号、および短時間モードの検査用の信号を
生成し液晶表示装置２に出力する。

【００３２】図３は、図１に示した検査装置が液晶表示
装置に印加する通常モードの検査用の信号の一具体例を
示す図である。たとえば、電圧発生部１１は、通常（従
来）モードの検査時には、液晶表示装置２の液晶セル２
３の液晶素子２３２に白または黒を画面表示させるため
に、ＴＦＴ２３１のソース電極に電圧Ｖｐｐを供給し、
所定の電圧に応じた画面表示を行わせて検査を行う。液
晶セル２３に表示される画像を目視により、輝点や減点
等の初期不良を検査してもよいし、液晶セル２３に表示
される画像をカメラ等を備えた測定装置により検査して
もよい。

【００３３】具体的には、電圧発生部１１は、図３に示
すように、ＤＣ（Direct current）的に、不良因子を初
期不良として落としうる加速用電圧Ｖｐｐを生成して液
晶セル２３のＴＦＴ２３１に印加して、液晶セル２３の
液晶素子２３２に印加電圧に応じた画面表示をして初期
不良の検査抽出、および除去を行う。

【００３４】図４は、図１に示した検査装置が液晶表示
装置に印加する短時間モードの検査用の信号の一具体例
を示す図である。電圧発生部１１は、短時間モードの検
査時には、液晶表示装置２の液晶セル２３のＴＦＴ２３
１の駆動電圧よりも高い第１の電圧と、第１の電圧より
も高く、所定の期間以上連続して印加すると液晶セル２
３のＴＦＴ２３１を破壊可能な第２の電圧を、ＴＦＴ２
３１を破壊にいたらせない期間だけ、所定の周期で発生
し、液晶表示装置２に印加する。

【００３５】たとえば、電圧発生部１１は、図４に示す
ように、第１のハイレベルを時間ｔ１、次に第２のハイ
レベルを時間ｔ２の信号を発生する。電圧発生部１１
は、上述した第１および第２のハイレベルを１つの基本
サイクルとして、繰り返し発生し、液晶表示装置２の液
晶セル２３のＴＦＴ２３１に印加する。

【００３６】たとえば、第１のハイレベルとロウレベル
との電位差は通常モードと同様のＶｐｐであり、第２の
ハイレベルとロウレベルとの電位差はＶｓである。たと
えば、第１のハイレベルは液晶表示装置２の液晶セル２
３のＴＦＴ２３１の通常の駆動電圧よりも高く、たとえ
ば１５Ｖであり、第２のハイレベルは第１のハイレベル
よりも高く、所定の期間以上連続して印加すると液晶セ
ル２３のＴＦＴ２３１を破壊可能な電圧であり、たとえ
ば１８Ｖである。時間ｔ１は、たとえば液晶セルを破壊
にいたらせない期間、たとえば、数秒である。時間ｔ２
は、たとえば、数秒である。

【００３７】また、たとえば、上述の第２のハイレベル
の電圧は、少なくとも液晶セル２３のＴＦＴ２３１の絶
縁膜の真性破壊耐圧以内、ソース・ドレイン等の不純物
層の耐圧以内の電圧値であることが好ましい。上述した
ように第１の電圧、および第２の電圧を所定の時間で、
かつ所定の周期で繰り返し液晶表示装置２の液晶セル２
３に印加する方法をサージパルス方法と言う。このサー
ジパルス方法により、液晶表示装置２の液晶セル２３の
デバイスに内在する不具合部分を除去する。また、上述
したサージパルス方法により、不具合の摘出速度を加速
することができる。つまり、検査時間を短縮することが
できる。

【００３８】上述したサージパルスを設定する際に、重
要な要因としては、第１の電圧および第２の電圧が印加
される時間の比であるｄｕｔｙ比である。このｄｕｔｙ
比が最適値よりも小さすぎる場合には、液晶セル２３の
基本特性が変動してしまう。一方、ｄｕｔｙ比が最適値
よりも大きい場合には、加速が大きくならない。つま
り、検査時間が短くならない。

【００３９】このため、あらかじめ、デバイスに内在す
る不具合を適切にかつ短時間に検査、抽出、および除去
することができるようなｄｕｔｙ比の最適値を、測定し
て求めておき、電圧発生部１１では、この求められたｄ
ｕｔｙ比に基づいた短時間モードの検査用の信号を生成
して液晶表示装置２の液晶セル２３に印加することが好
ましい。

【００４０】温度制御部１２は、電圧発生部１１により
液晶表示装置２に上述した所定の電圧、たとえばサージ
パルスを印加する際に、液晶表示装置２が所定の温度に
なるように温度制御を行う。たとえば、温度制御部１２
は、液晶表示装置２の液晶セル２３を検査する際に、液
晶素子２３２の特性を損なわない程度の高温、たとえ
ば、室温よりも高く、液晶の特性を損なわない範囲の温
度になるように温度制御を行う。液晶は高温では反応速
度が高くなる性質があり、上述のように高温にすること
で、上述の初期不良の検査、抽出、および除去をより短
時間に終了することができる。

【００４１】たとえば、具体的には、温度制御部１２に
は、図１に示したように、恒温槽１２１内に備えられた
ヒータ１２２と、サーモセンサ１２３が接続されてい
る。たとえば、温度制御部１２、ヒータ１２２、および
サーモセンサ１２３が温度制御手段を構成する。

【００４２】恒温槽１２１は、内部温度を所定の温度に
設定することができるように構成されている。たとえ
ば、恒温槽１２１は、槽壁が断熱材により形成されてい
る。また、恒温槽１２１内部には液晶表示装置２が設置
される。

【００４３】ヒータ１２２は、恒温槽１２１内部に形成
され、温度制御部１２により入力される電力に応じて発
熱する。サーモセンサ１２３は、恒温槽１２１の内部温
度を検出し、内部温度に応じた電気信号に変換して温度
制御部１２に出力する。

【００４４】温度制御部１２は、サーモセンサ１２３に
より内部温度に応じた電気信号が入力されると、入力さ
れた電気信号に応じて、恒温槽１２１の内部温度が所定
の温度、たとえば、液晶表示装置２の液晶素子２３２を
検査する際に、上述の検査を行う時間を短縮するような
温度、具体的には、室温よりも高く、液晶の特性を損な
わない範囲の温度、より具体的には、６０℃から９０℃
程度になるように、ヒータ１２２に所定の電力を印加し
て、フィードバック制御を行う。

【００４５】上述した構成の検査装置１を用いた検査シ
ステム１００の動作を図１を参照しながら説明する。恒
温槽１２１内部に、液晶表示装置２が設置される。温度
制御部１２では、サーモセンサ１２３により入力され
る、恒温槽１２１の内部温度に応じた電気信号に応じ
て、恒温槽１２１の内部温度が所定の温度になるよう
に、ヒータ１２２に所定の電力を印加して、フィードバ
ック制御が行われる。

【００４６】検査装置１の電圧発生部１１では、上述し
た短時間モードでの検査用の信号が液晶表示装置２に入
力される。たとえば、電圧発生部１１では、上述したサ
ージパルスが生成され、液晶表示装置２のゲート線駆動
回路２１へ出力される。また、検査装置１では、所定の
ラインクロック等が液晶表示装置２のゲート線駆動回路
２１および信号線駆動回路２２に出力される。また、検
査装置１では、所定の画像データが信号線駆動回路２２
に出力される。

【００４７】本実施の形態では、検査装置１は、所定の
ラインクロックおよび画像データを液晶表示装置２に出
力したが、この形態でなくてもよい。たとえば、検査装
置１以外の機能装置が生成したラインクロックおよび画
像データを液晶表示装置２に出力してもよい。

【００４８】液晶表示装置２では、ゲート線駆動回路２
１に所定の検査用の信号が入力され、ゲート線ＧＬに接
続された液晶セル２３に検査用の信号が印加され、その
ゲート線ＧＬに接続されたＴＦＴ２３１がオン状態にな
る。信号線駆動回路２２では、入力された画像データに
応じた信号線ＤＬが選択される。液晶セル２３では、Ｔ
ＦＴ２３１がオン状態になり、信号線ＤＬにより画像デ
ータに応じた電圧が印加されると、液晶素子２３２では
その印加電圧に応じた画像表示が行われる。

【００４９】また、液晶表示装置２では、入力されるラ
インクロック等に応じて、ゲート線駆動回路２１により
選択されるゲート線ＧＬｎが順に選択され、画像データ
に応じて信号線駆動回路２２により信号線ＤＬｍが選択
されると、ゲート線ＧＬｎおよび信号線ＤＬにより選択
される液晶セル２３−ｎｍのＴＦＴ２３１−ｎｍがオン
状態になり、選択された液晶セル２３−ｎｍに画像デー
タに応じた信号が印加され、ＴＦＴ２３１−ｎｍの初期
不良の検査、摘出、除去が行われる。

【００５０】以上、説明したように、駆動電圧よりも高
い第１の電圧と、第１の電圧よりも高く、所定の期間以
上連続して印加する液晶セル２３を破壊可能な第２の電
圧を液晶素子２３２を破壊にいたらせない所定の期間だ
け発生し、上述した第１の電圧および第２の電圧を所定
の周期で発生し、液晶表示装置２に印加する電圧発生部
１１と、電圧発生部１１により液晶表示装置２に所定の
電圧を印加するとき、液晶表示装置２を所定の温度に制
御する温度制御部１２とを設けたので、サージパルス印
加方法の採用により、短時間だけ高電圧を印加するため
に、液晶セル２３内のＴＦＴ２３１や液晶素子２３２等
の基本特性を変動させることなく検査することができ
る。

【００５１】また、一般的な検査装置よりも短時間でデ
バイスに内在する不具合の抽出をすることができる。ま
た、本実施の形態によれば、サージパルス方法により高
圧パルスを印加するために、液晶表示装置の液晶セル２
３のウィークスポットを破壊することができる。たとえ
ば、本実施の形態によれば、従来の一般的な検査装置で
の検査方法に比べて、たとえば、検査時間が数時間かか
っていたものが、数分の１にすることができ時間を約１
／３短縮することができる。

【００５２】なお、本発明は本実施の形態に限られるも
のではなく、任意好適な種々の改変が可能である。たと
えば、本実施の形態では、検査用の信号として、上述し
たｄｕｔｙ比の周期の信号を生成して液晶表示装置に印
加したが、この形態に限られるものではない。少なくと
も検査時間が短縮可能なｄｕｔｙ比であればよい。

【００５３】また、本実施の形態では、液晶表示装置２
は、上述の構成をしていたが、この形態に限られるもの
ではない。駆動電圧に応じた画像表示を行う液晶セルが
形成されていればよく、ゲート線駆動回路、および信号
線駆動回路が備わっていなくてもよい。

【００５４】また、本実施の形態では、温度制御部１２
は、ヒータ１２２、およびサーモセンサ１２３を用いて
温度制御を行ったが、この形態に限られるものではな
い。所定の温度に設定可能であればよい。また、本実施
の形態に係る検査装置１では、不図示の機能回路により
ラインクロック等を生成し、液晶表示装置２に印加した
が、この形態に限られるものではない。たとえば、上述
したラインクロック等は、検査装置１の外部の機能装置
により生成され、印加されてもよい。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、液晶セルの基本特性を
変動させることなく、より短時間で液晶表示装置を検査
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置を用いた検査システムの
一実施の形態の概要を示す図である。

【図２】図１に示した検査システムの液晶表示装置の液
晶セルの構成の一具体例を示す図である。

【図３】図１に示した検査装置が液晶表示装置に印加す
る通常モードの検査用の信号の一具体例を示す図であ
る。

【図４】図１に示した検査装置が液晶表示装置に印加す
る短時間モードの検査用の信号の一具体例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…検査装置、２…液晶表示装置、１１…電圧発生部、
１２…温度制御部、２０…液晶表示パネル、２１…ゲー
ト線駆動回路、２２…信号線駆動回路、２３…液晶素
子、１００…検査システム、１２１…恒温槽、１２２…
ヒータ、１２３…サーモセンサ、２３１…ＴＦＴ、２３
２…液晶素子、２３３…対向電極、２３４…キャパシ
タ、ＤＬｍ…信号線、ＧＬｎ…ゲート線。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】駆動電圧に応じた画像表示を行う液晶セル
   を有する液晶表示装置を検査する検査装置であって、 前記駆動電圧よりも高い第１の電圧と、前記第１の電圧
   よりも高く、所定の期間以上連続して印加すると前記液
   晶セルを破壊可能な第２の電圧とを所定の周期で発生
   し、前記液晶表示装置に印加する電圧発生手段を有する
   検査装置。
2. 【請求項２】前記電圧発生手段は、前記液晶セルを破壊
   にいたらせない期間だけ、前記第２の電圧を発生し、前
   記液晶表示装置に印加する請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】前記液晶表示装置の液晶セルは、液晶素子
   と、前記電圧発生手段により入力される前記所定の電圧
   に応じて、前記液晶素子と駆動電圧供給ラインとを作動
   的に接続するスイッチング素子とを含む請求項１に記載
   の検査装置。
4. 【請求項４】前記スイッチング素子は、ゲートが前記電
   圧発生手段の発生電圧の供給ラインに接続された絶縁ゲ
   ート型電界効果トランジスタである請求項３に記載の検
   査装置。
5. 【請求項５】前記電圧発生手段により前記液晶表示装置
   に前記所定の電圧を印加するとき、前記液晶表示装置を
   所定の温度に制御する温度制御手段とを有する請求項１
   に記載の検査装置。
6. 【請求項６】駆動電圧に応じた画像表示を行う液晶セル
   を有する液晶表示装置を検査する検査方法であって、 前記駆動電圧よりも高い第１の電圧と、前記第１の電圧
   よりも高く、所定の期間以上連続して印加すると前記液
   晶セルを破壊可能な第２の電圧とを所定の周期で発生
   し、前記液晶表示装置に印加する検査装置の検査方法。
7. 【請求項７】前記液晶セルを破壊にいたらせない期間だ
   け前記第２の電圧を発生し、前記液晶表示装置に印加す
   る請求項６に記載の検査装置の検査方法。
8. 【請求項８】前記所定の電圧を印加し、前記液晶セルに
   含まれる、液晶素子と、駆動電圧供給ラインとをスイッ
   チング素子に作動的に接続させる請求項６に記載の検査
   装置の検査方法。
9. 【請求項９】前記所定の電圧を絶縁ゲート型電界効果ト
   ランジスタのゲートに印加し、前記液晶セルに含まれ
   る、液晶素子と、駆動電圧供給ラインとを前記絶縁ゲー
   ト型電界効果トランジスタに作動的に接続させる請求項
   ６に記載の検査装置の検査方法。
10. 【請求項１０】前記液晶表示装置に前記所定の電圧を印
    加するとき、前記液晶表示装置を所定の温度に制御する
    請求項６に記載の検査装置の検査方法。